KR20180113918A - Mounting table and mounting method - Google Patents

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KR20180113918A KR1020180035394A KR20180035394A KR20180113918A KR 20180113918 A KR20180113918 A KR 20180113918A KR 1020180035394 A KR1020180035394 A KR 1020180035394A KR 20180035394 A KR20180035394 A KR 20180035394A KR 20180113918 A KR20180113918 A KR 20180113918A
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Abstract

An objective of the present invention is to provide a mounting table capable of mounting a workpiece in a desired position with high precision. In a mounting table (2) for mounting a workpiece having a rectangular shape, a flatness adjustment unit (4a to 4x) for adjusting flatness of a surface (10a) of the mounting table for mounting the workpiece is provided, wherein the flatness adjustment unit includes: a bolt (16) arranged in a through-hole (28) formed through the mounting table; a first spherical washer (18) inserted through the bolt and disposed at an inlet of the through-hole on a front side of the mounting table; a second spherical washer (20) inserted through the bolt and disposed at an outlet of the through-hole on a rear side of the mounting table; an adjustment screw (22) disposed on the rear side of the mounting table to receive a thread part of the bolt; and a fixing nut (24) for fixing the adjustment screw.

Description

탑재 테이블 및 탑재 방법{MOUNTING TABLE AND MOUNTING METHOD}Mounting table and mounting method {MOUNTING TABLE AND MOUNTING METHOD}

본 발명은, 메탈 마스크 등의 워크를 탑재하기 위한 탑재 테이블 및 해당 탑재 테이블에 워크를 탑재하는 탑재 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a mounting table for mounting a work such as a metal mask and a mounting method for mounting a work on the mounting table.

종래, 메탈 마스크 등의 워크를 탑재하는 유리판의 평면도를 조정하는 평면도 조정 기구를 구비한 유리제 측정 테이블이 알려져 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조). 이 유리제 측정 테이블에 의하면, 유리판에 휨이 없는 상태에서 워크를 유리판 상에 탑재하여 검사할 수 있다.BACKGROUND ART Conventionally, a glass measuring table having a flatness adjusting mechanism for adjusting a flatness of a glass plate on which a work such as a metal mask is mounted is known (see, for example, Patent Document 1). According to the glass measuring table, the work can be placed on a glass plate and inspected without warpage of the glass plate.

일본 특허 공개 평 9-033207 호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-033207

그런데, 특허문헌 1 등에 기재된 유리제 측정 테이블(탑재 테이블)에서는, 검사 시에 워크를 직접 유리판에 탑재하기 때문에, 유리판이 손상되기 쉽다는 문제가 있었다. 그래서, 유리판의 주위에 세라믹 등으로 이루어지는 프레임 형상의 탑재 테이블을 구비하고, 해당 탑재 테이블에 직사각 형상의 워크를 탑재하여, 검사하는 검사 장치가 사용되고 있다.However, in the glass measuring table (mounting table) disclosed in Patent Document 1 or the like, since the work is directly mounted on the glass plate at the time of inspection, there is a problem that the glass plate is liable to be damaged. Therefore, an inspection apparatus for inspecting a rectangular workpiece by mounting a frame-shaped mounting table made of ceramic or the like around the glass plate is used.

그렇지만, 상술의 검사 장치를 이용하여 메탈 마스크 등의 직사각 형상의 워크를 정밀도 양호하게 검사하기 위해서는, 워크를 변형시키는 일 없이 탑재 테이블에 탑재할 필요가 있다. 또한, 워크의 탑재 테이블에 대한 위치 어긋남 및 자세 어긋남이 생기지 않도록 워크를 탑재 테이블에 탑재할 필요가 있다.However, in order to inspect a rectangular work such as a metal mask with good precision using the above-described inspection apparatus, it is necessary to mount the workpiece on the mounting table without deforming the workpiece. In addition, it is necessary to mount the work on the mounting table so that the positional deviation and the positional deviation of the work with respect to the mounting table do not occur.

본 발명의 목적은, 워크를 정밀도 양호하게 소망의 위치에 탑재할 수 있는 탑재 테이블 및 해당 탑재 테이블에 워크를 탑재하는 탑재 방법을 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a mounting table capable of mounting a work in a desired position with high precision and a mounting method for mounting a work on the mounting table.

본 발명의 탑재 테이블은, 직사각 형상의 워크를 탑재하는 탑재 테이블로서, 상기 워크를 탑재하는 상기 탑재 테이블의 표면의 평면도를 조정하는 평면도 조정부를 구비하고, 상기 평면도 조정부는, 상기 탑재 테이블을 관통하는 관통 구멍에 배치되는 볼트와, 상기 볼트에 관통 삽입되며, 상기 탑재 테이블의 표면측에서 상기 관통 구멍의 입구에 배치되는 제 1 구면(球面) 와셔와, 상기 볼트에 관통 삽입되며, 상기 탑재 테이블의 이면측에서 상기 관통 구멍의 출구에 배치되는 제 2 구면 와셔와, 상기 탑재 테이블의 이면측에 배치되며, 상기 볼트의 나사부를 받고 수용하는 조정 나사와, 상기 조정 나사를 고정하는 고정 너트를 구비한다.The mounting table of the present invention is a mounting table for mounting a workpiece having a rectangular shape and includes a planarity adjustment unit for adjusting the planarity of the surface of the mounting table on which the workpiece is mounted, A first spherical washer inserted through the bolt and disposed at an entrance of the through hole on a surface side of the mounting table; and a second spherical washer inserted through the bolt, A second spherical washer disposed at an outlet of the through hole at the back side of the mounting table, an adjusting screw disposed at a back side of the mounting table for receiving and receiving a thread of the bolt, and a fixing nut for fixing the adjusting screw .

또한, 본 발명의 탑재 테이블은, 직사각 형상의 워크를 탑재하는 탑재 테이블로서, 상기 워크를 탑재하는 상기 탑재 테이블의 표면 내에서의 상기 워크의 위치 및 자세를 조정하는 위치 자세 조정부를 구비하고, 상기 위치 자세 조정부는, 외부로부터 반송되는 상기 워크를 받아 탑재하는 탑재면을 갖고, 상기 탑재면을 상기 탑재 테이블의 표면에 대하여 교차하는 방향으로 승강시키는 리프트 핀과, 상기 탑재면에 탑재된 상기 워크의 상기 탑재면 내에서의 이동을 제어하는 제어부와, 상기 워크를 상기 탑재면 내에서 이동시키고, 상기 워크의 위치 및 자세가 조정된 상태에서 상기 워크의 모서리를 지지하는 클램프부를 구비하고, 상기 제어부는, 상기 리프트 핀이 승강하고 있는 동안, 상기 워크의 이동을 금지하고, 상기 클램프 부가 상기 워크를 지지하고 있는 동안, 상기 워크의 이동을 허가하는 것을 특징으로 한다.The mounting table of the present invention is a mounting table for mounting a workpiece having a rectangular shape and includes a position and orientation adjusting section for adjusting the position and orientation of the workpiece in the surface of the mounting table on which the workpiece is mounted, The position and orientation adjusting section includes a lift pin having a mounting surface on which the workpiece carried from the outside is received and mounted and which lifts the mounting surface in a direction crossing the surface of the mounting table; And a clamp unit which moves the work in the mounting surface and supports the edge of the work in a state where the position and posture of the work are adjusted, , The movement of the workpiece is inhibited while the lift pin is moving up and down, While high, it characterized in that it permits a movement of the workpiece.

또한, 본 발명의 탑재 테이블은, 직사각 형상의 워크를 탑재하는 탑재 테이블로서, 상기 워크를 탑재하는 상기 탑재 테이블의 표면의 평면도를 조정하는 평면도 조정부와, 상기 워크를 탑재하는 상기 탑재 테이블의 표면 내에서의 상기 워크의 위치 및 자세를 조정하는 위치 자세 조정부를 구비하고, 상기 평면도 조정부는, 상기 탑재 테이블을 관통하는 관통 구멍에 배치되는 볼트와, 상기 볼트에 관통 삽입되며, 상기 탑재 테이블의 표면측에서 상기 관통 구멍의 입구에 배치되는 제 1 구면 와셔와, 상기 볼트에 관통 삽입되며, 상기 탑재 테이블의 이면측에서 상기 관통 구멍의 출구에 배치되는 제 2 구면 와셔와, 상기 탑재 테이블의 이면측에 배치되며, 상기 볼트의 나사부를 수용하는 조정 나사와, 상기 조정 나사를 고정하는 고정 너트를 구비하고, 상기 위치 자세 조정부는, 외부로부터 반송되는 상기 워크를 받아 탑재하는 탑재면을 갖고, 상기 탑재면을 상기 탑재 테이블의 표면에 대하여 교차하는 방향으로 승강시키는 리프트 핀과, 상기 탑재면에 탑재된 상기 워크의 상기 탑재면 내에서의 이동을 제어하는 제어부와, 상기 워크를 상기 탑재면 내에서 이동시키고, 상기 워크의 위치 및 자세가 조정된 상태에서 상기 워크의 모서리를 지지하는 클램프부를 구비하고, 상기 제어부는, 적어도 상기 리프트 핀이 승강하고 있는 동안, 상기 워크의 이동을 금지하고, 상기 위치 자세 조정부에 있어서 상기 워크의 위치 및 자세를 조정하고 있는 동안, 상기 워크의 이동을 허가하는 것을 특징으로 한다.The mounting table of the present invention is a mounting table for mounting a workpiece having a rectangular shape and includes a planarity adjustment unit for adjusting a planarity of the surface of the mounting table on which the workpiece is mounted, And a position and orientation adjusting section for adjusting a position and an attitude of the work in the mounting table, wherein the planarity adjusting section includes: a bolt disposed in a through hole passing through the mounting table; A second spherical washer inserted through the bolt and disposed at an exit of the through hole at the back surface side of the mount table; and a second spherical washer inserted into the bolt at the back side of the mount table And a fixing nut for fixing the adjusting screw, wherein the adjusting screw is provided with a screw The position and orientation adjusting section includes a lift pin having a mounting surface on which the workpiece carried from the outside is received and mounted and which lifts the mounting surface in a direction crossing the surface of the mounting table; And a clamp unit which moves the work in the mounting surface and supports the edge of the work in a state where the position and posture of the work are adjusted, , The movement of the workpiece is inhibited while at least the lift pin is lifted and lowered, and the movement of the workpiece is allowed while the position and orientation of the workpiece is adjusted by the position and orientation adjusting section.

