KR20170103289A - 탄화규소 단결정의 제조 장치 - Google Patents

탄화규소 단결정의 제조 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 탄화규소 단결정의 제조 장치는 용액 성장법을 이용하며, 도가니, 상기 도가니 내부에 위치하는 용융액 내에 침지되며, 교체 가능하도록 샤프트에 장착되는 교반부, 및 상기 교반부와 교체되어 상기 샤프트에 장착 가능한 종결정부를 포함한다.

Description

탄화규소 단결정의 제조 장치 {MANUFACTURING APPARATUS OF SILICON CARBIDE SINGLE CRYSTAL}
본 발명은 탄화규소 단결정의 제조 장치에 관한 것이다. 구체적으로 용액 성장법에 의해 제조되는 탄화규소 단결정의 제조 장치에 관한 것이다.
SiC 단결정은 전력 반도체 소자용 기판으로 연구되고 있다. SiC 단결정은 기존의 실리콘에 비하여 밴드갭 및 절연 파괴 강도가 우수하고, SiC 기판을 이용한 반도체는 고전력에 사용이 가능하며 에너지 변환에 따른 손실을 최소화할 수 있다.
또한 SiC 기판을 포함하는 장치는 고온에서 동작하기 때문에 열 이탈에 의한 소자 파괴를 방지할 수 있으며 냉각 장치의 간소화가 기대되므로 실리콘을 대신할 차세대 전력 반도체 소자로 활용 가능하다.
SiC 단결정의 성장 방법으로는 승화법, CVD법, 애치슨(Acheson)법, 용액 성장법 등이 알려져 있다.
이 중에서 용액 성장법은 도가니 내에서 실리콘이나 실리콘 함유 합금을 용해한 후, 실리콘과 탄소를 함유하는 용융액으로부터 종결정 상에 SiC 단결정을 석출 및 성장시키는 방법이다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 도가니 내에 실장되는 용융액의 균질도를 향상시켜, 성장 속도가 균일하고 고품질을 제공하는 탄화규소 단결정을 수득하는 것이다.
이러한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 탄화규소 단결정의 제조 장치는 용액 성장법을 이용하며, 도가니, 상기 도가니 내부에 위치하는 용융액 내에 침지되며, 교체 가능하도록 샤프트에 장착되는 교반부, 및 상기 교반부와 교체되어 상기 샤프트에 장착 가능한 종결정부를 포함한다.
상기 교반부는 교반 날개를 포함할 수 있다.
상기 교반 날개는 복수개이며, 상기 복수의 교반 날개는 상기 샤프트의 중심 축선에 대해 서로 다른 높이를 가지도록 위치할 수 있다.
상기 교반 날개는 복수개이며, 상기 복수의 교반 날개는 상기 샤프트의 중심 축선에서 교차할 수 있다.
상기 교반 날개는 상기 샤프트의 중심 축선에 대해 기울어질 수 있다.
상기 교반부의 재질은 그라파이트일 수 있다.
상기 도가니를 둘러싸는 주 챔버, 및 상기 주 챔버와 연결되며, 상기 교반부와 상기 종결정부가 상기 샤프트에 교체되는 보조 챔버를 더 포함할 수 있다.
상기 주 챔버와 상기 보조 챔버를 분리하는 밸브를 더 포함할 수 있다.
상기 샤프트에 연결되며 상기 교반부를 회전시키는 구동부를 더 포함할 수 있다.
상기 교반부는 상기 샤프트에 탈착 가능한 교반부 홀더를 포함하고, 상기 종결정부는 상기 샤프트에 탈착 가능한 종결정부 홀더를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따라 용액 성장법에 의한 탄화규소 단결정의 제조 방법은 Si-C 용융액을 도가니에 공급하는 단계, 샤프트에 연결된 교반부를 상기 용융액 내로 침지시켜 상기 용융액을 교반하는 단계, 그리고 상기 교반부와 교체되어 상기 샤프트에 연결된 종결정부를 상기 용융액에 접촉시켜 탄화규소 단결정을 성장시키는 단계를 포함한다.
