KR20150071446A - 증발원 이송장치 및 유기물 증착 장치 - Google Patents

증발원 이송장치 및 유기물 증착 장치 Download PDF

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Abstract

증발원 이송장치 및 유기물 증착 장치가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 증발원을 이송시키는 증발원 이송장치로서, 상기 증발원의 이송 방향을 따라 배치되며, 상면이 평탄한 플렛 레일 및 상기 플렛 레일의 길이 방향으로 따라 결합되며, 산형부가 길이 방향을 따라 형성되는 산형 레일을 포함하는 레일부와; 상기 증발원이 결합되는 블록몸체와, 상기 블록몸체의 일 측단에 회전가능하게 결합되며 상기 플렛 레일의 상면에 지지되는 원형 롤러와, 상기 블록몸체의 타 측단에 회전가능하게 결합되는 상기 산형부가 삽입되도록 외주를 따라 골형 홈이 형성되는 홈 롤러를 포함하는 이송블록과; 상기 증발원의 이송 방향으로 N극과 S극이 교대로 배치되는 마그넷열과, 상기 마그넷열에 대향하여 배치되는 코일부를 구비하는 LM 모터를 포함하는, 증발원 이송장치가 제공된다.

Description

증발원 이송장치 및 유기물 증착 장치{Apparatus for transferring deposition source and apparatus for depositing organic material}
본 발명은 유기물 증착 장치 및 이를 이용한 유기물 증착 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 공정 챔버 내의 증발원의 이송과정에서 파티클의 발생을 최소화할 수 있는 증발원 이송장치 및 유기물 증착 장치에 관한 것이다.
유기 전계 발광소자(Organic Luminescence Emitting Device: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.
이러한 유기 전계 발광소자를 이용한 평판표시장치는 응답속도가 빠르며, 시야각이 넓어 차세대 표시장치로서 대두 되고 있다.
특히, 제조공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 액정표시장치 보다 많이 절감할 수 있는 장점이다.
유기 전계 발광 소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열증착방법으로 기판 상에 증착하게 된다.
진공열증착방법은 진공의 챔버 내에 기판을 이송시키고, 일정 패턴이 형성된 쉐도우 마스크(shadow mask)를 이송된 기판에 정렬시킨 후, 유기물이 담겨 있는 도가니에 열을 가하여 도가니에서 승화되는 유기물을 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다.
최근 기판이 대형화됨에 따라 대형 기판의 전면에 유기물을 증착하기 위하여 기판에 대해 증발원을 일정 방향으로 이동시키면서 기판에 대한 유기물 증착을 수행하고 있다.
종래에는 증발원의 이송을 위한 이송장치를 구성할 때 구동력을 제공하기 위하여 볼스크류나 랙피니언 구조를 채택하여 볼스크류나 피니언의 정역회전에 따라 증발원이 왕복이동되도록 구성하였다.
그러나, 볼스크류나 랙피니언 등의 접촉식 구동장치를 채택하는 경우 기판의 대형화에 따른 기판 무게의 증가와 이를 이송하기 위한 이송장치의 무게 증가로 인해 이송장치에 마찰력이 증가되고 이로 인해 이송장치에서 파티클이 발생할 수 있다. 이러한 파티클은 기판 공정 상에 결함을 유발하여 제품 불량이 발생할 우려가 있다.
한편, 종래 기술에 따른 진공열증착방법은 하나의 챔버 내에서 하나의 기판에 대해 증착공정이 이루어지기 때문에 기판의 이송공정과 쉐도우 마스크 얼라인공정 중에는 기판에 대한 증착공정이 중단되어 택 타임(tack time)이 증가되는 문제점이 있었다.
또한, 기판의 이송공정과 쉐도우 마스크 얼라인공정 중에도 도가니에서 지속적으로 유기물이 승화되고 있어 유기물 재료가 손실되는 문제점이 있다.
본 발명은 공정 챔버 내의 증발원의 이송과정에서 파티클의 발생을 최소화할 수 있는 증발원 이송장치 및 유기물 증착 장치를 제공한다.
그리고, 하나의 챔버 내에서 복수의 기판에 대해 증착공정을 진행하되, 하나의 기판의 증착공정 중에 다른 기판에 대한 이송공정 또는 얼라인공정을 진행하여 택 타임(tact time)을 줄일 수 있고, 기판에 대한 이송공정 또는 얼라인공정 중에 발생하는 유기물 재료의 손실을 줄일 수 있는 유기물 증착 장치 및 이를 이용한 증착 방법을 제공한다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 증발원을 이송시키는 증발원 이송장치로서, 상기 증발원의 이송 방향을 따라 배치되며, 상면이 평탄한 플렛 레일 및 상기 플렛 레일의 길이 방향으로 따라 결합되며, 산형부가 길이 방향을 따라 형성되는 산형 레일을 포함하는 레일부와; 상기 증발원이 결합되는 블록몸체와, 상기 블록몸체의 일 측단에 회전가능하게 결합되며 상기 플렛 레일의 상면에 지지되는 원형 롤러와, 상기 블록몸체의 타 측단에 회전가능하게 결합되는 상기 산형부가 삽입되도록 외주를 따라 골형 홈이 형성되는 홈 롤러를 포함하는 이송블록과; 상기 증발원의 이송 방향으로 N극과 S극이 교대로 배치되는 마그넷열과, 상기 마그넷열에 대향하여 배치되는 코일부를 구비하는 LM 모터를 포함하는, 증발원 이송장치가 제공된다.
상기 레일부는, 병렬로 쌍을 이루어 배치될 수 있고, 상기 이송블록은, 쌍을 이루어 상기 한 쌍의 레일부에 각각 배치될 수 있으며, 이 경우, 상기 증발원 이송장치는 상기 한 쌍의 이송블록이 양단부가 각각 결합되며, 상기 증발원이 탑재되는 증발원지지대를 더 포함할 수 있다.
그리고, 상기 증발원 이송장치는, 상기 한 쌍의 레일부가 길이 방향을 따라 각각 결합되는 한 쌍의 가이드바와, 상기 한 쌍의 가이드바를 연결하는 연결바를 포함하는 이송프레임을 더 포함할 수 있다.
