JP2003050180A

JP2003050180A - 欠陥検査方法および欠陥検査装置

Info

Publication number: JP2003050180A
Application number: JP2001238591A
Authority: JP
Inventors: Sakae Ishida; 栄石田
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2001-08-07
Filing date: 2001-08-07
Publication date: 2003-02-21

Abstract

(57)【要約】【課題】レンズや成形型の表面欠陥等を高精度で検出
する。【解決手段】一対の光源ユニット１から発生された略
平行光である検査光を、レンズＷ₁に照射し、その透過
光を結像光学系１０の電荷結合素子（ＣＣＤ）１１に結
像させ、出力される電圧変化を画像処理して、モニタ１
２の画面で観察する。レンズＷ₁の前面に開口絞り４を
設け、アルミ板５や黒色マット６によって散乱光等を遮
蔽することで、目視では検出することのできないレンズ
研磨後のヤケによる表面欠陥等を高感度で検出できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、透明なレンズ等光
学素子の表面および内部に存在する欠陥や、成形型の表
面の異物や欠陥等を検出するための欠陥検査方法および
欠陥検査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、光学機器などに使用されるレンズ
等光学素子の表面欠陥や内部欠陥、すなわち、キズ、砂
目、欠け（ピリ）、割れ（カン）、材料不良である泡、
折れ込み、キリ等、および成形型の表面異物や、凹凸、
およびピンホール等を含む表面欠陥を検出する方法とし
て、局部照明の下で光学素子や成形型を直接的に目視観
察する欠陥検査方法が一般的である。

【０００３】また、小物の光学素子や成形型等の欠陥を
検出する方法として、光学的に拡大させた拡大像を目視
観察する欠陥検査方法も知られている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の技術によれば、直接または拡大像による目視観察で
は、特にレンズ等の光学素子を製造する工程で、研磨後
の光学素子のヤケによる汚れやくもり等の欠陥を、反射
防止膜等の蒸着工程の前に検出することが困難であると
いう未解決の課題があった。詳しく説明すると、レンズ
の製造工程において、レンズ面を形状創成後に研磨し、
反射防止膜等を蒸着する直前に、目視によって直接的に
観察する場合や拡大像を観察する場合には、レンズの表
面に発生する汚れやくもり等のいわゆるヤケについて
は、ヤケの有る部分と無い部分との反射率の差異が微小
であるために、汚れやくもりを検出できない。

【０００５】研磨後のレンズ等光学素子の表面に発生す
るヤケについては、反射防止膜の蒸着前に目視で見つけ
ることができなくても、反射防止膜の蒸着後には反射率
の差異が拡大されて可視化されてしまい、手直しができ
ずに損品となってしまうという問題があった。

【０００６】また、研磨後のヤケによる汚れやくもり等
の欠陥が可視化されず、後工程の反射防止膜の蒸着後に
可視化されることで、欠陥の発生原因や発生工程がわか
らずに、対策、処置が難しいという不都合があった。

【０００７】このようにヤケによる欠陥を検出できない
ために、ヤケによる欠陥の不安を抱えたまま、研磨後に
ヤケが発生しないように、特別な加工方法を採用した
り、反射防止膜の蒸着前までの滞留時間を短くするよう
に、レンズ等の製造工程における物流を変更したり、恒
温雰囲気中に保管したりという工夫をすることで、ヤケ
の発生防止のための様様な対応をしている。

【０００８】本発明は上記従来の技術の有する未解決の
課題に鑑みてなされたものであり、簡便かつ迅速に、研
磨後のヤケ等による欠陥を検出することができるととも
に、レンズ等光学素子のキズ、砂目、欠け（ピリ）、割
れ（カン）、および泡、折れ込み、キリ等の材料不良を
含む欠陥全般や、成形型の表面異物、凹凸、ピンホール
等の表面欠陥を高感度で検出できる信頼性の高い欠陥検
査方法および欠陥検査装置を提供することを目的とする
ものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の欠陥検査方法は、被検物に検査光を照射
し、透過させて得られる透過光を結像光学系によって結
像面に結像させる工程と、結像された透過光を高感度カ
メラによって受光し、電圧変化として出力する工程と、
出力された電圧変化を画像処理することで前記被検物の
欠陥を検出する工程を有することを特徴とする。

