CN112041978B - 脱粘支持装置以及使用该脱粘支持装置的脱粘方法 - Google Patents

Abstract

一种用于支持使粘结以便形成一个玻璃层合件的载体玻璃和超薄玻璃脱粘的工艺的脱粘支持装置包括支撑区域，所述支撑区域用于支撑玻璃层合件，其中所述支撑区域包括至少两个抽吸区域，每个抽吸区域每一单位面积施加不同的抽吸力，所述至少两个抽吸区域包括用于抽吸对所述玻璃层合件的所述脱粘起始于的部分的脱粘起始部分抽吸区域，并且所述脱粘起始部分抽吸区域可包括：抽吸板，所述抽吸板用于在所述至少两个抽吸区域间每一单位面积施加最大的抽吸力；真空泵，所述真空泵连接到所述抽吸板，以便将真空压力施加到所述抽吸板；以及控制器，所述控制器被配置为控制所述真空泵，以便调整所述真空压力。

Description

脱粘支持装置以及使用该脱粘支持装置的脱粘方法

技术领域

本发明涉及脱粘支持装置和使用该脱粘支持装置的脱粘方法，并且更具体地，涉及能够在脱粘工艺期间减少超薄玻璃片发生损坏的概率的脱粘支持装置和使用该脱粘支持装置的脱粘方法。

背景技术

在包括显示面板、触摸传感器、光电电池面板和照明装置的电子装置领域中，对较轻且较薄的柔性装置的需要日益增加。响应于这样的需要，超薄基板、尤其是超薄玻璃基板正在吸引更多关注，因为其具有比聚合物基板更佳的气密性、透光率、表面粗糙度以及热稳定性和化学稳定性。然而，难以将超薄玻璃基板应用于刚性玻璃基板的现有制造线，这是因为超薄玻璃基板在搬运期间的下垂和损坏而造成的。为了易于搬运和处理超薄玻璃，已经建议粘结到载体的超薄玻璃片，并且已经在暂时玻璃-玻璃粘结技术方面做了大量努力。在包括载体的表面改性以进行暂时粘结的玻璃粘结技术中，用于容易地脱粘的载体设计和粘结/脱粘方法、超薄玻璃片对载体的稳定粘结以及用于使超薄玻璃片从载体脱粘的装置为确定工艺产率的核心因素。

关于在载体基板上使用薄玻璃片的许多工艺，使薄玻璃片从载体脱粘的工艺为确定工艺产率的核心因素。为了成功地使薄玻璃片从载体脱粘，应解决以下三个问题：适当的脱粘发起、使薄玻璃片从载体分离而无损坏以及在脱粘工艺期间防止在装置中的缺陷形成。

脱粘发起为用于脱粘工艺的核心工艺，并且已经做出多种发展，诸如载体的的设计变化，例如凹口、保持部和阶梯高度或粗糙度差异等。此外，已经开发音波处理和在薄玻璃片与载体之间插入刀片的方法。然而，改变载体设计的方法要求用于制备具有更昂贵的特殊设计的载体的附加工艺，并且音波处理或刀片插入方法在脱粘发起工艺期间很有可能发生薄玻璃片损坏。因此，要求开发其中不要求附加工艺且无需担忧对薄玻璃片的损坏的脱粘发起方法。

因为具有下垂和弯曲特性的薄玻璃片具有小的厚度，所以薄玻璃片可在载体与薄玻璃片的分离期间少量弯曲。由于弯曲，薄玻璃片很有可能在脱粘工艺期间被损坏。特别地，当具有小缺陷位点的薄玻璃片在脱粘工艺期间弯曲时，可能容易地引起这种损坏。因此，为了达成高脱粘产率，开发能够在脱粘工艺期间最小化薄玻璃片的弯曲的脱粘方法是重要的。