상기 가이드바는, 다수의 홀이 길이 방향을 따라 형성되며 서로 마주하여 배치되는 한 쌍의 웨브와, 다수의 홀이 길이 방향으로 따라 형성되며 상기 한 쌍의 웨브의 일단 및 타단에 횡방향으로 각각 결합되는 상부플랜지 및 하부플랜지로 구성되는 박스형 빔(beam)을 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 공정 챔버와; 상기 공정 챔버 내에 배치되며, 기판이 로딩되어 안착되는 기판로딩부와; 상기 기판에 대향하여 배치되며 상기 기판을 향하여 유기물 입자를 분출하는 증발원과; 상기 증발원이 탑재되어 상기 증발원을 상기 기판의 일변에서 타변 방향으로 이송시키는 이송장치를 포함하며, 상기 이송장치는, 상기 증발원의 이송 방향을 따라 배치되며, 상면이 평탄한 플렛 레일 및 상기 플렛 레일의 길이 방향으로 따라 결합되며, 산형부가 길이 방향을 따라 형성되는 산형 레일을 포함하는 레일부와; 상기 증발원이 결합되는 블록몸체와, 상기 블록몸체의 일 측단에 회전가능하게 결합되며 상기 플렛 레일의 상면에 지지되는 원형 롤러와, 상기 블록몸체의 타 측단에 회전가능하게 결합되는 상기 산형부가 삽입되도록 외주를 따라 골형 홈이 형성되는 홈 롤러를 포함하는 이송블록과; 상기 증발원의 이송 방향으로 N극과 S극이 교대로 배치되는 마그넷열과, 상기 마그넷열에 대향하여 배치되는 코일부를 구비하는 LM 모터를 포함하는, 유기물 증착 장치가 제공된다.
상기 레일부는, 병렬로 쌍을 이루어 배치될 수 있고, 상기 이송블록은,
쌍을 이루어 상기 한 쌍의 레일부에 각각 배치될 수 있으며, 이 경우, 상기 유기물 증착 장치는, 상기 한 쌍의 이송블록이 양단부가 각각 결합되며, 상기 증발원이 탑재되는 증발원지지대를 더 포함할 수 있다.
그리고, 상기 유기물 증착 장치는, 상기 한 쌍의 레일부가 길이 방향을 따라 각각 결합되는 한 쌍의 가이드바와, 상기 한 쌍의 가이드바를 연결하는 연결바를 포함하는 이송프레임을 더 포함할 수 있다.
상기 가이드바는, 다수의 홀이 길이 방향을 따라 형성되며 서로 마주하여 배치되는 한 쌍의 웨브와, 다수의 홀이 길이 방향으로 따라 형성되며 상기 한 쌍의 웨브의 일단 및 타단에 횡방향으로 각각 결합되는 상부플랜지 및 하부플랜지로 구성되는 박스형 빔(beam)을 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 제1 증착영역과 제2 증착영역으로 구획되며, 하나의 중심점에서 제1 방사 방향으로 제1 기판이 상기 제1 증착영역에 인출입되고, 상기 중심점에서 제2 방사 방향으로 제2 기판이 상기 제2 증착영역에 인출입되는 공정 챔버와; 상기 제1 기판이 상기 제1 방사 방향으로 로딩되어 안착되는 제1 기판로딩부와; 상기 제2 기판이 상기 제2 방사 방향으로 로딩되어 안착되는 제2 기판로딩부와; 유기물 입자를 분출하는 선형의 증발원과; 상기 증발원이 탑재되어, 상기 제1 기판 또는 상기 제2 기판의 표면에 상기 유기물 입자가 증착되도록 상기 증발원을 상기 제1 기판 또는 상기 제2 기판의 표면을 따라 직선 이동시키는 상기 증발원 이송장치와; 상기 증발원 이송장치가 결합되며, 상기 제1 증착영역 또는 상기 제2 증착영역에 위치하도록 상기 증발원 이송장치를 왕복 이동시키는 이동수단과; 상기 이동수단이 결합되며, 상기 선형의 증발원이 상기 제1 기판 또는 상기 제2 기판의 일변과 평행을 이루도록 상기 이동수단을 회전시키는 회전수단을 포함하는, 유기물 증착 장치가 제공된다.
상기 회전수단은, 서로 마주하는 한 쌍의 지지바와, 상기 한 쌍의 지지바를 연결하는 보강바를 포함하는 회전프레임을 포함할 수 있으면, 상기 이동수단은, 상기 지지바의 길이 방향을 따라 결합되는 가이드 레일과; 상기 증발원 이송장치가 결합되며, 상기 가이드 레일을 따라 이동하는 슬라이딩 블록; 및 상기 슬라이딩 블록을 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다.
상기 회전수단은, 상기 공정 챔버의 바닥면에 원형을 이루어 배치되는 회전 레일과; 상기 회전프레임이 결합되며, 상기 회전 레일을 따라 이동하는 회전 블록을 더 포함할 수 있다.
상기 지지바는, 다수의 홀이 길이 방향을 따라 형성되는 웨브와, 상기 웨브의 일단에 횡방향으로 결합되며 상기 가이드 레일이 상부에 결합되는 상부플랜지와, 상기 웨브의 타단에 횡방향으로 결합되는 하부플랜지로 구성되는 I형 빔(beam)을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 공정 챔버 내의 증발원의 이송과정에서 파티클의 발생을 최소화할 수 있다.
그리고, 하나의 챔버 내에서 복수의 기판에 대해 증착공정을 진행하되, 하나의 기판의 증착공정 중에 다른 기판에 대한 이송공정 또는 얼라인공정을 진행하여 택 타임(tact time)을 줄일 수 있고, 기판에 대한 이송공정 또는 얼라인공정 중에 발생하는 유기물 재료의 손실을 줄일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원 이송장치의 구성을 설명하기 위한 단면도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원 이송장치의 일부를 도시한 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원 이송장치의 이송프레임의 사시도.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기물 증착장치의 구성을 설명하기 위한 횡단면도.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기물 증착장치의 구성을 설명하기 위한 종단면도.
