KR20190129085A - 캐리어 필름 및 전자 부품의 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

캐리어 필름 상에 성형된 시트 부재에 자외선 레이저에 의해 관통구멍 및 바닥이 있는 구멍의 적어도 일방인 구멍이 형성될 때에, 양자의 계면 근방에 있어서의 과잉한 가공이 억제되는 캐리어 필름, 및 그것을 사용한 전자 부품의 제조 방법을 제공한다. 캐리어 필름(10)은 시트 부재(20)의 성형에 사용되고, 중심 파장이 355㎚∼365㎚이고, 375㎚ 이상의 파장이 포함되는 파장 분포를 갖는 자외선 레이저(B)가 조사되었을 때, 자외선 레이저(B)의 파장 분포에 있어서의 375㎚ 미만인 성분의 흡수율이 50% 이상이고, 375㎚ 이상인 성분의 흡수율이 50% 미만이다.

Description

캐리어 필름 및 전자 부품의 제조 방법
본 발명은 시트 부재의 성형에 사용되는 캐리어 필름, 및 그 위에 성형된 시트 부재에 관통구멍 및 바닥이 있는 구멍의 적어도 일방인 구멍을 형성하는 공정을 포함하는 전자 부품의 제조 방법에 관한 것이다.
시트 부재는 전자 부품의 구성 부재, 또는 전자 부품의 제조 과정에 있어서의 중간 제품의 구성 부재로서 사용된다. 시트 부재의 일례로서, 세라믹 그린 시트를 들 수 있다. 세라믹 그린 시트에 관통구멍을 형성하는 공정을 포함하는 세라믹 전자 부품의 제조 방법의 일례로서, 일본 특허 공개 평 6-304774호(특허문헌 1)에 기재된 세라믹 전자 부품의 제조 방법을 들 수 있다.
특허문헌 1에 기재된 세라믹 전자 부품의 제조 방법에서는, 예를 들면 폴리에틸렌테레프탈레이트(이하, PET라고 약기)로 이루어지는 캐리어 필름 및 그 위에 성형된 세라믹 그린 시트에 대해서 레이저가 조사된다. 그 때, 레이저는 캐리어 필름측으로부터 조사된다. 그 결과, 캐리어 필름 및 그 위에 성형된 세라믹 그린 시트의 양자에 관통구멍이 형성된다.
상기의 관통구멍에는 금속 분말을 포함하는 도전성 페이스트가 충전된다. 관통구멍에 도전성 페이스트가 충전된 세라믹 그린 시트는 캐리어 필름이 박리된 후에 소성된다. 관통구멍에 충전된 도전성 페이스트는 소성 후에 비아 도체가 된다.
일본 특허 공개 평 6-304774호 공보
최근, 전자 부품의 소형화에 따라, 비아 도체의 소경화가 도모되고 있다. 시트 부재에 소경의 비아 도체용 관통구멍을 형성하는 공정에 사용되는 레이저에는 미소 영역의 가공에 알맞은 자외선 레이저의 사용이 검토되고 있다. 자외선 레이저의 일례로서, 예를 들면 중심 파장이 355㎚이고, 375㎚ 이상의 파장이 포함되는 파장 분포를 갖는 것을 들 수 있다.
그런데, 캐리어 필름의 재료로서, 파장 분포의 대부분에 있어서 자외선 레이저의 흡수율이 낮은 재료가 사용된 경우, 캐리어 필름에의 관통구멍의 형성이 곤란하게 될 우려가 있다. 한편, 캐리어 필름의 재료로서, 파장 분포의 대부분에 있어서 자외선 레이저의 흡수율이 높은 재료가 사용된 경우, 캐리어 필름에의 관통구멍의 형성은 진행되기 쉬워진다. 단, 그 경우, 캐리어 필름과 시트 부재의 계면 근방의 구경이 커질 우려가 있다.
