KR20190096135A - X선을 이용한 정전기 제거장치 - Google Patents

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(주)선재하이테크
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    • H05F3/00—Carrying-off electrostatic charges
    • H05F3/06—Carrying-off electrostatic charges by means of ionising radiation
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H05G1/00—X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
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    • H05G1/26—Measuring, controlling or protecting
    • H05G1/30—Controlling
    • H05G1/32—Supply voltage of the X-ray apparatus or tube

Abstract

본 발명은 X선을 이용한 정전기 제거장치에 관한 것으로, X선관의 고장이나 오작동에 의해 LCD, 반도체 등의 제조 공정 라인이 모두 정지시키는 것을 방지할 수 있는 정전기 제거장치에 관한 것이다.

Description

X선을 이용한 정전기 제거장치{Static electricity removing device by using X-ray}
본 발명은 X선을 이용한 정전기 제거장치에 관한 것으로, X선관의 고장이나 오작동에 의해 LCD, 반도체 등의 제조 공정 라인이 모두 정지시키는 것을 방지할 수 있는 정전기 제거장치에 관한 것이다.
일반적으로 전자기기, LCD, 반도체 등의 제조 공정에서는 전자기기, LCD, 반도체 웨이퍼에 미세한 먼지가 부착되거나 정전기에 의하여 소자가 훼손되는 등의 문제점을 미연에 방지하기 위하여 정전기 제거장치를 설치하는 것이 일반적이다.
정전기 제거장치는 크게 코로나 방전식 장치와 엑스선 방사식 장치로 구분할 수 있는데, 최근에는 코로나 방전식 장치가 갖는 고전압 방전에 의한 스퍼터링 현상, 오존가스 발생, 이온 밸런스 조정에 따른 불편 등의 단점을 극복한 엑스선 방사식 장치, 즉 엑스선 이오나이저가 주로 이용되고 있다.
상기 엑스선 이오나이저는 엑스선을 생성하고 이를 방사하여 기체 분자를 이온화함으로써 제전 대상 물체 표면의 정전기를 중화하는 장치로, 주로 연엑스선(soft x-ray)을 조사하는 방식으로 구현된다. 이러한 엑스선 이오나이저는 미세먼지를 발생시키지 않고 공기를 대류시킬 필요도 없기 때문에 더욱 적합한 방식으로 각광받으며 다양한 방식으로 개발되어 왔다.
그러나 종래기술의 엑스선 이오나이저가 전자기기, LCD, 반도체 등의 제조 공정 라인에 정전기 제거용으로 이용되는 상태에서는 X선관의 교체 및 수리가 필요할 경우, 전자기기, LCD, 반도체 등의 제조 공정 라인을 모두 정지시킨 후에나 X선관 모듈의 교체 및 수리가 가능함으로써, X선관의 교체 및 수리에 소요되는 시간만큼 전자기기, LCD, 반도체 등의 제조 공정 시간이 딜레이 될 뿐만 아니라 상기 X선관 의 교체 및 수리에 인력이 소요되는 문제점이 있었다.
한국공개특허 제10-2004-0095587호(2004.11.15)
따라서, 본 발명의 목적은 종래기술의 문제점을 해결하는 것이다.
구체적으로, 본 발명의 목적은 X선 모듈 또는 X선관의 수명이 다한 경우 또는 X선 모듈 또는 X선관의 손상시에도 전자기기 또는 전자부품의 제조 공정 라인 전체를 정지시키지 않아도 전자기기 또는 전자부품의 정전기를 연속적으로 제거할 수 있는 정전기 제거장치를 제공하는 것이다.
전술한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따르면, 본 발명은, 전자기기 또는 전자부품의 제조 공정 라인에서 정전기 제거용으로 사용되는 X선을 이용한 정전기 제거장치로서, 상기 정전기 제거장치에 공급되는 전력으로 고전압을 발생시키는 단일 고전압 모듈과; 상기 단일 고전압 모듈에 전기적 및 기계적으로 결합되며, 상기 단일 고전압 모듈으로부터의 고전압으로 X선을 방사하는 메인 X선 모듈과; 상기 단일 고전압 모듈에서 상기 메인 X선 모듈에 인접하게 결합되며, 상기 단일 고전압 모듈로부터의 고전압으로 X선을 방사할 수 있도록 구성된 적어도 하나 이상의 서브 X선 모듈과; 상기 메인 X선 모듈의 상태정보에 기초하여, 상기 메인 X선 모듈 및 상기 서브 X선 모듈 중 적어도 하나 이상의 X선 모듈로 상기 단일 고전압 모듈의 고전압을 인가하도록 상기 정전기 제거장치를 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 X선을 이용한 정전기 제거장치를 제공할 수 있다.
게다가, 전술한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따르면, 본 발명은, 전자기기 또는 전자부품의 제조 공정 라인에서 정전기 제거용으로 사용되는 X선을 이용한 정전기 제거장치로서, 일방향으로 긴 신장형 형상의 하우징부와; 상기 하우징부에 수용되며, 상기 정전기 제거장치에 공급되는 전력으로 고전압을 발생시키는 제1 단일 고전압 모듈과; 상기 하우징부에서 상기 제1 단일 고전압 모듈로부터 상기 하우징부의 길이방향으로 소정 거리 이격되어 수용되며, 상기 정전기 제거장치에 공급되는 전력으로 고전압을 발생시키는 적어도 하나 이상의 제2 단일 고전압 모듈과; 각각의 단일 고전압 모듈에 전기적 및 기계적으로 결합되며, 각각의 단일 고전압 모듈으로부터의 고전압으로 X선을 방사하는 메인 X선 모듈과; 각각의 단일 고전압 모듈에서 상기 메인 X선 모듈에 인접하게 결합되며, 각각의 단일 고전압 모듈로부터의 고전압으로 X선을 방사할 수 있도록 구성된 적어도 하나 이상의 서브 X선 모듈과; 상기 제1 단일 고전압 모듈 및 상기 제2 단일 고전압 모듈을 제어하는 제어부;를 포함하고, 상기 제어부는, 상기 메인 X선 모듈의 상태정보에 기초하여, 상기 메인 X선 모듈 및 상기 서브 X선 모듈 중 적어도 하나 이상의 X선 모듈로 상기 단일 고전압 모듈의 고전압을 인가하도록 상기 정전기 제거장치를 제어하는 것을 특징으로 하는 X선을 이용한 정전기 제거장치를 제공할 수 있다.
