CN108807255A - 膜状工件吸附装置 - Google Patents

膜状工件吸附装置 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种膜状工件吸附装置，其在利用负压吸附了膜状的工件的情况下，能够在工件上不产生挠曲、褶皱、变形等。一种膜状工件吸附装置(10)，将具备朝下的开口(21)的吸引箱(20)的内侧分割成多个部分而构成各自形成分割吸附空间的多个分割吸附部(24)和其下端的分割吸附面(25)，设置以较弱的吸引力将膜状工件(13)吸引于各分割吸附部(24)的吸气风扇(26)和分别独立地控制这些吸气风扇(26)的控制装置(30)，在吸气风扇(26)接通时，通过在各分割吸附面(25)的吸附区域(12)内同时均匀地吸附膜状工件(13)，在所吸附的膜状工件(13)不引起挠曲、褶皱、变形等。

Description

膜状工件吸附装置
技术领域
本发明涉及膜状有机EL等的膜状工件吸附装置。
背景技术
在专利文献1中公开了一种在陶瓷生片的层叠工序等中利用吸附板真空吸附生片并进行层叠的片材吸附板。另外，在专利文献2中公开了一种膜状零部件用吸附头。
专利文献1所记载的技术方案提供一种片材吸附板，该片材吸附板具有许多直径较小的吸引孔，并且，吸引孔的大小较为均匀，可获得均匀的吸附。该片材吸附板的特征在于，具备：第1板，在该第1板，以预定节距分散形成有从表面贯通到背面的许多吸引孔；以及第2板，其在表面的周围具有框部，在框部的内侧形成有与吸引孔连通的格子状的通气槽，且在通气槽的底部形成有通向背面的多个通气孔，通气孔与真空源连接。
这样的片材吸附板存在如下的问题：为了应对各种工件形状、工件的配置，必须准备多个种类的片材吸附板。
另外，在是非常薄的膜状的工件、且该工件较大的情况下，难以均匀地进行吸附，其结果，存在如下问题：在吸附之后，膜状工件会产生挠曲、褶皱、变形等。另外，在较小的膜状工件排列在托盘上、对该膜状工件进行吸附的情况下，也存在如下问题：在无法进行均匀的吸附时，若在膜状工件与相邻的膜状工件之间产生吸附的时间差、吸附力之差，则会导致膜状工件的姿势产生紊乱，由此膜状工件也会产生挠曲、褶皱、变形等。
专利文献2所记载的吸附头在通过吸附膜状的零部件来进行处理之际使用，吸附头在所吸附的工件在进行吸附之际所接触的部分具有开口，该开口由多个大致相同尺寸、大致相同形状的孔构成。
因而，在一个吸附头配置有用于吸附工件的多个开口，且这多个开口与一个负压源连接。而且，在这多个开口之间存在未设置吸引孔的部分。
因此，存在如下问题：在吸附非常薄的膜状工件之际，产生被开口吸附的部分和位于这些开口之间的未被吸附的部分，这使得易于引起挠曲、褶皱、变形。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平11-267986号公报
专利文献2：日本特开平6-40596号公报
发明内容
发明要解决的问题
本发明的课题在于提供一种在利用负压吸附了膜状的工件的情况下、能够在工件上不产生挠曲、褶皱、变形等的膜状工件吸附装置。
用于解决问题的方案
