CN110614725B - 保持架单元以及刻划装置 - Google Patents

Abstract

一种保持架单元以及刻划装置，刻划轮能够在基板的表面稳定地旋转而形成良好的刻划线。保持用于在基板(15)的表面(H)形成刻划线的刻划轮(50)的保持架单元(30)具备：一对保持部(33a、33b)；保持槽(34)，形成于一对保持部(33a、33b)之间，供刻划轮(50)插入；销孔(36a、36b)，跨越保持槽(34)而同轴地形成于一对保持部(33a、33b)；销轴(32)，向插入于保持槽(34)的刻划轮(50)的贯通孔(51)和销孔(36a、36b)插入；以及限位器(60a、60b)，嵌入销孔(36a、36b)的与刻划轮(50)相反一侧的端部(39a、39b)。

Description

保持架单元以及刻划装置

技术领域

本发明涉及具备用于在基板的表面形成刻划线的刻划轮的保持架单元以及具备这样的保持架单元的刻划装置。

背景技术

以往，玻璃基板等脆性材料基板的分割是通过在基板的表面形成刻划线的刻划工序和沿形成的刻划线对基板的表面附加预定的力的折断工序来进行的。在刻划工序中，一边将刻划轮的刀口向基板的表面按压，一边使其沿预定的线移动。刻划装置是通过安装保持有刻划轮的保持架单元而被使用的。

在以下的专利文献1中公开有通过使刻划轮一边在基板的表面旋转一边前进而在基板表面形成刻划线的保持架单元。在该保持架单元中，保持架具备形成用于配置刻划轮的保持槽的一对支承部。在一对支承部形成有销孔，销被配置为在销孔中与保持架之间设有间隙。由此，销能够与刻划轮的旋转一并地旋转。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特许第6076770号公报

发明内容

发明所要解决的课题

在专利文献1中构成为，在分别形成于一对支承部的销孔中，通过对与刻划轮相反侧的开口部附近的内壁进行凿密而形成爪部，销不会从销孔脱落。但是，该结构会导致销孔的与刻划轮相反侧的开口部周边、销孔的内壁严重变形。由此，存在销的姿态不稳定、刻划动作中的刻划轮的旋转不稳定的情况。

鉴于该课题，本发明的目的在于提供刻划轮能够在基板的表面稳定地旋转而形成良好的刻划线的保持架单元以及具备上述那样的保持架单元的刻划装置。

用于解决课题的技术方案

本发明的主要技术方案涉及一种保持架单元，保持用于在基板的表面形成刻划线的刻划轮。该技术方案所涉及的保持架单元具备：一对保持部；保持槽，形成于所述一对保持部之间，供所述刻划轮插入；销孔，跨越所述保持槽而同轴地形成于所述一对保持部；销轴，向插入于所述保持槽的所述刻划轮的贯通孔与所述销孔插入；以及限位器，嵌入所述销孔的与所述刻划轮相反侧的端部。

采用本技术方案所涉及的保持架单元，例如，无需实施对与刻划轮相反侧的销孔的端部进行凿密等导致销孔变形那样的加工。由此，因销孔的形状而对销轴造成的影响较小，销轴能够维持稳定的姿态。由此，刻划轮能够在基板的表面稳定地旋转，能够形成良好的刻划线。

在本技术方案所涉及的保持架单元中，也可以构成为，所述限位器通过压入而被嵌入所述销孔。

根据该结构，限位器被牢固地固定于销孔。由此，不存在限位器脱离销孔的隐患，能够可靠地防止销轴从销孔脱落。另外，能够通过压入而将限位器简单地设于销孔。

在本技术方案所涉及的保持架单元中，也可以构成为，所述销孔具有：第一区域，设于所述端部，具有允许所述限位器的嵌入的直径；以及第二区域，与所述第一区域相连，具有限制所述限位器的嵌入的直径，保持架单元在所述第一区域收容所述限位器，在所述第二区域收容所述销轴。

