KR20180116699A - 약액 배출 장치 및 약액 배출 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 지정된 회수부에 다른 세정액이 혼입되는 것을 방지함으로써 세정액의 회수율을 높일 수 있는 약액 배출 장치 및 약액 배출 방법을 제공하고자 함에 그 목적이 있다. 이를 구현하기 위한 본 발명의 약액 배출 장치는, 약액을 회수하여 배출하기 위한 약액 배출 장치에 있어서, 기판 둘레에 배치되는 복수의 약액 회수부가 구비되고; 상기 복수의 약액 회수부는 약액에 따라 각각 독립적으로 회수 가능한 것으로 이루어진다.

Description

약액 배출 장치 및 약액 배출 방법{APPARATUS FOR DRAINING CHEMICAL AND THE METHOD THEREOF}
본 발명은 약액 배출 장치 및 약액 배출 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판을 세정하기 위한 약액 분사 공정에서 분사된 약액을 종류별로 회수하여 배출하는 약액 배출 장치 및 약액 배출 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자는 기판, 예를 들면 실리콘 웨이퍼를 이용하여 증착과 사진 및 식각 공정 등을 반복 수행함으로써 제조될 수 있다. 상기 공정들을 거치는 동안 기판상에는 각종 파티클, 금속 불순물, 유기 불순물 등과 같은 오염 물질이 잔존할 수 있다. 오염 물질은 반도체 소자의 수율 및 신뢰성에 악영향을 미치기 때문에, 반도체 제조시에는 기판에 잔존하는 오염 물질을 제거하는 공정이 수행된다.
상기 공정을 위한 기판 처리 방식은 크게 건식 처리 방식 및 습식(Wet) 처리 방식으로 구분될 수 있으며, 이 중에서 습식 처리 방식은 여러 가지 약액을 이용한 방식으로서, 복수의 기판을 동시에 처리하는 배치식(batch type) 장치와 낱장 단위로 기판을 처리하는 매엽식(single wafer type) 장치로 구분된다.
배치식 처리장치는 세정액이 수용된 세정조에 복수의 기판을 한꺼번에 침지시켜서 오염원을 제거한다. 그러나 기존의 배치식 처리장치는 기판의 대형화 추세에 대한 대응이 용이하지 않고, 세정액의 사용이 많다는 단점이 있다. 또한 배치식 처리장치에서 공정 중에 기판이 파손되는 경우에는 세정조 내에 있는 기판 전체에 영향을 미치게 되므로 다량의 기판 불량이 발생할 수 있는 위험이 있었다.
상기와 같은 이유들로 인해 최근에는 매엽식 처리장치가 선호되고 있다.
매엽식 처리장치는 낱장의 기판 단위로 처리하는 방식으로서, 고속으로 회전시킨 기판 표면에 세정액 또는 건조 가스를 분사함으로써, 기판의 회전에 의한 원심력과 세정액의 분사에 따른 압력을 이용하여 오염원을 제거하는 스핀 방식(spinning method)으로 세정이 진행된다.
통상적으로 매엽식 세정 장치는 기판을 고정시킨 상태로 회전하는 스핀척, 기판에 약액과 린스액 및 건조가스 등을 포함하는 세정액을 공급하기 위한 노즐 어셈블리 및 기판 표면에서 비산하는 세정액을 회수하는 회수챔버를 포함한다. 회수된 세정액은 여과 등의 공정을 거쳐 기판 세정에 재사용된다.
도 1은 기판의 세정 과정에서 분사되어 나온 세정제를 회수하는 회수챔버의 구성을 보여주는 도면이다.
도 1을 참조하면, 회수챔버(120)는 스핀척(122) 둘레를 감싸고, 서로 다른 세정액을 분리회수하기 위하여 상하로 일정한 간극을 두고 복수의 회수부(120-1,120-2,120-3)가 형성되어 있고, 스핀척(122)은 회수챔버(120)의 중심부에서 각 회수부(120-1,120-2,120-3)의 높이에 맞추어 상하로 승강하도록 구성되며, 기판(W)이 적재된 상태에서 회전된다.