상기 교반하는 단계 이후 상기 교반부를 보조 챔버로 위치시키는 단계, 상기 교반부의 교반부 홀더를 상기 샤프트로부터 분리시키는 단계, 그리고 상기 샤프트에 상기 종결정부의 종결정부 홀더를 장착시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 보조 챔버와 상기 도가니가 위치하는 주챔버를 분리하는 밸브를 통해 상기 주 챔버 내의 분위기를 유지하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 교반부는 복수의 교반 날개를 포함하고, 상기 교반부의 회전을 통해 상기 용융액이 교반될 수 있다.
상기 복수의 교반 날개는 상기 샤프트의 중심 축선에 대해 서로 다른 높이를 가지도록 위치할 수 있다.
상기 복수의 교반 날개는 상기 샤프트의 중심 축선에 대해 기울어지게 위치하고, 상기 교반부의 회전을 통해 상기 용융액은 상하 방향으로 교반될 수 있다.
상기 교반하는 단계에서 상기 교반부의 회전 속도는 0.1 내지 40 rpm일 수 있다.
이상과 같은 탄화규소 단결정의 제조 장치에 따르면 도가니 내에 균질도가 향상된 용융액이 위치할 수 있으며, 이에 종결정 성장을 유도하는 경우 고품질의 탄화규소 단결정이 균일한 성장 속도로 수득될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 탄화규소 단결정의 성장 장치에 대한 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 교반부의 도면이다.
도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 변형 실시예에 따른 교반 날개의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 탄화규소 단결정의 제조 장치에 교반부가 결합된 단면도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 탄화규소 단결정의 제조 장치에 종결정부가 결합된 단면도이다.
이하에서 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
이하에서는 도 1 내지 도 2를 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 탄화규소 단결정의 제조 장치에 대해 살펴본다. 도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 탄화규소 단결정의 성장 장치에 대한 단면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 교반부의 도면이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 탄화규소 단결정 제조 장치(1000)는 주 챔버(100), 보조 챔버(200), 구동부(300), 종결정부(400) 및 교반부(500)를 포함한다.
주 챔버(100)는 가열부(110), 단열재(120), 도가니(130) 및 관측 포트(150)를 포함한다.
가열부(110)는 주 챔버(100)의 내부에 위치하며 도가니(130)를 둘러싸는 단열재(120)의 측면을 둘러쌀 수 있다.
가열부(110)는 도가니(130)를 고온으로 가열한다. 가열부(110)는 도가니(130)를 고온을 가열 및 유지하기 위한 어떠한 부재도 가능하나, 일례로써 고주파 코일일 수 있다.
구체적으로 가열부(110)는 원료가 실장된 도가니(130)를 유도 가열하여 Si-C 용융액(140)을 제조한다. 가열부(110)는 Si-C 용융액(140)을 결정 성장 온도로 유지한다. 결정 성장 온도는, Si-C 용융액(140)의 조성에 의존하며, 일례로써 1600 내지 2000℃일 수 있다.
단열재(120)는 도가니(130)를 둘러싸며 도가니(130)의 온도를 결정 성장 온도로 유지하도록 한다. 이때 결정 성장 온도는 매우 높기 때문에, 흑연 섬유를 압착시켜 일정 두께의 관상 원통형으로 제작된 흑연 펠트를 단열재(120)로 사용할 수 있다. 또한 단열재(120)는 복수의 층으로 형성될 수도 있다.
도가니(130)는 도가니 지지부(135)에 의해 주 챔버(100) 내에 위치할 수 있으며, Si-C 용융액(140)을 수용한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 도가니(130)의 재질은 탄소를 포함할 수 있다. 이러한 경우 도가니(130)는 Si-C 용융액(140)에 대한 탄소 공급원이 된다. 도가니(130)는 흑연 재질의 도가니이거나 SiC 재질의 도가니이거나 내표면이 SiC로 피복된 도가니일 수 있다. 그러나 이에 제한되지 않고 탄소를 공급 가능한 어떠한 재질도 가능함은 물론이다.
