KR20190110266A - 디본딩 서포트 장치 및 이를 이용한 디본딩 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 디본딩 서포트 장치 및 이를 이용한 디본딩 방법에 관한 것으로서 더욱 상세하게는 디본딩 공정 중 초박막 유리의 파손 발생 확률을 줄일 수 있는 디본딩 서포트 장치 및 이를 이용한 디본딩 방법에 관한 것이다.
이를 위해, 본 발명은, 본딩되어 하나의 유리 접합체를 이루는 캐리어 유리와 초박막 유리를 디본딩 개시 수단을 사용하여 디본딩하는 공정을 서포트하는 디본딩 서포트 장치에 있어서, 상면에 안착되는 상기 유리 접합체를 흡착 지지하고, 상기 유리 접합체의 영역 별로 서로 다른 흡착력을 발생시키는 복수 개의 영역으로 구획되며, 상기 복수 개의 영역 중 상기 디본딩 개시 수단이 진입하는 디본딩 개시 부분과 인접하는 영역에서 상대적으로 강한 흡착력을 발생시키는 석션 플레이트; 상기 석션 플레이트에 연결되어 상기 석션 플레이트에 진공압을 인가하는 진공 펌프; 및 상기 진공 펌프를 제어하여 상기 석션 플레이트에 인가되는 진공압을 조절하는 컨트롤러를 포함하는 디본딩 서포트 장치 및 이를 이용한 디본딩 방법을 제공한다.

Description

디본딩 서포트 장치 및 이를 이용한 디본딩 방법{APPARATUS OF SUPPORTING DEBONDING AND METHOD FOR DEBONDING USING THE SAME}
본 발명은 디본딩 서포트 장치 및 이를 이용한 디본딩 방법에 관한 것으로서 더욱 상세하게는 디본딩 공정 중 초박막 유리의 파손 발생 확률을 줄일 수 있는 디본딩 서포트 장치 및 이를 이용한 디본딩 방법에 관한 것이다.
디스플레이 패널, 터치 센서, 광전지 패널 및 조명기기를 포함하는 전자기기 분야에서, 보다 가볍고 얇으며 그리고 플렉서블한 기기에 대한 요구가 증가하고 있다. 이러한 요구에 부응하여, 초박막 기판, 특히, 초박막 유리 기판은 폴리머 기판에 비해 밀폐성, 광 투과성, 표면 조도, 열, 화학적 안정성이 뛰어나기 때문에 많은 관심을 받고 있다. 그러나 취급 시 처짐 및 파손 문제로 인해, 이러한 초박막 유리 기판을 경질 유리 기판용 기존 제조 라인에 직접 적용하는 것은 어려운 실정이다. 이에 따라, 초박막 유리에 대한 핸들링 및 공정을 용이하게 하기 위한 대안으로, 캐리어에 본딩된 초박막 유리가 제안되었고, 임시 유리-유리 본딩 기술에 대한 광범위한 노력이 있었다. 임시 본딩을 위한 캐리어의 표면 개질, 용이한 디본딩을 위한 캐리어 다자인 및 본딩/디본딩 방법을 포함하는 이러한 유리 본딩 기술 중에서, 캐리어에 대한 초박막 유리의 안정적인 본딩 및 캐리어로부터 초박막 유리를 디본딩하는 장치는 공정 수율을 결정하는 핵심 요소이다.
캐리어 기판 상에 박막 유리를 사용하는 수많은 공정들 중에서, 캐리어로부터 박막 유리를 디본딩하는 공정은 공정의 수율을 결정하는 핵심 공정이다. 캐리어로부터 성공적인 박막 유리 디본딩을 달성하기 위해서는 적절한 디본딩 개시, 파손 없이 캐리어로부터 박막 유리 분리 및 디본딩 공정 동안 소자에 결함 형성의 방지라는 해결해야 할 세 가지 이슈가 있다.
디본딩 개시는 디본딩 공정을 시작하기 위한 핵심 공정으로, 노치, 홀드, 스텝 높이 또는 거칠기 차이와 같은 캐리어의 디자인 변경과 같은 다양한 개발이 있었다. 그리고 소니케이션 및 박막 유리와 캐리어 사이에 블레이드를 삽입하는 방법 또한 개발되었다. 그러나 캐리어 디자인 변경 방법은 비용이 더 많이 드는 특별한 디자인의 캐리어를 준비하기 위한 추가적인 공정을 필요로 하고, 소니케이션 또는 블레이드 삽입 방법은 디본딩 개시 공정 동안 박막 유리의 파손 가능성이 높다. 그러므로 추가적인 공정이 필요 없고, 박막 유리 파손에 대한 우려가 없는 디본딩 개시 방법의 개발이 요구된다.
처짐 및 구부러짐 특성을 갖는 박막 유리는 얇은 두께 때문에, 캐리어와 박막 유리를 분리하는 동안 박막 유리에 다소 구부러짐에 발생될 수 있다. 이러한 구부러짐 때문에, 디본딩 공정 동안 박막 유리는 쉽게 깨질 수 있다. 특히, 이러한 파손은 작은 결함 사이트를 갖는 박막 유리가 디본딩 과정에서 구부러질 때 쉽게 발생될 수 있다. 그러므로 높은 디본딩 수율을 달성하기 위해서는 디본딩 동안 박막 유리의 구부러짐을 최소화할 수 있는 디본딩 방법을 찾는 것이 중요하다.
전술한 디본딩 공정에 더해, 디본딩 공정 중 약간의 접촉 및 힘이 패널에 가해질 수 있으므로, 박막 유리 상에 형성된 패널을 보호하는 것도 중요하다. 그러므로 디본딩 장치의 절절한 핸들링 방법 및 구성 또한 디본딩 방법 및 툴을 개발하는 과정에서 고려되어야 할 중요한 부분이다.