도 6 및 도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기물 증착장치의 구성을 설명하기 위한 횡단면도.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기물 증착장치의 구성을 설명하기 위한 종단면도.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기물 증착 장치의 이송유닛을 상부에서 바라본 사시도.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기물 증착 장치의 이송유닛을 하부에서 바라본 사시도.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
이하, 본 발명에 따른 증발원 이송장치 및 유기물 증착 장치의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원 이송장치의 구성을 설명하기 위한 단면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원 이송장치의 일부를 도시한 사시도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원 이송장치의 이송프레임의 사시도이다. 그리고, 도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기물 증착장치의 구성을 설명하기 위한 횡단면도이고, 도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기물 증착장치의 구성을 설명하기 위한 종단면도이다.
도 1 내지 도 5에는, 증발원 이송장치(10), 증발원(11), 플렛 레일(12), 산형 레일(14), 산형부(16), 레일부(20), 블록몸체(22), 원형 롤러(24), 홈 롤러(26), 이송블록(28), 골형 홈(30), 증발원지지대(32), 마그넷열(34), 코일부(36), LM 모터(38), 이송프레임(40), 가이드바(42), 연결바(44), 웨브(46), 상부플랜지(48), 하부플랜지(50), 홀(52), 로봇 암(53), 공정 챔버(54), 기판로딩부(56), 기판(58), 쉐도우 마스크(60)가 도시되어 있다.
본 실시예에 따른 증발원 이송장치(10)는, 증발원(11)을 이송시키는 증발원 이송장치(10)로서, 상기 증발원(11)의 이송 방향을 따라 배치되며, 상면이 평탄한 플렛 레일(12) 및 상기 플렛 레일(12)의 길이 방향으로 따라 결합되며, 산형부(16)가 길이 방향을 따라 형성되는 산형 레일(14)을 포함하는 레일부(20)와; 상기 증발원(11)이 결합되는 블록몸체(22)와, 상기 블록몸체(22)의 일 측단에 회전가능하게 결합되며 상기 플렛 레일(12)의 상면에 지지되는 원형 롤러(24)와, 상기 블록몸체(22)의 타 측단에 회전가능하게 결합되는 상기 산형부(16)가 삽입되도록 외주를 따라 골형 홈(30)이 형성되는 홈 롤러(26)를 포함하는 이송블록(28)과; 상기 증발원(11)의 이송 방향으로 N극과 S극이 교대로 배치되는 마그넷열(34)과, 상기 마그넷열(34)에 대향하여 배치되는 코일부(36)를 구비하는 LM 모터(38)를 포함한다. 본 실시예에 따른 증발원 이송장치(10)는, 공정 챔버(54) 내의 증발원(11)의 이송과정에서 파티클의 발생을 최소화할 수 있다.
도 4는 본 실시예에 따른 증발원 이송장치(10)가 적용된 유기물 증착장치를 간략히 도시한 도면으로서, 유기물 증착장치는, 공정 챔버(54)와, 공정 챔버(54) 내에 배치되며, 기판(58)이 로딩되어 안착되는 기판로딩부(56)와, 기판(58)에 대향하여 배치되며 상기 기판(58)을 향하여 유기물 입자를 분출하는 증발원(11)을 포함한다. 증발원(11)은 본 실시예에 따른 증발원 이송장치(10)에 탑재되어 기판로딩부(56)에 안착된 기판(58)의 일변에서 타변 방향으로 이송되고, 이송과정에서 증발원(11)에서 분출되는 유기물 입자가 기판(58)의 일면에 증착된다.
종래에는 증발원(11)을 이송하기 위한 이송장치를 구성할 때, 볼스크류나 랙-피니언(rack-pinion) 구조의 접촉시 구동장치를 채택하여 이송장치에 구동력을 제공하였다. 그런데, 최근 기판의 대형화에 따른 기판의 중량이 증가되면서 이에 따를 중량의 기판을 이송하기 위한 이송장치도 중량화되었다. 기판과 이송장치의 중량이 증가함에 따라 구동장치를 구성하는 부품간의 마찰력이 증가되어 잦은 이송과정에서 마모로 인한 파티클이 발생하여 제품불량을 초래할 우려가 있다.
본 실시예에 따른 증발원 이송장치(10)는, 이송장치(10)에 구동력을 제공하는 구동장치를 비접촉식으로 구성하여 공정 챔버(54) 내의 증발원(11)의 이송과정에서 파티클의 발생을 최소화할 수 있다.
공정 챔버(54)는 그 내부에서 기판(58)에 대해 유기물 증착이 이루어지는 곳으로, 진공 펌프에 의하여 내부가 진공 상태로 유지될 수 있다. 대기압 상태에서 유기물 증착이 이루어지는 경우에는 내부가 대기압 상태로 유지되는 것도 가능하다.
기판(58)은 로봇 암(53) 등에 의해 공정 챔버(54) 내로 인입되거나 인출되는데, 기판(58)이 로봇 암(53) 등에 의해 공정 챔버(54)로 인입되어 기판로딩부(56)에 안착된다. 기판로딩부(56)에 기판(58)이 로딩되어 안착되면 쉐도우 마스크(60)가 기판(58)의 표면에 배치되고, 기판(58)과 쉐도우 마스크(60)는 서로 얼라인이 이루어질 수 있다. 본 실시예에서는, 증발원(11)에서 유기물 입자가 상향으로 분출되어 기판(58)에 증착이 이루어질 수 있도록 기판로딩부(56)의 하부에 기판(58)이 부착된다.
증발원(11)은 본 실시예에 따른 증발원 이송장치(10)에 탑재되어 있으며, 기판로딩부(56)에 기판(58)이 안착되면 증발원 이송장치(10)가 기판(58)의 일변에서 타변 방향으로 증발원(11)을 이송하고, 이송과정에서 증발원(11)에서 분출되는 유기물 입자가 기판(58)의 일면에 증착된다.
이하에서는 본 실시예에 따른 증발원 이송장치(10)의 각 구성에 대해 자세히 살펴보기로 한다.
레일부(20)는, 증발원(11)의 이송 방향을 따라 배치되며, 상면이 평탄한 플렛 레일(12) 및 플렛 레일(12)의 길이 방향으로 따라 결합되며, 산형부(16)가 길이 방향을 따라 형성되는 산형 레일(14)을 포함한다.
