KR20190143356A - 홀더 유닛 및 스크라이브 장치 - Google Patents

Abstract

(과제) 스크라이빙 휠이 기판의 표면을 안정적으로 회전하여 양호한 스크라이브 라인을 형성할 수 있는 홀더 유닛, 및 이와 같은 홀더 유닛을 구비한 스크라이브 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
(해결 수단) 기판 (15) 의 표면 (H) 에 스크라이브 라인을 형성하기 위한 스크라이빙 휠 (50) 을 유지하는 홀더 유닛 (30) 으로서, 1 쌍의 유지부 (33a, 33b) 와, 1 쌍의 유지부 (33a, 33b) 사이에 형성되고, 스크라이빙 휠 (50) 이 삽입되는 유지 홈 (34) 과, 유지 홈 (34) 에 걸쳐서 1 쌍의 유지부 (33a, 33b) 에 동축 상에 형성된 핀 구멍 (36a, 36b) 과, 유지 홈 (34) 에 삽입된 스크라이빙 휠 (50) 의 관통공 (51) 과 핀 구멍 (36a, 36b) 에 삽입되는 핀축 (32) 과, 핀 구멍 (36a, 36b) 의 스크라이빙 휠 (50) 과는 반대측의 단부 (39a, 39b) 에 끼워넣어지는 스토퍼 (60a, 60b) 를 구비한다.

Description

홀더 유닛 및 스크라이브 장치{HOLDER UNIT AND SCRIBING APPARATUS}

본 발명은, 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하기 위한 스크라이빙 휠을 구비하는 홀더 유닛, 및 그와 같은 홀더 유닛을 구비하는 스크라이브 장치에 관한 것이다.

종래, 유리 기판 등의 취성 재료 기판의 분단은, 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 공정과, 형성된 스크라이브 라인을 따라 기판의 표면에 소정의 힘을 부가하는 브레이크 공정에 의해 실시된다. 스크라이브 공정에서는, 스크라이빙 휠의 날끝이 기판의 표면에 가압되면서, 소정의 라인을 따라 이동된다. 스크라이브 장치는, 스크라이빙 휠을 유지한 홀더 유닛을 장착하여 사용된다.

이하의 특허문헌 1 에는, 스크라이빙 휠이 기판의 표면을 회전하면서 나아감으로써, 기판 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 홀더 유닛이 개시되어 있다. 이 홀더 유닛에 있어서, 홀더는, 스크라이빙 휠을 배치하기 위한 유지 홈을 형성하는 1 쌍의 지지부를 구비한다. 1 쌍의 지지부에는, 핀 구멍이 형성되어 있고, 핀은, 핀 구멍에 있어서, 홀더와의 사이에 클리어런스를 형성하여 배치된다. 이로써, 핀은, 스크라이빙 휠의 회전과 함께 회전 가능하게 되어 있다.

일본 특허공보 제6076770호

특허문헌 1 에서는, 1 쌍의 지지부의 각각에 형성되어 있는 핀 구멍에 있어서, 스크라이빙 휠과는 반대측의 개구부 부근의 내벽을 코킹함으로써 클로부를 형성하여, 핀이 핀 구멍으로부터 빠지지 않도록 구성되어 있다. 그러나, 이 구성은, 핀 구멍의 스크라이빙 휠과 반대측의 개구부 주변이나, 핀 구멍의 내벽이 적잖이 변형된다. 이로 인해, 핀의 자세가 안정되지 않아, 스크라이브 동작 중의 스크라이빙 휠의 회전이 안정되지 않는 경우가 있다.

이러한 과제를 감안하여, 본 발명은, 스크라이빙 휠이 기판의 표면을 안정적으로 회전하여 양호한 스크라이브 라인을 형성할 수 있는 홀더 유닛, 및 이와 같은 홀더 유닛을 구비한 스크라이브 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 주된 양태는, 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하기 위한 스크라이빙 휠을 유지하는 홀더 유닛에 관한 것이다. 이 양태에 관련된 홀더 유닛은, 1 쌍의 유지부와, 상기 1 쌍의 유지부 사이에 형성되고, 상기 스크라이빙 휠이 삽입되는 유지 홈과, 상기 유지 홈에 걸쳐서 상기 1 쌍의 유지부에 동축 상에 형성된 핀 구멍과, 상기 유지 홈에 삽입된 상기 스크라이빙 휠의 관통공과 상기 핀 구멍에 삽입되는 핀축과, 상기 핀 구멍의 상기 스크라이빙 휠과는 반대측의 단부 (端部) 에 끼워넣어지는 스토퍼를 구비한다.

본 양태에 관련된 홀더 유닛에 의하면, 예를 들어, 스크라이빙 휠과는 반대측의 핀 구멍의 단부를 코킹하는 등, 핀 구멍이 변형되는 가공을 실시할 필요가 없다. 따라서, 핀 구멍의 형상에 의해 핀축에 미치는 영향은 적어, 핀축은 안정된 자세를 유지할 수 있다. 이로써, 스크라이빙 휠은 기판의 표면을 안정적으로 회전하여, 양호한 스크라이브 라인을 형성할 수 있다.

본 양태에 관련된 홀더 유닛에 있어서, 상기 스토퍼는, 상기 핀 구멍에 압입에 의해 끼워넣어지도록 구성될 수 있다.

이 구성에 의하면, 스토퍼는 핀 구멍에 강고하게 고정된다. 따라서, 스토퍼가 핀 구멍으로부터 빠질 우려는 없어, 핀축이 핀 구멍으로부터 빠지는 것을 확실하게 방지할 수 있다. 또, 압입에 의해, 스토퍼를 간단히 핀 구멍에 형성할 수 있다.

본 양태에 관련된 홀더 유닛에 있어서, 상기 핀 구멍은, 상기 단부에 형성되고 상기 스토퍼의 끼워넣기를 허용하는 직경의 제 1 영역과, 상기 제 1 영역에 이어지고 상기 스토퍼의 끼워넣기를 제한하는 직경의 제 2 영역을 갖고 있고, 홀더 유닛은, 상기 제 1 영역에, 상기 스토퍼가 수용되고, 상기 제 2 영역에, 상기 핀축이 수용되도록 구성될 수 있다.

