KR20180108577A - 진공 펌프 및 그 진공 펌프에 이용되는 가요성 커버 및 로터 - Google Patents

진공 펌프 및 그 진공 펌프에 이용되는 가요성 커버 및 로터 Download PDF

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Abstract

[과제]
프로세스 가스에 기인하는 녹이나 파티클 등의 이물이 반도체 웨이퍼의 제조 공정에 침입하는 것을 억제하는 진공 펌프 및 그 진공 펌프에 이용되는 가요성 커버 및 로터를 제공한다.
[해결 수단]
진공 펌프(1)는, 가스 흡기구(12a) 및 가스 배기구(11a)를 가지는 케이싱(10)과, 가스 흡기구(12a)를 향해 개구하는 오목부(29)를 가지며, 오목부(29) 내에 배치된 볼트(25)를 통하여 로터 샤프트(21)에 체결된 로터(20)를 구비하고 있다. 오목부(29)에는, 로터(20)의 가스 흡기구(12a)에 대향하는 단면(20a)에 외주부(80a)가 지지됨과 함께, 로터(20)의 오목부(29) 내에 중앙부(80b)가 함입하여, 오목부(29)를 향해 볼록형상으로 탄성 변형되어 오목부(29)를 덮는 가요성 커버(80)가 설치되어 있다.

Description

진공 펌프 및 그 진공 펌프에 이용되는 가요성 커버 및 로터
본 발명은, 저진공부터 초고진공에 걸친 압력 범위에서 이용 가능한 진공 펌프 및 그 진공 펌프에 이용되는 가요성 커버 및 로터에 관한 것이다.
메모리나 집적 회로 등의 반도체를 제조할 때, 공기 중의 먼지 등에 의한 영향을 피하기 위해 고진공 상태의 챔버 내에서 고순도의 반도체 기판(웨이퍼)에 도핑이나 에칭을 행할 필요가 있어, 프로세스 가스는, 예를 들면, 터보 분자 펌프와 나사 홈 펌프를 조합한 복합 펌프 등의 진공 펌프에 의해 배기된다.
이러한 진공 펌프로서, 예를 들면, 원통형의 케이싱과, 케이싱 내에 넣어져 고정됨과 함께 나사 홈부가 설치된 원통형의 스테이터와, 스테이터 내에서 고속 회전 가능하게 지지된 로터 샤프트에 볼트로 체결된 로터를 구비한 것이 알려져 있다. 프로세스 가스는, 로터의 회전날개에 의해 하향의 운동량이 부여됨으로써, 나사 홈 펌프의 상류로 이송된다. 그 다음에, 프로세스 가스는, 나사 홈 펌프로 압축된 후에, 외부로 배기된다.
부식성의 프로세스 가스를 반도체 웨이퍼에 작용시키는 공정이 다수 있기 때문에, 진공 펌프로 챔버 내의 프로세스 가스를 배출할 때에, 프로세스 가스가 로터와 로터 샤프트를 체결하는 볼트의 표면에 부식이나 녹을 발생시키거나, 또는, 프로세스 가스 중의 성분의 물리 화학적 변화에 의해 파티클(미립자, 더스트)을 발생시키는 경우가 있다.
그리고, 챔버 내의 감압과 승압을 반복하는 동안에, 볼트 표면의 녹이나 파티클 등의 이물을 포함하는 프로세스 가스 등이 챔버 내에 역류하여, 이물이 반도체 웨이퍼에 부착되어, 반도체 웨이퍼의 가공 품질을 저하시킬 우려가 있었다.
그러한 이물을 포함하는 프로세스 가스 등이 챔버 내에 역류하는 것을 억제하기 위해, 특허 문헌 1에는, 로터의 오목부에 감입(嵌入), 즉 끼워넣어져, 볼트의 체결부를 덮도록 배치된 커버를 구비한 진공 펌프가 개시되어 있다.
일본국 특허공개 2014-55574호 공보
그러나, 상술한 바와 같은 진공 펌프에서는, 펌프를 조립하는데 있어서 부재의 치수 오차를 흡수하기 위해 확보된 커버와 로터 사이의 미소한 간극을 프로세스 가스가 통과 가능한 것에 의해, 볼트 표면에 생긴 녹이나 오목부 내에 잔류한 파티클이 챔버 내에 역류할 우려가 있었다.
그래서, 프로세스 가스에 기인하는 녹이나 파티클 등의 이물이 반도체 웨이퍼의 제조 공정에 침입하는 것을 억제하기 위해 해결해야 할 기술적 과제가 발생하게 되었으며, 본 발명은, 이 과제를 해결하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 상기 목적을 달성하기 위해 제안하는 것이며, 청구항 1에 기재된 발명은, 흡기구 및 배기구를 가지는 케이싱과, 상기 흡기구를 향해 개구하는 오목부를 가지며, 상기 오목부 내에 배치된 볼트로 로터 샤프트에 체결된 로터를 구비한 진공 펌프로서, 상기 로터의 상기 흡기구에 대향하는 단면에 외주부가 지지됨과 함께 상기 로터의 상기 오목부 내에 중앙부가 함입하여, 상기 오목부를 향해 볼록형상으로 탄성 변형되어 상기 오목부를 덮는 가요성 커버를 구비하고 있는 진공 펌프를 제공한다.
