KR20190126717A - 반송 시스템 - Google Patents

반송 시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR20190126717A
KR20190126717A KR1020190049902A KR20190049902A KR20190126717A KR 20190126717 A KR20190126717 A KR 20190126717A KR 1020190049902 A KR1020190049902 A KR 1020190049902A KR 20190049902 A KR20190049902 A KR 20190049902A KR 20190126717 A KR20190126717 A KR 20190126717A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
guide
platform
guide portion
gap
support
Prior art date
Application number
KR1020190049902A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102451382B1 (ko
Inventor
히데지 사카타
Original Assignee
무라다기카이가부시끼가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 무라다기카이가부시끼가이샤 filed Critical 무라다기카이가부시끼가이샤
Publication of KR20190126717A publication Critical patent/KR20190126717A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102451382B1 publication Critical patent/KR102451382B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29D—PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
    • B29D30/00—Producing pneumatic or solid tyres or parts thereof
    • B29D30/0016—Handling tyres or parts thereof, e.g. supplying, storing, conveying
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G35/00—Mechanical conveyors not otherwise provided for
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
    • B66C13/00—Other constructional features or details
    • B66C13/04—Auxiliary devices for controlling movements of suspended loads, or preventing cable slack
    • B66C13/06—Auxiliary devices for controlling movements of suspended loads, or preventing cable slack for minimising or preventing longitudinal or transverse swinging of loads
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67712—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations the substrate being handled substantially vertically
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29D—PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
    • B29D30/00—Producing pneumatic or solid tyres or parts thereof
    • B29D30/0016—Handling tyres or parts thereof, e.g. supplying, storing, conveying
    • B29D2030/0022—Handling green tyres, e.g. transferring or storing between tyre manufacturing steps

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Structure Of Belt Conveyors (AREA)
  • Formation And Processing Of Food Products (AREA)
  • Screw Conveyors (AREA)

Abstract

기준 위치로부터 이탈한 하물을 적절히 지지하면서, 승강 시의 승강대의 흔들림을 억제한다. 반송 시스템(100)은 선반부(11)와의 사이에서 생타이어(T)의 이동 재치를 행하는 반송 장치(3)를 구비한다. 반송 장치(3)는 승강대(35)와, 지지부(37)와, 피가이드부(39a)를 가진다. 승강대(35)는 승강 가능하게 마련되어 있다. 지지부(37)는 승강대(35)에 마련되어, 생타이어(T)의 상면 내벽을 하측으로부터 지지한다. 피가이드부(39a)는 승강대(35)에 마련된다. 선반부(11)에는 피가이드부(39a)와의 사이에 제 1 간극(S1)을 형성하는 하측 부분(131)과, 피가이드부(39a)와의 사이에 제 2 간극(S2)을 형성하는 상측 부분(133)을 가지는 가이드부(13)가 마련된다.