이 구성에 의하면, 스크라이빙 휠과 반대측의 단부로부터 스토퍼를 끼워넣는 경우, 스토퍼는 제 2 영역까지 진입하는 경우가 없다. 이 때문에, 제 2 영역에 수용되는 핀축과 제 1 영역에 수용되는 스토퍼의 위치 관계를 적정하게 유지할 수 있다. 이로써, 핀축은 스토퍼에 의해 원하지 않는 제한을 받는 경우가 없어, 적정한 상태로 유지될 수 있다. 그 결과, 스크라이빙 휠은 안정적으로 회전하여, 스크라이브 동작을 원활하게 실시할 수 있다. 또, 상기 구성에 의하면, 단순히 스토퍼를 한계 위치까지 끼워넣는 것만으로, 스토퍼를 적정한 위치에 장착할 수 있다.

본 양태에 관련된 홀더 유닛은, 상기 제 1 영역과 상기 제 2 영역 사이에 단부 (段部) 가 형성되도록 구성될 수 있다.

이 구성에 의하면, 스토퍼는, 단부에 의해, 그 이상 핀 구멍의 내부에 진입할 수는 없다. 따라서, 스토퍼와 핀축의 위치 관계를 적정하게 유지할 수 있다. 이로써, 핀축은 스토퍼에 의해 원하지 않는 제한을 받는 경우가 없어, 적정한 상태로 유지될 수 있다. 그 결과, 스크라이빙 휠은 안정적으로 회전하여, 스크라이브 동작을 원활하게 실시할 수 있다.

본 양태에 관련된 홀더 유닛에 있어서, 상기 제 1 영역은, 상기 스크라이빙 휠과 반대측의 단부로부터 상기 제 2 영역에 가까워짐에 따라 상기 제 2 영역의 직경에 가까워지는 테이퍼상으로 형성되도록 구성될 수 있다.

이 구성에 의하면, 핀 구멍의 제 1 영역은, 스크라이빙 휠과는 반대측의 단부로부터 스크라이빙 휠 쪽을 향하여 차츰 좁아지도록 형성된다. 따라서, 제 1 영역의 도중에서 스토퍼는 정지하여, 스토퍼가 제 2 영역에 진입할 수 없다. 따라서, 스토퍼와 핀축의 위치 관계를 적정하게 유지할 수 있다. 이로써, 핀축은 스토퍼에 의해 원하지 않는 제한을 받는 경우가 없어, 적정한 상태로 유지될 수 있다. 그 결과, 스크라이빙 휠은 안정적으로 회전하여, 스크라이브 동작을 원활하게 실시할 수 있다.

본 양태에 관련된 홀더 유닛에 있어서, 상기 스토퍼는, 상기 1 쌍의 유지부의 각각에 형성되는 각각의 상기 핀 구멍에 있어서, 상기 스크라이빙 휠과는 반대측의 단부에 끼워넣어지도록 구성될 수 있다.

이와 같이, 핀축의 양 단 (端) 에 스토퍼를 배치함으로써, 핀축의 양 단을 동일한 상태로 설정할 수 있어, 핀축을 보다 안정된 상태로 유지할 수 있다. 이로써, 스크라이빙 휠은 보다 안정적으로 회전하여, 기판의 표면에 스크라이브 라인을 적정하게 형성할 수 있다.

본 양태에 관련된 홀더 유닛에 있어서, 상기 스토퍼는, 구체 (球體) 로 구성될 수 있다.

스토퍼가 구체이면, 스토퍼를 원형의 핀 구멍에 끼워넣음으로써, 핀 구멍을 스토퍼로 확실하게 막을 수 있다. 따라서, 핀 구멍의 단부로부터의 컬릿 등의 침입을 방지할 수 있다.

본 양태에 관련된 홀더 유닛에 있어서, 상기 스토퍼는, 원주상으로 구성될 수 있다.

스토퍼가 원주상이면, 스토퍼를 원형의 핀 구멍에 끼워넣음으로써, 핀 구멍을 스토퍼로 확실하게 막을 수 있다. 따라서, 핀 구멍의 단부로부터의 컬릿 등의 침입을 방지할 수 있다.

본 발명의 제 2 양태는, 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 장치에 관한 것이다. 이 양태에 관련된 스크라이브 장치는, 1 쌍의 유지부와, 상기 1 쌍의 유지부 사이에 형성되고, 상기 스크라이빙 휠이 삽입되는 유지 홈과, 상기 유지 홈에 걸쳐서 상기 1 쌍의 유지부에 동축 상에 형성된 핀 구멍과, 상기 유지 홈에 삽입된 상기 스크라이빙 휠의 관통공과 상기 핀 구멍에 삽입되는 핀축과, 상기 핀 구멍의 상기 스크라이빙 휠과는 반대측의 단부에 끼워넣어지는 스토퍼를 구비하는 홀더 유닛과, 상기 기판의 표면에 수직인 축의 둘레로 회전 가능하게 상기 홀더 유닛을 유지하는 스크라이브 헤드를 구비한다.

본 구성이면, 상기 제 1 양태와 동일한 효과를 발휘할 수 있다. 또, 핀축의 상태가 안정되기 때문에, 기판의 표면에 양호하게 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 장치가 구성된다.

이상과 같이, 본 발명에 의하면, 스크라이빙 휠이 기판의 표면을 안정적으로 회전하여 양호한 스크라이브 라인을 형성할 수 있는 홀더 유닛, 및 이와 같은 홀더 유닛을 구비한 스크라이브 장치를 제공할 수 있다.

본 발명의 효과 내지 의의는, 이하에 나타내는 실시형태의 설명에 의해 더욱 분명해진다. 단, 이하에 나타내는 실시형태는, 어디까지나 본 발명을 실시화할 때의 하나의 예시로서, 본 발명은, 이하의 실시형태에 기재된 것에 전혀 제한되는 것은 아니다.

도 1 은, 실시형태에 관련된 홀더 유닛을 구비하는 스크라이브 장치의 구성을 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 2(a) 는, 실시형태에 관련된 홀더 유닛 및 홀더 유닛이 장착된 홀더 조인트의 측면도이다. 도 2(b) 는, 홀더 유닛의 사시도이고, 도 2(c) 는, 실시형태에 관련된 홀더 유닛의 분해 사시도이다.
도 3 은, 실시형태에 관련된 홀더 유닛의 측면의 확대 단면도이다.
도 4(a), (b) 는, 실시형태의 변경예에 관련된 홀더 유닛의 측면의 확대 단면도이다.
도 5(a) 는, 실시형태의 변경예에 관련된 홀더 유닛의 측면의 확대 단면도이다. 도 5(b) 는, 실시형태의 변경예에 관련된 홀더 유닛의 저면도이다.

이하, 본 발명의 실시형태에 대해, 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 각 도면에는, 편의상 서로 직교하는 X 축, Y 축 및 Z 축이 부기되어 있다. Z 축은, 스크라이빙 휠의 중심축에 수직이고, 연직 방향에 있어서의 상방 및 하방을 나타낸다. 이후, 상방 및 하방은, 각각 Z 축 정측 (正側) 및 Z 축 부측 (負側) 을 의미한다.

