KR20190037829A - Scribing apparatus - Google Patents

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Abstract

According to an embodiment of the present invention, a scribing apparatus includes: a substrate transfer unit supporting a substrate to transfer the same in a Y-axis direction; and a scribing unit movably installed on a frame in an X-axis direction and including a scribing head having a scribing wheel, wherein the scribing head includes: a scribing module having the scribing wheel; and a horizontal moving module moving the scribing module in the Y-axis direction, and the horizontal moving module includes: a plurality of guide members extended in the Y-axis direction; a connecting member connected with the scribing module and movably supported on the plurality of guide members; and a driving unit moving the connecting member in the Y-axis direction.

Description

스크라이빙 장치{SCRIBING APPARATUS}[0001] SCRIBING APPARATUS [0002]

본 발명은 기판에 스크라이빙 라인을 형성하기 위한 스크라이빙 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a scribing device for forming a scribing line on a substrate.

일반적으로, 평판 디스플레이에 사용되는 액정 디스플레이 패널, 유기 전계 발광 디스플레이 패널, 무기 전계 발광 디스플레이 패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판을 제조하는 데에, 유리와 같은 취성의 머더 글라스 패널을 소정의 크기로 절단하여 형성되는 단위 글라스 패널이 사용된다.Generally, in manufacturing a liquid crystal display panel, an organic electroluminescence display panel, an inorganic electroluminescent display panel, a transmissive projector substrate, and a reflective projector substrate used for a flat panel display, a brittle mother glass panel such as glass, Is used as a unit glass panel.

기판을 절단하는 공정은, 기판이 절단될 절단 예정선을 따라 다이아몬드와 같은 재질의 스크라이빙 휠을 가압하면서 이동시켜 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 공정과, 스크라이빙 라인을 따라 기판을 가압하는 것에 의해 기판을 절단하여 단위 기판을 얻는 브레이킹 공정을 포함한다.The step of cutting the substrate includes a scribing step of moving a scribing wheel made of a material such as diamond along a line along which the substrate is to be cut to press and moving the scribing line to form a scribing line, And a breaking step of cutting the substrate to obtain a unit substrate.

스크라이빙 공정에서는, 기판의 이송 방향을 기준으로 기판의 전방측 단부 및 후방측 단부가 지지된 상태에서, 기판의 전방측 단부 및 후방측 단부 사이의 영역에서 스크라이빙 휠이 이동하면서 기판에 스크라이빙 라인을 형성하게 된다.In the scribing process, in a state in which the front side end portion and the rear side end portion of the substrate are supported with respect to the transfer direction of the substrate, the scribing wheel moves in the region between the front side end portion and the rear side end portion of the substrate Thereby forming a scribing line.

스크라이빙 공정을 수행하기 전에 기판은 사전에 정렬된 상태로 스크라이빙 공정으로 투입된다. 그러나, 기판이 적절하게 정렬되지 않은 상태로 스크라이빙 공정으로 투입되는 경우에는, 기판에 스크라이빙 라인을 정확하게 형성하기 어려운 문제가 있다.Prior to performing the scribing process, the substrate is put into the scribing process in a pre-aligned state. However, there is a problem that it is difficult to precisely form a scribing line on the substrate when the substrate is put into the scribing process in an unsuitably aligned state.

또한, 기판을 절단하여 복수의 단위 패널, 특히, 서로 다른 형상을 갖는 복수의 단위 패널을 생성하기 위해서는 하나의 기판에 X축 방향 및 Y축 방향으로 복수의 스크라이빙 라인을 형성할 필요가 있다. 그런데, 기판에 X축 방향의 스크라이빙 라인을 형성하기 위해 스크라이빙 휠을 X축 방향으로 이동시키고 기판에 Y축 방향의 스크라이빙 라인을 형성하기 위해 기판을 Y축 방향으로 이동시키는 구성의 경우에는, X축 방향 및 Y축 방향으로 복수의 스크라이빙 라인을 형성하기 위해 스크라이빙 휠 및 기판을 여러 번 반복하여 이동시켜야 하므로, 스크라이빙 공정이 복잡하고 스크라이빙 공정을 수행하는 데에 긴 시간이 필요하다는 문제가 있다.Further, in order to produce a plurality of unit panels, particularly, a plurality of unit panels having different shapes by cutting the substrate, it is necessary to form a plurality of scribing lines in the X-axis direction and the Y-axis direction on one substrate . By the way, in order to form the scribing line in the X-axis direction on the substrate, the substrate is moved in the Y-axis direction in order to move the scribing wheel in the X-axis direction and form the scribing line in the Y- The scribing wheel and the substrate must be moved repeatedly in order to form a plurality of scribing lines in the X-axis direction and the Y-axis direction, so that the scribing process is complicated and the scribing process is performed There is a problem that a long time is needed to

대한민국공개특허 제10-2007-0070824호(2007.07.04)Korean Patent Publication No. 10-2007-0070824 (2007.07.04)

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 기판이 프레임에 대하여 회전된 상태로 스크라이빙 공정으로 투입되는 경우에도, 스크라이빙 휠을 적절한 위치로 이동시켜 기판에 스크라이빙 라인을 정확하게 형성할 수 있는 스크라이빙 장치를 제공하는 데에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems of the prior art and it is an object of the present invention to provide a scribing apparatus which moves a scribing wheel to an appropriate position even when a substrate is rotated in a state of being rotated relative to a frame, It is an object of the present invention to provide a scribing device capable of precisely forming a scribing line on a substrate.

또한, 본 발명의 목적은 스크라이빙 휠을 정확한 위치로 이동시킬 수 있으면서 스크라이빙 휠을 외력에 대해 견고하게 지지할 수 있는 스크라이빙 장치를 제공하는 데에 있다.It is also an object of the present invention to provide a scraping device capable of moving the scraping wheel to a correct position while firmly supporting the scraping wheel against an external force.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 기판을 지지하여 Y축 방향으로 이송하는 기판 이송 유닛; 및 X축 방향으로 연장되는 프레임과, 프레임에 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되며 스크라이빙 휠을 구비하는 스크라이빙 헤드를 포함하는 스크라이빙 유닛을 포함하는 스크라이빙 장치로서, 스크라이빙 헤드는, 스크라이빙 휠을 구비하는 스크라이빙 모듈; 및 스크라이빙 모듈을 Y축 방향으로 이동시키는 수평 이동 모듈을 포함하고, 수평 이동 모듈은, Y축 방향으로 연장되는 복수의 가이드 부재; 스크라이빙 모듈과 연결되며 복수의 가이드 부재에 이동 가능하게 지지되는 연결 부재; 및 연결 부재를 Y축 방향으로 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a scribing apparatus comprising: a substrate transfer unit for supporting a substrate and transferring the substrate in a Y-axis direction; And a scribing unit including a frame extending in the X-axis direction and a scribing head movably provided in the frame in the X-axis direction, the scribing unit comprising: The ice head includes a scribing module having a scribing wheel; And a horizontal movement module for moving the scribing module in the Y-axis direction, wherein the horizontal movement module comprises: a plurality of guide members extending in the Y-axis direction; A connecting member connected to the scribing module and movably supported by the plurality of guide members; And a driving unit for moving the connecting member in the Y-axis direction.

구동부는, 연결 부재와 연결되는 샤프트; 샤프트와 연결되어 샤프트를 Y축 방향으로 전진 또는 후퇴시키는 모터를 포함할 수 있다.The driving unit includes: a shaft connected to the connecting member; And a motor connected to the shaft for advancing or retracting the shaft in the Y-axis direction.

