KR20170037544A - 파지 기구 - Google Patents

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데츠야 오토사카
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신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
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Abstract

파지 기구로서, 서로 근접한 경우에 피파지체에 대한 파지력을 발생하는 복수의 척 발톱와, 복수의 척 발톱을 공통의 평면 상에 보유하고, 평면 상에서 이동시키는 척 보디와, 복수의 척 발톱의 각각이 피파지체를 파지하는 경우에, 복수의 척 발톱의 각각과 피파지체와의 사이에 개재하는 복수의 척 플레이트를 구비하고, 복수의 척 발톱의 열팽창 계수 α1, 복수의 척 플레이트의 열팽창 계수 α2, 및 피파지체의 열팽창 계수 αw의 사이에 아래와 같은 식 1에 나타내는 관계를 가진다.
αw＜α1＜α2　 (식 1)

Description

파지 기구{GRASP TOOL}
본 발명은 파지 기구에 관한 것이다.
척(chuck)을 구비한 파지 기구에서는, 온도 변화에 의해 피파지체의 파지력이 저하하는 경우가 있다. 그래서, 스프링의 복원력에 의해 파지력의 저하를 억제하는 콜릿형(collet type) 척 파지 구조가 제안되어 있다(예를 들면 특허 문헌 1을 참조).
일본국 특허공개 2008-178956호 공보
일본공업규격에서는 다른 구조를 가지는 스크롤형 파지 기구로서 ［B　6151-1993］을 정하고 있다. 스크롤형(scroll type) 척에 있어서도 온도 변화에 의해 파지력이 저하하는 경우가 있다. 그렇지만, 상기 문헌에 기재의 구조는, 스크롤형 척에는 적용할 수 없다.
본 발명의 한 태양에 있어서는, 서로 근접한 경우에 피파지체에 대한 파지력을 발생하는 복수의 척 발톱(chuck claw)과, 복수의 척 발톱을 공통의 평면 상에 보유하고, 평면 상에서 이동시키는 척 보디(body)와, 복수의 척 발톱의 각각이 피파지체를 파지하는 경우에, 복수의 척 발톱의 각각과 피파지체와의 사이에 개재하는 복수의 척 플레이트를 구비하고, 복수의 척 발톱의 열팽창 계수 α1, 복수의 척 플레이트의 열팽창 계수 α2, 및 피파지체의 열팽창 계수 αw의 사이에, 아래와 같은 식 1에 나타내는 관계를 가지는 파지 기구가 제공된다.
αw＜α1＜α2　 (식 1)
상기의 발명의 개요는 본 발명의 특징의 모두를 열거한 것은 아니다. 이러한 특징군의 서브 콤비네이션도 또 발명이 될 수 있다.
본 발명에 의한 파지 기구는 온도가 변화해도 피파지체를 파지하는 힘이 저하하지 않는다. 따라서, 온도 변화가 격렬한 환경 또는 용도에 있어서도 피파지체를 안정적으로 파지할 수 있다.
도 1은 파지 기구(101)의 개략 단면도이다.
도 2는 파지 기구(102)의 개략 단면도이다.
도 3은 피파지체(150)의 외경 Dw와 척 플레이트(140)의 두께 d0의 관계를 나타내는 그래프이다.
이하, 발명의 실시의 형태를 통해서 본 발명을 설명하지만, 아래와 같은 실시 형태는 청구범위와 관련되는 발명을 한정하는 것은 아니다. 실시 형태 중에서 설명되고 있는 특징의 조합의 모두가 발명의 해결 수단에 필수라고는 할 수 없다.
도 1은 파지 기구(101)의 모식적인 개략 단면도이다. 파지 기구(101)는 원피스형의 죠(jaw)(130)를 가지는 스크롤 척(scroll chuck)이며, 척 보디(110), 죠(130), 척 플레이트(140)를 가진다. 또, 도시의 파지 기구(101)는 피파지체(150)를 파지하고 있다. 피파지체(150)는 예를 들면 광섬유 모재의 단부를 이루는 유리의 둥근 막대이다.
척 보디(110)는 원반 형상의 외형을 한다. 또, 척 보디(110)는 중앙에 두께 방향으로 삽통(揷通)된 고정 볼트(162)에 의해 회전 구동 기구의 회전축(160)에 결합된다.