保护在薄玻璃片上形成的面板也很重要，因为在脱粘工艺期间一定程度的接触和力可施加到该面板。因此，脱粘装置的适当的搬运方法和配置也为在开发脱粘方法和工具时要考虑的重要因素。

发明内容

技术问题

已经鉴于上文情形来作出本发明，并且本发明的目标是提供能够在脱粘工艺期间减少超薄玻璃片发生损坏的概率的脱粘支持装置和使用该脱粘支持装置的脱粘方法。

问题的解决方案

用于支持将彼此结合以形成单个玻璃组件的载体玻璃片和超薄玻璃片脱粘的工艺的脱粘支持装置。该脱粘支持装置包括：抽吸板，该抽吸板包括用于支撑该玻璃组件的支撑区域，该支撑区域包括每一单位面积施加不同的抽吸力的至少两个抽吸区域，该至少两个抽吸区域包括用于抽吸该玻璃组件的对该玻璃组件的脱粘发起于的脱粘发起部分的脱粘发起部分抽吸区域，该脱粘发起部分抽吸区域每一单位面积施加该不同的抽吸力中的最大的抽吸力；真空泵，该真空泵连接到该抽吸板以将真空压力提供给该抽吸板；以及控制器，该控制器被配置为控制该真空泵以调整该真空压力。

在一个实施例中，脱粘发起部分抽吸区域可定位于支撑区域的拐角处并可具有连接到真空泵的多个第一抽吸孔。

在一个实施例中，至少两个抽吸区域可包括定位在支撑区域的侧面处的侧面部分抽吸区域，并且这些侧面部分抽吸区域可具有连接到真空泵的多个第二抽吸孔。

在一个实施例中，这些侧面部分抽吸区域可定位于支撑区域的四个侧面中的三个侧面处，最远离脱粘发起部分抽吸区域的侧面除外。

在一个实施例中，至少两个抽吸区域可包括定位于支撑区域的中心处的中心部分抽吸区域，并且该中心部分抽吸区域可具有连接到真空泵的多个第三抽吸孔。

在一个实施例中，脱粘发起部分抽吸区域可具有比中心部分抽吸区域小的面积，并且多个第一抽吸孔可比多个第三抽吸孔更致密地分布。

在一个实施例中，第一抽吸孔、第二抽吸孔和第三抽吸孔中的每个可具有设于其面向玻璃组件的端部处的压力减少部分，并且该压力减少部分具有相对较大的孔面积。

在一个实施例中，该脱粘支持装置可进一步包括面向该支撑区域安置的至少一个抽吸盖。

在一个实施例中，该抽吸盖可连接到该真空泵以用通过该真空泵提供的真空压力抽吸该玻璃组件。

在一个实施例中，该抽吸盖可被配置为向上地和向下地移动。

此外，根据本发明，提供一种脱粘方法，包括：将包括彼此结合的超薄玻璃片和载体玻璃片的玻璃组件对准于该脱粘支持装置的抽吸板的支撑区域上，使得该超薄玻璃片面向该支撑区域；将真空压力提供到该抽吸板以支持并抽吸该玻璃组件；通过将脱粘起动机推进到在该抽吸板与该载体玻璃片之间的空间中来发起脱粘，以及使该载体玻璃片在整个支撑区域上从该超薄玻璃片脱粘。

在一个实施例中，脱粘可包括：向上地提起已经在发起中推进到在抽吸板与载体玻璃片之间的空间中的脱粘起动机，以及通过向上地提起与脱粘起动机接触的与载体玻璃片的下表面相对的上表面，将超薄玻璃片与载体玻璃片完全地分离。

在一个实施例中，在发起中，脱粘起动机可在侧向方向上推进到在抽吸板与载体玻璃片之间的空间中，并且在脱粘中，脱粘起动机可在向上方向上以相对于侧向方向成一角度被提起。

在一个实施例中，在发起中，脱粘起动机可推进得远至脱粘起动机与超薄玻璃片不接触。

在一个实施例中，载体玻璃片具有比超薄玻璃片大的面积以包围超薄玻璃片，该超薄玻璃片可具备形成于其上的多个装置层，并且当玻璃组件支撑在支撑区域上时，超薄玻璃片和多个装置层可与支撑区域进行接触。