구동부는, 연결 부재와 연결되는 샤프트; 및 샤프트와 연결되어 공압 또는 유압에 의해 작동하면서 샤프트를 Y축 방향으로 전진 또는 후퇴시키는 액추에이터를 포함할 수 있다.The driving unit includes: a shaft connected to the connecting member; And an actuator connected to the shaft and operated by pneumatic or hydraulic pressure to advance or retract the shaft in the Y-axis direction.

본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 스크라이빙 모듈과 연결되어 스크라이빙 모듈을 Y축 방향에 수직인 방향으로 이동시키는 수직 이동 모듈을 더 포함할 수 있다.The scribing apparatus according to an embodiment of the present invention may further include a vertical movement module connected to the scribing module to move the scribing module in a direction perpendicular to the Y axis direction.

본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 따르면, 스크라이빙 휠이 X축 방향으로 이동할 뿐만 아니라 프레임에 대하여 Y축 방향으로 이동하면서 프레임에 대하여 경사진 스크라이빙 라인을 기판에 형성할 수 있으므로, 기판이 프레임에 대하여 회전된 상태로 스크라이빙 공정으로 투입되는 경우에도, 스크라이빙 휠을 적절한 위치로 이동시켜 기판에 스크라이빙 라인을 정확하게 형성할 수 있다.According to the scribing apparatus according to the embodiment of the present invention, the scribing wheel moves in the X-axis direction as well as in the Y-axis direction with respect to the frame, and a scribing line inclined with respect to the frame can be formed on the substrate Therefore, even when the substrate is put into the scribing process while being rotated with respect to the frame, the scribing wheel can be moved to a proper position to accurately form the scribing line on the substrate.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 따르면, 스크라이빙 휠이 장착된 스크라이빙 모듈이 Y축 방향으로 연장되는 복수의 가이드 부재에 지지되어 이동될 수 있으므로, 스크라이빙 휠이 안정적으로 정확하게 이동될 수 있고 외력에 대해 견고하게 지지될 수 있다.Further, according to the scribing apparatus according to the embodiment of the present invention, the scribing module equipped with the scribing wheel can be supported and moved by a plurality of guide members extending in the Y-axis direction, Can be stably and accurately moved and can be firmly supported against external force.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치가 개략적으로 도시된 평면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치가 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 스크라이빙 헤드가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 4 내지 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 의해 기판에 스크라이빙 라인이 형성되는 일 예가 순차적으로 도시된 도면이다.
도 7 내지 도 13은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 의해 기판에 스크라이빙 라인이 형성되는 다른 예가 순차적으로 도시된 도면이다.1 is a plan view schematically showing a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a side view schematically illustrating a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a schematic view of a scribing head of a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIGS. 4 to 6 are views sequentially illustrating an example in which scribing lines are formed on a substrate by a scribing device according to an embodiment of the present invention.
7 to 13 are views sequentially showing another example in which scribing lines are formed on a substrate by a scribing device according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 대하여 설명한다.Hereinafter, a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

여기에서, 스크라이빙 공정이 수행될 기판(S)이 이송되는 방향을 Y축 방향이라 정의하고, 기판(S)이 이송되는 방향(Y축 방향)에 수직하는 방향을 X축 방향이라 정의한다. 그리고, 기판이(S) 놓이는 X-Y평면에 수직인 방향을 Z축 방향이라 정의한다.Here, the direction in which the substrate S to be scribed is conveyed is defined as the Y-axis direction, and the direction perpendicular to the direction in which the substrate S is conveyed (Y-axis direction) is defined as the X-axis direction . A direction perpendicular to the X-Y plane in which the substrate S is placed is defined as a Z-axis direction.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 기판(S)을 이송하는 기판 이송 유닛(10)과, 기판 이송 유닛(10)에 의해 이송된 기판(S)에 X축 방향 및 Y축 방향으로 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 유닛(20)을 포함할 수 있다.1 and 2, a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention includes a substrate transfer unit 10 for transferring a substrate S, a substrate transfer unit 10 for transferring the substrate S, And a scribing unit 20 for forming scribing lines in the X-axis direction and the Y-axis direction on the substrate S.

기판 이송 유닛(10)은 기판(S)의 후행단을 파지하는 파지 모듈(11)과, Y축 방향으로 연장되어 파지 모듈(11)의 이동을 안내하는 가이드 레일(12)과, 기판(S)을 지지하면서 이송하는 복수의 벨트(13)를 포함할 수 있다.The substrate transfer unit 10 includes a holding module 11 holding the rear end of the substrate S, a guide rail 12 extending in the Y axis direction to guide the movement of the holding module 11, And a plurality of belts 13 carrying and supporting the belt 13.

파지 모듈(11)과 가이드 레일(12) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 따라서, 파지 모듈(11)이 기판(S)의 후행단을 파지한 상태에서 직선 이동 기구에 의해 파지 모듈(11)이 Y축 방향으로 이동됨에 따라 기판(S)이 Y축 방향으로 이송될 수 있다. 이때, 벨트(13)는 파지 모듈(11)의 이동과 동기화되어 회전되면서 기판(S)의 하면을 안정적으로 지지할 수 있다.Between the grip module 11 and the guide rail 12, an actuator that operates by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor that is operated by electromagnetic interaction, or a linear movement mechanism such as a ball screw mechanism may be provided. Accordingly, the substrate S can be transferred in the Y-axis direction as the holding module 11 is moved in the Y-axis direction by the linear moving mechanism in a state where the holding module 11 holds the rear end of the substrate S have. At this time, the belt 13 can be stably supported on the lower surface of the substrate S while being rotated in synchronization with the movement of the holding module 11. [

파지 모듈(11)은 기판(S)의 후행단을 물리적으로 가압하여 유지하는 클램프일 수 있다. 다만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 파지 모듈(11)은 진공원과 연결된 진공홀을 구비하여 기판(S)의 후행단을 흡착하도록 구성될 수 있다.The gripping module 11 may be a clamp that physically presses and holds the rear end of the substrate S. However, the present invention is not limited to this, and the holding module 11 may include a vacuum hole connected to a vacuum source so as to adsorb the rear end of the substrate S.

가이드 레일(12)은 X축 방향으로 복수로 구비될 수 있다. 복수의 가이드 레일(12)은 X축 방향으로 서로 이격될 수 있다. 복수의 가이드 레일(12)은 복수의 벨트(13) 사이에 배치될 수 있다. 가이드 레일(12)은 파지 모듈(11)의 Y축 방향으로의 이동을 안내하는 역할을 한다.The guide rails 12 may be provided in plural in the X-axis direction. The plurality of guide rails 12 may be spaced from each other in the X-axis direction. A plurality of guide rails (12) can be disposed between the plurality of belts (13). The guide rail 12 serves to guide the movement of the grip module 11 in the Y-axis direction.

