KR20190141139A - 고밀도 스토커 - Google Patents
고밀도 스토커 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20190141139A KR20190141139A KR1020197029710A KR20197029710A KR20190141139A KR 20190141139 A KR20190141139 A KR 20190141139A KR 1020197029710 A KR1020197029710 A KR 1020197029710A KR 20197029710 A KR20197029710 A KR 20197029710A KR 20190141139 A KR20190141139 A KR 20190141139A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- storage
- standardized
- container
- transport device
- retrieval transport
- Prior art date
Links
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims abstract description 151
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 18
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 2
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 40
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000004320 controlled atmosphere Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
- B65G1/04—Storage devices mechanical
- B65G1/0407—Storage devices mechanical using stacker cranes
- B65G1/0421—Storage devices mechanical using stacker cranes with control for stacker crane operations
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
- B65G2201/02—Articles
- B65G2201/0235—Containers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
- B65G2201/02—Articles
- B65G2201/0297—Wafer cassette
Abstract
복수의 표준화된 컨테이너를 보관하기 위한 물품 보관 장치가 제공된다. 표준화된 컨테이너는 대체로 수평으로 뻗어 있는 하부 표면과 하부 표면에 대체로 평행한 상부 표면 사이에 걸쳐 있는 걸쳐 있다. 표준화된 컨테이너는 또한 상부 표면 및 하부 표면에 직각인 개구 측면 및 개구 측면을 따라 상부 표면을 넘어 연장되는 도어 플랜지를 포함한다. 표준화된 컨테이너는 또한 리프팅 툴을 수용하기 위해 상부 표면에 부착된 리프팅 플랜지를 포함한다. 표준화된 컨테이너는, 보관 및 회수 수송 장치가 도어 플랜지에 의해 방해받음이 없이 리프팅 플랜지와 결합하도록 접근 공간 사이의 실질적으로 수평인 평면 내에서 이동하는 갓을 가능하게 해주기 위해, 개별의 개구 측면이 접근 공간을 외면하는 방향을 향하게 하여, 보관 랙 내에 배치된다.
Description
관련 출원에 대한 상호 참조
이 PCT 국제 특허 출원은 그 출원의 전체 개시 내용이 이 PCT 국제 특허 출원의 개시 내용의 일부로 간주되어 참조로 포함되는 "고밀도 스토커(High Density Stocker)"라는 명칭으로 2017년 4월 20일자로 출원된 미국 가특허출원 제62/487,757호의 우선권을 주장한다.
발명의 분야
본 발명은 복수의 표준화된 컨테이너를 보관하기 위한 물품 보관 장치를 위한 시스템 및 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은 표준화된 컨테이너들을 보관하기 위한 보관 랙(storage rack)과, 표준화된 컨테이너들을 보관 랙 내외로 이동시키기 위한 보관 및 회수 수송 장치(storage and retrieval transport apparatus)를 포함하는 물품 보관 장치에 관한 것이다.
스토커(stocker)(STK)라고도 불리는 물품 보관 장치는 표준화된 컨테이너, 제조 물품 또는 그 구성 요소들을 보관하기 위해 많은 산업에서 사용된다. 특수한 사양의 물품 보관 장치는 특정 용례를 위한 특수한 피처(feature)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 반도체 제조 플랜트에서 전방 개방 통합 포드(front opening unified pod)(FOUP)를 보관하기 위해 사용되는 스토커는 제어된 분위기를 유지시키기 위한 인클로저(enclosure)와, 오버헤드 셔틀(overhead shuttle)(OHS) 및/또는 오버헤드 트랙(overhead track)(OHT) 차량을 포함할 수 있는 자동화된 물류 처리 시스템(automated material handling system)(AMHS)과 상호 작용하기 위한 특수한 인터페이스를 포함할 수 있다. 일반적으로 AMHS 시스템이 개구가 목적지 기계를 향하게 하여 FOUP를 공급하는 것이 표준 관행이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 종래 기술의 물품 보관 장치(1)는 일반적으로 접근 공간(access space)(3) 내에서 이동하고, 개구(5)가 접근 공간(3)을 향하게 하여 FOUP(4)를 보관하는 보관 및 회수 수송 장치(2)를 포함한다.
플랜트 층바닥 공간, 특히 AMHS가 접근 가능한 층바닥 공간은 고비용이므로, 주어진 크기의 공간에 더 많은 표준화된 컨테이너를 보관할 수 있는 물품 보관 장치일수록 상당한 비용 절감을 제공할 수 있을 것이다. 또한, 표준화된 컨테이너들을 서로 더 근접하게 보관하는 것에 의해, 컨테이너들이 더 적은 시간 내에 회수 또는 보관될 수 있음으로써, 관련 시스템 또는 시스템들의 효율성을 증가시킨다.
전술한 사항을 고려하여, 주어진 공간 내에 더 많은 표준화된 컨테이너를 보관하기 위한 물품 보관 장치에 대한 개선의 필요성이 잔존한다.
복수의 표준화된 컨테이너를 보관하기 위한 물품 보관 장치가 제공된다. 표준화된 컨테이너는 복수의 반도체 웨이퍼를 보관하기 위한 내부 공간을 한정할 수 있다. 각각의 표준화된 컨테이너는 대체로 수평으로 뻗어 있는 하부 표면과 하부 표면으로부터 이격되어 있고 하부 표면에 대체로 평행한 상부 표면 사이에 걸쳐 있을 수 있다. 표준화된 컨테이너는 내부 공간으로의 접근을 제공하기 위해 상부 표면 및 하부 표면에 직각인 개구 측면을 포함할 수 있고, 또한 개구 측면을 따라 상부 표면을 넘어 연장되는 도어 플랜지를 포함할 수 있다. 표준화된 컨테이너는 또한 당해 표준화된 컨테이너를 리프팅하기 위한 척이라고도 불리는 리프팅 툴을 수용하기 위해 상부 표면에 부착된 리프팅 플랜지를 포함할 수 있다.
