KR20190013407A - 광 레티클 로드 포트 - Google Patents

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Abstract

마스크 포드를 로딩 또는 언로딩하도록 구성된 장치는 제1 로드 포트 지지부 및 상기 제1 로드 포트 지지부로부터 이격되는 제1 로드 포트 지지부를 포함한다. 상기 제1 로드 포트 지지부 및 상기 제2 로드 포트 지지부 각각은 L자형 직사각형 프리즘의 적어도 일부를 포함한다. 상기 제1 로드 포트 지지부 및 상기 제2 로드 포트 지지부는 직사각형 영역 주위에 대각선으로 배치되고, 상기 제1 로드 포트 지지부의 제1 내부 측벽 및 상기 제2 로드 포트 지지부의 제2 내부 측벽이 상기 직사각형 영역의 경계를 정하고, 상기 직사각형 영역의 제1 폭은 상기 마스크 포드의 제2 폭과 동일하고, 상기 직사각형 영역의 제1 길이는 상기 마스크 포드의 제2 길이와 동일하다.

Description

광 레티클 로드 포트 {OPTICAL RETICLE LOAD PORT}
본 발명은 광 레티클 로드 포트에 관한 것이다.
포토 리소그래피는 일반적으로 기하학적 패턴을 기판 또는 기판 위의 층 상으로 전사하는데 사용되는 광학 프로세스를 지칭한다. 많은 포토 리소그래피 기술은 기하학적 패턴을 생성하기 위해 감광성 재료(일반적으로 "포토 레지스트"라고 함)를 사용한다. 예를 들어, 포토 마스크 또는 레티클이 포토 레지스트 위에 배치될 수 있으며, 포토 레지스트는 그 후 자외선(UV) 또는 엑시머 레이저와 같은 방사선 빔에 노광될 수 있다. 베이킹 또는 경화 동작을 수행하여 포토 레지스트를 경화시킬 수 있으며, 현상액을 사용하여, 포지티브 또는 네가티브 레지스트가 사용되는지 여부에 따라 포토 레지스트의 노광된 또는 노광되지 않은 부분을 제거할 수 있다. 따라서, 레티클의 패턴에 대응하는 패턴이 포토 레지스트에 형성되고, 이는 패턴을 하부층으로 전사하기 위한 마스크 층으로서 사용될 수 있다.
본 개시의 양태들은 첨부 도면들과 함께 읽을 때 다음의 상세한 설명으로부터 가장 잘 이해된다. 업계의 표준 관행에 따르면, 다양한 특징들이 일정한 비율로 그려지지 않는다는 것을 유의해야 한다. 실제로, 다양한 특징의 치수는 설명의 명료성을 위해 임의적으로 증가되거나 또는 감소될 수 있다.
도 1a 및 도 1b는 일부 실시예에 따른 로드 포트의 사시도 및 평면도를 각각 도시한다.
도 2a 및 도 2b는 일부 실시예에 따른 개방 상태 및 폐쇄 상태에 각각 있는 마스크 포드를 도시한다.
도 3은 일부 실시예에 따른 로드 포트로부터 마스크 포드를 언로딩하는 것을 도시하는 단면도이다.
도 4는 일부 실시예에 따른 로드 포트 지지부가 부착되어 있는 로드 포트의 사시도를 도시한다.
도 5a 및 도 5b는 일부 실시예에 따른 도 4의 로드 포트 지지부의 사시도 및 평면도를 각각 도시한다.
도 6은 일부 실시예에 따른 다른 로드 포트 지지부의 사시도를 도시한다.
도 7은 일부 실시예에 따른 로드 포트 지지부를 포함하는 로드 포트의 사시도를 도시한다.
도 8은 일부 실시예에 따른 도 7에 도시된 로드 포트 지지부의 사시도를 도시한다.
도 9는 일부 실시예에 따른 다른 로드 포트 지지부의 사시도를 도시한다.
도 10은 일부 실시예에 따른 센서를 갖는 스마트 로드 포트의 사시도를 도시한다.
도 11은 일부 실시예에 따른 센서를 갖는 스마트 로드 포트의 사시도를 도시한다.
도 12 내지 도 15는 일부 실시예에 따른 스마트 로드 포트를 사용하여 마스크 포드의 비정상 상태를 검출하는 방법을 예시하는 단면도이다.
도 16 및 도 17은 일부 실시예에 따른 스마트 로드 포트의 로킹 장치에 대한 다양한 설계를 도시한다.
도 18a 및 도 18b는 일부 실시예에 따른 스마트 로드 포트를 사용하여 마스크 포드의 비정상 상태를 검출하는 방법을 도시하는 단면도이다.
도 19a 및 도 19b는 일부 실시예에 따른 스마트 로드 포트를 사용하여 마스크 포드의 비정상 상태를 검출하는 방법을 도시하는 단면도이다.
도 20a 및 도 20b는 일부 실시예에 따른 스마트 로드 포트를 사용하여 마스크 포드의 비정상 상태를 검출하는 방법을 예시하는 단면도이다.
도 21a 및 도 21b는 일부 실시예에 따른 스마트 로드 포트를 사용하여 마스크 포드의 비정상 상태를 검출하는 방법을 도시하는 단면도이다.
도 22는 일부 실시예에 따른, 로드 포트 지지부에 그리고 로드 포트의 베이스의 상부 표면 상에 센서를 갖는 로드 포트의 단면도를 도시한다.
도 23a 내지 도 23b는 일부 실시예에 따른 스마트 로드 포트에 사용되는 로킹 장치에 대한 설계를 도시한다.
도 24a 내지 도 24b는 일부 실시예에 따른 스마트 로드 포트에 사용되는 로킹 장치에 대한 설계를 도시한다.
도 25는 일부 실시예에 따른 로드 포트로부터 마스크 포드를 제거하는 방법의 흐름도이다.
이하의 개시는 본 발명의 상이한 특징을 구현하기 위한 많은 상이한 실시예들 또는 예들을 제공한다. 본 개시를 간단히 하기 위해 구성 요소 및 배열의 특정 예들이 아래에 설명된다. 이들은 물론 예시일 뿐이고, 제한하도록 의도되지 않는다. 예를 들어, 이하의 설명에서 제2 피처 위에 또는 제2 피처 상에 제1 피처를 형성하는 것은 제1 피처 및 제2 피처가 직접 접촉하여 형성되는 실시예를 포함할 수 있으며, 제1 및 제2 피처가 직접 접촉하지 않을 수 있도록 제1 피처와 제2 피처 사이에 추가의 피처가 형성될 수 있는 실시예도 또한 포함할 수 있다.
또한, "아래에(beneath)", "아래에(below)", "하부(lower)", "위에(above)" "상부(upper)" 등과 같은 공간적으로 상대적인 용어는 본 명세서에서 도면에 도시된 바와 같은 다른 요소(들) 또는 특징(들)에 대한 하나의 요소 또는 특징의 관계를 설명하기 위해 설명의 용이함을 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시된 배향 외에 사용 또는 작동 중인 디바이스의 상이한 배향을 포함하도록 의도된다. 장치는 다르게 배향될 수도 있고(90도 또는 다른 배향으로 회전될 수 있음), 본 명세서에서 사용되는 공간적으로 상대적인 기술어도 마찬가지로 유사하게 해석될 수 있다. 본 개시에 걸쳐, 달리 명시되지 않는다면, 유사한 도면 부호는 유사한 부품을 설명하도록 사용된다.
본 발명의 실시예는 로드 포트 설계 및 로드 포트로부터 마스크 포드의 제거와 관련하여 설명된다. 개시된 실시예는 로드 포트에 부착되거나 또는 독립형으로 사용되는 로드 포트 지지부를 포함한다. 센서 및 로킹 장치는 개시된 로드 포트에 내장된다. 센서의 출력에 기초하여, 제어 유닛은 마스크 포드의 비정상 상태를 검출하고, 마스크 포드의 움직임을 제한하고 마스크 포드에 의해 보유되는(carried) 레티클에 대한 손상을 방지하도록 로킹 장치를 활성화시킨다.
도 1a는 반도체 제조를 위한 포토 리소그래피 공구에 사용되는 레티클(도시되지 않음)을 로딩 및 언로딩하기 위한 로드 포트(100)의 사시도를 도시한다. 도 1a에 도시된 바와 같이, 로드 포트(100)는 모따기부(103)를 갖는 직사각형 링의 형상을 갖고, 상기 모따기부(103)는 로드 포트(100)의 상부 표면(101)과 로드 포트(100)의 내부 측벽(105) 사이에 있다. 모따기부(103)는 본 개시에서 비스듬한 에지로 지칭될 수도 있다.
로드 포트(100)는 로드 포트(100)에 로딩될 마스크 포드의 치수에 매칭되는 미리 결정된 치수를 유지하기 위해 스틸 또는 알루미늄 티타늄 합금과 같은 강성 재료로 만들어진다. 로드 포트(100)의 표면은 코팅 재료로 코팅되어 스크래칭에 대한 저항을 제공할 수 있다. 코팅 재료는 크롬 또는 텅스텐을 포함할 수 있다. 예를 들어, 코팅 재료는 로드 포트(100)의 재료의 입자가 (예를 들어, 로딩 및 언로딩 중 마스크 포드에 의해) 벗겨져서 마스크 포드에 보유된 레티클을 오염시키는 것을 감소시키거나 또는 방지할 수 있다.
일부 실시예에서, 로드 포트(100)의 폭(W1)은 약 235 mm 내지 약 255 mm의 범위에 있다. 로드 포트(100)의 길이(L1)는 약 255 mm 내지 465 mm의 범위에 있을 수 있다. 일부 실시예에서, 외부 측벽(107)의 높이(H1)는 약 15 mm 내지 약 25 mm의 범위에 있고, 내부 측벽(105)의 높이(H2)는 약 10 mm 내지 15 mm의 범위에 있다.
도 1b는 도 1a의 로드 포트(100)의 평면도를 도시한다. 개구(102)가 로드 포트(100)의 중간에 존재한다. 예시된 실시예에서, 로드 포트(100)의 상부 표면(101)은 X 방향을 따라 측정된 폭(W2) 및 Y 방향을 따라 측정된 폭(W4)을 갖는다. 또한, 외부 측벽(107A) 및 대응하는 내부 측벽(105A)은 X 방향을 따라 측정된 거리(W3)를 갖는다. 또한, 외부 측벽(107B) 및 대응하는 내부 측벽(105B)은 Y 방향을 따라 측정된 거리(W5)를 갖는다.
일부 실시예에서, 폭(W2)은 약 5 mm 내지 약 70 mm의 범위에 있고, 폭(W4)은 약 50 mm 내지 약 70 mm의 범위에 있다. 일부 실시예에서, 거리(W3)는 약 15 mm 내지 약 85 mm의 범위에 있고, 거리(W5)는 약 60 mm 내지 약 85 mm의 범위에 있다. 개구(102)의 폭(W6)은 약 215 mm 내지 약 295 mm의 범위일 수 있고, 개구(102)의 길이(L2)는 폭(W6)과 동일할 수 있다. 상기 치수는 단지 비-제한적인 예이다. 다른 치수도 또한 가능하고 본 명세서의 범위 내에 완전히 포함되는 것으로 의도된다.
도 2a 및 도 2b는 각각 마스크 포드(150)의 개방 상태 및 폐쇄 상태의 측면도를 도시한다. 도 2a를 참조하면, 마스크 패드(150)는 상부 마스크 포드(153)라고 지칭하는 상부(예를 들어, 커버), 및 하부 마스크 포드(155)라고 지칭하는 하부(예를 들어, 베이스)를 갖는다. 상부 마스크 포드(153)는 또한 작업자(예를 들어, 사람 작업자)가 마스크 포드(150)를 로드 포트(100)에 로딩하거나 또는 마스크 포드(150)를 로드 포트(100)로부터 언로딩하기 위해 사용할 수 있는 핸들(151)을 구비한다(도 3 참조).
하부 마스크 포드(155)는 레티클(160)을 보유하는 베이스로서의 역할을 한다. 하부 마스크 포드(155)는 레티클(160)이 놓이는 하나 이상의 지지부(157)를 가질 수 있다. 지지부(157)는 반도체 제조 환경에서 겪게 되는 열 및 화학 물질에 강성이고 저항성이 있지만, 레티클을 스크래칭하기에는 단단하지 않은 재료와 같은 적합한 재료로 제조될 수 있다. 예를 들어, 폴리 에테르 에테르 케톤(PEEK)이 지지부(157)에 대한 재료로서 사용될 수 있다.
