KR20170104379A - Absorption pad and operation method of absorption pad - Google Patents

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Abstract

According to the present invention, provided is an absorption pad which can protect a work, and can be stably left. The absorption pad (10) comprises: a body unit (11) having an internal space (16); a pad unit (12) interconnected to the internal space (16); a shaft unit (13) having a front end portion (13A) which is provided in the internal space (16) to head for the pad unit (12), wherein the front end portion (13A) reciprocates to the inside and the outside of the pad unit (12); and a shaft elastic unit (14) drawing the front end portion (13A) in the pad unit (12) to maintain the shaft unit (13) in a free state.

Description

흡착용 패드 및 흡착용 패드의 동작 방법{ABSORPTION PAD AND OPERATION METHOD OF ABSORPTION PAD}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an adsorption pad,

본 발명은, 흡착용 패드에 적용하여 유효한 기술에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to an effective technique applied to an adsorption pad.

한국 공개 특허 제10-2006-0082213호 공보(이하 「특허 문헌 1」이라고 한다)에는, 이젝터 핀과, 이젝터 핀을 지탄(指彈)하는 스프링을 구비하는 기계식의 진공 패드가 기재되어 있다. 이 진공 패드에서는, 프리 상태에서 본체부로부터 스프링으로 지탄된 샤프트가 패드부로부터 튀어나가고 있다.Korean Patent Laid-Open No. 10-2006-0082213 (hereinafter referred to as "Patent Document 1") discloses a mechanical vacuum pad having an ejector pin and a spring that fingers the ejector pin. In this vacuum pad, a shaft jammed by a spring from the main body in a free state is protruding from the pad portion.

한국 공개 특허 제10-2006-0082213호 공보Korean Patent Publication No. 10-2006-0082213

흡착용 패드(진공 패드라고도 한다)의 내부 공간이 진공일 때, 그 내부 공간에 에어(이하 「진공 파괴 에어」라고 한다)를 공급함으로써 진공이 파괴된다. 진공 흡인에 의해 워크를 흡착하고 있는 흡착용 패드로부터 워크의 이탈(離脫)을 확실하게 행하기 위해서는, 예를 들면 압력, 유량이라는 토출력, 토출 시간 등에 의한 진공 파괴 에어를 강하게 하는 것이 생각된다. 또한, 워크와 접촉하는 패드부에 달라붙음 방지 가공(예를 들면, 조화(粗化), 코팅)을 시행하여, 패드부의 달라붙는 힘을 내림으로써, 진공 파괴 에어를 약하게 하는 것도 생각된다.When the internal space of the adsorption pad (also referred to as a vacuum pad) is a vacuum, air is supplied to the internal space (hereinafter referred to as "vacuum destroying air") to break the vacuum. In order to reliably separate the work from the adsorption pad that adsorbs the work by vacuum suction, it is conceivable to strengthen the vacuum destruction air due to, for example, the output and discharge time of pressure and flow rate . It is also conceivable to weaken the vacuum destroying air by reducing the sticking force of the pad portion by performing adhesion prevention processing (for example, roughening and coating) on the pad portion in contact with the work.

그렇지만, 진공 파괴 에어를 강하게 한 경우, 이탈 후의 워크가 불어날려질 우려가 있다. 다른 한 편, 진공 파괴 에어를 약하게 한 경우, 예를 들면 일부가 달라붙은 채로 워크를 갖고 되돌아와 버리는 등 워크의 이탈이 불안정하게 될 우려가 있다. 특히, 워크가 소형화, 경량화된 반도체 칩일 때에 이탈이 불안정하게 되기 쉽다. 이 때문에, 진공 파괴 에어의 압력과 유량과 토출 시간을 미조정(微調整)하는 것이 생각되지만, 미조정을 위해 공정수가 증가하고, 그를 위한 제어 기기가 필요하게 되어 버린다.However, when the vacuum destroying air is intensified, there is a fear that the work after the removal is blown out. On the other hand, when the vacuum evacuating air is made weak, there is a possibility that the work may be unstable such as returning the work with the part sticking. Particularly, when the work is a semiconductor chip which is reduced in size and weight, the escape is liable to become unstable. For this reason, it is conceivable to finely adjust (fine adjust) the pressure, the flow rate and the discharge time of the vacuum breaking air, but the number of processes increases for fine adjustment, and a control device for the increase is required.

또한, 특허 문헌 1에 기재된 바와 같은 진공 패드에서는, 패드부에 워크를 접촉시킬 때에 문제가 생겨 버린다. 구체적으로는, 패드부에 워크가 접촉할 때까지, 워크 자신으로 튀어나와 있는 샤프트를 밀어올려서, 샤프트를 본체부에 끌어들여야 하여, 그때에 워크가 데미지를 받을 우려가 있다.Further, in the case of the vacuum pad as described in Patent Document 1, there is a problem in bringing the workpiece into contact with the pad portion. Specifically, the shaft protruding toward the workpiece itself must be pushed up until the workpiece comes into contact with the pad portion, and the shaft must be drawn into the main body portion, so that the workpiece may be damaged at that time.

본 발명의 목적은, 흡착되는 워크를 보호하고, 이탈을 안정하게 행할 수 있는 흡착용 패드를 제공하는 것에 있다. 본 발명의 상기 및 기타의 목적과 신규 특징은, 본 명세서의 기술(記述) 및 첨부 도면으로부터 분명하게 될 것이다.An object of the present invention is to provide an adsorption pad capable of protecting a work to be adsorbed and reliably releasing it. These and other objects and novel features of the present invention will become apparent from the description of the present specification and the accompanying drawings.

본 원에서 개시되는 발명 중, 대표적인 것의 개요를 간단히 설명하면, 다음과 같다.Outline of representative ones of the inventions disclosed in the present application will be briefly described as follows.

본 발명의 한 해결 수단에 관한 흡착용 패드는, 내부 공간을 갖는 본체부와, 상기 내부 공간과 연통하는 패드부와, 선단부를 가지며, 상기 선단부를 상기 패드부를 향하여 상기 내부 공간에 마련되고, 상기 선단부가 상기 패드부의 내외로 왕복이동하는 샤프트부와, 상기 선단부를 상기 패드부 내로 끌어들여(引入) 상기 샤프트부를 유지하는 샤프트 탄성부를 구비하는 것을 특징으로 한다.According to a solving means of the present invention, there is provided a suction pad comprising: a main body having an inner space; a pad portion communicating with the inner space; and a tip portion provided in the inner space toward the pad portion, And a shaft resilient portion for pulling the leading end portion into the pad portion and holding the shaft portion.

여기서, 상기 샤프트부의 스트로크량이, 상기 샤프트부의 상기 선단부가 상기 패드부 밖으로 튀어나가는 최대 튀어나감량(飛出量)보다도 큰 것이 보다 바람직하다. 이에 의하면, 패드부로부터 진공 파괴 에어를 토출한 상태의 후에, 가령 패드부에 워크가 달라붙어 있어도 샤프트부를 이용하여 워크의 이탈을 안정하게 행할 수 있다.It is more preferable that the stroke amount of the shaft portion is larger than the maximum protrusion amount of the shaft portion protruding from the pad portion. According to this, even after the vacuum evacuating air is discharged from the pad portion, even if the workpiece sticks to the pad portion, the workpiece can be reliably separated using the shaft portion.