本发明利用如下的膜状工件吸附装置来解决上述课题，该膜状工件吸附装置的特征在于，具有：蚀刻板；吸引箱，其由箱状体形成，该箱状体具备：朝下的开口，该开口的下侧的大小和形状与所述蚀刻板的大小和形状相同；和上底部，其与所述开口分开地配置于所述开口的上方；n个分割吸附部，在将n设为3以上的整数时，其是利用分隔板将所述吸引箱的内侧空间和所述开口沿着所述吸引箱的长度方向分隔成至少n个而形成的，各自的下侧成为分割吸附面；1台吸气风扇，其通过在所述分割吸附部的背后的所述上底部吸出所述分割吸附部内的空气，能够将膜状工件吸附于所述分割吸附面；控制装置，其用于控制所述吸气风扇；以及连通孔，其设置于对所述吸引箱的内侧空间和所述开口进行分隔的所述分隔板，将沿着所述长度方向相邻的所述分割吸附部之间连通。
另外，本发明利用如下的膜状工件吸附装置同样地解决上述课题，该膜状工件吸附装置的特征在于，具有：蚀刻板；吸引箱，其由箱状体形成，该箱状体具备：朝下的开口，该开口的下侧的大小和形状与所述蚀刻板的大小和形状相同；和上底部，其与所述开口分开地配置于所述开口的上方；n个分割吸附部，在将n设为3以上的整数时，其是利用分隔板将所述吸引箱的内侧空间和所述开口沿着所述吸引箱的长度方向分隔成至少n个而形成的，各自的下侧成为分割吸附面；n台吸气风扇，其在这些分割吸附部的各自的背后的所述上底部各设置有1台，通过吸出所述分割吸附部内的空气，能够将膜状工件吸附于所述分割吸附面；以及控制装置，其用于分别独立地控制所述多个吸气风扇，所述吸气风扇设为利用1台吸引源吸附所述膜状工件的情况下的吸引源的吸附力的1/n的吸附力。
此外，在沿着长度方向分隔成n个的情况下，以分割吸附面成为相同的面积、形状、例如成为正方形、正六边形、正三角形的方式沿着短边方向分割成1个～m个(m是2以上的整数)。
此外，分割吸附面和遮盖片材都由导电性材料形成。
另外，膜状工件的厚度设为0.01mm～0.2mm。
发明的效果
本发明的膜状工件吸附装置利用分隔板将朝下开口的吸引箱中的工件的吸附面分割而构成各自形成分割吸附空间和分割吸附面的多个分割吸附部，设置通过吸引这些分割吸附部的空气来吸引膜状工件的吸气风扇和控制该吸气风扇的控制装置，各分割吸附部将该分割吸附面的范围内的膜状工件同时吸附，因此，起到如下的优异效果：能够使所吸附的膜状工件不引起挠曲、褶皱、变形等。
附图说明
图1是表示本发明的实施例1的膜状工件吸附装置和膜状工件的分解立体图。
图2是表示从下侧观察该膜状工件吸附装置的状态的分解立体图。
图3是沿着图1的III-III线的放大剖视图。
图4是表示该膜状工件吸附装置中的控制装置与吸气风扇之间的关系的框图。
图5是表示本发明的实施例2的膜状工件吸附装置的与图2同样的分解立体图。
图6是示意性地表示该实施例2的膜状工件吸附装置中的吸附面与膜状工件及遮盖片材之间的关系的放大剖视图。
图7是示意性地表示利用该实施例2的膜状工件吸附装置吸附膜状工件的过程的剖视图。
图8是表示本发明的实施例3的膜状工件吸附装置的与图3同样的剖视图。
图9是表示该实施例3的膜状工件吸附装置的立体图。
图10是示意性地放大地表示高速吸附分离膜状工件的高速吸附分离装置的剖视图。
附图标记说明
10、40、60、膜状工件吸附装置；12、蚀刻板；12-1～12-6、分割吸附区域；13、13A、膜状工件；14、遮盖片材；14A、框；14B、贯通孔；15、托盘；16、间隙；20、41、61、吸引箱；20A、60A、分隔板；21、开口；22、上底部；24(24-1～24-6)、43(43-1～43-6)、64(64-1～64-6)、分割吸附部；25(25-1～25-6)、44(44-1～44-6)、65(65-1～65-6)、分割吸附面；26(26-1～26-6)、66、吸气风扇；27(27-1～27-6)、风扇马达；30、70、控制装置；30A、风扇马达控制部；30B、隔离阀控制部；42、弯曲面；50、高速吸附分离装置；52、吸引管；52A、主隔离阀；54、空气引入开口；54A、引入开口隔离阀；56、压力导入开口；56A、导入开口隔离阀；68、连通孔。
