JP4290784B2 - Glass scriber - Google Patents

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    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00Severing cooled glass
    • C03B33/02Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C03B33/023Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
    • C03B33/027Scoring tool holders; Driving mechanisms therefor

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、テーブル上にセットしたガラス板をスクライブするガラススクライバーに関する。
【0002】
【従来の技術】
図15に実公平7−18737号の「パネル割断装置」の概略図を示す。下端にそれぞれチップホルダー101を備えるスクライブヘッド102,103は、Y方向の支持部材104に沿って移動自在に設けられると共に昇降自在に設けられる。その支持部材104は、移動部材105により、X方向のガイドバー106に沿って移動自在に設けられる。ワークがセットされるテーブル107はY方向に移動可能であり、テーブル107がY方向に移動する毎に支持部材104がX方向に移動することにより、ワークに2条づつのスクライブラインがX方向に刻まれ、Y方向にスクライブするときは、テーブル107を90°回転させる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
このように、スクライブ位置の変更のためにテーブル107をY方向に移動させ、又、Y方向のスクライブ時にはテーブル107を回転させる必要がある。しかしながら、この装置ではテーブル107を回転させる機構が必要であり、テーブル自身の重量が大きいために強力で大掛かりな回転機構が必要となる。又、テーブル107を回転させるためのスペースが必要となるため装置が大型となった。
【0004】
2枚のガラス板が貼り合わされた液晶パネルは、大サイズの液晶パネルから商品サイズに割断するためにスクライブされるが、貼り合わされた2枚のガラス材料は異なる場合が多い。このため、表裏面のスクライブ時においては各材料に適合したスクライブ圧や刃先を用いなければならない。又、液晶パネルパターンによっては1本のスクライブライン毎にスクライブ圧を設定する必要がある。従来は、上記のようなフレキシブルな圧力設定ができず、パネル割断不良を起こしやすい状況であった。又、表裏面のスクライブ毎に刃先を交換する必要があり、装置の稼働率を低下させるという問題があった。
【0005】
本発明は、上述した課題を解決するためになされたものであり、テーブルを移動したり回転することなく容易にX方向およびY方向のスクライブを行えるツインヘッドの小型で多機能なガラススクライバーを提供することを目的とする。又、スクライブ状況に応じて最適なスクライブ圧でスクライブを行えるスクライブ法を提供する。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明のスクライバーは、請求項1にあるように、2個のチップホルダー(16)を保持するホルダー支持体(8)をY方向に移動可能とすると共に、ホルダー支持体(8)を90°回動した状態でX方向にも移動可能として、テーブル(1)を移動することなく、X方向およびY方向に2条づつスクライブするものである。
【0007】
上記スクライブヘッド(11,12)の後退時にもスクライブを行うには、チップホルダー(17)は180°軸回転されるが、ホイールチップの加工精度や軸の回転機構の組立て精度等の影響により、前進、後退時に同じ箇所をスクライブしても、前進時および後退時のスクライブラインが合致しないことが多い。そこで本発明では、請求項2にあるように、両スクライブラインのずれ量を予め計測しておき、後退スクライブ時にチップホルダー(17)の位置を前記ずれ量だけ位置補正している。
【0008】
加工対象のワークは個々の寸法精度によってテーブル上で定位置にセットされないことがあり、この位置ずれを吸収するために、請求項3では、スクライブ時、ホルダー支持体(8)をずれ角の方位に移動させると共に、カッターホイールチップ(16)の向きがスクライブ方向に合致するよう、ホルダー支持体(8)を微小角回動している。
【0009】
請求項4では前記位置ずれをなくすためにテーブル(1)を微小角回転可能としている。
【0010】
スクライブ圧を自在に調節できる手段を備えることにより、請求項5に示されるように、スクライブする箇所に応じて予め設定した最適なスクライブ圧でスクライブすることができる。
【0011】
スクライブする箇所に応じて予め設定した最適なスクライブ圧でスクライブする手法は、本願が対象とするツインヘッドスクライバーだけでなく一般のワンヘッドスクライバーにも適用できるため、請求項6にてガラススクライブ法として請求している。
【0012】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明の1実施形態を示したツインヘッド機構のガラススクライバーの斜視図であり、その制御ブロック図を図2に示す。1は固定のテーブルであり、このテーブル面にワーク(液晶パネル)Wが吸引固定される。2は、テーブル1上をまたぐようにして設けられたガントリーであり、両側の支持柱3とX方向のガイドバー4からなる。支持柱3の下部はY方向に延在するレール5と移動可能に係合しており、モータMy(図2)の駆動により、ガントリー3はY方向に移動する。
【0013】
6は、ガイドバー4に形成したガイドに沿って移動可能に設けた移動部材であり、モータMx(図2)の駆動により、X方向に移動する。7は、前記移動部材6に取り付けられたモータMθであり、90°軸回転すると共に、0°および90°の回転位置にて微少角度回転できるようになっている。この部分の機構については図3の側方から眺めた拡大図をも参照しながら説明する。8は、モータ7の回転軸に取り付けられた逆T字形状のホルダー支持体である。9および10は、ホルダー支持体8に形成したガイドに沿って移動自在のスクライブヘッド用台座であり、それぞれリニアモータM5,M6(図2)の駆動により移動する。これらの台座9,10にはそれぞれ第1のスクライブヘッド11、第2のスクライブヘッド12が設けられると共に、図4、図5に示すように、それらのスクライブヘッド11,12を180°軸回転させるためのエアロータ13,14が設けられる。15はエアロータの回転を伝えるためのベルトである。