도 2는 캐리어 필름의 재료로서, 파장 분포의 대부분에 있어서 자외선 레이저의 흡수율이 높은 재료가 사용된 경우의 문제를, 더욱 상세하게 설명하기 위한 도면이다. 도 2(A) 또는 (E)는 자외선 레이저에 의한, 시트 부재에 관통구멍을 형성하는 공정을 포함하는 전자 부품의 제조 방법의 일례에 있어서, 순차적으로 행해지는 각 공정의 요부를 각각 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 2(A)는 캐리어 필름(110)이 제작 또는 준비되는 공정을 나타내는 단면도이다. 캐리어 필름(110)에는, 예를 들면 폴리에틸렌나프탈레이트(이하, PEN이라고 약기)와 같은 상술의 파장 분포의 대부분에 있어서, 자외선 레이저의 흡수율이 높은 재료가 사용되고 있다. 도 2(B)는 캐리어 필름(110)의 일방 주면 상에, 시트 부재(120)가 성형되는 공정을 나타내는 단면도이다. 시트 부재(120)의 재질 및 성형 방법은 특별히 한정되지 않는다.
도 2(C)는 자외선 레이저 B의 조사에 의해, 캐리어 필름(110) 및 그 일방 주면 상에 성형된 시트 부재(120)에 관통구멍(130)이 형성되는 공정을 나타내는 단면도이다. 자외선 레이저 B는 캐리어 필름(110)의 타방 주면측으로부터 조사된다. 그 결과, 캐리어 필름(110) 및 시트 부재(120)에 관통구멍(130)이 형성된다.
자외선 레이저 B에 있어서의 중심 파장 근방의 성분은 캐리어 필름(110)의 타방 주면측으로부터 흡수되기 쉽다. 그 때문에, 캐리어 필름(110)은 자외선 레이저 B에 있어서의 중심 파장 근방의 성분에 의해, 타방 주면측으로부터 천공되어 간다. 한편, 상술의 파장이 375㎚ 이상인 성분은 캐리어 필름(110)의 일방 주면측으로부터 흡수되기 쉽다. 그 때문에, 캐리어 필름(110)은 상기의 성분에 의해 일방 주면측으로부터도 천공되어 간다.
그 때, 캐리어 필름(110)의 일방 주면 상에는 시트 부재(120)가 있기 때문에, 양자의 계면에서는 천공시에 발생하는 열이 머물러 있기 쉽게 되어 있다. 따라서, 자외선 레이저 B에 있어서의 파장이 375㎚ 이상인 성분에 의한 가공이 과잉으로 진행되어, 도 2(C)에 나타내는 바와 같이, 양자의 계면 근방에 구경이 커진 부분(130a)이 형성된다.
도 2(D)는 캐리어 필름(110) 및 시트 부재(120)에 형성된 관통구멍에, 도전성 페이스트(140)가 충전되는 공정을 나타내는 단면도이다. 도전성 페이스(140)는 캐리어 필름(110)과 시트 부재(120)의 계면 근방의, 구경이 커진 부분(130a)에도 충전된다.
도 2(E)는 시트 부재(120)로부터 캐리어 필름(110)이 박리되는 공정을 나타내는 단면도이다. 도전성 페이스트(140)가 구경이 커진 부분(130a)에도 충전된 결과, 캐리어 필름(110)의 박리 후의 시트 부재(120) 상에는 도전성 페이스트(140)의, 의도하지 않는 관통구멍으로부터의 플래시부(140a)가 발생한다. 나아가서는, 도 2(E)에는 도시되지는 않았지만, 비아 도체가 복수 설치되는 경우에는 인접하는 비아 도체끼리가 접촉할 우려가 생긴다.
상기의 문제는 캐리어 필름 상에, 시트 부재로서 세라믹 그린 시트가 성형된 경우뿐만 아니라, 수지 시트가 성형된 경우에도 일어날 수 있다. 또한, 상기의 문제는 시트 부재에 관통구멍이 형성되는 경우뿐만 아니라, 바닥이 있는 구멍이 형성되는 경우에도 일어날 수 있다.
본 발명의 목적은 캐리어 필름 상에 성형된 시트 부재에, 자외선 레이저에 의해 관통구멍 및 바닥이 있는 구멍의 적어도 일방인 구멍이 형성될 때에, 양자의 계면 근방에 있어서의 과잉한 가공이 억제되는 캐리어 필름을 제공하는 것이다. 또한, 상기의 캐리어 필름이 사용되는 전자 부품의 제조 방법을 제공하는 것이다.
이 발명에 따른 캐리어 필름에서는 조사된 자외선 레이저의 흡수율에 관한 개선을 도모한다.
본 발명은 우선 캐리어 필름에 관한 것이다.