Si-C 용융액(140)은 탄화규소 단결정의 원료이다. Si-C 용융액(140)은 실리콘 (Si)과 탄소(C)를 포함한다. Si-C 용융액(140)의 원료는, 예를 들면 Si 또는 Si와 다른 금속 원소의 혼합물일 수 있다. 혼합물을 가열하여 용융액 상태로 만들고, 상기 용융액에 탄소(C)가 용해됨으로써 Si-C 용융액(140)을 형성한다.
다른 금속 원소는 Si에 대한 탄소의 용해도를 향상시키기 위한 어떠한 금속도 가능하나, 일례로써 티탄(Ti), 망간(Mn), 크롬(Cr), 코발트(Co), 바나듐(V), 철(Fe) 등일 수 있다.
주 챔버(100)는 관측 포트(150)를 더 포함할 수 있다. 관측 포트(150)를 통해 주 챔버(100) 내에 실장된 도가니(130)의 상태를 관측할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 보조 챔버(200)는 주 챔버(100)와 연결되어 있으며, 후술하는 종결정부(400)와 교반부(500)가 교체되는 공간이다. 보조 챔버(200)는 밸브(210) 및 개폐부(230)를 포함한다.
밸브(210)는 주 챔버(100)와 보조 챔버(200)가 각각 내부 분위기를 유지하기 위한 차단 부재이다.
예를 들어, 종결정부(400)와 교반부(500)가 서로 교체되기 위해 샤프트(310)를 보조 챔버(200)로 이동시키는 경우, 밸브(210)를 닫아 주 챔버(100)의 분위기를 유지한다. 즉, 보조 챔버(200)의 분위기 변화가 주 챔버(100)에 영향을 미치지 않는다. 또는 종결정부(400)와 교반부(500)가 교체 결합된 샤프트(310)를 다시 주 챔버(100)로 이동시키기 위해, 보조 챔버(200) 내의 분위기를 주 챔버(100)의 분위기와 동일하게 생성한다. 이때 밸브(210)는 오프-상태이며, 주 챔버(100)와 보조 챔버(200)의 분위기가 동일하게 제어된 다음 밸브(210)를 온-상태로 하여 샤프트(310)를 주 챔버(100)로 이동시킨다. 밸브(210)는 샤프트(310)의 이동 및 교체 과정에서 주 챔버(100)의 분위기를 유지시키는 역할을 한다.
개폐부(230)는 장치(1000)의 내외측을 연결하는 통로이다. 구체적으로 샤프트(310)에 교체 가능한 종결정부(400)와 교반부(500)가 교환되는 과정에서 이동하는 통로이다.
본 명세서는 장치(1000)의 내외측을 출입 가능한 개폐부(230)에 대해 설명하였으나, 이에 제한되지 않고 개폐부(230)를 통한 별도의 출입 없이 보조 챔버(200) 내에 위치하는 종결정부(400)와 교반부(500)가 서로 교체될 수도 있다.
구동부(300)는 샤프트(310)와 구동 모터(330)를 포함한다.
샤프트(310)는 도 1에 도시된 바와 같이 도가니(130) 내의 상하 방향(또는 수직 방향)으로 연장된 축을 가진다. 샤프트(310)의 상측은 구동 모터(330)와 연결되어 주 챔버(100)와 보조 챔버(200) 내부를 상하 방향으로 이동하거나 샤프트(310)의 중심 축선 둘레로 회전할 수 있다.
다음, 종결정부(400)는 탄화규소 단결정을 성장시키기 위한 종결정(410) 및 종결정(410)과 샤프트(310)을 결합시키는 종결정부 홀더(430)를 포함한다.
종결정(410)은 종결정부 홀더(430)의 하부면에 위치하며, 탄화규소 단결정으로 이루어진다. 바람직하게는, 종결정(410)의 결정 구조는 제조하고자 하는 탄화규소 단결정의 결정 구조와 같다. 예를 들면 4H 다형의 탄화규소 단결정을 제조할 경우, 4H 다형의 탄화규소 종결정(410)을 이용한다. 4H 다형의 탄화규소 종결정(410)을 이용할 경우, 결정 성장면은 (0001)면이나 또는 (0001)면에서 8° 이하의 각도로 경사진 면인 것이 바람직하다. 이러한 경우, 탄화규소 단결정이 안정적으로 성장한다.