도 2b는 하부 마스크 포드(155)가 마스크 포드(150)의 로킹 메커니즘(도시되지 않음)에 의해 상부 마스크 포드(153)의 내부에 로킹되는 폐쇄 상태의 마스크 포드(150)를 도시한다. 정상 상태에서, (예를 들어, 리소그래피 공구로의 로딩 및 리소그래피 공구로부터의 언로딩과 같은) 레티클(160)의 운반 중에, 레티클(160)은 폐쇄 상태에 있는 마스크 포드(150) 내부에 보유되어, 먼지가 레티클(160) 상으로 낙하하는 것을 방지하고 그리고/또는 레티클(160)의 손상(예를 들어, 스크래칭)을 방지할 수 있다. 평면도에서, 마스크 포드(150)는 로드 포트(100)의 개구(102)(도 1b 참조)의 치수와 매칭되는 치수를 갖는 직사각형 형상을 가질 수 있다.
도 3은 일부 실시예에서 로드 포트(100)로의 마스크 포드(150)의 로딩 및/또는 로드 포트(100)로부터의 마스크 포드(150)의 언로딩을 도시한다. 본 명세서의 논의에서, 레티클(160)은 로딩 및 언로딩 동작 동안 마스크 포드(150)에 의해 보유되기 때문에, "레티클 로딩 및 언로딩"은 "마스크 포드 로딩 및 언로딩"과 교환 가능하게 사용된다.
도 3에 도시된 바와 같이, 상하 방향(113)을 따라 이동 가능한 로드 포트(100)의 이동 가능한 베이스(110)는 로드 포트(110)와 도킹된다(docked). 리소그래피 공구에 레티클(160)을 로딩하기 위해, 마스크 포드(150)는 마스크 포드(150) 내부에 레티클(160)이 있는 이동 가능한 베이스(110) 상에 로딩된다. 그 후, 이동 가능한 베이스(110)는 엘리베이터와 같이 아래로 이동하고, 로드 포트(100) 아래에 배치된 리소그래피 공구(도시되지 않음) 내로 마스크 포드(150)를 운반한다. 리소그래피 공구 내부에 들어가면, 마스크 포드(150)는 개방되고, 레티클(160)은 마스크 포드(150)로부터 제거되어, 포토 리소그래피 프로세싱을 위해 리소그래피 공구에 의해 사용된다.
포토 리소그래피 프로세스가 완료된 후, 레티클(160)은 마스크 포드(150)로 복귀되고, 마스크 포드(150)는 폐쇄되고, 이동 가능한 베이스(110)는 엘리베이터와 같이 위로 이동하고, 마스크 포드(150)를 로드 포트(110)를 향해 운반한다. 이동 가능한 베이스(110)가 로드 포트(100)와 도킹되면, 예를 들어, 이동 가능한 베이스(110)가 도 3에 도시된 위치에 도달할 때, 마스크 포드(150)는 로드 포트(100)로부터(예를 들어 외부로) 제거되어, 레티클(160)은 제거되어 저장될 수 있고, 그리고/또는 새로운 레티클이 또 다른 포토 리소그래피 프로세싱을 위해 마스크 포드(150)에 로딩될 수 있다.
마스크 포드(150)의 언로딩(예를 들어, 제거)은 기계에 의해 자동으로 수행될 수 있다. 그러나, 반도체 제조 중에, 비정상 상태 또는 비상 사태(예컨대, 전력 손실)가 발생할 수 있고, 이 때 마스크 포드(150)는 사람 작업자에 의해 제거될 수 있다. 적절한 언로딩 공정에서, 마스크 포드(15)는 직선 상향 방향(115), 예를 들어 이동 가능한 베이스(110)의 상부 표면에 수직인 방향으로 로드 포트(100)로부터 제거되어야 한다. 그러나, 사람 작업자가 마스크 포드(150)를 로드 포트(100)로부터 제거할 때, 마스크 포드(150)는 직선 상향 방향(115)으로 이동할 수 없다. 대신에, 마스크 포드(150)는 이동 가능한 베이스(110)의 상부 표면에 수직하지 않은 방향(117)과 같은 방향을 따라 이동할 수 있다. 본 발명에서는 상기 이동 가능한 베이스(110)의 상부 표면에 수직이 아닌 방향(예를 들어, 117)을 비-수직 방향이라고도 하며, 수직이 아닌 방향을 따른 (예를 들어, 마스크 포드(150)에 의한) 움직임은 비-수직 움직임으로 지칭된다. 레티클(160), 마스크 포드(150) 및/또는 로드 포트(100)에 대한 손상은 이하에서 보다 상세하게 설명되는 바와 같이 마스크 포드(150)가 비-수직 방향을 따라 로드 포트(100)로부터 제거될 때 발생할 수 있다.
로드 포트(100)는 로드 포트(100)의 개구(102)에 마스크 포드(150)를 끼워 넣는 것을 용이하게 하는 모따기부(103)를 갖는다. 그러나, 모따기부(103)는 로드 포트(100)의 내부 측벽의 높이를 H2로 감소시킨다. 로드 포트(100)의 내부 측벽(105)이 마스크 포드(150)의 측면 이동을 제한하기 때문에, 모따기부(103)는 마스크 포드(150)의 측면 이동을 제한한다는 측면에서 내부 측벽(105)의 유효성을 감소시킨다. 마스크 포드(150)는 이동 가능한 베이스(110)로부터의 H2보다 더 높게 이동하므로, 모따기부(103)와 마스크 포드(150) 사이의 갭은 마스크 포드(150)의 측면 이동을 허용하고, 따라서 인간 작업자에 의한 마스크 포드(150)의 비-수직 이동을 초래할 수 있다.
비-수직 방향을 따라 마스크 포드(150)를 제거할 때, 마스크 포드(150)와 로드 포트(100) 사이에 범핑(bumping) 또는 스크래칭과 같은 과도한 접촉이 발생할 수 있어, 마스크 포드(150), 로드 포트(100), 또는 심지어 마스크 포드(150) 내의 레티클(160)에 대해서도 손상을 야기할 수 있다. 또한, 마스크 포드(150) 및/또는 로드 포트(100)의 스크래칭에 의한 느슨해진 입자는 레티클(160)을 오염시킬 수 있다. 소정의 비정상 상태에서, 상부 마스크 포드(153)는 하부 마스크 포드(155)와 견고하게 로킹되지 않을 수 있고, 로드 포트(100)로부터 마스크 포드(150)를 제거하는 동안 하부 마스크 포드(155)로부터 분리될 수 있다. 마스크 포드(150)가 로드 포트(100)에서 위쪽으로 움직일 때 상부 마스크 포드(153)와 하부 마스크 포드(155)가 분리되면, 레티클(160)은 로드 포트(100)와 마스크 포드(150) 사이의 끼워 맞춤(tight fit)에 의해 발생된 흡착력 및 상부 마스크 포드(153)의 상향 이동으로 인해 로드 포트(100) 밖으로 날아갈 수 있어(fly out of), 결과적으로 레티클(160)에 심각한 손상을 초래할 수 있다. 본 발명은 다양한 디자인 특징들에 의해 이러한 문제점들을 해결한다.
도 4는 일부 실시예에서 로드 포트(200)의 사시도를 도시한다. 도 4의 로드 포트(200)는 도 1a의 로드 포트(100) 및 로드 포트(100)의 2개의 대각선 상부 코너에 부착된 2개의 로드 포트 지지부(210)를 포함한다. 도 4에 도시된 바와 같이, 로드 포트 지지부(210)의 형상은 로드 포트(100)의 상부 표면(101) 및 모따기부(103)의 프로파일에 매칭되도록 수정된 L자형 프리즘의 바닥 부분을 갖는 실질적으로 L자형 프리즘이다.
로드 포트 지지부(210)는 스틸, 알루미늄 티타늄 합금 또는 폴리 에테르 에테르 케톤(PEEK)과 같은 강성 재료로 이루어진다. 로드 포트 지지부(210)의 경도는 로드 포트(100)의 경도와 동일하거나 또는 그보다 높을 수 있다. 로드 포트 지지부(210)가 로드 포트(100)보다 높거나 동일한 경도를 가지면, 마스크 포드(150)를 로딩 및 언로딩하는 동안 로드 포트 지지부(210)를 스크래칭할 가능성이 감소될 수 있다. 로드 포트 지지부(210)는 스크류와 같은 임의의 적절한 방법을 통해 로드 포트(100)에 견고하게 부착(예를 들어 고정)된다. 로드 포트 지지부(210)의 표면은 스크래칭을 줄이거나 또는 방지하기 위해 크롬 또는 텅스텐과 같은 코팅 재료로 코팅될 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 각각의 로드 포트 지지부(210)는 로드 포트(100)의 각각의 내부 측벽(105)과 동일 높이에 있는 2개의 내부 측벽(211, 213)을 갖는다. 평면도에서, 2개의 로드 포트 지지부(210)의 4개의 내부 측벽(예를 들어, 각각의 로드 포트 지지부(210)로부터의 2개의 내부 측벽)은 로드 포트(100)의 개구(102)와 동일한(예를 들어 중첩되는) 직사각형 영역을 한정한다(예를 들어 경계를 정한다).
도 4에 도시된 바와 같이, 2개의 로드 포트 지지부(210)는 로드 포트(200)의 내부 측벽의 유효 높이를 H1+H3으로 증가시키며, 여기서 H1은 로드 포트(100)의 외부 측벽의 높이이고, H3는 로드 포트(100)의 상부 표면(101)과 로드 포트 지지부(210)의 L자형 상단 표면 사이의 높이이다. 따라서, 마스크 포드(150)의 측면 이동(예를 들어, 비-수직 이동)은 더 긴 거리(예를 들어 H1+H3)에 대해 감소되거나 또는 방지된다. 상부 마스크 포드(153)가 하부 마스크 포드(155)로부터 분리되는 경우에, 마스크 포드(150)가 더 긴 거리(예를 들어, H1+H3)에 대해 상향 이동해야 하기 때문에, 레티클(160)이 로드 포트(200) 밖으로 날아갈 가능성이 적어, 레티클(160)에 대한 심각한 손상의 가능성을 감소시킨다.
도 5a 및 도 5b는 도 4의 로드 포트 지지부(210)의 사시도 및 평면도를 도시한다. 도 5a에 도시된 바와 같이, 로드 포트 지지부(210)의 형상은 L자형의 직사각형 프리즘을 포함하며, 제1 바닥 연장부(221) 및 제2 바닥 연장부(223)는 로드 포트 지지부(210)의 (도 5a에서 에지로 도시된) 바닥 표면(217)에 부착된다. 즉, 제1 바닥 연장부(221)가 없고 제2 바닥 연장부(223)가 없다면, 도 5a의 로드 포트 지지부(210)는 L자형 프리즘의 형상을 가지며, 상기 L자형 프리즘은 L자형 상부 표면(215), L자형 바닥 표면(217) 및 6개의 직사각형 측벽을 갖는다. 그러나, 제1 바닥 연장부(221) 및 제2 바닥 연장부(223)가 있다면, 로드 포트 지지부(210)의 측벽(225)과 측벽(235)은 직사각형과 삼각형의 조합 형태를 가지며, 다른 4개의 측벽(예를 들어 211 및 213)은 여전히 직사각형 형상을 갖는다. 또한, 로드 포트 지지부(210)의 표면에는 2개의 경사진 표면(219, 229)이 추가되어, 로드 포트 지지부(210)에 대해 총 10개의 표면(예를 들면, 상단 표면, 바닥 표면, 6개의 측벽 및 2개의 경사진 표면)이 형성된다.
도 5a에 도시된 바와 같이, 제1 바닥 연장부(221)는 바닥 표면(217) 아래에 있고, 측벽(225)을 따른 제1 바닥 연장부(221)의 단면은 삼각형 형상을 갖고, 상기 삼각형은 측벽(225) 상에 도시된 파선 아래에 있다. 제1 바닥 연장부(221)의 경사진 표면(219)(도 5a에서 에지로 도시됨)은 로드 포트 지지부(210)의 바닥 표면(217)과 각도(α)를 형성한다. 각도(α)는 90도 내지 대략 180도, 예를 들어 135도일 수 있다. 일부 실시예에서, 각도(α)는 로드 포트(100)의 상부 표면(101)과 모따기부(103) 사이의 각도와 동일하다(도 4 참조). 로드 포트 지지부(210)의 바닥 표면(217) 및 경사진 표면(219)이 각각 로드 포트(100)의 상부 표면(101) 및 모따기부(103)와 접촉하므로, 상부 표면(101)과 모따기부(103) 사이의 각도에 매칭되는 각도(α)를 갖는 것은 로드 포트 지지부(210)와 로드 포트(100) 사이의 양호한 피팅을 보장할 것이다. 유사하게, 제2 바닥 연장부(223)는 측벽(235)에서 삼각형 단면을 갖는다. 또한, 제2 바닥 연장부(223)의 경사진 표면(229)과 바닥 표면(217)은 각도(α)를 형성한다. 일부 실시예에서, 상부 표면(215)과 바닥 표면(217) 사이에서 측정된 로드 포트 지지부(210)의 높이(H3)(도 5a 참조)는 약 30 mm 내지 약 100 mm의 범위이다.
