KR20160117943A

KR20160117943A - 코일 부품

Info

Publication number: KR20160117943A
Application number: KR1020150046044A
Authority: KR
Inventors: 양주환; 임종봉
Original assignee: 삼성전기주식회사
Priority date: 2015-04-01
Filing date: 2015-04-01
Publication date: 2016-10-11
Also published as: CN106057430A; US20160293318A1

Abstract

본 발명은 코일 부품에 관한 것으로, 본 발명에 따른 코일 부품은 코일 나선의 중심부에 계단형 단차를 갖는 캐비티(cavity)가 구비된 절연층 및 상기 캐비티에 충진된 자성 복합체층을 포함하는 코어부재; 및 상기 절연층에 구비된 코일도체;를 포함함으로써, 상기 자성 복합체층의 충진 면적을 증가시켜 동일 투자율 조건하에서 인덕턴스(inductance)의 증가를 통해 공통 모드 임피던스(impedance)를 향상시킬 수 있다.

Description

코일 부품{COIL COMPONENT}

본 발명은 코일 부품에 관한 것이다.

최근 휴대전화, PC, PDA, LCD, 네비게이션 등과 같은 전자기기가 소형화, 박형화 및 고성능화되고 있다. 이러한 전자기기들은 외부로부터의 자극에 민감하여 외부로부터 작은 이상 전압과 고주파 노이즈(Noise)가 전자기기의 내부 회로에 유입될 경우 회로가 파손되거나 신호가 왜곡되는 현상이 발생하고 있다.

이러한 이상 전압과 노이즈의 원인으로는 회로 내에서 발생하는 스위칭 전압, 전원 전압에 포함된 전원 노이즈, 불필요한 전자기 신호 또는 전자기 잡음 등이 있으며, 이러한 이상 전압과 고주파 노이즈가 회로로 유입되는 것을 방지하기 위한 수단으로서 코일 부품이 널리 사용되고 있다.

상기 코일 부품 중의 하나인 공통 모드 필터(Common Mode Filter: CMF)는 각종 전자기기에서 공통 모드 노이즈를 제거하기 위하여 널리 사용되고 있는 전자부품이다.

최근 전자기기들의 소형화, 박형화 및 고성능화 추세에 따라, 노이즈 제거 성능을 향상시키면서도 소형화 및 박형화가 가능한 공통 모드 필터에 대한 연구가 지속되고 있다.

일본공개특허공보 제2014-107435호

본 발명의 목적은 특성 향상이 가능한 신규한 구조의 코일 부품을 제공하는 데 있다.

본 발명은 코일 나선의 중심부에 계단형 단차를 갖는 캐비티(cavity)가 구비된 절연층 및 상기 캐비티에 충진된 자성 복합체층을 포함하는 코어부재; 및 상기 절연층에 구비된 코일도체;를 포함하는 코일 부품이 제공됨에 의해서 달성될 수 있다.

이때, 상기 절연층은 네거티브 포토레지스트(Negative Photoresist) 물질로 형성되거나 노광에 의해 경화되는 물질로 형성될 수 있다.

상기 캐비티는 하부에서 상부로 갈수록 폭이 넓어진다.

상기 캐비티는 복수의 측벽부 및 서로 인접한 상기 측벽부를 사이에 두고 배치된 단차부로 구성되고, 상기 측벽부는 90°이하의 경사도를 가질 수 있다.

상기 절연층은 복수층으로 형성되고, 상기 캐비티의 측벽부는 상기 절연층의 각 층에 형성될 수 있다.