【0014】
スクライブヘッド11,12の下部には、カッターホイールチップ16を回転自在に保持するチップホルダー17が設けられる。
【0015】
図4の部分破断で示した第1のスクライブヘッド11において、18は、スクライブヘッド11を昇降させるためのエアシリンダであり、19は、チップホルダー17に所望のスクライブ圧を印加するためのエアシリンダである。図5は第2のスクライブヘッド12を示しており、図4と比較して機器の配置が左右で入れ替わっているが、これは両スクライブヘッドを接近させてスクライブする時に狭い間隔でスクライブラインを引けるようにしたためである。
【0016】
図1に戻り、21は、ワークWに記されたアライメントマークを画像として読み取るカメラであり、X方向およびY方向に移動自在に設けた台座22上に設けられ、この台座22自身はX方向に延在するガイドに沿って手動により移動可能である。M1(図2)はカメラ21をX方向に移動させるためのモータであり、M2はカメラ21をY方向に移動させるためのモータである。又、カメラ21は焦点調節のために手動操作で上下に移動できる。24は台座22と同一のものであり、この台座24にもカメラ23(図2)を備え、同様にモータM3、M4(図2)を備える。25、26はカメラ21,23で捕えた映像を表示するモニターである。
【0017】
上述の構成において、ガントリー2をY方向に移動する間に、移動部材6をX方向に移動すれば、スクライブヘッド11,12は斜めの方向に移動して随意の方向にスクライブできる。
【0018】
次に図2において、51は、本スクライバーを集中制御するCPUである。52はCPU51が実行する制御プログラムを格納するROMである。53は各種設定データを記憶するRAMである。54は、スクライブデータ等の入力を行うとともに各種動作キーを備える操作及びデータ入力部である。55は、カメラ21,23で得られた撮像データに基づき上述のアライメントマークの位置を演算する画像処理部である。操作及びデータ入力部54および画像処理部55よりの信号は入力部56を介してCPU51に取り込まれる。
【0019】
61は、モータMx、My、Mθを駆動するドライバーであり、62は、それらの各モータの駆動量を検出してドライバー61にフィードバックさせるエンコーダである。63、64は、モータM1、M2およびM3、M4を駆動するXYステージコントローラである。65、66は、リニアモータM5、M6を駆動するドライバである。67は、スクライブヘッド11のエアシリンダ19(図4)を制御するための電空レギュレータであり、0〜255の信号に対して256種のスクライブ圧を発生させる。電空レギュレータ68はスクライブヘッド12用のものである。69は、ワークWをテーブルに真空吸着させるために用いられる真空バルブである。70は、スクライブヘッド11のエアシリンダ18を作用させるためのバルブであり、バルブ71はスクライブヘッド12用のものである。72、73は、エアロータ13,14を作動させるためのバルブである。これらの各機器は出力部74を通じてCPU51によって制御される。
【0020】
以下、図6〜8のフローチャートを参照して本ガラススクライバーの制御動作を述べる。
最初は初期設定として、図6のステップS1において、テーブル1にダミーガラスをセットする。ステップS2では、スクライブデータやアライメントマークの位置データ等のパラメータデータを入力する。ステップS3では、図9に示すようにダミーガラスW'に対して、装置側で記憶していた二つのアライメントマークの位置データから、それらのアライメントマークを通過するよう3本の基準ラインL1〜L3がスクライブされる。従ってこのときの交点Qm、Qnがアライメントマークの位置となる。
【0021】
ステップS4では図10に示すように、カメラ21,23の撮像領域W、W'の中心O、O'を前記交点Qm、Qnに合致するようにカメラを移動させる。次にスクライブヘッド11,12で往復スクライブした時のスクライブずれの計測のために、まずステップS5にて、ガントリー3をY方向(正方向)に移動させる間に、図11のごとく両スクライブヘッド11,12によって2条のスクライブラインS1,S2(図中上向きのライン)を刻み、次いでチップホルダー17を180°回転させた上でガントリーを−Y方向(逆方向)に移動させる間にスクライブラインS1',S2'(図中下向きのライン)を刻む。(なお、本明細書では、X方向とY方向が2つの向きの一方を意味する場合、X方向(正方向)、−X方向(逆方向)、Y方向(正方向)、−Y方向(逆方向)という。上述の説明より分かるように、正方向は上向き方向であり、逆方句は下向き方向である。)
【0022】
ステップS6では、各スクライブラインがそれぞれカメラ21,23で撮影され、その画像から、往復スクライブ時のずれ量が計測される。図11の部分拡大図では、スクライブラインS1'はスクライブラインS1に対して左側に20μずれ、スクライブラインS2'はスクライブラインS2に対して右側に30μずれている。以上で初期設定が終わる。
【0023】
次にスクライブ動作を図7のフローチャートに従って説明する。ステップS11でテーブル1にワークWをセットする。図12はこのときのカメラ21,23による撮像領域W、W'を示す。M,Nはワークに記されたアライメントマークであり、ワークWの加工誤差がなく、かつワークWのテーブル1へのセット時の位置ずれがなければ、アライメントマークM,Nは、撮像中心O、O'に合致している筈であるが、実際には図12のごとくずれていることが多い。ステップS12では、カメラ21,23により、アライメントマークM,Nを含む画像が取り込まれる。ステップS13では各データの演算が行われるがその詳細を図8のサブルーチンで説明する。
【0024】
ステップS51では、前記画像のデータからアライメントマークM,Nの位置が認識される。ステップS52では、撮像中心O,O'(この値はステップS2で入力したパラメータにより既知)を結ぶラインに対するアライメントマークM−Nラインの傾きが演算される。そしてステップS53では、X方向(正方向)にスクライブする時のスクライブ開始点および終点が演算され、又、−X方向(逆方向)にスクライブする時のスクライブ開始点および終点が演算される。ステップS54では、Y方向(正方向)にスクライブする時のスクライブ開始点および終点が演算され、又、−Y方向(逆方向)にスクライブする時のスクライブ開始点および終点が演算される。
