KR20180008100A

KR20180008100A - 위치보정 및 윤활제 자동주입이 가능한 증착장치

Info

Publication number: KR20180008100A
Application number: KR1020160089944A
Authority: KR
Inventors: 김준승
Original assignee: 주식회사 선익시스템
Priority date: 2016-07-15
Filing date: 2016-07-15
Publication date: 2018-01-24
Also published as: KR102617955B1

Abstract

위치보정 및 윤활제 자동주입이 가능한 증착장치가 개시된다. 본 발명은 증발물질을 증발시키는 증발유닛이 안착되는 이동플레이트가 구비되고, 만곡레일을 따라 주행되도록 이동블록이 구비된 증발원에 있어서, 상기 증발원에는 상기 이동플레이트의 상측을 회전시키는 상측위치보정부와, 상기 이동플레이트의 하측을 회전시키는 하측위치보정부가 구비되어 곡률반경이 다른 만곡레일에 따라 이동되면서 발생할 수 있는 증발원의 이송위치에 오차를 제거할 수 있고, 이송유닛에 구리스 등의 윤활제를 자동으로 주입할 수 있어 수작업으로 인한 윤활제의 재충진에 따른 안전사고를 방지할 수 있는 위치보정 및 윤활제 자동주입이 가능한 증착장치를 제공한다.

Description

위치보정 및 윤활제 자동주입이 가능한 증착장치{ORGANIC MATERIAL DEPOSITING APPARATUS WITH POSITION CALIBRATION AND AUTOMATIC OIL INJECTION}

본 발명은 유기물 증착장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 만곡레일을 주행하는 증발원의 이동플레이트를 회전시켜 위치오차를 제거하고, 증발원 이송유닛에 윤활제를 자동을 주입할 수 있어 안전사고를 방지할 수 있는 위치보정 및 윤활제 자동주입이 가능한 증착장치에 관한 것이다.

유기 전계 발광소자(Organic Luminescence Emitting Device: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 이러한 소자를 이용한 박형의 평판표시장치는 응답속도가 빠르며, 시야각이 넓어 차세대 표시장치로서 대두되고 있다.

유기 전계 발광 소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열증착방법으로 기판 상에 증착하게 된다.

진공열증착방법은 진공의 챔버 내에 기판을 이송시키고, 일정 패턴이 형성된 쉐도우 마스크(shadow mask)를 이송된 기판에 정렬시킨 후, 유기물이 담겨 있는 도가니에 열을 가하여 도가니에서 승화되는 유기물을 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다.

종래 기술에 따른 진공열증착방법을 사용하는 증착장치는 도 1에 도시된 바와 같이, 증착 챔버(12), 제1 기판(32), 제2 기판(34), 제1 기판 로딩부(28), 제2 기판 로딩부(30), 하측레일(36), 상측레일(38), 증발원(40)을 포함하고 있다.

자세하게는 상기 증착 챔버(12)는 진공이 유지되는 제1 증착영역(14)과 제2 증착영역(16)으로 구획되고, 하나의 중심점(18)에서 제1, 2 기판(32, 34)이 상기 제1, 2 증착영역(14, 16)에 제1, 2 방사 방향(20, 22)으로 각각 인출입되어 제1, 2 기판 로딩부(28, 30)에 안착된다.

이 후 엘엠가이드 등의 증발원 이송유닛에 의하여 증발물질을 분사하는 증발원(40)이 상측레일(38)과 하측레일(36)에 의해 가이드되어 제1 또는 제2 기판(32, 34)에 대향되는 위치로 이송된다.

또한 제1 증착영역(14)과 제2 증착영역(16)이 소정각도를 이루어 제1, 2 증착영역(14)의 상부레일(38)을 연결하는 제1 만곡레일(52)이 제1, 2 증착영역(14)의 하부레일(36)을 연결하는 제2 만곡레일(46)보다 큰 곡률반경을 가지게 되고, 이에 따라 제1 만곡레일(52)이 제2 만곡레일(46)보다 더 길게 형성된다.

