KR20190040475A - 플라즈마 처리 장치 및 측정 회로 - Google Patents

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KR20190040475A
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류타 히구치
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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Abstract

안정된 플라즈마를 신속히 착화한다. 플라즈마 처리 장치(10)는 챔버(17), 고주파 전원(14), 정합 회로(15), 신호 동기 처리부(20) 및 제어량 산출부(12)를 구비한다. 챔버(17)는 내부에 공간을 가지고, 공간 내에 생성된 플라즈마에 의해 공간 내로 반입된 피처리체를 처리한다. 고주파 전원(14)은 챔버(17) 내에 플라즈마를 생성하기 위한 고주파 전력을 공급한다. 정합 회로(15)는 챔버(17) 내의 플라즈마와 고주파 전원(14) 사이의 임피던스를 정합시킨다. 신호 동기 처리부(20)는 챔버(17) 내의 플라즈마의 임피던스를 산출한다. 제어량 산출부(12)는 신호 동기 처리부(20)에 의해 산출된 임피던스에 기초하여, 챔버(17) 내에 공급되는 고주파 전력의 주파수, 고주파 전력의 크기, 및, 정합 회로(15)의 임피던스를 제어한다. 또한, 신호 동기 처리부(20)와 제어량 산출부(12)는 하나의 기판(11) 상에 마련되어 있다.

Description

플라즈마 처리 장치 및 측정 회로 {PLASMA PROCESSING APPARATUS AND MEASUREMENT CIRCUIT}
본 발명의 각종 측면 및 실시 형태는 플라즈마 처리 장치 및 측정 회로에 관한 것이다.
플라즈마를 이용한 반도체 웨이퍼의 에칭 처리에서는, 에칭에 의해 형성된 홀 또는 홈을 원하는 형상으로 제어하는 것이 중요하다. 에칭에 의해 형성되는 홀 또는 홈의 형상은 플라즈마 중의 라디칼과 이온의 비 등의 영향을 받는다. 플라즈마 중의 라디칼과 이온의 비 등은, 예를 들면 플라즈마에 공급되는 고주파 전력의 크기 또는 주파수 등에 의해 제어된다. 또한, 플라즈마에 공급되는 고주파 전력을 펄스 변조함으로써, 플라즈마 중의 라디칼과 이온의 비 등을 정밀도 좋게 제어할 수도 있다.
펄스 변조된 고주파 전력을 플라즈마에 인가할 경우, 펄스 변조에 따른 급속한 상승 및 하강에 추종하여 고주파 전원과 플라즈마와의 임피던스 매칭을 고속으로 실행하는 것이 요구된다. 임피던스 매칭의 고속화의 방법으로서, 고주파 전원의 주파수를 조정함으로써 고주파 전원과 플라즈마와의 임피던스 매칭을 고속으로 실행하는 것이 검토되고 있다.
일본특허공개공보 평10-064696호 일본특허공개공보 2017-073247호
그러나, 프로세스 조건 또는 챔버의 상태에 따라서는, 플라즈마가 실화되거나 불안정해지는 경우가 있다. 종래의 플라즈마 처리 장치에서는, 고주파 전원이 전력 제어와 정합 주파수의 제어를 실행하고, 정합기가 임피던스 제어를 실행하고 있으며, 고주파 전원과 정합기가 제휴하지 않고 각각 독립으로 처리를 실행하고 있다. 이 때문에, 고주파 전원 및 정합기에 의한 각각의 제어가 서로 간섭하는 경우가 있다. 이에 의해, 제어 발진을 일으켜, 플라즈마가 실화되거나 불안정해진다고 상정된다.
이를 해결하기 위한 방법 중 하나로서는, 예를 들면 각각의 제어에 이용되는 센싱량에 필터를 걸어 제어를 느슨하게 하는 것이 고려된다. 그러나 이 방법에서는, 조건에 따라서는, 제어 발진을 완전히 방지하지 못하는 경우가 있다. 또한 종래의 플라즈마 처리 장치에서는, 정합 처리에 시간이 걸리기 때문에, 주기가 짧은 펄스에 의해 고주파 전력을 변조하면, 펄스가 온의 기간 내에 정합 처리가 끝나지 않고 반사파가 남는 경우가 있다. 이 때문에, 복수의 플라즈마 처리 장치에 있어서 펄스 변조를 행하면, 반사파의 정도까지 제어하지 못하여 기차(機差)를 낳는 경우가 있다.
이 때문에, 주기가 짧은 펄스에 의해 변조된 고주파 전력을 이용하는 경우라도, 단시간에 임피던스의 정합 처리가 완료되어, 안정된 플라즈마를 신속히 착화할 수 있는 플라즈마 처리 장치가 요구되고 있다.
본 발명의 일측면은, 플라즈마 처리 장치로서, 챔버와, 전력 공급부와, 정합 회로와, 제 1 산출부와, 제어 회로를 구비한다. 챔버는 내부에 공간을 가지며, 공간 내에 생성된 플라즈마에 의해 공간 내로 반입된 피처리체를 처리한다. 전력 공급부는 챔버 내에 플라즈마를 생성하기 위한 고주파 전력을 공급한다. 정합 회로는 챔버 내의 플라즈마와 전력 공급부 사이의 임피던스를 정합시킨다. 제 1 산출부는 챔버 내의 플라즈마의 임피던스를 산출한다. 제어 회로는 제 1 산출부에 의해 산출된 임피던스에 기초하여, 챔버 내에 공급되는 고주파 전력의 주파수, 고주파 전력의 크기, 및, 정합 회로의 임피던스를 제어한다. 또한, 제 1 산출부와 제어 회로는 하나의 기판 상에 마련되어 있다.
본 발명의 각종 측면 및 실시 형태에 따르면, 주기가 짧은 펄스에 의해 변조된 고주파 전력을 이용하는 경우라도, 단시간에 임피던스의 정합 처리를 완료시킬 수 있어, 안정된 플라즈마를 신속히 착화할 수 있다.
도 1은 실시예 1에 있어서의 플라즈마 처리 장치의 일례를 나타내는 블록도이다.
도 2는 신호 동기 처리부의 일례를 나타내는 블록도이다.
도 3은 실시예 1에 있어서의 플라즈마 처리 장치의 등가 회로의 일례를 나타내는 도이다.
도 4는 비교예 1에 있어서의 플라즈마 처리 장치의 등가 회로의 일례를 나타내는 도이다.
도 5는 임피던스의 정합 처리의 일례를 나타내는 순서도이다.
도 6은 비교예 2에 있어서의 정합 처리의 일례를 나타내는 도이다.
도 7은 비교예 2에 있어서의 정합 회로의 입력 임피던스의 변화의 일례를 나타내는 도이다.
도 8은 실시예 1에 있어서의 정합 처리의 일례를 나타내는 도이다.
도 9는 정합 회로의 입력 임피던스의 변화의 일례를 나타내는 도이다.
도 10은 실시예 2에 있어서의 플라즈마 처리 장치의 일례를 나타내는 블록도이다.
도 11은 실시예 2에 있어서의 플라즈마 처리 장치의 등가 회로의 일례를 나타내는 도이다.
도 12는 신호 동기 처리부, 제어량 산출부 및 제어 신호 생성부의 기능을 실현하는 컴퓨터의 하드웨어의 일례를 나타내는 도이다.
개시하는 플라즈마 처리 장치는, 하나의 실시 형태에 있어서, 챔버와, 전력 공급부와, 정합 회로와, 제 1 산출부와, 제어 회로를 구비한다. 챔버는 내부에 공간을 가지며, 공간 내에 생성된 플라즈마에 의해 공간 내로 반입된 피처리체를 처리한다. 전력 공급부는 챔버 내에 플라즈마를 생성하기 위한 고주파 전력을 공급한다. 정합 회로는 챔버 내의 플라즈마와 전력 공급부 사이의 임피던스를 정합시킨다. 제 1 산출부는 챔버 내의 플라즈마의 임피던스를 산출한다. 제어 회로는 제 1 산출부에 의해 산출된 임피던스에 기초하여, 챔버 내에 공급되는 고주파 전력의 주파수, 고주파 전력의 크기, 및, 정합 회로의 임피던스를 제어한다. 또한, 제 1 산출부와 제어 회로는 하나의 기판 상에 마련되어 있다.
또한, 개시하는 플라즈마 처리 장치는, 하나의 실시 형태에 있어서, 정합 회로와 챔버 사이의 노드에 접속되고, 챔버 내에 공급되는 고주파 전력의 전압 및 전류를 측정하는 제 1 측정부를 구비해도 된다. 제 1 산출부는 제 1 측정부에 의해 측정된 고주파 전력의 전압 및 전류에 기초하여, 챔버 내의 플라즈마의 임피던스를 산출해도 된다.