플렛 레일(12)은 길이 방향을 따라 평탄한 상면을 가지고 있으며, 이러한 평탄한 상면에 후술할 원형 롤러(24)가 지지된다. 산형 레일(14)은, 플렛 레일(12)의 측단에 길이 방향을 따라 결합되며, 후술할 홈 롤러(26)의 골형 홈(30)이 삽입되어 지지되도록 역 V자 형태의 산형부(16)가 길이 방향으로 따라 형성된다.
이송블록(28)은, 증발원(11)이 결합되는 블록몸체(22)와, 블록몸체(22)의 일 측단에 회전가능하게 결합되며 플렛 레일(12)의 상면에 지지되는 원형 롤러(24)와, 블록몸체(22)의 타 측단에 회전가능하게 결합되는 산형 레일(14)의 산형부(16)가 삽입되도록 외주를 따라 골형 홈(30)이 형성되는 홈 롤러(26)를 포함한다.
블록몸체(22)에는 증발원(11)이 직접 결합되거나 증발원(11)이 결합되는 증발원지지대(32)가 결합될 수 있다. 블록몸체(22)의 일 측단에는 플렛 레일(12)의 평탄한 상면에 지지되는 원형 롤러(24)가 회전가능하게 결합되며, 타 측단에는 산형 레일(14)의 산형부(16)에 지지되는 홈 롤러(26)가 회전가능하게 결합된다.
플렛 레일(12)의 상면와 원형 롤러(24)의 외주면은 매끈하게 형성하여 이송블록(28)의 이동 시 마찰력이 최소화되도록 구성될 수 있다. 마찰력이 최소화됨에 따라 마찰력에 의한 파티클 발생을 최소화할 수 있다. 그리고, 홈 롤러(26)의 골형 홈(30)에 산형 레일(14)의 산형부(16)가 삽입되어 있는 상태에서 산형 레일(14)을 따라 홈 롤러(26)가 회전되면서 이동된다. 홈 롤러(26)의 골형 홈(30)에 산형 레일(14)의 산형부(16)가 삽입된 상태에서 홈 롤러(26)가 회전하기 때문에 이동 시 이송블록(28)이 레일부(20)에서 이탈되는 것이 방지될 수 있다.
구동부로서 사용되는 LM 모터(38)는, 마그넷열(34)과 코일부(36)를 포함할 수 있는데, 마그넷열(34)은 N극과 S극이 교대로 배치되도록 다수의 마그넷이 증발원(11)의 이송 방향을 따라 설치되며, 코일부(36)는 마그넷열(34)에 대향하여 배치되도록 증발원(11)이나 증발원지지대(32)에 결합될 수 있다. 마그넷열(34)과 코일부(36)는 서로 접촉되지 않도록 일정 거리 이격되어 배치된다. 코일부(36)에 전류를 인가함에 따라 마그넷열(34)과 대향하여 있는 코일부(36)에 척력과 인력이 교대로 발생하게 되며 이에 따라 이송블록(28)에 구동력을 제공하게 된다.
구동력을 제공하는 마그넷열(34)과 코일부(36)가 비접촉으로 서로 이격되어 있기 때문에 기판(58)과 이송장치(10)의 중량이 증가하더라도 구동장치에 마찰력이 발생하지 않아 구동장치의 마모에 의한 파티클이 발생하지 않게 된다. 이와 같이, 증발원 이송장치(10)에 구동력을 제공하는 구동장치를 비접촉식으로 구성함으로써 마모에 의한 파티클이 발생하지 않아 고품질의 유기물 증착이 이루어질 수 있다.
증발원(11)의 안정적인 이송을 위하여 레일부(20)는 이송 방향을 따라 병렬로 쌍을 이루어 배치될 수 있고, 이송블록(28) 또한 쌍을 이루어 한 쌍의 레일부(20)에 각각 배치될 수 있다. 서로 이격되어 있는 이송블록(28)에는 양단부가 각각 지지되는 증발원지지대(32)가 결합되며, 증발원지지대(32)에는 증발원(11)이 탑재된다.
이송프레임(40)은 상술한 증발원 이송장치(10)를 지지하기 위한 것으로서, 한 쌍의 가이드바(42)와 이를 연결하는 연결바(44)로 구성된다. 상술한 한 쌍의 레일부(20)는 가이드바(42)의 길이 방향을 따라 각각 결합된다.
상술한 가이드바(42)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 다수의 홀(52)이 길이 방향을 따라 형성되며 서로 마주하여 배치되는 한 쌍의 웨브(46)와, 다수의 홀(52)이 길이 방향으로 따라 형성되며 한 쌍의 웨브(46)의 일단 및 타단에 횡방향으로 결합되는 상부플랜지(48) 및 하부플랜지(50)로 구성되는 박스형 빔(beam)으로 구성될 수 있다. 박스형 빔은 단면이 사각형 형태로서 구조적으로 강성이 높고, 웨브(46)나 플랜지에 다수의 홀(52)을 형성함으로써 이송프레임(40)의 무게를 감소시킬 수 있다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기물 증착장치의 구성을 설명하기 위한 횡단면도이고, 도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기물 증착장치의 구성을 설명하기 위한 종단면도이다. 그리고, 도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기물 증착 장치의 이송유닛을 상부에서 바라본 사시도이고, 도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기물 증착 장치의 이송유닛을 하부에서 바라본 사시도이다.
도 6 내지 도 10에는, 증발원 이송장치(10), 증발원(11), 증발원지지대(32), 로봇 암(53), 쉐도우 마스크(60), 공정 챔버(62), 중심점(64), 제1 방사방향(66), 제2 방사방향(68), 제1 기판(69), 제2 기판(70), 제1 증착영역(72), 제2 증착영역(74), 제1 기판로딩부(75), 제2 기판로딩부(76), 이송유닛(79), 이동수단(80), 회전수단(82), 격벽(84), 차단판(86), 지지바(88), 보강바(90), 회전프레임(92), 상부플랜지(94), 하부플랜지(96), 웨브(98), I형 빔(100), 회전 레일(102), 회전블록(104), 가이드 레일(106), 슬라이딩 블록(108)이 도시되어 있다.
