KR20160145311A - 리버스 유닛 - Google Patents

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Abstract

리버스 유닛은 개별화된 다수의 패키지들을 각각 수용하기 위한 다수의 수용홈들 및 상기 수용홈들의 저면을 각각 관통하는 관통홀들을 갖는 지지플레이트와, 회전축을 기준으로 회전 가능하도록 구비되며, 상부면 가장자리 부위에 상기 지지플레이트를 진공 흡착하기 위한 제1 진공 홈을 가지며, 상기 상부면 중앙 부위에 상기 관통홀들과 연결되며 상기 지지플레이트 상의 패키지들을 진공 흡착하기 위한 제2 진공 홈을 갖는 회전 몸체 및 상기 회전 몸체를 상기 회전축을 기준으로 회전시켜 상기 지지플레이트에 수용된 패키지들을 반전시키기 위한 회전 구동부를 포함할 수 있다. 따라서, 상기 진공력으로 상기 지지플레이트를 상기 회전 몸체에 안정적으로 고정할 수 있다.

Description

리버스 유닛{A reverse unit}
본 발명은 리버스 유닛에 관한 것으로, 개별화된 다수의 패키지들을 반전시키기 위한 리버스 유닛에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자들은 일련의 제조 공정들을 반복적으로 수행함으로써 반도체 기판으로서 사용되는 실리콘 웨이퍼 상에 형성될 수 있으며, 상기와 같이 형성된 반도체 소자들은 다이싱 공정과 다이 본딩 공정 및 몰딩 공정을 통해 반도체 스트립으로 제조될 수 있다.
상기와 같이 복수의 반도체 패키지들이 탑재된 반도체 스트립은 절단 및 분류(Sawing & Sorting) 공정을 통해 개별화되고 양품 또는 불량품 판정에 따라 분류될 수 있다.
상기 절단 및 분류 공정은 상기 반도체 스트립을 척 테이블 상에 로드한 후 절단 블레이드를 이용하여 다수의 반도체 패키지들로 개별화하며, 상기 개별화된 반도체 패키지들을 검사하여 양품 및 불량품으로 분류한다.
상기 반도체 패키지의 전면 및 하면을 각각 검사하기 위하여 상기 반도체 패키지를 반전시키는 리버스 유닛이 구비된다. 상기 리버스 유닛은 상기 패키지들을 각각 수용하는 플레이트를 고정한 상태로 반전하여 상기 패키지들을 반전시킨다.
상기 플레이트는 상기 리버스 유닛에 볼트 또는 원터치 클립에 의해 고정될 수 있다. 그러나, 상기 리버스 유닛의 반복 동작이나 진동 등에 의해 상기 볼트 또는 원터치 클립의 고정이 해제될 수 있다. 따라서, 상기 플레이트가 상기 리버스 유닛에 안정적으로 고정되지 못하고 상기 플레이트의 위치가 틀어질 수 있다. 그러므로, 상기 패키지들이 상기 플레이트에 정확하게 안착되기 어렵다. 또한, 상기 플레이트가 상기 리버스 유닛으로부터 이탈될 수도 있다.
한편, 상기 패키지들의 크기나 종류에 따라 상기 플레이트를 교체한다. 이때, 상기 플레이트가 볼트로 고정되는 경우, 상기 볼트를 풀거나 조이는데 많은 시간이 소요되므로 상기 플레이트의 교체가 지연될 수 있다.
상기 플레이트가 상기 원터치 클립으로 고정되는 경우, 상기 원터치 클립을 풀거나 잠그는데 많은 힘이 요구된다. 따라서, 상기 플레이트의 교체가 용이하지 않다.
한국공개특허 제2014-0055098호(2014.05.09. 공개)
본 발명은 플레이트를 안정적으로 고정하며 상기 플레이트의 교체가 용이한 리버스 유닛을 제공한다.
