KR20190049972A - 표시 장치 및 이의 제조 방법 - Google Patents

표시 장치 및 이의 제조 방법 Download PDF

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타카유키 후카사와
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삼성디스플레이 주식회사
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Abstract

표시 장치는 표시 영역과 실링 영역을 가지는 제1 기판, 제1 기판에 대향하는 제2 기판, 제1 기판과 제2 기판의 사이의 실링 영역에 배치되는 실링 부재, 그리고 실링 부재와 중첩하고 제1 기판 및 실링 부재를 관통하는 제1 도전 부재를 포함할 수 있다.

Description

표시 장치 및 이의 제조 방법{DISPLAY DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}
본 발명은 전자 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은 표시 장치 및 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
표시 장치는 멀티미디어의 발달과 함께 그 중요성이 증대되고 있다. 이에 부응하여, 액정 표시(Liquid Crystal Display: LCD) 장치, 유기 발광 다이오드(Organic Light Emitting Diode, OLED) 표시 장치 등과 같은 여러 종류의 표시 장치가 사용되고 있다.
그 중 액정 표시 장치는 현재 가장 널리 사용되고 있는 평판 표시 장치 중 하나로서, 화소 전극 및 공통 전극과 같은 전기장 생성 전극(field generating electrode)이 형성되어 있는 두 장의 기판들과 그들 사이에 배치되는 액정층을 포함할 수 있다. 액정 표시 장치는 전기장 생성 전극에 전압을 인가하여 액정층에 전기장을 생성하고, 이를 통해 액정층의 액정 분자들의 방향을 결정하고 입사광의 편광을 제어함으로써 영상을 표시할 수 있다.
액정 표시 장치는 일반적으로 영상이 표시되는 표시 영역과 표시 영역에 신호를 전송하는 구동 회로, 실링 부재 등이 배치되는 비표시 영역을 포함할 수 있다. 최근에는 좁은 베젤(Narrow bezel)을 갖는 액정 표시 장치의 구현을 위하여 비표시 영역이 점차 좁아지는 추세에 있다.
본 발명의 일 목적은 좁은 베젤(Narrow Bezel)을 가지는 표시 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 목적은 상대적으로 좁은 실링 영역에 구동 회로와 배선을 연결하는 도전 부재를 형성하는 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것이다.
다만, 본 발명의 목적이 이와 같은 목적들에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
전술한 본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여, 일 실시예에 따른 표시 장치는 표시 영역 및 실링 영역을 가지는 제1 기판, 상기 제1 기판에 대향하는 제2 기판, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이의 상기 실링 영역에 배치되는 실링 부재, 그리고 상기 실링 부재와 중첩하고, 상기 제1 기판 및 상기 실링 부재를 관통하는 제1 도전 부재를 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 표시 장치는 상기 제1 기판의 상기 제2 기판에 대향하는 면의 반대 면에 배치되고, 상기 제1 도전 부재에 연결되는 구동 회로를 추가적으로 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1 도전 부재는 상기 제2 기판의 상기 제1 기판에 대향하는 면에 형성되고, 상기 표시 영역에서 상기 실링 영역으로 연장되는 배선에 연결될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 배선은 공통 전압 라인일 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 표시 장치는 상기 실링 부재와 중첩하고, 상기 제1 기판, 상기 실링 부재 및 상기 제2 기판을 관통하는 제2 도전 부재를 추가적으로 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제2 도전 부재는 상기 제2 기판의 상기 제1 기판에 대향하는 면의 반대 면에 형성되고, 상기 표시 영역에서 상기 실링 영역으로 연장되는 배선에 연결될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 배선은 터치 라인일 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 표시 장치는 상기 실링 부재와 중첩하고, 상기 제1 기판을 관통하는 제3 도전 부재를 추가적으로 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제3 도전 부재는 상기 제1 기판의 상기 제2 기판에 대향하는 면에 형성되고, 상기 표시 영역에서 상기 실링 영역으로 연장되는 배선에 연결될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 배선은 게이트 라인 또는 데이터 라인일 수 있다.
전술한 본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여, 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 제1 기판의 실링 영역에 하부 도전 부재를 형성하는 단계, 상기 제1 기판에 대향하는 제2 기판에 배선을 형성하는 단계, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이의 상기 실링 영역에 상기 하부 도전 부재와 상기 배선을 연결하는 중간 도전 부재를 형성하는 단계, 그리고 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이의 상기 실링 영역에 상기 중간 도전 부재를 둘러싸는 실링 부재를 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 표시 장치의 제조 방법은 상기 제1 기판의 상기 제2 기판에 대향하는 면의 반대 면에 상기 하부 도전 부재에 연결되는 구동 회로를 배치하는 단계를 추가적으로 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 하부 도전 부재를 형성하는 단계는 상기 제1 기판의 상기 실링 영역에 관통 구멍을 형성하는 단계 및 상기 관통 구멍을 도전 물질로 채우는 단계를 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 관통 구멍은 펨토초(femtosecond) 레이저로 형성될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 중간 도전 부재를 형성하는 단계는 상기 하부 도전 부재와 상기 배선을 도전 라인으로 연결하는 단계를 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 중간 도전 부재를 형성하는 단계는 상기 하부 도전 부재와 상기 배선 상에 각각 범프들을 형성하는 단계 및 상기 범프들을 서로 접촉하는 단계를 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 중간 도전 부재를 형성하는 단계는 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이의 상기 실링 영역에 도전체를 형성하는 단계 및 상기 도전체를 식각하여 상기 중간 도전 부재를 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 표시 장치의 제조 방법은 상기 제2 기판의 상기 실링 영역에 대응되는 영역에 상부 도전 부재를 형성하는 단계를 추가적으로 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 상부 도전 부재를 형성하는 단계는 상기 제2 기판의 상기 실링 영역에 대응되는 영역에 관통 구멍을 형성하는 단계 및 상기 관통 구멍을 도전 물질로 채우는 단계를 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 관통 구멍은 펨토초 레이저로 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치는 실링 영역에 배치되는 실링 부재와 중첩하고, 제1 기판 및 실링 부재를 관통하는 도전 부재를 포함함으로써, 구동 회로와 배선이 연결되고, 표시 장치가 좁은 베젤을 가질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 펨토초 레이저를 이용하여 기판에 관통 구멍을 형성함으로써, 상대적으로 좁은 실링 영역에 복수의 도전 부재들을 형성할 수 있다.
