KR20190064657A - 흡착 장치 및 처리 장치 - Google Patents

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KR20190064657A
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타츠로 마츠시마
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가부시끼가이샤 니혼 세이꼬쇼
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Abstract

(과제) 사이즈가 다른 피흡착체를 높은 작업 효율로 간단하게 흡착해서 고정할 수 있는 흡착 장치 및 그 흡착 장치를 구비하는 처리 장치를 제공한다.
(해결 수단) 필름재(2)를 차압에 의해 흡착하는 흡착부(61)를 구비하고, 흡착부(61)는 각각 독립적으로 흡착 동작이 가능한 복수의 흡착 영역(62a~62d)으로 구획되어 있고, 흡착 영역(62a~62d)의 각각에 진공 배기 라인(13a~13d)과 가스 공급 라인(16a~16d)이 연통 가능하게 접속되어 있고, 진공 배기 라인(13a~13d)과 가스 공급 라인(16a~16d)에 각각 개폐 밸브(14a~14d, 17a~17d)가 설치되어 있다.

Description

흡착 장치 및 처리 장치{ADSORPTION DEVICE AND PROCESSING DEVICE}
본 발명은 피흡착제를 흡착하는 흡착 장치 및 그 흡착 장치에 흡착된 피흡착제에 대하여 소정의 처리를 실시하는 처리 장치에 관한 것이다.
필름재와 시트지 등의 피처리체에 레이저 가공 등의 처리를 실시할 때에는 피처리체를 시료대 상에 차압에 의해 흡착해서 고정하는 것이 행해지고 있다(예를 들면 특허 문헌 1~4 참조). 또한, 사이즈가 다른 피처리체를 시료대에 흡착하는 경우에는, 시료대를 피처리체의 사이즈에 맞는 사이즈의 것으로 변경하거나, 사이즈가 다른 피처리체 중 최대 사이즈의 피처리체에 맞는 사이즈의 시료대를 사용하고, 피처리체의 사이즈에 따라서 사용하지 않는 흡착 영역을 시일재 등으로 덮는 것이 행해지고 있다(예를 들면 특허 문헌 1 참조).
도 3은 특허문헌 1에 기재된 흡착 에어리어 가변 장치를 나타내는 개략도이다.
묘화 대상물(110)이 배치되는 묘화 테이블(101)에는 다수의 관통 구멍(도시하지 않음)이 형성되어 있다. 묘화 테이블(101)의 Y축 방향 측면에는 묘화 테이블(101)에 형성된 다수의 관통 구멍이 모두 덮인 폭 방향(X축 방향)의 롤 스크린(102)이 설치되어 있다. 롤 스크린(102)은 통기성이 없는 시일재가 권회되어 있으며, 인출구에서는 시일재를 끌어내는 고정바(103)가 부착되어 있다. 묘화 테이블(101) 상의 양 측면에는 롤 스크린(102)으로부터 끌어낸 시일재를 정지(靜止)하기 위해 고정 바(103)를 거는 고정 핀(104)이 돌출되어 있다.
또한, 묘화 테이블(101)의 하부는 에어 누설이 없도록 형성된 박스로 되어 있다. 이 박스의 내부는 X축 방향으로 슬라이딩하는 시일판(105)에 의해서 2실로 나누어져 있다. 묘화 테이블(101)의 측부에는 박스 내의 시일판(105)을 육안으로 볼 수 있도록 투명창(111)이 형성되어 있다. 시일판(105)은 박스에 설치된 핸들(106)을 회전시킴으로써 X축 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있다.
묘화 테이블(101) 상의 묘화 대상물(110) 하부에는 박스 내부의 에어를 빨아 내기 위한 배기구(107)가 형성되어 있다. 배기구(107)에는 호스(109)를 통해 흡착 장치(108)가 접속되어 있다.
도 3에 나타내는 흡착 에어리어 가변 장치에서는 다음과 같이 해서 묘화 테이블(101) 상에 묘화 대상물(110)이 고정된다.
우선, 묘화 대상물(110)을 묘화 테이블(101) 상에 배치한다. 또한, 묘화 대상물(110)로 완전히 막지 못하는 관통 구멍을 롤 스크린(102)이 덮는 위치로 되도록 고정 바(103)를 고정 핀(104)에 걸어서 롤 스크린(102)으로 관통 구멍을 덮는다.
한편, 묘화 테이블(101)에 설치된 투명창(111)으로부터 시일판(105)을 육안으로 봐서 묘화 대상물(110)의 끝면부에 시일판(105)이 배치되도록 핸들(106)로 시일판(105)을 이동한다.
이어서, 흡착 장치(108)에서 시일판(105)을 사이에 두고 핸들(106)의 반대측의 묘화 테이블(101) 내부의 에어를 배기한다. 이렇게 해서, 대기압과 묘화 테이블(101) 내부의 부압의 차압에 의해 묘화 대상물(110)이 고정된다.
사이즈가 다른 묘화 대상물(110)을 고정하는 경우에는, 상기의 순서로 묘화 대상물(110)로 완전히 덮지 못하는 관통 구멍을 덮음으로써 묘화 대상물(110)이 고정된다.
일본 특허 공개 평 11-26912호 공보 일본 특허 공개 2001-199574호 공보 일본 특허 공개 2005-189365호 공보 일본 특허 공개 평 9-76088호 공보
그러나, 상기와 같이 사이즈가 다른 피처리체를 흡착해서 고정할 때마다, 사용하지 않는 흡착 영역을 시일재 등으로 덮거나 하고 있던 것에서는 작업 효율이 낮아진다는 문제가 있다. 또한, 피 처리체의 사이즈에 따라서 시료대 자체를 변경하는 경우도 마찬가지로 작업 효율이 낮아진다는 문제가 있다.
