KR20190113792A

KR20190113792A - 액화 가스의 정제 방법 및 장치

Info

Publication number: KR20190113792A
Application number: KR1020197022366A
Authority: KR
Inventors: 슈지 츠노; 겐키 타카하시; 쇼타 우에다
Original assignee: 스미토모 세이카 가부시키가이샤
Priority date: 2017-02-02
Filing date: 2018-01-22
Publication date: 2019-10-08
Also published as: TW201834730A; JP6998329B2; CN110234413A; WO2018142984A1; JPWO2018142984A1; TWI794202B

Abstract

액화 가스의 정제장치는, 불순물을 포함하는 조질 액화 가스가 수용된 봄베(1)와, 해당 봄베(1)에 대해서 초음파를 인가하는 초음파 발생장치(2)와, 상기 봄베(1)로부터 기상 성분을 배출하기 위해, 해당 봄베(1)에 접속된 배관(6)과, 해당 배관(6)을 개재해서 배출되는 기상 성분의 유량을 조절하는 유량조정기(4)를 포함한다.

Description

액화 가스의 정제 방법 및 장치

본 발명은, 액화 가스의 정제 방법 및 장치에 관한 것으로, 특히, 조질 액화 가스가 수용된 봄베로부터 불순물 가스를 제거하는 방법 및 장치에 관한 것이다.

반도체 제조 공정에 있어서, 암모니아나 프로필렌 등의 액화 가스가 사용될 경우가 있다. 반도체 제조에 있어서 사용되는 액화 가스에 대해서는, 제조되는 반도체 디바이스의 특성을 유지하는 관점에서, 고순도인 것이 필요로 된다. 고순도 액화 가스는, 일반적으로는 조질 액화 가스로부터 불순물을 제거해서 제조된다. 조질 액화 가스에 있어서의 불순물 제거 방법으로서는, 증류, 흡착, 흡수, 분리막 등에 의한 수법이 알려져 있다.

예를 들면, 특허문헌 1에는, 조질의 암모니아에 함유하는 탄화수소화합물을 정밀증류에 의해 제거하는 기술이 개시되어 있다. 그러나, 정밀증류에 의한 수법에서는, 정밀증류탑이 필요하여 설비비의 초기 투자가 높아진다. 또한, 리보일러나 콘덴서 사용에 따라 액화 가스를 일단 기화시킨 후에 다시 액화시킬 필요가 있으므로, 에너지 소비량이 많아진다는 문제가 있다.

특허문헌 2에 있어서는, 혼합 가스에 함유되는 산성 가스를 이온성 액체에 의해 흡수하고, 압력을 저감시킴으로써 비산성 가스가 제거된 산성 가스를 취득하는 기술이 개시되어 있다. 그러나, 상기 정제 기술은, 가스종에 따라 흡수액을 변경할 필요가 있는 것에 더해서, 흡수액의 종류에 따라서는, 흡수·방산 공정 후에 탈수 공정이 필요하게 될 가능성이 높고, 공정관리가 번잡해진다는 문제가 있었다.

또한, 제품으로서의 액화 가스는, 소비처까지의 운반 등의 편의에 의해, 일반적으로는 소정의 내압용기(봄베)에 수용한 상태에서 취급된다. 그러나, 봄베에 액화 가스를 수용하는 과정에 있어서 저비점 불순물이 혼입될 경우가 있다. 이 경우, 봄베 밸브를 열어서 불순물 가스를 배출할 필요가 있지만, 이 저비점 불순물 가스의 배출에 장시간 필요로 된다. 또한, 저비점 불순물 가스를 배출할 때, 제품인 액화 가스의 일부도 기화되어 불순물과 함께 배출되어 버린다.

JP

2014-125383

A

JP

2006-36950

A

본 발명은, 이러한 사정 하에 안출된 것으로, 조질 액화 가스가 수용된 봄베로부터 불순물을 효율적으로 제거하는데 적합한 정제방법 및 정제장치를 제공하는 것을 주된 과제로 하고 있다.