Description

반송 시스템 {TRANSFER SYSTEM}
본 발명은 반송 시스템, 특히 하물(荷物)을 지지하는 지지부를 천장 주행부로부터 승강시키는 반송 장치를 구비하는 반송 시스템에 관한 것이다.
종래, 천장 주행차로부터 물품 파지 기능을 구비한 승강대를 승강시켜, 바닥면측에 배치된 스테이션과의 사이에서 하물을 이동 재치(載置)하는 반송 장치를 구비한 반송 시스템이 알려져 있다. 승강대는 하물을 지지하기 위한 지지부를 가지고 있다.
이 반송 시스템에서는, 승강대가 적절히 승강하도록 스테이션측에 가이드 폴을 마련하고, 승강대측에 당해 가이드 폴이 관통 가능한 홀을 가지는 위치 결정 부재를 마련하고 있다(예를 들면, 특허 문헌 1을 참조).
일본공개실용신안공보 평3-80084호
상기의 반송 장치가 스테이션에 재치된 하물을 들어올리는 동작을 설명한다. 승강대는 상방 위치에서 스테이션을 향해 하강한다. 승강대가 하물의 위치까지 하강하여 정지하면, 승강대의 지지부는 하물을 지지하는 동작을 행한다. 이 때, 하물이 기준 위치로부터 이탈하여 스테이션에 재치되어 있는 경우, 가이드 폴에 이동이 제한되므로, 승강대는 하물의 이탈에 맞추어 이동할 수 없다.
이 경우, 가이드 폴의 직경을 위치 결정 부재의 홀 직경보다 큰 폭으로 작게 하는 것이 고려된다. 그러나, 그와 같이 하면, 하물을 보지(保持)한 승강대가 천장 주행차를 향해 상승할 때에, 승강대가 크게 흔들려 버린다. 이 흔들림은 승강대의 승강 장치에 이상을 일으키는 원인이 된다.
본 발명의 목적은, 반송 시스템에 있어서, 기준 위치로부터 이탈한 하물을 적절히 보지하면서, 승강대의 흔들림을 억제하는 것에 있다.
이하에, 과제를 해결하기 위한 수단으로서 복수의 태양을 설명한다. 이들 태양은, 필요에 따라 임의로 조합할 수 있다.
본 발명의 일형태에 따른 반송 시스템은, 하물이 재치되는 재치부와의 사이에서 하물의 이동 재치를 행하는 천장 주행차를 구비하는 반송 시스템이다.
천장 주행차는 승강대와, 지지부와, 피가이드부를 가진다.
승강대는 승강 가능하게 마련되어 있다.
지지부는 승강대에 마련되어, 하물의 피보지부를 하측으로부터 지지한다. 피가이드부는 승강대에 마련된다.
재치부에는 가이드부가 마련된다. 가이드부는 피가이드부의 평면 위치를 결정한다.
또한, 가이드부는 하측 부분과 상측 부분을 가지고 있다. 하측 부분은 피가이드부가 수평 방향으로 이동하여 재치부 상의 하물에 대하여 승강대가 추종 가능한 제 1 간극을 피가이드부와의 사이에 확보한다. 상측 부분은 피가이드부의 수평 방향 이동을 규제함으로써, 승강대의 흔들림을 억제하는 제 2 간극을 피가이드부와의 사이에 확보한다.
이에 의해, 기준 위치로부터 이탈한 하물을 적절히 보지하면서, 승강대의 흔들림을 억제할 수 있다. 이하, 승강대가 하강하여 하물을 지지할 때의 동작 및 승강대가 하물을 지지하여 상승할 때의 동작을 예로서 설명함으로써, 상기 효과를 설명한다.
승강대가 하강하여 하물을 지지할 때, 승강대가 가이드부의 하측 부분에 대응하는 위치에 도달하면, 피가이드부와 가이드부와의 사이에 큰 제 1 간극이 확보된다. 제 1 간극은 후술하는 제 2 간극보다 크다. 이에 의해, 승강대가 하물을 지지할 시, 승강대가 재치부에 재치된 하물에 대하여 추종할 수 있다. 그 결과, 지지부는 상기 하물을 적절히 지지할 수 있다.
승강대가 하물을 지지하여 상승할 때, 승강대가 가이드부의 상측 부분에 대응하는 위치에 도달하면, 피가이드부와 가이드부와의 사이에는 작은 제 2 간극이 확보된다. 제 2 간극은 제 1 간극보다 작다. 이에 의해, 승강대의 수평 방향으로의 흔들림이 규제된다. 그 결과, 승강대는 순조롭게 상승할 수 있다.
피가이드부는 상하 방향으로 관통하는 홀이어도 된다. 이 경우, 가이드부는 상하 방향으로 연장되어, 상기 홀을 통과함으로써 피가이드부를 가이드하는 봉 형상 부재여도 된다. 또한, 상측 부분은 하측 부분보다 외형이 크며, 평면에서 봤을 때 하측 부분은 상측 부분의 내측에 배치되어도 된다.
이에 의해, 가이드부의 하측 부분에 있어서 승강대를 하물에 대하여 추종시키는 충분히 큰 제 1 간극을 확보할 수 있고, 상측 부분에 있어서 승강대의 흔들림을 억제할 수 있는 충분히 작은 제 2 간극을 확보할 수 있다.
상측 부분과 하측 부분은 평면에서 봤을 때 원형 형상이며 동심원에 배치되어도 된다. 이에 의해, 승강대의 승강 시에 피가이드부가 어느 방향으로부터 가이드부에 진퇴해도, 승강대의 승강 위치를 적절한 것으로 할 수 있다.
반송 시스템은 내측 부재와, 외측 부재와, 제 1 부세(付勢) 부재를 더 구비해도 된다. 내측 부재와 외측 부재는 상측 부분 또는 피가이드부의 적어도 일방에 마련된다. 제 1 부세 부재는 내측 부재와 외측 부재의 사이에 있어서, 내측 부재에 대한 외측 부재의 위치 이탈량에 따른 탄성력에 의해 외측 부재를 제 1 소정 위치에 부세한다. 이에 의해, 가이드부와 피가이드부의 충돌에 의한 충격을 높이 방향에 있어서 피가이드부가 가이드부의 상측 부분과 중첩되는 위치에 있어서 완화할 수 있다.
반송 시스템은 제 2 부세 부재를 더 구비해도 된다. 제 2 부세 부재는 재치부와 가이드부의 사이에 마련되어 있으며, 가이드부의 위치 이탈량에 따른 탄성력에 의해 가이드부를 제 2 소정 위치에 부세한다. 이에 의해, 가이드부와 피가이드부의 충돌에 의한 충격을 가이드부의 재치부측에 있어서 완화할 수 있다.
본 발명에 따른 반송 시스템에서는, 재치부에 재치된 하물이 기준 위치로부터 이탈해 있었다 하더라도 지지부에 의해 적절히 하물을 지지할 수 있다. 또한 승강 시의 승강대의 흔들림을 억제할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시 형태에 따른 반송 시스템의 상면도이다.
도 2는 반송 시스템의 측면도이다.
도 3a는 가이드부의 측면도이다.
도 3b는 가이드부를 상방향에서 본 도이다.
도 4는 반송 장치의 전체 구성을 나타내는 도이다.
도 5는 생타이어가 선반부의 중심으로부터 수평 방향으로 이탈한 상태로 재치된 상태의 일례를 나타내는 도이다.
도 6a는 승강대가 하강할 때에, 피가이드부가 상측 부분으로 가이드된 상태를 나타내는 도이다.
도 6b는 선반부에 이탈하여 재치된 생타이어를 지지부로 지지하는 모습을 모식적으로 나타내는 도이다.
도 6c는 지지부의 이동에 의해 승강대가 수평 방향으로 이동한 모습을 모식적으로 나타내는 도이다.
도 6d는 승강대가 상승할 때에, 피가이드부가 상측 부분으로 가이드된 상태를 나타내는 도이다.
도 7a는 제 2 실시 형태에 따른 상측 부분의 구성을 나타내는 도이다.
도 7b는 제 2 실시 형태의 변형예로서의 제 1 피가이드 부재의 구성을 나타내는 도이다.
도 8a는 제 3 실시 형태에 따른 하측 부분의 구성을 나타내는 도이다.
도 8b는 제 1 피가이드 부재가 상측 부분에 충돌했을 시의 가이드부의 모습을 모식적으로 나타내는 도이다.
도 9는 제 3 실시 형태의 변형예로서의 제 2 부세 부재의 구성을 나타내는 도이다.