또한, 상기 내부 공간과 연통하는 에어 출입부와, 상기 내부 공간 내에서 상기 샤프트부와 상기 에어 출입부와의 사이에 마련되는 피스톤부를 또한 구비하는 것이 보다 바람직하다. 이에 의하면, 샤프트부를 샤프트 탄성부에 대항하여 패드부측으로 꽉 누를(押付) 수 있다.In addition, it is further preferable to provide an air inlet / outlet portion communicating with the internal space and a piston portion provided between the shaft portion and the air inlet / outlet portion in the internal space. According to this, the shaft portion can be pressed against the pad portion side against the shaft elastic portion.

또한, 상기 본체부는, 상기 패드부와 연통하고, 상기 샤프트부의 선단부가 삽입되는 가이드 관통부를 또한 가지며, 상기 샤프트부는, 상기 선단부와 반대측에 상기 가이드 관통부보다도 대경의 플랜지부를 또한 갖는 것이 보다 바람직하다. 이에 의하면, 워크의 이탈 후에는 플랜지부에 의해 가이드 관통부(에어 유로)가 막혀, 패드부로부터의 에어의 토출을 정지할 수 있다.It is further preferable that the main body portion further has a guide penetrating portion communicating with the pad portion and inserted into the distal end portion of the shaft portion and the shaft portion further has a flange portion having a larger diameter than the guide penetrating portion on the side opposite to the tip end portion Do. According to this, after the work is released, the guide passage portion (air passage) is closed by the flange portion, and the discharge of the air from the pad portion can be stopped.

본 발명의 한 해결 수단에 관한 흡착용 패드의 동작 방법은, 내부 공간을 갖는 본체부와, 상기 내부 공간과 연통하는 패드부와, 선단부를 상기 패드부를 향하여 상기 내부 공간에 마련되는 샤프트부를 구비하는 흡착용 패드의 동작 방법으로서, (a) 상기 선단부를 상기 패드부 내로 끌어들인 상태인 채로, 상기 내부 공간부터 에어의 흡인을 행하고, 상기 패드부에 워크를 흡착시키는 공정과, (b) 상기 (a)공정의 후, 상기 내부 공간에 에어의 공급을 행하고, 상기 패드부로부터 에어를 토출시킨 후, 상기 샤프트부를 상기 패드부로부터 튀어나가게 하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.According to one aspect of the present invention, there is provided a method of operating a suction pad including a main body having an inner space, a pad portion communicating with the inner space, and a shaft portion provided at the inner space toward the pad portion A method of operating an adsorption pad, comprising the steps of: (a) sucking air from the internal space while attracting the tip portion into the pad portion, and adsorbing the workpiece to the pad portion; (b) and a step of supplying air to the internal space after the step a), causing air to be discharged from the pad part, and then causing the shaft part to protrude from the pad part.

여기서, 상기 (b)공정에서는, 상기 선단부를 상기 패드부로부터 튀어나가게 한 후에, 상기 패드부로부터의 에어의 토출을 정지하는 것이 보다 바람직하다. 이에 의하면, 이탈 후의 워크의 불어날림을 방지할 수 있다.Here, in the step (b), it is more preferable that the discharge of the air from the pad portion is stopped after the tip portion is protruded from the pad portion. According to this, it is possible to prevent the blowing of the work after the deviation.

본 원에서 개시된 발명 중, 대표적인 것에 의해 얻어지는 효과를 간단하게 설명하면, 다음과 같다. 본 발명의 한 해결 수단에 관한 흡착용 패드에 의하면, 흡착된 워크를 보호하고, 이탈을 안정하게 행할 수 있다.Effects obtained by the representative ones of the inventions disclosed in the present application will be briefly described as follows. According to the adsorption pad relating to a solving means of the present invention, the adsorbed work can be protected and the desorption can be stably performed.

도 1은 본 발명의 한 실시 형태에 관한 흡착용 패드의 단면도.
도 2는 도 1에 계속된 동작 공정 중의 흡착용 패드의 단면도.
도 3은 도 2에 계속된 동작 공정 중의 흡착용 패드의 단면도.
도 4는 도 3에 계속된 동작 공정 중의 흡착용 패드의 단면도.
도 5는 도 4에 계속된 동작 공정 중의 흡착용 패드의 단면도.
도 6은 흡착용 패드의 동작 상태를 설명하기 위한 도표.1 is a sectional view of an adsorption pad according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a cross-sectional view of the adsorption pad in the operation process continued from Fig. 1; Fig.
3 is a cross-sectional view of the adsorption pad in the operation process continued from FIG. 2;
Fig. 4 is a cross-sectional view of the adsorption pad in the operation process continued from Fig. 3; Fig.
Fig. 5 is a cross-sectional view of the adsorption pad in the operation process continued from Fig. 4; Fig.
6 is a diagram for explaining the operation state of the adsorption pad.

이하의 본 발명에서의 실시 형태에서는, 구성 요소의 수(개수, 수치, 양, 범위 등을 포함한다)에 관해서는, 특히 명시한 경우나 원리적으로 분명히 특정한 수로 한정되는 경우 등을 제외하고, 그 특정한 수로 한정되는 것이 아니고, 특정한 수 이상이라도 이하라도 좋다. 또한, 구성 요소 등의 형상에 언급할 때는, 특히 명시한 경우 및 원리적으로 분명히 그렇지 않다고 생각된 경우 등을 제외하고, 실질적으로 그 형상 등에 근사 또는 유사한 것 등을 포함하는 것으로 한다.In the following embodiments of the present invention, the number (including the number, the numerical value, the amount, the range, etc.) of the constituent elements is not limited to the specific number, The number is not limited to a specific number but may be a specific number or more. In addition, when referring to the shape of a component or the like, it is to be understood that the reference to the shape of the component or the like includes substantially similar or similar features to the shape or the like, unless otherwise specified,

본 발명의 한 실시 형태에 관한 흡착용 패드(10)에 관해, 도면을 참조하여 설명한다. 도 1 내지 도 5는, 동작 공정 중의 흡착용 패드(10)의 단면도이다. 도 6은, 흡착용 패드(10)의 동작 상태를 설명하기 위한 도표이고, 포지션 1 내지 5는 각각 도 1 내지 5에 대응하고 있다.The adsorption pad 10 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 to 5 are sectional views of the adsorption pad 10 during the operation process. Fig. 6 is a table for explaining the operation state of the adsorption pad 10, and Positions 1 to 5 correspond to Figs. 1 to 5, respectively.

우선, 흡착용 패드(10)의 구성을 개략해서 설명한다. 흡착용 패드(10)는, 예를 들면, 진공을 이용한 흡착 반송의 분야에 적용되고, 예를 들면 나사 기구나 조인트에 의해 튜브(에어 유로)를 통하여 에어 공급원(도시 생략)과 연결된다. 에어 공급원은, 예를 들면, 전환 밸브(솔레노이드 밸브 등), 조압(調壓) 장치, 진공 펌프, 및 컴프레서를 구비하고, 연결된 흡착용 패드(10)에 대해 에어 흡인, 공급 가능한 구성이다. 따라서 흡착용 패드(10)는, 에어 공급원부터의 진공 흡인(에어 흡인이라고도 한다)에 의해 워크(W)(예를 들면 반도체 칩)를 흡착하거나, 에어 공급에 의해 워크(W)를 이탈시키거나 할 수 있다.First, the structure of the adsorption pad 10 will be outlined. The adsorption pad 10 is applied to the field of adsorption transportation using, for example, a vacuum, and is connected to an air supply source (not shown) through a tube (air flow path), for example, by a screw mechanism or a joint. The air supply source is, for example, a configuration having a switching valve (solenoid valve or the like), a pressure regulating device, a vacuum pump, and a compressor, and capable of air sucking and supplying to the adsorbing pad 10 connected thereto. Therefore, the adsorption pad 10 can adsorb the workpiece W (e.g., a semiconductor chip) by vacuum suction from the air supply source (also referred to as air suction), or remove the workpiece W by air supply can do.

