KR20160134311A - 이방 도전성 시트 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 이방 도전성 시트 및 전도성 파우더에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키는 이방 도전성 시트에 있어서, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되고 두께방향으로의 도전성을 나타내는 도전로 형성부로서, 상기 도전로 형성부는 탄성 절연물질 내에 다수의 전도성 파우더가 두께방향으로 배열되어 배치되는 도전로 형성부; 및 상기 각각의 도전로 형성부를 지지하면서 절연시키는 절연부를 포함하여 구성되되, 상기 전도성 파우더는, 3차원 그물형태의 망상구조로 이루어지되, 내외부를 연결하는 다수의 기공이 전도성 파우더에 마련되어 있어서 상기 도전로 형성부를 구성하는 탄성 절연물질은 상기 전도성 파우더의 기공을 채우면서 전도성 파우더의 외부와 일체적으로 연결되는 이방 도전성 시트를 포함한다.

Description

이방 도전성 시트{anisotropic conductive sheet}
본 발명은 이방 도전성 시트에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 빈번한 피검사 디바이스의 단자와의 접촉으로 인한 내구성 저하를 최소화할 수 있는 전도성 파우더를 가지는 이방 도전성 시트 및 그 제조방법에 대한 것이다.
일반적으로 이방 도전성 시트는, 제조된 피검사 디바이스의 불량여부를 판단하기 위한 검사과정에서 사용되는 것이다. 즉, 제조된 피검사 디바이스는 불량여부를 판단하기 위하여 소정의 전기적 검사를 수행하게 되는데, 이때 검사가 요구되는 피검사 디바이스와 검사를 위한 검사장치는 서로 직접 접촉되는 것이 아니라 이방 도전성 시트를 통하여 간접적으로 접속되게 된다. 그 이유는 검사를 위한 검사장치는 비교적 고가이기 때문에 빈번한 피검사 디바이스와의 접촉으로 인한 마모 또는 손상시 교체가 용이하지 않고 교체비용이 많이 들기 때문이다. 이에 따라 이방 도전성 시트는 검사장치의 상측에 교체가능하게 장착되고 상기 피검사 디바이스는 검사장치가 아닌 이방 도전성 시트와 접촉함으로서 상기 검사장치와 전기적으로 연결되게 된다. 따라서, 검사장치로부터 나오는 검사신호는 상기 이방 도전성 시트를 통하여 상기 피검사 디바이스로 전달되게 되는 것이다.
이러한 이방 도전성 시트는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 피검사 디바이스(140)와 검사장치(130)의 사이에 배치되어 피검사 디바이스(140)의 단자(141)와 검사장치(130)의 패드(131)를 서로 전기적으로 연결시키는 이방 도전성 시트에 있어서, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되고 두께방향으로의 도전성을 나타내는 도전로 형성부로서, 상기 도전로 형성부(110)는 탄성 절연물질 내에 다수의 전도성 파우더(111)가 두께방향으로 배열되어 배치되는 도전로 형성부(110); 및 상기 각각의 도전로 형성부(110)를 지지하면서 절연시키는 절연부(120)를 포함하여 구성된다. 이때, 상기 이방 도전성 시트(100)은 검사장치에 탑재된 상태에서 검사장치의 패드와 상기 도전로 형성부가 서로 접촉되어 있으며, 피검사 디바이스는 이방 도전성 시트의 도전로 형성부에 접촉될 수 있도록 구성된다.
인서트에 의하여 이동되어 오는 피검사용 디바이스는 상기 이방 도전성 시트의 도전로 형성부에 접촉됨으로서, 상기 이방 도전성 시트에 안착되고, 이후에 검사장치로부터 소정의 전기적인 신호가 인가되면 그 신호는 이방 도전성 시트를 거쳐서 피검사용 디바이스로 전달됨으로서 소정의 전기적인 검사가 수행된다.