종결정부 홀더(430)는 샤프트(310)에 탈착 가능하다며 샤프트(310)의 하부면과 결합한다. 탄화규소 단결정의 성장 단계에서 샤프트(310)에 종결정부 홀더(430)가 결합되어 도가니(130) 내에 종결정(410)이 제공될 수 있다.
다음, 교반부(500)는 교반 날개(510) 및 교반부 홀더(530)를 포함한다. 교반부(500)는 고온의 용융액과 직접 접촉하게 되는바 내침식성이 우수하고 기계적 강도가 높은 세라믹 소재일 수 있다. 일례로써 그라파이트 소재일 수 있으며 이러한 경우 교반부(500)는 용융액에 탄소를 제공하는 공급원으로 사용될 수 있다.
특히 도가니(130) 및 교반부(500)가 모두 그라파이트 소재인 경우, 도가니(130)는 용융액(140)의 외측 영역에서 탄소를 공급할 수 있으며, 교반부(500)는 용융액(140)의 중심 영역에서 탄소를 공급할 수 있는 바, 용융액(140)에 대한 탄소 공급량 및 용해도를 향상시킬 수 있다.
교반 날개(510)는 도가니(130) 내에 실장된 용융액(140)을 교반하기 위한 어떠한 형상도 가질 수 있다.
도 2를 참조하면 교반 날개(510)는 복수개 일 수 있으며, 복수의 교반 날개(510)는 샤프트(310)의 중심 축선을 기준으로 교차할 수 있다. 또한 교반 날개(510)는 샤프트(310)의 중심 축선에서 지름방향으로 연장될 수 있으며, 중심 축선 둘레의 둘레방향을 따라 등각도 간격으로 배치될 수 있다. 또한 복수의 교반 날개(510)는 샤프트(310)의 중심 축선에 대해 서로 다른 높이를 가지도록 위치할 수 있다.
본 명세서가 설명하는 이러한 교반 날개(510)의 형상 및 위치 등에 제한되는 것이 아니라 용융액(140)을 교반하기 위한 어떠한 형상 및 배치도 가능함은 물론이다.
교반부 홀더(530)는 샤프트(310)의 하부면에 탈착 가능하다. 도가니(130)에 실장된 용융액(140)을 교반하는 단계에서는 샤프트(310)에 교반부 홀더(530)가 결합되어 도가니(130) 내에 교반 날개(510)가 제공될 수 있다.
전술한 종결정부(400)와 교반부(500)는 동일한 샤프트(310)를 통해 회전 또는 이동한다. 따라서 교반부(500)를 회전시키는 구동원이 별도로 필요하지 않는 바 제조장치의 구성이 간단하다.
이하에서는 도 3a 내지 도 3c를 참조하여 본 발명의 변형 실시예에 따른 교반 날개의 형상에 대해 살펴본다. 도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 변형 실시예에 따른 교반 날개의 사시도이다. 도 1 내지 도 2를 참조하여 설명한 교반부와 동일 유사한 설명에 대해서는 이하에서 생략한다.
우선 도 3a를 살펴보면, 교반부(500a)는 복수의 교반 날개(510a) 및 교반부 홀더(530a)를 포함한다. 복수의 교반 날개(510a)는 만곡될 수 있으며 이에 따라 보다 향상된 교반 능력을 제공할 수 있다.
또한 도 3b를 살펴보면, 교반부(500b)는 복수의 교반 날개(510b) 및 교반부 홀더(530b)를 포함한다. 이때 복수의 교반 날개(510b)는 도 3b에 도시된 바와 같이 프로펠러 형상을 가질 수 있으며, 교반 날개(510b)의 테두리는 윤곽이 둥그스름할 수 있다.
다음 도 3c를 살펴보면 교반부(500c)는 교반 날개(510c) 및 교반부 홀더(530c)를 포함한다. 도 3c에 도시된 교반 날개(510c)는 교반부 홀더(530c)의 중심 축선을 기준으로 할 때 나선 형상을 가질 수 있다.
