KR20170033233A

KR20170033233A - 워크의 평면 연삭 방법 및 평면 연삭반

Info

Publication number: KR20170033233A
Application number: KR1020160115480A
Authority: KR
Inventors: 가즈히로 유소우; 요시히로 구리오카
Original assignee: 고요 기카이 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2015-09-16
Filing date: 2016-09-08
Publication date: 2017-03-24
Also published as: CN106881639B; JP6510374B2; KR102573501B1; TWI703010B; CN106881639A; TW201718179A; US20170072529A1; JP2017056516A

Abstract

본 발명은 경취 재료, 난삭 재료, 그 밖의 워크를 적절한 고부하에서 능률적으로 연삭할 수 있도록 한다.
지석에 의해 워크를 평면 연삭할 때에, 연삭 부하를 감시하면서, 연삭 부하가 상승했을 때에 지석의 절입 속도를 감속하고, 연삭 부하가 저하했을 때에 절입 속도를 증속한다. 연삭 부하의 복수의 각 부하 임계치에 대응하여, 연삭 부하가 커질수록 지석의 절입 속도가 느려지는 각각의 절입 속도를 설정해 두고, 소정 속도로 연삭을 개시한 후, 연삭 부하가 소정의 부하 임계치로 상승·저하할 때마다 지석을 대응하는 절입 속도로 감속·증속한다.

Description

워크의 평면 연삭 방법 및 평면 연삭반{SURFACE GRINDING METHOD FOR WORKPIECE AND SURFACE GRINDER}

본 발명은, 워크를 평면 연삭하는 워크의 평면 연삭 방법 및 평면 연삭반에 관한 것이다.

컵형의 지석을 구비한 평면 연삭반에 있어서, 반도체 소자의 제조에 이용하는 실리콘 웨이퍼 등의 경취 재료의 워크를 연삭할 때에, 지석축 구동 모터의 부하 전류를 모니터링하면서, 지석축의 선단의 지석을 소정의 절입 속도로 절입하여 회전 테이블 상의 워크의 인피드 연삭을 행하고, 지석의 눈막힘에 의해 지석축 구동 모터의 부하 전류가 소정 임계치를 초과했을 때에, 지석을 후퇴시켜 연삭을 중단한 후, 지석을 재차 절입하여 워크에 접촉시킴으로써 지석의 자생을 촉진하도록 하고 있다(특허문헌 1).

특허문헌 1: 일본 특허 공개 2006-35406호 공보

이러한 종래의 연삭법에서는, 지석을 소정의 절입 속도로 절입해 나가는 한편, 연삭 중의 지석에 눈막힘이 생겼을 때에 지석을 일단 후퇴시켜 연삭을 중단하고, 그 후에 지석을 재차 절입하여 지석의 자생을 촉진하도록 하고 있다. 이 때문에 지석의 연삭 효율이 높은 고부하 상태에서 워크를 연삭할 수 없는 데다가, 연삭 사이클이 길어져, 워크를 단시간에 능률적으로 연삭하는 것이 곤란했다.

또한 특허문헌 1의 연삭법 이외의 종래의 연삭법에 있어서도, 연삭시에 지석을 워크에 대하여 일정한 절입 속도로 절입해 나가는 연삭법과, 지석의 절입 이송량에 따라 러프 연삭 이송, 중마무리(semi-finish) 연삭 이송, 마무리 연삭 이송으로 이송 속도를 순차 감속 방향으로 변속시키면서 연삭하는 연삭법(이하, 통상 연삭법이라고 함)이 있다.

그러나, 전자의 연삭법에서는, 연삭 중에 지석의 마모량과 워크의 제거량과 지석의 절입량의 밸런스가 무너져, 연삭 부하가 급격히 상승하거나 지석만이 마모되거나 하는 경우가 있어, 지석의 연삭 효율이 좋은 고부하 상태에서 워크를 능률적이고 안정적으로 연삭하는 것이 곤란했다.

또한 후자의 연삭법에서도, 다음과 같은 이유로 인해, 지석의 연삭 효율이 좋은 고부하 상태에서 능률적이고 안정적으로 워크를 연삭할 수는 없었다. 특히 경도가 높고 취약한 경취 재료의 워크를 연삭할 때에는, 지석의 절입에 의해 과부하 상태가 되지 않도록 지석의 이송 속도를 변속하면서 연삭하기 때문에, 지석의 절입 속도를 느리게 하여 장시간을 들여 연삭할 필요가 있다.

그러나, 이러한 경취 재료의 경우에는, 연삭 중에 지석 표면의 자생(grains change)이 몇번인가 일어나, 연삭 부하가 크게 상하로 변화된다. 이것은, 자생 전에는 지석의 예리한 정도가 나쁜 반면, 일단 지석의 자생이 일어나면, 지석의 절삭날이 증가하여 예리한 정도가 급격히 좋아지기 때문이다. 그 결과, 지석과 워크의 마찰 계수가 변화되게 되고, 연삭 부하가 크게 상하로 변화되기 때문에, 연삭 효율이 좋은 고부하에서 단시간에 능률적이고 안정적으로 연삭할 수는 없다.

또한 자생 중에는 마찰열의 증가에 의한 지석, 워크, 기계의 급격한 열변위에 의해, 지석축과 회전 테이블의 축방향의 거리가 작아지는 경우가 많다. 이것은, 지석의 절입 속도가 올라가고 있는 것과 동일하고, 연삭 부하가 급격하게 상승하는 요인이 된다. 그리고, 연삭 부하가 지나치게 상승하면, 비정상적인 연삭 부하를 검지하여 기계가 가공을 종료하거나, 최악의 경우에는 지석, 워크가 손상되고, 또는 기계가 손상되는 등의 우려가 있다.

본 발명은, 이러한 종래의 문제점을 감안하여, 경취 재료, 그 밖의 워크를 적절한 고부하에서 능률적으로 연삭할 수 있음과 동시에, 연삭 부하의 급격한 상승 등에 의한 워크나 지석, 나아가서는 기계의 손상을 방지할 수 있고, 더구나 지석 마모를 적게 할 수 있는 워크의 평면 연삭 방법 및 평면 연삭반을 제공하는 것을 목적으로 하는 것이다.

본 발명에 관련된 워크의 평면 연삭 방법은, 지석에 의해 워크를 평면 연삭할 때에, 연삭 부하를 감시하면서, 연삭 부하가 상승함에 따라 지석의 절입 속도를 감속하는 것이다.

또한 별도의 본 발명에 관련된 워크의 평면 연삭 방법은, 지석에 의해 워크를 평면 연삭할 때에, 연삭 부하를 감시하면서, 연삭 부하가 상승했을 때에 지석의 절입 속도를 감속하고, 연삭 부하가 저하했을 때에 절입 속도를 증속하는 것이다.

