KR20170109572A - 발광 장치, 교정 계수의 산출 방법 및 검사 대상물의 촬상 화상의 교정 방법 - Google Patents

발광 장치, 교정 계수의 산출 방법 및 검사 대상물의 촬상 화상의 교정 방법 Download PDF

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Abstract

제조 비용을 저렴하게 억제하고, 또한 간이한 구성에 의해, 균일성이 높은 발광을 행할 수 있는 발광 장치, 이 발광 장치를 사용한 교정 계수의 산출 방법, 및 산출된 교정 계수에 기초하여 검사 대상물의 촬상 화상을 교정하는 검사 대상물의 촬상 화상의 교정 방법을 제공한다. 가상원 R의 원주 상에 등간격으로 배치된 복수의 발광 다이오드(32), 발광 다이오드(32)로부터 이격된 천장면부(22)에 설치되며 발광 다이오드(32)가 배치된 원주보다도 작은 외연(24a)을 갖고 발광 다이오드(32)의 광을 투과시키는 유백색으로 착색된 출사창(24)을 구비하고, 발광 다이오드(32)가 배치된 가상원 R의 반경과, 발광 다이오드(32)와 출사창(24) 사이의 이격 거리 d가 소정의 거리로 설정되어 있다.

Description

발광 장치, 교정 계수의 산출 방법 및 검사 대상물의 촬상 화상의 교정 방법
본 발명은 발광 장치, 이 발광 장치를 사용한 교정 계수의 산출 방법 및 산출된 교정 계수에 기초하여 검사 대상물의 촬상 화상을 교정하는 검사 대상물의 촬상 화상의 교정 방법에 관한 것이다.
액정 패널이나 유기 EL 패널 등의 표시 패널에서는, 일반적으로, 제조 공정에 있어서의 가공 정밀도의 변동에 의해, 표시 불균일이 발생하는 경우가 있다. 따라서, 표시 패널을 출하하기 전에, 표시 패널의 표시 불균일을 검지하기 위한 검사가 행해진다.
이 검사에서는, 표시 패널의 각 픽셀을 점등시키고, 고체 촬상 소자를 구비한 카메라로 각 픽셀을 촬상하여 각 픽셀의 휘도를 측정함으로써, 표시 불균일이 검지된다. 검지된 표시 불균일은 보정되어, 표시 패널의 화질의 개선이 도모된다.
한편, 카메라의 고체 촬상 소자는 각 소자에서 감도의 변동이 있고, 또한, 카메라의 렌즈를 개재시켜 고체 촬상 소자가 수광하는 광량은, 렌즈의 중심 부분으로부터의 수광량에 비해 렌즈의 주변 부분으로부터의 수광량쪽이 적어지는 경향이 있어, 중심 부분과 주변 부분에서 명암의 차가 발생한다.
이와 같이, 검사를 행하는 카메라측의 고체 촬상 소자의 감도에 변동이 있거나, 렌즈를 개재시킨 상태 하에서의 고체 촬상 소자의 수광량이 각 소자에서 상이하거나 하면, 검사 대상인 표시 패널에 문제가 없는 경우라도, 카메라에 의해 촬상된 표시 패널의 촬상 화상에, 표시 패널에 본래는 존재하지 않는 불균일이 촬상되게 되어, 표시 패널의 적정한 검사 결과를 얻을 수 없게 되는 경우가 있다.
이와 같은 대책으로서, 특허문헌 1에는, 고체 촬상 소자의 감도 변동 등을 교정하는 교정 계수에 기초하여, 검사 대상물인 표시 패널의 촬상 화상을 교정하는 것을 목적으로 한 촬상 화상의 교정 방법이 개시되어 있다.
특허문헌 1의 촬상 화상의 교정 방법에 의하면, 광원이 설치된 적분구의 출사창으로부터 사출되는 샘플광을 카메라로 촬상하고, 촬상한 샘플광의 촬상 데이터에 기초하여 교정 계수를 작성한다. 이 교정 계수에 기초하여, 검사 대상으로 되는 표시 패널의 촬상 화상이 교정된다.
이 교정 방법에 사용되는 적분구는, 내면에 확산 반사재가 시여된 중공 형상의 구체를 구비하고, 이 구체 내에서, 광원이 발광하여 광이 확산 반사재에 반사되고, 적분구의 출사창으로부터 출사창의 면에 대하여 균일한 휘도 분포로 샘플광이 사출된다.
이와 같이, 특허문헌 1의 촬상 화상의 교정 방법에 의하면, 출사창의 면에 대하여 균일한 휘도 분포로 되는 샘플광을 촬상한 데이터에 기초하여 교정 계수를 작성할 수 있고, 작성한 교정 계수에 기초하여, 검사 대상으로 되는 표시 패널을 촬상한 촬상 화상을 교정할 수 있다.
일본 특허 공개 제2007-158577 공보
그런데, 적분구는, 일반적으로, 그 출사창의 면적에 대하여 중공 형상의 구체 직경이 커짐에 따라서, 구체 내에서의 확산 반사의 횟수가 증대되게 된다. 적분구 내에서 확산 반사의 횟수가 증대되면, 적분구로부터 사출되는 샘플광의 출사창의 면에 대한 휘도 분포의 균일성이 향상된다.
따라서, 상기 특허문헌 1에 개시된 표시 패널의 촬상 화상의 교정 방법에 있어서도, 대형의 적분구를 사용함으로써, 출사창의 면에 대하여 균일한 휘도 분포의 샘플광을 얻을 수 있고, 이 샘플광에 기초하여 적절한 교정 계수를 작성할 수 있다.
그러나, 일반적으로, 대형의 적분구는 고가이기 때문에, 상기 특허문헌 1과 같이, 촬상 화상을 교정하는 교정 계수를 작성하기 위해서만 대형의 적분구를 도입하면, 표시 패널의 표시 불균일의 검지를 행하는 화상 처리 시스템에 대한 설비 투자가 증대될 것이 우려된다.
본 발명은 상기 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 제조 비용을 저렴하게 억제하고, 또한 간이한 구성에 의해, 균일성이 높은 발광을 행할 수 있는 발광 장치, 이 발광 장치를 사용한 교정 계수의 산출 방법, 및 산출된 교정 계수에 기초하여 검사 대상물의 촬상 화상을 교정하는 검사 대상물의 촬상 화상의 교정 방법을 제공하는 것을 과제로 하는 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 청구항 1에 기재된 발명에 의한 발광 장치는, 동일한 원주 상에 등간격으로 배치된 복수의 발광 소자와, 그 발광 소자로부터 이격된 천장면부에 설치되며, 상기 발광 소자가 배치된 상기 원주에 대하여 작은 외연을 갖고 상기 발광 소자의 광을 투과시키는 유백색으로 착색된 출사창을 구비하고, 상기 발광 소자가 배치된 상기 원주의 반경과, 상기 발광 소자와 상기 출사창 사이의 이격 거리가 소정의 거리로 설정된 것을 특징으로 한다.