根据该结构，在将限位器从与刻划轮相反一侧的端部嵌入的情况下，限位器不会进入至第二区域。因此，能够适当地保持收容在第二区域的销轴与收容在第一区域的限位器的位置关系。由此，销轴不会因限位器而受到非期望的限制，能够被维持为恰当的状态。其结果是，刻划轮能够稳定地旋转，能够顺畅地进行刻划动作。另外，采用上述结构，仅通过将限位器嵌入至极限位置就能够将限位器装配于恰当的位置。

在本技术方案所涉及的保持架单元中，也可以构成为，在所述第一区域与所述第二区域之间设有台阶部。

根据该结构，限位器因台阶部而无法进一步进入销孔的内部。由此，能够适当地保持限位器与销轴的位置关系。由此，销轴不会因限位器而受到非期望的限制，能够被维持为恰当的状态。其结果是，刻划轮能够稳定地旋转，能够顺畅地进行刻划动作。

在本技术方案所涉及的保持架单元中，也可以构成为，所述第一区域形成为随着从与所述刻划轮相反侧的端部起靠近所述第二区域而接近所述第二区域的直径的锥状。

根据该结构，销孔的第一区域形成为从与刻划轮相反侧的端部起朝向刻划轮侧变窄。由此，在第一区域的中途，限位器停止，限位器无法进入第二区域。由此，能够适当地保持限位器与销轴的位置关系。由此，销轴不会因限位器而受到非期望的限制，能够被维持为恰当的状态。其结果是，刻划轮能够稳定地旋转，能够顺畅地进行刻划动作。

在本技术方案所涉及的保持架单元中，也可以构成为，所述限位器嵌入分别形成于所述一对保持部的各个所述销孔中的、与所述刻划轮相反侧的端部。

这样，通过在销轴的两端配置限位器而能够将销轴的两端设定为同一状态，能够将销轴维持为更加稳定的状态。由此，刻划轮能够更加稳定地旋转，能够在基板的表面适当地形成刻划线。

在本技术方案所涉及的保持架单元中，也可以构成为，所述限位器是球体。

只要限位器是球体，就能够通过将限位器嵌入圆形的销孔而以限位器可靠地封闭销孔。由此，能够防止来自销孔的端部的玻璃屑等的侵入。

在本技术方案所涉及的保持架单元中，也可以构成为，所述限位器是圆柱状。

只要限位器是圆柱状，就能够通过将限位器嵌入圆形的销孔而以限位器可靠地封闭销孔。由此，能够防止来自销孔的端部的玻璃屑等的侵入。

本发明的第二技术方案涉及一种在基板的表面形成刻划线的刻划装置。该技术方案所涉及的刻划装置具备保持架单元和刻划头，所述保持架单元具备：一对保持部；保持槽，形成于所述一对保持部之间，供刻划轮插入；销孔，跨越所述保持槽而同轴地形成于所述一对保持部；销轴，向插入于所述保持槽的所述刻划轮的贯通孔和所述销孔插入；以及限位器，嵌入所述销孔的与所述刻划轮相反侧的端部，所述刻划头将所述保持架单元保持为能够绕与所述基板的表面垂直的轴旋转。

采用本结构，能够获得与上述第一方式相同的效果。另外，由于销轴的状态稳定，因此构成在基板的表面良好地形成刻划线的刻划装置。

发明效果

如上所述，采用本发明，能够提供刻划轮能够在基板的表面稳定的地旋转而形成良好的刻划线的保持架单元以及具备上述那样的保持架单元的刻划装置。

本发明的效果以及意义通过下文所示的实施方式的说明而将被进一步明确。但是，下文所示的实施方式只是实施本发明的一例，本发明并不局限于下文的实施方式中所记载的内容。

附图说明

图1是示意性地表示具备实施方式所涉及的保持架单元的刻划装置的结构的图。

图2的(a)是安装有实施方式所涉及的保持架单元以及保持架单元的保持架接头的侧视图。图2的(b)是保持架单元的立体图，图2的(c)是实施方式所涉及的保持架单元的分解立体图。