또, 연삭 부하의 복수의 각 부하 임계치에 대응하여, 연삭 부하가 커질수록 지석의 절입 속도가 느려지는 각 절입 속도를 설정해 두고, 소정 속도로 연삭을 개시한 후, 연삭 부하가 소정의 부하 임계치로 상승·저하할 때마다 지석을 대응하는 절입 속도로 감속·증속해도 좋다.

또한 지석의 절입시의 최대의 부하 임계치보다 높은 복귀 부하 임계치를 설정해 두고, 연삭 부하가 복귀 부하 임계치를 초과했을 때에 지석을 소정의 복귀 속도로 복귀시키면서 연삭해도 좋다. 스파크 아웃 전에 지석의 절입과 복귀를 반복해도 좋다.

또한 연삭 부하가 속도 제한 실행용의 부하 임계치를 초과했을 때에, 그 후에 연삭 부하가 소정의 절입 속도의 부하 임계치로 저하하더라도 소정의 절입 속도보다 느린 제한 절입 속도로 지석을 절입하고, 제한 절입 속도 이상으로 빠르게 하지 않도록 해도 좋다.

본 발명에 관련된 평면 연삭반은, 지석에 의해 워크를 인피드 연삭하는 평면 연삭반으로서, 연삭 중의 지석의 연삭 부하를 측정하는 연삭 부하 측정 수단과, 복수의 부하 임계치에 대응하여 복수의 지석의 절입 속도가 설정된 속도 설정 수단과, 연삭 중의 연삭 부하와 부하 임계치를 비교하면서 연삭 부하의 상승, 저하에 따라 지석의 절입 속도가 감속, 증속하도록 각 부하 임계치를 기준으로 하여 각 부하 임계치에 대응하는 절입 속도로 지석을 증감속시키는 속도 제어 수단을 구비한 것이다.

본 발명에 의하면, 경취 재료, 그 밖의 워크를 적절한 고부하에서 능률적으로 연삭할 수 있음과 동시에, 연삭 부하의 급격한 상승 등에 의한 워크나 지석, 나아가서는 기계의 손상을 방지할 수 있고, 더구나 지석 마모를 적게 할 수 있는 이점이 있다.

도 1은 본 발명의 제1 실시형태를 나타내는 평면 연삭반의 정면도.
도 2는 동(同) 주요부의 사시도.
도 3은 동 제어계의 블록도.
도 4는 동 속도 테이블.
도 5는 동 연삭 동작의 플로우차트.
도 6은 동 연삭 부하의 변화 등을 나타내는 도면.
도 7은 본 발명의 제2 실시형태를 나타내는 제어계의 블록도.
도 8은 동 연삭 동작의 플로우차트.
도 9는 동 속도 테이블.
도 10은 동 연삭 부하의 변화를 나타내는 도면.
도 11은 본 발명의 제3 실시형태를 나타내는 제어계의 블록도.
도 12는 동 제1 속도 테이블.
도 13은 동 제2 속도 테이블.
도 14는 본 발명의 제4 실시형태를 나타내는 속도 테이블.
도 15는 본 발명의 제5 실시형태를 나타내는 블록도.
도 16은 동 속도 변경의 파형도.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 기초하여 상술한다.

도 1∼도 6은 본원 발명의 제1 실시형태를 예시한다. 사파이어 웨이퍼 등의 경취 재료의 워크(W)를 컵형의 지석(1)에 의해 인피드 연삭할 때에는, 도 1, 도 2에 나타내는 바와 같은 평면 연삭반(2)을 사용한다. 이 평면 연삭반(2)은, 도 1, 도 2에 나타내는 바와 같이, 상면에 워크(W)가 착탈 가능하게 장착되는 회전 테이블(3)과, 이 회전 테이블(3)을 상하 방향의 축심 주위로 a 화살표 방향으로 회전 구동하는 모터 등의 워크 구동 수단(4)과, 회전 테이블(3) 상에 상하 이동 가능하게 배치되는 지석축(5)과, 지석축(5)을 상하 방향의 축심 주위로 b 화살표 방향으로 회전 구동하는 모터 등의 지석 구동 수단(6)과, 지석축(5)의 하단에 착탈 가능하게 장착되며 또한 b 화살표 방향의 회전에 의해 회전 테이블(3) 상의 워크(W)를 평면 연삭하는 지석(1)과, 지석축(5)을 통해 지석(1)을 상하 방향의 절입 방향(c) 및 복귀 방향(d)으로 이송하는 지석 이송 수단(7)을 구비하고 있다. 또, 회전 테이블(3), 지석(1)의 회전 방향은 임의이다.

도 3은 평면 연삭반(2)의 연삭 동작을 제어하는 제어계를 나타낸다. 이 제어계는 평면 연삭반(2)의 인피드 연삭에 관련되는 일반적 연삭 동작을 제어하는 NC 제어 수단(9) 외에, 예컨대 사이징(sizing) 제어 수단(10)과 지석 절입 복귀 제어 수단(11)을 갖는다.

사이징 제어 수단(10)은 연삭 중의 워크(W)의 치수를 치수 측정 수단(12)으로 측정하고, 소정의 스파크 아웃 시기가 되었을 때에 지석 이송 수단(7)에 스파크 아웃 지령을 내어, 스파크 아웃에 의해 워크(W)를 소정 치수 정밀도로 마무리하도록 제어한다.

또, 지석 이송 수단(7)은 스파크 아웃 지령이 있으면, 그 위치에서 지석(1)이 워크(W)의 가공을 계속하도록 지석축(5)의 이송을 정지시킨다. 사이징 제어 수단(10)이 없는 경우에는, 워크(W)의 연삭 개시로부터 소정의 절입량에 도달하거나, 소정 시간이 경과했을 때에 스파크 아웃 지령을 내도록 해도 좋다.

지석 절입 복귀 제어 수단(11)은, 워크(W)의 연삭 중의 연삭 부하를 감시하면서, 지석(1)이 연삭 효율이 높은 적절한 고부하에서 워크(W)를 능률적으로 연삭하도록 지석(1)의 절입, 복귀를 제어하기 위한 것으로, 연삭 부하의 상승에 따라 지석(1)의 절입 속도를 감속하는 기능과, 연삭 부하가 상한 부근까지 상승했을 때에 지석(1)의 절입과 복귀를 반복하는 기능과, 연삭 부하의 저하에 따라 지석(1)을 증속하는 기능을 갖는다.