복수의 벨트(13)는 X축 방향으로 서로 이격될 수 있다. 각 벨트(13)는 복수의 풀리(14)에 의해 지지되며, 복수의 풀리(14) 중 적어도 하나는 벨트(13)를 회전시키는 구동력을 제공하는 구동 롤러일 수 있다.The plurality of belts 13 may be spaced from each other in the X-axis direction. Each belt 13 is supported by a plurality of pulleys 14 and at least one of the plurality of pulleys 14 may be a drive roller that provides a driving force to rotate the belt 13. [

스크라이빙 유닛(20)은, X축 방향으로 연장되는 프레임(21)과, 프레임(21)에 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 스크라이빙 헤드(22)와, 프레임(21)과 스크라이빙 헤드(22) 사이에 설치되어 스크라이빙 헤드(22)를 프레임(21)을 따라 X축 방향으로 이동시키는 헤드 이동 모듈(24)을 포함할 수 있다.The scribing unit 20 includes a frame 21 extending in the X-axis direction, a scribing head 22 mounted on the frame 21 movably in the X-axis direction, And a head moving module 24 installed between the crybing head 22 and moving the scribing head 22 along the frame 21 in the X axis direction.

프레임(21)은 Z축 방향으로 이격되게 배치되는 한 쌍의 프레임(21)으로서 구성될 수 있다. 이 경우, 복수의 스크라이빙 헤드(22)가 한 쌍의 프레임(21) 각각에 설치될 수 있다. 한 쌍의 프레임(21) 사이에는 기판(S)이 통과하는 공간이 마련된다. 한 쌍의 프레임(21)은 일체로 형성될 수 있다. 스크라이빙 헤드(22)는 프레임(21)을 따라 X축 방향으로 복수로 배치될 수 있다.The frame 21 may be configured as a pair of frames 21 arranged to be spaced apart in the Z-axis direction. In this case, a plurality of scribing heads 22 can be provided in each of the pair of frames 21. [ A space through which the substrate S passes is provided between the pair of frames 21. The pair of frames 21 may be integrally formed. The scribing heads 22 may be arranged in plural in the X-axis direction along the frame 21.

도 3에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 헤드(22)는, 기판(S)에 스크라이빙 라인을 형성하기 위한 스크라이빙 모듈(50)과, 스크라이빙 모듈(50)과 연결되어 스크라이빙 모듈(50)을 Z축 방향으로 이동시키는 수직 이동 모듈(60)과, 스크라이빙 모듈(50)과 연결되어 스크라이빙 모듈(50)을 Y축 방향으로 이동시키는 수평 이동 모듈(70)을 포함할 수 있다.3, the scribing head 22 includes a scribing module 50 for forming a scribing line on the substrate S, and a scribing module 50 connected to the scribing module 50, A vertical movement module 60 for moving the crying module 50 in the Z axis direction and a horizontal movement module 70 connected to the scribing module 50 to move the scribing module 50 in the Y axis direction ).

스크라이빙 모듈(50)은, 스크라이빙 휠(51)을 유지하는 휠 홀더(52)와, 휠 홀더(52)를 지지하는 홀더 지지 부재(53)와, 홀더 지지 부재(53)가 Z축을 중심으로 회전 가능하게 지지되는 하우징(54)을 포함할 수 있다.The scribing module 50 includes a wheel holder 52 for holding the scribing wheel 51, a holder supporting member 53 for supporting the wheel holder 52, And a housing 54 rotatably supported about an axis.

휠 홀더(52)는 홀더 지지 부재(53)에 형성된 삽입홈(미도시)에 삽입될 수 있다. 홀더 지지 부재(53)는 하우징(54)에 형성된 수용홈(미도시)에 삽입될 수 있다. 하우징(54) 내에서 홀더 지지 부재(53)가 Z축을 중심으로 용이하게 회전될 수 있도록, 하우징(54) 내에는 베어링(미도시)이 구비될 수 있다.The wheel holder 52 can be inserted into an insertion groove (not shown) formed in the holder supporting member 53. The holder supporting member 53 can be inserted into a receiving groove (not shown) formed in the housing 54. [ A bearing (not shown) may be provided in the housing 54 so that the holder support member 53 can be easily rotated about the Z axis within the housing 54.

수직 이동 모듈(60)의 작동에 의해 스크라이빙 모듈(50)이 Z축 방향으로 이동될 수 있으며, 이에 따라, 스크라이빙 휠(51)이 기판(S)에 접촉되거나 기판(S)으로부터 이격될 수 있다. 또한, 수직 이동 모듈(60)은 스크라이빙 모듈(50)을 기판(S)을 향하여 이동시켜, 스크라이빙 휠(51)을 기판(S)에 소정의 가압력으로 가압하는 역할을 한다.The scribing module 50 can be moved in the Z axis direction by the operation of the vertically moving module 60 so that the scribing wheel 51 contacts the substrate S or moves from the substrate S Can be spaced apart. The vertical movement module 60 moves the scribing module 50 toward the substrate S and presses the scribing wheel 51 against the substrate S with a predetermined pressing force.

스크라이빙 모듈(50)의 Z축 방향으로의 이동을 보다 정밀하게 제어할 수 있도록, 수직 이동 모듈(60)로서는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터가 사용되는 것이 바람직하다.In order to more precisely control the movement of the scribing module 50 in the Z-axis direction, it is preferable that an actuator that operates by pneumatic or hydraulic pressure is used as the vertical movement module 60.

수평 이동 모듈(70)은, 스크라이빙 모듈(50)이 지지되는 지지 프레임(71)에 설치되며 Y축 방향으로 연장되는 복수의 가이드 부재(72)와, 복수의 가이드 부재(72)에 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치되며 스크라이빙 모듈(50)과 연결되는 연결 부재(73)와, 연결 부재(73)와 연결되어 연결 부재(73)를 Y축 방향으로 이동시키는 구동부(74)를 포함할 수 있다.The horizontal movement module 70 includes a plurality of guide members 72 which are provided in the support frame 71 on which the scribing module 50 is supported and extend in the Y axis direction, A connecting member 73 which is movably installed in the axial direction and connected to the scribing module 50 and a driving unit 74 which is connected to the connecting member 73 and moves the connecting member 73 in the Y axis direction .

일 예로서, 구동부(74)는, 연결 부재(73)와 연결되는 샤프트(741)와, 샤프트(741)와 연결되는 모터(742)로 구성될 수 있다. 모터(742)는 샤프트(741)을 회전시키면서 샤프트(741)를 전진 및/또는 후퇴시킬 수 있다. 이와 같이, 모터(742)의 작동에 의해 샤프트(741)가 회전하면서 Y축 방향으로 전진 및/또는 후퇴할 수 있으며, 이에 따라, 샤프트(741) 및 연결 부재(73)와 연결된 스크라이빙 모듈(50)이 Y축 방향으로 이동될 수 있다.For example, the driving unit 74 may include a shaft 741 connected to the connecting member 73 and a motor 742 connected to the shaft 741. The motor 742 can advance and / or retract the shaft 741 while rotating the shaft 741. [ Thus, the operation of the motor 742 allows the shaft 741 to rotate and advance and / or retract in the Y-axis direction, whereby the shaft 741 and the scribing module 73, which is connected to the connecting member 73, The movable member 50 can be moved in the Y-axis direction.

다른 예로서, 구동부(74)는, 연결 부재(73)와 연결되는 샤프트(741)와, 샤프트(741)와 연결되어 공압 또는 유압에 의해 작동하면서 샤프트(741)를 Y축 방향으로 전진 및/또는 후퇴시키는 액추에이터(742)를 포함할 수 있다.As another example, the driving unit 74 includes a shaft 741 connected to the connecting member 73, a shaft 741 connected to the shaft 741 and operated by pneumatic or hydraulic pressure to move the shaft 741 forward and / Or an actuator 742 for retracting.