대한민국 공개특허공보 제10-2016-0031637호(2016.03.23.)
본 발명은 상술한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 디본딩 공정 중 초박막 유리의 파손 발생 확률을 줄일 수 있는 디본딩 서포트 장치 및 이를 이용한 디본딩 방법을 제공하는 것이다.
이를 위해, 본 발명은, 본딩되어 하나의 유리 접합체를 이루는 캐리어 유리와 초박막 유리를 디본딩 개시 수단을 사용하여 디본딩하는 공정을 서포트하는 디본딩 서포트 장치에 있어서, 상면에 안착되는 상기 유리 접합체를 흡착 지지하고, 상기 유리 접합체의 영역 별로 서로 다른 흡착력이 발생되는 복수 개의 영역으로 구획되며, 상기 복수 개의 영역 중 상기 디본딩 개시 수단이 진입하는 디본딩 개시 부분과 인접하는 영역에서 상대적으로 강한 흡착력이 발생되는 석션 플레이트; 상기 석션 플레이트에 연결되어 상기 석션 플레이트에 진공압을 인가하는 진공 펌프; 및 상기 진공 펌프를 제어하여 상기 석션 플레이트에 인가되는 진공압을 조절하는 컨트롤러를 포함하는 디본딩 서포트 장치를 제공한다.
여기서, 면적이 상대적으로 큰 상기 캐리어 유리가 상기 초박막 유리를 테두리 하는 형태로 본딩되어 상기 유리 접합체를 이루고 있고, 상기 초박막 유리 상에는 복수 개의 소자층이 형성되어 있으며, 상기 유리 접합체가 상기 석션 플레이트에 안착될 때, 상기 초박막 유리 및 상기 복수 개의 소자층이 상기 석션 플레이트의 상면과 접촉할 수 있다.
이때, 상기 석션 플레이트는 안착되는 상기 유리 접합체에서 상기 초박막 유리의 하측 가장자리와 대응되는 위치 중 상기 디본딩 개시 부분에 인접 형성되고 상기 디본딩 개시 수단이 상기 석션 플레이트와 상기 캐리어 유리 사이에 진입하여 디본딩이 개시될 때 상기 초박막 유리를 흡착 고정하기 위해 상기 진공 펌프와 연결되는 복수 개의 제1 흡착 홀을 포함할 수 있다.
또한, 상기 석션 플레이트는 안착되는 상기 유리 접합체에서 상기 초박막 유리의 하측 가장자리와 대응되는 위치에 형성되고 상기 디본딩 개시 수단에 의해 상기 캐리어 유리가 들어올려질 때 상기 초박막 유리의 가장자리를 흡착 고정하기 위해 상기 진공 펌프와 연결되는 복수 개의 제2 흡착 홀을 더 포함할 수 있다.
그리고 상기 복수 개의 제2 흡착 홀은 각각, 상기 초박막 유리의 하측 가장자리와 대응되는 라인 형태의 홀로 형성될 수 있다.
이때, 상기 복수 개의 제2 흡착 홀은 디본딩이 진행되는 방향에서 가장 먼 상기 초박막 유리의 하측 가장자리를 제외한 상기 초박막 유리의 하측 가장자리와 대응되는 위치에 형성될 수 있다.
또한, 상기 석션 플레이트는 상기 복수 개의 소자층이 이루는 영역과 대응되는 영역에 형성되고 상기 디본딩 개시 수단에 의해 상기 캐리어 유리가 들어올려질 때 상기 복수 개의 소자층을 흡착 고정하기 위해 상기 진공 펌프와 연결되는 복수 개의 제3 흡착 홀을 더 포함할 수 있다.
이때, 상기 복수 개의 제1 흡착 홀이 이루는 영역은 상기 복수 개의 제3 흡착 홀이 이루는 영역보다 상대적으로 좁은 면적을 이루며, 상기 복수 개의 제1 흡착 홀은 상기 복수 개의 제3 흡착 홀보다 조밀하게 배치될 수 있다.
상기 제1 흡착 홀, 상기 제2 흡착 홀 및 상기 제3 흡착 홀 각각은 상기 유리 접합체와 마주하는 단부 측에 상대적으로 넓은 폭으로 형성되는 감압부를 가질 수 있다.
상기 컨트롤러는 상기 복수 개의 제1 흡착 홀 내지 상기 복수 개의 제3 흡착 홀에 균일한 진공압이 인가되도록 상기 진공 펌프를 제어할 수 있다.
또한, 상기 유리 접합체가 상기 석션 플레이트의 상면에 안착될 때, 상기 캐리어 유리 상에 배치되는 적어도 하나의 흡착 캡을 더 포함할 수 있다.
이때, 상기 흡착 캡은 상기 컨트롤러에 의해 제어되는 상기 진공 펌프와 연결되어 상기 진공 펌프로부터 인가되는 진공압을 통해 상기 캐리어 유리를 흡착할 수 있다.
또한, 상기 흡착 캡은 상, 하 동작 가능하게 형성되고, 상기 디본딩 개시 수단에 의해 상기 캐리어 유리가 들어올려질 때, 상기 컨트롤러에 의한 제어를 통해, 흡착되어 있는 상기 캐리어 유리를 상측 방향으로 들어올려 상기 초박막 유리로부터 이탈시킬 수 있다.
상기 디본딩 개시 수단은 금속 바를 포함할 수 있다.
이때, 상기 디본딩 개시 수단은 상기 초박막 유리보다 상대적으로 두꺼운 두께를 가질 수 있다.