또한, 본 발명의 탑재 테이블은, 상기 탑재 테이블을 지지하는 복수의 레그부를 구비하고, 상기 평면도 조정부는, 상기 레그부의 근방에 배치되는 것을 특징으로 한다.Further, the mounting table of the present invention includes a plurality of leg portions for supporting the mounting table, and the planarity adjustment portion is disposed in the vicinity of the leg portions.

또한, 본 발명의 탑재 테이블은, 상기 클램프부가 상기 워크의 네 모서리를 지지하는 것을 특징으로 한다.In the mounting table of the present invention, the clamp portion supports four corners of the work.

또한, 본 발명의 탑재 테이블은, 상기 워크가 메탈 마스크 프레임에 메탈 마스크 시트를 장착한 메탈 마스크 또는 상기 메탈 마스크 프레임인 것을 특징으로 한다.The mounting table of the present invention is characterized in that the work is a metal mask having a metal mask sheet mounted on the metal mask frame or the metal mask frame.

또한, 본 발명의 탑재 방법은, 직사각 형상의 워크를 탑재 테이블에 탑재하는 탑재 방법으로서, 상기 탑재 테이블의 표면보다 상방까지 상승시킨 리프트 핀 상부에 배치된 탑재면에 상기 워크를 탑재하는 제 1 탑재 공정과, 상기 제 1 탑재 공정에서 상기 탑재면에 탑재된 상기 워크의 상기 탑재면 내에서의 이동을 금지하는 제 1 금지 공정과, 상기 리프트 핀을 상기 탑재 테이블의 표면 근방에 있어서 상기 탑재 테이블의 표면보다 상방까지 하강시켜, 상기 워크의 상기 탑재면 내에서의 이동을 허가하는 허가 공정과, 상기 탑재 테이블의 표면 내에 있어서의 상기 워크의 위치 및 자세를 조정하는 위치 자세 조정 공정과, 상기 위치 자세 조정 공정 후, 상기 워크의 상기 탑재면 내에서의 이동을 금지하는 제 2 금지 공정과, 상기 리프트 핀을 상기 탑재 테이블의 표면보다 하방으로 하강시켜, 상기 탑재 테이블의 표면에 상기 워크를 탑재하는 제 2 탑재 공정을 포함하며, 상기 위치 자세 조정 공정은, 상기 워크의 모서리에 배치된 클램프부에 있어서, 상기 워크를 상기 탑재면 내에서 이동시키고, 상기 워크의 위치 및 자세가 조정된 상태에서 상기 워크의 모서리를 지지하는 것을 특징으로 한다.The mounting method according to the present invention is a mounting method for mounting a rectangular workpiece on a mounting table. The mounting method includes mounting a workpiece on a mounting surface disposed on an upper portion of a lift pin raised above a surface of the mounting table, A first prohibiting step of prohibiting movement of the workpiece mounted on the mounting surface in the mounting surface in the first mounting step; and a second prohibiting step of prohibiting movement of the lift pin in the vicinity of the surface of the mounting table A position and posture adjusting step of adjusting a position and an attitude of the work within the surface of the mounting table; A second prohibiting step of prohibiting movement of the work within the mounting surface after the adjusting step, And a second mounting step of mounting the work on the surface of the mounting table by lowering the surface of the workpiece to a position below the surface of the work table, And the workpiece is moved in the mounting surface, and the edge of the workpiece is supported while the position and posture of the workpiece are adjusted.

또한, 본 발명의 탑재 방법은, 상기 제 1 탑재 공정 전에, 상기 탑재 테이블의 표면의 평면도를 조정하는 평면도 조정 공정을 추가로 포함하고, 상기 평면도 조정 공정은, 상기 탑재 테이블을 관통하는 관통 구멍에 배치되는 볼트와, 상기 볼트에 관통 삽입되며, 상기 탑재 테이블의 표면측에서 상기 관통 구멍의 입구에 배치되는 제 1 구면 와셔와, 상기 볼트에 관통 삽입되며, 상기 탑재 테이블의 표면측에서 상기 관통 구멍의 출구에 배치되는 제 2 구면 와셔와, 상기 탑재 테이블의 이면측에 배치되며, 상기 볼트의 나사부를 수용하는 조정 나사와, 상기 조정 나사를 고정하는 고정 너트에 의해 구성되는 평면도 조정부에 의해 상기 평면도를 조정하는 것을 특징으로 한다.The mounting method of the present invention may further include a planarity adjustment step of adjusting a planarity of the surface of the mounting table before the first mounting step, A first spherical washer inserted through the bolt and disposed at an entrance of the through hole at a surface side of the mounting table; a second spherical washer inserted through the bolt, And a planarity adjusting section which is arranged on the back side of the mounting table and is constituted by an adjusting screw for receiving the screw portion of the bolt and a fixing nut for fixing the adjusting screw, Is adjusted.

또한, 본 발명의 탑재 방법은, 상기 워크가 메탈 마스크 프레임에 메탈 마스크 시트를 장착한 메탈 마스크 또는 상기 메탈 마스크 프레임인 것을 특징으로 한다.The mounting method of the present invention is characterized in that the work is a metal mask having a metal mask sheet mounted on the metal mask frame or the metal mask frame.

본 발명에 의하면, 워크를 정밀도 양호하게 소망의 위치에 탑재할 수 있는 탑재 테이블 및 해당 탑재 테이블에 워크를 탑재하는 탑재 방법을 제공할 수 있다.According to the present invention, it is possible to provide a mounting table capable of mounting a work in a desired position with high accuracy and a mounting method for mounting a work on the mounting table.

도 1은 실시형태에 따른 검사 테이블의 개략 구성을 도시하는 사시도,
도 2는 실시형태에 따른 검사 테이블의 개략 구성을 도시하는 평면도,
도 3은 실시형태에 따른 검사 테이블의 개략 구성을 도시하는 정면도,
도 4는 실시형태에 따른 검사 테이블의 개략 구성을 도시하는 우측면도,
도 5는 실시형태에 따른 평면도 조정 기구의 구성을 도시하는 중앙 종단면도,
도 6은 실시형태에 따른 리프트 핀이 상승하고 있는 상태를 도시하는 도면,
도 7은 실시형태에 따른 클램프의 구성에 대하여 설명하기 위한 확대도,
도 8은 실시형태에 따른 검사 테이블의 시스템 구성을 나타내는 블록도,
도 9는 실시형태에 따른 검사 테이블을 이용한 메탈 마스크 탑재 방법에 대하여 설명하기 위한 흐름도.1 is a perspective view showing a schematic configuration of an inspection table according to an embodiment,
2 is a plan view showing a schematic configuration of an inspection table according to the embodiment,
3 is a front view showing a schematic configuration of an inspection table according to the embodiment;
4 is a right side view showing a schematic configuration of an inspection table according to the embodiment,
5 is a vertical cross-sectional view showing the structure of the flatness adjusting mechanism according to the embodiment,
6 is a view showing a state in which the lift pins are lifted according to the embodiment,
7 is an enlarged view for explaining the configuration of a clamp according to the embodiment,
8 is a block diagram showing the system configuration of the inspection table according to the embodiment;
FIG. 9 is a flowchart for explaining a metal mask mounting method using an inspection table according to the embodiment; FIG.

이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 실시형태에 따른 탑재 테이블에 대하여 설명한다. 탑재 테이블은 직사각 형상의 워크를 탑재하는 것으로서, 이 실시형태에서는, 직사각 형상의 워크로서 메탈 마스크를, 탑재 테이블로서 해당 메탈 마스크를 탑재하여 검사하는 검사 테이블을 예로 들어 설명한다. 메탈 마스크는, 메탈 마스크 제조 장치에 의해 프레임 형상의 메탈 마스크 프레임을 구성하는 대향하는 2변에, 복수의 띠 형상의 메탈 마스크 시트의 양 단부를 순차 부착하는 것에 의해 제조되며, 유기 EL 소자의 제조 공정에서 유기 발광층을 진공 증착할 때에 사용된다.Hereinafter, a mounting table according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The mounting table mounts a workpiece having a rectangular shape. In this embodiment, a metal mask is used as a workpiece having a rectangular shape, and an inspection table on which the metal mask is mounted as the mounting table is taken as an example. The metal mask is manufactured by sequentially attaching both end portions of a plurality of band-shaped metal mask sheets to opposite sides constituting a frame-shaped metal mask frame by a metal mask manufacturing apparatus, Is used for vacuum deposition of the organic light emitting layer in the process.

도 1은 실시형태에 따른 검사 테이블의 개략 구성을 도시하는 사시도, 도 2는 실시형태에 따른 검사 테이블의 개략 구성을 도시하는 평면도, 도 3은 실시형태에 따른 검사 테이블의 개략 구성을 도시하는 정면도, 도 4는 실시형태에 따른 검사 테이블의 개략 구성을 도시하는 우측면도이다. 또한, 이하의 설명에서는, 도 1에 나타내는 XYZ 직교 좌표계를 설정하고, 이 직교 좌표계를 참조하면서 각 부재의 위치 관계 등에 대하여 설명한다. XY 평면은, 검사 테이블을 탑재하는 수평면에 평행한 면으로 설정되어 있으며, Z축은, 연직 방향으로 설정되어 있다.Fig. 2 is a plan view showing a schematic configuration of an inspection table according to the embodiment. Fig. 3 is a front view showing a schematic configuration of a check table according to the embodiment. Fig. Fig. 4 is a right side view showing a schematic configuration of an inspection table according to the embodiment. Fig. In the following description, the XYZ orthogonal coordinate system shown in Fig. 1 is set, and the positional relationship among the respective members is described with reference to this orthogonal coordinate system. The XY plane is set as a plane parallel to the horizontal plane on which the inspection table is mounted, and the Z axis is set in the vertical direction.