또, 척 보디(110)는 구동 기구로서 도시하고 있지 않는 스크롤을 내장한다. 스크롤은 척 보디(110)의 일방의 면을 향해 개구한 소용돌이 형상의 홈(groove)을 가진다. 이 홈은 후술하는 죠(jaw)(130)의 단부에 형성된 치면(134)과 서로 맞물려 있다. 따라서, 척 보디(110)의 외부로부터 구동력을 공급하여 스크롤을 회전시키면, 척 보디(110)의 직경 방향으로 이동하는 구동력이 죠(130)에 전달된다.
또한, 척 보디(110)는 상기 일방의 면에 복수의 죠(130)를 보유한다. 복수의 죠(130)의 각각은 척 보디(110)의 원형의 면에 있어서 둘레방향에 대해 등간격으로 배치된다. 2개 이상의 죠(130)가 설치되어 있으면, 파지 기구(101)는 피파지체(150)를 파지할 수 있지만, 둥근 막대의 단부를 파지하는 것 같은 경우는 3개 이상의 죠(130)가 설치된다.
복수의 죠(130)의 각각은 척 보디(110)로부터 돌출된 형상을 가지고, 높은 강도와 강성을 가진다. 또, 죠(130)의 각각은 척 보디(110)에 있어서서, 척 보디(110)의 직경 방향으로 이동할 수 있도록 보유된다. 또한, 복수의 죠(130)의 각각은 척 보디(110)측의 단부에 스크롤에 서로 맞물리는 치면(134)을 가진다.
척 보디(110)에 있어서 스크롤이 회전한 경우, 복수의 죠(130)는 척 보디(110)의 일면이 이루는 원과 동심원 형상으로 배열된 위치 관계를 보유하면서, 척 보디(110)의 표면을 따라 이동한다. 환언하면, 척 보디(110)에 있어서 스크롤이 회전하지 않는 경우는 스크롤에 서로 맞물린 죠(130)가 척 보디(110)에 대해 고정된다.
따라서, 복수의 죠(130)가 이동하여 서로 근접한 경우는 간격이 좁아진 죠(130)의 사이에 피파지체(150)가 파지된다. 또, 복수의 죠(130)가 이동하여 서로 멀어진 경우는 복수의 죠(130)에 파지되어 있던 피파지체(150)가 해방된다.
파지 기구(101)에 있어서는, 복수의 죠(130)의 각각에 있어서, 피파지체(150)에 대향한 면에 척 플레이트(140)가 장착되어 있다. 척 플레이트(140)의 각각은 나사(142)에 의해 죠(130)에 대해서 고정된다. 이에 의해 파지 기구(101)에 있어서 피파지체(150)가 파지되는 경우는 복수의 죠(130)의 각각과 피파지체(150)의 사이에 척 플레이트(140)가 끼워진다. 따라서, 척 플레이트(140)를 교환함으로써 죠(130)에 있어서의 피파지체(150)에 대한 접촉면을 갱신할 수 있다.
파지 기구(101)로서의 스크롤 척에 관한 일본공업규격 ［B 6151-1993］에서는 죠(130)가 55HRC 이상의 경도를 가져야 하는 것을 규정하고 있다. 따라서, 파지 기구(101)의 죠(130)는 당해 규격에 정해진 강도를 가지는 재료, 예를 들면, 일반 구조용 강철, 기계 구조용 탄소강, 기계 구조용 합금강 등을 재료로 하여 형성된다. 일반 구조용 강철, 기계 구조용 탄소강, 기계 구조용 합금강 등의 철강 재료의 열팽창 계수는 10~13×10-6/K이다.
파지 기구(101)에 있어서는, 스크롤을 포함하는 척 보디(110) 등, 죠(130) 이외의 부재도 주조한 철강품, 단조품 등으로 형성되는 것이 많다. 이러한 재료도 일반 구조용 강철, 기계 구조용 탄소강, 기계 구조용 합금강 등에 가까운 열팽창 계수를 가진다. 따라서, 척 보디(110) 및 죠(jaw)(130)를 포함하는 조립체는 전체적으로 대체로 균일한 열팽창 계수를 가진다.
상기와 같은 재료로 형성된 스크롤 척으로 합성 석영, 인바재(invar material) 등과 같이 열팽창 계수가 낮은 재료로 형성된 피파지체(150)를 파지한 상태로 온도 변화가 생긴 경우, 파지 기구(101)와 피파지체(150)의 열팽창 계수의 상위에 의해, 파지 기구(101)의 피파지체(150)에 대한 파지력이 저하하는 경우가 있다. 파지 기구(101)에 있어서 파지력이 부족하면 피파지체(150)의 낙하가 생길 우려가 있어, 피파지체(150) 자체 및 파지 기구를 포함한 설비의 손상이 염려된다.
