KR20180119137A - 처리 장치, 이상 검지 방법 및 기억 매체 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 유로 개폐부의 이상을 검지하는 것이다. 실시 형태의 일 형태에 관한 처리 장치는, 챔버와, 노즐과, 유량 측정부와, 유로 개폐부와, 제어부를 구비한다. 챔버는, 피처리체를 수용한다. 노즐은, 챔버 내에 설치되어, 피처리체를 향해서 처리액을 공급한다. 유량 측정부는, 노즐에 공급되는 처리액의 유량을 측정한다. 유로 개폐부는, 노즐에 대한 처리액의 공급 유로의 개폐를 행한다. 제어부는, 유로 개폐부에 대하여, 공급 유로를 폐쇄하는 폐쇄 동작을 행하게 하는 폐쇄 신호를 출력한다. 또한, 제어부는, 폐쇄 신호의 출력 후에 유량 측정부에 의해 측정된 유량의 적산량에 기초하여, 유로 개폐부의 동작 이상을 검지한다.

Description

처리 장치, 이상 검지 방법 및 기억 매체{PROCESSING APPARATUS, ABNORMALITY DETECTION METHOD, AND STORAGE MEDIUM}

개시의 실시 형태는, 처리 장치, 이상 검지 방법 및 기억 매체에 관한 것이다.

반도체 제조 프로세스의 공정의 하나로, 반도체 웨이퍼나 유리 기판 등의 기판에 처리액을 공급함으로써 기판을 처리하는 액 처리 공정이 있다.

액 처리 공정은, 처리액 공급원에 공급로를 거쳐서 접속된 노즐을 기판의 상방에 배치시켜, 처리액 공급원으로부터 공급되는 처리액을 노즐로부터 토출함으로써 행해진다. 공급로에는 밸브가 설치되어 있고, 이러한 밸브를 개폐함으로써 노즐로부터의 처리액의 토출 상태의 전환이 행해진다.

공급로에 설치되는 밸브로서, 에어 공급관으로부터 공급되는 공기의 압력에 의해 밸브체를 개폐하는 에어 오퍼레이트 밸브가 사용되는 경우가 있다. 에어 오퍼레이트 밸브는, 에어 공급관에 설치된 스피드 컨트롤러를 조정함으로써, 밸브체의 개폐 속도를 조정하는 것이 가능하다(특허문헌 1 참조).

일본 특허 공개 제2003-218022호 공보

그러나, 밸브에 고장이나 이물 혼입 등이 발생한 경우, 밸브로부터 처리액이 누설되어 노즐로부터 처리액이 흘러내릴 우려가 있다. 또한, 밸브 자체가 정상이어도, 스피드 컨트롤러의 조정에 어긋남이 발생함으로써, 예를 들어 공급로 내에서 처리액이 도중에 끊어지는 이상이 발생할 우려가 있다.

이러한 과제는, 기판 처리 장치에 한하지 않고, 피처리체에 대하여, 처리액을 공급함으로써 피처리체를 처리하는 처리 장치 전반에 공통되는 과제이다.

실시 형태의 일 형태는, 밸브나 스피드 컨트롤러와 같은 유로 개폐부의 이상을 검지할 수 있는 처리 장치, 이상 검지 방법 및 기억 매체를 제공하는 것을 목적으로 한다.

실시 형태의 일 형태에 관한 처리 장치는, 챔버와, 노즐과, 유량 측정부와, 유로 개폐부와, 제어부를 구비한다. 챔버는, 피처리체를 수용한다. 노즐은, 챔버 내에 설치되어, 피처리체를 향해서 처리액을 공급한다. 유량 측정부는, 노즐에 공급되는 처리액의 유량을 측정한다. 유로 개폐부는, 노즐에 대한 처리액의 공급 유로의 개폐를 행한다. 제어부는, 유로 개폐부에 대하여, 공급 유로를 폐쇄하는 폐쇄 동작을 행하게 하는 폐쇄 신호를 출력한다. 또한, 제어부는, 폐쇄 신호의 출력 후에 유량 측정부에 의해 측정된 유량의 적산량에 기초하여, 유로 개폐부의 동작 이상을 검지한다.

실시 형태의 일 형태에 의하면, 유로 개폐부의 이상을 검지할 수 있다.

도 1은 본 실시 형태에 따른 기판 처리 시스템의 개략 구성을 도시하는 도면이다.
도 2는 처리 유닛의 개략 구성을 도시하는 도면이다.
도 3은 처리 유체 공급부의 구성의 일례를 도시하는 도면이다.
도 4는 제2 개폐부가 폐쇄되는 속도와 노즐 내의 처리액의 관계를 도시하는 도면이다.
도 5는 제어 장치의 구성의 일례를 나타내는 블록도이다.
도 6은 제1 감시 처리 및 제2 감시 처리의 실행 타이밍을 설명하기 위한 도면이다.
도 7a는 유량 측정부의 측정 결과의 시간 변화를 도시하는 도면이다.
도 7b는 유량 측정부의 측정 결과의 시간 변화를 도시하는 도면이다.
도 8은 제1 감시 처리의 수순을 나타내는 흐름도이다.
도 9는 제2 감시 처리의 수순을 나타내는 흐름도이다.
도 10은 제2 실시 형태에 관한 처리 유체 공급부의 구성의 일례를 도시하는 도면이다.
도 11a는 석백(sack back) 처리 후의 액면 위치의 변형예를 도시하는 도면이다.
도 11b는 석백 처리 후의 액면 위치의 변형예를 도시하는 도면이다.
도 12a는 실제로 누설이 발생한 경우에 있어서의 유량의 시간 변화를 나타내는 도면이다.
도 12b는 누설의 오검지가 발생한 경우에 있어서의 유량의 시간 변화를 나타내는 도면이다.
도 13은 제3 실시 형태에서의 제2 감시 처리의 수순을 나타내는 흐름도를 도시하는 도면이다.
도 14a는 비교 파형의 형상 생성 처리 및 생성된 형상과 누설 파형의 비교 처리의 내용을 설명하기 위한 도면이다.
도 14b는 비교 파형의 형상 생성 처리 및 생성된 형상과 누설 파형의 비교 처리의 내용을 설명하기 위한 도면이다.
도 15a는 실제로 누설이 발생한 경우에 있어서의, 비교 파형과 누설 파형의 적산 결과를 도시하는 도면이다.
도 15b는 누설의 오검지가 발생한 경우에 있어서의, 비교 파형과 누설 파형의 적산 결과를 도시하는 도면이다.
도 16은 제4 실시 형태에 관한 자동 조정 처리의 수순을 나타내는 흐름도이다.
도 17은 제5 실시 형태에 관한 처리 유체 공급부의 구성의 일례를 도시하는 도면이다.

이하, 첨부 도면을 참조하여, 본원이 개시하는 처리 장치, 이상 검지 방법 및 기억 매체의 실시 형태를 상세하게 설명한다. 또한, 이하에 기재하는 실시 형태에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하에서는, 피처리체가 기판이며, 처리 장치가 기판 처리 시스템인 경우를 예로 들어 설명을 행한다.

(제1 실시 형태)

먼저, 제1 실시 형태에 대해서 도 1 내지 도 9를 참조하여 설명한다.

도 1은 본 실시 형태에 따른 기판 처리 시스템의 개략 구성을 도시하는 도면이다. 이하에서는, 위치 관계를 명확히 하기 위해서, 서로 직교하는 X축, Y축 및 Z축을 규정하고, Z축 정방향을 연직 상향 방향으로 한다.

도 1에 도시한 바와 같이, 기판 처리 시스템(1)은, 반출입 스테이션(2)과, 처리 스테이션(3)을 구비한다. 반출입 스테이션(2)과 처리 스테이션(3)은 인접해서 설치된다.

반출입 스테이션(2)은, 캐리어 적재부(11)와, 반송부(12)를 구비한다. 캐리어 적재부(11)에는, 복수매의 기판, 본 실시 형태에서는 반도체 웨이퍼(이하, 웨이퍼(W))를 수평 상태로 수용하는 복수의 캐리어(C)가 적재된다.

반송부(12)는, 캐리어 적재부(11)에 인접해서 설치되고, 내부에 기판 반송 장치(13)와, 전달부(14)를 구비한다. 기판 반송 장치(13)는, 웨이퍼(W)를 유지하는 웨이퍼 유지 기구를 구비한다. 또한, 기판 반송 장치(13)는, 수평 방향 및 연직 방향으로의 이동 및 연직축을 중심으로 하는 선회가 가능하여, 웨이퍼 유지 기구를 사용해서 캐리어(C)와 전달부(14)의 사이에서 웨이퍼(W)의 반송을 행한다.

처리 스테이션(3)은, 반송부(12)에 인접해서 설치된다. 처리 스테이션(3)은, 반송부(15)와, 복수의 처리 유닛(16)을 구비한다. 복수의 처리 유닛(16)은, 반송부(15)의 양측에 나란히 배열해서 설치된다.

반송부(15)는, 내부에 기판 반송 장치(17)를 구비한다. 기판 반송 장치(17)는, 웨이퍼(W)를 유지하는 웨이퍼 유지 기구를 구비한다. 또한, 기판 반송 장치(17)는, 수평 방향 및 연직 방향에 대한 이동 및 연직축을 중심으로 하는 선회가 가능하여, 웨이퍼 유지 기구를 사용해서 전달부(14)와 처리 유닛(16)의 사이에서 웨이퍼(W)의 반송을 행한다.

처리 유닛(16)은, 기판 반송 장치(17)에 의해 반송되는 웨이퍼(W)에 대하여 소정의 기판 처리를 행한다.