세정 공정이 진행되는 경우 약액공급부(131)에서 공급된 세정제는 노즐(133)을 통해 회전하는 기판(W)에 분사된 후 비산되어 각 회수부(120-1,120-2,120-3) 내부로 회수되게 된다. 이때 세정액의 종류별로 각 회수부(120-1,120-2,120-3)에 분리하여 회수되어야 하나, 비산되는 세정액이 지정된 회수부가 아닌 다른 회수부에 혼입되는 문제점이 있다. 이와 같이 세정액이 혼입되면 재사용이 어려워져 세정액을 공급하기 위한 비용이 증가하게 된다.
또한, 비산되는 세정액이 각 회수부(120-1,120-2,120-3) 사이의 몸체 부분에 충돌한 후 회수챔버(120)의 바닥에 낙하되어 다른 구성요소들을 오염시키거나 기판 위에 낙하되어 공정 사고가 발생할 수 있다.
상기한 종래의 기판 처리 장치가 나타난 기술로는 대한민국 등록특허 제10-1407388호가 공개되어 있다.}
본 발명은 상술한 제반 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 지정된 회수부에 다른 세정액이 혼입되는 것을 방지함으로써 세정액의 회수율을 높일 수 있는 약액 배출 장치 및 약액 배출 방법을 제공하고자 함에 그 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은, 세정액의 회수율을 높이고 세정액이 챔버 바닥에 낙하해 구성요소가 오염되거나 기판 위에 낙하해 공정 사고가 발생하는 것을 방지하는데 있다.
상술한 바와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명의 약액 배출 장치는, 약액을 회수하여 배출하기 위한 약액 배출 장치에 있어서, 기판 둘레에 배치되는 복수의 약액 회수부가 구비되고; 상기 복수의 약액 회수부는 약액에 따라 각각 독립적으로 회수 가능한 것으로 이루어진다.
상기 복수의 약액 회수부는 단면이 링 형상으로서, 상기 기판을 중심으로 그 둘레에 동심구조로 배치될 수 있다.
상기 복수의 약액 회수부 각각의 상부에는 상기 약액이 유입되는 개구부가 형성되고, 상기 개구부는 상기 유입되는 약액의 종류에 따라 개폐가 이루어질 수 있다.
상기 약액 회수부 내부에는 상기 개구부를 개폐하기 위한 개폐구동부가 구비될 수 있다.
상기 개폐구동부는, 상기 개구부를 개폐하는 개폐부재와, 상기 개폐부재를 상하 승강시켜 상기 개구부를 개폐하기 위한 구동력을 제공하는 실린더로 이루어질 수 있다.
상기 복수의 약액 회수부 상단의 높이는 상기 기판에 가까운 내측에서부터 외측으로 갈수록 높아질 수 있다.
상기 복수의 약액 회수부 상단의 높이는 동일한 것일 수 있다.
상기 복수의 약액 회수부의 상측에는, 상기 기판으로부터 방사상 외측으로 비산되는 약액을 상기 복수의 약액 회수부 중 특정한 약액 회수부로 유입되도록 유도하기 위해, 회전축을 중심으로 선회 가능한 제1가이드가 구비될 수 있다.
상기 제1가이드는, 상기 제1가이드가 수직방향으로 세워진 상태를 기준으로, 상기 기판을 중심으로 하는 방사상 외측 방향으로 0도 내지 45도 범위 내에서 회전하는 것일 수 있다.
상기 제1가이드는 동심원 형상으로 이루어진 상기 약액 회수부의 상부 둘레를 따라 복수 개가 구비될 수 있다.
상기 복수의 약액 회수부 중 적어도 하나의 약액 회수부 상면에는 상기 약액을 상기 약액 회수부의 상부에 형성된 개구부로 유도하기 위한 제2가이드가 구비될 수 있다.
상기 제2가이드는 상기 복수의 약액 회수부의 내측 가장자리와 외측 가장자리에 각각의 경사면이 서로 마주보도록 한 쌍이 구비될 수 있다.
상기 복수의 약액 회수부에 각각 종류별로 회수된 약액은 재사용되는 것일 수 있다.
상기 기판 표면에는 약액 분사 노즐로부터 상기 약액이 분사되고, 상기 기판은 스핀척에 의해 지지된 상태에서 회전하는 것일 수 있다.