또한, 개시하는 플라즈마 처리 장치의 하나의 실시 형태에 있어서, 제 1 산출부는 제 1 ADC(Analog to Digital Converter)와, 제 2 ADC와, 제 2 산출부와, 제 3 산출부를 가져도 된다. 제 1 ADC는 챔버 내에 공급되는 고주파 전력의 전압을 디지털 신호로 변환한다. 제 2 ADC는 챔버 내에 공급되는 고주파 전력의 전류를 디지털 신호로 변환한다. 제 2 산출부는 디지털 신호로 변환된 전압 및 전류의 각각의 위상 및 진폭을 산출한다. 제 3 산출부는 디지털 신호로 변환된 전압 및 전류의 위상차 및 진폭비에 기초하여 챔버 내의 플라즈마의 임피던스를 산출한다.
또한, 개시하는 플라즈마 처리 장치의 하나의 실시 형태에 있어서, 제 1 산출부는 신호 발생기와, 제 1 위상 조정부와, 제 2 위상 조정부를 가져도 된다. 신호 발생기는 제 1 ADC 및 제 2 ADC의 각각에 이용되는 샘플링 클록을 생성한다. 제 1 위상 조정부는 샘플링 클록에 대한 전압의 위상에 기초하여, 제 1 ADC에 입력되는 샘플링 클록의 위상을 조정한다. 제 2 위상 조정부는 샘플링 클록에 대한 전류의 위상에 기초하여, 제 2 ADC에 입력되는 샘플링 클록의 위상을 조정한다.
또한, 개시하는 플라즈마 처리 장치의 하나의 실시 형태에 있어서, 제 1 산출부는 제 1 증폭기와, 제 2 증폭기와, 제 1 게인 조정부와, 제 2 게인 조정부를 가져도 된다. 제 1 증폭기는 챔버 내에 공급되는 고주파 전력의 전압을 증폭하여 제 1 ADC에 입력한다. 제 2 증폭기는 챔버 내에 공급되는 고주파 전력의 전류를 증폭하여 제 2 ADC에 입력한다. 제 1 게인 조정부는 제 2 산출부에 의해 산출된 전압의 진폭에 기초하여, 제 1 증폭기의 게인을 조정한다. 제 2 게인 조정부는 제 2 산출부에 의해 산출된 전류의 진폭에 기초하여, 제 2 증폭기의 게인을 조정한다.
또한, 개시하는 플라즈마 처리 장치는, 하나의 실시 형태에 있어서, 전력 공급부와 정합 회로 사이의 노드에 접속되어, 전력 공급부로부터 정합 회로로 출력되는 고주파 전력의 전압 및 전류를 측정하는 제 2 측정부를 더 구비해도 된다. 제 1 산출부는 제 2 측정부에 의해 측정된 고주파 전력의 전압 및 전류를 더 이용하여, 챔버 내의 플라즈마의 임피던스를 산출해도 된다.
또한 개시하는 측정 회로는, 하나의 실시 형태에 있어서, 내부에 공간을 가지고, 공간 내에 생성된 플라즈마에 의해 공간 내로 반입된 피처리체를 처리하는 챔버와, 챔버 내에 플라즈마를 생성하기 위한 고주파 전력을 공급하는 전력 공급부와, 챔버와 전력 공급부 사이에 마련된 정합 회로와, 전력 공급부에 의해 챔버 내에 공급되는 고주파 전력의 주파수, 고주파 전력의 크기, 및, 정합 회로의 임피던스를 제어하는 제어 회로를 구비하는 플라즈마 처리 장치에 이용되고, 챔버 내의 플라즈마의 임피던스를 측정한다. 측정 회로는 제어 회로와 함께 하나의 기판 상에 마련된다. 또한, 측정 회로는 제 1 ADC와, 제 2 ADC와, 진폭 위상 산출부와, 임피던스 산출부를 가진다. 제 1 ADC는 챔버 내에 공급되는 고주파 전력의 전압을 디지털 신호로 변환한다. 제 2 ADC는 챔버 내에 공급되는 고주파 전력의 전류를 디지털 신호로 변환한다. 진폭 위상 산출부는 디지털 신호로 변환된 전압 및 전류의 각각의 위상 및 진폭을 산출한다. 임피던스 산출부는 디지털 신호로 변환된 전압 및 전류의 위상차 및 진폭비에 기초하여 챔버 내의 플라즈마의 임피던스를 산출한다.
이하에, 개시하는 플라즈마 처리 장치 및 측정 회로의 실시예에 대하여, 도면에 기초하여 상세하게 설명한다. 또한 이하의 각 실시예에 의해, 개시되는 플라즈마 처리 장치 및 측정 회로가 한정되는 것은 아니다.
<실시예 1>
[플라즈마 처리 장치(10)의 구성]
도 1은 실시예 1에 있어서의 플라즈마 처리 장치의 일례를 나타내는 블록도이다. 플라즈마 처리 장치(10)는, 예를 들면 도 1에 나타내는 바와 같이 신호 동기 처리부(20), 제어량 산출부(12), 제어 신호 생성부(13), 고주파 전원(14), 정합 회로(15), 전력 센서(16) 및 챔버(17)를 구비한다. 본 실시예에 있어서, 신호 동기 처리부(20), 제어량 산출부(12) 및 제어 신호 생성부(13)는 하나의 기판(11) 상에 실제 설치된다.
고주파 전원(14)은 발진기(140) 및 증폭기(141)를 가진다. 발진기(140)는 제어 신호 생성부(13)로부터 출력된 제어 신호에 따른 고주파를 발생시킨다. 증폭기(141)는 발진기(140)가 발생시킨 고주파의 전력을, 제어 신호 생성부(13)로부터 출력된 제어 신호에 따른 게인으로 증폭한다. 증폭기(141)에 의해 증폭된 고주파 전력은 정합 회로(15)를 거쳐 챔버(17)로 공급된다. 고주파 전원(14)은 전력 공급부의 일례이다.
챔버(17)는 내부에 공간을 가지며, 공간 내에 반도체 웨이퍼 등의 피처리체가 수용된다. 챔버(17) 내는 도시하지 않은 배기 장치에 의해 정해진 진공도가 되어, 도시하지 않은 가스 공급원으로부터 처리 가스가 챔버(17) 내로 공급된다. 그리고, 고주파 전원(14)으로부터 출력된 고주파 전력이 정합 회로(15)를 거쳐 챔버(17)로 공급됨에 따라, 챔버(17) 내에 처리 가스의 플라즈마가 생성되고, 생성된 플라즈마에 의해, 챔버(17) 내의 피처리체에 대하여 에칭 등의 정해진 처리가 실시된다.
정합 회로(15)는 고주파 전원(14)의 임피던스와 플라즈마를 포함하는 챔버(17)의 임피던스를 정합시킨다. 정합 회로(15)는 내부에 인덕터 및 복수의 가변 용량 콘덴서를 가지고, 제어 신호 생성부(13)로부터 출력된 제어 신호에 따라, 각각의 가변 용량 콘덴서의 용량을 제어한다. 또한, 정합 회로(15)는 인덕턴스의 변경이 가능한 가변 인덕터를 가지고 있어도 된다. 정합 회로(15)의 입력 임피던스는 챔버(17) 내에 생성된 플라즈마 상태에 의해 변동한다. 정합 회로(15)는 제어 신호 생성부(13)로부터 출력된 제어 신호에 따라 각각의 가변 용량 콘덴서의 용량을 제어함으로써, 고주파 전원(14)의 출력 임피던스와 정합 회로(15)의 입력 임피던스를 정합시킨다.
전력 센서(16)는 고주파 전원(14)으로부터 출력되어 정합 회로(15)를 거쳐 챔버(17)로 공급되는 고주파 전력의 전송로에 있어서, 정합 회로(15)와 챔버(17) 사이의 노드에 접속된다. 전력 센서(16)는 정합 회로(15)를 거쳐 챔버(17)로 공급되는 고주파 전력의 전압 및 전류를 측정하고, 전압 및 전류의 측정 결과를 신호 동기 처리부(20)에 출력한다. 전력 센서(16)는 제 1 측정부의 일례이다.
신호 동기 처리부(20)는 전력 센서(16)로부터 출력된 고주파 전력의 전압 및 전류의 측정 결과와 제어 신호 생성부(13)로부터 출력된 제어 신호에 기초하여, 챔버(17) 내에 생성된 플라즈마의 임피던스를 포함하는 챔버(17)의 임피던스를 산출한다. 그리고, 신호 동기 처리부(20)는 산출된 챔버(17)의 임피던스를 제어량 산출부(12)에 출력한다. 신호 동기 처리부(20)는 제 1 산출부의 일례이다.
제어량 산출부(12)는 신호 동기 처리부(20)에 의해 산출된 챔버(17)의 임피던스에 기초하여, 정합 회로(15)의 현재의 입력 임피던스를 산출한다. 그리고, 제어량 산출부(12)는 정합 회로(15)의 입력 임피던스가 목표가 되는 입력 임피던스(예를 들면 50 Ω)에 가까워지도록 하기 위한 고주파 전력의 주파수, 고주파 전력의 크기, 및, 정합 회로(15) 내의 각각의 가변 용량 콘덴서의 용량 등의 각 파라미터의 제어량을 산출한다.
