KR20160091067A - 트레이의 인출이 용이한 스태커 - Google Patents

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KR20160091067A
KR20160091067A KR1020150011258A KR20150011258A KR20160091067A KR 20160091067 A KR20160091067 A KR 20160091067A KR 1020150011258 A KR1020150011258 A KR 1020150011258A KR 20150011258 A KR20150011258 A KR 20150011258A KR 20160091067 A KR20160091067 A KR 20160091067A
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Abstract

본 발명은 트레이를 안전하게 인출할 수 있도록 하는 트레이의 인출이 용이한 스태커에 관한 것으로, 적재부의 상부로 이동된 이동부가 적재부와 지지판 사이로 원위치된 경우, 적재부를 자동으로 선반 외부로 약간 인출시켜서, 선반의 외부에 위치된 작업자가 적재부의 상부로 이동된 이동부가 적재부와 지지판 사이로 원위치되었음을 확실하게 인지할 수 있게 되며, 이에 따라 작업자가 트레이의 적재부를 안전하게 선반 외부로 슬라이딩 인출시킬 수 있게 되는 효과가 있다.

Description

트레이의 인출이 용이한 스태커{STACKER FOR WITHDRAWING TRAY}
본 발명은 트레이의 인출이 용이한 스태커에 관한 것으로, 보다 상세하게는 작업자가 이동부의 현재 위치를 용이하게 인지할 수 있도록 하여 트레이를 안전하게 인출할 수 있도록 하는 트레이의 인출이 용이한 스태커에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 등 다양한 산업분야에서 사용되는 인쇄회로기판(Printed Circuit Board, PCB) 등의 기판은 다수의 제조 공정을 거쳐 완성된다. 이러한 일련의 공정에 있어서, 기판의 효율적인 공급을 위하여, 선반 내부에 스태커(Stacker)를 구비하고, 스태커에 기판을 공급하여, 스태커가 기판을 선반 내부의 상부 또는 하부로 이송시키도록 구성된다.
도 1은 종래 스태커가 구비된 선반을 도시한 도면이고, 도 2a는 종래 스태커의 이동부가 하강된 상태를 도시한 도면이며, 도 2b는 종래 스태커의 이동부가 승강된 상태를 도시한 도면이다.
도 1, 도 2a 및 도 2b를 참조하면, 선반(1)은 내부에 공간을 구비하고 있으며, 일측에 하나 또는 복수 개의 스태커(5)가 삽입되도록 삽입구(1a)를 구비하고 있다. 스태커(5)는 삽입구(1a)를 통하여 선반(1) 내부로 슬라이딩 인입되거나 선반(1) 외부로 슬라이딩 인출되며 기판(B)이 적재되는 트레이(10)와, 선반(1) 내부에 위치된 트레이(10)가 슬라이딩되도록 지지하는 지지부(20)와, 트레이(10)에 적재된 기판(B)을 선반(1)의 상부로 이송시키는 리프트(30)를 포함한다.
트레이(10)는 다수 개의 기판(B)이 적재되도록 일정 면적을 갖도록 형성되며 선반(1) 내부로 슬라이딩 인입되거나 선반(1) 외부로 슬라이딩 인출되는 적재부(12)와, 적재부(12)가 선반(1) 내부로 인입되었을 때 삽입구(1a)를 커버하도록 적재부(12)에 장착되는 도어부(14)를 갖는다. 그리고 적재부(12)의 중앙에는 후술하는 이동부(32)가 관통되도록 관통홀(12a)이 형성되고, 도어부(14)에는 선반(1)의 외부로 노출되도록 손잡이부(14a)가 형성된다.
지지부(20)는 적재부(12)의 하부에 이격 위치되는 지지판(22)과, 지지판(22)의 양측에서 적재부(12)의 길이방향 양측 방향으로 형성되어, 적재부(12)의 앙측이 슬라이딩 이동되도록 안내하는 슬라이딩부(24)와, 지지판(22)의 하면에서 그 하부로 연장 형성되어 선반(1)에 지지되는 지지프레임(26)을 포함한다.