본 발명에 따르면, 디본딩 개시 및 디본딩 공정 중 오직 석션 플레이트만이 초박막 유리와 접촉됨과 아울러, 디본딩 공정 중 강한 흡착력을 발생시켜 초박막 유리의 가장자리가 완벽하게 태킹(tacking)됨으로써, 디본딩 개시 및 디본딩 공정 중 초박막 유리의 구부러짐 또는 이로 인한 파손 발생 확률을 줄일 수 있고, 그 결과, 공정 수율을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 초박막 유리에서, 복수 개의 소자층이 형성되어 있는 영역에는 상대적으로 약한 흡착력이 발생되도록 흡착 홀의 배치 간격을 조절함으로써, 디본딩 공정 중 소자층에 가해지는 흡착력에 의해 소자층에 결함이 발생되는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 디본딩 서포트 장치의 석션 플레이트를 나타낸 도면이다.
도 2 및 도 3은 캐리어 유리와 초박막 유리의 본딩으로 이루어진 유리 접합체를 나타낸 도면들이다.
도 4 내지 도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 디본딩 서포트 장치를 이용하여 유리 접합체를 디본딩하는 과정을 차례로 나타낸 모식도들이다.
도 7은 본 발명의 실시 예에 따른 디본딩 서포트 장치의 흡착 캡의 적용 모습을 나타낸 모식도이다.
이하에서는 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 디본딩 서포트 장치 및 이를 이용한 디본딩 방법에 대해 상세히 설명한다.
아울러, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단된 경우 그 상세한 설명은 생략한다.
도 1 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 디본딩 서포트 장치(100)는 본딩되어 하나의 유리 접합체(10)를 이루는 캐리어 유리(11)와 초박막 유리(12)를 디본딩 개시 수단(20)을 사용하여 디본딩하는 공정을 서포트하는 장치이다.
이를 위해, 본 발명의 실시 예에 따른 디본딩 서포트 장치(100)는 석션 플레이트(110), 진공 펌프(120) 및 컨트롤러(130)를 포함하여 형성된다.
석션 플레이트(110)는 상면에 안착되는 유리 접합체(10)를 흡착 지지한다. 여기서, 유리 접합체(10)는 초박막 유리(12)를 운반하거나 초박막 유리(12) 위에 소자층(13)을 형성하는 경우 핸들링이 어렵기 때문에, 초박막 유리(12)를 지지하기 위해 만들어지는 것으로, 캐리어 유리(11)에 초박막 유리(12)를 본딩하여 만들어진다. 즉, 유리 접합체(10)는, 초박막 유리(12)가 캐리어 유리(11)에 의해 지지되는 상태에서 소자층(13) 형성 공정을 안정적으로 수행하기 위해 만들어진다.
이러한 유리 접합체(10)는 두께 및 면적이 서로 다른 캐리어 유리(11)와 초박막 유리(12)의 본딩으로 이루어진다. 도 2에 도시한 바와 같이, 하나의 유리 접합체(10)는, 면적이 상대적으로 크고 두께가 두꺼운 캐리어 유리(11)가 초박막 유리(12)를 테두리 하는 형태, 즉, 초박막 유리(12)의 4변 외곽으로 캐리어 유리(11)가 노출되는 형태로 본딩되어 이루어진다. 이 상태에서, 초박막 유리(12) 상에 예컨대, 전극층을 이루는 ITO가 코팅 및 패터닝되고, 그 위에 절연층이 코팅 및 패터닝되며, 패터닝된 각각의 절연층 위에 유기발광층이 증착된 후 인캡슐레이션 필름에 의해 인캡슐레이션되어 복수 개의 소자층(13)을 형성하게 된다. 복수 개의 소자층(13) 형성이 완료되면, 패널 커팅과 같은 후속 공정 진행을 위해, 복수 개의 소자층(13)이 형성된 초박막 유리(12)는 캐리어 유리(11)로부터 디본딩되어야 한다.
본 발명의 실시 예에서, 초박막 유리(12)는 50㎛ 내지 300㎛ 두께를 갖는 유리를 말한다. 또한, 전술했듯이, 캐리어 유리(11)로는 초박막 유리(12)보다 두께가 두꺼운 유리가 사용된다.
이러한 디본딩 공정을 위해, 유리 접합체(10)는 석션 플레이트(110)에 안착된다. 이때, 석션 플레이트(110)의 상면은 초박막 유리(12) 및 복수 개의 소자층(13)과 마주하며, 최종적으로 이들과 접촉하게 된다.
한편, 본 발명의 실시 예에 따른 석션 플레이트(110)는 유리 접합체(10)의 영역 별로 서로 다른 흡착력이 발생되는 복수 개의 영역으로 구획된다. 이때, 이러한 복수 개의 영역 중 디본딩 개시 수단(20)이 진입하는 디본딩 개시 부분과 인접하는 영역에서 상대적으로 강한 흡착력이 발생된다.
이를 위해, 본 발명의 실시 예에 따른 석션 플레이트(110)는 제1 영역(A)을 이루는 복수 개의 제1 흡착 홀(111), 제2 영역(B)을 이루는 복수 개의 제2 흡착 홀(112) 및 제3 영역(C)을 이루는 복수 개의 제3 흡착 홀(113)을 포함하여 형성될 수 있다. 이때, 제1 영역(A), 제2 영역(B) 및 제3 영역(C)은 수직방향으로 기준으로 초박막 유리(12)와 마주하고 접촉한다. 즉, 제1 영역(A), 제2 영역(B) 및 제3 영역(C)은 수직방향을 기준으로 캐리어 유리(11)와 마주하게 배치되지 않고 초박막 유리(12)의 영역 내에만 배치되는 구조를 이룬다.