【0025】
ステップS14に戻り、スクライブ方向にカッターホイールチップ16の向きが一致するようにホルダー支持体8の向きが微調整される。このスクライブ方向は、ステップS52で演算されたM−Nラインの傾きに一致する。
【0026】
ステップS15では、Y方向(正方向)のスクライブを行うべく、ステップS54で演算したスクライブ開始点、終点が読み出される。図13は、5ミリ間隔でY方向にスクライブする場合を示しており、第1のスクライブヘッド11の開始点、終点をそれぞれ5、6、第2のスクライブヘッド12の開始点、終点をそれぞれ50、51としており、スクライブ位置として、第1および第2のスクライブヘッド11,12は5,50に移動され、その状態で各チップホルダー17に予め設定のスクライブ圧が加えられ、そして、それぞれのスクライブ終点が6,51となるように、ホルダー支持体8が斜め方向に移動されることによりY方向(正方向)のスクライブが行われる。
【0027】
ステップS16では、先程と逆方向(−Y方向)のスクライブを行うべく、図13のごとく、第1のスクライブヘッド11の開始点11、終点10、第2のスクライブヘッド12の開始点56、終点55が読み出される。そのデータに基づきスクライブしたのでは、図11に示したように、第1および第2のスクライブヘッド11,12によるスクライブラインはそれぞれ左方に20μ、右方に30μずれるため、第1のスクライブヘッド11に対しては開始点、終点がそれぞれ右方に20μ補正され、第2のスクライブヘッド12に対しては開始点、終点が左方に30μ補正される。その補正した開始点に各スクライブヘッド11,12が移動した後、所定のスクライブ圧が設定され、−Y方向(逆方向)にスクライブされる。
【0028】
ステップS17ではY方向のスクライブがすべて終了したかが判定され、まだの場合はステップS15に戻り、次に図13に示されるように、開始点15、終点16と開始点60、終点61のスクライブが実行される。
【0029】
Y方向のスクライブが終了すれば、X方向のスクライブのためにステップS18にてホルダー支持体8が90°回動される。ステップS19、S20では、ステップS15、S16で行ったのと同じ手順でX方向(正方向)と−X方向(逆方向)のスクライブが実行される。
【0030】
上記の実施形態では、第1および第2のスクライブヘッド11,12をX方向に自在に移動可能としたが、第1のスクライブヘッド11を半固定とし、第2のスクライブヘッド12のみ移動可能とすれば、制御機構が簡略化される。その場合、第1のスクライブヘッド11の位置変更はホルダー支持体8の移動で対応する。
【0031】
上記の実施形態では、ワークのずれ角を吸収すべく、スクライブヘッド11,12の移動方向をずれ角の方位に移動させたが、テーブル1をずれ角だけ回転させてもよく、その場合、スクライブヘッド11,12はガイドバー4と平行に、および直交する方向に移動させる。
【0032】
上記の実施形態では2個のスクライブヘッド11,12を用いて同時にスクライブするツインヘッドスクライバーとして動作を述べたが、例えば、液晶パネルのような貼り合わせガラス基板をスクライブする場合において、ガラス表裏面のガラス材質の違いや厚みの違いにより、それぞれの面のスクライブ条件や刃先仕様が異なるときには、スクライブヘッド11と12を単独で動作させるワンヘッドスクライバーとしての利用も可能である。又、図14のようにスクライブ時のカッターの高さがスクライブヘッド11,12で異なる場合でも、ワンヘッドスクライバーとしてのみではなく、ツインヘッドスクライバーとしても効果的に利用できる。
【0033】
【発明の効果】
以上説明したように本発明は、スクライブヘッドを保持するホルダー支持体を90°回動可能として、テーブルを方向転回することなく、ワークにX方向およびY方向にスクライブできるようにしたので、重量の大きいテーブルを回転させる機構が不要となり、装置の簡素化、小型化がはかれる。
又、スクライブヘッドの前進および後退時にスクライブするとき、前進時に対する後退時のスクライブずれを予め計測しておき、後退時のスクライブ時に前記ずれだけスクライブヘッドの位置を補正したのでスクライブ精度を高めることができる。
更にスクライブ圧を自在に調節できる手段を備え、スクライブする箇所に応じて予め登録してあったスクライブ圧のデータを読み出し所望のスクライブ圧を設定するようにしたので、スクライブ箇所に対して常に最適なスクライブ圧でスクライブを行える。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明のガラススクライバーの1実施形態を示した斜視図
【図2】 図1のガラススクライバーに適用される制御ブロック図
【図3】 移動部材、モータ、ホルダー支持体およびスクライブヘッドの詳細を示した側面図
【図4】 第1のスクライブヘッドとこれを軸回転させるエアロータとの部分破断した構成図
【図5】 第2のスクライブヘッドとこれを軸回転させるエアロータとの構成図
【図6】 図1のガラススクライバーの制御を示したフローチャート
【図7】 図1のガラススクライバーの制御を示したフローチャート
【図8】 図1のガラススクライバーの制御を示したフローチャート
【図9】 ダミーガラスに基準ラインをスクライブした様子を示した図
【図10】 基準点Qm、Qnにカメラの撮影中心O、O'を位置させるところを示した図
【図11】 スクライブヘッドの前進、後退時の両スクライブラインのずれを示した図
【図12】ワークに記されたアライメントマークM,Nと撮影中心O、O'とのずれを示した図
【図13】 後退時のスクライブでのずれ補正を示した図
【図14】 ツインヘッドスクライバーでワークをスクライブする様子を示した図
【図15】 公知のツインヘッドスクライバーの全体斜視図
【符号の説明】
1 テーブル
2 ガントリー
3 支持柱
4 ガイドバー
6 移動部材
8 ホルダー支持体
9,10 スクライブヘッド用台座
11,12 スクライブヘッド
13,14 エアロータ
16 カッターホィールチップ
17 チップホルダー
18,19 エアシリンダ
21,23 カメラ
25,26 モニター
67,68 電空レギュレータ
W ワーク
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a glass scriber that scribes a glass plate set on a table.
[0002]