리프트(30)는 적재부(12)의 관통홀(12a)에 삽입되도록 관통홀(12a)보다 작은 면적을 갖는 이동부(32)와, 일측은 이동부(32)에 고정되고 타측은 적재부(12)의 관통홀(12a)과 지지판(22)을 관통하여 지지프레임(26)과 연결되는 리프팅프레임(34)을 포함한다. 그리고 리프팅프레임(34)은 지지프레임(26)에 가이드되면서 상하 이동되어 이동부(32)를 상하 이동시킨다.
그리고 리프팅프레임(34)이 하부로 이동되어 이동부(32)가 트레이(10)의 적재부(12)의 관통홀(12a)을 관통하여 적재부(12)와 지지판(22) 사이에 위치되면, 트레이(10)가 지지부(20)의 슬라이딩부(24)에 가이드되면서 선반(1)의 외부로 인출되고, 이 상태에서 도 2a와 같이, 트레이(10)의 적재부(12)에 기판(B)이 적재된다. 이때, 기판(B)은 트레이(10)의 적재부(12)의 관통홀(12a)보다 큰 면적을 갖도록 형성되어, 기판(B)은 적재부(12)의 테두리에 지지된다.
그 후, 트레이(10)가 선반(1)의 내부로 인입되면, 리프트(30)의 리프팅프레임(34)이 상승되면서 적재부(12)와 지지판(22) 사이에 위치되었던 이동부(32)를 적재부(12)의 상부로 이동시킨다. 이때, 적재부(12)에 적재된 기판(B)은 도2b와 같이, 이동부(32)에 지지된 상태로 이동부(32)를 따라 선반(1) 내부의 상부로 이동된다. 그리고 이동부(32)가 선반(1) 내부의 상부로 이동되면, 선반(1) 내부의 상부에 위치된 이송장치(미도시)가 기판(B)을 다음 공정으로 이송시킨다.
그리고 상기 이송장치가 이동부(32)에 지지된 기판(B)을 모두 이송시키면, 리프트(30)의 리프팅프레임(34)이 하강되어 이동부(32)가 적재부(12)를 지나 적재부(12)와 지지판(22) 사이로 원위치 되며, 이때, 이동부(32)가 적재부(12)와 지지판(22) 사이에 위치되었음을 외부로 알리기 위하여 알람음이 발생될 수도 있다.
한편, 작업자가 트레이(10)의 적재부(12)에 새로운 기판(B)을 적재시키기 위해서는 먼저, 트레이(10)의 도어부(14)를 오픈시켜야 한다. 그런데 리프팅프레임(34)이 하강되지 않거나, 리프팅프레임(34)이 하강하는 도중, 작업자가 부주의로 트레이(10)의 도어부(14)를 오픈시키게 되면, 트레이(10)의 적재부(12)가 트레이(10)의 도어부(14)를 따라 선반(1)의 외부로 인출되는 과정에서, 트레이(10)의 적재부(12)에 형성되는 관통홀(12a)의 내주연이 리프팅프레임(34) 또는 이동부(32)에 충돌하게 되어, 적재부(12) 또는 리프팅프레임(34) 또는 이동부(32)가 파손되는 문제점이 있다.
대한민국 공개특허 제10-2004-0013510호 대한민국 공개특허 제10-2005-0063223호
상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 적재부의 상부로 이동된 이동부가 적재부와 지지판 사이로 원위치된 경우, 작업자가 이를 용이하게 알 수 있도록 하여, 트레이를 안전하게 인출할 수 있도록 하는 트레이의 인출이 용이한 스태커를 제공하도록 하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 선반의 삽입구를 통하여 선반 내부로 슬라이딩 인입되거나 선반 외부로 슬라이딩 인출되며 피이송물이 적재되는 적재부와, 상기 적재부의 일측에 구비되어 선반의 삽입구를 개폐하는 도어부를 갖는 트레이; 선반 내부에 위치되며 상기 트레이의 상기 적재부가 선반 내부로 슬라이딩 인입 또는 선반 외부로 슬라이딩 인출되도록 가이드하는 이동가이드부; 상기 적재부에 적재된 피이송물을 상기 적재부의 상부로 이동시키는 리프트; 상기 이동가이드부에 지지되며 제어신호를 수신받아 상기 트레이를 선반 외부로 인출시키는 인출수단; 및 상기 인출수단으로 상기 제어신호를 송신하는 제어수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이의 인출이 용이한 스태커를 제공한다.