본 발명에 따른 코일 부품은 코일 나선의 중심부에 대응되는 절연층에 계단형 단차를 갖는 캐비티를 구비하여 이 캐비티에 충진되는 자성 복합체층의 충진 면적을 증가시킴으로써, 동일 투자율 조건하에서 인덕턴스(inductance)의 증가를 통해 공통 모드 임피던스(impedance)를 향상시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 코일 부품의 사시도이다.
도 2는 도 1을 선 I-I'로 절취한 확대 단면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 코일 부품의 단면도이다.
도 4 내지 도 13은 도 1의 코일 부품의 제조방법이 도시된 공정도로서,
도 4는 하부 커버부재 상에 제1 절연층이 도포된 단면도이고,
도 5는 마스크 정렬 및 노광된 제1 절연층의 단면도이고,
도 6은 현상 후 제1 캐비티가 형성된 제1 절연층의 단면도이고,
도 7은 제1 절연층 상에 1차 코일이 형성된 단면도이고,
도 8은 마스크 정렬 및 노광된 제2 절연층의 단면도이고,
도 9는 현상 후 제2 캐비티가 형성된 제2 절연층의 단면도이고,
도 10은 계단형 단차를 갖는 캐비티가 구비된 절연층 및 절연층에 매립된 코일도체의 단면도이고,
도 11은 절연층의 캐비티 내에 자성 복합체층이 형성된 단면도이고,
도 12는 자성 복합체층 상에 상부 커버부재가 형성된 단면도이고,
도 13은 외부단자가 형성된 단면도이다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 기술 등은 첨부되는 도면들과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있다. 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 함과 더불어, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공될 수 있다.

한편, 본 명세서에서 사용된 용어들은 실시예를 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprise)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.

부가적으로, 각 도면에 걸쳐 표시된 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭하며, 본 발명의 설명된 실시예의 논의를 불필요하게 불명료하도록 하는 것을 피하기 위해 공지된 특징 및 기술의 상세한 설명은 생략될 수 있다. 본 명세서에서 제1, 제2 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위해 사용되는 것으로서, 구성요소가 상기 용어들에 의해 제한되는 것은 아니다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 코일 부품에 관하여 상세히 설명하기로 한다.

본 실시예에서, 코일 부품(100)은 박막(thin film)형 공통 모드 필터(Common Mode Filter: CMF)를 일례로 하여 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 코일 부품의 사시도이고, 도 2는 도 1을 선 I-I'로 절취한 확대 단면도이며, 도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 코일 부품의 단면도이다.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 코일 부품(100)은 코어부재(110), 코일도체(120), 커버부재(130) 및 외부단자(140)를 포함한다.

코어부재(110)는 절연층(111) 및 자성 복합체층(115)을 포함한다.

절연층(111)은 코일도체(120)들 간의 절연을 확보하고, 외부 환경으로부터 코일도체(120)를 보호하는 기능을 한다.

구체적으로, 절연층(111)은 적어도 3층 이상의 복수층으로 형성되며, 도 2에서는 제1 내지 제5 절연층(111a, 111b, 111c, 111d, 111e)으로 구성된 5층의 절연층(111)을 도시하였다.

그러나, 절연층(111)의 층수는 코일도체(120)의 층수에 따라 변경되며, 이때, 코일도체(120)의 층수가 n층이면, 절연층(111)의 층수는 n+1층일 수 있다(여기서, n은 1 이상의 정수).

이러한 절연층(111)은 코일 나선의 중심부에 자성 복합체층(115)을 형성하기 위한 캐비티(cavity, 113)를 포함한다.

본 실시예에서, 캐비티(113)는 적어도 3개 이상의 측벽부(113a)와 적어도 2개 이상의 단차부(113b)로 구성될 수 있으며, 하부에서 상부로 갈수록 점진적으로 폭이 넓어지는 계단형의 단차를 가진다. 이는 캐비티(113)의 면적을 넓혀 자성 복합체층(115)의 충진 면적을 증가시키기 위함이다.

여기서, 캐비티(113)의 측벽부(113a)는 절연층(111)의 각 층에 형성되며, 캐비티(113)의 단차부(113b)는 서로 인접한 측벽부(113a)들을 사이에 두고 절연층(111)들 간의 계면에 형성된다.

또한, 캐비티(113)의 측벽부(113a)는 90°이하, 바람직하게 약 60°내지 90°의 경사도(degree of slope)를 가질 수 있다. 이 경우, 자성 복합체층(115)의 충진율 향상 관점에서, 측벽부(113a)는 급경사에 비해 완경사를 갖는 것이 캐비티(113)의 면적을 넓힐 수 있기 때문에 보다 바람직하다.