또한, 기판 처리 시스템(1)은, 제어 장치(4)를 구비한다. 제어 장치(4)는, 예를 들어 컴퓨터이며, 제어부(18)와 기억부(19)를 구비한다. 기억부(19)에는, 기판 처리 시스템(1)에서 실행되는 각종 처리를 제어하는 프로그램이 저장된다. 제어부(18)는, 기억부(19)에 기억된 프로그램을 판독해서 실행함으로써 기판 처리 시스템(1)의 동작을 제어한다.

또한, 이러한 프로그램은, 컴퓨터에 의해 판독 가능한 기억 매체에 기록되어 있었던 것으로서, 그 기억 매체로부터 제어 장치(4)의 기억부(19)에 인스톨된 것이어도 된다. 컴퓨터에 의해 판독 가능한 기억 매체로서는, 예를 들어 하드 디스크(HD), 플렉시블 디스크(FD), 콤팩트 디스크(CD), 마그네트 옵티컬 디스크(MO), 메모리 카드 등이 있다.

상기와 같이 구성된 기판 처리 시스템(1)에서는, 먼저, 반출입 스테이션(2)의 기판 반송 장치(13)가, 캐리어 적재부(11)에 적재된 캐리어(C)로부터 웨이퍼(W)를 취출하고, 취출한 웨이퍼(W)를 전달부(14)에 적재한다. 전달부(14)에 적재된 웨이퍼(W)는, 처리 스테이션(3)의 기판 반송 장치(17)에 의해 전달부(14)로부터 취출되어, 처리 유닛(16)에 반입된다.

처리 유닛(16)에 반입된 웨이퍼(W)는, 처리 유닛(16)에 의해 처리된 후, 기판 반송 장치(17)에 의해 처리 유닛(16)으로부터 반출되어, 전달부(14)에 적재된다. 그리고, 전달부(14)에 적재된 처리가 끝난 웨이퍼(W)는 기판 반송 장치(13)에 의해 캐리어 적재부(11)의 캐리어(C)에 복귀된다.

이어서, 처리 유닛(16)에 대해서 도 2를 참조하여 설명한다. 도 2는, 처리 유닛(16)의 개략 구성을 도시하는 도면이다.

도 2에 도시한 바와 같이, 처리 유닛(16)은, 챔버(20)와, 기판 유지 기구(30)와, 처리 유체 공급부(40)와, 회수 컵(50)을 구비한다.

챔버(20)는, 기판 유지 기구(30)와 처리 유체 공급부(40)와 회수 컵(50)을 수용한다. 챔버(20)의 천장부에는, FFU(Fan Filter Unit)(21)가 설치된다. FFU(21)는, 챔버(20) 내에 다운 플로우를 형성한다.

기판 유지 기구(30)는, 유지부(31)와, 지주부(32)와, 구동부(33)를 구비한다. 유지부(31)는, 웨이퍼(W)를 수평으로 유지한다. 지주부(32)는, 연직 방향으로 연장되는 부재이며, 기단부가 구동부(33)에 의해 회전 가능하게 지지되고, 선단부에 있어서 유지부(31)를 수평으로 지지한다. 구동부(33)는, 지주부(32)를 연직축 주위로 회전시킨다. 이러한 기판 유지 기구(30)는, 구동부(33)를 사용해서 지주부(32)를 회전시킴으로써 지주부(32)에 지지된 유지부(31)를 회전시키고, 이에 의해, 유지부(31)에 유지된 웨이퍼(W)를 회전시킨다.

처리 유체 공급부(40)는, 웨이퍼(W)에 대하여 처리 유체를 공급한다. 처리 유체 공급부(40)는, 처리 유체 공급원(70)에 접속된다.

회수 컵(50)은, 유지부(31)를 둘러싸도록 배치되어, 유지부(31)의 회전에 의해 웨이퍼(W)로부터 비산하는 처리액을 포집한다. 회수 컵(50)의 저부에는, 액체 배출구(51)가 형성되어 있어, 회수 컵(50)에 의해 포집된 처리액은, 이러한 액체 배출구(51)로부터 처리 유닛(16)의 외부로 배출된다. 또한, 회수 컵(50)의 저부에는, FFU(21)로부터 공급되는 기체를 처리 유닛(16)의 외부로 배출하는 배기구(52)가 형성된다.

이어서, 처리 유닛(16)이 구비하는 처리 유체 공급부(40)의 구성에 대해서 도 3을 참조하여 설명한다. 도 3은, 처리 유체 공급부(40)의 구성의 일례를 도시하는 도면이다.

도 3에 도시한 바와 같이, 처리 유체 공급부(40)는, 웨이퍼(W)를 향해서 처리액을 공급하는 노즐(41)과, 노즐(41)과 처리 유체 공급원(70)을 접속하여, 처리 유체 공급원(70)으로부터의 처리액을 노즐(41)에 공급하는 공급 유로(42)를 구비한다. 또한, 여기에서는 도시를 생략하지만, 처리 유체 공급부(40)는, 노즐(41)을 수평으로 지지하는 아암 및 이 아암을 선회 및 승강시키는 선회 승강 기구를 구비하고 있어도 된다.

공급 유로(42)는, 관형 부재이며, 예를 들어 불소 수지 등의 내약품성이 높은 재료로 형성된다. 이러한 공급 유로(42)에는, 상류측부터 순서대로 제1 개폐부(61), 유량 측정부(81) 및 제2 개폐부(62)가 설치된다.

제1 개폐부(61) 및 제2 개폐부(62)는, 유로 개폐부의 일례이며, 제어 장치(4)로부터 출력되는 개방 신호 및 폐쇄 신호에 따라서, 공급 유로(42)의 개폐를 행한다.

제1 개폐부(61)는, 예를 들어 전자기 밸브이며, 솔레노이드의 자력을 사용해서 밸브체를 이동시킴으로써 공급 유로(42)를 개폐한다.

제2 개폐부(62)는, 에어 오퍼레이트 밸브(62a)와, 에어 공급관(62b)과, 스피드 컨트롤러(62c)를 구비한다. 에어 오퍼레이트 밸브(62a)는, 에어 공급관(62b)으로부터 공급되는 공기의 압력을 사용해서 밸브체를 이동시킴으로써 공급 유로(42)를 개폐한다. 스피드 컨트롤러(62c)는, 에어 공급관(62b)에 설치되어, 에어 오퍼레이트 밸브(62a)에 공급되는 공기의 유량을 조정한다. 구체적으로는, 스피드 컨트롤러(62c)는, 에어 오퍼레이트 밸브(62a)에 대한 공기의 공급량을 조절하고, 이에 의해 에어 오퍼레이트 밸브(62a)의 밸브가 미리 설정된 속도로 개폐하도록 컨트롤한다.

스피드 컨트롤러(62c)는, 제어 장치(4)로부터 개방 신호를 수신한 경우, 에어 오퍼레이트 밸브(62a)의 개폐 상태를 「폐쇄」 상태에서 「개방」 상태로 미리 설정된 개방 속도로 변화시킨다. 이에 의해, 에어 오퍼레이트 밸브(62a)의 밸브는, 미리 설정된 설정 개방 속도(설정 개방 시간)로 개방된다. 또한, 스피드 컨트롤러(62c)는, 제어 장치(4)로부터 폐쇄 신호를 수신한 경우, 에어 오퍼레이트 밸브(62a)의 개폐 상태를 「개방」 상태에서 「폐쇄」 상태로 미리 설정된 폐쇄 속도로 변화시킨다. 이에 의해, 에어 오퍼레이트 밸브(62a)의 밸브는, 미리 설정된 설정 폐쇄 속도(설정 폐쇄 시간)로 폐쇄된다.

이와 같이, 제2 개폐부(62)는, 스피드 컨트롤러(62c)에 의해 공급 유로(42)의 개폐 속도를 조정할 수 있다. 따라서, 제2 개폐부(62)는, 전자기 밸브인 제1 개폐부(61)와 비교해서 늦은 속도로 공급 유로(42)를 개폐할 수 있다.

유량 측정부(81)는, 제1 개폐부(61)와 제2 개폐부(62)의 사이에 설치되어, 공급 유로(42)를 흐르는 처리액의 유량을 측정한다. 유량 측정부(81)의 측정 결과는, 제어 장치(4)로 출력된다. 또한, 유량 측정부(81)는, 제2 개폐부(62)보다도 하류에 설치되어 있어도 된다.

공급 유로(42)에는, 제2 개폐부(62)보다도 하류측에서 드레인 유로(43)가 접속된다. 드레인 유로(43)는, 관형 부재이며, 예를 들어 불소 수지 등의 내약품성이 높은 재료로 형성된다. 이러한 드레인 유로(43)에는, 제3 개폐부(63)와 오리피스(90)가 설치된다.

제3 개폐부(63)는, 제2 개폐부(62)와 마찬가지로, 에어 오퍼레이트 밸브(63a)와, 에어 공급관(63b)과, 스피드 컨트롤러(63c)를 구비한다. 제3 개폐부(63)는, 스피드 컨트롤러(63c)를 사용해서 드레인 유로(43)의 개폐 속도를 조정할 수 있다. 오리피스(90)는, 에어 오퍼레이트 밸브(63a)보다도 하류측에 설치되어, 드레인 유로(43)의 유로 직경을 좁혀서 처리액의 유통을 억제함으로써, 드레인 유로(43)를 흐르는 처리액의 유량을 제한한다.

