CN103717349A - 吸附装置及处理装置 - Google Patents

Abstract

一种吸附装置及具备该吸附装置的处理装置，能够以很高的作业效率简单地吸附固定不同尺寸的被吸附体。具备利用差压来吸附膜状材料(2)的吸附部(61)，吸附部(61)被划分成能够各自独立地实施吸附动作的多个吸附区域(62a～62d)，各个吸附区域(62a～62d)与真空排气线(13a～13d)和气体供给线(16a～16d)连通地连接，在真空排气线(13a～13d)和气体供给线(16a～16d)上分别设置了开闭阀(14a～14d)、(17a～17d)。

Description

吸附装置及处理装置

技术领域

本发明涉及将被吸附体加以吸附的吸附装置以及对该吸附装置所吸附的被吸附体进行规定的处理的处理装置。

背景技术

在对膜状材料或片状材料等被处理体实施激光加工等处理时，要利用差压将被处理体吸附固定在试样台上(例如参照专利文献1～4)。另外，在要将不同尺寸的被处理体吸附在试样台上时，要将试样台变更成与被处理体的尺寸相符的试样台，或是采用与不同尺寸的被处理体中最大尺寸的被处理体尺寸相符的试样台，并且根据被处理体的尺寸而将不用的吸附区域用片状材料等来覆盖(例如参照专利文献1)。

图3是表示专利文献1记载的吸附区域可变装置的示意图。

在配置了描画对象物110的描画台101上，穿设有许多通孔(图中未示)。在描画台101的Y轴方向侧面设有将在描画台101上穿设的许多通孔全部加以覆盖的宽度方向(X轴方向)的卷帘辊轴102。卷帘辊轴102上卷绕着不通气的片状材料，在拉出口安装了将片状材料拉出的固定杆103。在描画台101上的两侧面突出设有用于将固定杆103钩住的固定销104，以使从卷帘辊轴102拉出的片状材料停住。

另外，为了防止气体泄漏，描画台101的下部形成为箱体。该箱体的内部被沿X方向滑动的密封板105一分为二。在描画台101的侧部形成了透明窗口111，从而能够目视箱体内的密封板105。通过使设在箱体上的手柄106旋转，能够使密封板105沿X轴方向移动。

在描画台101上的描画对象物110的下部，设有用于将箱体内部的气体吸出的排气口107。排气口107经过软管109与吸附装置108连接。

采用图3所示的吸附区域可变装置时，如下述那样将描画对象物110固定在描画台101上。

首先，将描画对象物110置于描画台101上。再将固定杆103挂到固定销104处，使未能被描画对象物110堵住的通孔处于被卷帘辊轴102覆盖的位置，从而用卷帘辊轴102来覆盖通孔。

另一方面，从设在描画台101上的透明窗口111来目视密封板105，并用手柄106使密封板105移动，以使密封板105处于描画对象物110的端面部。

然后，用吸附装置108将隔着密封板105而处于与手柄106相反一侧的描画台101内部的气体排出。这样一来，就能够利用大气压与描画台101内部的负压之间的差压将描画对象物110固定。

在要将不同尺寸的描画对象物110加以固定时，就要通过上述步骤将未能用描画对象物110覆盖的通孔加以覆盖，由此将描画对象物110加以固定。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开平11－26912号公报

专利文献2：日本专利特开2001－199574号公报

专利文献3：日本专利特开2005-189365号公报

专利文献4：日本专利特开平9－76088号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

然而，如上述那样每次将不同尺寸的被处理体吸附以加以固定时，都要用密封材等来覆盖不使用的吸附区域，因此作业效率低下。另外，即使是根据被处理体的尺寸来改变试样台本身，同样存在作业效率低下的问题。

本发明正是为了解决上述已有的技术问题而作，目的在于提供一种吸附装置及具备该吸附装置的处理装置，能够以很高的作业效率简单地吸附固定不同尺寸的被吸附体。

解决技术问题所采用的技术方案

本发明的吸附装置的第一方案的特征是，具备利用差压来吸附被吸附体的吸附部，该吸附部被划分成能够各自独立地实施吸附动作的多个吸附区域。

本发明第二方案的吸附装置是在所述第一方案的基础上，所述吸附区域中的各个区域能与真空排气线和气体供给线连通地连接，并且在所述真空排气线和所述气体供给线上分别设置了开闭阀。