＜스크라이브 장치＞

도 1 은, 실시형태에 관련된 스크라이브 장치 (1) 의 구성을 모식적으로 나타내는 도면이다. 스크라이브 장치 (1) 는, 이동대 (10) 를 구비하고 있다. 이동대 (10) 는, 볼 나사 (11) 와 나사 결합되어 있다. 이동대 (10) 는, 1 쌍의 안내 레일 (12) 에 의해 Y 축 방향으로 이동 가능하게 지지되어 있다. 모터의 구동에 의해 볼 나사 (11) 가 회전함으로써, 이동대 (10) 가 1 쌍의 안내 레일 (12) 을 따라 Y 축 방향으로 이동한다.

이동대 (10) 의 상면에는, 모터 (13) 가 설치되어 있다. 모터 (13) 는, 상부에 위치하는 테이블 (14) 을 XY 평면에서 회전시켜 소정 각도로 위치 결정한다. 모터 (13) 에 의해 수평 회전 가능한 테이블 (14) 은, 도시되지 않은 진공 흡착 수단을 구비하고 있다. 테이블 (14) 상에 재치 (載置) 된 기판 (15) 은, 이 진공 흡착 수단에 의해, 테이블 (14) 상에 유지된다.

기판 (15) 은, 유리 기판, 저온 소성 세라믹스나 고온 소성 세라믹스로 이루어지는 세라믹 기판, 실리콘 기판, 화합물 반도체 기판, 사파이어 기판, 석영 기판 등이다. 또, 기판 (15) 은, 기판의 표면 또는 내부에 취성 재료에 해당하지 않는 박막 혹은 반도체 재료를 부착시키거나, 포함시키거나 한 것이어도 된다.

스크라이브 장치 (1) 는, 테이블 (14) 에 재치된 기판 (15) 의 상방에, 이 기판 (15) 의 표면 (H) 에 형성된 얼라이먼트 마크를 촬상하는 2 대의 카메라 (16) 를 구비하고 있다. 또, 이동대 (10) 와 그 상부의 테이블 (14) 에 걸치도록, 브릿지 (17) 가 지주 (18a, 18b) 에 가설되어 있다.

브릿지 (17) 에는, 가이드 (19) 가 장착되어 있다. 스크라이브 헤드 (20) 는, 이 가이드 (19) 에 안내되어 X 축 방향으로 이동하도록 설치되어 있다. 스크라이브 헤드 (20) 는, 하단에 홀더 조인트 (21) 를 구비하고 있다. 홀더 (31) 에 스크라이빙 휠 (50) 이 유지되어 있는 홀더 유닛 (30) 이, 홀더 조인트 (21) 를 개재하여 스크라이브 헤드 (20) 에 장착되어 있다.

스크라이브 장치 (1) 를 사용하여 기판 (15) 의 표면 (H) 에 스크라이브 라인을 형성하는 경우, 먼저, 스크라이빙 휠 (50) 이 장착된 홀더 유닛 (30) 이 스크라이브 헤드 (20) 에 장착된다. 다음으로, 스크라이브 장치 (1) 는, 1 쌍의 카메라 (16) 에 의해 기판 (15) 의 위치 결정을 실시한다. 그리고, 스크라이브 장치 (1) 는, 스크라이브 헤드 (20) 를 소정의 위치로 이동시키고, 스크라이빙 휠 (50) 에 대하여 소정의 하중을 인가하여, 기판 (15) 에 접촉시킨다. 그 후, 스크라이브 장치 (1) 는, 스크라이브 헤드 (20) 를 X 축 방향으로 이동시킴으로써, 기판 (15) 의 표면에 소정의 스크라이브 라인을 형성한다. 또한, 스크라이브 장치 (1) 는, 필요에 따라 테이블 (14) 을 회동 내지 Y 축 방향으로 이동하고, 상기의 경우와 동일하게 하여 스크라이브 라인을 형성한다.

상기 실시형태에 있어서는, 스크라이브 헤드 (20) 가 X 축 방향으로 이동하고, 테이블 (14) 이 Y 축 방향으로 이동함과 함께, 회전하는 스크라이브 장치에 대해 나타냈지만, 스크라이브 장치는 스크라이브 헤드와 테이블이 상대적으로 이동하는 것이면 된다. 예를 들어, 스크라이브 헤드가 고정되고, 테이블이 X 축, Y 축 방향으로 이동하고, 또한 회전하는 스크라이브 장치여도 된다. 또, 이 경우, 카메라 (16) 는 스크라이브 헤드 (20) 에 고정되어 있어도 된다.

＜홀더 유닛＞

다음으로, 홀더 유닛 (30) 에 대해 설명한다. 도 2(a) 는, 홀더 유닛 (30) 및 홀더 유닛 (30) 이 장착된 홀더 조인트 (21) 의 측면도이다. 도 2(b) 는, 홀더 유닛 (30) 의 사시도이고, 도 2(c) 는, 홀더 유닛 (30) 의 분해 사시도이다. 또한, 도 2(a) 는, 설명의 편의상, 홀더 조인트 (21) 의 회전축부 (211), 2 개의 베어링 (213a, 213b), 스페이서 (214) 를 단면도로 나타내고 있다.

홀더 유닛 (30) 은, 홀더 조인트 (21) 에 유지되고, 스크라이브 헤드 (20) 에 장착된다. 또, 홀더 유닛 (30) 은, 스크라이빙 휠 (50) 과, 홀더 (31) 와, 핀축 (32) 이 일체로 되어 구성된다. 홀더 (31) 는, 자기 흡착이 가능한 재료 (예를 들어, 자성체 금속) 로 되어 있다.

홀더 조인트 (21) 는, 원주상의 회전축부 (211) 와, 원주상의 조인트부 (212) 와, 2 개의 베어링 (213a, 213b) 과, 원통 형상의 스페이서 (214) 를 구비하고 있다. 회전축부 (211) 가, 2 개의 베어링 (213a, 213b) 과, 스페이서 (214) 에 의해 지지되어 있다. 이로써, 회전축부 (211) 와 조인트부 (212) 가 자유롭게 회전할 수 있도록 지지되어 있다. 조인트부 (212) 에는, 하단측에 원형의 개구 (215) 를 구비한 구멍 (216) 이 형성되어 있다. 구멍 (216) 의 상부에, 자석 (217) 이 설치되어 있다. 자석 (217) 은, 홀더 유닛 (30) 에 자력을 작용시키기 위한 것이다.

