KR20190079521A - 기판 분리장치 - Google Patents

Abstract

장치의 소형화를 도모하면서 분리 대상을 기판으로부터 원활하게 분리할 수 있는 기판 분리 기구를 제공한다.
복수로 분할된 기판으로부터 일부를 분리하는 기판 분리장치로, 분리 대상 (Q)을 흡착하기 위한 흡착부(10)와, 분리 대상(Q)의 인접 위치를 가압하기 위한 가압부(20)와, 흡착부(10)를 지지하는 지지체(30)와, 지지체(30)를 기판에 대해서 접근 및 이탈시키는 제 1 구동부(40)와, 지지체(30)에 설치되어 가압부(20)를 기판에 대해서 접근 및 이탈시키는 제 2 구동부(50)를 구비하며, 제 2 구동부(50)는 흡착부(10)가 기판의 분리 대상(Q)에 접촉한 때의 지지체(30)와 흡착부(10) 사이의 거리보다 긴 스트로크로 가압부(20)를 지지체(30)에 대해서 이동시키는 기판 분리장치이다.

Description

기판 분리장치{APPARATUS FOR SEPARATING SUBSTRATE}

본 발명은 복수로 분할된 기판으로부터 일부를 분리하는 기판 분리장치에 관한 것이다.

복수로 분할된 기판으로부터 일부를 분리하는 장치로 예를 들어 특허문헌 1에 기재된 장치가 알려져 있다. 이 장치는 분리 대상을 흡착하는 흡착부와 분리 대상의 주위를 누르는 가압부를 구비한다. 흡착부와 가압부는 각각 베이스 부재에 설치된 제 1 구동부와 제 2 구동부에 의해 개별적으로 상하로 이동된다. 가압부로 분리 대상의 주위를 누른 상태에서 흡착부를 상방으로 이동시킴으로써 분리 대상이 기판의 그 외의 부분으로부터 분리된다.

일본 특개 2015-126017호 공보

특허문헌 1의 구성에서는 흡착부와 가압부가 개별적으로 이동하기 위해, 흡착부의 이동 기구와 가압부의 이동 기구가 서로 저촉하지 않도록 흡착부와 가압부를 떨어뜨릴 필요가 있었다. 따라서 장치의 소형화를 도모하기가 어려웠다.

이와 같은 과제를 감안하여, 본 발명은 장치의 소형화를 도모하면서도 분리 대상을 기판으로부터 원활하게 분리할 수 있는 기판 분리 기구를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 주된 양태는 복수로 분할된 기판으로부터 일부를 분리하는 기판 분리장치에 관한 것이다. 이 양태에 관한 기판 분리장치는 분리 대상을 흡착하기 위한 흡착부와, 상기 분리 대상의 인접 위치를 가압하기 위한 가압부와, 상기 흡착부를 지지하는 지지체와, 상기 지지체를 상기 기판에 대해서 접근 및 이탈시키는 제 1 구동부와, 상기 지지체에 마련되어 상기 가압부를 상기 기판에 대해서 접근 및 이탈시키는 제 2 구동부를 구비한다. 상기 제 2 구동부는 상기 흡착부가 상기 기판의 상기 분리 대상에 접촉한 때의 상기 지지체와 상기 흡착부의 사이의 거리보다 긴 스트로크(stroke)로 상기 가압부를 상기 지지체에 대해서 이동시키도록 구성된다.

이 구성에 의하면, 흡착부와 함께 가압부가 일체적으로 이동하는 구성이므로 흡착부와 가압부를 서로 접근시킬 수 있다. 따라서 장치의 소형화를 도모할 수 있다. 또, 가압부가 상기 스트로크로 이동되므로 흡착부가 기판의 분리 대상을 흡착한 후 지지체를 기판으로부터 이탈시켜서 흡착부를 이동시켜도 계속해서 가압부를 기판에 접촉시킬 수 있다. 따라서 분리 대상을 기판으로부터 원활하게 분리시킬 수 있다.

본 양태에 관한 기판 분리장치에 있어서, 상기 제 2 구동부는 에어 실린더이며, 상기 에어 실린더의 피스톤 로드에 상기 가압부가 접속되어 있도록 구성될 수 있다.

이 구성에 의하면, 에어 실린더에 공기압을 부여한 상태에서 지지체를 기판으로부터 이탈시켜도 피스톤 로드가 늘어나서 가압부를 기판에 대략 균일한 하중으로 계속 접촉시킬 수 있다. 그러므로 흡착부에 의해 분리 대상을 분리시킬 때에 분리 대상의 근접 위치를 가압부로 적절하게 누를 수 있다. 따라서 분리 대상을 보다 확실하게 기판으로부터 분리시킬 수 있다.

이 경우, 상기 에어 실린더는 스프링의 탄성력에 의해 상기 피스톤 로드를 인입 위치로 이동시키는 단동형(單動型)의 에어 실린더로 구성될 수 있다.

이 구성에 의하면, 에어 실린더에 부여하는 공기압을 해제함으로써 가압부를 기판으로부터 이탈시킬 수 있다. 따라서 가압부를 보다 간단하고 쉽게 제어할 수 있다.

본 양태에 관한 기판 분리장치에 있어서, 상기 흡착부와 상기 가압부의 세트가 1열로 배열되는 복수의 상기 분리 대상에 각각 대응하게 설치되어 있도록 구성될 수 있다.

이 구성에 의하면, 1열분의 분리 대상을 한번에 분리시킬 수 있다.

이 경우, 상기 제 1 구동부는 각 세트의 상기 지지체가 접속된 공통의 부재를 이동시켜서 각 세트의 상기 지지체를 동시에 이동시키도록 구성될 수 있다.

이에 의해, 각 세트의 지지체를 이동시키기 위한 구성을 간소하게 할 수 있다.

본 양태에 관한 기판 분리장치에 있어서, 상기 가압부는 상기 분리 대상의 주위에 복수 설치되며, 상기 복수의 가압부가 각각 상기 분리 대상의 주위의 복수의 개소를 누르도록 구성될 수 있다.

이 구성에 의하면, 분리 대상의 주위를 누름으로써 분리 대상을 기판으로부터 확실하게 분리시킬 수 있다.

이상과 같이 본 발명에 의하면 장치의 소형화를 도모하면서 분리 대상을 기판으로부터 원활하게 분리할 수 있는 기판 분리기구를 제공할 수 있다.

본 발명의 효과 내지 의의는 이하에 제시하는 실시형태의 설명에 의해 더 분명해질 것이다. 단, 이하에 제시하는 실시형태는 어디까지나 본 발명을 실시화할 때의 하나의 예시이며, 본 발명은 이하의 실시형태에 기재된 것에 어떠한 제한이 되는 것은 아니다.