여기서, 정합 회로(15)의 입력 임피던스(Z1)는 고주파 전력의 주파수, 고주파 전력의 크기, 및, 정합 회로(15) 내의 각각의 가변 용량 콘덴서의 용량 등의 파라미터(xn)를 이용하여, 예를 들면 하기의 모델식 (1)에 의해 산출된다.
Z1 = f(x1, x2, ···, xn) ··· (1)
또한, 파라미터(xn)에는 고주파 전력의 주파수, 고주파 전력의 크기, 및, 정합 회로(15)의 각각의 가변 용량 콘덴서의 용량 이외의 파라미터로서, 예를 들면 챔버(17) 내의 온도 및 압력, 챔버(17) 내에 공급된 가스의 종류 등이 포함되어 있어도 된다.
제어량 산출부(12)는 상기 모델식 (1)을 이용하여, 정합 회로(15)의 입력 임피던스가 목표가 되는 입력 임피던스에 가까워지도록 하기 위한 각 파라미터(xn)의 제어량을 산출한다. 본 실시예에 있어서, 제어량 산출부(12)는 고주파 전력의 주파수, 고주파 전력의 크기, 및, 정합 회로(15)의 각각의 가변 용량 콘덴서의 용량의 제어량을 각각 산출한다. 그리고, 제어량 산출부(12)는 산출된 이들 제어량을 제어 신호 생성부(13)에 출력한다.
제어 신호 생성부(13)는 제어량 산출부(12)로부터 출력된 고주파 전력의 주파수, 고주파 전력의 크기, 및, 정합 회로(15)의 각각의 가변 용량 콘덴서의 용량의 제어량에 대하여, 각각 제어 신호를 생성한다. 그리고, 제어 신호 생성부(13)는 생성된 제어 신호를 발진기(140), 증폭기(141) 및 정합 회로(15)에 각각 출력한다. 제어량 산출부(12) 및 제어 신호 생성부(13)는 제어 회로의 일례이다.
여기서, 챔버(17) 내에서는, 플라즈마의 착화 전부터 착화 후에 플라즈마가 안정될 때까지, 플라즈마의 상태에 따라 플라즈마의 임피던스가 변동한다. 이 때문에, 상기 모델식 (1)을 이용하여, 정합 회로(15)의 입력 임피던스를 목표가 되는 입력 임피던스로 한 번에 변화시키면 과잉 제어가 되어, 제어 발진이 일어나는 경우가 있다. 이 때문에, 본 실시예에서는, 스미스 차트 상에서 정합 회로(15)의 입력 임피던스가 목표가 되는 입력 임피던스에 이를 때까지의 정해진 궤적이 정의된다. 그리고, 제어량 산출부(12)는 당해 궤적 상에 있어서, 정합 회로(15)의 현재의 입력 임피던스가 목표가 되는 입력 임피던스에 가까워지는 임피던스를 특정한다. 그리고, 제어량 산출부(12)는 정합 회로(15)의 현재의 입력 임피던스를 특정된 임피던스로 하기 위한 각 파라미터의 제어량을 상기 모델식 (1)을 이용하여 산출한다. 이에 의해, 제어량 산출부(12)는 제어 발진을 억제하면서, 고주파 전원(14)의 출력 임피던스와 정합 회로(15)의 입력 임피던스를 단시간에 정합시킬 수 있다.
또한, 제어량 산출부(12)는 스미스 차트 상에서 미리 정의된 궤적을 통과하도록 정합 회로(15)의 입력 임피던스를 제어하므로, 정합 회로(15)의 입력 임피던스를 상이한 플라즈마 처리 장치(10)에 있어서도 동일하게 변화시킬 수 있다. 이 때문에, 다른 플라즈마 처리 장치(10) 사이에 있어서, 정합 처리에 필요로 하는 시간의 격차를 낮게 억제할 수 있다.
또한, 제어량 산출부(12)는 신호 동기 처리부(20)에 의해 산출된 챔버(17)의 임피던스를 공통으로 이용하여, 고주파 전력의 주파수, 고주파 전력의 크기, 및, 정합 회로(15)의 각각의 가변 용량 콘덴서의 용량 등의 제어량을 산출한다. 이에 의해, 제어량 산출부(12)는 동일한 타이밍에 측정된 챔버(17)의 임피던스에 기초하여, 정합 회로(15)의 입력 임피던스를 조정할 수 있다. 이 때문에, 제어 발진을 억제할 수 있어, 플라즈마를 안정적으로 생성할 수 있다.
또한, 제어량 산출부(12)는, 상기한 모델식 (1)을 이용하여, 고주파 전력의 주파수, 고주파 전력의 크기, 및, 정합 회로(15)의 각각의 가변 용량 콘덴서의 용량 등의 파라미터의 제어량을 산출한다. 이 때문에, 각 파라미터를 개별로 산출하는 경우에 비해, 제어 발진을 억제할 수 있다. 이에 의해, 정합 회로(15)의 입력 임피던스를 목표가 되는 입력 임피던스로 단시간에 수속시킬 수 있다.
또한 본 실시예에 있어서, 신호 동기 처리부(20), 제어량 산출부(12) 및 제어 신호 생성부(13)는 하나의 기판(11) 상에 실제 설치되기 때문에, 신호 동기 처리부(20), 제어량 산출부(12) 및 제어 신호 생성부(13)가 각각 상이한 기판 상에 실제 설치되는 경우에 비해, 기판 간의 통신이 불필요해진다. 이에 의해, 기판 간의 통신에 수반하는 제어 신호의 지연을 삭감할 수 있으며, 제어량 산출부(12) 및 제어 신호 생성부(13)는 신호 동기 처리부(20)로부터 출력된 신호에 기초하여, 보다 고속의 제어가 가능해진다. 따라서, 정합 회로(15)의 입력 임피던스를 조정하는 처리를 고속화할 수 있다.
[신호 동기 처리부(20)의 구성]
도 2는 신호 동기 처리부(20)의 일례를 나타내는 블록도이다. 신호 동기 처리부(20)는 진폭 위상 산출부(21), 진폭 위상 산출부(22), PLL(Phase Locked Loop)(23), 위상차 산출부(24) 및 임피던스 산출부(25)를 가진다.
PLL(23)은 제어 신호 생성부(13)로부터 출력된 제어 신호에 따른 주파수의 클록 신호를 생성한다. 제어 신호 생성부(13)로부터 출력된 제어 신호는 주파수를 설정하기 위한 디지털값이다. 그리고, PLL(23)은 생성된 클록 신호를 진폭 위상 산출부(21) 및 진폭 위상 산출부(22)에 각각 출력한다. PLL(23)은 신호 발생기의 일례이다.
진폭 위상 산출부(21)는 전력 센서(16)로부터 출력된 전압의 진폭 및 위상을 산출하고, 산출된 전압의 위상의 값을 위상차 산출부(24)에 출력하며, 산출된 전압의 진폭의 값을 임피던스 산출부(25)에 출력한다. 진폭 위상 산출부(21)는 증폭기(210), ADC(211), 시프트부(212), 이상기(213), 곱셈기(214), 곱셈기(215), LPF(Low Pass Filter)(216), LPF(217), 진폭 산출부(218) 및 위상 산출부(219)를 가진다.
증폭기(210)는 진폭 산출부(218)로부터 지시받은 게인으로 전력 센서(16)로부터 출력된 전압의 진폭을 증폭한다. ADC(211)는 증폭기(210)에 의해 증폭된 아날로그 신호의 전압의 파형을 시프트부(212)로부터 출력된 클록 신호의 타이밍에 디지털 신호로 변환한다. 시프트부(212)는 PLL(23)로부터 출력된 클록 신호의 위상을 위상 산출부(219)로부터 출력된 제어값에 따라 시프트시킨다. 증폭기(210)는 제 1 증폭기의 일례이며, ADC(211)는 제 1 ADC의 일례이며, 시프트부(212)는 제 1 위상 조정부의 일례이다.
곱셈기(214)는 ADC(211)로부터 출력된 신호를 시프트부(212)로부터 출력된 클록 신호의 주파수의 1 / 2의 주파수의 클록 신호와 곱하고, 곱셈 결과를 LPF(216)에 출력한다. 곱셈기(214)로부터 출력되는 곱셈 결과는 전력 센서(16)로부터 출력된 전압의 신호의 I(In phase) 성분이다. LPF(216)는 곱셈기(214)로부터 출력된 곱셈 결과의 고주파 성분을 제거하고, 고주파 성분이 제거된 신호를 진폭 산출부(218) 및 위상 산출부(219)에 각각 출력한다.
