KR20170056703A - 센서 장치 - Google Patents

센서 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20170056703A
KR20170056703A KR1020177011240A KR20177011240A KR20170056703A KR 20170056703 A KR20170056703 A KR 20170056703A KR 1020177011240 A KR1020177011240 A KR 1020177011240A KR 20177011240 A KR20177011240 A KR 20177011240A KR 20170056703 A KR20170056703 A KR 20170056703A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
passage
main body
rod
sensor device
helical
Prior art date
Application number
KR1020177011240A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101785378B1 (ko
Inventor
요시히로 니시카와
Original Assignee
가부시키가이샤 티엘브이
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 티엘브이 filed Critical 가부시키가이샤 티엘브이
Publication of KR20170056703A publication Critical patent/KR20170056703A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101785378B1 publication Critical patent/KR101785378B1/ko

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0092Pressure sensor associated with other sensors, e.g. for measuring acceleration or temperature
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/06Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K13/00Thermometers specially adapted for specific purposes
    • G01K13/02Thermometers specially adapted for specific purposes for measuring temperature of moving fluids or granular materials capable of flow
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/14Housings

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
  • Radar Systems Or Details Thereof (AREA)

Abstract

본 발명은 내부에 나선형의 통로가 형성되는 본체를 저가에 제작할 수 있는 센서 장치를 제공하기 위한 것이다.
센서 장치(1)는, 검출 대상의 증기가 유입하는 가스 통로(13)가 내부에 형성된 본체(10)와, 가스 통로(13)로 연통되어 본체(10)에 장착되고, 가스 통로(13) 내의 증기 압력을 검출하는 압력 센서(30)를 구비한다. 본체(10)는 원기둥 형상의 내주면(11b)을 갖는 막대모양부(11)를 갖는다. 센서 장치(1)는 외주면(22)에 나선홈(23)이 형성된 막대 모양으로 형성되며, 본체(10)의 막대모양부(11)로 삽입되고 막대모양부(11)의 내주면(11b)과 나선홈(23)에 의해 나선형의 가스 통로(13(나선 통로(14))를 형성하는 쉬스관(21(내측 삽입체))을 구비한다.