이 구성에 의하면, 가요성 커버가 로터의 오목부를 덮음으로써, 로터를 로터 샤프트에 체결하는 볼트가 프로세스 가스에 노출되지 않게 되어, 볼트의 부식이나 녹 발생이 억제되기 때문에, 챔버 내로의 이물의 역류를 억제할 수 있다.
청구항 2에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 진공 펌프의 구성에 더하여, 상기 가요성 커버에 배치되며, 탄성 변형되는 상기 가요성 커버를 지지하는 보강 커버를 구비하고 있는 진공 펌프를 제공한다.
이 구성에 의하면, 보강 커버에 지지된 지지점으로부터 외주부에 걸쳐 가요성 커버가 탄성 변형됨으로써, 가요성 커버에 작용하는 최대 응력이 저하되기 때문에, 가요성 커버의 내구성을 향상시켜, 챔버 내로의 이물의 역류를 장기에 걸쳐 억제할 수 있다.
청구항 3에 기재된 발명은, 청구항 2에 기재된 진공 펌프의 구성에 더하여, 상기 보강 커버는, 상기 가요성 커버의 외경보다 작은 외경인 진공 펌프를 제공한다.
이 구성에 의하면, 가요성 커버가 보강 커버의 전체면에 지지되면서 탄성 변형됨으로써, 가요성 커버에 작용하는 최대 응력이 저하되기 때문에, 가요성 커버의 내구성을 향상시켜, 챔버 내로의 이물의 역류를 장기에 걸쳐 억제할 수 있다.
청구항 4에 기재된 발명은, 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 기재된 진공 펌프의 구성에 더하여, 상기 가요성 커버를 사이에 두고 상기 흡기구의 반대측에 상기 가요성 커버에 인접해서 배치되며, 상기 가요성 커버를 지지하는 편평 커버를 구비하고 있는 진공 펌프를 제공한다.
이 구성에 의하면, 편평 커버가 가요성 커버를 지지하고, 가요성 커버의 중앙부가 평탄하게 유지됨으로써, 가요성 커버가 중앙부로부터 외주부에 걸쳐 매끄럽게 탄성 변형되어, 가요성 커버에 작용하는 최대 응력이 저하되기 때문에, 챔버 내로의 이물의 역류를 장기에 걸쳐 억제할 수 있다.
청구항 5에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 진공 펌프의 구성에 더하여, 상기 가요성 커버에는, 그 가요성 커버의 강성을 국소적으로 낮추는 강성 저하부가 형성되어 있는 진공 펌프를 제공한다.
이 구성에 의하면, 가요성 커버는, 강성 저하부가 만곡하도록 매끄럽게 탄성 변형됨으로써, 가요성 커버에 과도한 응력이 작용하는 것이 억제되기 때문에, 가요성 커버의 내구성을 향상시켜, 챔버 내로의 이물의 역류를 장기에 걸쳐 억제할 수 있다. 또, 강성 저하부가 설치되어 가요성 커버의 강성이 저하됨으로써, 가요성 커버가 변형되기 쉬워지기 때문에, 가요성 커버의 외주부와 로터의 오목부의 밀착성을 향상시킬 수 있다.
청구항 6에 기재된 발명은, 청구항 5에 기재된 진공 펌프의 구성에 더하여, 상기 강성 저하부는, 상기 가요성 커버의 중앙부 둘레로 동심원 상에 형성된 복수의 빼냄 구멍이며, 상기 가요성 커버를 사이에 두고 상기 흡기구의 반대측에 상기 가요성 커버에 인접해서 배치되며, 상기 로터의 상기 오목부에 끼워넣어진 편평 커버를 구비하고 있는 진공 펌프를 제공한다.
이 구성에 의하면, 가요성 커버는, 빼냄 구멍을 설치한 부분이 만곡하도록 매끄럽게 탄성 변형됨으로써, 가요성 커버에 과도한 응력이 작용하는 것이 억제되기 때문에, 가요성 커버의 내구성을 향상시켜, 챔버 내로의 이물의 역류를 장기에 걸쳐 억제할 수 있다.
청구항 7에 기재된 발명은, 청구항 1 내지 6 중 어느 한 항에 기재된 진공 펌프에 이용되는 가요성 커버를 제공한다.