상기 스핀척과 상기 약액 회수부 사이의 공간으로 낙하하는 약액을 회수하기 위한 회수챔버를 더 포함할 수 있다.
상기 개구부는 상기 약액 회수부의 상부 둘레를 따라 각각 복수 개 형성될 수 있다.
상기 개구부는 상기 약액 회수부의 상부 둘레를 따라 링 모양으로 개방된 형상으로 이루어지고, 상기 개구부를 개폐하기 위한 개폐부재도 상기 개구부를 덮을 수 있는 링 모양으로 형성될 수 있다.
본 발명에 의한 약액 배출 방법은, a) 기판 둘레에 구비된 복수의 약액 회수부 중 어느 하나로 제1약액이 유입될 수 있도록 개구부가 개방되고, 나머지 약액 회수부의 개구부는 폐쇄되는 단계, b) 회전하는 기판 상에 공급된 제1약액은 상기 개방된 약액 회수부의 개구부를 통해 유입되는 단계를 포함한다.
상기 b) 단계 이후, 상기 제1약액이 회수된 제1 약액 회수부의 개구부는 폐쇄되고, 제2 약액 회수부의 개구부가 개방되며, 회전하는 기판 상에 공급된 제2약액은 상기 제2 약액 회수부의 개구부를 통해 유입될 수 있다.
상기 a)단계는, 상기 복수의 약액 회수부의 상측에 위치한 제1가이드를 상기 기판에서 비산되는 제1약액이 상기 개구부가 개방된 약액 회수부로 유도되도록 선회시키는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 약액 배출 장치 및 약액 배출 방법에 의하면, 서로 다른 약액의 혼입을 방지하여 약액의 회수율을 높일 수 있다.
또한, 약액 회수부로 회수되지 못하고 이탈하려는 일부 약액을 약액 회수부로 안내하여 회수율을 높이고 약액이 챔버 바닥에 낙하해 구성요소가 오염되거나 기판 위에 낙하하여 공정 사고가 발생하는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 기판 세정 공정에서 기판에 비산되어 나오는 약액을 포집하고 배출하는 회수챔버의 구성을 보여주는 도면이다.
도 2는 본 발명의 약액 배출 장치가 구비된 기판 처리 장치를 보여주는 사시도.
도 3은 도 2의 기판 처리 장치에서 대기존에 노즐이 대기하고 있는 상태를 보여주는 평면도.
도 4는 본 발명의 일실시예에 의한 약액 배출 장치의 구성을 개략적으로 보여주는 단면도.
도 5는 도 4의 A-A 단면도.
도 6은 본 발명의 약액 배출 방법을 보여주는 흐름도.
이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 2 내지 도 5를 참조하여 본 발명에 의한 약액 배출 장치를 포함하는 기판 처리 장치의 구성에 대해 설명한다.
본 발명의 일실시예에 의한 기판 처리 장치는, 기판(W)에 대한 세정공정이 수행되는 챔버(100), 기판(W)의 표면에 약액을 분사하는 약액 분사 노즐(133), 상기 기판(W)을 지지한 상태에서 회전 가능하게 구비된 스핀척(122), 상기 기판(W)에서 비산되는 유체를 회수하여 배출하기 위한 약액 배출 장치(150)를 포함한다.
상기 기판(W)은 반도체 기판이 되는 실리콘 웨이퍼일 수 있다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 기판(W)은 LCD(liquid crystal display), PDP(plasma display panel)와 같은 평판 디스플레이 장치용으로 사용하는 유리 등의 투명 기판일 수 있다. 또한, 상기 기판(W)은 형상 및 크기가 도면에 의해 한정되는 것은 아니며, 원형 및 사각형 플레이트 등 실질적으로 다양한 형상과 크기를 가질 수 있다. 상기 기판(W)에 형상 및 크기에 따라 상기 챔버(100)와 약액 배출 장치(150) 및 상기 스핀척(122)의 크기와 형상 역시 변경될 수 있다.
상기 스핀척(122)에는 기판(W)이 안착될 수 있도록 복수의 척핀(123)이 구비된다. 상기 척핀(123)은 기판(W) 둘레를 따라 등간격으로 배치될 수 있다. 상기 척핀(123)의 개수와 형상은 다양하게 변경될 수 있다.
