KR20170008150A

KR20170008150A - Industrial robot

Info

Publication number: KR20170008150A
Application number: KR1020160072280A
Authority: KR
Inventors: 다카유키 야자와; 히로시 아라카와
Original assignee: 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
Priority date: 2015-07-13
Filing date: 2016-06-10
Publication date: 2017-01-23
Also published as: TWI714598B; TW201702025A; KR102539039B1; JP2017019061A; CN106346458B; CN106346458A; JP6616606B2

Abstract

Provided is an industrial robot capable of shortening a tact time of a manufacturing system in which the industrial robot is installed. The industrial robot comprises: a plurality of hands (3, 4) on which returning objects are individually mounted and, at the same time, arranged at the same height; a plurality of hand supporting members (7, 8) to which each of the plurality of hands (3, 4) is fixed; a holding member (11) for holding the plurality of hand supporting members (7, 8) such that the plurality of hand supporting members (7, 8) are linearly reciprocable in the same horizontal direction; and a plurality of hand driving mechanisms (22, 23) for individually reciprocating each of the plurality of hand supporting members (7, 8) with respect to the holding member (11).

Description

INDUSTRIAL ROBOT

본 발명은 소정의 반송 대상물을 반송하는 산업용 로봇에 관한 것이다.The present invention relates to an industrial robot for carrying a predetermined carrying object.

종래, 액정 디스플레이용 유리 기판을 반송하는 산업용 로봇이 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은, 유리 기판이 탑재되는 제1 핸드 및 제2 핸드의 2개의 핸드와, 제1 핸드가 고정되는 제1 핸드 지지 부재와, 제2 핸드가 고정되는 제2 핸드 지지 부재와, 제1 핸드 지지 부재 및 제2 핸드 지지 부재를 보유 지지하는 아암을 구비하고 있다. 제1 핸드 지지 부재 및 제2 핸드 지지 부재는, 수평 방향의 동일한 방향으로 직선적으로 왕복 이동 가능하게 되도록, 아암에 보유 지지되어 있다. 아암에 대한 제1 핸드 지지 부재 및 제2 핸드 지지 부재의 이동 방향에서 보았을 때, 제1 핸드와 제2 핸드는 상하 방향에서 겹쳐 있다.BACKGROUND ART Conventionally, an industrial robot for transporting a glass substrate for a liquid crystal display is known (see, for example, Patent Document 1). The industrial robot disclosed in Patent Document 1 has a structure in which two hands of a first hand and a second hand on which a glass substrate is mounted, a first hand supporting member to which the first hand is fixed, And an arm for holding the first hand supporting member and the second hand supporting member. The first hand supporting member and the second hand supporting member are held by the arm such that they can linearly reciprocate in the same horizontal direction. The first hand and the second hand overlap in the vertical direction when viewed in the moving direction of the first hand supporting member and the second hand supporting member with respect to the arm.

일본 특허 공개 제2015-80828호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2015-80828

최근, 유리 기판 등의 반송 대상물을 반송하는 산업용 로봇이 설치되는 제조 시스템에서는, 택트 타임의 단축화가 요구되고 있다. 따라서, 본 발명의 과제는, 산업용 로봇이 설치되는 제조 시스템의 택트 타임을 단축하는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공하는 데 있다.In recent years, in a manufacturing system in which an industrial robot for transporting a carrying object such as a glass substrate is installed, shortening of the tact time is required. Accordingly, an object of the present invention is to provide an industrial robot capable of shortening a tact time of a manufacturing system in which an industrial robot is installed.

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 산업용 로봇은, 반송 대상물이 개별적으로 탑재됨과 함께 동일한 높이로 배치되는 복수의 핸드와, 복수의 핸드의 각각이 고정되는 복수의 핸드 지지 부재와, 복수의 핸드 지지 부재가 수평 방향의 동일한 방향으로 직선적으로 왕복 이동 가능하게 되도록 복수의 핸드 지지 부재를 보유 지지하는 보유 지지 부재와, 보유 지지 부재에 대하여 복수의 핸드 지지 부재의 각각을 개별적으로 왕복 이동시키는 복수의 핸드 구동 기구를 구비하는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above-described problems, the industrial robot of the present invention comprises: a plurality of hands, each of which is individually mounted and arranged at the same height; a plurality of hand holding members to which a plurality of hands are fixed; A holding member for holding the plurality of hand holding members such that the holding members are linearly reciprocally movable in the same direction in the horizontal direction and a plurality of hand holding members for reciprocally moving each of the plurality of hand holding members relative to the holding members And a hand driving mechanism.

본 발명의 산업용 로봇은, 반송 대상물이 개별적으로 탑재됨과 함께 동일한 높이로 배치되는 복수의 핸드를 구비하고 있다. 그로 인해, 본 발명에서는 동일한 높이로 수용되어 있는 복수의 반송 대상물을 복수의 핸드에 의해 동시에 반출하는 것이 가능해짐과 함께, 동일한 높이로 수용되는 복수의 반송 대상물을 복수의 핸드에 의해 동시에 반입하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 본 발명에서는 산업용 로봇이 설치되는 제조 시스템의 택트 타임을 단축하는 것이 가능하게 된다. 한편, 예를 들어 반송 대상물의 반출시나 반입시에 복수의 핸드 모두를 동시에 왕복 이동시키면, 복수의 핸드 중 몇 개의 핸드가, 제조 시스템을 구성하는 제조 장치나 반송 대상물이 수용되는 카세트 등과 접촉할 우려가 있다. 본 발명의 산업용 로봇은, 보유 지지 부재에 대하여 복수의 핸드 지지 부재의 각각을 개별적으로 왕복 이동시키는 복수의 핸드 구동 기구를 구비하고 있기 때문에, 반송 대상물의 반출시나 반입시에 제조 장치 등과 접촉할 우려가 있는 핸드를 정지시켜 두는 것이 가능하게 된다. 따라서, 본 발명에서는 반송 대상물의 반출시나 반입시에 있어서의 제조 장치 등과 핸드의 접촉을 방지하는 것이 가능하게 되고, 핸드 등의 손상을 방지하는 것이 가능하게 된다.The industrial robot of the present invention includes a plurality of hands on which objects to be transported are individually mounted and arranged at the same height. Therefore, in the present invention, it is possible to simultaneously carry out a plurality of carrying objects accommodated at the same height by a plurality of hands, and simultaneously carrying a plurality of carrying objects accommodated at the same height by a plurality of hands . Therefore, in the present invention, it becomes possible to shorten the tact time of the manufacturing system in which the industrial robot is installed. On the other hand, for example, when both of the hands are reciprocally moved at the time of carrying out the carrying object or at the time of carrying the carrying object, several hands of the plurality of hands are likely to come into contact with the manufacturing apparatus constituting the manufacturing system and the cassette accommodating the carrying object . INDUSTRIAL APPLICABILITY The industrial robot of the present invention is provided with a plurality of hand driving mechanisms for individually reciprocating each of the plurality of hand supporting members with respect to the holding member, It is possible to stop the hand with the hand. Therefore, in the present invention, it is possible to prevent the hand from coming into contact with the manufacturing apparatus or the like at the time of carrying out or carrying in the carrying object, and it is possible to prevent damage to the hand or the like.

본 발명에 있어서, 보유 지지 부재에 대한 핸드 지지 부재의 이동 방향을 제1 방향이라고 하고, 수평 방향이면서 제1 방향에 직교하는 방향을 제2 방향이라고 하면, 산업용 로봇은, 예를 들어, 핸드로서, 제1 방향에서 보았을 때 제2 방향에서 서로 인접하도록 동일한 높이로 배치되는 제1 핸드 및 제2 핸드와, 제1 방향에서 보았을 때 상하 방향에서 제1 핸드와 겹치도록 제1 핸드의 하측에 배치되는 제3 핸드와, 제1 방향에서 보았을 때 상하 방향에서 제2 핸드와 겹치도록 제3 핸드와 동일한 높이로 제2 핸드의 하측에 배치되는 제4 핸드를 구비하고, 핸드 지지 부재로서, 제1 핸드가 고정되는 제1 핸드 지지 부재와, 제2 핸드가 고정되는 제2 핸드 지지 부재와, 제3 핸드가 고정되는 제3 핸드 지지 부재와, 제4 핸드가 고정되는 제4 핸드 지지 부재를 구비하고, 핸드 구동 기구로서, 제1 핸드 지지 부재를 왕복 이동시키는 제1 핸드 구동 기구와, 제2 핸드 지지 부재를 왕복 이동시키는 제2 핸드 구동 기구와, 제3 핸드 지지 부재를 왕복 이동시키는 제3 핸드 구동 기구와, 제4 핸드 지지 부재를 왕복 이동시키는 제4 핸드 구동 기구를 구비하고, 보유 지지 부재는, 제1 핸드 지지 부재와 제3 핸드 지지 부재를 왕복 이동 가능하게 보유 지지하는 제1 보유 지지 부재와, 제2 핸드 지지 부재와 제4 핸드 지지 부재를 왕복 이동 가능하게 보유 지지하는 제2 보유 지지 부재를 구비하고 있다. 이 경우에는, 제1 핸드와 제2 핸드를 사용하여, 혹은 제3 핸드와 제4 핸드를 사용하여, 동일한 높이로 수용되어 있는 복수의 반송 대상물을 동시에 반출하는 것이 가능해짐과 함께, 동일한 높이로 수용되는 복수의 반송 대상물을 동시에 반입하는 것이 가능하게 된다.In the present invention, when the direction of movement of the hand holding member relative to the holding member is referred to as a first direction and the direction orthogonal to the first direction while being in a horizontal direction is referred to as a second direction, the industrial robot is, for example, A first hand and a second hand arranged at the same height so as to be adjacent to each other in a second direction when viewed in a first direction and a second hand arranged at a lower side of the first hand so as to overlap with the first hand when viewed in a first direction And a fourth hand arranged on the lower side of the second hand at the same height as the third hand so as to overlap with the second hand in the vertical direction when viewed in the first direction, A first hand supporting member to which the hand is fixed, a second hand supporting member to which the second hand is fixed, a third hand supporting member to which the third hand is fixed, and a fourth hand supporting member to which the fourth hand is fixed And hand A second hand driving mechanism for reciprocating the second hand supporting member; and a third hand driving mechanism for reciprocating the third hand supporting member. The first hand driving mechanism reciprocates the first hand supporting member, And a fourth hand driving mechanism for reciprocating the fourth hand supporting member, and the holding member includes a first holding member for holding the first hand supporting member and the third hand supporting member in a reciprocating manner And a second holding member for holding the second hand supporting member and the fourth hand supporting member in a reciprocating manner. In this case, by using the first hand and the second hand, or by using the third hand and the fourth hand, it is possible to simultaneously carry out a plurality of carrying objects accommodated at the same height, and at the same height It is possible to simultaneously carry a plurality of carrying objects to be accommodated.

본 발명에 있어서, 핸드 구동 기구는, 구동원으로 되는 핸드 구동 모터와, 핸드 구동 모터의 동력으로 회전하는 나사축 및 나사축의 외주면에 형성되는 수나사에 걸림 결합하는 암나사가 내주측에 형성되는 너트 부재를 갖고 핸드 지지 부재를 제1 방향으로 보내는 이송 기구와, 제1 방향으로 핸드 지지 부재를 안내하는 핸드 가이드 기구를 구비하고, 제1 핸드 구동 기구의 이송 기구를 제1 이송 기구라고 하고, 제1 핸드 구동 기구의 핸드 가이드 기구를 제1 핸드 가이드 기구라고 하고, 제2 핸드 구동 기구의 이송 기구를 제2 이송 기구라고 하고, 제2 핸드 구동 기구의 핸드 가이드 기구를 제2 핸드 가이드 기구라고 하고, 제3 핸드 구동 기구의 이송 기구를 제3 이송 기구라고 하고, 제3 핸드 구동 기구의 핸드 가이드 기구를 제3 핸드 가이드 기구라고 하고, 제4 핸드 구동 기구의 이송 기구를 제4 이송 기구라고 하고, 제4 핸드 구동 기구의 핸드 가이드 기구를 제4 핸드 가이드 기구라고 하면, 제1 이송 기구와 제1 핸드 가이드 기구와 제3 이송 기구와 제3 핸드 가이드 기구는, 제1 방향에서 보았을 때, 4개의 핸드 구동 모터보다 제2 방향의 일방측에 배치되고, 제2 이송 기구와 제2 핸드 가이드 기구와 제4 이송 기구와 제4 핸드 가이드 기구는, 제1 방향에서 보았을 때, 4개의 핸드 구동 모터보다 제2 방향의 타방측에 배치되어 있는 것이 바람직하다.In the present invention, the hand driving mechanism includes a hand driving motor serving as a driving source, a screw shaft rotated by the power of the hand driving motor, and a nut member formed on the inner circumferential side of the female screw engaged with the male screw formed on the outer peripheral surface of the screw shaft And a hand guide mechanism for guiding the hand supporting member in the first direction, wherein the transfer mechanism of the first hand driving mechanism is referred to as a first transfer mechanism, and the first hand The hand mechanism of the drive mechanism is referred to as a first hand guide mechanism, the transfer mechanism of the second hand drive mechanism is referred to as a second transfer mechanism, the hand guide mechanism of the second hand drive mechanism is referred to as a second hand guide mechanism, The hand mechanism of the third hand driving mechanism is referred to as a third conveying mechanism, the hand guide mechanism of the third hand driving mechanism is referred to as a third hand guide mechanism, When the hand mechanism of the fourth hand driving mechanism is referred to as a fourth conveying mechanism and the hand guide mechanism of the fourth hand driving mechanism is referred to as a fourth hand guide mechanism, the first conveying mechanism, the first hand- The three-hand guide mechanism is disposed on one side of the four-hand drive motor in the second direction when viewed in the first direction, and the second hand mechanism, the second hand mechanism, the fourth hand mechanism, Is preferably disposed on the other side in the second direction than the four hand drive motors when viewed in the first direction.