본 실시예에 따른 유기물 증착 장치는, 제1 증착영역(74)과 제2 증착영역(74)으로 구획되며, 하나의 중심점(64)에서 제1 방사방향(66)으로 제1 기판(69)이 제1 증착영역(74)에 인출입되고, 중심점(64)에서 제2 방사방향(68)으로 제2 기판(70)이 제2 증착영역(74)에 인출입되는 공정 챔버(62)와; 제1 기판(69)이 제1 방사방향(66)으로 로딩되어 안착되는 제1 기판로딩부(75)와; 제2 기판(70)이 제2 방사방향(68)으로 로딩되어 안착되는 제2 기판로딩부(76)와; 유기물 입자를 분출하는 선형의 증발원(11)과; 증발원(11)이 탑재되어, 제1 기판(69) 또는 제2 기판(70)의 표면에 유기물 입자가 증착되도록 증발원(11)을 제1 기판(69) 또는 제2 기판(70)의 표면을 따라 직선 이동시키는 상술한 증발원 이송장치(10)와; 증발원 이송장치(10)가 결합되며, 제1 증착영역(74) 또는 제2 증착영역(74)에 위치하도록 증발원 이송장치(10)를 왕복 이동시키는 이동수단(80)과; 이동수단(80)이 결합되며, 선형의 증발원(11)이 제1 기판(69) 또는 제2 기판(70)의 일변과 평행을 이루도록 이동수단(80)을 회전시키는 회전수단(82)을 포함한다.
본 실시예에 따른 유기물 증착 장치는, 하나의 챔버 내에서 복수의 기판에 대해 증착공정을 진행하되, 하나의 기판의 증착공정 중에 다른 기판에 대한 이송공정 또는 얼라인공정을 진행하여 택 타임(tact time)을 줄일 수 있고, 기판에 대한 이송공정 또는 얼라인공정 중에 발생하는 유기물 재료의 손실을 줄일 수 있다. 또한, 증발원(11)의 이송과정에서 파티클 발생이 최소화되어 고품질의 증착이 수행될 수 있다.
공정 챔버(62)는, 제1 증착영역(74)과 제2 증착영역(74)으로 구획되며, 하나의 중심점(64)에서 제1 방사방향(66)으로 제1 기판(69)이 제1 증착영역(74)(22)에 인출입되고, 중심점(64)에서 제2 방사방향(68)으로 제2 기판(70)이 제2 증착영역(74)에 인출입되도록 구성될 수 있다.
하나의 공정 챔버(62) 내에서 복수의 기판에 대해 증착이 이루어질 수 있도록 공정 챔버(62)는 복수의 증착영역으로 구획될 수 있다.
증착영역은 증발원(11)의 이동에 따라 하나의 기판에 대해 유기물 증착이 수행될 수 있는 가상의 공간을 의미하는 것으로, 도 6을 참조하면, 도 1의 1점 쇄선으로 나타낸 공정 챔버(62)의 중심선에 의해 공정 챔버(62)가 제1 증착영역(74)과 제2 증착영역(74)으로 구획될 수 있다. 제1 증착영역(74)에서는 제1 기판(69)에 대한 유기물 입자의 증착이 이루어지며 제1 증착영역(74)에 인접한 제2 증착영역(74)에서는 제2 기판(70)에 대한 유기물 입자의 증착이 이루어진다.
제1 기판(69)은 하나의 중심점(64)에서 제1 방사방향(66)으로 공정 챔버(62)의 제1 증착영역(74)으로 인입되거나 인출되고, 제2 기판(70)은 중심점(64)에서 제2 방사방향(68)으로 공정 챔버(62)의 제2 증착영역(74)으로 인입되거나 인출된다. 즉, 제1 기판(69)과 제2 기판(70)은 공정 챔버(62)에 일정한 경사를 가지고 인입되거나 인출된다.
클러스터 타입(cluster type)의 증착 시스템에 있어서, 기판은 공정 챔버(62)와 연결된 트랜스퍼 챔버 내의 로봇 암(53)에 의해 공정 챔버(62) 내로 인입되거나 인출될 수 있는데, 이 경우, 로봇 암(53)의 회전 중심에서 방사 방향으로 기판이 공정 챔버(62)로 인출입되기 때문에 기판이 공정 챔버(62)에 일정한 경사를 가지고 인출입될 수 있다.
따라서, 로봇 암(53)에 의해 제1 기판(69)과 제2 기판(70)이 공정 챔버(62)로 인입되거나 인출되는 경우, 중심점(64)을 구성하는 로봇 암(53)의 회전 중심에 대해 제1 방사방향(66)으로 제1 기판(69)이 공정 챔버(62)에 인출입되고, 제2 기판(70)은 중심점(64)을 구성하는 로봇 암(53)의 회전 중심에 대해 제1 방사방향(66)과 다른 제2 방사방향(68)으로 공정 챔버(62)에 인출입될 수 있다.
다만, 로봇 암(53)에 의해 공정 챔버(62)에 제1 기판(69)과 제2 기판(70)이 인출입되는 것에 한정되지 않고, 공정 챔버(62)에 제1 기판(69)과 제2 기판(70)이 서로 경사를 가지고 인출입되는 경우에는 본 실시예에 따른 유기물 증착 장치가 적용될 수 있다. 예를 들면, 두 개의 로봇 암(53)에 의해 제1 기판(69)과 제2 기판(70)이 공정 챔버(62)에 인출입되는 경우에는 로봇 암(53)의 회전 중심이 상술한 중심점(64)을 구성하지 않고, 제1 기판(69)과 제2 기판(70)의 경사 방향이 이루는 가상의 두 경사선이 만나는 점이 중심점(64)을 구성하게 된다.
제1 기판로딩부(75) 및 제2 기판로딩부(76)에는 제1 기판(69)과 제2 기판(70)이 각각 로딩되어 안착된다. 본 실시예에서는, 증발원(11)에서 유기물 입자가 상향으로 분출되어 기판에 유기물 증착이 이루어질 수 있도록 제1 기판로딩부(75) 및 제2 기판로딩부(76)의 하부에 제1 기판(69) 및 제2 기판(70)이 각각 부착된다.
제1 기판로딩부(75) 및 제2 기판로딩부(76)에 제1 기판(69)과 제2 기판(70)이 각각 로딩되어 안착되면 각 기판로딩부(75, 76)에서는 쉐도우 마스크(60)가 기판의 표면에 배치되고, 기판과 쉐도우 마스크(60)는 서로 얼라인이 이루어질 수 있다.
