JP2020122487A - 真空ポンプ - Google Patents
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Abstract
Description
さらに好ましい実施形態では、前記カバー部のロータ軸方向位置は、前記カバー部の外面が前記凹部の内壁の縁と一致する位置から前記カバー部の内面が前記ポンプロータの吸気口側端面と一致する位置までの間に設定されている。
さらに好ましい実施形態では、前記ポンプロータは、前記凹部の内壁の縁と前記ポンプロータの吸気口側端面とを接続する上り勾配の斜面を有する。
さらに好ましい実施形態では、前記ロータバランス修正部材は、前記凹部に配置される第1バランス修正部を備える第1部品と、前記カバー部が形成された第2部品とで構成されている。
さらに好ましい実施形態では、前記カバー部は第2バランス修正部を有する。
さらに好ましい実施形態では、前記第1部品は、前記カバー部の外周側に配置されて前記凹部の一部を覆い、カバー機能とバランス修正機能とを兼ねる第3修正部を有する。
さらに好ましい実施形態では、前記第1部品、前記ポンプロータおよび前記シャフトは、ボルトによる共締めによって互いに締結され、前記第2部品は、前記第1部品に固定されている。
さらに好ましい実施形態では、前記シャフトは前記ポンプロータを貫通して前記凹部に突出し、前記ロータバランス修正部材は前記シャフトの前記凹部に突出した部分に固定されている。
さらに好ましい実施形態では、前記シャフトは前記ポンプロータを貫通して前記凹部に突出し、前記第2部品は前記シャフトの前記凹部に突出した部分に固定されている。
さらに好ましい実施形態では、前記凹部と前記カバー部の外部空間とを接続する連通路
を備える。
図5は、本実施の形態の第1の変形例を示す図である。図3で説明したように、カバー部6をバランスリング5に取り付けた後にもバランス調整を行い、アンバランス量が基準値を上回っていた場合には、カバー部6の修正部603を削ってバランス修正をする。そこで、図5に示す第1の変形例では、修正部603の厚さを厚くして、修正の余裕度を大きくするようにした。
図6は、本実施の形態の第2の変形例を示す図である。図2に示した実施の形態では、ポンプロータ4aとバランスリング5とを、ボルト70によりシャフト4bに共締めして一体とする構成とした。一方、図6(a)に示す構成では、ポンプロータ4aとシャフト4bとの締結はボルト71で行い、ポンプロータ4aとバランスリング5との締結はボルト72で行うようにした。いずれの場合も凹部43側からボルト締めが行われる。一方、図6(b)に示す構成では、シャフト4bにフランジ404を形成して、このフランジ404の部分を、ボルト73を用いてポンプロータ4aに締結するようにした。ボルト73の締め付けはシャフト側(図示下側)から行われる。
図7は、本実施の形態の第3の変形例を示す図である。図2に示した実施の形態では、ポンプロータ4aの貫通孔400に、シャフト4bのボス部401およびバランスリング5のボス部501を嵌め合わせる構成とした。一方、図7に示す構成では、ポンプロータ4aには、シャフト締結用の凹部405とバランスリング締結用のボス部406とが形成されている。また、バランスリング5の裏面側には、ボス部406が嵌め合わされる凹部506が形成されている。シャフト4bのボス部401を凹部405に嵌め合わせ、かつ、バランスリング5の凹部506にポンプロータ4aのボス部406を嵌め合わせ、ボルト70で共締めすることにより、ポンプロータ4a,シャフト4bおよびバランスリング5が一体とされる。
図8は、本実施の形態の第4の変形例を示す図である。図8に示す構成では、バランスリング5の構成が図2に示したバランスリング5と異なり、それに応じてカバー部6の外径寸法を変更している。図3において説明したように、バランス調整作業においては、カバー部6を取り付ける前にバランスリング5を利用してバランス修正を行い、カバー部6を取り付けた後には、カバー部6を削ることで再度のバランス修正を行うようにしている。第4の変形例では、これら両方のバランス修正をバランスリング5だけで行えるような構成とした。
図9は、本実施の形態の第5の変形例を示す図である。上述した図2に示す例では、バランス修正部材65をバランスリング5とカバー部との2部品で構成した。一方、図9(a)に示す構成では、バランス修正部材65を一部品で構成した。バランス修正部材65はカバー部650を有しており、カバー部650の外周側の肉厚を厚くして修正部650aとした。
図10,11は、本実施の形態の第6の変形例を示す図である。第6の変形例では、図10(a)に示すように、シャフト4bのボス部401は、ポンプロータ4aの貫通孔400を貫通するように構成されている。図10(a)に示す構成では、凹部43側に突出したボス部401の先端は、バランスリング5に形成された凹部505に嵌め合わされている。カバー部6の構成は、図5に示すカバー部6と同様である。
(1)図2や図9に示すように、ターボ分子ポンプ1は、凹部43を覆うカバー部6を有するバランス修正部材65を備える。その結果、ポンプ内に流入したパーティクルPは、端面402やカバー部6の外面602の上に落下し、凹部43に溜まるのを防止できる。端面402や外面602の上のパーティクルPは、遠心力により回転翼41の方向に移動しポンプ下流側に排気されるので、ポンプロータ端面上へのパーティクルPの堆積を防止でき、半導体装置チャンバの加減圧によるチャンバ内へのパーティクルPの反跳を防止することができる。