다만, 본 발명의 효과가 전술한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 나타내는 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 실링 부재 및 도전 부재들을 나타내는 평면도이다.
도 5, 도 6, 도 7, 도 8, 도 9, 도 10, 도 11, 도 12, 도 13 및 도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 나타내는 단면도들이다.
도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 나타내는 단면도이다.
도 16은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치에 형성되는 범프를 나타내는 도면이다.
도 17, 도 18 및 도 19는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 나타내는 단면도들이다.
도 20은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 나타내는 단면도이다.
도 21, 도 22, 도 23 및 도 24는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 나타내는 단면도들이다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 실시예들에 따른 표시 장치들 및 표시 장치의 제조 방법들을 보다 상세하게 설명한다. 첨부된 도면들 상의 동일한 구성 요소들에 대해서는 동일하거나 유사한 참조 부호들을 사용한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치는 표시 영역(10) 및 실링 영역(20)을 포함할 수 있다. 표시 영역(10)에서는 영상이 표시될 수 있다. 표시 영역(10)에는 복수의 화소들이 배치되고, 상기 화소들로부터 방출되는 광들이 상기 영상을 구성할 수 있다.
실링 영역(20)은 표시 영역(10)에 인접하여 위치할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 실링 영역(20)은 표시 영역(10)의 외곽에 배치되어 표시 영역(10)의 외주를 둘러쌀 수 있다. 실링 영역(20)은 영상이 표시되지 않는 비표시 영역일 수 있다.
도 1에는 표시 장치가 사각형의 평면 형상을 가지는 실시예가 도시되어 있으나, 본 발명의 표시 장치의 평면 형상은 이에 한정되지 아니하고, 본 발명의 표시 장치는 사각형 이외의 평면 형상들(예를 들면, 별 형상, 하트 형상, 삼각형 등)을 가질 수도 있다.
이하, 도 2, 도 3 및 도 4를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 개략적으로 나타내는 단면도이다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 나타내는 단면도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치는 제1 기판(110), 제2 기판(120), 실링 부재(130), 표시 부재(140), 구동 회로(160) 및 도전 부재들(151, 152, 153)을 포함할 수 있다.
제1 기판(110) 및 제2 기판(120)은 서로 대향할 수 있다. 제1 기판(110)은 제2 기판(120)에 대향하는 제1 면(110a) 및 제1 면(110a)의 반대 면인 제2 면(110b)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 제1 기판(110)의 제1 면(110a)은 상부면이고, 제1 기판(110)의 제2 면(110b)은 하부면일 수 있다.
제2 기판(120)은 제1 기판(110)에 대향하는 제1 면(120a) 및 제1 면(120a)의 반대 면인 제2 면(120b)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 제2 기판(120)의 제1 면(120a)은 하부면이고, 제2 기판(120)의 제2 면(120b)은 상부면일 수 있다. 도면에는 도시되지 않았지만, 제1 기판(110)은 박막 트랜지스터 및 화소 전극을 포함하고, 제2 기판(120)은 공통 전극을 포함할 수 있다.
표시 부재(140)는 제1 기판(110)과 제2 기판(120) 사이의 표시 영역(10)에 배치될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치가 액정 표시 장치인 경우에, 표시 부재(140)는 액정층을 포함할 수 있다.
실링 부재(130)는 제1 기판(110)과 제2 기판(120) 사이의 실링 영역(20)에 배치될 수 있다. 예를 들면, 실링 부재(130)는 제1 기판(110)의 제1 면(110a) 및 제2 기판(120)의 제1 면(120a)에 접촉하여 표시 부재(140)를 밀봉할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 표시 장치는 외부 실링 부재(190)를 추가적으로 포함할 수 있다. 외부 실링 부재(190)는 제1 기판(110)의 제1 면(110a)과 제2 면(110b) 사이의 측면 및 제2 기판(120)의 제1 면(120a)과 제2 면(120b) 사이의 측면에 접촉하여, 제1 기판(110)의 상기 측면과 제2 기판(120)의 상기 측면까지 밀봉할 수 있다.
제1 기판(110) 및 제2 기판(120)에는 배선들(171, 172, 173)이 형성될 수 있다. 제2 기판(120)의 제1 면(120a)에는 제1 배선(171)이 형성될 수 있다. 제1 배선(171)은 표시 영역(10)에서 실링 영역(20)까지 연장될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 제1 배선(171)은 공통 전압 라인일 수 있다. 제1 배선(171)은 상기 공통 전극에 연결되어 공통 전압을 전송할 수 있다.
제2 기판(120)의 제2 면(120b)에는 제2 배선(172)이 형성될 수 있다. 제2 배선(172)은 표시 영역(10)에서 실링 영역(20)까지 연장될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 제2 배선(172)은 터치 라인일 수 있다. 제2 배선(172)은 터치 감지 부재에 연결되어 구동 신호 또는 감지 신호를 전송할 수 있다. 다른 일 실시예에 있어서, 제2 배선(172)은 지문 인식 부재와 연결될 수도 있다.
제1 기판(110)의 제1 면(110a)에는 제3 배선(173)이 형성될 수 있다. 제3 배선(173)은 표시 영역(10)에서 실링 영역(20)까지 연장될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 제3 배선(173)은 게이트 라인 또는 데이터 라인일 수 있다. 제3 배선(173)은 상기 박막 트랜지스터에 연결되어 게이트 신호 또는 데이터 전압을 전송할 수 있다.
