KR101591003B1 - 증착 장치 - Google Patents

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KR101591003B1 KR1020140012032A KR20140012032A KR101591003B1 KR 101591003 B1 KR101591003 B1 KR 101591003B1 KR 1020140012032 A KR1020140012032 A KR 1020140012032A KR 20140012032 A KR20140012032 A KR 20140012032A KR 101591003 B1 KR101591003 B1 KR 101591003B1
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Abstract

증착 장치가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 제1 증착영역과 제2 증착영역으로 구획되며, 하나의 중심점에서 제1 방사 방향으로 제1 기판이 상기 제1 증착영역에 인출입되고, 상기 중심점에서 제2 방사 방향으로 제2 기판이 상기 제2 증착영역에 인출입되는 증착 챔버와; 상기 증착 챔버 내에 배치되며 상기 제1 기판 또는 상기 제2 기판에 대향하여 증착입자를 분사하는 선형의 증발원과; 미리 결정된 이동경로에 따라 상기 증발원을 상기 제1 증착영역과 상기 제2 증착영역 간을 왕복 이동시키는 증발원 이송유닛과; 상기 제1 기판이 로딩되어 안착되며, 상기 제1 증착영역의 상기 이동경로에 대해 일변이 수직을 이루도록 상기 제1 기판을 회전시키는 제1 기판 로딩부; 및 상기 제2 기판이 로딩되어 안착되며, 상기 제2 증착영역의 상기 이동경로에 대해 일변이 수직을 이루도록 상기 제2 기판을 회전시키는 제2 기판 로딩부를 포함하는, 증착 장치가 제공된다.

Description

증착 장치{Apparatus of deposition}
본 발명은 증착 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 하나의 챔버 내에서 복수의 기판에 대해 증착공정을 진행하되, 하나의 기판의 증착공정 중에 다른 기판에 대한 이송공정 또는 얼라인공정을 진행하여 택 타임(tact time)을 줄일 수 있고, 기판에 대한 이송공정 또는 얼라인공정 중에 발생하는 증착재료의 손실을 줄일 수 있는 증착 장치에 관한 것이다.
유기 전계 발광소자(Organic Luminescence Emitting Device: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.
이러한 유기 전계 발광소자를 이용한 평판표시장치는 응답속도가 빠르며, 시야각이 넓어 차세대 표시장치로서 대두 되고 있다.
특히, 제조공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 액정표시장치 보다 많이 절감할 수 있는 장점이다.
유기 전계 발광 소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열증착방법으로 기판 상에 증착하게 된다.
진공열증착방법은 진공의 챔버 내에 기판을 이송시키고, 일정 패턴이 형성된 쉐도우 마스크(shadow mask)를 이송된 기판에 정렬시킨 후, 유기물이 담겨 있는 도가니에 열을 가하여 도가니에서 승화되는 유기물을 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다.
종래 기술에 따른 진공열증착방법은 하나의 챔버 내에서 하나의 기판에 대해 증착공정이 이루어지기 때문에 기판의 이송공정과 쉐도우 마스크 얼라인공정 중에는 기판에 대한 증착공정이 중단되어 택 타임(tack time)이 증가되는 문제점이 있었다.
또한, 기판의 이송공정과 쉐도우 마스크 얼라인공정 중에도 도가니에서 지속적으로 유기물이 승화되고 있어 유기물 재료가 손실되는 문제점이 있다.
본 발명은 하나의 챔버 내에서 복수의 기판에 대해 증착공정을 진행하되, 하나의 기판의 증착공정 중에 다른 기판에 대한 이송공정 또는 얼라인공정을 진행하여 택 타임(tact time)을 줄일 수 있고, 기판에 대한 이송공정 또는 얼라인공정 중에 발생하는 증착재료의 손실을 줄일 수 있는 증착 장치를 제공한다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 제1 증착영역과 제2 증착영역으로 구획되며, 하나의 중심점에서 제1 방사 방향으로 제1 기판이 상기 제1 증착영역에 인출입되고, 상기 중심점에서 제2 방사 방향으로 제2 기판이 상기 제2 증착영역에 인출입되는 증착 챔버와; 상기 증착 챔버 내에 배치되며 상기 제1 기판 또는 상기 제2 기판에 대향하여 증착입자를 분사하는 선형의 증발원과; 미리 결정된 이동경로에 따라 상기 증발원을 상기 제1 증착영역과 상기 제2 증착영역 간을 왕복 이동시키는 증발원 이송유닛과; 상기 제1 기판이 로딩되어 안착되며, 상기 제1 증착영역의 상기 이동경로에 대해 일변이 수직을 이루도록 상기 제1 기판을 회전시키는 제1 기판 로딩부; 및 상기 제2 기판이 로딩되어 안착되며, 상기 제2 증착영역의 상기 이동경로에 대해 일변이 수직을 이루도록 상기 제2 기판을 회전시키는 제2 기판 로딩부를 포함하는, 증착 장치가 제공된다.
상기 증발원 이송유닛은, 상기 제1 방사 방향과 상기 제2 방사 방향을 가로지르는 하측레일과; 상기 하측레일과 이격되어 평행을 이루는 상측레일과; 상기 선형의 증발원이 결합되며, 상기 하측레일과 상기 상측레일을 따라 왕복 이동하는 이송부를 포함할 수 있다.
상기 하측레일은, 상기 제1 방사 방향을 가로지르는 선형의 제1 레일과, 상기 제2 방사 방향을 가로지르는 선형의 제2 레일과, 상기 제1 레일과 상기 제2 레일을 연결하는 제3 레일을 포함하며, 상기 상측레일은, 상기 제1 레일과 이격되어 평행을 이루는 선형의 제4 레일과, 상기 제2 레일과 이격되어 평행을 이루는 선형의 제5 레일과, 상기 제4 레일과 상기 제5 레일을 연결하는 제6 레일을 포함할 수 있다.
상기 선형의 제1 레일은, 상기 제1 방사 방향에 수직을 이루고, 상기 선형의 제2 레일은, 상기 제2 방사 방향에 수직을 이루며, 상기 제3 레일은 곡선 형태로 상기 제1 레일과 상기 제2 레일을 연결하고, 상기 제6 레일은 곡선 형태로 상기 제4 레일과 상기 제5 레일을 연결할 수 있다.