홀더 (31) 의 상부에는 위치 결정용의 장착부 (22) 가 형성되어 있다. 이 장착부 (22) 는, 홀더 (31) 의 상부를 노치하여 형성되어 있고, 경사부 (22a) 와 평탄부 (22b) 를 구비하고 있다.

장착부 (22) 측을 위로 하여, 홀더 유닛 (30) 이 개구 (215) 로부터 구멍 (216) 에 삽입된다. 그 때, 홀더 (31) 의 상면이 구멍 (216) 의 상부의 자석 (217) 에 의해 끌어당겨진다. 그 도중에, 장착부 (22) 의 경사부 (22a) 가 구멍 (216) 을 통과하는 평행 핀 (218) 과 접촉한다. 이로써, 홀더 조인트 (21) 에 대한 홀더 유닛 (30) 의 위치 결정과 고정이 실시된다. 또, 홀더 조인트 (21) 로부터 홀더 유닛 (30) 을 분리할 때에는, 자력에 저항하여 홀더 (31) 를 하방으로 당김으로써 홀더 유닛 (30) 을 용이하게 빼낼 수 있다.

또한, 홀더 (31) 는, 반드시 전체가 자성체 금속으로 형성되지 않아도 되고, 유지부 (33a, 33b) 가 위치하는 하부가 자성이 없는 재료로 형성되고, 그 밖의 부분이 자성체로 형성되어도 된다.

스크라이빙 휠 (50) 은, 예를 들어, 소결 다이아몬드나 초경합금 등으로 형성된 원판상의 부재이다. 스크라이빙 휠 (50) 에는, 핀축 (32) 이 삽입되는 관통공 (51) 이 형성되어 있다. 관통공 (51) 은, 스크라이빙 휠 (50) 의 양 측면의 중심을 관통하도록 형성되어 있다. 또, 스크라이빙 휠 (50) 의 외주부에는, 능선을 형성하는 V 자 형상의 날이 형성되어 있다. 스크라이빙 휠 (50) 은, 예를 들어, 두께가 0.4 ∼ 1.1 ㎜ 정도, 외경이 1.0 ∼ 5.0 ㎜ 정도이다. 또, 관통공 (51) 의 직경은, 예를 들어 0.4 ∼ 1.5 ㎜ 정도, 날의 날끝각은 90 ∼ 150°정도이다.

핀축 (32) 은, 예를 들어, 소결 다이아몬드나 초경합금 등으로 형성된 부재이다. 본 실시형태에서는, 핀축 (32) 은 원주상의 부재이고, 단부 (32a, 32b) 가 평면상으로 형성되어 있다. 핀축 (32) 의 직경은, 스크라이빙 휠 (50) 의 관통공 (51) 의 직경보다 약간 작다. 따라서, 핀축 (32) 이 관통공 (51) 에 삽입된 상태에서는, 핀축 (32) 과 관통공 (51) 사이에 간극이 생긴다.

도 2(a) 에 나타내는 바와 같이, 홀더 (31) 의 하부는, 측면 요컨대 Y 축의 정측에서 본 경우에, 하단을 향하여 폭이 좁아지는 사다리꼴 형상으로 되어 있다. 또, 도 2(b), (c) 에 나타내는 바와 같이, 홀더 (31) 의 사다리꼴 형상 부분에는, 각각 유지부 (33a, 33b) 가 형성되고, 유지부 (33a, 33b) 와의 사이에 유지 홈 (34) 이 형성되어 있다. 유지 홈 (34) 은, X 축 정측의 측면에서 본 경우에, 상부는 원호상으로, 하부는 사각형상으로 각각 형성되어 있다. 유지 홈 (34) 의 하부에, 스크라이빙 휠 (50) 이 삽입된다. 유지 홈 (34) 의 하부의 내측면 (34a, 34b) 은, 수평면 (XY 평면) 에 수직이다.

홀더 (31) 의 X 축 정측 및 부측의 외측면에는, 내방으로 오목해져 있는 오목부 (35a, 35b) 가 형성되어 있다. 이 오목부 (35a, 35b) 는, 홀더 조인트 (21) 에 홀더 유닛 (30) 을 착탈할 때, 조작자의 손잡이 부분 (손가락을 거는 부분) 으로서 기능한다.

유지부 (33a, 33b) 에는, 핀축 (32) 및 스토퍼 (60a, 60b) 를 수용하는 핀 구멍 (36a, 36b) 이, 유지 홈 (34) 에 걸치도록 동축 상에 형성되어 있다. 본 실시형태에서는, 핀 구멍 (36a, 36b) 은, 중심축이 Y 축에 평행이 되도록 형성되어 있다. 유지부 (33a, 33b) 의 Y 축 정측 및 부측의 하부 (37a, 37b) 의 일부는 노치되어 있다. 핀 구멍 (36a, 36b) 의 스크라이빙 휠 (50) 과는 반대측의 단부 (39a, 39b) 는, 이 노치된 면 (38a, 38b) 에 포함된다. 유지부 (33a, 33b) 의 바닥면 (40a, 40b) 은, XY 평면에 평행이 되도록 형성되어 있다. 바닥면 (40a, 40b) 과 면 (38a, 38b) 은 대략 직교한다. 유지부 (33a, 33b) 의 X 축 정측 및 부측의 외측면은, 바닥면 (40a, 40b) 에 걸쳐 원호상으로 만곡된 면이 형성되어 있다.

홀더 (31) 는, 스테인리스나 탄소 공구강으로 형성된다. 또한, 도 2(b), (c) 의 구성에서는, 홀더 (31) 가 1 개의 기재로 구성되어 있지만, 예를 들어, 유지부 (33a, 33b) 를 각각 갖는 2 개의 기재를 본체 부분에 고정시킴으로써 홀더 (31) 가 형성되어도 된다.

스토퍼 (60a, 60b) 는, 본 실시형태에서는 구체이다. 스토퍼 (60a, 60b) 는, 예를 들어, 스테인리스강 등의 금속, 또는 ABS 수지 등의 합성 수지에 의해 형성된다. 스토퍼 (60a, 60b) 는, 강성이 큰 금속 및 합성 수지이면, 상기 재질에 한정되지 않는다.