이와 같이 구성하면, 가동하는 부재를 갖는 제1 이송 기구, 제1 핸드 가이드 기구, 제3 이송 기구 및 제3 핸드 가이드 기구와, 가동하는 부재를 갖는 제2 이송 기구, 제2 핸드 가이드 기구, 제4 이송 기구 및 제4 핸드 가이드 기구의 제2 방향의 거리를 확보하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 4개의 핸드 구동 모터보다 제2 방향의 일방측에 배치되는 가동하는 부재와, 4개의 핸드 구동 모터보다 제2 방향의 타방측에 배치되는 가동하는 부재의 간섭을 방지하는 것이 가능하게 된다.According to this configuration, the first transfer mechanism, the first hand guide mechanism, the third transfer mechanism, and the third hand guide mechanism having the movable member, the second transfer mechanism having the movable member, the second hand guide mechanism, 4 feed mechanism and the fourth hand guide mechanism in the second direction. Therefore, it is possible to prevent interference between the movable member disposed on one side of the four-hand drive motor and the movable member disposed on the other side of the four-hand drive motor in the second direction.

본 발명에 있어서, 제1 핸드 구동 기구의 핸드 구동 모터를 제1 핸드 구동 모터라고 하고, 제2 핸드 구동 기구의 핸드 구동 모터를 제2 핸드 구동 모터라고 하고, 제3 핸드 구동 기구의 핸드 구동 모터를 제3 핸드 구동 모터라고 하고, 제4 핸드 구동 기구의 핸드 구동 모터를 제4 핸드 구동 모터라고 하면, 제3 핸드 구동 모터와 제1 핸드 구동 모터는, 제1 방향에서 보았을 때, 상하 방향에서 겹치도록, 또한 상측에서부터 이 순서대로 제3 핸드의 하측에 배치되고, 제4 핸드 구동 모터와 제2 핸드 구동 모터는, 제1 방향에서 보았을 때, 상하 방향에서 겹치도록, 또한 상측에서부터 이 순서대로 제4 핸드의 하측에 배치되고, 제1 이송 기구 및 제1 핸드 가이드 기구는, 제1 방향에서 보았을 때, 제1 핸드 구동 모터와 제2 방향에서 서로 인접하도록 배치되고, 제2 이송 기구 및 제2 핸드 가이드 기구는, 제1 방향에서 보았을 때, 제2 핸드 구동 모터와 제2 방향에서 서로 인접하도록 배치되고, 제3 이송 기구 및 제3 핸드 가이드 기구는, 제1 방향에서 보았을 때, 제3 핸드 구동 모터와 제2 방향에서 서로 인접하도록 배치되고, 제4 이송 기구 및 제4 핸드 가이드 기구는, 제1 방향에서 보았을 때, 제4 핸드 구동 모터와 제2 방향에서 서로 인접하도록 배치되어 있는 것이 바람직하다.In the present invention, the hand driving motor of the first hand driving mechanism is referred to as a first hand driving motor, the hand driving motor of the second hand driving mechanism is referred to as a second hand driving motor, And the hand driving motor of the fourth hand driving mechanism is referred to as a fourth hand driving motor, the third hand driving motor and the first hand driving motor move in the vertical direction And the fourth hand driving motor and the second hand driving motor are arranged so as to overlap in the vertical direction when viewed in the first direction and to be arranged in this order from the upper side The first hand mechanism and the first hand guide mechanism are disposed so as to be adjacent to each other in the second direction with respect to the first hand driving motor when viewed in the first direction, And the second and third hand guide mechanisms are arranged so as to be adjacent to each other in the second direction with respect to the second hand drive motor when viewed in the first direction, And the fourth hand mechanism and the fourth hand mechanism are disposed so as to be adjacent to each other in the second direction with respect to the fourth hand driving motor when viewed in the first direction .

이와 같이 구성하면, 제1 핸드 구동 모터, 제1 이송 기구 및 제1 핸드 가이드 기구가, 제3 핸드 구동 모터, 제3 이송 기구 및 제3 핸드 가이드 기구의 상측에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 제1 핸드 지지 부재 및 제3 핸드 지지 부재의 구성을 간소화하는 것이 가능하게 된다. 또한, 이와 같이 구성하면, 제2 핸드 구동 모터, 제2 이송 기구 및 제2 핸드 가이드 기구가, 제4 핸드 구동 모터, 제4 이송 기구 및 제4 핸드 가이드 기구의 상측에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 제2 핸드 지지 부재 및 제4 핸드 지지 부재의 구성을 간소화하는 것이 가능하게 된다.With this configuration, as compared with the case where the first hand drive motor, the first transfer mechanism, and the first hand guide mechanism are disposed above the third hand drive motor, the third transfer mechanism, and the third hand guide mechanism, It is possible to simplify the configuration of the first hand supporting member and the third hand supporting member. In addition, with this configuration, compared with the case where the second hand drive motor, the second transfer mechanism, and the second hand guide mechanism are disposed above the fourth hand drive motor, the fourth transfer mechanism, and the fourth hand guide mechanism Thus, the configuration of the second hand supporting member and the fourth hand supporting member can be simplified.

본 발명에 있어서, 산업용 로봇은, 제2 방향에서의 제1 보유 지지 부재와 제2 보유 지지 부재의 피치를 변경하는 핸드 피치 변경 기구를 구비하는 것이 바람직하다. 이 경우에는, 핸드 피치 변경 기구는, 산업용 로봇이 반송 대상물을 반송하는 반송 동작 중에, 제2 방향에서의 제1 보유 지지 부재와 제2 보유 지지 부재의 피치를 변경하는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 동일한 높이로 반송원에 수용되어 있는 복수의 반송 대상물의 제2 방향의 피치와, 동일한 높이로 반송처에 수용되는 복수의 반송 대상물의 제2 방향의 피치가 상이한 경우라도, 반송원으로부터 반송처로 반송 대상물을 단시간에, 또한 적절하게 반송하는 것이 가능하게 된다.In the present invention, the industrial robot preferably includes a hand pitch changing mechanism for changing the pitch of the first holding member and the second holding member in the second direction. In this case, it is preferable that the hand pitch changing mechanism change the pitches of the first holding member and the second holding member in the second direction during the conveying operation in which the industrial robot conveys the conveying object. With this configuration, even when the pitches in the second direction of the plurality of conveying objects accommodated in the conveying source at the same height are different from the pitches in the second direction of the plurality of conveying objects accommodated in the conveying destination at the same height, It is possible to convey the object to be conveyed from the circle to the conveying destination in a short time and appropriately.

본 발명에 있어서, 핸드 피치 변경 기구는, 구동원으로 되는 보유 지지 부재 구동 모터와, 그 중심 위치가 보유 지지 부재 구동 모터의 출력축에 고정되는 제1 레버 부재와, 그 일단부측이 제1 보유 지지 부재에 회동 가능하게 연결됨과 함께 그 타단부측이 제1 레버 부재의 일단부측에 회동 가능하게 연결되는 제2 레버 부재와, 그 일단부측이 제2 보유 지지 부재에 회동 가능하게 연결됨과 함께 그 타단부측이 제1 레버 부재의 타단부측에 회동 가능하게 연결되는 제3 레버 부재와, 제1 보유 지지 부재를 제2 방향으로 안내하는 제1 보유 지지 부재 가이드 기구와, 제2 보유 지지 부재를 제2 방향으로 안내하는 제2 보유 지지 부재 가이드 기구를 구비하는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 3개의 레버 부재를 사용한 비교적 간이한 구성으로, 제2 방향에서의 제1 보유 지지 부재와 제2 보유 지지 부재의 피치를 변경하는 것이 가능하게 된다.In the present invention, the hand pitch changing mechanism includes a holding member driving motor serving as a driving source, a first lever member whose center position is fixed to the output shaft of the holding member driving motor, A second lever member rotatably connected to the first lever member and rotatably connected to the other end side of the first lever member, and a second lever member having one end side thereof pivotably connected to the second retaining member, A third lever member rotatably connected to the other end side of the first lever member, a first holding member guide mechanism for guiding the first holding member in the second direction, And a second holding member guide mechanism for guiding the first holding member in two directions. With this configuration, it is possible to change the pitches of the first holding member and the second holding member in the second direction with a relatively simple structure using the three lever members.

본 발명에 있어서, 보유 지지 부재에 대한 핸드 지지 부재의 이동 방향을 제1 방향이라고 하고, 수평 방향이면서 제1 방향에 직교하는 방향을 제2 방향이라고 하면, 핸드는, 제2 방향에서 서로 인접하도록 배치되고 반송 대상물이 탑재되는 2개의 포크와, 제2 방향에서의 2개의 포크의 피치를 변경하는 포크 피치 변경 기구를 구비하는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 포크의 피치를 변경함으로써 여러가지 크기의 반송 대상물을 반송하는 것이 가능하게 된다.In the present invention, when the direction of movement of the hand holding member relative to the holding member is referred to as a first direction and the direction orthogonal to the first direction while being in a horizontal direction is referred to as a second direction, And a fork pitch changing mechanism for changing the pitch of the two forks in the second direction. With this configuration, it is possible to carry the transporting objects of various sizes by changing the pitch of the forks.

본 발명에 있어서, 포크 피치 변경 기구는, 구동원으로 되는 감속기 부착 포크 구동 모터와, 순 나사가 형성되는 순 나사부와 역 나사가 형성되는 역 나사부를 갖고 포크 구동 모터의 출력축에 연결되는 나사 부재와, 2개의 포크의 한쪽에 고정되고 순 나사부에 걸림 결합하는 제1 너트 부재와, 2개의 포크의 다른 쪽에 고정되고 역 나사부에 걸림 결합하는 제2 너트 부재와, 2개의 포크의 한쪽을 제2 방향으로 안내하는 제1 포크 가이드 기구와, 2개의 포크의 다른 쪽을 제2 방향으로 안내하는 제2 포크 가이드 기구를 구비하는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 하나의 나사 부재를 사용한 비교적 간이한 구성으로, 제2 방향에서의 2개의 포크의 피치를 변경하는 것이 가능하게 된다. 또한, 이와 같이 구성하면, 포크 구동 모터의 감속기의 감속비를 크게 함으로써, 소정 위치로 이동한 2개의 포크에 제2 방향의 외력이 작용해도, 2개의 포크는 그 위치로부터 움직이지 않는다. 따라서, 포크 구동 모터의 감속기의 감속비를 크게 함으로써, 특별한 고정 기구를 설치하지 않아도, 소정 위치로 이동한 2개의 포크를 그 위치에서 고정하는 것이 가능하게 된다.In the present invention, the fork pitch changing mechanism includes a fork driving motor with a speed reducer serving as a driving source, a thread member having a net thread portion in which a net thread is formed and a reverse thread portion in which a reverse thread is formed, A first nut member fixed to one of the two forks and engaged with the net threaded portion, a second nut member fixed to the other side of the two forks and engaged with the reverse threaded portion, And a second fork guide mechanism for guiding the other of the two forks in the second direction. With this configuration, it is possible to change the pitches of the two forks in the second direction with a relatively simple structure using one screw member. With this configuration, by increasing the reduction ratio of the speed reducer of the fork drive motor, even if an external force in the second direction acts on the two forks moved to the predetermined position, the two forks do not move from that position. Therefore, by increasing the reduction ratio of the speed reducer of the fork drive motor, it is possible to fix the two forks moved to the predetermined position at the position without providing a special fixing mechanism.

이상과 같이, 본 발명에서는 산업용 로봇이 설치되는 제조 시스템의 택트 타임을 단축하는 것이 가능하게 된다.As described above, in the present invention, it is possible to shorten the tact time of the manufacturing system in which the industrial robot is installed.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 산업용 로봇의 정면도이다.
도 2는 도 1의 E-E 방향에서 산업용 로봇을 도시하는 측면도이다.
도 3은 도 2의 F-F 방향에서 산업용 로봇을 도시하는 평면도이다.
도 4는 도 1에 도시하는 아암 및 아암 지지 부재의 내부 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 도 4에 도시하는 상태로부터 제1 아암과 제2 아암의 피치가 넓어졌을 때의 상태를 도시하는 도면이다.
도 6은 도 4의 G-G 방향에서 핸드 피치 변경 기구의 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 도 1에 도시하는 핸드의 기초부의 내부 구성을 설명하기 위한 평면도이다.
도 8은 도 1에 도시하는 핸드의 기초부의 내부 구성을 설명하기 위한 측면도이다.
도 9는 도 3에 도시하는 포크의 선단측 부분의 구성을 설명하기 위한 평면도이다.1 is a front view of an industrial robot according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a side view showing the industrial robot in the EE direction of Fig. 1. Fig.
3 is a plan view showing an industrial robot in the FF direction of FIG.
Fig. 4 is a view for explaining the internal structure of the arm and the arm supporting member shown in Fig. 1. Fig.
Fig. 5 is a diagram showing a state when the pitch between the first arm and the second arm is widened from the state shown in Fig. 4. Fig.
6 is a diagram for explaining the configuration of the hand pitch changing mechanism in the direction of GG in Fig.
7 is a plan view for explaining the internal configuration of the base portion of the hand shown in Fig.
8 is a side view for explaining the internal configuration of the base portion of the hand shown in Fig.
Fig. 9 is a plan view for explaining the configuration of the tip side portion of the fork shown in Fig. 3;

이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태를 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(산업용 로봇의 개략 구성)(Rough configuration of industrial robot)

도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 산업용 로봇(1)의 정면도이다. 도 2는 도 1의 E-E 방향에서 산업용 로봇(1)을 도시하는 측면도이다. 도 3은 도 2의 F-F 방향에서 산업용 로봇(1)을 도시하는 평면도이다. 도 4는 도 1에 도시하는 아암(11) 및 아암 지지 부재(16)의 내부 구조를 설명하기 위한 도면이다.1 is a front view of an industrial robot 1 according to an embodiment of the present invention. 2 is a side view showing the industrial robot 1 in the direction of E-E in Fig. 3 is a plan view showing the industrial robot 1 in the direction of F-F in Fig. Fig. 4 is a view for explaining the internal structure of the arm 11 and the arm support member 16 shown in Fig.

본 형태의 산업용 로봇(1)(이하, 「로봇(1)」이라고 함)은, 반송 대상물인 액정 디스플레이용 유리 기판(2)을 반송하기 위한 로봇이다. 구체적으로는, 로봇(1)은, 스마트폰 등의 휴대 기기에 사용되는 비교적 소형의 유리 기판(2)(이하, 「기판(2)」이라고 함)을 반송하기 위한 로봇이다. 이 로봇(1)은, 액정 디스플레이의 제조 시스템에 조립되어 사용된다.The industrial robot 1 (hereinafter referred to as " robot 1 ") of this embodiment is a robot for carrying a glass substrate 2 for a liquid crystal display to be transported. Specifically, the robot 1 is a robot for transporting a relatively small glass substrate 2 (hereinafter referred to as " substrate 2 ") used in a portable device such as a smart phone. The robot 1 is assembled and used in a manufacturing system of a liquid crystal display.