이 발명에 따른 캐리어 필름은 시트 부재의 성형에 사용된다. 그리고, 중심 파장이 355㎚∼365㎚이고, 375㎚ 이상의 파장이 포함되는 파장 분포를 갖는 자외선 레이저가 조사되었을 때, 자외선 레이저의 파장 분포에 있어서의 375㎚ 미만의 성분의 흡수율이 50% 이상이다. 또한, 자외선 레이저의 파장 분포에 있어서의 375㎚ 이상의 성분의 흡수율이 50% 미만이다.
상기의 캐리어 필름에서는 일방 주면에 시트 부재가 성형되어, 상기의 자외선 레이저가 타방 주면측으로부터 조사되었을 경우, 파장이 375㎚ 이상의 성분의, 일방 주면측으로부터의 흡수가 억제된다. 그 때문에, 캐리어 필름에 관통구멍이 형성되어, 시트 부재에 자외선 레이저에 의해 관통구멍 및 바닥이 있는 구멍의 적어도 일방인 구멍이 형성될 때에, 양자의 계면 근방에 있어서의 과잉한 가공이 억제된다.
이 발명에 따른 캐리어 필름은 이하의 특징을 구비하는 것이 바람직하다. 즉, 이 발명에 따른 캐리어 필름은 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET)와 폴리에틸렌나프탈레이트(PEN)를 포함하고 있다. 그리고, PEN의 중량의, PET의 중량과 PEN의 중량의 합에 대한 비가 0.05 이상 0.25 이하이다.
상기의 캐리어 필름에서는 일방 주면에 시트 부재가 성형되어, 상술의 자외선 레이저가 타방 주면측으로부터 조사된 경우, 파장이 375㎚ 이상인 성분의, 일방 주면측으로부터의 흡수의 억제가 용이하게 실현된다.
또한, 본 발명은 전자 부품의 제조 방법에도 관한 것이다.
이 발명에 따른 전자 부품의 제조 방법은 캐리어 필름 상에 성형된 시트 부재에 관통구멍 및 바닥이 있는 구멍의 적어도 일방인 구멍을 형성하는 공정을 포함하고 있다. 그리고, 이 발명에 따른 전자 부품의 제조 방법은 이하의 제 1 내지 제 5 공정을 구비하고 있다.
제 1 공정은 캐리어 필름이 제작 또는 준비되는 공정이다. 제 2 공정은 캐리어 필름의 일방 주면 상에, 시트 부재가 성형되는 공정이다. 제 3 공정은 캐리어 필름 및 캐리어 필름 상에 성형된 시트 부재에, 자외선 레이저가 캐리어 필름의 타방 주면측으로부터 조사됨으로써 캐리어 필름에 관통구멍이 형성되어, 시트 부재에 관통구멍 및 바닥이 있는 구멍의 적어도 일방인 구멍이 형성되는 공정이다. 자외선 레이저는 중심 파장이 355㎚∼365㎚이고, 375㎚ 이상의 파장이 포함되는 파장 분포를 가지고 있다.
제 4 공정은 캐리어 필름에 형성된 관통구멍 및 시트 부재에 형성된 상기의 구멍에, 도전성 페이스트가 충전되는 공정이다. 제 5 공정은 상기의 구멍에 도전성 페이스트가 충전된 시트 부재로부터 캐리어 필름이 박리되는 공정이다. 그리고, 상기의 캐리어 필름은 상술의 이 발명에 따른 캐리어 필름이다.
상기의 전자 부품의 제조 방법에서는 이 발명에 따른 캐리어 필름이 사용된다. 그 때문에, 자외선 레이저에 의해 캐리어 필름에 관통구멍이 형성되어 시트 부재에 상기의 구멍이 형성될 때에, 양자의 계면 근방에 있어서의 과잉한 가공이 억제된다. 따라서, 캐리어 필름의 박리 후의 시트 부재 상에 있어서의, 도전성 페이스트의 상기의 구멍으로부터 플래시가 억제된다. 나아가서는 인접하는 비아 도체의 접촉이 억제된다.
(발명의 효과)
이 발명에 따른 캐리어 필름에서는 자외선 레이저에 의해 캐리어 필름에 관통구멍이 형성되어 시트 부재에 상기의 구멍이 형성될 때에, 양자의 계면 근방에 있어서의 과잉한 가공이 억제된다. 또한, 이 발명에 따른 전자 부품의 제조 방법에서는 캐리어 필름의 박리 후의 시트 부재상에 있어서의, 도전성 페이스트의 상기의 구멍으로부터의 플래시가 억제된다. 나아가서는 인접하는 비아 도체의 접촉이 억제된다.