한편, 이방 도전성 시트의 도전로 형성부는 절연물질 내부에 다수의 전도성 파우더가 배열되어 구성되는데, 이때 피검사 디바이스의 단자가 빈번하게 상기 도전로 형성부에 접촉된다. 이와 같이 피검사 디바이스의 단자가 빈번하게 도전로 형성부에 접촉되면 절연물질 내에 분포되어 있는 전도성 파우더는 쉽게 외부로 이탈될 수 있다. 특히, 전도성 파우더는 구형으로 이루어지게 되는데, 이와 같이 구형의 전도성 파우더는 쉽게 절연물질로부터 이탈되게 된다. 이와 같이 전도성 파우더가 이탈되는 경우에는 전체적인 도전성능을 저해하게 되고 이에 따라서 전체적인 검사의 신뢰성에 영향을 미치게 되는 단점이 있다.
또한, 금속소재로 이루어진 전도성 파우더는 속이 채워진 중실형태로 되어 있기 때문에 탄성이 거의 없어서 전도성 파우더와 접촉하는 단자, 패드 및 인접한 도전성 입자들까지 서로 파손되거나 손상되는 단점이 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 더욱 상세하게는 전도성 파우더가 도전로 형성부 내에 견고하게 유지되어 있으며 탄력성이 있는 이방 도전성 시트 및 전도성 파우더를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 이방 도전성 시트는, 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키는 이방 도전성 시트에 있어서,
상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되고 두께방향으로의 도전성을 나타내는 도전로 형성부로서, 상기 도전로 형성부는 탄성 절연물질 내에 다수의 전도성 파우더가 두께방향으로 배열되어 배치되는 도전로 형성부; 및
상기 각각의 도전로 형성부를 지지하면서 절연시키는 절연부를 포함하여 구성되되,
상기 전도성 파우더는,
3차원 그물형태의 망상구조로 이루어지되, 내외부를 연결하는 다수의 기공이 전도성 파우더에 마련되어 있어서 상기 도전로 형성부를 구성하는 탄성 절연물질은 상기 전도성 파우더의 기공을 채우면서 전도성 파우더의 외부와 일체적으로 연결된다.
상기 이방 도전성 시트에서, 상기 전도성 파우더는, 전체적으로 구형상으로 이루어질 수 있다.
상기 이방 도전성 시트에서, 상기 전도성 파우더는, 전체적으로 다각기둥, 원기둥, 계란형 중 어느 하나의 형상으로 이루어질 수 있다.
상기 이방 도전성 시트에서,
상기 전도성 파우더는 3차원 프린팅 공정에 의하여 제조될 수 있다.
상기 이방 도전성 시트에서,
상기 전도성 파우더는,
구리, 니켈, 코발트, 니켈-코발트, 금, 은, 팔라듐, 로듐 중 어느 하나 이상의 금속 소재가 합금, 도금 또는 나노코팅으로 이루어질 수 있다.
상기 이방 도전성 시트에서,
상기 전도성 파우더는,
합성수지, 탄산칼슘 또는 세라믹 소재로 이루어진 망상구조의 표면에, 구리, 니켈, 코발트, 니켈-코발트, 금, 은, 팔라듐, 로듐 중 어느 하나 이상의 금속소재가 도금 또는 나노코팅으로 코팅되어 있을 수 있다.
상기 이방 도전성 시트에서,
상기 전도성 파우더의 표면은 오목, 볼록부가 배열된 요철형태를 이룰 수 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 도전성 파우더는, 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키는 이방 도전성 시트에 사용되는 전도성 파우더에 있어서,
상기 이방 도전성 시트는, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되고 두께방향으로의 도전성을 나타내는 도전로 형성부로서, 상기 도전로 형성부는 탄성 절연물질 내에 다수의 전도성 파우더가 두께방향으로 배열되어 배치되는 도전로 형성부; 및 상기 각각의 도전로 형성부를 지지하면서 절연시키는 절연부를 포함하여 구성되되,
상기 전도성 파우더는, 3차원 그물형태의 망상구조로 이루어지되, 내외부를 연결하는 다수의 기공이 전도성 파우더에 마련되어 있어서 상기 도전로 형성부를 구성하는 탄성 절연물질은 상기 전도성 파우더의 기공을 채우면서 전도성 파우더의 외부와 일체적으로 연결될 수 있다.