Description

센서 장치{SENSOR DEVICE}
본 발명은 고온 유체의 압력을 검출하는 센서 장치에 관한 것이다.
예를 들면 특허문헌1에 개시되어 있는 바와 같이, 각종 플랜트나 제조장치 등에서 취급되는 유체(가스)의 압력을 검출하는 센서 장치가 알려져 있다. 이 센서 장치는 검출 대상인 가스가 유입하는 통기로가 형성된 계측 로드와, 이 계측 로드에 장착되고, 통기로로 유입된 가스의 압력을 검출하는 압력 센서를 갖는다. 이 센서 장치에서는 계측 로드의 끝단부가 가스의 유통 개소에 배치됨으로써, 가스가 통기로로 유입되고 그 가스 압력이 압력 센서에 의해 검출된다.
특허문헌1 : 일본 특허 공개 2012-121070호 공보
그런데, 일반적으로 압력 센서에는 사용온도가 설정되고 있어, 검출 대상인 유체가 고온인 경우에는 사용온도가 높은 압력 센서를 이용해야 한다. 이에 따라 센서 장치의 비용이 증대되는 문제가 있었다.
그래서, 유체의 통로(통기로)를 나선형의 통로로 형성하는 것을 생각할 수 있다. 나선형의 통로는, 예를 들면 직선형의 통로에 비해 본체에서의 유체의 접촉 면적을 증대시킬 수 있다. 이로써 유체와 본체의 열 전달을 촉진시킬 수 있고, 유체의 통로에 있어서 유입구 부근에서는 고온인 유체라도 압력 센서의 연통 개소에서는 유입구 부근보다 낮은 온도의 유체로 할 수 있다. 그러나 본체의 내부에 나선형의 통로를 형성하는 것은, 예를 들면 직선형의 통로를 형성하는 경우에 비해 제작 비용이 든다. 이에 따라 센서 장치의 비용이 증대되어 버린다.
본원에 개시한 기술은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은 내부에 나선형의 통로가 형성되는 본체를 저가에 제작할 수 있는 센서 장치를 제공하는 데 있다.
본원에 개시한 기술은, 검출 대상의 유체가 유입하는 유체 통로가 내부에 형성된 본체와, 상기 유체 통로에 연통되어 상기 본체에 장착되고, 상기 유체 통로 내의 유체 압력을 검출하는 압력 센서를 구비한 센서 장치를 전제로 한다. 그리고 상기 본체는, 원기둥 형상의 내주면을 갖는 통모양부를 갖는다. 또 본원의 센서 장치는, 외주면에 나선형의 홈이 형성된 막대 모양으로 형성되며, 상기 본체의 통모양부에 삽입되고 이 통모양부의 내주면과 상기 나선형의 홈에 의해 나선형의 상기 유체 통로를 형성하는 내측 삽입체를 구비한다.
본원의 센서 장치에 의하면, 외주면에 나선형의 홈(나선홈)이 형성된 막대 모양의 내측 삽입체를 본체의 통모양부로 삽입하여, 통모양부의 내주면과 나선형의 홈에 의해 나선형의 유체 통로를 형성하도록 한다. 이로써, 예를 들면 본체의 내부에 나선형의 통로를 도려내어 제작하는 것보다 저가에 나선형의 통로를 제작할 수 있다. 따라서 내부에 나선형의 통로가 형성되는 본체를 저가에 제작할 수 있고, 센서 장치의 비용을 억제하는 것이 가능하다.
도 1은, 제1 실시형태에 관한 센서 장치의 개략 구성을 나타내는 단면도이다.
도 2는, 제1 실시형태에 관한 센서 장치를 위에서 본 것을 나타내는 도이다.
도 3은, 제1 실시형태에 관한 센서 장치의 주요 부분을 나타내는 단면도이다.
도 4는, 제2 실시형태에 관한 센서 장치의 주요 부분을 나타내는 단면도이다.
도 5는, 제2 실시형태에 관한 센서 장치의 주요 부분을 나타내는 단면도이다.
도 6은, 제3 실시형태에 관한 센서 장치의 개략 구성을 나타내는 단면도이다.
도 7은, 제3 실시형태에 관한 센서 장치의 주요 부분을 나타내는 단면도이다.
이하, 본원의 실시형태에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다. 여기서, 이하의 실시형태는 본질적으로 바람직한 예시로서, 본원에 개시된 기술, 그 적용물, 또는 그 용도 범위의 제한을 의도하는 것은 아니다.
(제1 실시형태)
본원의 제1 실시형태에 대하여 도 1 내지 도 3을 참조하면서 설명한다. 본 실시형태의 센서 장치(1)는 플랜트 등에서 유체가 흐르는 배관에 장착되어, 유체의 온도 및 압력의 2개를 검출(측정)하는 것이다. 본 실시형태에서 검출 대상(측정 대상)인 유체는 증기로서 설명한다. 또, 배관 내를 흐르는 증기의 온도는 약 500℃이다.
도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 센서 장치(1)는 본체(10)와, 온도 센서(20(열전대))와, 압력 센서(30)와, 장착부재(40)를 구비한다.
본체(10)의 내부에는 검출 대상의 증기가 유입하는 가스 통로(13)가 형성된다. 이 가스 통로(13)는 본원의 청구항에 관한 유체 통로를 구성한다. 구체적으로, 본체(10)는 막대보양부(11)와 머리부(12)를 갖는다. 막대모양부(11)는 상하방향(도 1에서 화살표로 나타내는 방향)으로 이어지는 원통형으로 형성되며, 본원의 청구항에 관한 통모양부를 구성한다. 막대모양부(11)는, 일단(하단측)이 증기의 유입단을 구성하며, 타단(상단측)에 머리부(12)가 일체 형성된다. 머리부(12)는 평면에서 본 형상이 육각형으로 형성된다. 가스 통로(13)는 막대모양부(11)에서 형성되는 나선 통로(14)(나선형의 통로)와, 머리부(12)에서 형성되는 횡통로(16)를 갖는다. 나선 통로(14)는, 일단인 유입구(14a)가 막대모양부(11)의 하단면(11a)으로 개구되며(도 3 참조), 타단이 횡통로(16)로 연통된다. 즉, 나선 통로(14)의 유입구(14a)는 가스 통로(13)의 유입구이며, 또 막대모양부(11)의 축방향 단면으로 개구된다. 그리고 막대모양부(11)에서는 나선 통로(14)가 축방향(상하방향)으로 이어져 형성된다.