도 1은 이 발명에 따른 캐리어 필름이 사용된 전자 부품의 제조 방법의 일례에 대해서 설명한 도면이다.
도 2는 이 발명이 이루고자 하는 기술적 과제를 설명하기 위한, 파장 분포의 대부분이 있어서 자외선 레이저의 흡수율이 높은 재료로 이루어지는 캐리어 필름이 사용된 전자 부품의 제조 방법의 일례에 대해서 설명한 도면이다.
이하에 본 발명의 실시형태를 나타내고, 본 발명의 특징으로 하는 곳을 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명은, 예를 들면 세라믹 다층 기판 및 세라믹 연료전지 등, 세라믹 그린 시트를 성형해서 제조되는 세라믹 전자 부품의 제조, 및 수지 다층 기판 등의 비세라믹 전자 부품의 제조 모두에 널리 적용된다.
-캐리어 필름의 실시형태-
소정의 자외선 레이저에 있어서의 파장 분포의 대부분이 대하여, 흡수율이 높은 재료로 이루어지는 캐리어 필름에 그 자외선 레이저가 조사된 경우, 캐리어 필름은 조사면 및 그 대향면의 양면으로부터 천공되어 간다. 즉, 상술한 바와 같이, 대향면측에 있어서 과잉으로 가공된 부분이 발생한다. 이러한 과제를 해결하기 위해서, 발명자는 예의연구를 거듭한 결과, 대향면에 있어서의 자외선 레이저의 흡수를 억제하는 조건을 발견하고, 본 발명을 행하는 것에 이르렀다.
이 발명에 따른 캐리어 필름은 이하의 특징을 가지고 있다. 즉, 중심 파장이 355㎚∼365㎚이고, 375㎚ 이상의 파장이 포함되는 파장 분포를 갖는 자외선 레이저가 조사되었을 때, 자외선 레이저의 파장 분포에 있어서의 375㎚ 미만의 성분의 흡수율이 50% 이상이다. 또한, 자외선 레이저의 파장 분포에 있어서의 375㎚ 이상의 성분의 흡수율이 50% 미만이다.
상기의 조건은 캐리어 필름이 PET와 PEN을 포함하고, 또한 PEN의 중량의, PET의 중량과 PEN의 중량의 합에 대한 비가 0.05 이상 0.25 이하로 됨으로써 실현된다. 또한, 상기의 조건은 캐리어 필름이 PET와 자외선흡수제를 포함하도록 함으로써 실현된다. 단, 상기의 조건이 실현되기 위한 캐리어 필름의 구체적인 구성은 이들에 한정되지 않는다.
자외선흡수제는 페닐살리실레이트, p-tert-부틸페닐살리실레이트, 2,4-디히드록시벤조페논, 2-히드록시-4-메톡시벤조페논, 2-(2'-히드록시-5'-메틸페닐)벤조트리아졸, 2-(2'-히드록시-5'-tert-메틸페닐)벤조트리아졸, 2-(2H-벤조트리아졸-2-일)-4-6-비스(1-메틸-1-페닐에틸)페놀, 2-에틸헥실-2-시아노-3,3'-디페닐아크릴레이트, 에틸-2-시아노-3,3'-디페닐아크릴레이트 중으로부터 선택되는 적어도 1종의 유기 화합물이다.
본 발명을 실험예에 의거하여 보다 구체적으로 설명한다. 캐리어 필름은 두께 25㎛가 되도록 제작되어 있다. 캐리어 필름의 일방 주면에는 시트 부재가 두께 10㎛가 되도록 성형되어 있다. 여기에서, 시트 부재는 저온 소성 세라믹 재료를 포함하는 세라믹 그린 시트이다. 캐리어 필름에 조사되는 자외선 레이저는 중심 파장이 355㎚∼365㎚이고, 375㎚ 이상의 파장이 포함되는 파장 분포를 갖는 것이다. 자외선 레이저는 캐리어 필름의 타방 주면측으로부터 조사된다. 이 실험예에 있어서는 상기의 자외선 레이저의 조사에 의해, 캐리어 필름과 시트 부재의 양방에 관통구멍이 형성된다.