도 3 은, 홀더 유닛 (30) 의 X 축 방향에서 본 확대 단면도이다. 핀 구멍 (36a, 36b) 에, 핀 구멍 (36a, 36b) 의 내주면의 전체 둘레에 걸쳐 단부 (41a, 41b) 가 형성된다. 핀 구멍 (36a, 36b) 은, 이 단부 (41a, 41b) 를 개재하여, 제 1 영역 (361a, 361b) 과 제 2 영역 (362a, 362b) 으로 구분된다. 제 1 영역 (361a, 361b) 은, 스크라이빙 휠 (50) 과는 반대측의 단부 (39a, 39b) 를 포함하는 영역이다. 제 2 영역 (362a, 362b) 은, 제 1 영역 (361a, 361b) 에 이어지는 영역이고, 핀축 (32) 이 유지된다.

제 1 영역 (361a, 361b) 의 직경, 즉, 단부 (39a, 39b) 의 직경은, 스토퍼 (60a, 60b) 의 직경보다 약간 작다. 제 2 영역 (362a, 362b) 의 직경은, 단부 (39a, 39b) 의 직경, 즉 제 1 영역 (361a, 361b) 의 직경보다 약간 작고, 핀축 (32) 의 직경보다 약간 크다. 또, 제 2 영역 (362a, 362b) 의 직경은, 스크라이빙 휠 (50) 의 관통공 (51) 의 직경과 대략 동일하거나 약간 작다.

스크라이빙 휠 (50) 이 유지 홈 (34) 에 삽입된 상태에서, 스크라이빙 휠 (50) 의 관통공 (51) 과 핀 구멍 (36a, 36b) 즉 제 2 영역 (362a, 362b) 에 핀축 (32) 이 삽입된다. 상기와 같이, 핀 구멍 (36a, 36b) 은, 중심축이 Y 축에 평행이 되도록 유지부 (33a, 33b) 에 형성되어 있기 때문에, 제 2 영역 (362a, 362b) 및 관통공 (51) 에 삽입된 핀축 (32) 은, 기판 (15) 의 표면 (H) 과 평행한 방향 (XY 평면에 평행한 방향) 에 배치된다. 또, 핀축 (32) 은, 관통공 (51) 보다 약간 작은 직경이다. 이 때문에, 핀축 (32) 이 관통공 (51) 및 제 2 영역 (362a, 362b) 에 삽입되면, 핀축 (32) 은, 회전이 허용된다.

제 1 영역 (361a, 361b) 에 스토퍼 (60a, 60b) 를 수용하는 경우, 단부 (39a, 39b) 로부터 스토퍼 (60a, 60b) 를 압입에 의해 끼워넣는다. 이 때, 스토퍼 (60a, 60b) 는, 제 1 영역 (361a, 361b) 을 스크라이빙 휠 (50) 을 향하여 진입하지만, 단부 (41a, 41b) 에 접촉함으로써 멈춘다. 이로써, 스토퍼 (60a, 60b) 는, 제 2 영역 (362a, 362b) 에 진입하는 경우는 없다. 이와 같이, 스토퍼 (60a, 60b) 를 제 1 영역 (361a, 361b) 에 수용한 경우, 제 2 영역 (362a, 362b) 에 수용되어 있는 핀축 (32) 과 스토퍼 (60a, 60b) 의 위치 관계가 적정하게 유지되어, 스토퍼 (60a, 60b) 가 핀축 (32) 의 자세에 영향을 주는 경우가 없다.

또한, 도 3 에서는, 스토퍼 (60a, 60b) 의 일부가 단부 (39a, 39b) 로부터 돌출된 상태가 도시되어 있지만, 예를 들어, 제 1 영역 (361a, 361b) 의 X 축 방향의 거리가 충분히 확보되어 있는 경우, 스토퍼 (60a, 60b) 가 완전히 제 1 영역 (361a, 361b) 내에 수용되도록 단부 (41a, 41b) 를 형성해도 된다.

＜실시형태의 효과＞

예를 들어, 핀 구멍 (36a, 36b) 의 단부 (39a, 39b) 를 공구 등으로 세게 박아 단부 (39a, 39b) 를 코킹한 경우, 핀 구멍 (36a, 36b) 에 충격이 가해져, 그 단부는 적잖이 변형된다. 이에 대하여, 본 실시형태에서는, 도 2(a) ∼ (c), 도 3 에 나타내는 바와 같이, 핀 구멍 (36a, 36b) 및 스크라이빙 휠 (50) 의 관통공 (51) 에 핀축 (32) 을 삽입한 후, 스토퍼 (60a, 60b) 가 핀축 (32) 의 탈락을 방지하도록 제 1 영역 (361a, 361b) 에 형성된다. 따라서, 핀축 (32) 을 유지하는 영역인 제 2 영역 (362a, 362b) 의 형상이 변화되는 경우가 없다. 이로써, 홀더 (31) 내에 있어서의 핀축 (32) 의 자세에 미치는 영향은 적어, 핀축 (32) 은 보다 안정된 자세를 유지할 수 있다. 이로써, 스크라이빙 휠 (50) 은 안정적으로 회전하여, 기판 (15) 의 표면 (H) 에 양호한 스크라이브 라인을 형성할 수 있다.

도 2(a) ∼ (c), 도 3 에 나타내는 바와 같이, 스토퍼 (60a, 60b) 는, 제 1 영역 (361a, 361b) 에 압입에 의해 끼워넣어진다. 이 때문에, 스토퍼 (60a, 60b) 는 제 1 영역 (361a, 361b) 의 내측면에 간극 없이 밀착하여, 강고하게 고정된다. 따라서, 스토퍼 (60a, 60b) 는, 제 1 영역 (361a, 361b) 으로부터 빠질 우려는 없어, 핀축 (32) 이 핀 구멍 (36a, 36b) 으로부터 빠지는 것을 확실하게 방지한다. 또, 압입에 의해, 스토퍼 (60a, 60b) 를 간단히 제 1 영역 (361a, 361b) 에 수용할 수 있다.

도 3 에 나타내는 바와 같이, 핀 구멍 (36a, 36b) 의 제 1 영역 (361a, 361b) 과 제 2 영역 (362a, 362b) 의 경계에 단부 (41a, 41b) 가 형성되어 있다. 이로써, 스토퍼 (60a, 60b) 는, 단부 (41a, 41b) 에 접촉함으로써 멈춘다. 이로써, 스토퍼 (60a, 60b) 는, 그 이상 핀 구멍 (36a, 36b) 의 내부에 진입할 수 없어, 스토퍼 (60a, 60b) 가 제 2 영역 (362a, 362b) 에 진입하는 경우는 없다. 따라서, 스토퍼 (60a, 60b) 와 핀축 (32) 의 위치 관계를 적정하게 유지할 수 있다. 이로써, 핀축 (32) 은 스토퍼 (60a, 60b) 에 원하지 않는 제한을 받지 않고, 적정한 상태로 유지된다. 이로써, 스토퍼 (60a, 60b) 가 핀축 (32) 의 자세에 영향을 주는 경우가 없어, 핀축 (32) 은 자유롭게 회전할 수 있다. 그 결과, 스크라이빙 휠 (50) 은 안정적으로 회전하여, 기판 (15) 의 표면 (H) 에 스크라이브 라인을 원활하게 형성할 수 있다.