图3是实施方式所涉及的保持架单元的侧面的放大剖视图。

图4的(a)、(b)是实施方式的变形例所涉及的保持架单元的侧面的放大剖视图。

图5的(a)是实施方式的变形例所涉及的保持架单元的侧面的放大剖视图。图5的(b)是实施方式的变形例所涉及的保持架单元的仰视图。

附图标记说明

1…刻划装置；15…基板；20…刻划头；30…保持架单元；32、42、43…销轴；33a、33b…保持部；34…保持槽；36a、36b…销孔；361a、361b…第一区域；362a、362b…第二区域；39a、39b…销孔的端部；41a、41b…台阶部；50…刻划轮；51…贯通孔；60a、60b…球体(限位器)；70a、70b…圆柱状的构件(限位器)；H…基板的表面。

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明的实施方式。此外，在各图中，为了方便说明，标记有相互正交的X轴、Y轴以及Z轴。Z轴垂直于刻划轮的中心轴，表示铅垂方向上的上方以及下方。以下，上方以及下方分别意味着Z轴正侧以及Z轴负侧。

＜刻划装置＞

图1是示意性地表示实施方式所涉及的刻划装置1的结构的图。刻划装置1具备移动台10。移动台10与滚珠丝杠11螺合。移动台10被一对导轨12支承为能够在Y轴方向上移动。滚珠丝杠11通过马达的驱动而旋转，从而移动台10沿一对导轨12在Y轴方向上移动。

在移动台10的上表面设置有马达13。马达13使位于上部的工作台14在XY平面旋转并将其定位于预定角度。通过马达13而能够水平旋转的工作台14具备未图示的真空吸附单元。载置于工作台14上的基板15被该真空吸附单元保持于工作台14上。

基板15是玻璃基板、由低温烧结陶瓷或高温烧结陶瓷形成的陶瓷基板、硅基板、化合物半导体基板、蓝宝石基板、石英基板等。另外，基板15也可以是在基板的表面或者内部附着或者含有不属于脆性材料的薄膜或者半导体材料而成的基板。

刻划装置1具备在载置于工作台14的基板15的上方拍摄形成于该基板15的表面H的校准标记的两台相机16。另外，以跨越移动台10与其上部的工作台14的方式在支柱18a、18b架设有桥17。

在桥17安装有导向件19。刻划头20被设置为被该导向件19引导而在X轴方向上移动。刻划头20在下端具备保持架接头21。在保持架31保持有刻划轮50的保持架单元30经由保持架接头21安装于刻划头20。

在使用刻划装置1在基板15的表面H形成刻划线的情况下，首先，将安装有刻划轮50的保持架单元30向刻划头20安装。接下来，刻划装置1通过一对相机16来进行基板15的定位。然后，刻划装置1使刻划头20向预定的位置移动，对刻划轮50施加预定的负载而使其朝向基板15接触。之后，刻划装置1通过使刻划头20在X轴方向上移动而在基板15的表面形成预定的刻划线。此外，刻划装置1根据需要而使工作台14进行转动乃至在Y轴方向上移动，与上述情况相同地形成刻划线。

在上述实施的方式中示出了使刻划头20在X轴方向上移动，且使工作台14在Y轴方向上移动并且旋转的刻划装置，但是刻划装置只要是使刻划头与工作台相对地移动的结构即可。例如，也可以是固定刻划头而使工作台在X轴、Y轴方向上移动并且旋转的刻划装置。另外，在该情况下，也可以将相机16固定于刻划头20。

＜保持架单元＞

接下来，说明保持架单元30。图2的(a)是安装有保持架单元30以及保持架单元30的保持架接头21的侧视图。图2的(b)是保持架单元30的立体图，图2的(c)是保持架单元30的分解立体图。此外，为了便于说明，图2的(a)通过剖视图示出保持架接头21的旋转轴部211、两个轴承213a、213b以及隔离物214。