상기 스핀척(122)의 하부에는 스핀척(122)을 회전시키기 위한 구동축(121)이 연결된다. 상기 구동축(121)에는 회전력을 제공하는 모터를 포함하는 구동부(미도시)가 연결되어, 상기 구동축(121) 및 스핀척(122)을 소정 속도로 회전시킨다.
상기 노즐(133)은 기판(W)의 상부에 위치한 상태에서 기판(W)에 세정제를 분사한다. 상기 노즐(133)은 노즐배관(132)에 의해 유체공급부(131)에 연결된다. 상기 유체공급부(131)에는 상기 노즐(133) 및 노즐(132)을 회전시키기 위한 회전구동부(미도시)가 구비될 수 있다.
상기 회전구동부에 의해 상기 노즐(133) 및 노즐배관(132)은 유체공급부(131)를 회전중심으로 하여 도 3의 화살표와 같이 기판(W)의 상부에서 대기존(140)의 상부로, 또는 그 반대방향으로 회전할 수 있다. 상기 노즐(133)과 노즐배관(132) 및 유체공급부(131)는 유체공급수단(130)을 구성한다.
상기 대기존(140)은 기판(W)에 대한 세정공정 등의 기판 처리가 이루어지지 않는 동안 노즐(133)이 대기하는 곳이다. 상기 노즐(133)이 대기존(140)의 상부에 위치하고 있는 동안에 세정제를 대기존(140) 내부에 분사하여 노즐(133) 및 노즐배관(132) 내부의 세정제가 응고되는 것을 방지할 수 있다.
여기서 세정제라 함은, 기판(W)에서 세정 대상물을 제거하기 위한 액체 또는 기체 상태의 물질을 말한다. 세정제는 처리 대상이 되는 종류에 따라 복수의 세정제가 사용될 수 있다. 예를 들면, 레지스트를 제거하기 위해서는 유기용제, N2 가스가 사용될 수 있다. 또한, SiO를 제거하기 위해서는 물, 불화수소 HF, IPA 및 N2 가스 등이 사용될 수 있다. 또한, 금속을 제거하기 위해서는 염산 HCl, 오존 O3, N2 가스가 사용될 수 있다. 또한, 레지스트 이외의 유기물을 제거하기 위해서는 O3, N2 가스를 사용할 수 있다. 이외에도, 그 밖의 파티클을 제거하기 위해서는 암모니아 가수(加水) APM, N2 가스, 또는 N2 가스 혹은 아르곤 Ar을 사용할 수 있다. 또한, 불소 F, 염소 Cl, 암모니아 NH4의 이온을 제거하기 위해서는 물, IPA 및 N2 가스를 사용할 수 있다. 또한, 노즐(133)을 통해 분사되는 유체로는, 초순수(DI)와 액상의 이소프로필 알코올(IPA: Isopropyl Alcohol)과 같은 건조제가 될 수도 있다. 이러한 세정제 및 건조제를 통틀어 '약액'이라 한다.
이러한 복수의 약액을 회수해 기판(W)에 공급하기 위해 약액 배출 장치(150)의 둘레에는 복수의 노즐(133-1,133-2)과 노즐배관(132-1,132-2) 및 약액공급부(131-1,131-2)로 이루어진 복수의 약액공급수단(130-1,130-2)이 구비될 수 있다.
또한, 상기 약액공급수단(130-1,130-2)의 개수에 대응되도록 대기존(140-1,140-2)도 복수개가 구비될 수 있다.
상기 약액 배출 장치(150)는 기판(W)에 대한 세정 공정 진행시 회전하는 기판(W)으로부터 비산되는 약액을 회수하기 위하여 기판(W)과 스핀척(122)를 중심으로 그 외측을 둘러싸도록 배치되어 있는 약액 회수부(151), 상기 약액 회수부(151)에 형성된 개구부(153)를 개폐하기 위한 개폐구동부(152)를 포함한다.
상기 약액 회수부(151)는, 상기 스핀척(122)을 중심으로 그 외측에 단층의 동심원 구조로 이루어진 복수의 약액 회수부(151-1,151-2,151-3)로 이루어진다.
