KR20180130430A - Spacing device and spacing method - Google Patents

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KR20180130430A KR1020180029555A KR20180029555A KR20180130430A KR 20180130430 A KR20180130430 A KR 20180130430A KR 1020180029555 A KR1020180029555 A KR 1020180029555A KR 20180029555 A KR20180029555 A KR 20180029555A KR 20180130430 A KR20180130430 A KR 20180130430A
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Abstract

An objective of the present invention is to provide a spacing device capable of certainly holding an end part of an adhesive sheet on a holding means for spacing, and a spacing method. According to the present invention, the spacing device comprises: a plurality of holding means for spacing to hold an end part (AE1) of an adhesive sheet on either or both of one surface (AS1) and the other surface (AS2) of the adhesive sheet (AS) with respect to a workpiece (WK) to which a plurality of bonded objects (CP) or a bonded object (CP) divided into a plurality of pieces are attached; a spacing means (30) relatively moving the holding means for spacing, which holds the end part (AE1) of the adhesive sheet (AS) and assigning tension to the adhesive sheet (AS) to increase a spacing from the bonded object (CP); and an exchange means (40) holding the workpiece (WK) to exchange the corresponding workpiece (WK) with the plurality of holding means for spacing. The exchange means (40) comprises: a plurality of holding means for exchange to hold the other end part (AE2) of the adhesive sheet (AS) with respect to the workpiece (WK); a tensioning means (42) relatively moving the holding means for exchange holding the other end part (AE) of the adhesive sheet (AS) to assign a predetermined tension to the outer circumferential part of the adhesive sheet (AS) including the end part (AE1) held by the holding means (20) for spacing; and a transfer means (43) to transfer the workpiece (WK) held by the holding means for exchange.

Description

이간 장치 및 이간 방법{SPACING DEVICE AND SPACING METHOD}[0001] SPACING DEVICE AND SPACING METHOD [0002]

본 발명은, 이간 장치 및 이간 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a spacing device and a spacing method.

종래, 접착 시트에 첩부된 복수의 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 장치가 알려져 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조).BACKGROUND ART [0002] Conventionally, there has been known a separating device for widening a distance between a plurality of adherends attached to an adhesive sheet (see, for example, Patent Document 1).

일본 공개특허공보 2014-232843호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2014-232843

그러나, 특허문헌 1 에 기재된 바와 같은 종래의 이간 장치에서는, 웨이퍼 (W) (피착체) 가 첩부된 다이싱 테이프 (S) (접착 시트) 는, 프레임 (F) 과 같은 프레임 형상 부재에 첩부되어 인장 수단 (26) (이간용 유지 수단) 에 대한 주고 받기가 행해지고 있기 때문에, 그러한 프레임 형상 부재가 없어지면, 접착 시트의 단부가 처지거나, 흔들리거나 하여, 당해 접착 시트의 단부를 확실하게 이간용 유지 수단에 주고 받을 수 없게 된다는 문제를 일으킨다.However, in the conventional separating apparatus as described in Patent Document 1, the dicing tape S (adhesive sheet) to which the wafer W (adherend) is pasted is pasted on a frame member such as the frame F The end portion of the adhesive sheet is sagged or shaken, and the end portion of the adhesive sheet is securely held in the separating / holding means 26 (temporary holding means) It is not possible to send it to the means.

본 발명의 목적은, 접착 시트의 단부를 확실하게 이간용 유지 수단에 유지시킬 수 있는 이간 장치 및 이간 방법을 제공하는 것에 있다.An object of the present invention is to provide a separating device and a separating method capable of reliably holding an end portion of an adhesive sheet on a separating and holding means.

본 발명은, 청구항에 기재한 구성을 채용하였다.The present invention employs the configuration described in the claims.

본 발명에 의하면, 이간용 유지 수단이 유지하는 단부를 포함하는 접착 시트의 외연부에 소정의 장력을 부여하고, 일체물을 이간용 유지 수단에 주고 받으므로, 접착 시트의 단부가 처지거나, 흔들리거나 하는 경우가 없어, 당해 접착 시트의 단부를 확실하게 이간용 유지 수단에 유지시킬 수 있다.According to the present invention, since a predetermined tension is given to the outer edge of the adhesive sheet including the end portion held by the temporary holding means, and the integral is fed to the temporary holding means, the end portion of the adhesive sheet is sagged, The end portion of the adhesive sheet can be surely held by the temporary holding means.

도 1(A) 는, 본 발명의 실시형태에 관련된 이간 장치의 평면도이다. 도 1(B), 도 1(C) 는, 도 1(A) 의 측면도로서 그 동작 설명도이다.
도 2(A), 도 2(B) 는, 본 발명의 그 밖의 예의 설명도이다.1 (A) is a plan view of a spacing device according to an embodiment of the present invention. Fig. 1 (B) and Fig. 1 (C) are explanatory views showing the operation of the apparatus as a side view of Fig. 1 (A).
2 (A) and 2 (B) are explanatory views of other examples of the present invention.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 기초하여 설명한다.DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

또한, 본 실시형태에 있어서의 X 축, Y 축, Z 축은, 각각이 직교하는 관계에 있고, X 축 및 Y 축은, 소정 평면 내의 축으로 하고, Z 축은, 상기 소정 평면에 직교하는 축으로 한다. 또한, 본 실시형태에서는, Y 축과 평행한 화살표 BD 방향으로부터 본 경우를 기준으로 하여, 기준이 되는 도면을 기재하지 않고 방향을 나타낸 경우, 「상」이 Z 축의 화살표 방향이고 「하」가 그 역방향, 「좌」가 X 축의 화살표 방향이고 「우」가 그 역방향, 「전」이 Y 축의 화살표 방향이고 「후」가 그 역방향으로 한다.The X-axis, Y-axis, and Z-axis in the present embodiment are orthogonal to each other, the X-axis and the Y-axis are axes in a predetermined plane, and the Z-axis is an axis perpendicular to the predetermined plane . Further, in the present embodiment, when the reference is taken as a reference without reference to the figure viewed from the direction of the arrow BD, which is parallel to the Y-axis, the "upper" is the arrow direction of the Z- Left "is the arrow direction of the X axis," right "is the reverse direction," front "is the arrow direction of the Y axis, and" backward "is the reverse direction.

본 발명의 이간 장치 (10) 는, 접착 시트 (AS) 의 일방의 면 (AS1) 에, 복수의 피착체 (CP) 가 첩부된 일체물 (WK) 에 있어서의 당해 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 유지하는 복수의 이간용 유지 수단 (20) 과, 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 유지한 이간용 유지 수단 (20) 을 상대 이동시키고, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하여 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓히는 이간 수단 (30) 과, 일체물 (WK) 을 유지하여 당해 일체물 (WK) 을 복수의 이간용 유지 수단 (20) 에 주고 받는 주고 받기 수단 (40) 과, 카메라나 투영기 등의 촬상 수단이나, 광학 센서나 초음파 센서 등의 각종 센서 등의 검지 수단 (50) 을 구비하고 있다. 또한, 본 실시형태의 일체물 (WK) 은, 평면에서 보았을 때 정방형의 접착 시트 (AS) 의 중앙부에 복수의 피착체 (CP) 가 첩부되어 있다.The dislocation device 10 of the present invention is characterized in that an end portion AS of the adhesive sheet AS on the one surface AS1 of the adhesive sheet AS in the integral WK to which a plurality of adherends CP are attached A plurality of temporary retaining means 20 for retaining the adhesive sheet AS and a temporary retaining means 20 for retaining the end portion AE1 of the adhesive sheet AS are moved relative to each other, A separating means 30 for expanding the mutual spacing of the adherends CP by imparting the adherend CP to the plurality of temporary holding means 20, 40, an image sensing means such as a camera or a projector, and various sensors such as an optical sensor and an ultrasonic sensor. In the integral WK of the present embodiment, a plurality of adherends CP are attached to the central portion of the square adhesive sheet AS when viewed in plan.