【００１０】被検物が透明物体であるとよい。

【００１１】また、被検物を反転させる工程と、反転さ
れた被検物に検査光を照射し、透過させて得られる透過
光を結像光学系によって結像面に結像させる工程と、結
像された透過光を高感度カメラによって受光し、電圧変
化として出力する工程と、出力された電圧変化を画像処
理して、前記被検物の反転前と比較することで、前記被
検物の両面のいずれに欠陥があるかを判別する工程が付
加されているとよい。

【００１２】また、被検物に検査光を照射し、反射させ
て得られる反射光を結像光学系によって結像面に結像さ
せる工程と、結像された反射光を高感度カメラによって
受光し、電圧変化として出力する工程と、出力された電
圧変化を画像処理することで前記被検物の欠陥を検出す
る工程を有する欠陥検査方法でもよい。

【００１３】本発明の欠陥検査装置は、被検物に照射す
る検査光を発生する光源手段と、前記被検物による前記
検査光の反射光を結像面に結像させる結像光学系と、結
像された前記反射光を受光し、電圧変化として出力する
高感度カメラと、該高感度カメラの出力を画像処理する
ことで前記被検物の欠陥を検出する検出手段を有するこ
とを特徴とする。

【００１４】また、被検物に照射する検査光を発生する
光源手段と、前記被検物による前記検査光の透過光を結
像面に結像させる結像光学系と、結像された前記透過光
を受光し、電圧変化として出力する高感度カメラと、該
高感度カメラの出力を画像処理することで前記被検物の
欠陥を検出する検出手段を有する欠陥検査装置でもよ
い。

【００１５】検出手段が、画像処理して得られた像を画
面表示する表示手段を有するとよい。

【００１６】結像光学系が、高感度カメラに結像する像
を拡大縮小するためのズームレンズを搭載しているとよ
い。

【００１７】光源手段が、略平行光である検査光を発生
するとよい。

【００１８】光源手段が、複数の検査光を発生するため
の複数の光源ユニットを有するとよい。

【００１９】光源手段と被検物の相対角度を調整するた
めの角度調整手段が設けられているとよい。

【００２０】光源手段と被検物の相対位置を調整するた
めの位置調整手段が設けられているとよい。

【００２１】検査光のビーム形状を調整するためのスリ
ットが設けられているとよい。

【００２２】スリットの開口寸法を調整自在であるとよ
い。

【００２３】スリットの周囲に光吸収部材が配設されて
いるとよい。

【００２４】検査光の入射側に、被検物に対向して光吸
収マットが配設されているとよい。

【００２５】光吸収マットが黒色であるとよい。

【００２６】光吸収マットの替わりに、積分球が設けら
れていてもよい。

【００２７】

【作用】検査光を検査対象である光学素子等の被検物に
照射し、これを透過した光もしくは反射した光を高感度
カメラに入射させて電圧変化として出力し、これを画像
処理することにより形成された像を観察することで、表
面欠陥や内部欠陥を検出する。結像光学系によって集光
した透過光もしくは反射光の強弱（電荷量）を高感度カ
メラで電圧の変化として捕らえて形成された像を観察す
るものであるため、光源によるムラが充分に低減されて
おり、被検物の直接目視あるいは拡大像の目視では判別
できない微小な反射率の異常や内部欠陥等の判別が可能
である。

【００２８】すなわち、結像光学系を用いて集光した透
過光もしくは反射光の強弱（電荷量）を電荷結合素子
（ＣＣＤ）等の高感度カメラで電圧の変化として捕らえ
るので、特にレンズ等光学素子の研磨後のヤケによる汚
れ、くもり等の欠陥は言うまでもなく、キズ、砂目、欠
け（ピリ）、割れ（カン）、材料不良による泡、折れ込
み、キリ等を含む光学素子の品質不良全般や、成形型の
表面異物、凹凸、ピンホール等の表面欠陥を高感度に検
出することができる。

【００２９】なお、検査光としては、略平行光を用いる
ことが好適である。略平行光は、例えば所定の一点から
放射状に広がる放射光をレンズ等の光学系を用いてコリ
メートすることによって得ることができる。被検物に照
射される検査光は被検物の検査光の受光面で均一度が高
いことが望まれるため、略平行光が好適である。