검사 테이블(2)은, 도 1 내지 도 4에 도시하는 바와 같이, 유리판(8), 테이블부(10), 복수(이 실시형태에서는 24개)의 레그부(12a 내지 12w) 및 도시하지 않는 레그부, 기대(14), 복수(이 실시형태에서는 24개)의 평면도 조정 기구(4a 내지 4x), 복수(이 실시형태에서는 10개)의 리프트 핀(5a 내지 5j), 및 복수(이 실시형태에서는 4개)의 클램프(6a 내지 6d)를 구비하고 있다. 유리판(8)은 중앙부에 배치되어 있으며, 프레임 형상의 테이블부(10)는 유리판(8)의 주위에 배치되어 있다. 테이블부(10)는, 세라믹 등으로 이루어지며, 검사 대상물인 메탈 마스크를 탑재한다. 레그부(12a 내지 12w) 및 도시하지 않는 레그부는 테이블부(10)를 지지하고 있으며, 레그부(12a 내지 12c)는 테이블부(10)의 ＋Y 방향측에, 레그부(12 내지 12h)는 테이블부(10)의 -Y 방향측에, 레그부(12i 내지 12p)는 테이블부(10)의 ＋X 방향측에, 레그부(12q 내지 12w) 및 도시하지 않는 레그부는 테이블부(10)의 -X 방향측에 마련되어 있다.1 to 4, the inspection table 2 includes a glass plate 8, a table portion 10, a plurality of (in this embodiment, 24) leg portions 12a to 12w, and a plurality of A plurality of (in this embodiment, ten) lift pins 5a to 5j, and a plurality of (in this embodiment, four) planarity adjusting mechanisms 4a to 4x, 4) clamps 6a to 6d. The glass plate 8 is arranged at the center, and the frame-shaped table 10 is arranged around the glass plate 8. The table portion 10 is made of ceramic or the like and mounts a metal mask to be inspected. The leg portions 12a to 12c and the leg portions 12 to 12h support the table portion 10 and the leg portions 12a to 12c are disposed on the + Y direction side of the table portion 10, On the -Y direction side of the table section 10, the leg sections 12i to 12p are arranged on the + X direction side of the table section 10, the leg sections 12q to 12w and leg sections (not shown) On the -X direction side.

평면도 조정 기구(4a 내지 4c) 각각은, 테이블부(10)의 ＋Y 방향측에 있어서, 레그부(12a 내지 12c) 각각의 근방에 배치되어 있다. 마찬가지로, 평면도 조정 기구(4d 내지 4h) 각각은 테이블부(10)의 -Y 방향측에 있어서 레그부(12d 내지 12h) 각각의 근방에, 평면도 조정 기구(4i 내지 4p) 각각은 테이블부(10)의 ＋X 방향측에 있어서 레그부(12i 내지 12p) 각각의 근방에, 평면도 조정 기구(4q 내지 4x) 각각은 테이블부(10)의 -X 방향측에 있어서 레그부(12q 내지 12w) 및 도시하지 않는 레그부 각각의 근방에 배치되어 있다. 평면도 조정 기구(4a 내지 4x)는, 테이블부(10)의 표면, 즉 테이블부(10)의 탑재면(10a)의 평면도를 조정한다.Each of the flatness adjusting mechanisms 4a to 4c is disposed in the vicinity of each of the leg portions 12a to 12c on the + Y direction side of the table portion 10. [ Likewise, each of the flatness adjusting mechanisms 4d to 4h is disposed in the vicinity of each of the leg portions 12d to 12h on the -Y direction side of the table portion 10, The planarity adjustment mechanisms 4q to 4x are provided in the vicinity of each of the leg portions 12i to 12p on the + X direction side of the leg portion 12q to 12w on the -X direction side of the table portion 10, And is disposed in the vicinity of each of the leg portions. The flatness adjusting mechanisms 4a to 4x adjust the flatness of the surface of the table portion 10, that is, the mounting surface 10a of the table portion 10.

도 5는, 평면도 조정 기구(4h)의 구성을 도시하는 중앙 종단면도이다. 평면도 조정 기구(4h)는, 도 5에 도시하는 바와 같이, 볼트(16), 제 1 구면 와셔(18), 제 2 구면 와셔(20), 조정 나사(22) 및 고정 너트(24)를 구비하고 있다. 볼트(16)는, 테이블부(10)의 탑재면(10a)에 마련되어 있는 오목부(26), 및 오목부(26)로부터 테이블부(10)를 Z 방향으로 관통하는 관통 구멍(28)에 배치되어 있다. 제 1 구면 와셔(18)는, 볼트(16)에 관통 삽입되며, 테이블부(10)의 탑재면(10a)측(＋Z 방향측)에 있어서 관통 구멍(28)의 입구에 배치되어 있다. 즉, 제 1 구면 와셔(18)는, 볼트(16)의 헤드부와 오목부(26)의 저부의 사이에 배치되어 있다. 제 2 구면 와셔(20)는, 볼트(16)에 관통 삽입되며, 테이블부(10)의 이면측(-Z 방향측)에 있어서 관통 구멍(28)의 출구에 배치되어 있다. 레그부(12h)가 테이블부(10)를 지지하는 지지부에는, Z 방향으로 관통하는 관통 구멍이 마련되어 있으며, 제 2 구면 와셔(20)는, 테이블부(10)의 이면과 레그부(12h)에 마련되어 있는 관통 구멍의 입구(＋Z 방향측)의 사이에 배치되어 있다.Fig. 5 is a vertical cross-sectional view showing the configuration of the planarity adjusting mechanism 4h. 5, the flatness adjusting mechanism 4h includes a bolt 16, a first spherical washer 18, a second spherical washer 20, an adjusting screw 22 and a fixing nut 24 . The bolt 16 has a concave portion 26 provided on the mounting surface 10a of the table portion 10 and a through hole 28 penetrating the table portion 10 in the Z direction from the concave portion 26 Respectively. The first spherical washer 18 is inserted into the bolt 16 and is disposed at the entrance of the through hole 28 on the mounting surface 10a side (+ Z direction side) of the table portion 10. That is, the first spherical washer 18 is disposed between the head portion of the bolt 16 and the bottom portion of the concave portion 26. The second spherical washer 20 is inserted through the bolt 16 and disposed at the exit of the through hole 28 on the back side (-Z direction side) of the table portion 10. A through hole penetrating in the Z direction is provided in the support portion of the leg portion 12h which supports the table portion 10. The second spherical washer 20 is provided on the back surface of the table portion 10 and the leg portion 12h, (The + Z direction side) of the through hole provided in the main body portion.

조정 나사(22)는, 테이블부(10)의 이면측에서, 레그부(12h)에 마련되어 있는 관통 구멍에 배치되어 있다. 조정 나사(22)의 ＋Z 방향측의 단부에는, 볼트(16)의 -Z 방향측의 나사부를 수용하는 수용부(22a)가 형성되어 있다. 조정 나사(22)를 한쪽으로 회전시키는 것에 의해 볼트(16)는 조여지고, 테이블부(10)의 탑재면(10a)의 평면도가 변화한다. 또한, 조정 나사(22)를 다른쪽으로 회전시키는 것에 의해 볼트(16)는 느슨해지고, 테이블부(10)의 탑재면(10a)의 평면도가 변화한다. 고정 너트(24)는, 조정 나사(22)를 고정한다. 또한, 제 1 구면 와셔(18) 및 제 2 구면 와셔(20)는, XY 평면에 있어서의 테이블부(10)의 평면도 조정 기구(4h)주위의 경사를 흡수한다. 또한, 평면도 조정 기구(4a 내지 4g) 및 (4i 내지 4x)의 구성은, 평면도 조정 기구(4h)의 구성과 동일하기 때문에, 설명을 생략한다.The adjusting screw 22 is disposed in the through hole provided in the leg portion 12h on the back side of the table portion 10. [ At the end on the + Z direction side of the adjusting screw 22, a receiving portion 22a for receiving a screw portion on the -Z direction side of the bolt 16 is formed. By rotating the adjusting screw 22 in one direction, the bolt 16 is tightened and the flatness of the mounting surface 10a of the table portion 10 changes. Further, by rotating the adjusting screw 22 to the other side, the bolt 16 is loosened, and the flatness of the mounting surface 10a of the table portion 10 is changed. The fixing nut (24) fixes the adjusting screw (22). The first spherical washer 18 and the second spherical washer 20 absorb the inclination around the flatness adjusting mechanism 4h of the table portion 10 in the XY plane. The configurations of the planarity adjustment mechanisms 4a to 4g and 4i to 4x are the same as those of the planarity adjustment mechanism 4h, and therefore description thereof is omitted.

리프트 핀(5a)은 테이블부(10)의 ＋X 방향측에 있어서 평면도 조정 기구(4i)와 (4j)의 사이에, 리프트 핀(5b)은 테이블부(10)의 ＋X 방향측에 있어서 평면도 조정 기구(4j)와 (4k)의 사이에, 리프트 핀(5c)은 테이블부(10)의 ＋X 방향측에 있어서 평면도 조정 기구(4l)와 (4m)의 사이에, 리프트 핀(5d)은 테이블부(10)의 ＋X 방향측에 있어서 평면도 조정 기구(4n)와 (4o)의 사이에, 리프트 핀(5e)은 테이블부(10)의 ＋X 방향측에 있어서 평면도 조정 기구(4j)와 (4k)의 사이에 마련되어 있다. 또한, 리프트 핀(5f)은 테이블부(10)의 -X 방향측에 있어서 평면도 조정 기구(4q)와 (4r)의 사이에, 리프트 핀(5g)은 테이블부(10)의 -X 방향측에 있어서 평면도 조정 기구(4s)와 (4t)의 사이에, 리프트 핀(5h)은 테이블부(10)의 -X 방향측에 있어서 평면도 조정 기구(4u)와 (4v)의 사이에, 리프트 핀(5i)은 테이블부(10)의 -X 방향측에 있어서 평면도 조정 기구(4w)와 (4x)의 사이에, 리프트 핀(5j)은 테이블부(10)의 -X 방향측에 있어서 평면도 조정 기구(4j)와 (4k)의 사이에 마련되어 있다.The lift pins 5a are arranged between the flatness adjusting mechanisms 4i and 4j on the + X direction side of the table portion 10 and the lift pins 5b are arranged between the flatness adjusting mechanisms 4i and 4j on the + X direction side of the table portion 10 Between the mechanisms 4j and 4k, the lift pins 5c are arranged between the flatness adjusting mechanisms 41 and 4m on the + X direction side of the table portion 10, The lift pins 5e are provided between the planarity adjustment mechanisms 4n and 4o on the + X direction side of the table section 10 on the + X direction side of the table section 10 and the planarity adjustment mechanisms 4j and 4k As shown in Fig. The lift pins 5f are disposed between the planarity adjusting mechanisms 4q and 4r on the -X direction side of the table section 10 and between the lift pins 5g and the table- The lift pins 5h are provided between the planarity adjusting mechanisms 4s and 4t and between the planarity adjusting mechanisms 4u and 4v on the -X direction side of the table portion 10, The lift pins 5j are arranged between the planarity adjustment mechanisms 4w and 4x on the -X direction side of the table portion 10 and the lift pins 5j are arranged on the -X direction side of the table portion 10 And is provided between the mechanisms 4j and 4k.

리프트 핀(5a 내지 5j)은, 테이블부(10)의 하방(-Z 방향)에 있으며 기대(14)의 상측(＋Z 방향측) 근방인 대기 위치(도 1 내지 도 4 참조)로부터, 리프트 핀(5a 내지 5j) 각각에 대하여 마련되어 있는 테이블부(10)의 노치부를 거쳐서, 테이블부(10)의 상방(＋Z 방향)의 워크를 받는 위치(도 6 참조)까지의 사이를 이동 가능하게 구성되어 있다. 즉, 리프트 핀(5a 내지 5j)은, Z 방향으로 승강한다. 또한, 리프트 핀(5a 내지 5j)은, 워크를 받는 위치에 있어서, 외부로부터 검사 테이블(2)로 반송되어 온 메탈 마스크를 받아 탑재하는 탑재면을 갖고 있다. 리프트 핀(5a 내지 5j)은, 워크를 받는 위치에 있어서 외부로부터 테이블부(10)에 반송되는 메탈 마스크를 받고, -Z 방향으로 이동하여 메탈 마스크를 테이블부(10)의 탑재면(10a) 상에 탑재한다. 또한, 리프트 핀(5a)은, 탑재된 메탈 마스크의 탑재면(XY 평면) 내에서의 이동을 제어하는 센터링 유닛(도시하지 않음)을 구비하고 있다. 마찬가지로, 리프트 핀(5b 내지 5j) 각각은, 탑재된 메탈 마스크의 탑재면(XY 평면) 내에서의 이동을 제어하는 센터링 유닛(도시하지 않음)을 구비하고 있다.The lift pins 5a to 5j extend from a standby position (see Figs. 1 to 4) in the vicinity of the upper side (+ Z direction side) of the base 14 in the downward direction (-Z direction) (+ Z direction) of the table portion 10 (see Fig. 6) via the notch portion of the table portion 10 provided for each of the table portions 5a to 5j have. That is, the lift pins 5a to 5j are raised and lowered in the Z direction. The lift pins 5a to 5j have a mounting surface for receiving and mounting a metal mask carried from the outside to the inspection table 2 at a position where the workpiece is received. The lift pins 5a to 5j receive a metal mask carried from the outside to the table portion 10 at a position where the workpiece is received and move in the -Z direction to move the metal mask to the mounting surface 10a of the table portion 10. [ Lt; / RTI > The lift pin 5a is provided with a centering unit (not shown) for controlling the movement of the mounted metal mask within the mounting surface (XY plane). Similarly, each of the lift pins 5b to 5j has a centering unit (not shown) for controlling the movement of the mounted metal mask within the mounting surface (XY plane).

클램프(6a 내지 6d)는, 테이블부(10)의 네 모서리에 각각 배치되어 있으며, 리프트 핀(5a 내지 5j)의 탑재면에 탑재되어 있는 메탈 마스크를 탑재면 내에서 이동시킨다. 도 7은, 도 2에 나타내는 원(A)으로 둘러싼 부재의 확대도이다. 도 7에 도시하는 바와 같이 클램프(6a)는, 테이블부(10)에 고정되어 있는 L자형의 고정 부재(30), 고정 부재(30)에 대하여 ±X 방향으로 이동 가능한 X 방향 가동 부재(32), 고정 부재에 대하여 ±Y 방향으로 이동 가능한 Y 방향 가동 부재(34)를 구비하고 있다. X 방향 가동 부재(32)의 선단부(32a) 및 Y 방향 가동 부재(34)의 선단부(34a)는 회전 가능한 볼로 이루어지며, X 방향 가동 부재(32)가 -X 방향으로, Y 방향 가동 부재(34)가 -Y 방향으로 이동하는 것에 의해 선단부(32a) 및 (34a)가 메탈 마스크의 귀퉁이에 접촉한다. 선단부(32a) 및 (34a)가 메탈 마스크의 귀퉁이에 접촉하는 것에 의해, 메탈 마스크는 리프트 핀(5a 내지 5j)의 탑재면(XY 평면) 내에서 이동하여, 메탈 마스크의 위치 및 자세가 조정된다. 또한, 클램프(6a)의 X 방향 가동 부재(32) 및 Y 방향 가동 부재(34)는, 메탈 마스크의 위치 및 자세가 조정된 상태에서 메탈 마스크의 모서리를 지지한다.The clamps 6a to 6d are disposed at four corners of the table portion 10 and move the metal mask mounted on the mounting surface of the lift pins 5a to 5j in the mounting surface. 7 is an enlarged view of a member surrounded by the circle A shown in Fig. 7, the clamp 6a includes an L-shaped fixing member 30 fixed to the table 10, an X-direction movable member 32 (movable member) movable in the X direction with respect to the fixing member 30, And a Y-direction movable member 34 movable in the Y direction with respect to the fixed member. The distal end portion 32a of the X direction movable member 32 and the distal end portion 34a of the Y direction movable member 34 are made of a rotatable ball and the X direction movable member 32 is movable in the -X direction and the Y direction movable member 34 move in the -Y direction, the tip portions 32a and 34a come into contact with the corners of the metal mask. As the tip portions 32a and 34a come into contact with the corners of the metal mask, the metal mask moves within the mounting plane (XY plane) of the lift pins 5a to 5j to adjust the position and posture of the metal mask . The X-direction movable member 32 and the Y-direction movable member 34 of the clamp 6a support the edge of the metal mask in a state where the position and posture of the metal mask are adjusted.

또한, 클램프(6b)의 구성은, 테이블부(10)의 단측 방향(X 방향)의 중심선을 선대칭으로 하여, 도 7에 도시하는 클램프(6a)의 구성과 동일하다. 또한, 클램프(6c)의 구성은, 테이블부(10)의 장측 방향(Y 방향)의 중심선을 선대칭으로 하여, 도 7에 도시하는 클램프(6a)의 구성과 동일하다. 또한, 클램프(6d)의 구성은, 테이블부(10)의 중심을 점대칭으로 하여, 도 7에 도시하는 클램프(6a)의 구성과 동일하다. 클램프(6a 내지 6d) 각각이 메탈 마스크의 모서리를 지지하는 것에 의해 메탈 마스크의 네 모서리가 지지된다. 또한, 리프트 핀(5a 내지 5j) 및 클램프(6a 내지 6d)는, 테이블부(10)의 탑재면(10a) 내에서의 메탈 마스크의 위치 및 자세를 조정하는 위치 자세 조정 장치를 구성한다.The configuration of the clamp 6b is the same as that of the clamp 6a shown in Fig. 7, with the center line of the table portion 10 in the short side direction (X direction) being line symmetry. The configuration of the clamp 6c is the same as the configuration of the clamp 6a shown in Fig. 7, with the center line of the long side direction (Y direction) of the table portion 10 being line symmetry. The configuration of the clamp 6d is the same as the configuration of the clamp 6a shown in Fig. 7, with the center of the table 10 being point symmetrical. Each of the clamps 6a to 6d supports the four corners of the metal mask by supporting the edges of the metal mask. The lift pins 5a to 5j and the clamps 6a to 6d constitute a position and orientation adjusting device for adjusting the position and attitude of the metal mask in the mounting surface 10a of the table portion 10. [

도 8은, 검사 테이블(2)의 시스템 구성을 나타내는 블록도이다. 검사 테이블(2)은, 도 8에 나타내는 바와 같이, 검사 테이블(2)의 각 부, 특히 리프트 핀(5a 내지 5j) 및 클램프(6a 내지 6d)의 각 부를 통괄적으로 제어하는 제어부(36)를 구비하고 있다. 제어부(36)에는, 리프트 핀(5a)의 리프트 핀 구동부(38)가 접속되어 있다. 제어부(36)는 리프트 핀 구동부(38)의 구동을 제어하고, 리프트 핀 구동부(38)는 리프트 핀(5a)을 구동한다. 즉, 제어부(36)는, 리프트 핀 구동부(38)를 거쳐서, 리프트 핀(5a)을 ±Z 방향으로 이동시킨다.8 is a block diagram showing the system configuration of the inspection table 2. 8, the inspection table 2 includes a control unit 36 for collectively controlling the respective parts of the inspection table 2, particularly the lift pins 5a to 5j and the clamps 6a to 6d, . The lift pin driving section 38 of the lift pin 5a is connected to the control section 36. [ The control unit 36 controls the driving of the lift pin driving unit 38 and the lift pin driving unit 38 drives the lift pin 5a. That is, the control unit 36 moves the lift pin 5a in the ± Z direction via the lift pin driving unit 38. [

또한, 제어부(36)에는, 리프트 핀(5a)의 로크부(40)가 접속되어 있다. 로크부(40)는, 제어부(36)에 의한 제어에 따라서, 리프트 핀(5a)의 센터링 유닛의 로크 및 로크 해제를 제어한다. 즉, 제어부(36)는, 적어도 리프트 핀(5a 내지 5j)이 승강하고 있는 동안, 로크부(40)를 거쳐서, 리프트 핀(5a)의 센터링 유닛을 로크하는 것에 의해 리프트 핀(5a)의 탑재면 내에서의 메탈 마스크의 이동을 금지한다. 또한, 제어부(36)는, 상술한 위치 자세 조정 장치에서 메탈 마스크의 위치 및 자세를 조정하고 있는 동안, 로크부(40)를 거쳐서, 리프트 핀(5a)의 센터링 유닛의 로크를 해제하는 것에 의해, 리프트 핀(5a)의 탑재면 내에서의 메탈 마스크의 이동을 허가한다.The lock portion 40 of the lift pin 5a is connected to the control portion 36. [ The lock section 40 controls the locking and unlocking of the centering unit of the lift pin 5a under the control of the control section 36. [ That is, the control unit 36 locks the centering unit of the lift pin 5a via the lock unit 40 while at least the lift pins 5a to 5j are lifted and lowered, The movement of the metal mask in the plane is prohibited. While the position and orientation of the metal mask are adjusted by the above-described position and orientation adjusting device, the control section 36 releases the lock of the centering unit of the lift pin 5a via the lock section 40 , The movement of the metal mask within the mounting surface of the lift pin 5a is allowed.

또한, 리프트 핀(5b 내지 5j)도 리프트 핀 구동부(도시하지 않음) 및 로크부(도시하지 않음)를 각각 구비하고 있으며, 리프트 핀(5b 내지 5j)의 리프트 핀 구동부 및 로크부는, 제어부(36)에 각각 접속되어 있다. 또한, 리프트 핀(5b 내지 5j)의 리프트 핀 구동부 및 로크부의 구성은, 리프트 핀 구동부(38) 및 로크부(40)의 구성과 동일하다.The lift pins 5b to 5j also include a lift pin driving portion and a lock portion (not shown), respectively. The lift pin driving portion and the lock portion of the lift pins 5b to 5j are connected to the control portion 36 Respectively. The structures of the lift pin driving portion and the lock portion of the lift pins 5b to 5j are the same as those of the lift pin driving portion 38 and the lock portion 40. [

또한, 제어부(36)에는, 클램프(6a)의 X측 클램프 구동부(42) 및 Y측 클램프 구동부(44)가 접속되어 있다. 제어부(36)는 X측 클램프 구동부(42)의 구동을 제어하고, X측 클램프 구동부(42)는 X 방향 가동 부재(32)의 구동을 제어한다. 즉, 제어부(36)는, X측 클램프 구동부(42)를 거쳐서, X 방향 가동 부재(32)를 ±X 방향으로 이동시킨다. 또한, 제어부는 Y측 클램프 구동부(44)의 구동을 제어하고, Y측 클램프 구동부(44)는 Y 방향 가동 부재(34)의 구동을 제어한다. 즉, 제어부(36)는, Y측 클램프 구동부(44)를 거쳐서, Y 방향 가동 부재(34)를 ±Y 방향으로 이동시킨다.The X-side clamp driving section 42 and the Y-side clamp driving section 44 of the clamp 6a are connected to the control section 36. [ The control unit 36 controls the driving of the X-side clamp driving unit 42 and the X-side clamp driving unit 42 controls the driving of the X-direction moving member 32. [ That is, the control unit 36 moves the X-direction movable member 32 in the ± X direction via the X-side clamp driving unit 42. Further, the control unit controls the driving of the Y-side clamp driving unit 44, and the Y-side clamp driving unit 44 controls the driving of the Y-direction moving member 34. [ That is, the control unit 36 moves the Y-direction movable member 34 in the ± Y direction via the Y-side clamp driving unit 44.

또한, 클램프(6b 내지 6d)도 X측 클램프 구동부(도시하지 않음) 및 Y측 클램프 구동부(도시하지 않음)를 각각 구비하고 있으며, 클램프(6b 내지 6d)의 X측 클램프 구동부 및 Y측 클램프 구동부는, 제어부(36)에 각각 접속되어 있다. 또한, 클램프(6b 내지 6d)의 X측 클램프 구동부 및 Y측 클램프 구동부의 구성은, X측 클램프 구동부(42) 및 Y측 클램프 구동부(44)의 구성과 동일하다.The clamps 6b to 6d also include an X-side clamp driving unit (not shown) and a Y-side clamp driving unit (not shown), respectively. Are connected to the control unit 36, respectively. The configurations of the X-side clamp driving unit and the Y-side clamp driving unit of the clamps 6b to 6d are the same as the configurations of the X-side clamp driving unit 42 and the Y-side clamp driving unit 44. [

또한, 제어부(36)에는, 기억부(46) 및 입력부(48)가 접속되어 있다. 기억부(46)에는 여러 가지의 메탈 마스크의 크기에 관한 정보가 기억되어 있으며, 제어부(36)는, 입력부(48)를 거쳐서 입력된 검사 대상인 메탈 마스크에 관한 정보를 취득하고, 취득한 정보에 기초하여 기억부(46)에 기억되어 있는 검사 대상인 메탈 마스크의 크기에 관한 정보를 판독한다. 제어부(36)는, 판독한 정보에 기초하여, 클램프(6a)의 X측 클램프 구동부(42) 및 Y측 클램프 구동부(44), 및 클램프(6b 내지 6d)의 X측 클램프 구동부 및 Y측 클램프 구동부의 구동을 제어한다.A storage unit 46 and an input unit 48 are connected to the control unit 36. [ Information on the sizes of various metal masks is stored in the storage unit 46. The control unit 36 acquires information on the metal masks to be inspected inputted through the input unit 48, And reads information about the size of the metal mask to be inspected stored in the storage unit 46. [ The control section 36 controls the X side clamp drive section 42 and the Y side clamp drive section 44 of the clamp 6a and the X side clamp drive section of the clamps 6b through 6d and the Y side clamp And controls driving of the driving unit.

다음에, 도면을 참조하여, 이 실시형태에 따른 검사 테이블(2)에 있어서, 메탈 마스크를 검사 테이블(2)(테이블부(10))에 탑재하는 메탈 마스크 탑재 방법에 대하여 설명한다. 도 9는, 검사 테이블(2)에 있어서 메탈 마스크를 테이블부(10)에 탑재할 때의 처리에 대하여 설명하기 위한 흐름도이다.Next, with reference to the drawings, a description will be given of a metal mask mounting method in which a metal mask is mounted on the inspection table 2 (table portion 10) in the inspection table 2 according to this embodiment. Fig. 9 is a flowchart for explaining a process when the metal mask is mounted on the table section 10 in the inspection table 2. Fig.

우선, 제어부(36)는, 테이블부(10)의 탑재면(10a)의 평면도를 조정한다(단계(S1)). 구체적으로는, 제어부(36)는, 도시하지 않는 평면도 계측 장치에 의해 계측된 탑재면(10a)의 평면도 계측 결과를 취득하고, 취득 결과를 도시하지 않는 출력부에 대하여 출력하도록 지시한다. 사용자는, 출력부에 출력된 평면도 계측 결과를 참조하여, 평면도 조정 기구(4a 내지 4x)를 이용해 평면도를 조정한다. 구체적으로는, 조정 나사(22) 또는 다른 조정 나사를 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전시키는 것에 의해 볼트(16)의 체결을 느슨하게 하여(諦緩), 테이블부(10)의 평면도를 조정한다. 테이블부(10)의 평면도의 계측 및 조정을 반복하는 것에 의해, 테이블부(10)의 평면도를 높여나간다.First, the control section 36 adjusts the top view of the mounting surface 10a of the table section 10 (step S1). More specifically, the control unit 36 acquires the planarity measurement result of the mounting surface 10a measured by the planarity measuring apparatus (not shown), and instructs the output unit to output the obtained result to the output unit (not shown). The user refers to the results of the planarity measurement output to the output unit and adjusts the planarity by using the planarity adjusting mechanisms 4a to 4x. Specifically, the adjustment of the bolt 16 is loosened (relieved) by rotating the adjusting screw 22 or another adjusting screw clockwise or counterclockwise to adjust the flatness of the table 10. By repeating the measurement and adjustment of the plan view of the table portion 10, the flatness of the table portion 10 is increased.

다음에, 제어부(36)는, 단계(S1)에서 테이블부(10)의 평면도가 조정된 후, 리프트 핀(5a 내지 5j)을 대기 위치(도 1 참조)로부터 도 6에 도시하는 위치, 즉 테이블부(10)의 탑재면(10a)보다 상방까지 상승시킨다(단계(S2)). 구체적으로는, 제어부(36)는, 리프트 핀 구동부(38) 및 그 이외의 리프트 핀 구동부의 구동을 제어하는 것에 의해, 리프트 핀(5a 내지 5j)을 ＋Z 방향으로 소정 거리 상승시킨다.Next, after the flatness of the table section 10 is adjusted in step S1, the control section 36 moves the lift pins 5a to 5j from the standby position (see Fig. 1) to the position shown in Fig. 6 And is lifted to above the mounting surface 10a of the table portion 10 (step S2). Specifically, the control unit 36 controls the driving of the lift pin driving unit 38 and the other lift pin driving units to raise the lift pins 5a to 5j by a predetermined distance in the + Z direction.

다음에, 제어부(36)는, 외부로부터 검사 테이블(2)에 반송되어 온 메탈 마스크가 리프트 핀(5a 내지 5j) 상부에 배치된 탑재면에 탑재된 것을 확인하면(단계 (S3)), 리프트 핀(5a 내지 5j)의 센터링 유닛을 로크하여, 리프트 핀(5a 내지 5j)의 탑재면 내에서의 메탈 마스크의 이동을 금지한다(단계(S4)). 구체적으로는, 제어부(36)는, 검사 대상인 메탈 마스크가 리프트 핀(5a 내지 5j)의 탑재면에 탑재된 것을, 예를 들면 입력부를 거쳐서 입력된 확인 신호 또는 도시하지 않는 검지 센서 등으로부터 송신되는 확인 신호를 수신하는 것에 의해 확인한다. 그리고, 제어부(36)는, 로크부(40) 및 그 이외의 로크부에 대하여 리프트 핀(5a 내지 5j)의 센터링 유닛을 로크하도록 지시하고, 로크부(40) 및 그 이외의 로크부의 각각은, 리프트 핀(5a 내지 5j) 각각의 센터링 유닛을 로크한다. 리프트 핀(5a 내지 5j)의 센터링 유닛이 로크되는 것에 의해, 메탈 마스크는, 리프트 핀(5a 내지 5j)의 탑재면 내에서 고정된다.Next, the control unit 36 confirms that the metal mask carried from the outside to the inspection table 2 is mounted on the mounting surface disposed above the lift pins 5a to 5j (step S3) The centering unit of the fins 5a to 5j is locked to prohibit the movement of the metal mask within the mounting surface of the lift pins 5a to 5j (step S4). More specifically, the control unit 36 determines whether the metal mask to be inspected is mounted on the mounting surface of the lift pins 5a to 5j, for example, from an identification signal input via the input unit or a not-shown detection sensor Confirm by receiving an acknowledgment signal. The control section 36 instructs the lock section 40 and the other lock sections to lock the centering units of the lift pins 5a to 5j and the lock section 40 and the other lock sections , The centering units of the lift pins 5a to 5j are locked. By locking the centering unit of the lift pins 5a to 5j, the metal mask is fixed within the mounting surface of the lift pins 5a to 5j.