머리부(12)에는 온도 센서(20) 및 압력 센서(30)가 장착된다. 온도 센서(20)는 증기의 온도를 검출하는 측온 저항체 또는 열전대가 내장된 쉬스관(21)을 갖는다. 쉬스관(21)은 본체(10)의 막대모양부(11)에 삽입된다. 압력 센서(30)는, 가스 통로(13)의 횡통로(16)로 연통되는 상태로 머리부(12)에 장착되며, 횡통로(16) 내(즉, 가스 통로(13) 내)의 증기 압력을 검출하는 것이다. 즉, 가스 통로(13)에서는, 나선 통로(14)가 유입구(14a)로부터 압력 센서(30)의 연통 개소까지 형성된다. 온도 센서(20) 및 압력 센서(30)에서는 각각 검출된 온도 및 압력에 관한 신호가 전선(26, 31)을 통해 외부 기기로 보내진다.
본체(10)의 막대모양부(11)에는 센서 장치(1)를 배관에 부착하기 위한 장착부재(40)가 장착된다. 센서 장치(1)는, 막대모양부(11)의 하단측(도 1에 나타내는 측정대상측)이 배관 내로 삽입된 상태에서 장착부재(40)에 의해 배관에 고정된다. 이때, 센서 장치(1)는 막대모양부(11)가 상하방향으로 이어지는 상태로 고정된다. 또, 장착부재(40)는 막대모양부(11)의 삽입 길이가 조정 가능하게 구성된다. 이와 같이 고정된 센서 장치(1)에서는, 막대모양부(11)의 하단측이 배관 내의 증기로 노출된 상태가 되고, 배관 내의 증기가 나선 통로(14)로 유입하여 횡통로(16)까지 유통된다.
다음은, 가스 통로(13)의 나선 통로(14)에 대하여 더 상세하게 설명한다. 막대모양부(11)의 내주면(11b)은 원기둥 형상으로 형성된다. 막대모양부(11)에는 온도 센서(20)의 쉬스관(21)이 삽입된다. 도 3에도 나타내는 바와 같이, 쉬스관(21)은 가늘고 긴 막대 모양(구체적으로는 원기둥 형상)으로 형성되며, 그 외주면(22)에 나선홈(23)(나선형의 홈)이 형성된다. 나선홈(23)은 쉬스관(21)의 외주면(22)에 있어서 축방향(상하방향)으로 이어진다. 나선홈(15)은, 쉬스관(21)에 있어서 막대모양부(11)의 전체 길이에 상당하는 영역에 형성된다. 또 나선홈(23)은 횡단면에서 본 형상이 원호형으로 형성된다. 여기서, 횡단면에서 본다는 것은, 나선홈(23)을 그 축방향(길이방향)에 대하여 수직으로 절단한 단면을 의미한다.
막대모양부(11)로 삽입되는 쉬스관(21)의 바깥지름은 막대모양부(11)의 안지름과 거의 같다. 즉, 쉬스관(21)은 외주면(22)이 막대모양부(11)의 내주면(11b)과 접하는 상태로 막대모양부(11)에 삽입된다. 그리고 막대모양부(11)에서는 그 내주면(11b)과 쉬스관(21)의 나선홈(23)에 의해, 전술한 나선 통로(14)가 형성된다. 즉, 온도 센서(20)의 쉬스관(21)은, 막대모양부(11)에 삽입되어 막대모양부(11)의 내주면(11b)과의 사이에 나선 통로(14)를 형성하는 내측 삽입체를 구성한다.
또 도 3에 나타내는 바와 같이, 막대모양부(11)에서는 쉬스관(21)의 하단면(24)이 막대모양부(11)의 하단면(11a)보다 안쪽에 위치한다. 즉, 막대모양부(11)의 하단에는 쉬스관(21)의 하단면(24)이 안쪽에 위치하는 만큼 공간(11c)이 형성되며, 그 공간(11c)에 나선 통로(14)의 유입구(14a)가 연통된다. 이러한 공간(11c)을 형성함으로써, 배관 내를 흐르는 증기가 막대모양부(11)의 나선 통로(14)(가스 통로(13))로 유입하기 쉬워진다.
이상과 같이 상기 실시형태의 센서 장치(1)에 의하면, 외주면(22)에 나선홈(23)(나선형의 홈)이 형성된 막대모양의 내측 삽입체(쉬스관(21))를 본체(10)의 막대모양부(11)로 삽입하고, 막대모양부(11)의 내주면(11b)과 나선홈(23)에 의해 나선 통로(14)(나선형의 통로)를 형성하도록 한다. 이로써, 예를 들면 본체의 내부를 도려내고 제작하는 것보다 저가이며 또 쉽게 나선 통로(14)를 제작할 수 있다. 따라서 내부에 나선 통로(14)가 형성되는 본체(10)를 저가에 제작할 수 있어, 센서 장치(1)의 비용을 억제하는 것이 가능하다.
또 가스 통로(13)에 나선 통로(14)가 형성됨으로써, 예를 들면 직선형의 통로에 비해 막대모양부(11)에서의 증기의 접촉 면적을 증대시킬 수 있다. 이에 따라 증기와 막대모양부(11)(본체(10))와의 열 전달을 촉진시킬 수 있다. 따라서 가스 통로(13)에서 증기가 유입구(14a) 부근에서 고온이어도 압력 센서(30) 부근에서는 낮은 온도로 할 수 있다. 즉, 가스 통로(13)에 있어서 증기는 본체(10)와 열교환되어 서서히 온도가 저하되는 것인데, 증기와 본체(10)의 접촉 면적을 증대시킴으로써 증기의 온도 저하량을 증대시킬 수 있다. 그러면, 검출 대상이 고온의 증기(유체)라 하더라도, 그 온도보다 낮게 설정된 사용온도의 압력 센서(30)를 이용할 수 있으므로, 고온 대응의 압력 센서를 이용할 필요가 없어져, 센서 장치(1)의 비용을 억제하는 것이 가능해진다.