이 구성에 의하면, 가요성 커버가 로터의 오목부를 덮음으로써, 로터를 로터 샤프트에 체결하는 볼트가 프로세스 가스에 노출되지 않게 되어, 볼트의 부식이나 녹 발생이 억제되기 때문에, 챔버 내로의 이물의 역류를 억제할 수 있다.
청구항 8에 기재된 발명은, 청구항 1 내지 6 중 어느 한 항에 기재된 진공 펌프에 이용되는 로터를 제공한다.
이 구성에 의하면, 로터의 오목부가 가요성 커버로 덮임으로써, 로터를 로터 샤프트에 체결하는 볼트가 프로세스 가스에 노출되지 않게 되어, 볼트의 부식이나 녹 발생이 억제되기 때문에, 챔버 내로의 이물의 역류를 억제할 수 있다.
본 발명은, 가요성 커버가 로터의 오목부를 덮음으로써, 로터를 로터 샤프트에 체결하는 볼트가 프로세스 가스에 노출되지 않게 되어, 볼트의 부식이나 녹 발생이 억제되기 때문에, 챔버 내로의 이물의 역류를 억제할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 관련된 진공 펌프를 나타내는 단면도.
도 2는 도 1의 주요부 확대도이며, (a)는 흡기구측으로부터 본 가요성 커버를 나타내는 평면도, (b)는 로터의 오목부를 나타내는 확대도.
도 3은 가요성 커버의 조립도.
도 4는 탄성 변형되어 로터의 오목부를 막는 가요성 커버를 나타내는 확대도.
도 5는 도 2의 I부 확대도.
도 6은 도 2의 II부 확대도.
도 7은 보강 커버의 직경 치수와 가요성 커버에 작용하는 최대 응력의 관계를 나타내는 그래프.
도 8은 본 발명의 제2 실시예에 관련된 진공 펌프에 이용되는 가요성 커버를 나타내는 도이며, (a)는 흡기구측으로부터 본 가요성 커버를 나타내는 평면도, (b)는 로터의 오목부를 나타내는 확대도.
본 발명은, 프로세스 가스에 기인하는 녹이나 파티클 등의 이물이 반도체 웨이퍼의 제조 공정에 침입하는 것을 억제하기 위해, 흡기구 및 배기구를 가지는 케이싱과, 흡기구를 향해 개구하는 오목부를 가지며, 오목부 내에 배치된 볼트로 로터 샤프트에 체결된 로터를 구비한 진공 펌프로서, 로터의 흡기구에 대향하는 단면에 외주부가 지지됨과 함께 로터의 오목부 내에 중앙부가 함입(陷入), 즉 패여, 오목부를 향해 볼록형상으로 탄성 변형되어 오목부를 덮는 가요성 커버를 구비하고 있음으로써 실현되었다.
[실시예]
이하, 본 발명의 하나의 실시예에 관련된 진공 펌프(1)에 대해서, 도면에 의거하여 설명한다. 또한, 이하에 있어서, 「상」, 「하」란 말은, 로터축 방향에 있어서의 흡기구측, 배기구측이 각각 상방, 하방에 대응하는 것이다.
도 1은, 진공 펌프(1)를 나타내는 종단면도이다. 진공 펌프(1)는, 대략 원통형의 케이싱(10) 내에 수용된 터보 분자 펌프 기구(PA)와 나사 홈 펌프 기구(PB)로 이루어지는 복합 펌프이다.
진공 펌프(1)는, 케이싱(10)과, 케이싱(10) 내에 회전 가능하게 지지된 로터 샤프트(21)를 가지는 로터(20)와, 로터 샤프트(21)를 회전시키는 구동 모터(30)와, 로터 샤프트(21)의 일부 및 구동 모터(30)를 수용하는 스테이터 컬럼(40)을 구비하고 있다.
케이싱(10)은, 바닥이 있는 원통형으로 형성되어 있다. 케이싱(10)은, 가스 배기구(11a)가 하부 측방에 형성된 베이스(11)와, 가스 흡기구(12a)가 상부에 형성됨과 함께 베이스(11) 상에 재치된 상태로 볼트(13)를 통하여 고정된 원통부(12)로 구성되어 있다. 또한, 도 1 중의 부호 14는 이면 덮개이다.
베이스(11)는, 가스 배기구(11a)가 도시하지 않은 보조 펌프에 연통하도록 부착된다.
원통부(12)는, 플랜지(12b)를 통하여 가스 흡기구(12a)가 도시하지 않은 챔버 등의 진공 용기에 연통하도록 부착된다.
로터(20)는, 로터 샤프트(21)와, 로터 샤프트(21)의 상부에 고정되어 로터 샤프트(21)의 축심에 대해 동심원형으로 나란히 설치된 회전날개(22)를 구비하고 있다.