다음에, 제어부(36)는, 리프트 핀(5a 내지 5j)을 도 6에 도시하는 위치로부터 테이블부(10)의 탑재면(10a) 근방에 있어서 탑재면(10a)보다 상방, 즉 탑재면(10a)보다 미소량 상방까지 하강시킨다(단계(S5)). 구체적으로는, 제어부(36)는, 리프트 핀 구동부(38) 및 그 이외의 리프트 핀 구동부의 구동을 제어하는 것에 의해, 리프트 핀(5a 내지 5j)을 -Z 방향으로 소정 거리 하강시킨다.The control unit 36 then moves the lift pins 5a to 5j upward from the position shown in Fig. 6 above the mounting surface 10a in the vicinity of the mounting surface 10a of the table unit 10, 10a) (step S5). Specifically, the control unit 36 controls the driving of the lift pin driving unit 38 and the other lift pin driving units to lower the lift pins 5a to 5j by a predetermined distance in the -Z direction.

다음에, 제어부(36)는, 리프트 핀(5a 내지 5j)의 센터링 유닛의 로크를 해제하여, 리프트 핀(5a 내지 5j)의 탑재면 내에서의 메탈 마스크의 이동을 허가한다(단계(S6)). 구체적으로는, 제어부(36)는, 로크부(40) 및 그 이외의 로크부에 대하여 리프트 핀(5a 내지 5j)의 센터링 유닛의 로크를 해제하도록 지시하여, 로크부(40) 및 그 이외의 로크부의 각각은, 리프트 핀(5a 내지 5j) 각각의 센터링 유닛의 로크를 해제한다. 리프트 핀(5a 내지 5j)의 센터링 유닛의 로크가 해제되는 것에 의해, 메탈 마스크는, 리프트 핀(5a 내지 5j)의 탑재면 내에서 이동 가능해진다.Next, the control unit 36 releases the locking of the centering unit of the lift pins 5a to 5j to permit the movement of the metal mask within the mounting surface of the lift pins 5a to 5j (step S6) ). More specifically, the control unit 36 instructs the lock unit 40 and the other lock units to release the lock of the centering unit of the lift pins 5a to 5j, so that the lock unit 40 and other Each of the lock portions releases the lock of the centering unit of each of the lift pins 5a to 5j. By releasing the lock of the centering unit of the lift pins 5a to 5j, the metal mask becomes movable within the mounting surface of the lift pins 5a to 5j.

다음에, 제어부(36)는, 테이블부(10)의 탑재면(10a)에서의 메탈 마스크의 위치 및 자세를 조정한다(단계(S7)). 구체적으로는, 제어부(36)는, 입력부(48)를 거쳐서 입력된 메탈 마스크에 관한 정보를 취득하고, 취득한 정보에 기초하여 기억부(46)에 기억되어 있는 메탈 마스크의 크기에 관한 정보를 판독한다. 그리고, 제어부(36)는, 판독한 정보에 기초하여, 클램프(6a)의 X측 클램프 구동부(42) 및 Y측 클램프 구동부(44), 및 클램프(6b 내지 6d)의 X측 클램프 구동부 및 Y측 클램프 구동부의 구동을 제어한다. X측 클램프 구동부(42) 및 그 이외의 X측 클램프 구동부의 각각은, 클램프(6a)의 X 방향 가동 부재(32) 및 클램프(6b 내지 6d)의 X 방향 가동 부재 각각을 X 방향으로 소정 거리 이동시킨다. 마찬가지로, Y측 클램프 구동부(44) 및 그 이외의 Y측 클램프 구동부의 각각은, 클램프(6a)의 Y 방향 가동 부재(34) 및 클램프(6b 내지 6d)의 Y 방향 가동 부재 각각을 Y 방향으로 소정 거리 이동시킨다. X 방향 가동 부재(32), 그 이외의 X 방향 가동 부재, Y 방향 가동 부재(34) 및 그 이외의 Y 방향 가동 부재가 이동하는 것에 의해, 메탈 마스크는 XY 평면 내에서 이동한다. 그리고, 탑재면(10a)에 대한 메탈 마스크의 위치 및 자세가 조정된 상태에서, 메탈 마스크의 네 모서리는 클램프(6a 내지 6d)에 의해 지지된다.Next, the control section 36 adjusts the position and posture of the metal mask on the mounting surface 10a of the table section 10 (step S7). More specifically, the control unit 36 acquires information about the metal mask input via the input unit 48, and reads information about the size of the metal mask stored in the storage unit 46 based on the acquired information do. Based on the read information, the control section 36 controls the X-side clamp driving section 42 and the Y-side clamp driving section 44 of the clamp 6a and the X-side clamp driving section of the clamps 6b to 6d and the Y- And controls the driving of the side clamp driving unit. Each of the X-side clamp driving portion 42 and the other X-side clamp driving portion is configured to move the X-direction moving member 32 of the clamp 6a and the X-direction moving members of the clamps 6b to 6d in the X- . Likewise, each of the Y-side clamp driving section 44 and the other Y-side clamp driving sections is configured to move the Y-direction moving member 34 of the clamp 6a and the Y-direction moving members of the clamps 6b-6d in the Y- And is moved a predetermined distance. As the X-direction movable member 32, the other X-direction movable member, the Y-direction movable member 34, and other Y-direction movable members move, the metal mask moves in the XY plane. The four corners of the metal mask are supported by the clamps 6a to 6d in a state in which the position and posture of the metal mask with respect to the mounting surface 10a are adjusted.

다음에, 제어부(36)는, 단계(S7)에서 메탈 마스크의 위치 및 자세의 조정을 종료한 후, 리프트 핀(5a 내지 5j)의 센터링 유닛을 로크하여, 리프트 핀(5a 내지 5j)의 탑재면 내에서의 메탈 마스크의 이동을 금지한다(단계(S8)). 즉, 제어부(36)는, 로크부(40) 및 그 이외의 로크부에 대하여 리프트 핀(5a 내지 5j)의 센터링 유닛을 로크하도록 지시하고, 로크부(40) 및 그 이외의 로크부의 각각은, 리프트 핀(5a 내지 5j) 각각의 센터링 유닛을 로크한다. 그리고, 제어부(36)는, 리프트 핀 구동부(38) 및 그 이외의 리프트 핀 구동부의 구동을 제어하는 것에 의해 리프트 핀(5a 내지 5j)을 테이블부(10)의 탑재면(10a)보다 하방으로 하강시켜(단계(S9)), 메탈 마스크를 테이블부(10)의 탑재면(10a)에 탑재한다. 메탈 마스크가 테이블부(10)의 탑재면(10a)에 탑재된 후, 리프트 핀(5a 내지 5j)은, 대기 위치까지 하강한다.Next, the control unit 36 locks the centering unit of the lift pins 5a to 5j after the adjustment of the position and attitude of the metal mask in step S7, and then the lift pins 5a to 5j are mounted The movement of the metal mask in the plane is prohibited (step S8). That is, the control section 36 instructs the lock section 40 and the other lock sections to lock the centering unit of the lift pins 5a to 5j, and each of the lock sections 40 and the other lock sections , The centering units of the lift pins 5a to 5j are locked. The control unit 36 controls the driving of the lift pin driving unit 38 and other lift pin driving units so that the lift pins 5a to 5j are moved below the mounting surface 10a of the table unit 10 (Step S9), and the metal mask is mounted on the mounting surface 10a of the table portion 10. [0064] After the metal mask is mounted on the mounting surface 10a of the table portion 10, the lift pins 5a to 5j are lowered to the standby position.

이 실시형태에 따른 검사 테이블(2)에 의하면, 평면도 조정 기구(4a 내지 4x)를 구비하고 있기 때문에, 테이블부(10)의 탑재면(10a)의 평면도를 고정밀도로 유지할 수 있어서, 메탈 마스크를 변형시키는 일 없이 테이블부(10)의 탑재면(10a)에 탑재할 수 있다. 또한, 리프트 핀(5a 내지 5j) 및 클램프(6a 내지 6d)에 의해 구성되는 위치 자세 조정 장치를 구비하고 있기 때문에, 테이블부(10)에 대한 메탈 마스크의 위치 및 자세를 조정할 수 있어서, 메탈 마스크를 테이블(10)의 탑재면(10a)의 소망의 위치에 탑재할 수 있다.According to the inspection table 2 according to this embodiment, since the flatness adjustment mechanisms 4a to 4x are provided, the flatness of the mounting surface 10a of the table portion 10 can be maintained with high accuracy, It can be mounted on the mounting surface 10a of the table portion 10 without being deformed. The position and orientation of the metal mask with respect to the table portion 10 can be adjusted because the position and orientation adjusting device composed of the lift pins 5a to 5j and the clamps 6a to 6d is provided, Can be mounted on the mounting surface 10a of the table 10 at a desired position.