도 1은 실시형태의 기판 분리장치를 적용한 기판 반전장치의 외관 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 일부확대도로, 실시형태의 기판 분리장치를 적용한 기판 반전장치의 연계기구를 설명하기 위한 도면이다.
도 3(a)~(d)는 실시형태의 기판 분리장치를 적용한 기판 반전장치의 동작을 설명하기 위해 모식적으로 나타낸 정면도이다.
도 4(a)~(c)는 실시형태의 기판 분리장치를 적용한 기판 반전장치의 동작을 설명하기 위해 모식적으로 나타낸 정면도이다.
도 5(a)는 실시형태의 기판 분리장치의 일부 확대도이며, 흡착부 및 가압부를 설명하기 위한 사시도, 도 5(b)는 실시형태의 기판 분리장치의 일부 확대도이며, 흡착부 및 가압부를 설명하기 위해서 도 5(a)를 Z축 부측에서 본 사시도이다.
도 6은 실시형태의 기판 분리장치의 지지체, 흡착부 및 가압부의 배치를 설명하기 위한 도면으로, Z축 부측에서 본 정면도이다.
도 7(a)~(e)는 실시형태의 기판 분리장치의 동작을 설명하기 위해 모식적으로 나타낸 정면도이다.
도 8은 실시형태의 기판 분리장치를 적용한 기판 반전장치의 구성을 나타내는 블록도이다.
도 9는 실시형태의 기판 분리장치를 적용한 기판 반전장치의 동작의 플로차트이다.

이하, 본 발명의 실시형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 각 도면에는 편의상 서로 직교하는 X축, Y축 및 Z축이 부기되어 있다. X-Y 평면은 수평면에 평행이고 Z축 방향은 수직방향이다. Z축 정측(正側)이 상방이고, Z축 부측(負側)이 하방이다.

<실시형태>

유리기판 및 세라믹스 기판 등의 취성재료 기판이나, PET(폴리에틸렌 테레프탈레이트 수지) 기판 및 폴리이미드 수지 기판 등의 수지 기판 등(이하, 간단히 「기판」으로 한다.)은 다양한 처리를 거쳐서 최종제품이 된다. 이와 같은 처리로 예를 들어 유리기판 등의 취성재료로 이루어지는 마더 기판에 스크라이브 공정과 브레이크 공정을 실시하여 소정 사이즈의 기판으로 분할하는 경우가 있다. 이들 공정에 제공될 때에 마더 기판은 적절하게 표리 반전된다. 예를 들어 2개의 유리기판을 접합하여 마더 기판이 구성되는 경우, 마더 기판의 양면에 스크라이브 라인이 형성된다. 이 경우, 한쪽의 면에 스크라이브 라인이 형성된 후에 마더 기판이 표리 반전되어서 다른 쪽의 면에 스크라이브 라인이 형성된다. 이 외에, 스크라이브 라인이 형성된 마더 기판이 표리 반전되어서 브레이크 공정이 제공되는 경우도 있다. 브레이크 공정에서는 복수로 분할된 기판과 기판 사이나 마더 기판의 주위에 단재(端材)가 생긴다.

상기와 같은 단재는 최종 제품의 기판에는 필요가 없다. 그러므로 기판의 반출 과정에서 기판과 단재를 분리해서 기판만 반출할 필요가 있다. 실시형태의 기판 분리장치는 이러한 반출 대상의 기판 즉 분리 대상과 단재를 분리하는 장치이다.

여기서, 브레이크 공정을 거친 후 기판을 표리 반전시키기 전에 분할된 기판으로부터 단재를 분리해 두면, 후의 공정으로 원활하게 반출시킬 수 있다. 그러므로 실시형태의 기판 분리장치(100)는 기판을 표리 반전시키는 경우에 이용하는 기판 반전장치(1)에 적용되는 장치로서 설명한다.

기판의 종류에는 예를 들어 폴리이미드 수지, 폴리아미드 수지, PET 등의 폴리에스테르 수지, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 등의 폴리올레핀 수지, 폴리스티렌, 폴리염화비닐 등의 폴리비닐 수지 등의 수지 기판 등의 유기질 기판(필름이나 시트도 포함한다. 이하 같음), 유리기판이나 세라믹스 기판 등의 취성재료 기판 등의 무기질 기판이 있는데, 실시형태의 기판 반전장치(1)에 의해 반전되는 기판(F)은 수지 기판이다. 수지 기판은 다른 기판이 적층되어 있어도 좋고, 예를 들어 PET, 폴리이미드 수지, PET를 하층으로부터 상기 순서로 적층한 기판으로 해도 좋다.

기판 반전장치(1)에 반입되는 기판(F)은 소정방향에서 복수의 분할요소로 분할된 상태이다. 기판(F)은 소정방향으로 분할되고, 또한, 소정방향에 대해 수직으로 더 분할되어도 좋다. 이와 같이 분할된 기판(F)은 분할요소가 바둑판 모양으로 되어 있다.

실시형태에서 「소정방향」은 X축 정방향이고, 기판(P)의 분할요소는 기판 반전장치(1)에 반입되는 방향과 일치한다. 또한, 이하에서 「기판(P)을 흡착한다」, 혹은 「기판(P)을 표리 반전한다」 등의, 「기판(P)」이라는 기재가 있으나, 이것은 실시형태의 기판 반전장치(1)가 1회의 동작에서 표리 반전을 실행하는 소정 수의 분할요소를 의미한다.

[기판 반전장치의 전체구성]

도 1은 실시형태의 기판 분리장치(100)가 적용되는 기판 반전장치(1)의 외관 구성을 나타내는 사시도이다. 도 1에 나타내는 것과 같이, 기판 반전장치(1)는 기판 분리장치(100)와 함께 기판 탑재부(2)와 압력 부여부(3)와 기판 반출장치(200)를 구비한다.

기판 탑재부(2)는 기판(F)을 탑재하기 위한 평탄면, 즉, 기판의 탑재면을 구비하는 부재이며, 예를 들어, 테이블이나 벨트 컨베이어 등이 포함된다. 기판 탑재부(2)는 기판 반전장치(1)에 반입되어온 기판(F)이 탑재되는 기판 탑재부(2a) 및 표리 반전된 후의 기판(F)이 탑재되는 기판 탑재부(2b)로 구성된다. 기판 탑재부 2a 및 2b에는 다수의 작은 구멍(細孔)이 형성되어 있으며, 다음에 설명하는 압력 부여부(3)는 이 작은 구멍을 통해서 기판(P)에 압력을 보낸다.

압력 부여부(3)는 공기 압력원을 포함하고, 기판 탑재부(2a 및 2b)의 하면에 설치되며, 기판(F)의 하면에 압력을 부여한다. 압력 부여부(3)가 기판(F)에 압력을 부여하면 기판 탑재부(2a 및 2b)의 하면에 형성되어 있는 다수의 미세한 구멍을 통해서 기판(F)의 하면에 압력이 부여된다. 압력 부여부(3)가 기판(F)에 대해서 부압을 부여하면 기판(F)은 기판 탑재부(2a 및 2b)에 흡착된다. 그러므로 기판(F)은 기판 탑재부(2a 및 2b)로부터 잘 분리되지 않게 된다. 따라서 기판(F)의 분할요소의 위치 어긋남이 억제된다. 이에 대해, 압력 부여부(3)가 기판(F)에 대해 부압을 부여하지 않는 경우 및 정압을 부여하는 경우에는 기판(F)에 대한 기판 탑재부(2a 및 2b)의 흡착이 해제된다. 그러므로 기판(F)을 기판 탑재부(2a 및 2b)로부터 용이하게 분리시킬 수 있다.