이 지석 절입 복귀 제어 수단(11)은, 구체적으로는 연삭 중의 지석(1)의 연삭 부하를 측정하는 연삭 부하 측정 수단(13)과, 부하 임계치마다 지석(1)의 절입 속도, 복귀 속도를 설정하는 속도 설정 수단(14)과, 연삭 중의 실제의 연삭 부하와 부하 임계치를 비교하여 그 연삭 부하의 증감에 따라 속도 설정 수단(14)에 의해 설정된 절입 속도, 복귀 속도로 지석 이송 수단(7)을 제어하는 속도 제어 수단(15)을 갖는다.

연삭 부하 측정 수단(13)은 연삭 중의 지석(1)의 연삭 부하를 지석 구동 수단(6)에 흐르는 전류, 전력 또는 토크 등의 변화에 의해 측정하도록 되어 있다. 속도 설정 수단(14)은 도 4에 나타내는 바와 같은 속도 테이블을 갖는다. 속도 테이블에는 고속 절입, 빠른 절입, 중간 절입, 느린 절입, 느린 복귀, 중간 복귀, 빠른 복귀, 비상 복귀의 각 동작마다, 연삭 부하가 단계적으로 증가하는 부하 임계치 L1∼L7(N·m)와, 그 각 부하 임계치 L1∼L7(N·m)에 대응하여 단계적으로 증감속하는 절입 속도 V0∼V7(mm/min)이 설정되어 있다.

고속 절입은 지석(1)이 워크(W)에 접촉하여 연삭을 개시할 때의 절입이며, 그 고속 절입 속도 V0은 0.5(mm/min)로 설정되어 있다. 빠른 절입은 부하 임계치 L1에 대하여 빠른 절입 속도 V1 = 0.3(mm/min)으로, 중간 절입은 부하 임계치 L2에 대하여 중간 절입 속도 V2 = 0.1(mm/min)로, 느린 절입은 부하 임계치 L3에 대하여 느린 절입 속도 V3 = 0.05(mm/min)로 각각 설정되어 있다.

또한 느린 복귀는 부하 임계치 L4에 대하여 느린 복귀 속도 V4 = -0.05(mm/min)로, 중간 복귀는 부하 임계치 L5에 대하여 중간 복귀 속도 V5 = -0.1(mm/min)로, 빠른 복귀는 부하 임계치 L6에 대하여 빠른 복귀 속도 V6 = -0.3(mm/min)으로 각각 설정되어 있다. 비상 복귀는 부하 임계치 L7에 대하여 복귀 속도 V7(전속)로 설정되어 있다.

또, 복귀는 절입에 대하여 역방향이 되기 때문에, 그 느린 복귀 속도 V4 등의 기재상, 수치에 -를 붙여 역방향으로 진행된다는 취지를 나타내고 있다.

각 부하 임계치 L1∼L7은, 도 6에 부하 임계치 L1∼L4에 대하여 예시하는 바와 같이, 부하 임계치 L1로부터 부하 임계치 L7로 순차적으로 높아지는 관계에 있다. 연삭 부하의 각 부하 임계치 L1∼L7에 대응하는 지석(1)의 절입 속도 V0∼V3, 복귀 속도 V4∼V7은, 워크(W)의 재질이나 크기, 지석(1), 평면 연삭반(2) 등의 조합을 고려하여, 지석(1)이 연삭 효율이 높은 적절한 고부하 상태에서 워크(W)를 능률적으로 연삭할 수 있도록 미리 실험 등에 의해 정해져 있다.

따라서, 고속 절입, 빠른 절입, 중간 절입, 느린 절입은, 연삭 부하가 부하 임계치 L1∼L3으로 단계적으로 증가함에 따라 절입 속도 V1∼V3으로 단계적으로 절입 방향으로 감속하도록 되어 있다. 또한 느린 복귀, 중간 복귀, 빠른 복귀, 비상 복귀는, 연삭 부하가 부하 임계치 L4∼L7로 단계적으로 증가함에 따라 복귀 속도 V4∼V7로 단계적으로 복귀 방향으로 증속하도록 되어 있다. 지석(1)의 복귀 속도 V4∼V7은, 지석(1)이 절입 방향과는 역방향으로 이동하기 때문에, 지석(1)이 절입 방향을 기준으로 하면, 느린 복귀로부터 비상 복귀로 단계적으로 감속한다고 말할 수 있다.

또, 표준적인 워크(W)에 대응한 표준적 속도 테이블이 있는 경우에는, 워크(W)의 재질 등의 차이에 따라 그 표준적 속도 테이블의 수치를 읽어내고, 그것에 보정을 가하면서 제어하도록 해도 좋다.

느린 절입시의 부하 임계치 L3과 느린 복귀시의 부하 임계치 L4는, 느린 복귀시의 부하 임계치 L4 쪽이 높게 되어 있지만, 부하 임계치 L3을 초과한 후의 스파크 아웃 전에 느린 절입과 느린 복귀를 복수회 반복하는 경우에는, 예컨대 연삭 부하가 부하 임계치 L3 이상이고 부하 임계치 L4 미만일 때에 지석(1)의 느린 절입을 행하고, 부하 임계치 L4 이상일 때에 지석(1)의 느린 복귀를 행하도록, 부하 임계치 L4를 기준으로 지석(1)의 느린 절입과 느린 복귀를 전환한다.

다음으로 도 5의 플로우차트를 참조하면서 워크(W)의 연삭 방법을 설명한다. 평면 연삭반(2)에 의한 워크(W)의 인피드 연삭은 NC 제어 수단(9)의 제어에 의해 행한다. 평면 연삭반(2)이 인피드 연삭의 연삭 동작을 개시하면(S1), 우선 지석(1)이 워크(W)에 접촉하기 직전까지는, 지석 이송 수단(7)이 고속 절입 속도 V0보다 빠른 고속 이송 속도로 지석축(5)을 절입 방향으로 이송한다. 한편, 치수 측정 수단(12)에 의해 워크(W)의 치수를 측정하고(S2), 연삭 부하 측정 수단(13)에 의해 연삭 부하를 측정하고(S3), 사이징 제어 수단(10)이 스파크 아웃 시기인지 아닌지를 판단한다(S4).

연삭 동작의 개시 직후에는, 아직 스파크 아웃 시기가 아니기 때문에(S4), 연삭 부하가 빠른 절입의 부하 임계치 L1 미만인지 아닌지를 판정하고(S5), 지석축(5)의 이송 속도를 고속 이송 속도로부터 고속 절입 속도 V0으로 감속하고, 그 고속 절입 속도 V0으로 지석(1)이 워크(W)를 연삭하기 시작한다(S6).

