JP6727377B2 - 処理装置、処理方法および記憶媒体 - Google Patents
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Description
1 基板処理システム
4 制御装置
16 処理ユニット
18 制御部
19 記憶部
19a レシピ情報
20 チャンバ
31 保持部
40 処理流体供給部
80 測定部
Claims (5)
- 特定流量へ向けての立ち上がり時における処理流体の供給に関する異常の存否を監視可能に設けられた処理装置であって、
被処理体を収容するチャンバと、
前記チャンバ内に設けられ、前記被処理体へ向けて前記処理流体を供給するノズルと、
前記ノズルに供給される前記処理流体の供給流量を測定する測定部と、
前記ノズルに供給される前記処理流体の流路の開閉を行う開閉部と、
処理の内容を示すレシピ情報に従って、前記開閉部に開閉動作を行わせる開閉動作信号を送る制御部と
を備え、
前記制御部は、
前記レシピ情報に従って前記開閉部へ前記開閉動作信号を送った後、前記測定部の測定結果に基づいて前記供給流量の積算を開始し、積算した積算量に基づき、所定の目標値に対するずれ量が検出されるか否かを監視し、
前記制御部はさらに、
前記ずれ量が検出された場合に、当該ずれ量が前記開閉部の開閉タイミングによって補正可能な第1の所定範囲にあるならば前記開閉部の開閉タイミングを補正し、当該ずれ量が前記第1の所定範囲にないならば前記処理流体の供給に異常ありと判定し、
前記制御部はさらに、
前記処理流体の供給開始から前記立ち上がりの終了までに対応する所定の目標経過時間が経過する直前に、所定の周期で前記供給流量の瞬時値を複数回サンプリングし、サンプリングした前記瞬時値の平均値が前記特定流量を基準とする第2の所定範囲にあるか否かを監視するとともに、前記平均値が前記第2の所定範囲にないならば前記処理流体の供給に異常ありと判定すること
を特徴とする処理装置。 - 前記制御部は、
前記積算量が前記目標経過時間に対応する所定の目標積算量へ到達するまでの実経過時間を計測し、計測した前記実経過時間と前記目標経過時間との前記ずれ量を監視すること
を特徴とする請求項1に記載の処理装置。 - 前記制御部は、
前記目標経過時間における前記積算量と当該目標経過時間に対応する所定の目標積算量とのずれ量を監視すること
を特徴とする請求項1に記載の処理装置。 - 特定流量へ向けての立ち上がり時における処理流体の供給に関する異常の存否を監視可能に設けられた処理装置を用いた処理方法であって、
被処理体を収容するチャンバと、前記チャンバ内に設けられ、前記被処理体へ向けて前記処理流体を供給するノズルと、前記ノズルに供給される前記処理流体の供給流量を測定する測定部と、前記ノズルに供給される前記処理流体の流路の開閉を行う開閉部とを備える前記処理装置を用い、処理の内容を示すレシピ情報に従って、前記開閉部に開閉動作を行わせる開閉動作信号を送る制御工程を含み、
前記制御工程は、
前記レシピ情報に従って前記開閉部へ前記開閉動作信号を送った後、前記測定部の測定結果に基づいて前記供給流量の積算を開始し、積算した積算量に基づき、所定の目標値に対するずれ量が検出されるか否かを監視し、
前記制御工程はさらに、
前記ずれ量が検出された場合に、当該ずれ量が前記開閉部の開閉タイミングによって補正可能な第1の所定範囲にあるならば前記開閉部の開閉タイミングを補正し、当該ずれ量が前記第1の所定範囲にないならば前記処理流体の供給に異常ありと判定し、
前記制御工程はさらに、
前記処理流体の供給開始から前記立ち上がりの終了までに対応する所定の目標経過時間が経過する直前に、所定の周期で前記供給流量の瞬時値を複数回サンプリングし、サンプリングした前記瞬時値の平均値が前記特定流量を基準とする第2の所定範囲にあるか否かを監視するとともに、前記平均値が前記第2の所定範囲にないならば前記処理流体の供給に異常ありと判定すること
を特徴とする処理方法。 - コンピュータ上で動作し、処理装置を制御するプログラムが記憶されたコンピュータ読取可能な記憶媒体であって、
前記プログラムは、実行時に、請求項4に記載の処理方法が行われるように、コンピュータに前記処理装置を制御させること
を特徴とする記憶媒体。
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JP2019092791A JP6727377B2 (ja) | 2019-05-16 | 2019-05-16 | 処理装置、処理方法および記憶媒体 |
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JP2019092791A JP6727377B2 (ja) | 2019-05-16 | 2019-05-16 | 処理装置、処理方法および記憶媒体 |
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JP2018102912A Division JP6552680B2 (ja) | 2018-05-30 | 2018-05-30 | 処理装置、処理方法および記憶媒体 |
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JP2019165241A JP2019165241A (ja) | 2019-09-26 |
JP6727377B2 true JP6727377B2 (ja) | 2020-07-22 |
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JP2019092791A Active JP6727377B2 (ja) | 2019-05-16 | 2019-05-16 | 処理装置、処理方法および記憶媒体 |
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JP2019165241A (ja) | 2019-09-26 |
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