또 다른 예로서, 구동부(74)로는 연결 부재(73)와 연결되며, 전자기적 상호 작용을 사용하여 연결 부재(73)를 직선형으로 이동시키는 리니어 모터와 같은 직선 이동 기구가 사용될 수 있다.As another example, a linear movement mechanism, such as a linear motor, may be used as the driving unit 74, which is connected to the connecting member 73 and linearly moves the connecting member 73 using electromagnetic interaction.

이러한 구성에 따르면, 파지 모듈(11)이 기판(S)의 후행단을 파지하고 스크라이빙 휠(51)이 기판(S)의 표면에 가압된 상태에서, 파지 모듈(11)이 가이드 레일(12)을 따라 Y축 방향으로 이동함에 따라, 기판(S)에는 Y축 방향으로 스크라이빙 라인이 형성될 수 있다.According to such a configuration, when the grip module 11 grips the rear end of the substrate S and the grip module 51 is pressed against the surface of the substrate S, 12, a scribing line may be formed on the substrate S in the Y-axis direction.

스크라이빙 휠(51)이 기판(S)의 표면에 가압된 상태에서, 스크라이빙 헤드(22)가 프레임(21)을 따라 X축 방향으로 이동함에 따라, 기판(S)에는 X축 방향으로 스크라이빙 라인이 형성될 수 있다.As the scribing head 22 moves in the X-axis direction along the frame 21 in a state where the scribing wheel 51 is pressed against the surface of the substrate S, A scribing line can be formed.

헤드 이동 모듈(24)은 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구로서 구성될 수 있다.The head moving module 24 may be configured as a linear motion mechanism such as an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a ball screw mechanism.

본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 따르면, 스크라이빙 휠(51)을 구비하는 스크라이빙 모듈(50)이 Y축 방향으로 연장되는 복수의 가이드 부재(72)에 지지되어 이동될 수 있다. 따라서, 복수의 가이드 부재(72)는 스크라이빙 모듈(50)이 Z축 방향 또는 X축 방향으로 이동되는 것을 방지하며, 스크라이빙 모듈(50)이 회전되는 것을 방지한다. 이에 따라, 스크라이빙 모듈(50)이 Y축 방향으로 안정적으로 이동될 수 있다.According to the scribing apparatus according to the embodiment of the present invention, the scribing module 50 having the scribing wheel 51 is supported by a plurality of guide members 72 extending in the Y-axis direction, . Therefore, the plurality of guide members 72 prevent the scribing module 50 from moving in the Z-axis direction or the X-axis direction, and prevent the scribing module 50 from being rotated. Accordingly, the scribing module 50 can be stably moved in the Y-axis direction.

또한, 스크라이빙 모듈(50)이 복수의 가이드 부재(72)에 안정적으로 지지된 상태에서 구동부(74)에 의해 직선형으로 이동될 수 있으므로, 스크라이빙 모듈(50)에 외력이 가해지더라도, 스크라이빙 모듈(50)이 안정적이고 정밀하게 이동될 수 있다.In addition, since the scribing module 50 can be linearly moved by the driving unit 74 in a state where the scribing module 50 is stably supported by the plurality of guide members 72, even if an external force is applied to the scribing module 50, The scribing module 50 can be moved stably and precisely.

또한, 구동부(74)에 의해 발생되는 직선형의 힘이 다른 방향으로의 힘으로 변환되지 않고 Y축 방향으로의 힘으로서 스크라이빙 모듈(50)로 전달될 수 있으므로, 힘의 방향을 전환하기 위한 별도의 부재를 필요로 하지 않으므로, 이에 따라, 부품의 수를 줄일 수 있다.In addition, since the linear force generated by the driving unit 74 can be transmitted to the scribing module 50 as a force in the Y-axis direction without being converted into a force in the other direction, Since no separate member is required, the number of parts can be reduced accordingly.

이하, 도 4 내지 도 6을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 의해 기판(S)에 스크라이빙 라인(L)이 형성되는 과정을 설명한다.Hereinafter, the process of forming the scribing line L on the substrate S by the scribing apparatus according to the embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 4 to 6. FIG.

도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 복수의 스크라이빙 헤드(22)는, 예를 들어, 제1 스크라이빙 헤드(221) 및 제2 스크라이빙 헤드(222)를 포함할 수 있다.4 to 6, the plurality of scribing heads 22 may include, for example, a first scribing head 221 and a second scribing head 222 .

도 4에 도시된 바와 같이, 기판(S)이 프레임(21)을 기준으로 X축에 대하여 정렬되지 않고 Z축을 중심으로 약간 회전된 상태로 기판(S)이 스크라이빙 유닛(40)으로 로딩될 수 있다. 이러한 경우에는, 기판(S)에 형성될 스크라이빙 라인(L)의 가상선(VL)이 프레임(41)의 중심축(X축)에 대해 소정의 각도로 기울어질 수 있다. 이러한 경우에는, 복수의 스크라이빙 헤드(22) 중 제1 스크라이빙 헤드(221)의 스크라이빙 모듈(50)을 Y축 방향으로 이동시켜, 복수의 스크라이빙 헤드(22)의 스크라이빙 휠(51)이 기판(S)에 형성될 스크라이빙 라인(L) 상의 시작점에 위치되도록 한다.The substrate S is loaded onto the scribing unit 40 in a state in which the substrate S is not aligned with respect to the frame 21 but slightly rotated about the Z axis with respect to the frame 21 as shown in FIG. . In this case, the imaginary line VL of the scribing line L to be formed on the substrate S can be inclined at a predetermined angle with respect to the central axis (X axis) of the frame 41. [ In this case, the scribing module 50 of the first scribing head 221 of the plurality of scribing heads 22 is moved in the Y-axis direction so that a plurality of scribing heads 22 So that the crying wheel 51 is located at the starting point on the scribing line L to be formed on the substrate S.

그리고, 도 5에 도시된 바와 같이, 시작점에서 스크라이빙 휠(51)이 기판(S)에 가압된 상태에서, 스크라이빙 헤드(22)가 프레임(21)을 따라 X축 방향으로 이동되는 것과 동시에 스크라이빙 휠(51)이 프레임(21)에 대하여 Y축 방향으로 이동된다. 따라서, 스크라이빙 라인(L)이 X축을 기준으로 소정의 각도로 경사지게 형성될 수 있다.5, the scribing head 22 is moved in the X-axis direction along the frame 21 in a state where the scribing wheel 51 is pressed against the substrate S at the starting point At the same time, the scribing wheel 51 is moved in the Y-axis direction with respect to the frame 21. Accordingly, the scribing line L may be formed to be inclined at a predetermined angle with respect to the X axis.