지석(1)이 워크(W)에 접촉할 때까지는 고속 절입 속도 V0보다 빠른 고속 이송 속도로 지석축(5)을 이송하고, 지석(1)이 워크(W)에 접촉하기 직전에 고속 절입 속도 V0으로 감속함으로써, 에어 커트 시간을 짧게 하여 능률적으로 워크(W)의 연삭으로 이행할 수 있다.

지석(1)이 워크(W)에 접촉하여 연삭을 개시하면, 지석축(5)에 가해지는 연삭 부하가 상승하지만, 연삭 부하가 부하 임계치 L1 미만인 동안에는 고속 절입 속도 V0으로 지석(1)을 절입한다(S6). 그리고, 고속 절입 속도 V0에 의한 고속 절입에 의해 연삭 부하가 상승하여 부하 임계치 L1 이상이고 부하 임계치 L2 미만이 되면(S5, S7), 지석(1)의 절입 속도를 고속 절입 속도 V0으로부터 빠른 절입 속도 V1로 감속하고(S8), 그 빠른 절입 속도 V1로 지석(1)을 절입하면서 워크(W)의 연삭을 계속한다.

빠른 절입 속도 V1에 의한 빠른 절입에 의해 연삭 부하가 상승하여 부하 임계치 L2 이상이고 부하 임계치 L3 미만이 되면(S7, S9), 지석(1)의 절입 속도를 빠른 절입 속도 V1로부터 중간 절입의 중간 절입 속도 V2로 감속하고(S10), 그 중간 절입 속도 V2로 지석(1)을 절입한다.

또한 절입 속도 V2에 의한 중간 절입에 의해 연삭 부하가 상승하여 부하 임계치 L3 이상이고 부하 임계치 L4 미만이 되면(S9, S11), 지석(1)의 절입 속도를 중간 절입 속도 V2로부터 느린 절입의 느린 절입 속도 V3으로 감속하고(S12), 그 느린 절입 속도 V3으로 지석(1)을 절입하면서 워크(W)의 연삭을 계속한다.

이와 같이 빠른 고속 절입 속도 V0으로 연삭을 개시하고, 그 후에 연삭 부하가 부하 임계치 L1로부터 부하 임계치 L2를 거쳐 부하 임계치 L3 이상까지 상승해 나가는 동안에, 각 부하 임계치 L1∼L3마다, 지석(1)을 절입 속도 V1∼V3으로 단계적으로 감속하면서 절입해 나간다.

또, 지석(1)의 느린 절입 중에 부하 임계치 L3 미만이 되었을 때에(S9), 지석(1)의 절입 속도를 느린 절입 속도 V3으로부터 중간 절입 속도 V2로 증속하는(S10) 등, 연삭 부하가 저하하면, 그 연삭 부하의 저하에 따라 지석(1)의 절입 속도를 증속한다.

느린 절입 속도 V3에 의한 연삭 중에 연삭 부하가 상승하여 부하 임계치 L4 이상이고 부하 임계치 L5 미만이 되면(S11, S13), 느린 절입 속도 V3에 의한 느린 절입으로부터 느린 복귀 속도 V4에 의한 느린 복귀로 전환하여 지석(1)을 복귀시키면서 워크(W)의 연삭을 계속한다(S14). 또한 느린 복귀에 의한 연삭 중에 연삭 부하가 부하 임계치 L4 미만이 되면(S11), 느린 복귀 속도 V4에 의한 느린 복귀로부터 느린 절입 속도 V3에 의한 느린 절입으로 전환하여 지석(1)을 느린 절입한다(S12).

따라서, 지석(1)의 연삭 부하가 부하 임계치 L4 부근의 고부하역이 될 때까지 워크(W)의 연삭이 진행되면, 그 후는 부하 임계치 L3, L4의 상하에서 지석(1)이 느린 절입과 느린 복귀를 1회 또는 복수회 반복하면서, 워크(W)의 종반의 연삭을 계속한다.

이 동안에도 사이징 제어 수단(10)이 워크(W)의 치수를 읽어들이고 있고, 소정의 마무리 정밀도 치수에 가까운 스파크 아웃 시기가 되면(S4), 사이징 제어 수단(10)으로부터의 스파크 아웃의 지령에 기초하여 지석 이송 수단(7)이 지석(1)의 이동을 정지시켜, 지석(1)이 정지 위치에서 워크(W)를 연삭하는 스파크 아웃을 행한다(S21). 그리고, 스파크 아웃에 의해 워크(W)가 마무리 치수가 되면 연삭을 종료한다(S22).

또, 느린 복귀에 의한 연삭 중에 연삭 부하가 부하 임계치 L5 이상이고 부하 임계치 L6 미만이 되면(S13, S15), 중간 복귀 속도 V5로 지석(1)을 복귀시키면서 연삭을 계속하고(S16), 더욱 그 중간 복귀 중에 연삭 부하가 부하 임계치 L6 이상이고 부하 임계치 L7 미만이 되면(S15, S17), 빠른 복귀 속도 V6으로 지석(1)을 복귀시키면서 연삭을 계속한다(S18).

또한 연삭 부하가 부하 임계치 L7 이상이 되면(S17), 비상 복귀 속도 V7(전속)로 비상 복귀를 행하고(S19), 연삭을 중지한다(S20). 그리고, 연삭의 중지 후에, 지석(1)의 드레싱 등을 행하여 지석(1)의 예리한 정도를 부활시키는 등의 적절한 조치를 행한다.

이와 같이 고속 절입 속도 V0으로 지석(1)의 고속 절입을 개시한 후, 지석(1)의 연삭 부하의 변동을 감시하면서, 그 연삭 부하가 부하 임계치 L1로부터 부하 임계치 L2를 거쳐 부하 임계치 L3으로 순차 상승함에 따라 지석(1)의 절입 속도를 고속 절입으로부터 빠른 절입으로, 빠른 절입으로부터 중간 절입으로, 중간 절입으로부터 느린 절입으로 순차 감속한다.

따라서, 이러한 연삭법을 채용함으로써, 지석(1)의 절입 속도와 워크(W)가 지석(1)에 의해 연삭되어 가는 속도가 대략 일치하도록, 지석(1)에 의해 워크(W)를 연삭하는 것이 가능하고, 연삭 효율이 높은 적절한 고부하를 지석(1)에 가한 상태에서 워크(W)를 능률적으로 연삭할 수 있다.

특히 지석(1)을 고속으로 절입해 나가면, 연삭이 진행됨에 따라 워크(W)가 지석(1)에 의해 연삭되어 가는 속도와 지석(1)의 절입 속도가 일치하지 않게 되어, 워크(W)측에 연삭 잔류물이 생기고 지석(1)의 연삭 부하가 비정상적으로 상승한다. 그 결과, 고속 절입 상태인 채로 연삭을 계속하면, 워크(W)에 가해지는 부하가 과대해져 워크(W)가 갈라지는 등의 문제가 생긴다. 그러나, 연삭 부하를 감시하면서, 연삭 부하가 상승함에 따라 지석(1)의 절입 속도를 감속하기 때문에, 워크(W)에 과대한 부하가 가해지는 것을 방지할 수 있다.