처리 유닛(16)에서는, 노즐(41)로부터의 처리액의 토출을 정지한 후, 노즐(41)로부터의 처리액의 흘러내림을 방지하기 위해서, 공급 유로(42) 내의 처리액의 액면 위치를 후퇴시키는 석백 처리가 행해진다.

구체적으로는, 제어 장치(4)는, 제2 개폐부(62)에 대하여 폐쇄 신호를 출력해서 제2 개폐부(62)를 폐쇄 상태로 한 후, 제3 개폐부(63)에 대하여 개방 신호를 출력해서 제3 개폐부(63)를 개방 상태로 한다. 또한, 제2 개폐부(62)를 폐쇄 상태로 하는 동시에 제3 개폐부(63)를 개방 상태로 해도 된다. 공급 유로(42)는, 드레인 유로(43)의 접속 위치보다도 하류측에 상승 부분(42a)을 갖기 때문에, 제3 개폐부(63)가 개방 상태로 됨으로써, 공급 유로(42)에 잔류하는 처리액은 자중에 의해 드레인 유로(43)에 인입되어 드레인 유로(43)로부터 외부로 배출된다. 이에 의해, 처리액의 액면 위치가 후퇴함으로써, 노즐(41)로부터의 처리액의 흘러내림이 방지된다.

여기서, 노즐(41)로부터의 처리액의 토출을 정지할 때에, 공급 유로(42)를 급격한 속도로 폐쇄해버리면, 처리액이 도중에 끊어지는 「액 끊어짐」이 발생할 우려가 있다. 액 끊어짐이 발생하면, 석백 처리를 행해도 도중에 끊어진 처리액을 후퇴시킬 수 없어, 액 흘러내림을 방지하는 것이 곤란해진다.

이 때문에, 처리 유닛(16)에서는, 에어 오퍼레이트 밸브(62a)가 폐쇄되는 속도를 스피드 컨트롤러(62c)에 의해 조정함으로써, 액 끊어짐의 발생을 방지하고 있다.

스피드 컨트롤러(62c)는, 제2 개폐부(62)를 적절한 속도로 폐쇄하도록 미리 조정되지만, 예를 들어 장기에 걸친 사용이나 부재의 교환 등에 의해 조건이 변화한 경우에, 제2 개폐부(62)가 적절한 속도로 폐쇄되지 않아, 액 끊어짐이나 액 흘러내림이 발생할 우려가 있다.

제2 개폐부(62)가 폐쇄되는 속도(폐쇄 속도)와 노즐(41) 내의 처리액의 관계에 대해서 도 4를 참조하여 설명한다. 도 4는, 제2 개폐부(62)가 폐쇄되는 속도(폐쇄 속도)와 노즐(41) 내의 처리액의 관계를 도시하는 도면이다.

도 4에 도시한 바와 같이, 제2 개폐부(62)의 폐쇄 속도가 적절할 경우, 처리액의 액 끊어짐의 발생이 방지된다. 또한, 액 끊어짐의 발생이 방지됨으로써, 석백 처리가 적절하게 행해져, 처리액의 액 흘러내림도 방지된다.

한편, 제2 개폐부(62)의 폐쇄 속도가 적절한 속도보다도 느린 경우, 도 4의 좌측 도면에 도시하는 바와 같이, 노즐(41)로부터의 처리액의 액 흘러내림이 발생할 우려가 있다. 또한, 제2 개폐부(62)의 폐쇄 속도가 적절한 속도보다도 빠르면, 도 4의 우측 도면에 도시하는 바와 같이, 처리액의 액 끊어짐이 발생할 우려가 있다.

또한, 제2 개폐부(62)의 폐쇄 속도가 적절해도, 에어 오퍼레이트 밸브(62a)에 고장이나 이물 혼입 등이 발생한 경우에, 에어 오퍼레이트 밸브(62a)로부터 처리액이 누설되어, 도 4의 좌측 도면에 도시하는 바와 같이, 처리액의 액 흘러내림이 발생할 우려가 있다.

그래서, 제1 실시 형태에 따른 기판 처리 시스템(1)에서는, 제2 개폐부(62)에 대하여 폐쇄 신호를 출력한 후의 유량 측정부(81)의 측정 결과에 기초하여, 제2 개폐부(62)의 이상 유무를 감시하기로 하였다. 이하, 이러한 점에 대해서 구체적으로 설명한다.

먼저, 제어 장치(4)의 구성에 대해서 도 5를 참조하여 설명한다. 도 5는, 제어 장치(4)의 구성의 일례를 나타내는 블록도이다. 또한, 도 5에서는, 제1 실시 형태의 특징을 설명하기 위해서 필요한 구성 요소를 기능 블록으로 나타내고 있으며, 일반적인 구성 요소에 관한 기재를 생략하고 있다. 즉, 도 5에 도시되는 각 구성 요소는 기능 개념적인 것이며, 반드시 물리적으로 도시된 바와 같이 구성되어 있을 것을 요하지 않는다. 예를 들어, 각 기능 블록의 분산·통합의 구체적 형태는 도시한 것에 한정되지 않고, 그 전부 또는 일부를, 각종 부하나 사용 상황 등에 따라서 임의의 단위로 기능적 또는 물리적으로 분산·통합해서 구성하는 것이 가능하다.

또한, 제어 장치(4)의 각 기능 블록에서 행해지는 각 처리 기능은, 그 전부 또는 임의의 일부가, CPU(Central Processing Unit) 등의 프로세서 및 당해 프로세서에서 해석 실행되는 프로그램으로 실현되고, 또는 와이어드 로직에 의한 하드웨어로서 실현될 수 있는 것이다.

도 5에 도시한 바와 같이, 제어 장치(4)는, 제어부(18)와 기억부(19)를 구비한다(도 1 참조). 기억부(19)는, 예를 들어 RAM, 플래시 메모리(Flash Memory) 등의 반도체 메모리 소자 또는 하드 디스크, 광 디스크 등의 기억 장치에 의해 실현된다. 이러한 기억부(19)는, 레시피 정보(19a)를 기억한다.

레시피 정보(19a)는, 기판 처리의 내용을 나타내는 정보이다. 구체적으로는, 기판 처리 중에 있어서 처리 유닛(16)에 대하여 실행시키는 각 처리의 내용이 미리 처리 시퀀스순으로 등록된 정보이다.

제어부(18)는, 예를 들어 CPU이며, 기억부(19)에 기억된 도시하지 않은 프로그램을 판독해서 실행함으로써, 예를 들어 도 5에 도시하는 각 기능 블록(18a 내지 18c)으로서 기능한다. 또한, 상기 프로그램은, 컴퓨터에 의해 판독 가능한 기록 매체에 기록되어 있었던 것으로서, 그 기록 매체로부터 제어 장치(4)의 기억부(19)에 인스톨된 것이어도 된다. 컴퓨터에 의해 판독 가능한 기록 매체로서는, 예를 들어 하드 디스크(HD), 플렉시블 디스크(FD), 콤팩트 디스크(CD), 마그네트 옵티컬 디스크(MO), 메모리 카드 등이 있다.

계속해서, 이러한 각 기능 블록(18a 내지 18c)에 대해서 설명한다. 제어부(18)는, 기판 처리 실행부(18a)와, 감시부(18b)와, 이상 대응 처리부(18c)를 구비한다.

제어부(18)는, 기판 처리 실행부(18a)로서 기능하는 경우, 기억부(19)에 기억된 레시피 정보(19a)에 따라서 처리 유닛(16)을 제어하여 일련의 기판 처리를 실행시킨다. 예를 들어, 제어부(18)는, 웨이퍼(W)에 대하여 약액을 공급하는 약액 처리, 웨이퍼(W)에 대하여 린스액을 공급하는 린스 처리, 및 웨이퍼(W)의 회전수를 증가시켜 웨이퍼(W)를 건조시키는 건조 처리를 포함하는 일련의 기판 처리를 실행시킨다.

제어부(18)는, 레시피 정보(19a)에 따른 타이밍에서, 처리 유체 공급부(40)의 제1 내지 제3 개폐부(61 내지 63)에 대하여 개방 신호 및 폐쇄 신호를 출력함으로써, 기판 처리의 내용에 따른 처리액을 노즐(41)로부터 토출시킨다. 이때, 공급 유로(42)를 흐르는 처리액의 유량은 유량 측정부(81)에 의해 측정되고, 측정 결과는 제어부(18)로 출력된다.

제어부(18)는, 감시부(18b)로서 기능하는 경우, 유량 측정부(81)의 측정 결과에 기초하여 「제1 감시 처리」 및 「제2 감시 처리」를 실행한다. 「제1 감시 처리」는, 제2 개폐부(62)의 스피드 컨트롤러(62c)의 조정이 정상인지 여부를 감시하는 처리이다. 또한, 「제2 감시 처리」는, 처리액의 흘러내림의 발생 유무를 감시하는 처리이다.

여기서, 제1 감시 처리 및 제2 감시 처리의 내용에 대해서 도 6을 참조하여 설명한다. 도 6은, 제1 감시 처리 및 제2 감시 처리의 실행 타이밍을 설명하기 위한 도면이다.

도 6에 도시하는 바와 같이, 제어부(18)는, 먼저, 웨이퍼(W)에 대한 일련의 기판 처리를 개시하는 타이밍에서, 제1 개폐부(61)에 대하여 개방 신호를 출력한다(시간 t1). 이에 의해, 제1 개폐부(61)가 개방되는데, 제2 개폐부(62)가 폐쇄 상태이기 때문에, 시간 t1에서는 노즐(41)로부터의 처리액의 토출은 개시되지 않는다.

