KR102506718B1 - Spacing device and spacing method - Google Patents

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Abstract

(과제) 접착 시트에 부여하고 있던 장력을 해제하더라도, 피착체의 상호 간격이 최대한 좁아지지 않도록 할 수 있는 이간 장치 및 이간 방법을 제공하는 것.
(해결 수단) 일방의 면 (AS1) 과 타방의 면 (AS2) 의 적어도 일방에 복수의 피착체 (CP) 가 첩부된 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지하는 복수의 유지 수단 (20) 과, 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지한 유지 수단 (20) 을 상대 이동시켜, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓히는 이간 수단 (30) 을 구비하고, 접착 시트 (AS) 는, 소정의 에너지 (UV) 가 부여됨으로써 경화 가능해지고, 이간 수단 (30) 에 의해 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓힌 상태의 접착 시트 (AS) 에, 소정의 에너지 (UV) 를 부여함으로써 당해 접착 시트 (AS) 를 경화시키는 제 1 에너지 부여 수단 (50) 을 구비하고 있다.(Problem) To provide a separation device and a separation method capable of preventing a mutual distance between adherends from narrowing as much as possible even when the tension applied to the adhesive sheet is released.
(Solution Means) A plurality of holding means 20 for holding an end portion of an adhesive sheet AS having a plurality of adherends CP attached to at least one of one surface AS1 and the other surface AS2, It is provided with a separation means 30 that relatively moves the holding means 20 holding the end of the adhesive sheet AS to widen the mutual distance between the adherends CP, and the adhesive sheet AS has a predetermined energy ( UV) is applied to make the adhesive sheet AS curable, and the adhesive sheet AS in a state in which the mutual distance between the adherends CP is widened by the separation means 30 is applied with a predetermined energy UV to the adhesive sheet AS It is provided with a first energy imparting means 50 for hardening.

Description

이간 장치 및 이간 방법{SPACING DEVICE AND SPACING METHOD}Separation device and separation method {SPACING DEVICE AND SPACING METHOD}

본 발명은 이간 장치 및 이간 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a separation device and a separation method.

종래, 접착 시트에 첩부된 복수의 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 장치가 알려져 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조).Background Art [0002] Conventionally, a separation device for widening a mutual distance between a plurality of adherends affixed to an adhesive sheet is known (for example, refer to Patent Literature 1).

일본 공개특허공보 2016-127124호Japanese Unexamined Patent Publication No. 2016-127124

그러나, 특허문헌 1 에 기재된 종래의 이간 장치에서는, 예를 들어, 접착 시트 상에서 상호 간격이 넓혀진 편상체 (片狀體) (피착체) 를 당해 접착 시트와 함께 반송하는 경우, 유지 수단에 의한 접착 시트의 유지가 없어지면, 접착 시트는, 부여되어 있던 장력이 해제되어 변형 전의 상태에 가까워지려고 하므로, 피착체의 상호 간격이 좁아진다는 문제가 있다.However, in the conventional separation device described in Patent Literature 1, for example, when conveying pieces (adhered objects) with a mutually widened space on the adhesive sheet together with the adhesive sheet, adhesion by the holding means When the holding of the sheet is lost, the tension applied to the adhesive sheet is released and the adhesive sheet tends to approach the state before deformation, so there is a problem that the distance between the adherends is narrowed.

본 발명의 목적은, 접착 시트에 부여하고 있던 장력을 해제하더라도, 피착체의 상호 간격이 최대한 좁아지지 않도록 할 수 있는 이간 장치 및 이간 방법을 제공하는 것에 있다.An object of the present invention is to provide a separation device and separation method capable of preventing a mutual distance between adherends from narrowing as much as possible even when the tension applied to the adhesive sheet is released.

본 발명은 청구항에 기재한 구성을 채용하였다.The present invention adopts the configuration described in the claims.

본 발명에 의하면, 소정의 에너지가 부여됨으로써 경화 가능해진 접착 시트에, 당해 소정의 에너지를 부여하여 당해 접착 시트를 경화시키므로, 접착 시트에 부여하고 있던 장력을 해제하더라도, 피착체의 상호 간격이 최대한 좁아지지 않도록 할 수 있다.According to the present invention, since the predetermined energy is applied to an adhesive sheet that can be cured by application of a predetermined energy to cure the adhesive sheet, even if the tension applied to the adhesive sheet is released, the mutual distance between the adherends is maximized. You can make sure it doesn't narrow.

또한, 유지 부재 장착 수단을 구비하면, 피착체의 상호 간격이 보다 좁아지지 않도록 할 수 있다.In addition, if the holding member attachment means is provided, it is possible to prevent the mutual distance between the adherends from becoming narrower.

또, 절단 수단을 구비하면, 접착 시트 상에서 상호 간격이 넓혀진 피착체를 반송할 때, 접착 시트의 단부 (端部) 가 반송의 방해가 되는 것을 방지할 수 있다.In addition, if the cutting unit is provided, it is possible to prevent the ends of the adhesive sheet from interfering with the conveyance when conveying the adherends on which the distance between them is widened on the adhesive sheet.

또한, 제 2 에너지 부여 수단을 구비하면, 피착체의 상호 간격을 넓히기 쉽게 할 수 있다.In addition, if the second energy application means is provided, it is possible to easily widen the distance between the adherends.

도 1(A) 는 본 발명의 실시형태에 관련된 이간 장치의 평면도이다. 도 1(B) 는 도 1(A) 의 측면도이다.
도 2(A), 2(B) 는, 본 발명의 실시형태에 관련된 이간 장치의 동작 설명도이다.
도 3(A) ∼ 3(C) 는, 본 발명의 실시형태에 관련된 이간 장치의 동작 설명도이다.
도 4(A), 4(B) 는, 본 발명의 다른 예의 설명도이다.1(A) is a plan view of a separation device according to an embodiment of the present invention. Fig. 1(B) is a side view of Fig. 1(A).
2(A) and 2(B) are operation explanatory diagrams of a separation device according to an embodiment of the present invention.
3(A) to 3(C) are operation explanatory diagrams of a separation device according to an embodiment of the present invention.
4(A) and 4(B) are explanatory views of another example of the present invention.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 기초하여 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described based on drawing.

또한, 본 실시형태에 있어서의 X 축, Y 축, Z 축은, 각각이 직교하는 관계에 있으며, X 축 및 Y 축은, 소정 평면 내의 축으로 하고, Z 축은, 상기 소정 평면에 직교하는 축으로 한다. 또한, 본 실시형태에서는, Y 축과 평행한 화살표 BD 방향에서 본 경우를 기준으로 하고, 기준이 되는 도면을 들지 않고 방향을 나타낸 경우, 「상방」이 Z 축의 화살표 방향이고 「하방」이 그 역방향, 「좌방」이 X 축의 화살표 방향이고 「우방」이 그 역방향, 「전방」이 Y 축의 화살표 방향이고 「후방」이 그 역방향인 것으로 한다.In addition, the X axis, Y axis, and Z axis in the present embodiment have an orthogonal relationship with each other, the X axis and the Y axis are axes within a predetermined plane, and the Z axis is an axis orthogonal to the predetermined plane. . Further, in the present embodiment, based on the case of viewing from the direction of the arrow BD parallel to the Y axis, when the direction is shown without holding a reference drawing, "upward" is the direction of the arrow on the Z axis, and "downward" is the reverse direction , "Left" is the direction of the X-axis arrow, "Right" is the reverse direction, "Forward" is the direction of the Y-axis arrow, and "Rear" is the reverse direction.