표준화된 컨테이너의 이동을 허용하기 위한 접근 공간이 제공될 수 있다. 물품 보관 장치는 접근 공간에 인접하고 각각이 표준화된 컨테이너 중의 하나를 보관하도록 구성된 복수의 위치를 포함한 제1 보관 랙을 포함할 수 있다. 랙 마스터(Rack Master)(RM)라고도 불릴 수 있는 보관 및 회수 수송 장치가 접근 공간 내에서 이동 가능할 수 있으며, 표준화된 컨테이너와 결합하도록 척을 보관 랙 내로 이동시킴으로써, 표준화된 컨테이너를 보관 랙 내의 위치 내외로 이동시키도록 구성된 암을 포함할 수 있다.
본 발명의 하나의 양태에 따라, 표준화된 컨테이너는 각각, 보관 및 회수 수송 장치의 척이 도어 플랜지에 의해 방해받음이 없이 표준화된 컨테이너 중의 하나의 리프팅 플랜지와 결합하도록 접근 공간 사이의 대체로 수평인 평면 내에서 이동하는 것을 가능하게 해주기 위해, 개별의 개구 측면이 접근 공간을 외면하는 방향을 향하게 하여, 보관 랙에 배치될 수 있다.
본 발명의 다른 양태에 따라, 보관 및 회수 수송 장치의 암은 복수의 분절(segment)을 포함하고, 각각의 분절 사이에 조인트를 가지며, 상기 랙 내의 표준화된 컨테이너 중의 임의의 다른 것과는 접촉하지 않으면서 랙 내의 표준화된 컨테이너 중의 어느 하나와 결합되게 리프팅 툴을 위치시키기 위한 총 적어도 3개의 조인트를 가질 수 있다.
개구 측면 및 관련 도어 플랜지를 접근 공간을 외면하는 방향을 향하게 하여 배향함으로써, 척은 표준화된 컨테이너 위에 최소 간극을 필요로 하면서 표준화된 컨테이너의 리프팅 플랜지와 결합하기 위한 위치 내로 수평으로 슬라이딩할 수 있으며, 이는 랙이 보다 낮은 수직 보관 피치(vertical storage pitch)를 가지고서 구성되는 것을 가능하게 해 줌으로써, 주어진 수의 표준화된 컨테이너를 보관하는 데 필요한 랙의 수직 높이를 감소시킨다. 도 4-5에 도시된 바와 같이, 수직 보관 피치는 예를 들어 453mm에서 380mm로 감소될 수 있다.
보관 및 회수 수송 장치의 암을 복수의 분절을 포함하고, 각각의 분절 사이에 조인트를 가지며, 총 3개 이상의 힌지 조인트를 가지도록 구성함으로써, 본 발명의 암은 랙이 3개 이상의 층의 심도를 가지고, 종래 기술보다 작은 측방향 보관 피치(lateral storage pitch)를 가지는 것을 가능하게 해 줌으로써, 주어진 푸트프린트 면적(footprint area) 내에 더 많은 수의 표준화된 컨테이너를 보관할 수 있는 랙을 허용할 수 있다.
본 발명의 다른 장점들은 여기에 간단히 설명되는 첨부 도면과 관련하여 고려될 때 다음의 상세한 설명을 참조하여 더 쉽게 그리고 더 잘 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 종래 기술의 물품 보관 장치의 측단면도이다.
도 2는 본 개시의 하나의 양태에 따른 물품 보관 장치의 측단면도이다.
도 3은 표준화된 컨테이너의 측단면도이다.
도 4는 종래 기술의 물품 보관 장치의 측단면도이다.
도 5는 본 개시의 하나의 양태에 따른 물품 보관 장치의 측단면도이다.
도 6은 본 발명의 다른 양태에 따른 물품 보관 장치의 측단면도이다.
도 7a는 본 개시의 다른 양태에 따른 보관 및 회수 수송 장치 암의 평면도이다.
도 7b는 도 7a의 보관 및 회수 수송 장치 암의 측면도이다.
도 7c는 도 7a의 보관 및 회수 수송 장치 암의 교체 설정에서의 평면도이다.
도 7d는 도 7c의 설정에서의 보관 및 회수 수송 장치 암의 측면도이다.
도 8a는 부분 확장 위치에서 보관 랙 내의 표준 컨테이너와 간섭하는 암을 포함하는 종래 기술의 보관 및 회수 수송 장치의 개략적 평면도이다.
도 8b는 암이 완전 확장 위치에 있는 도 8a의 보관 및 회수 수송 장치의 다른 개략적 평면도이다.
도 9a는 부분 확장 위치에 있는 암을 포함하는 본 개시의 다른 양태에 따른 보관 및 회수 수송 장치의 개략적 평면도이다.
도 9b는 암이 완전 확장 위치에 있는 도 9a의 보관 및 회수 수송 장치의 다른 개략적 평면도이다.
도 10은 표준화된 컨테이너를 물품 보관 장치 내의 목적지 위치로 이동시키기 위한 방법의 플로우차트이다.
도 11은 표준화된 컨테이너를 물품 보관 장치 내의 접근 가능한 위치로부터 목적지 위치로 이동시키기 위한 방법의 플로우차트이다.
도 1은 종래 기술의 물품 보관 장치의 측단면도이다.
도 2는 본 개시의 하나의 양태에 따른 물품 보관 장치의 측단면도이다.
도 3은 표준화된 컨테이너의 측단면도이다.
도 4는 종래 기술의 물품 보관 장치의 측단면도이다.
도 5는 본 개시의 하나의 양태에 따른 물품 보관 장치의 측단면도이다.
도 6은 본 발명의 다른 양태에 따른 물품 보관 장치의 측단면도이다.
도 7a는 본 개시의 다른 양태에 따른 보관 및 회수 수송 장치 암의 평면도이다.
도 7b는 도 7a의 보관 및 회수 수송 장치 암의 측면도이다.
도 7c는 도 7a의 보관 및 회수 수송 장치 암의 교체 설정에서의 평면도이다.