상기한 측벽부(113a)의 경사도 범위는 절연층(111)의 재질이나 현상(develope) 후 포스트 베이크(post bake) 등의 공정변수에 따라 제어 가능하며, 현 시점에서는 60°미만의 경사도를 구현하는데 공정적 한계가 있다.

또한, 절연층(111)은 노광 시에 경화되는 물질, 예컨대 네거티브 포토레지스트(Negative Photoresist)로 형성될 수 있다.

여기서, 네거티브 포토레지스트란 빛이 조사된 부분이 광반응이 일어나 현상액에 불용성이 되는 레지스트를 말한다.

이러한 네거티브 포토레지스트는 제막 후 열처리를 통한 경화(Curing) 시 내부의 용매(solvent)가 휘발하는 특성으로 인해 현상 후 완경사를 이루는 특성을 가진다.

자성 복합체층(115)은 절연층(111)의 캐비티(113) 내부에 충진된다.

코일 부품(100)에 전류 인가 시, 코일 나선의 중심부에서 자기장의 방향은 절연층(111)의 상면에 대해 수직한 방향으로 형성된다. 이에 따라, 자성 복합체층(115)은 전류 인가 시 코일도체(120)에서 발생하는 자속이 통과하는 통로로서 기능한다.

박막형 공통 모드 필터 제작 시, 코일 나선의 중심부를 투자율이 높은 자성재료로 채우게 되면 인덕턴스(inductance)가 증가하게 되어, 공통 모드 필터의 공통 모드 임피던스(impedance)가 향상된다.

자성 복합체층(115)은 고분자 수지에 자성분말이 혼합된 자성수지 복합재로 형성될 수 있다. 여기서, 자성분말은 고투자율 확보가 가능한 Fe₂O₃ 및 NiO를 주성분으로 하는 Ni계 페라이트 재료, Fe₂O₃, NiO 및 ZnO를 주성분으로 하는 Ni-Zn계 페라이트 재료, 또는 Fe₂O₃, NiO, ZnO 및 CuO를 주성분으로 하는 Ni-Zn-Cu계 페라이트 재료 등을 들 수 있다.

상기 자성분말은 전술한 재료 외에 소정의 인덕턴스를 얻을 수 있는 자성 재료이면 제한 없이 채용 가능하며, 예컨대 Fe, Fe-Ni계 합금, Fe-Si계 합금, Fe-Si-Al계 합금, Fe-Cr-Si계 합금 등이 사용될 수 있다.

한편, 투자율이 일정할 경우, 공통 모드 필터의 인덕턴스를 향상시키는 방법은 자성재료의 충진 면적을 넓히는 것이다. 이는 자속밀도(Magnetic Flux Density)가 재료에 따라 고유한 값을 가질 때, 해당 자성재료에 수직하게 지나가는 자기력선속(Magnetic Flux)은 자성재료의 면적에 비례하기 때문이다.

이러한 원리에 따라, 본 실시예의 코일 부품(100)은 계단형의 단차를 갖는 캐비티(113)에 자성 복합체층(115)을 충진시켜 상대적으로 자성 복합체층(115)의 충진 면적을 증가시킴으로써, 동일 투자율 조건 하에서 인덕턴스를 향상시킬 수 있다.

이러한 구성을 갖는 자성 복합체층(115)은 자성분말과 고분자 수지를 유기용제에 함유하는 자성 페이스트가 제조된 후, 이 자성 페이스트가 절연층(111)의 캐비티(113) 내에 도포되어 충진되고, 이어서 도포된 자성 페이스트막이 경화되는 과정을 거쳐 제조될 수 있다.

코일도체(120)는 나선(spiral) 형태로 주회하는 코일 패턴의 금속 배선으로, 예컨대 전기전도성이 우수한 은(Ag), 팔라듐(Pd), 알루미늄(Al), 니켈(Ni), 티타늄(Ti), 금(Au), 구리(Cu) 및 백금(Pt) 중에서 선택되는 적어도 1 종 이상의 금속으로 형성될 수 있다.