保持架单元30被保持架接头21保持并装配于刻划头20。另外，保持架单元30是通过将刻划轮50、保持架31、销轴32形成为一体而构成的。保持架31由能够磁吸附的材料(例如，磁性体金属)形成。

保持架接头21具备圆柱状的旋转轴部211、圆柱状的接头部212、两个轴承213a、213b以及圆筒形状的隔离物214。旋转轴部211被两个轴承213a、213b和隔离物214支承。由此，旋转轴部211和接头部212被支承为旋转自如。在接头部212形成有在下端侧具备圆形的开口215的孔216。在孔216的上部设置有磁石217。磁石217是用于使磁力作用于保持架单元30的装置。

在保持架31的上部设有定位用的安装部22。该安装部22是通过切去保持架31的上部而形成的，具备倾斜部22a和平坦部22b。

以安装部22侧为上，保持架单元30从开口215朝向孔216插入。此时，保持架31的上表面被孔216的上部的磁石217吸引。在这中途，安装部22的倾斜部22a与通过孔216的平行销218接触。由此，进行保持架单元30相对于保持架接头21的定位和固定。另外，当从保持架接头21拆除保持架单元30时，通过克服磁力而将保持架31朝向下方拉动，能够容易地拔出保持架单元30。

此外，保持架31不一定整体由磁性体金属形成，也可以是，保持部33a、33b所处的下部由非磁性的材料形成，其它部分由磁性体形成。

刻划轮50例如是由烧结金刚石、超硬合金等形成的、圆板状的构件。在刻划轮50形成有供销轴32插入的贯通孔51。贯通孔51形成为贯通刻划轮50的两侧面的中心。另外，在刻划轮50的外周部形成有形成棱线的V字状的刀。刻划轮50例如，厚度为0.4mm～1.1mm左右，外径为1.0mm～5.0mm左右。另外，贯通孔51的直径例如是0.4mm～1.5mm左右，刀的刀口角是90°～150°左右。

销轴32例如是由烧结金刚石、超硬合金等形成的构件。在本实施方式中，销轴32是圆柱状的构件，端部32a、32b形成为平面状。销轴32的直径比刻划轮50的贯通孔51的直径略小。由此，在销轴32插入于贯通孔51的状态下，在销轴32与贯通孔51之间产生有间隙。

如图2的(a)所示，在从侧面即Y轴的正侧观察的情况下，保持架31的下部形成为宽度朝向下端变窄的梯形形状。另外，如图2的(b)、(c)所示，在保持架31的梯形形状部分分别形成有保持部33a、33b，在保持部33a、33b之间形成有保持槽34。在从X轴正侧的侧面观察的情况下，保持槽34的上部形成为圆弧状，下部形成为矩形状。刻划轮50插入保持槽34的下部。保持槽34的下部的内侧面34a、34b相对于水平面(XY平面)垂直。

在保持架31的X轴正侧以及负侧的外侧面形成有向内侧凹陷的凹部35a、35b。在相对于保持架接头21装卸保持架单元30时，该凹部35a、35b作为操作者的手持部分(钩挂手指的部分)发挥功能。

在保持部33a、33b，以跨越保持槽34的方式在同轴上形成有收容销轴32以及限位器60a、60b的销孔36a、36b。在本实施方式中，销孔36a、36b被设为中心轴与Y轴平行。保持部33a、33b的Y轴正侧以及负侧的下部37a、37b的一部分被切去。销孔36a、36b的与刻划轮50相反一侧的端部39a、39b包含在该被切去的面38a、38b中。保持部33a、33b的底面40a、40b形成为与XY平面平行。底面40a、40b与面38a、38b大致正交。保持部33a、33b的X轴正侧以及负侧的外侧面至底面40a、40b为止形成呈圆弧状弯曲的面。

保持架31由不锈钢、碳工具钢形成。此外，在图2的(b)、(c)的结构中，保持架31由一个基材构成，但是例如也可以通过将分别具有保持部33a、33b的两个基材固定于主体部分来形成保持架31。