도 7d는 도 7c의 설정에서의 보관 및 회수 수송 장치 암의 측면도이다.
도 8a는 부분 확장 위치에서 보관 랙 내의 표준 컨테이너와 간섭하는 암을 포함하는 종래 기술의 보관 및 회수 수송 장치의 개략적 평면도이다.
도 8b는 암이 완전 확장 위치에 있는 도 8a의 보관 및 회수 수송 장치의 다른 개략적 평면도이다.
도 9a는 부분 확장 위치에 있는 암을 포함하는 본 개시의 다른 양태에 따른 보관 및 회수 수송 장치의 개략적 평면도이다.
도 9b는 암이 완전 확장 위치에 있는 도 9a의 보관 및 회수 수송 장치의 다른 개략적 평면도이다.
도 10은 표준화된 컨테이너를 물품 보관 장치 내의 목적지 위치로 이동시키기 위한 방법의 플로우차트이다.
도 11은 표준화된 컨테이너를 물품 보관 장치 내의 접근 가능한 위치로부터 목적지 위치로 이동시키기 위한 방법의 플로우차트이다.
유사한 참조 번호가 여러 도면에 걸쳐 대응하는 부분을 지시하는 도면을 참조하면, 복수의 표준화된 컨테이너(22)를 보관하기 위한 물품 보관 장치(20)가 제공된다. 표준화된 컨테이너(22)는 반도체 웨이퍼를 보관 및 수송하기 위해 반도체 제조 설비에서 일반적으로 사용되고, 복수의 반도체 웨이퍼를 보관하기 위한 내부 공간을 한정할 수 있는 전방 개방 통합 포드(front opening unified pod)(FOUP)(22)일 수 있다. 도 3에 가장 잘 도시된 바와 같이, 각각의 표준화된 컨테이너(22)는 대체로 수평인 하부 표면(24)과 하부 표면(24)으로부터 이격되어 있고 하부 표면(24)에 대체로 평행한 상부 표면(26) 사이에 걸쳐 있을 수 있다. 표준화된 컨테이너(22)는 내부 공간으로의 접근(access)을 제공하기 위한 상부 표면(26) 및 하부 표면(24)에 직각인 개구 측면(27)을 포함할 수 있고, 또한 개구 측면(27)을 따라 하부 표면(24) 반대쪽의 상부 표면(26)을 넘어 연장되는 도어 플랜지(28)를 포함할 수 있다. 다시 말해, 도어 플랜지(28)는 상부 표면(26) 위로 연장될 수 있다. 표준화된 컨테이너(22)는 또한 표준화된 컨테이너(22)를 리프팅하기 위한 리프팅 툴(32)을 수용하기 위해 상부 표면(26)에 대체로 평행하게 상부 표면(26)으로부터 이격되어 뻗어 있도록 부착된 리프팅 플랜지(30)를 포함할 수 있다.
도 4 및 5에 가장 잘 도시된 바와 같이, 표준화된 컨테이너(22)의 이동을 허용하기 위해 접근 공간(access space)(34)이 제공될 수 있다. 접근 공간(34)은 물품 보관 장치(20) 내에 둘러싸여질 수 있다. 물품 보관 장치(20)는 각각이 표준화된 컨테이너(22) 중의 하나를 수용 및 보관하도록 구성된 복수의 위치(38)를 포함한 제1 보관 랙(36)을 포함할 수 있다. 각각의 위치는 컨테이너(22)를 보관하기 위한 하나 이상의 선반(39)을 포함할 수 있다.
도 5에 가장 잘 도시된 바와 같이, 제1 보관 랙(36)은 서로 상하로 인접하여 수직으로 적층되고, 제1 행(row)(46)에 배치된 표준화된 컨테이너(22) 중의 하나의 하부 표면(24)과 그 다음번 수직으로 인접한 행에 배치된 표준화된 컨테이너(22) 중의 다른 하나의 하부 표면(24) 간의 수직 거리로서의 수직 보관 피치(vertical storage pitch)를 한정하는 제1 행(row)(46) 및 제2 행(48)으로 배열되는 복수의 위치(38)를 포함할 수 있다. 제1 보관 랙(36)은 또한 접근 공간(34)으로부터 제1 수평 심도(horizontal depth)만큼 이격된 제1 레벨(level)(50) 및 접근 공간(34)으로부터 제1 수평 심도보다 큰 제2 수평 심도만큼 이격된 제2 레벨(52)을 포함한 적어도 2개의 상이한 레벨(50, 52)로 배열되는 복수의 위치(38)를 포함할 수 있다. 또한, 복수의 위치(38)는 또한 행(46, 48) 및 레벨(50, 52)의 방향에 직각 방향인 폭으로 적층될 수 있다. 도 6에 도시된 바와 같이, 보관 랙(36, 54)은 3개의 레벨(50, 52, 53)이 존재하도록 추가 레벨(53)을 포함할 수 있다. 임의의 수의 행, 레벨 및 폭이 이용될 수 있음을 이해해야 한다. 도 9a-9b에 가장 잘 도시된 바와 같이, 제1 보관 랙(36)은 제1 열(column)(40) 및 그것에 인접한 제2 열(42)로 배열되고, 제1 열(40)에 배치된 표준화된 컨테이너(22) 중의 하나 상의 그것의 중심과 같은 주어진 위치와 제2 열(42)에 배치된 표준화된 컨테이너(22) 중의 다른 하나의 마찬가지의 주어진 위치 간의 측방향 거리로서의 측방향 보관 피치(lateral storage pitch)를 한정하는 복수의 위치(38)를 포함할 수 있다.
도 2, 5 및 6에 도시된 바와 같이, 본 개시의 물품 보관 장치(20)는 제1 보관 랙(36)과 실질적으로 동일하고 거울상 배향으로 배열된 제2 보관 랙(54)을 포함할 수 있으며, 접근 공간(34)이 제1 보관 랙(36)과 제2 보관 랙(54) 사이에 걸쳐 있다. 하나의 양태에 따라, 위치(38) 중의 관련 보관 랙 및 열과 행을 갖는 주어진 하나의 위치(38)는 그 위치(38)가 표준화된 컨테이너(22) 중의 동일한 주어진 랙 및 열 및 행에서의 그리고 그 위치(38)와 접근 공간(34) 사이의 레벨에서의 하나의 표준화된 컨테이너(22)에 의해 방해받지 않을 때 접근 가능한 위치로 지정될 수 있다.