계속해서, 제어부(18)는, 제2 개폐부(62)에 대하여 개방 신호를 출력한다(시간 t2). 이에 의해, 제2 개폐부(62)가 미리 설정된 설정 개방 속도로 개방되어 가고, 공급 유로(42)를 흐르는 처리액의 유량이 0에서 목표 유량을 향해 서서히 증가되어 간다.

계속해서, 제어부(18)는, 제2 개폐부(62)에 대하여 폐쇄 신호를 출력한다(시간 t3). 이에 의해, 제2 개폐부(62)가 미리 설정된 폐쇄 속도로 폐쇄되어 가고, 공급 유로(42)를 흐르는 처리액의 유량이 0을 향해서 서서히 감소되어 간다.

제1 감시 처리는, 제2 개폐부(62)에 대하여 폐쇄 신호가 출력된 시점부터의 제1 기간(T1)에서 실행된다. 제1 기간(T1)의 길이는, 폐쇄 신호가 출력되고 나서 제2 개폐부(62)가 완전히 폐쇄되어 유량이 0으로 될 때까지의 예상 시간을 초과하는 길이로 설정된다. 예를 들어, 제1 기간(T1)의 길이는, 2초간으로 설정된다.

제1 감시 처리에 있어서, 제어부(18)는, 폐쇄 신호의 출력 후에 유량 측정부(81)에 의해 측정된 유량의 적산량에 기초하여, 제2 개폐부(62)의 동작 이상의 유무를 감시한다.

즉, 제어부(18)는, 제1 기간(T1)의 경과 후, 제1 기간(T1)에서의 유량 측정부(81)의 측정 결과를 적산하여, 적산량이 미리 정해진 정상 범위에 포함되는지 여부를 판정한다. 그리고, 적산량이 정상 범위로부터 벗어나 있는 경우에, 스피드 컨트롤러(62c)의 동작 이상을 검지한다.

구체적으로는, 제어부(18)는, 적산량이 정상 범위를 초과한 경우에는, 처리액의 흘러내림을 검지한다. 또한, 제어부(18)는, 적산량이 정상 범위를 하회한 경우에는, 공급 유로(42) 내에서의 처리액의 액 끊어짐을 검지한다.

제1 감시 처리에 있어서, 「처리액의 흘러내림을 검지한다」란, 처리액의 흘러내림이 발생한 것 또는 처리액의 흘러내림이 발생할 가능성이 있음을 검지하는 것을 의미한다. 또한, 「처리액의 액 끊어짐을 검지한다」란, 처리액의 액 끊어짐이 발생한 것 또는 처리액의 액 끊어짐이 발생할 가능성이 있음을 검지하는 것을 의미한다.

또한, 제어부(18)는, 적산량의 정상 범위로부터의 일탈량에 따라, 액 흘러내림 또는 액 끊어짐이 발생할 가능성이 있는 상태인지, 또는 액 흘러내림 또는 액 끊어짐이 실제로 발생하고 있는 상태인지를 판별하도록 해도 된다. 예를 들어, 제어부(18)는, 적산량의 정상 범위로부터의 일탈량이 역치를 초과하지 않았을 경우에, 액 흘러내림 또는 액 끊어짐이 발생할 가능성이 있음을 검지하고, 역치를 초과하는 경우에, 액 흘러내림 또는 액 끊어짐이 실제로 발생하였음 것을 검지한다.

여기에서는, 제어부(18)가 유량 측정부(81)에 의해 측정된 유량을 적산하는 것으로 했지만, 유량의 적산 처리는, 유량 측정부(81)가 행해도 된다. 이 경우, 제어부(18)는, 유량 측정부(81)로부터 적산량의 정보를 취득하면 된다.

계속해서, 제어부(18)는, 제1 기간(T1)이 경과한 후, 제2 감시 처리를 개시한다(시간 t4).

제2 감시 처리에 있어서, 제어부(18)는, 유량 측정부(81)에 의해 측정된 유량에 기초하여, 제1 개폐부(61) 또는 제2 개폐부(62)의 동작 이상의 유무를 감시한다.

여기서, 예를 들어 제1 개폐부(61) 또는 제2 개폐부(62)에 미소한 이물이 혼입된 경우, 제1 개폐부(61) 또는 제2 개폐부(62)로부터 누설되는 처리액의 양은 매우 소량이 된다. 이러한 경우에, 단순히 유량 측정부(81)의 측정 결과를 감시해서는, 유량의 변화가, 제1 개폐부(61) 또는 제2 개폐부(62)로부터의 누설에 의한 것인지, 또는 노이즈에 의한 것인지를 판별하는 것이 곤란하다.

그래서, 제어부(18)는, 유량 측정부(81)에 의해 측정된 유량을 고속 푸리에 변환(Fast Fourier Transform; FFT)한 값에 기초하여 제1 개폐부(61) 또는 제2 개폐부(62)의 동작 이상의 유무를 감시하기로 하였다.

이러한 점에 대해서 도 7a 및 도 7b를 참조하여 설명한다. 도 7a는, 처리액의 흘러내림이 발생하지 않은 경우에 있어서의 유량 측정부(81)의 측정 결과의 실제 데이터 및 FFT 후의 데이터를 나타내는 도면이다. 또한, 도 7b는, 처리액의 흘러내림이 발생한 경우에 있어서의 유량 측정부(81)의 측정 결과의 실제 데이터 및 FFT 후의 데이터를 나타내는 도면이다.

도 7a의 상기 도면에 도시하는 바와 같이, 처리액의 흘러내림이 발생하지 않은 경우, 즉, 처리액이 공급 유로(42) 내에서 거의 정지한 상태여도, 유량 측정부(81)의 측정 결과에는 유량의 변화가 나타난다. 이 유량의 변화는, 유량 측정부(81)의 측정 결과에 포함되는 노이즈에 기인하는 것이다.

또한, 도 7b의 상기 도면에 도시하는 바와 같이, 액 흘러내림이 발생하면, 유량 측정부(81)의 측정 결과에는, 액 흘러내림이 발생하지 않은 경우와 비교해서 큰 유량의 변화가 나타난다. 그러나, 측정 결과에는 노이즈도 포함되기 때문 에, 액 흘러내림의 발생을 고정밀도로 검지하는 것이 곤란하다.

한편, 도 7a 및 도 7b의 하부 도면에 나타내는 FFT 후의 데이터를 보면, 액 흘러내림이 발생한 경우에는, 액 흘러내림이 발생하지 않는 경우와 비교해서 진폭의 최댓값이 대폭 변화하는 것을 알 수 있다(도 7b의 H 참조). 예를 들어, 도 7a 및 도 7b에 나타내는 예에서는, 액 흘러내림이 발생한 경우에 있어서의 FFT 후의 데이터의 진폭의 최댓값은, 액 흘러내림이 발생하지 않을 경우와 비교해서 10배 정도 크게 되어 있다.

그래서, 제어부(18)는, 유량 측정부(81)의 측정 결과를 고속 푸리에 변환하고, 고속 푸리에 변환 후의 값(최댓값)을 미리 정해진 역치와 비교해서, 역치를 초과한 경우에, 액 흘러내림의 발생을 검지한다.

이와 같이, 유량 측정부(81)의 측정 결과를 고속 푸리에 변환함으로써, 액 흘러내림이 발생한 경우의 유량의 변화점을 파악할 수 있어, 액 흘러내림의 발생을 고정밀도로 검지할 수 있다.

또한, 여기에서는, 고속 푸리에 변환을 행하기로 했지만, 통상의 푸리에 변환(Fourier Transform; FT)을 행해도 된다.

도 6에 도시하는 바와 같이, 제2 감시 처리는, 제1 감시 처리의 종료 후, 즉 제1 기간(T1)의 경과 후에 실행된다. 제1 기간(T1)은, 공급 유로(42) 내의 처리액의 유량이 서서히 감소해 가는 기간, 즉, 유량이 변화하는 기간을 포함하고 있다. 이 때문에, 이러한 제1 기간(T1)을 제외한 제2 기간(T2)을 제2 감시 처리에 의한 감시 기간으로 함으로써, 제2 개폐부(62)에 의한 유량의 변화를 액 흘러내림에 의한 유량의 변화로 오검지해버리는 것을 방지할 수 있다.

또한, 제2 기간(T2)은, 제1 기간(T1)이 경과하고, 또한 미리 정해진 시간이 경과한 후의 기간으로 설정된다. 이렇게 설정함으로써, 제2 개폐부(62)에 의한 유량의 변화를 액 흘러내림에 의한 유량의 변화로 오검지해버리는 것을 보다 확실하게 방지할 수 있다.

제2 감시 처리는, 다음의 웨이퍼(W)에 대한 기판 처리가 개시되고 제2 개폐부(62)에 다시 개방 신호가 출력될 때까지 계속된다. 바꿔 말하면, 제2 기간(T2)은, 제1 기간(T1)이 경과하고, 또한 미리 정해진 시간이 경과한 후의 시점(시간 t4)에서부터, 제2 개폐부(62)에 대하여 다시 개방 신호가 출력되는 시점(시간 t7)까지의 기간으로 설정된다.

그런데, 액 흘러내림의 원인으로서는, 제1 개폐부(61) 또는 에어 오퍼레이트 밸브(62a)로부터의 처리액의 누설을 생각할 수 있다. 제어부(18)는, 제2 감시 처리에 있어서, 액 흘러내림이 발생하였음을 검지한 경우에, 또한 액 흘러내림의 원인인 처리액의 누설이, 제1 개폐부(61) 및 에어 오퍼레이트 밸브(62a) 중 어느 쪽에서 발생하고 있는지를 특정해도 된다.