本发明第三方案的吸附装置是在所述第二方案的基础上，所述吸附部在各个吸附区域设置了多个吸附用的通气孔。

本发明第四方案的吸附装置是在所述第三方案的基础上，在每个所述吸附区域设置有与所述多个通气孔连通的分隔室部，所述真空排气线和所述气体供给线经过所述多个通气孔及所述分隔室部而与所述吸附区域连通地连接。

本发明第五方案的吸附装置是在所述第一方案至第四方案中任一方案的基础上，所述吸附部设在吸附台上，该吸附台能拆卸地设置在基座上。

本发明第六方案的吸附装置是在所述第五方案的基础上，所述基座具备利用差压将所述吸附台加以吸附并设置固定的吸附台吸附部。

本发明第七方案的吸附装置是在所述第一方案至第六方案中任一方案的基础上，所述被吸附体是膜状材料。

本发明第八方案的吸附装置是在所述第七方案的基础上，所述膜状材料具有长带形状，且一边沿着所述长带的长度方向被间歇地运送，一边在所述吸附部上被吸附及解除吸附，所述多个吸附区域沿着与所述运送方向正交的方向排列，且沿着所述运送方向配置。

本发明第九方案的处理装置的特征是，具备：所述第一方案至第八方案中任一方案的吸附装置；以及对被吸附在所述吸附部的所述被吸附体实施规定的处理的处理部。

本发明第十方案的处理装置是在所述第九方案的基础上，所述处理部是对所述被吸附体实施激光加工的激光加工部。即，根据本发明，由于将利用差压来吸附被吸附体的吸附部划分成能够各自独立地实施吸附动作的多个吸附区域，因此能够根据被吸附体的尺寸，只使多个吸附区域中为吸附被吸附体所需的吸附区域实施吸附动作。

从而，当要吸附的被吸附体变更为尺寸不同的被吸附体时，根据被吸附体的尺寸来适当地变更实施吸附动作的吸附区域，就能容易地应对被吸附体的尺寸变更。本发明的吸附装置与已有的吸附装置不同，无须另外用密封材等来覆盖吸附部中为吸附被吸附体所不需要的区域。

而关于划分吸附部的吸附区域的数量，只要是两个以上即可，没有限定数量。而且吸附区域的大小和形状也无特别限定，各吸附区域的大小和形状也可以不同。另外，实施吸附动作的一个吸附区域除了是在面向上连续之外，也可以夹着其他吸附区域而分离存在。

而且，当被吸附体如后述那样具有长带形状时，可以是吸附区域沿着被吸附体配置的长带的长度方向伸长，且邻接的吸附区域沿着与上述长带的长度方向正交的方向并排配置。采用这种配置形态，即使长带形状的被吸附体的宽度不同，也能通过改变实施吸附动作的吸附区域的数量来容易地应对。

作为用吸附部来吸附被吸附体的结构，可以采用多个吸附区域的各个区域与设有开闭阀的真空排气线连通地连接的结构。由于在多个真空排气线上分别设置了开闭阀，因此能够与共同的真空泵连接。在这种情况下，只要将与吸附被吸附体所需的吸附区域连接的真空排气线的开闭阀打开、将其他真空排气线的开闭阀关闭即可。不过，至少要先将与实施吸附的吸附区域连接的、下述气体供给线的开闭阀关闭。这样就能通过已打开开闭阀的真空排气线而只对吸附被吸附体所需的吸附区域实施真空排气，以产生差压，从而能吸附被吸附体。另外，在不实施吸附的吸附区域，也可以打开气体供给线的开闭阀而将气体放出以用于环境气体。

实施真空排气时的真空度程度可以根据吸附被吸附体所需的吸附力来适当地设定。

另外，关于上述真空排气线的开闭阀的开闭，既可以根据被吸附体的尺寸由作业人员手动控制，也可以通过控制部来自动控制。

另外，作为对被吸附于吸附部的被吸附体的吸附进行解除的结构，可以采用多个吸附区域的各个区域与设有开闭阀的气体供给线连通地连接的结构。由于在多个气体供给线上分别设置了开闭阀，因此能够与共同的气体供给源连接。在这种情况下，将上述真空排气线的开闭阀关闭，并且将与吸附着被吸附体的吸附区域连接的气体供给线的开闭阀打开，且将其他的气体供给线的开闭阀关闭。这样就能通过已打开开闭阀的气体供给线而只向吸附着被吸附体的吸附区域供给气体，以消除差压，从而能解除对被吸附体的吸附。