랙 마스터(Rack Master)(RM)라고도 불리는 보관 및 회수 수송 장치(storage and retrieval transport apparatus)(56)는 접근 공간(34) 내에서 이동 가능할 수 있으며, 하나의 표준화된 컨테이너(22)와 결합하도록 리프팅 툴(32)을 보관 랙(36, 54) 중의 어느 하나로 이동시킴으로써, 보관 및 회수 수송 장치가 그 표준화된 컨테이너(22)를 보관 랙(36, 54) 내의 위치(38)와 접근 공간(34) 사이에서 이동시키는 것을 가능하게 해주도록 구성된 하나 이상의 암(58)을 포함할 수 있다. 하나의 양태에 따라, 보관 및 회수 수송 장치(56)의 리프팅 툴(32)은 척(chuck)(32)이라 불릴 수 있는 척킹 타입 장치일 수 있다. 보관 및 회수 수송 장치(56)는 또한 표준화된 컨테이너(22)를 보관 랙(36, 54) 중의 하나 내의 다른 위치(38)와 같은 다른 목적지로 또는 예를 들어 보관 및 회수 수송 장치(56)로부터 운송될 도크(dock)와 같은 다른 장소로 이동시킬 수도 있다. 도 6에 도시된 바와 같이, 물품 보관 장치(20)는 하나 이상의 보관 및 회수 수송 장치(56)를 포함할 수 있다.
본 개시의 하나의 양태에 따라, 표준화된 컨테이너(22)는 각각, 보관 및 회수 수송 장치의 척(32)이 도어 플랜지(28)에 의해 방해받음이 없이 표준화된 컨테이너(22) 중의 하나의 리프팅 플랜지(30)와 결합하도록 접근 공간(34) 사이의 실질적으로 수평인 평면 내에서 이동하는 것을 가능하게 해주기 위해, 개별의 개구 측면(27)이 접근 공간(34)을 외면하는 쪽을 향하게 하여, 보관 랙(36, 54) 내에 배치될 수 있다. 예를 들어, 도 2와 6에 가장 잘 도시된 바와 같이, 표준화된 컨테이너(22)는 각각, 개별의 개구 측면(27)이 접근 공간으로부터 가장 먼쪽에 위치되게 함으로써 도어 플랜지(28)를 보관 및 회수 수송 장치(56)의 반대쪽에 위치시켜, 보관 랙(36, 54) 내에 배치될 수 있다. 표준화된 컨테이너(22)는 또한 개별의 개구 측면(27)이 접근 공간(34)에 대해 직각 방향으로 또는 측방향으로 향하게 하여 배향될 수도 있으며, 이 또한 방해받지 않는 리프팅 플랜지(30)에 대한 수평 접근을 제공할 수 있다. 하나의 양태에 따라, 보관 및 회수 수송 장치의 척(32)은 한 쌍의 대체로 평행한 부재를 포함하는 포크(fork)로서 구성될 수 있고, 표준화된 컨테이너(22)의 수평 결합은 "포킹(forking)" 또는 "척킹(chucking)"으로 지칭될 수 있다. 도 3의 우상측에 도시된 바와 같이, 표준화된 컨테이너(22)가 도어 플랜지(28)가 접근 공간(34)을 향하게 하여 배향되면, 도어 플랜지(28)는 기계적 간섭을 유발하여, 척(32)이 리프팅 플랜지(30) 쪽으로 수평으로 이동하는 것을 차단할 수 있다.
도어 플랜지(28)가 리프팅 플랜지(30)에 대한 방해받지 않은 수평 접근을 허용하도록 배향되기 때문에, 본 개시의 물품 보관 장치(20)는 종래 기술에서 일반적으로 실행되고 도 4에 도시된 바와 같이 표준화된 컨테이너(22)가 하부 표면(24)에서 리프팅되는 것을 필요로 하는 대신에, 표준화된 컨테이너(22)가 도 5에 도시된 바와 같이 리프팅 플랜지를 이용하여 보관 랙(36, 54) 내외로 이동되는 것을 가능하게 해준다. 이러한 방식으로, 보관 및 회수 수송 장치(56)의 암(58)은 이동될 표준화된 컨테이너(22)와 실질적으로 동일한 행 내에 위치될 수 있음으로써, 도 4-5에 도시된 바와 같이 수직 보관 피치가 예를 들어 453mm에서 380mm로 감소될 수 있게 해준다.
하나의 양태에 따라, 도 7a-7d에 가장 잘 도시된 바와 같이, 보관 및 회수 수송 장치(56)의 암(58)은 복수의 분절(60)을 포함하고, 각각의 분절(60) 사이에 힌지 조인트(62)를 갖는 복수의 4개 이상의 분절(60)을 포함하는 선택적 순응 관절형 로봇 암(Selective Compliance Articulated Robot Arm)(SCARA)(58)을 포함할 수 있다. 다시 말해서, 암(58)은 분절(60) 사이에 3개 이상의 조인트(62)를 포함할 수 있다. 하나의 양태에 따라, 암(58)은 2개 이상의 모터(64)에 의해 작동될 수 있으며, 각각의 모터(64)는 하나의 조인트(62)에 의해 나뉘는 2개의 분절(60)이 서로에 대해 운동하게 만든다. 이러한 방식으로, 암(58)은 척(32)이 랙(36, 54) 내의 표준화된 컨테이너(22) 중의 임의의 다른 것과는 접촉하지 않으면서 랙(36, 54) 내의 표준화된 컨테이너(22) 중의 어느 하나와 결합하게 만들 수 있다. 도 7a-7b에 가장 잘 도시된 바와 같이, 분절(60)은 쌍으로 배열될 수 있으며, 각각의 쌍은 모터(64)에 의해 작동된다. 도 7b에 가장 잘 도시된 바와 같이, 척(32)이 표준화된 컨테이너(22)의 리프팅 플랜지(30)와 결합 또는 결합해제되게 만들기 위한 척 액추에이터(33)가 제공될 수 있다.