도 10a는 제 4 실시 형태에 따른 가이드부를 마련한 선반부와, 제 4 실시 형태에 따른 피가이드부를 마련한 승강대의 측면도이다.
도 10b는 가이드 부재의 중공 부분에 삽입된 제 2 피가이드 부재를 상방향에서 본 도이다.
<1. 제 1 실시 형태>
(1) 반송 시스템의 구성
도 1 및 도 2를 이용하여, 제 1 실시 형태에 따른 반송 시스템(100)의 구성을 설명한다. 도 1은 본 발명의 제 1 실시 형태에 따른 반송 시스템의 상면도이다. 도 2는 반송 시스템의 측면도이다.
반송 시스템(100)은 스테이션(1)에 재치된 생타이어(T)(가류(加硫) 전의 타이어)(하물의 일례)를 반송하기 위한 시스템이다.
도 1의 좌우 방향을 제 1 수평 방향(화살표 X)이라 정의하고, 상하 방향을 제 2 수평 방향(화살표 Y)이라 정의한다.
반송 시스템(100)은 스테이션(1)(재치부의 일례)을 구비한다. 스테이션(1)은 제 1 수평 방향을 따라 연장되어 있으며, 복수의 구획으로 분할되어 형성된 선반부(11)를 가지고 있다. 선반부(11)에는 생타이어(T)가 재치되어 있다.
각 선반부(11)에는, 제 1 수평 방향을 따라 한 쌍의 가이드부(13)가 마련되어 있다. 또한, 한 쌍의 가이드부(13)의 제 2 수평 방향에 있어서의 배치 위치는 서로 일치하고 있다. 또한, 한 쌍의 가이드부(13)를 연결하는 직선의 중점은 선반부(11)의 제 1 수평 방향에 있어서의 중점과 일치한다.
반송 시스템(100)은 반송 장치(3)(천장 주행차의 일례)를 구비한다. 반송 장치(3)는 천장에 마련되어 레일(31)을 따라 주행한다.
반송 시스템(100)은 컨트롤러(5)를 구비한다. 컨트롤러(5)는 예를 들면 CPU, 기억 장치(RAM, ROM, 하드 디스크 또는 SSD 등의 대용량 기억 장치 등), 각종 인터페이스, 디스플레이 등을 가지는 컴퓨터 시스템이며, 반송 장치(3)를 제어한다. 또한, 컨트롤러(5)는 SoC(System On Chip) 등에 의해 하드웨어적으로 실현되어도 된다.
(2) 가이드부
도 2 ~ 도 3b를 이용하여, 가이드부(13)의 구체적 구성에 대하여 설명한다. 도 3a는 가이드부(13)의 측면도이다. 도 3b는 가이드부(13)를 상방향에서 본 도이다.
가이드부(13)는 상하 방향으로 연장되는 봉 형상 부재이며, 하측 부분(131)과 상측 부분(133)을 가진다.
도 3a 및 도 3b에 나타내는 바와 같이, 하측 부분(131)은 상하 방향으로 연장되는 강체의 부재이며, 평면에서 봤을 때는 원형 형상을 가진다. 또한 도 2에 나타내는 바와 같이, 하측 부분(131)의 상하 방향의 길이는 선반부(11)에 재치된 생타이어(T)의 높이보다 크다.
도 3a 및 도 3b에 나타내는 바와 같이, 상측 부분(133)은 평면에서 봤을 때는 원형 형상의 강체 부재이다. 또한, 상측 부분(133)은 하측 부분(131)보다 외형이 크며, 평면에서 봤을 때 하측 부분(131)은 상측 부분(133)의 내측에 동심원 형상으로 배치된다. 또한 도 3a에 나타내는 바와 같이, 상측 부분(133)은 하측 부분(131)의 상단에 장착됨으로써, 선반부(11)에 재치된 생타이어(T)의 최상면보다 높은 위치에 배치된다. 상측 부분(133)은 원기둥 부분(133a)과, 원기둥 부분(133a)의 상하에 테이퍼 형상 부분(133b, 133c)을 가지고 있다.
(3) 반송 장치
이하, 도 4를 이용하여, 천장 주행차로서의 반송 장치(3)의 구성에 대하여 상세하게 설명한다. 도 4는 반송 장치(3)의 전체 구성을 나타내는 도이다.
반송 장치(3)(천장 주행차의 일례)는 선반부(11)와의 사이에서 생타이어(T)의 이동 재치를 행하기 위한 장치이다.
반송 장치(3)는 천장 주행부(33)를 가진다. 천장 주행부(33)는 C자 형상의 레일(31)의 내측을 주행하는 주행 대차(331)에 의해, 천장(C)에 설치된 레일(31)을 따라 이동한다. 천장 주행부(33)는 내부에 승강 구동부(351)를 가진다. 반송 장치(3)는 승강대(35)를 가진다. 승강대(35)는 승강 구동부(351)의 벨트(B)에 의해, 천장 주행부(33)로부터 상하 방향으로 현수되어 있다. 승강대(35)를 현수하는 벨트(B)를 승강 구동부(351)의 풀리(도시하지 않음)에 의해 감거나 또는 풂으로써, 승강대(35)는 천장 주행부(33)에 대하여 승강 가능하게 되어 있다.
승강대(35)는 지지부(37)를 가진다. 본 실시 형태에 있어서, 지지부(37)는 소정의 원주 상에서 90˚의 각도를 두고 4 개 마련되어 있다. 4 개의 지지부(37)의 각각은 수평 방향으로 연장되는 수평 부분(37a)과, 상하 부분(37b)을 가진다. 수평 부분(37a)은 생타이어(T)의 상면 내벽(하물의 피보지부의 일례)에 접촉하여, 생타이어(T)를 하측으로부터 지지한다.
상하 부분(37b)은 상하 방향으로 연장되어, 하단에서 수평 부분(37a)에 접속한다. 상하 부분(37b)은 수평 방향으로 슬라이드 이동함으로써 서로 멀어지게 하거나 또는 접근하도록, 승강대(35)에 장착되어 있다. 상하 부분(37b)을 수평 방향으로 멀어지게 하거나 또는 접근시킴으로써, 4 개의 지지부(37)(수평 부분(37a)) 간의 거리를 변경할 수 있다.
승강대(35)는 제 1 피가이드 부재(39)를 가진다. 제 1 피가이드 부재(39)는 승강대(35)의 레일(31)이 연장되는 방향과 평행한 방향의 양단에 마련된다. 또한, 제 1 피가이드 부재(39)는 승강대(35)의 레일(31)이 연장되는 방향과 평행한 방향의 양단에 마련되는 경우에 한정되지 않는다. 승강대(35)의 당해 방향의 어느 한 단부에만 마련되어 있어도 된다.
제 1 피가이드 부재(39)에는 상하 방향으로 관통하는 관통홀이 피가이드부(39a)로서 마련되어 있다. 피가이드부(39a)는 상하 방향에 있어서의 중간이 가장 직경이 작게 되어 있으며, 그로부터 상하로 직경이 커져 가는 형상을 가지고 있다. 즉, 피가이드부(39a)는, 테이퍼 형상으로 형성된 상측 부분(133)을 피가이드부(39a) 내로 가이드되기 쉽게 하기 위하여, 상하 방향에 있어서 테이퍼 형상으로 되어 있다.
피가이드부(39a)의 최소 직경은 상측 부분(133)의 원기둥 부분(133a)의 평면에서 봤을 때의 직경보다 약간 크다. 예를 들면, 상측 부분(133)의 원기둥 부분(133a)의 직경을 48 mm, 하측 부분(131)의 직경을 16 mm로 한 경우에는, 피가이드부(39a)의 최소 직경을 52 mm로 설정할 수 있다.
(4) 생타이어의 이동 재치 동작
도 5 ~ 도 6d를 이용하여, 반송 시스템(100)에 있어서의 생타이어(T)의 이동 재치 동작을 설명한다. 구체적으로, 도 5에 나타내는 바와 같이, 생타이어(T)가 수평 방향에 있어서 선반부(11)의 중심(CST)으로부터 이탈하여 재치된 경우의 이동 재치 동작에 대하여 설명한다.