본 발명자들은, 액화 가스가 충전된 봄베 내의 기상부의 가스를 배출해서 저비점 불순물을 제거할 때, 봄베에 초음파를 적용시키는 것에 의해, 저비점 불순물을 효율적으로 제거할 수 있는 것을 찾아내어, 본 발명을 완성시키기에 이르렀다.

본 발명의 제1의 측면에 따르면, 액화 가스의 정제방법이 제공된다. 해당 액화 가스의 정제방법은, 불순물을 포함하는 조질 액화 가스가 수용된 봄베에 초음파를 적용시키는 초음파 처리 공정과, 상기 봄베로부터 기상 성분을 배출하는 가스 배출 공정을 포함한다.

바람직하게는, 상기 액화 가스가, 암모니아, 아산화질소, 염화수소, 다이클로로실란, 에틸렌, 프로필렌, 프로판, 황화수소, 사플루오린화탄소, 이산화황, 이산화탄소, 삼염화붕소, 염소, 이산화질소, 육플루오린화황, 에탄, 1-부텐, 아이소부텐, 노말부탄, 아이소부탄, 염화메틸, 염화에틸, 다이메틸에터, 염화비닐, 브로민화수소로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나이다.

바람직하게는, 상기 액화 가스의 표준 대기압에 있어서의 비점이 -70℃ 이상 0℃ 미만이다.

바람직하게는, 상기 초음파 처리 공정에 있어서는, 액매체를 개재해서 상기 봄베에 초음파를 적용한다.

바람직하게는, 상기 가스 배출 공정 및 상기 초음파 처리 공정을 동시에 병행해서 행한다.

바람직하게는, 초음파의 주파수는 40 내지 100㎑이다.

바람직하게는, 액화 가스의 정제방법은, 상기 가스 배출 공정에서 배출된 기상 성분을 분석하는 공정을 더 포함하되, 해당 기상 성분에 포함되는 기상 불순물의 농도가 소정값 미만으로 저하되었을 때에, 상기 가스 배출 공정 및 상기 초음파 처리 공정을 정지한다.

본 발명의 제2의 측면에 따르면, 액화 가스의 정제장치가 제공된다. 해당 액화 가스의 정제장치는, 불순물을 포함하는 조질 액화 가스가 수용된 봄베와, 해당 봄베에 대해서 초음파를 인가하는 초음파 발생장치와, 상기 봄베로부터 기상 성분을 배출하기 위해, 해당 봄베에 접속된 배관과, 해당 배관을 개재해서 배출되는 기상 성분의 유량을 조절하는 유량조정기를 포함한다.

바람직하게는, 상기 봄베는, 소정 온도 이상에서 용융되는 가용마개를 포함하는 용기 밸브를 구비하고 있다.

바람직하게는, 상기 초음파 발생장치는, 액매체를 수용하는 용기와, 해당 액매체를 개재해서 상기 봄베에 초음파를 인가하는 초음파 발진기를 포함한다.

바람직하게는, 액화 가스의 정제장치는, 상기 액매체를 소정 온도로 조정하기 위한 냉각기를 더 포함한다.

바람직하게는, 액화 가스의 정제장치는, 상기 봄베로부터 배출된 기상 성분을 분석하기 위해 상기 배관에 접속된 분석장치를 더 포함한다.

바람직하게는, 상기 배관은 감압밸브를 구비하고 있다.

본 발명의 그 밖의 특징 및 이점은, 첨부 도면을 참조해서 이하에 행하는 상세한 설명에 의해, 보다 명확해질 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 액화 가스의 정제방법을 실행하는데 사용 가능한 정제장치의 개략 구성을 나타낸다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시형태에 대해서, 도면을 참조해서 구체적으로 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 액화 가스의 정제방법을 실행하는데 사용할 수 있는 정제장치(X)의 개략 구성을 나타내고 있다. 본 실시형태의 정제장치(X)는, 봄베(1)와, 초음파 발생장치(2)와, 냉각기(3)와, 유량조정기(4)와, 분석장치(5)와, 배관(6)을 구비하고 있다.