도 5b는 제1 바닥 연장부(221) 및 제2 바닥 연장부(223)가 가상선으로 도시된 로드 포트 지지부(210)의 평면도를 도시한다. 도 5b를 참조하면, 로드 포트 지지부(210)의 상부 표면(215)은 외부 측벽(220)과 내부 측벽(211) 사이의 폭(W3'), 및 외부 측벽(224)과 내부 측벽(213) 사이의 폭(W5')을 갖는다. 또한, 로드 포트 지지부(210)의 바닥 표면(217)은 외부 측벽(220)과 경사진 표면(219) 사이의 폭(W2'), 및 외부 측벽(224)과 경사진 표면(229) 사이의 폭(W4')을 갖는다.
일부 실시예에서, 폭(W3')은 약 15 mm 내지 약 55 mm의 범위에 있다. 폭(W5')은 약 40 mm 내지 약 60 mm의 범위에 있을 수 있다. 폭(W2')은 약 5 mm 내지 약 50 mm의 범위일 수 있고, 폭(W4')은 약 30 mm 내지 약 50 mm의 범위일 수 있다. 일부 실시예에서, 폭(W3') 및 폭(W5')은 각각 도 1b에 도시된 폭(W3) 및 폭(W5)과 동일하다. 일부 실시예에서, 폭(W2') 및 폭(W4')은 각각 도 1b에 도시된 폭(W2) 및 폭(W4)과 동일하다. 내부 측벽(211)의 폭(W8)은 약 50 mm 내지 약 70 mm의 범위이고, 내부 측벽(213)의 폭(W10)은 약 35 mm 내지 약 55 mm의 범위에 있다.
도 6은 일 실시예에 따라, 도 5a의 로드 포트 지지부(210) 대신에 또는 로드 포트 지지부(210)와 함께 사용될 수 있는 다른 로드 포트 지지부(210)를 도시한다. 도 6의 로드 포트 지지부(210)는 도 5a의 로드 포트 지지부(210)와 유사하지만, 상부 표면(215)과 내부 측벽(211/213) 사이에 2개의 모따기부(231)가 추가되어 있다. 각 모따기부(231)는 로드 포트 지지부(210)의 상부 표면(215)과 각도(β)를 형성한다. 각도(α)는 각도(β)와 상이할 수도 있지만, 일부 실시예에서, 각도(β)는 제1 바닥 연장부(221)의 하부 표면(217)과 경사진 표면(219) 사이의 각도(α)와 동일하다. 모따기부(231)를 구비함으로써, 마스크 포드(150)를 로드 포트(200)에 로딩하는 것이 보다 용이해진다.
일부 실시예에서, 도 6의 로드 포트 지지부(210)의 상부 표면(215)의 폭(W7)은 약 30 mm 내지 약 50 mm 범위이고, 상부 표면(215)의 폭(W9) 약 5 mm 내지 약 50 mm 범위이다. 일부 실시예에서, 폭(W7) 및 폭(W9)은 각각 도 5b의 폭(W2') 및 폭(W4')과 동일하다.
도 4에는 2개의 로드 포트 지지부(210)가 도시되었지만, 3개 또는 4개의 로드 포트 지지부와 같은 2개 초과의 로드 포트 지지부가 사용될 수 있다. 예를 들어, 로드 포트(100)의 점유되지 않은 상부 코너(예를 들어, 도 4의 좌측 바닥 및/또는 우측 상단 코너)에 1개 또는 2개의 추가의 로드 포트 지지부(210)가 부착될 수 있다. 2개의 로드 포트 지지부가 사용되는 실시예에서, 2개의 로드 포트 지지부는 임의의 2개의 대각선 코너에 부착될 수 있다. 예를 들어, 도 4에 도시된 바와 같이 상단 좌측 및 바닥 우측 코너 대신에, 2개의 로드 포트 지지부(210)가 로드 포트(100)의 좌측 바닥 및 우측 상단 코너에 부착될 수 있다. 로드 포트(200)의 설계에 대한 이와 같은 그리고 다른 변형은 본 개시의 범위 내에 완전히 포함되는 것으로 의도된다.
도 7은 일 실시예에 따른 다른 로드 포트(300)를 도시한다. 도 7에서, 로드 포트(300)는 2개의 로드 포트 지지부(310)를 포함하고, 링 형상 로드 포트(100)(도 4 참조)는 로드 포트(300)에서 사용되지 않는다. 각각의 로드 포트 지지부(310)는 L자형의 직사각형 프리즘의 형상을 갖는다. 로드 포트 지지부(310)의 재료는 로드 포트 지지부(210)의 재료와 유사할 수 있으므로, 여기서 상세한 설명은 생략한다. 로드 포트 지지부(310)의 높이(H4)는 로드 포트(100)의 높이(H1)(도 4 참조)보다 크기 때문에, 마스크 포드(150)의 측면 이동을 보다 효과적으로 제어하여 언로딩 중에 마스크 포드(150)의 스트레이트 업 이동을 강제한다. 더 큰 로드 포트 지지부(310)는 또한 하부 마스크 포드로부터 상부 마스크 포드의 분리가 발생할 때 레티클(160)이 로드 포트(300) 밖으로 날아갈 위험성을 감소시킨다.
도 7에 도시된 바와 같이, 2개의 로드 포트 지지부(310)의 4개의 내부 측벽(311/313)은 폭(W11) 및 길이(L3)를 갖는 직사각형 영역(302)의 경계를 한정한다(예를 들어 정한다). 일부 실시예에서 직사각형 영역(302)의 치수(예를 들어, L3 및 W11)는 마스크 포드(150)의 치수 또는 로드 포트(100)의 개구(102)(도 1b 참조)의 치수에 매칭된다. 로드 포트(300)의 장점은 2개의 로드 포트 지지부(310) 사이의 거리를 조정함으로써, 동일한 로드 포트 지지부(310)가 상이한 치수(예를 들어, L3 및 W11)를 갖는 로드 포트(300)를 형성하도록 재구성되어 상이한 크기를 갖는 마스크 포드(150)를 수용할 수 있다는 것이다.
도 8은 도 7에 도시된 로드 포트 지지부(310)의 사시도를 도시한다. 일부 실시예에서, 로드 포트 지지부(310)의 높이(H4)는 약 30 mm 내지 약 50 mm 범위이다. 로드 포트 지지부(310)의 다른 치수는 도 5a 및 도 5b의 로드 포트 지지부(210)의 대응하는 치수와 유사할 수 있으므로, 상세한 설명은 여기서 반복하지 않는다.
도 9는 일 실시예에 따라, 도 8의 로드 포트 지지부(310) 대신에 또는 로드 포트 지지부(310)와 함께 사용될 수 있는 다른 로드 포트 지지부(310)의 사시도를 도시한다. 도 9의 로드 포트 지지부(310)는 도 8의 로드 포트 지지부(310)와 유사하지만, 상부 표면(315)과 2개의 내부 측벽(311, 313) 사이에 2개의 모따기부(329)를 갖는다. 모따기부(329)는 마스크 포드(150)를 로드 포트(300) 내로 로딩하는 것을 용이하게 한다.
도 7에는 2개의 로드 포트 지지부(310)가 도시되어 있지만, 3개 또는 4개의 로드 포트 지지부와 같은 2개 초과의 로드 포트 지지부가 사용될 수 있다. 예를 들어, 직사각형 영역(302)의 점유되지 않은 코너(예를 들어, 도 7의 좌측 바닥 및/또는 우측 상단 코너)에 1개 또는 2개의 추가의 로드 포트 지지부(310)가 배치될 수 있다. 2개의 로드 포트 지지부(310)가 사용되는 실시예에서, 2개의 로드 포트 지지부(310)는 임의의 2개의 대각선 코너에 배치될 수 있다. 예를 들어, 도 7에 도시된 바와 같이 상단 좌측 및 바닥 우측 코너 대신에, 2개의 로드 포트 지지부(310)는 직사각형 영역(302)의 좌측 바닥 및 우측 상단 코너에 배치될 수 있다. 로드 포트(300)의 설계에 대한 이와 같은 그리고 다른 변형은 본 개시의 범위 내에 완전히 포함되는 것으로 의도된다.
도 10은 일 실시예에 따른 로드 포트(400)의 사시도를 도시한다. 로드 포트(400)는 도 4의 로드 포트(200)와 유사하지만, 로드 포트(400)에 내장된 복수의 센서(예를 들어 401, 405) 및 로킹 장치(예를 들어, 403)를 갖는다. 특히, 로드 포트 지지부(210) 각각에 대해(예를 들어 210A 또는 210B), 로드 포트 지지부(210)의 내부 측벽(211) 및/또는 내부 측벽(213)에 제1 광 센서(401)가 내장되고, 로드 포트(100)의 내부 측벽(들)에 제2 광 센서(405)가 내장되어 제1 광 센서(401) 아래에 배치된다. 광 센서(예를 들어, 401 및 405)의 외부 표면은 내부 측벽(211) 및/또는 내부 측벽(213)과 동일 높이에 있거나, 또는 내부 측벽(211) 및/또는 내부 측벽(213)으로부터 리세싱되어, 광 센서(예를 들어, 401 및 405)가 로드 포트(400) 내부의 마스크 포드(150)의 이동(예를 들어, 위 또는 아래로의 이동)을 간섭하지 않는다.
각각의 로드 포트 지지부(210)에 대해, 로킹 장치(403)는 내부 측벽(211) 및/또는 내부 측벽(213)에 내장되어, 제1 광 센서(401)와 제2 광 센서(405) 사이에 위치한다. 로킹 장치(403)가 비-활성 장치에 있을 때(예를 들어, 로킹 장치(403)가 전개되어 있을 않을 때), 로킹 장치(403)의 외부 표면은 내부 측벽(211) 및/또는 내부 측벽(213)과 동일 높이에 있거나, 또는 내부 측벽(211) 및/또는 내부 측벽(213)으로부터 리세싱되어, 로킹 장치(403)는 로드 포트(400) 내부의 마스크 포드(150)의 이동을 간섭하지 않는다. 로킹 장치(403)가 활성 상태에 있을 때(예를 들어, 로킹 장치(403)가 전개되어 있을 때), 로킹 장치(403), 또는 그 일부는 로드 포트(400) 내부에서 마스크 포드(150)의 이동을 제한(예를 들어 차단)하도록 로드 포트(400)의 개구(102) 내로 돌출되며, 이에 대한 상세한 설명은 이후에 논의될 것이다.
도 10을 더 참조하면, 로드 포트 지지부(210A)의 광 센서(401/405) 각각은 로드 포트 지지부(210B)의 대응하는 광 센서(401/405)(도 10의 사시도에서는 보이지 않음)와 광 센서 쌍을 형성한다. 예를 들어, 로드 포트 지지부(210A)의 제1 광 센서(401)는 광 송신기일 수 있고, 로드 포트 지지부(210B)의 제1 광 센서(401)는 광 수신기일 수 있거나, 또는 그 반대일 수 있다. 따라서, 2개의 대응하는 광 센서(예를 들어, 210A의 광 센서(401) 및 210B의 광 센서(401))는 (하나의 광 센서에 의해) 광 신호를 송신하고 (다른 광 센서에 의해) 광 신호를 수신하기 위한 광 센서 쌍을 형성한다. 본 발명은 광 송신기 및 광 수신기의 (예를 들어, 210A 또는 210B 내의) 위치를 쌍으로 할당하는데 큰 유연성을 허용한다. 예를 들어, 로드 포트 지지부(210A)의 광 센서(401/405)는 모두 광 송신기일 수 있다. 다른 예로서, 로드 포트 지지부(210A)의 광 센서(401/405)는 모두 광 수신기일 수 있다. 또 다른 예로서, 로드 포트 지지부(210A)의 광 센서(401/405)는 광 송신기 및 광 수신기를 포함할 수 있다.