限位器60a、60b在本实施方式中是球体。限位器60a、60b例如由锈钢等的金属或者ABS树脂等合成树脂形成。对于限位器60a、60b而言，只要是刚性较大金属以及合成树脂，则并不局限于上述材质。

图3是从保持架单元30的X轴方向观察的放大剖视图。在销孔36a、36b，遍及销孔36a、36b的内周面的整周而设有台阶部41a、41b。销孔36a、36b经由该台阶部41a、41b而被区分为第一区域361a、361b和第二区域362a、362b。第一区域361a、361b是包括与刻划轮50相反一侧的端部39a、39b在内的区域。第二区域362a、362b是与第一区域361a、361b相连的区域，保持销轴32。

第一区域361a、361b的直径即端部39a、39b的直径比限位器60a、60b的直径略小。第二区域362a、362b的直径比端部39a、39b的直径即第一区域361a、361b的直径略小，比销轴32的直径略大。另外，第二区域362a、362b的直径与刻划轮50的贯通孔51的直径大致相同或者比其略小。

在刻划轮50插入于保持槽34的状态下，销轴32插入刻划轮50的贯通孔51和销孔36a、36b即第二区域362a、362b。如上所述，由于销孔36a、36b以使中心轴与Y轴平行的方式形成于保持部33a、33b，因此插入于第二区域362a、362b以及贯通孔51的销轴32配置于与基板15的表面H平行的方向(与XY平面平行的方向)。另外，销轴32是比贯通孔51略小的小径。因此，当销轴32插入贯通孔51以及第二区域362a、362b时，销轴32被允许旋转。

在将限位器60a、60b向第一区域361a、361b收容的情况下，从端部39a、39b压入限位器60a、60b而将其嵌入。此时，限位器60a、60b在第一区域361a、361b朝向刻划轮50进入，通过与台阶部41a、41b接触而停止。由此，限位器60a、60b不会进入第二区域362a、362b。这样，在将限位器60a、60b收容于第一区域361a、361b的情况下，适当地保持收容于第二区域362a、362b的销轴32与限位器60a、60b的位置关系，限位器60a、60b不会对销轴32的姿态造成影响。

此外，在图3中，示出了限位器60a、60b的一部分从端部39a、39b突出的状态，但是例如，在充分地确保了第一区域361a、361b的X轴方向上的距离的情况下，也可以将台阶部41a、41b设置为将限位器60a、60b完全收容在第一区域361a、361b内。

＜实施方式的效果＞

例如，在通过工具等击打销孔36a、36b的端部39a、39b而对端部39a、39b进行凿密的情况下，对销孔36a、36b施加有冲击，导致其端部严重变形。与此相对地，在本实施方式中，如图2的(a)～(c)、图3所示，在将销轴32插入于销孔36a、36b以及刻划轮50的贯通孔51之后，以防止销轴32的脱落的方式在第一区域361a、361b设有限位器60a、60b。由此，作为保持销轴32的区域的第二区域362a、362b的形状不会发生变化。由此，对保持架31内的销轴32的姿态造成的影响较少，销轴32能够进一步维持稳定的姿态。由此，刻划轮50能够稳定地旋转，能够在基板15的表面H形成良好的刻划线。

如图2的(a)～(c)、图3所示，限位器60a、60b通过压入而被嵌入第一区域361a、361b。因此，限位器60a、60b无间隙地紧贴于第一区域361a、361b的内侧面，从而被牢固地固定。由此，限位器60a、60b不存在从第一区域361a、361b脱离的隐患，能够可靠地防止销轴32从销孔36a、36b脱落。另外，能够通过压入而将限位器60a、60b简单地收容于第一区域361a、361b。