또한 워크(W)의 연삭의 종반에서는, 연삭 부하가 부하 임계치 L3 이상으로 상승하여 느린 절입에 의한 연삭 중에, 연삭 부하가 L4로 상승하면 지석(1)을 느린 복귀로 전환하기 때문에, 느린 절입과 느린 복귀를 반복하면서 고부하 상태에서 워크(W)를 연삭한다. 그 때문에 지석(1)의 연삭 부하가 계속해서 상승하여 워크(W)에 과대한 부하가 가해지는 경우가 없고, 연삭 효율이 높은 적절한 고부하에서 연삭을 계속할 수 있다.

도 6은 실제로 워크(W)를 연삭했을 때의 워크(W)의 연삭 부하와 치수의 변화를 나타낸다. A는 본 발명의 경우의 연삭 개시로부터 스파크 아웃 종료까지의 연삭 부하의 변화를 나타내는 연삭 부하 곡선이고, B는 그 경우의 워크(W)의 치수의 변화를 나타내는 치수 곡선이다. A1은 종래의 통상 연삭의 경우의 연삭 부하 곡선이고, B1은 그 경우의 워크(W)의 치수의 변화를 나타내는 치수 곡선이다.

종래의 통상 연삭에서는, 과부하가 되지 않도록 지석(1)의 절입 이송량에 따라 러프 연삭 이송, 중마무리 연삭 이송, 마무리 연삭 이송으로 지석(1)의 절입 속도를 제어하면서 연삭하기 때문에, 도 6의 연삭 부하 곡선 A1으로 나타내는 바와 같이 느린 절입 속도로 연삭하지 않을 수 없고, 연삭의 진행과 함께 지석(1)의 연삭 부하는 상승하지만, 그 구배가 완만하다. 따라서, 종래는 지석(1)의 눈막힘이 발생하기 쉬워 연삭 효율을 충분히 발휘할 수 없는 저부하 상태에서 워크(W)를 연삭하기 때문에, 워크(W)의 연삭 사이클이 길어져 연삭 능률이 나쁜 데다가, 연삭 온도가 상승하는 등의 문제가 있었다.

한편, 본 발명에서는, 도 6의 연삭 부하 곡선 A로 나타내는 바와 같이, 지석(1)의 연삭 부하를 기준으로 그 연삭 부하가 소정의 부하 임계치가 될 때마다 고속 절입, 빠른 절입, 중간 절입, 느린 절입의 순으로 지석(1)을 순차 감속하면서 절입하고, 느린 절입과 느린 복귀를 수회 반복하여 스파크 아웃으로 이행한다.

그 때문에 지석(1)의 연삭 부하의 상승에 의해 지립의 자생 작용을 촉진할 수 있기 때문에, 높은 연삭 효율로 워크(W)를 단시간에 연삭하는 것이 가능하고, 종래의 통상 연삭보다 짧은 연삭 사이클로 능률적으로 연삭할 수 있다. 그 결과, 본 발명에서의 연삭 시간은 종래의 통상 연삭의 경우와 비교하여 약 2/3 정도로 단축할 수 있어, 능률적인 연삭이 가능한 것을 알 수 있었다. 또한 본 발명에서는, 연삭 효율이 높은 고부하에서 능률적으로 연삭하기 때문에, 낮은 연삭 부하에서 연삭하는 통상 연삭의 경우에 비교하여 연삭 온도의 상승을 방지할 수 있다.

도 7∼도 10은 본 발명의 제2 실시형태를 예시한다. 이 실시형태의 지석 절입 복귀 제어 수단(11)은 속도 제한 실행 기능을 갖고, 도 7에 나타내는 바와 같이, 제1 실시형태와 동일한 연삭 부하 측정 수단(13), 속도 설정 수단(14), 속도 제어 수단(15) 외에 속도 제한 실행 수단(14A)을 구비하고 있다.

이 속도 제한 실행 수단(14A)은 지석(1)의 연삭 부하가 속도 제한 실행의 부하 임계치 LA를 초과했을 때에는, 그 후에 연삭 부하가 느린 절입의 부하 임계치 L3 미만으로 저하하더라도, 지석(1)의 절입 속도를 느린 절입 속도 V3(= 0.05 mm/min)보다 느린 제한 절입 속도 Vα(= 0.03 mm/min)로 제한하는 속도 제한을 실행하는 기능을 갖는다.

속도 테이블은 도 9에 나타내는 바와 같이 구성되어 있고, 연삭 부하가 부하 임계치 L1∼L3으로 단계적으로 높아짐에 따라 지석(1)을 절입 속도 V1∼V3으로 단계적으로 감속하고, 연삭 부하가 느린 복귀시의 부하 임계치 L4까지 상승했을 때에 지석(1)을 느린 복귀 속도 V4(= -0.05 mm/min)로 복귀시키고, 속도 제한 실행시의 부하 임계치 LA까지 상승했을 때에 제한 절입 속도 Vα(= 0.03 mm/min)로 제한하고, 연삭 중지시의 부하 임계치 LX까지 상승했을 때에 연삭을 중지시키도록 되어 있다.

워크(W)의 인피드 연삭시에는, 도 8에 나타내는 바와 같이, 연삭 부하가 연삭 중지시의 부하 임계치 LX 이상인지 아닌지를 판정하고(S23), 부하 임계치 LX 이상이면 연삭을 중지한다(S24). 또한 연삭 부하가 부하 임계치 LX 미만일 때에는, 지금까지 연삭 부하가 속도 제한 실행시의 부하 임계치 LA 이상이 된 경우가 있는지 아닌지를 확인하고(S25), 한번이라도 있으면 연삭 부하가 부하 임계치 L4 미만이어도(S26), 지석(1)을 제한 절입 속도 Vα(= 0.03 mm/min)로 제한한다(S27). 부하 임계치 LA 이상이 된 경우가 없으면, 그 연삭 부하를 부하 임계치 L1과 비교하여(S28), 부하 임계치 L1 미만이면 고속 절입의 절입 속도 V0으로 한다(S29). 그리고, 연삭 부하가 부하 임계치 L1 이상일 때에는, 부하 임계치 L2와 비교하여 부하 임계치 L2 미만일 때에는(S30), 빠른 절입의 절입 속도 V1로 한다(S31).