또 상기 실시형태의 센서 장치(1)에 의하면, 압력 센서(30)뿐만이 아니라 온도 센서(20)도 구비하도록 하므로, 1대의 센서 장치(1)로 증기의 압력 및 온도의 2개를 검출(측정)할 수 있다. 더욱이, 막대모양부(11)로 삽입하는 내측 삽입체로서 온도 센서(20)의 쉬스관(21)을 이용하도록 하므로, 내측 삽입체를 별도로 구비할 필요가 없어져, 부품 점수의 삭감 및 장치의 소형화를 도모할 수 있다.
또한 내측 삽입체(쉬스관(21)) 의 외주면(22)에 형성한 나선홈(23)은 횡단면에서 본 형상이 원호형이므로, 예를 들면 횡단면에서 본 형상이 사각 등의 각형인 경우에 비해 증기(유체)의 유통저항을 저감할 수 있다. 따라서 증기의 압력을 보다 정확하게 검출하는 것이 가능하다.
(제2 실시형태)
본원의 제2 실시형태에 대하여 도 4 및 도 5를 참조하면서 설명한다. 본 실시형태는 상기 제1 실시형태의 나선 통로(14)의 구성(형상)을 변경하도록 한 것이다. 여기서는 상기 제1 실시형태와 다른 점에 대하여 언급한다.
도 4에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 나선 통로(14)에는, 그 도중에 하방으로 경사지는 하향부(14c)가 형성된다. 구체적으로 쉬스관(21)의 외주면(22)에 형성된 나선홈(23)은, 압력센서(30)의 연통개소(즉, 횡통로(16))를 향함에 따라 상방으로 경사지는 상향부(14b)와, 압력센서(30)의 연통개소를 향함에 따라 하방으로 경사지는 하향부(14c)(도 3에서 점선으로 나타내는 부분)를 교대로 갖는다. 이 나선홈(23)의 구성에 의해, 나선 통로(14)에서는 상하방향에서 상향부(14b)와 하향부(14c)가 교대로 형성된다.
본 실시형태의 센서 장치(1)에서는, 도 5에 나타내는 바와 같이 나선 통로(14) 내 또는 횡통로(16) 내에서의 증기 응축에 의해 발생한 드레인수를 하향부(14c)로부터 상향부(14b)로 연속되는 부분에 저류할 수 있다. 나선 통로(14)에서 증기는, 본체(10)와의 열교환에 의해 응축되어 드레인수가 되는 경우가 있는데, 그 드레인수를 나선 통로(14)의 도중에 저류시킬 수 있다. 이와 같이 나선 통로(14)의 도중에, 액체인 드레인수를 개재시킴으로써, 유입구(14a) 부근의 고온이 가스 통로(13)를 통해 압력 센서(30)로 전달되는 것을 억제할 수 있다. 즉, 일반적으로 액체(드레인수)는 기체(증기)보다 열전달율이 낮은 것인데, 가스 통로(13)의 일부에 액체를 개재시킴으로써 가스 통로(13)에서의 열전달을 저해하는 것이 가능해진다. 이로써도, 사용온도가 낮은 압력 센서(30)를 이용할 수 있고, 이에 따라 센서 장치(1)의 비용을 더 한층 억제할 수 있다. 그 외의 구성, 작용 및 효과는 상기 제1 실시형태와 마찬가지이다.
여기서, 본 실시형태의 나선 통로(14)에서는 하향부(14c)를 복수 형성하나, 본원에 개시한 기술은 이에 한정되지 않으며, 하향부(14c)를 1개만 형성하도록 해도 된다.
(제3 실시형태)
본원의 제3 실시형태에 대하여 도 6 및 도 7을 참조하면서 설명한다. 본 실시형태의 센서 장치(1)는, 상기 제1 실시형태의 나선 통로의 형성 형태를 변경하도록 한 것이다. 여기서는 상기 제1 실시형태와 다른 점에 대하여 언급한다.
본 실시형태의 센서 장치(1)는, 도 6에 나타내는 바와 같이 통신용 안테나(3)를 갖는 무선식 통신기(2)가 장착된다. 센서 장치(1)는 본체(50)와, 내측 삽입체(56)와, 온도 센서(60)(열전대)와, 압력 센서(70)와, 장착 부재(80)를 구비한다.
도 7에도 나타내는 바와 같이, 본체(50)의 내부에는, 상기 제1 실시형태와 마찬가지로, 검출 대상의 증기가 유입하는 가스 통로(53)가 형성된다. 구체적으로 본체(50)는, 막대모양부(51)와 머리부(52)를 갖는다. 막대모양부(51)는 상하방향(도 6에서 화살표로 나타내는 방향)으로 이어지는 원통형으로 형성되며, 본원의 청구항에 관한 통모양부를 구성한다. 막대모양부(51)는, 일단(하단측)이 증기의 유입단을 구성하며, 타단(상단측)에 머리부(52)가 끼워져 접속된다. 머리부(52)는, 정면에서 본 형상이 거의 ‘L’자형으로 형성된다. 가스 통로(53)는 막대모양부(51)의 나선 통로(54)(나선형의 통로)와, 머리부(52)의 횡통로(55)를 갖는다. 나선 통로(54)는, 일단인 유입구(도시 생략)가 막대모양부(51)의 하단면(51a)으로 개구되며, 타단이 횡통로(55)로 연통된다. 즉, 나선 통로(54)의 유입구는 가스 통로(53)의 유입구이고 또한 막대모양부(51)의 축방향 단면으로 개구된다. 그리고 막대모양부(51)에서는 나선 통로(54)가 축방향(상하방향)으로 이어져 형성된다.