如图3所示，在销孔36a、36b的第一区域361a、361b与第二区域362a、362b的边界设有台阶部41a、41b。由此，限位器60a、60b通过与台阶部41a、41b接触而停止。由此，限位器60a、60b无法进一步进入销孔36a、36b的内部，限位器60a、60b不会进入第二区域362a、362b。由此，能够适当地保持限位器60a、60b与销轴32的位置关系。由此，销轴32不会因限位器60a、60b而受到非期望的限制，能够被维持为恰当的状态。由此，限位器60a、60b不会对销轴32的姿态赋予影响，销轴32能够自由地旋转。其结果是，刻划轮50能够稳定地转，能够在基板15的表面H顺畅地形成刻划线。

如上所述，以适当地保持限位器60a、60b与销轴32的位置关系的方式将限位器60a、60b收容于第一区域361a、361b。但是，在刻划动作中，销轴32因旋转而多少会在第二区域362a、362b内沿Y轴方向移动，存在有销轴32与限位器60a、60b接触的情况。关于这一点，如图2的(a)、(b)、图3所示，销轴32是圆柱状的构件，端部32a、32b形成为平面状。由此，在销轴32与限位器60a、60b接触的情况下，该接触是点接触，即，销轴32与限位器60a、60b处于一点接触的状态。因此，能够将限位器60a、60b对销轴32的旋转造成的影响抑制在最小限度。由此，销轴32能够持续稳定的旋转。

如图2的(a)、(b)、图3所示，限位器60a、60b是球体。由此，当通过压入而将限位器60a、60b收容在第一区域361a、361b时，限位器60a、60b无间隙地紧贴于第一区域361a、361b的内侧面。由此，在刻划动作中，玻璃屑不会从端部39a、39b侵入。由此，销轴32能够稳定地持续旋转。其结果是，刻划轮50能够稳定地旋转，能够在基板15的表面H顺畅地形成刻划线。

如图2的(b)、(c)所示，保持架单元30中的操作者的手持部分即凹部35a、35b在保持部33a、33b中配置于与销轴32正交的外侧面。由于在这样的位置配置有凹部35a、35b，因此操作者易于将手指钩挂于保持架单元30。由此，操作者能够容易地相对于保持架接头21装卸保持架单元30。

＜实施方式的变形例＞

接下来，基于图4的(a)～图5的(b)说明上述实施方式的变形例1～4。图4的(a)、(b)是从保持架单元30的X轴方向观察的放大剖视图。图5的(a)是从保持架单元30的X轴方向观察的放大剖视图。图5的(b)是保持架单元30的仰视图。

[变形例1]

如图4的(a)所示，变形例1所涉及的保持架单元30是未设有在上述实施方式中设置的台阶部41a、41b的结构。

在变形例1所涉及的保持架单元30中，第一区域361a、361b形成为随着从与刻划轮50相反一侧的端部39a、39b起靠近第二区域362a、362b而接近第二区域362a、362b的直径的锥状。其它结构与上述实施方式相同。

在上述变形例1的结构中，第一区域361a、361b形成为从与刻划轮50相反一侧的端部39a、39b起朝向刻划轮50变窄。在通过压入而将限位器60a、60b设于第一区域361a、361b的情况下，限位器60a、60b进入第一区域361a、361b内，但是在第一区域361a、361b的中途停止而无法进入第二区域362a、362b。由此，能够适当地保持限位器60a、60b与销轴32的位置关系。由此，销轴32不会因限位器60a、60b而受到非期望的限制，被维持为恰当的状态。其结果是，刻划轮50能够稳定地旋转，能够在基板15的表面H顺畅地形成刻划线。

此外，由于在从第一区域361a、361b的侧面以及底面观察的情况下的形状是锥状，因此例如，若对限位器60a、60b赋予过度的压力，则存在有导致其进入第二区域362a、362b的隐患。因此，在变形例1的结构中，为了可靠地防止限位器60a、60b进入第二区域362a、362b而对限位器60a、60b适当地赋予压力。由此，限位器60a、60b在第一区域361a、361b的中途停止而不会大幅地进入第二区域362a、362b。

[变形例2]

如图4的(b)所示，在变形例2所涉及的保持架单元30中，限位器70a、70b由圆柱状的构件构成，销轴42的端部42a、42b是尖头形状。其它结构与上述实施方式相同。