본 발명의 이간 장치 (10) 는, 일방의 면 (AS1) 에 복수의 피착체 (CP) 가 첩부된 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지하는 복수의 유지 수단 (20) 과, 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지한 유지 수단 (20) 을 상대 이동시켜, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓히는 이간 수단 (30) 과, 피착체 (CP) 의 상호 간격이나 각 피착체 (CP) 의 전체적인 집합 형상 등을 검지 가능한 카메라나 투영기 등의 촬상 수단, 광학 센서나 음파 센서 등의 각종 센서 등의 검지 수단 (40) 과, 이간 수단 (30) 에 의해 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓힌 상태의 접착 시트 (AS) 에, 소정의 에너지로서의 자외선 (UV) 을 부여함으로써 당해 접착 시트 (AS) 를 경화시키는 제 1 에너지 부여 수단 (50) 과, 접착 시트 (AS) 에 다른 에너지로서의 적외선 (IR) 을 부여하는 제 2 에너지 부여 수단 (60) 과, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓힌 상태의 접착 시트 (AS) 에 간격 유지 부재 (DM) 를 장착하는 유지 부재 장착 수단 (70) 과, 접착 시트 (AS) 를 절단하는 절단 수단 (80) 을 구비하고 있다.The separation device 10 of the present invention includes a plurality of holding means 20 for holding an end portion of an adhesive sheet AS having a plurality of adherends CP attached to one surface AS1, and an adhesive sheet AS ), the separation means 30 that relatively moves the holding means 20 holding the end portion of the adherends CP to widen the mutual distance between the adherends CP, and the mutual distance between the adherends CP or the whole of each adherend CP State in which the distance between the adherends CP is widened by the detection means 40, such as imaging means such as a camera or projector capable of detecting a collective shape, various sensors such as optical sensors and acoustic sensors, and the separation means 30 first energy imparting means 50 for curing the adhesive sheet AS by applying ultraviolet rays (UV) as predetermined energy to the adhesive sheet AS, and infrared rays (IR) as other energy to the adhesive sheet AS ), a second energy application means 60 for imparting, and a holding member attachment means 70 for attaching the space keeping member DM to the adhesive sheet AS in a state where the distance between the adherends CP is increased, A cutting means 80 for cutting the adhesive sheet AS is provided.

또한, 접착 시트 (AS) 는, 기재 시트의 일방의 면에 자외선 경화형의 접착제층이 적층되어, 장력이 부여된 후, 자외선 (UV) 이 부여되지 않고 당해 장력이 해제되면, 변형 전의 상태에 가까워지려고 하는 성질을 구비하고, 자외선 (UV) 이 부여됨으로써 경화되는 한편, 적외선 (IR) 이 부여됨으로써 연화되는 것이 채용되고 있다.Further, the adhesive sheet AS is close to the state before deformation when an ultraviolet curable adhesive layer is laminated on one surface of a base sheet and tension is applied, and then the tension is released without ultraviolet rays (UV) being applied. What has the property to be hardened and is hardened by application of ultraviolet rays (UV) and softened by application of infrared rays (IR) is employed.

유지 수단 (20) 은, 이간 수단 (30) 에 지지된 구동 기기로서의 회동 (回動) 모터 (21) 와, 그 출력축 (21A) 에 지지된 상측 유지 부재 (22) 를 구비하고 있다.The holding means 20 includes a rotation motor 21 as a driving device supported by the spacer means 30 and an upper holding member 22 supported by the output shaft 21A.

이간 수단 (30) 은, 구동 기기로서의 리니어 모터 (31) 와, 그 슬라이더 (31A) 에 지지되고, 상면측에서 회동 모터 (21) 를 지지하는 하측 유지 부재 (32) 를 구비하고 있다.The separation means 30 includes a linear motor 31 as a driving device and a lower holding member 32 supported by the slider 31A and supporting the rotation motor 21 from the upper surface side.

제 1 에너지 부여 수단 (50) 은, 상측 케이스 (UC) 내에 복수 배치된 상측 자외선 램프 (51) 와, 하측 케이스 (BC) 내에 복수 배치된 하측 자외선 램프 (52) 를 구비하고 있다. 상측, 하측 자외선 램프 (51, 52) 는, 접착 시트 (AS) 에 전체적으로 자외선 (UV) 을 조사하도록 되어 있다.The first energy application means 50 includes a plurality of upper ultraviolet lamps 51 arranged in an upper case UC and a plurality of lower ultraviolet lamps 52 arranged in a lower case BC. The upper and lower ultraviolet lamps 51 and 52 are configured to irradiate the adhesive sheet AS as a whole with ultraviolet rays (UV).

제 2 에너지 부여 수단 (60) 은, Y 축 방향으로 이동하는 슬라이더 (61A) 를 구비한 구동 기기로서의 리니어 모터 (61) 와, 슬라이더 (61A) 에 지지되고, X 축 방향으로 이동하는 슬라이더 (62A) 를 구비한 구동 기기로서의 리니어 모터 (62) 와, 슬라이더 (62A) 에 지지된 베이스 테이블 (63) 과, 베이스 테이블 (63) 상에 스탠드 (64) 및 하측 케이스 (BC) 를 통해 지지된 적외선 램프 (65) 를 구비하고 있다. 적외선 램프 (65) 는, 접착 시트 (AS) 에 부분적으로 적외선 (IR) 을 조사하도록 되어 있다.The second energy imparting means 60 includes a linear motor 61 as a drive device having a slider 61A moving in the Y-axis direction and a slider 62A supported by the slider 61A and moving in the X-axis direction. ) as a driving device, a base table 63 supported by a slider 62A, and infrared rays supported on the base table 63 via a stand 64 and a lower case BC. A lamp 65 is provided. The infrared lamp 65 is configured to partially irradiate the adhesive sheet AS with infrared rays (IR).

유지 부재 장착 수단 (70) 은, 리니어 모터 (61, 62) 및 베이스 테이블 (63) 과, 베이스 테이블 (63) 상에 지지된 구동 기기로서의 직동 (直動) 모터 (71) 와, 그 출력축 (71A) 에 지지되고, 감압 펌프나 진공 이젝터 등의 도시되지 않은 감압 수단에 의해 간격 유지 부재 (DM) 를 지지 가능한 지지면 (72A) 을 갖는 지지 테이블 (72) 을 구비하고 있다. 또한, 본 실시형태의 경우, 간격 유지 부재 (DM) 는, 유리판 (GP) 의 일방의 면에 양면 접착 시트 (BA) 가 첩부된 것이 사용된다.The holding member mounting means 70 includes the linear motors 61 and 62 and the base table 63, a linear motor 71 as a drive device supported on the base table 63, and an output shaft thereof ( 71A), and is provided with a support table 72 having a support surface 72A capable of supporting the space keeping member DM by a decompression unit (not shown) such as a decompression pump or a vacuum ejector. In addition, in the case of this embodiment, what the double-sided adhesive sheet BA was affixed to the surface of one side of glass plate GP is used for space|interval maintenance member DM.

절단 수단 (80) 은, 복수의 아암에 의해 구성된 구동 기기로서의 다관절 로봇 (81) 과, 당해 다관절 로봇 (81) 의 작업부인 선단 아암 (81A) 에 브래킷 (82) 을 통해 지지된 절단 부재로서의 커터날 (83) 을 구비하고 있다. 다관절 로봇 (81) 은, 그 작업 범위 내에 있어서, 선단 아암 (81A) 에 의해 지지한 것을 어느 위치, 어느 각도로도 변위 가능한 소위 6 축 로봇 등이어도 되고, 예를 들어, 일본 공개특허공보 2016-81974에 예시되어 있는 다관절 로봇 (111) 등을 예시할 수 있다.The cutting means 80 includes an articulated robot 81 as a driving device constituted by a plurality of arms, and a cutting member supported by a tip arm 81A serving as a working part of the articulated robot 81 via a bracket 82. It is provided with a cutter blade 83 as . The articulated robot 81 may be a so-called 6-axis robot capable of displacing what is supported by the tip arm 81A at any position and at any angle within its work range, for example, as disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication 2016 The articulated robot 111 exemplified in -81974 and the like can be exemplified.

이상의 이간 장치 (10) 의 동작을 설명한다.The operation of the above separation device 10 is explained.

먼저, 각 부재가 도 1(A), (B) 중 실선으로 나타내는 초기 위치에서 대기하고 있는 이간 장치 (10) 에 대하여, 당해 이간 장치 (10) 의 사용자 (이하, 간단히 「사용자」라고 한다) 가 조작 패널이나 퍼스널 컴퓨터 등의 도시되지 않은 조작 수단을 통해 자동 운전 개시의 신호를 입력한다. 그 후, 작업자 또는 구동 기기나 컨베이어 등의 도시되지 않은 반송 수단이, 양면 접착 시트 (BA) 측이 상측이 되도록, 간격 유지 부재 (DM) 를 지지면 (72A) 상에 재치 (載置) 하면, 유지 부재 장착 수단 (70) 이 도시되지 않은 감압 수단을 구동시켜, 당해 간격 유지 부재 (DM) 의 흡착 유지를 개시한다. 그리고, 작업자 또는 도시되지 않은 반송 수단이 복수의 피착체 (CP) 가 첩부된 접착 시트 (AS) 를 하측 유지 부재 (32) 상에 재치하면, 유지 수단 (20) 이 각 회동 모터 (21) 를 구동시켜, 도 1(B) 중 2 점 쇄선으로 나타내는 바와 같이, 상측 유지 부재 (22) 와 하측 유지 부재 (32) 에 의해 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지한다.First, with respect to the separation device 10 in which each member is on standby at the initial position indicated by the solid line in Figs. A signal for starting the automatic driving is input through an unillustrated operation unit such as an operation panel or a personal computer. After that, when a conveyance means (not shown) such as an operator or a driving device or a conveyor places the gap maintaining member DM on the support surface 72A so that the double-sided adhesive sheet BA side is the upper side. Then, the holding member attaching means 70 drives an unillustrated decompression means to start adsorbing and holding the space keeping member DM. Then, when an operator or conveyance means (not shown) places the adhesive sheet AS to which a plurality of adherends CP are affixed on the lower holding member 32, the holding means 20 rotates each rotation motor 21. It is driven and the edge part of adhesive sheet AS is held by the upper holding member 22 and the lower holding member 32, as shown by the dashed-two dotted line in FIG. 1(B).