구동 회로(160)는 제1 배선(171), 제2 배선(172) 및 제3 배선(173)과 전기적으로 연결될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 구동 회로(160)는 제1 기판(110)의 제2 면(110b)에 배치될 수 있다. 이에 따라, 표시 장치의 베젤이 증가되는 것을 방지할 수 있다. 구동 회로(160)는 상기 공통 전압, 상기 구동 신호, 상기 감지 신호, 상기 게이트 신호 및 상기 데이터 전압을 생성하여 배선들(171, 172, 173)에 전송할 수 있다.
도전 부재들(151, 152, 153)은 구동 회로(160)와 배선들(171, 172, 173)을 연결할 수 있다. 도전 부재들(151, 152, 153)은 제1 도전 부재(151), 제2 도전 부재(152) 및 제3 도전 부재(153)를 포함할 수 있다.
제1 도전 부재(151)는 구동 회로(160)와 제1 배선(171)을 연결할 수 있다. 제1 도전 부재(151)는 실링 부재(130)와 중첩하고, 제1 기판(110) 및 실링 부재(130)를 관통할 수 있다. 제1 도전 부재(151)는 제1 배선(171)과 접촉할 수 있다. 제1 도전 부재(151)는 구동 회로(160)로부터 전송된 상기 공통 전압을 제1 배선(171)에 전송할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치는 복수의 제1 도전 부재들(151)을 포함할 수 있다.
제1 도전 부재(151)는 제1 기판(110)을 관통하는 제1 하부 도전 부재(151a) 및 실링 부재(130)를 관통하는 제1 중간 도전 부재(151c)를 포함할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 제1 하부 도전 부재(151a)의 폭과 제1 중간 도전 부재(151c)의 폭은 서로 다를 수 있다. 예를 들면, 제1 중간 도전 부재(151c)의 폭은 제1 하부 도전 부재(151a)의 폭보다 작을 수 있다.
제2 도전 부재(152)는 구동 회로(160)와 제2 배선(172)을 연결할 수 있다. 제2 도전 부재(152)는 실링 부재(130)와 중첩하고, 제1 기판(110), 실링 부재(130) 및 제2 기판(120)을 관통할 수 있다. 제2 도전 부재(152)는 제2 배선(172)과 접촉할 수 있다. 제2 도전 부재(152)는 구동 회로(160)로부터 전송된 상기 구동 신호 또는 상기 감지 신호를 제2 배선(172)에 전송할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치는 복수의 제2 도전 부재들(152)을 포함할 수 있다.
제2 도전 부재(152)는 제1 기판(110)을 관통하는 제2 하부 도전 부재(152a), 제2 기판(120)을 관통하는 상부 도전 부재(152b) 및 실링 부재(130)를 관통하는 제2 중간 도전 부재(152c)를 포함할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 제2 하부 도전 부재(152a)의 폭과 상부 도전 부재(152b)의 폭은 실질적으로 동일하고, 제2 하부 도전 부재(152a)의 폭과 제2 중간 도전 부재(152c)의 폭은 서로 다를 수 있다. 예를 들면, 제2 중간 도전 부재(152c)의 폭은 제2 하부 도전 부재(152a)의 폭보다 작을 수 있다.
제3 도전 부재(153)는 구동 회로(160)와 제3 배선(173)을 연결할 수 있다. 제3 도전 부재(153)는 실링 부재(130)와 중첩하고, 제1 기판(110)을 관통할 수 있다. 제3 도전 부재(153)는 제3 배선(173)과 접촉할 수 있다. 제3 도전 부재(153)는 구동 회로(160)로부터 전송된 상기 게이트 신호 또는 상기 데이터 전압을 제3 배선(173)에 전송할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치는 복수의 제3 도전 부재들(153)을 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 도 3에 도시된 바와 같이, 구동 회로(160)는 도전 부재들(151, 152, 153)과 직접 접촉할 수 있다. 다른 일 실시예에 있어서, 표시 장치는 인쇄 회로 기판을 더 포함하고, 구동 회로(160)는 상기 인쇄 회로 기판에 배치되어 상기 인쇄 회로 기판을 통해 도전 부재들(151, 152, 153)과 연결될 수도 있다.
일 실시예에 있어서, 표시 장치는 백라이트 유닛을 더 포함할 수 있다. 상기 백라이트 유닛은 직하형 백라이트 유닛으로 제공될 수 있다. 예를 들면, 상기 백라이트 유닛은 제1 기판(110)의 제2 면(110b)에 배치되어 제1 기판(110) 방향으로 광을 출사할 수 있다. 이에 따라, 표시 장치의 베젤이 증가되는 것을 방지할 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 실링 부재 및 도전 부재들을 나타내는 평면도이다.
도 4를 참조하면, 실링 부재(130)는 실링 영역(20) 내에 배치되고, 도전 부재들(151, 152, 153)은 실링 부재(130)와 중첩할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 실링 부재(130)의 폭(W)은 약 50 μm 이하일 수 있다. 실링 부재(130)는 표시 장치의 베젤(bezel)을 구성할 수 있고, 표시 장치의 베젤(bezel)을 좁게 형성하기 위해서는 실링 부재(130)의 폭(W)이 작을수록 유리할 수 있다.
각 도전 부재(151, 152, 153)는 원의 평면 형상을 가질 수 있다. 일 실시예에 있어서, 각 도전 부재(151, 152, 153)의 지름은 약 30 μm 이하(바람직하게는, 약 10 μm 이하)일 수 있다. 그러나, 본 발명의 각 도전 부재(151, 152, 153)의 평면 형상은 이에 한정되지 아니하고, 각 도전 부재(151, 152, 153)는 다양한 다각형의 평면 형상을 가질 수도 있다.