상기와 같이, 스토퍼 (60a, 60b) 와 핀축 (32) 의 위치 관계가 적정하게 유지되도록, 스토퍼 (60a, 60b) 는 제 1 영역 (361a, 361b) 에 수용된다. 그러나, 스크라이브 동작 중, 핀축 (32) 은 회전에 의해, 다소 제 2 영역 (362a, 362b) 을 Y 축 방향으로 이동하여, 핀축 (32) 이 스토퍼 (60a, 60b) 에 접촉하는 경우가 있다. 이 점에 관하여, 도 2(a), (b), 도 3 에 나타내는 바와 같이, 핀축 (32) 은, 원주상의 부재이고, 단부 (32a, 32b) 는, 평면상으로 형성되어 있다. 따라서, 핀축 (32) 이 스토퍼 (60a, 60b) 에 접촉한 경우, 그 접촉은 점 접촉, 요컨대, 핀축 (32) 과 스토퍼 (60a, 60b) 는 1 점에서 접촉한 상태이다. 이 때문에, 스토퍼 (60a, 60b) 가 핀축 (32) 의 회전에 미치는 영향은 최소한으로 억제된다. 따라서, 핀축 (32) 은, 안정적인 회전을 계속할 수 있다.

도 2(a), (b), 도 3 에 나타내는 바와 같이, 스토퍼 (60a, 60b) 는 구체이다. 따라서, 스토퍼 (60a, 60b) 를 압입에 의해 제 1 영역 (361a, 361b) 에 수용하면, 스토퍼 (60a, 60b) 는, 제 1 영역 (361a, 361b) 의 내측면에 간극 없이 밀착한다. 따라서, 스크라이브 동작 중, 컬릿이 단부 (39a, 39b) 로부터 침입하는 경우는 없다. 따라서, 핀축 (32) 은, 안정적으로 계속 회전할 수 있다. 그 결과, 스크라이빙 휠 (50) 은, 안정적으로 회전하여, 기판 (15) 의 표면 (H) 에 스크라이브 라인을 원활하게 형성할 수 있다.

도 2(b), (c) 에 나타내는 바와 같이, 홀더 유닛 (30) 에 있어서의 조작자의 손잡이 부분인 오목부 (35a, 35b) 는, 유지부 (33a, 33b) 에 있어서, 핀축 (32) 과 직교하는 쪽의 외측면에 배치된다. 이와 같은 위치에 오목부 (35a, 35b) 가 배치되어 있기 때문에, 조작자는 손가락을 홀더 유닛 (30) 에 걸기 쉽다. 따라서, 조작자는, 홀더 조인트 (21) 에 홀더 유닛 (30) 을 용이하게 착탈할 수 있다.

＜실시형태의 변경예＞

다음으로, 상기 실시형태의 변경예 1 ∼ 4 에 대해, 도 4(a) ∼ 도 5(b) 에 기초하여 설명한다. 도 4(a), (b) 는, 홀더 유닛 (30) 의 X 축 방향에서 본 확대 단면도이다. 도 5(a) 는, 홀더 유닛 (30) 의 X 축 방향에서 본 확대 단면도이다. 도 5(b) 는, 홀더 유닛 (30) 의 저면도이다.

[변경예 1]

도 4(a) 에 나타내는 바와 같이, 변경예 1 에 관련된 홀더 유닛 (30) 은, 상기 실시형태에 있어서 형성되어 있던 단부 (41a, 41b) 를 형성하지 않는 구성이다.

변경예 1 에 관련된 홀더 유닛 (30) 에 있어서, 제 1 영역 (361a, 361b) 은, 스크라이빙 휠 (50) 과 반대측의 단부 (39a, 39b) 로부터 제 2 영역 (362a, 362b) 에 가까워짐에 따라 제 2 영역 (362a, 362b) 의 직경에 가까워지는 테이퍼상으로 형성된다. 그 밖의 구성은, 상기 실시형태와 동일하다.

상기 변경예 1 의 구성에 있어서, 제 1 영역 (361a, 361b) 은, 스크라이빙 휠 (50) 의 반대측의 단부 (39a, 39b) 로부터 스크라이빙 휠 (50) 을 향하여 차츰 좁아지도록 형성되어 있다. 스토퍼 (60a, 60b) 를 제 1 영역 (361a, 361b) 에 압입에 의해 형성하는 경우, 스토퍼 (60a, 60b) 는, 제 1 영역 (361a, 361b) 내에 진입하지만, 제 1 영역 (361a, 361b) 의 도중에서 정지하여, 제 2 영역 (362a, 362b) 에 진입할 수 없다. 따라서, 스토퍼 (60a, 60b) 와 핀축 (32) 의 위치 관계를 적정하게 유지할 수 있다. 이로써, 핀축 (32) 은 스토퍼 (60a, 60b) 에 원하지 않는 제한을 받지 않고, 적정한 상태로 유지된다. 그 결과, 스크라이빙 휠 (50) 은 안정적으로 회전하여, 기판 (15) 의 표면 (H) 에 스크라이브 라인을 원활하게 형성할 수 있다.

또한, 제 1 영역 (361a, 361b) 의 측면 및 바닥면에서 본 경우의 형상이 테이퍼상이기 때문에, 예를 들어, 스토퍼 (60a, 60b) 에 과잉의 압력을 부여하면, 제 2 영역 (362a, 362b) 에 진입할 우려가 있다. 그 때문에, 변경예 1 의 구성에서는, 제 2 영역 (362a, 362b) 에 진입하는 것을 확실하게 방지하기 위해, 스토퍼 (60a, 60b) 에 적절히 압력을 부여한다. 이로써, 스토퍼 (60a, 60b) 는, 제 1 영역 (361a, 361b) 의 도중에서 멈추어, 제 2 영역 (362a, 362b) 에 크게 진입하는 경우가 없다.

[변경예 2]

변경예 2 에 관련된 홀더 유닛 (30) 은, 도 4(b) 에 나타내는 바와 같이, 스토퍼 (70a, 70b) 가 원주상의 부재로 구성되어 있고, 핀축 (42) 의 단부 (42a, 42b) 가 첨두 (尖頭) 형상이다. 그 밖의 구성은, 상기 실시형태와 동일하다.