而作为为了解除吸附而供给的气体，最好是对被吸附体没有影响的气体，例如可以用氮气、氩气等惰性气体以及清洁干燥的空气等。

另外，关于上述气体供给线的开闭阀的开闭，既可以根据被吸附体的尺寸由作业人员手动控制，也可以通过控制部来自动控制。

吸附部可以在各个吸附区域设置多个吸附用的通气孔。作为吸附用的通气孔，只要能够产生吸附被吸附体用的差压即可，可以采用任意形态的通气孔。

例如，可以用多孔质材料来构成支承被吸附体的支承体自身，且将该多孔质材料的气孔作为吸附用的通气孔使用。通过将多孔质材料的气孔作为吸附用的通气孔使用，就无须另外设置贯穿支承部的多个通孔等来作为吸附用的通气孔。因此，即使被吸附体是膜状材料等容易变形的材料，也能确保被吸附的膜状材料的平面度等，能容易保持被吸附体的形状。

不过，作为吸附用的通气孔，也可以使用将支承被吸附体的支承体加以贯穿的多个通孔。通孔的孔径可以根据被吸附体的尺寸、刚性等适当设定。

对于多个通气孔，可以在每个吸附区域设置与该通气孔连通的分隔室部，真空排气线和气体供给线可以经过多个通气孔及分隔室部而与吸附区域连通地连接。在这种情况下，通过上述真空排气线进行的吸附区域的真空排气是经过分隔室部及多个通气孔来实施的。另外，通过上述气体供给线进行的向吸附区域的气体供给是经过分隔室部及多个通气孔来实施的。

上述吸附部可以设置在吸附台上，而该吸附台可拆卸地设置在基座上。由于设有吸附部的吸附台可拆卸地设置在基座上，因此容易更换吸附台。为此，事先准备吸附部的尺寸不同的多个吸附台，当遇到通过变更要实施吸附的吸附区域仍不能应对的那种尺寸的被吸附体时，就更换成设有能够应对该被吸附体的尺寸的吸附部的吸附台。这样，即使遇到通过变更要实施吸附动作的吸附区域仍不能应对的那种尺寸的被吸附体时，也很容易应对。

可拆卸地设置吸附台的基座可以设置有吸附台吸附部，该吸附台吸附部通过差压来吸附吸附台以进行设置固定。真空排气线和气体供给线与吸附台吸附部连通地连接，并在各线上设置有开闭阀。

在这种情况下，当在基座上设置固定吸附台时，要将气体供给线的开闭阀关闭，并且将真空排气线的开闭阀打开，通过真空排气线来对吸附台吸附部实施真空排气，以产生差压，来将吸附台加以吸附。另外，在要解除吸附台的设置固定时，就将真空排气线的开闭阀关闭，并将气体供给阀的开闭阀打开，通过气体供给线向吸附台吸附部供给气体，以消除差压，从而解除吸附台的设置固定。

在本发明的吸附装置中成为吸附对象的被吸附体只要是能通过差压来吸附即可，没有特别限定。作为被吸附体，例如可以是膜状、片状、板状，尤其是膜状材料，可以作为适宜的被吸附体。

关于作为被吸附体的膜状材料，对其形状以及形态并无特别限定，但作为膜状材料，可以具有长带形状，并且沿着长带的长度方向而被间歇地运送。对于被间歇地运送的膜状材料，可以在吸附部上进行吸附及解除吸附。另外，在这种情况下，可以将多个吸附区域划分成沿着与膜状材料的运送方向正交的方向排列并沿着运送方向配置。