이와 같은 스크라이빙 라인(L)을 형성하는 과정은 스크라이빙 휠(51)의 프레임(21)에 대한 Y축 방향으로의 이동 가능 거리가 X축을 기준으로 소정의 각도로 경사진 스크라이빙 라인(L)을 형성하기 위해 요구되는 스크라이빙 휠(51)의 Y축 방향으로 이동 가능 거리와 같거나 이에 비해 작을 경우에 수행될 수 있다.The process of forming such a scribing line L is such that the movable distance of the scribing wheel 51 in the Y-axis direction with respect to the frame 21 is smaller than the movable distance of the scribing wheel 51, Axis direction of the scribing wheel 51 is less than or equal to the movable distance in the Y-axis direction of the scribing wheel 51 required to form the line L. [

다른 예로서, 도 6에 도시된 바와 같이, 시작점에서 스크라이빙 휠(51)이 기판(S)에 가압된 상태에서, 스크라이빙 헤드(22)가 프레임(21)을 따라 X축 방향으로 이동되는 것과 동시에 기판(S)이 스크라이빙 헤드(22)를 향하여 Y축 방향으로 이동된다. 따라서, 스크라이빙 라인(L)이 X축을 기준으로 소정의 각도로 경사지게 형성될 수 있다.6, the scribing head 22 is moved in the X-axis direction along the frame 21 in a state where the scribing wheel 51 is pressed against the substrate S at the starting point, as shown in Fig. The substrate S is moved toward the scribing head 22 in the Y-axis direction. Accordingly, the scribing line L may be formed to be inclined at a predetermined angle with respect to the X axis.

이와 같은 스크라이빙 라인(L)을 형성하는 과정은 스크라이빙 휠(51)의 프레임(21)에 대한 Y축 방향으로의 이동 가능 거리가 X축을 기준으로 소정의 각도로 경사진 스크라이빙 라인(L)을 형성하기 위해 요구되는 스크라이빙 휠(51)의 Y축 방향으로 이동 가능 거리에 비하여 클 경우에도 수행될 수 있다.The process of forming such a scribing line L is such that the movable distance of the scribing wheel 51 in the Y-axis direction with respect to the frame 21 is smaller than the movable distance of the scribing wheel 51, Axis direction of the scribing wheel 51, which is required to form the line L, in the Y-axis direction.

이와 같이, 기판(S)이 X축에 대하여 Z축을 중심으로 회전된 상태로 스크라이빙 유닛(40)으로 로딩되는 경우에도, 기판(S)을 다시 정렬시키는 동작을 수행하지 않고, 기판(S)에 스크라이빙 라인(L)을 원활하게 형성할 수 있다.Thus, even when the substrate S is loaded into the scribing unit 40 while being rotated about the Z-axis with respect to the X-axis, the operation of aligning the substrate S The scribing line L can be smoothly formed.

이하, 도 7 내지 도 13를 참조하여, 본 발명의 다른 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 의해 기판(S)에 스크라이빙 라인(L)이 형성되는 과정을 설명한다.Hereinafter, a process of forming the scribing line L on the substrate S by the scribing device according to another embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 7 to 13. FIG.

도 7에 도시된 바와 같이, 단위 패널로서 비교적 큰 패널(LP)과 비교적 작은 패널(SP)이 하나의 기판(S)을 절단하는 것에 의해 생성될 수 있다. 이러한 비교적 큰 패널(LP)과 비교적 작은 패널(SP)을 하나의 기판(S)으로부터 생성하기 위해, 기판(S)에는 복수의 가상선(VL)을 따라 스크라이빙 라인(L)이 형성되어야 한다.As shown in Fig. 7, a relatively large panel LP and a relatively small panel SP can be produced by cutting one substrate S as a unit panel. In order to produce such a relatively large panel LP and a relatively small panel SP from one substrate S a scribing line L must be formed on the substrate S along a plurality of imaginary lines VL do.

도 8에 도시된 바와 같이, 기판(S)에 X축 방향으로 일직선 형태의 스크라이빙 라인(L)을 형성하는 과정에서는, 제1 및 제2 스크라이빙 헤드(221, 222)의 스크라이빙 헤드(51)가 일직선으로 X축 방향으로 이동될 수 있다.8, in the process of forming a linear scribing line L in the X-axis direction on the substrate S, the scribing line L of the first and second scribing heads 221, The ice head 51 can be moved in the X-axis direction in a straight line.

한편, 복수의 가상선(VL)은, X축 방향으로 연장되고 Y축 방향으로 이격되며 X축 방향으로 연결되거나 이격된 복수의 제1 X축 라인(X11, X12)을 포함할 수 있다.The plurality of virtual lines VL may include a plurality of first X-axis lines X11 and X12 extending in the X-axis direction, spaced apart in the Y-axis direction, and connected or spaced in the X-axis direction.

도 7은 복수의 제1 X축 라인(X11, X12)이 X축 방향으로 연결된 것으로 도시되지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 복수의 제1 X축 라인(X11, X12)이 X축 방향으로 이격될 수 있다. 즉, 도 7은 복수의 제1 X축 라인(X11, X12) 중 하나의 제1 X축 라인(X11)의 종료점 및 복수의 제1 X축 라인(X11, X12) 중 다른 하나의 제1 X축 라인(X12)의 시작점이 Y축 방향으로 일치하는 것으로 도시되지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 복수의 제1 X축 라인(X11, X12) 중 하나의 제1 X축 라인(X11)의 종료점 및 복수의 제1 X축 라인(X11, X12) 중 다른 하나의 제1 X축 라인(X12)의 시작점이 X축 방향으로 서로로부터 이격될 수 있다.7 shows a plurality of first X-axis lines X11 and X12 connected in the X-axis direction, but the present invention is not limited thereto. A plurality of first X-axis lines X11 and X12 extend in the X- Can be spaced apart. That is, FIG. 7 shows the end point of one of the first X-axis lines X11 and X12 and the end point of one of the plurality of first X-axis lines X11 and X12, The starting point of the axis line X12 is shown as being aligned in the Y axis direction but the present invention is not limited thereto and it is also possible to use the first X axis line X11 of one of the plurality of first X axis lines X11, The starting point of the end point and the first X-axis line X12 of the other one of the plurality of first X-axis lines X11 and X12 may be spaced apart from each other in the X-axis direction.

복수의 제1 X축 라인(X11, X12)은 Y축 방향으로 제1 간격(G1)을 갖도록 설정될 수 있다.The plurality of first X-axis lines X11 and X12 may be set to have a first gap G1 in the Y-axis direction.

여기에서, 제1 간격(G1)은 스크라이빙 휠(51)의 프레임(21)에 대한 Y축 방향으로의 이동 가능 거리와 같거나 작을 수 있다. 이에 따라, 제1 X축 라인(X11, X12) 중 하나의 제1 X축 라인(X11)을 따라 이동하는 스크라이빙 휠(51)이 기판(S)의 Y축 방향으로의 이동 없이 프레임(21)에 대해 Y축 방향으로 이동된 후 다른 하나의 제1 X축 라인(X12)을 따라 이동할 수 있다.Here, the first gap G1 may be equal to or smaller than the movable distance of the scribing wheel 51 in the Y-axis direction with respect to the frame 21. Accordingly, the scribing wheel 51 moving along one of the first X-axis lines X11 and X12 along the first X-axis line X11 moves in the Y-axis direction of the substrate S 21 in the Y-axis direction and then move along the other first X-axis line X12.