마찬가지로 연삭 부하가 부하 임계치 L2 이상일 때에는, 부하 임계치 L3과 비교하여 부하 임계치 L3 미만이면(S32), 중간 절입의 절입 속도 V2로 한다(S33). 또한 연삭 부하가 부하 임계치 L3 이상일 때에는, 부하 임계치 L4와 비교하여 부하 임계치 L4 미만이면(S34), 느린 절입의 느린 절입 속도 V3으로 한다(S35). 느린 절입에 의한 연삭 중의 연삭 부하가 부하 임계치 L4 이상이 되었을 때에는, 지석(1)을 느린 복귀 속도 V4로 복귀시키고(S36), 지석(1)의 느린 복귀에 의해 연삭 부하의 저하를 도모한다.

느린 복귀에 의한 연삭 중에도, 지석(1)의 연삭 부하를 속도 제한 실행시의 부하 임계치 LA와 비교하고 있어(S37), 부하 임계치 LA 미만이면 스텝 S2로 되돌아간다. 그러나, 느린 복귀에 의한 연삭 중에 연삭 부하가 저하하지 않고 무엇인가의 원인에 의해, 연삭 부하가 1차적으로 속도 제한 실행시의 부하 임계치 LA 이상으로 상승하면(S37), 연삭 부하가 부하 임계치 LA를 초과한 것을 기억하고(S38), 속도 제한 실행 수단(14A)의 절입 속도 제한 기능이 작동한다.

그 후에 일시적인 연삭 부하의 상승 원인이 해소되면, 지석(1)의 느린 복귀 속도 V4에 의한 느린 복귀에 의해 연삭 부하가 급격히 저하한다. 그러나, 연삭 부하가 일단 부하 임계치 LX를 초과하고 있기 때문에(S25), 설령 지석(1)의 연삭 부하가 느린 절입시의 부하 임계치 L4 미만이 되더라도(S26), 속도 제한 실행 수단(14A)의 절입 속도 제한 기능이 작동하여, 본래의 느린 절입 속도 V3(= 0.05 mm/min)으로는 하지 않고, 이후의 지석(1)의 절입을 가장 느린 제한 절입 속도 Vα(= 0.03 mm/min)로 제한한다(S27).

따라서, 지석(1)과 워크(W)가 접촉과 이격을 반복하는 경우가 없다. 왜냐하면 속도 제한 실행 기능이 없으면, 느린 복귀에 의한 워크(W)의 연삭 중에 연삭 부하가 부하 임계치 L3 미만으로 저하했을 때에(S34), 느린 복귀로부터 느린 절입으로 전환하여 느린 절입 속도 V3(= 0.05 mm/min)으로 지석(1)을 절입한다. 그 때문에 연삭 부하의 상승, 저하에 따라 지석(1)의 절입 속도를 제어하면, 지석(1)이 빠른 절입 속도와 빠른 복귀 속도로 급격하게 오고 가, 지석(1)과 워크(W)가 접촉과 이격을 반복하여, 워크(W)의 연삭이 진행되지 않게 되는 경우가 있다.

그러나, 지석(1)의 느린 복귀에 의해 연삭 부하가 부하 임계치 L3 미만으로 저하하더라도, 즉시 지석(1)을 절입 속도 V3(= 0.05 mm/min)의 빠른 속도로 절입하지 않고, 제한 절입 속도 Vα(= 0.03 mm/min)의 느린 속도로 천천히 절입하게 되어, 느린 복귀로부터 느린 절입으로의 전환에 의해 지석(1)의 연삭 부하의 급격한 상승을 방지할 수 있고, 지석(1)이 복귀와 절입을 급격하게 반복하는 경우는 없다. 그 때문에 도 10에 연삭 부하 곡선을 나타내는 바와 같이, 그 후의 연삭 부하의 변화가 안정된 것이 되고, 워크(W)를 능률적으로 연삭할 수 있다.

또, 이 실시형태에서는, 속도 제한 실행시의 부하 임계치 LA를 초과한 후에는, 연삭 부하가 저하하더라도 제한 절입 속도 Vα보다 빠른 속도로 지석(1)을 절입하지 않도록 제어하고 있지만, 지석(1)을 복귀시키는 경우에도, 제한 복귀 속도 Vβ를 설정하여, 연삭 부하가 어느 부하 임계치 LB를 초과한 후에, 그 후에 연삭 부하가 부하 임계치 L4의 상측 근처까지 내려가는 경우가 있더라도, 제한 복귀 속도 Vβ보다 빠른 복귀 속도로 복귀하지 않도록 해도 좋다.

도 11∼도 13은 본 발명의 제3 실시형태를 예시한다. 이 실시형태의 지석 절입 복귀 제어 수단(11)은, 도 11에 나타내는 바와 같이, 속도 설정 수단(14)이 기억하는 속도 테이블을 적절하게 선택 가능한 테이블 선택 수단(16)을 갖고, 이 테이블 선택 수단(16)에 의해 선택된 테이블에 따라 속도 제어 수단(15)이 지석 이송 수단(7)을 제어하도록 구성되어 있다.

속도 설정 수단(14)이 기억하는 테이블에는, 예컨대 도 12에 나타내는 제1 속도 테이블 T1과, 도 13에 나타내는 제2 속도 테이블 T2가 있다. 테이블 선택 수단(16)은 제1 속도 테이블 T1과 제2 속도 테이블 T2를 개별로 선택 가능한 것 외에, 양 속도 테이블 T1, T2의 일부를 결합한 결합 테이블을 선택 가능하다.

결합 테이블은 제1 속도 테이블 T1과 제2 속도 테이블 T2의 전후를 선택함과 동시에, 그 한쪽의 속도 테이블 T1 또는 속도 테이블 T2로부터 다른 쪽의 속도 테이블 T2 또는 속도 테이블 T1로 변경할 때의 속도 테이블 변경 부하를 적절하게 부하 임계치로 설정하여, 그 속도 테이블 변경 부하에서 양 속도 테이블 T1, T2의 전후를 변경하고 결합하여, 그 한쪽의 속도 테이블 T1 또는 속도 테이블 T2로부터 다른 쪽의 속도 테이블 T2 또는 속도 테이블 T1로 전환되도록 구성되는 하나의 속도 테이블이다.

예컨대, 제1 속도 테이블 T1을 전으로 하고, 제2 속도 테이블 T2를 후로 하는 선택을 행하고, 부하 임계치 L3을 속도 테이블 변경 부하로서 설정한 경우에는, 부하 임계치 L3까지의 제1 속도 테이블 T1의 전반과, 부하 임계치 L3으로부터 이후의 제2 속도 테이블 T2의 후반을 결합한 하나의 속도 테이블을 구성할 수 있다.