在一个实施例中，脱粘起动机可包括金属棒。

在一个实施例中，脱粘起动机可比超薄玻璃片厚。

本发明的有利效果

根据本发明，在发起和脱粘期间，仅抽吸板与超薄玻璃片接触，并且产生强劲的抽吸力来完全地粘住超薄玻璃片的边缘。因此，在发起和脱粘期间，可能减少超薄玻璃片的弯曲或因弯曲而造成的损坏发生的概率，以便可能提高工艺产率。

此外，根据本发明，抽吸孔的间隔经调整以使得将相对较弱的抽吸力施加于超薄玻璃片的其上设有多个装置层的部分。因此，可能防止因在脱粘期间施加于这些装置层的抽吸力而在这些装置层中产生缺陷。

附图说明

图1为描绘根据本发明的实施例的脱粘支持装置的抽吸板的视图。

图2和图3为描绘由彼此粘结的载体玻璃片和超薄玻璃片形成的玻璃组件的视图。

图4至图6为顺序地描绘根据本发明的实施例的通过使用脱粘支持装置使玻璃组件脱粘的工艺的立体视图。

图7为描绘根据本发明的实施例的其中脱粘支持装置具备抽吸盖的方面的立体视图。

具体实施方式

在下文中，将参考随附图式来详细描述根据本发明的实施例的脱粘支持装置和使用该脱粘支持装置的脱粘方法。

当描述本发明时，若认为相关熟知功能或配置的特定描述使得本发明的主旨不明确，则将省略这些描述。

应理解关于在说明书中提及的方向、诸如上表面、上侧、垂直方向、水平方向等的术语不用于指示绝对方向而是指示相对方向。例如，应理解，垂直方向不用于意指垂直于地球表面的方向，而是简单地指示垂直于视为水平方向的方向的方向。

如图1至图4所示，根据本发明的实施例的脱粘支持装置100为用于支持通过使用脱粘起动机20将彼此粘结来形成单一玻璃组件10的载体玻璃片11和超薄玻璃片12脱粘的工艺的装置。

为此，根据本发明的实施例的脱粘支持装置100包括抽吸板110、真空泵120和控制器130。

抽吸板110被配置为抽吸并支持放置于其上表面上的玻璃组件10。此处，玻璃组件10提供用来支持超薄玻璃片12，因为在运载超薄玻璃片12或在超薄玻璃片12上形成装置层13时难以搬运，并且玻璃组件10由将超薄玻璃片12粘结在载体玻璃片11上来形成。即，玻璃组件10提供用来稳定地执行形成装置层13的工艺，这些装置层处于其中超薄玻璃片12通过载体玻璃片11支持的状态中。

玻璃组件10由将载体玻璃片11以及具有不同的厚度和面积的超薄玻璃片12粘结来形成。如图2所示，具有较大面积和较大厚度的载体玻璃片11以载体玻璃片11包围超薄玻璃片的方式粘结至超薄玻璃片12，即，载体玻璃片11自超薄玻璃片12的四侧向外突出，以便形成单一玻璃组件10。在此状态下，例如，形成电极层的氧化铟锡(indium tin oxide；ITO)在超薄玻璃片12上形成并图案化，绝缘层在其上形成并图案化，并且有机发光层蒸汽沉积于图案化绝缘层的每个上且随后通过封装膜封装，以便形成多个装置层13。当完成多个装置层13的形成时，具备形成在其上的多个装置层13的超薄玻璃片12应自载体玻璃片11脱粘以便进行至诸如面板切割的后续工艺。