예를 들어, 시간 t4부터 시간 t5까지의 기간에 있어서, 제1 개폐부(61)는 개방되어 있고, 에어 오퍼레이트 밸브(62a)는 폐쇄되어 있다. 따라서, 이 기간에서, 액 흘러내림이 검지되었을 경우, 제어부(18)는, 에어 오퍼레이트 밸브(62a)로부터의 처리액의 누설의 발생을 검지할 수 있다.

한편, 시간 t5부터 시간 t6까지의 기간에 있어서, 제1 개폐부(61) 및 에어 오퍼레이트 밸브(62a) 양쪽이 폐쇄되어 있다. 따라서, 시간 t4부터 시간 t5까지의 기간에서 액 흘러내림이 검지되지 않고, 시간 t5부터 시간 t6까지의 기간에서 액 흘러내림이 검지되었을 경우, 제어부(18)는, 제1 개폐부(61)로부터의 처리액의 누설의 발생을 검지할 수 있다.

도 5로 돌아가서, 이상 대응 처리부(18c)에 대해서 설명한다. 제어부(18)는, 제1 감시 처리 또는 제2 감시 처리에서 이상을 검지한 경우에, 이상 대응 처리부(18c)로서 기능하여, 소정의 이상 대응 처리를 실행한다.

예를 들어, 제어부(18)는, 예를 들어 표시부나 음성 출력부 등의 출력 장치(200)에 대하여 경고 화면이나 경고음 등의 경고 정보를 출력시킨다. 이에 의해, 작업자에게 이상이 발생한 것을 인식시킬 수 있다. 또한, 제어부(18)는, 제1 감시 처리 또는 제2 감시 처리에서 검지한 이상의 내용에 따라 출력 장치(200)에 출력시키는 경고 정보의 내용을 변경해도 된다.

또한, 제어부(18)는, 현재 실행 중인 기판 처리를 중단한다. 이에 의해, 예를 들어 다음의 기판 처리 등에 있어서 처리액의 액 흘러내림이 발생하여, 누출된 처리액이 웨이퍼(W)에 부착됨으로써 제품 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.

이어서, 상술한 제1 감시 처리 및 제2 감시 처리의 수순에 대해서 도 8 및 도 9를 참조하여 설명한다. 도 8은, 제1 감시 처리의 수순을 나타내는 흐름도이며, 도 9는, 제2 감시 처리의 수순을 나타내는 흐름도이다.

먼저, 도 8을 참조하여 제1 감시 처리의 수순에 대해서 설명한다. 도 8에 도시하는 바와 같이, 제어부(18)는, 제1 기간(T1)(도 6 참조)이 개시되면, 유량 측정부(81)의 측정 결과를 취득하고(스텝 S101), 취득한 측정 결과를 기억부(19)에 기억한다. 계속해서, 제어부(18)는, 제1 기간(T1)이 종료되었는지 여부를 판정하고(스텝 S102), 제1 기간(T1)이 종료되지 않은 경우에는(스텝 S102, "아니오"), 제1 기간(T1)이 종료될 때까지 스텝 S101의 처리를 반복한다. 한편, 제1 기간(T1)이 종료되면(스텝 S102, "예"), 제어부(18)는, 스텝 S101에서 취득한 측정 결과를 적산한다(스텝 S103).

계속해서, 제어부(18)는, 측정 결과의 적산량이 정상 범위의 상한값을 초과하였는지 여부를 판정한다(스텝 S104). 이 처리에서, 적산량이 정상 범위의 상한값을 초과했다고 판정했을 경우(스텝 S104, "예"), 제어부(18)는, 액 흘러내림을 검지하고(스텝 S105), 이상 대응 처리를 실행한다(스텝 S106). 예를 들어, 제어부(18)는, 기판 처리를 중단하고, 출력 장치(200)에 대하여 경고 정보를 출력한다.

한편, 스텝 S104에서, 적산량이 정상 범위의 상한값을 초과하지 않았을 경우(스텝 S104, "아니오"), 제어부(18)는, 적산량이 정상 범위의 하한값을 하회했는지 여부를 판정한다(스텝 S107). 이 처리에서, 적산량이 정상 범위의 하한값을 하회했다고 판정했을 경우(스텝 S107, "예"), 제어부(18)는, 액 끊어짐을 검지하고(스텝 S108), 이상 대응 처리를 실행한다(스텝 S109). 예를 들어, 제어부(18)는, 기판 처리를 중단하고, 출력 장치(200)에 대하여 경고 정보를 출력한다.

스텝 S107에서, 적산량이 정상 범위의 하한값을 하회하지 않았을 경우(스텝 S107, "아니오"), 처리 유체 공급부(40)에서의 이상 없음이라는 정상 판정을 행한다(스텝 S110). 스텝 S106, 스텝 S109 또는 스텝 S110의 처리를 종료하면, 제어부(18)는, 제1 감시 처리를 종료한다.

계속해서, 도 9를 참조하여 제2 감시 처리의 수순에 대해서 설명한다. 도 9에 도시하는 바와 같이, 제어부(18)는, 제2 기간(T2)(도 6 참조)이 개시되면, 유량 측정부(81)의 측정 결과를 취득하고(스텝 S201), 취득한 측정 결과에 대하여 고속 푸리에 변환을 행한다(스텝 S202).

계속해서, 제어부(18)는, 고속 푸리에 변환 후의 값이 미리 정해진 역치를 초과하였는지 여부를 판정한다(스텝 S203). 이 처리에서, 고속 푸리에 변환 후의 값이 미리 정해진 역치를 초과했다고 판정했을 경우(스텝 S203, "예"), 제어부(18)는, 액 흘러내림을 검지하고(스텝 S204), 이상 대응 처리를 실행한다(스텝 S205). 예를 들어, 제어부(18)는, 기판 처리를 중단하고, 출력 장치(200)에 대하여 경고 정보를 출력한다.

스텝 S203에서 고속 푸리에 변환 후의 값이 역치를 초과하지 않았을 경우(스텝 S203, "아니오"), 제어부(18)는, 제2 기간(T2)이 종료되었는지 여부를 판정한다(스텝 S206). 그리고, 제2 기간(T2)이 종료되지 않은 경우(스텝 S206, "아니오"), 제어부(18)는, 처리를 스텝 S201로 복귀시켜, 스텝 S201 내지 S203 및 스텝 S206의 처리를 반복한다.

한편, 스텝 S206에서, 제2 기간(T2)이 종료되었다고 판정했을 경우(스텝 S206, "예"), 제어부(18)는, 처리 유체 공급부(40)에서의 이상 없음이라는 정상 판정을 행한다(스텝 S207). 스텝 S205 또는 스텝 S207의 처리를 종료하면, 제어부(18)는, 제2 감시 처리를 종료한다.

상술한 바와 같이, 제1 실시 형태에 따른 기판 처리 시스템(1)(처리 장치의 일례)은, 챔버(20)와, 노즐(41)과, 유량 측정부(81)와, 제2 개폐부(62)(유로 개폐부의 일례)와, 제어부(18)를 구비한다. 챔버(20)는, 웨이퍼(W)(피처리체의 일례)를 수용한다. 노즐(41)은, 챔버(20) 내에 설치되어, 웨이퍼(W)를 향해서 처리액을 공급한다. 유량 측정부(81)는, 노즐(41)에 공급되는 처리액의 유량을 측정한다. 제2 개폐부(62)는, 노즐(41)에 대한 처리액의 공급 유로(42)의 개폐를 행한다. 제어부(18)는, 제2 개폐부(62)에 대하여 공급 유로(42)을 폐쇄하는 폐쇄 동작을 행하게 하는 폐쇄 신호를 출력한다. 또한, 제어부(18)는, 폐쇄 신호의 출력 후에 유량 측정부(81)에 의해 측정된 유량의 적산량에 기초하여, 제2 개폐부(62)의 동작 이상을 검지한다.

따라서, 제1 실시 형태에 따른 기판 처리 시스템(1)에 의하면, 제2 개폐부(62)의 이상을 검지할 수 있다.

(제2 실시 형태)

이어서, 제2 실시 형태에 관한 처리 유체 공급부의 구성에 대해서 도 10을 참조하여 설명한다. 도 10은, 제2 실시 형태에 관한 처리 유체 공급부의 구성의 일례를 도시하는 도면이다. 또한, 이하의 설명에서는, 이미 설명한 부분과 마찬가지의 부분에 대해서는, 이미 설명한 부분과 동일한 부호를 부여하고, 중복되는 설명을 생략한다.

도 10에 도시하는 바와 같이, 제2 실시 형태에 관한 처리 유체 공급부(40A)는, 압력 측정부(82)를 더 구비한다. 압력 측정부(82)는, 제2 개폐부(62)보다도 하류측에서의 공급 유로(42)의 상승 부분(42a)에 분기로(44)를 개재해서 설치되어, 상승 부분(42a)에서의 처리액의 수두압을 측정한다. 압력 측정부(82)의 측정 결과는, 제어 장치(4)로 출력된다.

제어 장치(4)의 제어부(18)는, 감시부(18b)로서 기능하는 경우, 상술한 제2 기간(T2)(도 6 참조)에서, 압력 측정부(82)에 의해 측정된 수두압의 변화량에 기초하여, 제1 내지 제3 개폐부(61, 62, 63)의 동작 이상을 검지한다.