도 5는 생타이어(T)가 선반부(11)의 중심(CST)으로부터 수평 방향으로 이탈한 상태로 재치된 상태의 일례를 나타내는 도이다. 도 6a는 승강대(35)가 하강할 때에, 피가이드부(39a)가 상측 부분(133)으로 가이드된 상태를 나타내는 도이다. 도 6b는 선반부(11)로 이탈하여 재치된 생타이어(T)를 지지부(37)로 지지하는 모습을 모식적으로 나타내는 도이다. 도 6c는 지지부(37)의 이동에 의해 승강대(35)가 수평 방향으로 이동한 모습을 모식적으로 나타내는 도이다. 도 6d는 승강대(35)가 상승할 때에, 피가이드부(39a)가 상측 부분(133)으로 가이드된 상태를 나타내는 도이다.
이하의 동작은 컨트롤러(5)로부터의 지령에 기초하여 행해진다.
먼저, 승강대(35)가 상방 위치에서 선반부(11)를 향해 하강을 개시한다. 그리고, 승강대(35)가 가이드부(13)의 상측 부분(133)의 높이에 도달하면, 도 6a에 나타내는 바와 같이, 피가이드부(39a)가 상측 부분(133)에 의해 가이드된다(보다 구체적으로, 피가이드부(39a)의 최소 직경 부분이 상측 부분(133)의 원기둥 부분(133a)에 의해 가이드된다). 이 때, 한 쌍의 가이드부(13)를 연결하는 직선의 중점이 선반부(11)의 제 1 수평 방향에 있어서의 중점과 일치한다. 이 때문에, 승강대(35)의 중심이 선반부(11)의 중심(CST)과 일치한다. 또한, 피가이드부(39a)의 최소 직경 부분과 원기둥 부분(133a)과의 사이에는 작은 제 2 간극(S2)이 확보되어 있다. 이 때문에, 승강대(35)는 승강대(35)의 중심이 선반부(11)의 중심(CST)과 일치된 상태인 채로 수평 방향으로 이동하지 않는다.
이어서, 승강대(35)가, 수평 부분(37a)을 생타이어(T)의 상면 내벽보다 낮아지는 위치까지 하강한다. 이 후, 지지부(37)가 서로 멀어지는 방향으로 이동한다. 그 결과, 수평 부분(37a)이 생타이어(T)의 상면 내측의 하측으로 들어간다. 이 때, 생타이어(T)의 중심(CT)이 선반부(11)의 중심(CST)으로부터 수평 방향으로 이탈해 있으므로, 도 6b에 나타내는 바와 같이, 지지부(37)가 서로 충분히 멀어져 있지 않은 상태에서, 수평 방향 편측의 수평 부분(37a)만이 생타이어(T)의 상면 내벽의 하측으로 들어간다. 한편, 다른 수평 부분(37a)은 아직 상면 내벽의 하측까지 도달해 있지 않다.
이어서, 지지부(37)가 서로로부터 더 멀어진다. 그러면, 일부의 상하 부분(37b)이 생타이어(T)에 접촉하여 승강대(35)를 수평 방향으로 누른다. 피가이드부(39a)와 하측 부분(131)과의 사이에는 충분히 큰 제 1 간극(S1)이 존재하므로, 도 6c에 나타내는 바와 같이, 상하 부분(37b)이 생타이어(T)를 눌렀을 때 발생하는 반력에 의해, 승강대(35)는 수평 방향으로 이동한다.
이 후, 지지부(37)가 미리 정해진 거리까지 서로 멀어지면, 도 6c에 나타내는 바와 같이, 승강대(35)는 승강대(35)의 중심이 생타이어(T)의 수평 방향의 중심(CT)에 일치할 때까지 수평 방향으로 이동한다. 그 결과, 4 개의 수평 부분(37a)이 생타이어(T)의 상면 내벽의 하측으로 들어간다. 즉, 4 개의 수평 부분(37a)에서 적절히 생타이어(T)를 지지할 수 있다.
이와 같이, 피가이드부(39a)와 하측 부분(131)과의 사이에 형성된 제 1 간극(S1)에 의해, 피가이드부(39a)가 수평 방향으로 이동하여, 선반부(11) 상의 생타이어(T)에 대하여 승강대(35)가 추종할 수 있다. 여기서, '승강대(35)가 추종한다'란, 지지부(37)가 생타이어(T)의 소정 개소에 접촉함으로써 발생하는 힘에 의해, 지지부(37)에 의해 생타이어(T)를 적절히 지지할 수 있도록, 승강대(35)가 생타이어(T)에 대하여 상대 이동하는 것을 말한다.
본 실시 형태에서는, 상하 부분(37b)이 생타이어(T)에 접촉함으로써 발생하는 반력에 의해, 승강대(35)가 수평 방향으로 이동하여, 승강대(35)의 중심이 생타이어(T)의 중심(CT)과 일치하는 것에 대응한다.
이 후, 승강대(35)가 천장 주행부(33)를 향해 상승한다. 생타이어(T)가 선반부(11)의 재치면으로부터 이반하면, 승강대(35)는 수평 방향으로 진동한다. 그러나, 승강대(35)가 더 상승하면, 피가이드부(39a)가 상측 부분(133)으로 가이드된다(구체적으로, 피가이드부(39a)의 최소 직경 부분이 상측 부분(133)의 원기둥 부분(133a)으로 가이드된다). 이 때, 도 6d에 나타내는 바와 같이, 피가이드부(39a)의 최소 직경 부분과 원기둥 부분(133a)과의 사이에는 작은 제 2 간극(S2)이 확보되어 있다. 이 때문에, 승강대(35)의 수평 방향의 이동이 제한되고, 그 결과, 수평 방향의 진동은 감쇠한다.
이와 같이, 피가이드부(39a)와 상측 부분(133)과의 사이에 형성된 제 2 간극(S2)에 의해, 피가이드부(39a)의 수평 방향 이동을 규제하여, 승강대(35)의 흔들림을 억제할 수 있다. 여기서, '승강대(35)의 흔들림을 억제한다'란, 승강대(35)의 수평 방향의 흔들림의 진폭을 제 2 간극(S2) 이하로 하는 것이다.
본 실시 형태에서는, 승강대(35)가 제 2 간극(S2) 이상의 진폭으로 수평 방향으로 진동하고자 해도, 피가이드부(39a)가 상측 부분(133)에 충돌하기 때문에, 피가이드부(39a)의 수평 방향의 이동 거리가 제 2 간극(S2) 이상은 되지 않는 것에 대응한다.
이상에 의해, 승강대(35)는 수평 방향의 진동이 억제된 상태로, 천장 주행부(33)를 향해 순조롭게 상승할 수 있다. 또한, 승강대(35)가 상승할 시의 진동을 억제함으로써, 예를 들면 벨트(B)가 승강 구동부(351)의 풀리에 접촉함으로써 닳아 끊어진다고 하는 이상이 발생하는 것을 억제할 수 있다.
<2. 제 2 실시 형태>
상기의 제 1 실시 형태에 있어서 설명한 상측 부분(133)은 점탄성적인 특성을 가지고 있어도 된다.
제 2 실시 형태에 따른 상측 부분(133)의 구체적인 구성을, 도 7a를 이용하여 설명한다. 도 7a는 제 2 실시 형태에 따른 상측 부분의 구성을 나타내는 도이다.
상측 부분(133)은, 도 7a에 나타내는 바와 같이 내측 부재(133A)와, 제 1 부세 부재(133B)와, 외측 부재(133C)를 가진다. 내측 부재(133A)는 제 1 부세 부재(133B)를 관통하는 구조를 가진다. 예를 들면, 내측 부재(133A)는, 도 7a에 나타내는 바와 같이 예리한 선단을 가지는 하측 부분(131)의 일부이다. 제 1 부세 부재(133B)는 탄성 부재이다. 제 1 부세 부재(133B)로서 사용할 수 있는 탄성 부재로서는, 스프링 등이 있다. 그 외에, 제 1 부세 부재(133B)는, 예를 들면 고무 실리콘계 재료, 젤 형상의 재료 등의 점탄성 특성을 가지는 재료로 구성되어도 된다.
제 1 부세 부재(133B)는 내측 부재(133A)가 관통함으로써, 내측 부재(133A)에 고정된다. 외측 부재(133C)는 제 1 부세 부재(133B)의 표면에 접착된 금속제 또는 수지제의 부재이다.