본 발명에 따른 리버스 유닛은 개별화된 다수의 패키지들을 각각 수용하기 위한 다수의 수용홈들 및 상기 수용홈들의 저면을 각각 관통하는 관통홀들을 갖는 지지플레이트와, 회전축을 기준으로 회전 가능하도록 구비되며, 상부면 가장자리 부위에 상기 지지플레이트를 진공 흡착하기 위한 제1 진공 홈을 가지며, 상기 상부면 중앙 부위에 상기 관통홀들과 연결되며 상기 지지플레이트 상의 패키지들을 진공 흡착하기 위한 제2 진공 홈을 갖는 회전 몸체 및 상기 회전 몸체를 상기 회전축을 기준으로 회전시켜 상기 지지플레이트에 수용된 패키지들을 반전시키기 위한 회전 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 리버스 유닛은 상기 회전 몸체의 회전축을 관통하는 진공 라인을 통해 상기 제1 진공 홈 및 상기 제2 진공 홈으로 진공력을 제공하는 진공 펌프를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 진공력을 상기 제1 진공 홈으로 제공하거나 차단하여 상기 패키지들의 종류와 크기에 따라 상기 지지플레이트를 교체할 수 있다.
본 발명에 따른 리버스 유닛은 진공력을 이용하여 플레이트를 회전 몸체에 고정한다. 따라서, 상기 플레이트를 상기 회전 몸체에 안정적으로 고정할 수 있다.
또한, 상기 진공력을 제공하거나 차단함으로써 상기 플레이트를 상기 회전 몸체에 고정하거나 상기 회전 몸체로부터 분리할 수 있다. 따라서, 상기 플레이트를 신속하고 용이하게 교체할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 리버스 유닛을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 리버스 유닛을 설명하기 위한 단면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 리버스 유닛에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 리버스 유닛을 설명하기 위한 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 리버스 유닛을 설명하기 위한 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 리버스 유닛(100)은 개별화된 다수의 패키지들을 반전시키기 위한 것으로, 지지플레이트(110), 회전 몸체(120), 회전 구동부(130) 및 진공 펌프(140)를 포함한다.
지지플레이트(110)는 대략 직사각형 평판 형태를 가지며, 회전 몸체(120)의 상부면에 안착될 수 있다.
지지플레이트(110)는 다수의 수용홈들(112) 및 관통홀들(114)을 갖는다.
수용홈들(112)은 지지플레이트의 상부면 중앙 부위에 구비되며, 대략 사각형 형태를 갖는다. 수용홈들(112)은 상기 패키지들을 각각 수용한다. 수용홈들(112)은 상기 패키지들이 이격된 상태를 유지하도록 서로 이격되어 배치될 수 있다.
관통홀들(114)은 수용홈들(112) 각각의 저면을 관통하여 지지플레이트(110)의 하부면까지 연장한다. 관통홀들(114)은 진공력을 이용하여 수용홈들(112)에 수용된 패키지들을 고정하는데 이용된다.
또한, 지지플레이트(110)는 정렬홀들(116)을 더 포함할 수 있다. 정렬홀들(116)은 지지플레이트(110)의 네 모서리 부위에 상하를 관통하도록 구비된다. 정렬홀들(116)은 지지플레이트(110)와 회전 몸체(120)의 정렬에 이용될 수 있다.
한편, 상기에서 관통홀들(114)들이 수용홈들(112)의 저면을 관통하는 것으로 설명되었지만, 수용홈들(112)이 구비되지 않고 관통홀들(114)이 지지플레이트(110)의 상하를 바로 관통하도록 구비될 수도 있다. 이때, 상기 패키지들은 관통홀들(114)이 형성된 부위에 위치할 수 있다.
회전 몸체(120)는 대략 사각 평판 형태를 갖는다. 이때, 회전 몸체(120)의 크기는 지지플레이트(110)의 크기보다 큰 것이 바람직하다.
회전 몸체(120)는 회전축(122)을 가지며, 회전축(122)을 기준으로 회전 가능하도록 구비된다.
회전 몸체(120)는 제1 진공 홈(124) 및 제2 진공 홈(126)을 갖는다.