이상기(213)는 시프트부(212)로부터 출력된 클록 신호의 위상을 90도 시프트시킨다. 곱셈기(215)는 ADC(211)로부터 출력된 신호를 이상기(213)로부터 출력된 클록 신호의 주파수의 1 / 2의 주파수의 클록 신호와 곱하고, 곱셈 결과를 LPF(217)에 출력한다. 곱셈기(215)로부터 출력되는 곱셈 결과는 전력 센서(16)로부터 출력된 전압의 신호의 Q(Quadrature phase) 성분이다. LPF(217)는 곱셈기(215)로부터 출력된 곱셈 결과의 고주파 성분을 제거하고, 고주파 성분이 제거된 신호를 진폭 산출부(218) 및 위상 산출부(219)에 각각 출력한다.
위상 산출부(219)는 LPF(216)로부터 출력된 전압의 I 성분의 신호의 크기와 LPF(217)로부터 출력된 전압의 Q 성분의 신호의 크기에 기초하여, 전압의 위상을 산출한다. 위상 산출부(219)는 예를 들면 CORDIC(Coordinate Rotation Digital Computer) 알고리즘에 기초하여, 전압의 위상을 산출한다. 그리고, 위상 산출부(219)는 산출된 위상을 유지한다.
그리고, 위상 산출부(219)는 PLL(23)로부터 출력된 클록 신호의 위상에 대하여, 산출된 위상이 정해진 값(예를 들면 0도)이 되도록 하기 위한 위상의 제어값을 산출한다. 그리고, 위상 산출부(219)는 산출된 제어값을 시프트부(212)에 출력한다. 이에 의해, 시프트부(212)에 의해 이상기(213) 및 곱셈기(214)에 출력되는 클록 신호의 위상이 시프트되고, LPF(216) 및 LPF(217)로부터 출력되는 신호에 의해 특정되는 전압의 위상이 정해진 값이 된다. 전압의 위상이 정해진 값이 된 경우, 위상 산출부(219)는 유지하고 있는 전압의 위상의 값을 위상차 산출부(24)에 출력하고, 전압의 진폭의 출력을 진폭 산출부(218)에 지시한다. 여기서, 전압의 위상이 정해진 값이 된다고 하는 것은, 시프트부(212)에 의해 위상이 시프트된 클록 신호의 위상과 전압의 위상이 동기하고 있는 것을 의미한다. 시프트부(212)에 의해 위상이 시프트된 클록 신호의 위상과 전압의 위상이 동기함으로써, 전압의 진폭을 정밀도 좋게 산출할 수 있다. 이하에서는, 시프트부(212)에 의해 위상이 시프트된 클록 신호의 위상과 전압의 위상이 동기하고 있는 것을, 전압의 진폭 산출 결과와 위상 산출 결과가 동기하고 있다고 기재한다.
진폭 산출부(218)는 LPF(216) 및 LPF(217)로부터 출력되는 각각의 신호의 진폭을 감시하고, 진폭이 큰 쪽의 신호가 정해진 범위 내의 진폭이 되도록, 증폭기(210)에 지시하는 게인을 조정한다. 또한, 진폭 산출부(218)는 위상 산출부(219)로부터 진폭의 출력을 지시받은 경우, LPF(216) 및 LPF(217)로부터 출력되는 각각의 신호 중, 진폭이 큰 쪽의 신호의 진폭의 값을 전압의 진폭의 값으로 하여 임피던스 산출부(25)에 출력한다. 진폭 산출부(218) 및 위상 산출부(219)는 제 2 산출부의 일례이다.
진폭 위상 산출부(22)는 전력 센서(16)로부터 출력된 전류의 진폭 및 위상을 산출하고, 산출된 전류의 위상을 위상차 산출부(24)에 출력하고, 산출된 전류의 진폭을 임피던스 산출부(25)에 출력한다. 진폭 위상 산출부(22)는 증폭기(220), ADC(221), 시프트부(222), 이상기(223), 곱셈기(224), 곱셈기(225), LPF(226), LPF(227), 진폭 산출부(228) 및 위상 산출부(229)를 가진다.
증폭기(220)는 진폭 산출부(228)로부터 지시받은 게인으로, 전력 센서(16)로부터 출력된 전류의 진폭을 증폭한다. ADC(221)는 증폭기(220)에 의해 증폭된 아날로그 신호의 전류의 파형을, 시프트부(222)로부터 출력된 클록 신호의 타이밍에 디지털 신호로 변환한다. 시프트부(222)는 PLL(23)로부터 출력된 클록 신호의 위상을, 위상 산출부(229)로부터 출력된 제어값에 따라 시프트시킨다. 증폭기(220)는 제 2 증폭기의 일례이며, ADC(221)는 제 2 ADC의 일례이며, 시프트부(222)는 제 2 위상 조정부의 일례이다.
곱셈기(224)는, ADC(221)로부터 출력된 신호를, 시프트부(222)로부터 출력된 클록 신호의 주파수의 1 / 2의 주파수의 클록 신호와 곱하고, 곱셈 결과를 LPF(226)에 출력한다. 곱셈기(224)로부터 출력되는 곱셈 결과는, 전력 센서(16)로부터 출력된 전류의 신호의 I 성분이다. LPF(226)는 곱셈기(224)로부터 출력된 곱셈 결과의 고주파 성분을 제거하고, 고주파 성분이 제거된 신호를 진폭 산출부(228) 및 위상 산출부(229)에 각각 출력한다.
이상기(223)는 시프트부(222)로부터 출력된 클록 신호의 위상을 90도 시프트시킨다. 곱셈기(225)는 ADC(221)로부터 출력된 신호를, 이상기(223)로부터 출력된 클록 신호의 주파수의 1 / 2의 주파수의 클록 신호와 곱하고, 곱셈 결과를 LPF(227)에 출력한다. 곱셈기(225)로부터 출력되는 곱셈 결과는 전력 센서(16)로부터 출력된 전류의 신호의 Q 성분이다. LPF(227)는 곱셈기(225)로부터 출력된 곱셈 결과의 고주파 성분을 제거하고, 고주파 성분이 제거된 신호를 진폭 산출부(228) 및 위상 산출부(229)에 각각 출력한다.
위상 산출부(229)는 LPF(226)로부터 출력된 전류의 I 성분의 신호의 크기와, LPF(227)로부터 출력된 전류의 Q 성분의 신호의 크기에 기초하여, 전류의 위상을 산출한다. 위상 산출부(229)는 예를 들면 CORDIC 알고리즘에 기초하여, 전류의 위상을 산출한다. 그리고, 위상 산출부(229)는 산출된 위상을 유지한다.
그리고, 위상 산출부(229)는 PLL(23)로부터 출력된 클록 신호의 위상에 대하여, 산출된 위상이 정해진 값(예를 들면 0도)이 되도록 하기 위한 위상의 제어값을 산출한다. 그리고, 위상 산출부(229)는 산출된 제어값을 시프트부(222)에 출력한다. 이에 의해, 시프트부(222)에 의해 이상기(223) 및 곱셈기(224)에 출력되는 클록 신호의 위상이 시프트되어, LPF(226) 및 LPF(227)로부터 출력되는 신호에 의해 특정되는 전류의 위상이 정해진 값이 된다. 전류의 위상이 정해진 값이 된 경우, 위상 산출부(229)는 유지하고 있는 전류의 위상의 값을 위상차 산출부(24)에 출력하고, 전류의 진폭의 출력을 진폭 산출부(228)에 지시한다. 여기서, 전류의 위상이 정해진 값이 된다고 하는 것은, 시프트부(222)에 의해 위상이 시프트된 클록 신호의 위상과, 전류의 위상이 동기하고 있는 것을 의미한다. 시프트부(222)에 의해 위상이 시프트된 클록 신호의 위상과, 전류의 위상이 동기함으로써, 전류의 진폭을 정밀도 좋게 산출할 수 있다. 이하에서는, 시프트부(222)에 의해 위상이 시프트된 클록 신호의 위상과, 전류의 위상이 동기하고 있는 것을, 전류의 진폭 산출 결과와 위상 산출 결과가 동기하고 있다고 기재한다.
진폭 산출부(228)는 LPF(226) 및 LPF(227)로부터 출력되는 각각의 신호의 진폭을 감시하고, 진폭이 큰 쪽의 신호가 정해진 범위 내의 진폭이 되도록, 증폭기(220)에 지시하는 게인을 조정한다. 또한, 진폭 산출부(228)는 위상 산출부(229)로부터 진폭의 출력을 지시받은 경우, LPF(226) 및 LPF(227)로부터 출력되는 각각의 신호 중, 진폭의 큰 쪽의 신호의 진폭의 값을, 전류의 진폭의 값으로 하여 임피던스 산출부(25)에 출력한다. 진폭 산출부(228) 및 위상 산출부(229)는 제 2 산출부의 일례이다.