또한, 도 7a에 도시된 바와 같이, 보관 및 회수 수송 장치(56)의 척(32)에 가장 가까운 한 쌍의 제1 분절(60)은 척(32)으로부터 가장 먼 제2 분절(60)보다 더 긴 길이를 가질 수 있다. 예를 들어, 척(32)에 가장 가까운 한 쌍의 분절(60)은 분절(60)의 양쪽 단부의 각각의 조인트 피팅(joint fitting)의 중심들 사이에 320mm의 중심간 길이를 가질 수 있는 반면, 척(32)으로부터 더 떨어진 분절(60)은 270mm의 중심간 길이를 가질 수 있다. 도 9a-9b에 도시된 바와 같이, 복수의 3개 이상의 분절(60)을 포함하는 암(58)은 더 작은 측방향 푸트프린트(lateral footprint)를 필요로 함으로써, 도 8a에 도시된 바와 같은 기계적 간섭을 방지하기 위해 열들 사이에 추가적인 측방향 공간을 필요로 했던 종래 기술의 암에서 가능한 것보다 더 작은 측방향 보관 피치를 가지고서 표준화된 컨테이너(22)가 보관 랙(36, 54) 내에 배열되는 가능하게 해준다. 3개 이상의 조인트를 갖는 이러한 암(58) 구성은 또한 3개 이상의 레벨을 갖는 보관 랙(36, 54)을 허용할 수 있으며, 종래 기술의 보관 랙(36, 54)은 도 8a에 도시된 바와 같은 기계적 간섭 없이 작동되는 암을 수용하기 위해 요구되는 측방향 보관 피치를 증가시키는 것의 실행불가능성으로 인해 2개의 레벨로 제한될 수 있다.
표준화된 컨테이너(22)를 물품 보관 장치(20) 내의 목적지 위치(38)로 이동시키기 위한 방법(100)이 제공된다. 도 10의 플로우차트에 기술된 바와 같이, 방법(100)은 보관 및 회수 수송 장치(56)의 척(32)과 표준화된 컨테이너(22)의 상부 표면(26) 상에 배치된 리프팅 플랜지(30)를 결합시키는 단계(102); 물품 보관 장치(20) 내의 접근 공간(34) 내에서 보관 및 회수 수송 장치(56)에 의해 표준화된 컨테이너(22)를 접근 공간(34) 중의 목적지 위치(38) 인접 부분으로 이동시키는 단계(104); 보관 및 회수 수송 장치(56)에 의해 표준화된 컨테이너(22)를, 도어 플랜지(28)가 예컨대 보관 및 회수 수송 장치(56)에 대한 직각 방향 또는 반대쪽일 수 있는 보관 및 회수 수송 장치(56)를 외면하는 방향을 향하게 하여, 목적지 위치(38) 쪽으로 배향시키는 단계(106); 보관 및 회수 수송 장치(56)의 암(58)에 의해 표준화된 컨테이너(22)를 물품 보관 장치(20)의 목적지 위치(38)로 이동시키는 단계(108) 중의 하나 이상을 포함할 수 있다. 108 단계는 예를 들어 도 7a-7d에 도시된 암(58)과 같은 보관 및 회수 수송 장치(56)의 암(58)에 의해 수행될 수 있다. 방법(100)은 표준화된 컨테이너(22)의 리프팅 플랜지(30)로부터 보관 및 회수 수송 장치(56)의 척(32)을 결합해제시키는 단계(110); 및 보관 및 회수 수송 장치(56)의 암(58)을 접근 공간(34) 내로 수축시키는 단계(112)로 진행할 수 있다.
표준화된 컨테이너(22)를 물품 보관 장치(20) 내의 접근 가능한 위치(38)로부터 목적지 위치(38)로 이동시키기 위한 방법(200)이 또한 제공된다. 도 11의 플로우차트에 기술된 바와 같이, 방법(200)은 물품 보관 장치(20) 내의 접근 공간(34) 내에서 보관 및 회수 수송 장치(56)를 인접한 표준화된 컨테이너(22)로 이동시키는 단계(202); 보관 및 회수 수송 장치(56)의 암(58)을 확장시키는 단계(204); 표준화된 컨테이너(22)의 상부 표면(26) 상에 배치된 리프팅 플랜지(30)를 보관 및 회수 수송 장치(56)의 암(58) 상에 배치된 척(32)과 결합시키는 단계(206); 표준화된 컨테이너(22)를 접근 공간(34) 내로 이동시키기 위해 보관 및 회수 수송 장치(56)의 암(58)을 수축시키는 단계(208); 및 보관 및 회수 수송 장치(56)에 의해 접근 공간(34) 내의 표준화된 컨테이너(22)를 목적지로 이동시키는 단계(210) 중의 하나 이상을 포함할 수 있다. 목적지는 보관 랙들(36, 54) 중의 하나 내의 위치(38)일 수 있다. 목적지는 예를 들어 다른 보관 위치 또는 물품 보관 장치(20)에서 이탈하기 위한 도크(dock)를 포함하는 다른 위치일 수 있다.
명백히, 본 발명의 많은 수정 및 변형이 상기 교시에 비추어 가능하며, 첨부된 청구 범위의 범위 내에 있지만 구체적으로 설명된 것과 다른 방식으로 실시될 수 있다. 이러한 전제의 사항들은 신슈의 본 발명이 응용성을 발휘하는 임의의 조합을 포괄하도록 해석되어야 한다. 장치 청구항에서의 "상기"라는 단어의 사용은 청구항의 범위에 포함되는 것으로 간주되는 명백한 사항인 선행 사항을 지칭하는 반면, 단어 "그"는 청구항의 범위에 포함되지 않는 것으로 간주된다.