本发明的吸附装置与处理部一同构成处理装置，该处理部对被吸附装置吸附的被吸附体实施规定的处理。

在处理部进行的处理内容并非本发明所特别限定的内容，例如可以是用激光对被吸附体实施描画、切断、打孔等激光加工等。

发明效果

如上所述，本发明具备通过差压来吸附被吸附体的吸附部，并且将该吸附部划分成能够各自独立地实施吸附动作的多个吸附区域，因此能够以很高的作业效率简单地吸附尺寸各异的被吸附体来加以固定。

附图说明

图1是本发明一实施方式的吸附装置的示意俯视图。

图2是该吸附装置的示意主视图。

图3是表示现有的吸附区域可变装置的示意图。

具体实施方式

基于图1、图2来说明本发明一实施方式的吸附装置。图1是表示本实施方式的吸附装置的俯视图，图2是表示包含本实施方式的吸附装置在内的激光加工装置的主视图。

本实施方式的吸附装置3设置在对膜状材料2实施激光加工的激光加工装置1上，用于将要实施激光加工的膜状材料加以吸附固定。激光加工装置1也是本发明的处理装置的一个实施方式。

如图2所示，激光加工装置1具有将膜状材料2加以吸附固定的吸附装置3、对吸附固定在吸附装置3上的膜状材料2实施激光加工的激光加工部4。

吸附装置3具有平板状的基座5和可拆卸地设置在基座5上的长方体状的吸附台6。

基座5在其内侧具有空洞部51，在空洞部51连接着从基座5的外部一侧向内部贯穿的真空排气线7的一端。真空排气线7上设有开闭阀8，另一端连接着真空泵9。

另外，在空洞部51连接着从基座5的外部另一侧向内部贯穿的气体供给线10的一端。气体供给线10上设有开闭阀11，另一端连接着气体供给源12。

在基座5的上表面部，通过差压来吸附吸附台6的吸附台吸附部52在基座5的表面露出设置。在吸附台吸附部52上，设有多个在吸附台吸附部52的上表面开口且以与空洞部51连通的方式贯通的吸附用的通气孔(图中未示)。

吸附台吸附部52的多个通气孔最好是在面方向上均匀地排列。另外，可以用多孔质材料来构成基座5的上表面部中设有吸附台吸附部52的区域，并且用该多孔质材料的气孔来构成吸附台吸附部52的多个通气孔。

在吸附台6的上层部，利用差压来吸附膜状材料2的吸附部61在吸附台6的表面露出，吸附部61被划分成能够各自独立地实施吸附动作的四个吸附区域62a、62b、62c、62d。

吸附部61具有矩形的形状，上表面为平面。吸附区域62a、62b、62c、62d通过将吸附部61在短边方向划分成多个区域来形成，各吸附区域62a、62b、62c、62d沿着吸附部61的长边方向在吸附部61的全长范围内延伸。在本实施方式中，吸附区域62a、62b、62c、62d具有相同形状。不过，本发明无须使各吸附区域形成相同形状。

吸附台6对应各吸附区域62a、62b、62c、62d而在内部具有分隔室部63a、63b、63c、63d。在吸附区域62a～62d的各个区域，以向吸附区域62a～62d的外部开口且与所述分隔室部63a～63d连通的方式设有多个吸附用的通气孔(图中未示)。不过，吸附区域62a通过上述通气孔而只与分隔室部63a连通，吸附区域62b通过上述通气孔而只与分隔室部63b连通，吸附区域62c通过上述通气孔而只与分隔室部63c连通，吸附区域62d通过上述通气孔而只与分隔室部63d连通。

吸附部61用多孔质材料构成，且通过该多孔质材料的气孔来构成所述通气孔。通过用多孔质材料来构成吸附部61，就能使膜状材料2保持良好的平面度而被吸附，能够以更高的精度来实施激光加工。不过，也可以不用多孔质材料来构成吸附部61，而是通过在面方向上均匀排列的多个通孔来构成各吸附区域62a～62d的多个通气孔。

在分隔室部63a～63d分别连接着从吸附部61的短边侧外侧壁的外方贯穿到吸附部61内的真空排气线13a～13d的一端。

即，在分隔室部63a连接真空排气线13a，在分隔室部63b连接真空排气线13b，在分隔室部63c连接真空排气线13c，在分隔室部63d连接真空排气线13d。

真空排气线13a～13d上分别设有开闭阀14a～14d，且在另一端与共同的真空泵15连接。也可使用共同的真空泵来作为真空泵15及真空泵9。

另外，在分隔室部63a～63d分别连接着从吸附部61的短边侧外侧壁的外方贯穿到吸附部61内的气体供给线16a～16d的一端。即，在分隔室部63a连接气体供给线16a，在分隔室部63b连接气体供给线16b，在分隔室部63c连接气体供给线16c，在分隔室部63d连接气体供给线16d。