在本发明的实施例中，超薄玻璃片12意指具有约50μm至300μm的厚度的玻璃片。此外，如上文所述，使用比超薄玻璃片12厚的玻璃片作为载体玻璃片11。

对于脱粘工艺，玻璃组件10放置于抽吸板110上。此时，抽吸板110的上表面面向超薄玻璃片12和多个装置层13，并且最终与其进行接触。

在一个实施例中，抽吸板110包括支撑区域。在一个实施例中，支撑区域可形成为具有相应于超薄玻璃片12和装置层13的面积。在一个实施例中，支撑区域具有四边形形状。然而，本发明不限于此。在一个实施例中，支撑区域可包括至少两个抽吸区域，其中每一单位面积施加不同的抽吸力。在此情况下，每一单位面积的最大的抽吸力可施加于脱粘发起部分抽吸区域(第一区域A)中，其提供用来抽吸至少两个抽吸区域中玻璃组件的脱粘将通过脱粘起动机20发起的部分。在一个实施例中，至少两个抽吸区域可包括侧面部分抽吸区域(第二区域B)和中心部分抽吸区域(第三区域C)。

在一个实施例中，第一区域A可具有多个第一抽吸孔111。在一个实施例中，第二区域B可具有多个第二抽吸孔112。在一个实施例中，第三区域C可具有多个第三抽吸孔113。第一区域A、第二区域B和第三区域C可在垂直方向上面向超薄玻璃片12，并且与超薄玻璃片12接触。即，超薄玻璃片12可覆盖第一区域A、第二区域B和第三区域C以便第一至第三区域不直接面向载体玻璃片11(的下表面)。

在脱粘经发起时，形成第一区域A的多个第一抽吸孔111抽吸超薄玻璃片12以赋能脱粘发起，并且经形成以相应于就位的玻璃组件10的超薄玻璃片12的下表面的拐角的脱粘发起部分。即，多个第一抽吸孔111经形成以抽吸并支持拐角，其为超薄玻璃片12的下表面的将发起脱粘的部分。为赋能脱粘发起且防止超薄玻璃片12在脱粘工艺期间损坏，当放置玻璃组件10时，将发起脱粘的部分应对准以相应于多个第一抽吸孔111。

在将脱粘起动机20相对于其中脱粘进展的方向推进直至抽吸板110与载体玻璃片11之间的处于第一区域A后方的位置时，多个第一抽吸孔111连接到真空泵120以便抽吸并固定超薄玻璃片12。在本发明的实施例中，脱粘起动机20可通过薄的金属棒来配置。脱粘起动机20较佳地形成得比超薄玻璃片12厚以便脱粘可通过在侧向方向上的推进操作来发起。

在本发明的实施例中，对于脱粘的发起，脱粘起动机20仅推进直至在脱粘进展的方向上处于第一区域A后方的位置。即使脱粘起动机仅推进直至该位置，脱粘亦可得以发起，因为脱粘起动机20比超薄玻璃片12厚，如上文所述。即，在本发明的实施例中，脱粘起动机20不推进到由多个第一抽吸孔111形成的用于抽吸并支持超薄玻璃片12中下表面的拐角的第一区域A中。因此，脱粘发起和主脱粘以其中脱粘起动机20与超薄玻璃片12之间不存在接触的状态来执行。在脱粘发起和主脱粘期间，脱粘起动机20仅与抽吸板110和载体玻璃片11进行接触。因此，可能防止超薄玻璃片12在脱粘工艺期间由于脱粘起动机20而损坏。

如图1所示，形成第一区域A的多个第一抽吸孔111比形成第三区域C的多个第三抽吸孔113更致密地分布。此外，由多个第一抽吸孔111形成的第一区域A具有比由多个第三抽吸孔113形成的第三区域C小的面积。因此，每一单位面积相对更强劲的抽吸力在由多个第一抽吸孔111形成的第一区域A中产生。因此，当发起脱粘时，经抽吸至第一区域A的超薄玻璃片12的拐角得以完全地粘住。因此，可能减少在脱粘工艺期间超薄玻璃片12发生损坏的概率，并且提高工艺产率。