또한, 바람직하게는, 상기 서브 X선 모듈은, 상기 서브 X선 모듈의 X선 조사영역이 상기 메인 X선 모듈의 X선 조사영역을 포함하도록 상기 단일 고전압 모듈에 결합 또는 배치되는 것을 특징으로 한다.
또한, 바람직하게는, 상기 제어부에 의해 제어되며, 상기 메인 X선 모듈 및 상기 서브 X선 모듈 중 적어도 하나 이상의 X선 모듈로 상기 단일 고전압 모듈의 고전압을 인가하도록 상기 고전압의 인가 여부 또는 인가 방향을 조절하는 스위칭회로를 포함하며, 상기 단일 고전압 모듈 내부에 구비되는 스위칭부;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 바람직하게는, 상기 정전기 제거장치는, 상기 메인 X선 모듈 및 상기 적어도 하나 이상의 서브 X선 모듈 각각의 작동상태가 정상인지 여부를 감지할 수 있는 작동확인부;를 더 포함하고, 상기 제어부는, 상기 작동확인부로부터의 감지결과 상기 메인 X선 모듈이 비정상 작동 중 또는 작동정지한 것으로 판단하는 경우, 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 서브 X선 모듈로 인가되도록 상기 스위칭부 및 상기 단일 고전압 모듈을 제어하는 것을 특징으로 한다.
또한, 바람직하게는, 상기 제어부는, 상기 작동확인부로부터의 감지결과 상기 메인 X선 모듈 및 적어도 하나 이상의 서브 X선 모듈이 모두 비정상 작동 중 또는 작동정지한 것으로 판단하는 경우, 상기 제조 공정 라인을 작동 정지시키는 것을 특징으로 한다.
또한, 바람직하게는, 상기 작동확인부는, 상기 정전기 제거장치의 입력부를 통해 입력된 입력신호인 목표 X선 방사량 대비 실제 X선 방사량이 작은 경우, 또는 상기 입력부를 통한 입력신호의 변화와 무관하게 X선 방사량이 불균일한 경우를 상기 메인 X선 모듈 및 적어도 하나 이상의 서브 X선 모듈이 비정상 작동 중인 것으로 판단하는 것을 특징으로 한다.
또한, 바람직하게는, 상기 제어부는, 상기 작동확인부로부터의 감지결과 상기 메인 X선 모듈이 비정상 작동 중인 것으로 판단하는 경우, 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 메인 X선 모듈 및 상기 서브 X선 모듈 모두에 인가되도록 한 후, 기설정된 오버랩 시간이 경과하면 상기 메인 X선 모듈로의 고전압 인가를 차단하도록 그리고 상기 서브 X선 모듈에 고전압 인가되도록 상기 스위칭부 및 상기 단일 고전압 모듈을 제어하는 것을 특징으로 한다.
또한, 바람직하게는, 상기 정전기 제거장치는, 상기 메인 X선 모듈 및 상기 적어도 하나 이상의 서브 X선 모듈 각각의 작동수명을 감지할 수 있는 수명확인부;를 더 포함하고, 상기 제어부는, 상기 수명확인부로부터의 감지결과 상기 메인 X선 모듈의 잔여수명이 불충분한 것으로 판단하는 경우, 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 서브 X선 모듈로 인가되도록 상기 스위칭부 및 상기 단일 고전압 모듈을 제어하는 것을 특징으로 한다.
또한, 바람직하게는, 상기 제어부는, 상기 수명확인부로부터의 감지결과 상기 메인 X선 모듈의 잔여수명 및 적어도 하나 이상의 서브 X선 모듈의 잔여수명이 모두 불충분한 것으로 판단하는 경우, 상기 제조 공정 라인을 작동 정지시키는 것을 특징으로 한다.
또한, 바람직하게는, 상기 수명확인부는, 상기 메인 X선 모듈의 잔여수명 또는 상기 적어도 하나 이상의 서브 X선 모듈의 잔여수명이 미고갈상태인 안전허용수명 미만인 경우, 해당 X선 모듈의 잔여수명이 불충분한 것으로 판단하는 것을 특징으로 한다.
또한, 바람직하게는, 상기 제어부는, 상기 수명확인부로부터의 감지결과 상기 메인 X선 모듈의 잔여수명이 불충분한 것으로 판단하는 경우, 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 메인 X선 모듈 및 상기 서브 X선 모듈 모두에 인가되도록 한 후, 기설정된 오버랩 시간이 경과하면 상기 메인 X선 모듈로의 고전압 인가를 차단하도록 그리고 상기 서브 X선 모듈에 고전압 인가되도록 상기 스위칭부 및 상기 단일 고전압 모듈을 제어하는 것을 특징으로 한다.