Claims (11)
- モータにより回転駆動されるシャフトにターボポンプ段を有するポンプロータが締結された回転体と、
前記ポンプロータの吸気口側端面に形成された凹部と、
後記第2部材に固定されて前記凹部を覆い、後記第2部材に固定されることにより前記回転体に固定された状態で前記回転体のバランスを修正する第1修正部を外面に有する第1部材と、
前記凹部において前記回転体に固定され、前記回転体のバランスを修正する第2修正部を有する第2部材とを備える、真空ポンプ。 - 請求項1に記載の真空ポンプにおいて、
前記第1部材のロータ軸方向位置は、前記第1部材の外面が前記凹部の内壁の縁と一致する位置から前記第1部材の内面が前記ポンプロータの吸気口側端面と一致する位置までの間に設定されている、真空ポンプ。 - 請求項2に記載の真空ポンプにおいて、
前記ポンプロータは、前記凹部の内壁の縁と前記ポンプロータの吸気口側端面とを接続する上り勾配の斜面を有する、真空ポンプ。 - 請求項3に記載の真空ポンプにおいて、
前記第1部材は、前記上り勾配の斜面上に配置されたカバー部を有する、真空ポンプ。 - 請求項1から請求項4までのいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記第2部材、前記ポンプロータおよび前記シャフトは、ボルトによる共締めによって互いに締結されている、真空ポンプ。 - 請求項1から請求項4までのいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記シャフトは前記ポンプロータを貫通して前記凹部に突出し、
前記第2部材は前記シャフトの前記凹部に突出した部分に固定されている、真空ポンプ。 - 請求項1から請求項4までのいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記シャフトは前記ポンプロータを貫通して前記凹部に突出し、
前記第1部材は前記シャフトの前記凹部に突出した部分に固定されている、真空ポンプ。 - 請求項1から請求項7までのいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記凹部と前記第1部材の外部空間とを接続する連通路を備える、真空ポンプ。 - モータにより回転駆動されるシャフトにポンプロータが締結された回転体と、
前記ポンプロータの吸気口側端面に形成された凹部と、
前記凹部を覆うカバー部を有するロータバランス修正部材とを備え、
前記カバー部のロータ軸方向位置は、前記カバー部の外面が前記凹部の内壁の縁と一致する位置から前記カバー部の内面が前記ポンプロータの吸気口側端面と一致する位置までの間に設定されており、
前記ロータバランス修正部材は、
前記凹部に配置される第1バランス修正部を備える第1部品と、前記カバー部が形成された第2部品とで構成されており、
前記第1部品は、前記カバー部の外周側に配置されて前記凹部の一部を覆い、カバー機能とバランス修正機能とを兼ねる第3修正部を有する、真空ポンプ。 - モータにより回転駆動されるシャフトにポンプロータが締結された回転体と、
前記ポンプロータの吸気口側端面に形成された凹部と、
前記凹部を覆うカバー部を有するロータバランス修正部材とを備え、
前記ポンプロータは、前記凹部の内壁の縁と前記ポンプロータの吸気口側端面とを接続する上り勾配の斜面を有し、
前記ロータバランス修正部材は、
前記凹部に配置される第1バランス修正部を備える第1部品と、前記カバー部が形成された第2部品とで構成されており、
前記第1部品は、前記カバー部の外周側に配置されて前記凹部の一部を覆い、カバー機能とバランス修正機能とを兼ねる第3修正部を有する、真空ポンプ。 - 請求項1に記載の真空ポンプのバランス修正方法であって、
前記ポンプロータの凹部に前記第2部材を固定する第1の工程と、
前記第1部材が取り付けられていない状態において、前記回転体のアンバランス量を計測し、前記第2修正部において前記回転体のバランスを修正する第2の工程と、
前記第1部材を前記第2部材に固定し、前記回転体のアンバランス量を計測し、前記第1修正部において前記回転体のバランスを修正する第3の工程と、をこの順に実行する、真空ポンプのバランス修正方法。
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2020
- 2020-05-19 JP JP2020087183A patent/JP6908161B2/ja active Active
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GB2601320B (en) * | 2020-11-25 | 2023-04-26 | Edwards S R O | Rotor assembly for a turbomolecular pump |
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