이 경우 기판(32, 34)에 대해 증발물질의 증착이 원활하게 이루어지기 위하여 증발원(40)이 증발원 이송유닛에 의하여 제1 또는 제2 기판(32, 34)에 정확한 위치로 이송되어야 하는데 서로 다른 길이를 갖는 제1, 2 만곡레일(52, 46)에 의해 증발원(40)이 동일한 거리로 이송되지 않게 되어, 증발원(40)의 이송위치에 오차가 발생할 수 있으며, 이에 따라 증발물질이 정밀하게 증착되지 않아 그림자 현상(Shadow effect)이 발생하는 문제점이 있었다.

또한 도 2에 도시된 바와 같이, 증발원(40)은 상기 레일(36, 38)에 의해 가이드되어 주행되도록 슬라이더(56)가 구비되는데, 이러한 슬라이더(56)에는 마찰을 줄이기 위하여 구리스가 주입되도록 구성되어 있다.

그러나 상기 슬라이더(56)에 구리스를 주입한 후 일정한 기간이 경과하면 구리스가 경화되거나 자연소모가 발생하여 슬라이더(56)의 마모 현상에 의해 증발원(40)의 주행 운동에 저하 요인이 된다.

이 경우 구리스의 수작업으로 인한 재충진은 상기 증착 챔버(12)의 진공을 해제해야하므로 작업시간이 상당히 지체되고, 아울러 증착 챔버(12) 내부에 인체 유해 물질로 인하여 작업자에게 치명적인 손상을 안길 수 있는 안전상의 문제점이 있었다.

한국등록특허 제10-1239906호(2013년03월06일 공고) 한국등록특허 제10-1481096호(2015년01월14일 공고) 한국공개특허 제10-2015-0081951호(2015년07월15일 공개)

따라서 이러한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 증발물질을 증발시키는 증발유닛이 안착되는 이동플레이트가 구비되고, 만곡레일을 따라 주행되도록 이동블록이 구비된 증발원에 있어서, 상기 증발원에는 상기 이동플레이트의 상측을 회전시키는 상측위치보정부와, 상기 이동플레이트의 하측을 회전시키는 하측위치보정부가 구비되어 곡률반경이 다른 만곡레일에 따라 이동되면서 발생할 수 있는 증발원의 이송위치에 오차를 제거할 수 있고, 이송유닛에 구리스 등의 윤활제를 자동으로 주입할 수 있어 수작업으로 인한 윤활제의 재충진에 따른 안전사고를 방지할 수 있는 위치보정 및 윤활제 자동주입이 가능한 증착장치를 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 내부에 진공이 유지되고, 제1, 2 증착영역으로 구획되며, 하나의 중심점에서 상기 제1, 2 증착영역에 제1, 2 방사 방향으로 각각 인출입되어 제1, 2 기판 로딩부에 안착되는 제1, 2 기판이 구비된 증착 챔버; 상기 제1 방사 방향에 수직을 이루는 선형의 제1 상부레일과, 제2 방사 방향에 수직을 이루는 선형의 제2 상부레일과, 제1 상부레일과 제2 상부레일을 연결하는 곡선의 제1 만곡레일이 구비된 상부레일; 상기 제1 상부레일과 이격되어 평행을 이루는 선형의 제1 하부레일과, 상기 제2 상부레일과 이격되어 평행을 이루는 선형의 제2 하부레일과, 상기 제1 하부레일과 상기 제2 하부레일을 연결하는 곡선의 제2 만곡레일이 구비된 하부레일; 증발물질을 증발시키는 증발유닛이 안착되는 이동플레이트와, 상기 이동플레이트의 상측을 회전시키는 상측위치보정부와, 상기 이동플레이트의 하측을 회전시키는 하측위치보정부가 구비되며, 상기 상부레일 및 하부레일을 따라 주행되는 증발원;을 포함하는 위치보정 및 윤활제 자동주입이 가능한 증착장치를 제공한다.

또한 상기 상측위치보정부는, 지지플레이트; 상기 지지플레이트의 하측에 결합되고, 상기 제2 상부레일에 주행되도록 결합되는 제1 이동블록; 상기 지지플레이트의 상측에 구비되는 곡선의 제3 만곡레일; 상기 이동플레이트의 하측에 결합되고 상기 제3 만곡레일에 주행되도록 결합되는 제2 이동블록;을 포함하고, 상기 하측위치보정부는, 지지판; 상기 지지판의 하측에 결합되고 제2 하부레일에 주행되도록 결합되는 제3 이동블록; 상기 지지판의 상측에 구비되는 곡선의 제4 만곡레일; 상기 이동플레이트의 하측에 결합되고 상기 제4 만곡레일에 주행되도록 결합되는 제4 이동블록;을 포함할 수 있다.