限位器70a、70b是圆柱状的构件，限位器70a、70b的端部71a、71b形成为平面状。由此，销轴42在刻划动作中在与销轴42的旋转轴向垂直的方向上移动，在销轴42与限位器70a、70b接触的情况下，该接触为点接触，即，销轴32与限位器70a、70b处于一点接触的状态。因此，能够将限位器70a、70b对销轴42的旋转造成的影响限制在最小限度。由此，销轴42能够以稳定的姿态持续旋转，刻划轮50能够在基板15的表面H形成刻划线。

此外，变形例2的结构也能够适用于上述变形例1的结构。即，能够将圆柱状的限位器70a、70b收容在形成为锥状的第一区域361a、361b。

另外，在实施方式以及变形例1的结构中，销轴32的端部42a、42b也可以形成为尖头形状。

[变形例3]

如图5的(a)所示，在变形例3所涉及的保持架单元30中，销轴43的一方的端部43a为尖头形状，另一方的端部43b形成为平面状。然后，尖头形状的端部43a侧被收容在销孔36b的第二区域362a，平面状的端部43b侧被收容在销孔36a的第二区域362b。在该情况下，在与第二区域362a相连的第一区域361a收容有球体的限位器60a，在与第二区域362b相连的第一区域361b收容有圆柱状的限位器70b。圆柱状的限位器70b的端部71b形成为平面状。

如上述实施方式所说明的那样，端部43a与球体的60a点接触。另一方面，如上述变形例2所说明的那样，端部43b也与圆柱状的限位器70b点接触。由此，在销轴42与限位器60a、70b接触的情况下，限位器60a、70b对销轴42的旋转造成的影响被抑制在最小限度。由此，销轴42能够以稳定的姿态持续旋转，刻划轮50能够在基板15的表面H形成刻划线。

此外，变形例3的结构也能够适用于上述变形例1的结构。

[变形例4]

如图5的(b)所示，在变形例4所涉及的保持架单元30中，销孔36a、36b形成为相对于与保持槽34的内侧面垂直的方向而至少向与基板15的表面H平行的方向(与XY平面平行的方向)倾斜。其它结构与上述实施方式相同。

在刻划轮50插入于保持槽34的状态下，销轴32插入刻划轮50的贯通孔51和销孔36a、36b。如上所述，由于销孔36a、36b形成为相对于与保持槽34的内侧面34、34b垂直的方向倾斜，因此插入于销孔36a、36b以及贯通孔51的销轴32相对于与保持槽34的内侧面34、34b垂直的方向而至少向与基板15的表面H平行的方向(与XY平面平行的方向)倾斜。

在像这样地形成销孔36a、36b的情况下，在刻划动作中，当刻划轮50被向基板15的表面H按压时，以通过该反作用力而使刻划轮50形成为与销轴32垂直的姿态的方式在刻划轮50产生有旋转力。由此，刻划轮50的两侧面分别被向保持槽34的相互对置的内侧面34、34b按压。因此，在刻划动作中，刻划轮50沿销轴32移动的情况被抑制，由此，能够使刻划线的形成位置稳定。

进而，虽未图示，但是销孔36a、36b也可以形成为相对于与保持槽34的内侧面垂直的方向而向与基板15的表面H垂直的方向倾斜。在该情况下，在刻划动作中，当刻划轮50被向基板15的表面H按压时，也以通过该反作用力而使刻划轮50形成为与销轴32垂直的姿态的方式在刻划轮50产生有旋转力。由此，刻划轮50的两侧面分别被向保持槽34的相互对置的内侧面34、34b按压。因此，在刻划动作中，刻划轮50沿销轴32移动的情况被抑制，由此，能够使刻划线的形成位置稳定。

[其它变形例]

也可以组合在上述实施方式以及变形例1中说明的销孔的形状。即，在一方的销孔36a中，在第一区域361a与第二区域362a之间设有台阶部41a。另一方的销孔36b的第一区域361b从与刻划轮50相反一侧的端部39b起朝向刻划轮50而形成为锥状。