위상차 산출부(24)는 진폭 위상 산출부(21)로부터 출력된 전압의 위상과 진폭 위상 산출부(22)로부터 출력된 전류의 위상에 기초하여, 전압과 전류의 위상차를 산출한다. 그리고, 위상차 산출부(24)는 산출된 위상차를 임피던스 산출부(25)에 출력한다.
임피던스 산출부(25)는 진폭 위상 산출부(21)로부터 출력된 전압의 진폭과 진폭 위상 산출부(22)로부터 출력된 전류의 진폭에 기초하여, 전압 및 전류의 진폭비를 산출한다. 그리고, 임피던스 산출부(25)는 산출된 진폭비와 위상차 산출부(24)로부터 출력된 위상차에 기초하여, 임피던스를 산출한다. 그리고, 임피던스 산출부(25)는 산출된 임피던스를 제어량 산출부(12)에 출력한다.
여기서, 본 실시예의 진폭 위상 산출부(21)에 있어서, 위상 산출부(219)는 산출된 전압의 위상이 정해진 값(예를 들면 0도)이 되도록, 시프트부(212)에 제어값이 피드백된다. 이에 의해, LPF(216) 및 LPF(217)로부터 출력되는 전압의 위상을 정해진 값에 맞출 수 있어, 진폭 산출부(218)에서 검출되는 전압의 진폭의 정밀도를 향상시킬 수 있다. 진폭 위상 산출부(22)에서도 마찬가지로 진폭 산출부(228)에서 검출되는 전류의 진폭의 정밀도를 향상시킬 수 있다. 이에 의해, 신호 동기 처리부(20)에 의해 산출되는 임피던스의 정밀도를 향상시킬 수 있다.
또한, 진폭 산출부(218)는 LPF(216) 및 LPF(217)로부터 출력되는 각각의 신호의 진폭을 감시하고, 진폭이 큰 쪽의 신호가 정해진 범위 내의 진폭이 되도록 증폭기(210)에 지시하는 게인을 조정한다. 이에 의해, 50 Ω 등의 정해진 임피던스와는 상이한 임피던스에 있어서 전력 센서(16)에 의해 측정된 전압이라도, 전압의 레인지를 자동 조정할 수 있으므로, 보다 정확하게 전압의 진폭을 산출할 수 있다. 진폭 산출부(228)에 대해서도 마찬가지로, 진폭이 큰 쪽의 신호가 정해진 범위 내의 진폭이 되도록, 증폭기(220)에 지시하는 게인을 조정한다. 이에 의해, 50 Ω 등의 정해진 임피던스와는 상이한 임피던스에 있어서 전력 센서(16)에 의해 측정된 전류라도, 전류의 레인지를 자동 조정할 수 있으므로, 보다 정확하게 전류의 진폭을 산출할 수 있다.
또한, 하나의 PLL(23)에 의해 생성된 클록 신호가 신호 동기 처리부(20) 내의 각 부에 있어서 공통으로 사용되기 때문에, 신호 동기 처리부(20) 내의 각 블록의 타이밍의 차이를 작게 할 수 있어, 전압 및 전류의 진폭 및 위상을 정밀도 좋게 산출할 수 있다. 이에 의해, 임피던스의 산출 정밀도를 향상시킬 수 있다.
또한, PLL(23)은 제어 신호 생성부(13)로부터 출력된 제어값에 기초하여 클록 신호를 생성하기 때문에, 고주파 전원(14)으로부터 출력되는 고주파 전력의 주파수와의 주파수의 차이가 적은 클록 신호를 생성할 수 있다. 이 때문에, 전압 및 전류의 진폭 및 위상을 정밀도 좋게 산출할 수 있다. 이에 의해, 임피던스의 산출 정밀도를 향상시킬 수 있다.
도 3은 실시예 1에 있어서의 플라즈마 처리 장치(10)의 등가 회로의 일례를 나타내는 도이다. 본 실시예에 있어서, 전력 센서(16)는 고주파 전원(14)으로부터 출력되고 정합 회로(15)를 거쳐 챔버(17)로 공급되는 고주파 전력의 전송로에 있어서, 정합 회로(15)와 챔버(17) 사이의 노드에 접속된다. 이 때문에, 신호 동기 처리부(20)는 전력 센서(16)에 의한 측정값에 기초하여, 플라즈마를 포함하는 챔버(17)의 임피던스를 측정할 수 있다.
여기서, 예를 들면 도 4에 나타내는 바와 같이, 전력 센서가 고주파 전원(14)과 정합 회로(15) 사이의 노드에 접속되어 있는 경우, 전력 센서에 의한 측정값에 기초하여 측정되는 임피던스는 정합 회로(15)의 임피던스와 플라즈마를 포함하는 챔버(17)의 임피던스와의 합성 임피던스가 된다. 도 4는 비교예 1에 있어서의 플라즈마 처리 장치(10)의 등가 회로의 일례를 나타내는 도이다.
이 때문에, 도 4의 예에서는, 측정된 임피던스에 기초하여, 정합 회로(15)의 임피던스와 플라즈마를 포함하는 챔버(17)의 임피던스를 따로 추정하게 된다. 각각의 임피던스를 정확하게 추정하는 것은 어렵기 때문에, 추정 결과에는 어느 정도의 오차가 포함된다. 도 4에 나타낸 비교예 1의 플라즈마 처리 장치(10)에서는, 오차 요인은 2 개, 즉 정합 회로(15)의 임피던스, 및, 플라즈마를 포함하는 챔버(17)의 임피던스가 된다.
이에 대하여, 본 실시예의 플라즈마 처리 장치(10)에서는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 전력 센서(16)의 측정값에 기초하여, 플라즈마를 포함하는 챔버(17)의 임피던스가 산출된다. 그리고, 정합 회로(15)의 회로 모델에 기초하여, 정합 회로(15)의 현재의 입력 임피던스가 추정된다. 정합 회로(15)의 현재의 입력 임피던스를 정확하게 추정하는 것은 어렵기는 하지만, 오차 요인은 하나, 즉 정합 회로(15)의 임피던스이다. 이 때문에, 도 4에 나타낸 비교예 1의 플라즈마 처리 장치(10)에 비해 오차 요인을 줄일 수 있다.
또한, 정합 회로(15)의 구조는 챔버(17)의 구조보다 단순하기 때문에, 정합 회로(15)의 임피던스를 추정하는 편이, 플라즈마를 포함하는 챔버(17)의 임피던스를 추정하는 것보다도 오차가 적다. 따라서, 본 실시예의 플라즈마 처리 장치(10)는 정합 회로(15)의 임피던스 및 플라즈마를 포함하는 챔버(17)의 임피던스를 비교예 1의 플라즈마 처리 장치(10)보다 정밀도 좋게 산출할 수 있다.
[정합 처리]
도 5는 임피던스의 정합 처리의 일례를 나타내는 순서도이다. 플라즈마 처리 장치(10)는 챔버(17) 내에 플라즈마를 생성할 시, 본 순서도에 나타내는 정합 처리를 실행한다.
우선, 전력 센서(16)는 정합 회로(15)를 거쳐 챔버(17)로 공급되는 고주파 전력의 전압 및 전류를 측정한다(S10). 그리고, 전력 센서(16)는 전압 및 전류의 측정 결과를 신호 동기 처리부(20)에 출력한다.
이어서, 신호 동기 처리부(20)는 전력 센서(16)로부터 출력된 고주파 전력의 전압 및 전류의 측정 결과와 제어 신호 생성부(13)로부터 출력된 제어 신호에 기초하여, 챔버(17) 내에 생성된 플라즈마의 임피던스를 포함하는 챔버(17)의 임피던스를 산출한다(S11). 그리고, 신호 동기 처리부(20)는 산출된 챔버(17)의 임피던스를 제어량 산출부(12)에 출력한다.
이어서, 제어량 산출부(12)는 신호 동기 처리부(20)에 의해 산출된 챔버(17)의 임피던스에 기초하여, 정합 회로(15)의 현재의 입력 임피던스를 산출한다. 그리고, 제어량 산출부(12)는 정합 회로(15)의 현재의 입력 임피던스의 값이 목표값으로부터 정해진 범위 내의 값인지 아닌지를 판정한다(S12). 정합 회로(15)의 현재의 입력 임피던스의 값이 목표값으로부터 정해진 범위 내의 값인 경우(S12：Yes), 본 순서도에 나타난 정합 처리는 종료된다.
한편, 정합 회로(15)의 현재의 입력 임피던스의 값이 목표값으로부터 정해진 범위 내의 값이 아닌 경우(S12：No), 제어량 산출부(12)는 정합 회로(15)의 입력 임피던스가 목표가 되는 입력 임피던스에 가까워지도록 하기 위한 고주파 전력의 주파수, 고주파 전력의 크기, 및, 정합 회로(15) 내의 각각의 가변 용량 콘덴서의 용량을 산출한다(S13). 그리고, 제어량 산출부(12)는 산출된 이들 제어량을 제어 신호 생성부(13)에 출력한다.