본 발명은 상기와 같이 종래의 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 사이즈가 다른 피흡착체를 높은 작업 효율로 간단하게 흡착해서 고정할 수 있는 흡착 장치 및 그 흡착 장치를 구비한 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.
본 발명의 흡착 장치 중 제 1 본 발명은 피흡착체를 차압에 의해 흡착하는 흡착부를 구비하고, 그 흡착부는 각각 독립적으로 흡착 동작이 가능한 복수의 흡착 영역으로 구획되어 있는 것을 특징으로 한다.
제 2 본 발명의 흡착 장치는 상기 제 1 본 발명에 있어서, 상기 흡착 영역 각각에 진공 배기 라인과 가스 공급 라인이 연통 가능하게 접속되어 있고, 상기 진공 배기 라인과 상기 가스 공급 라인에 각각 개폐 밸브가 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.
제 3 본 발명의 흡착 장치는 상기 제 2 본 발명에 있어서, 상기 흡착부는 각각의 흡착 영역에 흡착용의 통기 구멍이 복수 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
제 4 본 발명의 흡착 장치는 상기 제 3 본 발명에 있어서, 상기 복수의 통기 구멍으로 연통하는 격실부가 상기 흡착 영역마다 설치되어 있고, 상기 진공 배기 라인과 상기 가스 공급 라인이 상기 복수의 통기 구멍 및 상기 격실부를 통해서 상기 흡착 영역으로 연통 가능하게 접속되어 있는 것을 특징으로 한다.
제 5 본 발명의 흡착 장치는 상기 제 1~제 4 본 발명의 어느 하나에 있어서, 상기 흡착부는 기대에 착탈 가능하게 설치된 흡착대에 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.
제 6 본 발명의 흡착 장치는 상기 제 5 본 발명에 있어서, 상기 기대는 상기 흡착대를 차압에 의해 흡착해서 설치 고정하는 흡착대 흡착부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
제 7 본 발명의 흡착 장치는 상기 제 1~제 6 본 발명의 어느 하나에 있어서, 상기 피흡착체는 필름재인 것을 특징으로 한다.
제 8 본 발명의 흡착 장치는 상기 제 7 본 발명에 있어서, 상기 필름재는 장척 띠상의 형상을 갖고, 상기 장척의 방향을 따라서 간헐적으로 반송되면서 상기 흡착부 상에서 상기 흡착 및 그 해제가 이루어지는 것이고, 상기 복수의 흡착 영역은 상기 반송 방향과 직교하는 방향으로 배열되고, 또한 상기 반송 방향을 따라서 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.
제 9 본 발명의 처리 장치는 상기 제 1~제 8 본 발명의 흡착 장치의 하나와,
상기 흡착부에 흡착된 상기 피흡착체에 대해 소정의 처리를 실시하는 처리부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
제 10 본 발명의 처리 장치는 상기 제 9 본 발명에 있어서, 상기 처리부는 상기 피흡착체에 대해 레이저 가공을 실시하는 레이저 가공부인 것을 특징으로 한다.
즉, 본 발명에 의하면 차압에 의해 피흡착체를 흡착하는 흡착부가 각각 독립적으로 흡착 동작이 가능한 복수의 흡착 영역으로 구획되어 있으므로, 피흡착체의 사이즈에 따라 복수의 흡착 영역 중 피흡착체의 흡착에 필요한 흡착 영역만을 흡착 동작시킬 수 있다.
따라서, 흡착해야 할 피흡착체가 사이즈가 다른 것으로 변경된 경우에는, 피흡착체의 사이즈에 따라 흡착 동작시키는 흡착 영역을 적절하게 변경함으로써 피 흡착체의 사이즈의 변경에 용이하게 대응할 수 있다. 종래의 흡착 장치와는 달리, 본 발명의 흡착 장치에서는 흡착부에 있어서의 피흡착체의 흡착에 불필요한 영역을 별도 시일재 등으로 덮을 필요도 없다.
또한, 흡착부를 구획하는 흡착 영역의 수는 2 이상이면 좋고, 본 발명으로서는 그 수는 한정되지 않는다. 또한, 흡착 영역의 크기와 형상도 특별히 한정되는 것은 아니고, 각 흡착 영역에서 크기나 형상이 다른 것이라도 좋다. 또한, 흡착 동작이 이루어지는 1개의 흡착 영역은 면방향으로 연속하고 있는 것 외에, 다른 흡착 영역을 사이에 두고 떨어져 존재하는 것이라도 좋다.
또한, 피흡착체가 후술하는 바와 같이 장척 형상을 가질 경우, 피흡착체가 배치되는 장척의 방향으로 흡착 영역이 신장되고, 인접하는 흡착 영역이 상기 장척 방향과 직교하는 방향으로 병설 배치되는 것을 예시할 수 있다. 이 배치 형태에 의하면, 장척 형상의 피흡착체의 폭이 다른 경우에도 흡착 동작을 행하는 흡착 영역의 수를 바꿈으로써 용이하게 대응할 수 있다.