상기 이송부는, 상기 하측레일과 상기 상측레일을 따라 이동하도록 상기 하측레일과 상기 상측레일에 대향하여 각각 결합되는 한 쌍의 제1 슬라이더와; 상기 한 쌍의 제1 슬라이더에 각각 이격되며, 상기 하측레일과 상기 상측레일을 따라 이동하도록 상기 하측레일과 상기 상측레일에 대향하여 각각 결합되는 상기 한 쌍의 제2 슬라이더를 포함하며, 상기 제1 슬라이더는, 상기 하측레일 또는 상기 상측레일을 따라 이동하는 이동블록과, 상기 이동블록의 상측에 수평 방향으로 회전가능하게 결합되는 회전블록을 포함하며, 상기 제2 슬라이더는,
상기 하측레일 또는 상기 상측레일을 따라 이동하는 이동블록과, 상기 이동블록의 상측에 수평 방향으로 회전가능하게 결합되는 회전블록과, 상기 상기 제1 방사 방향에 수직방향으로 슬라이딩되도록 상기 회전블록에 결합되는 슬라이딩바를 포함할 수 있다.
상기 증착 장치는, 상기 제1 슬라이더와 상기 제2 슬라이더에 지지되는 소스지지대를 더 포함할 수 있으며, 상기 증발원은 상기 소스지지대에 결합될 수 있다.
그리고, 상기 하측레일 및 상측레일의 외측으로 일정 간격 이격되어 상기 상측레일 및 상기 하측레일을 따라 각각 배치되는 래크레일과; 상기 래크레일에 치합되는 피니언과; 상기 피니언에 회전력을 제공하며, 상기 소스지지대에 결합되는 모터부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 하나의 챔버 내에서 복수의 기판에 대해 증착공정을 진행하되, 하나의 기판의 증착공정 중에 다른 기판에 대한 이송공정 또는 얼라인공정을 진행하여 택 타임(tact time)을 줄일 수 있고, 기판에 대한 이송공정 또는 얼라인공정 중에 발생하는 증착재료의 손실을 줄일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 구성을 설명하기 위한 횡단면도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 구성을 설명하기 위한 종단면도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원 이송유닛을 간략히 도시한 평면도.
도 4는 도 2의 A 부분을 확대한 도면.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원 이송유닛을 간략히 도시한 측면도.
도 6 내지 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원 이송유닛의 작동과정을 설명하기 위한 도면.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
이하, 본 발명에 따른 증착 장치의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 구성을 설명하기 위한 횡단면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 구성을 설명하기 위한 종단면도이다. 그리고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원 이송유닛을 간략히 도시한 평면도이다.
도 1 내지 도 3에는, 증발원 이송유닛(10), 증착 챔버(12), 제1 증착영역(14), 제2 증착영역(16), 중심점(18), 제1 방사 방향(20), 제2 방사 방향(22), 트랜스퍼 챔버(24), 로봇 암(26), 제1 기판 로딩부(28), 제2 기판 로딩부(30), 제1 기판(32), 마스크(33), 제2 기판(34), 하측레일(36), 상측레일(38), 증발원(40), 제1 레일(42), 제2 레일(44), 제3 레일(46), 제4 레일(48), 제5 레일(50), 제6 레일(52), 이송부(54), 제1 슬라이더(56), 제2 슬라이더(58), 소스지지대(60)가 도시되어 있다.
본 실시예에 따른 증착 장치는, 제1 증착영역(14)과 제2 증착영역(16)으로 구획되며, 하나의 중심점(18)에서 제1 방사 방향(20)으로 제1 기판(32)이 상기 제1 증착영역(14)에 인출입되고, 상기 중심점(18)에서 제2 방사 방향(22)으로 제2 기판(34)이 상기 제2 증착영역(16)에 인출입되는 증착 챔버(12)와; 상기 증착 챔버(12) 내에 배치되며 상기 제1 기판(32) 또는 상기 제2 기판(34)에 대향하여 증착입자를 분사하는 선형의 증발원(40)과; 미리 결정된 이동경로에 따라 상기 증발원(40)을 상기 제1 증착영역(14)과 상기 제2 증착영역(16) 간을 왕복 이동시키는 증발원 이송유닛(10)과; 상기 제1 기판(32)이 로딩되어 안착되며, 상기 제1 증착영역(14)의 상기 이동경로에 대해 일변이 수직을 이루도록 상기 제1 기판(32)을 회전시키는 제1 기판 로딩부(28); 및 상기 제2 기판(34)이 로딩되어 안착되며, 상기 제2 증착영역(16)의 상기 이동경로에 대해 일변이 수직을 이루도록 상기 제2 기판(34)을 회전시키는 제2 기판 로딩부(30)를 포함한다.
증착 챔버(12)는, 제1 증착영역(14)과 제2 증착영역(16)으로 구획되며, 하나의 중심점(18)에서 제1 방사 방향(20)으로 제1 기판(32)이 제1 증착영역(14)에 인출입되고, 중심점(18)에서 제2 방사 방향(22)으로 제2 기판(34)이 제2 증착영역(16)에 인출입되도록 구성될 수 있다.
증착 챔버(12)는 그 내부에서 기판에 대해 증착입자의 증착이 이루어지는 곳으로, 진공 펌프에 의하여 내부가 진공 상태로 유지될 수 있다. 대기압 상태에서 증착입자가 이루어지는 경우에는 내부가 대기압 상태로 유지되는 것도 가능하다. 하나의 증착 챔버(12) 내에서 복수의 기판에 대해 증착이 이루어질 수 있도록 증착 챔버(12)는 복수의 증착영역으로 구획될 수 있다. 여기서, 증착입자는 소스 물질을 가열하면 기화되거나 승화되어 발생하는 기상의 물질을 의미하는 것으로, 유기물을 가열하여 얻어지는 기상의 유기물을 포함할 수 있다.
증착영역(14, 16)은 증발원(40)의 이동에 따라 하나의 기판에 대해 증착입자의 증착이 수행될 수 있는 가상의 공간을 의미하는 것으로, 도 1을 참조하면, 도 1의 1점 쇄선으로 나타낸 중심선에 의해 증착 챔버(12)가 제1 증착영역(14)과 제2 증착영역(16)으로 구획될 수 있다. 제1 증착영역(14)에서는 제1 기판(32)에 대한 증착입자의 증착이 이루어지며 제1 증착영역(14)에 인접한 제2 증착영역(16)에서는 제2 기판(34)에 대한 증착입자의 증착이 이루어진다.
제1 기판(32)은 하나의 중심점(18)에서 제1 방사 방향(20)으로 증착 챔버(12)의 제1 증착영역(14)으로 인입되거나 인출되고, 제2 기판(34)은 상기 중심점(18)에서 제2 방사 방향(22)으로 증착 챔버(12)의 제2 증착영역(16)으로 인입되거나 인출된다. 즉, 제1 기판(32)과 제2 기판(34)은 증착 챔버(12)에 일정한 경사를 가지고 인입되거나 인출된다.