증발원 이송장치(10)가 결합되는 이동수단(80) 및 이동수단(80)이 결합되는 회전수단(82)은 하나의 이송유닛(79)을 구성하며, 이송유닛(79)은 증발원(11)의 직선 이동, 회전 이동 등의 이송을 수행하며, 기판 상에 유기물이 증착되도록 한다.
즉, 이송유닛(79)은, 증발원(11)을 제1 기판(69) 또는 제2 기판(70)의 표면을 따라 직선 이동시키는 상술한 증발원 이송장치(10)와, 증발원 이송장치(10)를 왕복 이동시키는 이동수단(80)과, 선형의 증발원(11)이 제1 기판(69) 또는 제2 기판(70)의 일변과 평행을 이루도록 이동수단(80)을 회전시키는 회전수단(82)으로 구성될 수 있다.
선형의 증발원(11)는 제1 기판(69) 또는 제2 기판(70)의 표면에 유기물 입자를 분사한다. 선형의 증발원(11)는, 기판의 일변에서 마주하는 타변 방향으로 직선 이동하여 유기물 입자를 기판에 증착하게 되는데, 기판의 폭에 대응하여 선형으로 구성된다. 기판에 대한 유기물의 증착은 유기물의 담겨 있는 증발원(11)의 도가니에 열을 가하여 도가니에서 승화되는 유기물 입자를 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다.
증발원 이송장치(10)에는 증발원(11)이 결합되며, 제1 기판(69) 또는 제2 기판(70)의 표면에 유기물 입자가 분사되도록 증발원 이송장치(10)가 증발원(11)을 제1 기판(69) 또는 제2 기판(70)의 표면을 따라 직선 이동시킨다. 상술한 바와 같이, 증발원(11)이 기판의 일변에서 마주하는 타변 방향으로 직선 이동하여 기판에 유기물을 증착시키게 되므로 증발원 이송장치(10)에 의해 증발원(11)이 직선 이동하게 된다.
이동수단(80)에는 증발원 이송장치(10)가 결합되며, 증발원 이송장치(10)가 제1 증착영역(74) 또는 제2 증착영역(74)에 위치하도록 이동수단(80)이 증발원 이송장치(10)를 왕복 이동시킨다. 제1 기판(69)에 대한 증착이 완료되면 제2 기판(70)에 대한 증착을 수행하여야 하는데, 이동수단(80)은 제1 증착영역(74)에서 증착공정을 완료한 증발원 이송장치(10)를 제2 증착영역(74)으로 이동시키게 된다. 이동수단(80)에 의해 증발원 이송장치(10)가 제1 증착영역(74)과 제2 증착영역(74) 간을 왕복 이동하면서 각 증착영역에 위치한 기판에 대해 증착공정을 수행하도록 한다.
회전수단(82)에는 이동수단(80)이 결합되며, 도 7에 도시된 바와 같이, 선형의 증발원(11)이 제1 기판(69) 또는 제2 기판(70)의 일변과 평행을 이루도록 이동수단(80)을 회전시킨다.
도 9를 참고하면, 회전수단(82)에는 이동수단(80)이 결합되어 있고, 이동수단(80)에는 증발원 이송장치(10)가 결합되어 있으며, 증발원 이송장치(10)에는 증발원지지대(32)에 의해 증발원(11)이 결합된다.
기판에 대한 증착과정을 살펴보면, 제1 기판로딩부(75)에 제1 기판(69)이 로딩되면, 이동수단(80)에 의해 증발원(11)이 결합된 증발원 이송장치(10)를 제1 증착영역(74)으로 직선 이동시킨다. 제1 증착영역(74)으로 이동된 증발원 이송장치(10)의 증발원(11)은 경사지게 로딩된 제1 기판(69)의 일변과 평행하지 않기 때문에 회전수단(82)에 의해 이동수단(80)이 회전되면서 선형의 증발원(11)이 제1 기판(69)의 일변과 평행을 이루게 된다. 증발원(11)와 제1 기판(69)의 일변이 평행을 이루면, 증발원 이송장치(10)가 증발원(11)을 제1 기판(69)의 일변에서 타변 방향으로 직선 이동시켜 이동과정에서 분출되는 유기물 입자이 제1 기판(69)에 증착된다. 이 후, 제2 기판로딩부(76)에 제2 기판(70)이 로딩되면, 회전수단(82)이 원위치로 회전하고 이동수단(80)에 의해 증발원(11)이 결합된 증발원 이송장치(10)를 제2 증착영역(74)으로 직선 이동시킨다. 마찬가지로, 제2 증착영역(74)으로 이동된 증발원 이송장치(10)의 증발원(11)은 경사지게 로딩된 제2 기판(70)의 일변과 평행하지 않기 때문에 회전수단(82)에 의해 이동수단(80)이 회전되면서 선형의 증발원(11)이 제2 기판(70)의 일변과 평행을 이루게 된다. 그리고, 증발원(11)와 제2 기판(70)의 일변이 평행을 이루면, 증발원 이송장치(10)가 증발원(11)을 제2 기판(70)의 일변에서 타변 방향으로 직선 이동시켜 이동과정에서 분출되는 유기물 입자를 제2 기판(70)에 증착하게 된다.
도 9는 본 실시예에 따른 유기물 증착 장치의 이송유닛(79)을 상부에서 바라본 사시도이고, 도 10은 본 실시예에 따른 유기물 증착 장치의 이송유닛(79)을 하부에서 바라본 사시도인데, 이를 참조하여 본 실시예에 따른 이송유닛(79)에 대해 자세히 살펴보기로 한다. 증발원 이송장치(10)는 상술한 바와 같으므로 자세한 설명은 생략하기로 한다.
회전수단(82)은, 서로 마주하는 한 쌍의 지지바(88)와, 한 쌍의 지지바(88)를 연결하는 보강바(90)를 구비하는 회전프레임(92)을 포함할 수 있다. 이 경우, 이동수단(80)은, 지지바(88)의 길이 방향을 따라 결합되는 가이드 레일(106)과, 증발원 이송장치(10)가 결합되며, 가이드 레일(106)을 따라 이동하는 슬라이딩 블록(108); 및 슬라이딩 블록(108)을 이동시키는 구동부(미도시)로 구성될 수 있다.