즉, 교반 날개는 전술한 바와 같은 형상을 가짐으로써 도가니(130) 내부에 실장된 용융액(140)을 회전 방향을 따라 교반할 수 있다. 특히 도 3b 내지 도 3c와 같이 교반 날개가 샤프트의 중심 축선에 대해 기울어지게 위치하는 경우, 교반 날개 근처에서 용융액의 상승류 또는 하강류가 발생할 수 있다. 따라서 교반부에 의한 용융액의 교반 효과가 보다 우수할 수 있다.
본 명세서는 다양한 형태의 교반 날개에 대해 설명하였으나, 이에 제한되지 않으며 용융액에 대해 교반 효과를 나타낼 수 있는 어떠한 형상도 가능함은 물론이다.
이하에서는 도 1과 더불어 도 4 및 도 5를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 탄화규소 단결정 제조 장치(1000)를 이용한 단결정의 제조 방법에 대해 설명한다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 탄화규소 단결정의 제조 장치(1000)에 교반부(500)가 결합된 단면도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 탄화규소 단결정의 제조 장치(1000)에 종결정부(400)가 결합된 단면도이다.
우선 단결정 제조 장치(1000)를 준비한다.
이어서 도 1에 도시된 바와 같이 개폐부(230)를 통해 샤프트(310)와 교반부 홀더(530)를 결합시켜 샤프트(310)에 교반부(500)를 장착한다. 교반부(500)가 장착된 이후, 보조 챔버(200) 내부는 비활성 가스 분위기 1기압으로 제어된다.
다음, 주 챔버(100) 내부에 위치하는 도가니(130) 내에 Si-C 용융액(140)을 형성한다.
구체적으로 주 챔버(100) 안에 비활성 가스를 충전한다. 그리고, 가열부(110)에 의해 도가니(130) 안의 원료를 융점(액상선 온도) 이상으로 가열한다. 도가니(130)가 흑연으로 이루어지는 경우, 도가니(130)를 가열하면 도가니(130)로부터 탄소가 융액에 용해되어 Si-C 용융액(140)이 제조된다. 도가니(130)의 탄소가 Si-C 용융액(140)에 용해되면, Si-C 용융액(140) 안의 탄소 농도는 포화 농도와 비슷해진다.
그리고 나서, 도 4에 도시된 바와 같이 밸브(210)를 온-상태로 구동시키고 샤프트(310)를 하강시키다. 샤프트(310)의 하강에 의해 교반 날개(510)는 용융액(140)에 침지된다.
이후 구동 모터(330)를 통해 샤프트(310)를 회전시키고, 샤프트(310)에 연결된 교반 날개(510)가 회전된다. 회전하는 교반 날개(510)는 용융액(140)을 교반할 수 있다. 이때 상기 교반하는 단계에서 상기 교반부의 회전 속도는 약 0.1 내지 40 rpm일 수 있으며, 교반하는 단계는 약 1 시간 정도 지속될 수 있다.
이와 같이 교반부를 통해 용융액을 교반하는 경우, 용융액의 대류가 활성화되어 용융액의 균질도가 향상될 수 있다. 특히 교반 날개는 회전 방향에 따른 교반 뿐만 아니라 상승류 또는 하강류를 형성할 수 있는바, 보다 균질한 용융액의 제공이 가능하다.
다음 도 1에 도시된 바와 같이 샤프트(310)를 상승시켜 교반부(500)를 보조 챔버(200) 내로 위치시킨다.
그리고 나서 밸브(210)를 오프-상태로 구동하고, 보조 챔버(200) 내부 분위기를 제어부(800)를 통해 배기 시킨다. 이후 교반부(500)를 샤프트(310)로부터 분리한다. 오프-상태의 밸브(210)는 주 챔버(100)의 분위기를 유지할 수 있다.
다음 종결정(410)을 포함하는 종결정부(400)를 샤프트(310)에 장착한다. 종결정부(400)를 장착한 이후, 제어부(800)를 통해 보조 챔버(200)의 내부 분위기가 비활성 기체 분위기 1기압으로 유지된다.
그리고 나서 온-상태로 구동된 밸브(210)를 거쳐 도 5에 도시된 바와 같이 종결정부(400)가 장착된 샤프트(310)가 하강한다. 이동한 샤프트(310)는 종결정부(400)를 도가니(130) 내에 위치시킨다.