이 구성에 의하면, 동일한 원주 상에 복수의 발광 소자를 등간격으로 배치하고, 또한 발광 다이오드가 배치된 원주의 반경과, 발광 소자와 발광 소자의 광을 투과시키는 유백색으로 착색된 출사창 사이의 거리를 소정의 거리로 하는 간이한 구성에 의해, 균일성이 높은 상태에서 출사창으로부터 광을 투과시키는 것이 가능해진다.
이와 같은 간이한 구성으로 함으로써, 발광 장치의 제조 비용을 저렴하게 억제할 수 있다.
청구항 2에 기재된 발명에 의한 발광 장치는, 청구항 1에 기재된 발광 장치에 있어서, 상기 원주의 반경과, 상기 발광 소자와 상기 출사창 사이의 이격 거리의 비가 1:1∼1:1.5의 범위 내에서 설정된 것을 특징으로 한다.
이 구성에 의하면, 발광 다이오드가 배치된 원주의 반경과, 발광 소자와 발광 소자의 광을 투과시키는 유백색으로 착색된 출사창 사이의 거리의 비가 1:1∼1:1.5의 범위 내에서 설정된 것에 의해, 균일성을 최적의 상태로 한 후에, 출사창으로부터 광을 투과시키는 것이 가능해진다.
청구항 3에 기재된 발명에 의한 발광 장치는, 청구항 1 또는 2에 기재된 발광 장치에 있어서, 상기 출사창에, 그 출사창의 외연측을 피복하여 그 출사창의 외연측에 있어서 상기 발광 소자의 발광에 의한 광을 차광하는 피복 부재가 설치된 것을 특징으로 한다.
이 구성에 의하면, 유백색으로 착색된 출사창으로의 다방향으로부터의 입사광이 출사창에서 확산됨으로써, 출사창의 외연측이 다른 부분에 비해 밝아져 번짐이 발생하는 바, 외연측이 피복 부재에 의해 피복됨으로써, 이 부분으로부터의 광의 투과가 차단되기 때문에, 출사창으로부터의 출사광의 균일성을 유지할 수 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 청구항 4에 기재된 발명에 의한 발광 장치는, 원주 형상의 외연을 갖는 저면부, 그 저면부와 대칭을 이루어 상기 저면부와 대향함과 함께 상기 저면부로부터의 이격 거리가 상기 저면부의 직경을 기준 직경으로 한 경우에 있어서의 그 기준 직경에 대하여 x로 설정된 천장면부, 그 천장면부와 상기 저면부 사이에서 연속하는 원통 형상으로 형성된 주위벽부를 갖는 케이스와, 그 케이스에 있어서의 상기 저면부로부터의 높이 거리가 상기 기준 직경에 대하여 y로 설정되어 상기 주위벽부의 둘레 방향의 내주면에 등간격으로 배치된 복수의 발광 소자와, 상기 천장면부에 설치되며, 직경이 상기 기준 직경에 대하여 z로 설정되어 상기 발광 소자의 광을 투과시키는 출사창을 구비하고, 상기 케이스의 내부가 백색으로 착색되어 있는 것을 특징으로 한다.
이 구성에 의하면, 내부가 백색으로 착색된 원통 형상의 케이스에 있어서, 저면부의 직경인 기준 직경에 대한 비로서, 저면부와 천장면부의 이격 거리를 x라 하고, 발광 소자의 저면부로부터의 높이 거리를 y라 하고, 출사창의 직경을 z라 함으로써, 발광 소자의 광이 케이스의 저면부에 반사되는 것에 의한 저면부의 면에 대한 휘도를, 일정한 범위에서 균일성이 높은 상태로 할 수 있다.
청구항 5에 기재된 발명에 의한 발광 장치는, 청구항 4에 기재된 발광 장치에 있어서, 상기 이격 거리는, 상기 기준 직경에 대한 비가 적어도 60％ 이하로 설정된 것을 특징으로 한다.
청구항 6에 기재된 발명에 의한 발광 장치는, 청구항 4 또는 5에 기재된 발광 장치에 있어서, 상기 높이 거리는, 상기 기준 직경에 대한 비가 적어도 45％ 이하로 설정된 것을 특징으로 한다.
청구항 7에 기재된 발명에 의한 발광 장치는, 청구항 4∼6 중 어느 한 항에 기재된 발광 장치에 있어서, 상기 출사창의 직경은, 상기 기준 직경에 대한 비가 적어도 30％ 이하로 설정된 것을 특징으로 한다.
이들 구성에 의하면, 저면부의 기준 직경에 대한 비로서, 저면부와 천장면부의 이격 거리를 적어도 60％ 이하로 하고, 발광 소자의 저면부로부터의 높이 거리를 적어도 45％ 이하로 하고, 출사창의 직경을 적어도 30％ 이하로 함으로써, 저면부의 면에 대한 휘도의 균일성을 향상시킬 수 있다.
청구항 8에 기재된 발명에 의한 발광 장치는, 청구항 1∼7 중 어느 한 항에 기재된 발광 장치에 있어서, 상기 각 발광 소자가 전기적으로 직렬로 접속된 것을 특징으로 한다.
이 구성에 의하면, 각 발광 소자가 전기적으로 직렬로 접속되어 있기 때문에, 각 소자에 공급되는 전류를 일정하게 하여 발광 상태를 안정화시킬 수 있다. 따라서, 각 발광 소자의 제어를 용이하게 행할 수 있다.
청구항 9에 기재된 발명에 의한 발광 장치는, 청구항 1∼8 중 어느 한 항에 기재된 발광 장치에 있어서, 상기 발광 소자는, 적, 녹 및 청의 각 색을 발광하는 발광 다이오드인 것을 특징으로 한다.
이 구성에 의하면, 발광 소자는, 적, 녹 및 청의 각 색을 발광하는 발광 다이오드를 포함하고 있기 때문에, 적색, 녹색, 청색 및 이들 각 색을 혼합한 백색을 출사창으로부터 투과시킬 수 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 청구항 10에 기재된 발명에 의한 교정 계수의 산출 방법은, 청구항 1∼9 중 어느 한 항에 기재된 발광 장치의 상기 발광 소자를 발광시키는 발광 공정과, 고체 촬상 소자를 갖는 카메라의 렌즈를 상기 발광 장치의 상기 출사창에 위치 결정함과 함께 상기 발광 소자의 발광에 의한 샘플광을 투과시킨 상기 출사창을 디포커스하여 상기 카메라로 촬상하는 촬상 공정과, 그 촬상 공정에서 상기 출사창을 촬상하였을 때에 상기 고체 촬상 소자에 의해 출력되는 출력 신호에 기초하여, 상기 카메라의 상기 렌즈를 개재시킨 상태에 있어서의 상기 고체 촬상 소자의 감도를 교정하는 교정 계수를 산출하는 교정 계수 산출 공정을 구비하는 것을 특징으로 한다.
이 구성에 의하면, 간이한 구성으로 저렴하게 제조할 수 있는 발광 장치를 발광시키고, 균일성이 높은 샘플광을 출사창으로부터 투과시켜, 이 출사창을 디포커스하여 촬상한다. 이때, 고체 촬상 소자에 의해 출력되는 출력 신호에 기초하여, 적절한 교정 계수를 작성할 수 있다.
청구항 11에 기재된 발명에 의한 교정 계수의 산출 방법은, 청구항 10에 기재된 교정 계수의 산출 방법에 있어서, 상기 촬상 공정은, 상기 카메라의 소정의 초점 거리에 있어서 상기 출사창을 복수회에 걸쳐 촬상하는 것을 특징으로 한다.
이 구성에 의하면, 고체 촬상 소자를 갖는 카메라의 소정의 초점 거리에 있어서 출사창을 복수회에 걸쳐 촬상함으로써, 쇼트 잡음의 영향을 저감시킬 수 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 청구항 12에 기재된 발명에 의한 검사 대상물의 촬상 화상의 교정 방법은, 청구항 10 또는 11에 기재된 교정 계수의 산출 방법에 의해 얻어진 상기 교정 계수에 기초하여, 상기 카메라로 검사 대상물을 촬상하여 상기 고체 촬상 소자에 결상한 상기 검사 대상물의 촬상 화상의 각 화소를 교정하는 것을 특징으로 한다.
이 구성에 의하면, 교정 계수의 산출 방법에 의해 적절하게 작성된 교정 계수에 기초하여, 검사 대상물의 촬상 화상의 각 화소를 교정할 수 있다.
본 발명에 의하면, 제조 비용을 저렴하게 억제한 간이한 구성에 의해, 균일성이 높은 상태에서 출사창으로부터 광을 투과시키거나, 균일성이 높은 상태에서 저면부의 면에 광을 반사시키거나 하는 것이 가능해진다. 이와 같은 발광 장치를 사용함으로써, 적절한 교정 계수를 얻을 수 있고, 이 교정 계수에 기초하여 검사 대상물의 촬상 화상의 각 화소를 교정함으로써, 검사 대상물의 불균일이 없는 촬상 화상을 얻을 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 발광 장치의 개략을 설명하는 사시도이다.
도 2는 동일하게, 본 실시 형태에 따른 발광부와 출사창의 배치 구성을 개념적으로 도시하는 도면이다.
도 3은 동일하게, 본 실시 형태에 따른 발광부와 출사창의 배치 구성을 개념적으로 도시하는 도면이다.
도 4는 동일하게, 본 실시 형태에 따른 가상원의 반경과, 출사창의 중심점과 가상원의 중심점 사이의 거리의 비에 따라서, 이론상, 출사창의 면에 대한 휘도의 균일성에 미치게 되는 영향을 개념적으로 도시한 도면이다.
도 5는 동일하게, 본 실시 형태에 따른 가상원의 반경과, 출사창의 중심점과 가상원의 중심점 사이의 거리의 비에 따라서, 출사창의 면에 대한 휘도의 균일성에 미치게 되는 영향을 개념적으로 도시한 도면이다.
도 6은 동일하게, 본 실시 형태에 따른 가상원의 반경과, 출사창의 중심점과 가상원의 중심점 사이의 거리의 비를 천이시키는 실험에 기초하여, 출사창의 면에 대한 휘도의 균일성에 미치게 되는 영향을 관찰한 결과를 개념적으로 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 발광 장치의 개략을 설명하는 사시도이다.
도 8은 도 7의 VIII-VIII선에 있어서의 단면도이다.
도 9는 동일하게, 본 실시 형태에 따른 발광 장치에 의한 휘도의 상태의 개략을 설명하는 개념도이다.
도 10은 제1 실시 형태 및 제2 실시 형태에 따른 발광 장치를 사용하여 카메라의 감도의 변동 등을 교정하는 교정 계수를 작성하는 방법의 개략을 설명하는 도면이다.
도 11은 동일하게, 발광 장치를 사용하여 카메라의 감도의 변동 등을 교정하는 교정 계수를 작성하는 방법의 개략을 설명하는 도면이다.
도 12는 동일하게, 발광 장치를 사용하여 카메라의 감도의 변동 등을 교정하는 교정 계수를 작성하는 방법의 개략을 설명하는 도면이다.
도 13은 동일하게, 발광 장치를 사용하여 카메라의 감도의 변동 등을 교정하는 교정 계수를 작성하는 방법의 개략을 설명하는 도면이다.
다음에, 도 1∼도 13을 참조하여, 본 발명의 실시 형태에 대하여 설명한다.
(제1 실시 형태)
도 1은 제1 실시 형태에 따른 발광 장치의 개략을 설명하는 사시도이다. 도시와 같이, 발광 장치(10)는 아크릴제의 케이스(20)에 의해 그 외형이 구성된다.
이 케이스(20)는 본 실시 형태에서는, 평면에서 보아 대략 직사각형의 저면부(21), 저면부(21)와 대향함과 함께 저면부(21)를 따라서 평면에서 보아 대략 직사각형으로 형성된 천장면부(22), 저면부(21)와 천장면부(22)를 연속시키는 측면부(23)를 갖는 입방체 형상의 상자형으로 구성되고, 케이스(20)의 내부는, 본 실시 형태에서는 백색으로 착색되어 있다.
케이스(20)의 천장면부(22)의 대략 중앙 부분에는, 평면에서 보아 원형이며 유백색으로 착색된 반투명상의 출사창(24)이 형성되어 있다. 이 출사창(24)의 단연인 외연(24a)측에는, 외연(24a)으로부터 출사창(24)의 내주 방향으로 일정한 폭을 갖고 출사창(24)의 원주를 따라서 외연(24a)측을 피복하는, 흑색의 피복 부재(25)가 설치되어 있다.
케이스(20) 내의 저면부(21)에는, 발광부(30)가 설치되어 있다. 발광부(30)는 본 실시 형태에서는, 평면에서 보아 대략 팔각형의 받침대(31)를 구비한다. 이 받침대(31)의 상면(31a)에는, 천장면부(22)에 형성된 평면에서 보아 원형의 출사창(24)과 동심으로 되는 가상원 R이 설정되어 있다.
이 가상원 R의 동일한 원주 상에, 발광 소자인 발광 다이오드(32)가 복수, 본 실시 형태에서는 8개가 등간격으로 배치되어 있다. 이 발광 다이오드(32)에는, 본 실시 형태에서는, 적(R), 녹(G) 및 청(B)의 3색을 발광하는 발광 다이오드가 사용되고 있다.
이들 각 발광 다이오드(32)는 본 실시 형태에서는, 각 발광 다이오드(32)의 사이에 있어서 적(R)의 각 단자끼리, 녹(G)의 각 단자끼리 및 청(B)의 각 단자끼리가 각각 전기적으로 직렬로 접속되어 있다.
도 2 및 도 3은 발광부(30)와 출사창(24)의 배치 구성을 개념적으로 도시하는 도면이다. 도 2에서 도시한 바와 같이, 출사창(24)은 그 중심점 O가, 발광부(30)에 설정된 가상원 R의 중심점 O'에 배치되도록, 즉 가상원 R과 동심으로 되도록 천장면부(22)에 형성되어 있다.
이 출사창(24)은 그 외연(24a)이, 발광부(30)에 설정된 가상원 R의 원주에 대하여 작게 형성되어 있다. 구체적으로는, 가상원 R은, 본 실시 형태에서는, 반경 l1이 10㎝로 설정되어 있고, 출사창(24)은 그 반경 l2가 5㎝로 설정되어 있다.
한편, 도 3에서 도시한 바와 같이, 발광 다이오드(32)가 배치되는, 발광부(30)에 설정된 가상원 R의 반경 l1과, 출사창(24)의 중심점 O와 가상원 R의 중심점 O' 사이의 거리 d의 비는, 후술하는 바와 같이 본 실시 형태에서는 1:1.2로 설정되어 있기 때문에, 출사창(24)의 중심점 O와 가상원 R의 중심점 O' 사이의 거리 d는 12㎝로 설정되어 있다.
이 가상원 R의 반경 l1과, 출사창(24)의 중심점 O와 가상원 R의 중심점 O' 사이의 거리 d의 비에 따라서, 발광부(30)의 발광에 의한 가상원 R의 반경 l1에 있어서의 휘도에 영향이 미치게 된다.
도 4 및 도 5는 본 실시 형태에 따른 가상원의 반경과, 출사창의 중심점과 가상원의 중심점 사이의 거리의 비에 따라서, 이론상, 출사창의 면에 대한 휘도의 균일성에 미치게 되는 영향을 개념적으로 도시한 도면이다.
도 4의 (a)에서 도시한 바와 같이, 가상원 R의 반경 l1과, 출사창(24)의 중심점 O와 가상원 R의 중심점 O' 사이의 거리 d의 비를 1:0.5로 한 경우에는, 8개의 발광 다이오드(32)가 각각의 배치된 위치에 있어서 점발광하면서도, 인접하는 발광 다이오드(32)의 사이가 각각의 발광 다이오드(32)의 발광에 의해 연결되어, 환상으로 발광하고 있는 상태로 된다.
구체적으로는, 가상원 R의 반경 l1의 크기를 모식적으로 도시한 횡축과, 발광 다이오드(32)의 휘도를 모식적으로 도시한 종축을 포함하는 그래프에 의하면, 가상원 R의 주변 부분인 반경 l1이 1, -1로 되는 위치에 있어서 휘도가 최대로 됨과 함께, 이 위치에 있어서의 휘도와, 반경 l1이 0으로 되는 위치, 즉 가상원 R의 중심점 O'의 위치에 있어서의 휘도에 있어서 큰 차가 발생하고 있다.
도 4의 (b)에서 도시한 바와 같이, 가상원 R의 반경 l1과, 출사창(24)의 중심점 O와 가상원 R의 중심점 O' 사이의 거리 d의 비를 1:1로 한 경우에는, 8개의 발광 다이오드(32)가 각각 발광하여 모든 발광 다이오드(32)가 발광에 의해 연결되어 면발광하고 있는 상태로 된다.
구체적으로는, 가상원 R의 반경 l1의 크기를 모식적으로 도시한 횡축과, 발광 다이오드(32)의 휘도를 모식적으로 도시한 종축을 포함하는 그래프에 의하면, 가상원 R의 중심 부분인 반경 l1이 0∼0.5 및 0∼-0.5로 되는 위치에 있어서 휘도가 최대로 됨과 함께, 이 위치에 있어서의 휘도와, 가상원 R의 주변 부분인 반경 l1이 1, -1로 되는 위치에 있어서의 휘도에 있어서 차가 발생하고 있지 않다.
이와 같이, 가상원 R의 반경 l1과, 출사창(24)의 중심점 O와 가상원 R의 중심점 O' 사이의 거리 d의 비를 1:0.5로 한 경우에는, 가상원 R의 중심 부분과 주변 부분에서 휘도에 차가 발생한다. 한편, 가상원 R의 반경 l1과, 출사창(24)의 중심점 O와 가상원 R의 중심점 O' 사이의 거리 d의 비를 1:1로 한 경우에는, 가상원 R의 중심 부분과 주변 부분에서 휘도에 거의 차가 발생하지 않는다.
한편, 도 5의 (a)에서 도시한 바와 같이, 가상원 R의 반경 l1과, 출사창(24)의 중심점 O와 가상원 R의 중심점 O' 사이의 거리 d의 비를 1:1.2로 한 경우에는, 상기와 마찬가지로, 모든 발광 다이오드(32)가 발광에 의해 연결되어 면발광하고 있는 상태로 된다.
구체적으로는, 가상원 R의 반경 l1의 크기를 모식적으로 도시한 횡축과, 발광 다이오드(32)의 휘도를 모식적으로 도시한 종축을 포함하는 그래프에 의하면, 반경 l1이 0으로 되는 위치, 즉 가상원 R의 중심점 O'의 위치에 있어서 휘도가 최대로 됨과 함께, 이 위치에 있어서의 휘도와, 가상원 R의 주변 부분인 반경 l1이 1, -1로 되는 위치에 있어서의 휘도에서 큰 차가 발생하고 있지 않다.
도 5의 (b)에서 도시한 바와 같이, 가상원 R의 반경 l1과, 출사창(24)의 중심점 O와 가상원 R의 중심점 O' 사이의 거리 d의 비를 1:1.5로 한 경우에는, 상기와 마찬가지로, 모든 발광 다이오드(32)가 발광에 의해 연결되어 면발광하고 있는 상태로 된다.
구체적으로는, 가상원 R의 반경 l1의 크기를 모식적으로 도시한 횡축과, 발광 다이오드(32)의 휘도를 모식적으로 도시한 종축을 포함하는 그래프에 의하면, 반경 l1이 0으로 되는 가상원 R의 중심점 O'의 위치에 있어서 휘도가 최대로 됨과 함께, 이 위치에 있어서의 휘도와, 가상원 R의 주변 부분인 반경 l1이 1, -1로 되는 위치에 있어서의 휘도에서 큰 차가 발생하고 있지 않다.
이와 같이, 가상원 R의 반경 l1과, 출사창(24)의 중심점 O와 가상원 R의 중심점 O' 사이의 거리 d의 비를 1:1.2로 한 경우, 혹은 가상원 R의 반경 l1과, 출사창(24)의 중심점 O와 가상원 R의 중심점 O' 사이의 거리 d의 비를 1:1.5로 한 경우에는, 가상원 R의 중심 부분과 주변 부분에서 휘도에 큰 차는 발생하지 않는다.
그런데, 가상원 R의 반경 l1과, 출사창(24)의 중심점 O와 가상원 R의 중심점 O' 사이의 거리 d의 비가 1:1.2인 경우, 혹은 1:1.5인 경우에 있어서는, 휘도가 최대로 되는 가상원 R 상의 면적은, 가상원 R의 반경 l1과, 출사창(24)의 중심점 O와 가상원 R의 중심점 O' 사이의 거리 d의 비를 1:1로 한 경우와 비교하면 협소해진다.
따라서, 이론상은, 가상원 R의 반경 l1과, 출사창(24)의 중심점 O와 가상원 R의 중심점 O' 사이의 거리 d의 비를 1:1로 하면, 출사창(24)으로부터 투과하는 광이 출사창(24)의 면에 대하여 균일하며, 또한 알아차리기 쉬운 크기의 면적을 얻을 수 있다.
도 6은 본 실시 형태에 따른 가상원의 반경과, 출사창의 중심점과 가상원의 중심점 사이의 거리의 비를 천이시키는 실험에 기초하여, 출사창의 면에 대한 휘도의 균일성에 미치게 되는 영향을 관찰한 결과를 개념적으로 도시한 도면이다.
도 6의 (a)에서 도시한 바와 같이, 가상원 R의 반경 l1과, 출사창(24)의 중심점 O와 가상원 R의 중심점 O' 사이의 거리 d의 비를 1:1로 한 경우에는, 8개의 발광 다이오드(32)가 각각 발광하여 모든 발광 다이오드(32)가 발광에 의해 연결됨과 함께, 가상원 R의 중심점 O' 부분이 약간 암부로 되어 환상으로 발광하고 있는 상태로 된다.
구체적으로는, 가상원 R의 반경 l1의 크기를 모식적으로 도시한 횡축과, 발광 다이오드(32)의 휘도를 모식적으로 도시한 종축을 포함하는 그래프에 의하면, 반경 l1이 0으로 되는 가상원 R의 중심점 O'의 위치에 있어서의 휘도와, 가상원 R의 주변 부분인 반경 l1이 1의 근방 및 -1의 근방으로 되는 위치에 있어서의 휘도에 있어서, 차가 발생하고 있다.
도 6의 (b)에서 도시한 바와 같이, 가상원 R의 반경 l1과, 출사창(24)의 중심점 O와 가상원 R의 중심점 O' 사이의 거리 d의 비를 1:1.2로 한 경우에는, 8개의 발광 다이오드(32)가 각각 발광하여 모든 발광 다이오드(32)가 발광에 의해 연결되어 면발광하고 있는 상태로 된다.
구체적으로는, 가상원 R의 반경 l1의 크기를 모식적으로 도시한 횡축과, 발광 다이오드(32)의 휘도를 모식적으로 도시한 종축을 포함하는 그래프에 의하면, 가상원 R의 중심 부분인 반경 l1이 약 0∼0.5 및 0∼-0.5로 되는 위치에 있어서 휘도가 최대로 됨과 함께, 이 위치에 있어서의 휘도와, 가상원 R의 주변 부분인 반경 l1이 1, -1로 되는 위치에 있어서의 휘도에 있어서, 큰 차가 발생하고 있지 않다.
도 6의 (c)에서 도시한 바와 같이, 가상원 R의 반경 l1과, 출사창(24)의 중심점 O와 가상원 R의 중심점 O' 사이의 거리 d의 비를 1:1.5로 한 경우에는, 8개의 발광 다이오드(32)가 각각 발광하여 모든 발광 다이오드(32)가 발광에 의해 연결되어 면발광하고 있는 상태로 된다.
구체적으로는, 가상원 R의 반경 l1의 크기를 모식적으로 도시한 횡축과, 발광 다이오드(32)의 휘도를 모식적으로 도시한 종축을 포함하는 그래프에 의하면, 가상원 R의 중심 부분인 반경 l1이 약 0∼0.3 및 0∼-0.3으로 되는 위치에 있어서, 휘도가 최대로 됨과 함께, 이 위치에 있어서의 휘도와, 가상원 R의 주변 부분인 반경 l1이 1, -1로 되는 위치에 있어서의 휘도에서 큰 차가 발생하고 있지 않다.
이와 같이, 가상원 R의 반경 l1과, 출사창(24)의 중심점 O와 가상원 R의 중심점 O' 사이의 거리 d의 비를 1:1.2로 한 경우, 혹은 가상원 R의 반경 l1과, 출사창(24)의 중심점 O와 가상원 R의 중심점 O' 사이의 거리 d의 비를 1:1.5로 한 경우에는, 가상원 R의 중심 부분과 주변 부분에서 휘도에 큰 차는 발생하지 않는다.
그런데, 가상원 R의 반경 l1과, 출사창(24)의 중심점 O와 가상원 R의 중심점 O' 사이의 거리 d의 비가 1:1.2인 경우와, 혹은 1:1.5인 경우에서는, 휘도가 최대로 되는 가상원 R 상의 면적은, 가상원 R의 반경 l1과, 출사창(24)의 중심점 O와 가상원 R의 중심점 O' 사이의 거리 d의 비를 1:1.2로 한 경우의 쪽이 넓게 되었다.
이와 같이, 실험상은, 가상원 R의 반경 l1과, 출사창(24)의 중심점 O와 가상원 R의 중심점 O' 사이의 거리 d의 비를 1:1.2로 하면, 출사창(24)으로부터 투과하는 광이 출사창(24)의 면에 대하여 균일하며, 또한 알아차리기 쉬운 크기의 면적을 얻을 수 있다.
따라서, 본 실시 형태에서는, 발광부(30)에 설정된 가상원 R의 반경 l1이 10㎝, 출사창(24)의 중심점 O와 가상원 R의 중심점 O' 사이의 거리 d가 12㎝로 되도록 설정, 즉, 가상원 R의 반경 l1과, 출사창(24)의 중심점 O와 가상원 R의 중심점 O' 사이의 거리 d의 비가 1:1.2로 되도록 설정되어 있다.
그런데, 출사창(24)으로부터 투과하는 광을 출사창(24)의 면에 대하여 균일하게 하는 관점에서는, 상기한 바와 같이 이론상은, 가상원 R의 반경 l1과, 출사창(24)의 중심점 O와 가상원 R의 중심점 O' 사이의 거리 d의 비를 1:1로 하는 것이 적합하지만, 실험에서는, 이 비를 1:1.2로 함으로써, 출사창(24)으로부터 투과하는 광이 출사창(24)의 면에 대하여 균일하게 되었다.
이와 같이, 이론값과 실험값이 상이한 요인으로서는, 케이스(20)의 형상이나 케이스(20) 내의 반사 상태 등, 다양한 사유가 생각되지만, 사용되는 발광 다이오드의 배광 특성에 의존하는 바가 크다고 생각된다.
본 실시 형태에서는, 내부가 백색으로 착색된 입방체 형상의 상자형의 케이스(20)를 사용하는 조건 하에서, 가상원 R의 반경 l1과, 출사창(24)의 중심점 O와 가상원 R의 중심점 O' 사이의 거리 d의 비를 1:1.2로 함으로써 출사창(24)으로부터 투과하는 광이 출사창(24)의 면에 대하여 균일하게 되는 배광 특성을 갖는 발광 다이오드가 사용되고 있다.
그렇다고는 하지만, 발광 다이오드의 배광 특성은 본 실시 형태에서 사용되는 발광 다이오드와 같은 배광 특성에 한정되는 것은 아니고, 출사창(24)으로부터 투과하는 광이 출사창(24)의 면에 대하여 균일하게 되는 한에 있어서, 다양한 발광 다이오드를 사용할 수 있다.
특히, 가상원 R의 반경 l1과, 출사창(24)의 중심점 O와 가상원 R의 중심점 O' 사이의 거리 d의 비가 1:1∼1:1.5의 범위 내에 있어서, 출사창(24)으로부터 투과하는 광이 출사창(24)의 면에 대하여 균일하게 되는 배광 특성을 갖는 발광 다이오드가 사용되는 것이 바람직하다.
상기 구성의 발광 장치(10)는 발광부(30)의 발광 다이오드(32)의 발광에 의해, 가상원 R의 반경 l1과, 출사창(24)의 중심점 O와 가상원 R의 중심점 O' 사이의 거리 d의 비를 1:1.2로 함으로써, 가상원 R의 중심 부분과 주변 부분에서 휘도에 큰 차는 발생하지 않게 된다.
특히, 본 실시 형태에서는, 가상원 R은 반경 l1이 10㎝로 설정되고, 출사창(24)은 그 반경 l2가 5㎝로 설정되어 있고, 출사창(24)의 외연(24a)이 발광부(30)에 설정된 가상원 R의 원주에 대하여 작게 형성되어 있기 때문에, 휘도가 최대로 되는 가상원 R의 중심점 O'의 위치 및 그 근방의 위치에 있어서의 광이, 출사창(24)을 투과한다.
따라서, 이 범위의 광이 출사창(24)을 투과할 때에는, 출사창(24)의 면에 대한 휘도의 균일성은 높은 것으로 된다.
게다가, 출사창(24)은 본 실시 형태에서는, 유백색으로 착색된 반투명상으로 되어 있기 때문에, 광이 출사창(24)을 투과하면, 출사창(24)의 면의 범위에서 광이 확산되어, 출사창(24)의 면에 대한 휘도를 보다 효과적으로 균일화할 수 있다.
또한, 출사창(24)은 다방향으로부터의 입사광이 출사창(24)에서 확산됨으로써 출사창(24)의 외연(24a)측이 다른 부분에 비해 밝아져 번짐이 발생하는 바, 본 실시 형태에서는, 외연(24a)측이 흑색의 피복 부재(25)에 의해 피복되어 있기 때문에, 외연(24a)측으로부터의 광의 투과가 차단되어, 출사창(24)으로부터의 출사광의 균일성을 유지할 수 있다.
8개의 발광 다이오드(32)는 본 실시 형태에서는, 각 발광 다이오드(32)의 사이에 있어서 적(R)의 각 단자끼리, 녹(G)의 각 단자끼리 및 청(B)의 각 단자끼리가 각각, 전기적으로 직렬로 접속되어 있기 때문에, 발광 다이오드(32)에 공급되는 전류를 일정하게 하여 발광 상태를 안정화시킬 수 있다. 따라서, 각 발광 다이오드(32)의 제어를 용이하게 행할 수 있다.
한편, 케이스(20)의 내부는, 본 실시 형태에서는 백색으로 착색되어 있기 때문에, 발광 다이오드(32)가 발광하면 케이스(20)의 내부에서 광이 반사되어 확산되어, 출사창(24)으로부터 투과하는 광을 양호하게 균일화할 수 있다.
이와 같은 발광 장치(10)는 고체 촬상 소자의 감도 변동 등에 기인한 개개의 카메라의 고유의 특성에 따라서, 감도의 변동 등을 교정하는 교정 계수를 작성하는 용도로 사용된다.
(제2 실시 형태)
다음에, 본 발명의 제2 실시 형태에 대하여, 도 7∼도 9를 참조하여 설명한다. 또한, 도 7∼도 9에 있어서, 제1 실시 형태와 마찬가지의 구성에는 동일한 부호를 붙이고 그 상세한 설명을 생략한다.
도 7은 제2 실시 형태에 따른 발광 장치의 개략을 설명하는 사시도이다. 도시와 같이, 발광 장치(60)는 아크릴제의 케이스(70)에 의해 그 외형이 구성된다.
이 케이스(70)는 본 실시 형태에서는, 원주 형상의 외연을 갖는 평면에서 보아 원형의 저면부(71), 저면부(71)와 대칭을 이루어 저면부(71)와 대향하는 평면에서 보아 원형의 천장면부(72), 이 천장면부(72)와 저면부(71) 사이에서 연속하는 원통 형상의 주위벽부(73)를 갖는 통 형상으로 구성되어 있다.
케이스(70)의 주위벽부(73)의 둘레 방향의 내주면(73a)에는, 발광 소자인 발광 다이오드(32)가 복수, 본 실시 형태에서는 4개가 등간격으로 배치되어 있다.
한편, 케이스(70)의 천장면부(72)의 대략 중앙 부분에는, 평면에서 보아 원형으로 절결된 출사창(74)이 형성되어 있다.
도 8은 도 7의 VIII-VIII선에 있어서의 단면도이다. 도시와 같이, 발광 장치(60)는 본 실시 형태에서는, 저면부(71)의 직경이 기준 직경 S로서 설정되어 있다.
이 저면부(71)와, 저면부(71)와 대향하는 천장면부(72)의 이격 거리는, 기준 직경 S에 대한 비로서 x로 설정되어 있다. 본 실시 형태에서는, 기준 직경 S를 1.0으로 하면, x는 기준 직경 S의 60％ 이하인 0.575로 설정되어 있다.
한편, 주위벽부(73)의 둘레 방향의 내주면(73a)에 배치된 발광 다이오드(32)의 저면부(71)로부터의 높이 거리는, 기준 직경 S에 대한 비로서 y로 설정되어 있다. 본 실시 형태에서는, 기준 직경 S를 1.0으로 하면, y는 기준 직경 S의 45％ 이하인 0.4325로 설정되어 있다.
천장면부(72)의 대략 중앙 부분에 형성된 평면에서 보아 원형의 출사창(74)의 직경은, 기준 직경 S에 대한 비로서 z로 설정되어 있다. 본 실시 형태에서는, 기준 직경 S를 1.0으로 하면, z는 기준 직경 S의 30％ 이하인 0.29로 설정되어 있다.
상기 구성을 갖는 케이스(70)의 내부는, 본 실시 형태에서는, 반사율이 0.96％로 설정된 무광택의 백색으로 착색되어 있다.