제1 개폐부(61) 또는 제2 개폐부(62)에 누설이 발생한 경우, 상승 부분(42a)에 처리액이 유입되기 때문에, 처리액의 액면 위치가 상승하여(도 10의 S01 참조), 처리액의 수두압이 증가한다. 제어부(18)는, 이러한 수두압의 증가에 기초하여 제1 개폐부(61) 또는 제2 개폐부(62)의 동작 이상을 검지할 수 있다. 구체적으로는, 제어부(18)는, 제2 기간(T2)에서의 수두압의 증가량이 역치를 초과한 경우에, 제1 개폐부(61) 또는 제2 개폐부(62)로부터의 처리액의 누설을 검지한다.

한편, 제3 개폐부(63)에 누설이 발생한 경우, 상승 부분(42a) 내의 처리액이 드레인 유로(43)로부터 유출되기 때문에, 처리액의 액면 위치가 하강하여(도 10의 S02 참조), 처리액의 수두압이 저하된다. 제어부(18)는, 이러한 수두압의 감소에 기초하여 제3 개폐부(63)의 동작 이상을 검지할 수 있다. 구체적으로는, 제어부(18)는, 제2 기간(T2)에서의 수두압의 감소량이 역치를 초과한 경우에, 제3 개폐부(63)로부터의 처리액의 누설을 검지한다.

이와 같이, 제2 실시 형태에 관한 기판 처리 시스템(1)은, 압력 측정부(82)를 구비한다. 압력 측정부(82)는, 제2 개폐부(62)보다도 하류측의 공급 유로(42) 중 처리액을 상승시키는 상승 부분(42a)에 설치되어, 상승 부분(42a)에서의 처리액의 수두압을 측정한다. 그리고, 제어부(18)는, 제2 개폐부(62)에의 폐쇄 신호의 출력 후에 압력 측정부(82)에 의해 측정된 수두압의 변화량에 기초하여, 제1 내지 제3 개폐부(61 내지 63)의 동작 이상을 검지한다.

수두압의 변화에 기초하는 이상 검지는, 누설된 처리액의 축적량에 의해 이상의 유무를 검지하는 것이다. 따라서, 상술한 제2 감시 처리로는 검지하는 것이 곤란한, 보다 미소한 누설의 발생을 검지할 수 있다.

또한, 도 10에서는, 연직 방향을 따라서 연장되는 상승 부분(42a)에 처리액의 액면이 위치하도록 석백 처리가 행해지는 경우의 예를 나타냈지만, 석백 처리 후의 액면 위치는 도 10에 도시하는 위치에 제한되지 않는다. 도 11a 및 도 11b는, 석백 처리 후의 액면 위치의 변형예를 도시하는 도면이다.

예를 들어, 도 11a에 도시하는 바와 같이, 공급 유로(42)에는, 상승 부분(42a)보다도 하류측에 수평 부분(42b)이 설치되고, 상승 부분(42a)과 수평 부분(42b)의 사이에는 만곡 부분(42c)이 설치된다.

만곡 부분(42c)에서도 처리액의 높이 위치가 변화할 수 있다. 이 때문에, 제어부(18)는, 만곡 부분(42c)에 처리액의 액면이 위치하도록 석백 처리를 행해도 된다.

또한, 도 11b에 도시하는 바와 같이, 하류측을 향해서 상승하는 슬로프 부분(42d)을 수평 부분(42b)에 설치하고, 이러한 슬로프 부분(42d)에 처리액의 액면이 위치하도록 석백 처리를 행해도 된다.

이와 같이, 상승 부분(42a)보다도 하류측의 상승 부분(만곡 부분(42c) 또는 슬로프 부분(42d))에 석백 처리 후의 액면 위치를 설정함으로써, 처리액의 액면에서부터 노즐(41)의 토출구까지의 거리를 짧게 할 수 있다. 따라서, 예를 들어 제2 개폐부(62)에 개방 신호를 출력하고 나서, 노즐(41)로부터 처리액이 토출될 때까지의 타임 래그를 짧게 할 수 있다. 또한, 노즐(41)의 토출구로부터 공급 유로(42)의 내부에 처리액의 분위기가 진입하는 것을 억제할 수 있다.

(제3 실시 형태)

제1 실시 형태에서 설명한 FFT를 사용해서 제1 개폐부(61) 또는 제2 개폐부(62)의 동작 이상의 유무를 감시했을 경우, 누설의 오검지가 발생하는 경우가 있다. 이 점에 대해서 도 12a 및 도 12b를 참조하여 설명한다.

도 12a는, 실제로 누설이 발생한 경우에 있어서의 유량의 시간 변화를 나타내는 도면이다. 도 12a에 도시하는 바와 같이, 실제로 누설이 발생한 경우, 급격한 유량 변화가 발생하는 것을 알 수 있다(도 12a의 I부 참조).

한편, 도 12b는, 누설의 오검지가 발생한 경우에 있어서의 유량의 시간 변화를 나타내는 도면이다. 도 12b에 도시하는 바와 같이, 누설이 발생하지 않은 경우, 급격한 유량 변화는 발생하지 않는다. 그러나, 이 데이터를 FFT했을 경우, 도 7b의 하부 도면에 도시한 바와 같은, 저주파수 영역에 피크가 나타나는 분포가 얻어지는 경우가 있어, 스텝 S203에서 진폭이 역치를 초과해버리면, 누설이 오검지될 우려가 있다.

그래서, 제3 실시 형태에서는, 이와 같은 누설의 오검지를 방지하기 위해서, 이하와 같은 판정 처리를 행한다.

도 13은, 제3 실시 형태에서의 제2 감시 처리의 수순을 나타내는 흐름도를 도시하는 도면이다. 또한, 도 13에 나타내는 스텝 S201 내지 S207의 처리는, 도 9에 나타내는 스텝 S201 내지 S207과 마찬가지의 처리이기 때문에, 여기서의 설명은 생략한다.

제3 실시 형태에서는, 스텝 S203에서 FFT 후의 값이 미리 정해진 역치를 초과했다고 판단한 경우에(스텝 S203, "예"), 비교 파형의 형상 생성 처리를 행한다(스텝 S301).

구체적으로는, FFT의 실행 전의 측정 결과(예를 들어, 도 7a 및 도 7b의 상부 도면에 나타내는 데이터)에 대하여 평균화 처리를 행한다. 예를 들어, 하나의 샘플링 시간의 값에 대해서, 그 전후의 12점(총 25점)의 평균값을 그 시간에서의 평균값으로 한다. 이와 같은 연산을 행한 후의 그래프를 도 14a 및 도 14b의 상부 도면에 나타내었다. 또한, 도 14a는, 도 12a의 데이터에 대하여 평균화 처리를 행한 후의 그래프이며, 도 14b는, 도 12b의 데이터에 대하여 평균화 처리를 행한 후의 그래프이다.

또한, 도 14a 및 도 14b의 상부 도면에서는, 얻어진 평균값에 대하여 스케일 변환까지 행하고 있다. 즉, 평균값의 최댓값을 1000, 최솟값을 -1000으로 해서, 모든 평균값이 그 사이의 값을 취하도록 변환을 행하고 있다.

이어서, 생성된 형상과 누설 파형의 비교 처리를 행한다(스텝 S302).

누설 파형은, 미리 기억되어 있는 이상적인 누설 계측 결과를 나타내는 패턴의 파형이며, 도 14a 및 도 14b의 하부 도면에 도시하는 바와 같이, 최저 값 -1000, 최댓값 1000의 값을 갖고, 순간적으로 -1000에서 1000으로 변화한다. 이 변화하는 시간(샘플링수)은 실제의 장치를 사용해서 실험적으로 구하면 된다.

제3 실시 형태에서는, 도 14a 및 도 14b의 하부 도면에 도시하는 바와 같이, 생성된 형상이 500이라는 값을 초과한 타이밍에 이 파형의 변화점의 시각을 끼워넣어, 모든 구간에 대해서 생성된 형상과 누설 파형의 적산값을 취한다. 도 15a에 도시하는 바와 같이, 실제로 누설이 발생한 경우의 파형에서는, 적산값의 대부분이 구간 전체에 걸쳐서 0.5 내지 1.0의 사이의 값을 취하여, 누설 파형과의 일치도가 높은 것을 알 수 있다. 한편, 도 15b에 도시하는 바와 같이, 누설이 발생하지 않은, 즉 FFT 연산만으로는 오검출이 될 경우의 파형에서는, 적산값이 구간 전체에 걸쳐서 크게 변동하여, 누설 파형과의 일치도가 낮다는 것을 알 수 있다.

제3 실시 형태에서는, 전 구간에서의 적산값의 평균값을 산출하고, 산출한 평균값이 역치(예를 들어 0.5)보다도 큰 경우에는, 누설 파형에 가까운 형상을 갖고 있다고 판정하고(스텝 S302, "예"), 액 흘러내림을 검지한다(스텝 S204). 한편, 산출한 평균값이 역치보다도 작은 경우에는, 누설 파형에 가까운 형상을 갖고 있지 않다고 판정하고(스텝 S302, "아니오"), 처리 유체 공급부(40)에서의 이상 없음이라는 정상 판정을 행한다(스텝 S207).

이상 설명한 바와 같이, 제3 실시 형태에서는, FFT 처리를 사용한 판정 외에도, FFT 전의 측정 유량의 파형과 소정의 누설 파형을 비교한 비교 결과와 FFT 후의 값의 양쪽에 기초하여, 제1 개폐부(61) 또는 제2 개폐부(62)의 액 흘러내림을 검지하도록 하였다. 이와 같이, FFT와 파형 비교의 양쪽에 의해 검지 처리를 행함으로써, 오검지가 적은, 신뢰성이 높은 이상 검지가 가능하게 된다는 효과가 있다.