전술한 과제의 해결수단에 따르면, 본 발명은 단일 고전압 모듈과, 메인 X선 모듈과, 적어도 하나 이상의 서브 X선 모듈을 포함함으로써, 메인 X선 모듈의 수명이 다하거나 또는 메인 X선 모듈의 손상시(또는 고장시)에도 서브 X선 모듈로 전자기기 또는 전자부품의 정전기를 끊김없이 연속적으로 제거할 수 있으므로, 결과적으로 해당 전자기기 또는 전자제품의 생산 수율 및 생산 속도를 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명은 바 형상(즉, 신장형)의 하우징부 내부에 수용되는 제1 단일 고전압 모듈 및 제2 고전압 모듈, 그리고 단일 고전압 모듈에 포함되는 메인 X선 모듈 및 서브 X선 모듈을 포함함으로써, 전자기기 또는 전자부품이 대면적인 경우 및 전자기기 또는 전자부품이 다량인 경우에도 메인 X선 모듈 및/또는 서브 X선 모듈이 연속적으로 해당 전자기기 또는 전자제품의 정전기를 제거할 수 있으므로, 결과적으로 대면적 또는 다량의 전자기기 또는 전자제품의 생산 수율 및 생산 속도를 향상시킬 수 있다.
특히, 본 발명은 단일 고전압 모듈에 상기 메인 X선 모듈 및 상기 서브 X선 모듈이 결합되도록 구성됨으로써, 하나의 고전압 모듈로 적어도 두 개 이상의 X선 모듈에 고전압을 인가할 수 있으므로, X선 모듈 각각에 구비되어야 하는 고중량인 고전압 모듈의 수량/또는 및/또는 부피 및/또는 중량을 절감할 수 있다.
게다가, 본 발명은 고전압의 인가 여부 또는 인가 방향을 조절하는 스위칭회로를 포함하는 스위칭부를 포함함으로써, 단일 고전압 모듈의 중량 및/또는 부피가 거의 증가시키지 않고도 메인 X선 모듈의 손상시(또는 고장시) 서브 X선 모듈로 전자기기 또는 전자부품의 정전기를 끊김없이 연속적으로 제거할 수 있다.
따라서, 본 발명은 고전압 모듈 수량의 절감으로 인해 하우징부에 고전압 모듈을 조립 및/또는 결합하는데 소요되는 조립 시간을 현저히 절감할 수 있고, 전체 고전압 모듈 중량의 절감으로 인해 정전기 제거장치의 전체 중량을 상당히 경량화할 수 있어 제조 공정 라인에 상기 정전기 제거장치의 설치 편의성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 제거장치에 대한 개략적인 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 제거장치에 대한 개략적인 분해 사시도이다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 고전압 모듈 및 X선 모듈에 대한 개략적인 하부 분해 사시도 및 상부 분해 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 제거장치에 대한 개략적인 블록선도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 제거장치의 제어방법에 대한 개략적인 플로우챠트이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다.
그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
또한, 본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다.
본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소 이외의 다른 구성요소의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 대해서 설명하기로 하겠다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 제거장치(1000)에 대한 개략적인 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 제거장치(1000)에 대한 개략적인 분해 사시도이고, 도 3a 및 도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 고전압 모듈 및 X선 모듈에 대한 개략적인 하부 분해 사시도 및 상부 분해 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 제거장치(1000)에 대한 개략적인 블록선도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 제거장치(1000)의 제어방법에 대한 개략적인 플로우챠트이다.
도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 정전기 제거장치(1000)는, 하우징부(100)와, 메인 커넥터(200)와, 제1 고전압 모듈(400)(즉, 제1 단일 고전압 모듈)과, 제2 고전압 모듈(400')(즉, 제2 단일 고전압 모듈)과, 메인 X선 모듈(500)과, 서브 X선 모듈(500'), 제1 단일 고전압 모듈 및 제2 단일 고전압 모듈를 제어하는 제어부(1080)를 포함한다.
상기 하우징부(100)는 전체적으로 일방향으로 긴 신장형 형상을 구비한다.
상기 하우징부(100)는 상부커버(110)와, 상기 상부커버(110)에 의해 상부가 개폐되는 케이스(120)를 포함한다.
상기 하우징부(100)는 도면에 도시되진 않았지만 전자기기 또는 전자제품의 제조 공정 라인의 상부 또는 하부에 구비된 브라켓에 탈착가능하게 장착된다.
상기 케이스(120)의 하부면에는, 후술할 X선 모듈의 커버 플레이트(530)에 대응되는 형상 및 크기의 장착용 개구(121)가 X선 모듈의수량에 대응되는 위치에 대응되는 수량으로 구비된다.
상기 하우징부(100)가 상기 제조 공정 라인의 하부에 설치되는 경우 상기 정전기 제거장치(1000)는 해당 전자기기 또는 해당 전자부품의 배면에 대해 직접 제전 가능하다.
상기 하우징부(100)는 양측면에 측면 플레이트를 구비한다.
상기 측면 플레이트에는 메인 커넥터(200)가 구비된다.
상기 메인 커넥터(200)는 별도의 장치로 형성되는 제어부(1080)와 하우징부(100) 내부의 단일 고전압 모듈을 전기적으로 및/또는 통신적으로 연결한다.
제1 단일 고전압 모듈 및 제2 단일 고전압 모듈은 상기 하우징부(100)의 내부에 수용되고, 상기 케이스(120)의 하부 내측면에 고정 및/또는 결합된다.
그리고, 제1 단일 고전압 모듈 및 제2 단일 고전압 모듈은 상기 하우징부(100)의 내부에서 상기 하우징부(100)의 길이방향을 따라 소정 거리 이격되게 배치 및/또는 구비된다.
또한, 제1 단일 고전압 모듈 및 제2 단일 고전압 모듈은 전원공급부(1050)에서 공급된 전력으로 고전압을 발생시켜 X선 모듈에 제공하도록 구성되며, 상기 제1 단일 고전압 모듈 및 상기 제2 단일 고전압 모듈은 동일한 구성 및 구조로 구성된다.
상기 단일 고전압 모듈(400)(즉, 제1 단일 고전압 모듈 및 제2 단일 고전압 모듈)은 본체부(410)와, 메인 장착부(420)와, 서브 장착부(420')와, 단일 전장부(430)를 포함한다.
상기 본체부(410)는 절연성 물질로 구성된 몰드로서, 내부에 각종 커넥터, 터미널, 전장부품 등을 지지 및 수용하도록 구성된다.