일 실시예에 있어서, 도전 부재들(151, 152, 153)은 서로 엇갈리도록 배치될 수 있다. 예를 들면, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 도전 부재(151)와 제2 도전 부재(152)는 실링 부재(130)의 폭(W) 방향으로 서로 엇갈리게 배치되고, 제1 도전 부재(151)와 제3 도전 부재(153)는 실링 부재(130)의 폭(W) 방향으로 서로 엇갈리게 배치될 수 있다. 이에 따라, 실링 부재(130)의 폭(W)이 작더라도, 상대적으로 많은 수의 도전 부재들(151, 152, 153)을 실링 부재(130)와 중첩하도록 배치시킬 수 있다. 그러나, 본 발명은 이에 한정되지 아니하고, 도전 부재들(151, 152, 153)이 실링 부재(130)의 폭(W) 방향으로 서로 나란하게 배치될 수도 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치에 있어서, 구동 회로(160)와 배선(171, 172, 173)을 연결하는 도전 부재(151, 152, 153)가 실링 부재(130)와 중첩됨으로써, 표시 장치가 상대적으로 좁은 베젤을 가질 수 있다.
이하, 도 5, 도 6, 도 7, 도 8, 도 9, 도 10, 도 11, 도 12, 도 13 및 도 14를 참조하여 도 3에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 상세하게 설명한다.
도 5, 도 6, 도 7, 도 8, 도 9, 도 10, 도 11, 도 12, 도 13 및 도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 나타내는 단면도들이다.
일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 제1 기판(110)의 실링 영역(20)에 하부 도전 부재(151a, 152a)를 형성하고, 제2 기판(120)에 배선(171, 172)을 형성하며, 제1 기판(110)과 제2 기판(120) 사이의 실링 영역(20)에 중간 도전 부재(151c, 152c)를 형성하고, 중간 도전 부재(151c, 152c)를 둘러싸는 실링 부재(130)를 형성할 수 있다.
도 5, 도 6 및 도 7을 참조하면, 제1 기판(110)의 실링 영역(20)에 하부 도전 부재(151a, 152a)를 형성할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 제1 기판(110)의 실링 영역(20)에 제1 하부 도전 부재(151a), 제2 하부 도전 부재(152a) 및 제3 도전 부재(153)를 형성할 수 있다. 먼저, 유리, 플라스틱 등과 같은 절연 물질을 포함하는 제1 기판(110)을 준비할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 제1 기판(110)의 두께는 대략 500 μm 정도일 수 있다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 제1 기판(110)의 실링 영역(20)에 제1 관통 구멍(111), 제2 관통 구멍(112) 및 제3 관통 구멍(113)을 형성할 수 있다.
제1 기판(110)의 실링 영역(20)에 관통 구멍들(111, 112, 113)을 형성하기 위하여, 제1 기판(110)의 실링 영역(20)에 레이저(FL)를 조사할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 관통 구멍들(111, 112, 113)은 펨토초(femtosecond) 레이저로 형성될 수 있다. 펨토초 레이저를 사용함으로써, 상대적으로 지름의 크기가 작은 관통 구멍(111, 112, 113)을 형성할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 각 관통 구멍(111, 112, 113)의 지름은 약 30 μm 이하(바람직하게는, 약 10 μm 이하)일 수 있다. 또한, 인접하는 관통 구멍들(111, 112, 113) 사이의 거리는 약 100 μm 이하일 수 있다. 예를 들면, 인접한 제1 관통 구멍(111)과 제2 관통 구멍(112) 사이의 거리 및 인접한 제1 관통 구멍(111)과 제3 관통 구멍(113) 사이의 거리는 약 100 μm 이하일 수 있다.
도 7을 참조하면, 관통 구멍들(111, 112, 113)은 각각 도전 물질로 채워질 수 있다. 일 실시예에 있어서, 관통 구멍들(111, 112, 113)은 각각 은(Ag)으로 채워질 수 있다. 예를 들면, 은 페이스트(Ag paste)를 이용하여 각각의 관통 구멍들(111, 112, 113)을 채울 수 있다. 이에 따라, 제1 관통 구멍(111), 제2 관통 구멍(112) 및 제3 관통 구멍(113)에는 각각 제1 하부 도전 부재(151a), 제2 하부 도전 부재(152a) 및 제3 도전 부재(153)가 형성될 수 있다. 제1 하부 도전 부재(151a) 및 제2 하부 도전 부재(152a)는 각각 도 3에 도시된 제1 도전 부재(151)의 일부 및 제2 도전 부재(152)의 일부를 구성할 수 있다.
도 8, 도 9 및 도 10을 참조하면, 제2 기판(120)의 실링 영역(20)에 대응되는 영역에 상부 도전 부재(152b)를 형성할 수 있다. 먼저, 유리, 플라스틱 등과 같은 절연 물질을 포함하는 제2 기판(120)을 준비할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 제2 기판(120)의 두께는 대략 500 μm 정도일 수 있다.
도 8 및 도 9를 참조하면, 제2 기판(120)의 실링 영역(20)에 대응되는 영역에 제4 관통 구멍(122)을 형성할 수 있다.
제2 기판(120)의 실링 영역(20)에 대응되는 영역에 제4 관통 구멍(122)을 형성하기 위하여, 제2 기판(120)의 실링 영역(20)에 대응되는 영역에 레이저(FL)를 조사할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 제4 관통 구멍(122)은 펨토초(femtosecond) 레이저로 형성될 수 있다. 펨토초 레이저를 사용함으로써, 상대적으로 지름의 크기가 작은 제4 관통 구멍(122)을 형성할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 제4 관통 구멍(122)의 지름은 약 30 μm 이하(바람직하게는, 약 10 μm 이하)일 수 있다.