또한, 상기 인출수단은: 선반의 삽입구의 반대 방향과 대향되는 상기 트레이의 상기 적재부의 타측에 구비되는 실린더; 및 상기 실린더를 상기 이동가이드부에 고정시키는 고정부를 포함하고, 상기 트레이의 상기 도어부가 선반의 삽입구를 폐쇄시킨 상태에서, 상기 제어신호가 상기 실린더로 전송되면, 상기 실린더가 상기 트레이의 상기 적재부의 타측에 압력을 가하여, 상기 트레이의 상기 적재부의 일측은 선반의 외측으로 슬라이딩 인출되고, 상기 트레이의 상기 도어부는 선반의 삽입구를 개방시키는 것을 특징으로 하는 트레이의 인출이 용이한 스태커를 제공한다.
또한, 상기 실린더는: 외부로부터 유압을 공급받는 실린더몸체; 상기 실린더몸체에서 상기 트레이의 상기 적재부의 타측 방향으로 돌출되는 로더; 및 상기 적재부의 타측과 마주보도록 상기 로더의 단부에 위치되는 가압부를 포함하고, 상기 실린더몸체의 유압이 상기 로더로 가해지면, 상기 로더의 돌출 길이가 길어지게 되어, 상기 가압부가 상기 적재부의 타측에 압력을 가하는 것을 특징으로 하는 트레이의 인출이 용이한 스태커를 제공한다.
또한, 상기 리프트는: 상기 적재부와 대향 위치되되 상기 적재부의 중앙에 형성되는 적재관통홀에 관통될 수 있도록 상기 적재관통홀보다 작은 면적을 갖는 이동부; 및 일측은 상기 이동부에 고정되고 타측은 상기 이동가이드부에 지지된 상태로 상하 이동되면서 상기 이동부가 상기 적재관통홀을 관통하여 상기 적재부의 하측 또는 상기 적재부의 상측으로 이동되도록 안내하는 리프팅프레임을 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이의 인출이 용이한 스태커를 제공한다.
또한, 상기 제어수단은: 상기 이동부가 상기 적재부의 하측에 위치하는지를 감지하는 감지센서; 및 상기 감지센서의 감지 결과에 따라, 상기 이동부가 상기 적재부의 하측에 위치되면, 상기 인출수단으로 상기 제어신호를 송신하여 상기 트레이가 상기 선반 외부로 인출되도록 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이의 인출이 용이한 스태커를 제공한다.
또한, 상기 이동가이드부는: 상기 트레이의 상기 적재부의 하부에 이격 위치되는 지지판; 및 상기 트레이의 상기 적재부의 길이방향 양측과 대향되도록 상기 지지판에 고정되는 슬라이딩부를 포함하고, 상기 트레이는: 상기 적재부의 길이방향 양측을 따라 구비되되 상기 슬라이딩부에 가이드되면서 슬라이딩되는 가이드레일을 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이의 인출이 용이한 스태커를 제공한다.
또한, 상기 이동가이드부는: 상기 트레이의 상기 적재부의 하부에 이격 위치되는 지지판; 및 일측은 상기 지지판에 연결되고, 타측은 상기 지지판의 수직 하방으로 길게 형성되는 지지프레임을 포함하고, 상기 리프트는: 상기 적재부의 중앙에 형성되는 적재관통홀에 관통될 수 있도록 상기 적재관통홀보다 작은 면적을 가지며, 상기 지지판과 상기 적재부 사이에 위치되거나, 상기 적재부의 상기 적재관통홀을 관통하여 상기 적재부의 상부에 위치되는 이동부; 일측은 상기 이동부에 연결되고, 타측은 상기 지지판을 지나 상기 지지프레임의 길이방향을 따라 길게 형성되는 리프팅프레임; 및 상기 지지프레임을 따라 상하 이동되되 상기 리프팅프레임과 결합되어 상기 리프팅프레임을 상하이동시키는 연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이의 인출이 용이한 스태커를 제공한다.