예를 들면, 광섬유용 유리 모재의 제조 공정에 있어서는, 합성 석영으로 형성된 더미봉(dummy rod) 등을 파지 기구(101)로 파지한 상태로, 유리 미립자를 포함하는 화염을 내뿜는다. 이 때문에 피파지체(150)를 통해서 전해진 열에 의해 파지 기구(101)의 온도도 상승하지만, 파지 기구(101)의 열팽창 계수가 유리 모재의 열팽창 계수와 크게 다르므로, 파지 기구(101)에 있어서의 죠(jaw)(130)의 간격이 넓어져 피파지체(150)를 끼우는 힘이 저하할 가능성이 있다.
지금, 파지 기구(101)가 직경 Dw의 피파지체(150)를 파지하고 있는 상태로 온도 변화가 생긴 경우에 대해 검토한다. 각각의 두께가 D0인 한 쌍의 척 플레이트(140)가 피파지체(150)를 끼우고, 척 플레이트(140)의 각각은 척 보디(110)의 중심에 대해 대칭인 위치에 서로 대향하여 배치된 죠(130)에 장착되어 있는 것으로 한다. 죠(130)의 열팽창 계수를 α1로 하고, 척 플레이트(140)의 열팽창 계수를 α2로 하고, 피파지체(150)의 열팽창 계수를 αw로 한다. 척 보디(110)의 열팽창 계수 α0은 죠(130)의 열팽창 계수 α1과 동일한 것으로 한다.
한 쌍의 척 플레이트(140)가 피파지체(150)를 끼운 당초의 간격 d1은 피파지체(150)의 직경 Dw와 동일하다. 따라서, 대향하는 죠(130)에 있어서 척 플레이트(140)의 이면을 지지하는 면(136)의 간격 d2는 아래와 같은 식 2와 같이 나타낼 수가 있다.
d2=(2d0＋Dw) (식 2)
다음에, 피파지체(150)를 파지한 파지 기구(101)의 온도가 변화하여, 예를 들면 온도가 상승한 경우, 척 보디(110)와 죠(130)의 조립체 전체가 열팽창하여 척 플레이트(140)의 이면을 지지하는 면(136)의 간격 d2가 변화한다. 간격 d2의 단위 온도 변화량당의 변화량 Δd2는 아래와 같은 식 3과 같이 나타내진다.
Δd2=α1(2d0＋Dw) (식 3)
또, 개개의 척 플레이트(140)에 대해 단위 온도 변화량당의 두께 d0의 변화량 Δd0는 아래와 같은 식 4와 같이 나타낼 수가 있다.
Δd0=α2d0　 (식 4)
또한, 척 플레이트(140)의 각각은 죠(130)에 장착되어 있으므로, 파지 기구(101)에 있어서 피파지체(150)를 끼우는 척 플레이트(140)의 간격 d1에 대해 단위 온도 변화량당의 변화량 Δd1은 아래와 같은 식 5와 같이 나타낼 수가 있다.
Δd1=2d0(α1-α2)＋α1d1 (식 5)
한편, 열팽창 계수 αw를 가지는 피파지체(150)의 외경 Dw에 대해 단위 온도 변화 당의 외경 변화량 ΔDw는 아래와 같은 식 6과 같이 나타낼 수가 있다.
ΔDw=αwDw　 (식 6)
여기서, 아래와 같은 식 7에 나타내듯이 상기 식 6에 나타내는 피파지체(150)의 외경 변화량 Dw가 척 플레이트(140)의 간격 d1의 변화량 Δd1보다 크면, 온도 변화가 생겨도 파지 기구(101)의 척 플레이트(140)가 피파지체(150)를 단단히 조이는 힘은 저하하지 않는다.
2d0(α1-α2)＋α1Dw≤αwDw　 (식 7)
상기의 식 7은 척 플레이트(140)의 두께 d0에 주목하여 아래와 같은 식 8과 같이 변형할 수 있다.
d0≤｛Dw(αw-α1)｝/｛2(α1-α2)｝　 (식 8)
따라서, 파지 기구(101)에 있어서 상기의 식 8을 만족하도록 척 플레이트(140)의 재료 및 두께 d0을 선택함으로써 온도 변화에 의한 파지력이 저하하지 않는 파지 기구(101)를 형성할 수 있다.