기판 분리장치(100)는 상기와 같이 기판(P)에 대해서 분리 대상, 즉 분할요소와 단재(R)를 분리한다. 이하, 기판(P) 중 분할요소인 분리 대상을 분리 대상(Q)이라고 한다. 기판 반출장치(200)는 기판 분리장치(100)로부터 기판(P)의 분리 대상(Q)을 인계받아서 기판 탑재부(2b)에 탑재한다. 기판 반전장치(1)에서는 기판 분리장치(100)로부터 기판 반출장치(200)에 분리 대상(Q)이 인계되는 동시에 기판의 표리 반전이 실시된다.

도 1에 나타내는 것과 같이, 기판 반전장치(1)에 있어서 기판 분리장치(100) 및 기판 반출장치(200)가 쌍을 이루도록 배치된다. 기판 분리장치(100)는 기판 탑재부(2a)의 탑재면(2c)에 배치되고 기판 반출장치(200)는 기판 탑재부(2b)의 탑재면(2d)에 배치된다.

도 2는 도 1의 일부 확대도이며, 실시형태의 기판 분리장치(100)를 적용한 기판 반전장치(1)의 연계기구를 설명하기 위한 도면이다. 도 1 및 도 2에 나타내는 것과 같이, 기판 분리장치(100)는 흡착부(10)와 가압부(20)와 지지체(30)와 제 1 구동부(40) 및 제 2 구동부(50)를 구비한다.

흡착부(10)는 기판(P)의 분리 대상(Q)을 흡착한다. 흡착부(10)의 재질은 기판(P)을 흡착할 수 있고, 또, 기판(P)의 표면에 손상을 주지 않는 재질이면 좋으며, 예를 들어 실리콘고무, 불소고무, 니트릴고무 등의 재질을 들 수 있다. 또, 흡착부(10)는 흡착 패드로 성형되어도 좋다.

가압부(20)는 단재(R)를 누른다. 가압부(20)의 재질은 단재(R)에 소정의 가압력을 인가할 수 있는 재질이면 좋으며, 예를 들어 고무 등의 탄성체나, 수지성 또는 금속성의 부재라도 좋다. 가압부(20)가 가장 적합한 재질은 수지이다.

지지체(30)는 직사각형 형상의 부재로, 흡착부(10)를 지지하며, 후에 설명하는 제 2 구동부(50)가 설치된다. 지지체(30)가 기판(P)에 접근 또는 이탈함으로써 흡착부(10) 및 가압부(20)는 분리 대상(Q)과 단재(R)를 분리한다. 지지체(30)의 재질은 고분자 수지성이나 금속성이면 좋고, 가장 적합한 재질은 스테인리스강이다.

제 1 구동부(40)는 지지체(30)를 구동한다. 제 2 구동부(50)는 상기와 같이 지지체(30)에 설치되어 가압부(20)를 구동한다. 구체적으로는, 제 2 구동부(50)는 에어 실린더이다. 이하, 「제 2 구동부(50)」는 「에어 실린더(50)」라고 표기하는 경우가 있다.

또한, 기판 분리장치(100)의 구성 중 제 1 구동부(40)는［기판의 반전동작] 부분에서 상세하게 설명한다. 또, 흡착부(10), 가압부(20), 지지체(30) 및 제 2 구동부(50)에 대해서는 후에 기재하는［기판 분리장치의 구성] 부분에서 상세하게 설명한다.

기판 반출장치(200)는 흡착부(210)와 지지체(220) 및 구동부(230)를 구비한다. 기판 반출장치(200)는 기판 분리장치(100)로부터 단재(R)가 분리된 상태의 기판(P)의 분할요소만이 인계되므로 기판 분리장치(100)와 같이 가압부(20)나 제 2 구동부(50)는 구비되어 있지 않다. 그 외의 구성 요건은 모두 기판 분리장치(100)의 흡착부(10), 지지체(30) 및 제 1 구동부(40)에 상당한다. 그러므로 흡착부(210) 및 지지체(220)의 설명은 생략한다. 제 1 구동부(230)에 대해서는 기판 분리장치(100)의 제 1 구동부(40)와 함께 설명한다.

[기판의 반전 동작]

다음에, 기판 반전장치(1)에 있어서의 기판(P)의 분할요소, 즉 분리 대상(Q)의 반전에 대해서 도 1~도 4를 참조하여 설명한다. 최초로, 분리 대상(Q)의 표리 반전을 가능하게 하는 연계기구를 구비한 제 1 구동부(40)에 대해서 설명한다. 또한, 여기에서는 분리 대상(Q)의 표리 반전에 대해 설명하며, 기판 분리장치(100)에 의한 분리 대상(Q)과 단재(R)와의 분리에 대해서는 추후에 설명한다.

도 1 및 도 2에 나타내는 것과 같이, 제 1 구동부(40)는 모터(41)와 연계기구(42) 및 전달부(43)를 구비한다. 전달부(43)는 모터(41)의 회전구동력을 연계기구(42)에 전달한다. 연계기구(42)가 회동함으로써 지지체(30)는 회동한다.

연계기구(42)는 도 1에 나타내는 것과 같이, 기판 분리장치(100)의 Y축 정측 및 부측에 각각 1개씩 설치되며, 연결부(44)와 지지 축(45)과 회동 부재(46) 및 접속 축(47)을 구비한다.

연결부(44)는 지지체(30)를 지지한다. 연결부(44)는 연결블록(441)과 2개의 축(442)을 구비한다. 연결블록(441)은 Z축 방향으로 2개의 구멍(441a) 및 Y축 방향으로 구멍(441b)이 형성되어 있다. 2개의 구멍(441a)의 각각의 내주에는 베어링부(443)가 각각 설치되어 있다. 2개의 축(442)은 각 베어링부(443)를 통과하게 된다.

구멍(441b)에는 연결블록(441)을 회전 가능하게 지지하는 지지 축(45)이 통과하게 된다. 또한, 지지 축(45)이 연결블록(441)의 구멍(441b)을 통과할 때 연결블록(441)에 세트 컬러(444, set collar)를 설치해도 좋다.

회동 부재(46)는 모터(41)의 회전구동력에 의해서 회동하는 직사각형 형상의 판부재이다. 회동 부재(46)는 양단에 구멍(46a) 및 구멍(46b)이 형성되어 있다. 구멍(46a)에는 회동 축(461)이 설치되고, 구멍(46b)에는 Y축 방향을 따라서 접속 축(47)이 통과하게 된다. 접속 축(47)은 접속부(48)를 통해서 지지체(30)에 접속된다.

