JP2021084144A - Vacuum suction nozzle - Google Patents
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Abstract
Description
本明細書が開示する技術は、真空吸着ノズルに関する。 The techniques disclosed herein relate to vacuum suction nozzles.
特許文献1に、真空吸着ノズルが開示されている。この真空吸着ノズルは、対象物を吸着する真空吸着ノズルであって、対象物に当接する吸着面と、吸着面に設けられた複数の吸着孔と、複数の吸着孔からそれぞれ伸びる複数の個別流路と、複数の個別流路に接続されているとともに、外部の真空回路へ接続される共通流路と、を備え、複数の個別流路の各々は、開口を有する弁座と、吸着孔と弁座との間で移動可能に収容され、個別流路の流れによって弁座に着座して、弁座の開口を閉塞するボールとを有する。 Patent Document 1 discloses a vacuum suction nozzle. This vacuum suction nozzle is a vacuum suction nozzle that sucks an object, and has a suction surface that abuts on the object, a plurality of suction holes provided on the suction surface, and a plurality of individual flows extending from the plurality of suction holes. A passage and a common flow path connected to a plurality of individual flow paths and connected to an external vacuum circuit are provided, and each of the plurality of individual flow paths has a valve seat having an opening and a suction hole. It has a ball that is movably accommodated with and from the valve seat and is seated on the valve seat by the flow of individual flow paths to close the opening of the valve seat.
一般に、真空吸着ノズルでは、吸着孔を対象物で閉塞することによって、吸引力を維持し吸着支持することができる。この点に関し、上記した真空吸着装置では、いくつかの吸着孔が対象物によって閉塞されていない場合でも、代わりに個別流路内でボールが移動して弁座の開口が閉塞される。よって、吸着装置全体の吸引力を維持し、対象物を吸着支持することができる。従って、上記した真空吸着装置では、ボールの移動のしやすさを考慮して、軽量なボールの使用が望まれる。しかしながら、吸引力が無い状態のときに、真空吸着装置に衝撃が生じた場合、その衝撃によってボールが吸着孔と弁座の間を動いてしまい、意図せず開口が閉塞されるおそれがある。特に、軽量なボールの場合、小さな衝撃で移動するため、衝撃による開口の閉塞が発生しやすい。 Generally, in a vacuum suction nozzle, suction force can be maintained and suction support can be performed by closing the suction hole with an object. In this regard, in the above-mentioned vacuum suction device, even if some suction holes are not blocked by the object, the ball moves in the individual flow path instead, and the opening of the valve seat is closed. Therefore, the suction force of the entire suction device can be maintained, and the object can be sucked and supported. Therefore, in the above-mentioned vacuum suction device, it is desired to use a lightweight ball in consideration of the ease of movement of the ball. However, if an impact is generated on the vacuum suction device when there is no suction force, the impact may cause the ball to move between the suction hole and the valve seat, and the opening may be unintentionally blocked. In particular, in the case of a lightweight ball, since it moves with a small impact, the opening is likely to be blocked by the impact.
衝撃によりボールで開口が閉塞すると、閉塞された開口を有する個別流路は、共通流路と分断される。その結果、当該個別流路を有する吸着孔は、真空吸着時に真空回路(特に共通回路)に接続されず、対象物に対して吸引力を与えることができない。従って、通常通り真空回路に接続された他の吸着孔の、単位面積当たりにかかる対象物の重量が、真空吸着装置が吸着保持することができる重量の最大値を超える。その結果、真空吸着ノズルは、対象物を吸着保持し続けることができず、対象物を落下させる危険が生じる。本明細書では、これらの問題を解決又は少なくとも低減し得る技術を提供する。 When the opening is closed by a ball due to an impact, the individual flow path having the closed opening is separated from the common flow path. As a result, the suction holes having the individual flow paths are not connected to the vacuum circuit (particularly the common circuit) at the time of vacuum suction, and the suction force cannot be applied to the object. Therefore, the weight of the object per unit area of the other suction holes connected to the vacuum circuit as usual exceeds the maximum value of the weight that the vacuum suction device can suck and hold. As a result, the vacuum suction nozzle cannot continue to suck and hold the object, and there is a risk of dropping the object. The present specification provides techniques that can solve or at least reduce these problems.