코일도체(120)는 절연층(111)의 내부에 매립되는 구조로 형성되며, 최하층에 배치되는 절연층(111a)을 제외하고 각각의 절연층(111b, 111c, 111d, 111e) 내에 구비될 수 있다.

이러한 코일도체(120)는 1차 코일(121)과 2차 코일(123)로 구성된다. 도 2에 도시된 바와 같이, 1차 코일(121)과 2차 코일(123)은 교호로 각 층에 배치될 수 있다. 이 경우, 1차 코일(121) 및 2차 코일(123)의 하면은 1차 코일(121) 또는 2차 코일(123)이 구비되는 각 절연층(111b, 111c, 111d, 111e)의 하면과 동일 평면 상에 배치된다.

서로 상이한 평면 상에 형성된 1차 코일(121)들은 제1 비아(미도시)를 통해 서로 전기적으로 연결되고, 서로 상이한 평면 상에 형성된 2차 코일(123)들은 제2 비아(미도시)를 통해 서로 전기적으로 연결될 수 있다.

또한, 1차 코일(121)과 2차 코일(123)의 일단부는 코어부재(110)의 측면까지 연장되어 끝단이 외부로 노출되고, 끝단의 노출부는 코어부재(110)와 커버부재(130)의 적층으로 이루어지는 몸체 측면에 형성된 4개의 외부단자(140)와 전기적으로 접속된다. 이러한 연결 구조를 통해 외부로부터 제공되는 전류는 외부단자(140)를 거쳐 코일도체(120)로 인가된다.

여기서, 4개의 외부단자(140) 중, 1차 코일(121)의 입력단과 출력단으로서 기능하는 한 쌍의 외부단자(140)는 몸체의 일측면과 타측면에 각각 구비되어 대향 배치되고, 2차 코일(123)의 입력단과 출력단으로서 기능하는 다른 한 쌍의 외부단자(140) 역시 이와 같은 구조로 배치될 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 설계에 따라 자유롭게 변경 가능하다.

근접하여 배치된 1차 코일(121)과 2차 코일(123)은 서로 전자기적으로 결합하며, 따라서 본 실시예의 코일 부품(100)은 1차 코일(121)과 2차 코일(123)에 같은 방향의 전류가 인가되면 자속이 서로 보강하여 공통 모드 임피던스가 증가하고, 반대 방향의 전류가 흐르면 자속이 서로 상쇄되어 디퍼런셜 모드 임피던스가 감소하는 공통 모드 필터(CMF)로서 동작한다.

한편, 도 2에서는 서로 상이한 평면 상에 배치된 1차 코일(121)과 2차 코일(123)을 도시하였으나, 이와는 달리 도 3에 도시된 바와 같이, 코일도체(120)는 1차 코일(121)과 2차 코일(123)이 한 층, 즉 동일 평면 상에 교호로 배치되는 통상의 동시 코일 구조로 형성될 수도 있음은 물론이다.

1차 코일(121) 및 2차 코일(123) 각각은 아래의 코일 부품 제조방법에서 더 구체적으로 설명되겠지만, 도금(plating) 공정에 의한 도금패턴으로 형성될 수 있으며, 이는 칩의 박막화 관점에서 유리하다.

또한, 복수층의 절연층(111)과 복수층의 코일도체(120)는 절연층 형성 공정과 코일 형성 공정을 수회 반복 실시하는 공정을 통해 형성될 수 있다.

커버부재(130)는 코일도체(120)를 매립하고 있는 절연층(111)의 양면 상에 형성되며, 코일 부품(100)의 최외각부에 배치되어 코어 부재(110) 및 코일도체(120)와 함께 몸체로 구성된다.

커버부재(130)는 코어부재(110)의 상부에 배치되는 상부 커버부재(130a)와 코어부재(110)의 하부에 배치되는 하부 커버부재(130b)로 구성된다.

커버부재(130)는 자성 복합체층(115)과 마찬가지로 고분자 수지에 자성분말이 혼합된 자성수지 복합재로 형성될 수 있다. 이 경우, 커버부재(130)는 자성 복합체층(115)과 함께 자속의 이동 통로로서 기능한다.