여기서, 본 실시 형태에서는, 에어 공급원에 의해 흡인되는 에어를 「진공 에어」로 하고, 공급되는 에어를 「진공 파괴 에어」로 하여 설명하다. 또한, 진공 흡인은, 주위가 높은 압력에 비교하여 낮은 압력을 발생시켜서 흡인하는 것이고, 반드시 1기압 이하의 진공이라고는 한하지 않는다.Here, in the present embodiment, the air sucked by the air supply source is referred to as "vacuum air", and the supplied air is referred to as "vacuum destroying air". In addition, the vacuum suction generates suction by generating a lower pressure as compared with a high pressure in the surroundings, and is not necessarily limited to a vacuum of 1 atm or lower.

흡착용 패드(10)는, 본체부(11)와, 패드부(12)와, 샤프트부(13)와, 샤프트 탄성부(14)와, 피스톤부(15)를 구비하여 구성된다. 본 실시 형태에서는, 흡착용 패드(10)가 축선(X)을 갖고 있고, 도면에 도시하는 축선(X)의 일방을 상방(上方), 타방을 하방(下方)으로 하여 설명하는 경우가 있다.The adsorption pad 10 is constituted by a body portion 11, a pad portion 12, a shaft portion 13, a shaft elastic portion 14, and a piston portion 15. In the present embodiment, the adsorption pad 10 has the axis X, and one side of the axis X shown in the drawing is described as being upward (upper side) and the other side downward (downward).

본체부(11)는, 내부 공간(16)을 갖는다. 내부 공간(16)은, 주로 샤프트부(13)가 존재하는 샤프트실(16A)과, 주로 피스톤부(15)가 존재하는 피스톤실(16B)을 갖는다. 샤프트실(16A)과 피스톤실(16B)은 인접하여 연통하여 있다. 이와 같은 내부 공간(16)은, 진공 에어에 의해 진공 상태가 된다. 진공 상태는, 진공 파괴 에어에 의해 파괴된다. 이 때문에, 내부 공간(16)은, 진공 에어 및 진공 파괴 에어가 흐르는 에어 유로라고도 할 수 있다.The main body part (11) has an internal space (16). The internal space 16 has a shaft chamber 16A mainly having a shaft portion 13 and a piston chamber 16B mainly having a piston portion 15 therein. The shaft chamber 16A and the piston chamber 16B are adjacent to each other. Such an inner space 16 is evacuated by vacuum air. The vacuum state is destroyed by the vacuum destroying air. Therefore, the inner space 16 may be referred to as an air passage through which vacuum air and vacuum destroying air flow.

본체부(11)는, 상방측에 내부 공간(16)의 피스톤실(16B)과 연통하는 에어 출입부(11A)를 갖는다. 에어 출입부(11A)는, 에어 유로가 되는 에어 관통부(16C)를 갖는다. 에어 출입부(11A)에서 흡착용 패드(10)는 에어 공급원과 연결된다. 또한, 본체부(11)는, 패드부(12)와 연통하고, 샤프트부(13)의 선단부(13A)가 삽입되는 가이드 관통부(16D)를 갖는다. 이 가이드 관통부(16D)는, 내부 공간(16)의 샤프트실(16A)과 연통하고, 에어 유로가 되다. 또한, 에어 관통부(16C) 및 가이드 관통부(16D)도 에어 유로가 되기 때문에, 내부 공간(16)에 포함된다.The main body portion 11 has an air inlet / outlet portion 11A communicating with the piston chamber 16B of the internal space 16 on the upper side. The air inlet / outlet section 11A has an air passage section 16C serving as an air passage. In the air inlet portion 11A, the adsorption pad 10 is connected to an air supply source. The main body portion 11 has a guide through portion 16D communicating with the pad portion 12 and into which the distal end portion 13A of the shaft portion 13 is inserted. The guide penetrating portion 16D communicates with the shaft chamber 16A of the inner space 16 and becomes an air flow passage. The air passage portion 16C and the guide passage portion 16D are also included in the internal space 16 because they are air passages.

패드부(12)는, 리브(12A)(개구)를 가지며, 내부 공간(16)과 연통하여 본체부(11)의 하방측에 마련된다. 즉, 패드부(12)와 내부 공간(16)이 연통하여 있다. 이 때문에, 본체부(11)의 내부 공간(16)에 한하지 않고 패드부(12)의 내부 공간을 포함하고, 흡착용 패드(10) 전체의 내부 공간이라고 말할 수 있다.The pad portion 12 has a rib 12A (opening) and is provided on the lower side of the main body portion 11 in communication with the internal space 16. [ That is, the pad portion 12 and the inner space 16 are in communication with each other. Therefore, it is not limited to the inner space 16 of the main body portion 11 but includes the inner space of the pad portion 12 and can be said to be the inner space of the entire pad 10 for absorption.

샤프트부(13)는, 선단부(13A) 및 유지부(13B)를 가지며, 선단부(13A)를 패드부(12)를 향하여, 내부 공간(16)에 마련된다. 또한, 샤프트부(13)는, 선단부(13A)와 반대측에 가이드 관통부(16D)보다도 대경의 플랜지부(13C)를 갖는다. 이 때문에, 플랜지부(13C)는, 가이드 관통부(16D)를 막을 수 있다.The shaft portion 13 has a tip end portion 13A and a holding portion 13B and is provided in the inner space 16 with the tip end portion 13A directed toward the pad portion 12. [ The shaft portion 13 has a flange portion 13C having a larger diameter than the guide through portion 16D on the side opposite to the tip end portion 13A. Therefore, the flange portion 13C can close the guide through portion 16D.

샤프트부(13)는, 선단부(13A)가 패드부(12)의 내외로 왕복이동한다. 본 실시 형태에서는, 샤프트부(13)가 왕복이동할 때에, 샤프트부(13)의 선단부(13A) 및 유지부(13B)가 본체부(11)(가이드 본체부(11B))의 가이드 관통부(16D) 내에서 활주한다. 또한, 가이드 관통부(16D)의 에어 유로를 명확히 하기 위해, 도 1 등에서는, 축선(X)의 좌측에 대해 우측의 선단부(13A) 및 유지부(13B)를 가늘게 도시하고 있다.The distal end portion 13A of the shaft portion 13 reciprocates to the inside and outside of the pad portion 12. The distal end portion 13A and the holding portion 13B of the shaft portion 13 are engaged with the guide penetrating portion 13B of the main body portion 11 (the guide main body portion 11B) 16D). In order to clarify the air flow path of the guide penetrating portion 16D, the right end 13A and the holding portion 13B are shown thinly on the left side of the axis X in Fig. 1 and the like.

샤프트 탄성부(14)는, 흡착용 패드(10)가 프리 상태(에어 출입이 없는 상태)에서, 선단부(13A)를 패드부(12) 내(내부 공간(16) 내)로 끌어들여 샤프트부(13)를 유지하도록 마련된다(도 1 참조). 구체적으로는, 샤프트 탄성부(14)는, 가이드 관통부(16D) 내에서, 본체부(11)의 유지부(11D)(단차부(段付部))와, 샤프트부(13)의 유지부(13B)와의 사이(단차부)에 마련된다.The shaft resilient portion 14 pulls the distal end portion 13A into the pad portion 12 (within the inner space 16) in the free state of the adsorption pad 10 (See Fig. 1). Specifically, the shaft resilient portion 14 includes a holding portion 11D (a stepped portion) of the main body portion 11 and a retaining portion 11D (stepped portion) of the shaft portion 13 in the guide penetrating portion 16D. (Stepped portion) with respect to the portion 13B.