또한 상기 상부레일, 하부레일, 제3 만곡레일 및 제4 만곡레일 중 어느 하나의 레일과, 상기 제1 이동블록, 제2 이동블록, 제3 이동블록 및 제4 이동블록 중 어느 하나의 이동블록에 맞닿는 부위에 다수개의 구름볼이 배열되되, 상기 이동블록은, 내부에 상기 레일의 길이방향으로 관통된 삽입공; 상기 삽입공에 삽입되고, 상기 다수개의 구름볼이 삽입되어 순환되며, 일측에 윤활제가 내부로 투입되도록 관통된 투입공이 마련된 순환파이프; 상기 투입공과 연통되도록 투입공에 대응되는 위치에 관통된 주입공;을 포함할 수 있다.

상기에서 설명한 본 발명의 위치보정 및 윤활제 자동주입이 가능한 증착장치에 의하면, 증발원의 이동플레이트를 이송시키기 위해 사용되었던 상부레일과 하부레일 등의 설비를 그대로 사용할 수 있어 설비비용을 절감할 수 있고, 또한 이동플레이트의 정렬을 위해 사용되었던 종래의 슬라이더의 구성을 상측위치보정부와 하측위치보정부로 대체하여 이동플레이트에 보다 정밀한 위치제어가 가능한 효과가 있다.

또한 레일을 주행하는 이동블록에 다수개의 구름볼과, 상기 구름볼이 삽입되는 순환파이프 및, 상기 순환파이프에 윤활제가 자동으로 주입되기 위한 주입공이 형성되어 구름볼의 마모를 방지하고, 수작업으로 인한 윤활제의 재충진에 따른 안전사고를 방지할 수 있는 효과가 있다.

도 1 및 도 2는 종래기술에 따른 진공열증착장치를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명에 의한 증착장치를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 4는 도 3에 도시된 증발원을 도시한 사시도이다.
도 5는 도 4에 도시된 증발원의 분해 사시도이다.
도 6은 도 5에 도시된 이동블록과 레일이 결합된 모습을 도시한 사시도이다.
도 7은 도 6의 이동블록과 레인의 단면도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 의한 이동블록과 레인의 단면도이다.

본 발명을 충분히 이해하기 위해서 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부 도면을 참조하여 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상세히 설명하는 실시예로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위하여 제공 되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어 표현될 수 있다. 각 도면에서 동일한 부재는 동일한 참조부호로 도시한 경우가 있음을 유의하여야 한다. 또한, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 기술은 생략된다.

도 3은 본 발명에 의한 증착장치를 개략적으로 도시한 사시도이다.

도 3에 도시된 바와 같이 본 발명에 의한 위치보정 및 윤활제 자동주입이 가능한 증착장치는 내부에 진공이 유지되고 기판이 구비된 증착 챔버(100)와, 상측위치보정부(220)와 하측위치보정부(230)가 구비되어 승화된 유기증발물질을 정확한 위치의 기판 상에 증착시키는 증발원(200)과, 상기 증발원(200)이 증착 챔버(100)내에서 정해진 길을 따라 주행되도록 안내하는 상부레일(300) 및 하부레일(400)을 포함한다.

증착 챔버(100)는 진공이 유지되는 제1 증착영역(110)과 제2 증착영역(120)으로 구획되고, 하나의 중심점(18)에서 제1, 2 기판(131, 141)이 상기 제1, 2 증착영역(110, 120)에 제1, 2 방사 방향(111, 121)으로 각각 인출입되어 제1, 2 기판 로딩부(130, 140)에 안착된다.

이 경우 상기 증발원(200)은 증착 챔버(100)의 내부에서 제1, 2 증착영역(110, 120)의 제1, 2 기판로딩부(130, 140)에 대향하여 정렬되도록 상하부레일(300, 400)을 따라 주행된다.