구체적으로 종결정(410)의 결정 성장면을 Si-C 용융액(140)에 접촉시킨 후, 가열부(110)에 의해 Si-C 용융액(140)을 결정 성장 온도로 유지한다. 또한, Si-C 용융액(140)에서의 종결정(410)의 근방을 과냉각하여 SiC를 과포화 상태로 하고, 이를 통해 탄화규소 단결정을 성장 시킨다.
Si-C 용융액(140)에서의 종결정(410)의 근방을 과냉각하는 방법은 특별히 한정되지 않는다. 예를 들면, 가열부(110)를 제어하여 Si-C 용융액(140)에서의 종결정(410)의 근방 영역의 온도를 다른 영역의 온도보다 낮게 하거나 냉매에 의해 Si-C 용융액(140)에서의 종결정(410)의 근방을 냉각해도 된다. 구체적으로는, 샤프트(310) 내부에 냉매를 순환시킬 수 있다. 냉매는, 예를 들면 헬륨(He)이나 아르곤(Ar) 등의 비활성 가스 또는 액상 매질(냉각수)일 수 있다. 샤프트(310) 내로 냉매를 순환시키면, 종결정(410)이 냉각된다. 종결정(410)이 차가워지면 Si-C 용융액(140)에서의 종결정(410)의 근방도 차가워진다.
전술한 본 발명에 따른 탄화규소 단결정 성장 장치는 하나의 샤프트에 연결되는 종결정부 및 교반부를 포함하고, 이를 통해 용융액을 교반하거나 단결정을 성장시킨다. 즉 각각의 구성에 대해 별도의 구동부를 포함하지 않는 바, 장치가 단순화될 수 있다. 또한 용융액의 교반을 통해 균질한 농도의 용융액을 제공하여 향상된 품질의 단결정을 수득할 수 있다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
100 : 주챔버 130 : 도가니
400 : 종결정부 500 : 교반부

Claims (10)

  1. 용액 성장법을 이용하는 탄화규소 단결정 제조 장치로서,
    도가니,
    상기 도가니 내부에 위치하는 용융액 내에 침지되며, 교체 가능하도록 샤프트에 장착되는 교반부, 및
    상기 교반부와 교체되어 상기 샤프트에 장착 가능한 종결정부를 포함하는 탄화규소 단결정 제조 장치.
  2. 제1항에서,
    상기 교반부는 교반 날개를 포함하는 탄화규소 단결정 제조 장치.
  3. 제2항에서,
    상기 교반 날개는 복수개이며,
    상기 복수의 교반 날개는 상기 샤프트의 중심 축선에 대해 서로 다른 높이를 가지도록 위치하는 탄화규소 단결정 제조 장치.
  4. 제2항에서,
    상기 교반 날개는 복수개이며,
    상기 복수의 교반 날개는 상기 샤프트의 중심 축선에서 교차하는 탄화규소 단결정 제조 장치.
  5. 제2항에서,
    상기 교반 날개는 상기 샤프트의 중심 축선에 대해 기울어진 탄화규소 단결정의 제조 장치.
  6. 제1항에서,
    상기 교반부의 재질은 그라파이트인 탄화규소 단결정의 제조 장치.
  7. 제1항에서,
    상기 도가니를 둘러싸는 주 챔버, 및
    상기 주 챔버와 연결되며, 상기 교반부와 상기 종결정부가 상기 샤프트에 교체되는 보조 챔버를 더 포함하는 탄화규소 단결정의 제조 장치.
  8. 제7항에서,
    상기 주 챔버와 상기 보조 챔버를 분리하는 밸브를 더 포함하는 탄화규소 단결정의 제조 장치.
  9. 제1항에서,
    상기 샤프트에 연결되며 상기 교반부를 회전시키는 구동부를 더 포함하는 탄화규소 단결정의 제조 장치.
  10. 제1항에서,
    상기 교반부는 상기 샤프트에 탈착 가능한 교반부 홀더를 포함하고,
    상기 종결정부는 상기 샤프트에 탈착 가능한 종결정부 홀더를 포함하는 탄화규소 단결정의 제조 장치.
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