접속부(48)는 연결부(44) 및 접속 축(47)을 접속한다. 또, 지지체(30)는 접속부(48)를 통해서 지지 축(45) 및 접속 축(47)에 접속된다. 접속부(48)는 접속블록(481)과 2개의 축(482) 및 고정부(483)를 구비한다.

접속블록(481)은 Z축 방향으로 2개의 구멍(481a)이 형성되어 있다. 연결부(44)의 2개의 축(442)은 2개의 구멍(481a)에 각각 통하게 된다. 이에 의해, 2개의 축(442)을 통해서 연결부(44)와 접속부(48)가 접속된다. 또, 접속블록(481)은 Y축 방향으로 3개의 구멍이 형성되어 있다. 3개의 구멍 중 2개의 구멍(481b)은 2개의 구멍(481a)의 하방에 형성되어 있다. 2개의 구멍(481b)에는 2개의 축(482)이 각각 통과하게 된다. 각각의 축(482)은 고정부(483)에 의해서 지지체(30)에 고정된다. 이에 의해 지지체(30)와 접속부(48), 즉 연계기구(42)가 일체적으로 구성된다.

접속블록(481)에 형성되어 있는 3개의 Y축 방향의 구멍 중 구멍(481c)은 2개의 구멍(481a)의 사이에 위치하고 있다. 구멍(481c)은 접속 축(47)이 통과하게 된다. 이렇게 해서 지지 축(45), 접속 축(47) 및 2개의 축(482)은 Y축 방향으로 서로 평행하게 배치된다.

전달부(43)는 도 1에 나타내는 것과 같이, 각 연계기구(42)에 각각 설치되어 2개의 타이밍 풀리(431)와 벨트(432)를 구비한다. 2개의 타이밍 풀리(431)는 플레이트(4)에 장착되어 있으며, 이 2개의 타이밍 풀리(431)에 벨트(432)가 걸린다. 도 1에서는 Y축 정측의 플레이트(4)를 통해서 모터(41)와 2개의 타이밍 풀리 (431) 및 벨트(432)가 설치되어 있다. 2개의 타이밍 풀리(431) 중 Z축 정측에 위치하는 타이밍 풀리(431)와 모터(41)가 축(433)에 의해 접속된다. 한편, Z축 부측에 위치하는 타이밍 풀리(431)는 회동 축(461)과 접속된다. 또한, 도 1에서 Y축 부측에는 모터(41)가 설치되지 않는다. 그러므로 Y축 부측에 위치하는 타이밍 풀리(431)는 축(233) 만에 접속된다.

모터(41)가 회전 구동하면 축(233)을 경유하여 Z축 정측에 위치하는 타이밍 풀리(431)에 회전구동력이 전달된다. 이에 의해 벨트(432)가 움직여서 Z축 부측에 위치하는 타이밍 풀리(431)가 회전하여 회동 축(461)에 회전구동력이 부여된다.

기판 반출장치(200)에서의 구동부(230)는 상기의 제 1 구동부(40)와 같은 구성이다. 그러므로 구동부(230)의 설명을 생략한다.

또한, 기판 분리장치(100) 및 기판 반출장치(200)의 각각에 모터(41)가 설치되는 구성으로 했으나, 모터(41)는 기판 반전장치(1)로서 1개로 해도 좋다. 이 경우, 예를 들어 1개의 모터(41)의 구동력을 기어 등의 전달 기구에 의해 기판 분리장치(100) 및 기판 반출장치(200)의 각각의 연계기구(42)에 배분하는 구성으로 하면 좋다.

도 3(a)~(d) 및 도 4(a)~(c)는 실시형태의 기판 분리장치(100)를 적용한 기판 반전장치(1)의 동작을 설명하기 위해 모식적으로 나타낸 정면도이다. 도 3(a)는 기판 반전장치(1)에서 기판 분리장치(100)에 반입된 기판(P)이 기판 탑재부(2a)의 탑재면(2c)에 탑재되고, 지지체(30)가 탑재면(2c)에 마주본 상태를 나타내는 도면이다. 이와 같이, 지지체(30)가 탑재면(2c)에 마주본 때의 지지체(30)의 위치를 「제 1 위치」라고 한다. 기판 반출장치(200)의 지지체(220)도 기판 탑재부(2b)의 탑재면(2d)에 마주본 상태이며, 흡착부(10)와 마찬가지로 이때의 지지체(220)의 위치는 제 1 위치이다. 또, 제 1 위치에 수직인 위치를 「제 2 위치」라고 한다.

도 3(a)에 나타내는 것과 같이, 흡착부(10)는 제 1 위치에서 기판(P)의 분리 대상(Q)을 흡착한다. 이때, 제 1 위치에 대한 회동 부재(46)의 각도는 대략 0도이다. 회동 부재(46)가 회동 축(461)을 중심으로 X-Z 평면에서 X축 정측으로 이동하면, 즉, 우회전으로 회동하면, 접속 축(47)은 연결부(44)의 연결블록(441)에 접근하도록 우회전으로 회동한다. 이때, 접속 축(47)과 지지체(30)는 접속부(48)에 의해 접속되어 있으므로, 본래라면, 회동 부재(46)와 마찬가지로 지지체(30)는 우회전으로 회동할 것으로 생각된다.

그러나 접속 축(47)이 지지 축(45)에 접근함에 따라서 연결블록(441)은 회동 부재(46)를 피하도록 회동 부재(46)의 회동방향과는 반대의 X-Z 평면에서 X축 부측으로 이동하는, 즉, 좌회전으로 회동한다. 연결블록(441)이 좌회전으로 회동하면 축(442)이 Z축 정방향으로 직선 이동한다. 축(442)이 접속부(48)를 통해서 지지체(30)에 연결되어 있으므로 지지체(30)는 연결부(44)의 회동에 추종하여 좌회전으로 회동한다. 그 상태를 도 3(b)에 나타낸다.

도 3(b)에 나타내는 것과 같이, 제 1 위치에 대한 회동 부재(46)의 각도가 약 45도일 때 접속 축(47)은 지지 축(45)에 가장 접근한다. 그리고 제 1 위치에 대한 회동 부재(46)의 각도가 약 45도를 넘으면, 도 3(c)에 나타내는 것과 같이, 접속 축(47)은 지지 축(45)으로부터 멀어진다. 그리고 도 3(d)에 나타내는 것과 같이, 제 1 위치에 대한 회동 부재(46)의 각도가 90도 부근이 되면 접속 축(47)은 지지 축(45)으로부터 가장 멀어진다. 이와 같이 연계기구(42)에 의해 지지체(30)의 회동방향이 우회전에서 좌회전으로 변환된다.