【００３０】高感度カメラに結像する像内の、欠陥に基
づく光の強弱が広い範囲にわたる緩やかなものである場
合には、その欠陥の有無を検出することが困難なことが
ある。この場合は、角度調整手段によって、検査光の光
軸方向に対する被検物の光入射面の角度を変化させてか
ら、再度、像を観察する。

【００３１】この光入射面の角度は光源手段を支持する
入射角可変スタンドにある角度目盛り等を読むことで所
定の角度位置にセッティング可能である。

【００３２】また、光学素子のような透明物体である被
検物の欠陥検査において、両面の曲率半径の違い、形状
の違い等により、上述の方法で検査光の光軸方向に対す
る被検物の光入射面の角度を変化させても、その欠陥の
有無を検出することが困難なことがある。その場合に
は、位置調整手段によって、検査光と被検物との位置を
変化させてから、再度、像を観察する。この検査光の位
置は入射角可変スタンドが置かれている面上の位置目盛
り等を読むことで所定の位置にセッティング可能であ
る。

【００３３】レンズ等光学素子のような透明物体の被検
物の欠陥の検査においては、直接光を遮蔽するスリット
を設けて、スリットの開口寸法を被検物の大きさに合わ
せて調整できるように構成するとよい。

【００３４】また、上記の透明物体の被検物の欠陥の検
査において、直接光を遮蔽するスリット周りに、光の散
乱防止のために直接光を吸収することができる黒色の光
吸収部材、例えばアルマイト処理品等を用いることで、
透過光の強弱（電荷量）を精度よく検出できる。

【００３５】さらに、上記の透明物体の被検物の欠陥の
検査において、被検物に照射された直接光が散乱して電
荷結合素子（ＣＣＤ）等に集光しないように、散乱光を
吸収することができる黒色の光吸収マット、例えばアル
マイト処理品、あるいは積分球等を用いることで、透過
光の強弱（電荷量）を精度よく検知できる。

【００３６】なお、レンズ等光学素子のような透明物体
の被検物の欠陥の検査においては、被検物に厚みがある
ために、両面を透過した光の強弱が異なる。そこで、被
検物を反転させて透過光による電圧変化を画像処理して
得られた像を反転前と比較することで、両面のどちらに
欠陥があるかを判断できる。

【００３７】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。

【００３８】図１は、第１の実施の形態を示すもので、
この装置は、略平行光を検査光として使用し、被検物で
あるレンズ（光学素子）に斜め照射して透過光の強弱
（電荷量）を高感度カメラの電荷結合素子（ＣＣＤ）で
電圧の変化として捕らえて形成された像を、モニタ観察
するものである。

【００３９】一般的にレンズの製造プロセスは、荒摺、
精研削、研磨、心取、蒸着工程等を含み、本実施の形態
は、特に研磨工程後のヤケによるレンズの汚れやくもり
等の欠陥を検出するのに適用される。

【００４０】図１の装置は、検査対象であるレンズＷ₁
に照射する検査光を発生する光源手段である一対の光源
ユニット１を有し、２つの光源ユニット１は、それぞ
れ、検査光の光軸とレンズＷ₁の受光面とのなす角を変
化させることの自在である入射角可変スタンド２に支持
され、入射角を検知して調整するための角度調整手段で
ある角度目盛り３ａと、検査光とレンズＷ₁の相対位置
を読んで調整するための位置調整手段である位置目盛り
３ｂが設けられている。

【００４１】さらに、検査光をレンズＷ₁の大きさに合
わせて遮蔽するスリットである開口絞り４と、開口絞り
４の周りの光の散乱防止のためのアルマイト処理された
光吸収部材であるアルミ板５と、レンズＷ₁に照射され
た光がレンズＷ₁に反射されて発生した散乱光を吸収す
る黒色の光吸収マットである黒色マット６を有する。