로터 샤프트(21)는, 자기 베어링(50)에 의해 비접촉 지지되어 있다. 자기 베어링(50)은, 래디얼 전자석(51)과, 액시얼 전자석(52)을 구비하고 있다. 래디얼 전자석(51) 및 액시얼 전자석(52)은, 도시하지 않은 제어 유닛에 접속되어 있다.
제어 유닛은, 래디얼 방향 변위 센서(51a) 및 액시얼 방향 변위 센서(52a)의 검출값에 의거하여, 래디얼 전자석(51), 액시얼 전자석(52)의 여자 전류를 제어함으로써, 로터 샤프트(21)가 소정의 위치로 부상한 상태로 지지되게 되어 있다.
로터 샤프트(21)의 상부 및 하부는, 터치다운 베어링(23) 내에 삽입 통과되어 있다. 로터 샤프트(21)가 제어 불능이 된 경우에는, 고속으로 회전하는 로터 샤프트(21)가 터치다운 베어링(23)에 접촉하여 진공 펌프(1)의 손상을 방지하게 되어 있다.
회전날개(22)는, 보스 구멍(24)에 로터 샤프트(21)의 상부를 삽입 통과한 상태로, 볼트(25)를 로터 플랜지(26)에 삽입 통과함과 함께 샤프트 플랜지(27)에 나사식 장착함으로써, 로터 샤프트(21)에 일체로 부착되어 있다. 이하, 로터 샤프트(21)의 축선 방향을 「로터 축 방향(A)」로 칭하고, 로터 샤프트(21)의 경 방향을 「로터 경 방향(R)」로 칭한다.
구동 모터(30)는, 로터 샤프트(21)의 외주에 부착된 회전자(31)와, 회전자(31)를 둘러싸도록 배치된 고정자(32)로 구성되어 있다. 고정자(31)는, 상술한 도시하지 않은 제어 유닛에 접속되어 있으며, 제어 유닛에 의해 로터 샤프트(21)의 회전이 제어되어 있다.
스테이터 컬럼(40)은, 베이스(11) 상에 재치된 상태로, 스테이터 컬럼(40)의 하단부가 볼트(41)를 통하여 베이스(11)에 고정되어 있다.
다음에, 진공 펌프(1)의 대략 상반분에 배치된 터보 분자 펌프 기구(PA)에 대해서 설명한다.
터보 분자 펌프 기구(PA)는, 로터(20)의 회전날개(22)와, 회전날개(22) 사이에 간극을 두고 배치된 고정날개(60)로 구성되어 있다. 회전날개(22)와 고정날개(60)는, 로터 축 방향(A)을 따라 번갈아 또는 다단으로 배열되어 있으며, 본 실시예에서는, 회전날개(22) 및 고정날개(60)가 5단씩 배열되어 있다.
회전날개(22)는, 소정의 각도로 경사진 블레이드로 이루어지며, 로터(20)의 상부 외주면에 일체로 형성되어 있다. 또, 회전날개(22)는, 로터(20)의 축선 둘레로 방사형으로 복수 설치되어 있다.
고정날개(60)는, 회전날개(22)와는 반대 방향으로 경사진 블레이드로 이루어지며, 원통부(12)의 내벽면에 단으로 쌓아 설치되어 있는 스페이서(61)에 의해 로터 축 방향(A)에 협지되어 위치 결정되어 있다. 또, 고정날개(60)도, 로터(20)의 축선 둘레로 방사형으로 복수 설치되어 있다.
회전날개(22) 및 고정날개(60)의 길이는, 로터 축 방향(A)의 상방에서 하방을 향해 서서히 짧아지도록 설정되어 있다.
상술한 바와 같은 터보 분자 펌프 기구(PA)는, 회전날개(22)의 회전에 의해, 가스 흡기구(12a)로부터 흡입된 가스를 로터 축 방향(A)의 상방에서 하방으로 이송하게 되어 있다.
다음에, 진공 펌프(1)의 대략 하반분에 배치된 나사 홈 펌프 기구(PB)에 대해서 설명한다.
나사 홈 펌프 기구(PB)는, 로터(20)의 하부에 설치되어 로터 축 방향(A)을 따라 연장된 로터 원통부(28)와, 로터 원통부(28)의 외주면(28a)을 둘러싸고 배치된 대략 원통형의 스테이터(70)를 구비하고 있다.
스테이터(70)는, 베이스(11) 상에 재치되어 있다. 스테이터(70)는, 내주면(70a)에 각설된 나사 홈부(71)를 구비하고 있다.
상술한 바와 같은 나사 홈 펌프 기구(PB)는, 가스 흡기구(12a)로부터 로터 축 방향(A)의 하방으로 이송된 가스를, 로터 원통부(28)의 고속 회전에 의한 드래그 효과에 의해 압축하여, 가스 배기구(11a)를 향해 이송한다. 구체적으로는, 가스는, 로터 원통부(28)와 스테이터(70)의 간극에 이송된 후에, 나사 홈부(71) 내에서 압축되어 가스 배기구(11a)에 이송된다.