이와 같은 흡착용 패드(10)에 의하면, 샤프트부(13)의 선단부(13A)를 패드부(12) 내로 끌어들인 상태에서, 패드부(12)에 워크(W)를 흡착시킬 수 있다(도 3 참조). 즉, 샤프트부(13)에 의한 워크(W)의 데미지를 없애어, 흡착된 워크(W)를 보호할 수 있다.According to such a suction pad 10, the work W can be attracted to the pad portion 12 in a state in which the distal end portion 13A of the shaft portion 13 is drawn into the pad portion 12 3). In other words, the damage of the workpiece W by the shaft portion 13 is eliminated, and the attracted workpiece W can be protected.

또한, 흡착용 패드(10)는, 샤프트 탄성부(14)의 신축운동(상하운동)에 수반하여, 샤프트부(13)가 왕복이동(상하운동)하도록 구성된다. 본 실시 형태에서는, 샤프트부(13)와 에어 출입부(11A)와의 사이로서 내부 공간(16)에 마련되는 피스톤부(15)에 의해, 샤프트부(13)를 샤프트 탄성부(14)에 대항하여 패드부(12)측으로 꽉 누를 수 있다. 이 피스톤부(15)는, 추력(推力)에 의해, 왕복이동(상하운동)한다. 예를 들면, 샤프트부(13)의 선단부(13A)가 패드부(12)로부터 튀어나갈 때는, 진공 파괴 에어의 작용(샤프트실(16A)과 피스톤실(16B)과의 사이에서 발생하는 압력차)에 의해 피스톤부(15)를 통하여 샤프트부(13)가 압출되어 아래로 움직이고, 샤프트 탄성부(14)가 수축된 상태가 된다.The adsorption pad 10 is configured such that the shaft portion 13 reciprocates (moves up and down) in accordance with the expansion and contraction movement (vertical movement) of the shaft elastic portion 14. The piston portion 15 provided in the inner space 16 between the shaft portion 13 and the air inlet and outlet 11A serves to prevent the shaft portion 13 against the shaft elastic portion 14. [ And can be pushed toward the pad portion 12 side. The piston portion 15 reciprocates (moves up and down) by a thrust. For example, when the distal end portion 13A of the shaft portion 13 protrudes from the pad portion 12, the action of the vacuum breaking air (the pressure difference generated between the shaft chamber 16A and the piston chamber 16B) The shaft portion 13 is pushed out through the piston portion 15 and moved downward to bring the shaft elastic portion 14 into a contracted state.

또한, 흡착용 패드(10)는, 내부 공간(16) 내에서의 샤프트부(13)의 스트로크량(x1)(도 1 참조)이, 샤프트부(13)의 선단부(13A)가 패드부(12) 밖에 튀어나가는 최대 튀어나감량(x2)(도 5 참조)보다도 커지도록 구성된다. 이에 의해, 워크(W)를 이탈시킬 때에는, 패드부(12)로부터 진공 파괴 에어를 토출한 상태(도 4 참조)의 후에, 가령 패드부(12)에 워크(W)가 달라붙어 있어도 샤프트부(13)를 이용하여 기계적으로 워크(W)를 압출하는(도 5 참조) 것도 가능하고, 워크(W)의 이탈을 안정하게 행할 수 있다. 이 때문에, 샤프트부(13)는, 흡착하고 있는 워크(W)의 이탈을 보조하는 것으로서 사용된다.1) of the shaft portion 13 in the inner space 16 is larger than the stroke x1 of the shaft portion 13 (see FIG. 1) (See FIG. 5) which exceeds the maximum protrusion amount x2 (FIG. Thus, when the work W is released, even if the work W is stuck to the pad portion 12 after the vacuum breaking air is discharged from the pad portion 12 (see Fig. 4) It is also possible to mechanically extrude the workpiece W (see Fig. 5) using the workpiece 13, so that the workpiece W can be stably released. For this reason, the shaft portion 13 is used to assist in releasing the workpiece W that is being adsorbed.

또한, 워크(W)의 이탈 후, 즉, 패드부(12)로부터 샤프트부(13)가 튀어나간 후에, 플랜지부(13C)에 의해 가이드 관통부(16D)가 막히기 때문에(도 5 참조), 진공 파괴 에어의 토출을 정지시킬 수 있다. 또한, 진공 파괴 에어의 토출을 정지함에 의해, 워크(W)의 불어날림을 방지할 수 있다. 이 때문에, 경량의 워크(W)의 이탈을 안정적으로 할 수 있고, 워크(W)의 생산성 향상(사이클 타임 향상, 기계 가동률 향상)이 된다.5) after the work W has been released, that is, after the shaft portion 13 has protruded from the pad portion 12, the guide penetrating portion 16D is blocked by the flange portion 13C, It is possible to stop the discharge of the vacuum breaking air. In addition, blowing of the work W can be prevented by stopping the discharge of the vacuum breaking air. Therefore, the lightweight workpiece W can be reliably separated from the workpiece W and the productivity of the workpiece W can be improved (the cycle time is improved and the machine operation rate is improved).

또한, 진공 파괴 에어의 정지를 플랜지부(13C)에 의해 가이드 관통부(16D)를 막음에 의해 행하기 때문에, 진공 파괴 에어의 압력, 유량, 토출 시간의 설정을 러프하게 행할 수 있고, 조정 공수를 삭감할 수 있다. 또한, 불어날림 방지를 위해, 진공 파괴 에어를 제어하는 제어 기기를 이용할 필요가 없어지기 때문에, 흡착용 패드(10)를 이용한 흡착 시스템의 비용을 저감할 수 있다.In addition, since the stopping of the vacuum breaking air is performed by clogging the guide through portion 16D by the flange portion 13C, the pressure of the vacuum breaking air, the flow rate, and the discharging time can be set roughly, Can be reduced. In addition, since it is not necessary to use a control device for controlling the vacuum breaking air for preventing blowing, the cost of the adsorption system using the adsorption pad 10 can be reduced.

다음에, 흡착용 패드(10)의 구성을 구체적으로 설명한다. 흡착용 패드(10)는, 내부 공간(16)을 갖는 본체부(11)를 구비한다. 본체부(11)는, 예를 들면 금속 등의 도전성 부재로 구성된다. 도전성 부재에 의하면, 워크(W)로서의 반도체 칩 등의 전자 부품이 정전(靜電) 파괴되는 것을 방지할 수 있다.Next, the structure of the adsorption pad 10 will be described in detail. The adsorption pad (10) has a body portion (11) having an internal space (16). The main body portion 11 is made of a conductive member such as a metal. According to the conductive member, electrostatic breakdown of an electronic component such as a semiconductor chip as a workpiece W can be prevented.