이러한 복수의 제1 X축 라인(X11, X12)을 따라 스크라이빙 라인을 형성하기 위해, 먼저, 도 9에 도시된 바와 같이, 제1 스크라이빙 헤드(221)의 스크라이빙 휠(51)이 제1 X축 라인(X11, X12) 중 하나의 제1 X축 라인(X11)의 시작점에 위치된다. 그리고, 도 10에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 휠(51)이 제1 X축 라인(X11, X12) 중 하나의 제1 X축 라인(X11)의 시작점으로부터 X축 방향으로 이동함에 따라 제1 X축 라인(X11, X12) 중 하나의 제1 X축 라인(X11)을 따라 스크라이빙 라인(L)이 형성될 수 있다. 그리고, 도 11에 도시된 바와 같이, 제1 X축 라인(X11, X12) 중 하나의 제1 X축 라인(X11)의 종료점에서 제1 스크라이빙 헤드(221)의 스크라이빙 휠(51)이 프레임(21)에 대하여 Y축 방향으로 이동되어 제1 X축 라인(X11, X12) 중 다른 하나의 제1 X축 라인(X12)의 시작점에 위치된다. 그리고, 도 12에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 휠(51)이 제1 X축 라인(X11, X12) 중 다른 하나의 제1 X축 라인(X12)의 시작점으로부터 X축 방향으로 이동함에 따라, 제1 X축 라인(X11, X12) 중 다른 하나의 제1 X축 라인(X12)을 따라 스크라이빙 라인(L)이 형성될 수 있다.In order to form a scribing line along the plurality of first X-axis lines X11 and X12, first, as shown in Fig. 9, the scribing wheel 51 of the first scribing head 221 Is located at the starting point of the first X-axis line X11 of one of the first X-axis lines X11 and X12. As shown in FIG. 10, as the scribing wheel 51 moves in the X-axis direction from the starting point of the first X-axis line X11 of one of the first X-axis lines X11 and X12, The scribing line L may be formed along the first X-axis line X11 of one of the X-axis lines X11 and X12. 11, at the end point of the first X-axis line X11 of one of the first X-axis lines X11 and X12, the scribing wheel 51 of the first scribing head 221 Is moved in the Y axis direction with respect to the frame 21 and positioned at the starting point of the other first X axis line X12 of the first X axis lines X11 and X12. 12, as the scribing wheel 51 moves in the X-axis direction from the start point of the other first X-axis line X12 of the first X-axis lines X11 and X12 , The scribing line L may be formed along the first one of the first X-axis lines X11 and X12 along the first X-axis line X12.

이와 같이, 하나의 제1 스크라이빙 헤드(221)의 스크라이빙 휠(51)이 X축 방향으로 이동할 뿐만 아니라 프레임(21)에 대하여 Y축 방향으로 이동하면서 Y축 방향으로 제1 간격(G1)을 가지면서 X축 방향으로 연장되는 복수의 제1 X축 라인(X11, X12)을 따라 스크라이빙 라인(L)을 형성할 수 있다. 따라서, 하나의 스크라이빙 휠(51)을 사용하여 Y축 방향으로 이격되고 X축 방향으로 연결되거나 이격되며 X축 방향으로 연장되는 복수의 제1 X축 라인(X11, X12)을 따라 스크라이빙 라인(L)을 형성하기 위해 기판(S)을 Y축 방향으로 반복적으로 이동시키는 과정을 생략할 수 있다. 따라서, 기판(S)에 스크라이빙 라인(L)을 형성하는 공정을 단순화시킬 수 있다.In this manner, the scribing wheel 51 of one first scribing head 221 moves not only in the X-axis direction but also in the Y-axis direction with respect to the frame 21, The scribing line L can be formed along the plurality of first X-axis lines X11 and X12 extending in the X-axis direction while having the first X-axis lines G1. Accordingly, by using a single scribing wheel 51, a plurality of first X-axis lines X11, X12 spaced apart in the Y-axis direction and connected or spaced apart in the X-axis direction and extending in the X- The process of repeatedly moving the substrate S in the Y-axis direction in order to form the ice line L may be omitted. Therefore, the process of forming the scribing line L on the substrate S can be simplified.

또한, 복수의 가상선(VL)은, X축 방향으로 연장되고 Y축 방향으로 이격되며 X축 방향으로 연결되거나 이격된 복수의 제2 X축 라인(X21, X22)을 포함할 수 있다.The plurality of imaginary lines VL may include a plurality of second X-axis lines X21 and X22 extending in the X-axis direction, spaced apart in the Y-axis direction, and connected or spaced in the X-axis direction.

도 7은 복수의 제2 X축 라인(X21, X22)이 X축 방향으로 연결된 것으로 도시되지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 복수의 제2 X축 라인(X21, X22)이 X축 방향으로 이격될 수 있다. 즉, 도 7은 복수의 제2 X축 라인(X21, X22) 중 하나의 제2 X축 라인(X21)의 종료점 및 복수의 제2 X축 라인(X21, X22) 중 다른 하나의 제2 X축 라인(X22)의 시작점이 Y축 방향으로 일치하는 것으로 도시되지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 복수의 제2 X축 라인(X21, X22) 중 하나의 제2 X축 라인(X21)의 종료점 및 복수의 제2 X축 라인(X21, X22) 중 다른 하나의 제2 X축 라인(X22)의 시작점이 X축 방향으로 서로로부터 이격될 수 있다.7 shows a plurality of second X-axis lines X21 and X22 connected in the X-axis direction. However, the present invention is not limited thereto, and a plurality of second X-axis lines X21 and X22 may extend in the X- Can be spaced apart. That is, FIG. 7 shows an end point of one of the second X-axis lines X21 and X22 and an end point of the second X-axis line X21 of the other one of the plurality of second X-axis lines X21 and X22 The starting point of the axis line X22 is shown as being aligned in the Y axis direction but the present invention is not limited to this but the present invention is not limited to this and it is also possible to arrange the second X axis line X21 of one of the plurality of second X axis lines X21, The starting point of the end point and the second X-axis line X22 of the other one of the plurality of second X-axis lines X21 and X22 may be spaced apart from each other in the X-axis direction.

복수의 제2 X축 라인(X21, X22)은 Y축 방향으로 제2 간격(G2)을 갖도록 설정될 수 있다.The plurality of second X-axis lines X21 and X22 may be set to have a second gap G2 in the Y-axis direction.

여기에서, 제2 간격(G2)은 스크라이빙 휠(51)의 프레임(21)에 대한 Y축 방향으로의 이동 가능 거리와 같거나 작을 수 있다. 이에 따라, 제2 X축 라인(X21, X22) 중 하나의 제2 X축 라인(X21)을 따라 이동하는 스크라이빙 휠(51)이 기판(S)의 Y축 방향으로의 이동 없이 프레임(21)에 대해 Y축 방향으로 이동된 후 다른 하나의 제2 X축 라인(X22)을 따라 이동할 수 있다.Here, the second gap G2 may be equal to or smaller than the movable distance of the scribing wheel 51 in the Y-axis direction with respect to the frame 21. Accordingly, the scribing wheel 51 moving along one second X-axis line X21 of the second X-axis lines X21 and X22 is moved in the Y-axis direction of the substrate S 21 in the Y-axis direction and then move along the other second X-axis line X22.