일례로서, 승강대(35)가 상승 중에 상측 부분(133)과 피가이드부(39a)가 충돌함으로써, 내측 부재(133A)에 대하여 외측 부재(133C)가 위치 이탈했다고 하자. 이 때, 제 1 부세 부재(133B)는 당해 위치 이탈량에 따른 탄성력이 발생한다. 당해 탄성력에 의해, 외측 부재(133C)는 위치 이탈 전의 제 1 소정 위치로 부세된다. 또한, 제 1 부세 부재(133B)는 상측 부분(133)과 피가이드부(39a)가 충돌함으로써 발생하는 진동의 에너지를 흡수한다. 이상에 의해, 상기의 구성을 가지는 상측 부분(133)은 가이드부(13)와 피가이드부(39a)의 충돌에 의한 충격을 완화할 수 있다.
제 2 실시 형태의 변형예로서, 예를 들면 고무 등에 의해 구성된 제 1 부세 부재(133B)에, 수지 코팅 등의 코팅을 외측 부재(133C)로서 실시한 것을 상측 부분(133)으로 해도 된다.
가일층의 변형예로서, 상기의 내측 부재(133A)와, 제 1 부세 부재(133B)와, 외측 부재(133C)에 대응하는 부재를, 제 1 피가이드 부재(39)측에 마련해도 된다. 제 2 실시 형태의 변형예로서의 제 1 피가이드 부재의 구체적인 구성을, 도 7b를 이용하여 설명한다. 도 7b는 제 2 실시 형태의 변형예로서의 제 1 피가이드 부재의 구성을 나타내는 도이다.
도 7b에 나타내는 바와 같이, 이 변형예에서는, 제 1 피가이드 부재(39)를 외측 부재로 하고, 제 1 피가이드 부재(39)에 마련된 관통홀의 내벽에, 점탄성 특성을 가지는 재료로 구성된 원통 형상의 제 1 부재(41)를 제 1 부세 부재에 대응하는 부재로서 고정하고, 제 1 부재(41)의 내벽에 원통 형상의 금속, 수지, 플라스틱 재료로 형성된 제 2 부재(43)를 외측 부재에 대응하는 부재로서 고정하고 있다. 이 경우, 제 2 부재(43)의 내벽에 의해 형성된 홀이 피가이드부(39a)가 된다.
<3. 제 3 실시 형태>
하측 부분(131)은 상하 방향에 대하여 점탄성적으로 경사 가능하게 되어 있어도 된다. 제 3 실시 형태에 따른 하측 부재의 구체적인 구성에 대하여, 도 8a를 이용하여 설명한다. 도 8a는 제 3 실시 형태에 따른 하측 부재의 구성을 나타내는 도이다.
도 8a에 나타내는 바와 같이, 이 변형예에서는, 하측 부분(131)의 기단에 있어서, 커버 부재(141)와, 제 2 부세 부재(143)가 마련되어 있다.
커버 부재(141)는 하측 부분(131)의 기단이 삽입된 홀을 폐색하도록, 하측 부분(131)에 마련된다. 선반부(11)의 커버 부재(141)와 접촉한 부분, 또는 커버 부재(141) 전체는, 예를 들면 고무, 점탄성 특성을 가지는 수지, 플라스틱 재료 등으로 구성된다.
제 2 부세 부재(143)는 스테이션(1)의 내부와 하측 부분(131)과의 사이에 마련되고, 탄성 부재(143a)와 점성 부재(143b)를 가진다. 탄성 부재(143a)는, 예를 들면 일단이 하측 부분(131)의 기단에 고정되고, 타단이 스테이션(1)의 내부에 고정된 스프링이다. 탄성 부재(143a)는 하측 부분(131)이 상하 방향에 대하여 경사졌을 때, 하측 부분(131)의 기단의 선반부(11)에 대한 위치 이탈량에 따른 탄성력이 발생한다. 이 때, 하측 부분(131)이 상하 방향(제 2 소정 위치의 일례)을 향하도록 하측 부분(131)의 기단을 부세한다. 점성 부재(143b)는, 예를 들면 일단이 하측 부분(131)의 기단에 고정되고, 타단이 스테이션(1)의 내부에 고정된 대시 포트이다.
상기의 구성을 가지는 제 2 부세 부재(143)가, 승강대(35)의 상승 시에, 가이드부(13)와 피가이드부(39a)의 충돌에 의한 충격을 완화하는 원리를, 도 8b를 이용하여 설명한다. 도 8b는 승강대(35)의 상승 시에, 제 1 피가이드 부재(39)가 상측 부분(133)에 충돌했을 시의 가이드부(13)의 모습을 모식적으로 나타내는 도이다.
제 1 피가이드 부재(39)가 상측 부분(133)에 충돌하면, 도 8b에 나타내는 바와 같이 하측 부분(131)은 상하 방향에 대하여 경사진다. 이 경사에 수반하여, 탄성 부재(143a) 및 점성 부재(143b)는 변형되어, 당해 충돌에 의한 에너지를 흡수한다. 여기서, '점성 부재(143b)가 변형된다'란, 대시 포트의 피스톤이 표준 위치로부터 변위하는 것을 말한다.
상기의 변형된 탄성 부재(143a)는 하측 부분(131)이 상하 방향을 향하도록 하측 부분(131)의 기단을 부세한다. 당해 부세력에 의해 하측 부분(131)이 원래의 위치로 복귀하는 도중에, 피가이드부(39a)는 상측 부분(133)으로 가이드된다.
점성 부재(143b)는 상측 부분(133)과 피가이드부(39a)가 충돌함으로써 발생하는 진동의 에너지를 흡수하여, 하측 부분(131)을 재빠르게 상하 방향으로 복귀시킨다.
제 2 부세 부재(143)를 마련하여 가이드부(13)와 피가이드부(39a)의 충돌에 의한 충격을 완화 가능하게 함으로써, 충돌에 의한 충격을 줄일 수 있다. 따라서, 가이드부(13)의 부근에서는 승강대(35)의 승강 속도를 저하할 필요가 없어진다. 그 결과, 생타이어(T)의 이동 재치 동작 시간을 단축할 수 있다.
제 3 실시 형태의 변형예로서, 제 2 부세 부재는 다른 구성을 가져도 된다. 이하, 제 3 실시 형태의 변형예로서의 제 2 부세 부재의 구체적인 구성을, 도 9를 이용하여 설명한다. 도 9는 제 3 실시 형태의 변형예로서의 제 2 부세 부재의 구성을 나타내는 도이다.
도 9에 나타내는 바와 같이, 이 변형예에서는, 탄성 특성을 가지는 탄성체(145)를, 상기의 제 2 부세 부재에 대응하는 것으로서 마련하고 있다. 탄성체(145)는 하단이 선반부(11)에 고정되고, 상단이 하측 부분(131)의 기단을 고정하여 마련되어 있다. 탄성체(145)는 탄성 부재이다. 탄성체(145)로서 사용할 수 있는 탄성 부재로서는, 스프링 등이 있다. 그 외에, 탄성체(145)는 예를 들면 고무, 점탄성 특성을 가지는 수지 등에 의해 구성할 수 있다.
가일층의 변형예로서, 하측 부분(131)의 선반부(11)에 가까운 기단 부분, 또는 하측 부분(131) 전체를, 변형에 의해 복원력을 발생하는 플라스틱 재료(예를 들면, 특수 우레탄 수지, 합성 고무 등)에 의해 구성해도 된다.
상기의 부세 부재가 점탄성 특성을 가짐으로써, 그 탄성 특성에 의해 제 1 피가이드부(39)와 상측 부분(133)의 충돌을 완화할 수 있어, 점성 특성에 의해 충돌에 의한 진동 에너지를 흡수하여 진동을 감쇠할 수 있다.
<4. 제 4 실시 형태>
제 1 ~ 제 3 실시 형태와는 반대로, 가이드부를 홀 형상으로 하여, 피가이드부를 가이드부의 홀을 통과하는 부재로 해도 된다.
제 4 실시 형태에 따른 가이드부와 피가이드부의 구체적인 구성을, 도 10a 및 도 10b를 이용하여 설명한다. 도 10a는 제 4 실시 형태에 따른 가이드부를 마련한 선반부(11)와, 제 4 실시 형태에 따른 피가이드부를 마련한 승강대(35)의 측면도이다. 도 10b는 가이드 부재(51)의 중공 부분에 삽입된 제 2 피가이드 부재(53)를 상방향에서 본 도이다.
도 10a 및 도 10b에 나타내는 바와 같이, 평면에서 봤을 때 C자 형상인 중공의 가이드 부재(51)가 선반부(11)로부터 세워 설치되어 있다. 또한, 가이드 부재(51)의 상부에 있어서, 중공 부분의 일부는 다른 부분보다 직경을 작게 하고 있다.