气体供给线16a～16d上分别设有开闭阀17a～17d，且在另一端与共同的气体供给源18连接。也可使用共同的气体供给源来作为气体供给源18及气体供给源12。

膜状材料2具有长带的形状，在吸附台6的两侧分别配置了运送辊19a及运送辊19b，用于将膜状材料2沿其长度方向间歇地运送。运送辊19a、19b能够将膜状材料2以通过吸附部61上的方式从运送辊19a侧向运送辊19b侧运送。

在运送辊19a的上游侧，设有把要实施激光加工的膜状材料2予以放卷的放卷机(图中未示)。在运送辊19b的下游侧，则设有把已实施了激光加工的膜状材料2予以卷绕的卷绕机(图中未示)。

在吸附台6的上方配置了激光加工部4。激光加工部4具备激光光源42和光学系统43，激光光源42输出加工用的激光41，光学系统43将从激光光源42输出的激光41照射到吸附固定在吸附装置3上的膜状材料2上。激光光源42可以使用例如ＣＯ2激光等，但本发明对于激光种类并无特别限定。

光学系统43具有将激光41向吸附台6上的膜状材料2反射来进行导波的反射镜43a等。此外，光学系统43还可以具有均化器或圆筒形透镜等适宜的光学系统部件。另外，光学系统43可以使激光41在膜状材料2上的照射位置相对地变化，可以利用激光41在膜状材料2上实施描画等激光加工。

以下说明上述图1、2所示的吸附装置3及具备吸附装置3的激光加工装置1的动作。

以下说明的膜状材料2具有吸附区域62a～62d中两个区域的宽度。

在激光加工之前，先在基座5上设置具有吸附部61的吸附台6。然后将气体供给线10的开闭阀11关闭，同时将真空排气线7的开闭阀8打开。在此状态下，用与真空排气线7的另一端连接的真空泵9对空洞部51内实施真空排气。由此，经过设置在吸附台吸附部52上的多个通气孔及空洞部51而对吸附台吸附部52实施真空排气，并且利用差压将吸附台6吸附在基座5上来进行设置固定。

然后，用运送辊19a、19b在吸附部61上运送膜状材料2，使要实施激光加工的膜状材料2的部分位于吸附部61上，并停止膜状材料2的运送。此时，要预先设定膜状材料2与吸附装置3的相对位置，以使具有吸附区域62a～62d中两个区域宽度的膜状材料2例如与吸附区域62b、62c这两个区域重叠。

然后，将与分隔室部63b、63c连接的真空排气线13b、13c的开闭阀14b、14c打开，且将其他的真空排气线13a、13d的开闭阀14a、14d关闭，上述分隔室部63b、63c与膜状材料2所重叠的吸附区域62b、62c对应。气体供给线16a～16d的开闭阀17a～17d则先全部关闭。

然后，利用真空泵15来通过真空排气线13b、13c实施对分隔室部63b、63c的真空排气。由此，使被膜状材料2重叠的吸附区域62b、62c通过设于吸附区域62b、62c的多个通气孔而产生差压，从而将膜状材料2吸附固定于吸附区域62b、62c。

在将膜状材料2吸附固定于吸附区域62b、62c之后，从激光光源42输出激光41。激光41通过光学系统43根据激光加工的内容一边描画出规定的轨迹一边照射到吸附台6上的膜状材料2上。这样，就用激光41对膜状材料2实施了激光加工。

在激光加工结束后，将与分隔室部63b、63c连接的真空排气线13b、13c的开闭阀14b、14c关闭，且将与分隔室部63b、63c连接的气体供给线16b、16c的开闭阀17b、17c打开。其他的气体供给线16a、16d的开闭阀17a、17d则维持关闭状态。