Claims (15)
- 물품 보관 장치에 있어서,
내부 공간을 한정하고, 대체로 수평으로 뻗어 있는 하부 표면과 상기 하부 표면으로부터 이격되어 있고 상기 하부 표면에 대체로 평행한 상부 표면 사이에 걸쳐 있는 걸쳐 있는 표준화된 컨테이너로서, 상기 내부 공간으로의 접근을 제공하기 위해 상기 상부 표면 및 상기 하부 표면에 직각인 개구 측면 및 상기 개구 측면을 따라 상기 하부 표면 반대쪽의 상기 상부 표면을 넘어 연장되는 도어 플랜지를 포함하고, 당해 표준화된 컨테이너를 리프팅하기 위한 리프팅 툴을 수용하기 위해 상기 상부 표면에 리프팅 플랜지가 부착된 바의 표준화된 컨테이너;
상기 표준화된 컨테이너의 이동을 허용하기 위한 접근 공간;
각각이 표준화된 컨테이너 중의 하나를 보관하도록 구성된 복수의 위치를 포함하는 적어도 하나의 보관 랙; 및
상기 접근 공간 내에서 이동 가능한 보관 및 회수 수송 장치로서, 상기 복수의 위치 중의 하나에 배치된 표준화된 컨테이너와 결합하도록 상기 리프팅 툴을 상기 적어도 하나의 보관 랙 내에서 이동시킴으로써, 당해 보관 및 회수 수송 장치가 상기 표준화된 컨테이너를 상기 위치 내외로 이동시키는 것을 가능하게 해주도록 구성된 암을 포함하는 바의 보관 및 회수 수송 장치를 포함하고,
상기 표준화된 컨테이너는 각각, 상기 보관 및 회수 수송 장치의 상기 리프팅 툴이 상기 도어 플랜지에 의해 방해받음이 없이 상기 표준화된 컨테이너 중의 하나의 상기 리프팅 플랜지와 결합하도록 상기 접근 공간 사이의 실질적으로 수평인 평면 내에서 이동하는 것을 가능하게 해주기 위해, 개별의 개구 측면이 상기 보관 및 회수 수송 장치를 외면하는 방향을 향하게 하여, 상기 도어 플랜지를 상기 접근 공간과 상기 표준화된 컨테이너의 상기 리프팅 플랜지 사이의 경로 밖에 위치시켜, 상기 적어도 하나의 보관 랙 내에 배치되는 것을 특징으로 하는 물품 보관 장치. - 제 1 항에 있어서, 상기 보관 및 회수 수송 장치의 상기 암은 복수의 분절을 포함하고, 각각의 상기 분절 사이에 조인트를 가지며, 상기 암은 상기 적어도 하나의 보관 랙 내의 상기 표준화된 컨테이너 중의 임의의 다른 것과는 접촉하지 않으면서 상기 적어도 하나의 보관 랙 내의 상기 표준화된 컨테이너 중의 어느 하나와 결합되게 상기 리프팅 툴을 위치시키기 위한 적어도 3개의 조인트를 포함하는 것을 특징으로 하는 물품 보관 장치.
- 제 2 항에 있어서, 상기 복수의 분절은 상기 리프팅 툴에 연결되는 적어도 하나의 제1 분절 및 상기 리프팅 툴로부터 이격된 적어도 하나의 제2 분절을 포함하고, 상기 제1 분절이 상기 제2 분절보다 더 긴 것을 특징으로 하는 물품 보관 장치.
- 제 2 항에 있어서, 상기 암은 4개의 분절을 포함하고, 각각의 분절 사이에 조인트를 가지며, 상기 보관 및 회수 수송 장치는 적어도 2개의 모터를 포함하고, 각각의 모터는 상기 조인트 중의 하나에 의해 나뉘는 2개의 분절이 서로에 대해 운동하게 만드는 것을 특징으로 하는 물품 보관 장치.
- 제 2 항에 있어서, 상기 리프팅 툴은 한 쌍의 대체로 평행한 부재를 갖는 포크로서 배치되는 것을 특징으로 하는 물품 보관 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 보관 랙은 제1 보관 랙 및 제2 보관 랙을 포함하고, 상기 접근 공간이 상기 제1 보관 랙과 상기 제2 보관 랙 사이에 한정되는 것을 특징으로 하는 물품 보관 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 보관 랙은 상기 표준화된 컨테이너를 수용하기 위한 복수의 위치를 포함하고, 상기 복수의 위치는 서로 상하로 수직으로 적층되는 복수의 행을 포함하는 것을 특징으로 하는 물품 보관 장치.
- 제 7 항에 있어서, 상기 복수의 위치는 또한 서로에 대해 수평으로 배열되는 복수의 레벨을 포함하는 것을 특징으로 하는 물품 보관 장치.
- 물품 보관 장치 내의 목적지 위치로 도어 플랜지를 포함하는 표준화된 컨테이너를 이동시키기 위한 방법에 있어서,
보관 및 회수 수송 장치의 리프팅 툴과 표준화된 컨테이너의 상부 표면 상에 배치된 리프팅 플랜지를 결합시키는 단계;
물품 보관 장치 내의 접근 공간 내에서 보관 및 회수 수송 장치에 의해 표준화된 컨테이너를 접근 공간 중의 목적지 위치 인접 부분으로 이동시키는 단계;
보관 및 회수 수송 장치에 의해 표준화된 컨테이너를 도어 플랜지가 목적지 위치를 향하게 하여 배향시키는 단계;
보관 및 회수 수송 장치의 암에 의해 표준화된 컨테이너를 물품 보관 장치의 목적지 위치로 이동시키는 단계;
표준화된 컨테이너의 리프팅 플랜지로부터 보관 및 회수 수송 장치의 리프팅 툴을 결합해제시키는 단계; 및
보관 및 회수 수송 장치의 암을 접근 공간 내로 수축시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표준화된 컨테이너를 이동시키기 위한 방법. - 제 9 항에 있어서, 보관 및 회수 수송 장치의 암은 복수의 분절을 포함하고, 각각의 분절 사이에 조인트를 가지며, 암은 적어도 보관 랙 내에서 표준화된 컨테이너 중의 임의의 다른 것과는 접촉하지 않으면서 표준화된 컨테이너 중의 어느 하나와 결합되게 리프팅 툴을 위치시키기 위한 적어도 3개의 조인트를 포함하는 것을 특징으로 하는 표준화된 컨테이너를 이동시키기 위한 방법.