봄베(1)에는, 예를 들면, 제품으로서의 고순도 액화 가스가 충전된다. 봄베(1)는, 용기 본체(11)와, 이 용기 본체(11)에 접속되는 용기 밸브(12)를 구비하고 있다.

용기 본체(11)는, 소정의 용량을 지니는 내압용기이며, 예를 들면, 철 또는 철합금 등의 금속제이다. 용기 밸브(12)는, 배관(6)에 접속되어 있고, 핸들의 조작에 의해 배관(6)과의 접속 유로의 개폐를 전환하는 것이다. 용기 본체(11)는, 용기 밸브(12)를 폐쇄한 상태에 있어서, 밀폐 상태를 유지한 채 배관(6)(후술의 관로(61))에 대해서 착탈 가능하다.

용기 밸브(12)는, 가용마개(도시 생략)을 포함하고 있다. 해당 가용마개는, 소정의 작동 온도 이상이 되면 용융되어 마개를 개방함으로써, 용기 본체(11) 내부의 가스를 외부에 방출하는 것이 가능하다. 상기 가용마개는, 예를 들면 작동 온도 이상에서 용융되는 가용금속을 포함하고 있고, 봄베(1)(용기 본체(11)) 내가 과도 한 고압상태가 되는 것을 방지하는 안전밸브로서 기능한다. 상기 가용마개의 작동 온도는, 봄베(1)(용기 본체(11)) 내에 충전하는 액화 가스의 종류에 따라서 설정된다. 상기 가용마개의 작동 온도를 예시하면, 충전하는 액화 가스가 액화 암모니아인 경우에는 57℃, 액화 이산화황의 경우에는 58℃이다.

초음파 발생장치(2)는, 봄베(1)에 초음파를 적용하기 위한 것이다. 본 실시형태의 초음파 발생장치(2)는, 도시하지 않은 초음파 발진기, 및 상부가 개구되는 용기(21)를 포함하고, 해당 용기(21)에 초음파를 전도하기 위한 액매체(22)가 수용된다. 본 실시형태에 있어서, 해당 액매체(22)에 봄베(1)(용기 본체(11))가 잠겨 있다.

냉각기(3)는 용기(21) 내의 액매체(22)를 소정의 온도로 조정하는 것이다. 냉각기(3)는 소정의 액체 온도로 유지된 냉각기 물을 용기(21) 내에 순환시킨다.

배관(6)은 관로(61, 62)를 구비한다. 관로(61)는, 일단부가 봄베(1)에 접속되어 있고, 타단부가 분석장치(5)에 접속되어 있다. 관로(61)에는, 봄베(1) 측에서부터 분석장치(5) 측을 향하는 순서로, 감압밸브(71), 유량조정기(4) 및 니들밸브(72)가 설치되어 있다.

관로(62)는, 관로(61)에 대해서 분기 형상으로 뻗고 있다. 관로(62)는, 일단이 유량조정기(4)와 니들밸브(72) 사이에 있어서 관로(61)에 접속되어 있고, 타단부가 대기 중에 개방되어 있다. 관로(62)에는 개폐밸브(73)가 설치되어 있다.

유량조정기(4)는 봄베(1)로부터 배출되는 가스를 소정의 유량으로 제어하는 것이다. 유량조정기(4)로서는, 예를 들면 질량 유량 제어기가 적합하게 이용된다. 이것에 의해, 봄베(1)로부터 배출되어서 관로(61)를 흐르는 가스에 대해서는, 유량조정기(4)에 의해 유량이 측정되면서 해당 유량이 제어된다.

분석장치(5)는 봄베(1)로부터 배출되는 가스의 성분 농도를 측정하는 것이다.

상기 구성의 정제장치(X)를 사용해서 봄베(1) 내의 액화 가스를 정제할 때에는, 초음파 발생장치(2)에 의해 봄베(1)에 초음파를 적용하면서, 봄베(1) 내의 기상 성분을 퍼지(배출)한다.