在本发明的实施例中，多个第一抽吸孔111以点阵形式分布。然而，此只是示范性的。例如，多个第一抽吸孔111可以能够诱导强劲抽吸力的多样间隔和多样形式分布。即，在本发明中，多个第一抽吸孔111的布置形式不限于点阵形式或特定间隔。

同时，多个第一抽吸孔111中的每个具有压力减少部分115，其形成在这些抽吸孔的端部部分中面向玻璃组件10，即，在抽吸板110的表面中，并且具有相对较大的孔面积(当在水平面中量测面积时)。压力减少部分115用以防止在抽吸和支持超薄玻璃片12的工艺中第一抽吸孔111的形状转移的超薄玻璃片12的表面。此外，压力减少部分115用于防止超薄玻璃片12遭局部损坏，此局部损坏可在高真空压力施加于超薄玻璃片12与多个第一抽吸孔111接触的表面时引起，这些抽吸孔中每个以小尺寸形成。

形成第二区域B的多个第二抽吸孔112形成在相应于放置到位的玻璃组件10的超薄玻璃片12的下表面的边缘的位置处。多个第二抽吸孔112形成来抽吸并支持超薄玻璃片12的边缘以便在脱粘发起之后的主脱粘期间防止超薄玻璃片12损坏且防止超薄玻璃片12的边缘在载体玻璃片11的提起方向上弯曲。

多个第二抽吸孔112连接到真空泵120以便在载体玻璃片11通过脱粘起动机20提起时抽吸并固定超薄玻璃片12的边缘。

如图1所示，在一个实施例中，形成第二区域B的多个第二抽吸孔112中的每个可为相应于超薄玻璃片12的下表面的边缘的线状孔。替代地，可以一列(或多个列)来形成多个孔以替代线状孔。当第二抽吸孔112以线状沿超薄玻璃片12的边缘形成时，可能减少超薄玻璃片12的边缘将在脱粘工艺期间在载体玻璃片11的提起方向上损坏或弯曲的概率。因为当参考图式时脱粘自左朝右进展，所以第二抽吸孔112较佳地形成在相应于超薄玻璃片12的下表面的左边缘、上边缘和下边缘的位置处，超薄玻璃片12的下表面的在脱粘的进展方向上最远的边缘除外，即，图式中超薄玻璃片12的下表面的右边缘，以便赋能顺畅的脱粘且防止归因于不必要的抽吸的弯曲或损坏。

同时，多个第二抽吸孔112中的每个可具有压力减少部分115，其形成在这些抽吸孔的端部部分中面向玻璃组件10，即，在抽吸板110的表面中，并且具有相对较大的孔面积，如同第一抽吸孔111。

形成第三区域C的多个第三抽吸孔113形成在相应于所放置玻璃组件10的超薄玻璃片12的其上设有多个装置层13的部分的区域中。多个第三抽吸孔113形成来在脱粘发起之后的主脱粘期间抽吸并支持该部分。

多个第三抽吸孔113连接到真空泵120以便在载体玻璃片11通过脱粘起动机20提起时抽吸并固定多个装置层13的边缘。

如图1所示，形成第三区域C的多个第三抽吸孔113形成为具有比形成第一区域A的多个第一抽吸孔111宽的间隔。此外，由多个第三抽吸孔113形成的第三区域C具有比由多个第一抽吸孔111形成的第一区域A大的面积。因此，每一单位面积相对较弱的抽吸力可产生在由多个第三抽吸孔113形成的第三区域C中。进而，在脱粘发起之后的主脱粘期间，其上设有多个装置层13的部分以每一单位面积相对较弱的抽吸力抽吸至第三区域C。因此，可能防止装置层13由于在脱粘工艺期间施加的抽吸力而损坏。