광 센서(401/405)는 레이저 신호, 적외선(IR) 신호 또는 다른 방향 신호를 송신 또는 수신할 수 있으므로, 광 센서 쌍 사이의 신호 전송은 다른 광 센서 쌍 사이의 신호 전송을 간섭하지 않을 것이다. 예를 들어, 광 센서 쌍 사이에 LOS(light-of-sight) 통신 채널을 확립하기 위해 레이저 신호가 사용될 수 있다. 수신 광 센서에 의해 수신된 신호는 마스크 포드의 비정상 상태를 검출하고 그리고 레티클에 대한 손상을 방지하기 위해 로킹 장치(403)를 전개하도록 프로세싱될 것이고, 이는 도 12 내지 도 17을 참조하여 이하에서 더 상세히 설명될 것이다. 본 개시를 통해, 센서를 갖는 로드 포트는 또한 스마트 로드 포트로 지칭될 수 있다.
도 10에 도시된 로드 포트 지지부(210)는 도 6의 모따기부(231)와 유사하게 상부 표면(215)과 내부 측벽(211/213) 사이에 형성된 모따기부를 가질 수 있다. 광 센서(401/405) 403), 및 로킹 장치(403)는 도 10에서 로드 포트 지지부(210)의 내부 측벽(211, 213)에 내장된 것으로 도시되어 있다. 광 센서(401/405)의 크기 및 로킹 장치(403)의 크기에 따라, 광 센서(401/405) 및/또는 로킹 장치(403)는 내부 측벽들 중 하나(예를 들어, 211 또는 213)에 내장될 수 있거나, 또는 2개의 내부 측벽(211 및 213)이 서로 교차하는 에지를 따라 내장될 수 있다. 또한, 제2 광 센서(405)는 로드 포트(100)의 내부 측벽(105)에 내장된 것으로 도시되어 있지만, 제2 광 센서(405)는 또한 로드 포트 지지부(210)의 내부 측벽(211) 및/또는 내부 측벽(213)에 내장될 수도 있다. 또한, 광 센서(401/403)의 위치(예를 들어, 광 센서(401/405), 로킹 장치(403) 및 로드 포트(100)의 바닥 표면 사이의 거리) 및/또는 로킹 장치(403)의 위치는 마스크 포드(150)의 크기, 로드 포트(100)의 크기 및 로드 포트 지지부(210)의 크기와 같은 다양한 인자에 따라 변경될 수 있다. 로드 포트(400)의 설계에 대한 이와 같은 그리고 다른 변형은 본 개시 내용의 범위 내에 완전히 포함되도록 의도된다.
도 11은 일 실시예에 따른 스마트 로드 포트(500)의 사시도를 도시한다. 스마트 로드 포트(500)는 도 7에 도시된 로드 포트(300)와 유사하지만, 로드 포트 지지부(310)의 내부 측벽(311/313)에 내장된 광 센서(501/505) 및 로킹 장치(503)를 구비한다. 특히, 각 로드 포트 지지부(310)에 대해, 로드 포트 지지부(310)의 내부 측벽(311) 및/또는 내부 측벽(313)에는 제1 광 센서(501), 로킹 장치(503), 및 제2 광 센서(505)가 매립되어 있고, 로킹 장치(503)는 제1 광 센서(501)와 제2 광 센서(505) 사이에 위치한다. 로드 포트 지지부의 쌍으로 된 대응하는 광 센서, 예를 들어 로드 포트 지지부(310A)의 제1 광 센서(501) 및 로드 포트 지지부(310B)의 제1 광 센서(501)(도 11에는 보이지 않음)는 광 센서 쌍을 형성한다. 도 11의 예에서, 2개의 광 센서 쌍(예를 들어, 310A의 501 및 310B의 501, 310A의 505 및 310B의 505)이 형성된다. 각각의 광 센서 쌍은 광 송신기 및 광 수신기를 포함한다. 방향 신호(예를 들어, 레이저, IR)는 광 센서의 다른 쌍(들)과 간섭하지 않고 각 광 센서 쌍 사이의 방향성 통신 링크를 유지하는데 사용된다. 광 센서(501/505) 및 로킹 장치(503)의 세부 사항은 각각 도 10의 광 센서(401/405) 및 로킹 장치(403)의 세부 사항과 유사하므로, 상세한 설명은 여기서 반복하지 않는다.
로드 포트(500)에 대한 변경이 가능하다. 예를 들어, 도 9의 모따기부(329)와 유사하게, 로드 포트 지지부(310)의 상부 표면(315)과 내부 측벽(311/313) 사이에 모따기부가 형성될 수 있다. 광 센서(501/505) 및 로킹 장치(503)의 위치는 마스크 포드(150)의 크기 및 로드 포트 지지부(310)의 크기와 같은 다양한 인자에 따라 조정될 수 있다. 로드 포트(500)의 설계에 대한 이와 같은 그리고 다른 변형은 본 개시의 범위 내에 완전히 포함되도록 의도된다.
도 12 내지 도 15는 일부 실시예에서 스마트 로드 포트로부터 마스크 포드를 제거하는 방법을 도시한다. 도 11의 스마트 로드 포트(500)는 도시된 실시예에서 예로서 사용되며, 도 10의 스마트 로드 포트(400)와 같은 다른 스마트 로드 포트도 또한 본 발명의 사상을 벗어나지 않고 사용될 수도 있다는 것을 이해해야 한다.
도 12는 스마트 로드 포트(500), 스마트 로드 포트(500)의 이동 가능한 베이스(110) 및 마스크 포드(150)의 단면도를 도시한다. 간략화를 위해, 마스크 포드(150) 내부에 보유된 레티클 및 하부 마스크 포드는 도시되지 않았다. 도 12는 광 센서(501A/505A)에 결합된 제어 유닛(180) 및 로드 포트 지지부(310A)의 로킹 장치(503A)를 도시한다. 또한, 제어 유닛(180)은 로드 포트 지지부(310B)의 로킹 장치(503B) 및 광 센서(501B/505B)에 결합된다. 제어 유닛(180)은 마이크로 제어기, 중앙 처리 유닛(CPU), 주문형 집적 회로(ASIC), 또는 다른 적절한 제어기일 수 있다. 제어 유닛(180)과 광 센서(501/505) 및 로킹 장치(503) 사이의 결합은 유선을 통해(예를 들어, 구리 와이어, 동축 케이블, 광섬유) 또는 무선 채널(예를 들어, WiFi, 블루투스 또는 다른 표준 또는 독점적인 무선 프로토콜)을 통해 이루어질 수 있다. 간략화를 위해, 제어 유닛(180), 및 제어 유닛(180)과 광 센서(501/505) 및 로킹 장치(503) 사이의 커플링은 도 13 내지 도 17에 도시되지 않고, 제어 유닛(180) 및 커플링은 여전히 도 13 내지 도 17에 존재한다는 것을 이해해야 한다.
보편성을 잃지 않고, 오직 아래 논의를 용이하게 하기 위해, 로드 포트 지지부(310A)의 광 센서(501A, 505A)는 광 송신기로 하고, 로드 포트 지지부(310B)의 광 센서(501B, 505B)는 광 수신기인 것으로 한다.
도 12를 참조하면, 언로딩 공정의 시작 시에, 레티클(160)(도시되지 않음)이 내부에 있는 마스크 포드(150)가 이동 가능한 베이스(110) 상에 있으며, 스마트 로드 포트(500)로부터 제거될 준비가 되어 있다. 제어 유닛(180)은 광 송신기(501A, 505A)에게 광 신호의 송신을 지시하고, 광 수신기(501B, 505B)의 출력을 체크한다. 마스크 포드(150)는 제1 광 센서 쌍(501A/501B)과 제2 광 센서 쌍(505A/505B) 사이에 있으므로, 송신된 광 신호는 마스크 포드(150)에 의해 차단되고, 광 수신기(501B/505B)의 출력은 501B 및 505B에서 어떠한 광 신호도 수신되지 않는다는 것을 지시한다. "1" 및 "0"의 기호를 사용하여 "광 신호 수신됨" 및 "광 신호 수신되지 않음"을 각각 지시하고, 이진수 2 비트 워드[B1B0]를 사용하여 광 수신기(501B/505B)로부터의 출력을 나타내고, 비트 B1 및 B0는 광 수신기(501B, 505B)의 출력에 각각 대응하며, 도 12의 광 수신기(501B/505B)의 출력은 2 비트 워드[00]로 표현된다. 2 비트 워드 [B1B0]의 값은 또한 광 수신기(501B/505B)의 상태라고도 한다. 비트 B1을 2-비트 워드의 최상위 비트(MSB)로 취급하고 비트 B0을 2-비트 워드의 최하위 비트(LSB)로 취급하는 규칙에 따라, 도 12의 광 수신기(501B/505B)의 상태는 0이다.
다음으로, 도 13에 도시된 바와 같이, 마스크 포드(150)는 상향으로 이동하여 제2 광 수신기 쌍(505A/505B) 사이의 통신 경로를 클리어링하지만(예를 들어 위로 이동), 제1 광 수신기 쌍(501A/501B) 사이의 통신 경로는 여전히 차단한다. 그 결과, 제2 광 수신기(505B)의 출력은 "광 신호 수신됨"을 나타내고, 광 수신기(501B)의 출력은 "광 신호 수신되지 않음"을 나타낸다. 따라서, 도 13의 광 수신기(501B/505B)의 출력은 2-비트 워드 [01]로 표현되며, 도 13의 광 수신기(501B/505B)의 상태는 1이다.
다음으로, 도 14에 도시된 바와 같이, 마스크 포드(150)는 더 상향으로 이동하여 제1 광 센서 쌍(501A/501B)과 제2 광 센서 쌍(505A/505B) 사이의 통신 경로를 클리어링한다. 그 결과, 제1 광 수신기(501B)의 출력 및 제2 광 수신기(505B)의 출력은 모두 "광 신호 수신됨"을 나타낸다. 따라서, 도 14의 광 수신기(501B/505B)의 출력은 2-비트 워드 [11]에 의해 표현되고, 도 14의 광 수신기(501B/505B)의 상태는 3이다.
도 12 내지 도 14는 스마트 로드 포트로부터 마스크 포드(150)를 언로딩하기 위한 정상 동작 상태를 도시한다. 따라서, 도 12 내지 도 14에 도시된 바와 같이, 광 수신기(501B/505B)의 상태는 다음 시퀀스로 변화한다: 0 → 1 → 3.
도 15는 마스크 포드(150)의 제거 동안 상부 마스크 포드(153)가 하부 마스크 포드(155)로부터 분리되는 마스크 포드(150)의 비정상 상태를 도시한다. 도 15에 도시된 바와 같이, 상부 마스크 포드(153)로부터 분리된 후에, 상부 마스크 포드(153)가 상향으로 이동하여 제1 광 센서 쌍(501A/501B) 사이의 통신 경로를 클리어링함에 따라(즉, 차단하지 않음) 하부 마스크 포드(155) 및 레티클(160)이 이동 가능한 베이스(110) 상에 남겨진다. 제2 광 센서 쌍(505A/505B) 사이의 통신 경로는 하부 마스크 포드(155)에 의해 차단된다. 따라서, 광 수신기(501B/505B)의 출력은 일부 실시예에서 상부 마스크 포드(153)가 상향으로 이동함에 따라 [0 0]에서 [1 0]으로 변화된다. 즉, 비정상 상태에서 광 수신기(501B/505B)의 상태는 도시된 실시예에서 다음의 시퀀스로 변화된다: 0 → 2. 광 수신기(501B/505B)에 대한 상태 2는 정상 상태에서는 나타나지 않으므로, 제어 유닛(180)에 의해 비정상 상태를 검출하는데 사용될 수 있음을 주목한다. 일부 실시예에서, 제어 유닛(180)은 광 수신기(501B/505B)의 상태가 2일 때 마스크 포드(150)의 비정상 상태가 발생했다고 결정한다.
일부 실시예에서, 제어 유닛(180)은 광 수신기(501B/505B)의 상태의 전이를 모니터링하고(예를 들어, 0 → 1 → 3 또는 0 → 2), 상태 시퀀스를 분석함으로써, 예를 들어 비정상 상태가 언제 그리고 어떻게 발생했는지에 관한 보다 세부적인 사항을 결정할 수 있다. 예를 들어, 하부 마스크 포드(155)가 상부 마스크 포드(153)로부터 분리되어 이동 가능한 베이스(110) 상으로 되돌아가기 전에 제2 광 센서 쌍(505A/505B) 위로 초기에 이동하면, 상태 시퀀스는 다음의 전이를 나타낼 수 있다: 0 → 1 → 0 → 2. 제어 유닛(180)은 광 수신기(501B/505B)의 상태를 연속적으로 모니터링(예를 들어, 언로딩 프로세스에 걸쳐 샘플링 주파수로 광 수신기(501B/505B)의 출력을 샘플링)할 수 있다. 광 수신기의 출력의 샘플의 타임 스탬프는 비정상 상태(예를 들어, 하부 마스크 포드로부터의 상부 마스크 포드의 분리)가 발생한 시간을 제공할 수 있다. 광 수신기(501B/505B)의 출력의 샘플을 사용함으로써 상세한 타이밍 정보로 비정상 상태를 재구성하는 것이 가능할 수 있다. 이러한 재구성은 동작 절차를 개선하고 비정상 상태의 미래의 발생을 방지하기 위해 사용될 수 있다.