本明細書が開示する真空吸着ノズルは、対象物を吸着する真空吸着ノズルであって、対象物に当接する吸着面と、吸着面に設けられた複数の吸着孔と、複数の吸着孔からそれぞれ伸びる複数の個別流路と、複数の個別流路に接続されているとともに、外部の真空回路へ接続される共通流路とを備える。 The vacuum suction nozzle disclosed in the present specification is a vacuum suction nozzle that sucks an object, and is provided from a suction surface that abuts on the object, a plurality of suction holes provided on the suction surface, and a plurality of suction holes, respectively. It is provided with a plurality of individual flow paths extending and a common flow path connected to the plurality of individual flow paths and connected to an external vacuum circuit.
複数の個別流路の各々は、開口を有する弁座と、吸着孔と前記弁座との間で移動可能に収容され、個別流路の流れによって弁座に着座して、弁座の開口を閉塞するボールとを有する。個別流路の内壁には、吸着孔と弁座との間に位置するとともに、弁座に近づくほど内側へ突出するリブ又はテーパ面が設けられている。 Each of the plurality of individual flow paths is movably accommodated between the valve seat having an opening and the suction hole and the valve seat, and is seated on the valve seat by the flow of the individual flow paths to open the valve seat opening. Has a ball to occlude. The inner wall of the individual flow path is provided with a rib or a tapered surface that is located between the suction hole and the valve seat and protrudes inward as it approaches the valve seat.
上記した真空吸着ノズルには、弁座内の個別流路の内壁に、弁座に近づくほど内側に突出するリブ又はテーパ面が設けられている。このような構成によると、吸引力が無い状態で、衝撃によって意図せずボールが動いたとき、ボールは、まず個別流路の内壁に設けられたリブ又はテーパ面に接触する。リブ又はテーパ面は、ボールに接触することでリブ又はテーパ面とボールとの間に摩擦力を発生させ、ボールの移動する勢いを抑制する。さらにはリブ又はテーパ面がボールと接触することによって、ボールの移動を機械的に干渉することができ、その結果、ボールが開口へ近づくことを妨げる。よって、真空吸着ノズルによってボールに十分な吸引力が与えられない状態で、ボールが開口を閉塞することを防止することができる。 The vacuum suction nozzle described above is provided with a rib or a tapered surface that protrudes inward as it approaches the valve seat on the inner wall of the individual flow path in the valve seat. According to such a configuration, when the ball unintentionally moves due to an impact in the absence of suction force, the ball first comes into contact with a rib or a tapered surface provided on the inner wall of the individual flow path. When the rib or tapered surface comes into contact with the ball, a frictional force is generated between the rib or tapered surface and the ball, and the force of movement of the ball is suppressed. Further, the rib or tapered surface can come into contact with the ball to mechanically interfere with the movement of the ball, thus preventing the ball from approaching the opening. Therefore, it is possible to prevent the ball from closing the opening in a state where a sufficient suction force is not applied to the ball by the vacuum suction nozzle.
本技術の一実施形態において、真空吸着ノズルは、ボールリリースを備えてもよい。ボールリリースは、複数の個別流路に対向する本体プレートと、本体プレートに設けられており、複数の個別流路に向けて延びる複数のプッシャーと、本体プレートに設けられており、複数の個別流路に向かう流れを禁止するとともにその逆向きの流れを許容する、少なくとも一つの逆止弁とを有する。 In one embodiment of the technique, the vacuum suction nozzle may include a ball release. The ball release is provided on the main body plate facing a plurality of individual flow paths and on the main body plate, and is provided on a plurality of pushers extending toward the plurality of individual flow paths and on the main body plate, and is provided on the main body plate. It has at least one check valve that prohibits the flow towards the road and allows the flow in the opposite direction.