또한, 상기 연결부에는 상기 지지프레임이 관통되도록 삽입홀이 형성되고, 상기 지지프레임의 외주연을 따라 수스크루가 형성되고, 상기 삽입홀의 내주연을 따라 상기 수스크루와 맞물리도록 암스크루가 형성되며, 상기 지지프레임의 회전에 의하여 상기 암스크루가 상기 지지프레임의 상기 수스크루를 따라 상하 이동되는 것을 특징으로 하는 트레이의 인출이 용이한 스태커를 제공한다.
본 발명은 적재부의 상부로 이동된 이동부가 적재부와 지지판 사이로 원위치된 경우, 트레이를 자동으로 선반 외부로 약간 인출시켜서, 선반의 외부에 위치된 작업자가 적재부의 상부로 이동된 이동부가 적재부와 지지판 사이로 원위치되었음을 확실하게 인지할 수 있게 되는 효과가 있다.
또한, 선반의 삽입구가 오픈된 상태를 눈으로 명확하게 확인한 작업자는 손잡이부를 잡고 트레이의 적재부를 안전하게 선반 외부로 슬라이딩 인출시킬 수 있게 되는 효과가 있다.
도 1은 종래 스태커가 구비된 선반을 도시한 도면이다.
도 2a는 종래 스태커의 이동부가 하강된 상태를 도시한 도면이다.
도 2b는 종래 스태커의 이동부가 승강된 상태를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 트레이의 인출이 용이한 스태커를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 트레이의 인출이 용이한 스태커의 트레이가 슬라이딩되는 상태를 설명하기 위하여 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 트레이의 인출이 용이한 스태커의 리프트가 상승된 상태를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 트레이의 인출이 용이한 스태커의 리프트가 상승된 상태를 단면으로 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 트레이의 인출이 용이한 스태커의 인출수단을 설명하기 위하여 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 트레이의 인출이 용이한 스태커의 제어수단을 설명하기 위하여 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 9는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 트레이의 인출이 용이한 스태커의 트레이가 인출수단에 의하여 선반 외부로 슬라이딩 인출된 상태를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 10은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 트레이의 인출이 용이한 스태커가 적용된 선반의 외형을 개략적으로 도시한 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 트레이의 인출이 용이한 스태커를 더욱 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 트레이의 인출이 용이한 스태커를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 트레이의 인출이 용이한 스태커의 트레이가 슬라이딩되는 상태를 설명하기 위하여 도시한 도면이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 트레이(110)의 인출이 용이한 스태커(100)는 예를 들면 선반(1: 도 10 도시) 내부에 구비되어 피이송물(미도시)을 선반(1) 내부의 상부로 이송시키는 것으로, 트레이(110), 이동가이드부(120), 리프트(130), 인출수단(140) 및 제어수단(150: 도 8 도시)을 포함한다. 상기 피이송물은 예를 들면 반도체 제조 과정에 사용되는 기판일 수 있다.