이어서, 이간 수단 (30) 이 각 리니어 모터 (31) 를 구동시키고, 유지 수단 (20) 을 서로 이간시켜 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓힌다. 이때, 각 피착체 (CP) 는, 도 2(A) 에 나타내는 바와 같이, 접착 시트 (AS) 의 뒤틀림 등에 의해, 상호 간격이 소정의 간격으로 넓어지지 않는 경우가 있다. 따라서, 검지 수단 (40) 이 카메라 등을 구동시켜, 각 피착체 (CP) 의 상호 간격이나 각 피착체 (CP) 의 전체적인 집합 형상 등을 검지한다. 다음으로, 검지 수단 (40) 의 검지 결과를 바탕으로 하여, 이간 수단 (30) 이 각 리니어 모터 (31) 를 구동시켜, 도 2(B) 에 나타내는 바와 같이, 각 피착체 (CP) 의 상호 간격이 소정 간격이 되도록, 또는, 각 피착체 (CP) 의 전체적인 집합 형상이 원래의 전체적인 집합 형상에 대하여 상사 관계가 되도록, 각 유지 수단 (20) 을 개별적으로 이동시킨다. 이때, 피착체 (CP) 의 상호 간격이 벌어지기 어려운 난개 (難開) 부분이 있는 것을 검지 수단 (40) 이 검지하면, 제 2 에너지 부여 수단 (60) 이 리니어 모터 (61, 62) 및 적외선 램프 (65) 를 구동시켜, 난개 부분에 부분적으로 적외선 (IR) 을 조사한다 (도 3(A) 참조). 이로써, 난개 부분이 연화되어 피착체 (CP) 의 상호 간격이 벌어지기 쉬워진다.Next, the spacer means 30 drives each linear motor 31, and the holding means 20 are spaced apart from each other to increase the mutual distance between the adherends CP. At this time, as shown in FIG. 2(A) , the mutual distance between the adherends CP may not widen at a predetermined interval due to warping of the adhesive sheet AS or the like. Therefore, the detecting means 40 drives a camera or the like to detect the mutual spacing of each adherend CP, the overall aggregate shape of each adherend CP, and the like. Next, based on the detection result of the detection means 40, the separation means 30 drives each linear motor 31, and as shown in FIG. 2(B), each adherend CP mutually Each holding means 20 is individually moved so that the interval becomes a predetermined interval, or so that the overall aggregate shape of each adherend CP has a similar relationship with respect to the original overall aggregate shape. At this time, when the detecting means 40 detects that there is an open part where the distance between the adherends CP is difficult to widen, the second energy applying means 60 activates the linear motors 61, 62 and infrared rays. The lamp 65 is driven to partially irradiate infrared rays (IR) to the eggshell portion (see Fig. 3(A)). This softens the flap portion and facilitates the widening of the mutual space between the adherends CP.

그 후, 제 1 에너지 부여 수단 (50) 이 상측, 하측 자외선 램프 (51, 52) 를 구동시켜, 도 3(A) 에 나타내는 바와 같이, 접착 시트 (AS) 의 일방의 면 (AS1) 및 타방의 면 (AS2) 에 자외선 (UV) 을 부여하고, 당해 접착 시트 (AS) 를 경화시켜, 피착체 (CP) 의 상호 간격이 좁아지지 않도록 한다. 이어서, 유지 부재 장착 수단 (70) 이 리니어 모터 (61, 62) 를 구동시켜, 상호 간격이 넓혀진 피착체 (CP) 의 하방에 간격 유지 부재 (DM) 를 배치한 후, 직동 모터 (71) 를 구동시켜, 도 3(B) 에 나타내는 바와 같이, 양면 접착 시트 (BA) 를 통하여, 접착 시트 (AS) 의 타방의 면 (AS2) 측에 간격 유지 부재 (DM) 를 장착한다.After that, the first energy application means 50 drives the upper and lower ultraviolet lamps 51 and 52, and as shown in Fig. 3(A), one surface AS1 of the adhesive sheet AS and the other surface Ultraviolet light (UV) is applied to the surface AS2 to cure the adhesive sheet AS, so that the distance between the adherends CP is not narrowed. Next, the holding member attachment means 70 drives the linear motors 61 and 62 to arrange the space keeping members DM below the adherend CP with the mutually widened space, then the linear motor 71 is It is driven and, as shown in FIG. 3(B), the space keeping member DM is attached to the other surface AS2 side of the adhesive sheet AS via the double-sided adhesive sheet BA.

그 후, 절단 수단 (80) 이 다관절 로봇 (81) 을 구동시켜, 도 3(C) 에 나타내는 바와 같이, 커터날 (83) 을 접착 시트 (AS) 에 찌른 후, 당해 커터날 (83) 을 피착체 (CP) 전체의 외연을 따라 일주시켜 접착 시트 (AS) 를 절단하고, 간격 유지 부재 (DM) 가 장착되어, 접착 시트 (AS) 상에서 피착체 (CP) 의 상호 간격이 넓혀진 일체물 (WK) 을 형성한다. 이어서, 절단 수단 (80) 이 다관절 로봇 (81) 을 구동시켜, 커터날 (83) 을 초기 위치로 복귀시키면, 유지 부재 장착 수단 (70) 이 도시되지 않은 감압 수단의 구동을 정지시켜, 간격 유지 부재 (DM) 의 흡착 유지를 해제한다. 그리고, 작업자 또는 도시되지 않은 반송 수단이 일체물 (WK) 을 다른 공정으로 반송하면, 유지 수단 (20) 이 회동 모터 (21) 를 구동시켜, 상측 유지 부재 (22) 와 하측 유지 부재 (32) 에 의한 접착 시트 (AS) 의 유지를 해제한다. 그 후, 작업자 또는 도시되지 않은 반송 수단이, 하측 유지 부재 (32) 상에 남겨진 접착 시트 (AS) 부분을 제거하면, 각 수단이 각각의 구동 기기를 구동시켜, 각 부재를 초기 위치로 복귀시키고, 이후 상기 동일한 동작이 반복된다.After that, the cutting unit 80 drives the articulated robot 81 to pierce the cutter blade 83 into the adhesive sheet AS as shown in FIG. 3(C), and then the cutter blade 83 circumferentially along the outer edge of the entire adherend CP to cut the adhesive sheet AS, to which the gap maintaining member DM is mounted, and the adherend CP on the adhesive sheet AS to widen the distance between each other. (WK) is formed. Next, when the cutting means 80 drives the articulated robot 81 to return the cutter blade 83 to the initial position, the holding member mounting means 70 stops driving the decompression means (not shown), The adsorption retention of the holding member DM is released. Then, when an operator or conveying means (not shown) conveys the integral object WK to another process, the holding means 20 drives the rotation motor 21 to move the upper holding member 22 and the lower holding member 32 The holding of the adhesive sheet AS by is released. After that, when an operator or an unshown conveying means removes the portion of the adhesive sheet (AS) left on the lower holding member 32, each means drives each driving device to return each member to its initial position. , and then the same operation is repeated.

이상과 같은 이간 장치 (10) 에 의하면, 자외선 (UV) 이 부여됨으로써 경화 가능해진 접착 시트 (AS) 에, 당해 자외선 (UV) 을 부여하여 경화시키므로, 접착 시트 (AS) 에 부여하고 있던 장력을 해제하더라도, 피착체 (CP) 의 상호 간격이 최대한 좁아지지 않도록 할 수 있다.According to the separation device 10 as described above, since the ultraviolet (UV) is applied to the adhesive sheet (AS), which can be cured by applying the ultraviolet (UV), the ultraviolet (UV) is applied to cure it, so that the tension applied to the adhesive sheet (AS) is reduced. Even if it is released, it is possible to prevent the mutual distance between the adherends CP from narrowing as much as possible.