상기 본체부(410)는 양측에 구비된 결합공(411)을 통하여 나사 및/또는 볼트 등에 의해 상기 하우징부(100)의 내부에 고정 및/또는 결합된다.
상기 메인 장착부(420)는 메인 X선 모듈(500)이 전기적으로 및/또는 기계적으로 탈착가능하게 결합되는 부분으로서, 체결홀과, 제2 커넥터(422)와, 수용홈(423)을 포함한다.
상기 체결홀은 후술할 메인 X선 모듈(500)의 체결수단(540)이 결합되는 부분이고, 상기 제2 커넥터(422)는 후술할 메인 X선 모듈(500)의 제1 커넥터(511)와 기계적으로 및/또는 전기적으로 암수 결합되는 부분이며, 상기 수용홈(423)은 후술할 메인 X선 모듈(500)의 메인 X선관(520) 및 몸체부(510)가 수용되는 부분이다.
상기 수용홈(423)은 후술할 메인 X선 모듈(500)의 커버 플레이트(530)에 의해 폐쇄된다.
상기 서브 장착부(420')는 서브 X선 모듈(500')이 전기적으로 및/또는 기계적으로 탈착가능하게 결합되는 부분으로서, 상기 메인 장착부(420)와 동일 또는 거의 동일한 구성 및 구조로 구성된다.
도면에 도시된 바와 같이, 상기 메인 장착부(420) 및 상기 서브 장착부(420')는 상기 본체부에서, 상기 정전기 제거 장치를 경유하는 전자기기 또는 전자부품의 전후 이송방향의 수직방향에 평행하게 좌우 직렬로 배치된다.
이에 대한 추가 실시예로서, 도면에 도시되진 않았지만, 상기 메인 장착부(420) 및 상기 서브 장착부(420')는 상기 본체부에서, 상기 정전기 제거 장치를 경유하는 전자기기 또는 전자부품의 전후 이송방향의 수직방향에 평행하게 전후 병렬로 배치될 수 있다.
상기 단일 전장부(430)는 상기 본체부(410)의 내부에 구비되는 전장부품들로 구성되고, 특히 고전압 발생부(431)와, 스위칭부(432)를 내부에 포함한다.
상기 스위칭부(432)는 상기 단일 전장부(430) 내부에 구비되는 스위칭회로로 구성된다.
상기 스위칭회로는 상기 메인 X선 모듈(500) 및 상기 서브 X선 모듈(500') 중 적어도 하나 이상의 X선 모듈로 상기 단일 고전압 모듈의 고전압을 인가하도록 상기 고전압의 인가 여부 또는 인가 방향을 조절하도록 구성된다.
상기 메인 X선 모듈(500) 및 상기 서브 X선 모듈(500')은 고전압 발생부(431)에서 공급된 고전압으로 X선을 조사 및/또는 방사할 수 있도록 구성되며, 서로 동일한 구성 및 구조로 구성된다.
구체적으로, 상기 메인 X선 모듈(500) 및 상기 서브 X선 모듈(500') 각각은, 몸체부(510)와, 제1 커넥터(511)와, X선관(520)과, 커버 플레이트(530)와, 체결수단(540)을 포함한다.
상기 몸체부(510)는 내부에 X선관(520)을 포함한다. 상기 X선관(520)은 공급된 고전압으로 연X선을 방사하도록 구성된다.
상기 제1 커넥터(511)는 상기 제2 커넥터(422)와 전기적으로 및/또는 기계적으로 암수 결합하도록 구성된다.
상기 커버 플레이트(530)는 상기 장착용 개구(121) 및/또는 수용홈(423)에 대응되는 형상 및 크기를 가지고 있어, 케이스(120)에 결합되는 경우 상기 장착용 개구(121) 및/또는 수용홈(423)을 폐쇄하도록 구성된다.
상기 체결수단(540)은 상기 메인 X선 모듈(500) 및/또는 상기 서브 X선 모듈(500')이 각 장착부에 용이하게 탈착가능하도록 구성된다.
바람직하게는, 상기 서브 X선 모듈(500')은, 상기 서브 X선 모듈(500')의 X선 조사영역이 상기 메인 X선 모듈(500)의 X선 조사영역을 포함하도록 상기 단일 고전압 모듈에 결합 또는 배치될 수 있다.
이로 인해, 메인 X선 모듈(500)의 고장시 메인 X선 모듈(500)의 조사영역에 서브 X선 모듈(500')이 연속적으로 X선을 조사할 수 있으므로, 메인 X선 모듈(500)의 고장시에도 정전기 제거공정이 연속적으로 수행될 수 있도록 할 수 있다.
상기 제어부(1080)는, 상기 메인 X선 모듈(500)의 상태정보에 기초하여, 상기 메인 X선 모듈(500) 및 상기 서브 X선 모듈(500') 중 적어도 하나 이상의 X선 모듈로 상기 단일 고전압 모듈의 고전압을 인가하도록 상기 정전기 제거장치(1000)를 제어하도록 구성된다.
이하에서는, 제어부(1080)의 제어 알고리즘 또는 상기 정전기 제거장치(1000)의 제어방법에 대하여 도면을 참고하여 보다 구체적으로 기술하기로 한다.
도 4에 도시된 바와 같이, 전력 흐름 또는 신호 흐름 측면에서 살펴보면, 상기 정전기 제거장치(1000)는, 사용자의 입력신호를 수신하는 입력부(1010)와, 내부 부품 또는 외부장비와 유선 및/또는 무선 통신하도록 구성되는 통신부(1020)와, 각종 정보, 데이터, 제어알고리즘 등을 저장하는 메모리부(1030)와, 제어 결과를 출력하는 출력부(1040)와, 전원공급부(1050)와, 제1 고전압 모듈(400), 적어도 하나 이상의 제2 고전압 모듈(400'), 각각의 X선 모듈의 작동상태를 감지하는 작동확인부(1060)와, 각각의 X선 모듈의 수명상태를 감지하는 수명확인부(1070)와, 전술한 부품들을 제어하는 제어부(1080)를 포함한다.