제1 진공 홈(124)은 회전 몸체(120)의 상부면 가장자리 부위에 형성된다. 제1 진공 홈(124)은 하나가 길게 연장되거나, 다수개가 서로 이격되어 배치될 수 있다.
지지플레이트(110)가 회전 몸체(120)의 상부면에 안착된 상태에서, 제1 진공 홈(124)은 지지플레이트(110)를 진공력으로 흡착하는데 이용될 수 있다. 지지플레이트(110)를 상기 진공력으로 흡착하는 경우, 지지플레이트(110)를 회전 몸체(120)에 안정적으로 고정할 수 있으므로, 회전 몸체(120)의 반복적인 동작이나 회전 몸체(120)의 진동으로 인해 지지플레이트(110)의 위치가 틀어지거나, 지지플레이트(110)가 회전 몸체(120)로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다.
지지플레이트(110)는 상기 패키지들의 크기나 종류에 따라 수용홈들(112)을 크기 및 간격이 달라진다. 따라서, 상기 패키지들의 크기나 종류에 따라 지지플레이트(110)는 교체할 수 있다. 제2 진공 홈(124)으로 제공되는 상기 진공력을 제공하거나 차단함으로써 지지플레이트(110)를 신속하게 회전 몸체(120)에 고정하거나 회전 몸체(120)로부터 분리할 수 있다. 따라서, 상기 패키지들의 크기나 종류에 따라 지지플레이트(110)를 신속하고 용이하게 교체할 수 있다.
제2 진공 홈(126)은 회전 몸체(120)의 상부면 중앙 부위에 형성된다. 이때, 제2 진공 홈(126)은 지지플레이트(110)에서 관통홀들(114)들이 형성된 영역을 커버한다. 따라서, 제2 진공 홈(126)은 관통홀들(114)과 연통될 수 있다.
제2 진공 홈(126)은 관통홀들(114)을 통해 진공력으로 수용홈들(112)에 수용된 패키지들을 고정하는데 이용될 수 있다. 따라서, 회전 몸체(120)가 회전축(122)을 기준으로 180도 회전하여 상기 패키지들을 반전하더라도 상기 패키지들이 지지플레이트(110)의 수용홈들(112)로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다.
도시되지는 않았지만, 제1 진공 홈(124) 및 제2 진공 홈(126)의 가장자리를 따라 상기 진공의 누설을 방지하기 위한 밀봉 부재가 구비될 수 있다.
회전 몸체(120)는 정렬핀들(128)들 더 포함할 수 있다. 정렬핀들(128)은 대략 회전 몸체(120)의 상부면 모서리 부위에 구비된다. 정렬핀들(128)은 지지플레이트(110)는 정렬홀들(116)과 대응하는 위치에 배치된다. 지지플레이트(110)가 회전 몸체(120)의 상부면에 안착될 때, 정렬핀들(128)이 정렬홀들(116)에 삽입될 수 있다. 따라서, 지지플레이트(110)를 회전 몸체(120)의 기 설정된 위치에 정확하게 안착시킬 수 있고, 지지플레이트(110)의 위치가 틀어지는 것을 방지할 수 있다. 그러므로, 지지플레이트(110)와 회전 몸체(120)의 위치를 용이하게 정렬할 수 있다.
한편, 지지플레이트(110)에 정렬홀들(116)이 구비되고, 회전 몸체(120)에 정렬핀들(128)이 구비되는 것으로 설명되었지만, 지지플레이트(110)에 정렬핀들이 구비되고, 회전 몸체(120)에 정렬홈들이 구비될 수도 있다.
회전 구동부(130)는 회전 몸체(120)와 연결되며, 회전 몸체(120)를 회전축(122)을 기준으로 회전시킨다. 상기 패키지들이 수용홈들(112)에 각각 안착된 상태에서 회전 구동부(130)가 회전 몸체(120)를 180도 회전시키면 수용홈들(112)에 수용된 패키지들이 용이하게 반전될 수 있다.