【００４２】結像光学系１０は、レンズＷ₁を透過した
光の強弱（電荷量）を電圧の変化として捕らえる高感度
カメラを構成する電荷結合素子（ＣＣＤ）１１と、電荷
結合素子１１で捕えた電圧の変化を画像処理して得られ
た像を画面表示する表示手段（検出手段）であるモニタ
１２と、モニタ表示した像の大きさを調整するズームレ
ンズ１３と、モニタ表示した像の照度を調整するために
ズームレンズ１３に搭載した絞り１４と、モニタ表示し
た像の大きさをズームレンズ１３で調整できない場合
に、電荷結合素子１１を上下方向にスライドさせるため
の上下位置調整ナット１５と、電荷結合素子１１に入射
する光の位置を調整する横位置調整ナット１６と、室内
照明からの散乱光をカットする黒体囲い１７と、ズーム
レンズ１３に結合された電荷結合素子１１を支持する固
定ナット１８を備えている。

【００４３】この固定ナット１８は、上下位置調整ナッ
ト１５と横位置調整ナット１６によってレンズＷ₁ の透
過光の光軸に略垂直な移動面に沿って移動可能に保持さ
れている。電荷結合素子１１の前記移動面上の位置は、
上述したようにモニタ表示した像がズームレンズ１３で
調整不可の場合に上下位置調整ナット１５に与えられる
指示に基づいて決定される。

【００４４】各光源ユニット１は、ハロゲンランプ等の
高輝度の点光源１ａ、この点光源１ａから出力された光
を平行化するコリメートレンズ系１ｂ等を有し、これら
は、点光源１ａから発生する熱を吸収する熱線吸収ガラ
スによって覆われている。

【００４５】以下に、レンズＷ₁の欠陥の検査方法を説
明する。

【００４６】まず、レンズＷ₁に対する入射角可変スタ
ンド２の角度目盛り３ａを所定目盛りに合わせる。

【００４７】続いて、検査光とレンズＷ₁の距離を位置
目盛り３ｂの所定目盛りに合わせる。

【００４８】レンズＷ₁の大きさに合わせて開口絞り４
を調整してから、開口絞り４の上に別途、フイルタ等を
載せて、検査光を照射して、平行光が開口絞り４の内側
に収まるように入射角可変スタンド２の角度目盛り３ａ
と位置目盛り３ｂの位置を微調整する。

【００４９】続いて、レンズＷ₁に対して、所定のＣＣ
Ｄ上下位置に上下位置調整ナット１５で合わせる。

【００５０】また、レンズＷ₁に対して、ズームレンズ
１３の絞り１４を所定数字に合わせる。

【００５１】この状態で、レンズＷ₁を指で開口絞り４
の上に保持して、モニタ１２に表示された像を観察す
る。モニタ１２に表示された像がずれている場合は横位
置調整ナット１６で調整する。像の大きさについてはズ
ームレンズ１３のズーミングにて調整する。

【００５２】以上の状態で、光源ユニット１から出力さ
れた平行光をレンズＷ₁に照射する。レンズＷ₁を透過
した透過光は、結像光学系１０のズームレンズ１３と電
荷結合素子１１により集光され、電圧変化として出力さ
れ、画像処理によって形成された像がモニタ１２に画面
表示される。この際、開口絞り４により散乱光は遮蔽さ
れ、レンズＷ₁によって反射されて発生した散乱光は黒
色マット６により吸収されるため、ムラのない直接光の
みによる像が形成される。この像はレンズＷ₁の状態、
すなわち、表面や内部の欠陥を高感度で反映している。

【００５３】このように、光源によるムラは黒色マット
６等によって低減されている。特に、レンズＷ₁が研磨
面状態である場合は、１面あたり４％の光の反射が発生
してムラの原因となるが、反射光を吸収する黒色マット
６等でムラの発生を防止しているため、研磨後のヤケに
よる汚れ、くもりや、微小なキズ、砂目、欠け（ピ
リ）、割れ（カン）、材料不良である泡、折れ込み、キ
リ等の欠陥を高感度に検出することができる。

【００５４】モニタ１２に表示した像は必要に応じて、
撮像結果の格納あるいは印刷を行なう。

【００５５】なお、レンズＷ₁を指で保持する場合は、
一般的に指サックを使用するが、この指サックについて
も散乱光を遮蔽するために黒色指サックを使用すること
で欠陥を高感度に検出することができる。