- 제 10 항에 있어서, 복수의 분절은 리프팅 툴에 연결되는 적어도 하나의 제1 분절 및 리프팅 툴로부터 이격된 적어도 하나의 제2 분절을 포함하고, 제1 분절이 제2 분절보다 더 긴 것을 특징으로 하는 표준화된 컨테이너를 이동시키기 위한 방법.
- 제 9 항에 있어서, 리프팅 툴은 한 쌍의 대체로 평행한 부재를 갖는 포크로서 배치되는 것을 특징으로 하는 표준화된 컨테이너를 이동시키기 위한 방법.
- 물품 보관 장치 내의 접근 가능한 위치로부터 목적지로 표준화된 컨테이너를 이동시키기 위한 방법에 있어서,
물품 보관 장치 내의 접근 공간 내에서 보관 및 회수 수송 장치를 인접한 표준화된 컨테이너로 이동시키는 단계;
표준화된 컨테이너의 상부 표면 상에 배치된 리프팅 플랜지를 보관 및 회수 수송 장치의 암 상에 배치된 리프팅 툴과 결합시키기 위해 보관 및 회수 수송 장치의 암을 확장시키는 단계;
표준화된 컨테이너를 접근 공간 내로 이동시키기 위해 보관 및 회수 수송 장치의 암을 수축시키는 단계; 및
보관 및 회수 수송 장치에 의해 접근 공간 내의 표준화된 컨테이너를 목적지로 이동시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표준화된 컨테이너를 이동시키기 위한 방법. - 제 13 항에 있어서, 보관 및 회수 수송 장치의 암은 복수의 분절을 포함하고, 각각의 분절 사이에 조인트를 가지며, 암은 적어도 보관 랙 내에서 표준화된 컨테이너 중의 임의의 다른 것과는 접촉하지 않으면서 표준화된 컨테이너 중의 어느 하나와 결합되게 리프팅 툴을 위치시키기 위한 적어도 3개의 조인트를 포함하는 것을 특징으로 하는 표준화된 컨테이너를 이동시키기 위한 방법.
- 제 14 항에 있어서, 복수의 분절은 리프팅 툴에 연결되는 적어도 하나의 제1 분절 및 리프팅 툴로부터 이격된 적어도 하나의 제2 분절을 포함하고, 제1 분절이 제2 분절보다 더 긴 것을 특징으로 하는 표준화된 컨테이너를 이동시키기 위한 방법.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201762487757P | 2017-04-20 | 2017-04-20 | |
US62/487,757 | 2017-04-20 | ||
PCT/US2018/026674 WO2018194873A1 (en) | 2017-04-20 | 2018-04-09 | High density stocker |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20190141139A true KR20190141139A (ko) | 2019-12-23 |
KR102648735B1 KR102648735B1 (ko) | 2024-04-03 |
Family
ID=63856884
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020197029710A KR102648735B1 (ko) | 2017-04-20 | 2018-04-09 | 고밀도 스토커 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11261024B2 (ko) |
JP (1) | JP6991243B2 (ko) |
KR (1) | KR102648735B1 (ko) |
CN (1) | CN110520371B (ko) |
TW (1) | TWI752218B (ko) |
WO (1) | WO2018194873A1 (ko) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20060069263A (ko) * | 2004-12-16 | 2006-06-21 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 수평 다관절형 로봇 |
JP2007022677A (ja) * | 2005-07-12 | 2007-02-01 | Asyst Shinko Inc | ストッカ装置 |
JP5284808B2 (ja) * | 2009-01-26 | 2013-09-11 | 株式会社Sokudo | ストッカー装置及び基板処理装置 |
KR20140042677A (ko) * | 2012-09-28 | 2014-04-07 | 가부시키가이샤 야스카와덴키 | 로봇 아암 및 로봇 |
Family Cites Families (33)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08172121A (ja) | 1994-12-20 | 1996-07-02 | Hitachi Ltd | 基板搬送装置 |
US6540466B2 (en) | 1996-12-11 | 2003-04-01 | Applied Materials, Inc. | Compact apparatus and method for storing and loading semiconductor wafer carriers |
US6224313B1 (en) * | 1997-04-01 | 2001-05-01 | Murata Kikai Kabushiki Kaisha | Automatic warehouse |
JP2001514439A (ja) | 1997-08-28 | 2001-09-11 | シーブイシー プロダクツ, インク. | 複数ステーションの機械のウエハー取り扱い装置 |
TW495802B (en) | 1999-04-13 | 2002-07-21 | Semiconductor 300 Gmbh & Amp C | Arrangement for storing objects, particularly for storing disklike objects such as wafers, flat panels or CDs |
JP3556519B2 (ja) | 1999-04-30 | 2004-08-18 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器の識別構造及び基板収納容器の識別方法 |
US6297611B1 (en) * | 2000-07-06 | 2001-10-02 | Genmark Automation | Robot having independent end effector linkage motion |
JP2003039376A (ja) | 2001-07-30 | 2003-02-13 | Yaskawa Electric Corp | 衝突検出センサ |
US6678583B2 (en) * | 2001-08-06 | 2004-01-13 | Seminet, Inc. | Robotic storage buffer system for substrate carrier pods |
KR100577622B1 (ko) * | 2001-12-04 | 2006-05-10 | 로제 가부시키가이샤 | 용기의 일시적 반입, 유치, 반출용 장치 |
US7039499B1 (en) * | 2002-08-02 | 2006-05-02 | Seminet Inc. | Robotic storage buffer system for substrate carrier pods |
CN1802222A (zh) | 2003-04-10 | 2006-07-12 | 安堤格里斯公司 | 晶片承载器清洗系统 |
JP2005150495A (ja) | 2003-11-18 | 2005-06-09 | Yac Co Ltd | フープステーション |
JP4973209B2 (ja) | 2007-01-17 | 2012-07-11 | ムラテックオートメーション株式会社 | ストッカ及びスタッカ装置の制御方法 |
JP2008174357A (ja) | 2007-01-19 | 2008-07-31 | Asyst Technologies Japan Inc | ストッカ |
JP5256810B2 (ja) | 2008-03-24 | 2013-08-07 | 村田機械株式会社 | 保管庫装置及び保管庫付き搬送システム |