로봇(1)은, 기판(2)이 개별적으로 탑재되는 4개의 핸드(3 내지 6)와, 4개의 핸드(3 내지 6)의 각각이 고정되는 4개의 핸드 지지 부재(7 내지 10)와, 4개의 핸드 지지 부재(7 내지 10)를 보유 지지하는 보유 지지 부재로서의 아암(11)과, 아암(11)을 지지하는 본체부(12)와, 본체부(12)의 수평 방향에의 이동이 가능하게 되도록 본체부(12)를 지지하는 베이스 부재(13)를 구비하고 있다. 본 형태의 핸드(3)는 제1 핸드이고, 핸드(4)는 제2 핸드이고, 핸드(5)는 제3 핸드이고, 핸드(6)는 제4 핸드이다. 또한, 핸드 지지 부재(7)는, 핸드(3)가 고정되는 제1 핸드 지지 부재이고, 핸드 지지 부재(8)는, 핸드(4)가 고정되는 제2 핸드 지지 부재이고, 핸드 지지 부재(9)는, 핸드(5)가 고정되는 제3 핸드 지지 부재이고, 핸드 지지 부재(10)는, 핸드(6)가 고정되는 제4 핸드 지지 부재이다.The robot 1 includes four hands 3 to 6 on which the substrates 2 are individually mounted, four hand holding members 7 to 10 to which the four hands 3 to 6 are fixed, An arm 11 as a holding member for holding the four hand supporting members 7 to 10, a main body 12 for supporting the arm 11, And a base member 13 for supporting the main body portion 12 so as to enable the main body portion 12 to be supported. The hand 3 of this embodiment is the first hand, the hand 4 is the second hand, the hand 5 is the third hand, and the hand 6 is the fourth hand. The hand supporting member 7 is a first hand supporting member to which the hand 3 is fixed and the hand supporting member 8 is a second hand supporting member to which the hand 4 is fixed, 9 is a third hand supporting member to which the hand 5 is fixed and the hand supporting member 10 is a fourth hand supporting member to which the hand 6 is fixed.

본체부(12)는, 아암(11)을 보유 지지하는 아암 지지 부재(16)와, 아암 지지 부재(16)를 상하 방향으로 이동 가능하게 지지하는 기둥형 부재(17)와, 본체부(12)의 하단 부분을 구성함과 함께 베이스 부재(13)에 대하여 수평 이동 가능한 베이스(18)와, 기둥형 부재(17)의 하단이 고정됨과 함께 베이스(18)에 대하여 선회 가능한 선회 부재(19)를 구비하고 있다. 아암(11)은, 아암 지지 부재(16)의 선단측에 보유 지지되어 있다. 구체적으로는, 아암(11)의 하단측이 아암 지지 부재(16)의 선단측에 보유 지지되어 있다.The main body portion 12 includes an arm support member 16 for holding the arm 11, a columnar member 17 for movably supporting the arm support member 16 in the vertical direction, And a swivel member 19 capable of swinging with respect to the base 18 while fixing the lower end of the columnar member 17, . The arm 11 is held on the distal end side of the arm support member 16. [ Specifically, the lower end side of the arm 11 is held on the distal end side of the arm supporting member 16.

아암 지지 부재(16)의 기단부측은, 기둥형 부재(17)에 지지되어 있다. 아암 지지 부재(16)는, 도시를 생략하는 승강 기구의 동력에 의해, 상하 방향을 길이 방향으로 하는 기둥형으로 형성되는 기둥형 부재(17)에 대하여 아암(11) 등과 함께 상하 이동한다. 베이스(18)는, 도시를 생략하는 이동 기구의 동력에 의해, 베이스 부재(13)에 대하여 수평 방향으로 직선적으로 왕복 이동한다. 즉, 본체부(12)는, 이 이동 기구의 동력에 의해, 베이스 부재(13)에 대하여 수평 방향으로 왕복 이동한다. 또한, 선회 부재(19)는, 도시를 생략하는 선회 기구의 동력에 의해, 베이스(18)에 대하여 선회한다.The proximal end side of the arm support member 16 is supported by the columnar member 17. The arm supporting member 16 moves up and down together with the arm 11 and the like with respect to the columnar member 17 formed in a columnar shape having a longitudinal direction in the vertical direction by the power of an elevating mechanism (not shown). The base 18 linearly reciprocates in the horizontal direction with respect to the base member 13 by the power of a moving mechanism (not shown). That is, the body portion 12 reciprocates in the horizontal direction with respect to the base member 13 by the power of the moving mechanism. Further, the revolving member 19 pivots with respect to the base 18 by the power of the revolving mechanism (not shown).

핸드 지지 부재(7 내지 10)는, 수평 방향의 동일한 방향으로 직선적으로 왕복 이동 가능하게 되도록 아암(11)에 보유 지지되어 있다. 로봇(1)은, 아암(11)에 대하여 핸드 지지 부재(7 내지 10)의 각각을 개별적으로 왕복 이동시키는 4개의 핸드 구동 기구(22 내지 25)를 구비하고 있다(도 4 참조). 본 형태의 핸드 구동 기구(22)는, 핸드 지지 부재(7)를 왕복 이동시키는 제1 핸드 구동 기구이고, 핸드 구동 기구(23)는, 핸드 지지 부재(8)를 왕복 이동시키는 제2 핸드 구동 기구이고, 핸드 구동 기구(24)는, 핸드 지지 부재(9)를 왕복 이동시키는 제3 핸드 구동 기구이고, 핸드 구동 기구(25)는, 핸드 지지 부재(10)를 왕복 이동시키는 제4 핸드 구동 기구이다.The hand holding members 7 to 10 are held by the arm 11 such that they can linearly reciprocate in the same direction in the horizontal direction. The robot 1 has four hand driving mechanisms 22 to 25 for individually reciprocating each of the hand holding members 7 to 10 with respect to the arm 11 (see Fig. 4). The hand driving mechanism 22 of this embodiment is a first hand driving mechanism for reciprocating the hand supporting member 7 and the hand driving mechanism 23 is a second hand driving mechanism for reciprocating the hand supporting member 8, And the hand driving mechanism 25 is a third hand driving mechanism for reciprocating the hand supporting member 9. The hand driving mechanism 25 is a third hand driving mechanism for reciprocating the hand supporting member 9. The hand driving mechanism 25 is a fourth hand driving mechanism for reciprocating the hand supporting member 10. [ Mechanism.

이하의 설명에서는, 아암(11)에 대한 핸드 지지 부재(7 내지 10)의 이동 방향(도 2 등의 X 방향)을 전후 방향이라고 하고, 수평 방향이면서 전후 방향에 직교하는 방향(도 1 등의 Y 방향)을 좌우 방향이라고 한다. 또한, 좌우 방향의 일방측(Y1 방향측)을 「우」측이라고 하고, 그 반대측(Y2 방향측)을 「좌」측이라고 한다. 본 형태의 전후 방향은 제1 방향이고, 좌우 방향은 제2 방향이다.2 and the like) of the hand holding members 7 to 10 relative to the arm 11 is referred to as an anteroposterior direction and a direction perpendicular to the anteroposterior direction Y direction) is referred to as a left-right direction. One side in the lateral direction (Y1 direction side) is referred to as the " right " side, and the opposite side (Y2 direction side) is referred to as the " left " side. The back and forth direction of this embodiment is the first direction, and the lateral direction is the second direction.

핸드(3 내지 6)는, 핸드 지지 부재(7 내지 10)에 고정되는 기초부(26)와, 기초부(26)로부터 전후 방향의 일방측으로 돌출되는 2개의 포크(27)를 구비하고 있다. 기초부(26)는, 중공형으로 형성됨과 함께 편평한 대략 직육면체형으로 형성되어 있다. 포크(27)는, 중공형으로 형성됨과 함께 전후 방향으로 가늘고 긴 대략 직육면체형으로 형성되어 있고, 포크(27)의 선단측 부분의 상면은, 기판(2)이 탑재되는 기판 탑재면으로 되어 있다. 2개의 포크(27)는, 좌우 방향에서 서로 인접하도록 배치되어 있다.The hands 3 to 6 are provided with a base portion 26 fixed to the hand supporting members 7 to 10 and two forks 27 protruding from the base portion 26 in one direction in the front and rear direction. The base portion 26 is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape which is flat and flat. The fork 27 is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape having a hollow shape elongated in the forward and backward directions and an upper surface of the tip side portion of the fork 27 is a substrate mounting surface on which the substrate 2 is mounted . The two forks 27 are arranged adjacent to each other in the left-right direction.

핸드(3)와 핸드(4)는 동일한 높이로 배치되어 있다. 구체적으로는, 기판(2)이 탑재되는 핸드(3)의 기판 탑재면의 높이(즉, 포크(27)의 상면의 높이)와, 기판(2)이 탑재되는 핸드(4)의 기판 탑재면의 높이가 일치하도록 핸드(3, 4)가 배치되어 있다. 또한, 핸드(3)와 핸드(4)는, 전후 방향에서 보았을 때 좌우 방향에서 서로 인접하도록 배치되어 있다. 본 형태에서는 핸드(3)가 좌측에 배치되고, 핸드(4)가 우측에 배치되어 있다.The hand 3 and the hand 4 are arranged at the same height. Specifically, the height of the substrate mounting surface of the hand 3 on which the substrate 2 is mounted (that is, the height of the upper surface of the fork 27) and the height of the substrate mounting surface of the hand 4 on which the substrate 2 is mounted The hands 3 and 4 are arranged so that their heights coincide with each other. The hand 3 and the hand 4 are arranged so as to be adjacent to each other in the left-right direction when viewed in the front-rear direction. In this embodiment, the hand 3 is disposed on the left side and the hand 4 is disposed on the right side.

핸드(5)와 핸드(6)는 동일한 높이로 배치되어 있다. 구체적으로는, 기판(2)이 탑재되는 핸드(5)의 기판 탑재면의 높이와, 기판(2)이 탑재되는 핸드(6)의 기판 탑재면의 높이가 일치하도록 핸드(5, 6)가 배치되어 있다. 또한, 핸드(5)와 핸드(6)는, 전후 방향에서 보았을 때 좌우 방향에서 서로 인접하도록 배치되어 있다. 본 형태에서는 핸드(5)가 좌측에 배치되고, 핸드(6)가 우측에 배치되어 있다. 또한, 핸드(5)는, 전후 방향에서 보았을 때 핸드(3)와 상하 방향에서 겹치도록 핸드(3)의 하측에 배치되고, 핸드(6)는, 전후 방향에서 보았을 때 핸드(4)와 상하 방향에서 겹치도록 핸드(3)의 하측에 배치되어 있다.The hand 5 and the hand 6 are arranged at the same height. More specifically, the hands 5 and 6 are arranged so that the height of the substrate mounting surface of the hand 5 on which the substrate 2 is mounted coincides with the height of the substrate mounting surface of the hand 6 on which the substrate 2 is mounted Respectively. The hand 5 and the hand 6 are arranged so as to be adjacent to each other in the left-right direction when viewed in the front-rear direction. In this embodiment, the hand 5 is disposed on the left side, and the hand 6 is disposed on the right side. The hand 5 is arranged on the lower side of the hand 3 so as to overlap with the hand 3 in the vertical direction when viewed from the front and back direction and the hand 6 is arranged on the upper side And is disposed on the lower side of the hand 3 so as to overlap in the direction of the hand.

아암(11)은 핸드(3 내지 6)의 하측에 배치되어 있다. 이 아암(11)은, 좌우 방향으로 분할되는 제1 아암(29)과 제2 아암(30)으로 구성되어 있다. 제1 아암(29)은, 핸드 지지 부재(7, 9)를 왕복 이동 가능하게 보유 지지하고, 제2 아암(30)은, 핸드 지지 부재(8, 10)를 왕복 이동 가능하게 보유 지지하고 있다. 제1 아암(29)과 제2 아암(30)은, 좌우 방향에의 왕복 이동이 가능하게 되도록 아암 지지 부재(16)에 보유 지지되어 있다. 로봇(1)은, 좌우 방향에서의 제1 아암(29)과 제2 아암(30)의 피치를 변경하는 핸드 피치 변경 기구(31)를 구비하고 있다(도 4 참조). 본 형태의 제1 아암(29)은 제1 보유 지지 부재이고, 제2 아암(30)은 제2 보유 지지 부재이다.The arm 11 is disposed below the hands 3 to 6. The arm 11 is composed of a first arm 29 and a second arm 30 which are divided in the left-right direction. The first arm 29 holds the hand holding members 7 and 9 in a reciprocating manner and the second arm 30 holds the hand holding members 8 and 10 in a reciprocating manner . The first arm 29 and the second arm 30 are held by the arm supporting member 16 so that they can reciprocate in the left-right direction. The robot 1 is provided with a hand pitch changing mechanism 31 for changing the pitch between the first arm 29 and the second arm 30 in the left and right direction (see Fig. 4). The first arm 29 of this embodiment is the first holding member and the second arm 30 is the second holding member.