本体プレートに設けられた逆止弁は、真空吸着のときに開き、吸着破壊(真空破壊)のときに閉鎖するように構成される。従って、吸着破壊のときには、本体プレートは、外部の真空回路から共通流路を通じて個別流路へと向かうエアーの流れを妨げるとともに、そのエアーの流れによって共通流路内で個別流路に向けて移動する。その結果、本体プレートに設けられた複数のプッシャーは、各々が対向する個別流路に押し込まれる。従って、プッシャーは、真空吸着のときに弁座の開口を閉塞していたボールを、吸着孔の方向に押すことができる。これにより、真空吸着のときに開口を閉塞しているボールを、吸着破壊のときに開口から確実にリリースすることができる。 The check valve provided on the main body plate is configured to open at the time of vacuum suction and close at the time of suction failure (vacuum failure). Therefore, at the time of adsorption failure, the main body plate obstructs the flow of air from the external vacuum circuit to the individual flow path through the common flow path, and at the same time, the air flow moves toward the individual flow path in the common flow path. To do. As a result, the plurality of pushers provided on the main body plate are pushed into the individual flow paths facing each other. Therefore, the pusher can push the ball that blocked the opening of the valve seat at the time of vacuum suction in the direction of the suction hole. As a result, the ball whose opening is closed at the time of vacuum suction can be reliably released from the opening at the time of suction failure.
図面を参照して、実施例の真空吸着ノズル10について説明する。図1から図2に示すように、真空吸着ノズル10は、吸着面12と、個別流路16と、共通流路30とを備える。本明細書において、真空吸着ノズル10の断面形状とは、共通流路30の流れ方向に垂直な断面形状を意味する。本明細書の実施形態において、真空吸着ノズル10の断面形状は特に限定されず、円であってもよく、長円や楕円といった形状でもよく、多角形であってもよい。
The
吸着面12は、吸着支持する対象物と当接する面である。吸着面12は、複数の吸着孔14を有する。複数の吸着孔14の形状及び数は、特に限定されず、必要に応じて設計することができる。
The
複数の吸着孔14には、真空吸着ノズル10の内部に向かってそれぞれ伸びる複数の個別流路16が設けられている。複数の個別流路16の各々は、開口20を備える弁座22を有する。複数の個別流路16の各々は、さらに、各々の個別流路16の流れによって弁座22に着座して、弁座22の開口20を閉塞するボール26を有する。ボール26は、個別流路16の内径よりも小さい直径を有しており、吸着孔14と弁座22との間を移動可能に収容されている。
The plurality of
複数の個別流路16には、共通流路30が、開口20を通じて接続される。そして共通流路30は、外部の真空回路へ接続される。従って、吸着孔14は、個別流路16及び共通流路30を通じて、外部の真空回路に接続される。そのため、外部の真空回路によって負圧が所与されると、吸着孔14から真空吸着ノズル10内にエアーが吸入される。このとき、吸着支持する対象物が吸着面12に当接しており、複数の吸着孔14が対象物によって閉塞されていると、各々の個別流路16に負圧が発生することによって、対象物が真空吸着される。また、いくつかの吸着孔14が対象物によって閉塞されていない場合でも、代わりにその個別流路16内でボール26が移動して弁座22の開口20が閉塞される。
A
しかしながら、吸引力が無い状態のときに、真空吸着ノズル10に衝撃が生じた場合、その衝撃によってボール26が吸着孔14と弁座22の間を動いてしまい、意図せず開口20が閉塞されるおそれがある。特に、ボール26が軽量な場合、小さな衝撃で移動するため、衝撃による開口20の閉塞が発生しやすい。この問題に関して、本実施例の真空吸着ノズル10では、以下に説明する構成が採用されている。
However, if an impact is generated on the