클러스터 타입(cluster type)의 증착 시스템에 있어서, 기판은 증착 챔버(12)와 연결된 트랜스퍼 챔버(24) 내의 로봇 암(26)에 의해 증착 챔버(12) 내로 인입되거나 인출될 수 있는데, 이 경우, 로봇 암(26)의 회전 중심에서 방사 방향으로 기판이 증착 챔버(12)로 인출입되기 때문에 기판이 증착 챔버(12)에 일정한 경사를 가지고 인출입될 수 있다.
따라서, 로봇 암(26)에 의해 제1 기판(32)과 제2 기판(34)이 증착 챔버(12)로 인입되거나 인출되는 경우, 중심점(18)을 구성하는 로봇 암(26)의 회전 중심에 대해 제1 방사 방향(20)으로 제1 기판(32)이 증착 챔버(12)에 인출입되고, 제2 기판(34)은 중심점(18)을 구성하는 로봇 암(26)의 회전 중심에 대해 제1 방사 방향(20)과 다른 제2 방사 방향(22)으로 증착 챔버(12)에 인출입될 수 있다. 따라서, 제1 방사 방향(20)과 제2 방사 방향(22)은 중심점(18)을 중심으로 일정 각도를 이루게 된다.
다만, 로봇 암(26)에 의해 증착 챔버(12)에 제1 기판(32)과 제2 기판(34)이 인출입되는 것에 한정되지 않고, 증착 챔버(12)에 제1 기판(32)과 제2 기판(34)이 서로 경사를 가지고 인출입되는 경우에는 본 실시예에 따른 증착 장치가 적용될 수 있다. 예를 들면, 두 개의 로봇 암(26)에 의해 제1 기판(32)과 제2 기판(34)이 증착 챔버(12)에 인출입되는 경우에는 로봇 암(26)의 회전 중심이 상술한 중심점(18)을 구성하지 않고, 제1 기판(32)과 제2 기판(34)의 경사 방향이 이루는 가상의 두 경사선이 만나는 점이 중심점(18)을 구성하게 된다.
선형의 증발원(40)은, 제1 기판(32) 또는 제2 기판(34)의 표면을 향하여 증착입자를 분사한다. 선형의 증발원(40)은, 기판의 폭에 대응하여 선형으로 구성되는데, 선형의 증발원(40)이 기판의 폭과 평행하게 배치된 상태에서 기판의 길이 방향으로 따라 직선 이동하면서 기판에 증착입자를 증착하게 된다. 기판에 대한 증착입자의 증착은 증착물질의 담겨 있는 증발원(40)의 도가니에 열을 가하여 도가니에서 승화되는 증착입자를 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다.
증발원 이송유닛(10)은, 미리 결정된 이동경로에 따라 증발원(40)을 제1 증착영역(14)과 제2 증착영역(16) 간을 왕복 이동시킨다. 증발원(40)이 증착 챔버(12)의 제1 증착영역(14)과 제2 증착영역(16) 간을 이동하는 과정에서 증발원(40)에서 분출되는 증착입자가 기판 상에 증착이 이루어지는데, 증발원 이송유닛(10)은 증발원(40)을 미리 결정된 이동경로를 따라 증착영역 간을 왕복 이동시키게 된다.
증발원 이송유닛(10)에는 선형의 증발원(40)이 결합되며, 증발원 이송유닛(10)에 의해 증발원(40)이 제1 증착영역(14)과 제2 증착영역(16) 간을 이동하면서 기판에 대한 증착입자의 증착이 이루어진다.
미리 결정된 이동경로는, 도 1에 도시된 바와 같이, 증발원(40)의 이동을 가이드하기 위하여 제1 증착영역(14)과 제2 증착영역(16)을 걸쳐 설치되는 레일, 리니어 가이드(linear guide) 등을 포함할 수 있다. 본 실시예에서는 이동경로로서 상측레일(38)과 하측레일(36)로 구성된 형태를 제시한다.
제1 기판 로딩부(28)에는 제1 기판(32)이 로딩되어 안착되며, 제1 기판 로딩부(28)는 제1 증착영역(14)의 이동경로에 대해 제1 기판(32)의 일변이 수직을 이루도록 제1 기판(32)을 회전시킨다.
제2 기판 로딩부(30)에는 제2 기판(34)이 로딩되어 안착되며, 제2 기판 로딩부(30)는 제2 증착영역(16)의 이동경로에 대해 제2 기판(34)의 일변이 수직을 이루도록 제2 기판(34)을 회전시킨다.
본 실시예에 있어, '수직', '평행'등은 기하학적인 수직 또는 평행뿐만 아니라 설치 상의 오차, 가공 상의 오차 등을 고려한 실질적인 수직 또는 평행을 의미한다.
본 실시예에서는, 증발원(40)에서 증착입자가 상향으로 분출되어 기판에 증착입자의 증착이 이루어질 수 있도록 제1 기판 로딩부(28) 및 제2 기판 로딩부(30)의 하부에 제1 기판(32) 및 제2 기판(34)이 각각 부착된다.
제1 기판 로딩부(28) 및 제2 기판 로딩부(30)에 제1 기판(32)과 제2 기판(34)이 각각 로딩되어 안착되면 각 기판 로딩부(28, 30)에서는 마스크(33)가 기판의 표면에 배치되고, 기판과 마스크(33)는 서로 얼라인이 이루어질 수 있다.
기판에 기판 로딩부에 안착되면, 제1 기판 로딩부(28)은 제1 증착영역(14)의 이동경로에 대해 제1 기판(32)의 일변이 수직을 이루도록 제1 기판(32)을 회전시키고, 제2 기판 로딩부(30)는 제2 증착영역(16)의 이동경로에 대해 제2 기판(34)의 일변이 수직을 이루도록 제2 기판(34)을 회전시키게 된다.
증발원(40)은, 기판의 폭에 대응하여 선형으로 구성되는데, 이러한 선형의 증발원(40)은 상술한 이동경로에 대해 수직을 이루어 배치될 수 있고, 이러한 선형의 증발원(40)이 이동경로를 따라 이동하는 과정에서 기판에 대한 증착이 수행될 수 있도록 기판 로딩부(28, 30)가 기판의 일변이 이동경로와 수직을 이루도록 기판을 회전시킨다.
그리고, 기판(32, 34)은 장변과 단변으로 구성된 직사각형 형태이거나 네변의 길이가 동일한 정사각형 형태일 수 있는데, 기판(32, 34)이 직사각형 형태인 경우, 기판 로딩부(28, 30)에 의해 장변 또는 단변이 이동경로에 대해 수직을 이루도록 기판(32, 34)이 회전될 수 있다.