한편, 승강대(35)에는 가이드 부재(51)의 중공 부분을 관통 가능한 제 2 피가이드 부재(53)를, 축(55)을 개재하여 장착되어 있다. 제 2 피가이드 부재(53)의 평면에서 봤을 때의 직경은 가이드 부재(51)의 중공 부분의 최소 직경보다 약간 작다.
승강대(35)가 선반부(11) 부근에 있어서 승강할 때, 제 2 피가이드 부재(53)가 가이드 부재(51)의 중공 부분을 통과하고, 축(55)이 가이드 부재(51)의 C자 형상의 간극 부분을 통과한다. 가이드 부재(51)의 중공 부분의 하측에 있어서는, 제 2 피가이드 부재(53)와 중공 부분과의 사이에 비교적 큰 제 1 간극이 형성되어, 승강대(35)는 수평 방향으로 이동할 수 있다. 한편, 가이드 부재(51)의 상부의 중공 부분의 직경이 작아진 개소에 있어서는, 제 2 피가이드 부재(53)와 중공 부분과의 사이에 작은 제 2 간극이 형성되어, 승강대(35)의 수평 방향의 이동이 제한된다.
변형예로서, 가이드 부재(51)의 하측 부분에 있어서, 축(55)이 통과하는 C자 형상의 간극 부분의 크기를, 가이드 부재(51)의 상측 부분에 있어서의 간극 부분의 크기보다 크게 해도 된다. 이에 의해, 가이드 부재(51)의 하측 부분에 있어서, 승강대(35)의 수평 방향의 이동의 자유도를 크게 할 수 있다.
<5. 실시 형태의 공통 사항>
제 1 ~ 제 4 실시 형태는 하기의 구성 및 기능을 가지고 있다.
반송 시스템(예를 들면, 반송 시스템(100))은 천장 주행부(예를 들면, 천장 주행부(33))와, 승강대(예를 들면, 승강대(35))와, 지지부(예를 들면, 지지부(37))와, 피가이드부(예를 들면, 피가이드부(39a), 제 2 피가이드 부재(53))와, 가이드부(예를 들면, 가이드부(13) 또는 가이드 부재(51))를 구비한다. 천장 주행부는 하물(예를 들면, 생타이어(T))이 재치되는 재치부(예를 들면, 스테이션(1))와의 사이에서 하물의 이동 재치를 행한다. 승강대는 천장 주행부에 대하여 승강 가능하게 마련되어 있다. 지지부는 승강대에 마련되어, 하물의 피보지부를 하측으로부터 지지한다. 피가이드부는 승강대(35)에 마련된다. 가이드부는 재치부에 마련되어 있으며, 피가이드부의 평면 위치를 결정한다.
가이드부는 하측 부분(예를 들면, 하측 부분(131))과 상측 부분(예를 들면, 상측 부분(133))을 가지고 있다. 하측 부분은 피가이드부가 수평 방향으로 이동하여, 재치부 상의 하물에 대하여 승강대가 추종 가능한 제 1 간극(예를 들면, 제 1 간극(S1))을, 피가이드부와의 사이에 확보한다. 상측 부분은 피가이드부의 수평 방향 이동을 규제함으로써, 지지부에 지지된 하물을 상승시킬 때, 승강대의 흔들림을 누르는 제 2 간극(예를 들면, 제 2 간극(S2))을, 피가이드부와의 사이에 확보한다.
승강대가 하강하여 하물을 지지하는 동작을 설명한다. 승강대가 가이드부의 하측 부분에 대응하는 위치에 도달하면, 피가이드부와 가이드부와의 사이에 제 1 간극이 확보된다. 이에 의해, 승강대가 재치부에 재치된 하물에 대하여 추종할 수 있고, 그 결과, 지지부는 당해 하물을 적절히 지지할 수 있다.
승강대가 하물을 지지하여 상승하는 동작을 설명한다. 승강대가 가이드부의 상측 부분에 대응하는 위치에 도달하면, 피가이드부와 가이드부와의 사이에는 제 2 간극이 확보된다. 이에 의해, 승강대의 수평 방향으로의 흔들림이 규제되어, 승강대는 순조롭게 상승할 수 있다.
<6. 다른 실시 형태>
이상, 본 발명의 복수의 실시 형태에 대하여 설명했지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되는 것이 아니며, 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 각종 변경이 가능하다. 특히, 본 명세서에 기재된 복수의 실시 형태 및 변형예는 필요에 따라 임의로 조합 가능하다.
지지부는 생타이어(T) 이외의 부재를 아래로부터 지지 가능해도 된다. 예를 들면, 지지부는 하물을 재치하는 트레이 또는 하물을 수납하는 용기 등을 지지하는 부재여도 된다. 이 경우, 지지부를 트레이 또는 용기의 외측으로부터 내측 방향을 향해 이동시키고, 지지부의 수평 부분에서 트레이 또는 용기를 지지한다. 이 경우에, 트레이 또는 용기의 재치 위치가 이탈해 있으면, 지지부의 이동 중에 있어서, 지지부의 일부가 트레이 또는 용기에 접촉하면, 트레이 또는 용기에 접촉한 지지부의 이동 방향과는 반대 방향으로 승강대(35)가 이동한다. 이 때문에, 승강대(35)는 트레이 또는 용기에 추종 가능해진다.
따라서, 지지부가 트레이 또는 용기를 지지하는 위치에 있어서 승강대(35)의 수평 방향의 이동을 가능하게 한다. 또한, 그 이외의 부분에서는 수평 방향의 이동을 억제하도록, 가이드부와 피가이드부의 형상 및 치수를 결정함으로써, 제 1 실시 형태 ~ 제 4 실시 형태와 동일한 효과를 얻을 수 있다.
그 외에, 반도체의 웨이퍼를 수납하는 FOUP(Front Opening Unified Pod)을 하물로서 반송하는 천장 주행차에 대하여, 상기의 실시 형태에서 설명한 기술을 적용할 수 있다.
이 천장 주행차에서는, FOUP을 지지하는 지지부를 FOUP의 외측으로부터 내측 방향을 향해 이동시켜 FOUP을 지지한다. 이 경우, FOUP의 재치 위치가 이탈해 있으면, 지지부를 이동 중에 지지부의 일부가 FOUP에 접촉하면, FOUP에 접촉한 지지부의 이동 방향과는 반대 방향으로 승강대(35)가 이동하여, 승강대(35)가 FOUP에 추종 가능해진다.
따라서, 지지부가 FOUP을 지지하는 위치에 있어서 승강대(35)의 수평 방향의 이동을 가능하게 한다. 또한, 그 이외의 부분에서는 수평 방향의 이동을 억제하도록, 가이드부와 피가이드부의 형상 및 치수를 결정함으로써, 제 1 실시 형태 ~ 제 4 실시 형태와 동일한 효과를 얻을 수 있다.
본 발명은 하물을 지지하는 지지부를 천장 주행부로부터 승강시키는 반송 장치를 구비하는 반송 시스템에 널리 적용할 수 있다.
100 : 반송 시스템
1 : 스테이션
3 : 반송 장치
5 : 컨트롤러
11 : 선반부
13 : 가이드부
131 : 하측 부분
133 : 상측 부분
133a : 원기둥 부분
133b, 133c : 테이퍼 형상 부분
133A : 내측 부재
133B : 제 1 부세 부재
133C : 외측 부재
141 : 커버 부재
143 : 제 2 부세 부재
143a : 탄성 부재
143b : 점성 부재
145 : 탄성체
31 : 레일
33 : 천장 주행부
331 : 주행 대차
35 : 승강대
351 : 승강 구동부
37 : 지지부
37a : 수평 부분
37b : 상하 부분
39 : 제 1 피가이드 부재
39a : 피가이드부
41 : 제 1 부재
43 : 제 2 부재
51 : 가이드 부재
53 : 제 2 피가이드 부재
55 : 축
B : 벨트
CST : 선반부의 중심
CT : 생타이어의 중심
S1 : 제 1 간극
S2 : 제 2 간극
T : 생타이어