[Prior art]
FIG. 15 shows a schematic diagram of “Panel Cleaving Device” of Real Japanese Utility Model Publication No. 7-18737. The scribing heads 102 and 103 each having the chip holder 101 at the lower end are provided so as to be movable along the support member 104 in the Y direction, and are provided so as to be movable up and down. The support member 104 is provided so as to be movable along the guide bar 106 in the X direction by a moving member 105. The table 107 on which the workpiece is set is movable in the Y direction, and each time the table 107 moves in the Y direction, the support member 104 moves in the X direction, so that two scribe lines on the workpiece are moved in the X direction. When engraved and scribed in the Y direction, the table 107 is rotated 90 °.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
Thus, it is necessary to move the table 107 in the Y direction in order to change the scribe position, and to rotate the table 107 when scribing in the Y direction. However, this apparatus requires a mechanism for rotating the table 107, and since the weight of the table itself is large, a powerful and large rotation mechanism is required. Further, since a space for rotating the table 107 is required, the apparatus becomes large.
[0004]
The liquid crystal panel on which the two glass plates are bonded is scribed in order to cleave the large size liquid crystal panel into the product size, but the two bonded glass materials are often different. For this reason, at the time of scribing on the front and back surfaces, a scribe pressure and a cutting edge suitable for each material must be used. Further, depending on the liquid crystal panel pattern, it is necessary to set a scribe pressure for each scribe line. Conventionally, such a flexible pressure setting as described above could not be performed, and panel cutting failure was likely to occur. In addition, it is necessary to replace the cutting edge for each scribing on the front and back surfaces, and there is a problem of reducing the operating rate of the apparatus.
[0005]
The present invention has been made to solve the above-described problems, and provides a small and multifunctional glass scriber with a twin head that can easily scribe in the X direction and the Y direction without moving or rotating the table. The purpose is to do. In addition, a scribing method that can perform scribing at an optimal scribing pressure according to the scribing situation is provided.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
According to the scriber of the present invention, the holder support (8) for holding the two chip holders (16) can be moved in the Y direction, and the holder support (8) can be moved by 90 °. In the rotated state, it can also move in the X direction, and scribes in two directions in the X and Y directions without moving the table (1).