따라서, 인피드 연삭시에, 지석 절입 복귀 제어 수단(11)은 연삭 부하의 변화를 감시하면서, 그 속도 제어 수단(15)에 의해, 결합 테이블에 따라 지석(1)의 절입 속도를 각각 제어한다. 예컨대, 연삭의 전반은 제1 속도 테이블 T1에 따라 제어를 행하여, 연삭 부하가 부하 임계치 L3 미만인 경우에는 제1 속도 테이블 T1의 느린 절입 속도 V3(= 0.05 mm/min)으로 지석(1)의 느린 절입을 행한다. 그리고, 부하 임계치 L3 이상이 되면, 제1 속도 테이블 T1로부터 제2 속도 테이블 T2로 변경하여, 이 제2 속도 테이블 T2에 따라 느린 복귀 속도 V3(= -0.05 mm/min)으로 지석(1)의 느린 복귀를 행한다. 또, 다른 구성, 제어 등은 각 실시형태와 동일하다.

이와 같이 하면, 제1 속도 테이블 T1과 제2 속도 테이블 T2의 일부를 선택적으로 조합하여 결합 테이블을 구성할 수 있고, 적은 수의 속도 테이블 T1, T2를 기준으로 하면서도 워크(W)의 재질, 그 밖에 최적의 조건으로 연삭하는 것이 가능하다.

또, 속도 테이블은 3종류 이상 있어도 좋고, 속도 테이블 변경 부하는 복수 종류 있어도 좋다. 또한 속도 테이블 변경 부하에 의해 테이블을 변경하는 것 외에, 절입 시간, 절입량, 사이징 장치 등으로부터 판독한 제거량을 기준으로, 복수의 속도 테이블을 변경하도록 해도 좋다.

도 14는 본 발명의 제4 실시형태를 예시한다. 지석(1)에 의해 워크(W)를 인피드 연삭하는 경우, 연삭 중의 연삭 부하는 그 때의 조건에 따라 상승, 저하하는 경우가 있다. 따라서, 도 14에 속도 테이블을 예시하는 바와 같이, 속도 테이블 중에 연삭 부하의 상승 국면과 저하 국면의 어느 부하 임계치를 사용할지 아닐지를 선택 가능(ON은 선택, OFF는 비선택)하게 해 두고, 연삭 조건에 따라 적절하게 필요한 조건을 선택하도록 해도 좋다.

도 14의 속도 테이블의 경우에는, 고속 절입, 빠른 절입, 중간 절입, 느린 절입, 느린 복귀, 중간 복귀, 빠른 복귀, 비상 복귀의 제어 요소가 있고, 그 각 제어 요소를 상승 국면, 저하 국면에 따라 적절하게 선택할 수 있도록 되어 있다. 예컨대, 연삭 부하의 상승 국면에서는, 중간 절입, 느린 복귀, 중간 복귀는 선택되어 있지 않고, 저하 국면에서는 느린 절입은 선택되어 있지 않다.

실제의 인피드 연삭에 있어서, 그 시점에서의 연삭이 상승 국면, 저하 국면의 어느 것에 있는지는, 과거 수초간 정도의 판정 시간을 정해 두고, 그 판정 시간 중에 있어서의 연삭 부하의 이동 평균 등을 구함으로써 판단해도 좋다.

도 15, 도 16은 본 발명의 제5 실시형태를 예시한다. 이 지석 절입 복귀 제어 수단(11)은, 도 15에 나타내는 바와 같이, 연삭 중의 지석(1)의 연삭 부하를 측정하는 연삭 부하 측정 수단(13)과, 부하 임계치마다 지석(1)의 절입 속도, 복귀 속도를 설정하는 속도 설정 수단(14)과, 절입 속도의 변경시, 절입과 복귀의 전환시에 가감속 시간을 설정하는 시간 설정 수단(17)과, 연삭 중의 연삭 부하와 부하 임계치를 비교하여 그 연삭 부하의 증감에 따라 속도 설정 수단(14)에 의해 설정된 절입 속도, 복귀 속도로, 지석 이송 수단(7)을 절입 제어, 복귀 제어함과 동시에, 그 절입 속도의 변경시, 절입과 복귀의 전환시에 시간 설정 수단(17)에 의해 설정된 가감속 시간(T)에서 속도를 일방향으로 완만하게 변화시키는 속도 제어 수단(15)을 갖는다.

이러한 구성의 지석 절입 복귀 제어 수단(11)에서는, 시간 설정 수단(17)에 의해 미리 가감속 시간(T)을 설정해 두면, 절입 속도의 변경시, 절입과 복귀의 전환시의 어느 경우에도, 속도의 급격한 변화를 방지할 수 있기 때문에, 연삭 부하가 일시적으로 저하하는 등의 문제가 없고, 고연삭 부하에서 능률적으로 워크(W)를 연삭할 수 있다.

예컨대 절입 속도 V0의 고속 절입으로부터 절입 속도 V1의 빠른 절입으로 감속하는 경우에는, 도 16의 (I)에 실선으로 나타내는 바와 같이 가감속 시간(T)에서 절입 속도 V0으로부터 절입 속도 V1로 서서히 감속하기 때문에, 점선으로 나타내는 바와 같이 즉시 전환할 때에 비해, 급격한 속도 변화를 억제하여 연삭 부하의 변화를 억제할 수 있다.

또한 절입 속도 V3에 의한 느린 절입으로부터 복귀 속도 V4에 의한 느린 복귀로 전환하는 경우에도, 도 16의 (II)에 실선으로 나타내는 바와 같이 가감속 시간(T)에서 절입 속도 V3으로부터 복귀 속도 V4로 서서히 전환하기 때문에, 점선으로 나타내는 바와 같이 즉시 전환할 때에 비해, 역방향으로의 급격한 속도 변화를 억제하여 연삭 부하의 변화를 억제할 수 있다.

또, 가감속 시간(T)은 워크(W)의 재질 등에 따라 적절하게 설정하는 것도 가능하다. 또한 가감속 시간(T)을 가변적으로 설정 가능하게 하는 것 외에, 절입 속도의 변경시, 절입과 복귀의 전환시에 속도 제어 수단(15)이 소정의 가감속 특성에 따라 서서히 또는 단계적으로 가감속을 하도록 해도 좋다.

이상, 본 발명의 실시형태에 대하여 상술했지만, 본 발명은 이 실시형태에 한정되는 것이 아니라 여러가지 변경이 가능하다. 예컨대, 연삭 부하의 부하 임계치의 수는 많은 것이 바람직하다. 따라서, 부하 임계치의 수를 무수히 늘리는 것도 가능하고, 부하 임계치의 수를 무수히 늘림으로써, 연삭 부하의 증가에 따라 지석(1)의 절입 속도를 무단계로 감속하는 무단 변속도 가능하다.