도 1의 좌측을 보면, 직사각형 형태의 기판(34)이 증착 챔버(12) 내로 인입되어 제2 기판 로딩부(30)에 안착된 후, 단변이 이동경로에 대해 수직을 이루도록 회전된 상태(점선으로 표시)가 도시하고 있다. 단변이 이동경로에 대해 수직을 이루도록 회전된 상태에서는 기판(34)의 장변이 이동경로에 평행하게 배치되고 선형의 증발원(40)은 기판(34)의 장변을 따라 이동하면서 기판(34)에 대한 증착을 수행하게 된다. 한편, 이와 달리 기판의 장변이 이동경로에 대해 수직을 이루도록 회전된 상태에서는 기판의 단변이 이동경로에 평행하게 배치되고 선형의 증발원(40)은 기판의 단변을 따라 이동하면서 기판에 대한 증착을 수행하게 된다. 즉, 기판 로딩부(28, 30)에 의한 기판(32, 34)의 회전을 조절하여 기판(32, 34)의 증착방향을 결정할 수 있다.
이하에서는 증발원(40)을 제1 증착영역(14)과 제2 증착영역(16) 간을 왕복 이동시키는 증발원 이송유닛(10)에 대해 자세히 살펴보기로 한다.
증발원 이송유닛(10)은, 제1 방사 방향(20)과 제2 방사 방향(22)을 가로지르는 하측레일(36)과, 하측레일(36)과 이격되어 평행을 이루는 상측레일(38)과, 선형의 증발원(40)이 결합되며 하측레일(36)과 상측레일(38)을 따라 왕복 이동하는 이송부(54)을 포함한다.
제1 방사 방향(20)과 제2 방사 방향(22)을 가로지르는 하측레일(36) 및 상측레일(38)은 상술한 증발원(40)의 이동경로를 설정한다. 하측레일(36)과 상측레일(38) 각각은 도 1에 도시된 바와 같이, 직선구간, 곡선구간 및 직선구간을 이루도록 구성되거나, 하나의 직선구간을 이루도록 구성될 수 있다.
하측레일(36)은, 제1 방사 방향(20)을 가로지르는 선형의 제1 레일(42)과, 제2 방사 방향(22)을 가로지르는 선형의 제2 레일(44)과, 제1 레일(42)과 제2 레일(44)을 연결하는 제3 레일(46)을 포함할 수 있으며, 상측레일(38)은, 제1 레일(42)과 이격되어 평행을 이루는 선형의 제4 레일(48)과, 제2 레일(44)과 이격되어 평행을 이루는 선형의 제5 레일(50)과, 제4 레일(48)과 제5 레일(50)을 연결하는 제6 레일(52)을 포함할 수 있다.
제1 레일(42), 제2 레일(44) 및 제3 레일(46)이 일체적으로 직선 형태로 연결된 경우에는 하나의 직선구간으로 구성된 하측레일(36)이 구성되고, 제4 레일(48), 제5 레일(50) 및 제6 레일(52)이 일체적으로 직선 형태로 연결된 경우에는 하측레일(36)과 평행을 이루는 하나의 직선구간으로 구성된 상측레일(38)을 구성하게 된다.
본 실시예에서는, 제1 방사 방향(20)을 가로지르는 제1 레일(42) 및 제2 방사 방향(22)을 가로지르는 제2 레일(44)이 각각 직선구간을 형성하고, 제3 레일(46)이 곡선 형태로 제1 레일(42)과 제2 레일(44)을 연결하여 직선구간, 곡선구간 및 직선구간으로 구성된 하측레일(36)을 형성한 형태를 제시한다. 또한, 제1 레일(42)과 평행하게 이격되어 제1 방사 방향(20)을 가로지르는 제4 레일(48) 및 제2 레일(44)과 평행하게 이격되어 제2 방사 방향(22)을 가로지르는 제5 레일(50)이 각각 직선구간을 형성하고, 제6 레일(52)이 곡선 형태로 제4 레일(48)과 제5 레일(50)을 연결하여 직선구간, 곡선구간 및 직선구간으로 구성된 상측레일(38)을 형성한 형태를 제시한다.
하측레일(36)과 상측레일(38)은 서로 일정 간격 이격되어 설치되는데, 하측레일(36)과 상측레일(38)로 선형의 증발원(40)을 안정되게 지지할 수 있다. 증착이 이루어지는 유리기판이 대형화됨에 따라 선형의 증발원(40) 또한 대형화되고 있고 이에 따라 증발원(40)이 무게가 증가되고 있다. 따라서 중량의 증발원(40)을 안정적으로 지지하면서 이동을 원활히 가이드하기 위해 하측레일(36)과 상측레일(38)을 쌍으로 구성한 것이다.
이송부(54)에는 선형의 증발원(40)이 결합되며, 증발원(40)이 결합된 이송부(54)는 상술한 하측레일(36) 및 상측레일(38)에 의해 지지되면서 하측레일(36)과 상측레일(38)을 따라 왕복 이동하게 된다.
선형의 증발원(40)은 하측레일(36)과 상측레일(38)의 직선구간에 수직을 이루도록 이송부(54)에 결합된 상태에서 각 직선구간을 따라 기판의 일변 방향에서 대향하는 타변 방향으로 이동하면서 기판 전체에 대한 증착이 이루어진다.
한편, 하측레일(36)의 제1 레일(42)과 상측레일(38)의 제4 레일(48)은 제1 방사 방향(20)에 수직을 이루도록 설치되고, 하측레일(36)의 제2 레일(44)과 상측레일(38)의 제5 레일(50)은 제2 방사 방향(22)에 수직을 이루도록 설치될 수 있다.
하측레일(36)의 제1 레일(42)과 상측레일(38)의 제4 레일(48)은 제1 증착영역(14)에서 직선구간을 형성하고, 하측레일(36)의 제2 레일(44)과 상측레일(38)의 제5 레일(50)은 제2 증착영역(16)에서 직선구간을 형성한다. 제1 증착영역(14)의 직선구간은 제1 방사 방향(20)에 대해 수직을 이루고, 제2 증착영역(16)의 직선구간은 제2 방사 방향(22)에 대해 수직을 이루게 된다. 이로 인해 제1 증착영역(14)의 직선구간과 제2 증착영역(16)의 직선구간이 제1 방사 방향(20), 중심점(18), 제2 방사 방향(22)이 형성하는 각도만큼 틀어지게 된다. 따라서 직선구간을 연결하기 위한 곡선구간이 필요하다. 즉, 하측레일(36)의 제1 레일(42)과 제2 레일(44)은 곡선의 제3 레일(46)이 연결되고, 상측레일(38)의 제4 레일(48)과 제5 레일(50)은 곡선의 제6 레일(52)이 연결하게 된다. 이때, 하측레일(36)과 상측레일(38)의 이격 거리로 인해 제3 레일(46)에 비해 제6 레일(52)이 큰 곡률반경으로 제4 레일(48)과 제5 레일(50)을 연결하게 된다.