[0007]
In order to perform scribing even when the scribe heads (11, 12) are retracted, the tip holder (17) is rotated by 180 °. However, due to the influence of the processing accuracy of the wheel tip and the assembly accuracy of the shaft rotation mechanism, Even if the same part is scribed during forward and backward movement, the scribe lines during forward and backward movement often do not match. Therefore, in the present invention, as described in claim 2, the amount of deviation between both scribe lines is measured in advance, and the position of the chip holder (17) is corrected by the amount of deviation during backward scribing.
[0008]
The workpiece to be machined may not be set at a fixed position on the table due to the individual dimensional accuracy. In order to absorb this displacement, the holder support (8) is displaced in the direction of the displacement angle when scribing. The holder support (8) is rotated by a small angle so that the orientation of the cutter wheel tip (16) matches the scribe direction.
[0009]
According to a fourth aspect of the present invention, the table (1) can be rotated by a small angle in order to eliminate the displacement.
[0010]
By providing means that can freely adjust the scribe pressure, as shown in claim 5, it is possible to scribe at an optimum scribe pressure set in advance according to the portion to be scribed.
[0011]
Since the method of scribing at the optimal scribing pressure set in advance according to the scribe location can be applied not only to the twin head scriber targeted by the present application but also to a general one head scriber, the glass scribe method according to claim 6 I am charging.
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
FIG. 1 is a perspective view of a glass scriber of a twin head mechanism showing an embodiment of the present invention, and a control block diagram thereof is shown in FIG. Reference numeral 1 denotes a fixed table, and a work (liquid crystal panel) W is sucked and fixed to the table surface. Reference numeral 2 denotes a gantry provided so as to straddle the table 1 and is composed of support pillars 3 on both sides and guide bars 4 in the X direction. The lower portion of the support column 3 is movably engaged with a rail 5 extending in the Y direction, and the gantry 3 is moved in the Y direction by driving a motor My (FIG. 2).
[0013]
A moving member 6 is provided so as to be movable along a guide formed on the guide bar 4 and moves in the X direction by driving a motor Mx (FIG. 2). Reference numeral 7 denotes a motor Mθ attached to the moving member 6. The motor Mθ is rotated by a 90 ° axis and can be rotated by a minute angle at rotation positions of 0 ° and 90 °. The mechanism of this part will be described with reference to an enlarged view seen from the side of FIG. Reference numeral 8 denotes an inverted T-shaped holder support attached to the rotating shaft of the motor 7. Reference numerals 9 and 10 denote scribing head bases which are movable along guides formed on the holder support 8, and are moved by driving linear motors M5 and M6 (FIG. 2), respectively. These pedestals 9 and 10 are respectively provided with a first scribe head 11 and a second scribe head 12 and, as shown in FIGS. 4 and 5, rotate the scribe heads 11 and 12 about the axis 180 degrees. Air rotors 13 and 14 are provided. Reference numeral 15 denotes a belt for transmitting the rotation of the air rotor.
[0014]
At the bottom of the scribing heads 11 and 12, Ru chip holder 17 is provided to hold the cutter wheel chip 16 rotatably.
[0015]
In the first scribe head 11 shown by partial fracture in FIG. 4, 18 is an air cylinder for raising and lowering the scribe head 11, and 19 is an air cylinder for applying a desired scribe pressure to the chip holder 17. It is. FIG. 5 shows the second scribe head 12, and the arrangement of the devices is switched between the left and right as compared with FIG. 4, but this can draw a scribe line at a narrow interval when scribing with the scribe heads approaching each other. This is because of doing so.
[0016]
Returning to FIG. 1, reference numeral 21 denotes a camera that reads an alignment mark written on the workpiece W as an image, and is provided on a pedestal 22 provided so as to be movable in the X direction and the Y direction. It can be moved manually along the extended guide. M1 (FIG. 2) is a motor for moving the camera 21 in the X direction, and M2 is a motor for moving the camera 21 in the Y direction. The camera 21 can be moved up and down by manual operation for focus adjustment. Reference numeral 24 is the same as the pedestal 22, and this pedestal 24 is also provided with a camera 23 (FIG. 2) and similarly motors M3 and M4 (FIG. 2). Reference numerals 25 and 26 are monitors for displaying images captured by the cameras 21 and 23.
[0017]
In the above configuration, if the moving member 6 is moved in the X direction while the gantry 2 is moved in the Y direction, the scribe heads 11 and 12 can be moved in an oblique direction and scribed in an arbitrary direction.
[0018]
Next, in FIG. 2, 51 is a CPU that centrally controls the scriber. A ROM 52 stores a control program executed by the CPU 51. A RAM 53 stores various setting data. Reference numeral 54 denotes an operation and data input unit that inputs scribe data and the like and includes various operation keys. An image processing unit 55 calculates the position of the alignment mark based on the imaging data obtained by the cameras 21 and 23. Signals from the operation and data input unit 54 and the image processing unit 55 are taken into the CPU 51 via the input unit 56.