다만, 죠(jaw)(130)의 면(136)의 간격 d2는 2매의 척 플레이트(140)의 두께의 합 2d0와 동일하든지 보다 크다. 따라서, 파지 기구(101)에 있어서 상기의 식 8이 성립하는데는 죠(130)의 열팽창 계수 α1, 척 플레이트(140)의 열팽창 계수 α2, 및 피파지체(150)의 열팽창 계수 αw가 아래와 같은 식 1에 나타내는 관계를 가지는 것이 전제가 된다.
αw＜α1＜α2　 (식 1)
또, 상기의 식 8의 조건을 성립시키는데 있어서, 죠(130)의 열팽창 계수 α1과 척 플레이트(140)의 열팽창율 α2의 차의 절대치가 클수록 척 플레이트(140)의 두께 d0가 넓어진다. 또, 조임력이 저하하지 않고 파지할 수 있는 피파지체(150)의 외경 Dw의 범위가 넓어진다.
보다 구체적으로는, 죠(130)의 재료로서 공업적으로 이용 가능한 금속재료의 열팽창 계수를 고려하면, 죠(130)의 열팽창 계수 α1이 0.5~19.0×10-6/K의 범위에 있는 경우에 척 플레이트(140)의 열팽창 계수 α2가 16.0~24.0×10-6/K의 범위에 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기의 설명에 있어서, 스크롤 등의 구동 기구를 포함하는 척 보디(110)의 열팽창 계수 α0은 죠(130)의 열팽창 계수 α1과 동일하다고 가정하였다. 그렇지만, 열팽창 계수 α0 및 α1은 동일하지 않아도 좋다.
그렇지만, 척 보디(110)의 열팽창 계수 α0이 죠(130)의 열팽창 계수보다 작은 경우는 온도의 변화에 의한 간격 d1의 변화가 억제된다. 따라서, 두께 d0가 보다 작은 척 플레이트(140)를 이용하거나, 혹은 열팽창 계수 α1이 보다 작은 척 플레이트(140)를 이용할 수가 있다. 따라서, 척 보디(110)의 열팽창 계수 α0과 죠(130)의 열팽창 계수 α1은 아래와 같은 식 9를 만족하는 관계에 있는 것이 보다 바람직하다.
α0≤α1　 (식 9)
도 2는 도 1에 나타낸 파지 기구(101)의 원피스형의 죠(jaw)와 다른 투피스형의 죠(jaw)(130)를 구비하는 파지 기구(102)의 구조를 나타내는 개략 단면도이다. 파지 기구(102)는 다음에 설명하는 점을 제외하면 도 1에 나타낸 파지 기구(101)와 동일한 구조를 가진다. 그래서, 공통의 요소에는 동일한 참조 번호를 붙이고 중복된 설명을 생략한다.
파지 기구(102)에 있어서는, 복수의 죠(130)의 각각이, 각각, 기부(120)를 통해 척 보디(110)에 장착되어 있는 점에 있어서 파지 기구(101)와 다른 구조를 가진다. 기부(120)는 척 보디(body)(110)에 내장된 스크롤에 서로 맞물리는 치면(124)을 가지고, 척 보디(110)의 일방의 원형의 면에 배치된다.
파지 기구(102)에 있어서의 척 보디(110)는 일방의 면에 복수의 기부(120)를 보유한다. 복수의 기부(120)의 각각은 척 보디(110)의 원형의 면에 있어서 둘레방향에 대해 등간격으로 배치된다. 또, 죠(130)는 척 보디(110)에 대해서 척 보디(110)의 직경 방향으로 이동할 수 있도록 보유된다.
복수의 죠(130)의 각각은 척 보디(110)의 일면으로부터 돌출하는 형상을 가지고, 각각, 복수의 기부(120)의 어느 것인가에 대해 나사(132)로 고정된다. 이에 의해 척 보디(110)에 있어서 스크롤이 회전한 경우, 복수의 죠(130)는 척 보디(110)의 일면이 이루는 원과 동심원 형상으로 배열된 위치 관계를 보유하면서, 기부(120)와 함께 척 보디(110)의 직경 방향으로 이동한다. 또, 척 보디(110)에 있어서 스크롤이 회전하지 않는 경우는 스크롤에 서로 맞물린 기부(120)를 통해 죠(130)는 척 보디(110)에 대해 고정된다.