이송부(54)는, 하측레일(36)과 상측레일(38)을 따라 왕복 이동하는데, 선형의 증발원(40)이 하측레일(36)과 상측레일(38)의 직선구간과 수직을 이루도록 이송부(54)에 결합된다. 따라서, 선형의 증발원(40)이 직선구간에 수직을 이루도록 이송부(54)에 결합된 상태에서 직선구간을 따라 이동하면 기판의 일변 방향에서 대향하는 타변 방향으로 이동하면서 기판 전체에 대한 증착이 이루어진다.
이송부(54)는, 제1 증착영역(14)의 하측레일(36)과 상측레일(38)의 직선구간을 이동하고, 하측레일(36)과 상측레일(38)의 곡선구간을 통과한 후, 제2 증착영역(16)의 하측레일(36)과 상측레일(38)의 직선구간을 이동한다. 또한, 반대 방향으로 제2 증착영역(16)의 하측레일(36)과 상측레일(38)의 직선구간을 이동하고, 하측레일(36)과 상측레일(38)의 곡선구간을 통과한 후, 제1 증착영역(14)의 하측레일(36)과 상측레일(38)의 직선구간을 이동한다. 이와 같이, 이송부(54)는 하측레일(36)과 상측레일(38)을 따라 왕복 운동을 반복하게 된다.
상기와 같은 증착 장치를 이용하여 기판에 대한 증착입자의 증착과정을 살펴 보면, 먼저, 제1 증착영역(14)의 상측레일(38) 및 하측레일(36)의 단부로 이송부(54)를 이동시킨다. 이송부(54)가 제1 증착영역(14)에서 제2 증착영역(16)으로 이동함에 따라 기판에 대한 증착이 이루어지기 때문에 이송부(54)를 제1 증착영역(14)의 상측레일(38) 및 하측레일(36)의 단부(도 3을 참조하면 제1 증착영역(14)의 우측 단부)로 이동시키는 것이다.
다음에, 제1 기판(32)을 제1 방사 방향(20)으로 로딩하여 제1 기판 로딩부(28)에 안착시킨다. 로봇 암(26)에 의해 제1 기판(32)이 증착 챔버(12)의 제1 기판 로딩부(28)에 안착되는 경우, 중심점(18)을 구성하는 로봇 암(26)의 회전 중심에 대해 제1 방사 방향(20)으로 제1 기판(32)이 제1 기판 로딩부(28)에 안착된다.
본 단계에서 제1 기판(32)이 제1 기판 로딩부(28)에 안착되면 마스크(33)를 제1 기판(32)의 표면에 배치하고 제1 기판(32)과 마스크(33)의 얼라인이 이루어진다. 제1 기판 로딩부(28)에 제1 기판(32)이 로딩되면, 제1 기판 로딩부(28)은 제1 증착영역(14)의 이동경로에 대해 제1 기판(32)의 일변이 수직을 이루도록 제1 기판(32)을 회전시키게 된다.
제1 기판(32)의 로딩 과정에서 제1 증착영역(14)의 상측레일(38) 및 하측레일(36)의 단부로 이송부(54)를 이동시키는 것도 가능하다.
본 실시예에서는 하측레일(36)의 제1 레일(42)과 상측레일(38)의 제4 레일(48)이 제1 방사 방향(20)에 수직을 이루도록 설치되어 있으므로 제1 기판 로딩부(28)에 제1 기판(32)이 로딩되면 제1 기판(32)의 일변이 이동경로에 대해 수직을 이루게 되나 로딩 과정이나 얼라인 과정에서 각도가 틀어질 수 있으므로 제1 기판 로딩부(28)에 의해 제1 기판(32)의 일변이 이동경로에 대해 수직을 이루도록 기판을 회전시킬 수 있다. 그리고, 상술한 바와 같이, 제1 기판 로딩부(28)에 의한 제1 기판(32)의 회전을 조절하여 제1 기판(32)의 증착방향을 결정하는 것도 가능하다.
한편, 하측레일(36)의 제1 레일(42)과 상측레일(38)의 제4 레일(48)이 제1 방사 방향(20)에 수직을 이루지 않게 설치된 경우에는 제1 기판 로딩부(28)에 제1 기판(32)이 로딩되면 제1 기판(32)의 일변이 이동경로에 대해 수직을 이루지 않게 되므로 제1 기판 로딩부(28)에 의해 제1 기판(32)의 일변이 하측레일(36)의 제1 레일(42)과 상측레일(38)의 제4 레일(48)에 대해 수직을 이루도록 기판을 회전시킬 수 있다.
다음에, 이송부(54)을 제1 레일(42) 및 제4 레일(48)을 따라 이동시켜 제1 기판(32)에 증착입자를 증착시킨다. 직선구간에 수직으로 배치되는 선형의 증발원(40)을 제1 증착영역(14)의 하측레일(36)과 상측레일(38)의 직선구간을 따라 이동시킴에 따라 제1 기판(32)의 일변 방향에서 대향하는 타변 방향으로 이동하면서 기판 전체에 대한 증착이 이루어진다.
제1 기판(32)에 대한 증착입자의 증착이 완료되면, 증착이 완료된 제1 기판(32)을 증착 챔버(12)에서 인출시키고, 새로운 제1 기판(32)을 제1 방사 방향(20)으로 로딩하여 제1 기판 로딩부(28)에 안착시킨다.
다음에, 제1 기판(32)에 증발입자를 증착시키는 단계와 동시에 제2 기판(34)을 제2 방사 방향(22)으로 로딩하여 제2 기판 로딩부(30)에 안착시킨다. 제1 기판(32)에 대한 증착 공정 중에 제2 기판(34)을 제2 기판 로딩부(30)에 안착시켜 택 타임을 줄일 수 있고, 제1 기판(32)에 대한 증착 공정 중에 제2 기판(34)의 로딩이 이루어져 증착입자 재료의 손실을 줄일 수 있다. 본 단계에서 제2 기판(34)이 제2 기판 로딩부(30)에 안착되면 마스크(33)를 제2 기판(34)의 표면에 배치하고 제2 기판(34)과 마스크(33)의 얼라인이 이루어진다.