상기 복수의 약액 회수부(151-1,151-2,151-3)는 일례로, 동심원 구조로 이루어진 제1 내지 제3 약액 회수부(151-1,151-2,151-3)로 이루어질 수 있고, 가장 내측에는 제1약액 회수부(151-1)가 구비되고, 가장 외측에는 제3약액 회수부(151-3)가 구비되어, 서로 다른 약액이 회수된다.
상기 제1 내지 제3 약액 회수부(151-1,151-2,151-3) 각각은 도 5에 도시된 바와 같이 평면도에서 바라본 형상이 링 모양으로 형성되어 있고, 상하 방향으로 소정의 깊이로 형성되어, 그 내부에 개폐구동부(152)가 각각 구비된다.
상기 개구부(153)는, 상기 제1 내지 제3 약액 회수부(151-1,151-2,151-3)의 상부에 각각 개구된 형상으로 형성된 제1 내지 제3 개구부(153-1,153-2,153-3)로 이루어지고, 상기 제1 내지 제3 개구부(153-1,153-2,153-3)를 통해 서로 다른 약액이 각각 유입된다.
상기 제1 내지 제3 개구부(153-1,153-2,153-3)는 동일한 높이에 형성될 수 있다. 또한, 상기 제1 개구부(153-1)는 가장 낮은 높이에 형성되고, 제2 개구부(153-2)는 중간 높이에 형성되고, 제3 개구부(153-3)는 가장 높은 위치에 형성됨으로써, 내측에서 외측으로 갈수록 점점 높아지는 계단 형상으로 형성될 수도 있다.
상기 제1 내지 제3 개구부(153-1,153-2,153-3)는 제1 내지 제3 개폐구동부(152-1,152-2,152-3)에 의해 각각 개폐됨으로써 약액이 유입되도록 유로를 개방하거나 약액의 유입이 차단되도록 유로를 폐쇄시킨다.
상기 제1 내지 제3 개폐구동부(152-1,152-2,152-3)는, 상단에 구비되어 제1 내지 제3 개구부(153-1,153-2,153-3)를 각각 개폐하는 제1 내지 제3 개폐부재(152-1a,152-2a,152-3a)와, 상기 제1 내지 제3 개폐부재(152-1a,152-2a,152-3a) 각각을 제1 내지 제3 약액 회수부(151-1,151-2,151-3) 내부에서 상하로 승강시키는 제1 내지 제3 실린더(152-1b,152-2b,152-3b)로 이루어질 수 있다.
상기 제1 내지 제3 개폐구동부(152-1,152-2,152-3)는 각각 독립적으로 구동이 가능하다. 제1 약액이 제1 약액 회수부(151-1)에 회수되는 경우에는 도 4에 나타난 바와 같이, 제1 개폐부재(152-1a)는 제1 개폐구동부(152-1)에 의해 내려가 제1 개구부(153-1)는 개방되고, 나머지 제2, 제3개구부(153-2,153-3)는 제2, 제3 개폐부재(152-2a,152-3a)에 의해 각각 폐쇄되어 있다. 따라서 제1 약액이 제2 약액 회수부(151-2)와 제3 약액 회수부(151-3)에 유입되는 것을 방지할 수 있다. 이와 마찬가지로 제2 약액은 제2 약액 회수부(151-2)에 회수되고, 제3 약액은 세3 약액 회수부(151-3)에 분리 회수된다.
상기 제1 내지 제3 개구부(153-1,153-2,153-3)는 제1 내지 제3 약액 회수부(151-1,151-2,151-3)의 상부 둘레를 따라 각각 복수 개 형성될 수 있고, 상기 제1 내지 제3 개폐구동부(152-1,152-2,152-3)도 그에 대응하는 개수로 각각 복수 개 구비될 수 있다.
또한, 상기 제1 내지 제3 개구부(153-1,153-2,153-3) 각각은 제1 내지 제3 약액 회수부(151-1,151-2,151-3)의 상부 둘레를 따라 링 모양으로 개방된 형상으로 구성될 수도 있다. 이 경우 제1 내지 제3 개폐부재(152-1a,152-2a,152-3a)도 각각 상기 제1 내지 제3 개구부(153-1,153-2,153-3) 각각을 덮을 수 있도록 링 모양으로 형성될 수 있다.