따라서, 파지 기구(101)와 마찬가지로 복수의 죠(130)가 이동하여 서로 근접한 경우는 간격이 좁아진 죠(130)의 사이에 피파지체(150)가 파지된다. 또, 복수의 죠(130)가 이동하여 서로 멀어진 경우는 복수의 죠(130)에 파지되어 있던 피파지체(150)가 해방된다. 또, 파지 기구(102)와 마찬가지로 복수의 죠(130)의 각각은 나사(142)에 의해 고정된 척 플레이트(140)를 통해 피파지체(150)를 끼운다.
상기와 동일한 구조를 가지는 파지 기구(102)에 있어서 기부(120)는, 예를 들면, 척 보디(110)와 동일한 열팽창 계수 α0을 가진다. 따라서, 척 보디(110), 기부(120), 및 죠(130)를 포함하는 조립체 전체의 열팽창 계수는 대체로 균일하게 된다. 따라서, 파지 기구(102)도 파지 기구(101)와 동일한 조건을 만족함으로써 온도 변화에 의한 파지력의 저하를 방지할 수 있다.
또, 많은 물질은 온도에 의해 열팽창 계수가 변화한다. 따라서, 열팽창 계수에 관한 상기의 일련의 조건은 파지 기구(101, 102)가 사용되는 온도 범위에 있어서 만족되는 것이 바람직하다. 따라서, 예를 들면, 광섬유 모재를 소결하는 소결 장치에서 파지 기구(101, 102)를 사용하는 경우, 열팽창 계수에 관한 상기의 조건은 실온(예를 들면 0~30℃) 이상, 또한, 250℃ 이하의 온도 범위에서 만족하는 것이 바람직하다.
［실험예］
파지 기구(101, 102)에 있어서, 척 보디(110), 기부(120), 및 죠(130)를 형성하는 재료로서 아래와 같은 표 1에 나타내는 재료를 준비하였다. 또, 파지 기구(101, 102)에 있어서 척 플레이트를 형성하는 재료로서 아래와 같은 표 2에 나타내는 재료를 준비하였다. 또, 250℃ 이하의 온도 범위에 있어서의 열팽창 계수를 아울러 나타낸다.
죠의 재료 열팽창 계수(α1)
［×10-6/K］
일반 구조용 압연강 10~12
기계 구조용 탄소강 10~12
기계 구조용 합금강 10~12
마르텐사이트계 스테인리스강 9~11
페라이트계 스테인리스강 9~11
인바(invar) 합금 0.5~3
척 플레이트(chuck plate)의 재료 열팽창 계수(α1)
［×10-6/K］
알루미늄 합금 22~24
오스테나이트계 스테인리스강 16~18
우선, 척 보디(110), 기부(120), 및 죠(130)를 형성하는 재료로서 표 1에 나타낸 재료로부터 기계 구조용 탄소강의 S45C(α1：12.1×10-6/K)를 선택하였다. 또, 척 플레이트(140)의 재료로서 표 2에 나타낸 재료로부터 알루미늄 합금의 A5052(α2：23.8×10-6/K)를 선택하였다. 또한, 파지력의 변화를 평가하기 위해서 외경 Dw가 80㎜인 합성 석영(αw：0.6×10-6/K)을 준비하였다.
선택한 재료의 열팽창 계수를 이용하여 피파지체(150)를 파지하는 경우에 상기 식 8을 만족하는 척 플레이트(140)의 두께 d0를 계산하고, 척 플레이트(140)의 두께 d0와 피파지체(150)의 외경과의 관계를 그래프로 하였다. 당해 그래프를 도 3에 나타낸다.
도 3으로부터 알 수 있듯이, 비파지체(150)의 외경이 80㎜인 경우는 온도 변화에 의해 피파지체(150)에 대한 파지력이 저하하지 않는 척 플레이트(140)의 두께 d0가 39.3㎜ 이상인 것을 알 수가 있다. 따라서, 두께 40㎜의 척 플레이트(140)를 제작하여 파지 기구(101, 102)에 장착하고, 온도 변화에 의한 파지력의 변화를 평가하였다.
우선, 상기 재료 및 치수로 제작한 파지 기구(101) 전체와, 합성 석영으로 형성한 외경 80㎜의 원통형의 피파지체(150)가, 모두 상온(298K) 상태에서 파지 기구(101)에 피파지체(150)를 파지시켰다. 파지 기구(101)에 의한 피파지체의 파지력은 피파지체(150)의 둘레방향으로 인력으로 회전시켜도 피파지체(150)가 회전하지 않는 강도로 하였다.