이어서, 제어 신호 생성부(13)는 제어량 산출부(12)로부터 출력된 고주파 전력의 주파수, 고주파 전력의 크기, 및, 정합 회로(15)의 각각의 가변 용량 콘덴서의 용량의 제어량에 대하여, 각각 제어 신호를 생성한다(S14). 그리고, 제어 신호 생성부(13)는 생성된 제어 신호를 발진기(140), 증폭기(141) 및 정합 회로(15)에 각각 출력한다(S15). 그리고, 다시 단계(S10)에 나타난 처리가 실행된다.
여기서, 고주파 전력의 주파수, 고주파 전력의 크기, 및, 정합 회로(15)의 각각의 가변 용량 콘덴서의 용량의 제어량이 다른 파라미터의 제어량과는 관계없이 각각 독립으로 산출된 경우, 이들 파라미터의 제어량이 동시에 적용되면, 제어 발진이 일어날 가능성이 있다. 이 때문에, 몇 개의 파라미터의 제어량이 적용되는 경우, 다른 파라미터의 제어가 고정된다.
구체적으로는, 예를 들면 도 6에 나타나는 바와 같이, 시각(0)부터 시각(t1)까지의 기간에서는, 고주파 전력의 크기의 제어량이 적용되고, 고주파 전력의 주파수 및 정합 회로(15)의 임피던스는 고정된다. 또한, 시각(t1)부터 시각(t2)까지의 기간 및 시각(t3)부터 시각(t4)까지의 기간에서는, 고주파 전력의 주파수의 제어량이 적용되고, 고주파 전력의 크기 및 정합 회로(15)의 임피던스는 고정된다. 또한, 시각(t2)부터 시각(t3)까지의 기간 및 시각(t4)부터 시각(t5)까지의 기간에서는, 정합 회로(15)의 임피던스의 제어량이 적용되고, 고주파 전력의 주파수 및 크기는 고정된다. 도 6은 비교예 2에 있어서의 정합 처리의 일례를 나타내는 도이다. 이 경우의 스미스 차트 상에서의 정합 회로(15)의 입력 임피던스의 궤적은, 예를 들면 도 7과 같이 된다. 도 7은 비교예 2에 있어서의 정합 회로(15)의 입력 임피던스의 변화의 일례를 나타내는 도이다.
이와 같이, 각 파라미터의 제어량이 다른 파라미터의 제어량과는 관계없이 각각 독립으로 산출된 경우, 각 파라미터의 제어량을 동시에 적용하는 것이 어렵기 때문에 임피던스의 정합 처리에 필요로 하는 시간이 길어진다. 또한, 파라미터의 수가 많아지면, 임피던스의 정합 처리에 필요로 하는 시간은 더 길어진다.
이에 대하여, 본 실시예의 플라즈마 처리 장치(10)에서는, 고주파 전력의 주파수, 고주파 전력의 크기, 및, 정합 회로(15)의 각각의 가변 용량 콘덴서의 용량 등의 각 파라미터의 제어량은, 상기한 모델식 (1)에 기초하여, 다른 파라미터와의 밸런스를 고려하여 결정된다. 이 때문에, 각 파라미터의 제어량을 동시에 적용해도, 제어 발진이 일어날 가능성이 낮다. 이 때문에, 예를 들면 도 8에 나타내는 바와 같이, 복수의 파라미터의 제어량을 동시에 적용할 수 있어, 임피던스의 정합 처리에 필요로 하는 시간을, 비교예 2의 플라즈마 처리 장치(10)보다 훨씬 단축할 수 있다. 도 8은 실시예 1에 있어서의 정합 처리의 일례를 나타내는 도이다. 이 경우의 스미스 차트 상에서의 정합 회로(15)의 입력 임피던스의 궤적은, 예를 들면 도 9에 나타난 실선과 같이 된다. 도 9는 정합 회로(15)의 입력 임피던스의 변화의 일례를 나타내는 도이다.
여기서, 전력 센서(16)에 의해 측정된 전압의 위상에 대하여, 시프트부(212)로부터 출력된 클록 신호의 위상이 지연된 경우, 진폭 산출 결과와 위상 산출 결과는 동기하고 있지 않다. 이 때문에, 예를 들면 도 9의 점선으로 나타나는 바와 같이, 정합 회로(15)의 입력 임피던스는, 원하는 궤적(예를 들면 도 9의 사각형이 부여된 실선의 궤적)에서 이탈한 궤적으로 변화한다. 위상의 지연이 작은 경우(예를 들면 수 MHz ~ 수십 MHz의 고주파 전력에 대하여 예를 들면 1 μ초 정도의 경우), 정합 회로(15)의 입력 임피던스는, 예를 들면 도 9의 삼각형이 부여된 점선으로 나타난 궤적으로 변화한다. 또한, 위상의 지연이 비교적 큰 경우(예를 들면 수 MHz ~ 수십 MHz의 고주파 전력에 대하여 예를 들면 10 μ초 정도의 경우), 정합 회로(15)의 입력 임피던스는, 예를 들면 도 9의 원이 부여된 점선으로 나타난 궤적으로 변화한다. 이와 같이, 전력 센서(16)에 의해 측정된 전압의 위상에 대하여, 시프트부(212)로부터 출력된 클록 신호의 위상의 지연이 클수록, 신호 동기 처리부(20)에 의해 산출되는 임피던스의 오차가 커진다. 이에 의해, 정합 회로(15)의 입력 임피던스의 변화의 궤적과 원하는 궤적과의 괴리가 커진다. 이 때문에, 플라즈마의 안정적인 제어가 곤란해진다.
이에 대하여, 본 실시예의 진폭 위상 산출부(21)에 있어서, 위상 산출부(219)는 산출된 위상을 시프트부(212)에 피드백한다. 이에 의해, 진폭 위상 산출부(21)는 전력 센서(16)에 의해 측정된 전압의 위상에 대한 시프트부(212)로부터 출력된 클록 신호의 위상의 지연을 조정할 수 있어, 진폭 산출 결과와 위상 산출 결과를 동기시킬 수 있다. 진폭 위상 산출부(22)에 관해서도 마찬가지이다. 이에 의해, 신호 동기 처리부(20)는 전력 센서(16)에 의해 측정된 전압 및 전류의 진폭 및 위상을 정밀도 좋게 산출할 수 있다. 그리고, 플라즈마 처리 장치(10)는 챔버(17) 내의 플라즈마의 임피던스의 변화에 맞추어, 정합 회로(15)의 입력 임피던스의 변화가 원하는 궤적이 되도록 정밀도 좋게 제어할 수 있다. 이에 의해, 플라즈마의 안정적인 제어가 가능해진다.
또한 본 실시예에서는, 각 파라미터의 제어량을 동시에 적용할 수 있기 때문에, 임피던스의 정합 처리에 요하는 시간을 단축할 수 있다. 또한, 각 파라미터의 제어량을 동시에 적용할 수 있기 때문에, 파라미터의 수가 많은 경우라도, 임피던스의 정합 처리에 필요로 하는 시간은 거의 변하지 않는다.
이상, 실시예 1에 대하여 설명했다. 상기 설명으로부터 명백한 바와 같이, 본 실시예의 플라즈마 처리 장치(10)에 의하면, 단시간에 임피던스의 정합 처리를 완료시킬 수 있어, 안정된 플라즈마를 신속히 착화할 수 있다.
<실시예 2>
실시예 1에서는, 정합 회로(15)와 챔버(17) 사이의 노드에 접속된 전력 센서(16)에 의해 측정된 고주파 전력의 전압 및 전류에 기초하여, 정합 회로(15)의 현재의 임피던스가 추정되었다. 이에 대하여, 실시예 2에서는, 또한 고주파 전원(14)과 정합 회로(15) 사이의 노드에 더 접속된 전력 센서(18)도 이용하여, 정합 회로(15)의 현재의 임피던스가 추정된다. 이에 의해, 보다 정밀도 좋게 정합 회로(15)의 현재의 임피던스를 추정할 수 있어, 임피던스의 정합 처리를 보다 고속화할 수 있다.
[플라즈마 처리 장치(10)]
도 10은 실시예 2에 있어서의 플라즈마 처리 장치(10)의 일례를 나타내는 블록도이다. 플라즈마 처리 장치(10)는, 예를 들면 도 10에 나타내는 바와 같이 신호 동기 처리부(20-1), 신호 동기 처리부(20-2), 제어량 산출부(12), 제어 신호 생성부(13), 고주파 전원(14), 정합 회로(15), 전력 센서(16), 챔버(17) 및 전력 센서(18)를 구비한다. 본 실시예에 있어서, 신호 동기 처리부(20-1), 신호 동기 처리부(20-2), 제어량 산출부(12), 및 제어 신호 생성부(13)는 하나의 기판(11) 상에 실제 설치된다. 또한 이하에서는, 신호 동기 처리부(20-1 및 20-2)의 각각을 구별하지 않고 총칭하는 경우에 단순히 신호 동기 처리부(20)라고 기재한다. 또한, 도 10에 나타난 플라즈마 처리 장치(10)의 각 블록에 있어서, 도 1에 나타난 블록과 동일한 부호가 부여된 블록은, 이하에 설명하는 점을 제외하고 도 1에서 설명된 블록과 동일한 기능을 가지기 때문에, 중복되는 설명을 생략한다.