이 실험예에 의해, 상기의 자외선 레이저가 캐리어 필름에 조사되었을 때의, 파장이 375㎚ 미만인 성분의 흡수율과 375㎚ 이상인 성분의 흡수율이 규정된다. 실험예에 사용된 캐리어 필름은, 예를 들면 2축 연신법과 같은 기지의 공법에 의해 제작될 수 있다.
표 1에는 상기의 자외선 레이저가 이 실험예의 다양한 캐리어 필름에 조사되었을 때의, 자외선 레이저의 흡수율과 형성된 관통구멍의 다양한 위치에 있어서의 개구 지름의 값이 나타내어져 있다. 자외선 레이저의 흡수율은 파장 λ가 300㎚ 이상 355㎚ 미만인 성분과, 파장 λ가 355㎚ 이상 375㎚ 미만인 성분과, 파장 λ가 375㎚ 이상 425㎚ 미만인 성분으로 나누어서 나타내어져 있다. 자외선 레이저의 각 파장 성분의 흡수율은 분광광도계에 의해 측정된다. 또한, 표 1의 「필름」은 캐리어 필름을 나타내고, 「시트」는 시트 부재를 나타낸다.
Figure pct00001
시료 1과 같이, 파장 분포의 대부분에 대하여 흡수율이 낮을수록, 소정의 시간 내에서의 관통구멍의 형성이 곤란했다. 또한, 시료 2와 같이, 파장 λ가 375㎚ 미만인 성분 중, 흡수율이 50% 미만인 것이 있고, 파장 λ가 375㎚ 이상인 성분의 흡수율이 50% 이상인 경우, 형성된 관통구멍의 형상이 부정형으로 되었다. 이것은 캐리어 필름의 일방 주면측 및 시트 부재측으로부터의 가공이 진행되고, 캐리어 필름 및 시트 부재의 열분해에 의해 발생한 가스에 의해, 캐리어 필름의 타방 주면측으로부터의 가공을 방해할 수 있기 때문이라고 생각된다.
또한, 시료 6 내지 8과 같이, 파장 분포의 대부분에 대하여 흡수율이 높은 경우, 캐리어 필름과 시트 부재의 계면 근방이 과잉으로 가공된다. 그 결과, 캐리어 필름에 있어서의 자외선 레이저의 출사측 및 시트 부재에 있어서의 자외선 레이저의 입사측의 개구경의 값이 모두 100㎛ 이상이 된다.
한편, 시료 3 내지 5와 같이, 파장 λ가 375㎚ 미만인 성분의 흡수율이 50% 이상이고, 파장 λ가 375㎚ 이상인 성분의 흡수율이 50% 미만인 경우, 관통구멍의 다양한 위치에 있어서의 개구경의 값은 모두 100㎛ 미만이었다. 여기에서, 시료 3에서는 PEN과 PET의 중량의 합에 대한 PEN의 중량비가 0.05, 시료 4에서는 PEN과 PET의 중량의 합에 대한 PEN의 중량비가 0.14, 시료 5에서는 PEN과 PET의 중량의 합에 대한 PEN의 중량비가 0.25이다. 따라서, 캐리어 필름에 있어서, PET의 중량과 PEN의 중량의 합에 대한 PEN의 중량비가 0.05 이상 0.25 이하인 경우, 양호한 가공 결과가 얻어진다.
-전자 부품의 제조 방법-
도 1은 이 발명에 따른 캐리어 필름이 사용된 전자 부품의 제조 방법의 일례에 대해서 설명한 도면이다. 도 1(A) 또는 (E)는 캐리어 필름 상에 성형된 시트 부재에, 관통구멍 및 바닥이 있는 구멍의 적어도 일방인 구멍을 형성하는 공정을 포함한, 전자 부품의 제조 방법의 일례에 있어서, 순차 행해지는 각 공정의 요부를 각각 모식적으로 나타내는 단면도이다.
이 예에서는 자외선 레이저의 조사에 의해, 캐리어 필름과 시트 부재의 양방에 관통구멍이 형성되는 경우가 나타내어져 있지만, 캐리어 필름에 관통구멍이 형성되고, 시트 부재에 바닥이 있는 구멍이 형성되도록 해도 좋다.
또한, 각 도면은 모식도이고, 실제 제품의 치수는 반드시 반영되지 않는다. 또한, 제조 공정 상에서 발생하는 각 구성 요소의 형상의 불균일 등도, 각 도면에 반드시 반영되지 않는다. 즉, 이후, 이 명세서 중에서 설명을 위해 사용되는 도면은 가령 실제 제품과 다른 부분이 있더라도, 본질적인 면에서 실제 제품을 나타내는 것이라고 할 수 있다.