在本发明的实施例中，多个第三抽吸孔113可以点阵形状布置。然而，此只是示范性的。例如，多个第三抽吸孔113可以能够产生相对较弱抽吸力的多样间隔和多样形式分布。即，在本发明中，多个第三抽吸孔113的布置形式不限于点阵形式或特定间隔。

同时，多个第三抽吸孔113中的每个可具有压力减少部分115，其形成在这些抽吸孔的端部部分中面向玻璃组件10，即，在抽吸板110的表面中，并且具有相对较大的孔面积，如同多个第一抽吸孔111和多个第二抽吸孔112。

真空泵120连接到抽吸板110，更具体地，连接到多个第一抽吸孔111、多个第二抽吸孔112和多个第三抽吸孔113，并且被配置为为每一孔提供真空压力。以此方式，抽吸力通过真空泵120提供的真空压力产生在多个第一抽吸孔111、多个第二抽吸孔112和多个第三抽吸孔113中。

控制器130被配置为控制真空泵120以调整真空压力，其提供用于多个第一抽吸孔111、多个第二抽吸孔112和多个第三抽吸孔113。

同时，如图7所示，根据本发明的实施例的脱粘支持装置100可进一步包括至少一个抽吸盖140。当玻璃组件10位于抽吸板110的上表面上时，抽吸盖140布置在载体玻璃片11上。抽吸盖140连接到真空泵120，其将通过控制器130控制，并且被配置为通过真空泵120提供的真空压力向上抽吸载体玻璃片11。

在本发明的实施例中，抽吸盖140被配置为向上地和向下地移动。抽吸盖140的移动可通过控制器130控制。此外，当载体玻璃片11通过脱粘起动机20提起时，抽吸盖140在控制器130的控制下向上地提起所抽吸载体玻璃片11，进而将载体玻璃片11与超薄玻璃片12完全地分离。

即，在本发明的实施例中，由彼此粘结的载体玻璃片11和超薄玻璃片12形成的玻璃组件10通过脱粘起动机20和抽吸盖140脱粘。

在下文中，通过使用根据本发明的实施例的脱粘支持装置脱粘玻璃组件的工艺参考图4至图6来描述。图4至图6未示出的配置参考其他附图来描述。

首先，如图4所示，将脱粘的玻璃组件10放置于抽吸板110上。此时，玻璃组件10放置于抽吸板110上，以便超薄玻璃片12面向下。此外，玻璃组件10经对准以便脱粘将发起的超薄玻璃片12的拐角定位于由多个第一抽吸孔111形成的第一区域A上。此时，超薄玻璃片12的边缘定位于由多个第二抽吸孔112形成的第二区域B上，并且超薄玻璃片12的其上设有多个装置层13的部分定位于由多个第三抽吸孔113形成的第三区域C上。

当玻璃组件10以此方式对准于抽吸板110的上表面上时，控制器130控制真空泵120来将真空压力提供到由多个第一抽吸孔111形成的第一区域A、由多个第二抽吸孔112形成的第二区域B和由多个第三抽吸孔113形成的第三区域C。进而，玻璃组件10经抽吸并支撑在抽吸板110的上表面上。此时，多个第一抽吸孔111、多个第二抽吸孔112和多个第三抽吸孔113具有不同的布置结构和形式。因此，在相较于其他区域B、C时，每一单位面积相对较强劲的抽吸力产生在由多个第一抽吸孔111形成的第一区域A中以用于抽吸脱粘发起部分，并且在相较于其他区域A、B时，每一单位面积相对较弱的抽吸力产生在由多个第三抽吸孔113形成的第三区域C中以用于抽吸其上设有多个装置层13的部分。