다음에, 파지 기구(101) 및 피파지체(150) 전체를 489K까지 가열하였다. 이 상태에서 상온의 경우와 같은 방법으로 피파지체(150)를 회전시키려고 했지만, 피파지체(150)는 파지 기구(101)에 제대로 파지되어 있어 피파지체(150)를 회전시킬 수 없었다. 또, 피파지체(150)의 파지력을 평가하는 경우는 상온의 경우도 고온의 경우도 같은 가죽제의 장갑을 장착한 손으로 피파지체(150)를 보유하여 회전시키는 것을 시도하였다.
이와 같이 파지 기구(101, 102)는 온도가 변화해도 피파지체(150)를 파지하는 힘이 저하하지 않는다. 따라서, 온도 변화가 격렬한 환경 또는 용도에 있어서도 피파지체(150)를 안정적으로 파지할 수 있다.
이상, 본 발명을 실시의 형태를 이용하여 설명하였지만, 본 발명의 기술적 범위는 상기 실시의 형태에 기재의 범위에는 한정되지 않는다. 상기 실시의 형태에 다양한 변경 또는 개량을 가하는 것이 가능하다고 하는 것이 당업자에게 분명하다. 그 같은 변경 또는 개량을 가한 형태도 본 발명의 기술적 범위에 포함될 수 있는 것이 청구범위의 기재로부터 분명하다.
청구범위, 발명의 설명, 및 도면 중에 있어서 나타낸 장치, 시스템, 프로그램, 및 방법에 있어서의 동작, 순서, 스텝, 및 단계 등의 각 처리의 실행 순서는, 특별히 「보다 전에」, 「앞서서」 등으로 명시하고 있지 않고, 또 전의 처리의 출력을 후의 처리에서 이용함이 없는 한 임의의 순서로 실현될 수 있는 것에 유의해야 한다. 청구범위, 발명의 설명, 및 도면 중의 동작 흐름에 관해서, 편의상 「우선,」, 「다음에,」 등을 이용하여 설명하였다고 해도 이 순서로 실시하는 것이 필수인 것을 의미하는 것은 아니다.
본 발명은 온도 변화가 격렬한 환경 또는 용도에 있어서도 피파지체를 파지하는 힘이 저하하지 않고 피파지체를 안정적으로 파지할 수 있는 파지 기구에 적용할 수 있다.
101, 102 파지 기구 110 척 보디(body)
120 기부(基部) 130 죠(jaw)
132, 142 나사 134 치면(齒面)
136 면 140 척(chuck) 플레이트
150 피파지체 160 회전축
162 고정 볼트

Claims (6)

  1. 서로 근접한 경우에 피파지체에 대한 파지력을 발생하는 복수의 척 발톱와,
    상기 복수의 척 발톱을 공통의 평면 상에 보유하고, 상기 평면 상에서 이동시키는 척 보디와,
    상기 복수의 척 발톱의 각각이 상기 피파지체를 파지하는 경우에 상기 복수의 척 발톱의 각각과 상기 피파지체와의 사이에 개재하는 복수의 척 플레이트를 구비하고,
    상기 복수의 척 발톱의 열팽창 계수 α1, 상기 복수의 척 플레이트의 열팽창 계수 α2, 및 상기 피파지체의 열팽창 계수 αw의 사이에 아래와 같은 식 1에 나타내는 관계를 가지는 파지 기구.
    αw＜α1＜α2　 (식 1)
  2. 제1항에 있어서,
    상기 식 1의 관계는, 0℃ 이상, 또한, 250℃ 이하의 온도 범위에서 만족되는 것을 특징으로 하는 파지 기구.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 척 보디는, 상기 복수의 척 발톱에 구동력을 전하여 상기 평면 상을 이동시키는 스크롤을 가지는 파지 기구.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 척 보디가 열팽창 계수 α0을 가지는 경우에 아래와 같은 식 2에 나타내는 관계가 성립하는 파지 기구.
    α0≤α1　 (식 2)
  5. 제1항에 있어서,
    상기 피파지체의 외경을 Dw로 한 경우에 상기 척 플레이트의 두께 d0가 아래와 같은 식 3을 만족하는 파지 기구.
    d0≤｛Dw(αw-α1)｝/｛2(α1-α2)｝　 (식 3)
  6. 제1항에 있어서,
    상기 열팽창 계수 α1이, 0.5×10-6/K 이상, 또한, 19.0×10-6/K 이하이며,
    상기 열팽창 계수 α2가, 16.0×10-6/K 이상, 또한, 24.0×10-6/K 이하인 파지 기구.
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