도 3에는 증착 챔버(100)내에 두 개의 증착영역이 도시되어 있으나, 다수개의 증착영역과 기판로딩부 및 기판이 구비될 수 있으며, 증발원(200)이 상하부레일(300, 400)을 따라 주행하여 다수개의 기판로딩부에 대향하여 정렬될 수 있다.

이 경우 상기 상부레일(300)은 제1 방사 방향(111)에 수직을 이루는 선형의 제1 상부레일(310)과, 제2 방사 방향(121)에 수직을 이루는 선형의 제2 상부레일(320)과, 제1 상부레일(310)과 제2 상부레일(320)을 연결하는 곡선의 제1 만곡레일(330)을 포함한다.

또한 상기 하부레일(400)은 상기 제1 상부레일(310)과 이격되어 평행을 이루는 선형의 제1 하부레일(410)과, 상기 제2 상부레일(320)과 이격되어 평행을 이루는 선형의 제2 하부레일(420)과, 상기 제1 하부레일(410)과 상기 제2 하부레일(420)을 연결하는 곡선의 제2 만곡레일(430)을 포함한다. 이 경우 만곡레일(330, 430)은 완전한 곡선으로 이루어지거나, 또는 여러 개의 직선레일을 순차적으로 연결하여 곡선형태로 배치될 수 있다.

이 경우 증발원(200)이 제1 기판로딩부(130)에서 제2 기판로딩부(140)에 대향되는 위치로 이동되는 과정을 설명하면, 상기 증발원(200)은 제1 증착영역(110)의 제1 상부레일(310)과, 제1 하부레일(410)를 따라 직선으로 이동하고, 제1 만곡레일(330)과 제2 만곡레일(430)의 곡선구간을 통과한 후, 제2 증착영역(120)의 제2 상부레일(320)과 제2 하부레일(420)을 따라 주행하여 제2 기판로딩부(140)에 대향되는 위치로 이동될 수 있다.

한편, 상기 증발원(200)이 기판로딩부(130, 140)로 이동된 후 기판(131, 141)에 증발물질을 증착시키는 과정은 선행기술문헌에 개시되어 있으므로 관련된 기술 설명은 생략하기로 한다.

상기 제1 만곡레일(330)은 제2 만곡레일(430)에 비하여 큰 곡률반경을 가지므로 증발원(200)이 제1 기판로딩부(130)에서 제2 기판로딩부(140)으로 이동되면서 제2 방사 방향(121)에 수평으로 정렬되지 않는 경우가 발생된다. 즉 증발원(200)이 제2 기판로딩부(140)에 대향하는 위치에 오차가 발생될 수 있는데, 이 경우 제2 기판(141)에 증발물질이 정밀하게 증착되지 않아 그림자 현상(Shadow effect)이 발생하는 문제점이 있다.

도 4 내지 도 5는 본 발명에 의한 증발원을 도시한 사시도이다.

도 4 내지 도 5에 도시된 바와 같이 상기 증발원(200)은 길이방향으로 이동되고 증발물질을 증발시키는 증발유닛(미도시)이 안착되는 이동플레이트(210)와, 상기 이동플레이트(210)의 상측을 회전시키는 상측위치보정부(220) 및 상기 이동플레이트(210)의 하측을 회전시키는 하측위치보정부(230)를 포함한다.

상측위치보정부(220)는 지지플레이트(222)와 상기 지지플레이트(222)의 하측에 결합되고 제2 상부레일(320)에 슬라이드 이동이 가능하도록 결합되는 제1 이동블록(221)과, 상기 지지플레이트(222)의 상측에 구비되는 한 쌍의 제3 만곡레일(223)과, 이동플레이트(210)의 하측에 결합되고 상기 제3 만곡레일(223)에 슬라이드 이동이 가능하도록 결합되는 제2 이동블록(224)를 포함한다.

마찬가지로, 하측위치보정부(230)는 지지판(232)과, 상기 지지판(232)의 하측에 결합되고 제2 하부레일(420)에 슬라이드 이동이 가능하도록 결합되는 제3 이동블록(231)과, 상기 지지판(232)의 상측에 구비되는 제4 만곡레일(233)과, 이동플레이트(210)의 하측에 결합되고 상기 제4 만곡레일(233)에 슬라이드 이동이 가능하도록 결합되는 제4 이동블록(234)를 포함한다.