막대모양부(51)의 내주면(51b)은 원기둥 형상으로 형성되며, 그 막대모양부(51)에 막대모양(구체적으로는 원기둥 형상)의 내측 삽입체(56)가 삽입된다. 내측 삽입체(56)는 외주면(57)에 나선홈(58)(나선형의 홈)이 형성된다. 나선홈(58)은 내측 삽입체(56)의 외주면(57)에 있어서 축방향(상하방향)으로 이어지며, 막대모양부(51)의 전체 길이에 상당하는 영역에 형성된다. 또, 본 실시형태의 나선홈(58)은 횡단면에서 본 형상이 사각형상으로 형성된다. 내측 삽입체(56)의 바깥지름은 막대모양부(51)의 안지름과 거의 동일하다. 즉, 내측 삽입체(56)는 외주면(57)이 막대모양부(51)의 내주면(51b)과 접하는 상태에서 막대모양부(51)로 삽입된다. 그리고 막대모양부(51)에서는 그 내주면(51b)과 내측 삽입체(56)의 나선홈(58)에 의해, 전술한 나선 통로(54)가 형성된다. 즉, 본 실시형태의 센서 장치(1)에서는, 내측 삽입체(56)가 본체(50)의 막대모양부(51)로 삽입되고 막대모양부(51)의 내주면(51b)과의 사이에 나선 통로(54)를 형성한다.
머리부(52)에는, 상기 제1 실시형태와 마찬가지로 온도 센서(60) 및 압력 센서(70)가 장착된다. 온도 센서(60)의 쉬스관(61)은 가늘고 긴 원기둥 형상으로 형성되며, 내측 삽입체(56)에 형성된 관통구멍(56a)으로 삽입된다. 여기서, 쉬스관(61)은 내측 삽입체(56)의 관통구멍(56a)에 헐거운 끼워?춤(clearance fit)으로 끼워진다. 또 쉬스관(61)은 선단(61a)이 막대모양부(51)의 하단면(51a)에서 돌출된 상태로 장착된다. 압력 센서(70)는 상기 제1 실시형태와 마찬가지로, 횡통로(55)로 연통하는 상태로 머리부(52)에 장착되며, 횡통로(55) 내의 증기 압력을 검출한다. 본 실시형태의 센서 장치(1)는 머리부(52)가 통신기(2) 하측에 볼트(4)에 의해 체결 고정된다. 센서 장치(1)에서는, 온도 센서(60) 및 압력 센서(70)에 의해 검출된 온도 및 압력에 관한 신호가 전선(도시 생략)을 통해 통신기(2)로 보내진다. 통신기(2)에서는, 온도 센서(60) 등으로부터 보내진 신호가 처리되고 안테나(3)를 통해 외부기기로 송신된다. 여기서 본체(50)의 막대모양부(51)에는 상기 제1 실시형태와 마찬가지로 장착 부재(80)가 장착된다.
또 막대모양부(51)에서는 내측 삽입체(56)의 하단면(59)이 막대모양부(51)의 하단면(51a)보다 안쪽에 위치한다. 즉, 막대모양부(51)의 하단에는 내측 삽입체(56)의 하단면(59)이 안쪽에 위치하는 만큼 공간(51c)이 형성되고, 그 공간(51c)에 나선 통로(54)의 유입구(도시 생략)가 연통된다. 이와 같은 공간(51c)을 형성함으로써, 상기 제1 실시형태와 마찬가지로 배관 내를 흐르는 증기가 막대모양부(51)의 나선 통로(54)(가스 통로(53))로 유입하기 쉬워진다.
이상과 같이, 본 실시형태의 센서 장치(1)에 있어서도 외주면(57)에 나선홈(58)(나선형의 홈)이 형성된 막대모양의 내측 삽입체(56)를 본체(50)의 막대모양부(51)로 삽입하고, 막대모양부(51)의 내주면(51b)과 나선홈(58)으로 나선 통로(54)(나선형의 통로)를 형성하도록 하므로, 상기 제1 실시형태와 마찬가지의 작용 효과를 발휘한다. 그 외의 구성, 작용 및 효과는 상기 제1 실시형태와 마찬가지이다.
또 본 실시형태의 센서 장치(1)에 있어서도 나선 통로(54)는 상기 제2 실시형태와 마찬가지로, 그 도중에 상향부 및 하향부가 형성되는 것이라도 된다.
또 본원에 개시한 기술은 상기 각 실시형태에 있어서 이하와 같은 구성으로 해도 된다.
예를 들면, 상기 제1 및 제2 실시형태에 있어서, 내측 삽입체에 형성하는 나선홈(23)의 횡단면에서 본 형상은, 원호형 이외의, 예를 들면 사각 등의 각형이어도 되며, 상기 제3 실시형태에 있어서, 내측 삽입체(56)에 형성하는 나선홈(58)은 횡단면에서 본 형상이 원호형이어도 된다.
또 상기 제1 및 제2 실시형태에 있어서 온도 센서(20)를 생략하도록 해도 된다. 이 경우, 상기 제3 실시형태에서 나타낸 바와 같이 외주면에 나선홈이 형성된 막대모양의 내측 삽입체가 막대모양부(11)로 삽입됨으로써 본체(10)의 내부에 나선 통로가 형성된다. 또 상기 제3 실시형태에서도 온도 센서(60)를 생략하도록 해도 된다.
또 상기 제1 및 제3 실시형태의 센서 장치(1)에서는 검출 대상이 증기인 경우에 대하여 설명했으나, 본원에 개시한 기술에 관한 검출 대상은 증기 이외의 가스나 액체라도 된다. 또한 상기 제2 실시형태의 센서 장치(1)에서는 검출 대상이 증기 이외의 가스라도 된다.
본원에 개시한 기술은, 유체의 압력을 검출하는 압력 센서를 구비한 센서 장치에 대하여 유용하다.
1 : 센서 장치 10, 50 : 본체
11, 51 : 막대모양부(통모양부) 11b, 51b : 내주면
13, 53 : 가스 통로(유체 통로) 14, 54 : 나선 통로(나선형의 통로)
14c : 하향부 20, 60 : 온도 센서
21 : 쉬스관(내측 삽입체) 22, 57 : 외주면
23, 58 : 나선홈(나선형의 홈) 30, 70 : 압력 센서
56 : 내측 삽입체