흡착부에 의해 피흡착체를 흡착하는 구성으로서는, 복수의 흡착 영역의 각각에 개폐 밸브가 설치된 진공 배기 라인을 연통 가능하게 접속한 구성을 사용할 수 있다. 복수의 진공 배기 라인에는 각각에 개폐 밸브가 설치되어 있기 때문에 공통의 진공 펌프에 접속할 수 있다. 이 경우, 피흡착체의 흡착에 필요한 흡착 영역에 접속된 진공 배기 라인의 개폐 밸브를 개방하고, 다른 진공 배기 라인의 개폐 밸브를 폐쇄하면 된다. 또한, 적어도 흡착이 행해지는 흡착 영역에 접속된, 이하에 기술하는 가스 공급 라인의 개폐 밸브는 폐쇄해 둔다. 이것에 의해, 개폐 밸브가 개방된 진공 배기 라인을 통해서 피흡착체의 흡착에 필요한 흡착 영역만을 진공 배기해서 차압을 발생하고 피흡착체를 흡착할 수 있다. 또한, 흡착을 행하지 않는 흡착 영역에서는 가스 공급 라인의 개폐 밸브를 개방해서 분위기용으로 가스를 방출하는 것도 가능하다.
진공 배기할 때의 진공도의 정도는 피흡착체의 흡착에 필요로 되는 흡착력에 따라 적절히 설정할 수 있다.
또한, 상기 진공 배기 라인의 개폐 밸브의 개폐는 피흡착체의 사이즈에 따라 작업자가 수동으로 행해도 좋고, 제어부에 의해 자동적으로 행해도 좋다.
또한, 흡착부에 흡착된 피흡착체의 흡착을 해제하기 위한 구성으로서는 복수의 흡착 영역의 각각에 개폐 밸브가 설치된 가스 공급 라인을 연통 가능하게 접속한 구성을 사용할 수 있다. 복수의 가스 공급 라인에서는 각각에 개폐 밸브가 설치되어 있기 때문에 공통의 가스 공급원을 접속할 수 있다. 이 경우, 상기 진공 배기 라인의 개폐 밸브는 폐쇄된 뒤 피흡착체가 흡착하고 있는 흡착 영역에 접속된 가스 공급 라인의 개폐 밸브를 개방하고, 다른 가스 공급 라인의 개폐 밸브를 폐쇄한다. 이에 따라, 개폐 밸브가 개방된 가스 공급 라인을 통해서 피흡착체가 흡착하고 있는 흡착 영역에만 가스를 공급해서 차압을 해소하여 피흡착체의 흡착을 해제할 수 있다.
또한, 흡착을 해제하기 위해 공급하는 가스로서는 피흡착체에 영향을 주지 않는 것이 바람직하고, 예를 들면 질소 가스, 아르곤 가스 등의 불활성 가스, 클린 드라이 에어 등의 에어를 사용할 수 있다.
또한, 상기 가스 공급 라인의 개폐 밸브의 개폐는 피흡착체의 사이즈에 따라 작업자가 수동으로 행해도 좋고, 제어부에 의해 자동적으로 행해도 좋다.
흡착부는 각각의 흡착 영역에 흡착용의 통기 구멍이 복수 형성된 것으로 할 수 있다. 흡착용의 통기 구멍으로서는 피흡착체를 흡착하기 위해 차압을 발생할 수 있는 것이면 모든 형태의 통기 구멍을 사용할 수 있다.
예를 들면, 피흡착체가 지지되는 지지체 자체를 다공질재로 구성하고, 그 다공질재의 기공을 흡착용의 통기 구멍으로서 사용할 수 있다. 다공질재의 기공을 흡착용의 통기 구멍으로서 사용함으로써 흡착용의 통기 구멍으로서 지지부를 관통하는 복수의 관통 구멍 등을 별도 형성할 필요가 없다. 이 때문에, 피흡착체가 필름재 등과 같은 용이하게 변형될 수 있는 것이라도 흡착된 필름재의 평면도를 유지할 수 있는 등, 피흡착체의 형상을 용이하게 유지할 수 있다.
또한, 흡착용의 통기 구멍으로서 피흡착체가 지지되는 지지체를 관통하는 복수의 관통 구멍을 사용할 수도 있다. 관통 구멍의 구멍 지름은 피흡착체의 사이즈, 강성 등에 따라 적절히 설정할 수 있다.
복수의 통기 구멍에 대해서는 그 통기 구멍에 연통하는 격실부를 흡착 영역마다 설치할 수 있고, 진공 배기 라인과 가스 공급 라인은 복수의 통기 구멍 및 격실부를 통해서 흡착 영역에 연통 가능하게 접속할 수 있다. 이 경우, 상기 진공 배기 라인을 통한 흡착 영역의 진공 배기는 격실부 및 복수의 통기 구멍을 통해서 행해진다. 또한, 상기 가스 공급 라인을 통한 흡착 영역으로의 가스의 공급은 격실부 및 복수의 통기 구멍을 통해서 행해진다.
상기 흡착부는 기대에 착탈 가능하게 설치된 흡착대에 설치되어 있는 것으로 할 수 있다. 흡착부가 설치된 흡착대가 기대에 착탈 가능하게 설치되어 있기 때문에 흡착대를 용이하게 교환할 수 있다. 그래서, 흡착부의 사이즈가 다른 복수의 흡착대를 준비해 두고, 흡착 동작시켜야 할 흡착 영역의 변경으로는 대응할 수 없는 사이즈의 피흡착체의 경우에는 그 피흡착체의 사이즈에 대응할 수 있는 사이즈의 흡착부가 설치된 흡착대로 교환한다. 이에 따라, 흡착 동작시켜야 할 흡착 영역의 변경으로는 대응할 수 없는 사이즈의 피흡착체에 대해서도 용이하게 대응할 수 있다.
흡착대가 착탈 가능하게 설치된 기대는 흡착대를 차압에 의해 흡착해서 설치 고정하는 흡착대 흡착부가 설치된 것으로 할 수 있다. 흡착대 흡착부에는 진공 배기 라인과 가스 공급 라인을 연통 가능하게 접속하고, 각 라인에 개폐 밸브를 설치할 수 있다.