내부 공간(16)은, 축선(X) 방향에서 상방측부터 하방측으로 에어 관통부(16C), 피스톤실(16B), 샤프트실(16A), 가이드 관통부(16D)가 이 순서로 연통하여 구성되어 있다. 여기서, 샤프트실(16A)의 내경이 피스톤실(16B)의 내경보다도 크게 되어, 샤프트실(16A)과 피스톤실(16B)과의 사이에 단차(段付)가 생긴다. 이 단차부는, 샤프트부(13)의 상방측으로 이동을 규제하는 스토퍼부(11F)가 된다. 또한, 피스톤실(16B)의 내경이 에어 관통부(16C)의 내경보다도 크게 되어, 피스톤실(16B)과 에어 관통부(16C)와의 이에 단차가 생긴다. 이 단차부는, 피스톤부(15)의 상방측으로의 이동을 규제하는 스토퍼부(11G)가 된다.The internal space 16 has an air passage portion 16C, a piston chamber 16B, a shaft chamber 16A and a guide passage portion 16D in this order from the upper side to the lower side in the direction of the axis X . Here, the inner diameter of the shaft chamber 16A is larger than the inner diameter of the piston chamber 16B, and a step is formed between the shaft chamber 16A and the piston chamber 16B. This stepped portion becomes a stopper portion 11F for restricting the movement to the upper side of the shaft portion 13. The inner diameter of the piston chamber 16B is larger than the inner diameter of the air passage portion 16C so that a step is formed between the piston chamber 16B and the air passage portion 16C. This step portion serves as a stopper portion 11G for restricting the upward movement of the piston portion 15.

본체부(11)는, 에어 관통부(16C)를 갖는 부분이 에어 출입부(11A)로서 구성되어 있다. 이 에어 출입부(11A)에서는 예를 들면 나사 기구나 조인트에 의해, 튜브를 통하여 에어 공급원과 연결된다. 본체부(11)의 내부 공간(16)에는, 에어 출입부(11A)의 에어 관통부(16C)를 통하여 에어 공급원에 의해 에어가 흡인되거나, 에어가 공급되거나 한다. 그리고, 흡착용 패드(10)는, 에어 출입부(11A)와 에어 공급원과의 연결 부분에 마련되고, 에어 리크의 발생을 방지하기 위한 실 부(22)(예를 들면, 개스킷)를 구비한다.In the main body portion 11, a portion having the air penetrating portion 16C is configured as an air inlet / outlet portion 11A. The air inlet 11A is connected to an air supply source through a tube, for example, by a screw mechanism or a joint. The air is sucked or supplied to the inner space 16 of the main body portion 11 by the air supply source through the air penetration portion 16C of the air inlet and outlet portion 11A. The adsorption pad 10 is provided at a connecting portion between the air inlet and outlet 11A and the air supply source and has an air seal 22 (for example, a gasket) for preventing air leakage .

또한, 본체부(11)는, 가이드 관통부(16D)를 갖는 부분이 가이드 본체부(11B)로서 구성되어 있다. 가이드 본체부(11B)는, 가이드 관통부(16D)에 삽입되어 있는 샤프트부(13)의 선단부(13A) 및 선단부(13A)보다도 대경의 유지부(13B)(대경부)의 왕복이동을 가이드 한다. 이 때문에, 선단부(13A)만이 삽입되는 소경의 것과, 선단부(13A) 및 유지부(13B)가 삽입되는 대경의 것과의 사이에서 단차가 생긴다. 또한, 이 단차부는, 샤프트 탄성부(14)를 유지하는 유지부(11D)가 된다.The main body portion 11 has a guide main body portion 11B in which the portion having the guide penetrating portion 16D is formed. The guide main body portion 11B is formed so that the distal end portion 13A of the shaft portion 13 inserted into the guide penetrating portion 16D and the reciprocating movement of the holding portion 13B (large- do. Therefore, there is a step between the small diameter in which only the distal end portion 13A is inserted and the large diameter in which the distal end portion 13A and the holding portion 13B are inserted. Further, this stepped portion becomes a holding portion 11D for holding the shaft elastic portion 14.

가이드 본체부(11B)는, 내부 공간(16)에 샤프트부(13)나 피스톤부(15) 등의 부품을 조립하기 위해, 캡으로서 나사 기구에 의해 착탈 가능하게 되어 있다. 그리고, 흡착용 패드(10)는, 본체부(11)의 주된 부분과, 캡부분인 가이드 본체부(11B)와의 연결 개소에 마련되고, 내부 공간(16)으로부터의 에어 리크를 방지하기 위한 실 부(23)(예를 들면, O링)를 구비한다.The guide main body portion 11B is detachable as a cap by a screw mechanism so as to assemble components such as the shaft portion 13 and the piston portion 15 into the internal space 16. [ The adsorption pad 10 is provided at a connection portion between the main portion of the main body 11 and the guide body portion 11B which is the cap portion and has a seal for preventing air leakage from the internal space 16. [ (For example, an O-ring).

또한, 흡착용 패드(10)는, 패드부(12)를 구비한다. 패드부(12)는, 예를 들면 니트릴 고무, 실리콘 고무, 도전성 고무 등 고무 부재로 구성된다. 고무 부재에 의하면, 워크(W)와 접할 때에 워크(W)를 보호할 수 있다. 패드부(12)는, 본체부(11)(가이드 본체부(11B))가 갖는 캡 유지부(11C)에 의해 유지된다. 본 실시 형태에서는, 플랜지형상의 캡 유지부(11C)에 감합(嵌合)시키도록 패드부(12)의 내부에 둘레홈(周溝)이 형성되고, 본체부(11)에 패드부(12)가 부착된다(유지된다). 고무 부재로 구성되는 패드부(12)라면, 본체부(11)와 패드부(12)와의 연결 부분의 실(seal) 성은 확보된다. 또한, 본 실시 형태에서는, 본체부(11)와 패드부(12)는 별체로 하고, 본체부(11)에 패드부(12)를 부착하고 있지만, 본체부(11)와 패드부(12)가 예를 들면 수지재에 의해 일체 성형되어 좋다.The adsorption pad 10 is provided with a pad portion 12. The pad portion 12 is made of, for example, a rubber member such as nitrile rubber, silicone rubber, or conductive rubber. According to the rubber member, the work W can be protected when contacting the work W. The pad portion 12 is held by the cap holding portion 11C of the main body portion 11 (the guide main body portion 11B). In this embodiment, a circumferential groove is formed in the pad portion 12 so as to fit into the flange-shaped cap holding portion 11C and the pad portion 12 Is attached (held). The sealability of the connection portion between the body portion 11 and the pad portion 12 is ensured if the pad portion 12 is formed of a rubber member. Although the main body 11 and the pad 12 are separate from each other and the pad 12 is attached to the main body 11 in the present embodiment, For example, by a resin material.

본체부(11)에 부착된 패드부(12)는, 내부 공간(16)(가이드 관통부(16D))과 연통하는 패드 관통부(12B)를 갖는다. 이 패드 관통부(12B)는, 워크(W)를 흡착하기 위한 면적을 확보하기 위한 리브(12A)로 끝이 넓도록 개구한다. 리브(12A)의 지름은, 예를 들면 워크(W)가 수㎜각(角)의 소형화, 경량화된 반도체 칩인 경우, 3㎜ 정도가 되지만, 워크(W)의 크기, 무게에 의해서는 200㎜ 정도가 된다. 이와 같은 패드 관통부(12B)는, 워크(W)가 패드부(12)로 흡착되어 있는 경우, 진공 상태가 된다(도 3 참조).The pad portion 12 attached to the main body portion 11 has a pad penetration portion 12B communicating with the internal space 16 (the guide penetration portion 16D). The pad penetrating portion 12B is opened so as to have a wide end with a rib 12A for securing an area for absorbing the work W. [ The diameter of the rib 12A is about 3 mm in the case of a semiconductor chip in which the work W is a miniaturized and lightweight semiconductor wafer of several mm square, . Such a pad penetration portion 12B is in a vacuum state when the workpiece W is adsorbed by the pad portion 12 (see FIG. 3).