JP2011119556A (ja) | 2009-12-07 | 2011-06-16 | Yaskawa Electric Corp | 水平多関節ロボットおよびそれを備えた搬送装置 |
JP5318005B2 (ja) | 2010-03-10 | 2013-10-16 | 株式会社Sokudo | 基板処理装置、ストッカー装置および基板収納容器の搬送方法 |
JP2011218538A (ja) | 2010-04-12 | 2011-11-04 | Yasuhito Itagaki | ロボット。 |
JP5722092B2 (ja) | 2011-03-18 | 2015-05-20 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
US9076829B2 (en) | 2011-08-08 | 2015-07-07 | Applied Materials, Inc. | Robot systems, apparatus, and methods adapted to transport substrates in electronic device manufacturing |
KR101244381B1 (ko) | 2012-03-27 | 2013-04-08 | (주) 디바이스이엔지 | 웨이퍼 보관용기 세정장치 |
KR101524251B1 (ko) | 2013-06-11 | 2015-06-01 | 주식회사 테라세미콘 | 클러스터형 배치식 기판처리 시스템 |
JP6278751B2 (ja) * | 2014-03-04 | 2018-02-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送方法及び基板処理装置 |
JP2016219620A (ja) * | 2015-05-21 | 2016-12-22 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法およびそれに用いられるfoup |
JP6477436B2 (ja) * | 2015-11-13 | 2019-03-06 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP6566051B2 (ja) * | 2016-02-15 | 2019-08-28 | 村田機械株式会社 | 保管装置及び搬送システム |
US11052926B2 (en) * | 2016-09-26 | 2021-07-06 | Murata Machinery, Ltd. | Overhead transport system and overhead transport vehicle |
JP6766584B2 (ja) * | 2016-10-19 | 2020-10-14 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP6750574B2 (ja) * | 2017-06-30 | 2020-09-02 | 株式会社ダイフク | 物品支持棚 |
JP6801640B2 (ja) * | 2017-12-21 | 2020-12-16 | 株式会社ダイフク | 収納棚及び物品収納設備 |
JP6819565B2 (ja) * | 2017-12-21 | 2021-01-27 | 株式会社ダイフク | 物品収納設備 |
JP6784277B2 (ja) * | 2018-06-11 | 2020-11-11 | 村田機械株式会社 | ストッカ及び搬送車システム |
-
2018
- 2018-04-09 JP JP2019556806A patent/JP6991243B2/ja active Active
- 2018-04-09 WO PCT/US2018/026674 patent/WO2018194873A1/en active Application Filing
- 2018-04-09 US US16/606,042 patent/US11261024B2/en active Active
- 2018-04-09 KR KR1020197029710A patent/KR102648735B1/ko active IP Right Grant
- 2018-04-09 CN CN201880025362.2A patent/CN110520371B/zh active Active
- 2018-04-13 TW TW107112733A patent/TWI752218B/zh active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20060069263A (ko) * | 2004-12-16 | 2006-06-21 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 수평 다관절형 로봇 |
JP2007022677A (ja) * | 2005-07-12 | 2007-02-01 | Asyst Shinko Inc | ストッカ装置 |
JP5284808B2 (ja) * | 2009-01-26 | 2013-09-11 | 株式会社Sokudo | ストッカー装置及び基板処理装置 |
KR20140042677A (ko) * | 2012-09-28 | 2014-04-07 | 가부시키가이샤 야스카와덴키 | 로봇 아암 및 로봇 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI752218B (zh) | 2022-01-11 |
JP6991243B2 (ja) | 2022-01-12 |
JP2020517550A (ja) | 2020-06-18 |
WO2018194873A1 (en) | 2018-10-25 |
TW201842617A (zh) | 2018-12-01 |
US11261024B2 (en) | 2022-03-01 |
CN110520371B (zh) | 2022-05-03 |
CN110520371A (zh) | 2019-11-29 |
KR102648735B1 (ko) | 2024-04-03 |
US20210139238A1 (en) | 2021-05-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10913601B2 (en) | Temporary storage system | |
US7780392B2 (en) | Horizontal array stocker | |
US20190019707A1 (en) | Conveyance system | |
KR102450289B1 (ko) | 용기 반송 장치 및 용기 반송 설비 | |
KR20120112800A (ko) | 오버헤드 호이스트를 탑재한 오버헤드 호이스트 수송 차량 | |
KR20140089517A (ko) | 로드 포트, efem | |
JP2016216137A5 (ko) | ||
US10287096B2 (en) | Article support rack | |
US9033638B2 (en) | OHT accessible high density stocker and method | |
US20160223136A1 (en) | Article support device and method for placing two types of articles on support device | |
TWI684232B (zh) | 用於高產率在製品緩衝之系統及方法 | |
KR102648735B1 (ko) | 고밀도 스토커 | |
KR102633352B1 (ko) | 수직 이송 장치를 포함한 보관 시스템 | |
US20230061872A1 (en) | Wafer storage system | |
JP6686914B2 (ja) | 物品保管設備 | |
KR20220093801A (ko) | 스토커 장치 | |
KR20230173839A (ko) | 천장 저장 시스템 및 그 제어 방법 | |
TWM643077U (zh) | 能快速復歸原位的小型倉儲裝置 | |
KR20220057012A (ko) | 타워 리프트 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right |