이 경우, 기대에 흡착대를 설치 고정하는 경우에는 가스 공급 라인의 개폐 밸브를 폐쇄함과 아울러 진공 배기 라인의 개폐 밸브를 개방하고, 진공 배기 라인을 통해서 흡착대 흡착부를 진공 배기해서 차압을 발생하여 흡착대를 흡착한다. 또한, 흡착대의 설치 고정을 해제하는 경우에는 진공 배기 라인의 개폐 밸브를 폐쇄함과 아울러 가스 공급 라인의 개폐 밸브를 개방하고, 가스 공급 라인을 통해서 흡착대 흡착부에 가스를 공급해서 차압을 해소하여 흡착대의 설치 고정을 해제한다.
본 발명의 흡착 장치에서 흡착의 대상이 되는 피흡착체는 차압에 의해 흡착할 수 있는 것이면 특별히 한정되는 것은 아니다. 피흡착체로서는, 예를 들면 필름상, 시트상, 판상의 것 등을 들 수 있고 특히 필름재를 적합한 피흡착체로서 들 수 있다.
피흡착체로서의 필름재는 특별히 그 형상 기타의 형태가 한정되는 것은 아니지만, 예를 들면 필름재로서는 장척 띠상의 형상을 갖고, 장척의 방향을 따라서 간헐적으로 반송되는 것을 들 수 있다. 간헐적으로 반송되는 필름재에는 흡착부 상에서 흡착 및 그 해제를 행할 수 있다. 또한, 이 경우, 복수의 흡착 영역은 필름재의 반송 방향과 직교하는 방향으로 배열되고, 또한 반송 방향을 따라서 배치되어 있도록 구획할 수 있다.
본 발명의 흡착 장치는 그 흡착 장치에 흡착된 피흡착체에 대해 소정의 처리를 실시하는 처리부와 아울러 처리 장치를 구성할 수 있다.
처리부에 있어서의 처리 내용은 본 발명으로서는 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들면 피흡착체에 대해 레이저 광에 의한 묘화, 절단, 천공 등의 레이저 가공을 실시하는 것 등을 예시할 수 있다.
이상과 같이, 본 발명에 의하면 피흡착체를 차압에 의해 흡착하는 흡착부를 구비하고, 그 흡착부는 각각 독립적으로 흡착 동작이 가능한 복수의 흡착 영역으로 구획되어 있으므로, 사이즈가 다른 피흡착체를 높은 작업 효율로 간단하게 흡착해서 고정할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시형태의 흡착 장치를 나타내는 개략 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일실시형태의 흡착 장치를 나타내는 개략 정면도이다.
도 3은 종래의 흡착 에어리어 가변 장치를 나타내는 개략도이다.
본 발명의 일실시형태의 흡착 장치를 도 1, 도 2에 의거하여 설명한다. 도 1은 본 실시형태의 흡착 장치를 나타내는 평면도, 도 2는 본 실시형태의 흡착 장치를 포함하는 레이저 가공 장치를 나타내는 정면도이다.
본 실시형태의 흡착 장치(3)는 필름재(2)에 레이저 가공을 실시하는 레이저 가공 장치(1)에 구비된 것이며, 레이저 가공을 실시하는 필름재를 흡착해서 고정한다. 레이저 가공 장치(1)는 본 발명의 처리 장치의 일실시형태이기도 하다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 레이저 가공 장치(1)는 필름재(2)를 흡착해서 고정하는 흡착 장치(3)와 흡착 장치(3)에 흡착 고정된 필름재(2)에 레이저 가공을 실시하는 레이저 가공부(4)를 구비하고 있다.
흡착 장치(3)는 평판상의 기대(5)와, 기대(5) 상에 착탈 가능하게 설치된 직육면체 형상의 흡착대(6)를 갖고 있다.
기대(5)는 내측에 공동부(51)를 갖고 있고, 공동부(51)에는 기대(5)의 외부 일측방으로부터 내부로 관통하는 진공 배기 라인(7)의 일단이 접속되어 있다. 진공 배기 라인(7)은 개폐 밸브(8)가 개재되고, 타단에 진공 펌프(9)가 접속되어 있다.
또한, 공동부(51)에는 기대(5)의 외부 타측방으로부터 내부로 관통하는 가스 공급 라인(10)의 일단이 접속되어 있다. 가스 공급 라인(10)은 개폐 밸브(11)가 개재되고, 타단에 가스 공급원(12)이 접속되어 있다.
기대(5)의 상면부에는 흡착대(6)를 차압에 의해 흡착하는 흡착대 흡착부(52)가 기대(5)의 표면에 노출되어 설치되어 있다. 흡착대 흡착부(52)에는 흡착대 흡착부(52)의 상면에 개구하고, 공동부(51)에 연통하도록 관통하는 흡착용의 통기 구멍(도시하지 않음)이 복수 형성되어 있다.
흡착대 흡착부(52)의 복수의 통기 구멍은 적합하게는 면방향에 있어서 균등하게 배열되어 있다. 또한, 기대(5)의 상면부에 있어서의 흡착대 흡착부(52)가 설치되는 영역을 다공질재로 구성하고, 그 다공질재의 기공에 의해 흡착대 흡착부(52)의 복수의 통기 구멍을 구성할 수도 있다.