도 1(A)은 캐리어 필름(10)이 제작 또는 준비되는 공정(제 1 공정)을 나타내는 단면도이다. 캐리어 필름(10)은 이 발명에 따른 캐리어 필름이고, PEN 및 PET를 상술한 중량비로 포함하고 있다. 즉, PEN의 중량의, PET의 중량과 PEN의 중량의 합에 대한비가 0.05 이상 0.25 이하이다. 캐리어 필름(10)은 관통구멍의 형성에 필요로 하는 시간과, 후술의 제 2 공정에서 그 위에 형성되는 시트 부재(20)의 취급이 고려됨으로써, 예를 들면 25㎛ 내지 100㎛ 사이의 두께가 되도록 제작된다.
캐리어 필름(10)의 일방 주면측(후술의 제 2 공정에서 시트 부재(20)가 형성되는 측)에는 후술하는 제 5 공정에 있어서 시트 부재(20)의 박리성을 향상시키기 위한 이형층이 부여되어 있어도 좋다. 이형층은 실리콘 수지 또는 불소 수지를 사용하여 형성된다.
또한, 캐리어 필름(10)에는 열팽창계수의 조정, 기계적 강도의 향상, 및 권취 불균일의 방지 등을 위해 무기 재료 분말이 첨가되어 있어도 좋다. 무기 재료 분말의 재질은 산화알루미늄 등의 산화물, 질화규소 등의 질화물, 및 탄화규소 등의 탄화물 중으로부터 선택되는 적어도 1종류이다. 무기 재료 분말의 형상은 구상 또는 플레이크상이다. 충전성의 관점에서는 구상이 바람직하다.
도 1(B)은 캐리어 필름(10)의 일방 주면 상에, 시트 부재(20)가 성형되는 공정(제 2 공정)을 나타내는 단면도이다. 여기에서, 시트 부재(20)는 저온 소성 세라믹 재료를 포함하는 세라믹 그린 시트이다. 예를 들면, 세라믹 재료의 분말, 바인더, 가소제 및 유기용제가 혼합되어 이루어지는 슬러리가 캐리어 필름(10)의 일방 주면 상에 립 코터 등을 사용하여 도포됨으로써 시트 부재(20)가 된다. 시트 부재(20)는, 예를 들면 5㎛ 내지 100㎛ 사이의 두께가 되도록 성형되고 있다.
도 1(C)은 자외선 레이저 B의 조사에 의해, 캐리어 필름(10) 및 그 일방 주면 상에 성형된 시트 부재(20)에 관통구멍(30)이 형성되는 공정(제 3 공정)을 나타내는 단면도이다. 자외선 레이저 B는 캐리어 필름(10)의 타방 주면측으로부터 조사된다. 자외선 레이저 B는 중심 파장이 355㎚∼365㎚이고, 375㎚ 이상의 파장이 포함되는 파장 분포를 가지고 있다. 그 결과, 캐리어 필름(10) 및 시트 부재(20)의 양자에 관통구멍(30)이 열린다. 관통구멍(30)의 구경은, 예를 들면 20㎛ 내지 200㎛ 사이에 설정된다.
캐리어 필름(10)은 상술한 바와 같이 이 발명에 따른 캐리어 필름이다. 즉, 일방 주면에 시트 부재(20)가 성형된 캐리어 필름(10)에, 자외선 레이저 B가 타방 주면측으로부터 조사된 경우, 파장이 375㎚ 이상인 성분의, 일방 주면측으로부터의 흡수가 억제된다. 그 때문에, 캐리어 필름(10) 및 그 위에 성형된 시트 부재(20)에, 자외선 레이저에 의한 관통구멍(30)이 형성될 때에, 양자의 계면 근방에 있어서의 과잉한 가공이 억제된다.
도 1(D)은 캐리어 필름(10) 및 시트 부재(20)에 형성된 관통구멍(30)에, 도전성 페이스트(40)가 충전되는 공정(제 4 공정)을 나타내는 단면도이다. 도전성 페이스트(40)의 재질 및 충전 방법은 특별히 한정되지 않는다. 예를 들면, 구리 등의 금속 분말, 바인더, 가소제 및 유기용제가 혼합되어 이루어지는 도전성 페이스트(40)가 관통구멍(30)에 스크린 인쇄기 등을 사용하여 충전된다.