본 발명에 따른 이방 도전성 시트에 의하면, 도전로 형성부 내에 배치된 전도성 파우더가 3차원 그물형태의 망상구조로 이루어져 있어 탄성 절연물질에 대하여 견고한 결합력을 유지하여 빈번한 반복적인 검사과정에서 전도성 파우더가 도전로 형성부로부터 이탈되지 않으며 이에 따라서 전체적인 이방 도전성 시트의 수명을 증대시킬 수 있는 장점이 있다.
또한, 전도성 파우더가 망상구조로 이루어져 있어서 그 내부에 다수의 기공이 형성되어 있는 바, 탄성력이 증대되어 단자, 패드 또는 인접한 전도성 파우더와 접촉되는 과정에서 단자, 패드 또는 인접한 전도성 파우더의 손상 내지 파손을 최소화할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 종래기술에 따른 이방 도전성 시트를 나타내는 도면.
도 2는 도 1의 작동도면.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 이방 도전성 시트를 나타내는 도면.
도 4는 도 3의 이방 도전성 시트에서 전도성 파우더의 일예를 나타내는 도면.
도 5는 도 3의 이방 도전성 시트를 이용하여 전기적 검사가 수행되는 모습을 나타내는 도면.
도 6 내지 도 10는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전도성 파우더를 나타내는 도면.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 이방 도전성 시트를 첨부된 도면을 참고하면서 상세하게 설명한다.
본 발명에 따른 이방 도전성 시트(10)는, 피검사 디바이스(40)와 검사장치(50) 사이에 배치되어 피검사 디바이스(40)의 단자(41)와 검사장치(50)의 패드(51)를 서로 전기적으로 연결시키는 것으로서, 도전로 형성부(20)와 절연부(30)를 포함하여 구성된다.
상기 도전로 형성부(20)는, 상기 피검사 디바이스(40)의 단자(41)와 대응되는 위치마다 다수개가 배치되는 것으로서, 두께방향으로 도전성을 나타내는 것이다. 이러한 도전로 형성부(20)는 탄성 절연물질 내에 다수의 전도성 파우더(21)가 두께방향으로 배열되어 배치된다.
이때, 탄성 절연물질은, 가교 구조를 갖는 고분자 물질이 바람직하다. 이러한 탄성 물질을 얻기 위해서 이용할 수 있는 경화성의 고분자 물질 형성 재료로서는, 여러가지 것을 사용할 수 있고, 그 구체예로서는, 폴리부타디엔 고무, 천연 고무, 폴리이소프렌 고무, 스티렌-부타디엔 공중합체 고무, 아크릴로니트릴-부타디엔 공중합체 고무 등의 공액 디엔계 고무 및 이들의 수소 첨가물, 스티렌-부타디엔-디엔 블록 공중합체 고무, 스티렌-이소프렌 블록 공중합체 등의 블록 공중합체 고무 및 이들 수소 첨가물, 클로로프렌 고무, 우레탄 고무, 폴리에스테르계 고무, 에피클로로히드린 고무, 실리콘 고무, 에틸렌-프로필렌 공중합체 고무, 에틸렌-프로필렌-디엔 공중합체 고무 등을 들 수 있다.
이상에 있어서, 얻어지는 도전로 형성부(20)에 내후성이 요구되는 경우에는, 공액 디엔계 고무 이외의 것을 이용하는 것이 바람직하고, 특히 성형 가공성 및 전기 특성 측면에서, 실리콘 고무를 이용하는 것이 바람직하다.
실리콘 고무로서는, 액상 실리콘 고무를 가교 또는 축합한 것이 바람직하다. 액상 실리콘 고무는, 그의 점도가 변형 속도 10-1초에서 105 푸아즈 이하인 것이 바람직하고, 축합형의 것, 부가형의 것, 비닐기나 히드록실기를 함유하는 것 등 중의 어느 것일 수도 있다. 구체적으로는, 디메틸 실리콘 생고무, 메틸비닐실리콘 생고무, 메틸페닐비닐 실리콘 생고무 등을 들 수 있다.