이간용 유지 수단 (20) 은, 이간 수단 (30) 에 지지된 하측 유지 부재 (21) 와, 하측 유지 부재 (21) 에 지지된 구동 기기로서의 회동 (回動) 모터 (22) 와, 그 출력 축 (22A) 에 지지된 상측 유지 부재 (23) 를 구비하고 있다.The intermittent holding means 20 includes a lower holding member 21 supported by the spacing means 30, a rotating motor 22 serving as a driving device supported by the lower holding member 21, And an upper holding member 23 supported by a shaft 22A.

이간 수단 (30) 은, 구동 기기로서의 리니어 모터 (31) 와, 그 슬라이더 (31A) 에 지지되어, 상면측에서 하측 유지 부재 (21) 를 지지하는 유지 아암 (32) 을 구비하고 있다.The spacing means 30 includes a linear motor 31 as a driving device and a holding arm 32 supported by the slider 31A and supporting the lower holding member 21 on the upper surface side.

주고 받기 수단 (40) 은, 일체물 (WK) 에 있어서의 접착 시트 (AS) 의 다른 단부 (AE2) 를 유지하는 복수의 주고 받기용 유지 수단 (41) 과, 접착 시트 (AS) 의 다른 단부 (AE2) 를 유지한 주고 받기용 유지 수단 (41) 을 상대 이동시켜, 이간용 유지 수단 (20) 이 유지하는 단부 (AE1) 를 포함하는 접착 시트 (AS) 의 외연부에 소정의 장력을 부여하는 장력 부여 수단 (42) 과, 주고 받기용 유지 수단 (41) 에 의해 유지한 일체물 (WK) 을 반송하는 반송 수단 (43) 을 구비하고 있다.The dispensing means 40 includes a plurality of dispensing and holding means 41 for holding the other end AE2 of the adhesive sheet AS in the integral WK, The holding means 41 for holding the holding means AE2 is relatively moved to apply a predetermined tension to the outer edge of the adhesive sheet AS including the end portion AE1 held by the temporary holding means 20 And a conveying means 43 for conveying the integral WK held by the conveying and holding means 41. The conveying means 43 includes a conveying means 43 for conveying the monolith WK held by the conveying means 41,

주고 받기용 유지 수단 (41) 은, 감압 펌프나 진공 이젝터 등의 도시되지 않은 감압 수단에 의해 흡착 유지가 가능한 4 체 (體) 의 흡착 패드 (41A) 와, 각 흡착 패드 (41A) 를 지지하는 지지 아암 (41B) 을 구비하고 있다.Receiving and holding means 41 includes four adsorption pads 41A capable of adsorbing and holding by a depressurizing means such as a depressurizing pump or a vacuum ejector, And a support arm 41B.

장력 부여 수단 (42) 은, X 축 방향 및 Y 축 방향의 2 축 방향으로 이동 가능한 슬라이더 (42B) 를 구비한 구동 기기로서의 4 체의 XY 테이블 (42A) 을 구비하고, 각 슬라이더 (42B) 각각에 지지 아암 (41B) 이 지지되어 있다.The tension imparting means 42 is provided with four XY tables 42A as a driving device provided with a slider 42B movable in two axial directions in the X and Y axis directions and each of the sliders 42B The support arm 41B is supported.

반송 수단 (43) 은, 복수의 아암에 의해 구성된 구동 기기로서의 다관절 로봇 (43A) 과, 그 작업부인 선단 아암 (43B) 에 지지되어, 4 체의 XY 테이블 (42A) 을 지지하는 베이스 프레임 (43C) 을 구비하고 있다. 또한, 다관절 로봇 (43A) 은, 그 작업 범위 내에 있어서, 선단 아암 (43B) 에 의해 지지한 것을 어느 위치, 어느 각도로도 변위 가능한 이른바 6 축 로봇 등이어도 되고, 예를 들어, 일본 공개특허공보 2016－81974 에 예시되어 있는 다관절 로봇 (111) 등을 예시할 수 있다.The conveying means 43 includes a joint articulated robot 43A as a drive machine constituted by a plurality of arms and a base frame 42B supported by the tip arm 43B serving as the work portion to support the four XY tables 42A 43C. The articulated robot 43A may be a so-called six-axis robot or the like capable of being displaced by the tip arm 43B at any position or angle within its working range. For example, The articulated robot 111 illustrated in Publication 2016-81974, and the like.

이상의 이간 장치 (10) 의 동작을 설명한다.The operation of the spacing device 10 will now be described.

먼저, 각 부재가 도 1(A), 도 1(B) 중 실선으로 나타내는 초기 위치에서 대기하고 있는 이간 장치 (10) 에 대해, 당해 이간 장치 (10) 의 사용자 (이하, 간단히 「사용자」라고 한다) 가 조작 패널이나 퍼스널 컴퓨터 등의 도시되지 않은 조작 수단을 통하여 자동 운전 개시의 신호를 입력한다. 그러면, 주고 받기 수단 (40) 이 다관절 로봇 (43A) 을 구동시켜, 도시되지 않은 소정의 일체물 공급 위치에 공급된 일체물 (WK) 의 접착 시트 (AS) 의 다른 단부 (AE2) 에 흡착 패드 (41A) 를 맞닿게 한 후, 도시되지 않은 감압 수단을 구동시켜, 당해 접착 시트 (AS) 의 흡착 유지를 개시한다. 이어서, 주고 받기 수단 (40) 이 다관절 로봇 (43A) 을 구동시키고, 도 1(B) 중 실선으로 나타내는 바와 같이, 흡착 패드 (41A) 로 흡착 유지한 일체물 (WK) 을 각 이간용 유지 수단 (20) 의 상방으로 반송한 후, XY 테이블 (42A) 을 구동시키고, 소정의 토크로 흡착 패드 (41A) 를 접착 시트 (AS) 의 대각선 방향으로 이동시켜, 이간용 유지 수단 (20) 이 유지하는 단부 (AE1) 를 포함하는 접착 시트 (AS) 의 외연부에 소정의 장력을 부여한다.First, the user of the interim device 10 (hereinafter, simply referred to as " user ") is referred to as a "user" in relation to the interim device 10 in which each member stands by at an initial position indicated by a solid line in Figs. 1A and 1B ) Inputs a signal of automatic operation start through an operation unit (not shown) such as an operation panel or a personal computer. Then, the delivering means 40 drives the articulated robot 43A so as to be adsorbed to the other end portion AE2 of the adhesive sheet AS of the integral WK supplied to the predetermined one-piece supply position (not shown) After the pad 41A is abutted, the pressure-sensitive means (not shown) is driven to start the adsorption and holding of the adhesive sheet AS. Subsequently, the delivering means 40 drives the articulated robot 43A, and as shown by a solid line in Fig. 1B, the integral WK adsorbed and held by the adsorption pad 41A is held for each intermittent holding The XY table 42A is driven and the adsorption pad 41A is moved in the diagonal direction of the adhesive sheet AS with a predetermined torque so that the temporary holding means 20 A predetermined tension is applied to the outer edge of the adhesive sheet AS including the end portion AE1 to be held.