자세하게는 상기 지지플레이트(222)에 위치되는 한 쌍의 제3 만곡레일(223)은 상기 이동플레이트(210)의 길이 방향을 축으로 좌우 한 쌍이 대칭되어 구비되고, 그 만곡형상의 중심점이 서로 내측을 향하고 있다.

또한 제3 만곡레일(223)의 제2 이동블록(224)은 도시되지 않은 이송유닛을 통하여 제3 만곡레일(223) 상에서 주행되며, 이에 따라 제2 이동블록(224)에 결합되어 있는 이동플레이트(210)의 상부가 회전하게 된다.

마찬가지로 지지판(232)에 위치되는 제4 만곡레일(233)은 반원형상을 가지며 그 중심점이 하측을 향하고 있다. 또한 상기 제4 만곡레일(233)의 제4 이동블록(234)은 도시되지 않은 이송유닛을 통하여 제4 만곡레일(233) 상에서 주행되며, 이에 따라 제4 이동블록(234)에 결합되어 있는 이동플레이트(210)의 하부가 회전하게 된다.

따라서 상술한 구성으로 이송유닛에 의하여 제2 이동블록(224)와 제4 이동블록(234)의 정밀한 위치제어를 통하여 상기 이동플레이트(210)에 증발유닛이 이동되는 길이방향과, 제1 방사 방향(111) 또는 제2 방사 방향(121)이 평행하게 형성될 수 있게 된다.

이에 따라 이동플레이트(210)를 이송시키기 위해 사용되었던 상부레일(300)과 하부레일(400) 등의 설비를 그대로 사용할 수 있어 설비비용을 절감할 수 있고, 또한 이동플레이트(210)의 정렬을 위해 사용되었던 종래의 슬라이더의 구성을 상측위치보정부(220)와 하측위치보정부(230)로 대체하여 이동플레이트(210)에 보다 정밀한 위치제어가 가능한 효과가 있다.

도 6 본 발명의 다른 실시예에 의한 이동블록과 레일이 결합된 모습을 도시한 사시도이고, 도 7은 도 6의 이동블록과 레일의 단면도이다.

도 6 및 도 7의 실시예에서 언급되는 레일(500)은 상부레일(300), 하부레일(400), 제3 만곡레일(223) 및 제4 만곡레일(233)에 적용될 수 있으며, 또한 이동블록(600)은 제1 이동블록(221), 제2 이동블록(224), 제3 이동블록(231) 및 제4 이동블록(234)에 적용될 수 있다.

한편, 이동블록은 레일 상에서 주행하기에 구리스 주입을 통하여 원활한 주행을 기대할 수 있게 된다. 그러나 구리스 주입 후 일정한 기간이 경과하면 구리스가 경화되거나 자연소모가 발생하여 이동블록의 마모 현상에 의해 증발원의 주행 운동에 저하 요인이 되는 문제점이 있다.

따라서 본 실시예에서는 증착 챔버(12)의 내부에 들어가 수작업으로 이동블록(600)에 구리스를 주입하는 것이 아닌 증착 챔버(12)의 외부에 구비되는 구리스 자동주입장치(미도시)를 통하여 증착 챔버(12)의 내부에 위치되는 이동블록(600)에 구리스를 자동으로 주입하도록 제어하는데 특징이 있다.

이에 따라 수작업으로 인한 구리스의 재충전으로 상기 증착 챔버(12)의 진공을 해제해야하는 작업을 생략할 수 있고, 증착 챔버(12) 내부에 인체 유해 물질로 인하여 작업자에게 치명적인 손상을 안길 수 있는 안전상의 문제점을 해결할 수 있게 된다. 한편, 구리스 자동주입장치는 기설정된 시간과, 주입량으로 이동블록(600)에 구리스를 주입하는 장치로 자세한 설명은 생략하기로 한다.

이하, 구리스가 자동으로 주입되는 과정을 설명하기 위하여 본 발명의 일실시예에 의한 이동블록(600) 및 레일(500)에 대한 구성을 설명하기로 한다.