여기서, 상기 작동확인부(1060)는 상기 메인 X선 모듈(500) 및 상기 적어도 하나 이상의 서브 X선 모듈(500') 각각의 작동상태가 정상인지 여부를 감지할 수 있도록 구성되며, 감지결과를 제어부(1080)로 전송하도록 구성된다.
바람직하게는 상기 작동확인부(1060)는, 상기 정전기 제거장치(1000)의 입력부(1010)를 통해 입력된 입력신호인 목표 X선 방사량 대비 실제 X선 방사량이 작은 경우, 또는 상기 입력부(1010)를 통한 입력신호의 변화와 무관하게(즉, 입력부(1010)를 통하여 목표 X선 방사량 변화가 없음에도 불구하고) X선 방사량이 불균일한 경우를 상기 메인 X선 모듈(500) 및 적어도 하나 이상의 서브 X선 모듈(500')이 비정상 작동 중인 것으로 판단할 수 있다.
이로 인해, 상기 작동확인부(1060)는 X선 모듈의 비정상 작동 상황에 대하여 보다 정밀하게 판단할 수 있고, 이로 인해 비정상 작동 중인 메인 X선 모듈(500)에 대해서는 작동을 정지하여 점검을 받을 수 있도록 하고 제조 공정 라인에는 서브 X선 모듈(500')을 이용하여 연속적으로 X선을 조사할 수 있다.
그리고, 상기 수명확인부(1070)는 상기 메인 X선 모듈(500) 및 상기 적어도 하나 이상의 서브 X선 모듈(500') 각각의 작동수명을 감지할 수 있도록 구성되며, 감지결과를 제어부(1080)로 전송하도록 구성된다.
바람직하게는, 상기 수명확인부(1070)는, 상기 메인 X선 모듈(500)의 잔여수명 또는 상기 적어도 하나 이상의 서브 X선 모듈(500')의 잔여수명이 미고갈상태인 안전허용수명 미만인 경우, 해당 X선 모듈의 잔여수명이 불충분한 것으로 판단할 수 있다.
여기서, 상기 안전허용수명은 각 X선 모듈의 기설정된 작동수명의 5% 내지 10%일 수 있다.
예를 들어, 메인 X선 모듈(500)의 기설정된 작동수명이 5,000 시간이고, 안전허용수명은 250시간(예를 들어, 작동수명의 5%)인 경우, 상기 제어부(1080)(또는 상기 수명확인부(1070))는 상기 메인 X선 모듈(500)의 잔여수명이 300 시간이면 잔여수명이 충분하다고 판단할 수 있으나, 상기 메인 X선 모듈(500)의 잔여수명이 200 시간이면 잔여수명이 불충분하다고 판단할 수 있다.
이로 인해, 상기 작동확인부(1060)는 X선 모듈의 잔여수명 불충분 상태에 대하여 보다 정밀하게 판단할 수 있고, 이로 인해 수명 불충분인 메인 X선 모듈(500)에 대해서는 작동을 정지하여 점검 및 교체를 받을 수 있도록 하고 제조 공정 라인에는 서브 X선 모듈(500')을 이용하여 연속적으로 X선을 조사할 수 있다.
상기 작동확인부(1060)와 상기 수명확인부(1070)는 도면에 도시된 바와 같이 통합 모듈로 구성되거나, 또는 각각의 X선 모듈에 개별적으로 구비될 수 있다.
변형 실시예로서, 상기 작동확인부(1060)와 상기 수명확인부(1070)는 제어부(1080)의 일부로 편입되도록 구성될 수도 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 위와 같은 구성요소를 이용한 제어 알고리즘을 살펴보면, 우선, 제어부(1080)는 전원공급부(1050)로부터의 전력을 단일 고전압 모듈의 고전압 발생부(431)로 공급한다.
평상시, 상기 스위칭부(432)는 고전압 발생부(431)와 메인 장착부(420)가 전기적으로 연결되도록 그리고 고전압 발생부(431)와 서브 장착부(420')가 연결 차단되도록 작동한다.
즉, 상기 제어부(1080)는 평상시 고정납 발생부에서 발생된 고전압이 메인 장착부(420)로 인가되도록 스위칭부(432)를 제어한다.
이후, 상기 메인 X선 모듈(500)은 해당 전기기기 또는 전자부품에 X선을 조사하여 해당 전기기기 또는 전자부품 표면의 정전기를 제거한다.
이후, 상기 작동확인부(1060)는 상기 메인 X선 모듈(500)의 작동상태가 정상인지 여부를 감지한 후, 그 결과를 제어부(1080)로 전송한다.
이때, 상기 제어부(1080)가 상기 작동확인부(1060)로부터의 감지결과 상기 메인 X선 모듈(500)이 비정상 작동 중 또는 작동정지한 것으로 판단하는 경우, 상기 제어부(1080)는 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 서브 X선 모듈(500')로 인가되도록 상기 스위칭부(432) 및 상기 단일 고전압 모듈을 제어한다.
추가 실시예로서, 상기 제어부(1080)는, 상기 작동확인부(1060)로부터의 감지결과 상기 메인 X선 모듈(500)이 비정상 작동 중인 것으로 판단하는 경우, 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 메인 X선 모듈(500) 및 상기 서브 X선 모듈(500') 모두에 인가되도록 한 후, 기설정된 오버랩 시간이 경과하면 상기 메인 X선 모듈(500)로의 고전압 인가를 차단하도록 그리고 상기 서브 X선 모듈(500')에 고전압 인가되도록 상기 스위칭부(432) 및 상기 단일 고전압 모듈을 제어할 수 있다.