도 10을 참조하면, 제4 관통 구멍(122)은 도전 물질로 채워질 수 있다. 일 실시예에 있어서, 제4 관통 구멍(122)은 은(Ag)으로 채워질 수 있다. 예를 들면, 은 페이스트를 이용하여 제4 관통 구멍(122)을 채울 수 있다. 이에 따라, 제4 관통 구멍(122)에는 상부 도전 부재(152b)가 형성될 수 있다. 상부 도전 부재(152b)는 도 3에 도시된 제2 도전 부재(152)의 일부를 구성할 수 있다.
도 11을 참조하면, 제2 기판(120) 및 제1 기판(110)에 각각 배선을 형성하고, 제2 기판(120)을 제1 기판(110)에 대향하도록 배치하며, 제1 기판(110)과 제2 기판(120) 사이의 실링 영역(20)에 제1 예비 실링 부재(131)를 형성할 수 있다. 또한, 제1 기판(110)과 제2 기판(120) 사이의 표시 영역(10)에 표시 부재(140)를 형성할 수 있다.
제1 기판(110) 및 제2 기판(120)에 배선들(171, 172, 173)을 형성할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 제1 기판(110)에 대향하는 제2 기판(120)의 제1 면(120a)에 제1 배선(171)을 형성하고, 제2 기판(120)의 제1 면(120a)의 반대 면인 제2 면(120b)에 제2 배선(172)을 형성하며, 제2 기판(120)에 대향하는 제1 기판(110)의 제1 면(110a)에 제3 배선(173)을 형성할 수 있다. 제1 배선(171), 제2 배선(172) 및 제3 배선(173)은 각각 표시 영역(10)에서 실링 영역(20)으로 연장될 수 있다.
제1 기판(110)과 제2 기판(120) 사이의 실링 영역(20)에 제1 예비 실링 부재(131)를 형성할 수 있다. 제1 예비 실링 부재(131)는 실링 부재(도 3의 130)의 일부일 수 있다. 예를 들면, 제1 예비 실링 부재(131)는 폴리이미드(PI)와 같은 유기 물질로 형성될 수 있다. 제1 예비 실링 부재(131)는 제3 도전 부재(153)를 덮고, 제1 하부 도전 부재(151a)의 적어도 일부 및 제1 배선(171)의 단부의 적어도 일부를 노출시킬 수 있다.
제1 기판(110)과 제2 기판(120) 사이의 표시 영역(10)에 표시 부재(140)를 형성할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 제1 예비 실링 부재(131)를 형성한 후에 표시 부재(140)를 형성할 수 있다. 예를 들면, 제1 기판(110)과 제2 기판(120) 사이의 표시 영역(10)에 액정을 주입할 수 있다. 다른 일 실시예에 있어서, 실링 부재(130)를 전부 형성한 후에 표시 부재(140)를 형성할 수도 있다.
일 실시예에 있어서, 제1 기판(110) 및 제2 기판(120)에 범프들을 형성할 수 있다. 예를 들면, 제1 기판(110)의 제1 면(110a)의 제1 하부 도전 부재(151a) 및 제2 하부 도전 부재(152a) 상에 각각 범프들을 형성하고, 제2 기판(120)의 제1 면(120a)의 제1 배선(171)의 단부 및 상부 도전 부재(152b) 상에 각각 범프들을 형성할 수 있다. 다른 일 실시예에 있어서, 상기 범프들을 형성하지 않을 수도 있다.
도 12 및 도 13을 참조하면, 제1 기판(110)과 제2 기판(120) 사이의 실링 영역(20)에 하부 도전 부재(151a, 152a)와 배선(171, 172)을 연결하는 중간 도전 부재(151c, 152c)를 형성할 수 있다. 예를 들면, 제1 하부 도전 부재(151a)와 제1 배선(171)을 연결하는 제1 중간 도전 부재(151c) 및 상부 도전 부재(152b)와 접촉하며 제2 하부 도전 부재(152a)와 제2 배선(172)을 연결하는 제2 중간 도전 부재(152c)를 형성할 수 있다.
도 12를 참조하면, 제1 하부 도전 부재(151a) 및 제1 배선(171)을 연결하는 제1 도전 라인을 형성할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 상기 제1 도전 라인은 제1 하부 도전 부재(151a) 상에 형성된 범프 및 제1 배선(171)의 단부에 형성된 범프와 접촉될 수 있다. 이 경우, 제1 중간 도전 부재(151c)는 상기 제1 도전 라인 및 이의 양단에 배치되는 상기 범프들을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 도전 라인은 은 페이스트(Ag paste)를 사용하는 잉크젯법, 나노-와이어 충전법 등으로 형성될 수 있다. 제1 중간 도전 부재(151c)가 형성됨에 따라, 제1 하부 도전 부재(151a) 및 제1 중간 도전 부재(151c)를 포함하는 제1 도전 부재(151)가 형성될 수 있다.
도 13을 참조하면, 제1 기판(110)과 제2 기판(120) 사이의 실링 영역(20)에 제2 예비 실링 부재(132)를 형성하고, 제2 하부 도전 부재(152a) 및 상부 도전 부재(152b)를 연결하는 제2 도전 라인을 형성할 수 있다. 제2 예비 실링 부재(132)는 실링 부재(130)의 일부일 수 있다. 예를 들면, 제2 예비 실링 부재(132)는 폴리이미드(PI)와 같은 유기 물질로 형성될 수 있다. 제2 예비 실링 부재(132)는 제2 하부 도전 부재(152a)의 적어도 일부 및 상부 도전 부재(152b)의 적어도 일부를 노출시킬 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제2 도전 라인은 제2 하부 도전 부재(152a) 상에 형성된 범프 및 상부 도전 부재(152b) 상에 형성된 범프와 접촉될 수 있다. 이 경우, 제2 중간 도전 부재(152c)는 상기 제2 도전 라인 및 이의 양단에 배치되는 상기 범프들을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 제2 도전 라인은 은 페이스트를 사용하는 잉크젯법, 나노-와이어 충전법 등으로 형성될 수 있다. 제2 중간 도전 부재(152c)가 형성됨에 따라, 제2 하부 도전 부재(152a), 상부 도전 부재(152b) 및 제2 중간 도전 부재(152c)를 포함하는 제2 도전 부재(152)가 형성될 수 있다.