(핸드 구동 기구의 구성)(Construction of Hand Drive Mechanism)

핸드 구동 기구(22 내지 25)는, 구동원으로 되는 모터(35 내지 38)와, 핸드 지지 부재(7 내지 10)를 전후 방향으로 보내는 이송 기구(39 내지 42)와, 핸드 지지 부재(7 내지 10)를 전후 방향으로 안내하는 가이드 기구(43 내지 46)를 구비하고 있다. 본 형태의 모터(35 내지 38)는 핸드 구동 모터이고, 가이드 기구(43 내지 46)는 핸드 가이드 기구이다. 또한, 핸드 구동 기구(22)의 모터(35)는 제1 핸드 구동 모터이고, 핸드 구동 기구(23)의 모터(36)는 제2 핸드 구동 모터이고, 핸드 구동 기구(24)의 모터(37)는 제3 핸드 구동 모터이고, 핸드 구동 기구(25)의 모터(38)는 제4 핸드 구동 모터이다. 또한, 핸드 구동 기구(22)의 이송 기구(39)는 제1 이송 기구이고, 핸드 구동 기구(23)의 이송 기구(40)는 제2 이송 기구이고, 핸드 구동 기구(24)의 이송 기구(41)는 제3 이송 기구이고, 핸드 구동 기구(25)의 이송 기구(42)는 제4 이송 기구이다. 또한, 핸드 구동 기구(22)의 가이드 기구(43)는 제1 핸드 가이드 기구이고, 핸드 구동 기구(23)의 가이드 기구(44)는 제2 핸드 가이드 기구이고, 핸드 구동 기구(24)의 가이드 기구(45)는 제3 핸드 가이드 기구이고, 핸드 구동 기구(25)의 가이드 기구(46)는 제4 핸드 가이드 기구이다.The hand driving mechanisms 22 to 25 include motors 35 to 38 serving as driving sources, feeding mechanisms 39 to 42 for feeding the hand supporting members 7 to 10 in the forward and backward directions, And guiding mechanisms 43 to 46 for guiding the front and rear wheels in the forward and backward directions. The motors 35 to 38 of this embodiment are hand drive motors, and the guide mechanisms 43 to 46 are hand guide mechanisms. The motor 35 of the hand driving mechanism 22 is the first hand driving motor and the motor 36 of the hand driving mechanism 23 is the second hand driving motor and the motor 37 of the hand driving mechanism 24 ) Is the third hand drive motor, and the motor 38 of the hand drive mechanism 25 is the fourth hand drive motor. The feeding mechanism 39 of the hand driving mechanism 22 is the first feeding mechanism and the feeding mechanism 40 of the hand driving mechanism 23 is the second feeding mechanism and the feeding mechanism of the hand driving mechanism 24 41 is the third feeding mechanism, and the feeding mechanism 42 of the hand driving mechanism 25 is the fourth feeding mechanism. The guide mechanism 43 of the hand driving mechanism 22 is the first hand guide mechanism and the guide mechanism 44 of the hand driving mechanism 23 is the second hand guide mechanism. The mechanism 45 is the third hand guide mechanism and the guide mechanism 46 of the hand drive mechanism 25 is the fourth hand guide mechanism.

모터(35 내지 38)는, 모터(35 내지 38)의 출력축의 축방향과 전후 방향이 일치하도록 아암(11)에 설치되어 있다. 또한, 모터(35 내지 38)는, 모터(35 내지 38)의 출력축이 전후 방향에 있어서 동일한 방향으로 돌출되도록 아암(11)에 설치되어 있다. 또한, 모터(35 내지 38)는, 전후 방향에서의 아암(11)의 일단부측에 설치되어 있다. 본 형태에서는, 모터(35, 37)는 제1 아암(29)에 설치되고, 모터(36, 38)는 제2 아암(30)에 설치되어 있다.The motors 35 to 38 are provided on the arm 11 such that the axial direction of the output shaft of the motors 35 to 38 coincides with the longitudinal direction. The motors 35 to 38 are provided on the arm 11 such that the output shaft of the motors 35 to 38 protrudes in the same direction in the longitudinal direction. The motors 35 to 38 are provided at one end side of the arm 11 in the front-rear direction. In this embodiment, the motors 35 and 37 are provided on the first arm 29, and the motors 36 and 38 are provided on the second arm 30.

모터(35)와 모터(37)는, 전후 방향에서 보았을 때 상하 방향에서 겹치도록 핸드(5)의 하측에 배치되어 있다. 또한, 모터(37)가 모터(35)의 상측에 배치되어 있다. 모터(36)와 모터(38)는, 전후 방향에서 보았을 때 상하 방향에서 겹치도록 핸드(6)의 하측에 배치되어 있다. 또한, 모터(38)가 모터(36)의 상측에 배치되어 있다. 모터(35)와 모터(36)는 좌우 방향에서 인접하도록 동일한 높이로 배치되고, 모터(37)와 모터(38)는 좌우 방향에서 인접하도록 동일한 높이로 배치되어 있다. 또한, 모터(35)가 모터(36)의 좌측에 배치되고, 모터(37)가 모터(38)의 좌측에 배치되어 있다.The motor 35 and the motor 37 are arranged on the lower side of the hand 5 so as to overlap in the vertical direction when viewed in the front-rear direction. Further, a motor 37 is disposed on the upper side of the motor 35. The motor 36 and the motor 38 are arranged on the lower side of the hand 6 so as to overlap in the vertical direction when viewed in the front-rear direction. Further, a motor 38 is disposed on the upper side of the motor 36. The motor 35 and the motor 36 are disposed at the same height so as to be adjacent to each other in the left-right direction and the motor 37 and the motor 38 are disposed at the same height so as to be adjacent to each other in the left-right direction. The motor 35 is disposed on the left side of the motor 36 and the motor 37 is disposed on the left side of the motor 38. [

이송 기구(39 내지 42)는, 모터(35 내지 38)의 동력으로 회전하는 나사축(48 내지 51)과, 나사축(48 내지 51)의 외주면에 형성되는 수나사에 걸림 결합하는 암나사가 내주측에 형성되는 너트 부재(52 내지 55)를 구비하고 있다. 구체적으로는, 이송 기구(39 내지 42)는, 나사축(48 내지 51)과 너트 부재(52 내지 55)의 사이에 배치되는 볼(도시 생략)을 갖는 볼 나사이다. 나사축(48 내지 51)은, 나사축(48 내지 51)의 축방향과 전후 방향이 일치하도록 아암(11)에 회전 가능하게 설치되어 있다. 너트 부재(52 내지 55)는, 핸드 지지 부재(7 내지 10)에 설치되어 있다. 모터(35 내지 38)의 출력축과 나사축(48 내지 51)은, 풀리 및 벨트를 통하여 연결되어 있다.The feed mechanisms 39 to 42 are provided with screw shafts 48 to 51 rotated by the motors 35 to 38 and female threads engaged with the male threads formed on the outer peripheral surfaces of the screw shafts 48 to 51, And nut members 52 to 55 formed on the outer circumferential surface thereof. Specifically, the feed mechanisms 39 to 42 are ball screws having a ball (not shown) disposed between the screw shafts 48 to 51 and the nut members 52 to 55. The screw shafts 48 to 51 are rotatably mounted on the arm 11 such that the axial directions of the screw shafts 48 to 51 coincide with the forward and backward directions. The nut members 52 to 55 are provided on the hand supporting members 7 to 10, respectively. The output shaft of the motors 35 to 38 and the screw shafts 48 to 51 are connected to each other via a pulley and a belt.

이송 기구(39)의 나사축(48)은, 제1 아암(29)에 회전 가능하게 설치되어 있고, 모터(35)의 좌측에 배치되어 있다. 이송 기구(41)의 나사축(50)은, 제1 아암(29)에 회전 가능하게 설치되어 있고, 모터(37)의 좌측에 배치되어 있다. 이송 기구(40)의 나사축(49)은, 제2 아암(30)에 회전 가능하게 설치되어 있고, 모터(36)의 우측에 배치되어 있다. 이송 기구(42)의 나사축(51)은, 제2 아암(30)에 회전 가능하게 설치되어 있고, 모터(38)의 우측에 배치되어 있다. 이송 기구(39)의 너트 부재(52)는, 핸드 지지 부재(7)의 하단측에 고정되어 있다. 이송 기구(40)의 너트 부재(53)는, 핸드 지지 부재(8)의 하단측에 고정되어 있다. 이송 기구(41)의 너트 부재(54)는, 핸드 지지 부재(9)의 상단측에 고정되어 있다. 이송 기구(42)의 너트 부재(55)는, 핸드 지지 부재(10)의 상단측에 고정되어 있다.The screw shaft 48 of the feed mechanism 39 is rotatably provided on the first arm 29 and is disposed on the left side of the motor 35. The screw shaft 50 of the feed mechanism 41 is rotatably provided on the first arm 29 and is disposed on the left side of the motor 37. [ The screw shaft 49 of the feed mechanism 40 is rotatably provided on the second arm 30 and is disposed on the right side of the motor 36. The screw shaft 51 of the feed mechanism 42 is rotatably provided on the second arm 30 and is disposed on the right side of the motor 38. The nut member 52 of the feed mechanism 39 is fixed to the lower end side of the hand holding member 7. The nut member 53 of the feed mechanism 40 is fixed to the lower end side of the hand supporting member 8. The nut member 54 of the feed mechanism 41 is fixed to the upper end side of the hand holding member 9. The nut member 55 of the feed mechanism 42 is fixed to the upper end side of the hand holding member 10.

가이드 기구(43 내지 46)는, 전후 방향을 길이 방향으로 하여 배치되는 가이드 레일(57 내지 60)과, 가이드 레일(57 내지 60)에 걸림 결합하는 가이드 블록(61 내지 64)을 갖는 리니어 가이드이다. 가이드 기구(43)의 가이드 레일(57)은, 제1 아암(29)에 고정되어 있다. 가이드 레일(57)은, 모터(35)의 좌측에 배치됨과 함께 나사축(48)의 상측에 배치되어 있다. 가이드 기구(45)의 가이드 레일(59)은, 제1 아암(29)에 고정되어 있다. 가이드 레일(59)은, 모터(37)의 좌측에 배치됨과 함께 나사축(50)의 하측에 배치되어 있다. 가이드 기구(44)의 가이드 레일(58)은, 제2 아암(30)에 고정되어 있다. 가이드 레일(58)은, 모터(36)의 우측에 배치됨과 함께 나사축(49)의 상측에 배치되어 있다. 가이드 기구(46)의 가이드 레일(60)은, 제2 아암(30)에 고정되어 있다. 가이드 레일(60)은, 모터(38)의 우측에 배치됨과 함께 나사축(51)의 하측에 배치되어 있다.The guide mechanisms 43 to 46 are linear guides having guide rails 57 to 60 arranged in the longitudinal direction in the longitudinal direction and guide blocks 61 to 64 engaged in the guide rails 57 to 60 . The guide rail 57 of the guide mechanism 43 is fixed to the first arm 29. The guide rail 57 is disposed on the left side of the motor 35 and on the upper side of the screw shaft 48. The guide rail 59 of the guide mechanism 45 is fixed to the first arm 29. The guide rail 59 is disposed on the left side of the motor 37 and on the lower side of the screw shaft 50. The guide rail 58 of the guide mechanism 44 is fixed to the second arm 30. The guide rail 58 is disposed on the right side of the motor 36 and on the upper side of the screw shaft 49. The guide rail 60 of the guide mechanism 46 is fixed to the second arm 30. The guide rail 60 is disposed on the right side of the motor 38 and on the lower side of the screw shaft 51.

가이드 기구(43)의 가이드 블록(61)은, 핸드 지지 부재(7)의 하단측에 고정되어 있다. 이 가이드 블록(61)은, 너트 부재(52)의 상측에 배치되어 있다. 가이드 기구(44)의 가이드 블록(62)은, 핸드 지지 부재(8)의 하단측에 고정되어 있다. 이 가이드 블록(62)은, 너트 부재(53)의 상측에 배치되어 있다. 가이드 기구(45)의 가이드 블록(63)은, 핸드 지지 부재(9)의 하단측에 고정되어 있다. 이 가이드 블록(63)은, 너트 부재(54)의 하측에 배치되어 있다. 가이드 기구(46)의 가이드 블록(64)은, 핸드 지지 부재(10)의 하단측에 고정되어 있다. 이 가이드 블록(64)은, 너트 부재(55)의 하측에 배치되어 있다.The guide block (61) of the guide mechanism (43) is fixed to the lower end side of the hand holding member (7). The guide block 61 is disposed on the upper side of the nut member 52. The guide block 62 of the guide mechanism 44 is fixed to the lower end side of the hand holding member 8. The guide block 62 is disposed on the upper side of the nut member 53. The guide block 63 of the guide mechanism 45 is fixed to the lower end side of the hand holding member 9. The guide block 63 is disposed below the nut member 54. The guide block 64 of the guide mechanism 46 is fixed to the lower end side of the hand holding member 10. The guide block 64 is disposed below the nut member 55.

상술한 바와 같이, 나사축(48), 너트부(52), 가이드 레일(57) 및 가이드 블록(61)은 모터(35)의 좌측에 배치되고, 나사축(49), 너트부(53), 가이드 레일(58) 및 가이드 블록(62)은 모터(36)의 우측에 배치되고, 나사축(50), 너트부(54), 가이드 레일(59) 및 가이드 블록(63)은 모터(37)의 좌측에 배치되고, 나사축(51), 너트부(55), 가이드 레일(60) 및 가이드 블록(64)은 모터(38)의 우측에 배치되어 있다. 즉, 전후 방향에서 보았을 때, 이송 기구(39) 및 가이드 기구(43)는, 모터(35)와 좌우 방향에서 서로 인접하도록 배치되고, 이송 기구(40) 및 가이드 기구(44)는, 모터(36)와 좌우 방향에서 서로 인접하도록 배치되고, 이송 기구(41) 및 가이드 기구(45)는, 모터(37)와 좌우 방향에서 서로 인접하도록 배치되고, 이송 기구(42) 및 가이드 기구(46)는, 모터(38)와 좌우 방향에서 서로 인접하도록 배치되어 있다. 또한, 모터(35, 37)는 모터(36, 38)의 좌측에 배치되어 있기 때문에, 전후 방향에서 보았을 때, 이송 기구(39, 41)와 가이드 기구(43, 45)는 4개의 모터(35 내지 38)보다 좌측에 배치되고, 이송 기구(40, 42)와 가이드 기구(44, 46)는 4개의 모터(35 내지 38)보다 우측에 배치되어 있다.As described above, the screw shaft 48, the nut portion 52, the guide rail 57 and the guide block 61 are disposed on the left side of the motor 35, and the screw shaft 49, the nut portion 53, The guide rail 58 and the guide block 62 are disposed on the right side of the motor 36 and the screw shaft 50, the nut portion 54, the guide rail 59 and the guide block 63 are connected to the motor 37 And the screw shaft 51, the nut portion 55, the guide rail 60 and the guide block 64 are disposed on the right side of the motor 38. [ The feed mechanism 39 and the guide mechanism 43 are disposed so as to be adjacent to each other in the left and right direction with respect to the motor 35. The feed mechanism 40 and the guide mechanism 44 constitute a motor The conveying mechanism 41 and the guide mechanism 45 are arranged adjacently to each other in the lateral direction with respect to the motor 37. The conveying mechanism 41 and the guide mechanism 45 are disposed adjacent to each other in the left- Are arranged adjacently to each other in the left-right direction with respect to the motor 38. Since the motors 35 and 37 are disposed on the left side of the motors 36 and 38, the feed mechanisms 39 and 41 and the guide mechanisms 43 and 45 are arranged in the forward / And the conveying mechanisms 40 and 42 and the guide mechanisms 44 and 46 are disposed on the right side of the four motors 35 to 38. [

또한, 핸드 지지 부재(7)의 상단측에는, 핸드(3)의 기초부(26)의 우측면이 고정되고, 핸드 지지 부재(8)의 상단측에는, 핸드(4)의 기초부(26)의 우측면이 고정되어 있다. 또한, 핸드 지지 부재(9)의 상단에는, 핸드(5)의 기초부(26)의 하면의 좌측 단부측이 고정되고, 핸드 지지 부재(10)의 상단에는, 핸드(6)의 기초부(26)의 하면의 우측 단부측이 고정되어 있다. 전후 방향에서 보았을 때, 핸드 지지 부재(7)는 핸드 지지 부재(9)보다 좌측에 배치되고, 핸드 지지 부재(8)는 핸드 지지 부재(10)보다 우측에 배치되어 있다.The right side surface of the base portion 26 of the hand 3 is fixed on the upper end side of the hand supporting member 7 and the right side surface of the base portion 26 of the hand 4 is fixed to the upper side of the hand supporting member 8. [ Respectively. The left end side of the lower surface of the base portion 26 of the hand 5 is fixed to the upper end of the hand supporting member 9 and the base portion of the hand 6 26 are fixed on the right end side. The hand holding member 7 is disposed on the left side of the hand holding member 9 and the hand holding member 8 is disposed on the right side of the hand holding member 10 when viewed in the front and rear direction.