도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 본 실시예에서는 레일(500)과 이동블록(600)이 통상의 LM(Linear Motor) 가이드를 사용하여 이동되며, 이동블록(600)에는 레일(500) 상에서 구름운동으로 인한 이동성이 향상시키도록 레일(500)에 맞닿는 부위에 간극이 없이 다수개의 구름볼(610)이 배열된다.

또한 이동블록(600)의 내부에는 레일(500)의 길이방향으로 삽입공(620)이 관통형성되고, 또한 상기 삽입공(620)에는 다수개의 구름볼(610)이 삽입되어 순환되는 순환파이프(640)가 삽입된다.

상기 순환파이프(640)에는 구리스 등의 윤활제를 투입할 수 있는 투입공(641)이 일정 간격으로 관통형성되어 있고, 상기 이동블록(600)은 상기 투입공(641)과 연통되도록 투입공(641)과 대응되는 위치에 주입공(630)이 관통형성된다.

초기 순환파이프(640)의 내부에는 구리스가 주입되는데, 구리스의 조기 경화가 발생하거나 또는 증발물질에 의한 화학적 작용으로 인하여 구리스의 기능이 상실되는 경우에 발생되는 구름볼(610)의 마모를 방지하기 위하여, 증착 챔버(12)의 외부에 구비되는 구리스 자동주입장치는 상기 주입공(630)에 구리스를 기설정된 시간과, 주입량으로 추가적, 반복적으로 주입하게 되는 것이다.

이에 따라 주입공(630)에 주입되는 구리스는 순환파이프(640)의 투입공(641)으로 유입되어 순환파이프(640)의 내부에 충진되어 구름볼(610)의 조기 마모를 방지할 수 있고, LM 가이드에 기능을 일정한 시간동안 유지할 수 있는 효과가 있다.

또한 구리스 자동주입장치의 오작동으로 인하여 구리스 주입이 정지되거나, 또는 구리스의 기능이 상실되는 경우에도, 순환홀의 기능을 갖는 순환파이프(640)에 의하여 일정기간동안 구름볼(610)의 마모가 방지될 수 있어 LM 가이드에 기능을 한층 더 유지시킬 수 있게 된다.

이 경우 상기 순환파이프(640)는 기계적, 열적, 화학적으로 내구성을 갖는 열가소성물질로 사용되는 것이 바람직하다.

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 의한 이동블록과 레인의 단면도이다. 특히 도 8에 도시된 레일(500)은 만곡레일, 즉 제3 만곡레일(223), 제4 만곡레일(233)에 적용될 수 있다.

도 8에 도시된 바와 같이, 이동블록(600)의 양측 내부에 구비되어 있는 구름볼(610) 중 레일(500)의 외주면에 접촉되는 구름볼(610)의 직경이 레일(500)의 내주면에 접촉되는 구름볼(610)의 직경보다 크게 형성된다.

이는 만곡레일의 특성 상, 이동거리가 더 긴 만곡레일의 외주면 측에 접촉되는 구름볼(610)에 마모가 더 발생하여 증발원의 주행운동 저하요인이 발생할 수 있는데, 이러한 레일(500)의 외주면에 접촉되는 구름볼(610)의 크기를 크게 형성하여, 불균일 마모에 대한 요인을 어느 정도 제거할 수 있게 되는 것이다.

이상에서 설명된 본 발명의 위치보정 및 윤활제 자동주입이 가능한 증착장치의 실시예는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속한 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 잘 알 수 있을 것이다. 그러므로 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 형태로만 한정되는 것은 아님을 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다. 또한, 본 발명은 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 그 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

100 : 증착 챔버 110 : 제1 증착영역
111 : 제1 방사 방향 120 : 제2 증착영역
121 : 제2 방사 방향 130 : 제1 기판로딩부
131 : 제1 기판 140 : 제2 기판로딩부
141 : 제2 기판 200 : 증발원
210 : 이동플레이트 220 : 상측위치보정부
221 : 제1 이동블록 222 : 지지플레이트
223 : 제3 만곡레일 224 : 제2 이동블록
230 : 하측위치보정부 230 : 하측위치보정부
231 : 제3 이동블록 232 : 지지판
233 : 제4 만곡레일 234 : 제4 이동블록
300 : 상부레일 310 : 제1 상부레일
320 : 제2 상부레일 330 : 제1 만곡레일
400 : 하부레일 410 : 제1 하부레일
420 : 제2 하부레일 430 : 제2 만곡레일
500 : 레일 600 : 이동블록
610 : 구름볼 620 : 삽입공
630 : 주입공 640 : 순환파이프
641 : 투입공