봄베(1)에 수용되는 액화 가스로서는, 예를 들면, 암모니아, 아산화질소, 염화수소, 다이클로로실란, 에틸렌, 프로필렌, 프로판, 황화수소, 사플루오린화탄소, 이산화황, 이산화탄소, 삼염화붕소, 염소, 이산화질소, 육플루오린화황, 에탄, 1-부텐, 아이소부텐, 노말부탄, 아이소부탄, 염화메틸, 염화에틸, 다이메틸에터, 염화비닐, 브로민화수소를 들 수 있다.

본 실시형태에 있어서, 봄베(1)의 내용물은, 액화 가스와 저비점 불순물을 포함하는 조질 액화 가스이다. 조질 액화 가스에 있어서의 액화 가스의 농도는, 예를 들면 90vol% 이상이며, 바람직하게는 95vol% 이상, 보다 바람직하게는 98vol% 이상이다. 조질 액화 가스에 있어서의 액화 가스의 농도가 지나치게 낮을 경우(예를 들면, 90vol% 미만), 퍼지하는 액화 가스의 양이 지나치게 많아져, 경제적인 관점에서 바람직하지 못하다. 저비점 불순물로서는, 예를 들면, 질소, 산소나 이산화탄소 등의 공기 유래 성분을 들 수 있다.

액화 가스의 표준 대기압(101.3㎪)에 있어서의 비점은 0℃ 미만이다. 해당 비점이 0℃ 이상이 되면, 액화 가스의 증기압이 낮기 때문에, 기상 성분 퍼지 시의 유량 확보가 곤란해진다. 또한, 액화 가스의 표준 대기압에 있어서의 비점은, 바람직하게는 -70℃ 이상이다. 해당 비점이 -70℃ 미만일 경우, 불순물로서 이산화탄소가 포함되어 있으면, 기상 성분 퍼지에 의한 정제가 곤란해질 우려가 있다.

봄베(1)로부터 기상 성분을 배출할 때의 유량은 봄베 단면적에 비례한다. 예를 들면, 봄베(1)의 용적이 10ℓ이고 해당 봄베(1)의 단면적이 140㎠일 경우, 기상 성분을 배출하는 유량은 0.01 내지 10ℓ/분이 바람직하다. 해당 유량이 0.01ℓ/분 미만이면 액화 가스의 정제 시간이 길어진다. 유량이 10ℓ/분을 초과하면, 배출되는 기상 성분에 다량의 액화 가스가 혼입될 우려가 있다.

초음파 발생장치(2)에 있어서, 용기(21) 내의 액매체(22)는, 바람직하게는 중성이며, 보다 바람직하게는 중성의 물이다. 액매체(22)가 중성이 아닐 경우, 봄베(1)의 부식의 우려가 있는 것에 부가해서, 정제 작업 완료 후에 봄베(1)의 세정을 행할 필요성이 향상되어, 작업 공정이 번잡해질 우려가 있다.

본 실시형태에 있어서, 봄베(1)(용기 본체(11))에 적용하는 초음파의 주파수는, 캐비테이션의 촉진 및 정제 효율 향상의 관점에서 40 내지 100㎑의 범위인 것이 바람직하다. 해당 주파수가 40㎑보다 낮아지면 실린더 용기가 손상될 우려가 있고, 해당 주파수가 100㎑보다 높아지면 초음파에 의한 기상 불순물 제거의 효과가 약해질 가능성이 있다.

초음파 발생장치(2)에 있어서의 액매체(22)의 온도는, 예를 들면 0 내지 40℃로 되어 있고, 바람직하게는 20 내지 40℃로 된다. 액매체(22)의 온도가 40℃를 초과했을 경우, 봄베(1)의 가용마개가 용해될 우려가 있다. 액매체(22)의 온도가 0℃ 미만일 경우, 기상 성분의 퍼지 속도가 저하될 우려가 있고, 또한, 액매체(22)로서 물을 이용한 경우에는 응고되어, 초음파에 의한 조질 액화 가스의 정제 효율이 저하된다.

또, 봄베(1)에 초음파를 적용하는 조작(초음파 처리 공정)에 있어서는, 초음파를 직접 봄베(1)에 적용해도, 액매체(22)를 개재해서 봄베(1)에 적용해도 된다. 그렇지만, 효율성의 면으로부터 초음파를 액매체(22)를 개재해서 봄베(1)에 적용하는 쪽이 바람직하다.