(핸드 피치 변경 기구의 구성)(Configuration of Hand Pitch Change Mechanism)

도 5는 도 4에 도시하는 상태로부터 제1 아암(29)과 제2 아암(30)의 피치가 넓어졌을 때의 상태를 도시하는 도면이다. 도 6은 도 4의 G-G 방향에서 핸드 피치 변경 기구(31)의 구성을 설명하기 위한 도면이다.5 is a diagram showing a state when the pitches of the first arm 29 and the second arm 30 are increased from the state shown in Fig. Fig. 6 is a diagram for explaining the configuration of the hand pitch changing mechanism 31 in the direction of G-G in Fig.

핸드 피치 변경 기구(31)는, 구동원으로 되는 모터(67)와, 모터(67)의 출력축에 고정되는 레버 부재(68)와, 제1 아암(29)에 회동 가능하게 연결되는 레버 부재(69)와, 제2 아암(30)에 회동 가능하게 연결되는 레버 부재(70)를 구비하고 있다. 본 형태의 모터(67)는 보유 지지 부재 구동 모터이고, 레버 부재(68)는 제1 레버 부재이고, 레버 부재(69)는 제2 레버 부재이고, 레버 부재(70)는 제3 레버 부재이다.The hand pitch changing mechanism 31 includes a motor 67 serving as a driving source, a lever member 68 fixed to the output shaft of the motor 67, a lever member 69 rotatably connected to the first arm 29 And a lever member 70 rotatably connected to the second arm 30. The motor 67 of this embodiment is a holding member driving motor, the lever member 68 is the first lever member, the lever member 69 is the second lever member, and the lever member 70 is the third lever member .

모터(67)는 감속기 부착 모터(기어드 모터)이다. 이 모터(67)는, 모터(67)의 출력축의 축방향과 전후 방향이 일치하도록 아암 지지 부재(16)에 설치되어 있다. 또한, 모터(67)는, 아암 지지 부재(16)의 선단측에 설치되어 있고, 모터(35 내지 38)보다 하측에 배치되어 있다. 좌우 방향에 있어서, 모터(67)의 출력축은, 모터(35, 37)의 출력축과 모터(36, 38)의 출력축의 사이의 중심 위치에 배치되어 있다.The motor 67 is a motor with a reduction gear (geared motor). The motor 67 is provided on the arm support member 16 such that the axial direction of the output shaft of the motor 67 coincides with the longitudinal direction. The motor 67 is provided on the distal end side of the arm support member 16 and is disposed below the motors 35 to 38. [ The output shaft of the motor 67 is disposed at the center position between the output shaft of the motors 35 and 37 and the output shaft of the motors 36 and 38 in the left and right directions.

모터(67)의 출력축에는, 레버 부재(68)의 중심 위치가 고정되어 있다. 레버 부재(69)의 일단부측(좌측 단부측)은, 제1 아암(29)의 하단측에 회동 가능하게 연결되고, 레버 부재(69)의 타단부측(우측 단부측)은, 레버 부재(68)의 일단부측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 레버 부재(70)의 일단부측(우측 단부측)은, 제2 아암(30)의 하단측에 회동 가능하게 연결되고, 레버 부재(70)의 타단부측(좌측 단부측)은, 레버 부재(68)의 타단부측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 레버 부재(69)는, 전후 방향을 회동의 축방향으로 하여 제1 아암(29) 및 레버 부재(68)에 대하여 회동 가능하게 되어 있다. 레버 부재(70)는, 전후 방향을 회동의 축방향으로 하여 제2 아암(30) 및 레버 부재(68)에 대하여 회동 가능하게 되어 있다. 레버 부재(69)는, 레버 부재(70)보다 하측에 배치되어 있다.The position of the center of the lever member 68 is fixed to the output shaft of the motor 67. One end side (left end side) of the lever member 69 is rotatably connected to the lower end side of the first arm 29 and the other end side (right end side) of the lever member 69 is connected to the lever member 68 so as to be rotatable. One end side (right end side) of the lever member 70 is pivotally connected to the lower end side of the second arm 30 and the other end side (left end side) of the lever member 70 is connected to the lever member 68 so as to be rotatable. The lever member 69 is rotatable with respect to the first arm 29 and the lever member 68 in the front-rear direction in the axial direction of rotation. The lever member 70 is rotatable with respect to the second arm 30 and the lever member 68 in the front-rear direction in the axial direction of rotation. The lever member (69) is disposed below the lever member (70).

또한, 핸드 피치 변경 기구(31)는, 제1 아암(29) 및 제2 아암(30)을 좌우 방향으로 안내하기 위한 가이드 레일(71) 및 가이드 블록(72, 73)을 구비하고 있다. 가이드 레일(71)은, 좌우 방향을 길이 방향으로 하여 아암 지지 부재(16)의 전후의 양면의 2군데에 고정되어 있다(도 4 내지 도 6 참조). 도 6에 도시하는 바와 같이, 가이드 블록(73)은, 제2 아암(30)의 하단측의 2군데에 고정되어 있고, 2개의 가이드 블록(73)은, 전후 방향의 외측으로부터 가이드 레일(71)의 우측 단부측 부분에 걸림 결합되어 있다. 가이드 블록(72)은, 제1 아암(29)의 하단측의 2군데에 고정되어 있고, 2개의 가이드 블록(72)은, 전후 방향의 외측으로부터 가이드 레일(71)의 좌측 단부측 부분에 걸림 결합되어 있다.The hand pitch changing mechanism 31 has guide rails 71 and guide blocks 72 and 73 for guiding the first arm 29 and the second arm 30 in the left and right directions. The guide rails 71 are fixed at two places on the front and back sides of the arm supporting member 16 in the left and right direction in the longitudinal direction (see Figs. 4 to 6). 6, the guide block 73 is fixed at two places on the lower end side of the second arm 30, and the two guide blocks 73 are fixed to the guide rails 71 (Not shown). The guide blocks 72 are fixed at two places on the lower end side of the first arm 29 and the two guide blocks 72 are fastened to the left end side portion of the guide rail 71 from the outside in the front- Lt; / RTI >

본 형태에서는 가이드 레일(71)과 가이드 블록(72)에 의해 제1 아암(29)을 좌우 방향으로 안내하는 가이드 기구(75)가 구성되고, 가이드 레일(71)과 가이드 블록(73)에 의해 제2 아암(30)을 좌우 방향으로 안내하는 가이드 기구(76)가 구성되어 있다. 본 형태의 가이드 기구(75)는 제1 보유 지지 부재 가이드 기구이고, 가이드 기구(76)는 제2 보유 지지 부재 가이드 기구이다.The guide rail 71 and the guide block 72 constitute a guide mechanism 75 for guiding the first arm 29 in the left and right directions and the guide rail 71 and the guide block 73 A guide mechanism 76 for guiding the second arm 30 in the left-right direction is formed. The guide mechanism 75 of this embodiment is a first holding member guide mechanism and the guide mechanism 76 is a second holding member guide mechanism.

핸드 피치 변경 기구(31)에서는, 모터(67)가 회전하여 레버 부재(68)가 회동하면, 제1 아암(29)과 제2 아암(30)이 좌우의 역방향으로 동일한 양만큼 이동하여 제1 아암(29)과 제2 아암(30)의 좌우 방향의 피치가 변경된다. 본 형태의 모터(67)는 서보 모터이고, 핸드 피치 변경 기구(31)는, 제1 아암(29)과 제2 아암(30)이 가장 근접한 상태(도 4에 도시하는 상태)와, 제1 아암(29)과 제2 아암(30)이 가장 이격된 상태(도 5에 도시하는 상태)의 사이에서, 제1 아암(29)과 제2 아암(30)의 좌우 방향의 피치를 임의로 바꾸는 것이 가능하게 되어 있다.In the hand pitch changing mechanism 31, when the motor 67 rotates and the lever member 68 rotates, the first arm 29 and the second arm 30 move by the same amount in the left and right opposite directions, The pitch of the arm 29 and the second arm 30 in the left and right direction is changed. The motor 67 of this embodiment is a servomotor and the hand pitch changing mechanism 31 is a mechanism in which the first arm 29 and the second arm 30 are closest to each other (the state shown in FIG. 4) The pitch of the first arm 29 and the second arm 30 in the left and right direction is arbitrarily changed between the state in which the arm 29 and the second arm 30 are most distant from each other It is possible.

또한, 핸드 피치 변경 기구(31)는, 로봇(1)이 기판(2)을 반송하는 반송 동작 중에, 필요에 따라 제1 아암(29)과 제2 아암(30)의 좌우 방향의 피치를 변경한다. 즉, 핸드 피치 변경 기구(31)는, 반송 동작 중에, 필요에 따라 핸드(3)와 핸드(4)의 좌우 방향의 피치, 및 핸드(5)와 핸드(6)의 좌우 방향의 피치를 변경한다. 예를 들어, 좌우 방향에 있어서 소정의 피치로 기판(2)이 수용되는 카세트의 수용부로부터 핸드(3, 4)에 탑재된 기판(2)을 반출하여, 카세트의 수용부에서의 좌우 방향의 피치보다 좌우 방향의 피치가 넓은 제조 장치의 수용부에 핸드(3, 4)에 탑재된 기판(2)을 반입하는 경우, 핸드 피치 변경 기구(31)는, 반송 동작 중에, 필요에 따라 제1 아암(29)과 제2 아암(30)의 좌우 방향의 피치를 변경한다.The hand pitch changing mechanism 31 changes the pitch of the first arm 29 and the second arm 30 in the left and right direction as necessary during the transportation operation in which the robot 1 carries the substrate 2 do. That is, the hand pitch changing mechanism 31 changes the pitch in the left-right direction between the hand 3 and the hand 4 and the pitch in the left-right direction between the hand 5 and the hand 6, do. For example, the substrate 2 mounted on the hands 3 and 4 is taken out from the cassette accommodating portion in which the substrate 2 is received at a predetermined pitch in the left-right direction, When the substrate 2 mounted on the hands 3 and 4 is carried into the accommodating portion of the manufacturing apparatus having a larger pitch in the left and right direction than the pitch, the hand pitch changing mechanism 31, during the carrying operation, The pitch of the arm 29 and the second arm 30 in the left and right direction is changed.

(핸드의 구성)(Construction of hand)

도 7은 도 1에 도시하는 핸드(3)의 기초부(26)의 내부 구성을 설명하기 위한 평면도이다. 도 8은 도 1에 도시하는 핸드(3, 5)의 기초부(26)의 내부 구성을 설명하기 위한 측면도이다. 도 9는 도 3에 도시하는 포크(27)의 선단측 부분의 구성을 설명하기 위한 평면도이다.7 is a plan view for explaining the internal configuration of the base portion 26 of the hand 3 shown in Fig. 8 is a side view for explaining the internal configuration of the base portion 26 of the hands 3 and 5 shown in Fig. Fig. 9 is a plan view for explaining the configuration of the tip side portion of the fork 27 shown in Fig. 3;

핸드(3 내지 6)는, 상술한 바와 같이, 기초부(26)와 2개의 포크(27)를 구비하고 있다. 도 7, 도 8에 도시하는 바와 같이, 포크(27)의 기단부측 부분은, 중공형으로 형성되는 기초부(26)의 내부에 배치되어 있다. 또한, 핸드(3 내지 6)는, 좌우 방향에서의 2개의 포크(27)의 피치를 변경하는 포크 피치 변경 기구(78)를 구비하고 있다. 포크 피치 변경 기구(78)는, 중공형으로 형성되는 기초부(26)의 내부에 배치되어 있다.The hands 3 to 6 are provided with a base portion 26 and two forks 27 as described above. As shown in Figs. 7 and 8, the proximal portion side portion of the fork 27 is disposed inside the base portion 26 formed in a hollow shape. The hands 3 to 6 are provided with a fork pitch changing mechanism 78 for changing the pitch of the two forks 27 in the left and right directions. The fork pitch changing mechanism 78 is disposed inside the base portion 26 formed in a hollow shape.