다음에, 로터(20)의 오목부(29)를 막는 가요성 커버(80)에 대해서, 도면에 의거하여 설명한다. 도 2는, 도 1의 주요부 확대도이며, (a)는 흡기구측으로부터 본 가요성 커버(80)를 나타내는 평면도이며, (b)는 로터(20)의 오목부(29)를 나타내는 확대도이다. 도 3은, 가요성 커버(80)의 조립도이다. 도 4는, 탄성 변형되어 로터(20)의 오목부(29)를 막는 가요성 커버(80)를 나타내는 확대도이다. 도 5는, 도 2의 I부 확대도이다. 도 6은, 도 2의 II부 확대도이다.
오목부(29)에는, 오목부(29)를 덮는 가요성 커버(80)와, 가요성 커버(80)에 맞닿아 배치된 제1 편평 커버(81)와, 제1 편평 커버(81)와 간극을 두고 배치된 제2 편평 커버(82)가 배치되고, 볼트(83)로 로터 샤프트(21)에 일체로 체결되어 있다.
가요성 커버(80)는, 얇은 원판형으로 형성되어 있으며, 예를 들면, 스테인리스제로, 두께 3mm 정도로 형성되어 있다. 가요성 커버(80)의 외경은, 로터(20)의 오목부(29)의 내경보다 3mm 정도 크게 설정되며, 가요성 커버(80)의 외주부(80a)는 로터의 단면(20a)에 접촉하고 있다.
제1 편평 커버(81) 및 제2 편평 커버(82)는, 원반형으로 형성되어 있으며, 예를 들면, 알루미늄 합금제로, 두께 15mm 정도로 형성되어 있다. 제1 편평 커버(81)와 오목부(29) 사이 및 제2 편평 커버(82)와 오목부(29) 사이에는, 미소한 간극이 있다. 이것은, 진공 펌프(1)의 조립 시에, 각종 부재의 치수 오차를 흡수하기 위한 것이다. 제1 편평 커버(81) 및 제2 편평 커버(82)는, 볼트(25)의 녹 발생에 기인하는 이물이 챔버 내에 역류하는 것을 억제하고 있다.
가요성 커버(80)는, 제1 편평 커버(81)와 보강 커버(84) 사이에 끼워져 있다. 보강 커버(84)는, 얇은 원판형으로 형성되어 있으며, 예를 들면, 스테인리스제로, 두께 0.3mm 정도로 형성되어 있다. 보강 커버(84)는, 가요성 커버(80)보다 소경으로 형성되어 있다. 보강 커버(84)는, 가요성 커버(80)와 일체로 설치되어 있어도 상관없지만, 가요성 커버(80)와 보강 커버(84)를 별체로 설치함으로써, 각 부재를 용이하게 조달할 수 있다. 또한, 부호 85는, 볼트(83)의 머리부와 보강 커버(84) 사이에 개재되는 칼라이다.
제1 편평 커버(81)와 제2 편평 커버(82) 사이에는, 제1 슬리브(86)가 개재되어 있다. 제1 슬리브(86)는, 대략 원통형으로 형성되어 있으며, 상부 외주가 부분적으로 소경으로 형성되어 있다. 제1 슬리브(86)는, 예를 들면, 알루미늄 합금제이다.
제1 슬리브(86)는, 소경부(86a)와, 대경부(86b)와, 볼트(83)를 삽입 통과하는 볼트 구멍(86c)을 구비하고 있다. 소경부(86a)가 가요성 커버(80), 제1 편평 커버(81), 보강 커버(84) 및 칼라(85)의 볼트 구멍에 삽입 통과되고, 대경부(86b)가 제1 편평 커버(81)를 지지하고 있다. 볼트 구멍(86c)의 하부는, 후술하는 제2 슬리브(87)에 감합 가능하게 확경(擴徑)되어 형성되어 있다.
대경부(86b)의 단부(86d)는, 로터(20)의 단면(20a)보다 0.5mm 정도 낮게 배치되어 있다. 따라서, 가요성 커버(80)는, 중앙부(80b)가 외주부(80a)보다 하측에 위치하고 있어, 중앙부(80)가 하측으로 볼록형상으로 탄성 변형되어 있다. 구체적으로는, 가요성 커버(80)는, 제1 편평 커버(81)와 보강 커버(84) 사이에 끼워넣어져 있기 때문에, 가요성 커버(80)는, 보강 커버(84)의 외주부(84a)에 지지되어 있는 지지점(80c)에서 외주부(80a)에 걸쳐 탄성 변형되어 있다.
제2 편평 커버(82)와 로터 샤프트(21) 사이에는, 제2 슬리브(87)가 개재되어 있다. 제2 슬리브(87)는, 대략 원통형으로 형성되어 있으며, 상부 외주가 부분적으로 소경으로 형성되어 있다. 제2 슬리브(87)는, 예를 들면, 알루미늄 합금제이다.