기판 반출장치(200)의 지지체(220)는 기판 반전장치(1)에서 지지체(30)와 Z-Y 평면에 대해서 대칭으로 동작한다. 즉, 지지체(220)에서는 회동 부재(46)는 X-Z 평면에서 X축 부측으로 이동하는, 즉, 좌회전으로 회동한다. 상기한 지지체(30)의 회동과 마찬가지로 지지체(220)는 연계기구(42)에 의해서 회동방향이 변환되며, 회동 부재(46)의 회동방향과는 반대의 X-Z 평면에서 X축 정측으로 이동, 즉, 우회전으로 회동한다. 이에 의해, 도 3(b)~(d)에 나타내는 것과 같이, 접속 축(47)은 지지 축(45)에 대해서 접근 및 이탈하도록 회동한다. 그리고 도 3(d)에 나타내는 것과 같이 제 2 위치에서 지지체(30)와 지지체(220)는 서로 마주본다.

기판 반전장치(1)가 도 3(d)에 나타내는 상태인 경우, 흡착부(10)로부터 흡착부(210)에 분리 대상(Q)이 인계된다. 흡착부(10)는 분리 대상(Q)의 면(QA) 측을 흡착하고 있다. 따라서 흡착부(210)는 면(QA)과는 반대 측의 면(QB)을 흡착한다.

지지체(30)에서 지지체(220)에 분리 대상(Q)이 인계되면 지지체(30) 및 지지체(220)는 제 2 위치에서 제 1 위치로 되돌아온다. 도 4(a)~(c)에 나타내는 것과 같이 지지체(220) 측의 회동 부재(46)는 우회전으로 회동한다. 이에 의해 지지체(220)는 그 반대인 좌회전으로 회동하여, 탑재면(2d)에 마주보는 위치, 즉, 제 1 위치에 위치 결정된다. 도 4(c)에 나타내는 것과 같이, 지지체(220)는 탑재면(2d)에 분리 대상(Q)을 탑재한다. 이때, 분리 대상(Q)의 면(QA)이 탑재면(2d)에 접촉한다. 이와 같이, 기판 반전장치(1)는 분리 대상(Q)이 지지체(30)로부터 지지체(220)에 인계되는 타이밍에서 기판(P)의 분할요소의 표리 반전을 실행할 수 있다.

분리 대상(Q)을 인계한 후의 흡착부(10)는 기판 분리장치(100)의 회동 부재(46)가 제 2 위치에서 좌회전으로 회동하고, 지지체(30)는 우회전으로 회동하여, 탑재면(2d)에 마주보는 위치, 즉 제 1 위치에 위치한다. 이와 같이 해서 분리 대상(Q)은 표리 반전된다.

[기판 분리장치의 구성]

다음에, 실시형태의 기판 분리장치(100)에 대해서 도 5~도 7을 참조하여 상세하게 설명한다. 도 5(a)는 실시형태의 기판 분리장치(100)의 일부 확대도이며, 흡착부(10) 및 가압부(20)를 설명하기 위한 사시도이다. 도 5(b)는 실시형태의 기판 분리장치(100)의 일부 확대도이며, 흡착부(10) 및 가압부(20)를 설명하기 위해서 도 5(a)를 Z축 부측에서 본 사시도이다.

도 5(a) 및 (b)에 나타내는 것과 같이, 지지체(30)에는 복수의 구멍이 설치되어 있으며, 흡착부(10) 및 가압부(20)는 지지체(30)를 개재하여 Z축 부측에 위치하도록 이들 구멍을 통해서 장착된다. 에어 실린더(50)의 내부에는 피스톤 로드(51)와 스프링(52)이 실린더(53)에 수용되고 있고, 피스톤 로드(51)의 Z축 부측의 단부에 가압부(20)가 접속되어 있다. 또, 실시형태의 기판 분리장치(100)에서는 에어 실린더(50)는 단동형의 에어 실린더이다.

흡착부(10) 및 가압부(20)의 각각은 관에 의해 공기 압력원에 접속되어 있고, 공기 압력원으로부터 압력이 부여된다. 또, 관 및 공기 압력원은 도시하지 않았다. 또, 도 5(a) 및 (b)에서는 흡착부(10)와 에어 실린더(50)가 관 형상의 부재에 의해 연결되도록 도시되어 있으나, 이에 대해서는 후에 설명한다. 여기에서는 흡착부(10)와 에어 실린더(50)는 별개의 관으로 접속되어 있는 것으로 하여 설명한다.

흡착부(10)에 공기 압력원으로부터 부압이 부여되면 흡착부(10)는 분리 대상(Q)을 흡착한다. 공기 압력원으로부터 부압의 부여가 정지되거나, 혹은 정압이 부여되면 흡착부(10)와 분리 대상(Q)과의 흡착 상태가 해제되므로, 분리 대상(Q)은 흡착부(10)로부터 떨어지기 쉽게 된다.

가압부(20)가 단재(R)에 접촉하지 않은 상태에서는 에어 실린더(50)의 피스톤 로드(51)는 실린더(53)의 내부에 완전하게 수용되어 있으며, 스프링(52)에 의해 Z축 정측으로 탄성 복원력이 인가되어 있다. 에어 실린더(50)에 공기 압력원으로부터 부압이 부여되면 피스톤 로드(51)는 Z축 부의 방향으로 이동한다. 이에 의해 가압부(20)가 단재(R)에 접촉한다. 에어 실린더(50)는 흡착부(10)가 분리 대상(Q)에 접촉한 때의 지지체(30)와 흡착부(10) 사이의 거리보다 긴 스트로크로 가압부(20)를 지지체(30)에 대해서 이동시키도록 구성된다.

도 6은 실시형태의 기판 분리장치(100)의 흡착부(10), 가압부(20) 및 지지체(30)의 배치를 설명하기 위한 도면이며, Z축 부측에서 본 평면도이다. 실시형태의 기판 분리장치(100)에서는 1회의 분리작업에서 분리 가능한 분할요소는 10매이다. 여기서, 분리 대상(Q)은 기판 Q1~Q10으로 하여 설명한다.

도 6에 나타내는 것과 같이, 지지체(30)는 합계 12매 설치되어 있고, 설명을 위해 Y축 부측으로부터 순서대로 지지체 30A~30L로 한다. 이 중 지지체 30B~30E 및 30H~30K는 동일한 사이즈이다. 지지체 30A, 30F, 30G 및 30L는 지지체(30B)를 X축에 대해서 이등분한 사이즈이다. 지지체(30B)에는 흡착부(10)가 Y축 부측 및 정측에 3개씩, X축 방향으로 동일한 간격으로 배치되고, 가압부(20)가 X축 부측 및 정측에 2개씩, Y축 방향으로 동일한 간격으로 배치되며, 흡착부(10)와 흡착부(10) 사이에서 X축 방향으로 동일한 간격으로 3개 배치된다. 이와 같이, 지지체(30B~30E 및 30H~30K)에는 흡착부(10)가 6개, 가압부(20)가 7개 설치되어 있다. 이에 대해 지지체(30A)에는 흡착부(10)가 X축 방향으로 동일한 간격으로 3개 배치되고, 각각의 흡착부(10)에 인접해서 가압부(20)가 배치되어 있다. 또, 가압부(20)는 X축 부측 및 정측에 1개씩 배치되어 있다. 이와 같이 지지체 30A, 30F, 30G 및 30L에는 흡착부(10)가 3개, 가압부(20)가 5개 설치되어 있다.