스토퍼 (70a, 70b) 는 원주상의 부재이고, 스토퍼 (70a, 70b) 의 단부 (71a, 71b) 는, 평면상으로 형성되어 있다. 따라서, 핀축 (42) 이 스크라이브 동작 중에, 핀축 (42) 의 회전축 방향과 수직인 방향으로 이동하여, 핀축 (42) 이 스토퍼 (70a, 70b) 에 접촉한 경우, 그 접촉은 점 접촉, 요컨대, 핀축 (32) 과 스토퍼 (70a, 70b) 는 1 점에서 접촉한 상태이다. 이 때문에, 스토퍼 (70a, 70b) 가 핀축 (42) 의 회전에 미치는 영향은 최소한으로 억제된다. 따라서, 핀축 (42) 은, 안정된 자세로 회전을 계속할 수 있어, 스크라이빙 휠 (50) 은 기판 (15) 의 표면 (H) 에 스크라이브 라인을 형성할 수 있다.

또한, 변경예 2 의 구성은, 상기 변경예 1 의 구성에도 적용 가능하다. 즉, 원주상의 스토퍼 (70a, 70b) 를, 테이퍼상으로 형성된 제 1 영역 (361a, 361b) 에 수용할 수 있다.

또, 실시형태 및 변경예 1 의 구성에 있어서, 핀축 (32) 의 단부 (42a, 42b) 가 첨두 형상으로 되어 있어도 된다.

[변경예 3]

변경예 3 에 관련된 홀더 유닛 (30) 은, 도 5(a) 에 나타내는 바와 같이, 핀축 (43) 의 일방의 단부 (43a) 는 첨두 형상이고, 다른 일방의 단부 (43b) 는 평면상으로 형성되어 있다. 그리고, 첨두 형상의 단부 (43a) 측이 핀 구멍 (36b) 의 제 2 영역 (362a) 에 수용되고, 평면상의 단부 (43b) 측이 핀 구멍 (36a) 의 제 2 영역 (362b) 에 수용된다. 이 경우, 제 2 영역 (362a) 에 이어지는 제 1 영역 (361a) 에는, 구체의 스토퍼 (60a) 가 수용되고, 제 2 영역 (362b) 에 연결되는 제 1 영역 (361b) 에는, 원주상의 스토퍼 (70b) 가 수용된다. 원주상의 스토퍼 (70b) 의 단부 (71b) 는, 평면상으로 형성되어 있다.

상기 실시형태에서 설명한 바와 같이, 단부 (43a) 와 구체의 스토퍼 (60a) 는 점 접촉한다. 한편, 상기 변경예 2 에서 설명한 바와 같이, 단부 (43b) 와 원주상의 스토퍼 (70b) 도 점 접촉한다. 따라서, 스토퍼 (60a, 70b) 에 핀축 (42) 이 접촉한 경우, 스토퍼 (60a, 70b) 가 핀축 (42) 의 회전에 미치는 영향은 최소한으로 억제된다. 따라서, 핀축 (42) 은, 안정된 자세로 회전을 계속할 수 있어, 스크라이빙 휠 (50) 은 기판 (15) 의 표면 (H) 에 스크라이브 라인을 형성할 수 있다.

또한, 변경예 3 의 구성은, 상기 변경예 1 의 구성에도 적용 가능하다.

[변경예 4]

도 5(b) 에 나타내는 바와 같이, 변경예 4 에 관련된 홀더 유닛 (30) 은, 핀 구멍 (36a, 36b) 이, 유지 홈 (34) 의 내측면에 수직인 방향에 대하여, 적어도 기판 (15) 의 표면 (H) 에 평행한 방향 (XY 평면에 평행한 방향) 으로 기울어지도록 형성되어 있다. 그 밖의 구성은, 상기 실시형태와 동일하다.

스크라이빙 휠 (50) 이 유지 홈 (34) 에 삽입된 상태에서, 스크라이빙 휠 (50) 의 관통공 (51) 과 핀 구멍 (36a, 36b) 에 핀축 (32) 이 삽입된다. 상기와 같이, 핀 구멍 (36a, 36b) 은, 유지 홈 (34) 의 내측면 (34a, 34b) 에 수직인 방향에 대하여 기울어지도록 형성되어 있기 때문에, 핀 구멍 (36a, 36b) 및 관통공 (51) 에 삽입된 핀축 (32) 은, 유지 홈 (34) 의 내측면 (34a, 34b) 에 수직인 방향에 대하여, 적어도 기판 (15) 의 표면 (H) 에 평행한 방향 (XY 평면에 평행한 방향) 으로 기울어져 있다.

이와 같이 핀 구멍 (36a, 36b) 을 형성한 경우, 스크라이브 동작에 있어서, 스크라이빙 휠 (50) 이 기판 (15) 의 표면 (H) 에 가압되면, 그 반력에 의해, 스크라이빙 휠 (50) 이 핀축 (32) 에 수직인 자세가 되도록, 스크라이빙 휠 (50) 에 회전력이 생긴다. 이로써, 스크라이빙 휠 (50) 의 양 측면이, 각각 유지 홈 (34) 의 서로 대향하는 내측면 (34a, 34b) 에 가압된다. 이 때문에, 스크라이브 동작에 있어서, 스크라이빙 휠 (50) 이 핀축 (32) 을 따라 이동하는 것이 억제되고, 이로써, 스크라이브 라인의 형성 위치를 안정시킬 수 있다.

또한, 도시되지 않지만, 핀 구멍 (36a, 36b) 이, 유지 홈 (34) 의 내측면에 수직인 방향에 대하여, 기판 (15) 의 표면 (H) 에 수직인 방향으로 기울어지도록 형성되어도 된다. 이 경우에도, 스크라이브 동작에 있어서, 스크라이빙 휠 (50) 이 기판 (15) 의 표면 (H) 에 가압되면, 그 반력에 의해, 스크라이빙 휠 (50) 이 핀축 (32) 에 수직인 자세가 되도록, 스크라이빙 휠 (50) 에 회전력이 생긴다. 이로써, 스크라이빙 휠 (50) 의 양 측면이, 각각 유지 홈 (34) 의 서로 대향하는 내측면 (34a, 34b) 에 가압된다. 이 때문에, 스크라이브 동작에 있어서, 스크라이빙 휠 (50) 이 핀축 (32) 을 따라 이동하는 것이 억제되고, 이로써, 스크라이브 라인의 형성 위치를 안정시킬 수 있다.