제1 영역(A)을 이루는 복수 개의 제1 흡착 홀(111)은 디본딩이 개시될 때, 초박막 유리(12)를 흡착하여 디본딩 개시를 가능하게 하고, 안착되는 유리 접합체(10)에서, 초박막 유리(12)의 하측 가장자리와 대응되는 위치 중 디본딩 개시 부분에 인접 형성된다. 즉, 복수 개의 제1 흡착 홀(111)은 디본딩 개시 부분에 인접한 초박막 유리(12)의 하측 가장자리를 흡착 지지한다. 디본딩 개시를 가능하게 하고 디본딩 과정에서 초박막 유리(12)의 파손을 방지하기 위해, 유리 접합체(10) 안착 시 디본딩 개시 부분에 인접한 초박막 유리(12)의 하측 가장자리는 복수 개의 제1 흡착 홀(111)에 반드시 정위치 되어야 한다.
이러한 복수 개의 제1 흡착 홀(111)은, 디본딩 개시 수단(20)이 석션 플레이트(110), 보다 상세하게는 디본딩이 진행되는 방향을 기준으로 복수 개의 제1 흡착 홀(111)이 이루는 제1 영역(A)의 인접 상류측의 석션 플레이트(110)와 캐리어 유리(11) 사이에 진입하여 디본딩이 개시될 때, 초박막 유리(12)를 흡착 고정하기 위해 진공 펌프(120)와 연결된다. 이때, 본 발명의 실시 예에 따른 디본딩 개시 수단(20)은 얇은 금속 바로 이루어질 수 있다. 이러한 디본딩 개시 수단(20)은 수평 방향으로의 진입 동작에 의해 디본딩이 개시될 수 있도록 하기 위해, 초박막 유리(12)보다 상대적으로 두꺼운 두께로 형성되는 것이 바람직하다.
본 발명의 실시 예에서, 디본딩이 개시될 때, 디본딩 개시 수단(20)은 복수 개의 제1 흡착 홀(111)이 이루는 제1 영역(A)의 인접 상류측의 석션 플레이트(110)까지만 진입한다. 이 위치까지만 진입하더라도 상술했듯이, 디본딩 개시 수단(20)이 초박막 유리(12)보다 두꺼운 두께를 가지기 때문에 디본딩 개시가 가능하다. 즉, 본 발명의 실시 예에서, 디본딩 개시 수단(20)은 초박막 유리(12)의 하측 가장자리를 흡착 지지하는 복수 개의 제1 흡착 홀(111)이 이루는 제1 영역(A)에는 진입하지 않는다. 이에 따라, 디본딩 개시 및 디본딩 진행 과정은 디본딩 개시 수단(20)과 초박막 유리(12) 간의 접촉이 없는 상태에서 진행된다. 디본딩 개시 및 디본딩 진행 과정 중 디본딩 개시 수단(20)은 오직 석션 플레이트(110) 및 캐리어 유리(11)와 접촉되고, 초박막 유리(12)는 오직 석션 플레이트(110)와 접촉된다. 그 결과, 디본딩 과정에서 디본딩 개시 수단(20)에 의해 초박막 유리(12)가 파손되는 것을 방지할 수 있다.
도 1에 도시한 바와 같이, 제1 영역(A)을 이루는 복수 개의 제1 흡착 홀(111)은 제3 영역(C)을 이루는 복수 개의 제3 흡착 홀(113)보다 상대적으로 조밀하게 배치된다. 또한, 복수 개의 제1 흡착 홀(111)이 이루는 제1 영역(A)은 복수 개의 제3 흡착 홀(113)이 이루는 제3 영역(C)보다 상대적으로 좁은 면적으로 이루어진다. 이에 따라, 복수 개의 제1 흡착 홀(111)이 이루는 제1 영역(A)에서는 상대적으로 강한 흡착력이 발생된다. 이로 인해, 디본딩이 개시될 때, 제1 영역(A)에 흡착되는 초박막 유리(12)의 가장자리는 완벽하게 태킹(tacking)된다. 그 결과, 디본딩 공정 중 초박막 유리(12)의 파손 발생 확률을 줄일 수 있고, 공정 수율을 향상시킬 수 있게 된다.
본 발명의 실시 예에서, 이러한 복수 개의 제1 흡착 홀(111)은 격자 형태로 배치된다. 하지만, 이는 일례일 뿐, 복수 개의 제1 흡착 홀(111)은 강한 흡착력을 유도할 수 있는 다양한 배치 간격 및 다양한 형태로 배치될 수 있는 바, 본 발명에서 복수 개의 제1 흡착 홀(111)의 배치 구조를 반드시 격자 형태나 특정 간격으로 한정하는 것은 아니다.
한편, 복수 개의 제1 흡착 홀(111) 각각은 유리 접합체(10)와 마주하는 단부 측, 즉, 석션 플레이트(110)의 표면 측에 상대적으로 넓은 폭으로 형성되는 감압부(115)를 갖는다. 이러한 감압부(115)는 초박막 유리(12)를 흡착 지지하는 과정에서 초박막 유리(12)의 표면에 제1 흡착 홀(111)의 형상이 전사되는 것을 방지하는 역할을 한다. 또한, 감압부(115)는 복수 개의 제1 흡착 홀(111) 각각이 작은 크기로 형성됨에 따라, 이와 맞닿는 초박막 유리(12)의 표면에 큰 진공압이 가해져 초박막 유리(12)에 국부적인 손상이 발생되는 것을 방지하는 역할을 한다.
제2 영역(B)을 이루는 복수 개의 제2 흡착 홀(112)은 안착되는 유리 접합체(10)에서, 초박막 유리(12)의 하측 가장자리와 대응되는 위치에 형성된다. 이러한 복수 개의 제2 흡착 홀(112)은 디본딩 개시 후 디본딩이 진행되는 과정에서 초박막 유리(12)의 파손을 방지하고, 캐리어 유리(11)가 들어올려지는 방향으로 초박막 유리(12)의 가장자리가 구부러지는 것을 방지하기 위해, 초박막 유리(12)의 가장자리를 흡착 지지한다.