이와 같은 지지체(30A~30L)는 Y축 방향으로 배열된다. 지지체(30A~30L)의 각각에는 고정부(483)가 설치되어 있으며, 이 고정부(483)에 축(482)이 통과하게 되므로 지지체(30A~30L)는 일체적으로 회동할 수 있게 된다. 이 상태는 도 1 및 도 2에 나타나 있다. 이와 같은 지지체(30)는 서로 이웃하는 지지체(30)에 설치되어 있는 합계 6개의 흡착부(10)에 의해 1매의 분리 대상(Q)을 흡착한다. 예를 들어 도 6의 실선으로 나타내는 것과 같이, 분리 대상(Q1)은 지지체(30A 및 30B)에 설치되어 있는 합계 3개의 흡착부(10)에 의해 흡착된다. 마찬가지로 지지체 30B 및 30C, 30C 및 30D 등을 조합시켜서 기판(Q1~Q10)은 흡착된다. 도 6의 점선으로 나타내는 것과 같이, 기판(Q1~Q10)의 각각의 기판 사이나 주위에 있는 단재(R)는 가압부(20)에 가압된다.

이와 같이, 실시형태의 기판 분리장치(100)에 있어서는 흡착부(10)와 가압부(20)의 세트가 1열로 배열되는 복수의 분리 대상(Q)에 각각 대응하도록 설치되어 있다. 그리고 분리 대상(Q)의 매수에 따라서 복수의 지지체(30)가 접속되어 있으므로 각 지지체(30)를 동시에 이동시킬 수 있다.

또한, 분리 대상(Q)의 매수나 사이즈는 적절하게 변경 가능하고, 분리 대상 (Q)의 매수나 사이즈에 따라서 지지체(30)의 매수나 사이즈, 또, 흡착부(10) 및 가압부(20)의 개수나 배치방법도 변경 가능하다.

이어서, 기판 분리장치(100)에 의한 기판(P)의 분리 대상(Q)과 단재(R)와의 분리에 대해서 설명한다. 도 7(a)~(e)는 실시형태의 기판 분리장치(100)의 동작을 모식적으로 나타내는 정면도이다. 또한, 도 7(a)~(e)에서는 스프링(52)은 생략하고 있다.

도 7(a)에 나타내는 것과 같이, 지지체(30)가 제 1 구동부(40)에 의해 구동되어서 기판(P)에 접근하면 흡착부(10)는 가압부(20)가 단재(R)에 접촉하는 것보다 먼저 기판(P)의 분리 대상에 접촉한다. 이때, 에어 실린더(50)는 구동을 대기하고 있는 상태이므로 스프링(52)이 피스톤 로드(51)를 Z축 정측으로 탄성 복원력을 인가하고 있다.

도 7(b)에 나타내는 것과 같이, 흡착부(10)에 공기 압력원으로부터 부압이 부여되면 흡착부(10)는 분리 대상(Q)의 흡착을 개시한다. 한편, 흡착부(10)에 부압이 부여되는 동시에 에어 실린더(50)에 공기 압력원으로부터 부압이 부여되고, 피스톤 로드(51)는 Z축 부의 방향으로 이동해서 가압부(20)는 단재(R)에 접촉한다.

도 7(c)에 나타내는 것과 같이, 지지체(30)의 이동과 함께 흡착부(10)는 분리 대상(Q)을 흡착한 상태로 Z축 정측으로 이동한다. 에어 실린더(50)는 지지체에 설치되어 있으므로, 지지체(30)의 이동과 함께, 즉, 흡착부(10)와 마찬가지로 Z축 정측으로 이동한다. 그러나 피스톤 로드(51)는 에어 실린더(50)의 구동에 의해 Z축 부측으로 스트로크의 상한의 위치까지 계속 이동한다. 따라서 가압부(20)는 단재(R)에 접촉한 상태를 유지한다. 이때, 분리 대상(Q)과 단재(R)는 분리 대상(Q)이 Z축 정측으로 이동함에 따라서 분리된다.

도 7(d)에 나타내는 것과 같이, 분리 대상(Q)이 단재(R)와 완전하게 분리한다. 피스톤 로드(51)가 스트로크의 Z축 부측에서의 상한 위치에 도달하지 않는 경우에 에어 실린더(50)에 부압이 계속해서 부여되며, 피스톤 로드(51)는 Z축 부의 방향으로 이동하여 가압부(20)는 단재(R)를 계속 가압한다.

도 7(e)에 나타내는 것과 같이, 피스톤 로드(51)가 스트로크의 Z축 부측에서의 상한 위치까지 이동하면 에어 실린더(50)로의 부압의 부여가 정지된다. 따라서 피스톤 로드(51)는 Z축 정측으로 이동한다. 이때, 스프링(52)은 Z축 정방향으로 복귀하여 피스톤 로드(51)의 Z축 정측으로의 이동을 보조한다. 이와 같이 해서 가압부(20)는 지지체(30)에 대해서 도 7(a)와 같은 위치에 위치한다. 피스톤 로드(51) 및 스프링(52)도 도 7(a)와 마찬가지로 실린더(53) 내에 위치한다.

상기와 같이, 흡착부(10) 및 가압부(20)에 의해 기판(P)의 분리 대상(Q)과 단재(R)와는 분리된다. 또한, 도 7(a)~(e)에서는 지지체(30)가 Z축 정측으로 이동하고 있는 요소를 모식적으로 나타내고 있으며, 지지체(30)의 상세한 동작은 [기판의 반전 동작]의 개소에서 설명한 것과 같다.

[기판 반전장치의 동작]

다음에, 기판 반전장치(1)의 동작에 대해서 설명한다. 도 8은 기판 반전장치(1)의 구성을 나타내는 블록도이다. 도 8에 나타내는 것과 같이, 기판 반전장치 (1)는 기판 탑재부(2)와 압력 부여부(3)와 기판 분리장치(100)와 기판 반출장치(200)를 구비하며, 추가로 입력부(5)와 검출부(6) 및 제어부(7)를 더 구비한다.

입력부(5)는 기판 반전장치(1)에 표리 반전시키는 기판(P)의 수를 접수한다. 검출부(6)는 기판 분리장치(100)의 지지체(30) 및 기판 반출장치(200)의 지지체(220)의 위치를 검출한다. 앞에서 설명한 것과 같이 지지체(30) 및 지지체(220)는 제 2 위치에서 기판(P)의 분리 대상(Q)을 사이에 두고 서로 마주봄으로써 분리 대상(Q)의 반전 및 주고받기가 실행된다. 그러므로 검출부(6)에 의해 지지체(30) 및 지지체(220)의 위치를 검출하여, 양자가 제 1 위치와 제 2 위치에 위치하는 타이밍을 제어한다. 검출부(6)는 지지체(30) 및 지지체(220)의 위치를 적절히 검출할 수 있으면 좋으며, 예를 들어 센서나 촬상 장치 등을 이용할 수 있다.