본 발명에 있어서의 수단 및 공정은, 그들 수단 및 공정에 대해 설명한 동작, 기능 또는 공정을 완수할 수 있는 한 조금도 한정되지 않으며, 하물며, 상기 실시형태에서 나타낸 단순한 일 실시형태의 구성물이나 공정에 전혀 한정되지 않는다. 예를 들어, 유지 수단은, 일방의 면과 타방의 면의 적어도 일방에 복수의 피착체가 첩부된 접착 시트의 단부를 유지 가능한 것이면, 출원 당초의 기술 상식에 비추어보아, 그 기술 범위 내의 것이면 조금도 한정되지 않는다 (그 밖의 수단 및 공정도 동일).The means and processes in the present invention are not limited in the slightest as long as they can accomplish the operations, functions, or processes described for those means and processes, much less the components or processes of a simple embodiment shown in the above embodiment. Not limited. For example, as long as the holding means is capable of holding an end portion of an adhesive sheet having a plurality of adherends attached to at least one of one surface and the other surface, in view of the technical common sense at the beginning of the application, if it is within the technical range, it is limited at all. (other means and processes are the same).

본 발명의 이간 장치는, 도 4(A) 에 나타내는 바와 같이, 유지 수단 (20) 과, 접착 시트 (AS) 에 있어서의 복수의 피착체 (CP) 가 첩부된 피착체 접착 영역 (CE) 보다 외측이면서, 유지 수단 (20) 이 유지한 유지 영역 (HE) 의 내측에서 당해 접착 시트 (AS) 에 맞닿는 맞닿음 수단 (90) 과, 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지한 유지 수단 (20) 및 맞닿음 수단 (90) 을 상대 이동시켜, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓히는 이간 수단 (30A) 과, 검지 수단 (40) 과, 제 1 에너지 부여 수단 (50) 과, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓힌 상태로, 접착 시트 (AS) 에 간격 유지 부재 (DM) 를 장착하는 유지 부재 장착 수단 (70A) 과, 절단 수단 (80) 을 구비한 이간 장치 (10A) 로 해도 된다.As shown in FIG. 4(A), the separation device of the present invention has a holding means 20 and a plurality of adherends CP in the adhesive sheet AS than adherend bonding regions CE. Abutting means 90 that abuts against the adhesive sheet AS on the outside and inside of the holding area HE held by the holding means 20, and holding means 20 holding the end of the adhesive sheet AS and a separation means (30A) for relatively moving the contact means (90) to widen a mutual distance between the adherends (CP), the detection means (40), the first energy application means (50), and the adherend (CP ) may be used as a separation device 10A provided with a holding member attaching means 70A for attaching the gap maintaining member DM to the adhesive sheet AS in a state where the mutual spacing between them is widened, and a cutting means 80.

또한, 이간 장치 (10A) 에 있어서, 이간 장치 (10) 와 동등한 구성이고 동등한 기능을 갖는 것은, 당해 이간 장치 (10) 와 동일한 번호를 붙여 그 구성 설명은 생략하고, 동작 설명은 간략화한다.Note that, in the spacer device 10A, those having the same configuration and functions as the spacer device 10 are given the same reference numerals as the spacer device 10, and their configuration descriptions are omitted, and operation descriptions are simplified.

이간 수단 (30A) 은, 베이스 플레이트 (BP) 상에 지지된 구동 기기로서의 직동 모터 (33) 와, 그 출력축 (33A) 에 지지되고, 상면측에서 회동 모터 (21) 를 지지하는 하측 유지 부재 (34) 를 구비하고 있다.The separation means 30A includes a linear motor 33 as a driving device supported on the base plate BP and a lower holding member supported by the output shaft 33A and supporting the rotation motor 21 from the upper surface side ( 34) is provided.

유지 부재 장착 수단 (70A) 은, Y 축 방향으로 이동하는 슬라이더 (73A) 를 구비한 구동 기기로서의 리니어 모터 (73) 의 당해 슬라이더 (73A) 상에, 직동 모터 (71) 를 통해 지지 테이블 (72) 이 지지되어 있다.The holding member mounting means 70A is mounted on the slider 73A of the linear motor 73 as a driving device provided with the slider 73A moving in the Y-axis direction, via the linear motor 71, the support table 72 ) is supported.

맞닿음 수단 (90) 은, 베이스 플레이트 (BP) 상에 지지되고, 전방측에 유지 부재 장착 수단 (70A) 의 출입을 허용하는 절결 (91A) 이 형성된 원통상의 맞닿음 부재 (91) 를 구비하고 있다. 맞닿음 부재 (91) 의 내부에는, 하측 자외선 램프 (52) 를 지지하는 지지 선반 (91B) 이 형성되어 있다.The abutting means 90 is supported on the base plate BP and includes a cylindrical abutting member 91 formed on the front side with a notch 91A allowing the holding member mounting means 70A to come in and out. are doing Inside the abutting member 91, a support shelf 91B for supporting the lower ultraviolet lamp 52 is formed.

이와 같은 이간 장치 (10A) 는, 이간 장치 (10) 와 동일하게 하여 복수의 피착체 (CP) 가 첩부된 접착 시트 (AS) 가 하측 유지 부재 (34) 상에 재치되면, 유지 수단 (20) 이 회동 모터 (21) 를 구동시켜, 도 4(A) 중 2 점 쇄선으로 나타내는 바와 같이, 상측 유지 부재 (22) 와 하측 유지 부재 (34) 에 의해 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지한다. 또한, 간격 유지 부재 (DM) 는, 맞닿음 부재 (91) 의 외측 (전방측) 에 위치하는 지지 테이블 (72) 상에 이간 장치 (10) 와 동일하게 하여 재치된다. 또, 접착 시트 (AS) 의 단부에는, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 링상의 프레임 (RF) 이 첩부되어 있지만, 당해 프레임 (RF) 은 없어도 된다. 이어서, 이간 수단 (30A) 이 직동 모터 (33) 를 구동시켜, 유지 수단 (20) 을 하강시켜서 유지 수단 (20) 및 맞닿음 수단 (90) 을 상대 이동시켜, 도 4(B) 에 나타내는 바와 같이, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓힌다. 그 후, 이간 장치 (10) 와 동일하게 하여, 제 1 에너지 부여 수단 (50) 에 의해 자외선 (UV) 을 부여하여 접착 시트 (AS) 를 경화시킨 후, 유지 부재 장착 수단 (70A) 이 리니어 모터 (73) 를 구동시켜, 상호 간격이 넓혀진 피착체 (CP) 의 하방에 간격 유지 부재 (DM) 를 배치한다. 그리고, 이간 장치 (10) 와 동일하게 하여, 도 4(B) 에 나타내는 바와 같이, 유지 부재 장착 수단 (70A) 에 의해 접착 시트 (AS) 의 타방의 면 (AS2) 측에 간격 유지 부재 (DM) 를 장착하고, 절단 수단 (80) 에 의해 접착 시트 (AS) 를 절단한 후, 일체물 (WK) 을 다른 공정으로 반송한다.Such a separation device 10A is similar to the separation device 10, and when the adhesive sheet AS to which a plurality of adherends CP is affixed is placed on the lower holding member 34, the holding means 20 By driving this rotation motor 21, the upper holding member 22 and the lower holding member 34 hold the ends of the adhesive sheet AS as shown by the two-dot chain line in FIG. 4 (A). In addition, the space keeping member DM is mounted on the support table 72 located on the outside (front side) of the abutting member 91 in the same manner as the spacer 10 . Further, as shown in Fig. 4, a ring-shaped frame RF is attached to the edge of the adhesive sheet AS, but the frame RF may not be present. Next, the separation means 30A drives the linear motor 33 to lower the holding means 20 to relatively move the holding means 20 and the contact means 90, as shown in Fig. 4(B). Likewise, the mutual distance between the adherends CP is widened. Then, in the same way as the spacer device 10, ultraviolet rays (UV) are applied by the first energy application means 50 to cure the adhesive sheet AS, and then the holding member attachment means 70A is operated by the linear motor. 73 is driven, and space keeping member DM is arrange|positioned below the adherend CP with mutually widened space|interval. Then, similarly to the separation device 10, as shown in FIG. 4(B), a space keeping member DM is attached to the other surface AS2 side of the adhesive sheet AS by the holding member attachment means 70A. ) is attached, and the adhesive sheet AS is cut by the cutting means 80, and then the integral body WK is conveyed to another step.

이와 같은 이간 장치 (10A) 에 의해서도, 이간 장치 (10) 와 동일한 효과를 얻을 수 있다.Even with such a separation device 10A, the same effect as that of the separation device 10 can be obtained.