흡착대(6)의 상층부에는 필름재(2)를 차압에 의해 흡착하는 흡착부(61)가 흡착대(6)의 표면에 노출되어 설치되어 있고, 흡착부(61)는 각각 독립적으로 흡착 동작 가능한 4개의 흡착 영역(62a, 62b, 62c, 62d)으로 구획되어 있다.
흡착부(61)는 직사각형상의 형상을 갖고, 상면이 평면으로 되어 있다. 흡착 영역(62a, 62b, 62c, 62d)은 흡착부(61)를 단변 방향에 있어서 복수로 구획한 것이고, 각 흡착 영역(62a, 62b, 62c, 62d)은 흡착부(61)의 장변 방향을 따라서 흡착부 (61)의 전장에 걸쳐 있다. 이 실시형태에서는 흡착 영역(62a, 62b, 62c, 62d)은 동일 형상을 갖고 있다. 단, 본 발명으로서는 각 흡착 영역이 동일 형상을 갖는 것을 요하지 않는다.
흡착대(6)는 각 흡착 영역(62a, 62b, 62c, 62d)에 대응해서 내부에 격실부 (63a, 63b, 63c, 63d)를 갖고 있다. 또한, 흡착 영역(62a~62d)의 각각에는 흡착 영역(62a~62d)의 외부에 개구하고, 또한 상기 격실부(63a~63d)에 연통하도록 흡착용의 통기 구멍(도시하지 않음)이 복수 형성되어 있다. 또한, 흡착 영역(62a)은 상기 통기 구멍에 의해 격실부(63a)에만 연통하고, 흡착 영역(62b)은 상기 통기 구멍에 의해 격실부(63b)에만 연통하고, 흡착 영역(62c)은 상기 통기 구멍에 의해 격실부 (63c)에만 연통하고, 흡착 영역(62d)은 상기 통기 구멍에 의해 격실부(63d)에만 연통하고 있다.
흡착부(61)는 다공질재로 구성되어 있고, 이 다공질재의 기공에 의해 상기 통기 구멍이 구성되어 있다. 흡착부(61)가 다공질재로 구성되어 있음으로써 필름재(2)는 양호한 평면도를 가진 채로 흡착되어, 보다 높은 정밀도로 레이저 가공을 행할 수 있다. 또한, 흡착부(61)를 다공질재로 구성하지 않고 각 흡착 영역(62a~62d)의 복수의 통기 구멍을 면방향으로 균등하게 배열한 복수의 관통 구멍에 의해 구성할 수도 있다.
격실부(63a~63d)에는 흡착부(61)의 단변측 외측벽의 바깥쪽으로부터 흡착부(61) 내로 관통하는 진공 배기 라인(13a~13d)의 일단이 각각 접속되어 있다.
즉, 격실부(63a)에 진공 배기 라인(13a)이 접속되고, 격실부(63b)에 진공 배기 라인(13b)이 접속되고, 격실부(63c)에 진공 배기 라인(13c)이 접속되고, 격실부 (63d)에 진공 배기 라인(13d)이 접속되어 있다.
진공 배기 라인(13a~13d)은 각각 개폐 밸브(14a~14d)가 설치되고, 타단에 공통의 진공 펌프(15)가 접속되어 있다. 또한, 진공 펌프(15) 및 진공 펌프(9)로서 공통의 진공 펌프를 사용해도 좋다.
또한, 격실부(63a~63d)에는 흡착부(61)의 단변측 외측벽의 바깥쪽으로부터 흡착부(61) 내로 관통하는 가스 공급 라인(16a~16d)의 일단이 각각 접속되어 있다. 즉, 격실부(63a)에 가스 공급 라인(16a)이 접속되고, 격실부(63b)에 가스 공급 라인 (16b)이 접속되고, 격실부(63c)에 가스 공급 라인(16c)이 접속되고, 격실부(63d)에 가스 공급 라인(16d)이 접속되어 있다.
가스 공급 라인(16a~16d)은 각각 개폐 밸브(17a~17d)가 설치되고, 타단에 공통의 가스 공급원(18)이 접속되어 있다. 또한, 가스 공급원(18) 및 가스 공급원(12)으로서 공통의 가스 공급원을 사용해도 좋다.
필름재(2)는 장척 띠상의 형상을 갖고 있으며, 흡착대(6)의 양측에는 필름재(2)를 그 길이 방향을 따라서 간헐적으로 반송하는 반송 롤러(19a) 및 반송 롤러 (19b)가 각각 배치되어 있다. 반송 롤러(19a, 19b)는 반송 롤러(19a)측으로부터 반송 롤러(19b)측을 향해서 흡착부(61) 상을 통과하도록 필름재(2)를 반송할 수 있다.
또한, 반송 롤러(19a)의 상류측에는 레이저 가공을 실시하는 필름재(2)를 권출하는 권출기(도시하지 않음)가 설치되어 있다. 또한, 반송 롤러(19b)의 하류측에는 레이저 가공이 실시된 필름재(2)를 권취하는 권취기(도시하지 않음)가 설치되어 있다.
흡착대(6)의 상방에는 레이저 가공부(4)가 배치되어 있다. 레이저 가공부(4)는 가공용의 레이저 광(41)을 출력하는 레이저 광원(42)과, 레이저 광원(42)으로부터 출력된 레이저 광(41)을 흡착 장치(3)에 흡착 고정된 필름재(2)에 조사하는 광학계(43)를 구비하고 있다. 레이저 광원(42)에는, 예를 들면 CO2레이저 등을 이용할 수 있지만, 본 발명으로서는 레이저의 종별이 특별히 한정되는 것은 아니다.