메인 X선 모듈의 고장 및/또는 오작동의 경우, 메인 X선 모듈로의 고전압 인가가 차단되는 시점과 서브 X선 모듈로의 고전압 인가가 시작되는 시점 사이의 미세한 시간적 간격이 발생할 우려가 있고, 이러한 미세한 시간적 간격이 발생한 상태에서도 정전기 제거 대상인 전자기기 또는 전자부품이 이송 컨베이어를 따라 후방에서 전방으로 연속적으로 이송하므로, 결과적으로 정전기 제거 대상이 일부 구간에서 정전기가 제거되지 않은 상태에서 전방으로 이송되는 사고가 발생할 수 있다.
이렇게 오버랩 시간을 두고 순차 제어함으로써, 메인 X선 모듈의 고장 및/또는 오작동의 경우, 본 발명은 전술한 바와 같은 미세한 시간적 간격(즉, 메인 X선 모듈로의 고전압 인가가 차단되는 시점과 서브 X선 모듈로의 고전압 인가가 시작되는 시점 사이의 미세한 시간적 간격) 및 제품의 연속적인 전방 이송으로 인한 정전기 미제거 구간 발생 문제를 원천적으로 해결할 수 있는 장점이 있다.
즉, 메인 X선 모듈(500)과 서브 X선 모듈(500')이 모두 X선을 조사하는 오버랩 기간을 구비함으로써, 메인 X선 모듈(500)의 X선 조사 종료시점과 서브 X선 모듈(500')의 X선 조사 시작시점 사이에 X선이 조사되지 않는 미세 불연속 기간을 제거할 수 있다.
이로 인해, 본 발명은 X선이 신뢰도 높게 연속적으로 조사될 수 있도록 할 수 있다.
반대로, 상기 제어부(1080)가 상기 작동확인부(1060)로부터의 감지결과 상기 메인 X선 모듈(500)이 정상 작동 중인 것으로 판단하는 경우, 상기 제어부(1080)는 상기 수명확인부(1070)로부터 상기 메인 X선 모듈(500)의 잔여수명이 충분한지 여부에 대한 감지결과를 수신한다.
상기 수명확인부(1070)로부터 감지결과, 상기 제어부(1080)가 상기 메인 X선 모듈(500)의 잔여수명이 불충분한 것으로 판단하는 경우, 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 서브 X선 모듈(500')로 인가되도록 상기 스위칭부(432) 및 상기 단일 고전압 모듈을 제어한다.
추가 실시예로서, 상기 제어부(1080)는, 상기 수명확인부(1070)로부터의 감지결과 상기 메인 X선 모듈(500)의 잔여수명이 불충분한 것으로 판단하는 경우, 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 메인 X선 모듈(500) 및 상기 서브 X선 모듈(500') 모두에 인가되도록 한 후, 기설정된 오버랩 시간이 경과하면 상기 메인 X선 모듈(500)로의 고전압 인가를 차단하도록 그리고 상기 서브 X선 모듈(500')에 고전압 인가되도록 상기 스위칭부(432) 및 상기 단일 고전압 모듈을 제어할 수 있다.
메인 X선 모듈의 수명이 고갈되는 경우, 메인 X선 모듈로의 고전압 인가가 차단되는 시점과 서브 X선 모듈로의 고전압 인가가 시작되는 시점 사이의 미세한 시간적 간격이 발생할 우려가 있고, 이러한 미세한 시간적 간격이 발생한 상태에서도 정전기 제거 대상인 전자기기 또는 전자부품이 이송 컨베이어를 따라 후방에서 전방으로 연속적으로 이송하므로, 결과적으로 정전기 제거 대상이 일부 구간에서 정전기가 제거되지 않은 상태에서 전방으로 이송되는 사고가 발생할 수 있다.
이렇게 오버랩 시간을 두고 순차 제어함으로써, 메인 X선 모듈의 수명 고갈의 경우, 본 발명은 전술한 바와 같은 미세한 시간적 간격(즉, 메인 X선 모듈로의 고전압 인가가 차단되는 시점과 서브 X선 모듈로의 고전압 인가가 시작되는 시점 사이의 미세한 시간적 간격) 및 제품의 연속적인 전방 이송으로 인한 정전기 미제거 구간 발생 문제를 원천적으로 해결할 수 있는 장점이 있다.
즉, 메인 X선 모듈(500)과 서브 X선 모듈(500')이 모두 X선을 조사하는 오버랩 기간을 구비함으로써, 메인 X선 모듈(500)의 X선 조사 종료시점과 서브 X선 모듈(500')의 X선 조사 시작시점 사이에 X선이 조사되지 않는 미세 불연속 기간을 제거할 수 있다.
이로 인해, 본 발명은 X선이 신뢰도 높게 연속적으로 조사될 수 있도록 할 수 있다.
반대로, 수명확인부(1070)로부터 감지결과, 상기 제어부(1080)가 상기 메인 X선 모듈(500)의 잔여수명이 충분한 것으로 판단하는 경우, 상기 제어부(1080)는 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 메인 X선 모듈(500)로 계속 인가되도록 상기 스위칭부(432) 및 상기 단일 고전압 모듈을 제어한다.
바람직하게는, 상기 제어부(1080)가 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 서브 X선 모듈(500')로 인가되도록 상기 스위칭부(432) 및 상기 단일 고전압 모듈을 제어할 때, 상기 제어부(1080)는 메인 X선 모듈(500)의 비정상 상태 또는 수명 불충분 상태에 대한 정보를 출력부(1040)의 디스플레이부, 음향출력부(1040) 및 알람부 중 적어도 하나 이상에 출력할 수 있다.
추가적으로, 상기 제어부(1080)가 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 서브 X선 모듈(500')로 인가되도록 상기 스위칭부(432) 및 상기 단일 고전압 모듈을 제어할 때, 상기 제어부(1080)는 통신부(1020)를 통하여 메인 X선 모듈(500)의 비정상 상태 또는 수명 불충분 상태에 대한 정보를 상기 제조 공정 라인의 담당자의 휴대용 단말기로 전송하는 것이 더욱 바람직하다.