具体实施方式
以下，参照附图详细说明本发明的实施例。
【实施例1】
如图1所示，本发明的实施例1的膜状工件吸附装置10包括吸引箱20、分割吸附部24-1～24-6、吸气风扇26-1～26-6、蚀刻板12、遮盖片材14以及控制装置30(参照图4)。
图1中的附图标记13表示利用膜状工件吸附装置10进行吸附的膜状工件。在该实施例1中，24张膜状工件13在托盘15上排列成4×6，各2×2＝4张分别吸附于1个分割吸附部24，将24张膜状工件13同时全部吸附或每次吸附4张。
吸引箱20由箱状体形成，该箱状体具备：朝下的开口21，该开口21的下侧的大小和形状与蚀刻板12的大小和形状相同；以及上底部22，其与开口21分开地配置于开口21的上方。
利用分隔板20A将吸引箱20的内侧空间和开口21分隔成格子状，而沿着该吸引箱20的长度方向形成有3个分割吸附部24，沿着宽度方向形成有2个分割吸附部24，共计形成有6个分割吸附部24，各自的下端面成为分割吸附面25。
吸气风扇26-1～26-6在分割吸附部24-1～24-6各自的背后(上方)的上底部22各设置有1台，通过吸出所述分割吸附部24内的空气，能够将膜状工件13吸附于分割吸附面25-1～25-6。
蚀刻板12在整个面形成有孔径是0.6mm的微细的贯通孔，并使开口率成为50％，从而传递均匀的吸引力。
遮盖片材14用于同时吸附许多小型的膜状工件13的情况，配置(粘贴)于蚀刻板12之下，被配置为能够与蚀刻板12一起吸附于多个分割吸附部24。
在该实施例1中，遮盖片材14是具有在使蚀刻板12介于其间而与蚀刻板12一起粘接(粘贴)于开口21的状态下成为6个分割吸附面25的周壁的框14A的框构造，框14A内成为贯通孔14B，其大小(面积和形状)设为与分割吸附面25相同的形状、相同的位置，能够吸附被排列成田型的4张膜状工件13。
控制装置30分别对多个吸气风扇26-1～26-6独立地进行控制。
此外，在将分割吸附部24-1～24-6、分割吸附面25-1～25-6、吸气风扇26-1～26-6和随后论述的风扇马达27-1～27-6统称的情况下，仅表示为分割吸附部24、分割吸附面25、吸气风扇26、风扇马达27。吸气风扇26-1～26-6设为利用1台吸引源吸附1张遮盖片材14的情况下的吸引源的吸附力的1/6的吸附力。
如图4所示，控制装置30包括风扇马达控制部30A和隔离阀控制部30B(对于隔离阀控制部30B，详细情况随后论述)。
吸气风扇26-1～26-6分别设置有风扇马达27-1～27-6。这些风扇马达27-1～27-6均由风扇马达控制部30A独立地进行通断(ON-OFF)控制。
图1中的附图标记12-1～12-6表示与分割吸附面25-1～25-6相对应地在蚀刻板12的上表面假定被分割吸附面25-1～25-6吸附的部分并进行表示的分割吸附区域。
接着，对利用上述膜状工件吸附装置10吸附膜状工件13的过程进行说明。
膜状工件13在膜状工件吸附装置10的下侧的吸附位置排列配置于托盘15上。