然后，利用气体供给源18并通过气体供给线16b、16c向分隔室部63b、63c供给气体。通过气体供给源18供给的气体例如可以用氮气、氩气等惰性气体、清洁干燥的空气等。

由此，通过设在吸附区域62b、62c的多个通气孔向吸附有膜状材料2的吸附区域62b、62c供给气体，消除所述差压，来解除对膜状材料2的吸附。另外，根据气体的供给量，还具有将膜状材料2从吸附部61剥离的作用。在对膜状材料2的吸附被解除后，将开闭阀17b、17c关闭。

然后，利用运送辊19a、19b来运送已被解除吸附的膜状材料2，且使后面要处理的部分位于吸附部61上，以进行同样的处理。

然后，与上述过程同样，通过反复依次进行膜状材料2的吸附、激光加工、解除膜状材料2的吸附、膜状材料2的运送，就能对长带状的膜状材料2的各部分实施激光加工。

以下说明要实施激光加工的膜状材料2具有吸附区域62a～62d中三个区域的宽度时的情况。

首先，通过运送辊19a、19b来运送较宽的膜状材料2，使膜状材料2中要实施激光加工的部分位于吸附部61上。然后，停止膜状材料2的运送。此时，要预先设定膜状材料2与吸附装置3的相对位置，以使具有吸附区域62a～62d中三个区域的宽度的膜状材料2例如与吸附区域62a、62b、62c这三个区域重叠。

然后，将与分隔室部63a～63c连接的真空排气线13a、13b、13c的开闭阀14a、14b、14c打开，且将其他的真空排气线13d的开闭阀14d关闭，上述分隔室部63a～63c与膜状材料2所重叠的吸附区域62a、62b、62c对应。气体供给线16a～16d的开闭阀17a～17d则先全部关闭。

然后，利用真空泵15来通过真空排气线13a、13b、13c实施对分隔室部63a、63b、63c的真空排气。由此，使被膜状材料2重叠的吸附区域62a、62b、62c通过设于吸附区域62a、62b、62c的多个通气孔而产生差压，从而将膜状材料2吸附固定于吸附区域62a、62b、62c。

在将膜状材料2吸附固定于吸附区域62a、62b、62c之后，从激光光源42输出激光41。激光41通过光学系统43根据激光加工的内容一边描画出规定的轨迹一边照射到吸附台6上的膜状材料2上。这样就用激光41对膜状材料2实施了激光加工。

在激光加工结束后，将与分隔室部63a、63b、63c连接的真空排气线13a、13b、13c的开闭阀14a、14b、14c关闭，且将与分隔室部63a、63b、63c连接的气体供给线16a、16b、16c的开闭阀17a、17b、17c打开。其他的气体供给线16d的开闭阀17d则维持关闭状态。

然后，利用气体供给源18并通过气体供给线16a、16b、16c向分隔室部63a、63b、63c供给气体。

由此，通过设在吸附区域62a、62b、62c的多个通气孔向吸附有膜状材料2的吸附区域62a、62b、62c供给气体，消除所述差压，来解除对膜状材料2的吸附。另外，根据气体的供给量，还具有将膜状材料2从吸附部61剥离的作用。在对膜状材料2的吸附被解除后，将开闭阀17a、17b、17c关闭。

然后，利用运送辊19a、19b来运送已被解除吸附的膜状材料2，且使后面要处理的部分位于吸附部61上，以进行同样的处理。

然后，与上述过程同样，通过反复依次进行膜状材料2的吸附、激光加工、解除膜状材料2的吸附、膜状材料2的运送，就能对长带状的膜状材料2的各部分实施激光加工。

如上所述，即使膜状材料2变更为不同的宽度，通过根据膜状材料2的宽度来适当变更要实施吸附动作的吸附区域62a～62d就能容易地应对。从而能够提高膜状材料2的吸附固定的作业效率，进而能提高激光加工的作业效率。

当膜状材料2的宽度与吸附区域62a～62d的宽度不对应时，例如当膜状材料的宽度方向端部位于吸附区域的中央部等时，通过将吸附台6更换成其吸附区域的宽度与膜状材料2的宽度相符的吸附台即可。