이러한 복수 개의 제2 흡착 홀(112)은 디본딩 개시 수단(20)에 의해 캐리어 유리(11)가 들어올려질 때 초박막 유리(12)의 가장자리를 흡착 고정하기 위해 진공 펌프(120)와 연결된다.
도 1에 도시한 바와 같이, 제2 영역(B)을 이루는 복수 개의 제2 흡착 홀(112) 각각은, 초박막 유리(12)의 하측 가장자리와 대응되는 라인 형태의 홀로 형성될 수 있다. 이와 같이, 제2 흡착 홀(112)이 초박막 유리(12)의 가장자리를 따라 라인 형태의 홀로 형성되면, 디본딩 진행 과정에서 초박막 유리(12)의 가장자리가, 캐리어 유리(11)가 들어올려지는 방향을 따라 구부러지거나 파손이 발생될 확률을 줄일 수 있게 된다. 이때, 디본딩은 도면기준으로 왼쪽에서 오른쪽으로 진행되므로, 제2 흡착 홀(112)은 디본딩이 진행되는 방향에서 가장 먼 초박막 유리(12)의 하측 가장자리, 즉, 초박막 유리(12)의 오른쪽 하측 가장자리를 제외한 초박막 유리(12)의 왼쪽, 위쪽, 아래쪽 하측 가장자리와 대응되는 위치에 형성되는 것이 원활한 디본딩을 위해, 그리고 불필요한 흡착으로 인한 구부러짐이나 파손 발생 방지를 위해 바람직하다.
한편, 복수 개의 제2 흡착 홀(112) 각각은 제1 흡착 홀(111)과 마찬가지로, 유리 접합체(10)와 마주하는 단부 측, 즉, 석션 플레이트(110)의 표면 측에 상대적으로 넓은 폭으로 형성되는 감압부(115)를 가질 수 있다.
제3 영역(C)을 이루는 복수 개의 제3 흡착 홀(113)은 안착되는 유리 접합체(10)에서, 초박막 유리(12) 상에 형성되어 있는 복수 개의 소자층(13)이 이루는 영역과 대응되는 영역에 형성된다. 이러한 복수 개의 제3 흡착 홀(113)은 디본딩 개시 후 디본딩이 진행되는 과정에서, 소자층(13)이 이루는 영역을 흡착 지지한다.
이러한 복수 개의 제3 홉착 홀(113)은 디본딩 개시 수단(20)에 의해 캐리어 유리(11)가 들어올려질 때 복수 개의 소자층(13)을 흡착 고정하기 위해 진공 펌프(120)와 연결된다.
도 1에 도시한 바와 같이, 제3 영역(C)을 이루는 복수 개의 제3 흡착 홀(113)은 제1 영역(A)을 이루는 복수 개의 제1 흡착 홀(111)보다 상대적으로 배치 간격이 넓게 형성된다. 또한, 복수 개의 제3 흡착 홀(113)이 이루는 제3 영역(C)은 복수 개의 제1 흡착 홀(111)이 이루는 제1 영역(A)보다 상대적으로 넓은 면적으로 이루어진다. 이에 따라, 복수 개의 제3 흡착 홀(113)이 이루는 제3 영역(C)에서는 상대적으로 약한 흡착력이 발생된다. 이로 인해, 디본딩이 개시되어 디본딩이 진행될 때, 제3 영역(C)에 흡착되는 복수 개의 소자층(13)이 이루는 영역은 상대적으로 약한 흡착력을 받게 된다. 그 결과, 디본딩 진행 과정 중 가해지는 흡착력에 의해 소자층(13)에 결함이 발생되는 것을 방지할 수 있게 된다.
본 발명의 실시 예에서, 이러한 복수 개의 제3 흡착 홀(113)은 격자 형태로 배치된다. 하지만, 이는 일례일 뿐, 복수 개의 제3 흡착 홀(111)은 상대적으로 약한 흡착력이 발생될 수 있는 다양한 배치 간격 및 다양한 형태로 배치될 수 있는 바, 본 발명에서 복수 개의 제1 흡착 홀(111)의 배치 구조를 반드시 격자 형태나 특정 간격으로 한정하는 것은 아니다.
한편, 복수 개의 제3 흡착 홀(113) 각각은, 복수 개의 제1 흡착 홀(111) 및 복수 개의 제2 흡착 홀(112)과 마찬가지로, 유리 접합체(10)와 마주하는 단부 측, 즉, 석션 플레이트(110)의 표면 측에 상대적으로 넓은 폭으로 형성되는 감압부(115)를 가질 수 있다.
진공 펌프(120)는 석션 플레이트(110), 보다 상세하게는 복수 개의 제1 흡착 홀(111), 복수 개의 제2 흡착 홀(112) 및 복수 개의 제3 흡착 홀(113)에 연결되어 이들 각각에 진공압을 인가한다. 이와 같이, 진공 펌프(120)로부터 인가되는 진공압에 의해 복수 개의 제1 흡착 홀(111), 복수 개의 제2 흡착 홀(112) 및 복수 개의 제3 흡착 홀(113)에는 흡착력이 발생된다.
컨트롤러(130)는 진공 펌프(120)를 제어하여 복수 개의 제1 흡착 홀(111), 복수 개의 제2 흡착 홀(112) 및 복수 개의 제3 흡착 홀(113)에 인가되는 진공압을 조절한다. 이때, 본 발명의 실시 예에서, 컨트롤러(130)는 복수 개의 제1 흡착 홀(111), 복수 개의 제2 흡착 홀(112) 및 복수 개의 제3 흡착 홀(113)에 균일한 진공압이 인가되도록 진공 펌프(120)를 제어한다.