이 때, 검지 수단 (50) 이 카메라 등을 구동시켜, 피착체 (CP) 의 검지를 실시함과 함께, 주고 받기 수단 (40) 이 다관절 로봇 (43A) 을 구동시켜, 당해 검지 수단 (50) 의 검지 결과를 기초로 하여, 피착체 (CP) 의 위치 결정을 실시하면서, 도 1(B) 중 이점 쇄선으로 나타내는 바와 같이, 외연부에 소정의 장력을 부여한 상태의 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 하측 유지 부재 (21) 상에 재치 (載置) 한다. 주고 받기 수단 (40) 은, 예를 들어, 피착체 (CP) 전체의 중심 위치가 당해 이간 장치 (10) 의 소정의 위치 (예를 들어, 당해 이간 장치 (10) 의 센터의 위치) 로부터 위치 어긋나지 않도록, 또는, 피착체 (CP) 전체의 외곽변이나 각 피착체 (CP) 의 외곽변이 각각 X 축과 Y 축과 평행해지도록 피착체 (CP) 의 위치 결정을 실시한다.At this time, the detecting means 50 drives the camera or the like to detect the adherend CP, and the delivering means 40 drives the articulated robot 43A so that the detecting means 50 The position of the adherend CP is determined on the basis of the detection result of the adhesive sheet AS as shown by the chain double-dashed line in Fig. 1 (B) And the end portion AE1 is placed on the lower holding member 21. [ For example, the central position of the adhered object CP is moved from a predetermined position (for example, the position of the center of the corresponding intermittent device 10) of the intermittent device 10 Positioning of the adherend CP is performed such that the outer periphery of the entire adherend CP or the outer periphery of each adherend CP becomes parallel to the X axis and the Y axis, respectively, so as not to be shifted.

그 후, 이간용 유지 수단 (20) 이 각 회동 모터 (22) 를 구동시켜, 하측 유지 부재 (21) 와 상측 유지 부재 (23) 에 의해 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 유지하면, 주고 받기 수단 (40) 이 도시되지 않은 감압 수단의 구동을 정지시켜, 접착 시트 (AS) 의 흡착 유지를 해제한 후, 다관절 로봇 (43A) 을 구동시켜, 흡착 패드 (41A) 를 초기 위치로 복귀시킨다. 다음으로, 이간 수단 (30) 이 각 리니어 모터 (31) 를 구동시키고, 도 1(C) 에 나타내는 바와 같이, 이간용 유지 수단 (20) 을 서로 이간시켜, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하여 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓힌다. 이 때, 각 피착체 (CP) 는, 접착 시트 (AS) 의 뒤틀림 등에 의해, 상호 간격이 소정의 간격으로 넓어지지 않는 경우가 있다. 그래서, 검지 수단 (50) 의 검지 결과를 기초로 하여, 이간 수단 (30) 이 각 리니어 모터 (31) 를 구동시켜, 각 피착체 (CP) 의 상호 간격이 소정 간격이 되도록, 각 이간용 유지 수단 (20) 을 개별적으로 이동시킨다.Thereafter, when the intermittent holding means 20 drives each of the rotary motors 22 to hold the end portion AE1 of the adhesive sheet AS by the lower holding member 21 and the upper holding member 23, The dispensing means 40 stops the driving of the decompression means (not shown) to release the suction holding of the adhesive sheet AS and then drives the articulated robot 43A to move the suction pad 41A to the initial position Return. Next, as shown in Fig. 1 (C), the separating means 30 drives the respective linear motors 31 to separate the spacing means 20 from each other to apply tension to the adhesive sheet AS Thereby widening the mutual spacing of the adherends (CP). At this time, the adherend CP may not be widened at a predetermined interval due to the twist of the adhesive sheet AS or the like. Thus, based on the detection result of the detection means 50, the spacing means 30 drives the respective linear motors 31 so that the distance between the respective adhered objects CP becomes a predetermined distance, The means 20 are moved individually.

그리고, 픽업 장치나 반송 장치 등의 도시되지 않은 피착체 취출 수단에 의해, 모든 피착체 (CP) 또는 소정량의 피착체 (CP) 가 접착 시트 (AS) 로부터 분리되면, 이간 수단 (30) 이 각 리니어 모터 (31) 를 구동시켜, 각각의 슬라이더 (31A) 를 초기 위치로 복귀시킨 후, 이간용 유지 수단 (20) 이 회동 모터 (22) 를 구동시켜, 상측 유지 부재 (23) 를 초기 위치로 복귀시킨다. 이어서, 작업자 또는, 도시되지 않은 반송 수단이, 하측 유지 부재 (21) 상에 남겨진 접착 시트 (AS) 를 제거하고, 이후 상기 동일한 동작이 반복된다.When all of the adherend CP or a predetermined amount of adherend CP is separated from the adhesive sheet AS by unshown adherend take-out means such as a pick-up apparatus or a conveying apparatus, the spacing means 30 The respective linear motors 31 are driven to return each slider 31A to the initial position and then the intermittent holding means 20 drives the rotary motor 22 to move the upper holding member 23 to the initial position . Subsequently, the operator or unillustrated conveying means removes the adhesive sheet AS left on the lower holding member 21, and then the same operation is repeated.

이상과 같은 이간 장치 (10) 에 의하면, 이간용 유지 수단 (20) 이 유지하는 단부 (AE1) 를 포함하는 접착 시트 (AS) 의 외연부에 소정의 장력을 부여하고, 일체물 (WK) 을 이간용 유지 수단 (20) 에 주고 받으므로, 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 가 처지거나, 흔들리거나 하는 경우가 없어, 당해 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 확실하게 이간용 유지 수단 (20) 에 유지시킬 수 있다.According to the above-described spacing device 10, a predetermined tension is given to the outer edge portion of the adhesive sheet AS including the end portion AE1 held by the spacing means 20, The end portion AE1 of the adhesive sheet AS is prevented from sagging or shaking and the end portion AE1 of the adhesive sheet AS is reliably held in the separating / Can be held in the means (20).

본 발명에 있어서의 수단 및 공정은, 그 수단들 및 공정들에 대해 설명한 동작, 기능 또는 공정을 이룰 수 있는 한 전혀 한정되지 않고, 하물며, 상기 실시형태에서 나타낸 단순한 일 실시형태의 구성물이나 공정에 전혀 한정되지 않는다. 예를 들어, 이간용 유지 수단은, 복수 또는 단수로 구성되어, 접착 시트의 일방의 면과 타방의 면의 적어도 일방에, 복수의 피착체 또는 분할되어 복수가 되는 피착체가 첩부된 일체물에 있어서의 당해 접착 시트의 단부를 유지 가능한 것이면, 출원 당초의 기술 상식에 대조하여, 그 기술 범위 내의 것이면 전혀 한정되지 않는다 (그 밖의 수단 및 공정도 동일하다).The means and process according to the present invention are not limited as far as they can accomplish the operations, functions or processes described for the means and processes, and more particularly, to the components and processes of the simple embodiment shown in the above- But it is not limited at all. For example, the intermittent holding means may be constituted by a plurality of or a single number, and may be provided in at least one of the one surface and the other surface of the adhesive sheet, in a plurality of adherends or an integral body (Other means and processes are the same) as far as it is within the technical range in comparison with the conventional technical sense of the application, provided that the end portion of the adhesive sheet can be maintained.

본 발명의 이간 장치는, 도 2(A) 에 나타내는 바와 같이, 이간용 유지 수단 (20) 과, 접착 시트 (AS) 에 있어서의 복수의 피착체 (CP) 가 첩부된 피착체 접착 영역 (CE) 보다 외측이고, 이간용 유지 수단 (20) 이 유지한 피유지 영역 (HE) 의 내측에서 당해 접착 시트 (AS) 에 맞닿는 맞닿음 수단 (60) 과, 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 유지한 이간용 유지 수단 (20) 및 맞닿음 수단 (60) 을 상대 이동시키고, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하여 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓히는 이간 수단 (30A) 과, 주고 받기 수단 (40) 을 구비한 이간 장치 (10A) 로 해도 된다.As shown in Fig. 2 (A), the dislocation device of the present invention is constituted of a discrete holding means 20 and an adherend adhesion region CE (CE) to which a plurality of adherends CP in the adhesive sheet AS are attached The abutting means 60 which abuts against the adhesive sheet AS on the inner side of the region to be held retained by the temporary holding means 20 and the end portion AE1 of the adhesive sheet AS, A separating means 30A for relatively moving the intermittent holding means 20 and the abutting means 60 maintaining the intermittent holding means 20 and the adhering means 60 and for increasing the mutual spacing of the adherend CP by applying tensile force to the adhesive sheet AS, Or may be an interdisciplinary device 10A provided with receiving means 40. [

또한, 이간 장치 (10A) 에 있어서, 이간 장치 (10) 와 동등한 구성으로 동등한 기능을 갖는 것은, 당해 이간 장치 (10) 와 동일한 번호를 부여하여 그 구성 설명은 생략하고, 동작 설명은 간략화한다.It is to be noted that, in the discrete device 10A, those having the same configuration as the discrete device 10 and having equivalent functions are given the same reference numerals as those of the discrete device 10, and the description of the configuration is omitted.

이간 수단 (30A) 은, 베이스 플레이트 (BP) 상에 지지된 구동 기기로서의 직동 모터 (33) 를 구비하고, 그 출력축 (33A) 에서 하측 유지 부재 (21) 를 지지하고 있다.The spacing means 30A includes a linear motor 33 as a driving device supported on the base plate BP and supports the lower holding member 21 at its output shaft 33A.

맞닿음 수단 (60) 은, 베이스 플레이트 (BP) 상에 지지된 원통상의 맞닿음 부재 (61) 를 구비하고 있다.The abutment means 60 is provided with a cylindrical abutment member 61 supported on the base plate BP.

이와 같은 이간 장치 (10A) 는, 이간 장치 (10) 와 동일하게 하여, 주고 받기 수단 (40) 이 다관절 로봇 (43A), 도시되지 않은 감압 수단 및 XY 테이블 (42A) 을 구동시키고, 도 2(A) 중 이점 쇄선으로 나타내는 바와 같이, 흡착 패드 (41A) 로 흡착 유지한 접착 시트 (AS) 의 외연부에 소정의 장력을 부여하면서, 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 하측 유지 부재 (21) 상에 재치한다. 그 후, 이간용 유지 수단 (20) 이 각 회동 모터 (22) 를 구동시키고, 도 2(B) 에 나타내는 바와 같이, 하측 유지 부재 (21) 와 상측 유지 부재 (23) 에 의해 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 유지한 후, 이간 수단 (30A) 이 각 직동 모터 (33) 를 구동시키고, 이간용 유지 수단 (20) 을 하강시켜 이간용 유지 수단 (20) 및 맞닿음 수단 (60) 을 상대 이동시키고, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하여 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓힌다. 그 후, 도시되지 않은 피착체 취출 수단에 의해, 피착체 (CP) 가 접착 시트 (AS) 로부터 분리되면, 각 수단이 각각의 구동 기기를 구동시켜, 각 부재를 초기 위치로 복귀시킨 후, 하측 유지 부재 (21) 상에 남겨진 접착 시트 (AS) 를 분리시키고, 이후 상기 동일한 동작이 반복된다.Such an intermittent apparatus 10A is configured such that the intercepting means 40 drives the articulated robot 43A, the decompression means and the XY table 42A not shown in the same manner as the intermittent apparatus 10, The end portion AE1 of the adhesive sheet AS is pressed against the outer peripheral portion of the adhesive sheet AS held by the suction pad 41A as shown by the chain double-dashed line in FIG. (21). 2 (B), the lower holding member 21 and the upper holding member 23 drive the rotary motors 22 so that the adhesive sheets AS The separating means 30A drives each of the linear motors 33 and the separating holding means 20 is lowered to separate the separating means 20 and the abutting means 60 And the adhesive sheet AS is given a tensile force to widen the interval between the adherends CP. Thereafter, when the adherend CP is separated from the adhesive sheet AS by the adherend take-out means (not shown), each means drives each drive device to return each member to the initial position, The adhesive sheet AS left on the holding member 21 is separated, and then the same operation is repeated.

이와 같은 이간 장치 (10A) 에 의해서도, 이간 장치 (10) 와 동일한 효과를 얻을 수 있다.The same effect as that of the spacing device 10 can be obtained also by the spacing device 10A.

이간용 유지 수단 (20) 은, 타방의 면 (AS2) 이나, 일방의 면 (AS1) 및 타방의 면 (AS2) 의 양방의 면에 복수의 피착체 (CP) 가 첩부된 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 유지하는 구성이어도 되고, 메카 척이나 척 실린더 등의 파지 수단, 클롱력, 접착제, 점착제, 자력, 베르누이 흡착, 구동 기기 등에 의해 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 유지하는 구성이어도 된다.The spacing means 20 includes an adhesive sheet AS on which a plurality of adherends CP are attached to both sides of the other surface AS2, one surface AS1 and the other surface AS2, The end portion AE1 of the adhesive sheet AS may be held by a gripping means such as a mechanical chuck or a chuck cylinder, a clamping force, an adhesive, an adhesive, a magnetic force, a Bernoulli adsorption, .

이간용 유지 수단 (20) 은, 이간 장치 (10) 의 경우, 예를 들어, 우방으로 이동하는 당해 이간용 유지 수단 (20) 을 1 체로 하고, 좌방으로 이동하는 당해 이간용 유지 수단 (20) 을 1 체로 한 2 체로 구성해도 되고, 예를 들어, 우방, 좌방 및 그 밖의 방향으로 이동하는 3 체 이상으로 구성해도 된다.The intermittent holding means 20 is constituted so that the intermittent holding means 20 that moves to the left side and the intermittent holding means 20 which moves to the right are formed as one body in the case of the intermittent apparatus 10, For example, three or more bodies moving in the right, left, and other directions.

이간용 유지 수단 (20) 은, 이간 장치 (10A) 의 경우, 1 체여도 되고 2 체 이상이어도 된다.In the case of the spacing device 20, the spacing means 20 may be one or more than two.

이간 수단 (30, 30A) 은, 복수가 아니라 단수여도 되며, 이 경우, 예를 들어, 이간 장치 (10) 는, 1 체의 리니어 모터의 2 개의 슬라이더로, 이간용 유지 수단 (20) 을 각각 1 체씩 지지하여, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓히는 구성으로 하고, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 1 축 방향 (예를 들어, X 축 방향 또는 Y 축 방향 등) 으로만 넓히는 구성으로 해도 된다.In this case, for example, the spacing device 10 is provided with two sliders of a single linear motor, and the spacing means 20, (For example, in the X-axis direction or the Y-axis direction or the like) by arranging the mutual intervals of the adhered objects CP in such a manner that the inter- .

이간 수단 (30) 은, 상호 간격을 3 축 이상의 방향 (예를 들어, X 축 방향, Y 축 방향 및 그 밖의 축 방향) 으로 넓히는 구성이어도 되고, 예를 들어, X 축 방향으로 이동시킨 복수의 이간용 유지 수단 (20) 을 각각 Y 축 방향으로 이동시키는 구성 (Y 축 방향으로 이동시킨 복수의 이간용 유지 수단 (20) 을 각각 X 축 방향으로 이동시키는 구성) 으로 하여, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓혀도 되고, 피착체 (CP) 의 상호 간격이 소정 간격이 되도록 작동할 수 없는 구성이어도 된다.The spacing means 30 may be configured to widen the mutual spacing in three or more axes directions (for example, X axis direction, Y axis direction and other axis directions), and for example, (A configuration in which a plurality of temporary holding means 20 moved in the Y-axis direction are respectively moved in the X-axis direction) and a configuration in which the temporary holding means 20 is moved in the Y- Or the configuration may be such that the mutual intervals of the adhered objects CP can not be operated so as to be at a predetermined interval.

이간 수단 (30A) 은, 이간용 유지 수단 (20) 을 정지 또는 이동시키면서, 맞닿음 수단 (60) 을 이동시킴으로써, 이간용 유지 수단 (20) 및 맞닿음 수단 (60) 을 상대 이동시키고, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하여 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓혀도 된다.The spacing means 30A relatively moves the spacing means 20 and the abutment means 60 by moving the abutment means 60 while stopping or moving the spacing means 20, The mutual spacing of the adherends CP may be increased by applying tension to the sheet AS.

이간 수단 (30, 30A) 은, 작업자가 버튼이나 레버 등을 조작하여, 리니어 모터 (31), 직동 모터 (33) 를 구동시켜도 되고, 이 경우, 예를 들어, 검지 수단 (50) 에 의한 검지 결과를 모니터나 검출기 등의 표시기에 표시하도록 구성하여, 이 표시기에 표시되는 검지 결과에 따라 피착체 (CP) 의 상호 간격이 소정 간격이 되도록, 또는, 각 피착체 (CP) 의 전체적인 집합 형상이 원래의 전체적인 집합 형상에 대해 상사 (相似) 관계가 되도록, 작업자가 리니어 모터 (31), 직동 모터 (33) 를 구동시켜도 된다.The worker may drive the linear motor 31 and the linear motor 33 by operating buttons or levers or the like. In this case, for example, the detecting means 30, And the result is displayed on a display such as a monitor or a detector so that the mutual spacing of the adherend (CP) is set to a predetermined gap in accordance with the detection result displayed on the display or the entire aggregate shape of each adherend (CP) The linear motor 31 and the linear motor 33 may be driven by an operator so as to have a similar relationship to the original overall shape.

주고 받기 수단 (40) 은, 피착체 (CP) 의 위치 결정을 실시하지 않고, 외연부에 소정의 장력을 부여한 상태의 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 하측 유지 부재 (21) 상에 재치하도록 해도 된다.The dispensing means 40 does not position the adherend CP but places the end portion AE1 of the adhesive sheet AS in a state in which a predetermined tension is applied to the outer edge portion on the lower side holding member 21 It may be worn.

장력 부여 수단 (42) 은, 접착 시트 (AS) 의 외연부에 대해 X 축 방향, Y 축 방향 또는 그 밖의 방향으로만 소정의 장력을 부여해도 되고, 소정의 토크가 아니라, 흡착 패드 (41A) 를 소정 거리 이동시켜 접착 시트 (AS) 의 외연부에 소정의 장력을 부여해도 되고, 접착 시트 (AS) 의 대각선 방향으로부터 어긋난 방향으로 흡착 패드 (41A) 를 이동시켜도 되고, 복수가 아니라 단수여도 되며, 이 경우, 예를 들어, 1 체의 리니어 모터의 2 개의 슬라이더로 주고 받기용 유지 수단 (41) 을 각각 1 쌍씩 지지하여, 접착 시트 (AS) 의 외연부에 소정의 장력을 부여하는 구성으로 하고, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 1 축 방향 (예를 들어, X 축 방향 또는 Y 축 방향 등) 으로만 넓히는 구성으로 해도 된다.The tension applying means 42 may apply a predetermined tension only in the X-axis direction, the Y-axis direction, or the other direction to the outer edge of the adhesive sheet AS, A predetermined tension may be applied to the outer edge of the adhesive sheet AS by moving the adhesive sheet AS a predetermined distance or the adsorption pad 41A may be moved in the direction deviated from the diagonal direction of the adhesive sheet AS, In this case, for example, a configuration in which a predetermined tension is given to the outer edge of the adhesive sheet AS by supporting one pair of the pair of feed and hold means 41 with two sliders of the linear motor of one body, , And the mutual spacing of the adherends CP may be widened only in a uniaxial direction (for example, an X-axis direction or a Y-axis direction).

주고 받기용 유지 수단 (41) 은, 메카 척이나 척 실린더 등의 파지 수단, 클롱력, 접착제, 점착제, 자력, 베르누이 흡착, 구동 기기 등에 의해 접착 시트 (AS) 의 다른 단부 (AE2) 를 유지하는 구성이어도 된다.Receiving and holding means 41 holds the other end AE2 of the adhesive sheet AS by gripping means such as a mechanical chuck or a chuck cylinder, a clamping force, an adhesive, an adhesive, a magnetic force, a Bernoulli adsorption, .