在更换吸附台6时，如下所述，要将设置固定于基座5上的吸附台6取下，然后再将新的吸附台设置固定在基座5上。

首先，将真空排气线7的开闭阀8关闭，同时将气体供给线10的开闭阀11打开。在此状态下，从与气体供给线10的另一端连接的气体供给源12供给气体。由此，通过气体供给线10、空洞部51以及设于吸附台吸附部52上的多个通气孔向吸附台吸附部52供给气体。结果是，用于吸附吸附台6的差压消失，对吸附台6的吸附被解除。然后，能将解除了吸附的吸附台6从基座5上取下。

接着，在基座5上设置新的吸附台(图中未示)，该吸附台具有尺寸与要实施激光加工的膜状材料2的尺寸对应的吸附区域。然后，将气体供给线10的开闭阀11关闭，同时将真空排气线7的开闭阀8打开。在此状态下，用与真空排气线7的另一端连接的真空泵9实施真空排气。由此，经过设于吸附台吸附部52的多个通气孔及空洞部51而对吸附台吸附部52实施真空排气。结果是，用差压将新的吸附台吸附并设置固定在基座5上。

如上所述，能够容易地更换吸附台，因此，即使遇到靠变更实施吸附动作的吸附区域62a～62d仍不能应对的那种尺寸的膜状材料2，也很容易应对。另外，根据变更后的吸附台，只要与吸附区域的宽度相符即可，能对尺寸不同的膜状材料2实施激光加工。

另外，上述实施方式是对具有长带形状的膜状材料2进行吸附，但膜状材料2不限于长带形状，也可以是任意形状。

另外，上述实施方式是将膜状材料2吸附在吸附装置3上且对膜状材料2实施激光加工，但吸附在吸附装置3上的被吸附体不限于膜状材料，只要是能够通过差压吸附的材料即可。另外，对被吸附体实施的处理也不限于激光加工，可以实施各种处理。

另外，上述实施方式是将吸附部61划分成四个吸附区域62a～62d，但吸附区域的数量及吸附部的划分形式不限于上述内容，可以根据要吸附的被吸附体的尺寸和形状等适当变更。

符号说明

1激光加工装置

2膜状材料

3吸附装置

4激光加工部

5基座

52吸附台吸附部

6吸附台

61吸附部

62a～62d吸附区域

63a～63d分隔室部

7真空排气线

8开闭阀

10气体供给线

11开闭阀

13a～13d真空排气线

14a～14d开闭阀

16a～16d气体供给线

17a～17d开闭阀

19a、19b运送辊

Claims (10)

1.一种吸附装置，其特征在于，

具备利用差压来吸附被吸附体的吸附部，该吸附部被划分成能够各自独立地实施吸附动作的多个吸附区域。

2.如权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，

各所述吸附区域与真空排气线和气体供给线连通地连接，并且在所述真空排气线和所述气体供给线上分别设置了开闭阀。

3.如权利要求2所述的吸附装置，其特征在于，

所述吸附部在各吸附区域设置了多个吸附用的通气孔。

4.如权利要求3所述的吸附装置，其特征在于，

在各所述吸附区域设置有与多个所述通气孔连通的分隔室部，

所述真空排气线和所述气体供给线经过多个所述通气孔及所述分隔室部而与所述吸附区域连通地连接。

5.如权利要求1～4中任一项所述的吸附装置，其特征在于，

所述吸附部设在吸附台上，该吸附台能拆卸地设置在基座上。

6.如权利要求5所述的吸附装置，其特征在于，

所述基座具备利用差压将所述吸附台加以吸附并设置固定的吸附台吸附部。

7.如权利要求1～6中任一项所述的吸附装置，其特征在于，

所述被吸附体是膜状材料。

8.如权利要求7所述的吸附装置，其特征在于，

所述膜状材料具有长带形状，其被沿着所述长带的长度方向间歇地运送，并在所述吸附部上被吸附及解除吸附，

所述多个吸附区域沿着与所述运送方向正交的方向排列，且沿着所述运送方向配置。

9.一种处理装置，其特征在于，具备：

权利要求1～8中任一项所述的吸附装置；以及

对被吸附在所述吸附部的所述被吸附体实施规定的处理的处理部。

10.如权利要求9所述的处理装置，其特征在于，

所述处理部是对所述被吸附体实施激光加工的激光加工部。

Images