본 발명의 실시 예에서는 복수 개의 제1 흡착 홀(111), 복수 개의 제2 흡착 홀(112) 및 복수 개의 제3 흡착 홀(113)에 균일한 진공압이 인가되더라도 복수 개의 제1 흡착 홀(111), 복수 개의 제2 흡착 홀(112) 및 복수 개의 제3 흡착 홀(113)의 배치 구조나 형태가 다르기 때문에, 복수 개의 제1 흡착 홀(111)이 이루는 제1 영역(A), 복수 개의 제2 흡착 홀(112)이 이루는 제2 영역(B) 및 복수 개의 제3 흡착 홀(113)이 이루는 제3 영역(C)에는 서로 다른 세기의 흡착력이 발생된다.
예를 들어, 디본딩 개시 부분과 인접한 복수 개의 제1 흡착 홀(111)이 이루는 제1 영역(A)에서는 균일한 진공압이 가해지더라도 상대적으로 강한 흡착력이 발생된다.
반면, 복수 개의 소자층(13)이 이루는 영역을 흡착하는 복수 개의 제3 흡착 홀(113)이 이루는 제3 영역(C)에서는 균일한 진공압이 가해지더라도 상대적으로 약한 흡착력이 발생된다.
한편, 도 7에 도시한 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 디본딩 서포트 장치(100)는 적어도 하나의 흡착 캡(140)을 더 포함하여 형성될 수 있다. 이러한 흡착 캡(140)은, 유리 접합체(10)가 석션 플레이트(110)의 상면에 안착될 때, 캐리어 유리(11) 상에 배치된다. 흡착 캡(140)은 컨트롤러(130)에 의해 제어되는 진공 펌프(120)와 연결되어 진공 펌프(120)로부터 인가되는 진공압을 통해 캐리어 유리(11)를 상측에서 흡착한다.
본 발명의 실시 예에서, 흡착 캡(140)은 상, 하 동작 가능하게 형성된다. 이때, 흡착 캡(140)의 동작은 컨트롤러(130)에 의해 제어될 수 있다. 또한, 흡착 캡(140)은 디본딩 개시 수단(20)에 의해 캐리어 유리(11)가 들어올려질 때, 컨트롤러(130)에 의한 제어를 통해, 흡착되어 있는 캐리어 유리(11)를 상측 방향으로 들어올려, 초박막 유리(12)로부터 캐리어 유리(11)를 완전히 이탈시킨다.
즉, 본 발명의 실시 예에서, 캐리어 유리(11)와 초박막 유리(12)의 본딩에 의해 이루어진 유리 접합체(10)는 디본딩 개시 수단(20)과 흡착 캡(140)에 의해 디본딩된다.
이하, 본 발명의 실시 예에 따른 디본딩 서포트 장치를 이용하여 유리 접합체를 디본딩하는 과정을 도 4 내지 도 6을 참조하여 설명하기로 한다. 설명과정에서 도 4 내지 도 6에 도시되지 않은 구성들은 나머지 도면을 참조한다.
먼저, 도 4에 도시한 바와 같이, 디본딩될 유리 접합체(10)가 석션 플레이트(110) 상에 안착된다. 이때, 초박막 유리(12)가 아래로 향하도록 석션 플레이트(110) 상에 유리 접합체(10)가 안착된다. 또한, 디본딩이 개시될 초박막 유리(12)의 가장자리 일측이 복수 개의 제1 흡착 홀(111)이 이루는 제1 영역(A) 상에 위치되도록, 유리 접합체(10)는 정위치된다. 이때, 초박막 유리(12)의 나머지 가장자리들은 복수 개의 제2 흡착 홀(112)이 이루는 제2 영역(B) 상에 위치되고, 초박막 유리(12)에 형성되어 있는 복수 개의 소자층(13)이 이루는 영역은 복수 개의 제3 흡착 홀(113)이 이루는 제3 영역(C) 상에 위치된다.
이와 같이 유리 접합체(10)가 석션 플레이트(110)의 상면에 정렬되면, 컨트롤러(130)는 진공 펌프(120)를 제어하여, 복수 개의 제1 흡착 홀(111)이 이루는 제1 영역(A), 복수 개의 제2 흡착 홀(112)이 이루는 제2 영역(B) 및 복수 개의 제3 흡착 홀(113)이 이루는 제3 영역(C)에 균일한 진공압을 가한다. 이에 따라, 유리 접합체(10)는 석션 플레이트(110)의 상면에서 흡착 지지된다. 이때, 복수 개의 제1 흡착 홀(111), 복수 개의 제2 흡착 홀(112) 및 복수 개의 제3 흡착 홀(113)은 배치 구조 및 형태가 다르므로, 디본딩 개시 부분과 인접한 복수 개의 제1 흡착 홀(111)이 이루는 제1 영역(A)에서는 균일한 진공압이 가해지더라도 상대적으로 강한 흡착력이 발생되고, 복수 개의 소자층(13)이 이루는 영역을 흡착하는 복수 개의 제3 흡착 홀(113)이 이루는 제3 영역(C)에서는 균일한 진공압이 가해지더라도 상대적으로 약한 흡착력이 발생된다.