본 단계에서도 마찬가지로, 하측레일(36)의 제2 레일(44)과 상측레일(38)의 제5 레일(50)이 제2 방사 방향(22)에 수직을 이루도록 설치되어 있으므로 제2 기판 로딩부(30)에 제2 기판(34)이 로딩되면 제2 기판(34)의 일변이 이동경로에 대해 수직을 이루게 되나 로딩 과정이나 얼라인 과정에서 각도가 틀어질 수 있으므로 제2 기판 로딩부(30)에 의해 제2 기판(34)의 일변이 이동경로에 대해 수직을 이루도록 제2 기판(34)을 회전시킬 수 있다. 그리고, 제2 기판 로딩부(30)에 의한 제2 기판(34)의 회전을 조절하여 제2 기판(34)의 증착방향을 결정하는 것도 가능하다.
한편, 하측레일(36)의 제2 레일(44)과 상측레일(38)의 제5 레일(50)이 제2 방사 방향(22)에 수직을 이루지 않게 설치된 경우에는 제2 기판 로딩부(30)에 제2 기판(34)이 로딩되면 제2 기판(34)의 일변이 이동경로에 대해 수직을 이루지 않게 되므로 제2 기판 로딩부(30)에 의해 제2 기판(34)의 일변이 하측레일(36)의 제2 레일(44)과 상측레일(38)의 제5 레일(50)에 대해 수직을 이루도록 제2 기판(34)을 회전시킬 수 있다.
본 실시예에서 '동시에'라는 의미는 시간적으로 동일하다는 의미뿐만 아니라 제1 기판(32)에 대한 증착 공정과 제2 기판(34)의 로딩 공정이 겹쳐서 이루어진다는 의미를 포함한다.
다음에, 이송부(54)를 곡선의 제3 레일(46) 및 제6 레일(52)을 통과시키고, 제2 레일(44) 및 제5 레일(50)을 따라 이동시켜 제2 기판(34)에 증발입자를 증착시킨다. 이송부(54)가 제1 증착영역(14)의 직선구간을 통과하고 곡선구간을 통과하면서 제2 증착영역(16)의 직선구간으로 진입하고, 제2 직선구간에 진입한 이송부(54)를 제2 증착영역(16)의 하측레일(36)과 상측레일(38)의 직선구간을 따라 이동시킴에 따라 제2 기판(34)의 일변 방향에서 대향하는 타변 방향으로 이동하면서 기판 전체에 대한 증착이 이루어진다.
제2 기판(34)에 대한 증착 공정이 완료되면, 증착입자의 증착이 완료된 제2 기판(34)을 증착 챔버(12)에서 제2 방사 방향(22)으로 인출시키고, 새로운 제2 기판(34)을 제2 기판 로딩부(30)로 로딩하여 안착시킨다. 새로운 제2 기판(34)이 제2 기판 로딩부(30)에 안착되면 마스크(33)와 얼라인하고 다음의 증착 공정을 위해 대기한다.
상술한 방법에 따라, 하나의 챔버 내에서 복수의 기판에 대해 증착공정을 진행하되, 하나의 기판의 증착공정 중에 다른 기판에 대한 이송공정 또는 얼라인공정을 진행하여 택 타임(tact time)을 줄일 수 있고, 기판에 대한 이송공정 또는 얼라인공정 중에 발생하는 증착재료의 손실을 줄일 수 있다.
이하에서는, 증발원 이송유닛(10)의 각 구성에 대해서 자세히 살펴보기로 한다. 도 4는 도 2의 A 부분을 확대한 도면이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원 이송유닛(10)을 간략히 도시한 측면도이며, 도 6 내지 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원 이송유닛(10)의 작동과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 4 내지 도 8에는 하측레일(36), 상측레일(38), 제1 레일(42), 제2 레일(44), 제3 레일(46), 제4 레일(48), 제5 레일(50), 제6 레일(52), 이송부(54), 제1 슬라이더(56), 제2 슬라이더(58), 소스지지대(60), 이동블록(62, 68), 회전블록(64, 70), 슬라이딩바(66), 래크레일(72), 피니언(74), 모터부(76)가 도시되어 있다.
하측레일(36)은, 제1 방사 방향(20)을 가로지르는 선형의 제1 레일(42)과, 제2 방사 방향(22)을 가로지르는 선형의 제2 레일(44)과, 제1 레일(42)과 제2 레일(44)을 연결하는 곡선의 제3 레일(46)로 구성될 수 있다.
상측레일(38)은, 제1 레일(42)과 이격되어 평행을 이루는 선형의 제4 레일(48)과, 제2 레일(44)과 이격되어 평행을 이루는 선형의 제5 레일(50)과, 제4 레일(48)과 제5 레일(50)을 연결하는 곡선의 제6 레일(52)로 구성될 수 있다.
이에 따라, 제1 방사 방향(20)을 가로지르는 제1 레일(42) 및 제2 방사 방향(22)을 가로지르는 제2 레일(44)은 각각 직선구간을 형성하고, 제3 레일(46)이 곡선 형태로 제1 레일(42)과 제2 레일(44)을 연결하여 직선구간, 곡선구간 및 직선구간으로 구성된 하측레일(36)을 형성하며, 제1 레일(42)과 평행하게 이격되어 제1 방사 방향(20)을 가로지르는 제4 레일(48) 및 제2 레일(44)과 평행하게 이격되어 제2 방사 방향(22)을 가로지르는 제5 레일(50)이 각각 직선구간을 형성하고, 제6 레일(52)이 곡선 형태로 제4 레일(48)과 제5 레일(50)을 연결하여 직선구간, 곡선구간 및 직선구간으로 구성된 상측레일(38)을 형성하게 된다.
하측레일(36)의 제1 레일(42)과 상측레일(38)의 제4 레일(48)은 직선구간을 형성하고, 하측레일(36)의 제2 레일(44)과 상측레일(38)의 제5 레일(50)은 제2 증착영역(16)에서 직선구간을 형성한다.
한편, 하측레일(36)의 제1 레일(42)과 상측레일(38)의 제4 레일(48)은 제1 방사 방향(20)에 수직을 이루도록 설치되고, 하측레일(36)의 제2 레일(44)과 상측레일(38)의 제5 레일(50)은 제2 방사 방향(22)에 수직을 이루도록 설치될 수 있다. 이 경우, 제1 방사 방향(20)에 수직인 직선구간과 제2 방사 방향(22)에 수직인 직선구간은 제1 방사 방향(20), 중심점(18), 제2 방사 방향(22)이 형성하는 각도만큼 틀어지게 되고, 하측레일(36)의 제1 레일(42)과 제2 레일(44)은 곡선의 제3 레일(46)이 연결되고, 상측레일(38)의 제4 레일(48)과 제5 레일(50)은 곡선의 제6 레일(52)이 연결하게 된다. 이때, 하측레일(36)과 상측레일(38)의 이격 거리로 인해 제3 레일(46)에 비해 제6 레일(52)이 큰 곡률반경으로 제4 레일(48)과 제5 레일(50)을 연결하게 된다.