随后，如图5所示，当脱粘起动机20推进到在抽吸板110与载体玻璃片11之间的空间中时，发起脱粘。即，当比超薄玻璃片12厚的脱粘起动机20推进到在抽吸板110与载体玻璃片11之间的空间中时，载体玻璃片11通过正在推进的脱粘起动机20向上地推动并被提起。此时，超薄玻璃片12的脱粘发起部分保持通过多个第一抽吸孔111施加的较强抽吸力抽吸并固定。由多个第一抽吸孔111形成的第一区域A与在超薄玻璃片12的与第一区域接触的一个表面之间的粘结力比在载体玻璃片11与粘结于其的超薄玻璃片12的另一表面之间的粘结力强。因此，即使当载体玻璃片11通过脱粘起动机20提起时，超薄玻璃片12的一个表面保持固定并且使载体玻璃片11与超薄玻璃片12的另一表面脱粘。此时，脱粘起动机20推进得远至在推进方向上其保持与超薄玻璃片12不接触。这是因为脱粘已经在脱粘起动机20与超薄玻璃片12接触之前发起。即，不存在脱粘起动机20应进一步推进的理由。因此，可能防止超薄玻璃片12在脱粘发起期间因脱粘起动机20而损坏。

最终，如图6所示，在脱粘起动机20在水平方向上推进以发起脱粘之后，脱粘起动机20在向上方向上以相对水平方向的一角度提起，例如，在垂直方向上地提起，并且载体玻璃片11在整个区域上与超薄玻璃片12脱粘。此时，超薄玻璃片12的边缘通过沿相应边缘形成的多个第二抽吸孔112施加的抽吸力稳定地抽吸并固定。因此，甚至当经粘结的载体玻璃片11脱粘时，超薄玻璃片12的边缘将弯曲或损坏的概率得以减少。此外，在超薄玻璃片12上形成的多个装置层13通过多个第三抽吸孔113施加的抽吸力稳定地抽吸并固定。另外，可能防止缺陷在装置层13中产生，因为相对较弱的抽吸力通过多个第三抽吸孔113来施加。

同时，通过脱粘起动机20与超薄玻璃片12脱粘的载体玻璃片11通过抽吸载体玻璃片的上表面的至少一个抽吸盖140与超薄玻璃片12完全地分离。当载体玻璃片11与超薄玻璃片12完全地分离时，用于玻璃组件10的脱粘工艺完成。通过使用根据本发明的实施例的脱粘支持装置100与载体玻璃片11脱粘的超薄玻璃片12随后在将多个装置层13形成为单独面板的工艺中被切割。

尽管本发明已参考特定实施例和附图来描述，但本发明不限于这些实施例，并且可通过本发明的本领域技术人员做出各种变化和修改。

因此，本发明的范围不应由上述实施例限定，而是应由所附权利要求书及其等效物限定。

元件符号列表

100 脱粘支持装置

110 抽吸板

111 第一抽吸孔

112 第二抽吸孔

113 第三抽吸孔

115 压力减少部分

120 真空泵

130 控制器

140 抽吸盖

10 玻璃组件

11 载体玻璃片

12 超薄玻璃片

13 装置层

20 脱粘起动机

Claims (15)

1.一种用于支持将彼此结合以形成单个玻璃组件的载体玻璃片和超薄玻璃片脱粘的工艺的脱粘支持装置，所述超薄玻璃片具有50μm至300μm的厚度，所述脱粘支持装置包括：

抽吸板，所述抽吸板包括用于支撑所述玻璃组件的支撑区域，所述支撑区域包括每一单位面积施加不同的抽吸力的至少两个抽吸区域，所述至少两个抽吸区域包括用于抽吸所述玻璃组件的对所述玻璃组件的脱粘发起于的脱粘发起部分的脱粘发起部分抽吸区域、和定位在所述支撑区域的侧面处的侧面部分抽吸区域，所述脱粘发起部分抽吸区域每一单位面积施加所述不同的抽吸力中的最大的抽吸力；