在像这样地形成有销孔36a、36b的情况下，销轴32也能够不被限位器60a、60b妨碍旋转地稳定地旋转。其结果是，刻划轮50能够顺畅地旋转，能够在基板15的表面H形成刻划线。

在上述实施方式以及变形例1～4中，限位器60a、60以及限位器70a、70b通过压入而被嵌入销孔36a、36b，但是例如，也可以通过粘结、点焊接而将限位器60a、60以及限位器70a、70b固定于销孔36a、36b。这些手法与进行了压入的情况相同，能够抑制销孔36a、36b的变形。由此，因销孔的变形而对销轴32造成的影响较少，销轴32能够维持稳定的姿态。由此，刻划轮能够以稳定的姿态旋转，能够进行刻划动作。

此外，限位器不一定是球、圆柱形状，例如，也可以是椭圆形状。但是，在限位器是椭圆形状的情况下，在限位器与第一区域之间产生有间隙，有可能导致玻璃屑从该间隙向内部侵入。由此，为了防止玻璃屑的侵入，优选如上述实施方式、变形例2那样，由球或者圆柱状的构件构成限位器而使得第一区域被限位器完全封闭的结构。

另外，在销轴的端部与限位器之间不一定产生有间隙，销轴的两端与限位器也可以处于几乎接触的状态。进而，销轴32、42不一定相对于销孔36a、36b旋转。

本发明的实施的方式能够在权利要求书所示的技术思想的范围内适当地进行各种变更。

Claims (9)

1.一种保持架单元，保持用于在基板的表面形成刻划线的刻划轮，其特征在于，所述保持架单元具备：

一对保持部；

保持槽，形成于所述一对保持部之间，供所述刻划轮插入；

销孔，跨越所述保持槽而同轴地形成于所述一对保持部；

销轴，向插入于所述保持槽的所述刻划轮的贯通孔和所述销孔插入；以及

限位器，嵌入所述销孔的与所述刻划轮相反侧的端部，

所述限位器嵌入分别形成于所述一对保持部的各个所述销孔的与所述刻划轮相反侧的端部。

2.根据权利要求1所述的保持架单元，其特征在于，

所述限位器通过压入而被嵌入所述销孔。

3.根据权利要求1或2所述的保持架单元，其特征在于，

所述销孔具有：第一区域，设于所述端部，具有允许所述限位器的嵌入的直径；以及第二区域，与所述第一区域相连，具有限制所述限位器的嵌入的直径，

在所述第一区域收容所述限位器，

在所述第二区域收容所述销轴。

4.根据权利要求3所述的保持架单元，其特征在于，

在所述第一区域与所述第二区域之间设有台阶部。

5.根据权利要求3所述的保持架单元，其特征在于，

所述销孔的所述第一区域形成为随着从与所述刻划轮相反侧的端部起靠近所述第二区域而接近所述第二区域的直径的锥状。

6.根据权利要求1或2所述的保持架单元，其特征在于，

所述限位器是球体。

7.根据权利要求3的保持架单元，其特征在于，

所述限位器是球体。

8.根据权利要求4或5所述的保持架单元，其特征在于，

所述限位器是球体。

9.一种刻划装置，用于在基板的表面形成刻划线，其特征在于，

所述刻划装置具备保持架单元以及刻划头，

所述保持架单元具备：

一对保持部；

保持槽，形成于所述一对保持部之间，供刻划轮插入；

销孔，跨越所述保持槽而同轴地形成于所述一对保持部；

销轴，向插入于所述保持槽的所述刻划轮的贯通孔和所述销孔插入；以及

限位器，嵌入所述销孔的与所述刻划轮相反侧的端部，

所述刻划头将所述保持架单元保持为能够绕与所述基板的表面垂直的轴旋转，

所述限位器嵌入分别形成于所述一对保持部的各个所述销孔的与所述刻划轮相反侧的端部。

Images