또한, 이 실시형태에 따른 메탈 마스크의 탑재 방법에 의하면, 평면도 조정 기구(4a 내지 4x)를 이용하여 테이블부(10)의 탑재면(10a)의 평면도를 조정하기 때문에, 탑재면(10a)의 평면도를 고정밀도로 유지할 수 있어서, 메탈 마스크를 변형시키는 일 없이 테이블부(10)의 탑재면(10a)에 탑재할 수 있다. 또한, 리프트 핀(5a 내지 5j) 및 클램프(6a 내지 6d)에 의해 구성되는 위치 자세 조정 장치를 이용하여 테이블부(10)에 대한 메탈 마스크의 위치 및 자세를 조정하기 때문에, 메탈 마스크를 테이블(10)의 탑재면(10a)의 소망의 위치에 탑재할 수 있다.According to the mounting method of the metal mask according to this embodiment, since the planarity of the mounting surface 10a of the table portion 10 is adjusted by using the flatness adjusting mechanisms 4a to 4x, The metal mask can be mounted on the mounting surface 10a of the table portion 10 without deforming the metal mask. In addition, since the position and orientation of the metal mask with respect to the table portion 10 are adjusted by using the position and orientation adjusting device composed of the lift pins 5a to 5j and the clamps 6a to 6d, 10 at a desired position on the mounting surface 10a.

또한, 상술의 실시형태에서는, 평면도 조정 장치 및 위치 자세 조정 장치의 양쪽을 구비하고 있지만, 평면도 조정 장치만 또는 위치 자세 조정 장치만을 구비하는 구성이어도 좋다.In the above-described embodiment, both the planarity adjusting device and the position / posture adjusting device are provided, but only the planarity adjusting device or the position / posture adjusting device may be provided.

또한, 상술의 실시형태에서는, 메탈 마스크를 탑재하는 경우를 예로 들어 설명했지만, 메탈 마스크 이외의 직사각 형상의 워크(예를 들면 메탈 마스크 프레임 등)를 탑재하는 경우에도 본 발명을 적용할 수 있다. 또한, 상술의 실시형태에서는, 검사 장치에 마련되어 있는 검사 테이블을 예로 들어 설명했지만, 검사 장치 이외의 장치(예를 들면 메탈 마스크 제조 장치 등)에 마련되어 있는 탑재 테이블에도 본 발명을 적용할 수 있다.In the above-described embodiment, the case where the metal mask is mounted is described as an example. However, the present invention can also be applied to a case where a rectangular work (for example, a metal mask frame) other than the metal mask is mounted. In the above-described embodiments, the inspection table provided in the inspection apparatus is described as an example. However, the present invention can also be applied to a mounting table provided in an apparatus other than the inspection apparatus (for example, a metal mask manufacturing apparatus).

또한, 상술의 실시형태에서는, 24개의 평면도 조정 기구를 구비하고 있지만, 검사 테이블(탑재 테이블)의 평면도를 양호하게 조정 가능하면 좋으며, 평면도 조정 기구의 수는 한정되지 않는다. 또한, 평면도 조정 기구는 도 1 내지 도 4에 도시하는 위치에 배치되어 있지만, 검사 테이블(탑재 테이블)의 평면도를 양호하게 조정 가능하면 다른 위치에 배치되어도 좋다. 또한, 상술의 실시형태에서는, 10개의 리프트 핀을 구비하고 있지만, 메탈 마스크(워크)를 양호하게 지지 가능하면 좋으며, 리프트 핀의 수는 한정되지 않는다. 또한, 상술의 실시형태에서는, 메탈 마스크의 네 모서리 각각을 지지하는 4개의 클램프를 구비하고 있지만, 메탈 마스크의 모서리를 양호하게 지지 가능하면 좋으며, 클램프의 수는 한정되지 않는다.Although the above-described embodiment includes 24 planarity adjusting mechanisms, the plan view of the inspection table (placement table) can be well adjusted, and the number of planarity adjustment mechanisms is not limited. The planarity adjusting mechanism is disposed at the positions shown in Figs. 1 to 4, but may be arranged at other positions as long as the plan view of the inspection table (mounting table) can be well adjusted. In the above-described embodiment, although ten lift pins are provided, it is sufficient that the metal mask (work) can be well supported, and the number of lift pins is not limited. Although the four clamps for supporting the four corners of the metal mask are provided in the embodiment described above, it is sufficient that the corners of the metal mask can be well supported, and the number of clamps is not limited.

2 : 검사 테이블 4a 내지 4x : 평면도 조정 기구
6a 내지 6d : 클램프 8 : 유리판
10 : 테이블부 12a 내지 12w : 레그부
14 : 기대 16 : 볼트
18 : 제 1 구면 와셔 20 : 제 2 구면 와셔
22 : 조정 나사 24 : 고정 너트
26 : 오목부 28 : 관통 구멍
30 : 고정 부재 32 : X 방향 가동 부재
34 : Y 방향 가동 부재 36 : 제어부
38 : 리프트 핀 구동부 40 : 로크부
42 : X측 클램프 구동부 44 : Y측 클램프 구동부
46 : 기억부 48 : 입력부2: inspection tables 4a to 4x: planarity adjustment mechanism
6a to 6d: clamp 8: glass plate
10: Table parts 12a to 12w:
14: anticipation 16: bolts
18: first spherical washer 20: second spherical washer
22: adjusting screw 24: fixing nut
26: concave portion 28: through hole
30: fixing member 32: X-direction moving member
34: Y direction movable member 36:
38: Lift pin driving part 40: Lock part
42: X-side clamp driving part 44: Y-side clamp driving part
46: storage section 48: input section

Claims (9)

직사각 형상의 워크를 탑재하는 탑재 테이블로서,
상기 워크를 탑재하는 상기 탑재 테이블의 표면의 평면도를 조정하는 평면도 조정부를 구비하고,
상기 평면도 조정부는,
상기 탑재 테이블을 관통하는 관통 구멍에 배치되는 볼트와,
상기 볼트에 관통 삽입되며, 상기 탑재 테이블의 표면측에서 상기 관통 구멍의 입구에 배치되는 제 1 구면 와셔와,
상기 볼트에 관통 삽입되며, 상기 탑재 테이블의 이면측에서 상기 관통 구멍의 출구에 배치되는 제 2 구면 와셔와,
상기 탑재 테이블의 이면측에 배치되며, 상기 볼트의 나사부를 수용하는 조정 나사와,
상기 조정 나사를 고정하는 고정 너트를
구비하는 것을 특징으로 하는
탑재 테이블.As a mounting table for mounting a workpiece having a rectangular shape,
And a planarity adjustment section for adjusting a planarity of a surface of the mounting table on which the workpiece is mounted,
The flatness-
A bolt disposed in a through hole passing through the mounting table,
A first spherical washer inserted through the bolt and disposed at an entrance of the through hole on a surface side of the mounting table,
A second spherical washer inserted through the bolt and disposed at an outlet of the through hole at a back side of the mounting table,
An adjusting screw which is disposed on the back side of the mounting table and accommodates the threaded portion of the bolt,
A fixing nut for fixing the adjusting screw
Characterized in that
Mounting table. 직사각 형상의 워크를 탑재하는 탑재 테이블로서,
상기 워크를 탑재하는 상기 탑재 테이블의 표면 내에서의 상기 워크의 위치 및 자세를 조정하는 위치 자세 조정부를 구비하고,
상기 위치 자세 조정부는,
외부로부터 반송되는 상기 워크를 받아 탑재하는 탑재면을 갖고, 상기 탑재면을 상기 탑재 테이블의 표면에 대하여 교차하는 방향으로 승강시키는 리프트 핀과,
상기 탑재면에 탑재된 상기 워크의 상기 탑재면 내에서의 이동을 제어하는 제어부와,
상기 워크를 상기 탑재면 내에서 이동시키고, 상기 워크의 위치 및 자세가 조정된 상태에서 상기 워크의 모서리를 지지하는 클램프부를 구비하고,
상기 제어부는, 적어도 상기 리프트 핀이 승강하고 있는 동안, 상기 워크의 이동을 금지하고, 상기 위치 자세 조정부에서 상기 워크의 위치 및 자세를 조정하고 있는 동안, 상기 워크의 이동을 허가하는 것을 특징으로 하는
탑재 테이블.As a mounting table for mounting a workpiece having a rectangular shape,
And a position / posture adjusting section for adjusting the position and posture of the workpiece in the surface of the mounting table on which the workpiece is mounted,
Wherein the position /
A lift pin having a mounting surface on which the workpiece carried from the outside is received and mounted and which lifts the mounting surface in a direction crossing the surface of the mounting table;
A control section for controlling movement of the work mounted on the mounting surface in the mounting surface,
And a clamp portion for moving the work within the mounting surface and supporting the edge of the work in a state in which the position and posture of the work are adjusted,
Wherein the control unit inhibits the movement of the work while at least the lift pin is moving up and down and permits the movement of the work while the position and orientation of the work are adjusted by the position and orientation adjusting unit
Mounting table. 직사각 형상의 워크를 탑재하는 탑재 테이블로서,
상기 워크를 탑재하는 상기 탑재 테이블의 표면의 평면도를 조정하는 평면도 조정부와,
상기 워크를 탑재하는 상기 탑재 테이블의 표면 내에서의 상기 워크의 위치 및 자세를 조정하는 위치 자세 조정부를 구비하고,
상기 평면도 조정부는,
상기 탑재 테이블을 관통하는 관통 구멍에 배치되는 볼트와,
상기 볼트에 관통 삽입되며, 상기 탑재 테이블의 표면측에서 상기 관통 구멍의 입구에 배치되는 제 1 구면 와셔와,
상기 볼트에 관통 삽입되며, 상기 탑재 테이블의 이면측에서 상기 관통 구멍의 출구에 배치되는 제 2 구면 와셔와,
상기 탑재 테이블의 이면측에 배치되며, 상기 볼트의 나사부를 수용하는 조정 나사와,
상기 조정 나사를 고정하는 고정 너트를 구비하고,
상기 위치 자세 조정부는,
외부로부터 반송되는 상기 워크를 받아 탑재하는 탑재면을 갖고, 상기 탑재면을 상기 탑재 테이블의 표면에 대하여 교차하는 방향으로 승강시키는 리프트 핀과,
상기 탑재면에 탑재된 상기 워크의 상기 탑재면 내에서의 이동을 제어하는 제어부와,
상기 워크를 상기 탑재면 내에서 이동시키고, 상기 워크의 위치 및 자세가 조정된 상태에서 상기 워크의 모서리를 지지하는 클램프부를 구비하고,
상기 제어부는, 상기 리프트 핀이 승강하고 있는 동안, 상기 워크의 이동을 금지하고, 상기 클램프부가 상기 워크를 지지하고 있는 동안, 상기 워크의 이동을 허가하는 것을 특징으로 하는
탑재 테이블.As a mounting table for mounting a workpiece having a rectangular shape,
A flatness adjusting section for adjusting a flatness of a surface of the mounting table on which the workpiece is mounted,
And a position / posture adjusting section for adjusting the position and posture of the workpiece in the surface of the mounting table on which the workpiece is mounted,
The flatness-
A bolt disposed in a through hole passing through the mounting table,
A first spherical washer inserted through the bolt and disposed at an entrance of the through hole on a surface side of the mounting table,
A second spherical washer inserted through the bolt and disposed at an outlet of the through hole at a back side of the mounting table,
An adjusting screw which is disposed on the back side of the mounting table and accommodates the threaded portion of the bolt,
And a fixing nut for fixing the adjusting screw,
Wherein the position /
A lift pin having a mounting surface on which the workpiece carried from the outside is received and mounted and which lifts the mounting surface in a direction crossing the surface of the mounting table;
A control section for controlling movement of the work mounted on the mounting surface in the mounting surface,
And a clamp portion for moving the work within the mounting surface and supporting the edge of the work in a state in which the position and posture of the work are adjusted,
Wherein the control unit prohibits the movement of the work while the lift pin is lifted and lowered and permits the movement of the work while the clamp unit supports the work
Mounting table. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
상기 탑재 테이블을 지지하는 복수의 레그부를 구비하고,
상기 평면도 조정부는, 상기 레그부의 근방에 배치되는 것을 특징으로 하는
탑재 테이블.The method according to claim 1 or 3,
And a plurality of leg portions for supporting the mounting table,
Wherein the planarity adjusting section is disposed in the vicinity of the leg section
Mounting table. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
상기 클램프부는, 상기 워크의 네 모서리를 지지하는 것을 특징으로 하는
탑재 테이블.The method according to claim 2 or 3,
Characterized in that the clamp portion supports four corners of the work
Mounting table. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 워크는, 메탈 마스크 프레임에 메탈 마스크 시트를 장착한 메탈 마스크 또는 상기 메탈 마스크 프레임인 것을 특징으로 하는
탑재 테이블.6. The method according to any one of claims 1 to 5,
Characterized in that the work is a metal mask having a metal mask sheet mounted on the metal mask frame or the metal mask frame
Mounting table. 직사각 형상의 워크를 탑재 테이블에 탑재하는 탑재 방법으로서,
상기 탑재 테이블의 표면보다 상방까지 상승시킨 리프트 핀 상부에 배치된 탑재면에 상기 워크를 탑재하는 제 1 탑재 공정과,
상기 제 1 탑재 공정에 있어서 상기 탑재면에 탑재된 상기 워크의 상기 탑재면 내에서의 이동을 금지하는 제 1 금지 공정과,
상기 리프트 핀을 상기 탑재 테이블의 표면 근방에 있어서 상기 탑재 테이블의 표면보다 상방까지 하강시켜, 상기 워크의 상기 탑재면 내에서의 이동을 허가하는 허가 공정과,
상기 탑재 테이블의 표면 내에서의 상기 워크의 위치 및 자세를 조정하는 위치 자세 조정 공정과,
상기 위치 자세 조정 공정 후, 상기 워크의 상기 탑재면 내에서의 이동을 금지하는 제 2 금지 공정과,
상기 리프트 핀을 상기 탑재 테이블의 표면보다 하방으로 하강시켜, 상기 탑재 테이블의 표면에 상기 워크를 탑재하는 제 2 탑재 공정을 포함하며,
상기 위치 자세 조정 공정은, 상기 워크의 모서리에 배치된 클램프부에 있어서, 상기 워크를 상기 탑재면 내에서 이동시키고, 상기 워크의 위치 및 자세가 조정된 상태에서 상기 워크의 모서리를 지지하는 것을 특징으로 하는
탑재 방법.A mounting method for mounting a rectangular workpiece on a mounting table,
A first mounting step of mounting the work on a mounting surface disposed on an upper portion of a lift pin raised to above a surface of the mounting table;
A first prohibiting step of prohibiting movement of the work mounted on the mounting surface in the mounting surface in the first mounting step;
An allowance step of lowering the lift pin above the surface of the mounting table in the vicinity of the surface of the mounting table to permit movement of the work within the mounting surface,
A position / posture adjusting step of adjusting the position and posture of the work in the surface of the mounting table;
A second prohibiting step of prohibiting movement of the work within the mounting surface after the position / posture adjusting step,
And a second mounting step of lowering the lift pin below a surface of the mounting table to mount the work on the surface of the mounting table,
The position and orientation adjusting step may include a step of moving the work within the mounting surface and supporting the edge of the work in a state in which the position and posture of the work are adjusted in a clamp portion disposed at an edge of the work To
Mounting method. 제 7 항에 있어서,
상기 제 1 탑재 공정의 전에, 상기 탑재 테이블의 표면의 평면도를 조정하는 평면도 조정 공정을 추가로 포함하고,
상기 평면도 조정 공정은, 상기 탑재 테이블을 관통하는 관통 구멍에 배치되는 볼트와, 상기 볼트에 관통 삽입되며, 상기 탑재 테이블의 표면측에서 상기 관통 구멍의 입구에 배치되는 제 1 구면 와셔와, 상기 볼트에 관통 삽입되며, 상기 탑재 테이블의 표면측에서 상기 관통 구멍의 출구에 배치되는 제 2 구면 와셔와, 상기 탑재 테이블의 이면측에 배치되며, 상기 볼트의 나사부를 수용하는 조정 나사와, 상기 조정 나사를 고정하는 고정 너트에 의해 구성되는 평면도 조정부에 의해 상기 평면도를 조정하는 것을 특징으로 하는
탑재 방법.8. The method of claim 7,
Further comprising a planarity adjustment step of adjusting a planarity of the surface of the mounting table before the first loading step,
Wherein the flatness adjusting step includes a bolt disposed in a through hole passing through the mounting table, a first spherical washer inserted through the bolt and disposed at an entrance of the through hole on a surface side of the mounting table, A second spherical washer inserted through the through hole at the front surface side of the mounting table and disposed at the outlet of the through hole, an adjusting screw arranged on the back side of the mounting table for receiving the screw portion of the bolt, Wherein the flatness adjusting unit adjusts the flatness by a flatness adjusting unit constituted by a fixing nut for fixing
Mounting method. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
상기 워크는, 메탈 마스크 프레임에 메탈 마스크 시트를 장착한 메탈 마스크 또는 상기 메탈 마스크 프레임인 것을 특징으로 하는
탑재 방법.9. The method according to claim 7 or 8,
Characterized in that the work is a metal mask having a metal mask sheet mounted on the metal mask frame or the metal mask frame
Mounting method.
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0933207A (en) 1995-07-20 1997-02-07 Sokkia Co Ltd Measuring table made of glass
JPH09186225A (en) * 1995-12-29 1997-07-15 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Substrate holding device
JP2000114149A (en) * 1998-10-07 2000-04-21 Hitachi Ltd Glass substrate holding apparatus
KR20060105145A (en) * 2005-04-01 2006-10-11 주식회사 에이디피엔지니어링 Apparatus for testing substrate
JP2009058368A (en) * 2007-08-31 2009-03-19 Sokkia Topcon Co Ltd Measurement table for two-dimensional coordinate measuring machine
KR20090107917A (en) * 2008-04-10 2009-10-14 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 Lighting Inspection Apparatus

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2967585A (en) * 1957-12-06 1961-01-10 Charles L Bybee Adjustable scaffold support
US4565263A (en) * 1985-06-10 1986-01-21 Southworth Ted J Sawhorse with extendible and contractible leg assemblies
JPS62242812A (en) * 1986-04-15 1987-10-23 Daihatsu Motor Co Ltd Automatic measuring instrument
TW276293B (en) * 1994-05-04 1996-05-21 Jochen Corts Bearing support especially for the application in the ship body
US5822877A (en) * 1996-06-20 1998-10-20 Brown & Sharpe Manufacturing Company Multi-probe system for dimensional metrology
US5865269A (en) * 1996-08-20 1999-02-02 Joe D. Hill Adjustable height and levelable work support
JPH10141350A (en) * 1996-11-14 1998-05-26 Kokusai Electric Co Ltd Horizontal planeness adjusting mechanism
JP2002273631A (en) * 2001-03-15 2002-09-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd Method and device for holding and positioning work
TW476358U (en) * 2001-07-06 2002-02-11 Nan Yih Tien Ind Co Ltd Level adjusting structure for floor supporting frame
CN100517631C (en) * 2006-09-22 2009-07-22 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 Method for uplifting device and adjusting plane degree of lifting device
JP2009251529A (en) * 2008-04-10 2009-10-29 Micronics Japan Co Ltd Lighting inspection apparatus
JP4953213B2 (en) * 2008-08-26 2012-06-13 株式会社日本マイクロニクス Table height adjustment mechanism and height adjustment table using the same
JP2016137534A (en) * 2015-01-27 2016-08-04 セイコーエプソン株式会社 Method for adjusting attitude of jig, jig, and auxiliary tool for adjusting attitude of jig
CN104880318A (en) * 2015-05-25 2015-09-02 南车戚墅堰机车有限公司 Movable support adjusting device of diesel engine
JP6563758B2 (en) * 2015-09-25 2019-08-21 新東エスプレシジョン株式会社 Metal mask manufacturing method

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0933207A (en) 1995-07-20 1997-02-07 Sokkia Co Ltd Measuring table made of glass
JPH09186225A (en) * 1995-12-29 1997-07-15 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Substrate holding device
JP2000114149A (en) * 1998-10-07 2000-04-21 Hitachi Ltd Glass substrate holding apparatus
KR20060105145A (en) * 2005-04-01 2006-10-11 주식회사 에이디피엔지니어링 Apparatus for testing substrate
JP2009058368A (en) * 2007-08-31 2009-03-19 Sokkia Topcon Co Ltd Measurement table for two-dimensional coordinate measuring machine
KR20090107917A (en) * 2008-04-10 2009-10-14 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 Lighting Inspection Apparatus

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