상기 제1 내지 제3 약액 회수부(151-1,151-2,151-3)의 상부에는 비산되는 약액을 가이드하기 위한 제1가이드(161)가 구비될 수 있다.
상기 제1가이드(161)는 회전축(161a)을 중심으로 회전가능하고, 회전축(161a)을 중심으로 외측 방향으로 회전시 그 저면이 제1 내지 제3 약액 회수부(151-1,151-2,151-3)를 향하도록 경사지게 위치된다. 이 경우 약액의 종류별로 회전되는 각도를 조절함으로써, 제1 내지 제3 약액 회수부(151-1,151-2,151-3)에 약액의 종류별로 분리 회수가 이루어진다.
상기 기판(W)에서 비산되는 약액은 제1가이드(161)에 부딪혀 제1 내지 제3 약액 회수부(151-1,151-2,151-3) 중 어느 하나의 개구부(153-1,153-2,153-3)를 통해 약액 회수부(151-1,151-2,151-3)의 내부공간으로 유입되고, 이렇게 유입된 약액은 약액 회수부(151-1,151-2,151-3)의 하부를 통해 배출되어 회수가 이루어진다.
이와 같이 제1가이드(161)에 의해 약액의 종류별 분리 회수가 용이해진다.
상기 제1가이드(161)는, 제1가이드(161)가 수직방향으로 세워진 상태를 기준으로, 상기 스핀척(122)을 중심으로 하는 방사상 외측 방향으로 0도 내지 45도 회전하는 것으로 이루어질 수 있다.
또한 상기 제1가이드(161)는 동심원 구조를 가진 상기 약액 배출 장치(150)의 상부 둘레를 따라 복수 개가 구비될 수 있다.
또한 상기 제1 내지 제3 약액 회수부(151-1,151-2,151-3)의 내측 가장자리와 외측 가장자리에는 경사면이 서로 마주보도록 개구부(153-1,153-2,153-3)를 향해 기울어진 한 쌍의 제2가이드(162)가 구비되어 있다. 상기 제1 내지 제3 약액 회수부(151-1,151-2,151-3)의 가장자리에 떨어지는 약액은 상기 제2가이드(162)에 의해 가이드되어 개구부(153-1,153-2,153-3) 방향으로 유도되어 상기 제1 내지 제3 약액 회수부(151-1,151-2,151-3) 내부로 유입이 용이해진다.
상기 약액 배출장치(150)에는 챔버 바닥으로 약액이 낙하하여 약액으로 인한 다른 구성 요소의 오염을 막고 약액의 회수율을 높이기 위해 스핀척(122)과 상기 제1 약액 회수부(151-1) 사이의 공간에 위치하는 회수챔버(154)가 더 구비될 수 있다. 상기 회수챔버(154)에 유입된 약액도 재사용 가능하도록 회수할 수 있다.
도 6을 참조하여, 본 발명에 의한 약액 배출 방법을 설명한다.
단계 S10은 복수의 약액 회수부(151-1,151-2,151-3) 중 특정한 약액이 유입될 약액 회수부의 개구부를 개방하고, 나머지 약액 회수부의 개구부는 폐쇄하는 단계이다.
제1약액을 제1 약액 회수부(151-1)에 회수하는 경우, 제1 약액 회수부(151-1)의 제1 실린더(152-1b)를 구동하여 제1 개폐부재(152-1a)가 제1 개구부(153-1)를 개방시키고, 나머지 제2, 제3 약액 회수부(151-2,151-3)의 개구부(153-2, 153-3)는 개폐부재(152-2a,152-3a)에 의해 폐쇄된 상태를 유지한다.
이 경우 상기 복수의 약액 회수부(151-1,151-2,151-3)의 상측에 위치한 제1가이드(161)를 선회시키는 단계가 더 포함될 수 있다. 상기 기판(W)에서 비산되는 제1약액이 상기 제1 개구부(153-1)로 유입되도록 유도하기 위해 상기 제1가이드(161)를 미리 설정된 각도로 선회시킨다.
단계 S20은 기판(W)을 회전시키고, 기판(W) 상에 제1약액을 공급하는 단계이다. 상기 기판(W)의 표면에 공급된 제1약액은 회전에 의해 방사상으로 비산되고, 상기 비산되는 제1약액은 개방된 제1 개구부(153-1)를 통해 제1 약액 회수부(151-1) 내부로 유입된다.