도 14를 참조하면, 제1 기판(110)과 제2 기판(120) 사이의 실링 영역(20)에 실링 부재(130)를 형성하고, 제1 기판(110)과 제2 기판(120)의 측면들을 밀봉하는 외부 실링 부재(190)를 형성하며, 제1 도전 부재(151), 제2 도전 부재(152) 및 제3 도전 부재(153)와 연결되는 구동 회로(160)를 배치할 수 있다.
외부 실링 부재(190)는 실링 부재(130)와 실질적으로 동일하거나 상이한 물질로 형성될 수 있다. 예를 들면, 외부 실링 부재(190)는 프릿(frit)과 같은 무기 물질로 형성될 수 있다. 구동 회로(160)는 제1 기판(110)의 제2 면(110b)에 배치될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 상대적으로 좁은 실링 영역(20)에 펨토초 레이저를 이용하여 크기가 작은 관통 구멍을 형성하고, 상기 관통 구멍에 도전 부재(151, 152, 153)를 형성함으로써, 상대적으로 좁은 베젤을 가지는 표시 장치를 형성할 수 있다.
이하, 도 15 및 도 16을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 상세하게 설명한다.
도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 나타내는 단면도이다.
도 15를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치는 제1 기판(110), 제2 기판(120), 실링 부재(130), 표시 부재(140), 구동 회로(160) 및 도전 부재들(251, 252, 253)을 포함할 수 있다.
도 15 및 도 16을 참조하여 설명하는 일 실시예에 따른 표시 장치에 있어서, 도 2, 도 3 및 도 4를 참조하여 설명한 일 실시예에 따른 표시 장치와 실질적으로 동일하거나 유사한 구성 요소들에 대한 상세한 설명은 생략한다.
제1 도전 부재(251)는 제1 기판(110)을 관통하는 제1 하부 도전 부재(251a) 및 실링 부재(130)를 관통하는 제1 중간 도전 부재(251d+251e)를 포함할 수 있다. 제1 중간 도전 부재(251d+251e)는 제1 하부 도전 부재(251a)와 접촉하는 제1 하부 범프(251d) 및 제1 배선(171)의 단부와 접촉하는 제1 상부 범프(251e)를 포함할 수 있다.
제2 도전 부재(252)는 제1 기판(110)을 관통하는 제2 하부 도전 부재(252a), 제2 기판(120)을 관통하는 상부 도전 부재(252b) 및 실링 부재(130)를 관통하는 제2 중간 도전 부재(252d+252e)를 포함할 수 있다. 제2 중간 도전 부재(252d+252e)는 제2 하부 도전 부재(252a)와 접촉하는 제2 하부 범프(252d) 및 상부 도전 부재(252b)와 접촉하는 제2 상부 범프(252e)를 포함할 수 있다.
도 16은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치에 형성되는 범프를 나타내는 도면이다.
도 16을 참조하면, 각 범프(251d, 251e, 252d, 252e)는 반구 형상(도 16의 (A)), 원기둥 형상(도 16의 (B)), 원뿔대 형상(도 16의 (C)) 등과 같은 다양한 형상을 가질 수 있다. 일 실시예에 있어서, 각 범프(251d, 251e, 252d, 252e)는 약 1 μm 내지 약 2 μm의 높이(H)를 가질 수 있다.
이하, 도 17, 도 18 및 도 19를 참조하여 도 15에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 상세하게 설명한다.
도 17, 도 18 및 도 19는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 나타내는 단면도들이다.
일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 제1 기판(110)의 실링 영역(20)에 하부 도전 부재(251a, 252a)를 형성하고, 제2 기판(120)에 배선(171, 172)을 형성하며, 제1 기판(110)과 제2 기판(120) 사이의 실링 영역(20)에 중간 도전 부재(251d+251e, 252d+252e)를 형성하고, 중간 도전 부재(251d+251e, 252d+252e)를 둘러싸는 실링 부재(130)를 형성할 수 있다.
도 17, 도 18 및 도 19를 참조하여 설명하는 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 도 5, 도 6, 도 7, 도 8, 도 9, 도 10, 도 11, 도 12, 도 13 및 도 14를 참조하여 설명한 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법과 실질적으로 동일하거나 유사한 구성 요소들에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 17을 참조하면, 제2 기판(120)을 제1 기판(110)에 대향하도록 배치하고, 제1 기판(110) 및 제2 기판(120)에 범프들(251d, 251e, 252d, 252e)을 형성하며, 제1 기판(110)과 제2 기판(120) 사이의 실링 영역(20)에 예비 실링 부재(133)를 형성할 수 있다. 예비 실링 부재(133)는 실링 부재(도 15의 130)의 일부일 수 있다. 또한, 제1 기판(110) 및 제2 기판(120) 사이의 표시 영역(10)에 표시 부재(140)를 형성할 수 있다.
제1 기판(110)의 제1 면(110a)의 제1 하부 도전 부재(251a) 및 제2 하부 도전 부재(252a) 상에 각각 제1 하부 범프(251d) 및 제2 하부 범프(252d)를 형성할 수 있다. 제2 기판(120)의 제1 면(120a)의 제1 배선(171)의 단부 및 상부 도전 부재(252b) 상에 각각 제1 상부 범프(251e) 및 제2 상부 범프(252e)를 형성할 수 있다. 각 범프(251d, 251e, 252d, 252e)는 은(Ag)과 같은 유연한 소재의 금속으로 형성될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 각 범프(251d, 251e, 252d, 252e)는 약 1 μm 내지 약 2 μm의 높이로 형성될 수 있다.