포크(27)의 선단측에는, 도 9에 도시하는 바와 같이, 복수의 흡착 패드(77)가 설치되어 있다. 복수의 흡착 패드(77)는, 여러가지 크기의 기판(2)의 흡착이 가능하게 되도록 배치되어 있다. 또한, 복수의 흡착 패드(77)의 각각이 전자기 밸브를 통하여 흡인 장치에 접속되어 있고, 복수의 흡착 패드(77)의 각각이 기판(2)의 흡착 동작을 행하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 2개의 포크(27)에는, 예를 들어 2개의 기판(2)이 탑재된다. 또한, 이 2개의 기판(2)은, 예를 들어 도 9에 도시하는 바와 같이, 상하 방향에서 보았을 때, 좌우 방향으로 평행한 소정의 대칭 축(L)에 대하여 선 대칭으로 되도록 2개의 포크(27)에 탑재된다.As shown in Fig. 9, a plurality of suction pads 77 are provided on the tip end side of the fork 27. As shown in Fig. The plurality of adsorption pads 77 are arranged so as to enable adsorption of the substrate 2 of various sizes. Each of the plurality of suction pads 77 is connected to the suction device via the electromagnetic valve so that each of the plurality of suction pads 77 can perform the suction operation of the substrate 2. [ Further, two forks 27, for example, two substrates 2 are mounted. As shown in Fig. 9, the two substrates 2 are arranged so as to be symmetrical with respect to a predetermined symmetrical axis L parallel to the left and right direction when viewed from the top and bottom, 27).

포크 피치 변경 기구(78)는, 구동원으로 되는 모터(79)와, 모터(79)의 출력축에 연결되는 나사 부재(80)와, 2개의 포크(27) 중 한쪽에 고정되는 너트 부재(81)와, 2개의 포크(27) 중 다른 쪽에 고정되는 너트 부재(82)와, 나사 부재(80)의 회전량을 검지하는 검지 기구(83)를 구비하고 있다. 본 형태의 모터(79)는 포크 구동 모터이고, 너트 부재(81)는 제1 너트 부재이고, 너트 부재(82)는 제2 너트 부재이다.The fork pitch changing mechanism 78 includes a motor 79 serving as a driving source, a screw member 80 connected to the output shaft of the motor 79, a nut member 81 fixed to one of the two forks 27, A nut member 82 fixed to the other of the two forks 27 and a detecting mechanism 83 for detecting the amount of rotation of the screw member 80. [ The motor 79 of this embodiment is a fork drive motor, the nut member 81 is a first nut member, and the nut member 82 is a second nut member.

모터(79)는 감속기 부착 모터(기어드 모터)이다. 이 모터(79)는, 모터(79)의 출력축의 축방향과 좌우 방향이 일치하도록 기초부(26)에 고정되어 있다. 모터(79)의 감속기의 감속비가 크게 되어 있고, 예를 들어 감속비는 1/300이다. 나사 부재(80)는 가늘고 긴 막대형으로 형성되어 있다. 이 나사 부재(80)는, 나사 부재(80)의 길이 방향과 좌우 방향이 일치하도록 배치되어 있고, 기초부(26)에 회전 가능하게 지지되어 있다. 나사 부재(80)의 일단부측에는, 순 나사가 형성되는 순 나사부(80a)가 형성되어 있다. 나사 부재(80)의 타단부측에는, 역 나사가 형성되는 역 나사부(80b)가 형성되어 있다. 너트 부재(81)는 순 나사부(80a)에 걸림 결합하고, 너트 부재(82)는 역 나사부(80b)에 걸림 결합하고 있다. 나사 부재(80)의 일단부는, 커플링(85)을 통하여 모터(79)의 출력축에 연결되어 있다.The motor 79 is a motor with a speed reducer (geared motor). The motor 79 is fixed to the base portion 26 such that the axial direction of the output shaft of the motor 79 coincides with the left and right direction. The reduction ratio of the speed reducer of the motor 79 is large, for example, the reduction ratio is 1/300. The screw member 80 is formed into an elongated bar shape. The screw member 80 is disposed so as to coincide with the longitudinal direction of the screw member 80 in the left and right directions and is rotatably supported by the base portion 26. On the one end side of the screw member 80, a net threaded portion 80a in which a net thread is formed is formed. On the other end side of the screw member 80, a reverse screw portion 80b in which a reverse screw is formed is formed. The nut member 81 is engaged with the net threaded portion 80a and the nut member 82 is engaged with the reverse threaded portion 80b. One end of the screw member 80 is connected to the output shaft of the motor 79 through a coupling 85.

검지 기구(83)는, 나사 부재(80)의 타단부에 고정되는 검출판(86)과, 발광 소자와 수광 소자를 갖는 광학식의 센서(87)를 구비하고 있다. 센서(87)는, 발광 소자와 수광 소자가 대향 배치되는 투과형의 광학식 센서이다. 검출판(86)은, 센서(87)의 발광 소자와 수광 소자의 사이에 배치되어 있다. 검출판(86)에는, 센서(87)의 발광 소자로부터 수광 소자로 향하는 광을 투과하는 투광부와, 센서(87)의 발광 소자로부터 수광 소자로 향하는 광을 차단하는 차광부가 형성되어 있다.The detection mechanism 83 includes a detection plate 86 fixed to the other end of the screw member 80 and an optical sensor 87 having a light emitting element and a light receiving element. The sensor 87 is a transmission type optical sensor in which a light emitting element and a light receiving element are arranged to face each other. The detection plate 86 is disposed between the light emitting element of the sensor 87 and the light receiving element. The detection plate 86 is provided with a transparent portion for transmitting light directed from the light emitting element of the sensor 87 to the light receiving element and a light shielding portion for shielding light directed from the light emitting element of the sensor 87 to the light receiving element.

본 형태에서는, 도 7의 이점쇄선으로 나타내는 바와 같이 2개의 포크(27)가 가장 근접했을 때의 2개의 포크(27)의 위치가 포크(27)의 기준 위치로 되어 있다. 포크 피치 변경 기구(78)는, 이 기준 위치를 검지하기 위한 기준 위치 검지 기구(95)를 구비하고 있다. 기준 위치 검지 기구(95)는, 검출판(96)과, 발광 소자와 수광 소자를 갖는 광학식의 센서(97)를 구비하고 있다. 센서(97)는, 발광 소자와 수광 소자가 대향 배치되는 투과형의 광학식 센서이며, 기초부(26)에 고정되어 있다. 검출판(96)은, 2개의 포크(27)가 가장 근접했을 때, 검출판(96)이 센서(97)의 발광 소자와 수광 소자의 사이를 가로막도록, 2개의 포크(27) 중 한쪽 포크(27)의 기단부측 부분에 설치되어 있다. 검지 기구(83)는, 기준 위치 검지 기구(95)에 의해 검지되는 2개의 포크(27)의 기준 위치를 기준으로 한 나사 부재(80)의 회전량을 검지함으로써 2개의 포크(27)의 피치를 검지한다.In this embodiment, the positions of the two forks 27 when the two forks 27 are closest to each other are the reference positions of the forks 27, as shown by the two-dot chain line in Fig. The fork pitch changing mechanism 78 is provided with a reference position detecting mechanism 95 for detecting the reference position. The reference position detecting mechanism 95 is provided with a detection plate 96 and an optical sensor 97 having a light emitting element and a light receiving element. The sensor 97 is a transmission type optical sensor in which the light emitting element and the light receiving element are arranged to face each other and is fixed to the base portion 26. [ The detection plate 96 is provided on one of the two forks 27 so that the detection plate 96 interrupts the light emitting element and the light receiving element of the sensor 97 when the two forks 27 are the closest. (27). The detection mechanism 83 detects the rotation amount of the screw member 80 with reference to the reference position of the two forks 27 detected by the reference position detection mechanism 95 so that the pitches of the two forks 27 .

또한, 포크 피치 변경 기구(78)는, 2개의 포크(27)를 좌우 방향으로 안내하기 위한 가이드 레일(89) 및 가이드 블록(90, 91)을 구비하고 있다. 가이드 레일(89)은, 좌우 방향을 길이 방향으로서 기초부(26)의 2군데에 고정되어 있다. 2개의 가이드 레일(89)은, 전후 방향에서 나사 부재(80)를 물도록 배치되어 있다. 가이드 블록(90)은, 2개의 포크(27) 중 한쪽 포크(27)의 기단부측 부분의 2군데에 고정되고, 가이드 블록(91)은, 2개의 포크(27) 중 다른 쪽 포크(27)의 기단부측 부분의 2군데에 고정되어 있다. 2개의 가이드 블록(90)의 각각은 2개의 가이드 레일(89)의 각각에 걸림 결합하고, 2개의 가이드 블록(91)의 각각은 2개의 가이드 레일(89)의 각각에 걸림 결합하고 있다.The fork pitch changing mechanism 78 is provided with guide rails 89 and guide blocks 90 and 91 for guiding the two forks 27 in the left and right directions. The guide rail 89 is fixed to two places of the base portion 26 in the left and right direction as the longitudinal direction. The two guide rails 89 are arranged so as to receive the screw member 80 in the front-rear direction. The guide block 90 is fixed at two places on the base end side portion of one fork 27 of the two forks 27 and the guide block 91 is fixed to the other fork 27 of the two forks 27, And a proximal end side portion of the proximal end portion. Each of the two guide blocks 90 is engaged with each of the two guide rails 89 and each of the two guide blocks 91 is engaged with each of the two guide rails 89.

본 형태에서는 가이드 레일(89)과 가이드 블록(90)에 의해 2개의 포크(27)의 한쪽을 좌우 방향으로 안내하는 가이드 기구(92)가 구성되고, 가이드 레일(89)과 가이드 블록(91)에 의해 2개의 포크(27)의 다른 쪽을 좌우 방향으로 안내하는 가이드 기구(93)가 구성되어 있다. 본 형태의 가이드 기구(92)는 제1 포크 가이드 기구이고, 가이드 기구(93)는 제2 포크 가이드 기구이다.The guide rail 89 and the guide block 90 constitute a guide mechanism 92 for guiding one of the two forks 27 in the left and right direction, A guide mechanism 93 for guiding the other of the two forks 27 in the left-right direction is formed. The guide mechanism 92 of this embodiment is a first fork guide mechanism, and the guide mechanism 93 is a second fork guide mechanism.

포크 피치 변경 기구(78)에서는, 모터(79)가 회전하여 나사 부재(80)가 회전하면, 2개의 포크(27) 중 한쪽 포크(27)와 다른 쪽 포크(27)가 좌우의 역방향으로 동일한 양만큼 이동하여 2개의 포크(27)의 좌우 방향의 피치가 변경된다. 본 형태의 포크 피치 변경 기구(78)는, 검지 기구(83)에서의 검지 결과에 기초하여, 도 7의 이점쇄선으로 나타내는 바와 같이 2개의 포크(27)가 가장 근접한 상태와, 도 7의 점선으로 나타내는 바와 같이 2개의 포크(27)가 가장 이격된 상태의 사이에서, 2개의 포크(27)의 좌우 방향의 피치를 임의로 바꾸는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 포크 피치 변경 기구(78)는, 로봇(1)으로 반송되는 기판(2)의 크기가 결정되면, 로봇(1)이 기판(2)을 반송하는 반송 동작 전에, 필요에 따라 2개의 포크(27)의 좌우 방향의 피치를 변경한다. 즉, 포크 피치 변경 기구(78)는, 로봇(1)에 의한 기판(2)의 반송 동작 중에, 2개의 포크(27)의 좌우 방향의 피치를 변경하는 일은 없다.In the fork pitch changing mechanism 78, when the motor 79 rotates and the screw member 80 rotates, one fork 27 and the other fork 27 of the two forks 27 are moved in the same direction The pitch of the two forks 27 in the left and right direction is changed. The fork pitch changing mechanism 78 of the present embodiment is configured such that the two forks 27 are closest to each other as indicated by the chain double-dashed line in FIG. 7 on the basis of the detection result of the detecting mechanism 83, It is possible to arbitrarily change the pitch of the two forks 27 in the lateral direction between the two forks 27 as shown in Fig. When the size of the substrate 2 to be transferred to the robot 1 is determined, the fork pitch changing mechanism 78 changes the fork pitch changing mechanism 78, Thereby changing the pitch in the left-right direction. That is, the fork pitch changing mechanism 78 does not change the pitch in the left and right direction of the two forks 27 during the transportation operation of the substrate 2 by the robot 1.

(본 형태의 주요 효과)(Main effect of this embodiment)

이상 설명한 바와 같이, 본 형태에서는 전후 방향으로 직선적으로 이동하는 핸드(3)와 핸드(4)가 동일한 높이로 배치되고, 전후 방향으로 직선적으로 이동하는 핸드(5)와 핸드(6)가 동일한 높이로 배치되어 있다. 그로 인해, 본 형태에서는 핸드(3, 4)를 사용하여, 혹은 핸드(5, 6)를 사용하여, 동일한 높이로 수용되어 있는 복수의 기판(2)을 동시에 반출하는 것이 가능해짐과 함께, 동일한 높이로 수용되는 복수의 기판(2)을 동시에 반입하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 본 형태에서는 로봇(1)이 설치되는 제조 시스템의 택트 타임을 단축하는 것이 가능하게 된다.As described above, in this embodiment, the hand 3 and the hand 4 linearly moving in the front-rear direction are arranged at the same height, and the hand 5 and the hand 6 linearly moving in the front- Respectively. Therefore, in the present embodiment, a plurality of substrates 2 accommodated at the same height can be simultaneously carried out by using the hands 3 and 4, or by using the hands 5 and 6, It is possible to simultaneously carry a plurality of substrates 2 accommodated at a height. Therefore, in this embodiment, it is possible to shorten the tact time of the manufacturing system in which the robot 1 is installed.