전도성 파우더(21)로서는, 자성을 나타내는 전도성 파우더(21)가 이용된다. 이러한 전도성 파우더(21)는 구리, 니켈, 코발트, 니켈-코발트, 금, 은, 팔라듐, 로듐 중 어느 하나 이상의 금속 소재가 합금, 도금 또는 나노코팅으로 이루어질 수 있다. 이 중에서는, 니켈 입자를 코어 입자로 하는 경우 이방 도전성 시트를 제작하는 과정에서 전자석에 의한 정렬이 용이하게 될 수 있게 된다. 한편, 니켈 입자를 코어로 하는 경우 그 표면에 도전성이 양호한 금의 도금을 실시한 것을 이용하는 것이 바람직하다.
이러한 전도성 파우더는 평균 입경이 3 내지 500 μm인 것이 바람직하다. 이때 전도성 파우더의 평균 입경이 3 μm 이상이면, 가압 변형이 용이하고, 저항값이 낮으며 접속 신뢰성이 높은 도전부 형성부(20)를 얻기 쉽다. 한편, 상기 평균 입경이 500 μm 이하이면, 미세한 도전로 형성부(20)를 용이하게 형성할 수 있고, 얻어지는 도전부 형성부(20)는 안정한 도전성을 갖는 것이 되기 쉽다.
이때, 전도성 파우더(21)는 3차원 그물형태의 망상구조로 이루어지되, 내외부를 연결하는 다수의 기공이 전도성 파우더에 마련되어 있게 된다. 구체적으로 다수의 기공은 전도성 파우더의 전체 범위에 걸쳐서 고르게 분포되어 있게 되는 것이다. 따라서, 도전로 형성부를 구성하는 탄성 절연물질은 상기 전도성 파우더의 기공을 채우면서 전도성 파우더의 외부와 일체적으로 연결되어 있게 된다.
즉, 전도성 파우더(21)는 탄성 절연물질과 일체화되어 결합됨에 따라서 확고하게 도전성 파우더(21) 내에 배치될 수 있게 된다. 전도성 파우더(21)의 형상으로는 전체적으로 구의 형상을 이루는 것이 바람직하며 기공의 형상은 비정형의 형태를 가지게 된다.
상기 절연부(30)는, 상기 각각의 도전로 형성부(20)를 지지하면서 도전로 형성부(20) 간에 전기가 흐르지 않도록 각각의 도전로 형성부(20)들을 절연시키는 것으로서, 상기 탄성 절연물질과 동일한 소재로 이루어질 수 있으며, 구체적으로는 실리콘 고무가 사용될 수 있다.
이러한 본 발명의 이방 도전성 시트(10)에서, 전도성 파우더(21)는 3차원 프린터를 이용하여 제조할 수 있다. 예를 들어 마이크로 단위의 물체까지 제조가 가능한 초정밀 3차원 프린터를 준비한 후에, 원하는 전도성 파우더의 형상을 3차원 프린터에 입력하여 필요한 도전성 파우더를 제작할 수 있다.
특히, 최근에 제조되는 3차원 프린터는 사용자가 원하는 정밀한 형상을 그대로 구현가능하므로 다양한 망상구조의 전도성 파우더(21)를 제작하는 것이 가능하다.
이러한 전도성 파우더를 3차원 프린터를 이용하여 제조한 후에는, 그 표면에 고도전성 금속을 표면도금하는 것이 가능하다. 이때 전도성 파우더에 고도전성 금속을 피복하는 방법으로는, 무전해 도금법, 전해 도금법, 나노입자 코팅 등을 사용할 수 있지만, 이들 방법으로 한정되는 것은 아니다.
이러한, 본 발명의 일 실시예에 따른 이방 도전성 시트(10)는, 다음과 같은 작용효과를 가진다.