즉, 전류 인가시 발생하는 자속은 코일 부품(100)의 상부와 하부에서는 커버부재(130)를 경유하고, 코일 부품(100)의 중심부에서는 자성 복합체층(115)을 경유하여 폐자로를 형성한다. 이에 따라, 커버부재(130)에 의해 자속 누설을 억제하여 코일도체(120)의 전기적 특성이 저하되는 것을 방지한다.

한편, 커버부재(130)가 자성 복합체층(115)과 동일한 자성분말의 함량비를 갖는 자성수지 복합재로 이루어질 경우에는 소자 특성의 방향성을 개선시킬 수 있다.

이와 같은 구성을 갖는 본 실시예의 코일 부품(100)은 코일 나선의 중심부에 대응되는 절연층(111)에 계단형 단차를 갖는 캐비티(113)를 구비하여 자성 복합체층(115)의 충진 면적을 증가시킴으로써, 동일 투자율 조건하에서 인덕턴스의 증가를 통해 공통 모드 임피던스가 향상된다.

이와 같이 구성된 본 실시예의 코일 부품에 대한 제조방법을 살펴보면 다음과 같다. 이때, 도 1, 2와 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 도면 부호를 부여하고, 동일한 구성요소에 대하여 중복되는 설명은 생략하고, 차이점에 대해서만 설명하기로 한다.

도 4 내지 도 13은 도 1의 코일 부품의 제조방법이 도시된 공정도이다.

도 4에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 코일 부품 제조방법은 먼저, 준비된 하부 커버부재(130b) 상에, 노광 시 경화되는 물질 중의 하나인 네거티브 포토레지스트를 도포하여 제1 절연층(111a')을 형성한다.

다음, 도 5에 도시된 바와 같이, 제1 절연층(111a') 상에 차단부(510) 및 투과부(520)를 구비한 마스크(mask, 500)를 정렬시킨 후 자외선(UV) 등을 조사하여 노광(exposure)을 실시한다.

여기서, 마스크(500)의 차단부(510)는 빛을 차단시키고, 투과부(520)는 빛을 투과시킨다. 따라서, 차단부(510)는 제1 절연층(111a')의 캐비티 형성 예정 영역에 대응되고, 투과부(520)는 제1 절연층(111a')의 캐비티 형성 예정 영역을 제외한 나머지 영역에 대응되도록 차단부(510)를 둘러싸고 있다.

이로써, 노광에 의해 마스크(500)의 차단부(510)에 대응되는 제1 절연층(111a')은 비노광부(A)로 변경되고, 마스크(500)의 투과부(520)에 대응되는 제1 절연층(111a')은 노광부(B)로 변경된다.

이때, 노광부(B)는 광경화되고, 비노광부(A)는 광경화되지 않은 미경화 상태가 된다. 마스크(500)는 노광 후 제거된다.

다음, 도 6에 도시된 바와 같이, 노광된 제1 절연층(도 5의 111a' 참조)을 현상(develope)한다.

현상 시, 도 5의 노광부(B)는 현상액에 불용성이기 때문에 잔류되고, 비노광부(A)가 현상액에 의해 제거되면서, 비노광부(A)에 대응되는 영역에 제1 캐비티(113')를 포함하는 제1 절연층(111a)이 형성된다.

이때, 제1 캐비티(113')의 측벽부(113a)는 약 60°내지 90°의 경사도를 갖으며, 바람직하게는 완경사를 갖는다. 이는 도 5의 제1 절연층(110a')을 구성하는 네거티브 포토레지스트가 제막 후 열처리를 통한 경화 시 내부의 용매가 휘발하는 특성으로 인해 완경사를 갖는 것에 기인한다.

다음, 도 7에 도시된 바와 같이, 제1 캐비티(113')를 포함한 제1 절연층(111a) 상에 1차 코일(121)을 형성한다.

1차 코일(121)은 통상의 도금(plating) 공정을 이용하여 나선형의 도금패턴으로 형성할 수 있다.