지지바(88)는, 다수의 홀이 길이 방향을 따라 형성되는 웨브(98)와, 웨브(98)의 일단에 횡방향으로 결합되며 가이드 레일(106)이 상부에 결합되는 상부플랜지(94)와, 웨브(98)의 타단에 횡방향으로 결합되는 하부플랜지(96)로 구성되는 I형 빔(100)(beam)으로 구성될 수 있다. I형 빔(100)은 단면이 I형 형태로서 수직 하중에 대해 구조적으로 강성이 높으며, I형 빔(100)의 웨브(98)에 다수의 홀을 형성함으로써 회전프레임(92)의 무게가 감소될 수 있다.
가이드 레일(106)은 지지바(88)의 상부에 길이 방향으로 따라 결합되며, 가이드 레일(106)에는 가이드 레일(106)을 따라 이동하는 슬라이딩 블록(108)이 결합된다. 슬라이딩 블록(108)에는 증발원 이송장치(10)가 결합되어 슬라이딩 블록(108)의 이동에 따라 증발원 이송장치(10)가 직선 왕복 이동을 하게 된다. 구동부(미도시)는 슬라이딩 블록(108)이 가이드 레일(106)을 따라 이동할 수 있도록 구동력을 제공한다. 구동부로는 상술한 LM 모터가 사용되거나, 볼스크류, 랙-피니언 구조가 적용될 수 있다.
한편, 회전수단(82)은, 공정 챔버(62)의 바닥면에 원형을 이루어 배치되는 회전 레일(102)과, 회전프레임(92)이 결합되며, 회전 레일(102)을 따라 이동하는 회전 블록(104)을 포함할 수 있다. 회전 레일(102)은 회전 중심에 대해 원형의 형태로 공정 챔버(62)의 바닥면에 배치되는데, 본 실시예에서는 동일 반경을 갖는 4개의 원호 형상의 레일을 원형으로 배치하여 회전 레일(102)을 구성하였다. 원호 형상의 각 레일에는 회전 블록(104)이 배치되어 회전 레일(102)을 따라 회전된다. 회전프레임(92)은 회전 블록(104)에 결합되어 회전 레일(102)을 따라 회전하게 된다.
회전수단(82)의 회전프레임(92)을 자체를 공정 챔버(62)의 바닥면에 대해 회전시킴으로써 그 위에 탑재되어 있는 이동수단(80)을 회전시킬 수 있고, 이에 따라 이동수단(80)에 결합되어 있는 증발원(11)을 제1 기판(69) 또는 제2 기판(70)의 일변에 평행을 이루도록 할 수 있다.
한편, 차단판(86)은, 도 8에 도시된 바와 같이, 제1 기판(69) 또는 제2 기판(70)에 대향하여 배치되고, 이동수단(80)에 의해 직선 이동 하는 증발원(11)와 반대 방향으로 이동하여 제1 기판(69) 또는 제2 기판(70)을 커버한다. 도 8를 참조하면, 제2 기판(70)을 증착하기 위해 증발원(11)이 제2 증착영역(74)으로 이동하는 경우 이와 반대 방향으로 차단판(86)이 이동하여 제1 기판(69)을 커버하게 된다. 이는 제2 기판(70)을 증착하는 동안 증발원(11)에서 증발되는 유기물 입자가 제1 기판(69)으로 비산되어 증착되는 기생증착을 방지하기 위한 것이다. 또한, 제1 기판(69)을 증착하기 위해 증발원(11)이 제1 증착영역(74)으로 이동하는 경우 이와 반대 방향으로 차단판(86)이 이동하여 제2 기판(70)을 커버하게 된다.
격벽(84)은 공정 챔버(62) 내에 결합되며, 제1 기판로딩부(75)와 제2 기판로딩부(76) 사이에 위치한다. 공정 챔버(62) 내부의 상단에서 하단으로 일정 거리 연장되어 격벽(84)이 형성되어 있으며 격벽(84)의 하단에 대해 횡방향으로 차단판(86)이 배치된다. 이러한 격벽(84)과 차단판(86)에 의해 인접 기판에의 유기물의 기생증착을 방지할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 특정의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
전술한 실시예 외의 많은 실시예들이 본 발명의 특허청구범위 내에 존재한다.
10: 증발원 이송장치 11: 증발원
12: 플렛 레일 14: 산형 레일
16: 산형부 20: 레일부
22: 블록몸체 24: 원형 롤러
26: 홈 롤러 28: 이송블록
30: 골형 홈 32: 증발원지지대
34: 마그넷열 36: 코일부
38: LM 모터 40: 이송프레임
42: 가이드바 44: 연결바
46: 웨브 48: 상부플랜지
50: 하부플랜지 52: 홀
56: 기판로딩부 58, 69, 70: 기판
32: 증발원지지대 53: 로봇 암
60: 쉐도우 마스크 54, 62: 공정 챔버
64: 중심점 66: 제1 방사방향
68: 제2 방사방향 72: 제1 증착영역
74: 제2 증착영역 75: 제1 기판로딩부
76: 제2 기판로딩부 79: 이송유닛
80: 이동수단 82: 회전수단
84: 격벽 86: 차단판
88: 지지바 90: 보강바
92: 회전프레임 100: I형 빔
102: 회전 레일 104: 회전블록
106: 가이드 레일 108: 슬라이딩 블록

Claims (12)

  1. 증발원을 이송시키는 증발원 이송장치로서,
    상기 증발원의 이송 방향을 따라 배치되며, 상면이 평탄한 플렛 레일 및 상기 플렛 레일의 길이 방향으로 따라 결합되며, 산형부가 길이 방향을 따라 형성되는 산형 레일을 포함하는 레일부와;
    상기 증발원이 결합되는 블록몸체와, 상기 블록몸체의 일 측단에 회전가능하게 결합되며 상기 플렛 레일의 상면에 지지되는 원형 롤러와, 상기 블록몸체의 타 측단에 회전가능하게 결합되는 상기 산형부가 삽입되도록 외주를 따라 골형 홈이 형성되는 홈 롤러를 포함하는 이송블록과;
    상기 증발원의 이송 방향으로 N극과 S극이 교대로 배치되는 마그넷열과, 상기 마그넷열에 대향하여 배치되는 코일부를 구비하는 LM 모터를 포함하는, 증발원 이송장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 레일부는,
    병렬로 쌍을 이루어 배치되고,
    상기 이송블록은,
    쌍을 이루어 상기 한 쌍의 레일부에 각각 배치되며,
    상기 한 쌍의 이송블록이 양단부가 각각 결합되며, 상기 증발원이 탑재되는 증발원지지대를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 증발원 이송장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 한 쌍의 레일부가 길이 방향을 따라 각각 결합되는 한 쌍의 가이드바와, 상기 한 쌍의 가이드바를 연결하는 연결바를 포함하는 이송프레임을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 증발원 이송장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 가이드바는,
    다수의 홀이 길이 방향을 따라 형성되며 서로 마주하여 배치되는 한 쌍의 웨브와, 다수의 홀이 길이 방향으로 따라 형성되며 상기 한 쌍의 웨브의 일단 및 타단에 횡방향으로 각각 결합되는 상부플랜지 및 하부플랜지로 구성되는 박스형 빔(beam)을 포함하는 것을 특징으로 하는, 증발원 이송장치.