Claims (5)

  1. 하물이 재치되는 재치부와의 사이에서 하물의 이동 재치를 행하는 천장 주행차를 구비하는 반송 시스템으로서,
    상기 천장 주행차는,
    승강 가능하게 마련된 승강대와,
    상기 승강대에 마련되어, 상기 하물의 피보지부를 하측으로부터 지지하는 지지부와,
    상기 승강대에 마련된 피가이드부
    를 가지고,
    상기 재치부에는 상기 피가이드부의 평면 위치를 결정하는 가이드부가 마련되고,
    상기 가이드부는, 상기 피가이드부가 수평 방향으로 이동하여 상기 재치부 상의 하물에 대하여 상기 승강대가 추종 가능한 제 1 간극을 상기 피가이드부와의 사이에 확보하는 하측 부분과, 상기 피가이드부의 수평 방향 이동을 규제함으로써 상기 승강대의 흔들림을 억제하는 제 2 간극을 상기 피가이드부와의 사이에 확보하는 상측 부분을 가지고 있는,
    반송 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 피가이드부는 상하 방향으로 관통하는 홀이며,
    상기 가이드부는 상하 방향으로 연장되고, 상기 홀을 통과함으로써 상기 피가이드부를 가이드하는 봉 형상 부재이며,
    상기 상측 부분은 상기 하측 부분보다 외형이 크며, 평면에서 봤을 때 상기 하측 부분은 상기 상측 부분의 내측에 배치되는, 반송 시스템.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 상측 부분과 상기 하측 부분은 평면에서 봤을 때 원형 형상이며 동심원에 배치되는, 반송 시스템.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 상측 부분 또는 상기 피가이드부의 적어도 일방에 마련된 내측 부재와 외측 부재와,
    상기 내측 부재와 상기 외측 부재의 사이에 있어서, 상기 내측 부재에 대한 상기 외측 부재의 위치 이탈량에 따른 탄성력에 의해 상기 외측 부재를 제 1 소정 위치로 부세하는 제 1 부세 부재를 더 구비하는, 반송 시스템.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 재치부와 상기 가이드부의 사이에 마련되어 있으며, 상기 가이드부의 위치 이탈량에 따른 탄성력에 의해 상기 가이드부를 제 2 소정 위치로 부세하는 제 2 부세 부재를, 더 구비하는 반송 시스템.
KR1020190049902A 2018-05-02 2019-04-29 반송 시스템 KR102451382B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2018-088794 2018-05-02
JP2018088794A JP7135411B2 (ja) 2018-05-02 2018-05-02 搬送システム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20190126717A true KR20190126717A (ko) 2019-11-12
KR102451382B1 KR102451382B1 (ko) 2022-10-06