또한, 도전성 페이스트(40)에는 소결시의 수축률의 조정 등을 위해, 무기 재료 분말이 첨가되어 있어도 좋다. 무기 재료 분말의 재질로서는 시트 부재(20)에 포함되는 세라믹 재료 분말이 바람직하다.
도 1(E)은 관통구멍에 도전성 페이스트(40)가 충전된 시트 부재(20)로부터 캐리어 필름이 박리되는 공정(제 5 공정)을 나타내는 단면도이다. 도 1(E)에 나타내는 바와 같이, 이 발명에 따른 전자 부품의 제조 방법에서는 캐리어 필름(10)의 박리 후의 시트 부재(20) 상의, 도전성 페이스트(40)의 관통구멍(30)으로부터의 플래시가 억제되어 있다. 그 결과, 도시되지 않는 인접하는 비아 도체의 접촉이 억제된다.
상기의 전자 부품의 제조 방법의 예는 시트 부재가 세라믹 그린 시트인 경우 에 대해서 설명된 것이지만, 시트 부재가 수지 시트이어도 동일한 공정이 실시되어 동일한 효과가 얻어진다. 또한, 이 예에서는 시트 부재에 관통구멍이 형성되는 경우 에 대해서 설명된 것이지만, 자외선 레이저의 조사 시간 및 에너지의 적어도 일방을 변화시킴으로써 바닥이 있는 구멍이 형성된 경우에도, 역시 동일한 효과가 얻어진다.
또한, 이 명세서에 기재된 실시형태는 예시적인 것이고, 본 발명은 상기의 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 범위 내에 있어서 다양한 응용, 변형을 추가할 수 있다.
10 캐리어 필름
20 시트 부재
30 관통구멍
40 도전성 페이스트

Claims (3)

  1. 시트 부재의 성형에 사용되는 캐리어 필름으로서,
    중심 파장이 355㎚∼365㎚이고, 375㎚ 이상의 파장이 포함되는 파장 분포를 갖는 자외선 레이저가 조사되었을 때,
    상기 자외선 레이저의 파장 분포에 있어서의 375㎚ 미만인 성분의 흡수율이 50% 이상이고, 상기 자외선 레이저의 파장 분포에 있어서의 375㎚ 이상인 성분의 흡수율이 50% 미만인 것을 특징으로 하는 캐리어 필름.
  2. 제 1 항에 있어서,
    폴리에틸렌테레프탈레이트와, 폴리에틸렌나프탈레이트를 포함하고 있고,
    폴리에틸렌나프탈레이트의 중량의, 폴리에틸렌테레프탈레이트의 중량과 폴리에틸렌나프탈레이트의 중량의 합에 대한 비가 0.05 이상 0.25 이하인 것을 특징으로 하는 캐리어 필름.
  3. 캐리어 필름 상에 성형된 시트 부재에 관통구멍 및 바닥이 있는 구멍의 적어도 일방인 구멍을 형성하는 공정을 포함하는 전자 부품의 제조 방법으로서,
    상기 캐리어 필름이 제작 또는 준비되는 제 1 공정과,
    상기 캐리어 필름의 일방 주면 상에, 상기 시트 부재가 성형되는 제 2 공정과,
    상기 캐리어 필름 및 상기 캐리어 필름 상에 성형된 상기 시트 부재에, 중심 파장이 355㎚∼365㎚이고, 375㎚ 이상의 파장이 포함되는 파장 분포를 갖는 자외선 레이저가 상기 캐리어 필름의 타방 주면측으로부터 조사됨으로써, 상기 캐리어 필름에 관통구멍이 형성되어, 상기 시트 부재에 관통구멍 및 바닥이 있는 구멍의 적어도 일방인 구멍이 형성되는 제 3 공정과,
    상기 캐리어 필름에 형성된 상기 관통구멍 및 상기 시트 부재에 형성된 상기 구멍에, 도전성 페이스트가 충전되는 제 4 공정과,
    상기 구멍에 상기 도전성 페이스트가 충전된 상기 시트 부재로부터 상기 캐리어 필름이 박리되는 제 5 공정을 구비하고,
    상기 캐리어 필름은 제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 캐리어 필름인 것을 특징으로 하는 전자 부품의 제조 방법.
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