장력 부여 수단 (42) 은, 작업자가 버튼이나 레버 등을 조작하여, XY 테이블 (42A) 을 구동시켜도 되고, 이 경우, 예를 들어, XY 테이블 (42A) 이 출력하는 토크를 모니터나 검출기 등의 표시기에 표시하도록 구성하여, 이 표시기에 표시되는 토크값이 소정값이 되도록, 또는, XY 테이블 (42A) 의 슬라이더 (42B) 의 이동량을 표시기에 표시하도록 구성하여, 이 표시기에 표시되는 이동량이 소정의 이동량이 되도록, 작업자가 XY 테이블 (42A) 을 구동시켜도 된다.The tension imparting means 42 may operate the XY table 42A by operating a button or a lever or the like. In this case, for example, the torque output from the XY table 42A may be detected by a monitor, And the amount of movement of the slider 42B of the XY table 42A is displayed on the display device so that the amount of movement displayed on the display device is limited to a predetermined value The operator may drive the XY table 42A so that the amount of movement of the XY table 42A becomes the moving amount of the XY table 42A.

주고 받기 수단 (40) 이 접착 시트 (AS) 의 외연부에 부여하는 소정의 장력은, 당해 접착 시트 (AS) 의 외연부가 느슨해지지 않을 정도 이상의 장력이면, 그 값은 사용자가 임의로 결정할 수 있다.The predetermined tension given to the outer edge of the adhesive sheet AS by the dispensing means 40 can be determined by the user if the outer edge of the adhesive sheet AS has a tensile strength not lowered.

검지 수단 (50) 은, 예를 들어, 작업자의 육안이어도 되고, 이 경우, 작업자의 육안으로 접착 시트 (AS) 의 외연부에 소정의 장력을 부여하거나, 피착체 (CP) 의 위치와 당해 이간 장치 (10) 의 위치 맞춤을 실시하거나, 피착체 (CP) 의 상호 간격이 소정 간격이 되도록, 또는, 각 피착체 (CP) 의 전체적인 집합 형상이 원래의 전체적인 집합 형상에 대해 상사 관계가 되도록 하거나 하기 위해서, 버튼이나 레버 등을 조작하여, XY 테이블 (42A), 리니어 모터 (31), 직동 모터 (33) 를 구동시키도록 구성해도 되고, 본 발명의 이간 장치 (10, 10A) 에 구비되어 있지 않아도 된다.The detecting means 50 may be, for example, a naked eye of the operator. In this case, a predetermined tension may be applied to the outer edge of the adhesive sheet AS by the naked eye of the operator, The apparatus 10 may be positioned so that the distance between the adherend CPs is a predetermined distance or the overall shape of each of the adherend CPs is in a topographic relationship with respect to the original overall shape The XY table 42A, the linear motor 31 and the linear motor 33 may be driven by operating a button or a lever so as to drive the XY table 42A, You do not have to.

맞닿음 수단 (60) 은, 각통 형상이나 타원통 형상 등의 외에, 원 기둥, 각 기둥, 타원 기둥 등의 그 밖의 형상의 맞닿음 부재 (61) 를 채용해도 된다.The abutting member 60 may have other shapes such as a circular column, a column, and an elliptical column in addition to the square or cylindrical shape.

이간 장치 (10) 는, 먼저, 주고 받기 수단 (40) 이 XY 테이블 (42A) 을 구동시켜, 접착 시트 (AS) 의 외연부에 대해 X 축 방향으로만 소정의 장력을 부여한 후, 이간용 유지 수단 (20) 이 회동 모터 (22) 를 구동시켜, X 축 방향으로 늘어선 이간용 유지 수단 (20) 만에 의해 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 유지하고, 그 후, 동일하게 하여, 접착 시트 (AS) 의 외연부에 대해 Y 축 방향으로만 소정의 장력을 부여한 후, Y 축 방향으로 늘어선 이간용 유지 수단 (20) 만에 의해 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 유지하도록 구성해도 된다 (이 경우, X 와 Y 는 반대여도 된다).The releasing unit 40 first drives the XY table 42A to apply a predetermined tensile force only in the X axis direction to the outer edge of the adhesive sheet AS, The means 20 drives the rotating motor 22 to hold the end portion AE1 of the adhesive sheet AS only by the spacing means 20 arranged in the X axis direction, A predetermined tensile force is applied only in the Y axis direction to the outer edge of the adhesive sheet AS and then the end portion AE1 of the adhesive sheet AS is held by only the spacing means 20 arranged in the Y axis direction (In this case, X and Y may be reversed).

접착 시트 (AS) 가 소정의 에너지에 의해, 그 접착력이 저하되는 것인 경우, 도시되지 않은 피착체 취출 수단으로 접착 시트 (AS) 로부터 피착체 (CP) 를 분리하기 전에, 소정의 에너지를 부여 가능한 에너지 부여 수단으로 접착 시트 (AS) 의 접착력을 저하시켜도 된다. 또한, 이와 같은 에너지 부여 수단은, 모든 파장의 전자파 (예를 들어 X 선이나 적외선 등), 가열 또는 냉각된 기체나 액체 등의 유체등을 에너지로 하여 접착 시트 (AS) 에 부여하는 것이어도 되고, 접착 시트 (AS) 의 구성에 따라 당해 접착 시트 (AS) 의 접착력을 저하시킬 수 있는 에너지를 부여 가능한 것이면 어떤 것이어도 된다.If the adhesive force of the adhesive sheet AS is lowered by a predetermined energy, before the adherend CP is separated from the adhesive sheet AS by the adherend take-out means (not shown), a predetermined energy is applied The adhesive force of the adhesive sheet AS may be lowered by a possible energy applying means. Such energy applying means may be imparted to the adhesive sheet AS by using electromagnetic waves of all wavelengths (for example, X-rays or infrared rays), fluids such as heated or cooled gases or liquids as energy And any material that can impart energy capable of lowering the adhesive force of the adhesive sheet AS according to the structure of the adhesive sheet AS may be used.

본 발명에 있어서의 접착 시트 (AS) 및 피착체 (CP) 의 재질, 종별, 형상 등은, 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어, 접착 시트 (AS) 나 피착체 (CP) 는, 원형, 타원형, 삼각형이나 사각형 등의 다각형, 그 밖의 형상이어도 되고, 접착 시트 (AS) 는, 감압 접착성, 감열 접착성 등의 접착 형태의 것이어도 된다. 또, 접착 시트 (AS) 는, 예를 들어, 접착제층만인 단층의 것, 기재와 접착제층 사이에 중간층을 갖는 것, 기재의 상면에 커버층을 갖거나 하는 3 층 이상의 것, 나아가서는, 기재를 접착제층으로부터 박리할 수 있는 이른바 양면 접착 시트와 같은 것이어도 되고, 그러한 양면 접착 시트는, 단층 또는 복층의 중간층을 갖는 것이나, 중간층이 없는 단층 또는 복층의 것이어도 된다. 또, 피착체 (CP) 로는, 예를 들어, 식품, 수지 용기, 실리콘 반도체 웨이퍼나 화합물 반도체 웨이퍼 등의 반도체 웨이퍼, 반도체 칩, 회로 기판, 광 디스크 등의 정보 기록 기판, 유리판, 강판, 도기, 목판 또는 수지 등의 단체물이어도 되고, 그것들 2 개 이상으로 형성된 복합물이어도 되며, 임의의 형태의 부재나 물품 등도 대상으로 할 수 있다. 또한, 접착 시트 (AS) 는, 기능적, 용도적인 해석법으로 바꾸어, 예를 들어, 정보 기재용 라벨, 장식용 라벨, 보호 시트, 다이싱 테이프, 다이아 터치 필름, 다이 본딩 테이프, 기록층 형성 수지 시트 등의 임의의 시트, 필름, 테이프 등이어도 된다.The material, type, shape and the like of the adhesive sheet (AS) and adherend (CP) in the present invention are not particularly limited. For example, the adhesive sheet AS and the adherend CP may be circular, elliptical, polygonal such as a triangle or a quadrangle, or other shapes, and the adhesive sheet AS may be formed of a pressure- It may be an adhesive type. The adhesive sheet AS may be, for example, a single layer of only an adhesive layer, an intermediate layer between a substrate and an adhesive layer, a three or more layer having a cover layer on the upper surface of the substrate, Called double-sided adhesive sheet from which the adhesive layer can be peeled from the adhesive layer. Such a double-sided adhesive sheet may be a single-layered or multi-layered intermediate layer or a single layer or multiple layer without intermediate layer. Examples of the adherend (CP) include a semiconductor wafer such as a food, a resin container, a silicon semiconductor wafer or a compound semiconductor wafer, an information recording substrate such as a semiconductor chip, a circuit board and an optical disk, a glass plate, A single piece of wood such as a wood board or a resin, a combination of two or more of them, or a member or an article of any form. Further, the adhesive sheet AS may be replaced with a functional or usable analysis method, for example, an information label, a decorative label, a protective sheet, a dicing tape, a die attach film, a die bonding tape, A film, a tape, or the like.