또한 실시형태에서는, 경취 재료의 워크(W)에 대하여 예시하고 있지만, 경취 재료에 한정되는 것이 아니라, 각종 재료의 워크(W)의 평면 연삭의 전반에 대해서도 동일하게 실시 가능하다.

연삭 부하로서 지석축(5)의 회전 부하 토크를 예시하고 있지만, 지석 구동 수단(6)의 전류, 전력의 변화, 또는 지석 구동 수단(6)에 가해지는 하중의 변화로 연삭 부하를 판단해도 좋고, 워크 구동 수단(4)의 토크, 전류, 전력, 하중의 변화로 연삭 부하를 판단해도 좋다. 또한 워크 구동 기구가 없는 평면 연삭반(2)의 경우에는, 워크(W)에 가해지는 하중으로부터 연삭 부하를 판단해도 좋다. 또한 지석 구동 수단(6)의 전류, 전력 또는 하중의 변화와, 워크 구동 수단(4)의 전류, 전력 또는 하중의 변화를 조합하는 등, 연삭 부하의 변화에 관련되는 2가지 이상의 관련 요소를 조합하여 판단하도록 해도 좋다.

제1 및 제2 실시형태에서는, 절입 중에 연삭 부하가 상승하는 경우에 대하여 상술하고 있지만, 절입 중에 연삭 부하가 소정의 부하 임계치보다 저하하면, 절입 속도를 증속시키도록 제어해도 좋은 것은 말할 필요도 없다. 그 경우에도, 소정의 시간을 들여 절입 속도를 가속하도록 해도 좋다.

또한 연삭 부하가 소정의 부하 임계치를 기준으로 절입 속도를 가감속하고, 또는 절입과 복귀 사이에서 전환하는 경우, 소정의 부하 임계치를 기준으로 지석(1)의 절입, 복귀 등이 가능하면 충분하고, 부하 임계치 미만, 부하 임계치 이상의 어느 것으로 판단하는 것도 가능하다.

고속 절입, 빠른 절입, 중간 절입, 느린 절입, 느린 복귀, 중간 복귀, 빠른 복귀 등은 단순한 예시에 불과하고, 이들 이상으로 미세하게 나눠도 좋고, 적은 수로 대략적으로 나눠도 좋다. 또한 각 부하 임계치, 절입 속도, 복귀 속도의 값도 단순한 예시에 불과하고, 이들에 한정되는 것이 아니다.

1: 지석
2: 평면 연삭반
3: 회전 테이블
4: 워크 구동 수단
5: 지석축
7: 지석 이송 수단
10: 사이징 제어 수단
11: 지석 절입 복귀 제어 수단
12: 치수 측정 수단
13: 연삭 부하 측정 수단
14: 속도 설정 수단
14A: 속도 제한 실행 수단
15: 속도 제어 수단
16: 테이블 선택 수단
17: 시간 설정 수단

Claims

지석에 의해 워크를 평면 연삭할 때에, 연삭 부하를 감시하면서, 연삭 부하가 상승함에 따라 지석의 절입 속도를 감속하는 것을 특징으로 하는 워크의 평면 연삭 방법.
지석에 의해 워크를 평면 연삭할 때에, 연삭 부하를 감시하면서, 연삭 부하가 상승했을 때에 지석의 절입 속도를 감속하고, 연삭 부하가 저하했을 때에 절입 속도를 증속하는 것을 특징으로 하는 워크의 평면 연삭 방법.
제1항 또는 제2항에 있어서, 연삭 부하의 복수의 각 부하 임계치에 대응하여, 연삭 부하가 커질수록 지석의 절입 속도가 느려지는 각 절입 속도를 설정해 두고, 미리 정해진 속도로 연삭을 개시한 후, 연삭 부하가 미리 정해진 부하 임계치로 상승·저하할 때마다 지석을 대응하는 절입 속도로 감속·증속하는 것을 특징으로 하는 워크의 평면 연삭 방법.
제1항 또는 제2항에 있어서, 지석의 절입시의 최대의 부하 임계치보다 높은 복귀 부하 임계치를 설정해 두고, 연삭 부하가 복귀 부하 임계치를 초과했을 때에 지석을 미리 정해진 복귀 속도로 복귀시키면서 연삭하는 것을 특징으로 하는 워크의 평면 연삭 방법.
제1항 또는 제2항에 있어서, 스파크 아웃 전에 지석의 절입과 복귀를 반복하는 것을 특징으로 하는 워크의 평면 연삭 방법.
제1항 또는 제2항에 있어서, 연삭 부하가 속도 제한 실행용의 부하 임계치를 초과했을 때에, 그 후에 연삭 부하가 미리 정해진 절입 속도의 부하 임계치로 저하하더라도 미리 정해진 절입 속도보다 느린 제한 절입 속도로 지석을 절입하고, 제한 절입 속도 이상으로 빠르게 하지 않는 것을 특징으로 하는 워크의 평면 연삭 방법.
제3항에 있어서, 지석의 절입시의 최대의 부하 임계치보다 높은 복귀 부하 임계치를 설정해 두고, 연삭 부하가 복귀 부하 임계치를 초과했을 때에 지석을 미리 정해진 복귀 속도로 복귀시키면서 연삭하는 것을 특징으로 하는 워크의 평면 연삭 방법.
제3항에 있어서, 스파크 아웃 전에 지석의 절입과 복귀를 반복하는 것을 특징으로 하는 워크의 평면 연삭 방법.
제3항에 있어서, 연삭 부하가 속도 제한 실행용의 부하 임계치를 초과했을 때에, 그 후에 연삭 부하가 미리 정해진 절입 속도의 부하 임계치로 저하하더라도 미리 정해진 절입 속도보다 느린 제한 절입 속도로 지석을 절입하고, 제한 절입 속도 이상으로 빠르게 하지 않는 것을 특징으로 하는 워크의 평면 연삭 방법.
지석에 의해 워크를 인피드 연삭하는 평면 연삭반으로서, 연삭 중의 지석의 연삭 부하를 측정하는 연삭 부하 측정 수단과, 복수의 부하 임계치에 대응하여 복수의 지석의 절입 속도가 설정된 속도 설정 수단과, 연삭 중의 연삭 부하와 부하 임계치를 비교하면서 연삭 부하의 상승, 저하에 따라 지석의 절입 속도가 감속, 증속하도록 각 부하 임계치를 기준으로 하여 각 부하 임계치에 대응하는 절입 속도로 지석을 증감속시키는 속도 제어 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 평면 연삭반.