또한, 흡착용 패드(10)는, 샤프트부(13)를 구비한다. 샤프트부(13)는, 본체부(11)와 마찬가지로, 예를 들면 금속 등의 도전성 부재로 구성된다. 샤프트부(13)는, 길이 방향(축선(X) 방향)에서 하방측부터 상방측으로, 선단부(13A), 유지부(13B), 플랜지부(13C)가 이 순서로 구성되어 있다. 유지부(13B)는 선단부(13A)보다도 대경으로 하고, 플랜지부(13C)는 유지부(13B)보다도 더욱 대경으로 하고 있다.The adsorption pad (10) has a shaft portion (13). Like the body portion 11, the shaft portion 13 is made of a conductive member such as a metal. The shaft portion 13 is composed of the tip portion 13A, the holding portion 13B and the flange portion 13C in this order from the lower side to the upper side in the longitudinal direction (the axis X direction). The holding portion 13B is larger in diameter than the tip portion 13A and the flange portion 13C is larger in diameter than the holding portion 13B.

이와 같은 샤프트부(13)는, 길이 방향(축선(X) 방향)으로 관통하는 샤프트 관통부(13D)를 갖는다. 샤프트 관통부(13D)는, 워크(W)를 흡착할 때에 에어 유로로서 이용된다(도 2 참조). 또한, 샤프트 관통부(13D)는, 피스톤부(15)에 의해 개폐된다. 샤프트 관통부(13D)가 피스톤부(15)에 의해 폐색되는 경우에는, 피스톤부(15)가 샤프트부(13)의 플랜지부(13C)와 접하게 된다. 본 실시 형태에서는, 샤프트부(13)의 플랜지부(13C)에 피스톤부(15)가 접촉하는 개소를 포트(A)로 하고, 플랜지부(13C)가 가이드 본체부(11B)에 접촉하는 개소를 포트(B)로 하여 설명한다.Such a shaft portion 13 has a shaft penetrating portion 13D penetrating in the longitudinal direction (axis X direction). The shaft penetration portion 13D is used as an air flow path when the work W is sucked (see Fig. 2). The shaft penetration portion 13D is opened and closed by the piston portion 15. [ When the shaft penetration portion 13D is closed by the piston portion 15, the piston portion 15 comes into contact with the flange portion 13C of the shaft portion 13. [ The portion where the piston portion 15 contacts the flange portion 13C of the shaft portion 13 is set as the port A and the portion where the flange portion 13C is in contact with the guide body portion 11B As the port B will be described.

또한, 플랜지부(13C)는, 상면측(피스톤부(15)측)으로부터 패어지는 패임부(24)를 갖는다. 샤프트 관통부(13D)는, 이 패임부(24)의 속측(奧側)에서 개구하고 있다. 패임부(24)를 마련함으로써, 샤프트부(13) 및 피스톤부(15)를 본체부(11)에 용이하게 조립할 수 있다. 또한, 패임부(24)를 마련하지 않고서, 플랜지부(13C)의 상면을 평탄면으로 하여, 샤프트 관통부(13D)를 개구하는 구성이라도 좋다.The flange portion 13C has a recess portion 24 that is separated from the upper surface side (the piston portion 15 side). The shaft penetration portion 13D is opened at the fast side of the recess portion 24. The shaft portion 13 and the piston portion 15 can be easily assembled to the main body portion 11 by providing the depressed portion 24. [ The shaft penetrating portion 13D may be opened with the upper surface of the flange portion 13C as a flat surface without providing the depressed portion 24. [

또한, 흡착용 패드(10)는, 샤프트 탄성부(14)를 구비한다. 샤프트 탄성부(14)는 예를 들면 스테인리스재로 구성되는 코일형상의 스프링이고, 이것에 샤프트부(13)가 삽입된다. 샤프트 탄성부(14)는, 가이드 관통부(16D) 내에서 본체부(11)(가이드 본체부(11B))의 유지부(11D)와, 샤프트부(13)의 유지부(13B)와의 사이에 마련된다. 그리고, 샤프트 탄성부(14)는, 프리 상태에서는, 선단부(13A)를 패드부(12) 내로 끌어들여서 샤프트부(13)를 유지한다(도 1 참조).The adsorption pad 10 is provided with a shaft elastic portion 14. The shaft elastic portion 14 is a coil-shaped spring made of, for example, stainless steel, and the shaft portion 13 is inserted into the coiled spring. The shaft elastic portion 14 is provided between the holding portion 11D of the main body portion 11 (the guide body portion 11B) and the holding portion 13B of the shaft portion 13 in the guide penetration portion 16D Respectively. Then, in the free state, the shaft elastic portion 14 pulls the tip end portion 13A into the pad portion 12 to hold the shaft portion 13 (see Fig. 1).

본 실시 형태에서는, 내부 공간(16) 내에서의 샤프트부(13)의 스트로크량(x1)(도 1 참조)이, 샤프트부(13)의 선단부(13A)가 패드부(12) 밖으로 튀어나가는 최대 튀어나감량(x2)(도 5 참조)보다도 커지도록 구성된다. 여기서, 스트로크량(x1)은, 샤프트부(13)의 플랜지부(13C)가 스토퍼부(11F)에 접한 상태로부터, 샤프트부(13)의 플랜지부(13C)가 가이드 본체부(11B)에 접할(포트(B)) 때까지의 거리이다.The stroke amount x1 of the shaft portion 13 in the inner space 16 (see Fig. 1) is larger than the stroke amount x1 of the shaft portion 13 Is larger than the maximum push-out amount x2 (see Fig. 5). The stroke amount x1 is set such that the flange portion 13C of the shaft portion 13 contacts the guide main body portion 11B from the state in which the flange portion 13C of the shaft portion 13 is in contact with the stopper portion 11F (The port B).

또한, 흡착용 패드(10)는, 피스톤부(15)를 구비한다. 이 피스톤(15)는, 내부 공간(16) 내에서 샤프트부(13)와 에어 출입부(11A)와의 사이에 마련된다. 이 피스톤부(15)는, 추력에 의해 왕복이동(상하운동)한다. 구체적으로는, 피스톤부(15)는, 진공 에어에 의해 상방에, 진공 파괴 에어에 의해 하방에 이동한다.The adsorption pad (10) has a piston (15). The piston 15 is provided in the inner space 16 between the shaft portion 13 and the air inlet / outlet 11A. The piston 15 reciprocates (moves up and down) by thrust. Specifically, the piston portion 15 moves downward by the vacuum air, and downward by the vacuum breaking air.

이 피스톤부(15)는, 에어 출입부(11A)측의 패임부(15A)와, 패임부(15A)의 깊이 방향(축선(X) 방향)과 교차하는 방향으로 늘어나 패임부(15A)와 연통하는 교차 관통부(15B)(도 1에서는 축선(Y)을 도시한다)를 갖는다. 흡착용 패드(10)에 공급되어 온 진공 파괴 에어에 의해 피스톤부(15) 및 샤프트부(13)가 밀어내려(押下)진다. 이 밀어내림 동작 중에 교차 관통부(15B) 및 에어 유로(샤프트부(13)의 외주면과 내부 공간(16)의 내주면과의 사이에서 형성되다)에 의해 진공 파괴 에어를 패드부(12)에 향하여 송출할 수 있다. 또한, 패임부(15A)의 저부에는 샤프트부(13)측에 축선(X) 방향에 따라 관통하는 작은 구멍(에어 유량이 작은 것)을 마련하여 둘 수도 있다.The piston portion 15 extends in the direction intersecting the depth direction (axial direction X direction) of the depression 15A and the depression 15A on the side of the air inlet / And has a crossing through portion 15B (indicated by an axis Y in Fig. 1) that communicates with each other. The piston portion 15 and the shaft portion 13 are pushed down (pushed down) by the vacuum breaking air supplied to the adsorption pad 10. (Formed between the outer circumferential surface of the shaft portion 13 and the inner circumferential surface of the inner space 16) during the pushing-down operation and toward the pad portion 12 It can send out. A small hole (one having a small air flow rate) may be provided on the bottom of the depression 15A on the side of the shaft portion 13 in the direction of the axis X.