제2 슬리브(87)는, 소경부(87a)와, 대경부(87b)와, 볼트(83)를 삽입 통과하는 볼트 구멍(87c)을 구비하고 있다. 소경부(87a)가 제1 슬리브(87)의 볼트 구멍(87c) 및 제2 편평 커버(82)의 볼트 구멍에 삽입 통과되고, 대경부(87b)가 제2 편평 커버(82)를 지지하고 있다. 볼트 구멍(87c)의 하부는, 로터 샤프트(21)의 상단에 감합 가능하게 확경되어 형성되어 있다.
보강 커버(84)의 외경이 커짐에 따라, 지지점(80c)이 외주부(80a)에 접근하여, 가요성 커버(80)가 탄성 변형되는 범위는 작아진다. 그리고, 도 7에 나타내는 바와 같이, 보강 커버(84)의 외경이 가요성 커버(80)의 직경 D의 대략 절반으로 설정되면, 가요성 커버(80)에 작용하는 최대 응력이 최소가 된다. 따라서, 보강 커버(84)를 이용함으로써, 지지점(80c)이 가요성 커버(80)의 중심과 외주부(80a)의 중간에 가까워짐에 따라, 가요성 커버(80)에 작용하는 최대 응력은 서서히 저하된다. 그리고, 보강 커버(84)의 외경이 가요성 커버(80)의 직경 D의 절반으로 설정되면, 즉, 지지점(80c)이 가요성 커버(80)의 중심과 외주부(80a)의 중간에 위치하면, 가요성 커버(80)에 작용하는 최대 응력이 최소가 된다.
또한, 가요성 커버(80), 제1 편평 커버(81), 제2 편평 커버(82), 볼트(83), 보강 커버(84), 칼라(85), 제1 슬리브(86) 및 제2 슬리브(87)는, 내부식성 및 내녹성의 코팅 처리가 실시되어 있으며, 각 부재의 부식 및 녹 발생을 억제할 수 있다.
이와 같이 하여, 본 실시예에 관련된 진공 펌프(1)는, 가요성 커버(80)가 로터(20)의 오목부(29)를 덮음으로써, 로터(20)를 로터 샤프트(21)에 체결하는 볼트(13)가 프로세스 가스에 노출되지 않게 되어, 볼트(25)의 부식이나 녹 발생이 억제되기 때문에, 챔버 내로의 이물의 역류를 억제할 수 있다.
또, 제1 편평 커버(81)가 가요성 커버(80)를 지지하고, 가요성 커버(80)의 중앙부(80b)가 평탄하게 유지됨과 함께, 보강 커버(84)의 외주부(84a)에 지지된 지지점(80c)에서 외주부(80a)에 걸쳐 가요성 커버(80)가 탄성 변형됨으로써, 가요성 커버(80)에 작용하는 최대 응력이 저하되기 때문에, 가요성 커버(80)의 내구성을 향상시켜, 챔버 내로의 이물의 역류를 장기에 걸쳐 억제할 수 있다.
다음에, 본 발명의 제2 실시예에 관련된 진공 펌프(1)에서 이용되는 가요성 커버에 대해서, 도면에 의거하여 설명한다. 또한, 제2 실시예와 상술한 제1 실시예에서 공통되는 구성에 대해서는, 공통의 부호를 붙이고, 중복되는 설명을 생략한다. 도 8은, 본 발명의 제2 실시예에 관련된 진공 펌프(1)에 이용되는 가요성 커버(80)를 나타내는 도이며, (a)는 흡기구측으로부터 본 가요성 커버를 나타내는 평면도, (b)는 로터의 오목부를 나타내는 확대도이다.
가요성 커버(80)에는, 외주부(80a)와 중앙부(80b) 사이에 강성 저하부로서의 빼냄 구멍(80d)이 배치되어 있다. 빼냄 구멍(80d)은, 가요성 커버(80)에 동심원 상에 소정 간격을 두고 8개 배치되어 있다. 빼냄 구멍(80d)은, 부채형으로 형성되어 있으며, 빼냄 구멍(80d)의 외경은, 가요성 커버(80)의 직경의 대략 절반으로 설정되어 있다. 빼냄 구멍(80d)이 설치되어 있음으로써, 가요성 커버(80)의 강성은 빼냄 구멍(80d)의 설치 범위에 있어서 저하된다. 이 빼냄 구멍(80d)에 의한 강성의 저하에 의해, 가요성 커버(80)가 변형되기 쉬워져, 가요성 커버(80)의 외주부(80a)와 로터(20)의 오목부(29)의 밀착성을 향상시킬 수 있다.