스위칭부(432)의 스위칭 작동으로 인해 서브 장착부(420')에 고전압이 인가된 이후, 상기 서브 X선 모듈(500')은 해당 전기기기 또는 전자부품에 X선을 조사하여 해당 전기기기 또는 전자부품 표면의 정전기를 제거한다.
이후, 상기 작동확인부(1060)는 상기 서브 X선 모듈(500')의 작동상태가 정상인지 여부를 감지한 후, 그 결과를 제어부(1080)로 전송한다.
이때, 상기 제어부(1080)가 상기 작동확인부(1060)로부터의 감지결과 상기 서브 X선 모듈(500')이 비정상 작동 중 또는 작동정지한 것으로 판단하는 경우, 상기 제어부(1080)는 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 서브 X선 모듈(500')로 인가되는 것을 차단하고, 동시에 제조 공정 라인의 컨베이러 벨트를 작동 정지시킨다.
반대로, 상기 제어부(1080)가 상기 작동확인부(1060)로부터의 감지결과 상기 서브 X선 모듈(500')이 정상 작동 중인 것으로 판단하는 경우, 상기 제어부(1080)는 상기 수명확인부(1070)로부터 상기 서브 X선 모듈(500')의 잔여수명이 충분한지 여부에 대한 감지결과를 수신한다.
상기 수명확인부(1070)로부터 감지결과, 상기 제어부(1080)가 상기 서브 X선 모듈(500')의 잔여수명이 불충분한 것으로 판단하는 경우, 상기 제어부(1080)는 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 서브 X선 모듈(500')로 인가되는 것을 차단하고, 동시에 제조 공정 라인의 컨베이러 벨트를 작동 정지시킨다.
반대로, 수명확인부(1070)로부터 감지결과, 상기 제어부(1080)가 상기 서브 X선 모듈(500')의 잔여수명이 충분한 것으로 판단하는 경우, 상기 제어부(1080)는 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 서브 X선 모듈(500')로 계속 인가되도록 상기 스위칭부(432) 및 상기 단일 고전압 모듈을 제어한다.
바람직하게는, 상기 제어부(1080)가 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 서브 X선 모듈(500')로 인가되는 것을 차단할 때, 상기 제어부(1080)는 서브 X선 모듈(500')의 비정상 상태 또는 수명 불충분 상태에 대한 정보를 출력부(1040)의 디스플레이부, 음향출력부(1040) 및 알람부 중 적어도 하나 이상에 출력할 수 있다.
추가적으로, 상기 제어부(1080)가 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 서브 X선 모듈(500')로 인가되는 것을 차단할 때, 상기 제어부(1080)는 통신부(1020)를 통하여 서브 X선 모듈(500')의 비정상 상태 또는 수명 불충분 상태에 대한 정보를 상기 제조 공정 라인의 담당자의 휴대용 단말기로 전송하는 것이 더욱 바람직하다.
이상과 같이 본 발명을 도면에 도시한 실시예를 참고하여 설명하였으나, 이는 발명을 설명하기 위한 것일 뿐이며, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 발명의 상세한 설명으로부터 다양한 변형 또는 균등한 실시예가 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
따라서 본 발명의 진정한 권리범위는 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 결정되어야 한다.
1000 : 정전기 제거장치
1010 : 입력부
1020 : 통신부
1030 : 메모리부
1040 : 출력부
1050 : 전원공급부
1060 : 작동확인부
1070 : 수명확인부
1080 : 제어부
100 : 하우징부
110 : 상부커버
120 : 케이스
121 : 장착용 개구
200 : 메인 커넥터
400 : 제1 고전압 모듈
400' : 제2 고전압 모듈
410 : 본체부
411 : 결합공
420 : 메인 장착부
420' : 서브 장착부
421 : 체결공
422 : 제2 커넥터
423 : 수용홈
430 : 전장부
431 : 고전압 발생부
432 : 스위칭부
500 : 메인 X선 모듈
500' : 서브 X선 모듈
510 : 몸체부
511 : 제1 커넥터
520 : X선관
530 : 커버 플레이트
540 : 체결수단

Claims (12)

  1. 전자기기 또는 전자부품의 제조 공정 라인에서 정전기 제거용으로 사용되는 X선을 이용한 정전기 제거장치로서,
    상기 정전기 제거장치에 공급되는 전력으로 고전압을 발생시키는 단일 고전압 모듈과;
    상기 단일 고전압 모듈에 전기적 및 기계적으로 결합되며, 상기 단일 고전압 모듈으로부터의 고전압으로 X선을 방사하는 메인 X선 모듈과;
    상기 단일 고전압 모듈에서 상기 메인 X선 모듈에 인접하게 결합되며, 상기 단일 고전압 모듈로부터의 고전압으로 X선을 방사할 수 있도록 구성된 적어도 하나 이상의 서브 X선 모듈과;
    상기 메인 X선 모듈의 상태정보에 기초하여, 상기 메인 X선 모듈 및 상기 서브 X선 모듈 중 적어도 하나 이상의 X선 모듈로 상기 단일 고전압 모듈의 고전압을 인가하도록 상기 정전기 제거장치를 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 X선을 이용한 정전기 제거장치.