[0019]
Reference numeral 61 denotes a driver that drives the motors Mx, My, and Mθ, and reference numeral 62 denotes an encoder that detects the driving amounts of these motors and feeds back to the driver 61. Reference numerals 63 and 64 denote XY stage controllers that drive the motors M1 and M2 and M3 and M4. Reference numerals 65 and 66 denote drivers for driving the linear motors M5 and M6. 67 is an electropneumatic regulator for controlling the air cylinder 19 (FIG. 4) of the scribe head 11, and generates 256 types of scribe pressures for signals of 0 to 255. The electropneumatic regulator 68 is for the scribe head 12. Reference numeral 69 denotes a vacuum valve used to vacuum-suck the work W onto the table. 70 is a valve for operating the air cylinder 18 of the scribe head 11, and the valve 71 is for the scribe head 12. Reference numerals 72 and 73 are valves for operating the air rotors 13 and 14. Each of these devices is controlled by the CPU 51 through the output unit 74.
[0020]
The control operation of the present glass scriber will be described below with reference to the flowcharts of FIGS.
Initially, as an initial setting, a dummy glass is set on the table 1 in step S1 of FIG. In step S2, parameter data such as scribe data and alignment mark position data are input. In step S3, three reference lines L1 to L3 are passed from the position data of the two alignment marks stored on the apparatus side to the dummy glass W ′ as shown in FIG. 9 so as to pass through the alignment marks. Is scribed. Therefore, the intersection points Qm and Qn at this time are the positions of the alignment marks.
[0021]
In step S4, as shown in FIG. 10, the camera is moved so that the centers O and O ′ of the imaging areas W and W ′ of the cameras 21 and 23 coincide with the intersection points Qm and Qn. Next, in order to measure the scribe displacement when reciprocating with the scribe heads 11 and 12, in step S5, while moving the gantry 3 in the Y direction (forward direction) , both scribe heads 11 as shown in FIG. , 12 scribe two scribe lines S1 and S2 (upward lines in the figure), and then rotate the chip holder 17 by 180 ° and move the gantry in the -Y direction (reverse direction). Engrave ', S2' (downward line in the figure). (In this specification, when the X direction and the Y direction mean one of two directions, the X direction (forward direction), -X direction (reverse direction), Y direction (forward direction), -Y direction ( (The reverse direction.) As can be seen from the above description, the forward direction is the upward direction, and the reverse phrase is the downward direction.)
[0022]
In step S6, each scribe line is photographed by the cameras 21 and 23 , and the deviation amount during the reciprocating scribe is measured from the images. In the partially enlarged view of FIG. 11, the scribe line S1 ′ is shifted 20 μ to the left with respect to the scribe line S1, and the scribe line S2 ′ is shifted 30 μ to the right with respect to the scribe line S2. This completes the initial setting.
[0023]
Next, the scribe operation will be described with reference to the flowchart of FIG. In step S11, the work W is set in the table 1. FIG. 12 shows imaging areas W and W ′ by the cameras 21 and 23 at this time. M and N are alignment marks written on the workpiece. If there is no machining error of the workpiece W and there is no positional deviation when the workpiece W is set on the table 1, the alignment marks M and N are the imaging centers O, Although it should match O ′, in practice it is often shifted as shown in FIG. In step S <b> 12, images including alignment marks M and N are captured by the cameras 21 and 23 . In step S13, each data is calculated, and the details will be described with reference to the subroutine of FIG.
[0024]
In step S51, the positions of the alignment marks M and N are recognized from the image data. In step S52, the inclination of the alignment mark MN line with respect to the line connecting the imaging centers O and O ′ (this value is known from the parameter input in step S2) is calculated. In step S53, a scribe start point and an end point when scribing in the X direction (forward direction) are calculated, and a scribe start point and an end point when scribing in the -X direction (reverse direction) are calculated. In step S54, a scribe start point and an end point when scribing in the Y direction (forward direction) are calculated, and a scribe start point and an end point when scribing in the -Y direction (reverse direction) are calculated.
[0025]
Returning to step S14, the orientation of the holder support 8 is finely adjusted so that the orientation of the cutter wheel tip 16 coincides with the scribe direction. This scribe direction coincides with the inclination of the MN line calculated in step S52.
[0026]
In step S15, the scribing start point and end point calculated in step S54 are read in order to perform scribing in the Y direction (forward direction) . FIG. 13 shows a case where scribing is performed in the Y direction at intervals of 5 mm. The start and end points of the first scribe head 11 are 5 and 6, respectively, and the start and end points of the second scribe head 12 are 50 and 50 respectively. 51, the first and second scribe heads 11 and 12 are moved to 5, 50 as scribe positions, and a preset scribe pressure is applied to each chip holder 17 in this state, and the respective scribe heads Scribing in the Y direction (positive direction) is performed by moving the holder support 8 in an oblique direction so that the end point becomes 6,51.
[0027]
In step S16, the start point 11 and end point 10 of the first scribe head 11, the start point 56 and end point of the second scribe head 12, as shown in FIG. 13, to perform scribing in the opposite direction (−Y direction). 55 is read out. When the scribing is performed based on the data, as shown in FIG. 11, the scribing lines by the first and second scribing heads 11 and 12 are shifted 20 μ to the left and 30 μ to the right, respectively. 11, the start point and end point are each corrected by 20 μ to the right, and for the second scribe head 12, the start point and end point are corrected by 30 μ to the left. After the scribing heads 11 and 12 have moved to the corrected starting point, a predetermined scribing pressure is set and scribing is performed in the -Y direction (reverse direction) .