또한, 가요성 커버(80)는, 제1 편평 커버(81)와 칼라(85) 사이에 끼워져 있으며, 빼냄 구멍(80d)을 통과하는 녹이나 파티클 등의 이물을 포함하는 프로세스 가스는, 제1 편평 커버(81)로 차단되기 때문에, 오목부(29) 내에 침입하는 것이 억제되어 있다.
제1 슬리브(86)의 소경부(86a)에는, 가요성 커버(80), 제1 편평 커버(81) 및 칼라(85)의 볼트 구멍에 삽입 통과되고, 대경부(86b)가 제1 편평 커버(81)를 지지하고 있다. 가요성 커버(80)는, 중앙부(80b)가 외주부(80a)보다 하측에 위치하고 있어, 중앙부(80)가 하측으로 볼록형상으로 탄성 변형되어 있다. 구체적으로는, 가요성 커버(80)는, 빼냄 구멍(80d)부터 외주부(80a)에 걸쳐 탄성 변형되어 있다.
또한, 빼냄 구멍(80d)의 형상은, 부채형인 것에 한정되지 않고, 또, 빼냄 구멍(80d)의 설치 개수는, 8개로 한정되는 것은 아니다. 또한, 강성 저하부는, 가요성 커버(80)의 강성을 국소적으로 저하 가능한 것이면, 예를 들면, 부분적으로 가요성 커버의 두께를 변경하는 등, 어떠한 것이어도 상관 없으며, 빼냄 구멍(80d)에 한정되는 것은 아니지만, 빼냄 구멍(80d)은 프레스 가공으로 간편하게 형성할 수 있는 점에서 바람직하다.
이와 같이 하여, 본 실시예에 관련된 진공 펌프(1)는, 가요성 커버(80)가 로터(20)의 오목부(29)를 덮음으로써, 로터(20)를 로터 샤프트(21)에 체결하는 볼트(25)가 프로세스 가스에 노출되지 않게 되어, 볼트(25)의 부식이나 녹 발생이 억제되기 때문에, 챔버 내로의 이물의 역류를 억제할 수 있다.
또, 가요성 커버(80)는, 빼냄 구멍(80d)을 설치한 부분이 만곡하도록 매끄럽게 탄성 변형됨으로써, 가요성 커버(80)에 과도한 응력이 작용하는 것이 억제되기 때문에, 가요성 커버(80)의 내구성을 향상시켜, 챔버 내로의 이물의 역류를 장기에 걸쳐 억제할 수 있다.
또, 본 발명은, 터보 분자 펌프 기구를 구비하는 것이면 적용 가능하며, 터보 분자 펌프 또는 복합 펌프에 적용해도 상관없다.
또한, 본 발명은, 본 발명의 정신을 일탈하지 않는 한 다양한 개변을 이룰 수 있으며, 그리고, 본 발명이 그 개변된 것에도 이르는 것은 당연하다.
1 진공 펌프 10 케이싱
11 베이스 11A 기초부
11B 베이스 스페이서 11a 가스 배기구
11b 수냉관 12 원통부
12a 가스 흡기구 12b 플랜지
13 볼트 20 로터
21 로터 샤프트 22 회전날개
23 터치다운 베어링 28 로터 원통부
28a 외주면 29 오목부
30 구동 모터 31 회전자
32 고정자 40 스테이터 컬럼
50 자기 베어링 51 래디얼 전자석
52 액시얼 전자석 60 고정날개
61 스페이서 70 스테이터
70a (스테이터의) 내주면 71 나사 홈부
80 가요성 커버 80a 외주부
80b 중앙부 80c 지지부
80d 빼냄 구멍 81 제1 편평 커버
82 제2 편평 커버 83 볼트
84 보강 커버 85 칼라
86 제1 슬리브 86a (제1 슬리브의) 소경부
86b (제1 슬리브의) 대경부 86c (제1 슬리브의) 볼트 구멍
86d 단부 87 제2 슬리브
87a (제2 슬리브의) 소경부 87b (제2 슬리브의) 대경부
87c (제2 슬리브의) 볼트 구멍 A 로터 축 방향
R 로터 경 방향 PA 터보 분자 펌프 기구
PB 나사 홈 펌프 기구

Claims (8)

  1. 흡기구 및 배기구를 가지는 케이싱과, 상기 흡기구를 향해 개구하는 오목부를 가지며, 상기 오목부 내에 배치된 볼트로 로터 샤프트에 체결된 로터를 구비한 진공 펌프로서,
    상기 로터의 상기 흡기구에 대향하는 단면에 외주부가 지지됨과 함께 상기 로터의 상기 오목부 내에 중앙부가 함입하여, 상기 오목부를 향해 볼록형상으로 탄성 변형되어 상기 오목부를 덮는 가요성 커버를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 가요성 커버에 배치되며, 탄성 변형되는 상기 가요성 커버를 지지하는 보강 커버를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 보강 커버는, 상기 가요성 커버의 외경보다 작은 외경인 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
  4. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가요성 커버를 사이에 두고 상기 흡기구의 반대측에 상기 가요성 커버에 인접해서 배치되며, 상기 가요성 커버를 지지하는 편평 커버를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 가요성 커버에는, 그 가요성 커버의 강성을 국소적으로 낮추는 강성 저하부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 강성 저하부는, 상기 가요성 커버의 중앙부 둘레로 동심원 상에 형성된 복수의 빼냄 구멍이며,
    상기 가요성 커버를 사이에 두고 상기 흡기구의 반대측에 상기 가요성 커버에 인접해서 배치되며, 상기 로터의 상기 오목부에 끼워넣어진 편평 커버를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
  7. 청구항 1 내지 6 중 어느 한 항에 기재된 진공 펌프에 이용되는 것을 특징으로 하는 가요성 커버.