Claims (4)

  1. 검출 대상의 유체가 유입하는 유체 통로가 내부에 형성된 본체와, 상기 유체 통로로 연통되어 상기 본체에 장착되고, 상기 유체 통로 내의 유체 압력을 검출하는 압력 센서를 구비한 센서 장치로서,
    상기 본체는, 원기둥 형상의 내주면을 갖는 통모양부를 가지며,
    외주면에 나선형의 홈이 형성된 막대 모양으로 형성되며, 상기 본체의 통모양부로 삽입되고 이 통모양부의 내주면과 상기 나선형의 홈에 의해 나선형의 상기 유체 통로를 형성하는 내측 삽입체를 구비하는 것을 특징으로 하는, 센서 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 유체의 온도를 검출하는 온도측정 저항체 또는 열전대가 내장된 원기둥 형상의 쉬스관을 갖는 온도 센서를 구비하며,
    상기 쉬스관은, 상기 내측 삽입체를 구성하는 것을 특징으로 하는, 센서 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 내측 삽입체의 나선형 홈은 상하방향으로 이어지며, 상기 압력 센서의 연통 개소를 향함에 따라 하방으로 경사지는 하향부를 갖는 것을 특징으로 하는, 센서 장치.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 내측 삽입체의 나선형 홈은, 횡단면에서 본 형상이 원호형으로 형성되는 것을 특징으로 하는, 센서 장치.
KR1020177011240A 2014-10-03 2015-10-01 센서 장치 KR101785378B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2014-204390 2014-10-03
JP2014204390 2014-10-03
PCT/JP2015/077972 WO2016052710A1 (ja) 2014-10-03 2015-10-01 センサ装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20170056703A true KR20170056703A (ko) 2017-05-23
KR101785378B1 KR101785378B1 (ko) 2017-10-16