또한, 흡착용 패드(10)는, 피스톤 탄성부(25)를 구비한다. 피스톤 탄성부(25)는, 예를 들면 스테인리스재로 구성되는 코일형상의 스프링이다. 이 피스톤 탄성부(25)는, 본체부(11)의 유지부(11E)(패임부)와, 피스톤부(15)의 패임부(15A)에 걸리도록 하여 유지된다(감입(嵌入)된다). 본 실시 형태에서는, 피스톤 탄성부(25)로서 샤프트 탄성부(14)보다도 추력(스프링 하중)이 작은 것을 사용하고 있다.The adsorption pad 10 is provided with a piston elastic portion 25. The piston elastic portion 25 is a coil-shaped spring made of, for example, stainless steel. The piston elastic portion 25 is retained (inserted) into engagement with the retaining portion 11E (depressed portion) of the main body portion 11 and the depressed portion 15A of the piston portion 15, . In the present embodiment, the piston elastic portion 25 is smaller in thrust (spring load) than the shaft elastic portion 14 is used.

다음에, 흡착용 패드(10)의 동작 방법을 설명한다. 프리 상태(에어 출입이 없는 상태)의 흡착용 패드(10)는, 도 1(도 6의 포지션 1에 대응)에 도시하는 바와 같이, 샤프트부(13)의 선단부(13A)가 패드부(12) 내로 끌어들인 상태가 된다. 프리 상태이기 때문에, 진공 에어 및 진공 파괴 에어가 오프 상태이다. 또한, 워크(W)도 미흡착이 된다. 또한, 포트(A)가 닫힌 상태, 포트(B)가 열린 상태가 된다.Next, a method of operating the adsorption pad 10 will be described. As shown in Fig. 1 (corresponding to position 1 in Fig. 6), the suction pad 10 in the free state (in the state where there is no air in and out) has the tip portion 13A of the shaft portion 13 inserted into the pad portion 12 ). ≪ / RTI > Since it is in the free state, the vacuum air and the vacuum breaking air are in an OFF state. Also, the work W is not adsorbed. Further, the port A is closed and the port B is open.

프리 상태의 흡착용 패드(10)에 대해, 진공 에어를 온 상태(진공 파괴 에어는 오프 상태)로 하면, 도 2(도 6의 포지션 2에 대응)에 도시하는 바와 같은 상태가 된다. 구체적으로는, 선단부(13A)를 패드부(12) 내로 끌어들인 상태인 채로, 내부 공간(16)으로부터 진공 에어의 흡인을 행한다. 이에 의해, 피스톤부(15)가 스토퍼부(11G)에 접할 때까지 위로 움직이고, 포트(A)가 열린 상태가 된다. 이 때 에어 흐름(진공 흐름)은, 패드부(12)의 리브(12A)로부터 샤프트 관통부(13D) 내, 샤프트부(13)의 외주면과 내부 공간(16)의 내주면과의 사이(가이드 관통부(16D) 및 샤프트실(16A)), 피스톤부(15)의 내부를 포함하는 피스톤실(16B), 에어 관통부(16C)에서 발생한다. 이 때문에, 진공 에어에 의해 패드부(12)의 리브(12A)에는 흡인력이 발생한다.When the vacuum air is turned on (the vacuum breaking air is in the off state) with respect to the adsorption pad 10 in the free state, the state shown in Fig. 2 (corresponding to position 2 in Fig. 6) is obtained. Specifically, vacuum air is sucked from the inner space 16 while the distal end portion 13A is pulled into the pad portion 12. As a result, the piston portion 15 moves upward until it comes into contact with the stopper portion 11G, and the port A is opened. At this time, the air flow (vacuum flow) flows from the rib 12A of the pad portion 12 into the shaft penetration portion 13D, between the outer peripheral surface of the shaft portion 13 and the inner peripheral surface of the inner space 16 The piston chamber 16B including the inside of the piston portion 15 and the air passage portion 16C. Therefore, a suction force is generated in the rib 12A of the pad portion 12 by the vacuum air.

계속해서 진공 에어를 온 상태로 하여 진공 흡인을 하면, 도 3(도 6의 포지션 3에 대응)에 도시하는 바와 같은 워크(W)가 패드부(12)의 리브(12A)에 흡착된 상태가 된다. 워크(W)를 흡착한 후는, 에어의 흐름이 없어진 진공 상태로 되고, 포트(A)가 닫힌 상태가 된다. 이 상태에 있어서 워크(W)는 반송되게 된다.Subsequently, when the vacuum air is turned on and vacuum suction is performed, a state in which the work W as shown in Fig. 3 (corresponding to position 3 in Fig. 6) is attracted to the rib 12A of the pad portion 12 do. After the work W is adsorbed, the air flows into the vacuum state in which the flow does not exist, and the port A is closed. In this state, the work W is conveyed.

이와 같이, 흡착용 패드(10)에 의하면, 선단부(13A)를 패드부(12) 내로 끌어들인 상태인 채로, 내부 공간(16)으로부터 진공 에어의 흡인을 행하여, 패드부(12)에 워크(W)를 흡착시킬 수 있다. 이 때문에, 흡착시에 샤프트부(13)가 워크(W)와 접하는 일이 없고, 워크(W)가 보호되고, 워크(W)에의 데미지를 경감할 수 있다.As described above, according to the adsorption pad 10, the vacuum air is sucked from the inner space 16 while the distal end portion 13A is drawn into the pad portion 12, W) can be adsorbed. Therefore, the shaft portion 13 does not contact the workpiece W at the time of attraction, the workpiece W is protected, and the damage to the workpiece W can be reduced.

진공 상태의 흡착용 패드(10)에 대해, 진공 파괴 에어를 온 상태(진공 에어는 오프 상태)로 하면, 도 4(도 6의 포지션 4에 대응)에 도시하는 바와 같은 상태가 된다. 즉, 진공 파괴 에어가 공급되면 흡착용 패드(10)의 내압이 상승하여, 패드부(12)로부터 진공 파괴 에어를 토출시킬 수 있다.When the vacuum breaking air is turned on (vacuum air is in the off state) with respect to the adsorption pad 10 in the vacuum state, the state shown in Fig. 4 (corresponding to position 4 in Fig. 6) is obtained. That is, when the vacuum breaking air is supplied, the internal pressure of the adsorption pad 10 is raised, and the vacuum breaking air can be discharged from the pad portion 12. [