이와 같이, 저면부(71)의 직경을 기준 직경 S로 한 경우에 있어서, 기준 직경 S와 케이스(70)의 각 부의 치수의 비가 상기와 같이 설정됨으로써, 발광 다이오드(32)의 광이 저면부(71)에 반사되는 것에 의한 저면부(71)의 면에 대한 휘도가, 일정한 범위에서 거의 균일하게 된다.
구체적으로는, 본 실시 형태에 따른 발광 장치(60)에 의한 휘도의 상태의 개략을 설명하는 도 9에서 도시한 바와 같이, 기준 직경 S와 케이스(70)의 각 부의 치수의 비를 상기와 같이 설정한 경우, 발광 장치(60)에 의한 휘도가 균일하게 되는 것은, 기준 직경 S에 대한 비가 0.55인 직경 s가 저면부(71)의 중심점 O를 회전 중심으로 하여 회전하여 형성된, 회전 궤적의 면적 A에 있어서의 범위로 된다(이 범위에 있어서 ±0.2％의 오차).
이와 같이, 본 실시 형태의 발광 장치(60)는 원통 형상의 케이스(70)에 있어서, 저면부(71)의 직경인 기준 직경 S를 1.0으로 한 경우에 있어서의 기준 직경 S에 대한 비로서, 저면부(71)와 천장면부(72)의 이격 거리를 0.575(=x)로 하고, 발광 다이오드(32)의 저면부(71)로부터의 높이 거리를 0.4325(=y)로 하고, 출사창(72a)의 직경을 0.29(=z)로 한다. 케이스(70)의 내부는, 반사율이 0.96％로 설정된 무광택의 백색으로 착색되어 있다.
이러한 경우에 있어서, 발광 다이오드(32)의 광이 케이스(70)의 저면부(71)에 반사되는 것에 의한 저면부(71)의 면에 대한 휘도를, 일정한 범위에서 거의 균일하게 할 수 있다.
이와 같은 발광 장치(60)는 고체 촬상 소자의 감도 변동 등에 기인한 개개의 카메라의 고유의 특성에 따라서, 감도의 변동 등을 교정하는 교정 계수를 작성하는 용도로 사용된다.
(교정 계수를 작성하는 방법)
다음에, 제1 실시 형태 및 제2 실시 형태에 따른 발광 장치[10(60)]를 사용하여, 교정 계수를 작성하는 방법에 대하여 설명한다.
도 10∼도 13은 제1 실시 형태 및 제2 실시 형태에 따른 발광 장치[10(60)]를 사용하여 카메라의 고체 촬상 소자의 감도의 변동 등을 교정하는 교정 계수를 작성하는 방법의 개략을 설명하는 도면이다. 도 10에서 도시한 바와 같이, 카메라(40)는 고체 촬상 소자(41) 및 렌즈(42)를 구비하고, 교정 장치(50)에 접속되어 있다.
카메라(40)는 제1 실시 형태에 따른 발광 장치(10)를 사용하는 경우에는, 도 10 및 도 11에서 도시한 바와 같이, 렌즈(42)에 있어서 발광 장치(10)의 출사창(24)에 위치 결정이 이루어지고, 발광부(30)의 발광 다이오드(32)의 발광에 의한 광인 샘플광을 투과하는 출사창(24)을 촬상한다.
한편, 카메라(40)는 제2 실시 형태에 따른 발광 장치(60)를 사용하는 경우에는, 도 10 및 도 12에서 도시한 바와 같이, 렌즈(42)에 있어서 발광 장치(60)의 출사창(74)에 위치 결정이 이루어지고, 발광 다이오드(32)의 발광에 의한 광인 샘플광이 케이스(70)의 저면부(71)에 반사된 면을, 출사창(74)을 통해 촬상한다.
이때, 도 13에서 도시한 바와 같이, 렌즈(42)는 고체 촬상 소자(41)와 접촉 분리됨으로써 본 실시 형태에서는 초점 거리가 10단계로 변경되고, 샘플광이 투과되는 출사창[24(74)]을 10단계의 초점 거리마다 촬상한다.
다시 도 10에서 도시한 바와 같이, 이 샘플광을 촬상한 촬상 데이터에 기초하여, 교정 장치(50)에 내장된 연산부(51)에 저장된 프로그램이, 교정 계수를 작성한다. 이 교정 계수의 작성은, 먼저, 예를 들어 발광 다이오드(32)를 적(R)으로 발광시킨 상태에서, 각 초점 거리에 있어서 샘플광을 투과하는 출사창[24(74)]을 촬상한다.
이때, 각 초점 거리에서는, 렌즈(42)를 발광 장치(10)의 출사창[24(74)]에 근접시켜, 초점을 흐리게 한 소위 디포커스 상태로 하고, 이 상태에 있어서, 샘플광이 투과되는 출사창[24(74)]을 촬상한다.
샘플광을 투과하는 출사창[24(74)]의 촬상은, 샷 잡음의 영향을 저감시키는 관점에서, 소정의 초점 거리(예를 들어 5단계째의 초점 거리)에 있어서 복수회에 걸쳐 행하게 된다.
복수회에 걸치는 샘플광을 투과하는 출사창[24(74)]의 촬상에 있어서는, 감도 변동이 있는 고체 촬상 소자(41)로부터의 출력 신호가 그 평균값에 있어서 1로 되도록 정규화되고, 정규화된 평균값의 역수가 교정 계수로서 산출된다.
이들과 마찬가지의 수순을, 녹(G) 및 청(B)에 대해서도 반복하여 실행하여, 적(R), 녹(G) 및 청(B)의 교정 계수를 작성한다. 작성한 교정 계수는, 기억부(52)에 저장된다.
이 교정 계수는, 광의 3원색인 적(R), 녹(G) 및 청(B)의 각 색의 각각에 대하여, 모든 초점 거리마다 고체 촬상 소자(41)의 전체 소자수가 곱해진 수만큼 필요로 된다.
즉, 필요로 되는 교정 계수는,
고체 촬상 소자의 전체 소자수×초점 거리수×3(R, G, B)
으로 된다.
예를 들어, 고체 촬상 소자(41)가 29M, 초점 거리가 10인 것으로 하면, 이것을 R, G, B마다 산출하고, 산출한 결과를 부동 소수점수 형식(4byte)으로 변환하면, 교정 계수의 사이즈는 전체로,
4(byte)×29M×10×3=3480Mbyte(3.4Gbyte)
로 된다.
이와 같이, 기억부(52)에 모든 교정 계수가 미리 저장된 상태에 있어서, 검사 대상물인 표시 패널을 카메라(40)로 촬상하는 경우에는, 먼저, 표시 패널의 각 픽셀을 점등시키고 각 픽셀을 촬상하여 각 픽셀의 휘도를 측정함으로써 미리 취득해 둔 보정 계수에 기초하여, 각 픽셀을 보정하여 표시 패널의 표시 불균일을 제거한 상태로 해 둔다.