광학계(43)에는 레이저 광(41)을 흡착대(6) 상의 필름재(2)에 반사해서 도파하는 미러(43a) 등을 갖고 있다. 광학계(43)는 그 밖에 호모지나이저나 실린드리컬 렌즈 등의 적절한 광학계 부재를 가질 수 있다. 또한, 광학계(43)는 레이저 광 (41)의 필름재(2) 상에 있어서의 조사 위치를 상대적으로 변화시킬 수 있고, 레이저 광(41)에 의해 필름재(2)에 묘화 등의 레이저 가공을 실시할 수 있다.
이어서, 상기 도 1, 도 2에 나타내는 흡착 장치(3) 및 이것을 구비하는 레이저 가공 장치(1)의 동작에 대해서 설명한다.
이하에서는, 필름재(2)가 흡착 영역(62a~62d) 중 2영역분의 폭의 것인 경우에 대해서 설명한다.
레이저 가공에 앞서, 기대(5) 상에는 흡착부(61)를 갖는 흡착대(6)가 설치되어 있다. 이어서, 가스 공급 라인(10)의 개폐 밸브(11)를 폐쇄함과 아울러 진공 배기 라인(7)의 개폐 밸브(8)를 개방한다. 이 상태에서, 진공 배기 라인(7)의 타단에 접속된 진공 펌프(9)에 의해 공동부(51) 내를 진공 배기한다. 이것에 의해, 흡착대 흡착부(52)는 흡착대 흡착부(52)에 형성된 복수의 통기 구멍 및 공동부(51)를 통해서 진공 배기되고, 차압에 의해 흡착대(6)가 기대(5) 상에 흡착되어 설치 고정된다.
이어서, 반송 롤러(19a, 19b)에 의해 흡착부(61) 상에서 필름재(2)를 반송하고, 레이저 가공을 실시하는 필름재(2)의 부분을 흡착부(61) 상에 위치시켜서 필름재(2)의 반송을 정지한다. 이때, 흡착 영역(62a~62d) 중 2영역분의 폭을 갖는 필름재(2)가, 예를 들면 흡착 영역(62b, 62c)의 2영역과 겹치도록 필름재(2)와 흡착 장치(3)의 상대 위치를 미리 설정해 둔다.
이어서, 필름재(2)가 겹쳐 있는 흡착 영역(62b, 62c)에 대응하는 격실부(63b, 63c)에 접속된 진공 배기 라인(13b, 13c)의 개폐 밸브(14b, 14c)를 개방하고, 다른 진공 배기 라인(13a, 13d)의 개폐 밸브(14a, 14d)를 폐쇄한다. 또한, 가스 공급 라인(16a~16d)의 개폐 밸브(17a~17d)는 모두 폐쇄해 둔다.
이어서, 진공 펌프(15)에 의해 진공 배기 라인(13b, 13c)을 통해서 격실부 (63b, 63c)의 진공 배기를 행한다. 이것에 의해, 필름재(2)가 겹쳐 있는 흡착 영역 (62b, 62c)에서는 흡착 영역(62b, 62c)에 형성된 복수의 통기 구멍을 통해서 차압이 생기고, 필름재(2)가 흡착 영역(62b, 62c)에 흡착되어서 고정된다.
필름재(2)를 흡착 영역(62b, 62c)에 흡착해서 고정한 후, 레이저 광원(42)으로부터 레이저 광(41)을 출력한다. 레이저 광(41)은 광학계(43)에 의해 레이저 가공의 내용에 따라서 소정의 궤적을 그리면서 흡착대(6) 상의 필름재(2)에 조사된다. 이렇게 해서, 필름재(2)에 대해 레이저 광(41)에 의해 레이저 가공이 실시된다.
레이저 가공의 종료 후, 격실부(63b, 63c)에 접속된 진공 배기 라인(13b, 13c)의 개폐 밸브(14b, 14c)를 폐쇄하고, 격실부(63b, 63c)에 접속된 가스 공급 라인(16b, 16c)의 개폐 밸브(17b, 17c)를 개방한다. 또한, 다른 가스 공급 라인(16a, 16d)의 개폐 밸브(17a, 17d)는 폐쇄 상태를 유지한다.
이어서, 가스 공급원(18)에 의해 가스 공급 라인(16b, 16c)을 통해서 격실부 (63b, 63c)에 가스를 공급한다. 가스 공급원(18)에 의해 공급하는 가스로서는 질소 가스, 아르곤 가스 등의 불활성 가스, 클린 드라이 에어 등의 에어를 사용한다.
이것에 의해, 필름재(2)가 흡착되어 있는 흡착 영역(62b, 62c)에는 흡착 영역(62b, 62c)에 형성된 복수의 통기 구멍을 통해서 가스가 공급되고, 상기한 차압이 해소되어 필름재(2)의 흡착이 해제된다. 또한, 가스의 공급량에 따라서는 필름재(2)를 흡착부(61)로부터 밀어 박리시키는 작용도 얻어진다. 필름재(2)의 흡착이 해제된 후, 개폐 밸브(17b, 17c)를 폐쇄한다.
이어서, 반송 롤러(19a, 19b)에 의해 흡착이 해제된 필름재(2)를 반송하고, 다음에 처리를 행할 부분을 흡착부(61) 상에 위치시켜서 마찬가지로 처리를 행한다.
이후, 상기와 마찬가지로 해서 필름재(2)의 흡착, 레이저 가공, 필름재(2)의 흡착의 해제, 및 필름재(2)의 반송을 순차 반복함으로써 장척 띠상의 필름재(2)의 각 부분에 레이저 가공을 실시할 수 있다.
이어서, 레이저 가공을 실시하는 필름재(2)가 흡착 영역(62a~62d) 중 3영역분의 폭의 것으로 변경된 경우에 대해서 설명한다.