한편, 기판(2)의 반출시나 반입시에, 예를 들어 핸드(3)와 핸드(4)를 동시에 왕복 이동시키면, 핸드(3) 또는 핸드(4)가 기판(2)이 수용되는 카세트나 제조 장치 등과 접촉할 우려가 있다. 또한, 기판(2)의 반출시나 반입시에, 예를 들어 핸드(5)와 핸드(6)를 동시에 왕복 이동시키면, 핸드(5) 또는 핸드(6)가 제조 장치 등과 접촉할 우려가 있다. 본 형태에서는, 로봇(1)이, 아암(11)에 대하여 핸드 지지 부재(7 내지 10)의 각각을 개별적으로 왕복 이동시키는 4개의 핸드 구동 기구(22 내지 25)를 구비하고 있기 때문에, 기판(2)의 반출시나 반입시에 제조 장치 등과 접촉할 우려가 있는 핸드(3 내지 6)를 정지시켜 두는 것이 가능하게 된다. 따라서, 본 형태에서는 기판(2)의 반출시나 반입시에 있어서의 제조 장치 등과 핸드(3 내지 6)의 접촉을 방지하는 것이 가능하게 되고, 핸드(3 내지 6) 등의 손상을 방지하는 것이 가능하게 된다.On the other hand, when the hand 3 or the hand 4 is reciprocally moved at the same time, for example, when the substrate 2 is taken out or brought in, the hand 3 or the hand 4 is moved to a cassette There is a possibility of coming into contact with a manufacturing apparatus or the like. The hand 5 or the hand 6 may come into contact with the manufacturing apparatus or the like if the hand 5 and the hand 6 are moved back and forth simultaneously when the substrate 2 is taken out or brought in. In the present embodiment, since the robot 1 is provided with the four hand driving mechanisms 22 to 25 for individually reciprocating the hand holding members 7 to 10 with respect to the arm 11, It is possible to stop the hands 3 to 6 which may come into contact with the manufacturing apparatus or the like at the time of taking out or bringing in the hand 2, Therefore, in this embodiment, it is possible to prevent the hands 3 to 6 from coming into contact with the manufacturing apparatus or the like at the time of taking out or bringing the substrate 2, and it is possible to prevent damage to the hands 3 to 6 .

본 형태에서는 전후 방향에서 보았을 때, 이송 기구(39, 41)와 가이드 기구(43, 45)는 4개의 모터(35 내지 38)보다 좌측에 배치되고, 이송 기구(40, 42)와 가이드 기구(44, 46)는 4개의 모터(35 내지 38)보다 우측에 배치되어 있다. 그로 인해, 본 형태에서는, 이송 기구(39, 41) 및 가이드 기구(43, 45)와, 이송 기구(40, 42) 및 가이드 기구(44, 46)의 좌우 방향의 거리를 확보하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 본 형태에서는 모터(35 내지 38)보다 좌측에 배치되는 가동하는 부재와, 모터(35 내지 38)보다 우측에 배치되는 가동하는 부재의 간섭을 방지하는 것이 가능하게 된다.The feed mechanisms 39 and 41 and the guide mechanisms 43 and 45 are disposed on the left side of the four motors 35 to 38 and the feed mechanisms 40 and 42 and the guide mechanisms 44, and 46 are disposed on the right side of the four motors 35 to 38. Therefore, in this embodiment, it is possible to secure the distance in the transverse direction between the feed mechanisms 39 and 41 and the guide mechanisms 43 and 45, the feed mechanisms 40 and 42, and the guide mechanisms 44 and 46 do. Therefore, in this embodiment, it is possible to prevent interference between the movable member disposed on the left side of the motors 35 to 38 and the movable member disposed on the right side of the motors 35 to 38. [

본 형태에서는, 핸드(5)가 핸드(3)의 하측에 배치됨과 함께, 핸드(5)가 고정되는 핸드 지지 부재(9)를 구동하는 핸드 구동 기구(24)의 모터(37), 이송 기구(41) 및 가이드 기구(45)가, 핸드(3)가 고정되는 핸드 지지 부재(7)를 구동하는 핸드 구동 기구(22)의 모터(35), 이송 기구(39) 및 가이드 기구(43)보다 상측에 배치되어 있다. 그로 인해, 본 형태에서는 모터(37), 이송 기구(41) 및 가이드 기구(45)가, 모터(35), 이송 기구(39) 및 가이드 기구(43)보다 하측에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 핸드 지지 부재(7, 9)의 구성을 간소화하는 것이 가능하게 된다. 또한, 본 형태에서는 핸드(6)가 핸드(4)의 하측에 배치됨과 함께, 핸드(6)가 고정되는 핸드 지지 부재(10)를 구동하는 핸드 구동 기구(25)의 모터(38), 이송 기구(42) 및 가이드 기구(46)가, 핸드(4)가 고정되는 핸드 지지 부재(8)를 구동하는 핸드 구동 기구(23)의 모터(36), 이송 기구(40) 및 가이드 기구(44)보다 상측에 배치되어 있다. 그로 인해, 본 형태에서는 모터(38), 이송 기구(42) 및 가이드 기구(46)가, 모터(36), 이송 기구(40) 및 가이드 기구(44)보다 하측에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 핸드 지지 부재(8, 10)의 구성을 간소화하는 것이 가능하게 된다.In this embodiment, the hand 5 is disposed on the lower side of the hand 3, and the motor 37 of the hand driving mechanism 24 for driving the hand holding member 9 to which the hand 5 is fixed, The guide mechanism 41 and the guide mechanism 45 are provided on the motor 35, the feed mechanism 39 and the guide mechanism 43 of the hand drive mechanism 22 for driving the hand holding member 7 to which the hand 3 is fixed, As shown in Fig. As compared with the case where the motor 37, the feed mechanism 41 and the guide mechanism 45 are arranged below the motor 35, the feed mechanism 39 and the guide mechanism 43, , It is possible to simplify the configuration of the hand supporting members 7, 9. In this embodiment, the hand 6 is disposed on the lower side of the hand 4, and the motor 38 of the hand driving mechanism 25 for driving the hand holding member 10 to which the hand 6 is fixed, The mechanism 42 and the guide mechanism 46 are connected to the motor 36 of the hand drive mechanism 23 for driving the hand holding member 8 to which the hand 4 is fixed, As shown in Fig. As compared with the case where the motor 38, the feed mechanism 42 and the guide mechanism 46 are disposed below the motor 36, the feed mechanism 40, and the guide mechanism 44 in this embodiment, , It is possible to simplify the configuration of the hand supporting members 8, 10.

본 형태에서는, 핸드 피치 변경 기구(31)는, 로봇(1)이 기판(2)을 반송하는 반송 동작 중에, 필요에 따라 제1 아암(29)과 제2 아암(30)의 좌우 방향의 피치를 변경하고 있다. 즉, 본 형태에서는, 핸드 피치 변경 기구(31)는, 반송 동작 중에, 필요에 따라 핸드(3)와 핸드(4)의 좌우 방향의 피치, 및 핸드(5)와 핸드(6)의 좌우 방향의 피치를 변경하고 있다. 그로 인해, 본 형태에서는, 동일한 높이로 반송원에 수용되어 있는 복수의 기판(2)의 좌우 방향의 피치와, 동일한 높이로 반송처에 수용되는 복수의 기판(2)의 좌우 방향의 피치가 상이한 경우라도, 반송원으로부터 반송처로 기판(2)을 단시간에, 또한 적절하게 반송하는 것이 가능하게 된다.In the present embodiment, the hand pitch changing mechanism 31 changes the pitch of the first arm 29 and the second arm 30 in the left-right direction, as needed, during the transporting operation of the robot 1 to transport the substrate 2 . That is, in this embodiment, the hand pitch changing mechanism 31 changes the pitch in the left-right direction of the hand 3 and the hand 4 and the pitch in the left-right direction of the hand 5 and the left- And the pitch of the light beam is changed. Therefore, in the present embodiment, the pitch in the left-right direction of the plurality of substrates 2 accommodated in the transfer source at the same height is different from the pitch in the left-right direction of the plurality of substrates 2 accommodated in the transfer destination at the same height It is possible to transport the substrate 2 from the transfer source to the transfer destination in a short time and suitably.

본 형태에서는, 핸드 피치 변경 기구(31)는, 모터(67)와 3개의 레버 부재(68 내지 70)를 구비하고 있다. 그로 인해, 본 형태에서는, 3개의 레버 부재(68 내지 70)를 사용한 비교적 간이한 구성으로, 제1 아암(29)과 제2 아암(30)의 피치를 변경하는 것이 가능하게 된다. 또한, 본 형태에서는, 포크 피치 변경 기구(78)는, 모터(79)와, 순 나사부(80a)와 역 나사부(80b)가 형성됨과 함께 모터(79)의 출력축에 연결되는 나사 부재(80)와, 2개의 포크(27)의 한쪽에 고정되고 순 나사부(80a)에 걸림 결합하는 너트 부재(81)와, 2개의 포크(27)의 다른 쪽에 고정되고 역 나사부(80b)에 걸림 결합하는 너트 부재(82)를 구비하고 있다. 그로 인해, 본 형태에서는, 하나의 나사 부재(80)를 사용한 비교적 간이한 구성으로, 2개의 포크(27)의 피치를 변경하는 것이 가능하게 된다. 또한, 본 형태에서는, 모터(79)의 감속기의 감속비가 크게 되어 있기 때문에, 소정 위치로 이동한 2개의 포크(27)에 좌우 방향의 외력이 작용해도, 2개의 포크(27)는 그 위치로부터 움직이지 않는다. 따라서, 본 형태에서는, 특별한 고정 기구를 설치하지 않아도, 소정 위치로 이동한 2개의 포크(27)를 그 위치에서 고정하는 것이 가능하게 된다.In this embodiment, the hand pitch changing mechanism 31 is provided with a motor 67 and three lever members 68 to 70. Therefore, in this embodiment, it is possible to change the pitches of the first arm 29 and the second arm 30 with a relatively simple configuration using the three lever members 68 to 70. [ In this embodiment, the fork pitch changing mechanism 78 includes a motor 79, a screw member 80 formed with a net threaded portion 80a and a reverse threaded portion 80b and connected to the output shaft of the motor 79, A nut member 81 fixed to one of the two forks 27 and engaged with the net threaded portion 80a and a nut fixed to the other side of the two forks 27 and engaged with the reverse threaded portion 80b, And a member (82). Therefore, in this embodiment, it is possible to change the pitches of the two forks 27 with a relatively simple structure using one screw member 80. Further, in this embodiment, since the reduction ratio of the speed reducer of the motor 79 is large, even if an external force in the lateral direction is applied to the two forks 27 moved to the predetermined position, the two forks 27 not moving. Therefore, in the present embodiment, it is possible to fix the two forks 27, which have been moved to the predetermined position, at the position, without providing a special fixing mechanism.

(다른 실시 형태)(Other Embodiments)

상술한 형태는 본 발명의 적합한 형태의 일례이기는 하지만, 이것에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에 있어서 여러가지 변형 실시가 가능하다.Although the above-described embodiment is an example of a suitable form of the present invention, the present invention is not limited thereto, and various modifications may be made without departing from the scope of the present invention.

상술한 형태에서는, 핸드 피치 변경 기구(31)는, 3개의 레버 부재(68 내지 70)를 사용하여 제1 아암(29)과 제2 아암(30)의 좌우 방향의 피치를 변경하고 있지만, 핸드 피치 변경 기구(31)는, 3개의 레버 부재(68 내지 70) 이외의 부재를 사용하여 제1 아암(29)과 제2 아암(30)의 좌우 방향의 피치를 변경해도 된다. 예를 들어, 핸드 피치 변경 기구(31)는, 포크 피치 변경 기구(78)와 마찬가지로, 순 나사부와 역 나사부를 갖는 나사 부재와, 제1 아암(29)에 고정되고 순 나사부에 걸림 결합하는 너트 부재와, 제2 아암(30)에 고정되고 역 나사부에 걸림 결합하는 너트 부재를 사용하여 제1 아암(29)과 제2 아암(30)의 좌우 방향의 피치를 변경해도 된다.Although the hand pitch changing mechanism 31 changes the pitch of the first arm 29 and the second arm 30 in the left and right direction by using the three lever members 68 to 70, The pitch changing mechanism 31 may change the pitch of the first arm 29 and the second arm 30 in the lateral direction by using members other than the three lever members 68 to 70. [ For example, similarly to the fork pitch changing mechanism 78, the hand pitch changing mechanism 31 includes a thread member having a net thread portion and a reverse thread portion, a nut fixed to the first arm 29 and engaged with the net thread portion The pitch between the first arm 29 and the second arm 30 may be changed using a nut member that is fixed to the second arm 30 and engages with the reverse threaded portion.

마찬가지로, 포크 피치 변경 기구(78)는, 나사 부재(80) 및 너트 부재(81, 82) 이외의 부재를 사용하여 2개의 포크(27)의 좌우 방향의 피치를 변경해도 된다. 예를 들어, 핸드 피치 변경 기구(31)와 마찬가지로, 3개의 레버 부재를 사용하여 2개의 포크(27)의 좌우 방향의 피치를 변경해도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 로봇(1)은 핸드 피치 변경 기구(31)를 구비하고 있지만, 로봇(1)은 핸드 피치 변경 기구(31)를 구비하고 있지 않아도 된다. 이 경우에는, 아암(11)은 좌우 방향으로 분할되어 있지 않아도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 핸드(3 내지 6)는 포크 피치 변경 기구(78)를 구비하고 있지만, 핸드(3 내지 6)는 포크 피치 변경 기구(78)를 구비하고 있지 않아도 된다.Similarly, the fork pitch changing mechanism 78 may change the pitch of the two forks 27 in the transverse direction by using members other than the screw member 80 and the nut members 81, 82. [ For example, similarly to the hand pitch changing mechanism 31, the pitch of the two forks 27 in the lateral direction may be changed by using three lever members. In the above-described embodiment, the robot 1 is provided with the hand pitch changing mechanism 31, but the robot 1 does not need to have the hand pitch changing mechanism 31. In this case, the arm 11 may not be divided in the left-right direction. In the above-described embodiment, the hands 3 to 6 are provided with the fork pitch changing mechanism 78, but the hands 3 to 6 do not need to have the fork pitch changing mechanism 78.

상술한 형태에서는, 모터(35 내지 38)는, 전후 방향에서의 아암(11)의 일단부측에 설치되어 있다. 이 밖에도 예를 들어, 4개의 모터(35 내지 38) 중에서 임의로 선택되는 1개, 2개 또는 3개의 모터가 전후 방향에서의 아암(11)의 일단부측에 설치되고, 나머지 모터가 전후 방향에서의 아암(11)의 타단부측에 설치되어도 된다.In the above-described embodiment, the motors 35 to 38 are provided on one end side of the arm 11 in the front-rear direction. In addition, for example, one, two or three motors arbitrarily selected from the four motors 35 to 38 may be provided on one end side of the arm 11 in the forward and backward directions, Or may be provided on the other end side of the arm 11.