이때, 1차 코일(121)은 일단부를 외부단자가 형성될 제1 절연층(111a)의 일측면까지 연장하여 끝단을 외부로 노출시킨다.

다음, 도 8에 도시된 바와 같이, 1차 코일(121)을 덮도록 제1 절연층(111a) 상에 제2 절연층(111b')을 형성하고, 제2 절연층(111b') 상에 차단부(810) 및 투과부(820)를 구비한 마스크(800)를 정렬시킨 후 자외선(UV) 등을 조사하여 노광을 실시한다.

마스크(800)의 구성은 차단부(810)의 면적이 도 5의 차단부(510)에 비해 넓은 것을 제외하고, 나머지 구성은 전술된 마스크(500)의 구성과 동일하다.

이로써, 노광에 의해 마스크(800)의 차단부(810)에 대응되는 제2 절연층(111b')은 비노광부(A)로 변경되고, 마스크(800)의 투과부(820)에 대응되는 제2 절연층(111b')은 노광부(B)로 변경된다.

이때, 노광부(B)는 광경화되고, 비노광부(A)는 광경화되지 않은 미경화 상태가 된다. 마스크(800)는 노광 후 제거된다.

다음, 도 9에 도시된 바와 같이, 노광된 제2 절연층(도 8의 111b' 참조)을 현상(develope)한다.

현상 시, 도 8의 노광부(B)는 현상액에 불용성이기 때문에 잔류되고, 비노광부(A)가 현상액에 의해 제거되면서, 비노광부(A)에 대응되는 영역에 제1 캐비티(113')보다 면적이 큰 제2 캐비티(113")를 포함하는 제2 절연층(111b)이 형성된다.

이때, 제2 캐비티(113")의 측벽부(113a)는 약 60° 내지 90°의 경사도를 갖으며, 이는 전술한 제1 캐비티(113')에 적용된 원리와 동일하다.

다음, 전술한 절연층 형성 공정 및 코일 형성 공정을 수회 반복 실시하여 도 10에 도시된 바와 같이, 복수의 측벽부(113a)와 복수의 단차부(113b)로 구성된 계단형 단차를 갖는 캐비티(113)가 구비된 절연층(111), 및 절연층(111)에 매립된 1차 코일(121)과 2차 코일(123)로 구성된 코일도체(120)를 형성한다. 그 결과, 캐비티(113)는 하부에서 상부로 갈수록 점진적으로 폭이 넓어지는 계단형의 단차를 가진다.

이 과정에서, 1차 코일(121)과 2차 코일(123)의 일단부는 4개의 외부단자가 형성될 몸체 측면에 대응되는 각 절연층(111)의 일측면 또는 타측면까지 연장하여 그 끝단을 외부로 노출시킨다.

한편, 도면으로 도시하지는 않았으나, 절연층(111)의 각 층에 캐비티를 형성할 때, 필요 시 서로 상이한 평면 상에 형성된 1차 코일(121)들을 전기적으로 연결시키기 위한 제1 비아용 제1 비아홀 또는 서로 상이한 평면 상에 형성된 2차 코일(123)들을 전기적으로 연결시키기 위한 제2 비아용 제2 비아홀을 형성하는 공정을 동시에 실시할 수 있다.

캐비티 형성과 비아 형성을 동시에 진행하는데 사용되는 캐비티 및 비아용 마스크는 비아 형성 예정에 대응되는 비아용 차단부가 추가로 구성되며, 이를 통해 노광 및 현상에 의해 캐비티와 비아의 동시 형성이 가능하다. 이러한 캐비티와 비아홀의 동시 공정은 상대적으로 마스크 수나 공정수를 저감할 수 있다.

또한, 제1 비아 및 제2 비아는 제1 비아홀 및 제2 비아홀 각각에 전도성 재질을 도금으로 충진하여 형성할 수 있다.

다음, 도 11에 도시된 바와 같이, 절연층(111)의 캐비티(113) 내에 자성 복합체층(115)을 충진하여 코어부재(110)를 완성한다.