이 경우 제1가이드(161)에 제1약액이 부딪혀 낙하하면 제1 개구부(153-1)로 유입될 수 있고, 제2 및 제3 개구부(153-2, 153-3)는 폐쇄되어 있어 제1 약액이 유입되지 않는다. 상기 제1 약액 회수부(151-1) 내부로 유입된 제1 약액은 재사용될 수 있도록 그 하부를 통해 배출된다.
또한, 약액 회수부(151-1,151-2,151-3)의 가장자리측으로 비산된 약액은 제2가이드(162)의 경사면을 타고 흘러내린 후 제1 개구부(153-1)로 유입된다.
단계 S30은 기판(W) 상에 제1약액의 공급을 중단하고, 제1 개구부(153-1)를 폐쇄하는 단계이다.
이와 같은 과정에 의해 제1약액에 의한 기판 처리가 완료된 후, 다른 약액에 의한 기판 처리가 필요하게 되면 이하 단계 S40 내지 S60이 수행될 수 있다.
단계 S40은 복수의 약액 회수부(151-1,151-2,151-3) 중 제2약액이 유입될 제2 약액 회수부(151-2)의 제2 개구부(153-2)를 개방하고, 나머지 제1, 제3 약액 회수부(151-1,151-3)의 제1, 제3 개구부(153-1,153-3)는 폐쇄하는 단계이다.
이 경우 제1가이드(161)는 기판(W)에서 비산되는 제2약액이 제2 개구부(153-2)로 유입되도록 유도하기 위해 미리 설정된 각도로 선회시킨다.
단계 S50은 기판(W)을 회전시키고, 기판(W) 상에 제2약액을 공급하여, 기판(W)에서 비산되는 제2약액은 제2 개구부(153-2)를 통해 제2 약액 회수부(151-2) 내부로 유입되는 단계이다.
단계 S60은 기판(W) 상에 제2약액의 공급을 중단하고, 제2 개구부(153-2)를 폐쇄하여 제2약액에 의한 기판 처리가 완료되는 단계이다.
또한, 제3약액을 제3 약액 회수부(151-3)로 회수하는 방법도 동일한 과정에 의해 이루어질 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구되는 본 발명의 기술적 사상에 벗어남 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 자명한 변형실시가 가능하며, 이러한 변형실시는 본 발명의 범위에 속한다.
W : 기판 100 : 챔버
120 : 회수챔버 120-1,120-2,120-3 : 회수부
121 : 구동축 122 : 스핀척
123 : 척핀 130-1,130-2 : 약액공급수단
131,131-1,131-2 : 약액공급부 132,132-1,132-2 : 노즐배관
133,133-1,133-2 : 노즐 140-1,140-2 : 대기존
150 : 약액 배출 장치 151,151-1,151-2,151-3 : 약액 회수부
152,152-1,152-2,152-3 : 개폐구동부
152-1a,152-2a,152-3a : 개폐부재
152-1b,152-2b,152-3b : 실린더
153,153-1,153-2,153-3 : 개구부
154 : 회수챔버 161 : 제1가이드
162 : 제2가이드

Claims (20)

  1. 약액을 회수하여 배출하기 위한 약액 배출 장치에 있어서,
    기판 둘레에 배치되는 복수의 약액 회수부가 구비되고; 상기 복수의 약액 회수부는 약액에 따라 각각 독립적으로 회수 가능한 약액 배출 장치
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 복수의 약액 회수부는 단면이 링 형상으로서, 상기 기판을 중심으로 그 둘레에 동심구조로 배치된 것을 특징으로 하는 약액 배출 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 복수의 약액 회수부 각각의 상부에는 상기 약액이 유입되는 개구부가 형성되고, 상기 개구부는 상기 유입되는 약액의 종류에 따라 개폐가 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 배출 장치
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 약액 회수부 내부에는 상기 개구부를 개폐하기 위한 개폐구동부가 구비된 것을 특징으로 하는 약액 배출 장치
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 개폐구동부는, 상기 개구부를 개폐하는 개폐부재와, 상기 개폐부재를 상하 승강시켜 상기 개구부를 개폐하기 위한 구동력을 제공하는 실린더로 이루어진 것을 특징으로 하는 약액 배출 장치
  6. 제 2항에 있어서,
    상기 복수의 약액 회수부 상단의 높이는 상기 기판에 가까운 내측에서부터 외측으로 갈수록 높아지는 것을 특징으로 하는 약액 배출 장치
  7. 제 2항에 있어서,
    상기 복수의 약액 회수부 상단의 높이는 동일한 것을 특징으로 하는 약액 배출 장치
  8. 제 2항에 있어서,
    상기 복수의 약액 회수부의 상측에는, 상기 기판으로부터 방사상 외측으로 비산되는 약액을 상기 복수의 약액 회수부 중 특정한 약액 회수부로 유입되도록 유도하기 위해, 회전축을 중심으로 선회 가능한 제1가이드가 구비된 것을 특징으로 하는 약액 배출 장치.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 제1가이드는, 상기 제1가이드가 수직방향으로 세워진 상태를 기준으로, 상기 기판을 중심으로 하는 방사상 외측 방향으로 0도 내지 45도 범위 내에서 회전하는 것을 특징으로 하는 약액 배출 장치.