個別流路16の内壁には、吸着孔14と弁座22との間に位置するとともに、弁座22に近づくほど内側に突出する複数のリブ24が設けられている。複数のリブ24は、特に限定されないが、個別流路16内で周方向に沿って等間隔で配置されている。図3は、図2のIII−III線における断面図である。図3の破線は、当該個別流路16内に収容されているボール26の外形を示す。図3に示すように、リブ24は、内側に突出する壁状の突出部であって、個別流路16の軸方向に沿って設けられている。リブ24の形状及び数は特に限定されず、個別流路16の内壁には、少なくとも一つのリブ24が設けられていればよい。但し、リブ24の高さは、個別流路16の中心にボール26が通過することができる第1空間28を形成するサイズに制限されている。一方、弁座22の内面は、図2、図4に示すように、テーパ面形状を有しており、その中心に画定された開口20の直径は、当該個別流路16内に収容されているボール26の直径よりも小さい。
The inner wall of the
このような構成によると、吸引力が無い状態で、衝撃によって意図せずボール26が動いたとき、ボール26は、まず個別流路16の内壁に設けられたリブ24に接触する。リブ24は、ボール26と接触することでリブ24とボール26との間に摩擦力を発生させ、ボール26の移動する勢いを抑制する。さらにはリブ24がボール26と接触することによって、ボール26の移動を機械的に干渉することができ、その結果、ボール26が開口20へ近づくことを妨げる。よって、真空吸着ノズル10によってボール26に十分な吸引力が与えられない状態で、ボール26が開口20を閉塞することを防止することができる。
According to such a configuration, when the
ここで、図5に示すように、真空吸着時にボール26が吸引される力は、ボール26とリブ24との間のクリアランスに応じて変化する。従って、ボール26やリブ24のサイズについては、図5に示す相関図に基づいて適宜設計するとよい。なお、個別流路16の内壁には、リブ24に代えて、又は加えて、テーパ面が形成されてもよい。このテーパ面についても、吸着孔14と弁座22との間に位置するとともに、弁座22に近づくほど内側へ突出するように設計するとよい。
Here, as shown in FIG. 5, the force at which the
図1、図6、図7に示すように、真空吸着ノズル10は、ボールリリース40をさらに備える。ボールリリース40は、複数の個別流路16に対向する本体プレート42と、本体プレート42に設けられており、複数の個別流路16に向けて伸びる複数のプッシャー44と、本体プレート42に設けられており、封数の個別流路16に向かう流れを禁止するとともにその逆向きの流れを許容する、少なくとも一つの逆止弁46とを有する。逆止弁46は、特に限定されないが、例えばゴムやエラストマといった、柔軟性を持つ材料によって構成されてよい。
As shown in FIGS. 1, 6 and 7, the
本体プレート42に設けられた逆止弁46は、真空吸着のときに開き、吸着破壊(真空破壊)のときに閉鎖するように構成される。従って、吸着破壊のときには、本体プレート42は、外部の真空回路から共通流路30を通じて個別流路16へと向かうエアーの流れを妨げるとともに、そのエアーの流れによって共通流路30内で個別流路16に向けて移動する。その結果、図6に示すように、本体プレート42に設けられた複数のプッシャー44は、各々が対向する個別流路16に押し込まれる。従って、プッシャー44は、真空吸着のときに弁座22の開口20を閉塞していたボール26を、吸着孔14の方向に押すことができる。これにより、真空吸着のときに開口20を閉塞しているボール26を、吸着破壊のときに開口20から確実にリリースすることができる。その後、再び真空吸着を実施するときには、本体プレート42に設けられた逆止弁46は開き、本体プレート42はエアーの流れに沿って共通流路30内を個別流路16から離れるように移動する。その結果、複数のプッシャー44は、図1に示すように個別流路16の外に移動する。従って、ボール26は再び個別流路16内を移動することができ、弁座22の開口20を閉塞することができる。
The
以上、いくつかの具体例を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。本明細書又は図面に説明した技術要素は、単独であるいは組み合わせによって技術的有用性を発揮するものである。 Although some specific examples have been described in detail above, these are merely examples and do not limit the scope of claims. The techniques described in the claims include various modifications and modifications of the specific examples illustrated above. The technical elements described herein or in the drawings exhibit their technical usefulness alone or in combination.