유지 수단 (20) 은, 타방의 면 (AS2) 이나, 일방의 면 (AS1) 및 타방의 면 (AS2) 의 양방의 면에 복수의 피착체 (CP) 가 첩부된 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지하는 구성이어도 되고, 메커니컬 척이나 척 실린더 등의 파지 수단, 쿨롱력, 접착제, 점착제, 자력, 베르누이 흡착, 구동 기기 등에 의해 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지하는 구성이어도 된다.The holding means 20 is an end portion of an adhesive sheet AS having a plurality of adherends CP attached to the other surface AS2 or to both surfaces of one surface AS1 and the other surface AS2. may be configured to hold the adhesive sheet AS, or a configuration may be used to hold the ends of the adhesive sheet AS by means of gripping means such as mechanical chucks or chuck cylinders, Coulomb force, adhesives, adhesives, magnetic forces, Bernoulli adsorption, driving devices, and the like.

유지 수단 (20) 은, 이간 장치 (10) 의 경우, 예를 들어, 우방으로 이동하는 당해 유지 수단 (20) 을 1 체로 하고, 좌방으로 이동하는 당해 유지 수단 (20) 을 1 체로 한 2 체로 구성해도 되고, 예를 들어, 우방, 좌방 및 그 밖의 방향으로 이동하는 3 체 이상으로 구성해도 된다.In the case of the spacer device 10, the holding means 20 is, for example, two bodies in which the holding means 20 moving rightward is made one body and the holding means 20 moving leftward is made one body. You may configure it, and you may configure it with three or more bodies which move to the right, left, and other directions, for example.

유지 수단 (20) 은, 이간 장치 (10A) 의 경우, 1 체여도 되고 2 체 이상이어도 된다.In the case of the separation device 10A, the holding means 20 may be one body or may be two or more bodies.

이간 수단 (30, 30A) 은, 복수가 아니라 단수여도 되고, 이 경우, 예를 들어, 이간 장치 (10) 는, 1 체의 리니어 모터의 2 개의 슬라이더에 의해, 유지 수단 (20) 을 각각 1 체씩 지지하여, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓히는 구성으로 하고, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 1 축 방향 (예를 들어, X 축 방향 또는 Y 축 방향등) 으로만 넓히는 구성으로 해도 된다.The separation means 30, 30A may be singular rather than plural, and in this case, the separation device 10, for example, each holds the holding means 20 by two sliders of one linear motor. A configuration in which the mutual distance between the adherends CP is widened by supporting one body at a time, and the mutual distance between the adherends CP is widened only in one axial direction (for example, the X-axis direction or the Y-axis direction). You can do it.

이간 수단 (30) 은, 상호 간격을 3 축 이상의 방향 (예를 들어, X 축 방향, Y 축 방향 및 그 밖의 축 방향) 으로 넓히는 구성이어도 되고, 예를 들어, X 축 방향으로 이동시킨 복수의 유지 수단 (20) 을 각각 Y 축 방향으로 이동시키는 구성 (Y 축 방향으로 이동시킨 복수의 유지 수단 (20) 을 각각 X 축 방향으로 이동시키는 구성) 으로 하여, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓혀도 되고, 피착체 (CP) 의 상호 간격이 소정 간격이 되도록 작동할 수 없는 구성, 또는, 각 피착체 (CP) 의 전체적인 집합 형상이 원래의 전체적인 집합 형상에 대하여 상사 관계가 되도록 작동할 수 없는 구성이어도 된다.Separation means 30 may be configured to widen the mutual spacing in three or more axial directions (eg, X-axis direction, Y-axis direction, and other axial directions), for example, a plurality of In a configuration in which the holding means 20 are each moved in the Y-axis direction (a configuration in which a plurality of holding means 20 moved in the Y-axis direction are respectively moved in the X-axis direction), the mutual distance between the adherends CP is reduced. It may be widened, and a configuration that cannot operate so that the mutual distance of adherends CP becomes a predetermined interval, or a configuration that cannot be operated so that the overall aggregate shape of each adherend CP is in a similar relationship to the original overall aggregate shape There may be no configuration.

이간 수단 (30A) 은, 유지 수단 (20) 을 정지 또는 이동시키면서, 맞닿음 수단 (90) 을 이동시킴으로써, 유지 수단 (20) 및 맞닿음 수단 (90) 을 상대 이동시켜, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓혀도 된다.The separation means 30A moves the abutting means 90 while the holding means 20 is stopped or moved, thereby relatively moving the holding means 20 and the abutting means 90 so as to move the adherend CP You may widen the mutual distance between .

이간 수단 (30, 30A) 은, 작업자가 버튼이나 레버 등을 조작하여, 리니어 모터 (31), 직동 모터 (33) 를 구동시켜도 되고, 이 경우, 예를 들어, 검지 수단 (40) 에 의한 검지 결과를 모니터나 검출기 등의 표시기에 표시하도록 구성하여, 이 표시기에 표시되는 검지 결과에 의해 피착체 (CP) 의 상호 간격이 소정 간격이 되도록, 또는, 각 피착체 (CP) 의 전체적인 집합 형상이 원래의 전체적인 집합 형상에 대하여 상사 관계가 되도록, 작업자가 리니어 모터 (31), 직동 모터 (33) 를 구동시켜도 된다.The separation means 30, 30A may be operated by an operator such as a button or a lever to drive the linear motor 31 and the linear motor 33. In this case, for example, detection by the detection means 40 The result is configured to be displayed on a display such as a monitor or detector, and the detection result displayed on the display makes the distance between the adherends CP mutually equal to a predetermined distance, or the overall aggregate shape of the adherends CP is changed. An operator may drive the linear motor 31 and the linear motor 33 so that they may have a similar relationship with respect to the original overall assembly shape.

검지 수단 (40) 은, 작업자의 육안에 의한 관찰이어도 되고, 예를 들어, 작업자가 육안으로 관찰하여, 피착체 (CP) 의 상호 간격이 소정 간격이 되도록, 또는, 각 피착체 (CP) 의 전체적인 집합 형상이 원래의 전체적인 집합 형상에 대하여 상사 관계가 되도록, 버튼이나 레버 등을 조작하여, 리니어 모터 (31), 직동 모터 (33) 를 구동시키도록 구성해도 되고, 본 발명의 이간 장치 (10, 10A) 에 구비되어 있지 않아도 된다.The detection means 40 may be observed by the operator's visual observation, for example, so that the mutual distance between the adherends CP becomes a predetermined interval through visual observation by the operator, or The linear motor 31 and the linear motor 33 may be configured to be driven by operating buttons, levers, etc., so that the overall assembly shape has a similar relationship with the original overall assembly shape, and the separation device 10 of the present invention , 10A) need not be provided.

제 1 에너지 부여 수단 (50) 은, 접착 시트 (AS) 의 일방의 면 (AS1) 측 및 타방의 면 (AS2) 측의 적어도 일방의 면측에 제 1 에너지를 부여하는 구성이어도 되고, 모든 파장의 전자파 (예를 들어 X 선이나 적외선 등), 가열 또는 냉각된 기체나 액체 등의 유체 등을 제 1 에너지로서 접착 시트 (AS) 에 부여하는 것이어도 되고, 접착 시트 (AS) 의 구성에 따라 당해 접착 시트 (AS) 를 경화할 수 있는 제 1 에너지를 부여 가능한 것이면 무엇이든 되고, 상측 케이스 (UC) 내에 1 체 또는 복수 배치되어 있어도 되고, 하측 케이스 (BC) 내에 1 체 또는 복수 배치되어 있어도 되고, 상측 케이스 (UC) 나 하측 케이스 (BC) 내에 배치되어 있지 않아도 되고, 상측 케이스 (UC) 나 하측 케이스 (BC) 자체가 없어도 되고, 접착 시트 (AS) 에 부분적으로 제 1 에너지를 부여하는 구성이어도 되고, 상측, 하측 자외선 램프 (51, 52) 로서, LED (Light Emitting Diode, 발광 다이오드) 램프, 고압 수은 램프, 저압 수은 램프, 메탈 할라이드 램프, 크세논 램프, 할로겐 램프 등 무엇을 채용해도 되고, 그것들을 적절히 조합한 것을 채용해도 된다.The first energy application means 50 may be configured to apply the first energy to at least one surface side of the adhesive sheet AS, one surface AS1 side and the other surface AS2 side, and Electromagnetic waves (eg, X-rays, infrared rays, etc.), heated or cooled fluids such as gas or liquid, etc. may be applied to the adhesive sheet AS as the first energy, depending on the configuration of the adhesive sheet AS. Any material may be used as long as it is capable of imparting the first energy capable of curing the adhesive sheet AS, and may be disposed in one body or in plurality in the upper case UC, or in one body or in plurality in the lower case BC. , A configuration in which the first energy is partially applied to the adhesive sheet AS without needing to be disposed in the upper case UC or the lower case BC, and the upper case UC or the lower case BC itself not required. As the upper and lower ultraviolet lamps 51 and 52, LED (Light Emitting Diode) lamps, high-pressure mercury lamps, low-pressure mercury lamps, metal halide lamps, xenon lamps, halogen lamps, etc. may be used. You may employ what combined them suitably.