  2. 전자기기 또는 전자부품의 제조 공정 라인에서 정전기 제거용으로 사용되는 X선을 이용한 정전기 제거장치로서,
    일방향으로 긴 신장형 형상의 하우징부와;
    상기 하우징부에 수용되며, 상기 정전기 제거장치에 공급되는 전력으로 고전압을 발생시키는 제1 단일 고전압 모듈과;
    상기 하우징부에서 상기 제1 단일 고전압 모듈로부터 상기 하우징부의 길이방향으로 소정 거리 이격되어 수용되며, 상기 정전기 제거장치에 공급되는 전력으로 고전압을 발생시키는 적어도 하나 이상의 제2 단일 고전압 모듈과;
    각각의 단일 고전압 모듈에 전기적 및 기계적으로 결합되며, 각각의 단일 고전압 모듈으로부터의 고전압으로 X선을 방사하는 메인 X선 모듈과;
    각각의 단일 고전압 모듈에서 상기 메인 X선 모듈에 인접하게 결합되며, 각각의 단일 고전압 모듈로부터의 고전압으로 X선을 방사할 수 있도록 구성된 적어도 하나 이상의 서브 X선 모듈과;
    상기 제1 단일 고전압 모듈 및 상기 제2 단일 고전압 모듈을 제어하는 제어부;를 포함하고,
    상기 제어부는,
    상기 메인 X선 모듈의 상태정보에 기초하여, 상기 메인 X선 모듈 및 상기 서브 X선 모듈 중 적어도 하나 이상의 X선 모듈로 상기 단일 고전압 모듈의 고전압을 인가하도록 상기 정전기 제거장치를 제어하는 것을 특징으로 하는 X선을 이용한 정전기 제거장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 서브 X선 모듈은,
    상기 서브 X선 모듈의 X선 조사영역이 상기 메인 X선 모듈의 X선 조사영역을 포함하도록 상기 단일 고전압 모듈에 결합 또는 배치되는 것을 특징으로 하는 X선을 이용한 정전기 제거장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제어부에 의해 제어되며, 상기 메인 X선 모듈 및 상기 서브 X선 모듈 중 적어도 하나 이상의 X선 모듈로 상기 단일 고전압 모듈의 고전압을 인가하도록 상기 고전압의 인가 여부 또는 인가 방향을 조절하는 스위칭회로를 포함하며, 상기 단일 고전압 모듈 내부에 구비되는 스위칭부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 X선을 이용한 정전기 제거장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 정전기 제거장치는,
    상기 메인 X선 모듈 및 상기 적어도 하나 이상의 서브 X선 모듈 각각의 작동상태가 정상인지 여부를 감지할 수 있는 작동확인부;를 더 포함하고,
    상기 제어부는, 상기 작동확인부로부터의 감지결과 상기 메인 X선 모듈이 비정상 작동 중 또는 작동정지한 것으로 판단하는 경우, 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 서브 X선 모듈로 인가되도록 상기 스위칭부 및 상기 단일 고전압 모듈을 제어하는 것을 특징으로 하는 X선을 이용한 정전기 제거장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 작동확인부로부터의 감지결과 상기 메인 X선 모듈 및 적어도 하나 이상의 서브 X선 모듈이 모두 비정상 작동 중 또는 작동정지한 것으로 판단하는 경우, 상기 제조 공정 라인을 작동 정지시키는 것을 특징으로 하는 X선을 이용한 정전기 제거장치.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 작동확인부는,
    상기 정전기 제거장치의 입력부를 통해 입력된 입력신호인 목표 X선 방사량 대비 실제 X선 방사량이 작은 경우, 또는 상기 입력부를 통한 입력신호의 변화와 무관하게 X선 방사량이 불균일한 경우를 상기 메인 X선 모듈 및 적어도 하나 이상의 서브 X선 모듈이 비정상 작동 중인 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 X선을 이용한 정전기 제거장치.
  8. 제5항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 작동확인부로부터의 감지결과 상기 메인 X선 모듈이 비정상 작동 중인 것으로 판단하는 경우, 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 메인 X선 모듈 및 상기 서브 X선 모듈 모두에 인가되도록 한 후, 기설정된 오버랩 시간이 경과하면 상기 메인 X선 모듈로의 고전압 인가를 차단하도록 그리고 상기 서브 X선 모듈에 고전압 인가되도록 상기 스위칭부 및 상기 단일 고전압 모듈을 제어하는 것을 특징으로 하는 X선을 이용한 정전기 제거장치.
  9. 제4항에 있어서,
    상기 정전기 제거장치는,
    상기 메인 X선 모듈 및 상기 적어도 하나 이상의 서브 X선 모듈 각각의 작동수명을 감지할 수 있는 수명확인부;를 더 포함하고,
    상기 제어부는, 상기 수명확인부로부터의 감지결과 상기 메인 X선 모듈의 잔여수명이 불충분한 것으로 판단하는 경우, 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 서브 X선 모듈로 인가되도록 상기 스위칭부 및 상기 단일 고전압 모듈을 제어하는 것을 특징으로 하는 X선을 이용한 정전기 제거장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 수명확인부로부터의 감지결과 상기 메인 X선 모듈의 잔여수명 및 적어도 하나 이상의 서브 X선 모듈의 잔여수명이 모두 불충분한 것으로 판단하는 경우, 상기 제조 공정 라인을 작동 정지시키는 것을 특징으로 하는 X선을 이용한 정전기 제거장치.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 수명확인부는,
    상기 메인 X선 모듈의 잔여수명 또는 상기 적어도 하나 이상의 서브 X선 모듈의 잔여수명이 미고갈상태인 안전허용수명 미만인 경우,
    해당 X선 모듈의 잔여수명이 불충분한 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 X선을 이용한 정전기 제거장치.
  12. 제9항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 수명확인부로부터의 감지결과 상기 메인 X선 모듈의 잔여수명이 불충분한 것으로 판단하는 경우, 상기 단일 고전압 모듈의 고전압이 상기 메인 X선 모듈 및 상기 서브 X선 모듈 모두에 인가되도록 한 후, 기설정된 오버랩 시간이 경과하면 상기 메인 X선 모듈로의 고전압 인가를 차단하도록 그리고 상기 서브 X선 모듈에 고전압 인가되도록 상기 스위칭부 및 상기 단일 고전압 모듈을 제어하는 것을 특징으로 하는 X선을 이용한 정전기 제거장치.
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