다음으로, 도 5에 도시한 바와 같이, 디본딩 개시 수단(20)이 석션 플레이트(110)와 캐리어 유리(11) 사이 공간으로 진입하면, 디본딩이 개시된다. 즉, 초박막 유리(12)보다 상대적으로 두꺼운 두께를 갖는 디본딩 개시 수단(20)이 석션 플레이트(110)와 캐리어 유리(11) 사이 공간으로 진입하게 되면, 진입하는 디본딩 개시 수단(20)에 밀려 캐리어 유리(11)가 상측 방향으로 들어올려진다. 이때, 초박막 유리(12)는 복수 개의 제1 흡착 홀(111)로부터 발생되는 강한 흡착력에 의해 흡착 고정된 상태로 있다. 이에 따라, 복수 개의 제1 흡착 홀(111)이 이루는 제1 영역(A) 및 이와 접촉되어 있는 초박막 유리(12)의 일면이 이루는 결합력이 캐리어 유리(11) 및 이와 본딩되어 있는 초박막 유리(12)의 타면이 이루는 결합력보다 크므로, 캐리어 유리(11)가 디본딩 개시 수단(20)에 의해 들어올려지더라도 상기 초박막 유리(12)의 일면은 고정된 상태를 유지한 채, 상기 초박막 유리(12)의 타면으로부터 캐리어 유리(11)가 디본딩된다. 이때, 디본딩 개시 수단(20)은 진입 방향에 있는 초박막 유리(12)와 접촉되기 전까지 진입된다. 이는, 디본딩 개시 수단(20)이 초박막 유리(12)와 접촉되기 전에 이미 디본딩이 개시되기 때문이다. 즉, 디본딩 개시 수단(20)이 그 이상 진입할 이유가 없다. 이를 통해, 디본딩이 개시될 때 디본딩 개시 수단(20)에 의한 초박막 유리(12)의 파손을 방지할 수 있다.
마지막으로, 도 6에 도시한 바와 같이, 디본딩 개시 수단(20)이 수평 방향으로 진입하여 디본딩이 개시된 후, 디본딩 개시 수단(20)이 상측 방향으로 들어올려지면, 전 영역에서 초박막 유리(12)로부터 캐리어 유리(11)의 디본딩이 진행된다. 이때, 초박막 유리(12)의 가장자리는 이를 따라 라인 형태의 홀로 형성되어 있는 복수 개의 제2 흡착 홀(112)에서 발생되는 흡착력에 의해 안정적으로 흡착 고정된다. 따라서, 이의 상면에 본딩되어 있는 캐리어 유리(11)가 디본딩되더라도 초박막 유리(12)의 가장자리가 구부러지거나 이로 인해 파손이 발생될 확률은 줄어들게 된다. 또한, 초박막 유리(12)에 형성되어 있는 복수 개의 소자층(13)은 복수 개의 제3 흡착 홀(113)에서 발생되는 흡착력에 의해 안정적으로 흡착 고정된다. 이와 아울러, 복수 개의 제3 흡착 홀(113)에서 발생되는 상대적으로 약한 흡착력으로 인해 소자층(13)에 결함이 발생되는 것이 방지될 수 있다.
한편, 디본딩 개시 수단(20)에 의해 초박막 유리(12)로부터 디본딩되는 캐리어 유리(11)는 상측에서 이를 흡착하고 있는 적어도 하나의 흡착 캡(140)에 의해 초박막 유리(12)로부터 완전히 이탈된다. 이와 같이, 캐리어 유리(11)가 초박막 유리(12)로부터 완전히 이탈되면, 유리 접합체(10)에 대한 디본딩 공정이 완료된다. 본 발명의 실시 예에 따른 디본딩 서포트 장치(100)를 사용하여 캐리어 유리(11)로부터 디본딩된 초박막 유리(12)는 이후, 복수 개의 소자층(13)을 개별 패널화하는 공정 시 커팅된다.
이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시 예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.
그러므로 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
100; 디본딩 서포트 장치 110; 석션 플레이트
111; 제1 흡착 홀 112; 제2 흡착 홀
113; 제3 흡착 홀 115; 감압부
120; 진공 펌프 130; 컨트롤러
140; 흡착 캡 10; 유리 접합체
11; 캐리어 유리 12; 초박막 유리
13; 소자층 20; 디본딩 개시 수단

Claims (21)

  1. 본딩되어 하나의 유리 접합체를 이루는 캐리어 유리와 초박막 유리를 디본딩 개시 수단을 사용하여 디본딩하는 공정을 서포트하는 디본딩 서포트 장치에 있어서,
    상면에 안착되는 상기 유리 접합체를 흡착 지지하고, 상기 유리 접합체의 영역 별로 서로 다른 흡착력이 발생되는 복수 개의 영역으로 구획되며, 상기 복수 개의 영역 중 상기 디본딩 개시 수단이 진입하는 디본딩 개시 부분과 인접하는 영역에서 상대적으로 강한 흡착력이 발생되는 석션 플레이트;
    상기 석션 플레이트에 연결되어 상기 석션 플레이트에 진공압을 인가하는 진공 펌프; 및
    상기 진공 펌프를 제어하여 상기 석션 플레이트에 인가되는 진공압을 조절하는 컨트롤러;
    를 포함하는 디본딩 서포트 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    면적이 상대적으로 큰 상기 캐리어 유리가 상기 초박막 유리를 테두리 하는 형태로 본딩되어 상기 유리 접합체를 이루고 있고,
    상기 초박막 유리 상에는 복수 개의 소자층이 형성되어 있으며,
    상기 유리 접합체가 상기 석션 플레이트에 안착될 때, 상기 초박막 유리 및 상기 복수 개의 소자층이 상기 석션 플레이트의 상면과 접촉하는 디본딩 서포트 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 석션 플레이트는,
    안착되는 상기 유리 접합체에서 상기 초박막 유리의 하측 가장자리와 대응되는 위치 중 상기 디본딩 개시 부분에 인접 형성되고 상기 디본딩 개시 수단이 상기 석션 플레이트와 상기 캐리어 유리 사이에 진입하여 디본딩이 개시될 때 상기 초박막 유리를 흡착 고정하기 위해 상기 진공 펌프와 연결되는 복수 개의 제1 흡착 홀을 포함하는 디본딩 서포트 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 석션 플레이트는,