제 2 에너지 부여 수단 (60) 은, 접착 시트 (AS) 의 일방의 면 (AS1) 측 및 타방의 면 (AS2) 측의 적어도 일방의 면측에 제 2 에너지를 부여하는 구성이어도 되고, 모든 파장의 전자파 (예를 들어 X 선이나 자외선 등), 가열 또는 냉각된 기체나 액체 등의 유체 등을 제 2 에너지로서 접착 시트 (AS) 에 부여하는 것이어도 되고, 접착 시트 (AS) 의 구성에 따라 당해 접착 시트 (AS) 를 연화할 수 있는 제 2 에너지를 부여 가능한 것이면 무엇이든 되고, 상측 케이스 (UC) 내에 1 체 또는 복수 배치되어 있어도 되고, 하측 케이스 (BC) 내에 1 체 또는 복수 배치되어 있어도 되고, 상측 케이스 (UC) 나 하측 케이스 (BC) 내에 배치되어 있지 않아도 되고, 접착 시트 (AS) 에 전체적으로 제 2 에너지를 부여하는 구성이어도 되고, 적외선 램프 (65) 로서, LED 램프, 고압 수은 램프, 저압 수은 램프, 메탈 할라이드 램프, 크세논 램프, 할로겐 램프 등 무엇을 채용해도 되고, 그것들을 적절히 조합한 것을 채용해도 되고, 본 발명의 이간 장치 (10) 에 구비되어 있지 않아도 된다.The second energy application means 60 may be configured to apply the second energy to at least one surface side of one surface AS1 side and the other surface AS2 side of the adhesive sheet AS. Electromagnetic waves (for example, X-rays, ultraviolet rays, etc.), heated or cooled fluids such as gas or liquid, etc. may be applied to the adhesive sheet AS as the second energy, depending on the configuration of the adhesive sheet AS. Any material may be used as long as it is capable of imparting the second energy capable of softening the adhesive sheet AS, and may be disposed in one body or in plurality in the upper case UC, or in one or in plurality in the lower case BC. , It does not have to be disposed in the upper case UC or the lower case BC, and may have a configuration in which the second energy is applied to the adhesive sheet AS as a whole, and as the infrared lamp 65, an LED lamp, a high-pressure mercury lamp, A low-pressure mercury lamp, a metal halide lamp, a xenon lamp, a halogen lamp, or the like may be employed, or an appropriate combination thereof may be employed, or the separation device 10 of the present invention may not be provided.

유지 부재 장착 수단 (70, 70A) 은, 메커니컬 척이나 척 실린더 등의 파지 수단, 쿨롱력, 접착제, 점착제, 자력, 베르누이 흡착, 구동 기기 등에 의해 간격 유지 부재 (DM) 를 지지하는 구성이어도 되고, 본 발명의 이간 장치 (10, 10A) 에 구비되어 있지 않아도 되고, 이와 같이, 유지 부재 장착 수단 (70, 70A) 이 구비되어 있지 않더라도, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓힌 상태로 접착 시트 (AS) 가 경화되어 있으므로, 접착 시트 (AS) 에 부여하고 있던 장력을 해제하더라도, 피착체의 상호 간격이 최대한 좁아지지 않도록 할 수 있다.The retaining member mounting means 70, 70A may have a configuration for supporting the spacer DM by means of gripping means such as mechanical chucks or chuck cylinders, Coulomb force, adhesives, adhesives, magnetic force, Bernoulli adsorption, driving devices, etc. It is not necessary to be provided in the spacer devices 10 and 10A of the present invention, and in this way, even if the holding member attachment means 70 and 70A are not provided, the adhesive sheet ( Since AS) is cured, even if the tension applied to the adhesive sheet AS is released, the distance between the adherends can be prevented from narrowing as much as possible.

유지 부재 장착 수단 (70, 70A) 은, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓힌 상태의 접착 시트 (AS) 의 일방의 면 (AS1) 이나 타방의 면 (AS2) 에, 환상 또는 환상이 아닌 간격 유지 부재 (DM) 를 장착해도 되고, 접착 시트 (AS) 에 제 1 에너지를 부여한 후, 부여하기 전, 부여와 동시에, 당해 접착 시트 (AS) 에 간격 유지 부재 (DM) 를 장착해도 된다.The holding member mounting means 70, 70A is provided with an annular or non-annular gap on one surface AS1 or the other surface AS2 of the adhesive sheet AS in a state where the distance between the adherends CP is widened. The holding member DM may be attached, or the space keeping member DM may be attached to the adhesive sheet AS after applying the first energy to the adhesive sheet AS, before applying the first energy, or simultaneously with application.

절단 수단 (80) 은, 커터날 (83) 대신에, 레이저 커터, 이온 빔, 화력, 열, 수압, 전열선, 기체나 액체 등의 분사 등을 절단 부재로서 채용하거나, 적절한 구동 기기를 조합한 것에 의해 절단 부재를 이동시켜 절단하도록 하거나 해도 되고, 본 발명의 이간 장치 (10, 10A) 에 구비되어 있지 않아도 된다.Instead of the cutter blade 83, the cutting means 80 employs a laser cutter, ion beam, thermal power, heat, water pressure, electric heating wire, jet of gas or liquid, etc. as a cutting member, or a combination of an appropriate driving device. The cutting member may be moved and cut by this, or the separation device 10, 10A of the present invention does not need to be equipped with.

맞닿음 수단 (90) 은, 각통상이나 타원통상 등의 이외에, 원주, 각주, 타원주 등의 다른 형상의 맞닿음 부재 (91) 를 채용해도 된다.For the abutting means 90, an abutting member 91 having a different shape such as a cylinder, a prism, an ellipse, or the like may be employed in addition to a rectangular cylinder or an elliptical cylinder.

이간 장치 (10A) 는, 제 2 에너지 부여 수단 (60) 을 구비하고 있어도 되고, 유지 부재 장착 수단 (70A) 을 맞닿음 부재 (91) 의 내부에 배치하고, 당해 유지 부재 장착 수단 (70A) 이 맞닿음 부재 (91) 의 내부에 출입하지 않는 구성으로 해도 되고, 이 경우, 유지 부재 장착 수단 (70A) 은, 리니어 모터 (73) 가 없어도 되고, 맞닿음 부재 (91) 는 절결 (91A) 이 없어도 된다.The spacer 10A may include a second energy application means 60, and the holding member attachment means 70A is disposed inside the abutting member 91, and the holding member attachment means 70A is It is good also as a structure which does not go in and out of the inside of the abutting member 91, in this case, the holding member attachment means 70A does not need to have the linear motor 73, and the abutting member 91 has notch 91A You don't have to.

간격 유지 부재 (DM) 는, 유리판 (GP) 대신에, 예를 들어, 금속, 수지, 목재, 도기 등의 부재를 채용해도 되고, 양면 접착 시트 (BA) 대신에, 접착제, 젖음성, 자착 (磁着), 흡착, 베르누이 흡착 등에 의해 접착 시트에 장착하도록 해도 되고, 외연부가 그 밖의 영역보다 두께가 크게 형성된 컵 형상이나 냄비 형상의 것이어도 되고, 그 자체를 접착 시트 (AS) 또는 접착 시트 (AS) 와는 상이한 다른 접착 시트로 구성해도 되고, 접착 시트 (AS) 가 변형 전의 상태에 가까워지려고 하는 힘을 이겨내는 강성을 구비한 것이면 무엇이든 되고, 형상도 어떠한 형상이어도 된다.For the space keeping member DM, instead of the glass plate GP, for example, a member such as metal, resin, wood, pottery, etc. may be employed, and instead of the double-sided adhesive sheet BA, an adhesive, wettability, self-adhesion may be employed. It may be attached to the adhesive sheet by adsorption, adsorption, Bernoulli adsorption, etc., or may be cup-shaped or pot-shaped in which the outer edge portion is thicker than the other regions, and the adhesive sheet itself is an adhesive sheet (AS) or an adhesive sheet (AS ) may be constituted by another adhesive sheet different from that of the adhesive sheet AS, any material may be used as long as the adhesive sheet AS has the rigidity to overcome the force to bring it closer to the state before deformation, and the shape may be any shape.