真空泵，所述真空泵连接到所述抽吸板以将真空压力提供给所述抽吸板；以及

控制器，所述控制器被配置为控制所述真空泵以调整所述真空压力，

其中所述脱粘发起部分抽吸区域定位于所述支撑区域的拐角处并具有连接到所述真空泵的多个第一抽吸孔，并且其中所述侧面部分抽吸区域具有连接到所述真空泵的多个第二抽吸孔，每个所述第二抽吸孔为相应于所述超薄玻璃片的下表面的边缘的线状孔。

2.如权利要求1所述的脱粘支持装置，其中所述侧面部分抽吸区域定位于所述支撑区域的四个侧面中的三个侧面处，最远离所述脱粘发起部分抽吸区域的侧面除外。

3.如权利要求1所述的脱粘支持装置，其中所述至少两个抽吸区域进一步包括定位于所述支撑区域的中心处的中心部分抽吸区域，并且所述中心部分抽吸区域具有连接到所述真空泵的多个第三抽吸孔。

4.如权利要求3所述的脱粘支持装置，其中所述脱粘发起部分抽吸区域具有比所述中心部分抽吸区域小的面积，并且

其中所述多个第一抽吸孔比所述多个第三抽吸孔更致密地分布。

5.如权利要求3所述的脱粘支持装置，其中所述第一抽吸孔、所述第二抽吸孔和所述第三抽吸孔中的每个具有设在其面向所述玻璃组件的端部中的压力减少部分，所述压力减少部分具有比相应抽吸孔的其余部分更大的孔面积。

6.如权利要求1所述的脱粘支持装置，其进一步包括面向所述支撑区域安置的至少一个抽吸盖。

7.如权利要求6所述的脱粘支持装置，其中所述抽吸盖连接到所述真空泵以用通过所述真空泵提供的真空压力抽吸所述玻璃组件。

8.如权利要求7所述的脱粘支持装置，其中所述抽吸盖被配置为能够向上地和向下地移动。

9.一种脱粘方法，包括：

将包括彼此结合的超薄玻璃片和载体玻璃片的玻璃组件对准于如权利要求1所述的脱粘支持装置的抽吸板的支撑区域上，使得所述超薄玻璃片面向所述支撑区域，所述超薄玻璃片具有50μm至300μm的厚度；

将真空压力提供到所述抽吸板以支持并抽吸所述玻璃组件；

通过将脱粘起动机推进到在所述抽吸板与所述载体玻璃片之间的空间中来发起脱粘，以及

使所述载体玻璃片在整个支撑区域上从所述超薄玻璃片脱粘。

10.如权利要求9所述的脱粘方法，其中所述脱粘包括：

向上地提起已经在所述发起中进入在所述抽吸板与所述载体玻璃片之间的所述空间中的所述脱粘起动机，以及

通过向上地提起与所述脱粘起动机接触的与所述载体玻璃片的下表面相对的上表面来将所述超薄玻璃片与所述载体玻璃片完全地分离。

11.如权利要求9所述的脱粘方法，其中在所述发起中，所述脱粘起动机在侧向方向上推进到在所述抽吸板与所述载体玻璃片之间的所述空间中，并且

其中在所述脱粘中，所述脱粘起动机在向上方向上以相对于所述侧向方向成一角度被提起。

12.如权利要求11所述的脱粘方法，其中在所述发起中，所述脱粘起动机推进得远至所述脱粘起动机保持与所述超薄玻璃片不接触。

13.如权利要求9所述的脱粘方法，其中所述载体玻璃片具有比所述超薄玻璃片大的面积以包围所述超薄玻璃片，

其中所述超薄玻璃片具备形成于其上的多个装置层，并且

其中当所述玻璃组件支撑在所述支撑区域上时，所述超薄玻璃片和所述多个装置层与所述支撑区域接触。

14.如权利要求9所述的脱粘方法，其中所述脱粘起动机包括金属棒。

15.如权利要求9所述的脱粘方法，其中所述脱粘起动机比所述超薄玻璃片厚。