전력 센서(16)는 전압 및 전류의 측정 결과를 신호 동기 처리부(20-1)에 출력한다. 전력 센서(18)는 고주파 전원(14)과 정합 회로(15) 사이의 고주파 전력의 전송로에 있어서, 고주파 전원(14)과 정합 회로(15) 사이의 노드에 접속된다. 전력 센서(18)는 고주파 전원(14)으로부터 출력되는 고주파 전력의 전압 및 전류를 측정하고, 전압 및 전류의 측정 결과를 신호 동기 처리부(20-2)에 출력한다. 전력 센서(18)는 제 2 측정부의 일례이다.
신호 동기 처리부(20-1)는, 전력 센서(16)로부터 출력된 고주파 전력의 전압 및 전류의 측정 결과와 제어 신호 생성부(13)로부터 출력된 제어 신호에 기초하여, 챔버(17) 내에 생성된 플라즈마의 임피던스를 포함하는 챔버(17)의 임피던스를 산출한다. 그리고, 신호 동기 처리부(20-1)는 산출된 챔버(17)의 임피던스를 제어량 산출부(12)에 출력한다.
신호 동기 처리부(20-2)는, 전력 센서(18)로부터 출력된 고주파 전력의 전압 및 전류의 측정 결과와 제어 신호 생성부(13)로부터 출력된 제어 신호에 기초하여, 정합 회로(15)와 챔버(17)의 합성 임피던스를 산출한다. 그리고, 신호 동기 처리부(20-2)는 산출된 합성 임피던스를 제어량 산출부(12)에 출력한다. 신호 동기 처리부(20-1 및 20-2)의 각각의 내부 구성은, 도 2를 이용하여 설명한 실시예 1의 신호 동기 처리부(20)의 구성과 동일하기 때문에, 상세한 설명을 생략한다.
제어량 산출부(12)는 신호 동기 처리부(20-1)에 의해 산출된 챔버(17)의 임피던스와, 신호 동기 처리부(20-2)에 의해 산출된 합성 임피던스에 기초하여, 정합 회로(15)의 현재의 입력 임피던스를 산출한다.
도 11은 실시예 2에 있어서의 플라즈마 처리 장치(10)의 등가 회로의 일례를 나타내는 도이다. 예를 들면 도 11에 나타내는 바와 같이, 신호 동기 처리부(20-1)는 전력 센서(16)에 의해 측정된 전압 및 전류에 기초하여 챔버(17)의 임피던스(Z2)를 산출할 수 있다. 신호 동기 처리부(20-2)는 전력 센서(18)에 의해 측정된 전압 및 전류에 기초하여 정합 회로(15)의 임피던스(Z1)와, 챔버(17)의 임피던스(Z2)의 합성 임피던스를 산출할 수 있다. 그리고, 제어량 산출부(12)는 정합 회로(15)의 임피던스(Z1)와 챔버(17)의 임피던스(Z2)의 합성 임피던스로부터, 챔버(17)의 임피던스(Z2)를 뺌으로써, 정합 회로(15)의 임피던스(Z1)를 산출할 수 있다.
여기서, 신호 동기 처리부(20-1)는 전력 센서(16)에 의해 측정된 전압 및 전류에 기초하여 챔버(17)의 임피던스(Z2)를 산출하고 있으며, 신호 동기 처리부(20-2)는 전력 센서(18)에 의해 측정된 전압 및 전류에 기초하여 정합 회로(15)와 챔버(17)의 합성 임피던스를 산출하고 있다. 이 때문에, 회로 모델 등을 이용하여 임피던스를 추정하는 경우에 비해, 임피던스(Z2) 및 합성 임피던스를 보다 정밀도 좋게 산출할 수 있다. 특히, 본 실시예에서는 도 2를 이용하여 설명한 내부 구성을 가지는 신호 동기 처리부(20-1 및 20-2)를 이용하고 있기 때문에, 임피던스(Z2) 및 합성 임피던스를 높은 정밀도로 산출할 수 있다.
또한, 본 실시예에서는 임피던스(Z2) 및 합성 임피던스가 높은 정밀도로 산출되기 때문에, 합성 임피던스로부터 챔버(17)의 임피던스(Z2)를 뺌으로써, 정합 회로(15)의 임피던스(Z1)를 높은 정밀도로 산출할 수 있다.
[하드웨어]
상기한 실시예 1에 있어서의 신호 동기 처리부(20), 제어량 산출부(12) 및 제어 신호 생성부(13)는 하나의 기판(11) 상에 구성된, 예를 들면 도 12에 나타내는 컴퓨터(30)에 의해 실현된다. 도 12는 신호 동기 처리부(20), 제어량 산출부(12) 및 제어 신호 생성부(13)의 기능을 실현하는 컴퓨터(30)의 하드웨어의 일례를 나타내는 도이다.
컴퓨터(30)는, 예를 들면 도 12에 나타내는 바와 같이 메모리(31), 프로세서(32) 및 입출력 인터페이스(33)를 가진다. 입출력 인터페이스(33)는 고주파 전원(14), 정합 회로(15), 전력 센서(16) 및 전력 센서(18)와의 사이에서 신호의 송수신을 행한다. 메모리(31)에는, 예를 들면 신호 동기 처리부(20), 제어량 산출부(12) 및 제어 신호 생성부(13)의 기능을 실현하기 위한 각종 프로그램 및 데이터 등이 저장된다. 프로세서(32)는 메모리(31)로부터 프로그램을 읽어내고, 읽어낸 프로그램을 실행함으로써, 예를 들면 신호 동기 처리부(20), 제어량 산출부(12) 및 제어 신호 생성부(13)의 각 기능을 실현한다.
또한, 메모리(31) 내의 프로그램 및 데이터 등은, 반드시 모두가 처음부터 모두가 메모리(31) 내에 기억되어 있지 않아도 된다. 예를 들면, 컴퓨터(30)에 삽입되는 메모리 카드 등의 가반형 기록 매체에 프로그램 또는 데이터 등이 기억되고, 컴퓨터(30)가 이러한 가반형 기록 매체로부터 프로그램 또는 데이터 등을 적절히 취득하여 실행하도록 해도 된다. 또한, 프로그램 또는 데이터 등을 기억시킨 다른 컴퓨터 또는 서버 장치 등으로부터 무선 통신 회선, 공중 회선, 인터넷, LAN, WAN 등을 거쳐, 컴퓨터(30)가 프로그램을 적절히 취득하여 실행하도록 해도 된다.
[그 외]
또한, 본 발명은 상기한 실시 형태에 한정되지 않고, 그 요지의 범위 내에서 수많은 변형이 가능하다.
예를 들면, 상기한 실시예 1에서는, 하나의 고주파 전원(14)에 의해 생성된 고주파 전력이 챔버(17)에 공급되는 경우를 예로 설명했지만, 개시된 기술은 이에 한정되지 않으며, 복수의 고주파 전원(14)에 의해 생성된 상이한 주파수의 고주파 전력이 챔버(17)에 공급되어도 된다. 이 경우, 플라즈마 처리 장치(10)에는 각각의 주파수의 고주파 전력을 생성하는 고주파 전원(14)마다, 신호 동기 처리부(20), 제어량 산출부(12), 제어 신호 생성부(13), 정합 회로(15) 및 전력 센서(16)가 각각 하나씩 마련된다.
실시예 2에 대해서도 마찬가지로, 복수의 고주파 전원(14)에 의해 생성된 상이한 주파수의 고주파 전력이 챔버(17)에 공급되는 경우, 플라즈마 처리 장치(10)에는 각각의 주파수의 고주파 전력을 생성하는 고주파 전원(14)마다, 신호 동기 처리부(20-1), 신호 동기 처리부(20-2), 제어량 산출부(12), 제어 신호 생성부(13), 정합 회로(15), 전력 센서(16) 및 전력 센서(18)가 각각 하나씩 마련된다.
또한, 상기한 각 실시예에 있어서, 신호 동기 처리부(20)가 가지는 각각의 처리 블록은, 실시예에 있어서의 신호 동기 처리부(20)의 이해를 용이하게 하기 위하여, 주요 처리 내용에 따라 기능별로 구분한 것이다. 이 때문에, 처리 블록의 구분 방법 또는 그 명칭에 의해 명시된 기술이 제한되지는 않는다. 또한, 상기한 각 실시예에 있어서의 신호 동기 처리부(20)가 각각 가지는 각 처리 블록은, 처리 내용에 따라 더 많은 처리 블록으로 세분화할 수도 있으며, 복수의 처리 블록을 하나의 처리 블록으로 통합할 수도 있다. 또한, 각각의 처리 블록에 의해 실행되는 처리는 소프트웨어에 의한 처리로서 실현되어도 되며, ASIC(Application Specific Integrated Circuit) 등의 전용의 하드웨어에 의해 실현되어도 된다.