봄베(1) 내의 기상부의 가스를 퍼지(배출)하는 조작(가스 배출 공정)은, 연속적으로 실시해도 간헐적으로 실시해도 된다. 마찬가지로 봄베(1)에 초음파를 적용하는 조작(초음파 처리 공정)은, 연속적으로 실시해도 간헐적으로 실시해도 된다. 또한, 가스 배출 공정 및 초음파 처리 공정을 동시에 실시해도, 개별로 순차 실시해도 된다.

본 실시형태의 봄베(1)의 정제방법에 따르면, 조질 액화 가스가 수용된 봄베(1)에 초음파를 적용하는 것에 의해, 저비점 불순물을 효율적으로 제거할 수 있다.

정제 후의 봄베(1) 내의 제품 액화 가스의 농도는, 용도에 따라서 선택되는 것이며, 예를 들면, 99.9%, 99.99%, 99.999% 또는 99.9999% 등이다. 봄베(1)의 기상 불순물의 농도를 분석장치(5)에 의해 분석하고, 목적 농도에 도달한 시점에서 상기 기상 성분을 퍼지(배출)하는 조작(가스 배출 공정)을 종료하면 된다. 또, 봄베(1)로부터 퍼지되는 기상 성분의 유량이 많을 경우에는, 기상 불순물의 일부(분석장치(5)에 이송되지 않은 부분)를, 관로(62)를 개재해서 대기 중에 방출해도 된다.

이상, 본 발명의 구체적인 실시형태를 설명했지만, 발명의 사상으로부터 일탈하지 않는 범위 내에서 각종 변경이 가능하다. 본 발명에 따른 액화 가스의 정제방법, 및 해당 정제방법을 실행하기 위한 정제장치의 구체적인 구성에 대해서는, 상기 실시형태와 다른 구성으로 해도 된다.

[ 실시예 ]

다음에, 본 발명의 유용성을 실시예 및 비교예에 의해 설명한다.

[실시예 1]

실시예 1에서는, 도 1에 나타낸 정제장치(X)를 이용해서 액화 가스의 정제를 행하였다. 사용한 봄베(1)(용기 본체(11))의 용적은 10ℓ이며, 정제 처리 전의 봄베(1)에는 조질 액화 가스로서의 조질의 암모니아가 초기 충전량 5㎏으로 충전되었다. 이 봄베(1)를 초음파 발생장치(2)(에즈원(주)(AS ONE Corporation) 제품 ASU-20M)의 용기(21) 내의 물(액매체(22))에 수심 5㎝까지 잠기도록 설치했다. 초음파 발생장치(2)의 기동 중에는, 용기(21) 내의 수온이 상승하므로, 냉각기(3)에 의해 해당 수온을 25℃로 조정했다.

그리고, 실시예 1에서는, 봄베(1) 내의 기상 성분을 250㎖/분의 유량으로 연속적으로 배출하고, 분석장치(5)로서의 가스 크로마토그래피(시마즈세이사쿠쇼(주)(Shimadzu Corporation) 제품 GC-2014)에 의해 분석한 바, 기상 성분의 퍼지를 시작하고 나서 1.5시간 후에 있어서, 기상 산소 농도 및 기상 질소 농도가 정량 하한 미만(1volppm 미만)까지 저감했다. 실시예 1의 결과를 표 1에 나타내었다.

[실시예 2]

실시예 2에서는, 실시예 1과 마찬가지로 정제장치(X)를 이용해서, 조질의 암모니아가 충전된 봄베(1)(용적: 10ℓ, 초기 충전량 5㎏)를 초음파 발생장치(2)(에즈원(주) 제품 ASU-20M)의 용기(21) 내의 물(액매체(22))에 수심 5㎝까지 잠기도록 설치했다. 초음파 발생장치(2)의 기동 중에는, 냉각기(3)에 의해 용기(21) 내의 수온을 25℃로 조정했다. 실시예 2에 있어서는, 상기 실시예 1과 다른 점으로서, 15분간 퍼지를 행한 후에 15분간 퍼지를 정지하는 조작을 반복했다. 즉, 가스 배출 공정을 간헐적으로 행하였다.

그리고, 실시예 2에서는, 봄베(1) 내의 기상 성분을 250㎖/분의 유량으로 배출하고, 분석장치(5)로서의 가스 크로마토그래피(시마즈세이사쿠쇼(주) 제품 GC-2014)에 의해 분석한 바, 기상 성분의 퍼지를 시작하고 나서 3시간 후에 있어서, 기상 산소 농도 및 기상 질소 농도가 정량 하한 미만(1volppm 미만)까지 저감했다. 실시예 2의 결과를 표 1에 나타내었다.

[비교예 1]

비교예 1에서는, 실시예 1과 마찬가지로 정제장치(X)를 이용해서, 조질의 암모니아가 충전된 봄베(1)(용적: 10ℓ, 초기 충전량 5㎏)를 용기(21) 내의 물(액매체(22))에 수심 5㎝까지 잠기도록 설치했다. 단, 실시예 1과 다른 점으로서, 비교예 1에서는 초음파 발생장치(2)를 기동시키지 않고, 봄베(1)에 초음파를 적용하지 않았다.

그리고, 비교예 1에서는, 봄베(1) 내의 기상 성분을 250㎖/분의 유량으로 연속적으로 배출하고, 분석장치(5)로서의 가스 크로마토그래피(시마즈세이사쿠쇼(주) 제품 GC-2014)에 의해 분석한 바, 기상 성분의 퍼지를 시작하고 나서 3시간 후에 있어서, 기상 산소 농도가 1.5volppm, 기상 질소 농도가 52volppm이었다. 비교예 1의 결과를 표 1에 나타내었다.

[실시예 3]

실시예 3에서는, 실시예 1과 마찬가지로 정제장치(X)를 이용해서 액화 가스의 정제를 행했지만, 봄베(1)에 충전되는 액화 가스의 종류를 달리하고, 그에 따른 갖가지 조건을 실시예 1로부터 변경했다. 실시예 3에 있어서는, 조질의 이산화황이 충전된 액화 가스 봄베(용적: 3.4ℓ, 초기 충전량 4㎏)를 초음파 발생장치(2)(에즈원(주) 제품 ASU-20M)의 용기(21) 내의 물(액매체(22))에 수심 5㎝까지 잠기도록 설치했다. 초음파 발생장치(2)의 기동 중에는, 냉각기(3)에 의해 용기(21) 내의 수온을 25℃로 조정했다.

그리고, 실시예 3에서는, 봄베(1) 내의 기상 성분을 350㎖/분의 유량으로 연속적으로 배출하고, 분석장치(5)로서의 가스 크로마토그래피(시마즈세이사쿠쇼(주) 제품 GC-2014)에 의해 분석한 바, 기상 성분의 퍼지를 시작하고 나서 3시간 후에 있어서, 기상 산소 농도 및 기상 질소 농도가 정량 하한 미만(1volppm 미만)까지 저감했다. 실시예 3의 결과를 표 2에 나타내었다.

[비교예 2]

비교예 2에서는, 실시예 3과 마찬가지로 정제장치(X)를 이용해서, 조질의 이산화황이 충전된 봄베(1)(용적: 3.4ℓ, 초기 충전량 4㎏)를 용기(21) 내의 물(액매체(22))에 수심 5㎝까지 잠기도록 설치했다. 단, 실시예 3과 다른 점으로서, 비교예 2에서는 초음파 발생장치(2)를 기동시키지 않고, 봄베(1)에 초음파를 적용하지 않았다.

그리고, 비교예 2에서는, 봄베(1) 내의 기상 성분을 350㎖/분의 유량으로 연속적으로 배출하고, 분석장치(5)로서의 가스 크로마토그래피(시마즈세이사쿠쇼(주) 제품 GC-2014)에 의해 분석한 바, 기상 성분의 퍼지를 시작하고 나서 3시간 후에 있어서, 기상 산소 농도가 48volppm, 기상 질소 농도가 59volppm이었다. 기상부 가스의 퍼지를 더욱 3시간 실시했지만, 각 불순물 농도는 1volppm 이상이었다. 비교예 2의 결과를 표 2에 나타내었다.

X: 정제장치 1: 봄베
11: 용기 본체 12: 용기 밸브
2: 초음파 발생장치 21: 용기
22: 액매체 3: 냉각기
4: 유량조정기 5: 분석장치
6: 배관 61: 관로
62: 관로 71: 감압밸브
72: 니들밸브 73: 개폐밸브

Claims

액화 가스의 정제방법으로서,
불순물을 포함하는 조질 액화 가스가 수용된 봄베에 초음파를 적용시키는 초음파 처리 공정과, 상기 봄베로부터 기상 성분을 배출하는 가스 배출 공정을 포함하는, 액화 가스의 정제방법.
제1항에 있어서, 상기 액화 가스가, 암모니아, 아산화질소, 염화수소, 다이클로로실란, 에틸렌, 프로필렌, 프로판, 황화수소, 사플루오린화탄소, 이산화황, 이산화탄소, 삼염화붕소, 염소, 이산화질소, 육플루오린화황, 에탄, 1-부텐, 아이소부텐, 노말부탄, 아이소부탄, 염화메틸, 염화에틸, 다이메틸에터, 염화비닐, 브로민화수소로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나인, 액화 가스의 정제방법.
제1항에 있어서, 상기 액화 가스의 표준 대기압에 있어서의 비점이 -70℃ 이상 0℃ 미만인, 액화 가스의 정제방법.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 초음파 처리 공정에 있어서는, 액매체를 개재해서 상기 봄베에 초음파를 적용시키는, 액화 가스의 정제방법.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 가스 배출 공정 및 상기 초음파 처리 공정을 동시에 병행해서 행하는, 액화 가스의 정제방법.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 초음파의 주파수는 40 내지 100㎑인, 액화 가스의 정제방법.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 가스 배출 공정에서 배출된 기상 성분을 분석하는 공정을 더 포함하되, 상기 기상 성분에 포함되는 기상 불순물의 농도가 소정값 미만으로 저하된 때에, 상기 가스 배출 공정 및 상기 초음파 처리 공정을 정지하는, 액화 가스의 정제방법.
액화 가스의 정제장치로서,
불순물을 포함하는 조질 액화 가스가 수용된 봄베와,
상기 봄베에 대해서 초음파를 인가하는 초음파 발생장치와,
상기 봄베로부터 기상 성분을 배출하기 위해, 해당 봄베에 접속된 배관과,
상기 배관을 개재해서 배출되는 기상 성분의 유량을 조절하는 유량조정기를 포함하는, 액화 가스의 정제장치.
제8항에 있어서, 상기 액화 가스가, 암모니아, 아산화질소, 염화수소, 다이클로로실란, 에틸렌, 프로필렌, 프로판, 황화수소, 사플루오린화탄소, 이산화황, 이산화탄소, 삼염화붕소, 염소, 이산화질소, 육플루오린화황, 에탄, 1-부텐, 아이소부텐, 노말부탄, 아이소부탄, 염화메틸, 염화에틸, 다이메틸에터, 염화비닐, 브로민화수소로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나인, 액화 가스의 정제장치.
제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 봄베는, 소정 온도 이상에서 용융되는 가용마개를 포함하는 용기 밸브를 구비하고 있는, 액화 가스의 정제장치.
제8항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 초음파 발생장치는, 액매체를 수용하는 용기와, 상기 액매체를 개재해서 상기 봄베에 초음파를 인가하는 초음파발진기를 포함하는, 액화 가스의 정제장치.
제8항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 액매체를 소정 온도로 조정하기 위한 냉각기를 더 포함하는, 액화 가스의 정제장치.
제8항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 봄베로부터 배출된 기상 성분을 분석하기 위해 상기 배관에 접속된 분석장치를 더 포함하는, 액화 가스의 정제장치.
제8항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 배관은 감압밸브를 구비하고 있는, 액화 가스의 정제장치.