Family

ID=68384627

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190049902A KR102451382B1 (ko) 2018-05-02 2019-04-29 반송 시스템

Country Status (5)

Country Link
US (1) US10875268B2 (ko)
JP (1) JP7135411B2 (ko)
KR (1) KR102451382B1 (ko)
CN (1) CN110436133B (ko)
TW (1) TWI811349B (ko)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0380084A (ja) 1989-08-24 1991-04-04 Nisshin Flour Milling Co Ltd トリプトファン生産能を有する乳酸桿菌
JPH0380084U (ko) * 1989-08-18 1991-08-15
JP2006206295A (ja) * 2005-01-31 2006-08-10 Daifuku Co Ltd 搬送車
JP2012153455A (ja) * 2011-01-24 2012-08-16 Ohbayashi Corp 昇降装置、揺れ防止治具及び吊り治具
KR20170030041A (ko) * 2015-09-08 2017-03-16 무라다기카이가부시끼가이샤 이동 재치 장치 및 이동 재치 장치의 제어 방법

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05507873A (ja) * 1991-04-23 1993-11-11 クロイツアー・ゲーエムベーハー・ウント・コンパニー・オーハーゲー 搬送可能な医療用装置、特に輸液供給装置
JPH0733384A (ja) * 1993-07-22 1995-02-03 Hazama Gumi Ltd 橋形クレーン
BR9508854A (pt) * 1994-09-20 1997-12-30 Fantuzzi Reggiane Spa Planta de manuseio de frete em depósitos e depósitos relacionados
JP4887987B2 (ja) 2006-09-07 2012-02-29 株式会社明電舎 天井走行台車の移載機位置決め装置
EP2095130B1 (en) * 2006-12-04 2013-03-13 Inpeco Holding Ltd Container transfer apparatus with automatic positioning compensation
US8104729B2 (en) * 2007-03-09 2012-01-31 Hill-Rom Services, Inc. Transferable patient care equipment support
FI124034B (fi) * 2010-12-03 2014-02-14 Konecranes Oyj Menetelmä taakan paikoittamiseksi ja paikoitetun taakan noutamiseksi tai taakkojen pinoamiseksi nosturilla
CN102992012B (zh) * 2011-09-15 2015-07-15 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 定位机构

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0380084U (ko) * 1989-08-18 1991-08-15
JPH0380084A (ja) 1989-08-24 1991-04-04 Nisshin Flour Milling Co Ltd トリプトファン生産能を有する乳酸桿菌
JP2006206295A (ja) * 2005-01-31 2006-08-10 Daifuku Co Ltd 搬送車
JP2012153455A (ja) * 2011-01-24 2012-08-16 Ohbayashi Corp 昇降装置、揺れ防止治具及び吊り治具
KR20170030041A (ko) * 2015-09-08 2017-03-16 무라다기카이가부시끼가이샤 이동 재치 장치 및 이동 재치 장치의 제어 방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR102451382B1 (ko) 2022-10-06
CN110436133A (zh) 2019-11-12
JP2019194118A (ja) 2019-11-07
US20190337248A1 (en) 2019-11-07
CN110436133B (zh) 2022-12-06
TW201947700A (zh) 2019-12-16
US10875268B2 (en) 2020-12-29
TWI811349B (zh) 2023-08-11
JP7135411B2 (ja) 2022-09-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102417790B1 (ko) 물품 반송차
KR102463265B1 (ko) 물품 반송 설비
US9536766B2 (en) Article transport carriage
JP3982562B1 (ja) スタッカクレーン
KR100934718B1 (ko) 천정주행차
KR102397716B1 (ko) 물품 반송 장치
CN108483051B (zh) 一种用于倍速链线体输送线的自动化空托盘堆垛机
KR20130029765A (ko) 천장을 주행하는 반송차의 사이드 버퍼 및 반송차 시스템
US20170062246A1 (en) Wafer leveling device
KR20190126717A (ko) 반송 시스템
JP2017043417A (ja) 物品搬送用容器の昇降搬送装置
CN101875468B (zh) 电梯设备
KR20090090258A (ko) 재치대
CN209338038U (zh) 升降台
CN104746916A (zh) 立体停车库升降防震装置
CN205771604U (zh) 侧围输送车升降导向装置
CN220200585U (zh) 一种条盒支架结构
TWI790361B (zh) 物品搬送裝置
CN210825269U (zh) 升降机构
CN208802449U (zh) 具有可调节挡边的激光打标机
CN106113469A (zh) 一种底模支架的保护装置
KR20220093819A (ko) 핸드 유닛 및 이를 갖는 비히클
CN204868030U (zh) 皮带线升降机构
KR20220091110A (ko) 핸드 유닛 및 이를 갖는 비히클
KR20140059605A (ko) 캐리어

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right