(제4 실시 형태)

도 16은, 제4 실시 형태에 관한 자동 조정 처리의 수순을 나타내는 흐름도이다. 도 16에 도시하는 바와 같이, 제어부(18)는, 제1 기간(T1)(도 6 참조)에서의 적산량이 정상 범위 내인지 여부를 판정한다(스텝 S401). 그리고, 적산량이 정상 범위로부터 벗어나 있는 경우(스텝 S401, "아니오"), 제어부(18)는, 다음의 제1 기간(T1)에서의 적산량이 정상 범위 내가 되도록, 스피드 컨트롤러(62c)를 제어해서 에어 오퍼레이트 밸브(62a)의 설정 폐쇄 속도를 조정해도 된다(스텝 S402). 적산량이 정상 범위 내인 경우(스텝 S401, "예"), 제어부(18)는, 설정 폐쇄 속도의 조정을 행하지 않고 자동 조정 처리를 종료한다.

스피드 컨트롤러(62c)는, 예를 들어 에어 공급관(62b)의 유로 단면적을 변경함으로써 에어 오퍼레이트 밸브(62a)에 공급되는 공기의 유량을 조정하는 니들 밸브와, 이 니들 밸브를 구동시키는 구동부를 갖고 있으며, 에어 오퍼레이트 밸브(62a)의 폐쇄 속도가 미리 설정된 설정 폐쇄 속도로 되도록 상기 니들 밸브의 돌출량이 미리 설정되어 있다. 제어부(18)는, 적산량이 정상 범위로부터 벗어나 있는 경우에, 상기 구동부를 제어해서 니들 밸브의 돌출량을 변경함으로써, 설정 폐쇄 속도를 변경한다.

구체적으로는, 기억부(19)(도 1 참조)는, 적산량의 기준값으로부터의 어긋남 양과, 스피드 컨트롤러(62c)의 조정량을 관련지은 조정 정보를 기억한다. 여기서, 적산량의 기준값으로부터의 어긋남 양은, 정상 범위의 중앙값(상한값과 하한값을 더해서 2로 나눈 값, 기준값의 일례)과 적산량의 차를 나타낸다. 예를 들어, 정상 범위의 상한값이 20mL이며, 하한값이 10mL일 경우의 중앙값은 15mL이다. 이 경우에 있어서, 적산량이 25mL일 때, 적산량의 어긋남 양은 +10mL이다. 또한, 적산량이 5mL일 때, 적산량의 어긋남 양은 -10mL이다.

또한, 스피드 컨트롤러(62c)의 조정량이란, 예를 들어 적산량을 정상 범위의 중앙값과 일치시키기 위해 필요한 니들 밸브의 구동량이다. 예를 들어, 조정 정보는, 적산량의 어긋남 양 「+10mL」와 니들 밸브의 구동량 「+1회전」을 관련짓고, 적산량의 어긋남 양 「-10mL」와 니들 밸브의 구동량 「-1회전」을 관련짓는다. 또한, 어긋남 양의 「+」는, 적산량이 중앙값보다도 큰 것을 나타내고, 어긋남 양의 「-」는, 적산량이 중앙값보다도 작음을 나타내고 있다. 또한, 니들 밸브의 구동량의 「+」, 「-」는, 니들 밸브의 회전 방향을 나타내고 있다.

제어부(18)는, 스텝 S402에서, 먼저, 적산량의 어긋남 양을 산출한다. 계속해서, 제어부(18)는, 기억부(19)에 기억되어 있는 조정 정보를 참조하여, 산출한 어긋남 양에 대응하는 스피드 컨트롤러(62c)의 조정량, 즉 니들 밸브의 구동량을 결정한다. 그리고, 제어부(18)는, 결정한 회전수만큼, 스피드 컨트롤러(62c)의 니들 밸브를 회전시켜 니들 밸브의 돌출량을 변경한다. 이에 의해, 에어 공급관(62b)의 유로 단면적이 변화하고, 이에 수반하여, 에어 오퍼레이트 밸브(62a)에 대한 공기의 공급 속도(유속)가 변화한다. 그 결과, 에어 오퍼레이트 밸브(62a)의 밸브의 폐쇄 속도가 변경된다. 즉, 설정 폐쇄 속도가 변경된다.

예를 들어, 적산량의 어긋남 양이 「+10mL」이었을 경우, 제어부(18)는, 에어 공급관(62b)의 유로 단면적이 작아지는 방향으로 니들 밸브를 1회전시킨다. 이에 의해, 액 흘러내림이 방지된다. 또한, 적산량의 어긋남 양이 「-10mL」이었을 경우, 제어부(18)는, 에어 공급관(62b)의 유로 단면적이 커지는 방향으로 니들 밸브를 1회전시킨다. 이에 의해, 액 끊어짐이 방지된다.

이와 같이, 제어부(18)는, 제2 개폐부(62)에 대한 폐쇄 신호의 출력 후에 유량 측정부(81)에 의해 측정된 유량의 적산량이 정상 범위로부터 벗어났을 경우에, 스피드 컨트롤러(62c)를 제어해서 설정 폐쇄 속도를 변경해도 된다. 구체적으로는, 제어부(18)는, 조정 정보에 기초해서 구동부를 제어하여, 기준값과의 어긋남 양에 대응하는 구동량으로 니들 밸브를 구동시킴으로써, 설정 폐쇄 속도를 변경해도 된다. 이에 의해, 예를 들어 작업자에 의한 수동 조정을 행하지 않고, 에어 오퍼레이트 밸브(62a)의 폐쇄 속도를 액 흘러내림 및 액 끊어짐을 발생시키지 않는 적절한 폐쇄 속도로 조정할 수 있다.

또한, 여기에서는, 적산량의 어긋남 양이, 정상 범위의 중앙값을 기준으로 했을 경우의 어긋남 양인 것으로 했지만, 기준으로 하는 값은, 정상 범위 내의 값이면 되며, 반드시 중앙값일 것을 요하지 않는다.

또한, 제어부(18)는, 자동 조정 처리에 있어서, 반드시 상술한 조정 정보를 사용할 것을 요하지 않는다. 예를 들어, 제어부(18)는, 적산량이 정상 범위로부터 벗어나 있었을 경우에, 적산량의 어긋남 양에 관계없이, 미리 정해진 일정한 조정량으로 스피드 컨트롤러(62c)를 조정해도 된다. 이 경우, 제어부(18)는, 다음의 제1 기간(T1)에서의 적산량도 정상 범위로부터 벗어나 있으면, 다시, 미리 정해진 일정한 조정량으로 스피드 컨트롤러(62c)를 조정한다. 이 처리를 반복함으로써, 적산량을 정상 범위에 수용할 수 있다.

(제5 실시 형태)

상술한 제4 실시 형태에서는, 에어 오퍼레이트 밸브(62a)의 폐쇄 속도를 미리 설정된 설정 폐쇄 속도로 조정하는 조정부의 일례로서 스피드 컨트롤러(62c)를 들어 설명했지만, 조정부는, 스피드 컨트롤러(62c)에 한정되지 않는다. 예를 들어, 조정부는, 전공 레귤레이터여도 된다. 이하, 조정부가 전공 레귤레이터일 경우의 예에 대해서 도 17을 참조하여 설명한다. 도 17은, 제5 실시 형태에 관한 처리 유체 공급부의 구성의 일례를 도시하는 도면이다.

도 17에 도시하는 바와 같이, 제5 실시 형태에 관한 처리 유체 공급부(40B)는, 제2 개폐부(62B)를 구비한다. 제2 개폐부(62B)는, 에어 오퍼레이트 밸브(62a)와, 에어 공급관(62b)과, 전공 레귤레이터(62d)를 구비한다.

전공 레귤레이터(62d)는, 에어 공급관(62b)에 설치된다. 전공 레귤레이터(62d)는, 전기 신호에 의해 공기압을 조정하는 기기이며, 에어 오퍼레이트 밸브(62a)에 대하여 공급되는 공기의 압력을 제어부(18)로부터 입력되는 전기 신호에 따라서 조정한다. 제어부(18)는, 전공 레귤레이터(62d)를 제어함으로써, 에어 오퍼레이트 밸브(62a)의 폐쇄 속도가 미리 설정된 설정 폐쇄 속도로 되도록, 에어 오퍼레이트 밸브(62a)에 대한 공급 압력을 조정한다.

제어부(18)는, 제2 개폐부(62B)에 대한 폐쇄 신호의 출력 후에 유량 측정부(81)에 의해 측정된 유량의 적산량이 정상 범위로부터 벗어났을 경우, 전공 레귤레이터(62d)를 제어하여, 에어 오퍼레이트 밸브(62a)에 대한 공급 압력을 조정한다. 이에 의해, 에어 오퍼레이트 밸브(62a)의 설정 폐쇄 속도가 변경된다.

예를 들어, 기억부(19)는, 적산량의 어긋남 양과 감압 속도의 변화량을 관련지은 조정 정보를 기억한다. 제어부(18)는, 스텝 S401에서 적산량이 정상 범위로부터 벗어나 있다고 판정하면(스텝 S401, "아니오"), 스텝 S402에서, 먼저, 적산량의 어긋남 양을 산출한다. 계속해서, 제어부(18)는, 기억부(19)에 기억되어 있는 조정 정보를 참조하여, 산출한 어긋남 양에 대응하는 전공 레귤레이터(62d)의 조정량, 즉 공급 압력의 변화량을 결정한다. 그리고, 제어부(18)는, 전공 레귤레이터(62d)로부터 에어 오퍼레이트 밸브(62a)에 공급되는 공기의 압력이, 원래의 공급 압력으로부터 상기 결정한 변화량만큼 변화한 속도로 감소하도록 전공 레귤레이터(62d)를 제어한다.