  10. 제 8항에 있어서,
    상기 제1가이드는 동심원 형상으로 이루어진 상기 약액 회수부의 상부 둘레를 따라 복수 개가 구비된 것을 특징으로 하는 약액 배출 장치
  11. 제 2항에 있어서,
    상기 복수의 약액 회수부 중 적어도 하나의 약액 회수부 상면에는 상기 약액을 상기 약액 회수부의 상부에 형성된 개구부로 유도하기 위한 제2가이드가 구비된 것을 특징으로 하는 약액 배출 장치.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 제2가이드는 상기 복수의 약액 회수부의 내측 가장자리와 외측 가장자리에 각각의 경사면이 서로 마주보도록 한 쌍이 구비된 것을 특징으로 하는 약액 배출 장치
  13. 제 1항에 있어서,
    상기 복수의 약액 회수부에 각각 종류별로 회수된 약액은 재사용되는 것을 특징으로 하는 약액 배출 장치
  14. 제 1항에 있어서,
    상기 기판 표면에는 약액 분사 노즐로부터 상기 약액이 분사되고, 상기 기판은 스핀척에 의해 지지된 상태에서 회전하는 것을 특징으로 하는 약액 배출 장치
  15. 제 14항에 있어서,
    상기 스핀척과 상기 약액 회수부 사이의 공간으로 낙하하는 약액을 회수하기 위한 회수챔버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 배출 장치.
  16. 제 3항에 있어서,
    상기 개구부는 상기 약액 회수부의 상부 둘레를 따라 각각 복수 개 형성된 것을 특징으로 하는 약액 배출 장치
  17. 제 3항에 있어서,
    상기 개구부는 상기 약액 회수부의 상부 둘레를 따라 링 모양으로 개방된 형상으로 이루어지고, 상기 개구부를 개폐하기 위한 개폐부재도 상기 개구부를 덮을 수 있는 링 모양으로 형성된 것을 특징으로 하는 약액 배출 장치
  18. a) 기판 둘레에 구비된 복수의 약액 회수부 중 어느 하나로 제1약액이 유입될 수 있도록 개구부가 개방되고, 나머지 약액 회수부의 개구부는 폐쇄되는 단계;
    b) 회전하는 기판 상에 공급된 제1약액은 상기 개방된 약액 회수부의 개구부를 통해 유입되는 단계;
    를 포함하는 약액 배출 방법
  19. 제 18항에 있어서,
    상기 b) 단계 이후,
    상기 제1약액이 회수된 제1 약액 회수부의 개구부는 폐쇄되고, 제2 약액 회수부의 개구부가 개방되며, 회전하는 기판 상에 공급된 제2약액은 상기 제2 약액 회수부의 개구부를 통해 유입되는 것을 특징으로 하는 약액 배출 방법
  20. 제 18항에 있어서,
    상기 a)단계는, 상기 복수의 약액 회수부의 상측에 위치한 제1가이드를 상기 기판에서 비산되는 제1약액이 상기 개구부가 개방된 약액 회수부로 유도되도록 선회시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 배출 방법

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