使膜状工件吸附装置10从这些膜状工件13的上方开始下降，在该开口21靠近膜状工件13的外周、而成为预先设定好的间隙16(参照图3)的位置时，利用风扇马达控制部30A使各分割吸附面25-1～25-6的吸气风扇26-1～26-6的风扇马达27-1～27-6接通。由此，排列在托盘15上的24张膜状工件13每次4张同时地吸附于分割吸附部24-1～24-6。
此外，分割吸附部24能够利用分割吸附面25同时吸附该分割吸附区域12-1～12-6内的4张膜状工件13即可，在分割吸附部24-1～24-6之间进行吸引的时刻也可以存在时间差。
这样一来，即使存在时间差，由于被分隔板20A分隔开，也不会在分割吸附部24-1～24-6之间产生吸引空气的流入、流出。因此，相邻的分割吸附部24的内部的空气流不会紊乱，4张膜状工件13被同时吸附，因此，所吸附的膜状工件13很少会产生褶皱、挠曲、变形等。
由膜状工件吸附装置10吸附着的膜状工件13输送到预定的位置，在此，只要利用风扇马达控制部30A将风扇马达27断开(OFF)，这些膜状工件13就会在预定的位置自分割吸附面25分离。
此外，在膜状工件13的尺寸、形状变化了的情况下，仅与该膜状工件13相应地变更遮盖片材14即可。
在该实施例1中，吸附多个小型的膜状工件，但实施例1的膜状工件吸附装置10也可适用于吸附一张大的膜状工件的情况。在该情况下，无需遮盖片材14。
另外，本实施例1中的膜状工件吸附装置10设为如下形状：在相对于膜状工件13而言吸引箱20的开口21的周壁的下端面靠近膜状工件13时，吸附装置10的分割吸附面25隔着间隙16与该膜状工件13的上表面对峙，使得分割吸附面25与该膜状工件13的上表面之间成为非接触状态；但本发明并不限定于此，也可以像以下实施例2那样构成。
【实施例2】
如图5～图7所示，实施例2的膜状工件吸附装置40适合吸附1张较大的膜状工件13A，对于分割吸附面44(44-1～44-6)中的沿着吸引箱41的长度方向相邻的3个分割吸附面、例如分割吸附面44-1～44-3来说，长度方向中央部的分割吸附面44-2比其两侧的分割吸附面44-1和44-3接近吸气风扇26侧，即，设为以从上底部22算起的距离变浅的方式连续的朝上凸起的弯曲面42。附图标记43(43-1～43-6)表示分割吸附部。
在吸附1张较大的膜状工件13A时，如图7所示，从(1)的状态起，首先，驱动吸气风扇26-2(26-5)而在长度方向中央部的分割吸附面44-2(44-5)吸附膜状工件13A的位于托盘15的长度方向中央部的部位，成为(2)的状态，接着，驱动吸气风扇26-1(26-4)、26-3(26-6)，在其两侧的分割吸附面44-1和44-3处在托盘15的长度方向中央部的两侧吸附膜状工件13A，成为(3)的状态。
如此一来，分割吸附面44-1～44-3成为连续的直线，因此，具有如下的优点：即使是吸附着的1张较大的膜状工件13A，也更难以产生褶皱、挠曲、变形等。
此外，膜状工件吸附装置40也能够如实施例1那样用于吸附小型的膜状工件的情况。
【实施例3】
接着，参照图8、图9对实施例3的膜状工件吸附装置60进行说明。
在该实施例3中，对与实施例1和2相同的部分标注与它们相同的附图标记，从而省略说明。
该实施例3的膜状工件吸附装置60构成为具备吸引箱61、分割吸附部64(64-1～64-6)、1台吸气风扇66、蚀刻板12、遮盖片材14以及控制装置70。分割吸附部64(64-1～64-6)的下端面成为分割吸附面65(65-1～65-6)。
吸引箱61由具备与实施例1、2同样的开口21及与开口21分开地配置于开口21的上方的上底部22的箱状体形成。