이러한 복수의 제2 X축 라인(X21, X22)을 따라 스크라이빙 라인을 형성하기 위해, 먼저, 도 10에 도시된 바와 같이, 제2 스크라이빙 헤드(222)의 스크라이빙 휠(51)이 제2 X축 라인(X21, X22) 중 하나의 제2 X축 라인(X21)의 시작점에 위치된다. 그리고, 도 11에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 휠(51)이 제2 X축 라인(X21, X22) 중 하나의 제2 X축 라인(X21)의 시작점으로부터 X축 방향으로 이동함에 따라 제2 X축 라인(X21, X22) 중 하나의 제2 X축 라인(X21)을 따라 스크라이빙 라인(L)이 형성될 수 있다. 그리고, 도 12에 도시된 바와 같이, 제2 X축 라인(X21, X22) 중 하나의 제2 X축 라인(X21)의 종료점에서 제2 스크라이빙 헤드(222)의 스크라이빙 휠(51)이 프레임(21)에 대하여 Y축 방향으로 이동되어 제2 X축 라인(X21, X22) 중 다른 하나의 제2 X축 라인(X22)의 시작점에 위치된다. 그리고, 도 13에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 휠(51)이 제2 X축 라인(X21, X22) 중 다른 하나의 제2 X축 라인(X22)의 시작점으로부터 X축 방향으로 이동함에 따라, 제2 X축 라인(X21, X22) 중 다른 하나의 제2 X축 라인(X22)을 따라 스크라이빙 라인(L)이 형성될 수 있다.To form a scribing line along the plurality of second X-axis lines X21 and X22, first, as shown in Fig. 10, the scribing wheel 51 of the second scribing head 222 Is located at the start point of one of the second X-axis lines X21 and X22. 11, as the scribing wheel 51 moves in the X-axis direction from the starting point of the second X-axis line X21 of one of the second X-axis lines X21 and X22, The scribing line L may be formed along the second X-axis line X21 of one of the two X-axis lines X21 and X22. 12, at the end point of the second X-axis line X21 of one of the second X-axis lines X21 and X22, the scribing wheel 51 of the second scribing head 222 Is moved in the Y-axis direction with respect to the frame 21 and is located at the starting point of the other second X-axis line X22 of the second X-axis lines X21, X22. As shown in Fig. 13, as the scribing wheel 51 moves in the X-axis direction from the starting point of the second X-axis line X22 of the other of the second X-axis lines X21 and X22 And the scribing line L may be formed along the second X-axis line X22 of the second X-axis lines X21 and X22.

이와 같이, 하나의 제2 스크라이빙 헤드(222)의 스크라이빙 휠(51)이 X축 방향으로 이동할 뿐만 아니라 프레임(21)에 대하여 Y축 방향으로 이동하면서 Y축 방향으로 제2 간격(G2)을 가지면서 X축 방향으로 연장되는 복수의 제2 X축 라인(X21, X22)을 따라 스크라이빙 라인(L)을 형성할 수 있다. 따라서, 하나의 스크라이빙 휠(51)을 사용하여 Y축 방향으로 이격되고 X축 방향으로 연결되거나 이격되며 X축 방향으로 연장되는 복수의 제2 X축 라인(X21, X22)을 따라 스크라이빙 라인(L)을 형성하기 위해 기판(S)을 Y축 방향으로 반복적으로 이동시키는 과정을 생략할 수 있다. 따라서, 기판(S)에 스크라이빙 라인(L)을 형성하는 공정을 단순화시킬 수 있다.As described above, the scribing wheel 51 of one second scribing head 222 moves not only in the X-axis direction but also in the Y-axis direction with respect to the frame 21, The scribing line L can be formed along the plurality of second X-axis lines X21 and X22 extending in the X-axis direction while having the second X-axis lines G1 and G2. Accordingly, by using a single scribing wheel 51, a plurality of second X-axis lines X21, X22 spaced in the Y-axis direction and connected or spaced in the X-axis direction and extending in the X- The process of repeatedly moving the substrate S in the Y-axis direction in order to form the ice line L may be omitted. Therefore, the process of forming the scribing line L on the substrate S can be simplified.

한편, 복수의 가상선(VL)이, X축 방향으로 연장되고 Y축 방향으로 이격되며 X축 방향으로 연결되거나 이격된 복수의 제1 X축 라인(X11, X12)과, X축 방향으로 연장되고 Y축 방향으로 이격되며 X축 방향으로 연결되거나 이격된 복수의 제2 X축 라인(X21, X22)을 포함하는 경우에는, 먼저, 도 9에 도시된 바와 같이, 복수의 제1 X축 라인(X11, X12) 중 하나의 제1 X축 라인(X11)의 시작점에 제1 스크라이빙 헤드(221)의 스크라이빙 휠(51)을 위치된다.On the other hand, the plurality of imaginary lines VL extend in the X-axis direction, are spaced apart in the Y-axis direction and are connected or spaced in the X-axis direction, and a plurality of first X-axis lines X11, X12 extend in the X- Axis direction and a plurality of second X-axis lines X21 and X22 spaced in the Y-axis direction and connected or spaced in the X-axis direction, first, as shown in FIG. 9, The scribing wheel 51 of the first scribing head 221 is positioned at the starting point of the first X-axis line X11 of one of the X-axis X11 and X12.

그리고, 도 10에 도시된 바와 같이, 복수의 제1 X축 라인(X11, X12) 중 하나의 제1 X축 라인(X11)의 시작점으로부터 제1 스크라이빙 헤드(221)의 스크라이빙 휠(51)이 X축 방향으로 이동됨에 따라, 복수의 제1 X축 라인(X11, X12) 중 하나의 제1 X축 라인(X11)을 따라 스크라이빙 라인(L)이 형성된다.10, from the starting point of one of the first X-axis lines X11 and X12 to the starting point of the first X-axis line X11, the scribing wheel 221 of the first scribing head 221 The scribing line L is formed along one of the plurality of first X-axis lines X11 and X12 along the first X-axis line X11 as the first X-axis line X11 is moved in the X-axis direction.

이와 동시에 또는 순차적으로, 도 10에 도시된 바와 같이, 복수의 제2 X축 라인(X21, X22) 중 하나의 제2 X축 라인(X21)의 시작점에 제2 스크라이빙 헤드(222)의 스크라이빙 휠(51)을 위치된다.At the same time or sequentially, as shown in Fig. 10, the second scribing head 222 is moved to the start point of the second X-axis line X21 of one of the plurality of second X-axis lines X21 and X22 The scribing wheel 51 is positioned.

그리고, 도 11에 도시된 바와 같이, 복수의 제2 X축 라인(X21, X22) 중 하나의 제2 X축 라인(X21)의 시작점으로부터 제2 스크라이빙 헤드(222)의 스크라이빙 휠(51)이 X축 방향으로 이동됨에 따라, 복수의 제2 X축 라인(X21, X22) 중 하나의 제2 X축 라인(X21)을 따라 스크라이빙 라인(L)이 형성된다.11, from the starting point of the second X-axis line X21 of one of the plurality of second X-axis lines X21 and X22, the scribing wheel of the second scribing head 222 The scribing line L is formed along one second X-axis line X21 of the plurality of second X-axis lines X21 and X22 as the first X-axis line 51 is moved in the X-axis direction.

이와 동시에 또는 순차적으로, 도 11에 도시된 바와 같이, 복수의 제1 X축 라인(X11, X12) 중 하나의 제1 X축 라인(X11)의 종료점에서 제1 스크라이빙 헤드(221)의 스크라이빙 휠(51)이 프레임(21)에 대해 Y축 방향으로 이동되어 제1 스크라이빙 헤드(221)의 스크라이빙 휠(51)이 복수의 제1 X축 라인(X11) 중 다른 하나의 제1 X축 라인(X12)의 시작점에 위치된다.At the same time or sequentially, as shown in Fig. 11, at the end point of the first X-axis line X11 of one of the plurality of first X-axis lines X11, X12, the end of the first scribing head 221 The scribing wheel 51 is moved in the Y-axis direction with respect to the frame 21 so that the scribing wheel 51 of the first scribing head 221 is moved in the X- And is located at the start point of one first X-axis line X12.