【００５６】レンズＷ₁の形状により、曲率の大きい面
を下にして保持することで、より一層ムラが少ない像が
得られる。

【００５７】また、レンズＷ₁は厚みがあるために、両
面を透過した光の強弱が異なる。そこで、レンズＷ₁を
指で反転させてモニタ画像を観察することで、両面のど
ちらに欠陥があるかを判断できる。

【００５８】図２は第２の実施の形態を示すもので、こ
の装置は、略平行光源を使用し、被検物である成形型に
斜め照射して反射光の強弱（電荷量）を高感度カメラの
電荷結合素子（ＣＣＤ）で電圧の変化として捕らえて形
成された像をモニタで観察するものである。

【００５９】なお、本実施の形態における成形型は片面
に曲率を有するものであるが、平面であってもよい。成
形型の製造プロセスは、研削、研磨、膜蒸着工程を含
み、全工程で本実施の形態による検査方法および検出装
置を適用できる。特に、研磨、膜蒸着後の表面異物、凹
凸、およびピンホールなどの欠陥検査に好適である。

【００６０】図２の装置は、被検物である成形型Ｗ₂に
照射する検査光を出力する光源ユニット２１を有し、光
源ユニット２１は、検査光の光軸と成形型Ｗ₂の受光面
とのなす角を変化させることの自在である入射角可変ス
タンド２２に支持され、入射角を検知するための角度目
盛り２３ａと、検査光と成形型Ｗ₂の相対位置を読むた
めの位置目盛り２３ｂが設けられている。

【００６１】さらに、検査光を成形型Ｗ₂の大きさに合
わせて遮蔽するスリットである開口絞り２４と、開口絞
り２４の周りの光の散乱防止のためのアルマイト処理さ
れた光吸収部材であるアルミ板２５を有する。

【００６２】結像光学系３０は成形型Ｗ₂を反射した光
の強弱（電荷量）を電圧の変化として捕らえる高感度カ
メラを構成する電荷結合素子（ＣＣＤ）３１と、電荷結
合素子３１で捕えた電圧の変化を像として表示するモニ
タ３２と、モニタ表示した像の大きさを調整するズーム
レンズ３３と、モニタ表示した像の照度を調整するため
にズームレンズ３３に搭載した絞り３４と、モニタ表示
した像の大きさをズームレンズ３３で調整できない場合
に、電荷結合素子３１を上下方向にスライドさせるため
の上下位置調整ナット３５と、電荷結合素子３１に入射
する光の位置を調整する横位置調整ナット３６と、室内
照明からの散乱光をカットする黒体囲い３７と、ズーム
レンズ３３に結合された電荷結合素子３１を支持する固
定ナット３８を備えている。

【００６３】この固定ナット３８は、上下位置調整ナッ
ト３５と横位置調整ナット３６によって成形型Ｗ₂ の反
射光の光軸に略垂直な移動面に沿って移動可能に保持さ
れている。電荷結合素子３１の前記移動面上の位置は、
上述したようにモニタ表示した像がズームレンズ３３で
調整不可の場合に上下位置調整ナット３５に与えられる
指示に基づいて決定される。

【００６４】各光源ユニット２１は、ハロゲンランプ等
の高輝度の点光源２１ａ、この点光源２１ａから出力さ
れた光を平行化するコリメートレンズ系２１ｂ、点光源
２１ａから発生する熱を吸収する熱線吸収ガラス等を備
えているものである。

【００６５】以下に成形型Ｗ₂の欠陥の検査方法を説明
する。

【００６６】まず、成形型Ｗ₂に対する入射角可変スタ
ンド２２の角度目盛り２３ａを所定目盛りに合わせる。

【００６７】続いて、検査光と成形型Ｗ₂の距離を位置
目盛り２３ｂの所定目盛りに合わせる。

【００６８】成形型Ｗ₂の大きさに開口絞り２４を調整
してから、開口絞り２４の上に別途、フイルタ等を載せ
て、検査光を照射して、平行光が開口絞り２４の内側に
収まるように光源ユニット２１の位置を微調整する。