도 18을 참조하면, 제1 기판(110)과 제2 기판(120) 사이의 실링 영역(20)에 하부 도전 부재(251a, 252a)와 배선(171, 172)을 연결하는 중간 도전 부재(251d+251e, 252d+252e)를 형성할 수 있다. 예를 들면, 제1 하부 도전 부재(251a)와 제1 배선(171)을 연결하는 제1 중간 도전 부재(251d+251e) 및 상부 도전 부재(252b)와 접촉하며 제2 하부 도전 부재(252a)와 제2 배선(172)을 연결하는 제2 중간 도전 부재(252d+252e)를 형성할 수 있다.
제1 하부 범프(251d) 및 제2 하부 범프(252d)가 각각 제1 상부 범프(251e) 및 제2 상부 범프(252e)와 접촉하도록, 대향하는 제1 기판(110)과 제2 기판(120)을 합착할 수 있다. 이에 따라, 제1 하부 도전 부재(251a), 제1 하부 범프(251d) 및 제1 상부 범프(251e)를 포함하는 제1 도전 부재(251)가 형성되고, 제2 하부 도전 부재(252a), 상부 도전 부재(252b), 제2 하부 범프(252d) 및 제2 상부 범프(252e)를 포함하는 제2 도전 부재(252)가 형성될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 표시 부재(140)의 높이는 약 2 μm 정도 일 수 있고, 각 범프(251d, 251e, 252d, 252e)를 약 1 μm 내지 약 2 μm의 높이로 형성할 수 있다. 이에 따라, 표시 부재(140)에 영향을 미치지 않으면서 제1 도전 부재(251) 및 제2 도전 부재(252)를 형성할 수 있다.
도 19를 참조하면, 제1 기판(110)과 제2 기판(120) 사이의 실링 영역(20)에 실링 부재(130)를 형성하고, 제1 기판(110)과 제2 기판(120)의 측면들을 밀봉하는 외부 실링 부재(190)를 형성하며, 제1 도전 부재(251), 제2 도전 부재(252) 및 제3 도전 부재(253)와 연결되는 구동 회로(160)를 배치할 수 있다.
이하, 도 20을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 상세하게 설명한다.
도 20은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 나타내는 단면도이다.
도 20을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치는 제1 기판(110), 제2 기판(120), 실링 부재(130), 표시 부재(140), 구동 회로(160) 및 도전 부재들(351, 352, 353)을 포함할 수 있다.
도 20을 참조하여 설명하는 일 실시예에 따른 표시 장치에 있어서, 도 2, 도 3 및 도 4를 참조하여 설명한 일 실시예에 따른 표시 장치와 실질적으로 동일하거나 유사한 구성 요소들에 대한 상세한 설명은 생략한다.
제1 도전 부재(351)는 제1 기판(110)을 관통하는 제1 하부 도전 부재(351a) 및 실링 부재(130)를 관통하는 제1 중간 도전 부재(351f)를 포함할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 제1 하부 도전 부재(351a)의 폭과 제1 중간 도전 부재(351f)의 폭은 실질적으로 동일할 수 있다.
제2 도전 부재(352)는 제1 기판(110)을 관통하는 제2 하부 도전 부재(352a), 제2 기판(120)을 관통하는 상부 도전 부재(352b) 및 실링 부재(130)를 관통하는 제2 중간 도전 부재(352f)를 포함할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 제2 하부 도전 부재(352a)의 폭, 상부 도전 부재(352b)의 폭 및 제2 중간 도전 부재(352f)의 폭은 실질적으로 동일할 수 있다.
이하, 도 21, 도 22, 도 23 및 도 24를 참조하여 도 20에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 상세하게 설명한다.
도 21, 도 22, 도 23 및 도 24는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 나타내는 단면도들이다.
일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 제1 기판(110)의 실링 영역(20)에 하부 도전 부재(351a, 352a)를 형성하고, 제2 기판(120)에 배선(171, 172)을 형성하며, 제1 기판(110)과 제2 기판(120) 사이의 실링 영역(20)에 중간 도전 부재(351f, 352f)를 형성하고, 중간 도전 부재(351f, 352f)를 둘러싸는 실링 부재(130)를 형성할 수 있다.
도 21, 도 22, 도 23 및 도 24를 참조하여 설명하는 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 도 5, 도 6, 도 7, 도 8, 도 9, 도 10, 도 11, 도 12, 도 13 및 도 14를 참조하여 설명한 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법과 실질적으로 동일하거나 유사한 구성 요소들에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 21을 참조하면, 제2 기판(120)을 제1 기판(110)에 대향하도록 배치하고, 제1 기판(110)과 제2 기판(120) 사이의 실링 영역(20)에 예비 실링 부재(134)를 형성하며, 제1 기판(110)과 제2 기판(120) 사이의 실링 영역(20)에 제1 하부 도전 부재(351a), 제2 하부 도전 부재(352a), 제1 배선(171)의 단부 및 상부 도전 부재(352b)와 접촉하는 도전체(380)를 형성할 수 있다. 예비 실링 부재(134)는 실링 부재(도 20의 130)의 일부일 수 있다.
도전체(380)는 도전 물질로 형성될 수 있다. 예를 들면, 도전체(380)는 은(Ag)으로 형성될 수 있다.
도 22 및 도 23을 참조하면, 도전체(380)를 식각하여 제1 중간 도전 부재(351f) 및 제2 중간 도전 부재(352f)를 형성할 수 있다.
도전체(380)는 레이저(FL)를 조사하여 식각될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 도 22에 도시된 바와 같이, 레이저(FL)를 표시 장치의 측부에서 조사하여 도전체(380)를 식각할 수 있다.