자성 복합체층(115)은 자성분말과 고분자 수지를 유기용제에 함유하는 자성 페이스트를 제조한 후, 이 자성 페이스트를 절연층(111)의 캐비티(113) 내에 도포하여 충진한 다음 경화시켜 형성할 수 있다.

다음, 도 12에 도시된 바와 같이, 자성 복합체층(115) 및 절연층(111) 상에 상부 커버부재(130a)를 적층한다. 이로써, 코어 부재(110), 코일도체(120) 및 커버부재(130)로 구성된 몸체가 완성된다.

다음, 도 13에 도시된 바와 같이, 몸체 측면에 노출된 코일도체(120)의 일단부와 대응되는 위치에 4개의 외부단자(140)를 형성하여 코일 부품(100)을 완성한다.

이와 같은 구성과 제조방법으로 제작되는 본 실시예의 코일 부품(100)은 박형화와 동시에 동일 투자율 조건하에서 인덕턴스 증가를 통해 공통 모드 임피던스를 향상시킬 수 있다.

또한, 각 절연층에 캐비티 형성 시 비아홀의 동시 형성이 가능하기 때문에, 상대적으로 마스크 수나 공정수 저감을 통해 제조원가 절감뿐만 아니라 공정수율을 향상시킬 수 있다.

이상에서 설명한 본 발명의 바람직한 실시예들은 예시의 목적을 위해 개시된 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러가지 치환, 변형 및 변경이 가능할 것이나, 이러한 치환, 변경 등은 이하의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.

100 : 코일 부품 110 : 코어부재
111 : 절연층 113 : 캐비티
113a : 측벽부 113b : 단차부
115 : 자성 복합체층 120 : 코일도체
121 : 1차 코일 123 : 2차 코일
130 : 커버부재 130a : 상부 커버부재
130b : 하부 커버부재 140 : 외부단자

Claims

코일 나선의 중심부에 계단형 단차를 갖는 캐비티(cavity)가 구비된 절연층 및 상기 캐비티에 충진된 자성 복합체층을 포함하는 코어부재; 및
상기 절연층에 구비된 코일도체;를 포함하는 코일 부품.
제1항에 있어서,
상기 절연층은
네거티브 포토레지스트(Negative Photoresist) 물질로 형성되는 코일 부품.
제1항에 있어서,
상기 절연층은
노광에 의해 경화되는 물질로 형성되는 코일 부품.
제1항에 있어서,
상기 캐비티는
하부에서 상부로 갈수록 폭이 넓어지는 코일 부품.
제1항에 있어서,
상기 캐비티는
복수의 측벽부 및 서로 인접한 상기 측벽부를 사이에 두고 배치된 단차부로 구성되고,
상기 측벽부는 90° 이하의 경사도를 갖는 코일 부품.
제5항에 있어서,
상기 절연층은 복수층으로 형성되고,
상기 캐비티의 측벽부는 상기 절연층의 각 층에 형성되는 코일 부품.
제1항에 있어서,
상기 코일도체는
전자기적 결합을 이루는 1차 코일과 2차 코일로 구성되는 코일 부품.
제7항에 있어서,
상기 1차 코일과 상기 2차 코일은
서로 상이한 평면 상에 형성되는 코일 부품.
제7항에 있어서,
상기 1차 코일과 상기 2차 코일은
동일 평면 상에 형성되는 코일 부품.
제1항에 있어서,
상기 코일도체는 도금패턴으로 형성되는 코일 부품.
제7항에 있어서,
상기 코일 부품은
상기 절연층 내에 상기 1차 코일들을 연결하는 제1 비아와 상기 2차 코일들을 연결하는 제2 비아를 더 포함하는 코일 부품.
제1항에 있어서,
상기 코일 부품은
상기 코어부재의 양면 상에 형성된 커버부재를 더 포함하는 코일 부품.
제1항에 있어서,
상기 코일 부품은
상기 코어부재의 측면 상에 형성되되, 상기 코일도체와 전기적으로 연결되는 4개의 외부단자를 더 포함하는 코일 부품.