상술한 형태에서는, 모터(35)와 모터(36)가 좌우 방향에서 서로 인접하고, 모터(37)와 모터(38)가 좌우 방향과 서로 인접함과 함께, 모터(35, 36)와 모터(37, 38)가 상하 방향에서 겹치도록 배치되어 있다. 이 밖에도 예를 들어, 전후 방향에서의 아암(11)의 일단부측에 있어서 4개의 모터(35 내지 38)가 상하 방향에서 1열로 겹치도록 배치되어도 된다. 또한, 전후 방향에서의 아암(11)의 일단부측에 있어서 4개의 모터(35 내지 38) 중 임의의 3개의 모터가 상하 방향에서 1열로 겹치도록 배치되고, 나머지 하나의 모터가 전후 방향에서의 아암(11)의 타단부측에 배치되어도 되고, 전후 방향에서의 아암(11)의 일단부측에 있어서 4개의 모터(35 내지 38) 중 임의의 2개의 모터가 상하 방향에서 겹치도록 배치되고, 전후 방향에서의 아암(11)의 타단부측에 있어서 나머지 2개의 모터가 상하 방향에서 겹치도록 배치되어도 된다.The motor 35 and the motor 36 are adjacent to each other in the left and right direction and the motor 37 and the motor 38 are adjacent to each other in the lateral direction and the motor 35, 37 and 38 are arranged so as to overlap in the vertical direction. In addition, for example, four motors 35 to 38 may be arranged so as to overlap in one row in the vertical direction at one end side of the arm 11 in the forward and backward directions. Further, three arbitrary motors out of the four motors 35 to 38 are arranged so as to overlap in one row in the vertical direction on one end side of the arm 11 in the front-rear direction, and the other one motor is arranged in the front- Any one of the four motors 35 to 38 may be arranged so as to overlap in the vertical direction at one end side of the arm 11 in the forward and backward directions, The remaining two motors may be arranged so as to overlap each other in the vertical direction.

상술한 형태에서는, 동일한 높이로 2개의 핸드(3)와 핸드(4)가 배치되고, 동일한 높이로 2개의 핸드(5)와 핸드(6)가 배치되어 있지만, 동일한 높이로 배치되는 핸드의 수는 3개 이상이어도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 로봇(1)은 2단으로 겹치도록 배치되는 2개의 핸드(3, 4)와 2개의 핸드(5, 6)를 구비하고 있지만, 로봇(1)은 2개의 핸드(3, 4) 또는 2개의 핸드(5, 6)만을 구비하고 있어도 된다. 또한, 동일한 높이로 배치되는 2개 이상의 핸드가 3단 이상에서 겹치도록 배치되어 있어도 된다.In the above-described embodiment, two hands 3 and a hand 4 are arranged at the same height, and two hands 5 and a hand 6 are arranged at the same height. However, the number of hands May be three or more. In the above embodiment, the robot 1 has two hands 3 and 4 and two hands 5 and 6 arranged so as to overlap in two stages. However, the robot 1 has two hands 3 or 4, or only two hands 5 and 6 may be provided. Further, two or more hands arranged at the same height may be arranged so as to overlap in three or more stages.

상술한 형태에서는, 로봇(1)에 의해 반송되는 반송 대상물은 액정 디스플레이용 유리 기판(2)이지만, 로봇(1)에 의해 반송되는 반송 대상물은, 유리 기판(2) 이외의 것이어도 된다. 예를 들어, 로봇(1)에 의해 반송되는 반송 대상물은, 반도체 웨이퍼 등이어도 된다.In the above-described embodiment, the object to be transported by the robot 1 is the glass substrate 2 for the liquid crystal display, but the object to be transported by the robot 1 may be other than the glass substrate 2. For example, the object to be transported carried by the robot 1 may be a semiconductor wafer or the like.

1: 로봇(산업용 로봇)
2: 기판(유리 기판, 반송 대상물)
3: 핸드(제1 핸드)
4: 핸드(제2 핸드)
5: 핸드(제3 핸드)
6: 핸드(제4 핸드)
7: 핸드 지지 부재(제1 핸드 지지 부재)
8: 핸드 지지 부재(제2 핸드 지지 부재)
9: 핸드 지지 부재(제3 핸드 지지 부재)
10: 핸드 지지 부재(제4 핸드 지지 부재)
11: 아암(보유 지지 부재)
22: 핸드 구동 기구(제1 핸드 구동 기구)
23: 핸드 구동 기구(제2 핸드 구동 기구)
24: 핸드 구동 기구(제3 핸드 구동 기구)
25: 핸드 구동 기구(제4 핸드 구동 기구)
27: 포크
29: 제1 아암(제1 보유 지지 부재)
30: 제2 아암(제2 보유 지지 부재)
31: 핸드 피치 변경 기구
35: 모터(핸드 구동 모터, 제1 핸드 구동 모터)
36: 모터(핸드 구동 모터, 제2 핸드 구동 모터)
37: 모터(핸드 구동 모터, 제3 핸드 구동 모터)
38: 모터(핸드 구동 모터, 제4 핸드 구동 모터)
39: 이송 기구(제1 이송 기구)
40: 이송 기구(제2 이송 기구)
41: 이송 기구(제3 이송 기구)
42: 이송 기구(제4 이송 기구)
43: 가이드 기구(핸드 가이드 기구, 제1 핸드 가이드 기구)
44: 가이드 기구(핸드 가이드 기구, 제2 핸드 가이드 기구)
45: 가이드 기구(핸드 가이드 기구, 제3 핸드 가이드 기구)
46: 가이드 기구(핸드 가이드 기구, 제4 핸드 가이드 기구)
48 내지 51: 나사축
52 내지 55: 너트 부재
67: 모터(보유 지지 부재 구동 모터)
68: 레버 부재(제1 레버 부재)
69: 레버 부재(제2 레버 부재)
70: 레버 부재(제3 레버 부재)
75: 가이드 기구(제1 보유 지지 부재 가이드 기구)
76: 가이드 기구(제2 보유 지지 부재 가이드 기구)
78: 포크 피치 변경 기구
79: 모터(포크 구동 모터)
80: 나사 부재
80a: 순 나사부
80b: 역 나사부
81: 너트 부재(제1 너트 부재)
82: 너트 부재(제2 너트 부재)
92: 가이드 기구(제1 포크 가이드 기구)
93: 가이드 기구(제2 포크 가이드 기구)
X: 제1 방향
Y: 제2 방향1: Robot (industrial robot)
2: substrate (glass substrate, transport object)
3: Hand (first hand)
4: Hand (second hand)
5: Hand (third hand)
6: Hand (fourth hand)
7: Hand holding member (first hand holding member)
8: Hand holding member (second hand holding member)
9: Hand holding member (third hand holding member)
10: Hand holding member (fourth hand holding member)
11: arm (holding member)
22: Hand drive mechanism (first hand drive mechanism)
23: Hand drive mechanism (second hand drive mechanism)
24: Hand drive mechanism (third hand drive mechanism)
25: Hand drive mechanism (fourth hand drive mechanism)
27: Fork
29: first arm (first holding member)
30: second arm (second holding member)
31: Hand pitch change mechanism
35: motor (hand drive motor, first hand drive motor)
36: motor (hand drive motor, second hand drive motor)
37: motor (hand drive motor, third hand drive motor)
38: motor (hand drive motor, fourth hand drive motor)
39: Feed mechanism (first feed mechanism)
40: Feed mechanism (second feed mechanism)
41: Feed mechanism (third feed mechanism)
42: Feed mechanism (fourth feed mechanism)
43: guide mechanism (hand guide mechanism, first hand guide mechanism)
44: guide mechanism (hand guide mechanism, second hand guide mechanism)
45: Guide mechanism (hand guide mechanism, third hand guide mechanism)
46: guide mechanism (hand guide mechanism, fourth hand guide mechanism)
48 to 51: Screw shaft
52 to 55: nut member
67: Motor (holding member driving motor)
68: Lever member (first lever member)
69: Lever member (second lever member)
70: Lever member (third lever member)
75: guide mechanism (first holding member guide mechanism)
76: guide mechanism (second retaining member guide mechanism)
78: Fork pitch change mechanism
79: Motor (fork drive motor)
80: screw member
80a: Net thread
80b: Reverse thread portion
81: Nut member (first nut member)
82: nut member (second nut member)
92: guide mechanism (first fork guide mechanism)
93: guide mechanism (second fork guide mechanism)
X: first direction
Y: the second direction

Claims

A plurality of hand holding members on which the objects to be carried are individually mounted and arranged at the same height, a plurality of hand holding members to which each of the plurality of hands is fixed, and a plurality of hand holding members which are linearly reciprocating And a plurality of hand driving mechanisms for individually reciprocating each of the plurality of hand supporting members relative to the holding member. Industrial robots.

The method according to claim 1,
The moving direction of the hand holding member with respect to the holding member is referred to as a first direction and the direction orthogonal to the first direction while being in a horizontal direction is referred to as a second direction,
A first hand and a second hand arranged at the same height so as to be adjacent to each other in the second direction when viewed in the first direction and a second hand arranged so as to overlap with the first hand in a vertical direction when viewed in the first direction A third hand disposed on the lower side of the first hand and a fourth hand disposed on the lower side of the second hand at the same height as the third hand so as to overlap the second hand in the vertical direction when viewed in the first direction, Hand,
The hand holding member includes a first hand supporting member to which the first hand is fixed, a second hand supporting member to which the second hand is fixed, a third hand supporting member to which the third hand is fixed, And a fourth hand supporting member to which the four hands are fixed,
The hand driving mechanism includes a first hand driving mechanism for reciprocating the first hand supporting member, a second hand driving mechanism for reciprocating the second hand supporting member, and a second hand driving mechanism for reciprocating the third hand supporting member A third hand driving mechanism and a fourth hand driving mechanism for reciprocating the fourth hand supporting member,
Wherein the holding member includes a first holding member for holding the first hand supporting member and the third hand supporting member so as to be capable of reciprocating movement and a second holding member for moving the second hand supporting member and the fourth hand supporting member back and forth And a second holding member that holds the first holding member and the second holding member.

3. The method of claim 2,
The hand driving mechanism includes a hand driving motor serving as a driving source, a nut member having a screw shaft rotated by the power of the hand driving motor and a female screw engaged with a male screw formed on an outer peripheral surface of the screw shaft, And a hand guide mechanism for guiding the hand supporting member in the first direction,
The hand mechanism of the first hand driving mechanism is referred to as a first hand guide mechanism and the hand mechanism of the second hand driving mechanism is referred to as a first hand mechanism, The second hand driving mechanism is referred to as a second hand mechanism, the hand guide mechanism of the second hand driving mechanism is referred to as a second hand guide mechanism, the transfer mechanism of the third hand driving mechanism is referred to as a third transfer mechanism, The hand mechanism of the fourth hand driving mechanism is referred to as a fourth hand guide mechanism and the fourth hand mechanism of the fourth hand driving mechanism is referred to as a fourth hand guide mechanism if,
Wherein the first hand mechanism, the first hand guide mechanism, the third hand mechanism, and the third hand guide mechanism are arranged on one side of the four hand driving motors in the second direction when viewed in the first direction Disposed,
And the second hand mechanism, the second hand guide mechanism, the fourth hand mechanism, and the fourth hand guide mechanism are arranged on the other side of the four hand driving motors in the second direction when viewed in the first direction Wherein the robot is a robot.

The method of claim 3,
Wherein the hand driving motor of the first hand driving mechanism is referred to as a first hand driving motor and the hand driving motor of the second hand driving mechanism is referred to as a second hand driving motor, If the motor is referred to as a third hand drive motor and the hand drive motor of the fourth hand drive mechanism is referred to as a fourth hand drive motor,
The third hand driving motor and the first hand driving motor are arranged on the lower side of the third hand in such a manner as to overlap in the vertical direction when viewed in the first direction and to be arranged in this order from the upper side,
Wherein the fourth hand driving motor and the second hand driving motor are arranged on the lower side of the fourth hand in such a manner as to overlap in the vertical direction when viewed in the first direction and in this order from the upper side,
Wherein the first hand mechanism and the first hand guide mechanism are disposed adjacent to each other in the second direction with respect to the first hand driving motor when viewed in the first direction,
The second hand mechanism and the second hand guide mechanism are arranged so as to be adjacent to each other in the second direction with respect to the second hand driving motor when viewed in the first direction,
The third conveying mechanism and the third hand guide mechanism are arranged so as to be adjacent to each other in the second direction with respect to the third hand driving motor when viewed in the first direction,
Wherein the fourth conveying mechanism and the fourth hand guiding mechanism are arranged adjacent to each other in the second direction with respect to the fourth hand driving motor when viewed in the first direction.

5. The method according to any one of claims 2 to 4,
And a hand pitch changing mechanism that changes the pitch of the first holding member and the second holding member in the second direction.

6. The method of claim 5,
Wherein the hand pitch changing mechanism changes the pitches of the first holding member and the second holding member in the second direction during a conveying operation in which the industrial robot conveys the conveying object. Industrial robots.

The method according to claim 5 or 6,
The hand pitch changing mechanism includes a holding member driving motor serving as a driving source, a first lever member whose center position is fixed to the output shaft of the holding member driving motor, And the other end portion of the second lever member is rotatably connected to the other end portion of the first lever member and the other end portion of the second lever member is rotatably connected to the second retaining member, A third lever member rotatably connected to the other end side of the first lever member, a first holding member guide mechanism for guiding the first holding member in the second direction, And a second holding member guide mechanism for guiding the support member in the second direction.

8. The method according to any one of claims 1 to 7,
The moving direction of the hand holding member with respect to the holding member is referred to as a first direction and the direction orthogonal to the first direction while being in a horizontal direction is referred to as a second direction,
The hand comprises two forks arranged adjacent to each other in the second direction and on which the carrying object is mounted and a fork pitch changing mechanism for changing the pitch of the two forks in the second direction Industrial robots.

9. The method of claim 8,
The fork pitch changing mechanism includes a fork driving motor having a speed reducer attached to a driving source, a thread member having a net thread portion in which a net thread is formed and a reverse thread portion in which a reverse thread is formed and connected to an output shaft of the fork driving motor, A first nut member fixed to one of the forks and engaged with the net threaded portion, a second nut member fixed to the other side of the two forks and engaged with the reverse threaded portion, And a second fork guide mechanism for guiding the other of the two forks in the second direction.