진공 펌프(140)는 제1 진공 라인(142)을 통해 제1 진공 홈(124)과 연결되며, 제2 진공 라인(144)을 통해 제2 진공 홈(126)과 연결된다. 진공 펌프(140)는 제1 진공 라인(142)을 통해 제1 진공 홈(124)으로 지지플레이트(110)를 고정하기 위한 진공력을 제공하거나, 제2 진공 라인(144)을 통해 제2 진공 홈(126)으로 상기 패키지들을 고정하기 위한 진공력을 제공한다.
밸브 등을 이용하여 제1 진공 라인(142) 및 제2 진공 라인(144)을 선택적으로 개폐함으로써 상기 진공력을 제1 진공 홈(124) 및 제2 진공 홈(126)으로 동시에 제공하거나 선택적으로 제공할 수 있다. 예를 들면, 지지플레이트(110)를 회전 몸체(120)에 안정적으로 고정하기 위해 제1 진공 라인(142)을 개방하여 제1 진공 홈(124)으로 상기 진공력을 제공하고, 지지플레이트(110)를 교체하는 경우 제1 진공 라인(142)을 차단하여 제1 진공 홈(124)으로 상기 진공력이 제공되지 않도록 한다.
수용홈들(112)들에 안착된 상기 패키지들을 고정하기 위해 제2 진공 라인(144)을 개방하여 제2 진공 홈(126)으로 상기 진공력을 제공하고, 수용홈들(112)들에 상기 패키지들이 안착되기 이전 또는 상기 패키지들이 반전된 후 반전된 패키지들을 픽업하기 위해 제2 진공 라인(144)을 차단하여 제2 진공 홈(126)으로 상기 진공력이 제공되지 않도록 할 수 있다.
제1 진공 라인(142) 및 제2 진공 라인(144)은 회전축(122)을 관통하여 구비된다. 따라서, 제1 진공 홈(124) 및 제2 진공 홈(126)과 진공 펌프(140)를 별도의 부재 없이 단순하면서도 안정적으로 연결할 수 있다. 또한, 회전 몸체(120)가 반복적으로 회전하더라도 회전 몸체(120)의 회전으로 인해 제1 진공 라인(142) 및 제2 진공 라인(144)이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 리버스 유닛은 진공력을 이용하여 플레이트를 회전 몸체에 안정적으로 고정하며, 상기 진공력을 제공하거나 차단함으로써 상기 플레이트를 신속하고 용이하게 교체할 수 있다. 따라서, 패키지의 반전 공정의 신뢰성 및 상기 플레이트의 교체 편리성을 향상시킬 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 리버스 유닛 110 : 지지플레이트
120 : 회전 몸체 130 : 회전 구동부
140 : 진공 펌프

Claims (3)

  1. 개별화된 다수의 패키지들을 각각 수용하기 위한 다수의 수용홈들 및 상기 수용홈들의 저면을 각각 관통하는 관통홀들을 갖는 지지플레이트;
    회전축을 기준으로 회전 가능하도록 구비되며, 상부면 가장자리 부위에 상기 지지플레이트를 진공 흡착하기 위한 제1 진공 홈을 가지며, 상기 상부면 중앙 부위에 상기 관통홀들과 연결되며 상기 지지플레이트 상의 패키지들을 진공 흡착하기 위한 제2 진공 홈을 갖는 회전 몸체; 및
    상기 회전 몸체를 상기 회전축을 기준으로 회전시켜 상기 지지플레이트에 수용된 패키지들을 반전시키기 위한 회전 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 리버스 유닛.
  2. 제1항에 있어서, 상기 회전 몸체의 회전축을 관통하는 진공 라인을 통해 상기 제1 진공 홈 및 상기 제2 진공 홈으로 진공력을 제공하는 진공 펌프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 리버스 유닛.
  3. 제2항에 있어서, 상기 진공력을 상기 제1 진공 홈으로 제공하거나 차단하여 상기 패키지들의 종류와 크기에 따라 상기 지지플레이트를 교체하는 것을 특징으로 하는 리버스 유닛.
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