【００６９】続いて、成形型Ｗ₂に対して、所定のＣＣ
Ｄ上下位置に上下位置調整ナット３５で合わせる。

【００７０】また、成形型Ｗ₂に対して、ズームレンズ
３３の絞り３４を所定数字に合わせる。

【００７１】この状態で、成形型Ｗ₂を指で開口絞り２
４の上に保持してモニタ３２に表示された像を観察す
る。モニタ３２に表示された像がずれている場合は横位
置調整ナット３６で調整する。像の大きさについてはズ
ームレンズ３３のズーミングにて調整する。以上の状態
で、光源ユニット２１から出力された平行光を成形型Ｗ
₂に照射する。

【００７２】成形型Ｗ₂を反射した反射光は結像光学系
３０のズームレンズ３３と電荷結合素子３１により集光
され、欠陥を表わす像としてモニタ３２に表示される。
この際、開口絞り２４により散乱光は遮蔽され、直接光
のみによって像が形成される。この像は成形型Ｗ₂の状
態、すなわち、表面状態を高感度で反映しており、光源
によるムラが低減されているために、特に研磨、膜蒸着
後の表面異物、凹凸やピンホールなどの表面欠陥を高感
度で検出できる。

【００７３】モニタ３２に表示した像は必要に応じて、
撮像結果の格納あるいは印刷を行なう。

【００７４】なお、成形型Ｗ₂を指で保持する場合は一
般的に指サックを使用するが、この指サックについても
散乱光を遮蔽するために黒色指サックを使用することで
欠陥を高感度に検出することができる。

【００７５】

【発明の効果】本発明は上述のとおり構成されているの
で、以下に記載するような効果を奏する。

【００７６】略平行光の検査光を被検物に照射し、高感
度カメラによる電圧変化を画像処理することで検査光の
照射された被検物の像を形成し、その像を形成する際に
散乱光等を開口絞りや黒色マットで遮蔽することで、被
検物を直接目視で観察した場合や拡大像を目視で観察し
た場合に発生する光源によるムラが低減され、例えば目
視および拡大のみの方法では検出が困難であった光学素
子のヤケによる汚れ、くもり等の欠陥を極めて高感度
で、例えば反射防止膜の蒸着前に検出できる。

【００７７】特に、光学機器などに使用される光学素子
のキズ、砂目、欠け（ピリ）、割れ（カン）、材料不良
（泡、折れ込み、キリ等）などの欠陥や、成形型の表面
異物、凹凸、あるいはピンホールなどの欠陥を検出する
に当たって、簡便かつ迅速で安定した高感度検査を行な
うことができる。

【００７８】また、検査光の光軸と被検物の間の角度調
整や、検査光と被検物との位置調整を行なうことで、よ
り一層安定した信頼性の高い高感度検査を行なうことが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施の形態によるレンズの欠陥検査装置
を示す模式図である。

【図２】第２の実施の形態による成形型の欠陥検査装置
を示す模式図である。

【符号の説明】

１、２１光源ユニット２、２２入射角可変スタンド３ａ、２３ａ角度目盛り３ｂ、２３ｂ位置目盛り４、２４開口絞り５、２５アルミ板６黒色マット１０、３０結像光学系１１、３１電荷結合素子（ＣＣＤ）１２、３２モニタ１３、３３ズームレンズ１４、３４絞り１５、３５上下位置調整ナット１６、３６横位置調整ナット１７、３７黒体囲い１８、３８固定ナット