    안착되는 상기 유리 접합체에서 상기 초박막 유리의 하측 가장자리와 대응되는 위치에 형성되고 상기 디본딩 개시 수단에 의해 상기 캐리어 유리가 들어올려질 때 상기 초박막 유리의 가장자리를 흡착 고정하기 위해 상기 진공 펌프와 연결되는 복수 개의 제2 흡착 홀을 더 포함하는 디본딩 서포트 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 복수 개의 제2 흡착 홀은 각각, 상기 초박막 유리의 하측 가장자리와 대응되는 라인 형태의 홀로 형성되는 디본딩 서포트 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 복수 개의 제2 흡착 홀은 디본딩이 진행되는 방향에서 가장 먼 상기 초박막 유리의 하측 가장자리를 제외한 상기 초박막 유리의 하측 가장자리와 대응되는 위치에 형성되는 디본딩 서포트 장치.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 석션 플레이트는,
    상기 복수 개의 소자층이 이루는 영역과 대응되는 영역에 형성되고 상기 디본딩 개시 수단에 의해 상기 캐리어 유리가 들어올려질 때 상기 복수 개의 소자층을 흡착 고정하기 위해 상기 진공 펌프와 연결되는 복수 개의 제3 흡착 홀을 더 포함하는 디본딩 서포트 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 복수 개의 제1 흡착 홀이 이루는 영역은 상기 복수 개의 제3 흡착 홀이 이루는 영역보다 상대적으로 좁은 면적을 이루며,
    상기 복수 개의 제1 흡착 홀은 상기 복수 개의 제3 흡착 홀보다 조밀하게 배치되는 디본딩 서포트 장치.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 제1 흡착 홀, 상기 제2 흡착 홀 및 상기 제3 흡착 홀 각각은 상기 유리 접합체와 마주하는 단부 측에 상대적으로 넓은 폭으로 형성되는 감압부를 갖는 디본딩 서포트 장치.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 컨트롤러는 상기 복수 개의 제1 흡착 홀 내지 상기 복수 개의 제3 흡착 홀에 균일한 진공압이 인가되도록 상기 진공 펌프를 제어하는 디본딩 서포트 장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 유리 접합체가 상기 석션 플레이트의 상면에 안착될 때, 상기 캐리어 유리 상에 배치되는 적어도 하나의 흡착 캡을 더 포함하는 디본딩 서포트 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 흡착 캡은 상기 컨트롤러에 의해 제어되는 상기 진공 펌프와 연결되어 상기 진공 펌프로부터 인가되는 진공압을 통해 상기 캐리어 유리를 흡착하는 디본딩 서포트 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 흡착 캡은 상, 하 동작 가능하게 형성되고, 상기 디본딩 개시 수단에 의해 상기 캐리어 유리가 들어올려질 때, 상기 컨트롤러에 의한 제어를 통해, 흡착되어 있는 상기 캐리어 유리를 상측 방향으로 들어올려 상기 초박막 유리로부터 이탈시키는 디본딩 서포트 장치.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 디본딩 개시 수단은 금속 바를 포함하는 디본딩 서포트 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 디본딩 개시 수단은 상기 초박막 유리보다 상대적으로 두꺼운 두께를 갖는 디본딩 서포트 장치.
  16. 본딩되어 하나의 유리 접합체를 이루는 캐리어 유리와 초박막 유리를 디본딩 개시 수단을 사용하여 디본딩하는 방법에 있어서,
    제1항에 따른 디본딩 서포트 장치의 석션 플레이트 상면에 상기 유리 접합체를 정위치시키는 정렬단계;
    상기 석션 플레이트 상면에 정렬된 상기 유리 접합체를 흡착 지지하기 위해, 상기 석션 플레이트에 진공압을 가하는 가압단계;
    상기 석션 플레이트와 상기 캐리어 유리의 사이 공간으로 상기 디본딩 개시 수단을 진입시켜 디본딩을 개시하는 디본딩 개시 단계;
    디본딩 개시 후 전 영역에 걸쳐 상기 초박막 유리로부터 상기 캐리어 유리를 디본딩하는 디본딩 단계;
    를 포함하는 디본딩 방법.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 가압단계에서는 상기 석션 플레이트의 상면 전 영역에 균일한 진공압을 가하는 디본딩 방법.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 가압단계를 통해 상기 석션 플레이트의 상면 전 영역에 균일한 진공압이 가해지더라도 상기 초박막 유리에는 영역 별로 다른 세기의 흡착력이 인가되는 디본딩 방법.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 디본딩 개시 수단이 진입하는 디본딩 개시 부분과 인접한 상기 초박막 유리의 일 영역에 상대적으로 가장 강한 흡착력이 인가되는 디본딩 방법.
  20. 제16항에 있어서,
    상기 디본딩 단계는,
    상기 디본딩 개시 단계에서 상기 석션 플레이트와 상기 캐리어 유리의 사이 공간으로 진입시킨 상기 디본딩 개시 수단을 상측 방향으로 들어올리는 과정; 및
    상기 디본딩 개시 수단을 상측 방향으로 들어올리는 과정에 의해 상측 방향으로 들어올려지는 상기 캐리어 유리를, 상기 디본딩 개시 수단과 접촉하는 상기 캐리어 유리의 일면과 반대되는 타면 측에서 들어올려 상기 초박막 유리로부터 상기 캐리어 유리를 완전히 이탈시키는 과정;
    을 포함하는 디본딩 방법.
  21. 제20항에 있어서,
    상기 디본딩 개시 단계에서는 상기 디본딩 개시 수단을 상기 석션 플레이트와 상기 캐리어 유리의 사이 공간으로 수평 방향으로 진입시키고,
    상기 디본딩 단계에서는 상기 디본딩 개시 수단을 상기 수평 방향과 수직한 상측 방향으로 들어올리는 디본딩 방법.
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