구체적으로는, 진공 파괴 에어가 공급되면, 피스톤부(15)를 이용`하여 샤프트부(13)를 압출하는 추력에 의해 샤프트부(13)가 하방측으로 움직이기 시작한다. 이 때, 샤프트부(13)의 플랜지부(13C)에 피스톤부(15)가 접촉하고 포트(A)는 닫힌 상태로 되어 있다. 샤프트부(13)가 움직이고 있는 동안은 진공 파괴 에어가 가이드 관통부(16D)의 내주면과 샤프트부(13)의 외주면과의 사이(포트(B))에서 에어 흐름이 발생하고, 패드부(12)의 리브(12A)로부터는 진공 파괴 에어가 토출한다. 이 진공 파괴 에어에 의해 패드부(12)의 리브(12A)로부터는 워크(W)가 이탈(미흡착)하게 된다. 또한, 샤프트부(13)의 스트로크량에 의해 진공 파괴 에어의 토출 시간의 조정이 가능하다.Specifically, when the vacuum breaking air is supplied, the shaft portion 13 starts to move downward by thrust force to extrude the shaft portion 13 by using the piston portion 15. At this time, the piston portion 15 contacts the flange portion 13C of the shaft portion 13, and the port A is closed. While the shaft portion 13 is moving, vacuum air is generated between the inner circumferential surface of the guide through portion 16D and the outer circumferential surface of the shaft portion 13 (port B), and the pad portion 12 Vacuum evacuating air is discharged from the rib 12A. The work W is released (not absorbed) from the rib 12A of the pad portion 12 by this vacuum breaking air. Further, the discharge time of the vacuum breaking air can be adjusted by the stroke amount of the shaft portion 13.

패드부(12)의 리브(12A)로부터 진공 파괴 에어를 토출시킨 후도 진공 파괴 에어를 계속 공급되고, 피스톤부(15)(진공 파괴 에어)의 꽉 누름에 의해 샤프트부(13)의 선단부(13A)를 패드부(12)의 리브(12A)로부터 튀어나가게 한다. 이에 의해, 패드부(12)의 리브(12A)에 워크(W)가 달라붙은 채의 경우라도(특히 워크(W)가 경량일 때에 일어나기 쉽다), 샤프트부(13)의 압출에 의해 워크(W)를 이탈시킬 수 있다.The vacuum destruction air is continuously supplied even after the vacuum destruction air is discharged from the rib 12A of the pad portion 12 and the tip end portion of the shaft portion 13 13A to protrude from the rib 12A of the pad portion 12. As a result, even when the work W is stuck to the rib 12A of the pad portion 12 (particularly when the work W is light) W).

계속해서 진공 파괴 에어를 온 상태로 하여 에어 공급을 하면, 도 5(도 6의 포지션 5에 대응)에 도시하는 바와 같은 상태가 된다. 즉, 샤프트부(13)의 선단부(13A)를 패드부(12)로부터 튀어나가게 한 후에, 패드부(12)로부터의 진공 파괴 에어의 토출을 정지할 수 있다. 여기서는, 샤프트부(13)의 선단부(13A)가 패드부(12) 밖에 완전히 뛰어나간 상태(최대 튀어나감량(x2))이 된다. 구체적으로는, 피스톤부(15)의 꽉 누름에 의해 샤프트부(13)의 플랜지부(13C)가 가이드 본체부(11B)에 접할 때까지 아래로 움직이고, 포트(B)가 닫힌 상태가 된다. 이에 의해, 패드부(12)의 리브(12A)로부터의 진공 파괴 에어의 토출이 차단되고, 워크(W)의 불어날림이 없어져, 이탈을 안정하게 행할 수 있다.Subsequently, when the air for vacuum breaking is turned on to supply air, the state shown in Fig. 5 (corresponding to position 5 in Fig. 6) is obtained. That is, after the tip portion 13A of the shaft portion 13 is protruded from the pad portion 12, the discharge of the vacuum breaking air from the pad portion 12 can be stopped. Here, the distal end portion 13A of the shaft portion 13 is completely out of the pad portion 12 (the maximum protrusion amount (x2)). Specifically, the flange portion 13C of the shaft portion 13 is moved downward by the pressing of the piston portion 15 until the flange portion 13C contacts the guide body portion 11B, and the port B is closed. As a result, the discharge of the vacuum breaking air from the rib 12A of the pad portion 12 is cut off, the blowing of the work W is eliminated, and the deviation can be stably performed.

Claims (6)

내부공간을 갖는 본체부와,
상기 내부 공간과 연통하는 패드부와,
선단부를 가지며, 상기 선단부를 상기 패드부를 향하여 상기 내부공간에 마련되고, 상기 선단부가 상기 패드부의 내외로 왕복이동하는 샤프트부와,
상기 선단부를 상기 패드부 내로 끌어들여 상기 샤프트부를 유지하는 샤프트 탄성부를 구비하는 것을 특징으로 하는 흡착용 패드.A body portion having an internal space,
A pad portion communicating with the internal space,
A shaft portion having a tip end, the tip portion being provided in the inner space toward the pad portion, the tip portion being reciprocated inside and outside of the pad portion,
And a shaft resilient portion for holding the shaft portion by pulling the tip portion into the pad portion. 제1항에 있어서,
상기 샤프트부의 스트로크량이, 상기 샤프트부의 상기 선단부가 상기 패드부 밖으로 튀어나가는 최대 튀어나감량보다도 큰 것을 특징으로 하는 흡착용 패드.The method according to claim 1,
Wherein a stroke amount of the shaft portion is larger than a maximum protrusion amount of the distal end portion of the shaft portion protruding from the pad portion. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 내부공간과 연통하는 에어 출입부와,
상기 내부공간 내에서 상기 샤프트부와 상기 에어출입부와의 사이에 마련되는 피스톤부를 또한 구비하는 것을 특징으로 한 흡착용 패드.3. The method according to claim 1 or 2,
An air inlet / outlet portion communicating with the internal space,
And a piston portion provided between the shaft portion and the air inlet / outlet portion in the inner space. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 본체부는, 상기 패드부와 연통하고, 상기 샤프트부의 선단부가 삽입되는 가이드관통부를 또한 가지며,
상기 샤프트부는, 상기 선단부와 반대측에 상기 가이드관통부보다도 대경의 플랜지부를 또한 갖는 것을 특징으로 하는 흡착용 패드.3. The method according to claim 1 or 2,
The main body portion has a guide penetrating portion communicating with the pad portion and inserted into the distal end portion of the shaft portion,
Wherein the shaft portion further has a flange portion having a larger diameter than the guide through portion on the side opposite to the tip end portion. 내부 공간을 갖는 본체부와, 상기 내부공간과 연통하는 패드부와, 선단부를 상기 패드부를 향하여 상기 내부공간에 마련되는 샤프트부를 구비하는 흡착용 패드의 동작 방법으로서, (a) 상기 선단부를 상기 패드부 내로 끌어들인 상태인 채로, 상기 내부공간부터 에어의 흡인을 행하고, 상기 패드부에 워크를 흡착시키는 공정과, (b) 상기 (a)공정의 후, 상기 내부공간에 에어의 공급을 행하여, 상기 패드부로부터 에어를 토출시킨 후, 상기 샤프트부를 상기 패드부로부터 튀어나가게 하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 흡착용 패드의 동작 방법.A method of operating a suction pad comprising a main body having an inner space, a pad portion communicating with the inner space, and a shaft portion provided at the inner space toward the pad portion, the method comprising the steps of: (a) (B) after the step (a), air is supplied to the inner space, so that air is sucked from the inner space, And discharging air from the pad portion to cause the shaft portion to protrude from the pad portion. 제5항에 있어서,
상기 (b)공정에서는, 상기 선단부를 상기 패드부로부터 튀어나가게 한 후에, 상기 패드부로부터의 에어의 토출을 정지하는 것을 특징으로 하는 흡착용 패드의 동작 방법.6. The method of claim 5,
Wherein in the step (b), the discharge of the air from the pad portion is stopped after the tip portion is protruded from the pad portion.
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