[0028]
In step S17, it is determined whether all Y-direction scribes have been completed. If not, the process returns to step S15. Next, as shown in FIG. 13, the start point 15, the end point 16, the start point 60, and the end point 61 are scribed. Is executed.
[0029]
When scribing in the Y direction is completed, the holder support 8 is rotated 90 ° in step S18 for scribing in the X direction. In steps S19 and S20, scribing in the X direction (forward direction) and -X direction (reverse direction) is executed in the same procedure as that performed in steps S15 and S16.
[0030]
In the above embodiment, the first and second scribe heads 11 and 12 can be freely moved in the X direction. However, the first scribe head 11 is semi-fixed and only the second scribe head 12 is movable. Then, the control mechanism is simplified. In that case, the position change of the first scribe head 11 corresponds to the movement of the holder support 8.
[0031]
In the above embodiment, the moving direction of the scribe heads 11 and 12 is moved in the direction of the shift angle in order to absorb the shift angle of the workpiece. However, the table 1 may be rotated by the shift angle. The heads 11 and 12 are moved in parallel and perpendicular to the guide bar 4.
[0032]
In the above embodiment, the operation is described as a twin-head scriber that simultaneously scribes using two scribe heads 11 and 12, but, for example, when scribing a laminated glass substrate such as a liquid crystal panel, When the scribing conditions and cutting edge specifications of each surface are different due to differences in glass material and thickness, it can also be used as a one-head scriber that operates the scribe heads 11 and 12 independently. Further, even when the height of the scriber is different between the scribe heads 11 and 12 as shown in FIG. 14, it can be effectively used not only as a one-head scriber but also as a twin-head scriber.
[0033]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the holder support that holds the scribe head can be rotated by 90 °, and the workpiece can be scribed in the X direction and the Y direction without turning the table. A mechanism for rotating a large table is not required, and the apparatus can be simplified and downsized.
In addition, when scribing when the scribe head moves forward and backward, the scribe deviation at the time of backward movement with respect to the forward time is measured in advance, and the position of the scribe head is corrected by the deviation at the time of scribe at the time of backward movement, so that the scribe accuracy can be improved. it can.
In addition, there is a means to freely adjust the scribe pressure, and the scribe pressure data that has been registered in advance according to the scribe location is read and the desired scribe pressure is set. Scribing can be done with scribe pressure.
[Brief description of the drawings]
1 is a perspective view showing an embodiment of a glass scriber according to the present invention. FIG. 2 is a control block diagram applied to the glass scriber in FIG. 1. FIG. 3 is a view showing a moving member, a motor, a holder support, and a scribe head. Side view showing details [FIG. 4] FIG. 5 is a partially broken configuration diagram of the first scribe head and the air rotor that rotates the shaft. FIG. 5 is a configuration diagram of the second scribe head and the air rotor that rotates the shaft. 6 is a flowchart showing the control of the glass scriber in FIG. 1. FIG. 7 is a flowchart showing the control of the glass scriber in FIG. 1. FIG. 8 is a flowchart showing the control of the glass scriber in FIG. FIG. 10 shows a state in which the reference line is scribed. FIG. 10 shows that the camera photographing centers O and O ′ are positioned at the reference points Qm and Qn. FIG. 11 is a diagram showing the displacement of both scribe lines when the scribe head is moving forward and backward. FIG. 12 is a displacement between the alignment marks M and N marked on the workpiece and the photographing centers O and O ′. [Fig. 13] Fig. 13 is a diagram showing displacement correction by scribing when reversing. [Fig. 14] Fig. 15 is a diagram showing a state of scribing a work with a twin head scriber. [Fig. [Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Table 2 Gantry 3 Support pillar 4 Guide bar 6 Moving member 8 Holder support body 9 and 10 Scribing head base 11 and 12 Scribing head 13 and 14 Air rotor 16 Cutter wheel chip 17 Chip holder 18 and 19 Air cylinders 21 and 23 Camera 25 , 26 Monitor 67, 68 Electropneumatic regulator W Workpiece

Claims (6)

ワークがセットされるテーブル(1)と、テーブル(1)の上方でX軸方向に延在するガイドバー(4)と、前記ガイドバー(4)をY軸方向に平行移動させるガイドバー移動手段と、前記ガイドバー(4)に沿って移動可能に設けた移動部材(6)と、前記移動部材(6)に設けられ、後記のホルダー支持体(8)を90°回動自在に保持する回動手段(7)と、ホルダー支持体(8)に対して、相互の間隔を調節自在にかつ個別に昇降自在に設けられた2個のスクライブヘッド(11,12)と、下端にカッターホイールチップ(16)を具備し、前記各スクライブヘッド(11,12)に設けられるチップホルダー(17)とを備え、
前記テーブルを移動させることなく、Y方向のスクライブ時には、ガイドバー(4)をY方向に移動させ、X方向のスクライブ時には、ホルダー支持体(8)を90°回動した状態で移動部材(6)の移動により、ホルダー支持体(8)をX方向に移動させることを特徴とするガラススクライバー。
A table (1) on which a workpiece is set, a guide bar (4) extending in the X-axis direction above the table (1), and a guide bar moving means for translating the guide bar (4) in the Y-axis direction And a movable member (6) provided so as to be movable along the guide bar (4), and a holder support (8) described later, which is provided on the movable member (6), is rotatably held by 90 °. Two scribing heads (11, 12) provided to the rotating means (7) and the holder support (8) so that the distance between them can be adjusted and individually raised and lowered, and a cutter wheel at the lower end. A chip holder (17) provided on each of the scribe heads (11, 12).