본 발명에 있어서의 접착 시트 (AS), 양면 접착 시트 (BA), 다른 접착 시트 및 피착체 (CP) 의 재질, 종별, 형상 등은 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어, 접착 시트 (AS) 는, 제 1 에너지가 부여됨으로써 경화되는 것이면 조금도 한정되지 않는다. 또한, 접착 시트 (AS), 양면 접착 시트 (BA) 및 다른 접착 시트는, 예를 들어, 원형, 타원형, 삼각형이나 사각형 등의 다각형, 그 밖의 형상이어도 되고, 감압 접착성, 감열 접착성 등의 접착 형태의 것이어도 되고, 감열 접착성인 것이 채용된 경우에는, 그것을 가열하는 적절한 코일 히터나 히트 파이프의 가열측 등의 가열 수단을 형성하는 것과 같은 적절한 방법으로 접착되면 된다. 또, 접착 시트 (AS) 는, 제 2 에너지가 부여됨으로써 연화되지 않는 것이어도 된다. 또한, 접착 시트 (AS) 및 다른 접착 시트는, 예를 들어, 접착제층만의 단층인 것, 기재와 접착제층 사이에 중간층을 갖는 것, 기재의 상면에 커버층을 갖는 등 3 층 이상인 것, 또는, 기재를 접착제층으로부터 박리할 수 있는 소위 양면 접착 시트와 같은 것이어도 되고, 그러한 양면 접착 시트나 양면 접착 시트 (BA) 는, 단층 또는 복층의 중간층을 갖는 것이나, 중간층이 없는 단층 또는 복층의 것이어도 된다. 또, 피착체 (CP) 로는, 예를 들어, 식품, 수지 용기, 실리콘 반도체 웨이퍼나 화합물 반도체 웨이퍼 등의 반도체 웨이퍼, 반도체 칩, 회로 기판, 광 디스크 등의 정보 기록 기판, 유리판, 강판, 도기, 목판 또는 수지 등의 단체물이어도 되고, 그들 2 개 이상으로 형성된 복합물이어도 되고, 임의의 형태의 부재나 물품 등도 대상으로 할 수 있다. 또한, 접착 시트 (AS) 는, 기능적, 용도적인 이해법으로 바꾸어, 예를 들어, 정보 기재용 라벨, 장식용 라벨, 보호 시트, 다이싱 테이프, 다이 어태치 필름, 다이 본딩 테이프, 기록층 형성 수지 시트 등의 임의의 시트, 필름, 테이프 등이어도 된다.The material, type, shape, etc. of the adhesive sheet (AS), the double-sided adhesive sheet (BA), the other adhesive sheet, and the adherend (CP) in the present invention are not particularly limited. For example, the adhesive sheet AS is not limited at all as long as it is cured by applying the first energy. Further, the adhesive sheet (AS), the double-sided adhesive sheet (BA), and other adhesive sheets may have, for example, a circular shape, an elliptical shape, a polygonal shape such as a triangle or a quadrangle, or other shapes, and have pressure-sensitive adhesive properties, thermal adhesive properties, and the like. It may be of an adhesive type, or if a heat-sensitive adhesive is employed, it may be bonded by an appropriate method such as providing a heating means such as an appropriate coil heater for heating it or the heating side of a heat pipe. Further, the adhesive sheet AS may not be softened by application of the second energy. In addition, the adhesive sheet (AS) and other adhesive sheets are, for example, three or more layers, such as a single layer of adhesive layer, an intermediate layer between the substrate and the adhesive layer, and a cover layer on the upper surface of the substrate, or , It may be something like a so-called double-sided adhesive sheet capable of peeling the base material from the adhesive layer, and such a double-sided adhesive sheet or double-sided adhesive sheet (BA) has a single layer or a multi-layer intermediate layer, or a single layer or multi-layer layer without an intermediate layer. It can be done. In addition, as the adherend CP, for example, food, resin containers, semiconductor wafers such as silicon semiconductor wafers and compound semiconductor wafers, semiconductor chips, circuit boards, information recording substrates such as optical disks, glass plates, steel plates, pottery, It may be a single object such as a woodblock or resin, or a composite formed of two or more thereof, and members or articles of any shape can be targeted. In addition, the adhesive sheet AS is changed to a functional and application-oriented understanding method, for example, an information label, a decorative label, a protective sheet, a dicing tape, a die-attach film, a die-bonding tape, and a recording layer forming resin. It may be an arbitrary sheet such as a sheet, a film, a tape, or the like.

피착체 (CP) 는, 미리 접착 시트 (AS) 상에서 복수 존재하고 있어도 되고, 이간 수단 (30, 30A) 에 의해 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여한 시점에서 개편화되어, 접착 시트 (AS) 상에 복수 존재하게 되는 것이어도 된다. 이와 같은 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여한 시점에서 복수 존재하게 되는 피착체 (CP) 로는, 예를 들어, 반도체 웨이퍼에 레이저를 조사하여, 당해 반도체 웨이퍼에 선상이나 격자상 등의 취약한 취약 라인을 형성해 두고, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여한 시점에서 개편화되어, 복수의 피착체 (CP) 가 되는 것이나, 예를 들어, 수지나 유리판에 커터날로 잘라, 당해 수지나 유리판에 선상이나 격자상 등의 표리를 관통하지 않는 절단 예정 라인이나, 절취선의 절단 예정 라인 등을 형성해 두고, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여한 시점에서 복수의 피착체 (CP) 가 되는 것 등, 조금도 한정되는 것은 아니다.A plurality of adherends CP may exist in advance on the adhesive sheet AS, and are separated into pieces when tension is applied to the adhesive sheet AS by the separation means 30, 30A, and on the adhesive sheet AS. It may be that a plurality exists in . As a plurality of adherends CP that exist when tension is applied to such an adhesive sheet AS, for example, a semiconductor wafer is irradiated with a laser to form brittle lines, such as a linear shape or a lattice shape, on the semiconductor wafer. formed, and separated into pieces at the time of applying tension to the adhesive sheet AS to form a plurality of adherends CP; It is not limited at all, such as forming a line to be cut that does not penetrate the front and back of the back, a line to be cut of a perforation line, etc., and becoming a plurality of adherends CP when tension is applied to the adhesive sheet AS. .

상기 실시형태에 있어서의 구동 기기는, 회동 모터, 직동 모터, 리니어 모터, 단축 로봇, 다관절 로봇 등의 전동 기기, 에어 실린더, 유압 실린더, 로드리스 실린더 및 로터리 실린더 등의 액추에이터 등을 채용할 수 있을 뿐 아니라, 그것들을 직접적 또는 간접적으로 배합한 것을 채용할 수도 있다.As the drive device in the above embodiment, electric devices such as rotary motors, linear motors, linear motors, single-axis robots and articulated robots, actuators such as air cylinders, hydraulic cylinders, rodless cylinders and rotary cylinders, etc. can be employed. Not only that, but it is also possible to employ those directly or indirectly blended.

10, 10A … 이간 장치
20 … 유지 수단
30, 30A … 이간 수단
50 … 제 1 에너지 부여 수단
60 … 제 2 에너지 부여 수단
70, 70A … 유지 부재 장착 수단
80 … 절단 수단
90 … 맞닿음 수단
AS … 접착 시트
AS1 … 일방의 면
CE … 피착체 접착 영역
CP … 피착체
HE … 유지 영역
DM … 간격 유지 부재
IR … 적외선 (다른 에너지)
UV … 자외선 (소정의 에너지)10, 10A... alienation device
20 … means of maintenance
30, 30A... alienation means
50 … First energy imparting means
60 … Second energy imparting means
70, 70A... Retaining member mounting means
80 … means of cutting
90 … abutting means
AS... adhesive sheet
AS1 … one side
CE... Adhesion area of adherend
CP … adherend
HE... holding area
DM... Absence of spacing
IR... Infrared (different energy)
UV... UV light (certain energy)

Claims (7)