먼저, 검사장치(50)에 이방 도전성 시트(10)를 안착시킨 후에, 도 4에 도시된 바와 같이 피검사용 디바이스(40)를 상기 이방 도전성 시트(10)에 안착시킨다. 이때, 상기 이방 도전성 시트(10)의 도전로 형성부(20)는 피검사용 디바이스(40)의 단자(41)에 의하여 눌림에 의하여 전기적으로 확실한 도통가능한 상태에 놓이게 된다. 이때, 검사장치(50)로부터 소정의 전기적인 신호를 인가됨에 따라서 상기 전기적인 신호는 도전로 형성부(20)를 통하여 피검사 디바이스(40)의 단자(41)로 전달되게 되고, 이에 따라서 소정의 검사가 수행될 수 있다.
이러한 본 발명의 이방 도전성 시트(10)는, 각각의 전도성 파우더(21)가 다수의 기공이 형성된 망상구조로 이루어지고 해당 기공(21a)에 도전로 형성부(20)를 구성하는 탄성 절연물질이 삽입되어 각각의 전도성 파우더(21)가 탄성 절연물질에 대하여 일체화되어 있음에 따라서 탄성 절연물질과 접촉하는 면적이 극대화될 수 있으며 빈번한 피검사 디바이스(40)의 단자와 도전로 형성부(20)가 접촉되는 경우에도 각각의 전도성 파우더(21)가 도전로 형성부(20)로부터 이탈되는 것이 거의 없게 된다. 이와 같이 전도성 파우더(21)가 그대로 도전로 형성부(20) 내에 유지될 수 있음에 따라서 장기간 사용하여도 도전로 형성부의 도전성이 저하되는 일이 없고 전체적인 검사의 신뢰성을 그대로 유지할 수 있다는 장점이 있게 된다.
또한, 본 발명의 이방 도전성 시트에서는 전도성 파우더가 금속소재로 중실되어 있는 것이 아니라 내부에 기공이 다수 형성되어 있는 상태에서 그 내부에 탄성 절연물질이 채워져 있기 때문에 탄성력이 극대화되는 장점이 있다. 특히, 전도성 파우더의 기공이 전체적으로 고르게 분포되어 있기 때문에 어느 방향에서 가해지는 가압력을 용이하게 흡수할 수 있는 장점이 있다. 이에 따라서 전도성 파우더가 어느 방향으로 놓여있던지 관계없이 여러 방향에서 가해지는 가압력을 충분하게 흡수할 수 있게 된다. 이러한 전도성 파우더의 탄성력으로 인하여 접촉되는 단자, 패드 또는 주변의 전도성 파우더의 파손을 방지할 수 있는 장점이 있다.
또한, 전도성 파우더가 탄성력을 가지고 있으므로 인하여, 피검사 디바이스가 도전로 형성부를 가압할 수 있는 전체적인 가압두께가 증가할 수 있는 장점이 있다. 즉, 도전로 형성부가 충분하게 압축됨으로 인하여 전체적인 스트로크를 증대시킬 수 있는 장점이 있다.
이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 이방 도전성 시트는 다음과 같이 변형되는 것도 가능하다.
먼저, 상술한 실시예에서는 전도성 파우더(21)의 직경에 대하여 대략 1/4 ~ 1/5 정도의 직경을 가지는 기공이 중첩되어 형성되는 것을 도시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 구형 전도성 파우더(22)에서 도 6에 도시된 바와 같이 직경에 대하여 대략 1/3 ~ 1/4 정도의 직경을 가지는 기공(22a)이 마련되어 있는 것도 가능하며, 도 7에 도시된 바와 같이 전도성 파우더(23)의 직경에 대하여 대략 1/6 ~ 1/7 정도의 직경을 가지는 기공(23a)이 다수 마련되는 것이 가능하다. 다만 이에 한정되는 것은 아니며 기공의 크기를 사용되는 소재 및 설계자의 필요에 따라서 다양한 크기로 변경가능하다.
또한, 상술한 실시예에서는 구형 전도성 파우더(21, 22, 23)를 예시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 도 8에 도시된 바와 같이 기둥형 전도성 파우더(24)를 망상구조로 형성하는 것도 가능하며 이외에 다각기둥 형태에서 망상구조를 구현하는 것이 가능함은 물론이다.