  5. 공정 챔버와;
    상기 공정 챔버 내에 배치되며, 기판이 로딩되어 안착되는 기판로딩부와;
    상기 기판에 대향하여 배치되며 상기 기판을 향하여 유기물 입자를 분출하는 증발원과;
    상기 증발원이 탑재되어 상기 증발원을 상기 기판의 일변에서 타변 방향으로 이송시키는 이송장치를 포함하며,
    상기 이송장치는,
    상기 증발원의 이송 방향을 따라 배치되며, 상면이 평탄한 플렛 레일 및 상기 플렛 레일의 길이 방향으로 따라 결합되며, 산형부가 길이 방향을 따라 형성되는 산형 레일을 포함하는 레일부와;
    상기 증발원이 결합되는 블록몸체와, 상기 블록몸체의 일 측단에 회전가능하게 결합되며 상기 플렛 레일의 상면에 지지되는 원형 롤러와, 상기 블록몸체의 타 측단에 회전가능하게 결합되는 상기 산형부가 삽입되도록 외주를 따라 골형 홈이 형성되는 홈 롤러를 포함하는 이송블록과;
    상기 증발원의 이송 방향으로 N극과 S극이 교대로 배치되는 마그넷열과, 상기 마그넷열에 대향하여 배치되는 코일부를 구비하는 LM 모터를 포함하는 것을 특징으로 하는, 유기물 증착 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 레일부는,
    병렬로 쌍을 이루어 배치되고,
    상기 이송블록은,
    쌍을 이루어 상기 한 쌍의 레일부에 각각 배치되며,
    상기 한 쌍의 이송블록이 양단부가 각각 결합되며, 상기 증발원이 탑재되는 증발원지지대를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 유기물 증착 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 한 쌍의 레일부가 길이 방향을 따라 각각 결합되는 한 쌍의 가이드바와, 상기 한 쌍의 가이드바를 연결하는 연결바를 포함하는 이송프레임을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 유기물 증착 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 가이드바는,
    다수의 홀이 길이 방향을 따라 형성되며 서로 마주하여 배치되는 한 쌍의 웨브와, 다수의 홀이 길이 방향으로 따라 형성되며 상기 한 쌍의 웨브의 일단 및 타단에 횡방향으로 각각 결합되는 상부플랜지 및 하부플랜지로 구성되는 박스형 빔(beam)을 포함하는 것을 특징으로 하는, 유기물 증착 장치.
  9. 제1 증착영역과 제2 증착영역으로 구획되며, 하나의 중심점에서 제1 방사 방향으로 제1 기판이 상기 제1 증착영역에 인출입되고, 상기 중심점에서 제2 방사 방향으로 제2 기판이 상기 제2 증착영역에 인출입되는 공정 챔버와;
    상기 제1 기판이 상기 제1 방사 방향으로 로딩되어 안착되는 제1 기판로딩부와;
    상기 제2 기판이 상기 제2 방사 방향으로 로딩되어 안착되는 제2 기판로딩부와;
    유기물 입자를 분출하는 선형의 증발원과;
    상기 증발원이 탑재되어, 상기 제1 기판 또는 상기 제2 기판의 표면에 상기 유기물 입자가 증착되도록 상기 증발원을 상기 제1 기판 또는 상기 제2 기판의 표면을 따라 직선 이동시키는 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 따른 증발원 이송장치와;
    상기 증발원 이송장치가 결합되며, 상기 제1 증착영역 또는 상기 제2 증착영역에 위치하도록 상기 증발원 이송장치를 왕복 이동시키는 이동수단과;
    상기 이동수단이 결합되며, 상기 선형의 증발원이 상기 제1 기판 또는 상기 제2 기판의 일변과 평행을 이루도록 상기 이동수단을 회전시키는 회전수단을 포함하는, 유기물 증착 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 회전수단은,
    서로 마주하는 한 쌍의 지지바와, 상기 한 쌍의 지지바를 연결하는 보강바를 포함하는 회전프레임을 포함하며,
    상기 이동수단은,
    상기 지지바의 길이 방향을 따라 결합되는 가이드 레일과;
    상기 증발원 이송장치가 결합되며, 상기 가이드 레일을 따라 이동하는 슬라이딩 블록; 및
    상기 슬라이딩 블록을 이동시키는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는, 유기물 증착 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 회전수단은,
    상기 공정 챔버의 바닥면에 원형을 이루어 배치되는 회전 레일과;
    상기 회전프레임이 결합되며, 상기 회전 레일을 따라 이동하는 회전 블록을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 유기물 증착 장치.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 지지바는,
    다수의 홀이 길이 방향을 따라 형성되는 웨브와, 상기 웨브의 일단에 횡방향으로 결합되며 상기 가이드 레일이 상부에 결합되는 상부플랜지와, 상기 웨브의 타단에 횡방향으로 결합되는 하부플랜지로 구성되는 I형 빔(beam)을 포함하는 것을 특징으로 하는, 유기물 증착 장치.

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KR20190121564A (ko) * 2018-04-18 2019-10-28 주식회사 야스 이물비산을 방지한 증발원 이송장치

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