이와 같이, 제어부(18)는, 조정부가 전공 레귤레이터(62d)일 경우에는, 전공 레귤레이터(62d)를 제어하여, 에어 오퍼레이트 밸브(62a)에 대한 공급 압력을 변경함으로써, 에어 오퍼레이트 밸브(62a)의 설정 폐쇄 속도를 변경하는 것이 가능하다.

상술한 실시 형태에서는, 피처리체가 웨이퍼(W)인 예를 들었지만, 피처리체에 대하여 처리 유체를 공급함으로써 이 피처리체를 처리하는 처리 장치 전반에 상술한 실시 형태를 적용해도 된다.

더 한층의 효과나 변형예는, 당업자에 의해 용이하게 도출될 수 있다. 이 때문에, 본 발명의 보다 광범위한 양태는, 이상과 같이 나타내고 또한 기술한 특정한 상세 및 대표적인 실시 형태에 한정되는 것은 아니다. 따라서, 첨부의 특허 청구 범위 및 그 균등물에 의해 정의되는 총괄적인 발명의 개념의 정신 또는 범위로부터 일탈하지 않고, 다양한 변경이 가능하다.

W : 웨이퍼 1 : 기판 처리 시스템
4 : 제어 장치 16 : 처리 유닛
18 : 제어부 20 : 챔버
40 : 처리 유체 공급부 41 : 노즐
61 : 제1 개폐부 62 : 제2 개폐부
62a : 에어 오퍼레이트 밸브 62b : 에어 공급관
62c : 스피드 컨트롤러 63 : 제3 개폐부

Claims (13)

1. 피처리체를 수용하는 챔버와,
   상기 챔버 내에 설치되어, 상기 피처리체를 향해서 처리액을 공급하는 노즐과,
   상기 노즐에 공급되는 상기 처리액의 유량을 측정하는 유량 측정부와,
   상기 노즐에 대한 상기 처리액의 공급 유로의 개폐를 행하는 유로 개폐부와,
   상기 유로 개폐부에 대하여, 상기 공급 유로를 폐쇄하는 폐쇄 동작을 행하게 하는 폐쇄 신호를 출력하는 제어부
   를 구비하고,
   상기 제어부는,
   상기 폐쇄 신호의 출력 후에 상기 유량 측정부에 의해 측정된 상기 유량의 적산량에 기초하여,
   상기 유로 개폐부의 동작 이상을 검지하는 것을 특징으로 하는 처리 장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 유로 개폐부는,
   제1 개폐부와,
   상기 제1 개폐부보다도 하류측에 설치되어, 상기 제1 개폐부보다도 후에 개방되고 또한 상기 제1 개폐부보다도 전에 폐쇄되는 제2 개폐부
   를 포함하고,
   상기 제어부는,
   상기 제2 개폐부에 대한 상기 폐쇄 신호의 출력 후에 상기 유량 측정부에 의해 측정된 상기 유량의 적산량에 기초하여, 상기 제2 개폐부의 동작 이상을 검지하는 것을 특징으로 하는 처리 장치.
3. 제2항에 있어서,
   상기 제2 개폐부는,
   공기압에 의해 밸브체를 개폐하는 에어 오퍼레이트 밸브와,
   상기 에어 오퍼레이트 밸브에 공급되는 공기의 유량을 조정하는 스피드 컨트롤러를 포함하고,
   상기 제어부는,
   상기 제2 개폐부에 대한 상기 폐쇄 신호의 출력 후에 상기 유량 측정부에 의해 측정된 상기 유량의 적산량이 정상 범위로부터 벗어났을 경우에, 상기 스피드 컨트롤러의 동작 이상을 검지하는 것을 특징으로 하는 처리 장치.
4. 제2항 또는 제3항에 있어서,
   상기 제어부는,
   상기 제2 개폐부에 대한 상기 폐쇄 신호의 출력 후에 상기 유량 측정부에 의해 측정된 상기 유량을 푸리에 변환한 값에 기초하여, 상기 제1 개폐부 또는 상기 제2 개폐부의 동작 이상을 검지하는 것을 특징으로 하는 처리 장치.
5. 제4항에 있어서,
   상기 제어부는,
   상기 제2 개폐부에 대한 상기 폐쇄 신호의 출력 후, 상기 제1 개폐부에 대한 상기 폐쇄 신호의 출력 전에 상기 유량 측정부에 의해 측정된 상기 유량을 푸리에 변환한 값이 역치를 초과한 경우에, 상기 제2 개폐부의 동작 이상을 검지하고, 상기 제1 개폐부에 대한 상기 폐쇄 신호의 출력 후, 상기 제1 개폐부에 대한 개방 신호의 출력 전에 상기 유량 측정부에 의해 측정된 상기 유량을 푸리에 변환한 값이 역치를 초과한 경우에, 상기 제1 개폐부의 동작 이상을 검지하는 것을 특징으로 하는 처리장치.
6. 제5항에 있어서,
   상기 제어부는,
   상기 제2 개폐부에 대하여 상기 폐쇄 신호를 출력한 시점부터의 제1 기간에서, 상기 유량의 적산량에 기초하여, 상기 제2 개폐부의 동작 이상의 유무를 감시하고, 상기 제1 기간 경과 후의 제2 기간에서, 상기 유량을 푸리에 변환한 값에 기초하여, 상기 제1 개폐부 또는 상기 제2 개폐부의 동작 이상의 유무를 감시하는 것을 특징으로 하는 처리장치.
7. 제6항에 있어서,
   상기 제2 기간은,
   상기 제1 기간이 경과하고, 또한 미리 정해진 시간이 경과한 후의 기간인 것을 특징으로 하는 처리장치.
8. 제4항에 있어서,
   상기 제어부는,
   상기 푸리에 변환하기 전에 있어서의 상기 유량 측정부에 의해 측정된 상기 유량의 파형을 소정의 동작 이상 시의 유량 파형과 비교하여, 상기 푸리에 변환한 값 및 상기 파형의 비교 결과 양쪽에 기초해서, 상기 제1 개폐부 또는 상기 제2 개폐부의 동작 이상을 검지하는 것을 특징으로 하는 처리장치.
9. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 유로 개폐부보다도 하류측의 상기 공급 유로 중 상기 처리액을 상승시키는 상승 부분에 설치되어, 상기 처리액의 수두압을 측정하는 압력 측정부를 구비하고,
   상기 제어부는,
   상기 폐쇄 신호의 출력 후에 상기 압력 측정부에 의해 측정된 상기 수두압의 변화량에 기초하여, 상기 유로 개폐부의 동작 이상을 검지하는 것을 특징으로 하는 처리장치.
10. 제2항에 있어서,
    상기 제2 개폐부는,
    공기압에 의해 밸브체를 개폐하는 에어 오퍼레이트 밸브와,
    상기 에어 오퍼레이트 밸브의 폐쇄 속도를 미리 설정된 설정 폐쇄 속도로 조정하는 조정부를 포함하고,
    상기 제어부는,
    상기 제2 개폐부에 대한 상기 폐쇄 신호의 출력 후에 상기 유량 측정부에 의해 측정된 상기 유량의 적산량이 정상 범위로부터 벗어났을 경우에, 상기 조정부를 제어해서 상기 설정 폐쇄 속도를 변경하는 것을 특징으로 하는 처리장치.
11. 제10항에 있어서,
    상기 조정부는,
    상기 에어 오퍼레이트 밸브에 공급되는 공기의 유량을 조정하는 니들 밸브와,
    상기 니들 밸브를 구동하는 구동부
    를 포함하고,
    상기 적산량의 상기 정상 범위 내에서의 기준값으로부터의 어긋남 양과, 상기 니들 밸브의 구동량을 관련지은 조정 정보를 기억하는 기억부
    를 구비하고,
    상기 제어부는,
    상기 조정 정보에 기초하여 상기 구동부를 제어하여, 상기 어긋남 양에 대응하는 구동량으로 상기 니들 밸브를 구동시킴으로써, 상기 설정 폐쇄 속도를 변경하는 것을 특징으로 하는 처리장치.
12. 피처리체를 수용하는 챔버와, 상기 챔버 내에 설치되어, 상기 피처리체를 향해서 처리액을 공급하는 노즐과, 상기 노즐에 공급되는 상기 처리액의 유량을 측정하는 유량 측정부와, 상기 노즐에 대한 상기 처리액의 공급 유로의 개폐를 행하는 유로 개폐부를 구비하는 처리 장치를 사용하여, 상기 유로 개폐부에 대하여, 상기 공급 유로를 폐쇄하는 폐쇄 동작을 행하게 하는 폐쇄 신호를 출력하는 폐쇄 신호 출력 공정과,
    상기 폐쇄 신호의 출력 후에 상기 유량 측정부에 의해 측정된 상기 유량의 적산량에 기초하여,
    상기 유로 개폐부의 동작 이상을 검지하는 이상 검지 공정
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 이상 검지 방법.
13. 컴퓨터 상에서 동작하고, 처리 장치를 제어하는 프로그램이 기억된 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체이며,
    상기 프로그램은, 실행 시에, 제12항에 기재된 이상 검지 방법이 행해지도록, 컴퓨터에 상기 처리 장치를 제어시키는 것을 특징으로 하는 기억 매체.

Images