피착체 (CP) 는, 미리 접착 시트 (AS) 상에 복수 존재하고 있는 것이어도 되고, 이간 수단 (30, 30A), 그 밖의 기구 또는 사람의 손 등으로 외력을 부여한 시점에서 복수로 분할되어, 접착 시트 (AS) 상에 복수 존재하는 것과 같은 분할되어 복수가 되는 것이어도 된다. 이와 같은 분할되어 복수가 되는 피착체 (CP) 로는, 예를 들어, 반도체 웨이퍼나 기판 등에 레이저를 조사하여, 당해 반도체 웨이퍼나 기판 등에 선상이나 격자상 등의 취약한 취약층을 형성해 두고, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하거나, 반도체 웨이퍼나 기판 등에 직접적 또는 간접적으로 외력을 부여하거나 한 시점에서 개편화하여, 복수의 피착체 (CP) 가 되는 것이나, 예를 들어, 수지나 유리판 등에 커터날로 절입하고, 당해 수지나 유리판 등에 선상이나 격자상 등의 표리에 관통하지 않는 절입이나 절취선 등의 절단 예정 라인을 형성해 두어, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하거나, 수지나 유리판 등에 직접적 또는 간접적으로 외력을 부여하거나 한 시점에서 개편화하여, 복수의 피착체 (CP) 가 되는 것 등, 전혀 한정되는 것은 아니다.A plurality of adherends CP may be present on the adhesive sheet AS in advance and may be divided into a plurality of portions at the time of applying an external force to the spacers 30 and 30A, The adhesive sheet AS may be divided into a plurality of adhesive sheets AS. As such a plurality of divided adherends (CP), for example, a semiconductor wafer or a substrate is irradiated with a laser beam to form a fragile weak layer such as a line or a lattice on the semiconductor wafer or the substrate, AS, or an external force is directly or indirectly applied to a semiconductor wafer or a substrate, or is separated at one point to form a plurality of adherends (CP), or a cutter blade And forming a line along which the object is to be cut, such as a cut line or a perforation line, which does not penetrate the front and back surfaces of the sheet or the glass sheet on the surface of the resin or the glass plate. The adhesive sheet AS may be subjected to tension, Or a plurality of adherends (CP) are formed at a single point of time to form a plurality of adherends (CP).

상기 실시형태에 있어서의 구동 기기는, 회동 모터, 직동 모터, 리니어 모터, 단축 로봇, 다관절 로봇 등의 전동 기기, 에어 실린더, 유압 실린더, 로드리스 실린더 및 로터리 실린더 등의 액추에이터 등을 채용할 수 있는 데다, 그것들을 직접적 또는 간접적으로 조합한 것을 채용할 수도 있다.The drive device in the above embodiment can adopt an electric device such as a rotary motor, a linear motor, a linear motor, a uniaxial robot, a multi-joint robot, an actuator such as an air cylinder, a hydraulic cylinder, a rodless cylinder and a rotary cylinder , Or a combination of these, either directly or indirectly, may be employed.

10, 10A : 이간 장치
20 : 이간용 유지 수단
30, 30A : 이간 수단
40 : 주고 받기 수단
41 : 주고 받기용 유지 수단
42 : 장력 부여 수단
43 : 반송 수단
60 : 맞닿음 수단
AE1 : 단부
AE2 : 다른 단부
AS : 접착 시트
AS1 : 일방의 면
AS2 : 타방의 면
CE : 피착체 접착 영역
CP : 피착체
HE : 유지 영역
WK : 일체물10, 10A: Dislocation device
20: Separate holding means
30, 30A:
40: Delivery means
41: Holding means for giving / receiving
42: tension applying means
43:
60: abutment means
AE1: End
AE2: other end
AS: Adhesive sheet
AS1: one side
AS2: the other side
CE: adherend adhesion area
CP: adherend
HE: Retention area
WK: One thing

Claims (4)