제어부(7)는 CPU 등의 연산처리회로와, ROM, RAM, 하드 디스크 등의 메모리를 포함하고 있다. 제어부(7)는 메모리에 기억된 프로그램에 따라서 각부를 제어한다.

또, 기판 분리장치(100)의 흡착부(10) 및 가압부(20)에는 밸브 구동부(60)가 구비된다. 밸브 구동부(60)는 흡착부(10)에 대해 부압과 정압의 전환을 실행하며, 가압부(20)에 대해서는 부압 부여의 전환을 실행한다. 기판 반출장치(200)에도 밸브 구동부(240)가 구비되어 있으며, 흡착부(210)에 대해서 부압과 정압의 전환을 실시한다.

도 8은 실시형태의 기판 반전장치(1)의 동작을 나타내는 플로차트이다. 이 제어는 도 7에 나타낸 제어부(7)가 실행한다. 또, 도 8의 플로차트에서 「시작」 시의 기판 반전장치(1)의 상태는 기판 분리장치(100)에 기판(P)이 반입되어 기판 탑재부(2a)에 탑재된 상태이다.

단계 S11에서는, 제어부(7)는 압력 부여부(3)에 기판(P)에 대해서 부압을 해제 또는 정압을 부여하도록 한다. 이에 의해 기판 탑재부(2a)와 기판(P)의 흡착 상태는 해제되므로 기판(P)은 기판 탑재부(2a)로부터 떨어지기 쉽게 된다.

단계 S12에서는, 제어부(7)는 제 1 구동부(40)에 기판 분리장치(100)의 지지체(30)를 회동시킨다. 이에 의해 지지체(30)에 설치되어 있는 흡착부(10)는 도 7(b)에 나타내는 것과 같이 기판(P)의 분리 대상(Q)에 접촉한다.

단계 S13에서는, 제어부(7)는 공기 압력원에 의한 부압을 흡착부(10)에 부여하도록 하기 위해 밸브 구동부를 전환시킨다. 이와 동시에 제어부(7)는 공기 압력원에 의한 부압을 에어 실린더(50)에 부여하도록 하기 위해 밸브 구동부를 전환시킨다. 이에 의해 흡착부(10)는 기판(P)의 분리 대상(Q)을 흡착하는 동시에, 가압부(20)는 단재(R)에 접촉한다. 에어 실린더(50)의 구동에 의해 피스톤 로드(51)가 Z축 부측으로 이동하며, 가압부(20)는 단재(R)를 가압한다. 이 경우의 흡착부(10) 및 가압부(20)의 상태는 도 7(b)에 도시되어 있다.

단계 S13에서는, 도 7(c) 및 (d)에 나타내는 것과 같이, 지지체(30)의 회동에 따라서 기판(P)의 분리 대상(Q)을 흡착한 상태에서 흡착부(10)는 회동한다. 지지체(30)의 회동에 따라서 에어 실린더(50)도 회동하나, 피스톤 로드(51)가 단재(R) 쪽을 향해서 계속 이동하므로 가압부(20)는 단재(R)를 계속 가압한다. 이 경우의 흡착부(10) 및 가압부(20)의 상태는 도 7(c) 및 (d)에 도시되어 있다.

단계 S14에서는, 제어부(7)는 피스톤 로드(51)가 스트로크 범위의 상한 위치까지 이동했는가 여부를 판정한다. 단계 S14가 YES인 경우, 단계 S15에서 제어부(7)는 밸브 구동부(60)에 공기 압력원으로부터 에어 실린더(50)로의 부압의 부여를 정지하기 위해서 밸브를 전환시킨다. 이 경우의 흡착부(10) 및 가압부(20)의 상태는 도 7(e)에 도시되어 있다. 이에 대해, 단계 S14가 NO인 경우, 피스톤 로드(51)가 스트로크 범위의 상한 위치로 이동할 때까지 가압부(20)는 단재(R)를 계속 가압한다.

단계 S11~S15의 사이, 제어부(7)는 제 1 구동부(40)를 구동시켜서 기판 분리장치(100)의 지지체(30)를 제 1 위치로부터 제 2 위치에 회동시키고 있다. 또, 제어부(7)는 구동부(230)를 구동시켜서 기판 반출장치(200)의 지지체(220)를 제 1 위치로부터 제 2 위치에 회동시키고 있다. 또한, 지지체(30)와 지지체(220)의 회동에 관해서는 도 3 및 도 4에 의거하여 상기에서 설명한 것과 같다.

단계 S16에서는, 지지체(30)와 지지체(220)가 제 2 위치에서 서로 마주본 경우, 제어부(7)는 밸브 구동부(60)에 공기 압력원으로부터 흡착부(10)로의 부압의 부여를 정지하기 위해 밸브를 전환시킨다. 이 경우, 제어부(7)는 흡착부(10)에 정압을 부여하도록 밸브 구동부(60)를 전환시켜도 좋다. 또, 제어부(7)는 밸브 구동부(240)에 공기 압력원으로부터 흡착부(210)에 부압을 부여하도록 하기 위해 밸브를 전환시킨다. 이에 의해 제 2 위치에서 기판 분리장치(100)로부터 기판 반출장치(200)로 분리 대상(Q)의 인계가 이루어진다.

단계 S17에서는, 제어부(7)는 밸브 구동부(60)에 공기 압력원으로부터 흡착부(210)로의 부압의 부여를 정지하기 위해 밸브를 전환시킨다. 이 경우, 제어부(7)는 흡착부(210)에 정압을 부여하도록 밸브 구동부(60)를 전환시켜도 좋다. 이에 의해 기판 반출장치(200)의 지지체(220)가 기판 탑재부(2b)에 접근해서 탑재면(2d)을 마주본 때 흡착부(210)로부터 분리 대상(Q)이 멀어지기 쉽다.

단계 S18에서는, 제어부(7)는 표리 반전해야 할 기판(P)이 있는가 여부를 판단한다. 표리 반전해야 할 기판(P)이 준비되어 있는 경우에는 단계 S11~S17의 단계가 다시 실행된다. 단계 S18에서 표리 반전해야 할 기판(P)이 없는 경우에는 기판 반전장치(1)에 의한 기판(P)의 분리 대상(Q)의 표리 반전은 종료한다.

<실시형태의 효과>

본 실시형태에 의하면 이하의 효과가 있다.

도 1 및 도 2에 나타내는 것과 같이, 기판 반전장치(1)에 있어서 기판 분리장치(100)의 지지체(30)와 기판 반출장치(200)의 지지체(220)가 Y축에 대칭으로 동작한다. 또, 지지체(30)와 지지체(220)에 대해서 동일한 구성의 연계기구(42)를 적용하고 있다. 따라서 기판 반전장치(1)를 용이하게 구성할 수 있다.