일부 실시예에서, 비정상 상태의 검출에 응답하여, 제어 유닛(180)은 로킹 장치(503A/503B)를 활성화 또는 전개한다. 활성화될 때, 로킹 장치(503A/503B)는 로드 포트 지지부(310)의 측벽으로부터 로드 포트 지지부(310)의 내부 측벽(311/313)(도 11 참조)에 의해 경계가 정해진 공간 내로 돌출한다. 일부 실시예에서, 활성화된 로킹 장치(503A/503B)는 하부 마스크 포드(155)의 움직임을 제한하여, 예를 들어 로킹 장치(503A/503B)를 통과하여 상향으로 이동하는 것을 방지함으로써, 레티클(160)이 로드 포트(310)에서 빠져나와 손상될 가능성을 감소시킨다. 경고등 또는 알람과 같은 경고 신호가 제어 유닛(180)에 의해 트리거링될 수 있으므로, 비정상 상태는 작업자에 의해 적절히 처리되고 그리고 해결될 수 있다.
도 15의 예에서, 로킹 장치(503A, 503B) 사이의 거리(S1)는 레티클(160)의 폭(S2)보다 크지만, 하부 마스크 포드(155)의 폭(S5)보다 작다. 그러므로, 하부 마스크 포드(155)의 움직임을 제한할 때, 로킹 장치(503A/503B)는 하부 마스크 포드(155)와 접촉할 수 있지만 레티클(160)과 접촉하지 않을 수 있다.
도 16 및 도 17은 마스크 포드(150)의 비정상 상태에서 하부 마스크 포드(155) 및/또는 레티클(160)의 이동을 제한하는 로킹 장치(503)의 2개의 예를 도시한다. 도 16 및 도 17은 도 15와 유사하지만, 로킹 장치(503)에 대해 상이한 형상 및/또는 치수를 갖는다.
도 16에서, 로킹 장치(503A, 503B) 사이의 거리(S1)는 레티클(160)의 폭(S2)(도 15 참조)보다 작고, 하부 마스크 포드(155)의 폭(S5)(도 15 참조)보다 작다. 따라서, 하부 마스크 포드(155)의 이동을 제한할 때, 로킹 장치(503A/503B)는 레티클(160)과 접촉할 수 있다. 이러한 설계는 레티클(160)이 로킹 장치(503) 위로 이동하여 로드 포트(310)로부터 빠져나오지 않는 것을 보장할 수 있다. 로킹 장치(503)의 재료, 또는 레티클(160)과 접촉하는 로킹 장치(503)의 부분은 레티클(160)을 스크래칭하는 것을 회피하기 위한 적절한 재료(예를 들어, PEEK)일 수 있다.
도 17에서, 로킹 장치(503A/503B)는 단면도로 계단 형상을 갖는다. 특히, 각각의 로킹 장치(503)는 제1 부분(507) 및 제2 부분(509)을 포함한다. 제2 부분(509)의 바닥 표면은 제1 부분(507)의 바닥 표면보다 하부 마스크 포드(155)에 더 가깝다. 로킹 장치(503A/503B)의 제1 부분(507) 사이의 거리(S3)는 레티클(160)의 폭(W5)(도 15 참조)보다 작고, 제2 부분(509) 사이의 거리(S4)는 레티클(160)의 폭(W5)보다 크다. 따라서, 하부 마스크 포드((155)의 상향 이동을 제한할 때, 제2 부분(509)은 하부 마스크 포드(155)와 접촉할 수 있고, 제1 부분(507)은 레티클(160)과 접촉할 수 있다.
여전히 도 17을 참조하면, 일부 실시예에서, 제1 부분(507)의 바닥 표면과 제2 부분(509)의 바닥 표면 사이의 오프셋(H5)은 레티클(160)의 상부 표면과 하부 마스크 포드(155)의 상부 표면 사이의 거리(H6)와 동일하거나 또는 더 크다. 이러한 설계는 하부 마스크 포드(155) 및 레티클(160)의 상향 이동을 제한할 때, 제2 부분(509)의 바닥 표면이, 제1 부분(507)의 바닥 표면이 레티클(160)과 접촉하는 순간과 동일한 시기에 또는 그 이전에 하부 마스크 포드(155)와 접촉하는 것을 보장할 수 있다. 따라서, 차단 장치(503)와 하부 마스크 포드(155)/레티클(160) 사이의 충격의 전체 힘은 레티클(160) 단독에 의해서는 흡수되지 않는다. 대신에, 하부 마스크 포드(155)는 H5가 H6보다 큰 경우 충격력의 대부분을 흡수할 수 있거나, 또는 H5가 H6과 동일한 경우 하부 마스크 포드(155) 및 레티클(160)이 충격력을 공유할 수 있다. 레티클(160)에 의해 받는 충격력을 낮춤으로써, 도 17의 설계는 로킹 장치(503)가 전개될 때 레티클(160)이 손상될 가능성을 감소시킨다. 레티클(160)에 대한 손상의 기회를 더 감소시키기 위해, 제1 부분(507)은 제2 부분(509)의 재료보다 더 연질인 재료로 제조될 수 있다. 예를 들어, 제1 부분(507)은 알루미늄 티타늄 합금 또는 PEEK로 제조될 수 있고, 제2 부분(509)은 스틸 또는 알루미늄 티타늄 합금으로 제조될 수 있다. 다른 실시예에서, 제1 부분(507) 및 제2 부분(509)은 동일한 재료로 제조된다.
도 18a 내지 도 21b는 스마트 로드 포트를 사용하여 언로딩 프로세스를 수행하는 동안 마스크 포드(150)의 비-수직 이동을 방지하는 방법의 다양한 실시예를 도시한다. 도 18a를 참조하면, 로드 포트 지지부(350)(예를 들어, 350A 및 350B), 이동 가능한 베이스(110) 및 센서(112/114)를 포함하는 스마트 로드 포트의 단면도가 도시된다. 로드 포트 지지부(350) 각각은 로킹 장치(503)(예를 들어, 503A 또는 503B)를 내장한다. 도 18a는 또한 마스크 포드(150)를 리소그래피 공구(도시되지 않음) 내부로 그리고 외부로 이동시키도록 구성될 수 있는 이동 가능한 베이스(110)를 도시한다. 이동 가능한 베이스(110)의 상부 표면 상에는 이동 가능한 베이스(110)의 좌측 단부 및 우측 단부에 인접한 2개의 센서(112, 114)가 존재한다. 센서(112, 114)는 예를 들어 마스크 포드(150)가 이동 가능한 베이스(110)로부터 상승되고 있을 때 마스크 포드(150)의 위치를 검출하도록 구성된다. 센서(112/114) 및 로킹 장치(503)는 제어 유닛(180)에 결합된다. 제어 유닛(180)은 센서(112/114)의 출력을 실시간으로 모니터링하고, 마스크 포드(150)가 실시간으로 직선 상향 방향(115)을 따라 상승되고 있는지 여부를 결정한다. 센서(112/114)가 마스크 포드(150)가 틸팅된(tilted) 위치에 있다는 것을 검출하면(예를 들어 비-수직 방향으로 상승되고 있음), 제어 유닛(180)은 로킹 장치(503)를 전개하여 마스크 포드(150)의 이동을 제한하여(마스크 포드(150)를 정지시킴) 상황을 교정한다.
센서(112, 114)는 마스크 포드(150)의 위치를 검출할 수 있는 임의의 적합한 센서일 수 있다. 도 18a의 예에서, 센서(112, 114)는 2개의 압력 센서이다. 일부 실시예에서, 마스크 포드(150)가 이동 가능한 베이스(110) 상에 편평하게 놓이는 경우, 센서(112, 114)의 출력은 실질적으로 동일하다. 센서(112, 114)의 출력(예를 들어, 압력값) 간의 사소한 차이는, 예를 들어 센서(112, 114) 사이의 감도 차이로 인해 마스크 포드(150)가 이동 가능한 베이스(110) 상에 편평하게 놓여있는 경우에도 발생할 수 있다. 그러나, 센서(112, 114)의 출력 간의 이러한 사소한 차이는 작고, 미리 결정된 임계값 내에 있다. 미리 결정된 임계값은 예를 들어, 센서(112, 114) 사이의 감도 차이를 분석 및 특성화함으로써, 또는 반복된 실험을 통해 센서(112, 114)의 출력을 측정하고 출력 차이의 분포를 경험적으로 결정함으로써 결정될 수 있다. 제어 유닛(180)은 일부 실시예에서, 센서(112, 114)의 출력 사이의 차이의 크기가 미리 결정된 임계값 이내에 있을 때 마스크 포드(150)가 편평한 위치에 있는 것으로(예를 들어, 마스크 포드(150)의 하부 표면이 이동 가능한 베이스(110)의 상부 표면과 평행함) 결정한다. 0이 아닌 미리 결정된 임계값은 오류 알람(예를 들어, 마스크 포드(150)에 대한 틸팅된 위치의 부정확한 검출)을 감소시키도록 도움을 줄 수 있다.
도 18b는 마스크 포드(150)가 틸팅된 위치에서(예를 들어 비-수직 방향) 이동 가능한 베이스(110)로부터 상승되고 있는 것을 도시한다. 도 18b의 마스크 포드(150)의 틸팅은 설명의 목적으로 과장되어 있다. 단순화를 위해, 제어 유닛(180) 및 센서(112/114) 및 로킹 장치(503)와의 커플링은 도 18b 내지 도 21b에 도시되어 있지 않고, 제어 유닛(180), 및 제어 유닛(180)과 센서 및 로킹 장치 사이의 커플링은 여전히 존재한다.
도 18b에서, 마스크 포드(150)의 좌측이 이동 가능한 베이스(110) 및 센서(112)와 여전히 접촉하면서 마스크 포드(150)의 우측은 상승된다. 결과적으로, 센서(112)의 출력은 센서(114)의 출력보다 크고, 센서(112, 114)의 출력 사이의 차이는 미리 결정된 임계값보다 클 수 있다. 일부 실시예에서, 제어 유닛(180)은 센서(112, 114)의 출력 사이의 차이의 크기가 미리 결정된 임계값보다 클 때 마스크 포드(150)의 비-수직 이동이 발생한 것으로 결정한다.
마스크 포드(150)가 비-수직 방향으로 위로 이동하는 것을 검출한 것에 응답하여, 제어 유닛(180)은 하나 이상의 로킹 장치(503)의 전개를 트리거링한다. 로킹 장치(503)는, 전개되면, 스마트 로드 포트 내로 돌출하고, 마스크 포드(150)의 비-수직 이동을 정지시킨다. 조명이나 알람 소리와 같은 알람 신호가 트리거링되어 상황을 작업자에게 경고함으로써, 상황을 교정할 수 있도록 액션이 취해질 수 있다. 로킹 장치(503A, 503B) 모두는 일부 실시예에서 마스크 포드(150)를 정지시키도록 전개된다. 다른 실시예에서, 제어 유닛(180)은 센서(112, 114)의 출력에 기초하여 마스크 포드(150)의 어떤 측(예를 들어, 좌측 또는 우측)이 틸팅업(tilting up)되는지를 결정하고, 2개의 로킹 장치(503) 대신에 하나의 로킹 장치(503)만을 전재하여 마스크 포드(150)를 정지시킨다. 예를 들어, 도시된 예에서, 우측 센서(114)는 더 작은 출력 값(압력 값)을 갖는다. 따라서 제어 유닛(180)은 마스크 포드(150)의 우측이 틸팅업되고 있는 것으로 결정하여, 이에 따라 우측의 로킹 장치(503B)의 전개를 트리거링하여 마스크 포드(150)를 정지시킨다.
도 19a 및 도 19b는 다른 실시예에 따른 스마트 로드 포트를 사용하는 언로딩 프로세스 동안 마스크 포드(150)의 비-수직 이동을 방지하는 방법을 도시한다. 도 19a 및 도 19b에 도시된 스마트 로드 포트는 도 18a 및 도 18b에 도시된 것과 유사하지만, 상이한 센서(112, 114)를 갖는다. 특히, 도 19a 및 도 19b의 센서(112, 114)는 센서와 마스크 포드(150) 사이의 거리, 예를 들어, 센서와 센서 바로 위에 있는 마스크 포드(150)의 바닥 표면 사이의 거리를 측정하도록 구성된 센서이다. 예를 들어, 센서(112, 114)는 레이저 레인저 파인더(laser ranger finders) 또는 초음파 레인저 파인더와 같은 레인저 파인더일 수 있다.
일부 실시예에서, 센서(112)(또는 114)는 마스크 포드(150)를 향하여 신호(예를 들어, 레이저 신호 또는 초음파 신호)를 송신하고, 마스크 포드(150)에 의해 반사된 신호를 수신하고, 송신된 신호가 센서(112)(또는 114)로 바운스백되는 왕복 시간을 측정한다. 센서(112)(또는 114)와 마스크 포드(150) 사이의 거리는 왕복 시간(또는 그것의 절반) 및 송신된 신호의 전송 속도에 의해 결정될 수 있다. 마스크 포드(150)가 이동 가능한 베이스(110) 상에 편평하게 놓여 있을 때, 양 센서(112, 114)로부터의 측정된 거리는 실질적으로 동일하다. 센서(112, 114)의 출력 사이의 차이에 대한 미리 결정된 임계값은 센서들 간의 감도 차이와 같은 인자들을 설명하고 오류 알람을 감소시키도록 결정될 수 있다. 미리 결정된 임계값에 관한 세부 사항은 도 18a를 참조하여 전술한 것들과 유사할 수 있으므로, 반복하지 않는다. 일부 실시예에서, 제어 유닛(180)은 센서(112/114)의 출력 사이의 차이의 크기가 미리 결정된 임계값 내에 있을 때 마스크 포드(150)가 편평한 위치에 있다고 결정한다.
도 19b를 참조하면, 마스크 포드(150)가 비-직선 방향으로 상승되고 있을 때, 마스크 포드(150)의 바닥 표면은 틸팅된다. 도시된 예에서, 우측의 센서(114)의 출력(예를 들어, 거리값)은 우측의 센서(112)의 출력보다 크다. 일부 실시예에서, 제어 유닛(180)은 센서(112, 114)의 출력 사이의 차이의 크기가 미리 결정된 임계값보다 클 때 마스크 포드(150)의 비-수직 이동이 발생한 것으로 결정한다. 일부 실시예에서, 2개의 로킹 장치(503A, 503B)는 마스크 포드(150)의 비-수직 이동의 검출에 응답하여 전개된다. 다른 실시예에서, 2개의 로킹 장치(예를 들어, 503A, 503B) 대신에 하나의 로킹 장치(예를 들어 503B)가 틸팅업되고 있는 마스크 포드(150)의 측면을 정지시키도록 전개된다.
도 20a 및 도 20b는 다른 실시예에 따른 스마트 로드 포트를 사용하여 언로딩 프로세스 동안 마스크 포드(150)의 비-수직 이동을 방지하는 방법을 도시한다. 도 20a 및 도 20b에 도시된 스마트 로드 포트는 도 18a 및 도 18b에 도시된 것과 유사하지만 상이한 센서(112, 114)를 갖는다. 특히, 도 20a 및 도 20b의 센서(112, 114)는 송신된 신호에 의해 센서(112, 114) 사이의 이동 시간을 측정하도록 구성된 센서 쌍이다. 예를 들어, 센서(112)는 음향 송신기일 수 있고, 센서(114)는 음향 수신기일 수 있으며, 또는 그 반대일 수도 있다.
일부 실시예에서, 제어 유닛(180)은 음향 신호(118)가 음향 송신기(예를 들어, 센서(112))에 의해 송신되는 순간과, 송신된 음향 신호가 음향 수신기(예를 들어 센서(114))에 도달하는 순간 사이의 이동 시간을 계산한다. 일부 실시예에서, 음향 신호는 마스크 포드(150)와 이동 가능한 베이스(110) 사이의 인터페이스를 따라 이동한다. 소리의 속도는 상이한 매체에서 다르다는 것에 주목해야 한다. 센서(112, 114) 사이의 거리가 고정되고 마스크 포드(150) 및 이동 가능한 베이스(110)의 재료를 알고 있기 때문에, 이동 가능한 베이스(110) 상에서 마스크 포드(150)가 편평하게 놓여있을 때의 이동 시간(T1)이 계산되거나 또는 측정될 수 있다.
도 20b를 참조하면, 예를 들어 마스크 포드(150)의 일 측면이 여전히 이동 가능한 베이스(110)에 접촉하면서 마스크 포드(150)가 상승되어 틸팅될 때, 음파가 통과하는 경로는 약간의 에어 갭을 포함한다. 소리의 속도는 고체 재료보다 공기 중에서 훨씬 느리기 때문에, 도 20b에 도시된 바와 같이 마스크 포드(150)가 틸팅될 때, 이동 시간(T2)은 이동 시간(T1)보다 크다. 그러나, 증가된 이동 시간(T2)은 마스크 포드(150)가 직선 상향 방향(도 3의 115 참조)으로 상승되어 이동 가능한 베이스(110)에서 막 벗어날 때, 이동 시간(T3)보다 작고, 이러한 경우 음파가 이동하는 경로는 더 많은 에어 갭을 포함한다. 이동 시간(T3)은 예를 들어 측정 및 실험을 통해 경험적으로 결정될 수 있다. 따라서, 마스크 패드(150)가 상승되어 틸팅된 상태를 검출하기 위해, T1보다 크지만 T3보다 작은 이동 시간(T2)이 사용될 수 있다.
일부 실시예에서, 제어 유닛(180)은 T2와 T1 사이의 차이를 계산하고, 계산된 차이를 미리 결정된 임계값과 비교한다. 미리 결정된 임계값은 예를 들어 측정 및 실험을 통해 경험적으로 결정될 수 있다. 미리 결정된 임계값은 센서 감도와 같은 인자들을 설명할 수 있고, 오류 알람(예를 들어, 마스크 포드(150)의 틸팅의 오류 검출을 감소시키는데 사용될 수 있다. 일부 실시예에서, 계산된 차이의 크기(예컨대, T2-T1)가 미리 결정된 임계값보다 작은 경우, 제어 유닛(180)은 마스크 포드(150)가 도 20a에 도시된 바와 같은 편평한 위치에 있다고 결정한다. 일부 실시예에서, 계산된 차이의 크기가 미리 결정된 임계값보다 클 때, T2가 T3보다 작은 경우, 제어 유닛(180)은 마스크 포드(150)의 틸팅(예를 들어 비-수직 이동)이 검출된 것으로 결정하고, 상기 틸팅의 검출에 응답하여, 제어 유닛(180)은 로킹 장치(503)를 전개하여 마스크 포드(150)가 더 이상 올라가는 것을 방지한다. 일부 실시예에서, 마스크 포드(150)의 틸팅이 초기에 검출되면, 제어 유닛(180)은 미리 결정된 시간 동안 대기하고, 마스크 포드(150)의 틸팅을 검출하기 위해 전술한 동작을 반복하고, 마스크 포드(150)의 틸팅이 다시 검출되면, 제어 유닛(180)은 로킹 장치(503)를 전개한다. 전술한 지연된 검출은 오류 알람 율을 더 감소시킬 수 있다. 마스크 패드(150)의 틸팅의 검출이 확인되면, 조명이나 알람 사운드와 같은 경고 신호가 발생하여 작업자에게 경고할 수 있으므로, 상황을 교정하기 위한 액션이 취해질 수 있다. 일부 실시예에서, 로킹 장치(503A, 503B) 모두가 마스크 포드(150)의 비-수직 이동의 검출에 응답하여 전개된다.
도 21a 및 도 21b는 다른 실시예에 따른 스마트 로드 포트를 사용하는 언로딩 프로세스 동안 마스크 포드(150)의 비-수직 이동을 방지하는 방법을 도시한다. 도 21a 및 도 21b에 도시된 스마트 로드 포트는 도 18a 및 도 18b에 도시된 것과 유사하지만, 상이한 센서를 갖는다. 특히, 도 20a 및 도 20b의 센서는 압력에 의해 조정될 수 있는(예를 들어, 영향을 받는) 파라미터를 측정하도록 구성된 제1 센서 쌍(112A/112B) 및 제2 센서 쌍(114A/114B)을 포함한다. 예를 들어, 제1 센서 쌍(112A/112B) 및 제2 센서 쌍(114A/114B)은 전류 센서일 수 있다. 도 21a에 도시된 바와 같이, 각 센서 쌍(예를 들어, 112A/112B)은 함께 적층되어 이동 가능한 베이스(110)의 상부 표면 위에 배치된다. 일부 실시예에서, 각 센서 쌍(예를 들어 112A/112B)은 서로 접촉하는 2개의 전극을 포함한다. 2개의 전극에 가해지는 압력이 변화함에 따라, 2개의 전극 사이의 저항이 변화하여, 이는 전극을 통해 흐르는 전류가 변화하게 된다. 예를 들어, 압력이 증가하면, 2개의 전극이 함께 더 타이트하게 가압되어, 저항이 작아지고 전류가 커지며, 반대의 경우도 마찬가지이다. 전극을 통해 흐르는 전류가 측정되어 센서 쌍의 출력이 된다.
도 21a를 참조하면, 마스크 포드(150)가 이동 가능한 베이스(110) 상에 편평하게 놓여있을 때, 제1 센서 쌍(112A/112B) 및 제2 센서 쌍(114A/114B)으로부터의 측정된 전류는 실질적으로 동일하다. 제1 센서 쌍(112A/112B)의 출력과 제2 센서 쌍(114A/114B)의 출력 사이의 차이에 대한 미리 결정된 임계값은 센서 사이의 감도 차이와 같은 인자를 설명하고, 오류 알람을 감소시키도록 결정될 수 있다. 미리 결정된 임계값에 관한 세부 사항은 도 18a를 참조하여 전술한 것들과 유사할 수 있으므로 반복하지 않는다. 일부 실시예에서, 제어 유닛(180)은 제1 센서 쌍(112A/112B)의 출력과 제2 센서 쌍(114A/114B)의 출력 사이의 차이의 크기가 미리 결정된 임계값 내에 있을 때 마스크 포드(150)가 편평한 위치에 있는 것으로 결정한다.
도 21b를 참조하면, 마스크 포드(150)가 비-직선 방향으로 상승될 때, 마스크 포드(150)의 바닥 표면이 틸팅된다. 도시된 예에서, 우측의 제2 센서 쌍(114A/114B)의 출력(예를 들어, 전류값)은 제2 센서 쌍(114A/114B)의 더 적은 압력으로 인해 좌측의 제1 센서 쌍(112A/112B)의 출력보다 작다. 일부 실시예에서, 제어 유닛(180)은 제1 센서 쌍(112A/112B) 및 제2 센서 쌍(114A/114B)의 출력 사이의 차이의 크기가 미리 결정된 임계값보다 더 클 때, 마스크 포드(150)의 비-수직 이동이 발생한 것으로 결정한다. 일부 실시예에서, 로킹 장치(503A, 503B) 모두는 마스크 포드(150)의 비-수직 이동의 검출에 응답하여 전개된다. 다른 실시예에서, 2개의 로킹 장치(예를 들어, 503A 및 503B) 대신에 하나의 로킹 장치(예를 들어 503B)가 전개되어 틸팅업되는 마스크 포드(150)의 측면이 상향으로 이동하는 것을 방지한다.
일부 실시예에서, 제1 센서 쌍(112A/112B) 및 제2 센서 쌍(114A/114B)은 자기 센서, 공기 유량 센서, 수류 센서(water flow sensor) 등일 수 있다. 예를 들어, 내부에 공기 유동 또는 물 유동을 갖는 파이프는 센서 쌍(예를 들어, 112A/112B 또는 114A/114B)에 연결되거나 또는 결합될 수 있다. 마스크 포드(150)의 중량으로 인한 압력은 파이프 내부의 공기 유량 또는 물의 유속을 변화시키고, 상기 유속은 이 때 센서 쌍에 의해 측정된다. 다른 예로서, 마스크 포드(150)의 중량으로부터의 압력은 센서에 결합된 전자석의 전류 값 및/또는 물리적 치수를 변화시켜서, 전자석의 자기장의 변화를 초래할 수 있다. 자기장은 센서 쌍에 의해 측정된다. 마스크 포드(150)가 틸팅될 때, 제1 센서 쌍(112A/112B) 및 제2 센서 쌍(114A/114B)은 상이한 측정된 값을 생성하고, 측정된 값들 간의 차이는 마스크 포드(150)의 비-수직 이동을 검출하는데 사용될 수 있다.
개시된 실시예에 대한 변형 및 수정이 가능하다. 예를 들어, 2개의 센서(예를 들어, 도 12의 501A 및 505A)가 각각의 로드 포트 지지부(예를 들어, 도 12의 310A)에 대해 도시되어 있지만, 2개 초과의 센서가 사용될 수 있다. 다른 예로서, 도 12 내지 도 15를 참조하여 논의된 비정상 상태를 검출하는 방법은 도 22에 도시된 바와 같이 도 18a 내지 도 21b를 참조하여 논의된 마스크 패드(150)의 비-수직 이동을 검출하는 방법과 조합될 수 있다. 도 22의 실시예에서, 센서(501/505), 로킹 장치(503) 및 제어 유닛(180)은 각각 도 12의 센서(501/505), 로킹 장치(503) 및 제어 유닛(180)과 유사하고, 센서(112, 114)는 도 18a 내지 도 21b의 센서(112, 114)와 유사하다. 도 22의 제어 유닛(180)은 센서(501, 505, 112, 114)로부터의 출력을 이용하여 마스크 포드(150)의 비정상 상태를 검출하고, 마스크 포드의 비정상 상태의 검출에 응답하여 로킹 장치(들)(503)를 전개한다. 이와 같은 그리고 다른 변형 및 수정은 본 개시 내용의 범위 내에 완전히 포함되는 것으로 의도된다.
도 23a 및 도 23b는 로킹 장치(503)의 일 실시예를 도시한다. 특히, 도 23a는 비활성 모드의 로킹 장치(503)를 도시하고, 도 23b는 활성 모드의(예를 들어, 전개되는) 로킹 장치(503)를 도시한다. 전개될 때, 로킹 장치(503)는 수평으로 연장된다. 예를 들어, 로킹 장치(503)는 텔레스코프(telescope) 구조를 가질 수 있고, 활성화되지 않을 때 접힐(collapsed) 수 있다. 활성화될 때, 로킹 장치(503)는 마스크 포드(150)의 움직임을 제한하도록(예를 들어, 차단하도록) 인출된다(telescope out).
도 24a 및 도 24b는 로킹 장치(503)의 다른 실시예를 도시한다. 특히, 도 24a는 비활성 모드의 로킹 장치(503)를 도시하고, 도 24b는 활성 모드의(예컨대, 전개되는) 로킹 장치(503)를 도시한다. 도 24a 및 도 24b의 로킹 장치(503)는 그 주위로 로킹 장치(503)가 회전할 수 있는 축(561)을 갖는다. 활성화되지 않을 때, 로킹 장치(503)는 로드 포트 지지부(380) 내로 다시 회전한다. 활성화될 때, 로킹 장치(503)는 로드 포트 지지부(380) 외부로 회전하여 마스크 포드(150)의 이동을 제한(예를 들어, 정지)하기 위한 위치로 로킹된다.
실시예는 다양한 장점을 가질 수 있다. 로드 포트 지지부(예를 들어 도 4의 210 및 도 7의 310)는 로드 포트의 유효 높이를 증가시키고, 마스크 포드의 측면 이동을 감소시키며, 레티클이 로드 포트로부터 빠져나가 손상될 가능성을 감소시킨다. 센서가 내장된 스마트 로드 포트 설계는 마스크 포드의 비정상 상태(예를 들어, 상부 마스크 포드와 하부 마스크 포드의 분리, 또는 마스크 포드의 비-수직 이동)를 검출할 수 있다. 로드 포트 지지부에 내장된 로킹 장치는 비정상 상태의 검출에 응답하여 전개되어 마스크 포드의 이동을 제한할 수 있으며, 이는 레티클이 손상될 가능성을 방지하거나 또는 감소시킬 수 있다.
도 25는 일부 실시예에 따라, 포토 리소그래피 프로세싱에 사용되는 로드 포트를 동작시키는 방법의 흐름도를 도시한다. 도 25에 도시된 실시예 방법은 단지 많은 가능한 실시예 방법들의 예일 뿐이라는 것을 알아야 한다. 당업자는 많은 변형, 대안 및 수정을 인식할 것이다. 예를 들어, 도 25에 도시된 바와 같은 다양한 단계들이 추가, 제거, 대체, 재배치 및 반복될 수 있다.
도 25를 참조하면, 단계(1010)에서, 마스크 포드가 로드 포트의 바닥으로부터 상승되고, 마스크 포드는 레티클을 보유한다. 단계(1020)에서, 마스크 포드의 비정상 상태가 검출된다. 단계(1030)에서, 비정상 상태의 검출에 응답하여, 하나 이상의 로킹 장치가 로드 포트에서 활성화되어 마스크 포드의 이동을 제한한다.
일 실시예에서, 마스크 포드를 로딩 또는 언로딩하도록 구성된 장치는 제1 로드 포트 지지부; 및 상기 제1 로드 포트 지지부로부터 이격되는 제2 로드 포트 지지부를 포함하고, 상기 제1 로드 포트 지지부 및 상기 제2 로드 포트 지지부 각각은 L자형 직사각형 프리즘의 적어도 일부를 포함하고, 상기 제1 로드 포트 지지부 및 상기 제2 로드 포트 지지부는 직사각형 영역 주위에 대각선으로 배치되고, 상기 제1 로드 포트 지지부의 제1 내부 측벽 및 상기 제2 로드 포트 지지부의 제2 내부 측벽이 상기 직사각형 영역의 경계를 정하고, 상기 직사각형 영역의 제1 폭은 상기 마스크 포드의 제2 폭과 동일하고, 상기 직사각형 영역의 제1 길이는 상기 마스크 포드의 제2 길이와 동일하다. 일 실시예에서, 상기 장치는 로드 포트를 더 포함하고, 상기 제1 로드 포트 지지부 및 상기 제2 로드 포트 지지부는 상기 로드 포트의 제1 상부 코너 및 상기 로드 포트의 제2 상부 코너에 각각 부착되고, 상기 제1 상부 코너 및 상기 제2 상부 코너는 상기 로드 포트의 2개의 대각선 코너이다. 일 실시예에서, 상기 로드 포트의 내부 측벽은 상기 제1 로드 포트 지지부의 각각의 제1 내부 측벽과 동일 높이에 있고, 상기 제2 로드 포트 지지부의 각각의 제2 내부 측벽과 동일 높이에 있다. 일 실시예에서, 상기 로드 포트는 상기 로드 포트의 상부 표면 및 상기 로드 포트의 내부 측벽 사이에 모따기부를 갖고, 상기 모따기부는 상기 로드 포트의 상기 상부 표면과 제1 각도를 형성하고, 상기 제1 로드 포트 지지부는 제1 바닥 연장부를 갖고, 상기 제1 바닥 연장부의 경사진 표면은 상기 제1 로드 포트 지지부의 바닥 표면과 제2 각도를 형성하고, 상기 제1 각도는 상기 제2 각도와 동일하다. 일 실시예에서, 상기 제1 로드 포트 지지부는 상기 제1 로드 포트 지지부의 상부 표면과 상기 제1 내부 측면 사이에 모따기부를 갖고, 상기 제2 로드 포트 지지부는 상기 제2 로드 포트 지지부의 상부 표면과 상기 제2 내부 측벽 사이에 모따기부를 갖는다. 일 실시예에서, 상기 장치는 제1 광 송신기 및 제1 광 수신기를 포함하는 제1 광 센서 쌍 - 상기 제1 광 센서 쌍은 상기 제1 로드 포트 지지부의 제1 수직 위치 및 상기 제2 로드 포트 지지부의 제1 수직 위치에 각각 배치됨 - ; 제2 광 송신기 및 제2 광 수신기를 포함하는 제2 광 센서 쌍 - 상기 제2 광 센서 쌍은 상기 제1 로드 포트 지지부의 제2 수직 위치 및 상기 제2 로드 포트 지지부의 제2 수직 위치에 각각 배치됨 - ; 및 제1 로킹 장치 및 제2 로킹 장치를 포함하는 로킹 장치 쌍 - 상기 로킹 장치 쌍은 상기 제1 로드 포트 지지부의 제3 수직 위치 및 상기 제2 로드 포트 지지부의 제3 수직 위치에 각각 배치되고, 상기 로킹 장치 쌍은 상기 제1 광 센서 쌍과 상기 제2 광 센서 쌍 사이에 있음 - 을 더 포함한다. 일 실시예에서, 상기 장치는 상기 제1 광 센서 쌍, 상기 제2 광 센서 쌍 및 상기 로킹 장치 쌍에 결합된 제어 유닛을 더 포함하고, 상기 제어 유닛은 상기 제1 광 센서 쌍의 출력 및 상기 제2 광 센서 쌍의 출력에 기초하여, 상기 마스크 포드가 언로딩되는 동안 상기 마스크 포드의 상부 마스크 포드가 상기 마스크 포드의 하부 마스크 포드로부터 분리되는 것을 검출하고; 그리고 상기 상부 마스크 포드가 상기 하부 마스크 포드로부터 분리되는 것을 검출하는 것에 응답하여, 상기 로킹 장치 쌍을 활성화시켜 상기 하부 마스크 포드의 움직임을 제한하도록 구성된다. 일 실시예에서, 상기 제1 로드 포트 지지부 및 상기 제2 로드 포트 지지부는 로킹 장치를 구비하고, 상기 장치는 상기 제1 로드 포트 지지부 아래의 그리고 상기 제2 로드 포트 지지부 아래의 이동 가능한 베이스; 상기 이동 가능한 베이스의 상부 표면 상의 복수의 센서; 및 상기 복수의 센서 및 상기 로킹 장치에 결합된 제어 유닛을 더 포함하고, 상기 제어 유닛은 상기 복수의 센서의 출력에 기초하여, 상기 마스크 포드의 언로딩 동안 상기 마스크 포드의 틸팅을 검출하고; 그리고 상기 마스크 포드의 틸팅을 검출하는 것에 응답하여, 로킹 장치 중 적어도 하나를 활성화시켜 상기 마스크 포드의 움직임을 제한한다. 일 실시예에서, 상기 복수의 센서는 본질적으로 압력 센서, 레인저 파인더, 음향 센서, 전류 센서, 자기 센서, 공기 유량 센서 및 액체 유량 센서로 이루어진 그룹으로부터 선택된 센서를 포함한다. 일 실시예에서, 상기 복수의 센서는 제1 센서 및 제2 센서를 포함하고, 상기 제어 유닛은 상기 제1 센서의 제1 출력과 상기 제2 센서의 제2 출력 사이의 차이를 계산하고; 상기 계산된 차이의 크기를 미리 결정된 임계값과 비교하고; 그리고 상기 계산된 차이의 상기 크기가 상기 미리 결정된 임계값보다 클 때 상기 마스크 포드의 틸팅이 검출된 것으로 결정하도록 구성된다. 일 실시예에서, 상기 복수의 센서는 음향 송신기 및 음향 수신기를 포함하고, 상기 음향 송신기 및 상기 음향 수신기는 상기 음향 송신기와 상기 음향 수신기 사이의 음파의 이동 시간을 측정하도록 구성되고, 상기 제어 유닛은 상기 측정된 이동 시간과 예상 이동 시간 사이의 차이를 계산하고; 상기 계산된 차이의 크기를 미리 결정된 임계값과 비교하고; 그리고 상기 계산된 차이의 상기 크기가 상기 미리 결정된 임계값보다 클 때 상기 마스크 포드의 틸팅이 검출된 것으로 결정하도록 구성된다.
일 실시예에서, 마스크 포드를 로딩 및 언로딩하기 위한 로드 포트는 제1 L자형 직사각형 프리즘의 형상을 갖는 제1 로드 포트 지지부; 제2 L자형 직사각형 프리즘의 형상을 갖는 제2 로드 포트 지지부 - 평면도에서, 상기 제1 로드 포트 지지부의 제1 내부 측벽, 상기 제1 로드 포트 지지부의 제2 내부 측벽, 상기 제2 로드 포트 지지부의 제1 내부 측벽, 및 상기 제2 로드 포트 지지부의 제2 내부 측벽은 직사각형의 4개의 상이한 변을 한정하고, 상기 직사각형의 치수는 상기 마스크 포드의 치수와 동일함 - ; 및 상기 로드 포트에 내장되어 있는 광 센서 및 로킹 장치를 포함한다. 일 실시예에서, 상기 제1 로드 포트 지지부는 상부 표면과 상기 제1 내부 측벽 및 상기 제2 내부 측벽을 연결하는 비스듬한(beveled) 에지를 갖는다. 일 실시예에서, 상기 제1 로드 포트 지지부의 바닥 표면 및 상기 제2 로드 포트 지지부의 바닥 표면은 제1 평면에 배치되고, 상기 광 센서 및 상기 로킹 장치는 상기 제1 로드 포트 지지부의 제1 광 송신기; 상기 제2 로드 포트 지지부의 제1 광 수신기 - 상기 제1 광 송신기 및 상기 제1 광 수신기는 상기 제1 평면으로부터 제1 거리만큼 떨어져 있음 - ; 상기 제1 로드 포트 지지부 및 상기 제2 로드 포트 지지부 중 제1의 것의 제2 광 송신기; 상기 제1 로드 포트 지지부 및 상기 제2 로드 포트 지지부 중 제2의 것의 제2 광 수신기 - 상기 제2 광 송신기 및 상기 제2 광 수신기는 상기 제1 평면으로부터 제2 거리만큼 떨어져 있고, 상기 제2 거리는 상기 제1 거리보다 작음 - ; 상기 제1 로드 포트 지지부의 제1 로킹 장치; 및 상기 제2 로드 포트 지지부의 제2 로킹 장치 - 상기 제1 로킹 장치 및 상기 제2 로킹 장치는 상기 제1 평면으로부터 제3 거리만큼 떨어져 있고, 상기 제3 거리는 상기 제2 거리보다 크지만 상기 제1 거리보다 작음 - 를 포함한다. 일 실시예에서, 상기 제1 광 수신기의 제1 출력에 결합되고 상기 제2 광 수신기의 제2 출력에 결합된 제어 유닛을 더 포함하고, 상기 제어 유닛은, 마스크 포드가 상기 로드 포트로부터 언로딩되는 동안, 상기 마스크 포드의 상부 마스크 포드가 상기 마스크 포드의 하부 마스크 포드로부터 분리된 것을 검출하고; 그리고 상기 상부 마스크 포드가 상기 하부 마스크 포드로부터 분리된 것을 검출하는 것에 응답하여, 상기 하부 마스크 포드의 움직임을 제한하도록 상기 제1 로킹 장치 및 상기 제2 로킹 장치 중 적어도 하나를 전개하도록(deploy) 구성된다. 일 실시예에서, 상기 로드 포트는 상기 제1 로드 포트 지지부의 제1 로킹 장치; 상기 제2 로드 포트 지지부의 제2 로킹 장치; 상기 마스크 포드의 언로딩 동안 상기 제1 로드 포트 지지부 및 상기 제2 로드 포트 지지부와 접촉하는 상부 표면을 갖는 이동 가능한 베이스; 및 상기 이동 가능한 베이스의 상부 표면 상의 제1 센서 및 제2 센서 - 상기 제1 센서 및 상기 제2 센서는 상기 마스크 포드의 불균일한 상승을 검출하도록 구성됨 - 를 더 포함한다.
일 실시예에서, 포토 리소그래피 프로세싱에 사용되는 로드 포트를 작동시키는 방법은 상기 로드 포트의 바닥으로부터 마스크 포드를 상승시키는 단계 - 상기 마스크 포드는 레티클을 보유하고 있음 - ; 상기 마스크 포드의 비정상 상태를 검출하는 단계; 및 상기 비정상 상태를 검출하는 것에 응답하여, 상기 마스크 포드의 움직임을 제한하도록 상기 로드 포트의 하나 이상의 로킹 장치를 활성화시키는 단계를 포함한다. 일 실시예에서, 상기 비정상 상태는 상기 마스크 포드의 상부 마스크 포드가 상기 마스크 포드의 하부 마스크 포드로부터 분리되는 것을 포함하고, 상기 로드 포트는 상기 로드 포트의 측벽 내의 제1 광 센서 쌍을 포함하고, 상기 로드 포트는 상기 로드 포트의 측벽 내의 그리고 상기 제1 광 센서 쌍 위의 제2 광 센서 쌍을 포함하고, 상기 비정상 상태를 검출하는 단계는 상기 제1 광 센서 쌍으로부터의 출력 및 상기 제2 광 센서 쌍으로부터의 출력을 사용한다. 일 실시예에서, 상기 비정상 상태는 상기 마스크 포드의 불균일한 상승을 포함하고, 상기 로드 포트는 상기 로드 포트의 베이스의 상부 표면 상에 있는 제1 센서 및 제2 센서를 포함하고, 상기 비정상 상태를 검출하는 단계는 상기 제1 센서의 제1 출력과 상기 제2 센서의 제2 출력 사이의 차이를 계산하는 단계, 및 상기 차이의 크기를 미리 결정된 임계값과 비교하는 단계를 포함한다. 일 실시예에서, 상기 로드 포트는 상기 로드 포트의 수직 방향을 따라 배치된 적어도 2개의 광 센서 쌍; 상기 로드 포트의 수평 방향을 따라 배치된 적어도 2개의 센서; 및 제어 유닛 - 상기 제어 유닛은 상기 마스크 포드의 상기 비정상 상태를 검출하기 위해 상기 적어도 2개의 광 센서 쌍 및 상기 적어도 2개의 센서로부터의 출력을 이용함 - 을 포함한다.
전술한 내용은 당업자가 본 개시의 양태들을 더 잘 이해할 수 있도록 여러 실시예의 특징을 개략적으로 설명한다. 당업자는 본 명세서에서 소개된 실시예들의 동일한 목적을 수행하고 그리고/또는 동일한 장점을 달성하기 위한 다른 프로세스 및 구조를 설계 또는 변경하기 위한 기초로서 본 개시물을 용이하게 사용할 수 있다는 것을 이해할 것이다. 또한, 당업자는 이러한 동등한 구성이 본 개시물의 사상 및 범위를 벗어나지 않으며, 본 개시물의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양한 변경, 대체 및 변형을 행할 수 있다는 것을 알아야 한다.

Claims (10)

  1. 마스크 포드를 로딩 또는 언로딩하도록 구성된 장치에 있어서,
    제1 로드 포트 지지부; 및
    상기 제1 로드 포트 지지부로부터 이격되는 제2 로드 포트 지지부를 포함하고,
    상기 제1 로드 포트 지지부 및 상기 제2 로드 포트 지지부 각각은 L자형 직사각형 프리즘의 적어도 일부를 포함하고, 상기 제1 로드 포트 지지부 및 상기 제2 로드 포트 지지부는 직사각형 영역 주위에 대각선으로 배치되고, 상기 제1 로드 포트 지지부의 제1 내부 측벽 및 상기 제2 로드 포트 지지부의 제2 내부 측벽이 상기 직사각형 영역의 경계를 정하고, 상기 직사각형 영역의 제1 폭은 상기 마스크 포드의 제2 폭과 동일하고, 상기 직사각형 영역의 제1 길이는 상기 마스크 포드의 제2 길이와 동일한 것인, 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    로드 포트를 더 포함하고, 상기 제1 로드 포트 지지부 및 상기 제2 로드 포트 지지부는 상기 로드 포트의 제1 상부 코너 및 상기 로드 포트의 제2 상부 코너에 각각 부착되고, 상기 제1 상부 코너 및 상기 제2 상부 코너는 상기 로드 포트의 2개의 대각선 코너인 것인, 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 로드 포트 지지부는 상기 제1 로드 포트 지지부의 상부 표면과 상기 제1 내부 측벽의 사이에 모따기부(chamfer)를 갖고, 상기 제2 로드 포트 지지부는 상기 제2 로드 포트 지지부의 상부 표면과 상기 제2 내부 측벽의 사이에 모따기부를 갖는 것인, 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    제1 광 송신기 및 제1 광 수신기를 포함하는 제1 광 센서 쌍 - 상기 제1 광 센서 쌍은 상기 제1 로드 포트 지지부의 제1 수직 위치 및 상기 제2 로드 포트 지지부의 제1 수직 위치에 각각 배치됨 - ;
    제2 광 송신기 및 제2 광 수신기를 포함하는 제2 광 센서 쌍 - 상기 제2 광 센서 쌍은 상기 제1 로드 포트 지지부의 제2 수직 위치 및 상기 제2 로드 포트 지지부의 제2 수직 위치에 각각 배치됨 - ; 및
    제1 로킹 장치 및 제2 로킹 장치를 포함하는 로킹 장치 쌍 - 상기 로킹 장치 쌍은 상기 제1 로드 포트 지지부의 제3 수직 위치 및 상기 제2 로드 포트 지지부의 제3 수직 위치에 각각 배치되고, 상기 로킹 장치 쌍은 상기 제1 광 센서 쌍과 상기 제2 광 센서 쌍의 사이에 있음 - 을 더 포함하는 것인, 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 장치는 상기 제1 광 센서 쌍, 상기 제2 광 센서 쌍 및 상기 로킹 장치 쌍에 결합된 제어 유닛을 더 포함하고,
    상기 제어 유닛은,
    상기 제1 광 센서 쌍의 출력 및 상기 제2 광 센서 쌍의 출력에 기초하여, 상기 마스크 포드가 언로딩되는 동안 상기 마스크 포드의 상부 마스크 포드가 상기 마스크 포드의 하부 마스크 포드로부터 분리되는 것을 검출하고; 그리고
    상기 상부 마스크 포드가 상기 하부 마스크 포드로부터 분리되는 것을 검출하는 것에 응답하여, 상기 로킹 장치 쌍을 활성화시켜 상기 하부 마스크 포드의 움직임을 제한하도록 구성되는 것인, 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1 로드 포트 지지부 및 상기 제2 로드 포트 지지부는 로킹 장치를 구비하고,
    상기 장치는,
    상기 제1 로드 포트 지지부 아래의 그리고 상기 제2 로드 포트 지지부 아래의 이동 가능한 베이스;
    상기 이동 가능한 베이스의 상부 표면 상의 복수의 센서; 및
    상기 복수의 센서 및 상기 로킹 장치에 결합된 제어 유닛을 더 포함하고,
    상기 제어 유닛은,
    상기 복수의 센서의 출력에 기초하여, 상기 마스크 포드의 언로딩 동안 상기 마스크 포드의 틸팅(tilting)을 검출하고; 그리고
    상기 마스크 포드의 틸팅을 검출하는 것에 응답하여, 로킹 장치 중 적어도 하나를 활성화시켜 상기 마스크 포드의 움직임을 제한하도록 구성되는 것인, 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 복수의 센서는 제1 센서 및 제2 센서를 포함하고,
    상기 제어 유닛은,
    상기 제1 센서의 제1 출력과 상기 제2 센서의 제2 출력 사이의 차이를 계산하고;
    상기 계산된 차이의 크기를 미리 결정된 임계값과 비교하고; 그리고
    상기 계산된 차이의 상기 크기가 상기 미리 결정된 임계값보다 클 때, 상기 마스크 포드의 틸팅이 검출된 것으로 결정하도록 구성되는 것인, 장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 복수의 센서는 음향 송신기 및 음향 수신기를 포함하고, 상기 음향 송신기 및 상기 음향 수신기는 상기 음향 송신기와 상기 음향 수신기 사이의 음파의 이동 시간을 측정하도록 구성되고,
    상기 제어 유닛은,
    상기 측정된 이동 시간과 예상 이동 시간 사이의 차이를 계산하고;
    상기 계산된 차이의 크기를 미리 결정된 임계값과 비교하고; 그리고
    상기 계산된 차이의 상기 크기가 상기 미리 결정된 임계값보다 클 때, 상기 마스크 포드의 틸팅이 검출된 것으로 결정하도록 구성되는 것인, 장치.
  9. 마스크 포드를 로딩 및 언로딩하기 위한 로드 포트에 있어서,
    상기 로드 포트는,
    제1 L자형 직사각형 프리즘의 형상을 갖는 제1 로드 포트 지지부;
    제2 L자형 직사각형 프리즘의 형상을 갖는 제2 로드 포트 지지부 - 평면도에서, 상기 제1 로드 포트 지지부의 제1 내부 측벽, 상기 제1 로드 포트 지지부의 제2 내부 측벽, 상기 제2 로드 포트 지지부의 제1 내부 측벽, 및 상기 제2 로드 포트 지지부의 제2 내부 측벽은 직사각형의 4개의 상이한 변을 한정하고, 상기 직사각형의 치수는 상기 마스크 포드의 치수와 동일함 - ; 및
    상기 로드 포트에 내장되어 있는 광 센서 및 로킹 장치를 포함하는, 로드 포트.
  10. 포토 리소그래피 프로세싱에 사용되는 로드 포트를 작동시키는 방법에 있어서,
    상기 방법은,
    상기 로드 포트의 바닥으로부터 마스크 포드를 상승시키는 단계 - 상기 마스크 포드는 레티클을 운반함(carry) - ;
    상기 마스크 포드의 비정상 상태를 검출하는 단계; 및
    상기 비정상 상태를 검출하는 것에 응답하여, 상기 마스크 포드의 움직임을 제한하도록 상기 로드 포트의 하나 이상의 로킹 장치를 활성화시키는 단계를 포함하는, 방법.
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