Family

ID=55630731

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020177011240A KR101785378B1 (ko) 2014-10-03 2015-10-01 센서 장치

Country Status (13)

Country Link
US (1) US10012559B2 (ko)
EP (1) EP3203203B1 (ko)
JP (1) JP6043024B2 (ko)
KR (1) KR101785378B1 (ko)
CN (1) CN106796152B (ko)
AU (1) AU2015325292B2 (ko)
ES (1) ES2716118T3 (ko)
MX (1) MX366646B (ko)
MY (1) MY165599A (ko)
SA (1) SA517381228B1 (ko)
SG (1) SG11201702718VA (ko)
TR (1) TR201821326T4 (ko)
WO (1) WO2016052710A1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11692884B2 (en) * 2020-08-17 2023-07-04 Rosemount Inc. Thermowell with pressure sensing capabilities

Family Cites Families (62)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1619444A (en) * 1926-07-08 1927-03-01 Taylor Doc Gilford Antichattering device
JPS44194Y1 (ko) * 1964-07-18 1969-01-08
JPS5112270B1 (ko) * 1970-01-22 1976-04-17
US3744307A (en) * 1972-06-28 1973-07-10 Geophysical Res Corp Pressure gauge
CS175700B1 (ko) * 1974-07-30 1977-05-31
GB1532015A (en) * 1976-02-20 1978-11-15 Secretary Industry Brit Fluid flow restrictors
NL7709108A (nl) * 1976-10-08 1979-02-20 Leer Koninklijke Emballage Voorinstelbare stroomregelinrichting.
US4227551A (en) * 1978-08-03 1980-10-14 Babcock & Wilcox, Limited Tube banks
US4244212A (en) * 1979-05-25 1981-01-13 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Fluidic pressure ratio sensor
US4299253A (en) * 1979-11-26 1981-11-10 Hydril Company Pulsation dampener
US4349281A (en) * 1980-05-15 1982-09-14 Pacer Systems, Inc. Temperature sensor assembly apparatus
US4413524A (en) * 1982-03-26 1983-11-08 Dresser Industries, Inc. Pulsation throttling device for a pressure gauge
JPS59158960A (ja) * 1983-03-02 1984-09-08 株式会社日立製作所 極低温冷凍機
US4594877A (en) * 1984-09-17 1986-06-17 Eg&G Chandler Engineering Company Pneumatic deadweight tester incorporating dampening means
GB8620212D0 (en) * 1986-08-20 1986-10-01 Drexel Equipment Ltd Downhole pressure & temperature gauges
US5063784A (en) * 1988-06-06 1991-11-12 Ridenour Ralph Gaylord Refrigerant transducer assembly and method
US4991976A (en) * 1989-05-31 1991-02-12 Weed Instruments Company, Inc. Temperature sensor probe apparatus and method for improving time response
US5228334A (en) * 1990-12-28 1993-07-20 Hi-Stat Manufacturing Co., Inc. Pressure transducer
DE4307378A1 (de) * 1993-03-09 1994-09-15 Dynamit Nobel Ag Leckgaskontrolle eines Gas- oder Flüssiggasbehälters
US5503013A (en) * 1994-08-01 1996-04-02 Halliburton Company Downhole memory gauge protection system
SE9600334D0 (sv) * 1996-01-30 1996-01-30 Radi Medical Systems Combined flow, pressure and temperature sensor
JPH10115536A (ja) * 1996-10-14 1998-05-06 Denso Corp 複合センサ
KR200145405Y1 (ko) * 1996-11-05 1999-06-15 호우덴코 압력과 온도측정의 복합기능을 갖는 내연기관용 센서구조
DE29619778U1 (de) * 1996-11-15 1998-03-12 Steinel Ag, Einsiedeln Druck- und Temperatursensor
DE19711939A1 (de) * 1997-03-21 1998-09-24 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zur Erfassung des Drucks und der Temperatur im Saugrohr einer Brennkraftmaschine
DE19731420A1 (de) * 1997-07-22 1999-01-28 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zur Erfassung des Drucks und der Temperatur im Saugrohr einer Brennkraftmaschine und Verfahren zu ihrer Herstellung
JP3319990B2 (ja) * 1997-08-29 2002-09-03 三菱電機株式会社 圧力センサ装置
US6564656B1 (en) * 1998-05-19 2003-05-20 Markes International Limited Sampling device
DE19843689A1 (de) * 1998-09-24 2000-03-30 Basf Ag Verfahren zur Parametermessung in Reaktoren mit beweglichen Rührern
DE10232315B4 (de) * 2001-11-12 2009-05-28 Temperaturmeßtechnik Geraberg GmbH Kombinierter Temperatur- und Druckfühler und Verfahren zur Ermittlung von physikalischen Kenngrößen
US6901808B1 (en) * 2002-02-12 2005-06-07 Lam Research Corporation Capacitive manometer having reduced process drift
US7004626B1 (en) * 2004-03-05 2006-02-28 Turbo Research, Inc. Fast acting thermocouple
US7141447B2 (en) * 2004-10-07 2006-11-28 Mks Instruments, Inc. Method of forming a seal between a housing and a diaphragm of a capacitance sensor
JP2006194683A (ja) * 2005-01-12 2006-07-27 Denso Corp 温度センサ一体型圧力センサ装置
US7204150B2 (en) * 2005-01-14 2007-04-17 Mks Instruments, Inc. Turbo sump for use with capacitive pressure sensor
CH697766B1 (de) * 2005-11-25 2009-02-13 Inficon Gmbh Blendenanordnung für eine Vakuummesszelle.
EP1979730B1 (de) * 2006-01-18 2011-06-01 Inficon GmbH Vakuummesszelle mit membran
JP4867437B2 (ja) * 2006-04-05 2012-02-01 株式会社デンソー 温度センサ
US8616064B2 (en) * 2006-04-21 2013-12-31 Kulite Semiconductor Products, Inc. Combination static and dynamic pressure transducer employing a micro-filter
US7975552B2 (en) * 2006-04-21 2011-07-12 Kulite Semiconductor Products, Inc. Pressure transducer employing a micro-filter and emulating an infinite tube pressure transducer
US7484415B2 (en) * 2006-04-21 2009-02-03 Kulite Semiconductor Products, Inc. Pressure transducer employing a micro-filter and emulating an infinite tube pressure transducer
US8417084B2 (en) * 2007-01-16 2013-04-09 Baker Hughes Incorporated Distributed optical pressure and temperature sensors
JP2008261796A (ja) * 2007-04-13 2008-10-30 Denso Corp 温度センサ一体型圧力センサ装置
WO2008154760A1 (de) * 2007-06-19 2008-12-24 Inficon Gmbh Vakuummesszellenanordnung mit heizung
US7762140B2 (en) * 2008-01-10 2010-07-27 Sensata Technologies, Inc. Combined fluid pressure and temperature sensor apparatus
JP5137914B2 (ja) 2009-08-04 2013-02-06 三菱電機株式会社 温度センサ一体型圧力センサ装置
US8087825B2 (en) * 2009-12-21 2012-01-03 Weiss Instruments, Inc. Mechanical and electronic temperature reading system with built-in failure and inaccuracy detection
US9476294B2 (en) * 2010-01-29 2016-10-25 Baker Hughes Incorporated Device and method for discrete distributed optical fiber pressure sensing
DE102010001963A1 (de) * 2010-02-16 2011-08-18 Robert Bosch GmbH, 70469 Vorrichtung zur Verminderung von Druckpulsen bei Drucksensoren
JP4945013B2 (ja) * 2010-03-18 2012-06-06 株式会社ダイレクト21 金型内部情報計測センサー
GB2489191A (en) * 2010-10-14 2012-09-26 Rolls Royce Plc Pressure indicator with an inlet pipe having a path length greater than its nominal length
CN201955193U (zh) * 2010-12-07 2011-08-31 吕国富 一种压力仪表的减震装置
DE102010063549A1 (de) * 2010-12-20 2012-06-21 Robert Bosch Gmbh Ultraschallbasierte Messvorrichtung und -verfahren
US8485040B2 (en) * 2011-03-14 2013-07-16 Rosemount Inc. Flame arrestor for process transmitter
CN202350978U (zh) * 2011-11-21 2012-07-25 燕京啤酒(浙江丽水)有限公司 一种压力表缓冲接头
CN202793679U (zh) * 2012-09-26 2013-03-13 中国石油化工股份有限公司胜利油田分公司孤岛采油厂 压力表稳定接头
NZ743034A (en) * 2013-02-01 2019-12-20 ResMed Pty Ltd Wire heated tube with temperature control system for humidifier for respiratory apparatus
US9658125B2 (en) * 2013-12-12 2017-05-23 Right Biometrics Fluid characteristic indicator
WO2015105102A1 (ja) * 2014-01-08 2015-07-16 株式会社テイエルブイ センサ装置
JP5727117B1 (ja) 2014-01-08 2015-06-03 株式会社テイエルブイ センサ装置
JP2015158480A (ja) * 2014-01-21 2015-09-03 株式会社テイエルブイ センサ装置
EP2921838B1 (en) * 2014-03-19 2017-10-11 Ansaldo Energia IP UK Limited Probe for measuring pressure oscillations in the combustor of a gas turbine