利用分隔板60A将吸引箱61的内侧空间和开口21分隔成格子状，沿着该吸引箱61的长度方向形成有3个分割吸附部64，沿着宽度方向形成有2个分割吸附部64，共计形成有6个分割吸附部64，各自的下端面成为分割吸附面65。
1台吸气风扇66设置于分割吸附部64-2和64-5的背后(上方)的上底部22。
另外，在分割吸附部64-1与64-2之间、64-2与64-3之间、64-4与64-5之间、64-5与64-6之间的分隔板60A分别设置有连通孔68。
分割吸附部64-1～64-6是上述那样的结构，因此，利用吸气风扇66首先将负压向中央部的分割吸附部64-2和64-5内传递而吸出空气，从而能够先在分割吸附面65-2和65-5对膜状工件13进行吸附。
接着，当分割吸附面65-2和65-5被膜状工件13堵塞时，分割吸附部64-2的负压经由连通孔68向两侧的分割吸附部64-1和64-3传递，分割吸附部64-5的负压经由连通孔68向两侧的分割吸附部64-4和64-6传递，接下来，在这些分割吸附部对膜状工件13进行吸附，因此，所吸附的膜状工件13难以产生挠曲、褶皱、变形。
此外，在实施例3中，在设置从各分割吸附部64-1～64-6直接连通到吸气风扇66的吸引孔、将各吸引孔的面积设为相同的情况下，由于吸气风扇66设置于吸引箱61的中央，因此，在中央的分割吸附部64-2、64-5产生的负压比在其两侧的分割吸附部64-1、64-3和64-4、64-6产生的负压大。由此，与上述同样地，膜状工件13先被吸附于分割吸附面65-2、65-5。
实施例3的膜状工件吸附装置60也能够用于图6、图7所示那样的一张较大的膜状工件13A的吸附。
在上述实施例1～3中，所吸附的膜状工件13或13A(在图10中仅表示为“13A”)的吸附后的分离通过使风扇马达27断开(OFF)来进行，这样做，直到分割吸附部24内的负压成为正压为止稍微花费时间，因此，如图10所示，能够利用设置于吸引箱20的各分割吸附部24的高速吸附分离装置50来进行高速分离。
详细而言，高速吸附分离装置50包括：吸引管52，其与分割吸附部24连通，且向上方突出地安装于上底部22，在其外侧端配置有吸气风扇26；空气引入开口54，其设置于该吸引管52的侧面；压力导入开口56，其在与吸引管52分开的位置形成于上底部22；主隔离阀52A，其对吸引管52进行开闭；引入开口隔离阀54A，其对空气引入开口54进行开闭；导入开口隔离阀56A，其对压力导入开口56进行开闭；以及隔离阀控制部30B，其对主隔离阀52A、引入开口隔离阀54A、导入开口隔离阀56A进行控制。
隔离阀控制部30B构成为，在膜状工件13A的吸附时，使主隔离阀52A打开，并且使引入开口隔离阀54A和导入开口隔离阀56A关闭，另外，在膜状工件13的分离时，使主隔离阀52A关闭，并且使引入开口隔离阀54A和导入开口隔离阀56A打开。
详细而言，如图10的(1)所示，在膜状工件13A的吸附时，打开主隔离阀52A，关闭引入开口隔离阀54A和导入开口隔离阀56A，从而使吸引管52、与其连续的分割吸附部24内迅速地成为负压状态，吸附膜状工件13A，另外，如图10的(2)所示，在分离时，关闭主隔离阀52A，打开引入开口隔离阀54A和导入开口隔离阀56A，将大气压向吸引管52和分割吸附部24内导入而迅速地使吸附着的膜状工件13A被释放而分离。
此外，在上述实施例中，设置有6个分割吸附部24，吸附面包括6个分割吸附面25，但本发明并不限定于此，分割吸附面沿着膜状工件13或13A的长度方向设置3个以上即可。换言之，将n设为3以上的整数，可以设置n个。
另外，在实施例中，是一次吸附24张较小的膜状工件13的情况，但本发明也可适用于膜状工件是1张～23张的情况、25张以上的情况。
在此，n取决于所吸附的膜状工件和遮盖片材的大小，每1个分割吸附面的面积取决于膜状工件的刚性，大致设为1000cm2～2000cm2为佳。
设为1000cm2以上的原因在于，若将分割吸附部缩小到1000cm2以下，则制造成本变大，另外，若设为2000cm2以上，则会产生如下的问题：在各分割吸附面处，所吸附的膜状工件13易于产生褶皱、挠曲、变形等。

Claims (12)

1.一种膜状工件吸附装置，其特征在于，
该膜状工件吸附装置具有：
蚀刻板；
吸引箱，其由箱状体形成，该箱状体具备：朝下的开口，该开口的下侧的大小和形状与所述蚀刻板的大小和形状相同；和上底部，其与所述开口分开地配置于所述开口的上方；
n个分割吸附部，在将n设为3以上的整数时，其是利用分隔板将所述吸引箱的内侧空间和所述开口沿着所述吸引箱的长度方向分隔成至少n个而形成的，各自的下侧成为分割吸附面；
1台吸气风扇，其通过在所述分割吸附部的背后的所述上底部吸出所述分割吸附部内的空气，能够将膜状工件吸附于所述分割吸附面；
控制装置，其用于控制所述吸气风扇；以及
连通孔，其设置于对所述吸引箱的内侧空间和所述开口进行分隔的所述分隔板，将沿着所述长度方向相邻的所述分割吸附部之间连通。
2.一种膜状工件吸附装置，其特征在于，
该膜状工件吸附装置具有：
蚀刻板；
吸引箱，其由箱状体形成，该箱状体具备：朝下的开口，该开口的下侧的大小和形状与所述蚀刻板的大小和形状相同；和上底部，其与所述开口分开地配置于所述开口的上方；
n个分割吸附部，在将n设为3以上的整数时，其是利用分隔板将所述吸引箱的内侧空间和所述开口沿着所述吸引箱的长度方向分隔成至少n个而形成的，各自的下侧成为分割吸附面；
n台吸气风扇，其在这些分割吸附部各自的背后的所述上底部各设置有1台，通过吸出所述分割吸附部内的空气，能够将膜状工件吸附于所述分割吸附面；以及
控制装置，其用于分别独立地控制所述多个吸气风扇，
所述吸气风扇设为利用1台吸引源吸附所述膜状工件的情况下的吸引源的吸附力的1/n的吸附力。
3.根据权利要求2所述的膜状工件吸附装置，其特征在于，
沿所述吸引箱的长度方向相邻的至少3个所述分割吸附面设为连续的朝上凸起的弯曲面，使得长度方向中央部的所述分割吸附面比位于其两侧部的所述分割吸附面接近所述吸气风扇那一侧，从所述上底部算起的距离变浅。
4.根据权利要求3所述的膜状工件吸附装置，其特征在于，
所述控制装置构成为，控制所述吸气风扇而使所述中央部的吸气风扇比所述两侧部的吸气风扇先吸引所述膜状工件。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的膜状工件吸附装置，其特征在于，
所述分割吸附面构成为，设为与排列于托盘上的多张所述膜状工件相应的大小和形状，同时吸引该多张所述膜状工件。
6.根据权利要求1～4中任一项所述的膜状工件吸附装置，其特征在于，
该膜状工件吸附装置具有1张遮盖片材，将所述蚀刻板夹在该遮盖片材与所述分割吸附面之间，该遮盖片材与该蚀刻板一起固定于所述多个分割吸附部而进行配置，
所述遮盖片材是具有在与所述蚀刻板一起固定到所述分割吸附面的状态下成为所述n个分割吸附部的周壁的框的框构造，框内成为贯通孔。