일방의 면에만 복수의 피착체가 첩부된 접착 시트의 단부를 유지하는 복수의 유지 수단과,
상기 접착 시트의 단부를 유지한 상기 유지 수단을, 대향하는 유지 수단이 서로 이간되는 방향으로 이동시켜, 상기 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 수단을 구비하고,
상기 접착 시트는, 소정의 에너지가 부여됨으로써 경화 가능해지고,
상기 이간 수단에 의해 상기 피착체의 상호 간격을 넓힌 상태의 상기 접착 시트에, 상기 소정의 에너지를 부여함으로써 당해 접착 시트를 경화시키는 제 1 에너지 부여 수단과,
상기 접착 시트가 변형 전의 상태에 가까워지려고 하는 힘을 이겨내는 강성을 구비하고, 상기 피착체의 상호 간격을 넓힌 상태의 상기 접착 시트의 타방의 면에만 맞닿고, 간격이 넓혀진 상기 피착체의 상호 간격을 유지하는 간격 유지 부재를 장착하는 유지 부재 장착 수단을 추가로 구비하고,
상기 유지 부재 장착 수단은, 상호 간격이 넓혀진 상기 피착체에 대응되는 상기 접착 시트의 타방의 면에 상기 간격 유지 부재를 장착하는 것을 특징으로 하는 이간 장치.A plurality of holding means for holding an end portion of the adhesive sheet having a plurality of adherends attached only to one surface;
a spacer means for moving the holding means holding the end of the adhesive sheet in a direction in which opposing holding means are spaced apart from each other to widen a mutual distance between the adherends;
The adhesive sheet can be cured by applying a predetermined energy,
a first energy imparting means for curing the adhesive sheet by applying the predetermined energy to the adhesive sheet in a state where the adherends are spaced apart from each other by the separation means;
The adhesive sheet has rigidity to overcome a force that tends to approach the state before deformation, and only comes into contact with the other surface of the adhesive sheet in a state in which the mutual distance between the adherends is widened, and the mutual distance between the adherends is widened. Further comprising a retaining member mounting means for mounting a gap retaining member holding the
The separation device according to claim 1, wherein the holding member attaching means attaches the space keeping member to the other surface of the adhesive sheet corresponding to the adherend with a mutually widened space. 일방의 면에만 복수의 피착체가 첩부된 접착 시트의 단부를 유지하는 유지 수단과,
상기 접착 시트에 있어서의 상기 복수의 피착체가 첩부된 피착체 접착 영역보다 외측이면서, 상기 유지 수단이 유지한 유지 영역의 내측에서 당해 접착 시트에 맞닿는 맞닿음 수단과,
상기 접착 시트의 단부를 유지한 상기 유지 수단 및 맞닿음 수단을 상대 이동시킴으로써, 상기 접착 시트를 변형시켜 상기 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 수단을 구비하고,
상기 접착 시트는, 소정의 에너지가 부여됨으로써 경화 가능해지고,
상기 이간 수단에 의해 상기 피착체의 상호 간격을 넓힌 상태의 상기 접착 시트에, 상기 소정의 에너지를 부여함으로써 당해 접착 시트를 경화시키는 제 1 에너지 부여 수단과,
상기 접착 시트가 변형 전의 상태에 가까워지려고 하는 힘을 이겨내는 강성을 구비하고, 상기 피착체의 상호 간격을 넓힌 상태의 상기 접착 시트의 타방의 면에만 맞닿고, 간격이 넓혀진 상기 피착체의 상호 간격을 유지하는 간격 유지 부재를 장착하는 유지 부재 장착 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 이간 장치.Holding means for holding an end portion of an adhesive sheet having a plurality of adherends attached only to one surface;
Abutting means for abutting the adhesive sheet at an outside of an adherend bonding region to which the plurality of adherends in the adhesive sheet are affixed, and inside the holding region held by the holding means;
a separating means for deforming the adhesive sheet and widening a mutual distance between the adherends by relatively moving the holding means and the abutting means holding the ends of the adhesive sheet;
The adhesive sheet can be cured by applying a predetermined energy,
a first energy imparting means for curing the adhesive sheet by applying the predetermined energy to the adhesive sheet in a state where the adherends are spaced apart from each other by the separation means;
The adhesive sheet has rigidity to overcome a force that tends to approach the state before deformation, and only comes into contact with the other side of the adhesive sheet in a state in which the mutual distance between the adherends is widened, and the mutual distance between the adherends is widened. A separation device characterized in that it is provided with holding member mounting means for attaching a space keeping member holding the . 일방의 면에만 복수의 피착체가 첩부된 접착 시트의 단부를 복수의 유지 수단에 의해 유지하는 유지 공정과,
상기 접착 시트의 단부를 유지한 상기 유지 수단을, 대향하는 유지 수단이 서로 이간되는 방향으로 이동시켜, 상기 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 공정을 갖고,
상기 접착 시트는, 소정의 에너지가 부여됨으로써 경화 가능해지고,
상기 이간 공정에서 상기 피착체의 상호 간격을 넓힌 상태의 상기 접착 시트에, 상기 소정의 에너지를 부여함으로써 당해 접착 시트를 경화시키는 제 1 에너지 부여 공정과,
상기 접착 시트가 변형 전의 상태에 가까워지려고 하는 힘을 이겨내는 강성을 구비하고, 상기 피착체의 상호 간격을 넓힌 상태의 상기 접착 시트의 타방의 면에만 맞닿고, 간격이 넓혀진 상기 피착체의 상호 간격을 유지하는 간격 유지 부재를 장착하는 유지 부재 장착 공정을 갖고,
상기 유지 부재 장착 공정은, 상호 간격이 넓혀진 상기 피착체에 대응되는 상기 접착 시트의 타방의 면에 상기 간격 유지 부재를 장착하는 것을 특징으로 하는 이간 방법.A holding step of holding an end portion of an adhesive sheet having a plurality of adherends attached only to one surface by a plurality of holding means;
a separation step of moving the holding means holding the ends of the adhesive sheet in a direction in which opposing holding means are spaced apart from each other to widen a mutual distance between the adherends;
The adhesive sheet can be cured by applying a predetermined energy,
a first energy application step of hardening the adhesive sheet by applying the predetermined energy to the adhesive sheet in a state in which the adherends are spaced apart from each other in the separation step;
The adhesive sheet has rigidity to overcome a force that tends to approach the state before deformation, and only comes into contact with the other surface of the adhesive sheet in a state in which the mutual distance between the adherends is widened, and the mutual distance between the adherends is widened. A holding member mounting step of mounting a gap holding member holding the
The separation method characterized in that in the holding member attaching step, the space keeping member is attached to the other surface of the adhesive sheet corresponding to the adherend with a mutually widened distance. 일방의 면에만 복수의 피착체가 첩부된 접착 시트의 단부를 유지 수단에 의해 유지하는 유지 공정과,
상기 접착 시트에 있어서의 상기 복수의 피착체가 첩부된 피착체 접착 영역보다 외측이면서, 상기 유지 수단이 유지한 유지 영역의 내측에서 당해 접착 시트에 맞닿는 맞닿음 수단 및, 상기 접착 시트의 단부를 유지한 상기 유지 수단을 상대 이동시킴으로써, 상기 접착 시트를 변형시켜 상기 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 공정을 갖고,
상기 접착 시트는, 소정의 에너지가 부여됨으로써 경화 가능해지고,
상기 이간 공정에서 상기 피착체의 상호 간격을 넓힌 상태의 상기 접착 시트에, 상기 소정의 에너지를 부여함으로써 당해 접착 시트를 경화시키는 제 1 에너지 부여 공정과,
상기 접착 시트가 변형 전의 상태에 가까워지려고 하는 힘을 이겨내는 강성을 구비하고, 상기 피착체의 상호 간격을 넓힌 상태의 상기 접착 시트의 타방의 면에만 맞닿고, 간격이 넓혀진 상기 피착체의 상호 간격을 유지하는 간격 유지 부재를 장착하는 유지 부재 장착 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 이간 방법.A holding step of holding an end portion of an adhesive sheet having a plurality of adherends attached only to one side thereof by a holding means;
Abutting means for contacting the adhesive sheet outside the adherend bonding region to which the plurality of adherends in the adhesive sheet are attached and inside the holding region held by the holding means, and holding an end portion of the adhesive sheet a separation step of deforming the adhesive sheet and widening a mutual distance between the adherends by relatively moving the holding means;
The adhesive sheet can be cured by applying a predetermined energy,
a first energy application step of hardening the adhesive sheet by applying the predetermined energy to the adhesive sheet in a state in which the adherends are spaced apart from each other in the separation step;
The adhesive sheet has rigidity to overcome a force that tends to approach the state before deformation, and only comes into contact with the other surface of the adhesive sheet in a state in which the mutual distance between the adherends is widened, and the mutual distance between the adherends is widened. A separation method characterized by having a holding member attaching step of attaching a gap holding member holding the . 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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