우선, 반송 롤러(19a, 19b)에 의해 폭이 넓은 필름재(2)를 반송하고, 필름재(2)의 레이저 가공을 실시하는 부분을 흡착부(61) 상에 위치시킨다. 그 후, 필름재(2)의 반송을 정지한다. 이때, 흡착 영역(62a~62d) 중 3영역분의 폭을 갖는 필름재(2)가, 예를 들면 흡착 영역(62a, 62b, 62c)의 3영역과 겹치도록 필름재(2)와 흡착 장치(3)의 상대 위치를 미리 설정해 둔다.
이어서, 필름재(2)가 겹쳐 있는 흡착 영역(62a, 62b, 62c)에 대응하는 격실부(63a~63c)에 접속된 진공 배기 라인(13a, 13b, 13c)의 개폐 밸브(14a, 14b, 14c)를 개방하고, 다른 진공 배기 라인(13d)의 개폐 밸브(14d)를 폐쇄한다. 또한, 가스 공급 라인(16a~16d)의 개폐 밸브(17a~17d)는 모두 폐쇄해 둔다.
이어서, 진공 펌프(15)에 의해 진공 배기 라인(13a, 13b, 13c)을 통해서 격실부(63a, 63b, 63c)의 진공 배기를 행한다. 이에 따라, 필름재(2)가 겹쳐 있는 흡착 영역(62a, 62b, 62c)에서는 흡착 영역(62a, 62b, 62c)에 형성된 복수의 통기 구멍을 통해서 차압이 생기고, 필름재(2)가 흡착 영역(62a, 62b, 62c)에 흡착되어서 고정된다.
필름재(2)를 흡착 영역(62a, 62b, 62c)에 흡착해서 고정한 후, 레이저 광원(42)으로부터 레이저 광(41)을 출력한다. 레이저 광(41)은 광학계(43)에 의해 레이저 가공의 내용에 따라 소정의 궤적을 그리면서 흡착대(6) 상의 필름재(2)에 조사된다. 이렇게 해서, 필름재(2)에 대해 레이저 광(41)에 의해 레이저 가공이 실시된다.
레이저 가공의 종료 후, 격실부(63a, 63b, 63c)에 접속된 진공 배기 라인(13a, 13b, 13c)의 개폐 밸브(14a, 14b, 14c)를 폐쇄하고, 격실부(63a, 63b, 63c)에 접속된 가스 공급 라인(16a, 16b, 16c)의 개폐 밸브(17a, 17b, 17c)를 개방한다. 또한, 다른 가스 공급 라인(16d)의 개폐 밸브(17d)는 폐쇄 상태를 유지한다.
이어서, 가스 공급원(18)에 의해 가스 공급 라인(16a, 16b, 16c)을 통해서 격실부(63a, 63b, 63c)에 가스를 공급한다.
이에 따라, 필름재(2)가 흡착되어 있는 흡착 영역(62a, 62b, 62c)에는 흡착 영역 (62a, 62b, 62c)에 형성된 복수의 통기 구멍을 통해서 가스가 공급되고, 상기한 차압이 해소되어서 필름재(2)의 흡착이 해제된다. 또한, 가스의 공급에 따라서는 필름재(2)를 흡착부(61)로부터 밀어 박리시키는 작용도 얻어진다. 필름재(2)의 흡착이 해제된 후, 개폐 밸브(17a, 17b, 17c)를 폐쇄한다.
이어서, 반송 롤러(19a, 19b)에 의해 흡착이 해제된 필름재(2)를 반송하고, 다음에 처리를 행할 부분을 흡착부(61) 상에 위치시켜서 마찬가지로 처리를 행한다.
이후, 상기와 마찬가지로 해서 필름재(2)의 흡착, 레이저 가공, 필름재(2)의 흡착의 해제, 및 필름재(2)의 반송을 순차 반복함으로써 장척 띠상의 필름재(2)의 각 부분에 레이저 가공을 실시할 수 있다.
이상과 같이, 필름재(2)가 폭이 다른 것으로 변경된 경우라도 필름재(2)의 폭에 따라서 흡착 동작시키는 흡착 영역(62a~62d)을 적절히 변경함으로써 용이하게 대응할 수 있다. 따라서, 필름재(2)의 흡착 고정의 작업 효율을 향상시킬 수 있으며, 나아가서는 레이저 가공의 작업 효율도 향상시킬 수 있다.
또한, 필름재(2)의 폭이 흡착 영역(62a~62d)의 폭에 대응하지 않는 경우, 예를 들면 필름재의 폭 방향 단부가 흡착 영역의 중앙부 등에 위치하는 경우에는 흡착대(6)를 흡착 영역의 폭이 필름재(2)의 폭에 맞는 것으로 교환함으로써 대응할 수 있다.
흡착대(6)를 교환하는 경우에는 이하와 같이 해서, 기대(5) 상에 설치 고정되어 있는 흡착대(6)를 분리한 후, 새로운 흡착대를 기대(5) 상에 설치 고정한다.
우선, 진공 배기 라인(7)의 개폐 밸브(8)를 폐쇄함과 아울러 가스 공급 라인 (10)의 개폐 밸브(11)를 개방한다. 이 상태에서, 가스 공급 라인(10)의 타단에 접속된 가스 공급원(12)으로부터 가스의 공급을 행한다. 이에 따라, 흡착대 흡착부(52)에는 가스 공급 라인(10), 공동부(51), 및 흡착대 흡착부(52)에 형성된 복수의 통기 구멍을 통해서 가스가 공급된다. 이 결과, 흡착대(6)를 흡착하는 차압이 해소되어서 흡착대(6)의 흡착이 해제된다. 그 후, 흡착이 해제된 흡착대(6)를 기대(5) 상으로부터 분리한다.