또한, 상술한 실시예에서는 구형 내지 기둥형 전도성 파우더를 예시하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 도 9 및 도 10에 개시된 바와 같이 계란형 전도성 파우더(25, 26)가 사용되는 것이 가능하다. 이러한 계란형 전도성 파우더에서 망상구조를 구현하는 것이 가능함은 물론이다.
한편, 상술한 실시예에서는 상기 전도성 파우더가 금속소재로 이루어지는 것을 예시하였으나, 합성수지, 탄산칼슘 또는 세라믹 소재로 이루어진 망상구조의 표면에, 구리, 니켈, 코발트, 니켈-코발트, 금, 은, 팔라듐, 로듐 중 어느 하나 이상의 금속소재가 도금 또는 나노코팅으로 코팅되어 있는 것도 가능하다.
또한, 전도성 파우더의 표면은 오목, 볼록부가 배열된 요철형태를 이루고 있는 것이 가능하다. 이 경우 피검사 디바이스의 단자와 접촉시 접촉압을 높여서 전기적으로 안정적인 접촉을 유지할 수 있는 장점이 있다.
이상에서 다양한 실시예를 들어 본 발명의 이방 도전성 시트를 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 본 발명의 권리범위로부터 합리적으로 해석될 수 있는 것이라면 무엇이나 본 발명의 권리범위에 속하는 것은 당연한다.
10...이방 도전성 시트 20...도전로 형성부
21...전도성 파우더 21a...관통공
30...절연부 40...피검사 디바이스
41...단자 50...검사장치
51...패드

Claims (8)

  1. 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키는 이방 도전성 시트에 있어서,
    상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되고 두께방향으로의 도전성을 나타내는 도전로 형성부로서, 상기 도전로 형성부는 탄성 절연물질 내에 다수의 전도성 파우더가 두께방향으로 배열되어 배치되는 도전로 형성부; 및
    상기 각각의 도전로 형성부를 지지하면서 절연시키는 절연부를 포함하여 구성되되,
    상기 전도성 파우더는,
    3차원 그물형태의 망상구조로 이루어지되, 내외부를 연결하는 다수의 기공이 전도성 파우더에 마련되어 있어서 상기 도전로 형성부를 구성하는 탄성 절연물질은 상기 전도성 파우더의 기공을 채우면서 전도성 파우더의 외부와 일체적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 전도성 파우더는, 전체적으로 구형상으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 전도성 파우더는, 전체적으로 다각기둥, 원기둥, 계란형 중 어느 하나의 형상으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 전도성 파우더는 3차원 프린팅 공정에 의하여 제조되는 것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 전도성 파우더는,
    구리, 니켈, 코발트, 니켈-코발트, 금, 은, 팔라듐, 로듐 중 어느 하나 이상의 금속 소재가 합금, 도금 또는 나노코팅으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 전도성 파우더는,
    합성수지, 탄산칼슘 또는 세라믹 소재로 이루어진 망상구조의 표면에, 구리, 니켈, 코발트, 니켈-코발트, 금, 은, 팔라듐, 로듐 중 어느 하나 이상의 금속소재가 도금 또는 나노코팅으로 코팅되어 있는 것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 전도성 파우더의 표면은 오목, 볼록부가 배열된 요철형태를 이루고 있는 것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.
  8. 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키는 이방 도전성 시트에 사용되는 전도성 파우더에 있어서,
    상기 이방 도전성 시트는, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되고 두께방향으로의 도전성을 나타내는 도전로 형성부로서, 상기 도전로 형성부는 탄성 절연물질 내에 다수의 전도성 파우더가 두께방향으로 배열되어 배치되는 도전로 형성부; 및 상기 각각의 도전로 형성부를 지지하면서 절연시키는 절연부를 포함하여 구성되되,
    상기 전도성 파우더는,
    3차원 그물형태의 망상구조로 이루어지되, 내외부를 연결하는 다수의 기공이 전도성 파우더에 마련되어 있어서 상기 도전로 형성부를 구성하는 탄성 절연물질은 상기 전도성 파우더의 기공을 채우면서 전도성 파우더의 외부와 일체적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 전도성 파우더.
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