10:真空吸着ノズル
12:吸着面
14:吸着孔
16:個別流路
20:開口
22:弁座
24:リブ又はテーパ面
26:ボール
28:第1空間
30:共通流路
40:ボールリリース
42:本体プレート
44:プッシャー
46:逆止弁
10: Vacuum suction nozzle 12: Suction surface 14: Suction hole 16: Individual flow path 20: Opening 22: Valve seat 24: Rib or tapered surface 26: Ball 28: First space 30: Common flow path 40: Ball release 42: Body plate 44: Pusher 46: Check valve
Claims (2)
前記対象物に当接する吸着面と、
前記吸着面に設けられた複数の吸着孔と、
前記複数の吸着孔からそれぞれ伸びる複数の個別流路と、
前記複数の個別流路に接続されているとともに、外部の真空回路へ接続される共通流路と、を備え、
前記複数の個別流路の各々は、
開口を有する弁座と、
前記吸着孔と前記弁座との間で移動可能に収容され、前記個別流路の流れによって前記弁座に着座して、前記弁座の前記開口を閉塞するボールと、を有し、
前記個別流路の内壁には、前記吸着孔と前記弁座との間に位置するとともに、前記弁座に近づくほど内側へ突出するリブ又はテーパ面が設けられている、
真空吸着ノズル。 A vacuum suction nozzle that sucks an object
The suction surface that comes into contact with the object and
A plurality of suction holes provided on the suction surface and
A plurality of individual flow paths extending from the plurality of suction holes, and
It is provided with a common flow path connected to the plurality of individual flow paths and connected to an external vacuum circuit.
Each of the plurality of individual flow paths
A valve seat with an opening and
It has a ball that is movably accommodated between the suction hole and the valve seat, is seated on the valve seat by the flow of the individual flow path, and closes the opening of the valve seat.
The inner wall of the individual flow path is provided with a rib or a tapered surface that is located between the suction hole and the valve seat and projects inward as it approaches the valve seat.
Vacuum suction nozzle.
前記ボールリリースは、
前記複数の個別流路に対向する本体プレートと、
前記本体プレートに設けられており、前記複数の個別流路に向けて延びる複数のプッシャーと、
前記本体プレートに設けられており、前記複数の個別流路に向かう流れを禁止するとともにその逆向きの流れを許容する、少なくとも一つの逆止弁とを有する、
請求項1に記載の真空吸着ノズル。 Further equipped with a ball release movably housed in the common flow path,
The ball release
A main body plate facing the plurality of individual flow paths and
A plurality of pushers provided on the main body plate and extending toward the plurality of individual flow paths, and a plurality of pushers.
It is provided on the main body plate and has at least one check valve that prohibits the flow toward the plurality of individual flow paths and allows the flow in the opposite direction.
The vacuum suction nozzle according to claim 1.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2019212653A JP2021084144A (en) | 2019-11-25 | 2019-11-25 | Vacuum suction nozzle |
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JP2019212653A JP2021084144A (en) | 2019-11-25 | 2019-11-25 | Vacuum suction nozzle |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113878609A (en) * | 2021-10-12 | 2022-01-04 | 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) | Sucking disc, adsorption component and end execution device |
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2019
- 2019-11-25 JP JP2019212653A patent/JP2021084144A/en active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN113878609A (en) * | 2021-10-12 | 2022-01-04 | 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) | Sucking disc, adsorption component and end execution device |
CN113878609B (en) * | 2021-10-12 | 2023-07-14 | 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) | Suction cup, suction assembly and end effector |
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