다른 일 실시예에 있어서, 도 23에 도시된 바와 같이, 레이저(FL)를 표시 장치의 상부 또는 하부에서 조사하여 도전체(380)를 식각할 수 있다. 이 경우, 제1 기판(110) 또는 제2 기판(120)은 레이저(FL)를 투과시키는 물질을 포함할 수 있다.
도 24를 참조하면, 제1 기판(110)과 제2 기판(120) 사이의 실링 영역(20)에 실링 부재(130)를 형성하고, 제1 기판(110)과 제2 기판(120)의 측면들을 밀봉하는 외부 실링 부재(190)를 형성하며, 제1 도전 부재(351), 제2 도전 부재(352) 및 제3 도전 부재(353)와 연결되는 구동 회로(160)를 배치할 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 표시 장치는 컴퓨터, 노트북, 휴대폰, 스마트폰, 스마트패드, 피엠피(PMP), 피디에이(PDA), MP3 플레이어 등에 포함되는 표시 장치에 적용될 수 있다.
이상, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 표시 장치들 및 표시 장치의 제조 방법들에 대하여 도면들을 참조하여 설명하였지만, 설시한 실시예들은 예시적인 것으로서 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 수정 및 변경될 수 있을 것이다.
10: 표시 영역 20: 실링 영역
110: 제1 기판 120: 제2 기판
130: 실링 부재 151, 251, 351: 제1 도전 부재
152, 252, 352: 제2 도전 부재 153, 253, 353: 제3 도전 부재
160: 구동 회로 171: 제1 배선
172: 제2 배선 173: 제3 배선

Claims (20)

  1. 표시 영역 및 실링 영역을 가지는 제1 기판;
    상기 제1 기판에 대향하는 제2 기판;
    상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이의 상기 실링 영역에 배치되는 실링 부재; 및
    상기 실링 부재와 중첩하고, 상기 제1 기판 및 상기 실링 부재를 관통하는 제1 도전 부재를 포함하는, 표시 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 기판의 상기 제2 기판에 대향하는 면의 반대 면에 배치되고, 상기 제1 도전 부재에 연결되는 구동 회로를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 표시 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 도전 부재는 상기 제2 기판의 상기 제1 기판에 대향하는 면에 형성되고, 상기 표시 영역에서 상기 실링 영역으로 연장되는 배선에 연결되는 것을 특징으로 하는, 표시 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 배선은 공통 전압 라인인 것을 특징으로 하는, 표시 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 실링 부재와 중첩하고, 상기 제1 기판, 상기 실링 부재 및 상기 제2 기판을 관통하는 제2 도전 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 표시 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제2 도전 부재는 상기 제2 기판의 상기 제1 기판에 대향하는 면의 반대 면에 형성되고, 상기 표시 영역에서 상기 실링 영역으로 연장되는 배선에 연결되는 것을 특징으로 하는, 표시 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 배선은 터치 라인인 것을 특징으로 하는, 표시 장치.
  8. 제5항에 있어서,
    상기 실링 부재와 중첩하고, 상기 제1 기판을 관통하는 제3 도전 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 표시 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제3 도전 부재는 상기 제1 기판의 상기 제2 기판에 대향하는 면에 형성되고, 상기 표시 영역에서 상기 실링 영역으로 연장되는 배선에 연결되는 것을 특징으로 하는, 표시 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 배선은 게이트 라인 또는 데이터 라인인 것을 특징으로 하는, 표시 장치.
  11. 제1 기판의 실링 영역에 하부 도전 부재를 형성하는 단계;
    상기 제1 기판에 대향하는 제2 기판에 배선을 형성하는 단계;
    상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이의 상기 실링 영역에 상기 하부 도전 부재와 상기 배선을 연결하는 중간 도전 부재를 형성하는 단계; 및
    상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이의 상기 실링 영역에 상기 중간 도전 부재를 둘러싸는 실링 부재를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 표시 장치의 제조 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 제1 기판의 상기 제2 기판에 대향하는 면의 반대 면에 상기 하부 도전 부재에 연결되는 구동 회로를 배치하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 표시 장치의 제조 방법.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 하부 도전 부재를 형성하는 단계는:
    상기 제1 기판의 상기 실링 영역에 관통 구멍을 형성하는 단계; 및
    상기 관통 구멍을 도전 물질로 채우는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 표시 장치의 제조 방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 관통 구멍은 펨토초(femtosecond) 레이저로 형성되는 것을 특징으로 하는, 표시 장치의 제조 방법.
  15. 제11항에 있어서,
    상기 중간 도전 부재를 형성하는 단계는:
    상기 하부 도전 부재와 상기 배선을 도전 라인으로 연결하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 표시 장치의 제조 방법.
  16. 제11항에 있어서,
    상기 중간 도전 부재를 형성하는 단계는:
    상기 하부 도전 부재와 상기 배선 상에 각각 범프들을 형성하는 단계; 및
    상기 범프들을 서로 접촉하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 표시 장치의 제조 방법.
  17. 제11항에 있어서,
    상기 중간 도전 부재를 형성하는 단계는:
    상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이의 상기 실링 영역에 도전체를 형성하는 단계; 및
    상기 도전체를 식각하여 상기 중간 도전 부재를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 표시 장치의 제조 방법.
  18. 제11항에 있어서,
    상기 제2 기판의 상기 실링 영역에 대응되는 영역에 상부 도전 부재를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 표시 장치의 제조 방법.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 상부 도전 부재를 형성하는 단계는:
    상기 제2 기판의 상기 실링 영역에 대응되는 영역에 관통 구멍을 형성하는 단계; 및
    상기 관통 구멍을 도전 물질로 채우는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 표시 장치의 제조 방법.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 관통 구멍은 펨토초 레이저로 형성되는 것을 특징으로 하는, 표시 장치의 제조 방법.
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