10 : 플라즈마 처리 장치
11 : 기판
12 : 제어량 산출부
13 : 제어 신호 생성부
14 : 고주파 전원
140 : 발진기
141 : 증폭기
15 : 정합 회로
16 : 전력 센서
17 : 챔버
18 : 전력 센서
20 : 신호 동기 처리부
21 : 진폭 위상 산출부
210 : 증폭기
211 : ADC
212 : 시프트부
213 : 이상기
214 : 곱셈기
215 : 곱셈기
216 : LPF
217 : LPF
218 : 진폭 산출부
219 : 위상 산출부
22 : 진폭 위상 산출부
220 : 증폭기
221 : ADC
222 : 시프트부
223 : 이상기
224 : 곱셈기
225 : 곱셈기
226 : LPF
227 : LPF
228 : 진폭 산출부
229 : 위상 산출부
23 : PLL
24 : 위상차 산출부
25 : 임피던스 산출부

Claims (7)

  1. 내부에 공간을 가지며, 상기 공간 내에 생성된 플라즈마에 의해 상기 공간 내로 반입된 피처리체를 처리하는 챔버와,
    상기 챔버 내에 플라즈마를 생성하기 위한 고주파 전력을 공급하는 전력 공급부와,
    상기 챔버 내의 플라즈마와 상기 전력 공급부 사이의 임피던스를 정합시키는 정합 회로와,
    상기 챔버 내의 플라즈마의 임피던스를 산출하는 제 1 산출부와,
    상기 제 1 산출부에 의해 산출된 임피던스에 기초하여, 상기 챔버 내에 공급되는 고주파 전력의 주파수, 고주파 전력의 크기 및 상기 정합 회로의 임피던스를 제어하는 제어 회로
    를 구비하고,
    상기 제 1 산출부와 상기 제어 회로는 하나의 기판 상에 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 정합 회로와 상기 챔버 사이의 노드에 접속되고, 상기 챔버 내에 공급되는 상기 고주파 전력의 전압 및 전류를 측정하는 제 1 측정부를 더 구비하고,
    상기 제 1 산출부는,
    상기 제 1 측정부에 의해 측정된 상기 고주파 전력의 전압 및 전류에 기초하여, 상기 챔버 내의 플라즈마의 임피던스를 산출하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 산출부는,
    상기 챔버 내에 공급되는 고주파 전력의 전압을 디지털 신호로 변환하는 제 1 ADC(Analog to Digital Converter)와,
    상기 챔버 내에 공급되는 고주파 전력의 전류를 디지털 신호로 변환하는 제 2 ADC와,
    디지털 신호로 변환된 상기 전압 및 상기 전류의 각각의 위상 및 진폭을 산출하는 제 2 산출부와,
    디지털 신호로 변환된 상기 전압 및 상기 전류의 위상차 및 진폭비에 기초하여 상기 챔버 내의 플라즈마의 임피던스를 산출하는 제 3 산출부
    를 가지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 1 산출부는,
    상기 제 1 ADC 및 상기 제 2 ADC의 각각에 이용되는 샘플링 클록을 생성하는 신호 발생기와,
    상기 샘플링 클록에 대한 상기 전압의 위상에 기초하여, 상기 제 1 ADC에 입력되는 상기 샘플링 클록의 위상을 조정하는 제 1 위상 조정부와,
    상기 샘플링 클록에 대한 상기 전류의 위상에 기초하여, 상기 제 2 ADC에 입력되는 상기 샘플링 클록의 위상을 조정하는 제 2 위상 조정부
    를 가지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리 장치.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 1 산출부는,
    상기 챔버 내에 공급되는 상기 고주파 전력의 전압을 증폭하여 상기 제 1 ADC에 입력하는 제 1 증폭기와,
    상기 챔버 내에 공급되는 상기 고주파 전력의 전류를 증폭하여 상기 제 2 ADC에 입력하는 제 2 증폭기와,
    상기 제 2 산출부에 의해 산출된 상기 전압의 진폭에 기초하여, 상기 제 1 증폭기의 게인을 조정하는 제 1 게인 조정부와,
    상기 제 2 산출부에 의해 산출된 상기 전류의 진폭에 기초하여, 상기 제 2 증폭기의 게인을 조정하는 제 2 게인 조정부
    를 가지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리 장치.
  6. 제 2 항에 있어서,
    상기 전력 공급부와 상기 정합 회로 사이의 노드에 접속되어, 상기 전력 공급부로부터 상기 정합 회로로 출력되는 고주파 전력의 전압 및 전류를 측정하는 제 2 측정부를 더 구비하고,
    상기 제 1 산출부는,
    상기 제 2 측정부에 의해 측정된 고주파 전력의 전압 및 전류를 더 이용하여, 상기 챔버 내의 플라즈마의 임피던스를 산출하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리 장치.
  7. 내부에 공간을 가지며, 상기 공간 내에 생성된 플라즈마에 의해 상기 공간 내로 반입된 피처리체를 처리하는 챔버와,
    상기 챔버 내에 플라즈마를 생성하기 위한 고주파 전력을 공급하는 전력 공급부와,
    상기 챔버와 상기 전력 공급부 사이에 마련된 정합 회로와,
    상기 전력 공급부에 의해 상기 챔버 내에 공급되는 고주파 전력의 주파수, 고주파 전력의 크기 및 상기 정합 회로의 임피던스를 제어하는 제어 회로
    를 구비하는 플라즈마 처리 장치에 이용되고, 상기 챔버 내의 플라즈마의 임피던스를 측정하는 측정 회로로서,
    상기 제어 회로와 함께 하나의 기판 상에 마련되어 있고,
    상기 챔버 내에 공급되는 고주파 전력의 전압을 디지털 신호로 변환하는 제 1 ADC와,
    상기 챔버 내에 공급되는 고주파 전력의 전류를 디지털 신호로 변환하는 제 2 ADC와,
    디지털 신호로 변환된 상기 전압 및 상기 전류의 각각의 진폭 및 위상을 산출하는 진폭 위상 산출부와,
    디지털 신호로 변환된 상기 전압 및 상기 전류의 위상차 및 진폭비에 기초하여 상기 챔버 내의 플라즈마의 임피던스를 산출하는 임피던스 산출부
    를 가지는 것을 특징으로 하는 측정 회로.
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CN108989143B (zh) * 2018-05-25 2021-11-12 上海华岭集成电路技术股份有限公司 通用半导体高速串行信号自动测试方法
TWI710209B (zh) * 2019-07-02 2020-11-11 立積電子股份有限公司 放大裝置
JP2022542397A (ja) * 2019-07-31 2022-10-03 ラム リサーチ コーポレーション 複数の出力ポートを有する無線周波数電力発生器
CN110752137B (zh) * 2019-11-01 2022-04-22 北京北方华创微电子装备有限公司 偏压控制方法及装置、半导体加工设备
WO2022005815A1 (en) * 2020-06-29 2022-01-06 Lam Research Corporation Accurate determination of radio frequency power through digital inversion of sensor effects
US11854768B2 (en) * 2021-08-30 2023-12-26 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. In-situ closed-loop management of radio frequency power generator

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1064696A (ja) 1996-08-23 1998-03-06 Tokyo Electron Ltd プラズマ処理装置
JP2017073247A (ja) 2015-10-06 2017-04-13 東京エレクトロン株式会社 プラズマ処理装置のインピーダンス整合のための方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI419464B (zh) * 2008-07-21 2013-12-11 Applied Materials Inc 雙頻電源應用之裝置
JP5498217B2 (ja) * 2010-03-24 2014-05-21 株式会社ダイヘン 高周波測定装置、および、高周波測定装置の校正方法
JP2013105543A (ja) * 2011-11-10 2013-05-30 Tokyo Electron Ltd 基板処理装置
JP5867701B2 (ja) * 2011-12-15 2016-02-24 東京エレクトロン株式会社 プラズマ処理装置
US8781415B1 (en) * 2013-02-07 2014-07-15 Mks Instruments, Inc. Distortion correction based feedforward control systems and methods for radio frequency power sources
US9263350B2 (en) 2014-06-03 2016-02-16 Lam Research Corporation Multi-station plasma reactor with RF balancing
US11417501B2 (en) * 2015-09-29 2022-08-16 Hitachi High-Tech Corporation Plasma processing apparatus and plasma processing method

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1064696A (ja) 1996-08-23 1998-03-06 Tokyo Electron Ltd プラズマ処理装置
JP2017073247A (ja) 2015-10-06 2017-04-13 東京エレクトロン株式会社 プラズマ処理装置のインピーダンス整合のための方法

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