곡선의 제3 레일(46) 및 제6 레일(52)은 완전한 곡선레일로 이루어지거나 여러 개의 직선 레일을 순차적으로 연결하여 곡선 형태로 배치한 것도 가능하다.
이송부(54)는, 하측레일(36)과 상측레일(38)을 따라 이동하도록 하측레일(36)과 상측레일(38)에 대향하여 각각 결합되는 한 쌍의 제1 슬라이더(56)와, 한 쌍의 제1 슬라이더(56)에 각각 이격되며, 하측레일(36)과 상측레일(38)을 따라 이동하도록 하측레일(36)과 상측레일(38)에 대향하여 각각 결합되는 한 쌍의 제2 슬라이더(58)를 포함한다.
제1 슬라이더(56)는, 하측레일(36) 또는 상측레일(38)을 따라 이동하는 이동블록(68)과, 이동블록(68)의 상측에 수평 방향으로 회전가능하게 결합되는 회전블록(70)을 포함하며, 제2 슬라이더(58)는, 하측레일(36) 또는 상측레일(38)을 따라 이동하는 이동블록(62)과, 이동블록(62)의 상측에 수평 방향으로 회전가능하게 결합되는 회전블록(64)과, 상기 회전블록(64)에 대해 슬라이딩되도록 상기 회전블록(64)에 결합되는 슬라이딩바(66)를 포함한다.
본 실시예에 있어서는, 도 3에 도시된 바와 같이, 각 레일마다 제1 슬라이더(56)를 중심으로 두 개의 제2 슬라이더(58)가 양측에 배치된 형태를 제시한다.
제1 슬라이더(56) 및 제2 슬라이더(58)의 이동블록(62, 68)은 하측레일(36)과 상측레일(38)에 결합되어 각 레일을 따라 이동한다. 이동블록(62, 68)에는 레일의 형상에 상응하여 요홈이 형성될 수 있고 이동블록(62, 68)의 요홈에 레일이 삽입되어 이동블록(62, 68)의 이탈을 방지할 수 있다.
제1 슬라이더(56)의 회전블록(70)은 제1 슬라이더(56)의 이동블록(68)의 상측에 결합되어 수평방향으로 회전된다. 이동블록(68)과 회전블록(70) 사이에는 원형 베어링이 결합되어 이동블록(68)에 대해 회전블록(70)의 회전이 원활히 이루어질 수 있다.
제2 슬라이더(58)의 회전블록(64) 또한 제2 슬라이더(58)의 이동블록(62)의 상측에 결합되어 수평방향으로 회전이 이루어진다.
제2 슬라이더(58)의 슬라이딩바(66)는 제2 슬라이더(58)의 회전블록(64)에 결합되는데, 회전블록(64)에 대해 수평방향으로 왕복 슬라이딩이 가능하다. 회전블록(64)과 이에 대해 슬라이딩되는 슬라이딩바(66) 사이에는 수평방향으로 직선이동을 원활히 유도하는 베어링이 개재되어 안정적인 슬라이딩이 되도록 할 수 있다.
하측레일(36)과 상측레일(38)에 배치된 제1 슬라이더(56)와 제2 슬라이더(58)에는 선형의 증발원(40)이 하측레일(36)과 상측레일(38)에 대해 수직을 이루도록 결합된다. 본 실시예에서는 별도의 소스지지대(60)를 구비하여 소스지지대(60)에 증발원(40)이 결합되는 형태를 제시한다. 즉, 하측레일(36)과 상측레일(38)에 배치된 제1 슬라이더(56)와 제2 슬라이더(58)에 소스지지대(60)를 결합하고, 소스지지대(60)에 선형의 증발원(40)을 결합한 형태이다.
한편, 이송부(54)의 이동을 위해 구동력을 제공하기 위한 구동부는, 하측레일(36) 상측레일(38)의 외측으로 일정 간격 이격되어 상측레일(38) 및 상기 하측레일(36)을 따라 각각 배치되는 래크레일(72)과, 래크레일(72)에 치합되는 피니언(74)과, 피니언(74)에 회전력을 제공하며, 소스지지대(60)에 결합되는 모터부(76)로 구성될 수 있다.
래크레일(72)은 하측레일(36)과 상측레일(38)의 외측에 각각 상측레일(38) 및 상기 하측레일(36)을 따라 배치되고 각 래크레일(72)에는 피니언(74)이 치합된다. 피니언(74)에 회전력을 제공하는 모터 등의 모터부(76)는 소스지지대(60)의 상단과 하단에 각각 결합되어 피니언(74)에 회전력을 제공한다.
하측레일(36)의 외측에 배치된 구동부는 소스지지대(60) 하단의 이동을 제어하며, 상측레일(38)의 외측에 배치된 구동부는 소스지지대(60) 상단의 이동을 제어하게 된다.
도 6 내지 도 8은 참고하여, 증발원 이송유닛(10)의 작동과정을 설명하면, 우측의 직선구간에서는 소스지지대(60)의 하단과 상단에서 동일한 속도로 이송부(54)가 이동한다. 그리고, 도 6에 도시된 바와 같이, 곡선구간에 진입하게 되는데, 이송부(54)의 선단에 위치한 제2 슬라이더(58)가 곡선구간에 진입함에 따라 최선단의 제2 슬라이더(58)의 회전블록(64)이 회전되면서 슬라이딩바(66)가 회전블록(64)에 대해 상향으로 슬라이딩된다. 이때, 하측레일(36)의 곡선구간은 작은 곡률반경으로 짧게 형성되고, 상측레일(38)의 곡선구간은 큰 곡률반경으로 길게 형성되어 있기 때문에, 소스지지대(60)의 하단에 비해 소스지지대(60)의 상단은 빠른 속도로 이동한다. 다음에, 이송부(54)의 지속적인 이동으로 최선단의 제2 슬라이더(58)의 후단에 위치한 제1 슬라이더(56)의 회전블록(70)이 회전되면서 제1 슬라이더(56)가 곡선구간으로 진입된다. 도 7은 이송부(54)가 곡선구간의 중앙에 위치한 상태를 도시한 도면으로, 이송부(54)의 지속적인 이동으로 최후단의 제2 슬라이더(58)가 곡선구간에 진입하게 되고, 최후단의 제2 슬라이더(58)의 회전블록(64)이 회전되면서 슬라이딩바(66)가 회전블록(64)에 대해 상향으로 슬라이딩된다. 다음에, 도 8에 도시된 바와 같이, 이송부(54)의 지속적인 이동으로 최선단의 제2 슬라이더(58)가 좌측의 직선구간에 진입함에 따라 최선단의 제2 슬라이더(58)의 회전블록(64)이 회전되면서 슬라이딩바(66)가 회전블록(64)에 대해 하향으로 슬라이딩되면서 원위치로 복귀한다. 그리고, 이송부(54)의 지속적인 이동으로 최선단의 제2 슬라이더(58)의 후단에 위치한 제1 슬라이더(56)의 회전블록(70)이 회전되면서 제1 슬라이더(56)가 직선구간으로 진입된다. 그리고, 이송부(54)의 지속적인 이동으로 최후단의 제2 슬라이더(58)가 직선구간으로 진입하면서, 최후단의 제2 슬라이더(58)의 회전블록(64)이 회전되면서 슬라이딩바(66)가 회전블록(64)에 대해 하향으로 슬라이딩되면서 원위치로 복귀하게 된다. 좌측의 직선구간에 완전히 진입하면, 각 회전블록(64, 70)과 슬라이딩바(66)는 원위치로 복귀되고 좌측의 직선구간을 따라 이송부(54)가 이동된다. 상술한 바와 같이, 이송부(54)가 곡선구간으로 통과할 때에는 이송부(54)의 하단과 상단의 이동속도 및 이동거리를 달리하여야 하기 때문에 이송부(54)의 하단과 상단에 각각 결합된 구동부가 이송부(54)의 하단과 상단의 이동속도 및 이동거리를 조절하게 된다.