이 상태에 있어서, 카메라(40)로 표시 패널을 촬상한다. 촬상할 때에는, 교정 장치(50)의 교정 회로(53)가 기억부(52)에 액세스하여, 렌즈(42)가 그 시점에 있어서 위치 결정되어 있는 초점 거리에 있어서의 고체 촬상 소자(41)의 전체 소자수에 대응한 교정 계수를 참조한다.
교정 회로(53)는 참조한 교정 계수를, 표시 패널을 촬상하여 고체 촬상 소자(41)에 결상한 표시 패널의 촬상 화상의 각 화소에 승산하여, 교정 계수에 기초하여 촬상 화상을 교정한다. 이에 의해, 고체 촬상 소자(41)의 감도 변동 등이 교정된다.
따라서, 표시 패널의 표시 불균일이 보정에 의해 제거된 상태에 있어서, 카메라(40)에 의해 표시 패널이 촬상되면, 촬상 화상이 교정되기 때문에, 표시 패널에는 본래는 존재하지 않는 불균일이 촬상되는 일이 없어, 검사 대상인 표시 패널을 양호하게 촬상할 수 있다.
이와 같이, 제1 실시 형태에 따른 발광 장치(10)의 발광에 의해, 출사창(24)의 면에 대하여 균일한 휘도로 할 수 있기 때문에, 샘플광을 투과하는 출사창(24)을 촬상한 촬상 데이터에 기초하여 적절한 교정 계수를 작성할 수 있다.
한편, 제2 실시 형태에 따른 발광 장치(60)의 발광에 의해, 저면부(71)의 면에 대한 휘도가 일정한 범위에서 균일하게 되기 때문에, 출사창(74)을 통해 촬상한 저면부(71)의 촬상 데이터에 기초하여 적절한 교정 계수를 작성할 수 있다.
작성한 교정 계수는, 검사 대상물인 표시 패널을 촬상한 촬상 화상을 교정하는 것에 사용되기 때문에, 적절하게 작성된 교정 계수를, 표시 패널을 촬상하여 고체 촬상 소자(41)에 결상한 표시 패널의 촬상 화상의 각 화소에 승산함으로써, 촬상 화상을 교정할 수 있다.
또한, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니고, 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 다양하게 변경 가능하다. 상기 실시 형태에서는, 케이스[20(70)]의 내부가 백색으로 착색되어 있는 경우를 설명하였지만, 예를 들어 케이스[20(70)]의 내부에 확산 반사재를 시여해도 된다.
10, 60 : 발광 장치
20, 70 : 케이스
22, 72 : 천장면부
24, 74 : 출사창
24a : 외연
25 : 피복 부재
30 : 발광부
32 : 발광 다이오드(발광 소자)
40 : 카메라
41 : 고체 촬상 소자
42 : 렌즈
51 : 연산부
53 : 교정 회로
71 : 저면부
d : 거리
l1 : 반경
O, O' : 중심점
R : 가상원(원주)

Claims (12)

  1. 동일한 원주 상에 등간격으로 배치된 복수의 발광 소자와,
    상기 발광 소자로부터 이격된 천장면부에 설치되며, 상기 발광 소자가 배치된 상기 원주에 대하여 작은 외연을 갖고 상기 발광 소자의 광을 투과시키는 유백색으로 착색된 출사창을 구비하고,
    상기 발광 소자가 배치된 상기 원주의 반경과, 상기 발광 소자와 상기 출사창 사이의 이격 거리가 소정의 거리로 설정된 것을 특징으로 하는 발광 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 원주의 반경과, 상기 발광 소자와 상기 출사창 사이의 이격 거리의 비가 1:1∼1:1.5의 범위 내에서 설정된 것을 특징으로 하는 발광 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 출사창에, 그 출사창의 외연측을 피복하여 그 출사창의 외연측에 있어서 상기 발광 소자의 발광에 의한 광을 차광하는 피복 부재가 설치된 것을 특징으로 하는 발광 장치.
  4. 원주 형상의 외연을 갖는 저면부, 그 저면부와 대칭을 이루어 상기 저면부와 대향함과 함께 상기 저면부로부터의 이격 거리가 상기 저면부의 직경을 기준 직경으로 한 경우에 있어서의 그 기준 직경에 대하여 x로 설정된 천장면부, 그 천장면부와 상기 저면부 사이에서 연속하는 원통 형상으로 형성된 주위벽부를 갖는 케이스와,
    상기 케이스에 있어서의 상기 저면부로부터의 높이 거리가 상기 기준 직경에 대하여 y로 설정되며 상기 주위벽부의 둘레 방향의 내주면에 등간격으로 배치된 복수의 발광 소자와,
    상기 천장면부에 설치되며, 직경이 상기 기준 직경에 대하여 z로 설정되어 상기 발광 소자의 광을 투과시키는 출사창을 구비하고,
    상기 케이스의 내부가 백색으로 착색되어 있는 것을 특징으로 하는 발광 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 이격 거리는,
    상기 기준 직경에 대한 비가 적어도 60％ 이하로 설정된 것을 특징으로 하는 발광 장치.
  6. 제4항 또는 제5항에 있어서,
    상기 높이 거리는,
    상기 기준 직경에 대한 비가 적어도 45％ 이하로 설정된 것을 특징으로 하는 발광 장치.
  7. 제4항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 출사창의 직경은,
    상기 기준 직경에 대한 비가 적어도 30％ 이하로 설정된 것을 특징으로 하는 발광 장치.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 각 발광 소자가 전기적으로 직렬로 접속된 것을 특징으로 하는 발광 장치.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 각 발광 소자는,
    적, 녹 및 청의 각 색을 발광하는 발광 다이오드인 것을 특징으로 하는 발광 장치.
  10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 기재된 발광 장치의 상기 발광 소자를 발광시키는 발광 공정과,
    고체 촬상 소자를 갖는 카메라의 렌즈를 상기 발광 장치의 상기 출사창에 위치 결정함과 함께 상기 발광 소자의 발광에 의한 샘플광을 투과시킨 상기 출사창을 디포커스하여 상기 카메라로 촬상하는 촬상 공정과,
    상기 촬상 공정에서 상기 출사창을 촬상하였을 때에 상기 고체 촬상 소자에 의해 출력되는 출력 신호에 기초하여, 상기 카메라의 상기 렌즈를 개재시킨 상태에 있어서의 상기 고체 촬상 소자의 감도를 교정하는 교정 계수를 산출하는 교정 계수 산출 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 교정 계수의 산출 방법.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 촬상 공정은,
    상기 카메라의 복수의 초점 거리에 있어서 상기 출사창을 촬상하는 것을 특징으로 하는 교정 계수의 산출 방법.
  12. 제10항 또는 제11항에 기재된 교정 계수의 산출 방법에 의해 얻어진 상기 교정 계수에 기초하여, 상기 카메라로 검사 대상물을 촬상하여 상기 고체 촬상 소자에 결상한 상기 검사 대상물의 촬상 화상의 각 화소를 교정하는 것을 특징으로 하는 검사 대상물의 촬상 화상의 교정 방법.
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