그리고, 도 12에 도시된 바와 같이, 복수의 제1 X축 라인(X11, X12) 중 다른 하나의 제1 X축 라인(X12)의 시작점으로부터 제1 스크라이빙 헤드(221)의 스크라이빙 휠(51)이 X축 방향으로 이동됨에 따라, 복수의 제1 X축 라인(X11, X12) 중 다른 하나의 제1 X축 라인(X12)을 따라 스크라이빙 라인(L)이 형성된다.12, from the starting point of the other first X-axis line X12 of the plurality of first X-axis lines X11 and X12, the scribing of the first scribing head 221 As the wheel 51 is moved in the X axis direction, a scribing line L is formed along the other first X axis line X12 of the plurality of first X axis lines X11 and X12.

이와 동시에 또는 순차적으로, 도 12에 도시된 바와 같이, 복수의 제2 X축 라인(X21, X22) 중 하나의 제2 X축 라인(X21)의 종료점에서 제2 스크라이빙 헤드(222)의 스크라이빙 휠(51)이 프레임(21)에 대해 Y축 방향으로 이동되어 제2 스크라이빙 헤드(222)의 스크라이빙 휠(51)이 복수의 제2 X축 라인(X21, X22) 중 다른 하나의 제2 X축 라인(X22)의 시작점에 위치된다.12, at the end of the second X-axis line X21 of one of the plurality of second X-axis lines X21, X22, the second scribing head 222 The scribing wheel 51 is moved in the Y axis direction with respect to the frame 21 so that the scribing wheel 51 of the second scribing head 222 is moved along the plurality of second X axis lines X21, Axis X22 of the second X-axis line X22.

그리고, 도 13에 도시된 바와 같이, 복수의 제2 X축 라인(X21, X22) 중 다른 하나의 제2 X축 라인(X22)의 시작점으로부터 제2 스크라이빙 헤드(222)의 스크라이빙 휠(51)이 X축 방향으로 이동됨에 따라, 복수의 제2 X축 라인(X21, X22) 중 다른 하나의 제2 X축 라인(X22)을 따라 스크라이빙 라인(L)이 형성된다.13, from the starting point of the second one of the second X-axis lines X22 of the plurality of second X-axis lines X21 and X22, the scribing of the second scribing head 222 As the wheel 51 is moved in the X-axis direction, a scribing line L is formed along the second one of the plurality of second X-axis lines X21 and X22 along the second X-axis line X22.

이와 같이, 하나의 기판에 X축 방향으로 연장되며 Y축 방향으로 이격된 복수의 스크라이빙 라인(L)을 형성하는 과정에서, 복수의 스크라이빙 휠(51)이 X축 방향으로 이동할 뿐만 아니라 프레임(21)에 대하여 Y축 방향으로 이동하면서 복수의 스크라이빙 라인(L)이 형성될 수 있다.As described above, in the process of forming the plurality of scribing lines L extending in the X-axis direction and spaced apart in the Y-axis direction on one substrate, the plurality of scribing wheels 51 move only in the X- A plurality of scribing lines L may be formed while moving in the Y-axis direction with respect to the frame 21. [

따라서, X축 방향으로 연장되며 Y축 방향으로 이격된 복수의 스크라이빙 라인(L)을 형성하기 위해 기판(S)을 Y축 방향으로 반복적으로 이동시키는 과정을 생략할 수 있으므로, 기판(S)에 스크라이빙 라인(L)을 형성하는 공정을 단순화시킬 수 있다.Accordingly, the process of repeatedly moving the substrate S in the Y-axis direction in order to form a plurality of scribing lines L extending in the X-axis direction and spaced in the Y-axis direction can be omitted, The process of forming the scribing line L can be simplified.

한편, 기판(S)에 Y축 방향으로 스크라이빙 라인을 형성하기 위해, 해당 스크라이빙 라인의 시작점에 스크라이빙 휠(51)을 위치시킨 후, 기판(S)을 Y축 방향으로 이동시킬 수 있다.On the other hand, in order to form a scribing line in the Y-axis direction on the substrate S, after the scribing wheel 51 is positioned at the starting point of the scribing line, the substrate S is moved in the Y- .

본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described by way of example, the scope of the present invention is not limited to these specific embodiments, and can be appropriately changed within the scope of the claims.

10: 기판 이송 유닛
20: 스크라이빙 유닛
21: 프레임
22: 스크라이빙 헤드
50: 스크라이빙 모듈
51: 스크라이빙 휠
60: 수직 이동 모듈
70: 수평 이동 모듈10: substrate transfer unit
20: scribing unit
21: Frame
22: Scribing head
50: Scribing module
51: Scraping wheel
60: vertical movement module
70: horizontal movement module

Claims (4)

기판을 지지하여 Y축 방향으로 이송하는 기판 이송 유닛; 및
X축 방향으로 연장되는 프레임과, 상기 프레임에 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되며 스크라이빙 휠을 구비하는 스크라이빙 헤드를 포함하는 스크라이빙 유닛을 포함하는 스크라이빙 장치에 있어서,
상기 스크라이빙 헤드는, 상기 스크라이빙 휠을 구비하는 스크라이빙 모듈; 및 상기 스크라이빙 모듈을 Y축 방향으로 이동시키는 수평 이동 모듈을 포함하고,
상기 수평 이동 모듈은, Y축 방향으로 연장되는 복수의 가이드 부재; 상기 스크라이빙 모듈과 연결되며 상기 복수의 가이드 부재에 이동 가능하게 지지되는 연결 부재; 및 상기 연결 부재를 Y축 방향으로 이동시키는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.A substrate transfer unit that supports the substrate and transfers it in the Y axis direction; And
1. A scribing apparatus comprising a scribing unit including a frame extending in the X-axis direction, and a scribing head movably provided in the frame in the X-axis direction, the scribing wheel comprising:
The scribing head comprising: a scribing module having the scribing wheel; And a horizontal movement module for moving the scribing module in the Y-axis direction,
The horizontal movement module includes: a plurality of guide members extending in the Y-axis direction; A connecting member connected to the scribing module and movably supported by the plurality of guide members; And a driving unit for moving the connecting member in the Y-axis direction. 청구항 1에 있어서,
상기 구동부는,
상기 연결 부재와 연결되는 샤프트;
상기 샤프트와 연결되어 상기 샤프트를 Y축 방향으로 전진 또는 후퇴시키는 모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.The method according to claim 1,
The driving unit includes:
A shaft connected to the connecting member;
And a motor connected to the shaft to move the shaft forward or backward in the Y-axis direction. 청구항 1에 있어서,
상기 구동부는,
상기 연결 부재와 연결되는 샤프트; 및
상기 샤프트와 연결되어 공압 또는 유압에 의해 작동하면서 상기 샤프트를 Y축 방향으로 전진 또는 후퇴시키는 액추에이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.The method according to claim 1,
The driving unit includes:
A shaft connected to the connecting member; And
And an actuator connected to the shaft and operated by pneumatic or hydraulic pressure to advance or retreat the shaft in the Y-axis direction. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
상기 스크라이빙 모듈과 연결되어 상기 스크라이빙 모듈을 Y축 방향에 수직인 방향으로 이동시키는 수직 이동 모듈을 더 포함하는 스크라이빙 장치.The method according to any one of claims 1 to 3,
And a vertically moving module connected to the scribing module to move the scribing module in a direction perpendicular to the Y-axis direction.
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