  8. 청구항 1 내지 6 중 어느 한 항에 기재된 진공 펌프에 이용되는 것을 특징으로 하는 로터.
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018035684A (ja) * 2016-08-29 2018-03-08 株式会社島津製作所 真空ポンプ
GB2578899B (en) * 2018-11-13 2021-05-26 Edwards Ltd Vacuum pump
TWI696754B (zh) * 2019-03-15 2020-06-21 承輝先進股份有限公司 具有改良型蓋子之轉子裝置
JP7382150B2 (ja) * 2019-03-25 2023-11-16 エドワーズ株式会社 真空ポンプ、及び、真空ポンプに用いられるシール部材
JP7306878B2 (ja) 2019-05-31 2023-07-11 エドワーズ株式会社 真空ポンプ、及び、真空ポンプ構成部品
TWI730470B (zh) * 2019-10-24 2021-06-11 致揚科技股份有限公司 渦輪分子幫浦及其防塵式轉子元件
CN112814927B (zh) * 2019-11-18 2023-05-30 致扬科技股份有限公司 涡轮分子泵及其防尘式转子元件
JP2022111724A (ja) * 2021-01-20 2022-08-01 エドワーズ株式会社 真空ポンプ、回転体、カバー部および回転体の製造方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2905355A (en) * 1956-07-17 1959-09-22 Chamberlain Corp Compressible stopper
US3291156A (en) * 1963-10-17 1966-12-13 Johns Manville Closure plug
KR20000077471A (ko) * 1999-05-28 2000-12-26 다카키도시요시 진공펌프
JP2014055574A (ja) 2012-09-13 2014-03-27 Edwards Kk 真空ポンプのロータ及び真空ポンプ

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5096396A (en) * 1991-03-05 1992-03-17 V. Q. Corporation Rotary apparatus having passageways to clean seal chambers
JP2590967Y2 (ja) * 1992-05-28 1999-02-24 富士通株式会社 ドライブ装置
WO1994007033A1 (en) * 1992-09-23 1994-03-31 United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Turbo-molecular blower
US5733104A (en) * 1992-12-24 1998-03-31 Balzers-Pfeiffer Gmbh Vacuum pump system
DE29516599U1 (de) * 1995-10-20 1995-12-07 Leybold AG, 50968 Köln Reibungsvakuumpumpe mit Zwischeneinlaß
CN2293058Y (zh) * 1996-03-27 1998-09-30 于兴国 电子秤全密封外壳
JP3792318B2 (ja) * 1996-10-18 2006-07-05 株式会社大阪真空機器製作所 真空ポンプ
US6589009B1 (en) * 1997-06-27 2003-07-08 Ebara Corporation Turbo-molecular pump
CN201539388U (zh) * 2009-09-27 2010-08-04 殷昌（苏州）包装有限公司 真空泵及采用真空泵的真空化妆品容器
US9512853B2 (en) * 2013-03-14 2016-12-06 Texas Capital Semiconductor, Inc. Turbine cap for turbo-molecular pump
CN202954996U (zh) * 2012-11-01 2013-05-29 淄博水环真空泵厂有限公司 一种超大抽气量高效水环真空泵本体
WO2014109280A1 (ja) * 2013-01-10 2014-07-17 川崎重工業株式会社 鉄道車両用台車
CN103398013B (zh) * 2013-08-12 2016-08-24 北京中科科仪股份有限公司 涡轮分子泵

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2905355A (en) * 1956-07-17 1959-09-22 Chamberlain Corp Compressible stopper
US3291156A (en) * 1963-10-17 1966-12-13 Johns Manville Closure plug
KR20000077471A (ko) * 1999-05-28 2000-12-26 다카키도시요시 진공펌프
JP2014055574A (ja) 2012-09-13 2014-03-27 Edwards Kk 真空ポンプのロータ及び真空ポンプ

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US20190032669A1 (en) 2019-01-31

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