7.根据权利要求5所述的膜状工件吸附装置，其特征在于，
该膜状工件吸附装置具有1张遮盖片材，将所述蚀刻板夹在该遮盖片材与所述分割吸附面之间，该遮盖片材与该蚀刻板一起固定于所述多个分割吸附部而进行配置，
所述遮盖片材是具有在与所述蚀刻板一起固定到所述分割吸附面的状态下成为所述n个分割吸附部的周壁的框的框构造，框内成为贯通孔。
8.根据权利要求6所述的膜状工件吸附装置，其特征在于，
所述分割吸附面和所述遮盖片材都由导电性材料形成。
9.根据权利要求7所述的膜状工件吸附装置，其特征在于，
所述分割吸附面和所述遮盖片材都由导电性材料形成。
10.根据权利要求1～4中任一项所述的膜状工件吸附装置，其特征在于，
该膜状工件吸附装置具有设置于所述上底部的高速吸附分离装置，
所述高速吸附分离装置具有：吸引管，其与所述分割吸附部连通，且向上方突出地安装于所述上底部，在外侧端配置有所述吸气风扇；空气引入开口，其设置于该吸引管的侧面；压力导入开口，其在与所述吸引管分开的位置形成于所述上底部；主隔离阀，其对所述吸引管进行开闭；引入开口隔离阀，其对所述空气引入开口进行开闭；导入开口隔离阀，其对所述压力导入开口进行开闭；以及隔离阀控制部，其用于控制所述主隔离阀、所述引入开口隔离阀和所述导入开口隔离阀，
所述隔离阀控制部构成为，在所述膜状工件的吸附时，使所述主隔离阀打开，并且使所述引入开口隔离阀和所述导入开口隔离阀关闭，在所述膜状工件的分离时，使所述主隔离阀关闭，并且使所述引入开口隔离阀和所述导入开口隔离阀打开。
11.根据权利要求6所述的膜状工件吸附装置，其特征在于，
该膜状工件吸附装置具有设置于所述上底部的高速吸附分离装置，
所述高速吸附分离装置具有：吸引管，其与所述分割吸附部连通，且向上方突出地安装于所述上底部，在外侧端配置有所述吸气风扇；空气引入开口，其设置于该吸引管的侧面；压力导入开口，其在与所述吸引管分开的位置形成于所述上底部；主隔离阀，其对所述吸引管进行开闭；引入开口隔离阀，其对所述空气引入开口进行开闭；导入开口隔离阀，其对所述压力导入开口进行开闭；以及隔离阀控制部，其用于控制所述主隔离阀、所述引入开口隔离阀和所述导入开口隔离阀，
所述隔离阀控制部构成为，在所述膜状工件的吸附时，使所述主隔离阀打开，并且使所述引入开口隔离阀和所述导入开口隔离阀关闭，在所述膜状工件的分离时，使所述主隔离阀关闭，并且使所述引入开口隔离阀和所述导入开口隔离阀打开。
12.根据权利要求8所述的膜状工件吸附装置，其特征在于，
该膜状工件吸附装置具有设置于所述上底部的高速吸附分离装置，
所述高速吸附分离装置具有：吸引管，其与所述分割吸附部连通，且向上方突出地安装于所述上底部，在外侧端配置有所述吸气风扇；空气引入开口，其设置于该吸引管的侧面；压力导入开口，其在与所述吸引管分开的位置形成于所述上底部；主隔离阀，其对所述吸引管进行开闭；引入开口隔离阀，其对所述空气引入开口进行开闭；导入开口隔离阀，其对所述压力导入开口进行开闭；以及隔离阀控制部，其用于控制所述主隔离阀、所述引入开口隔离阀和所述导入开口隔离阀，
所述隔离阀控制部构成为，在所述膜状工件的吸附时，使所述主隔离阀打开，并且使所述引入开口隔离阀和所述导入开口隔离阀关闭，在所述膜状工件的分离时，使所述主隔离阀关闭，并且使所述引入开口隔离阀和所述导入开口隔离阀打开。
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