상기에서는 본 발명의 특정의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
전술한 실시예 외의 많은 실시예들이 본 발명의 특허청구범위 내에 존재한다.
10: 증발원 이송유닛 12: 증착 챔버
14: 제1 증착영역 16: 제2 증착영역
18: 중심점 20: 제1 방사 방향
22: 제2 방사 방향 24: 트랜스퍼 챔버
26: 로봇 암 28: 제1 기판 로딩부
30: 제2 기판 로딩부 32: 제1 기판
33: 마스크 34: 제2 기판
36: 하측레일 38: 상측레일
40: 증발원 42: 제1 레일
44: 제2 레일 46: 제3 레일
48: 제4 레일 50: 제5 레일
52: 제6 레일 54: 이송부
56: 제1 슬라이더 58: 제2 슬라이더
60: 소스지지대 62, 68: 이동블록
64, 70: 회전블록 66: 슬라이딩바
72: 래크레일 74: 피니언
76: 모터부

Claims (7)

  1. 제1 증착영역과 제2 증착영역으로 구획되며, 하나의 중심점에서 제1 방사 방향으로 제1 기판이 상기 제1 증착영역에 인출입되고, 상기 중심점에서 제2 방사 방향으로 제2 기판이 상기 제2 증착영역에 인출입되는 증착 챔버와;
    상기 증착 챔버 내에 배치되며 상기 제1 기판 또는 상기 제2 기판에 대향하여 증착입자를 분사하는 선형의 증발원과;
    미리 결정된 이동경로에 따라 상기 증발원을 상기 제1 증착영역과 상기 제2 증착영역 간을 왕복 이동시키는 증발원 이송유닛과;
    상기 제1 기판이 로딩되어 안착되며, 상기 제1 증착영역의 상기 이동경로에 대해 일변이 수직을 이루도록 상기 제1 기판을 회전시키는 제1 기판 로딩부; 및
    상기 제2 기판이 로딩되어 안착되며, 상기 제2 증착영역의 상기 이동경로에 대해 일변이 수직을 이루도록 상기 제2 기판을 회전시키는 제2 기판 로딩부를 포함하며,
    상기 증발원 이송유닛은,
    상기 제1 방사 방향과 상기 제2 방사 방향을 가로지르는 하측레일과;
    상기 하측레일과 이격되어 평행을 이루는 상측레일과;
    상기 선형의 증발원이 결합되며, 상기 하측레일과 상기 상측레일을 따라 왕복 이동하는 이송부를 포함하며,
    상기 하측레일은,
    상기 제1 방사 방향을 가로지르는 선형의 제1 레일과, 상기 제2 방사 방향을 가로지르는 선형의 제2 레일과, 상기 제1 레일과 상기 제2 레일을 연결하는 제3 레일을 포함하며,
    상기 상측레일은,
    상기 제1 레일과 이격되어 평행을 이루는 선형의 제4 레일과, 상기 제2 레일과 이격되어 평행을 이루는 선형의 제5 레일과, 상기 제4 레일과 상기 제5 레일을 연결하는 제6 레일을 포함하며,
    상기 선형의 제1 레일은, 상기 제1 방사 방향에 수직을 이루고,
    상기 선형의 제2 레일은, 상기 제2 방사 방향에 수직을 이루며,
    상기 제3 레일은 곡선 형태로 상기 제1 레일과 상기 제2 레일을 연결하고,
    상기 제6 레일은 곡선 형태로 상기 제4 레일과 상기 제5 레일을 연결하는 것을 특징으로 하는, 증착 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 이송부는,
    상기 하측레일과 상기 상측레일을 따라 이동하도록 상기 하측레일과 상기 상측레일에 대향하여 각각 결합되는 한 쌍의 제1 슬라이더와;
    상기 한 쌍의 제1 슬라이더에 각각 이격되며, 상기 하측레일과 상기 상측레일을 따라 이동하도록 상기 하측레일과 상기 상측레일에 대향하여 각각 결합되는 상기 한 쌍의 제2 슬라이더를 포함하며,
    상기 제1 슬라이더는,
    상기 하측레일 또는 상기 상측레일을 따라 이동하는 이동블록과, 상기 이동블록의 상측에 수평 방향으로 회전가능하게 결합되는 회전블록을 포함하며,
    상기 제2 슬라이더는,
    상기 하측레일 또는 상기 상측레일을 따라 이동하는 이동블록과, 상기 이동블록의 상측에 수평 방향으로 회전가능하게 결합되는 회전블록과, 상기 제1 방사 방향에 수직방향으로 슬라이딩되도록 상기 회전블록에 결합되는 슬라이딩바를 포함하는 것을 특징으로 하는, 증착 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제1 슬라이더와 상기 제2 슬라이더에 지지되는 소스지지대를 더 포함하며,
    상기 증발원은 상기 소스지지대에 결합되는 것을 특징으로 하는, 증착 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 하측레일 및 상측레일의 외측으로 일정 간격 이격되어 상기 상측레일 및 상기 하측레일을 따라 각각 배치되는 래크레일과;
    상기 래크레일에 치합되는 피니언과;
    상기 피니언에 회전력을 제공하며, 상기 소스지지대에 결합되는 모터부를 더 포함하는, 증착 장치.

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