접착 시트의 일방의 면과 타방의 면의 적어도 일방에, 복수의 피착체 또는 분할되어 복수가 되는 피착체가 첩부된 일체물에 있어서의 당해 접착 시트의 단부를 유지하는 복수의 이간용 유지 수단과,
상기 접착 시트의 단부를 유지한 상기 이간용 유지 수단을 상대 이동시키고, 상기 접착 시트에 장력을 부여하여 상기 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 수단을 구비하고,
상기 일체물을 유지하여 당해 일체물을 상기 복수의 이간용 유지 수단에 주고 받는 주고 받기 수단을 가지고,
상기 주고 받기 수단은, 상기 일체물에 있어서의 접착 시트의 다른 단부를 유지하는 복수의 주고 받기용 유지 수단과, 상기 접착 시트의 다른 단부를 유지한 상기 주고 받기용 유지 수단을 상대 이동시키고, 상기 이간용 유지 수단이 유지하는 단부를 포함하는 상기 접착 시트의 외연부에 소정의 장력을 부여하는 장력 부여 수단과, 상기 주고 받기용 유지 수단에 의해 유지한 상기 일체물을 반송하는 반송 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 이간 장치.A plurality of spacing holding means for holding an end portion of the adhesive sheet in an integral body in which a plurality of adherends or divided plural adherends are pasted on at least one of the one surface and the other surface of the adhesive sheet,
And spacing means for moving the spacing means for holding the end portion of the adhesive sheet relative to each other to increase the mutual spacing of the adherend by applying tension to the adhesive sheet,
And a delivery means for holding said integral and for transferring said integral to said plurality of spacing means,
Wherein said transfer means relatively moves a plurality of delivery and reception holding means for holding the other end portion of said adhesive sheet in said integral body and said delivery and holding means for holding the other end portion of said adhesive sheet, Tension applying means for applying a predetermined tension to an outer edge portion of the adhesive sheet including an end portion held by the temporary holding means and conveying means for conveying the integral held by the sending and receiving holding means And the second control unit is configured to control the second control unit. 접착 시트의 일방의 면과 타방의 면의 적어도 일방에, 복수의 피착체 또는 분할되어 복수가 되는 피착체가 첩부된 일체물에 있어서의 당해 접착 시트의 단부를 유지하는 이간용 유지 수단과,
상기 접착 시트에 있어서의 상기 복수의 피착체가 첩부된 피착체 접착 영역보다 외측이고, 상기 이간용 유지 수단이 유지한 유지 영역의 내측에서 당해 접착 시트에 맞닿는 맞닿음 수단과,
상기 접착 시트의 단부를 유지한 상기 이간용 유지 수단 및 상기 맞닿음 수단을 상대 이동시키고, 상기 접착 시트에 장력을 부여하여 상기 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 수단을 구비하고,
상기 일체물을 유지하여 당해 일체물을 상기 이간용 유지 수단에 주고 받는 주고 받기 수단을 가지고,
상기 주고 받기 수단은, 상기 일체물에 있어서의 접착 시트의 다른 단부를 유지하는 복수의 주고 받기용 유지 수단과, 상기 접착 시트의 다른 단부를 유지한 상기 주고 받기용 유지 수단을 상대 이동시키고, 상기 이간용 유지 수단이 유지하는 단부를 포함하는 상기 접착 시트의 외연부에 소정의 장력을 부여하는 장력 부여 수단과, 상기 주고 받기용 유지 수단에 의해 유지한 상기 일체물을 반송하는 반송 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 이간 장치. A temporary holding means for holding an end portion of the adhesive sheet in an integral body to which a plurality of adherends or divided plural adherends are pasted on at least one of the one surface and the other surface of the adhesive sheet;
An abutment means for abutting the adhesive sheet on the inner side of the holding region held by the temporary holding means and outside the adherend object adhering region to which the plurality of adherends are adhered,
And spacing means for relatively moving the spacing means and the abutment means holding the end portion of the adhesive sheet to increase the mutual spacing of the adherend by applying tension to the adhesive sheet,
And a delivery means for holding said integral and for transferring said integral to said separation means for separation,
Wherein said transfer means relatively moves a plurality of delivery and reception holding means for holding the other end portion of said adhesive sheet in said integral body and said delivery and holding means for holding the other end portion of said adhesive sheet, Tension applying means for applying a predetermined tension to an outer edge portion of the adhesive sheet including an end portion held by the temporary holding means and conveying means for conveying the integral held by the sending and receiving holding means And the second control unit is configured to control the second control unit. 접착 시트의 일방의 면과 타방의 면의 적어도 일방에, 복수의 피착체 또는 분할되어 복수가 되는 피착체가 첩부된 일체물에 있어서의 당해 접착 시트의 단부를 복수의 이간용 유지 수단에 의해 유지하는 이간용 유지 공정과,
상기 접착 시트의 단부를 유지한 상기 이간용 유지 수단을 상대 이동시키고, 상기 접착 시트에 장력을 부여하여 상기 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 공정을 가지고,
상기 일체물을 유지하여 당해 일체물을 상기 복수의 이간용 유지 수단에 주고 받는 주고 받기 공정을 추가로 가지고,
상기 주고 받기 공정은, 상기 일체물에 있어서의 접착 시트의 다른 단부를 복수의 주고 받기용 유지 수단에 의해 유지하는 주고 받기용 유지 공정과, 상기 접착 시트의 다른 단부를 유지한 상기 주고 받기용 유지 수단을 상대 이동시키고, 상기 이간용 유지 수단이 유지하는 단부를 포함하는 상기 접착 시트의 외연부에 소정의 장력을 부여하는 장력 부여 공정과, 상기 주고 받기용 유지 수단에 의해 유지한 상기 일체물을 반송하는 반송 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 이간 방법.An end portion of the adhesive sheet in an integral body in which a plurality of adherends or a plurality of divided adherends are pasted on at least one of the one surface and the other surface of the adhesive sheet is held by a plurality of spacing holding means An intermittent holding step,
And an intermittent step of moving the intermittent holding means holding the end portion of the adhesive sheet relative to each other to increase the mutual spacing of the adherend by applying tension to the adhesive sheet,
Further comprising a step of holding and delivering the integral and transferring the integrated product to and from the plurality of temporary holding means,
Wherein said receiving and dispensing step includes a holding step of holding the other end portion of the adhesive sheet in said integral by means of a plurality of dispensing and holding means and a holding step of holding said other end portion of said adhesive sheet A tension imparting step of imparting a predetermined tension to an outer edge portion of the adhesive sheet including an end portion held by the temporary holding means while relatively moving the means, And a transferring step of transferring the transfer material. 접착 시트의 일방의 면과 타방의 면의 적어도 일방에, 복수의 피착체 또는 분할되어 복수가 되는 피착체가 첩부된 일체물에 있어서의 당해 접착 시트의 단부를 이간용 유지 수단에 의해 유지하는 이간용 유지 공정과,
상기 접착 시트에 있어서의 상기 복수의 피착체가 첩부된 피착체 접착 영역보다 외측이고, 상기 이간용 유지 수단이 유지한 유지 영역의 내측에서 당해 접착 시트에 맞닿는 맞닿음 수단 및, 상기 접착 시트의 단부를 유지한 상기 이간용 유지 수단을 상대 이동시키고, 상기 접착 시트에 장력을 부여하여 상기 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 공정을 가지고,
상기 일체물을 유지하여 당해 일체물을 상기 이간용 유지 수단에 주고 받는 주고 받기 공정을 추가로 가지고,
상기 주고 받기 공정은, 상기 일체물에 있어서의 접착 시트의 다른 단부를 복수의 주고 받기용 유지 수단에 의해 유지하는 주고 받기용 유지 공정과, 상기 접착 시트의 다른 단부를 유지한 상기 주고 받기용 유지 수단을 상대 이동시키고, 상기 이간용 유지 수단이 유지하는 단부를 포함하는 상기 접착 시트의 외연부에 소정의 장력을 부여하는 장력 부여 공정과, 상기 주고 받기용 유지 수단에 의해 유지한 상기 일체물을 반송하는 반송 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 이간 방법.In which a plurality of adherends or a plurality of divided adherends are pasted on at least one of the one surface and the other surface of the adhesive sheet to hold the end portion of the adhesive sheet by the temporary holding means, A holding step,
An abutting means for abutting the adhesive sheet on the inner side of the holding region held by the temporary holding means and on the outer side of the adherend adhering region to which the plurality of adherends are adhered, And a separating step of relatively moving the retained retaining means for separating the adherend by applying a tensile force to the adhesive sheet,
Further comprising a step of holding the integral and transferring the integrated product to and from the intermittent maintenance means,
Wherein said receiving and dispensing step includes a holding step of holding the other end portion of the adhesive sheet in said integral by means of a plurality of dispensing and holding means and a holding step of holding said other end portion of said adhesive sheet A tension imparting step of imparting a predetermined tension to an outer edge portion of the adhesive sheet including an end portion held by the temporary holding means while relatively moving the means, And a transferring step of transferring the transfer material.
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