Also Published As

Publication number Publication date
ES2716118T3 (es) 2019-06-10
WO2016052710A1 (ja) 2016-04-07
CN106796152A (zh) 2017-05-31
AU2015325292B2 (en) 2017-08-24
JP6043024B2 (ja) 2016-12-14
AU2015325292A1 (en) 2017-05-25
SG11201702718VA (en) 2017-04-27
MX2017004321A (es) 2017-10-12
US20170205304A1 (en) 2017-07-20
EP3203203A1 (en) 2017-08-09
EP3203203B1 (en) 2018-12-19
MX366646B (es) 2019-07-17
US10012559B2 (en) 2018-07-03
CN106796152B (zh) 2018-12-14
TR201821326T4 (tr) 2019-01-21
JPWO2016052710A1 (ja) 2017-04-27
EP3203203A4 (en) 2018-05-23
KR101785378B1 (ko) 2017-10-16
SA517381228B1 (ar) 2020-06-07
MY165599A (en) 2018-04-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6110047B1 (ja) センサ装置
CN107543625A (zh) 具有改进的过程侵入件的过程流体温度测量系统
US7404337B2 (en) Mass flow meter with fluid lens
CN106092246A (zh) 用于确定不凝气体的量的装置和方法
KR101785378B1 (ko) 센서 장치
US11326959B2 (en) Sensor device
JP2015148620A (ja) センサ装置
CN111801552A (zh) 热式流量计和操作热式流量计的方法
CN104457865A (zh) 一种高精度毕托巴流量传感器取压头
JP6976737B2 (ja) センサ装置
JP5727117B1 (ja) センサ装置
JP6411176B2 (ja) センサ装置
JP2020122700A (ja) センサ装置
JP6403321B2 (ja) センサ装置
US20160333724A1 (en) Drain for a pressure sensing line
JP2015158480A (ja) センサ装置
CN106908107B (zh) 具有高动态范围的流量传感组件
CN201408090Y (zh) 一种顶插式太阳能热水器温度水位传感器
CN105806421B (zh) 一种测试管道
JP6389102B2 (ja) センサ装置
CN114270158A (zh) 用于测量流体的压力和温度的传感器布置
CN101907474A (zh) 矿用质量式流量传感器
ITTV20070117A1 (it) Regolazione della portata di un evaporatore di un sistema frigorifero.
TH148724B (th) เครื่องเผาน้ำมันที่มีส่วนตรวจสังเกต

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination