KR20180111520A - Dividing apparatus and dividing method of resin sheet - Google Patents

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KR20180111520A
KR20180111520A KR1020180026182A KR20180026182A KR20180111520A KR 20180111520 A KR20180111520 A KR 20180111520A KR 1020180026182 A KR1020180026182 A KR 1020180026182A KR 20180026182 A KR20180026182 A KR 20180026182A KR 20180111520 A KR20180111520 A KR 20180111520A
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켄타 다무라
코키 에이다
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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

When a resin sheet is divided with a brake bar, attachment of the resin sheet to the brake bar is prevented. According to the present invention, a brake bar (21) and a pair of elastic bodies (22, 23) are attached to a lower moving member (20). The brake bar (21) and the elastic bodies (22, 23) vertically descend on a surface of a resin sheet, and the elastic bodies (22, 23) are contracted to brake the resin sheet (33). When the brake bar (21) is raised after braking, the elastic bodies (22, 23) return to an original state to prevent the resin sheet (23) from being attached to the brake bar (21).

Description

수지 시트의 분단 장치 및 분단 방법{DIVIDING APPARATUS AND DIVIDING METHOD OF RESIN SHEET}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a resin sheet dividing apparatus,

본 발명은 실리콘 시트 등의 수지 시트를 분단하기 위한 분단 장치 및 분단 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dividing apparatus and a dividing method for dividing a resin sheet such as a silicon sheet.

특허문헌 1에는 열가소성의 수지 시트를 브레이크 바를 이용하여 절단하는 분단 방법 및 분단 장치가 나타나 있다. 여기에서는 다이싱 링에 부착된 점착 테이프상에 분단의 대상이 되는 수지 시트를 보유지지하고, 탄성 지지판상에 다이싱 링을 보유지지하여 예각의 날끝을 갖는 브레이크 바를 분단 예정 라인을 따라 압하함으로써 수지 시트를 분단하고 있다.Patent Document 1 discloses a breaking method and a breaking apparatus for cutting a thermoplastic resin sheet using a brake bar. Here, the resin sheet to be divided is held on the adhesive tape attached to the dicing ring, the dicing ring is held on the elastic support plate, and the brake bar having the sharp angle edge is pressed down along the line to be divided, The sheet is divided.

일본공개특허공보 2015-188968호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2015-188968

그런데 수지만으로 형성된 수지 시트(101)로 다이싱 링에 부착된 다이싱 테이프(102)상에 보유지지하여 분단할 때에, 도 1(a)에 나타내는 바와 같이 브레이크 바(110)를 분단 예정 라인을 따라 압하하면, 브레이크 바(110)가 수지 시트(101)에 파고들어, 밀착해 버리는 경우가 있다. 그리고 분단을 종료한 후에 브레이크 바(110)를 상승시키면, 도 1(b)에 나타내는 바와 같이 분단된 수지 시트(101)가 다이싱 테이프(102)로부터 떨어져 브레이크 바(110)에 부착되어 상승해 버리는 경우가 있다는 문제점이 있었다.1 (a), when the resin sheet 101 formed of a resin is held on the dicing tape 102 attached to the dicing ring and divided, the breaking bar 110 is divided into a line to be divided The brake bars 110 may pierce into the resin sheet 101 and may come in close contact with each other. 1B, the divided resin sheet 101 is separated from the dicing tape 102 and attached to the brake bar 110 to be lifted up as shown in FIG. 1 (b) There is a problem in that it is discarded.

본 발명은 이러한 문제점에 착목하여 이루어진 것으로서, 분단한 후의 수지 시트가 브레이크 바에 밀착하여 다이싱 링의 점착시트로부터 떨어지는 일 없이 분단을 완료할 수 있는 분단 장치 및 분단 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.It is an object of the present invention to provide a dividing device and a dividing method which can complete division without causing the resin sheet after being divided to adhere to the brake bar and to be separated from the pressure-sensitive adhesive sheet of the dicing ring.

이 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 수지 시트의 분단 장치는, 수지 시트의 분단에 이용되는 분단 장치로서, 점착 테이프상에 분단의 대상이 되는 수지 시트를 보유지지한 틀형상체와, 상하동 자유롭게 보유지지된 이동 부재와, 상기 이동 부재의 하면에 수직으로 보유지지되어, 하면이 시트에 평행하게 보유지지된 판 형상의 브레이크 바와, 상기 이동 부재의 하면에서 상기 브레이크 바의 양측에 형성된 한 쌍의 탄성체와, 상기 수지 시트의 면에 대하여 상기 이동 부재를 수직으로 상하동시키는 승강 기구와, 상기 브레이크 바에 대하여 상기 틀형상체가 배치된 테이블을 상대적으로 이동시키는 상대 이동 수단을 구비하고, 상기 브레이크 바의 하단으로부터 상기 수지 시트의 두께만큼 상방의 위치를 기준 위치로 하면, 상기 한 쌍의 탄성체의 하단은 상기 기준 위치보다도 하방에 있고, 상기 수지 시트상에 상기 브레이크 바를 강하시킴으로써 수지 시트를 분단하는 것이다.In order to solve this problem, the resin sheet separating apparatus of the present invention is a separating apparatus used for dividing a resin sheet, comprising a frame body holding a resin sheet to be divided on an adhesive tape, A plate-shaped brake bar held vertically on the lower surface of the moving member and held on the lower surface in parallel with the seat, a pair of elastic members provided on both sides of the brake bar on the lower surface of the moving member, A lifting mechanism vertically moving the movable member relative to the surface of the resin sheet, and a relative moving means for relatively moving the table on which the frame is arranged with respect to the brake bar, When the position above the thickness of the resin sheet is a reference position, the lower ends of the pair of elastic members Group is in the downward direction than the standard position, to the division of the resin sheet by lowering the brake bar on the resin sheet.

여기에서 상기 한 쌍의 탄성체는, 스펀지로 해도 좋다.Here, the pair of elastic members may be a sponge.

여기에서 상기 한 쌍의 탄성체는, 대전 방지 사양의 스펀지로 해도 좋다.Here, the pair of elastic members may be a sponge of an antistatic specification.

이 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 수지 시트의 분단 방법은, 틀형상체에 의해 보유지지된 점착 테이프상에 수지 시트를 점착시켜 보유지지하고, 상하동 자유로운 브레이크 바의 양측에 한 쌍의 탄성체를 보유지지하고, 상기 틀형상체상에 보유지지한 상기 수지 시트의 면에 브레이크 바를 강하시킴과 함께, 상기 한 쌍의 탄성체를 수축시켜, 상기 브레이크 바로부터 상기 수지 시트를 분단하는 것이다.In order to solve this problem, a method for dividing a resin sheet according to the present invention is a method for separating a resin sheet, comprising the steps of: sticking and holding a resin sheet on an adhesive tape held by a frame body; holding a pair of elastic members on both sides of a break- The brake bars are lowered on the surface of the resin sheet held on the frame body and the pair of elastic bodies are contracted to separate the resin sheets from the brake bars.

이러한 특징을 갖는 본 발명에 의하면, 브레이크 바의 양측에 탄성체를 형성하고 있다. 따라서 분단 예정 라인을 따라 브레이크 바를 압하하여 브레이크하면, 한 쌍의 탄성체가 수축하여 수지 시트를 압압한다. 그 때문에 분단을 종료하여 브레이크 바를 상승시켰을 때에 탄성체가 원래의 상태로 복귀할 때까지 수지 시트를 점착 테이프에 밀어붙이기 때문에, 분단된 수지 시트가 브레이크 바에 밀착하는 일 없이, 수지 시트를 점착 테이프상에 보유지지하여 분단을 종료할 수 있다는 효과가 얻어진다.According to the present invention having such features, an elastic body is formed on both sides of the brake bar. Therefore, when the breaking bar is pressed and broken along the line to be divided, the pair of elastic members are contracted to press the resin sheet. Therefore, the resin sheet is pressed against the adhesive tape until the elastic body is returned to the original state when the brake bar is raised by completing the division, so that the resin sheet is prevented from coming into close contact with the brake bar, It is possible to obtain the effect that the division can be terminated.

도 1은 종래의 분단 장치의 수지의 분단 상태를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시 형태에 의한 분단 장치의 개략 사시도이다.
도 3은 하(下) 이동 부재에 부착되는 브레이크 바와 한 쌍의 탄성체를 나타내는 사시도이다.
도 4는 하 이동 부재에 부착되는 브레이크 바와 한 쌍의 탄성체를 나타내는 측면도이다.
도 5는 테이블과 그 상부에 보유지지되는 수지 시트의 상세를 나타내는 사시도이다.
도 6은 테이블상에 다이싱 링을 보유지지하여, 브레이크 바를 압하하기 전의 상태를 나타내는 측면도이다.
도 7은 브레이크 바를 압하하여 분단한 상태를 나타내는 측면도이다.
도 8은 분단 후에 브레이크 바를 상승시킨 상태를 나타내는 측면도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a view showing the state of division of resin of a conventional division apparatus. Fig.
2 is a schematic perspective view of a breaking apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a perspective view showing a brake bar and a pair of elastic members attached to the lower moving member;
4 is a side view showing a brake bar and a pair of elastic members attached to the lower moving member;
5 is a perspective view showing details of a table and a resin sheet held on the table.
6 is a side view showing the state before the brake bar is held by holding the dicing ring on the table.
Fig. 7 is a side view showing a state in which the brake bar is divided and cut.
Fig. 8 is a side view showing a state in which the brake bar is raised after division.

본 발명의 실시 형태에 의한 수지 시트의 분단 장치(10)에 대해서 설명한다. 분단 장치(10)는, 도 2에 나타내는 바와 같이 x축으로 평행한 라인을 따라 2분할되고, 서로 y축의 정 또는 부방향으로 이동하는 것이 가능한 테이블(11)을 갖고 있다. 테이블(11)의 하방에는 테이블(11)을 그 면을 따라 y축 방향으로 이동시키고, 추가로 그 면을 따라 회전시키는 Y축 이동 기구(12)가 형성되어 있다. 테이블(11)의 상부에는 ㄷ자 형상의 수평 고정 부재(13)가 형성되고, 그 상부에는 서보 모터(14)가 보유지지되어 있다. 서보 모터(14)의 회전축에는 볼 나사(15)가 직결되고, 볼 나사(15)의 하단은, 다른 수평 고정 부재(16)에서 회전할 수 있도록 지지되어 있다. 상(上)이동 부재(17)는 중앙부에 볼 나사(15)에 나사 결합하는 암 나사(18)를 구비하고, 그 양단부로부터 하방을 향하여 지지축(19a, 19b)을 구비하고 있다. 지지축(19a, 19b)은 수평 고정 부재(16)의 한 쌍의 관통공을 관통하여 하 이동 부재(20)에 연결되어 있다. 하 이동 부재(20)의 하면에는 후술하는 브레이크 바가 테이블(11)의 면에 수직으로 부착되어 있다. 이렇게 하면 서보 모터(14)에 의해 볼 나사(15)를 회전시킨 경우, 상 이동 부재(17)와 하 이동 부재(20)가 일체가 되어 상하동하고, 브레이크 바도 동시에 상하동하게 된다. 여기에서 Y축 이동 기구(12)는 브레이크 바와 테이블을 상대적으로 이동시키는 상대 이동 수단을 구성하고 있고, 서보 모터(14)와 수평 고정 부재(13, 16)는 상하의 이동 부재(17, 20)를 승강시키는 승강 기구를 구성하고 있다.A description will be given of a resin sheet cutting apparatus 10 according to an embodiment of the present invention. As shown in Fig. 2, the dividing device 10 has a table 11 divided into two along a line parallel to the x-axis and capable of moving in the positive or negative direction of the y-axis. A Y-axis moving mechanism 12 for moving the table 11 along the surface in the y-axis direction and further rotating the table 11 along the surface is formed below the table 11. A U-shaped horizontal fixing member 13 is formed on the upper portion of the table 11, and a servomotor 14 is held on the upper portion. A ball screw 15 is directly connected to the rotary shaft of the servo motor 14 and a lower end of the ball screw 15 is supported to be rotatable by the other horizontal fixing member 16. The upper moving member 17 is provided with a female screw 18 screwed to the ball screw 15 at its center and has supporting shafts 19a and 19b directed downward from both ends thereof. The support shafts 19a and 19b are connected to the lower movable member 20 through a pair of through holes of the horizontal fixing member 16. [ On the lower surface of the lower movable member 20, a brake bar to be described later is attached perpendicularly to the surface of the table 11. When the ball screw 15 is rotated by the servomotor 14, the phase-shifting member 17 and the lower moving member 20 are integrally moved up and down, and the brake bar is also vertically moved at the same time. The Y-axis moving mechanism 12 constitutes a relative moving means for relatively moving the brake bar and the table. The servo motor 14 and the horizontal fixing members 13 and 16 constitute upper and lower moving members 17 and 20 Thereby constituting a lifting mechanism.

그래서 이 실시 형태에서는 도 3에 사시도, 도 4에 측면도를 나타내는 바와 같이, 하 이동 부재(20)의 하면에 브레이크 바(21)와, 그 양측에 한 쌍의 탄성체(22, 23)를 부착한다. 브레이크 바(21)는 가늘고 긴 평판에서 선단을 날카롭게 한 금속제의 칼날 형상의 부재이다. 여기에서 이 선단 부분의 꼭지각은 10° 이상, 바람직하게는 15° 이상이고 또한 30° 이하로 한다. 꼭지각이 10° 이하가 되면 이빠짐이 쉬워져 수명이 짧아지고, 30° 이상이 되면 정밀도가 저하하게 된다. 그리고 이 브레이크 바(21)는 날카로운 선단 부분이 하방이 되도록 하 이동 부재(20)의 하면에 길이 방향을 따라 수직으로 부착된다.In this embodiment, as shown in a perspective view of Fig. 3 and a side view of Fig. 4, a brake bar 21 and a pair of elastic members 22, 23 are attached to the lower surface of the lower movable member 20 . The brake bar 21 is a blade-shaped member made of metal that has its tip sharpened on an elongated flat plate. Here, the apex angle of the tip portion is 10 degrees or more, preferably 15 degrees or more and 30 degrees or less. When the vertex angle is less than 10 °, the durability becomes easier and the life span becomes shorter. When the vertex angle is 30 ° or more, the accuracy is lowered. The brake bar 21 is vertically attached to the lower surface of the lower moving member 20 along the longitudinal direction so that the sharp tip portion is downward.

탄성체(22, 23)는 하 이동 부재(20)의 하면에 배치되고, 브레이크 바(21)의 양측의 측방에 일정 간격을 사이에 두고 부착된 직방체 형상의 부재이다. 탄성체(22, 23)는 외력에 의해 수축하고, 외력이 없어지면 원래의 상태로 복귀되는 스펀지 등의 부재로 한다. 이 탄성체(22, 23)의 하단은 도 4(a)에 나타내는 바와 같이 브레이크 바(21)의 하단보다도 약간 낮은 위치가 되는 높이로 한다. 분단의 대상이 되는 수지 시트가 예를 들면 전자 부품의 기판인 경우에는, 전자 부품에 악영향을 미치지 않도록 대전 방지 기능을 갖는 탄성체, 예를 들면 대전 방지 사양의 스펀지 등을 이용하는 것이 바람직하다.The elastic members 22 and 23 are rectangular parallelepiped members which are disposed on the lower surface of the lower movable member 20 and are attached to both sides of the brake bar 21 at regular intervals. The elastic members 22 and 23 are made of a member such as a sponge which is contracted by an external force and is returned to its original state when an external force is lost. As shown in Fig. 4 (a), the lower ends of the elastic members 22 and 23 are set to a height slightly lower than the lower end of the brake bar 21. [ When the resin sheet to be cut is, for example, a substrate of an electronic component, it is preferable to use an elastic body having an antistatic function, for example, a sponge of antistatic specification so as not to adversely affect the electronic component.

여기에서는 도 4(a)에 나타내는 바와 같이 좌우의 탄성체(22, 23)의 하면보다도 브레이크 바의 선단이 상방이 되도록 하고 있지만, 도 4(b)에 나타내는 바와 같이 브레이크 바(21)의 선단이 하방이 되도록 하는 길이의 것을 이용해도 좋다. 이 경우에는 브레이크 바의 하단(L1)보다 수지 시트의 두께만큼 상방에 있는 위치를 기준 위치(L0)로 하면, 한 쌍의 탄성체(22, 23)의 하단은 기준 위치(L0)보다 하방에 위치하는 것으로 한다. 탄성체(22, 23)의 하단이 도 4(a)에 나타내는 바와 같이 브레이크 바(21)의 하단보다도 약간 낮은 위치가 되는 경우도, 이 조건을 충족하고 있다. 이와 같이 탄성체(22, 23)의 높이를 설정해 둠으로써, 브레이크 바(21)의 선단이 수지 시트의 하면에 도달하여 수지 시트를 완전하게 분단했을 때에, 탄성체(22, 23)는 압축되게 된다.Here, as shown in Fig. 4 (a), the tip ends of the brake bars are positioned above the lower surfaces of the left and right elastic members 22 and 23, but the tips of the brake bars 21 It is also possible to use one having a length that is downward. Than in this case, the lower end of the breaking bar (L 1) than the reference position in the above as long as the thickness of the resin sheet position (L 0), the pair of elastic bodies 22, 23 at the bottom reference position (L 0) when a It shall be located in the lower part. This condition is also satisfied when the lower ends of the elastic members 22 and 23 are positioned slightly lower than the lower ends of the brake bars 21 as shown in Fig. 4 (a). By setting the height of the elastic members 22 and 23 in this manner, the elastic members 22 and 23 are compressed when the tip of the brake bar 21 reaches the lower surface of the resin sheet and the resin sheet is completely divided.

도 5는 테이블(11)의 상부에 보유지지되는 수지 시트의 상세를 나타내는 사시도, 도 6은 그 측면도이다. 본 실시 형태에서는, 분단의 대상을 실리콘 수지 시트로 하고, 이 시트를 보유지지하기 위해, 반도체 웨이퍼를 칩으로 분리할 때에 이용되는 원환의 틀형상체인 다이싱 링(31)을 사용하고 있다. 도시한 바와 같이, 다이싱 링(31)의 내측에는 상향에 점착재를 갖는 점착 테이프(32)가 접착되어 있다. 이 점착 테이프(32)는 염화 비닐, 폴리올레핀, 폴리에틸렌테레프탈레이트 등의 기재의 층과, 그의 상면에 점착재의 층을 갖는 2층 구조의 테이프이다. 기재층은 예를 들면 두께를 80㎛, 점착재의 층은 20㎛로 하고, 합하여 100㎛의 두께로 한다. 그리고 이 점착 테이프(32)의 상면 중앙에는 분단의 대상이 되는 수지 시트(33), 여기에서는 실리콘 수지 시트가 접착된다. 본 실시 형태에서는 수지 시트(33)는 0.1∼1.0㎜의 두께, 여기에서는 예를 들면 0.1㎜ 두께의 대략 정사각형 형상의 실리콘 수지 시트로 한다. 이 수지 시트(33)를 1×1㎜ 사방의 다수의 정사각형의 미소 시트가 되도록 고정밀도로 분단하는 것으로 한다.Fig. 5 is a perspective view showing the details of the resin sheet held on the table 11, and Fig. 6 is a side view thereof. In the present embodiment, the dicing ring 31, which is a torus-shaped frame shape used for separating the semiconductor wafer into chips, is used for holding the sheet, and the silicon resin sheet is used as the object to be divided. As shown in the figure, an adhesive tape 32 having an adhesive material is adhered to the inside of the dicing ring 31 in an upward direction. This adhesive tape 32 is a tape having a two-layer structure having a layer of a base material such as vinyl chloride, polyolefin, or polyethylene terephthalate, and a layer of an adhesive material on its upper surface. The base layer has a thickness of 80 占 퐉, for example, and the thickness of the adhesive layer is 20 占 퐉 to make a total thickness of 100 占 퐉. A resin sheet 33, which is a subject of division, in this case, a silicone resin sheet, is bonded to the upper center of the adhesive tape 32. In the present embodiment, the resin sheet 33 is a silicone resin sheet having a thickness of 0.1 to 1.0 mm, for example, a substantially square shape having a thickness of 0.1 mm, for example. The resin sheet 33 is divided into a plurality of square fine sheets of 1 x 1 mm square with high accuracy.

본 실시 형태에서는, 실리콘 수지 시트(33)를 파단할 때에 탄성 지지판(40)을 이용한다. 탄성 지지판(40)은 도 5에 사시도를 나타내는 바와 같이 고무제 등의 탄성을 갖는 직사각형의 평판으로서, 실리콘 수지 시트(33)보다 한 둘레 큰 크기로 한다. 탄성 지지판(40)은 예를 들면 두께를 1㎜ 정도로 하고, 경도는 바람직하게는 80도 이상, 100도 이하로 한다. 여기에서는 1㎜ 두께, 90도의 경도의 탄성 지지판(40)을 이용했다.In the present embodiment, the elastic support plate 40 is used to break the silicone resin sheet 33. As shown in the perspective view in Fig. 5, the elastic support plate 40 is a rectangular flat plate having elasticity such as rubber or the like and has a larger circumference than the silicone resin sheet 33. The thickness of the elastic support plate 40 is, for example, about 1 mm, and the hardness is preferably 80 degrees or more and 100 degrees or less. Here, an elastic support plate 40 having a thickness of 1 mm and a hardness of 90 degrees is used.

전술한 분단 장치(10)의 테이블(11)상에는 도 5에 나타내는 바와 같이 탄성 지지판(40)을 올려놓는다. 그리고 테이블(11)상에는, 탄성 지지판(40)의 상부에 수지 시트(33)가 위치하도록 다이싱 링(31)을 배치한다. 그리고 테이블(11)의 하방에서 도시하지 않은 진공 흡착 수단 등으로 수지 시트(33)를 보유지지한다. 그렇게 하면 도 6에 나타내는 바와 같이 점착 테이프(32)의 하면이 흡착되기 때문에, 탄성 지지판(40)과 점착 테이프(32) 및 그의 상면의 수지 시트(33)를 테이블(11)상에 보유지지할 수 있다.5, the elastic support plate 40 is placed on the table 11 of the above-described cutting apparatus 10 described above. On the table 11, the dicing ring 31 is arranged so that the resin sheet 33 is located on the upper portion of the elastic support plate 40. [ The resin sheet 33 is held under the table 11 by vacuum suction means or the like (not shown). 6, the elastic support plate 40, the adhesive tape 32 and the resin sheet 33 on the upper surface of the elastic support plate 40 are held on the table 11 .

다음으로 수지 시트(33)의 분단 방법에 대해서 설명한다. 우선 브레이크 바(21)의 직하에 수지 시트(33)의 분단 예정 라인이 위치하도록 Y축 이동 기구(12)에 의해 테이블(11)을 이동시킨다. 이때 테이블(11)을 2분할해 두면, 그 극간으로부터 브레이크 바(21)의 위치를 확인할 수 있다. 위치 확인을 완료한 후에는 테이블(11)을 닫아 둔다.Next, the method of dividing the resin sheet 33 will be described. The table 11 is moved by the Y-axis moving mechanism 12 so that the line to be divided of the resin sheet 33 is located immediately below the brake bar 21. [ At this time, if the table 11 is divided into two parts, the position of the brake bar 21 can be confirmed from the gap. After the position confirmation is completed, the table 11 is closed.

다음으로 서보 모터(14)를 구동하여, 상 이동 부재(17)와 하 이동 부재(20)를 동시에 저하시켜 브레이크 바(21)를 테이블(11)에 대하여 수직으로 유지하면서 서서히 강하시킨다. 이렇게 하면 도 7에 나타내는 바와 같이, 우선 탄성체(22, 23)가 수지 시트(33)에 접촉하고, 눌려져 수축된다. 추가로 브레이크 바(21)를 강하시키면, 수지 시트(33)가 브레이크 바(21)에 눌려져 변형되고, 가라앉아 탄성 지지판(40)이 V자 형상으로 약간 변형된다. 그리고 탄성 지지판(40)이 약간 균등하게 변형되어 감으로써, 브레이크 바(21)에 접하는 분단 예정 라인을 따라 균열이 하방에 신전되어 가게 된다. 그리고 브레이크 바(21)를 충분히 강하시킴으로써, 수지 내의 균열이 신전되어 분단이 완료하게 된다.Next, the servomotor 14 is driven so that the phase shifter 17 and the lower shifter 20 are simultaneously lowered to gradually lower the brake bar 21 while keeping it perpendicular to the table 11. 7, the elastic members 22 and 23 first come into contact with the resin sheet 33 and are pressed and contracted. Further, when the brake bar 21 is further lowered, the resin sheet 33 is pressed and deformed by the brake bar 21, and the elastic support plate 40 is slightly deformed into a V shape. The elastic support plate 40 is slightly evenly deformed so that the cracks are stretched downward along the line along which the breaking is to be made in contact with the brake bar 21. [ By sufficiently lowering the brake bar 21, cracks in the resin are stretched to complete the division.

그리고 분단이 완료하면, 서보 모터(14)를 역전시켜 하 이동 부재(20)를 상승시킨다. 이때 수지 시트(33)는 탄성체(22, 23)가 원래의 상태로 복귀할 때까지 점착 테이프(32)의 면에 밀어붙여져 있는 점에서, 브레이크 바(21)의 상승에 수반하여 브레이크 바(21)에 부착되어 수지 시트(33)가 상승하는 일이 없고, 도 8에 나타내는 바와 같이 분단한 수지 시트(33)를 그대로 점착 테이프(32)상에 보유지지할 수 있다. 그리고 브레이크 바(21)를 상승시키고, 수지 시트(33)가 브레이크 바(21)로부터 떨어지면, 한 쌍의 탄성체(22, 23)도 압축 상태로부터 원래의 상태로 복귀한다.When the division is completed, the servomotor 14 is reversed and the lower movable member 20 is raised. At this time, the resin sheet 33 is pressed against the surface of the adhesive tape 32 until the elastic members 22 and 23 return to the original state, so that the breakage of the brake bars 21 So that the resin sheet 33 can be retained on the adhesive tape 32 as it is, as shown in Fig. When the brake bar 21 is raised and the resin sheet 33 is released from the brake bar 21, the pair of elastic bodies 22 and 23 also return to the original state from the compressed state.

다음으로 Y축 이동 기구(12)에 의해 소정의 피치로 테이블(11)을 y축 방향으로 약간 이동시킨 후, 브레이크 바(21)를 재차 강하시키고, 동일하게 하여 분단을 반복한다. 그리고 어느 방향에서 모든 분단을 완료한 후, Y축 이동 기구(12)에 의해 테이블(11)을 90° 회전시켜 동일하게 브레이크 바(21)를 강하시키고, 탄성체(22, 23)를 변형시키면서 수지 시트(33)를 분단한다. 그리고 브레이크 바(21)를 상승시켜 분단을 종료한다. 또한 테이블(11)을 y축 방향으로 브레이크 라인의 피치분만큼 이동시키고, 동일하게 하여 브레이크 바(21)를 강하시킨다. 이렇게 하면 전면(全面)의 분단이 완료되고, 격자 형상으로 수지 시트(33)를 분단할 수 있다.Next, the table 11 is slightly moved in the y-axis direction at a predetermined pitch by the Y-axis moving mechanism 12, then the brake bar 21 is lowered again, and the division is repeated in the same manner. Then, the table 11 is rotated 90 degrees by the Y-axis moving mechanism 12 to lower the brake bars 21 in the same manner, and the elastic bodies 22 and 23 are deformed, The sheet 33 is divided. Then, the brake bar 21 is raised to terminate the division. Further, the table 11 is moved by the pitch of the brake line in the y-axis direction, and the brake bar 21 is lowered in the same manner. In this way, the division of the entire surface is completed, and the resin sheet 33 can be divided into a lattice shape.

또한 이 실시 형태에서는, 분단의 대상이 되는 수지 시트를 실리콘 수지로서 설명하고 있지만, 다른 수지, 예를 들면 에폭시 수지 등 1종류의 수지의 시트라도 좋다. 또한 수지와 세라믹 기판이나 유리판 등의 취성 재료 기판을 적층한 적층형의 수지 시트라도 좋다.In this embodiment, the resin sheet to be divided is described as a silicone resin, but it may be a sheet of one kind of resin such as another resin, for example, an epoxy resin. Further, a laminate type resin sheet obtained by laminating a resin and a brittle material substrate such as a ceramic substrate or a glass plate may be used.

또한 이 실시 형태에서는, 수지 시트를 틀 형상의 다이싱 링에 붙인 점착 테이프상에 보유지지하도록 하고 있지만, 틀형상체라면 충분하기 때문에, 다이싱 링에 한정되는 것은 아니다.Further, in this embodiment, the resin sheet is held on the adhesive tape adhered to the frame-shaped dicing ring, but it is not limited to the dicing ring because it is sufficient if it is a frame-shaped body.

본 발명은 분단 장치를 이용하여 수지 시트를 정확하게 분단할 수 있기 때문에, 수지 시트를 정밀하게 분단하는 분단 장치에 적합하다.INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is suitable for a dividing apparatus for precisely dividing a resin sheet, because a resin sheet can be accurately divided by using a dividing apparatus.

10 : 분단 장치
11 : 테이블
12 : Y축 이동 기구
13, 16 : 수평 고정 부재
14 : 서보 모터
17 : 상 이동 부재
20 : 하 이동 부재
21 : 브레이크 바
22, 23 : 탄성체
31 : 다이싱 링
32 : 점착 테이프
33 : 수지 시트
40 : 탄성 지지판10: Separation device
11: Table
12: Y-axis moving mechanism
13, 16: Horizontal fixing member
14: Servo motor
17:
20: Lower movable member
21: Brake bar
22, 23: elastic body
31: Dicing ring
32: Adhesive tape
33: Resin sheet
40: elastic support plate

Claims (4)

수지 시트의 분단에 이용되는 분단 장치로서,
점착 테이프상에 분단의 대상이 되는 수지 시트를 보유지지한 틀형상체와,
상하동 자유롭게 보유지지된 이동 부재와,
상기 이동 부재의 하면에 수직으로 보유지지되고, 하면이 시트에 평행하게 보유지지된 판 형상의 브레이크 바와,
상기 이동 부재의 하면에서 상기 브레이크 바의 양측에 형성된 한 쌍의 탄성체와,
상기 수지 시트의 면에 대하여 상기 이동 부재를 수직으로 상하동시키는 승강 기구와,
상기 브레이크 바에 대하여 상기 틀형상체가 배치된 테이블을 상대적으로 이동시키는 상대 이동 수단을 구비하고,
상기 브레이크 바의 하단으로부터 상기 수지 시트의 두께만큼 상방의 위치를 기준 위치로 하면, 상기 한 쌍의 탄성체의 하단은 상기 기준 위치보다도 하방에 있고, 상기 수지 시트상에 상기 브레이크 바를 강하시킴으로써 수지 시트를 분단하는 수지 시트의 분단 장치.As a dividing device used for dividing a resin sheet,
A frame body holding a resin sheet to be divided on an adhesive tape,
A movable member vertically movably held,
A plate-shaped brake bar vertically held on the lower surface of the moving member and held on the lower surface in parallel with the seat,
A pair of elastic members formed on both sides of the brake bar at the lower surface of the moving member,
A lifting mechanism for vertically moving the movable member vertically with respect to the surface of the resin sheet,
And relative moving means for relatively moving the table on which the frame body is arranged with respect to the brake bar,
The lower end of the pair of elastic members is located below the reference position, and when the brake bar is lowered on the resin sheet, the resin sheet And a separating device for separating the resin sheet. 제1항에 있어서,
상기 한 쌍의 탄성체는, 스펀지인 수지 시트의 분단 장치.The method according to claim 1,
Wherein the pair of elastic members is a sponge. 제2항에 있어서,
상기 한 쌍의 탄성체는, 대전 방지 사양의 스펀지인 수지 시트의 분단 장치.3. The method of claim 2,
Wherein the pair of elastic members is a sponge of an antistatic specification. 틀형상체에 의해 보유지지된 점착 테이프상에 수지 시트를 점착시켜 보유지지하고,
상하동 자유로운 브레이크 바의 양측에 한 쌍의 탄성체를 보유지지하고,
상기 틀형상체상에 보유지지한 상기 수지 시트의 면에 브레이크 바를 강하시킴과 함께, 상기 한 쌍의 탄성체를 수축시켜, 상기 브레이크 바로부터 상기 수지 시트를 분단하는 수지 시트의 분단 방법.A resin sheet is adhered and held on an adhesive tape held by a frame body,
A pair of elastic bodies are held on both sides of the upper and lower brake bars,
And the resin sheet is separated from the brake bar by contracting the pair of elastic bodies while lowering the brake bars on the surface of the resin sheet held on the frame body.
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