도 3(a)~(d) 및 도 4(a)~(c)에 나타내는 것과 같이, 기판(P)의 표리 반전은 제 1 위치와 제 2 위치와의 사이에서 실시되고 있다. 연계기구(42)에서 만일 연결부(44)가 설치되지 않을 경우, 도 3(a)의 상태에서는 회동 부재(46)의 우회전의 회동에 의해서 지지체(30)도 우회전으로 회동한다. 이 경우, 회동 부재(46)가 180도 회동하지 않으면 기판(P)은 표리 반전되지 않는다. 그러므로 기판 반전장치(1)는 수평방향 및 수직방향으로 스페이스가 필요하다. 이에 대해, 본 실시형태의 기판 반전장치(1)의 연계기구(42)는, 도 1에 나타내는 것과 같이, 지지 축(45), 회동 축(461) 및 접속 축(47)을 구비하고, 지지 축(45)과 접속 축(47)의 사이에는 직선이동 가능한 축(442)을 구비한다. 이에 의해 회동 부재(46)의 회동방향과는 반대의 방향으로 제 1 흡착부(101)를 회동시킬 수 있다. 즉, 연계기구(42)에 의해서 흡착부(10)의 회동방향의 변환이 이루어진다. 그러므로 흡착부(10)는 회동 범위가 90도 정도로 좋아지며, 제 2 위치에서 기판을 반전시킬 수 있다. 따라서 기판의 반전을 보다 작은 스페이스에서 실시할 수 있다.

또, 제 2 위치에서 기판(P)을 주고받는 동시에 기판(P)의 표리 반전이 실시된다. 따라서 효율적으로 기판(P)을 반전시킬 수 있다.

도 7(a)~(e)에 나타내는 것과 같이, 지지체(30)에 흡착부(10) 및 에어 실린더(50)가 설치되어 있다. 이와 같이 흡착부(10)와 가압부(20)가 지지체(30)의 이동과 함께 일체적으로 이동하는 구성이므로, 흡착부(10)와 가압부(20)를 서로 기판(P)에 대해서 접근시킬 수 있다. 따라서 기판 분리장치(100)의 소형화를 도모할 수 있다.

또, 피스톤 로드(51)는 스트로크 범위 내에서 이동하므로, 흡착부(10)가 분리 대상(Q)을 흡착한 후, 지지체(30)를 분리 대상(Q)으로부터 이탈시켜서 흡착부(10)를 이동시켜도, 계속해서 가압부(20)는 단재(R)에 접촉한다. 따라서 가압부(20)에 의해 단재(R)를 누르면서 분리 대상(Q)을 확실하고도 또한 원활하게 분리시킬 수 있다.

도 7(e)에 나타내는 것과 같이, 에어 실린더(50)에 부여하는 부압을 해제하면 스프링(52)에 의해서 피스톤 로드(51)는 인입 위치로 이동한다. 따라서 가압부(20)를 단재(R)로부터 빠르게 이탈시킬 수 있다. 이와 같이 가압부(20)를 보다 간단하고 쉽게 제어할 수 있다.

<실시형태의 변경 예>

상기 실시형태의 기판 분리장치(100)에서는 흡착부(10)와 에어 실린더(50)는 별개의 관에 의해 공기 압력원에 접속되어 있다. 변경 예의 기판 분리장치(100)에서는 이 관을 공통의 관으로 구성한다. 즉, 흡착부(10)와 공기 압력원을 접속하는 관은 에어 실린더(50)에도 접속된다.

이와 같이 구성한 경우, 흡착부(10)에 부압을 부여하면 자동으로 에어 실린더(50)에도 부압을 부여하게 된다. 따라서 기판 분리장치(100)의 구성을 간소화할 수 있다.

또한, 상기의 실시형태의 기판 분리장치(100)에서 에어 실린더(50)를 전자밸브와 접속해도 좋다. 전자밸브를 사용한 경우, 에어 실린더(50)에 부압을 부여하는 타이밍이나 부압으로의 부여를 정지하는 타이밍을 더 세밀하게 제어할 수 있다.

또, 상기의 실시형태의 기판 분리장치(100)는 기판을 반전시키는 장치에 적용하였으나, 기판 분리장치(100)를 단독으로 사용해도 상관없다. 이 경우, 예를 들어 승강 부재를 지지체(30)에 설치하고, 승강 부재를 모터 등에 의해서 구동하도록 구성할 수 있다.

본 발명의 실시형태는 특허청구범위에 나타낸 기술적 사상의 범위 내에서 적절하게 다양한 변경이 가능하다.

1 기판 반전장치
2 기판 탑재부
2a, 2b 기판 탑재부
2c, 2d 탑재면
10 흡착부
20 가압부
30 지지체
40 제 1 구동부
50 제 2 구동부(에어 실린더)
51 피스톤 로드
52 스프링
100 기판 분리장치
200 기판 반출장치
P 기판
Q 분리 대상
R 단재

Claims (8)

1. 복수로 분할된 기판으로부터 일부를 분리하는 기판 분리장치로,
   분리 대상을 흡착하기 위한 흡착부와,
   상기 분리 대상의 인접 위치를 가압하기 위한 가압부와,
   상기 흡착부를 지지하는 지지체와,
   상기 지지체를 상기 기판에 대해서 접근 및 이탈시키는 제 1 구동부와,
   상기 지지체에 설치되어 상기 가압부를 상기 기판에 대해서 접근 및 이탈시키는 제 2 구동부를 구비하며,
   상기 제 2 구동부는 상기 흡착부가 상기 기판의 상기 분리 대상에 접촉한 때의 상기 지지체와 상기 흡착부 사이의 거리보다 긴 스트로크로 상기 가압부를 상기 지지체에 대해서 이동시키는 것을 특징으로 하는 기판 분리장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 제 2 구동부는 에어 실린더이고, 상기 에어 실린더의 피스톤 로드에 상기 가압부가 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 분리장치.
3. 제2항에 있어서,
   상기 에어 실린더는 스프링의 탄성력에 의해 상기 피스톤 로드를 인입 위치로 이동시키는 단동형의 에어 실린더인 것을 특징으로 하는 기판 분리장치.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 흡착부와 상기 가압부의 세트가 1열로 배열된 복수의 상기 분리 대상에 각각 대응하도록 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 분리장치.
5. 제4항에 있어서,
   상기 제 1 구동부는 각 세트의 상기 지지체가 접속된 공통의 부재를 이동시켜서 각 세트의 상기 지지체를 동시에 이동시키는 것을 특징으로 하는 기판 분리장치.
6. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 가압부는 상기 분리 대상의 주위에 복수 설치되고,
   상기 복수의 가압부가 각각 상기 분리 대상의 주위의 복수의 개소를 누르는 것을 특징으로 하는 기판 분리장치.
7. 제4항에 있어서,
   상기 가압부는 상기 분리 대상의 주위에 복수 설치되고,
   상기 복수의 가압부가 각각 상기 분리 대상의 주위의 복수의 개소를 누르는 것을 특징으로 하는 기판 분리장치.
8. 제5항에 있어서,
   상기 가압부는 상기 분리 대상의 주위에 복수 설치되고,
   상기 복수의 가압부가 각각 상기 분리 대상의 주위의 복수의 개소를 누르는 것을 특징으로 하는 기판 분리장치.

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