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被検物に検査光を照射し、透過させて得
られる透過光を結像光学系によって結像面に結像させる
工程と、結像された透過光を高感度カメラによって受光
し、電圧変化として出力する工程と、出力された電圧変
化を画像処理することで前記被検物の欠陥を検出する工
程を有する欠陥検査方法。
【請求項２】被検物が透明物体であることを特徴とす
る請求項１記載の欠陥検査方法。
【請求項３】被検物を反転させる工程と、反転された
被検物に検査光を照射し、透過させて得られる透過光を
結像光学系によって結像面に結像させる工程と、結像さ
れた透過光を高感度カメラによって受光し、電圧変化と
して出力する工程と、出力された電圧変化を画像処理し
て、前記被検物の反転前と比較することで、前記被検物
の両面のいずれに欠陥があるかを判別する工程を有する
請求項２記載の欠陥検査方法。
【請求項４】被検物に検査光を照射し、反射させて得
られる反射光を結像光学系によって結像面に結像させる
工程と、結像された反射光を高感度カメラによって受光
し、電圧変化として出力する工程と、出力された電圧変
化を画像処理することで前記被検物の欠陥を検出する工
程を有する欠陥検査方法。
【請求項５】被検物が光学素子であることを特徴とす
る請求項１ないし３いずれか１項記載の欠陥検査方法。
【請求項６】被検物が成形型であることを特徴とする
請求項４記載の欠陥検査方法。
【請求項７】検査光が、略平行光であることを特徴と
する請求項１ないし６いずれか１項記載の欠陥検査方
法。
【請求項８】被検物に検査光が斜入射することを特徴
とする請求項１ないし７いずれか１項記載の欠陥検査方
法。
【請求項９】画像処理して得られた像を画面表示する
ことを特徴とする請求項１ないし８いずれか１項記載の
欠陥検査方法。
【請求項１０】高感度カメラがＣＣＤを有することを
特徴とする請求項１ないし９いずれか１項記載の欠陥検
査方法。
【請求項１１】被検物に照射する検査光を発生する光
源手段と、前記被検物による前記検査光の反射光を結像
面に結像させる結像光学系と、結像された前記反射光を
受光し、電圧変化として出力する高感度カメラと、該高
感度カメラの出力を画像処理することで前記被検物の欠
陥を検出する検出手段を有する欠陥検査装置。
【請求項１２】被検物に照射する検査光を発生する光
源手段と、前記被検物による前記検査光の透過光を結像
面に結像させる結像光学系と、結像された前記透過光を
受光し、電圧変化として出力する高感度カメラと、該高
感度カメラの出力を画像処理することで前記被検物の欠
陥を検出する検出手段を有する欠陥検査装置。
【請求項１３】検出手段が、画像処理して得られた像
を画面表示する表示手段を有することを特徴とする請求
項１１または１２記載の欠陥検査装置。
【請求項１４】結像光学系が、高感度カメラに結像す
る像を拡大縮小するためのズームレンズを搭載している
ことを特徴とする請求項１１ないし１３いずれか１項記
載の欠陥検査装置。
【請求項１５】光源手段が、略平行光である検査光を
発生することを特徴とする請求項１１ないし１４いずれ
か１項記載の欠陥検査装置。
【請求項１６】光源手段が、複数の検査光を発生する
ための複数の光源ユニットを有することを特徴とする請
求項１１ないし１５いずれか１項記載の欠陥検査装置。
【請求項１７】検査光が、被検物に対して斜め入射す
ることを特徴とする請求項１１ないし１６いずれか１項
記載の欠陥検査装置。
【請求項１８】光源手段と被検物の相対角度を調整す
るための角度調整手段が設けられていることを特徴とす
る請求項１１ないし１７いずれか１項記載の欠陥検査装
置。
【請求項１９】光源手段と被検物の相対位置を調整す
るための位置調整手段が設けられていることを特徴とす
る請求項１１ないし１８いずれか１項記載の欠陥検査装
置。
【請求項２０】検査光のビーム形状を調整するための
スリットが設けられていることを特徴とする請求項１１
ないし１９いずれか１項記載の欠陥検査装置。
【請求項２１】スリットの開口寸法を調整自在である
ことを特徴とする請求項２０記載の欠陥検査装置。
【請求項２２】スリットの周囲に光吸収部材が配設さ
れていることを特徴とする請求項２０または２１記載の
欠陥検査装置。
【請求項２３】検査光の入射側に、被検物に対向して
光吸収マットが配設されていることを特徴とする請求項
１２ないし２２いずれか１項記載の欠陥検査装置。
【請求項２４】光吸収マットが黒色であることを特徴
とする請求項２３記載の欠陥検査装置。
【請求項２５】光吸収マットの替わりに、積分球が設
けられていることを特徴とする請求項２３記載の欠陥検
査装置。
【請求項２６】高感度カメラがＣＣＤを有することを
特徴とする請求項１１ないし２５いずれか１項記載の欠
陥検査装置。