Without moving the table, when scribing in the Y direction, the guide bar (4) is moved in the Y direction, and when scribing in the X direction, the holder support (8) is rotated 90 ° and the moving member (6 ) To move the holder support (8) in the X direction.
上記スクライブヘッド(11,12)の後退時にもスクライブを行うべく、各チップホルダー(17)を180°軸回転させる手段を備え、そして、ガイドバー(4)の前進および後退時における両スクライブラインのずれ量を予め計測しておき、後退スクライブ時にチップホルダー(17)の位置を前記ずれ量だけ補正する請求項1記載のガラススクライバー。  In order to perform scribing even when the scribing heads (11, 12) are moved backward, each chip holder (17) is provided with means for rotating the shaft by 180 °, and both scribe lines are moved forward and backward when the guide bar (4) moves forward and backward. The glass scriber according to claim 1, wherein a deviation amount is measured in advance, and the position of the chip holder (17) is corrected by the deviation amount during backward scribing. セットしたワークのずれ角を検出し、スクライブ時、ホルダー支持体(8)をずれ角の方位に移動させると共に、カッターホイールチップ(16)の向きがスクライブ方向に合致するよう、ホルダー支持体(8)を微小角回動する請求項1もしくは2記載のガラススクライバー。  The deviation angle of the set work is detected, and at the time of scribing, the holder support (8) is moved in the direction of the deviation angle, and the holder support (8) so that the direction of the cutter wheel tip (16) matches the scribe direction. The glass scriber according to claim 1 or 2, wherein the glass scriber rotates at a small angle. セットしたワークのずれ角を吸収すべく、テーブル(1)を微小角回転可能とした請求項1もしくは2記載のガラススクライバー。  The glass scriber according to claim 1 or 2, wherein the table (1) can be rotated by a small angle so as to absorb a deviation angle of the set work. チップホルダー(17)に随意のスクライブ圧を設定できる手段を備え、スクライブする箇所に応じて予め設定したスクライブ圧でスクライブする請求項1ないし4のいずれかに記載のガラススクライバー。  The glass scriber according to any one of claims 1 to 4, wherein the chip holder (17) is provided with means capable of setting an optional scribe pressure, and scribes with a scribe pressure set in advance according to a scribe position. ワークがセットされる固定式のテーブル(1)と、テーブル(1)の上方でX軸方向に延在するガイドバー(4)と、前記ガイドバー(4)をY軸方向に平行移動させるガイドバー移動手段と、前記ガイドバー(4)に沿って移動可能に設けた移動部材(6)と、前記移動部材(6)に設けられ、後記のホルダー支持体(8)を90°回動自在に保持する回動手段(7)と、ホルダー支持体(8)に対して、相互の間隔を調節自在にかつ個別に昇降自在に設けられた2個のスクライブヘッド(11,12)と、下端にカッターホイールチップ(16)を具備し、前記各スクライブヘッド(11,12)に設けられるチップホルダー(17)とを備えるガラススクライバーを用いたガラスのスクライブ法において、
Y方向のスクライブ時には、ガイドバー(4)をY方向に移動させ、
X方向のスクライブ時には、ホルダー支持体(8)を90°回動した状態で移動部材(6)の移動により、ホルダー支持体(8)をX方向に移動させる
ことを特徴とするガラスのスクライブ法。
A fixed table (1) on which a workpiece is set, a guide bar (4) extending in the X-axis direction above the table (1), and a guide for translating the guide bar (4) in the Y-axis direction A bar moving means, a moving member (6) provided so as to be movable along the guide bar (4), and a holder support (8) which is provided on the moving member (6) can be rotated by 90 °. Two scribing heads (11, 12) provided to the holder means (8) so that the distance between the rotating means (7) and the holder support body (8) can be adjusted and moved up and down individually, and the lower end. In a glass scribing method using a glass scriber comprising a cutter wheel tip (16) and a tip holder (17) provided on each of the scribe heads (11, 12),
When scribing in the Y direction, move the guide bar (4) in the Y direction,
Of the time scribing the X direction, by the movement of the moving member (6) holder support (8) while 90 ° rotation, scribing glass, characterized in that moving the holder support (8) in the X direction Law.
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