[그 밖의 변경예]

상기한 실시형태 및 변경예 1 에서 설명한 핀 구멍의 형상이 조합되어도 된다. 요컨대, 일방의 핀 구멍 (36a) 에는, 제 1 영역 (361a) 과 제 2 영역 (362a) 사이에 단부 (41a) 가 형성된다. 타방의 핀 구멍 (36b) 은, 제 1 영역 (361b) 이, 스크라이빙 휠 (50) 과 반대측의 단부 (39b) 로부터 스크라이빙 휠 (50) 을 향하여 테이퍼상으로 형성된다.

이와 같이 핀 구멍 (36a, 36b) 이 형성된 경우도, 핀축 (32) 은 스토퍼 (60a, 60b) 에 회전을 방해받지 않고 안정적으로 회전할 수 있다. 그 결과, 스크라이빙 휠 (50) 은 원활하게 회전하여, 기판 (15) 의 표면 (H) 에 스크라이브 라인을 형성할 수 있다.

상기 실시형태 및 변경예 1 ∼ 4 에서는, 스토퍼 (60a, 60b) 및 스토퍼 (70a, 70b) 가, 압입에 의해 핀 구멍 (36a, 36b) 에 끼워넣어졌지만, 예를 들어, 접착이나 스폿 용접에 의해, 핀 구멍 (36a, 36b) 에 스토퍼 (60a, 60b) 및 스토퍼 (70a, 70b) 가 고정되어도 된다. 이러한 수법은, 압입을 실시한 경우와 동일하게, 핀 구멍 (36a, 36b) 의 변형을 억제할 수 있다. 따라서, 핀 구멍의 변형에 의해 핀축 (32) 에 미치는 영향은 적어, 핀축 (32) 은 안정된 자세를 유지할 수 있다. 이로써, 스크라이빙 휠은 안정된 자세로 회전하여, 스크라이브 동작을 실시할 수 있다.

그 밖에, 스토퍼는, 반드시 구나 원주 형상이 아니어도 되고, 예를 들어, 타원 형상이어도 된다. 단, 스토퍼가 타원 형상인 경우, 스토퍼와 제 1 영역 사이에 간극이 생기고, 이 간극으로부터 컬릿이 내부에 침입하는 경우가 발생할 수 있다. 따라서, 컬릿의 침입을 방지하기 위해서는, 상기 실시형태나 변경예 2 와 같이, 스토퍼가 구 또는 원주상의 부재로 구성되고, 제 1 영역이 스토퍼로 완전히 막히는 구성인 것이 바람직하다.

또, 핀축의 단부와 스토퍼 사이에는, 반드시 간극이 생기지 않아도 되고, 핀축의 양 단과 스토퍼가 거의 접촉한 상태여도 된다. 또한, 핀축 (32, 42) 은, 반드시 핀 구멍 (36a, 36b) 에 대하여 회전하지 않아도 된다.

본 발명의 실시형태는, 특허청구범위에 나타난 기술적 사상의 범위 내에 있어서, 적절히 여러 가지의 변경이 가능하다.

1 : 스크라이브 장치
15 : 기판
20 : 스크라이브 헤드
30 : 홀더 유닛
32, 42, 43 : 핀축
33a, 33b : 유지부
34 : 유지 홈
36a, 36b : 핀 구멍
361a, 361b : 제 1 영역
362a, 362b : 제 2 영역
39a, 39b : 핀 구멍의 단부
41a, 41b : 단부
50 : 스크라이빙 휠
51 : 관통공
60a, 60b : 구체 (스토퍼)
70a, 70b : 원주상의 부재 (스토퍼)
H : 기판의 표면

Claims (8)

1. 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하기 위한 스크라이빙 휠을 유지하는 홀더 유닛으로서,
   1 쌍의 유지부와,
   상기 1 쌍의 유지부 사이에 형성되고, 상기 스크라이빙 휠이 삽입되는 유지 홈과,
   상기 유지 홈에 걸쳐서 상기 1 쌍의 유지부에 동축 상에 형성된 핀 구멍과,
   상기 유지 홈에 삽입된 상기 스크라이빙 휠의 관통공과 상기 핀 구멍에 삽입되는 핀축과,
   상기 핀 구멍의 상기 스크라이빙 휠과는 반대측의 단부 (端部) 에 끼워넣어지는 스토퍼를 구비하는 것을 특징으로 하는 홀더 유닛.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 스토퍼는, 상기 핀 구멍에 압입에 의해 끼워넣어지는 것을 특징으로 하는 홀더 유닛.
3. 제 1 항에 있어서,
   상기 핀 구멍은, 상기 단부에 형성되고 상기 스토퍼의 끼워넣기를 허용하는 직경의 제 1 영역과, 상기 제 1 영역에 이어지고 상기 스토퍼의 끼워넣기를 제한하는 직경의 제 2 영역을 갖고 있고,
   상기 제 1 영역에, 상기 스토퍼가 수용되고,
   상기 제 2 영역에, 상기 핀축이 수용되는 것을 특징으로 하는 홀더 유닛.
4. 제 3 항에 있어서,
   상기 제 1 영역과 상기 제 2 영역 사이에 단부 (段部) 가 형성되는 것을 특징으로 하는 홀더 유닛.
5. 제 3 항에 있어서,
   상기 핀 구멍은, 상기 제 1 영역은, 상기 스크라이빙 휠과 반대측의 단부로부터 상기 제 2 영역에 가까워짐에 따라 상기 제 2 영역의 직경에 가까워지는 테이퍼상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 홀더 유닛.
6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 스토퍼는, 상기 1 쌍의 유지부의 각각에 형성되는 각각의 상기 핀 구멍에 있어서, 상기 스크라이빙 휠과는 반대측의 단부에 끼워넣어지는 것을 특징으로 하는 홀더 유닛.
7. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 스토퍼는, 구체인 것을 특징으로 하는 홀더 유닛.
8. 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 장치로서,
   1 쌍의 유지부와,
   상기 1 쌍의 유지부 사이에 형성되고, 스크라이빙 휠이 삽입되는 유지 홈과,
   상기 유지 홈에 걸쳐서 상기 1 쌍의 유지부에 동축 상에 형성된 핀 구멍과,
   상기 유지 홈에 삽입된 상기 스크라이빙 휠의 관통공과 상기 핀 구멍에 삽입되는 핀축과,
   상기 핀 구멍의 상기 스크라이빙 휠과는 반대측의 단부에 끼워넣어지는 스토퍼
   를 구비하는 홀더 유닛과,
   상기 기판의 표면에 수직인 축의 둘레로 회전 가능하게 상기 홀더 유닛을 유지하는 스크라이브 헤드를 구비하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.

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