Claims

내부에 진공이 유지되고, 제1, 2 증착영역으로 구획되며, 하나의 중심점에서 상기 제1, 2 증착영역에 제1, 2 방사 방향으로 각각 인출입되어 제1, 2 기판 로딩부에 안착되는 제1, 2 기판이 구비된 증착 챔버;
상기 제1 방사 방향에 수직을 이루는 선형의 제1 상부레일과, 제2 방사 방향에 수직을 이루는 선형의 제2 상부레일과, 제1 상부레일과 제2 상부레일을 연결하는 곡선의 제1 만곡레일이 구비된 상부레일;
상기 제1 상부레일과 이격되어 평행을 이루는 선형의 제1 하부레일과, 상기 제2 상부레일과 이격되어 평행을 이루는 선형의 제2 하부레일과, 상기 제1 하부레일과 상기 제2 하부레일을 연결하는 곡선의 제2 만곡레일이 구비된 하부레일; 및
증발물질을 증발시키는 증발유닛이 안착되는 이동플레이트와, 상기 이동플레이트의 상측을 회전시키는 상측위치보정부와, 상기 이동플레이트의 하측을 회전시키는 하측위치보정부가 구비되며, 상기 상부레일 및 하부레일을 따라 주행되는 증발원;
을 포함하는 위치보정 및 윤활제 자동주입이 가능한 증착장치.
청구항 1에 있어서,
상기 상측위치보정부는,
지지플레이트;
상기 지지플레이트의 하측에 결합되고, 상기 제2 상부레일에 주행되도록 결합되는 제1 이동블록;
상기 지지플레이트의 상측에 구비되는 곡선의 제3 만곡레일;
상기 이동플레이트의 하측에 결합되고 상기 제3 만곡레일에 주행되도록 결합되는 제2 이동블록;
을 포함하고,
상기 하측위치보정부는,
지지판;
상기 지지판의 하측에 결합되고 제2 하부레일에 주행되도록 결합되는 제3 이동블록;
상기 지지판의 상측에 구비되는 곡선의 제4 만곡레일;
상기 이동플레이트의 하측에 결합되고 상기 제4 만곡레일에 주행되도록 결합되는 제4 이동블록;
을 포함하는 위치보정 및 윤활제 자동주입이 가능한 증착장치.
청구항 2에 있어서,
상기 제3 만곡레일은,
상기 이동플레이트의 길이 방향을 축으로 대칭되어 좌우로 한 쌍으로 구비되고, 곡선형상의 중심점이 내측을 향하고,
상기 제4 만곡레일은, 곡선형상을 갖되, 그 중심점이 하측을 향하는 것을 특징으로 하는 위치보정 및 윤활제 자동주입이 가능한 증착장치.
청구항 3에 있어서,
상기 상부레일, 하부레일, 제3 만곡레일 및 제4 만곡레일 중 어느 하나의 레일과, 상기 제1 이동블록, 제2 이동블록, 제3 이동블록 및 제4 이동블록 중 어느 하나의 이동블록에 맞닿는 부위에 다수개의 구름볼이 배열되되,
상기 이동블록은,
내부에 상기 레일의 길이방향으로 관통된 삽입공;
상기 삽입공에 삽입되고, 상기 다수개의 구름볼이 삽입되어 순환되며, 일측에 윤활제가 내부로 투입되도록 관통된 투입공이 마련된 순환파이프;
상기 투입공과 연통되도록 투입공에 대응되는 위치에 관통된 주입공;
을 포함하는 위치보정 및 윤활제 자동주입이 가능한 증착장치.
청구항 4에 있어서,
상기 제2 이동블록 및 제4 이동블록는,
상기 제3 만곡레일과 제4 만곡레일에 외주면에 접촉되는 구름볼의 크기가 내부면에 접촉되는 구름볼의 크기보다 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 위치보정 및 윤활제 자동주입이 가능한 증착장치.