이어서, 기대(5) 상에 레이저 가공을 실시하는 필름재(2)의 사이즈에 대응한 사이즈의 흡착 영역을 갖는 새로운 흡착대(도시하지 않음)를 설치한다. 이어서, 가스 공급 라인(10)의 개폐 밸브(11)를 폐쇄함과 아울러 진공 배기 라인(7)의 개폐 밸브(80)를 개방한다. 이 상태에서, 진공 배기 라인(7)의 타단에 접속된 진공 펌프(9)에 의해 진공 배기한다. 이에 따라, 흡착대 흡착부(52)는 흡착대 흡착부(52)에 형성된 복수의 통기 구멍 및 공동부(51)를 통해서 진공 배기된다. 이 결과, 차압에 의해 새로운 흡착대가 기대(5) 상에 흡착되어서 설치 고정된다.
이와 같이, 흡착대를 용이하게 교환할 수 있기 때문에 흡착 동작시켜야 할 흡착 영역(62a~62d)의 변경으로는 대응할 수 없는 사이즈의 필름재(2)에 대해서도 용이하게 대응할 수 있다. 또한, 변경한 흡착대에서는 흡착 영역의 폭에 맞으면 사이즈가 다른 필름재(2)에 대해 레이저 가공을 더 행할 수 있다.
또한, 상기 실시형태에서는 장척 띠상의 형상을 갖는 필름재(2)를 흡착하는 것에 대해 설명했지만, 필름재(2)는 장척 띠상의 형상을 갖는 것에 한정되는 것이 아니라 모든 형상을 갖는 것이라도 좋다.
또한, 상기 실시형태에서는 필름재(2)를 흡착 장치(3)에 흡착하고, 필름재 (2)에 대해 레이저 가공을 실시하는 것에 대해 설명했지만, 흡착 장치(2)에 흡착되는 피흡착체는 필름재에 한정되는 것이 아니고, 차압에 의해 흡착할 수 있는 것이면 된다. 또한, 피흡착체에 실시하는 처리도 레이저 가공에 한정되는 것이 아니고 여러가지의 처리를 실시할 수 있다.
또한, 상기 실시형태에서는 흡착부(61)가 4개의 흡착 영역(62a~62d)으로 구획되어 있는 것에 대해 설명했지만, 흡착 영역의 수나 흡착부의 구획의 형태는 상기 내용에 한정되는 것이 아니고, 흡착해야 하는 피흡착체의 사이즈, 형상 등에 따라서 적절히 변경할 수 있다.
1: 레이저 가공 장치 2: 필름재
3: 흡착 장치 4: 레이저 가공부
5: 기대 52: 흡착대 흡착부
6: 흡착대 61: 흡착부
62a~62d: 흡착 영역 63a~63d: 격실부
7: 진공 배기 라인 8: 개폐 밸브
10: 가스 공급 라인 11: 개폐 밸브
13a~13d: 진공 배기 라인 14a~14d: 개폐 밸브
16a~16d: 가스 공급 라인 17a~17d: 개폐 밸브
19a, 19b: 반송 롤러

Claims (8)

  1. 피흡착체를 차압에 의해 흡착하는 흡착부를 구비하고, 그 흡착부는 각각 독립적으로 흡착 동작이 가능한 복수의 흡착 영역으로 구획되며, 각각의 상기 흡착 영역에 흡착용의 통기 구멍이 복수 형성되어 있고,
    상기 흡착부는, 상기 흡착 영역의 구획이 다른 것으로 교환 가능하게 기대에 착탈 가능하게 설치된 흡착대에 설치되어 있고,
    상기 흡착대에, 상기 흡착 영역의 상기 통기 구멍에 연통하는 격실부가 상기 흡착 영역마다 상기 흡착대에 일체적으로 설치되고, 상기 격실부를 통해서 상기 흡착 영역의 복수의 통기 구멍에 각각 연통 가능하게 복수의 진공 배기 라인이 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 흡착 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 흡착 영역의 각각에 진공 배기 라인과 가스 공급 라인이 연통 가능하게 접속되어 있고, 상기 진공 배기 라인과 상기 가스 공급 라인에 각각 개폐 밸브가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 흡착 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 기대는 상기 흡착대를 차압에 의해 흡착해서 설치 고정하는 흡착대 흡착부를 구비하는 것을 특징으로 하는 흡착 장치.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 피흡착체는 필름재인 것을 특징으로 하는 흡착 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 필름재는 장척 띠상의 형상을 갖고, 상기 장척의 방향을 따라서 간헐적으로 반송되면서 상기 흡착부 상에서 상기 흡착 및 그 해제가 이루어지는 것이고,
    상기 복수의 흡착 영역은 반송 방향과 직교하는 방향으로 배열되고, 또한 상기 반송 방향을 따라서 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 흡착 장치.
  6. 제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 흡착 장치와,
    상기 흡착부에 흡착된 상기 피흡착체에 대해 소정의 처리를 실시하는 처리부를 구비하는 것을 특징으로 하는 처리 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 처리부는 상기 피흡착체에 대해 레이저 가공을 실시하는 레이저 가공부인 것을 특징으로 하는 처리 장치.
  8. 제 4 항에 기재된 흡착 장치와,
    상기 흡착부에 흡착된 상기 피흡착체에 대해 소정의 처리를 실시하는 처리부를 구비하는 것을 특징으로 하는 처리 장치.
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