트레이(110)는 선반(1)의 일측에 개방되도록 형성되는 삽입구(1a: 도 10 도시)를 통하여 선반(1) 내부로 슬라이딩 인입되거나 선반(1) 외부로 슬라이딩 인출된다. 그리고 트레이(110)가 선반(1) 외부로 인출되면 작업자가 피이송물을 트레이(110)에 적재하며, 피이송물이 트레이(110)에 적재되면 트레이(110)는 선반(1) 내부로 슬라이딩 인입된다. 이러한 트레이(110)는 피이송물이 적재되도록 일정 면적을 갖는 판형으로 형성되며 선반(1)의 삽입구(1a)를 통하여 선반(1) 내부로 슬라이딩 인입되거나 선반(1) 외부로 슬라이딩 인출되는 적재부(112)와, 선반(1)의 삽입구(1a)와 대향되는 적재부(112)의 일측에 구비되어 선반(1)의 삽입구(1a)를 개폐하는 도어부(118)를 포함한다. 그리고 적재부(112)의 중앙에는 후술하는 이동부(132)가 관통되도록 적재관통홀(112a)이 형성된다. 그리고 피이송물은 적재관통홀(112a)보다 더 크도록 형성되어, 피이송물이 적재부(112)에 적재될 때, 적재부(112)의 테두리에 피이송물이 지지된다. 그리고 도어부(118)에는 선반(1)의 외부로 노출되도록 손잡이부(118a)가 형성될 수 있으며, 선반(1) 외부에 위치되는 작업자는 손잡이부(118a)를 잡고 트레이(110)를 선반(1) 외부로 인출시키거나 또는 선반(1) 내부로 인입시킬 수 있다. 그리고 적재부(112)가 후술하는 이동가이드부(120)에 가이드되면서 슬라이딩 이동되도록 하기 위하여 적재부(112)의 길이방향 양측을 따라 가이드레일(116)이 길게 형성될 수 있다. 이때, 적재부(112)의 하측에는 후술하는 이동가이드부(120)의 지지판(122) 방향으로 돌출되는 한 쌍의 지지바(114)가 더 형성될 수 있으며, 가이드레일(116)은 지지바(114)의 양측 길이방향을 따라 형성될 수 있다.
이동가이드부(120)는 트레이(110)가 슬라이딩 이동되도록 지지하는 것으로, 판형으로 형성되며 트레이(110)의 적재부(112)의 하부에 형성되는 지지바(114)에 의하여 적재부(112)의 하부에 이격 위치되는 지지판(122)과, 트레이(110)의 가이드레일(116)과 맞닿도록 지지판(122)에 고정되는 슬라이딩부(124)와, 지지판(122)의 하면에서 그 하부로 연장되어 선반(1)에 지지되도록 길게 형성되는 지지프레임(128: 도 6 도시)을 포함한다. 그리고 이동가이드부(120)는 지지프레임(128)을 회전시키도록 지지프레임(128)의 하단과 연결되는 구동모터(미도시)와, 슬라이딩부(124)를 커버하도록 지지판(122)의 길이방향 양측에 장착되는 커버부(126)와, 지지프레임(128)을 커버도록 지지프레임(128)의 길이방향 외측을 따라 길게 형성되는 프레임커버(129)를 더 포함할 수도 있다. 그리고 트레이(110)의 가이드레일(116)은 이동가이드부(120)의 슬라이딩부(124)를 관통하도록 구성되어, 트레이(110)가 슬라이딩부(124)에 가이드되면서 슬라이딩 이동되도록 안내된다.
리프트(130)는 트레이(110)의 적재부(112)에 적재된 피이송물을 트레이(110)의 적재부(112)의 상부로 이송시키는 것으로, 하기 도 5 및 도 6을 참조하여 설명하기로 한다. 인출수단(140)은 후술하는 제어신호를 수신받아 트레이(110)를 선반(1) 외부로 인출시키는 것이고, 제어수단(150)은 인출수단(140)으로 제어신호를 송신하는 것으로, 이들은 하기 도 7 내지 도 10을 참조하여 설명하기로 한다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 트레이의 인출이 용이한 스태커의 리프트가 상승된 상태를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 트레이의 인출이 용이한 스태커의 리프트가 상승된 상태를 단면으로 도시한 도면이다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 리프트(130)는 이동부(132), 리프팅프레임(134) 및 연결부(136)를 포함한다.
이동부(132)는 트레이(110)의 적재부(112)가 선반(1) 내부로 슬라이딩 인입된 상태에서 적재부(112)의 상측 또는 적재부(112)의 하측과 대향되도록 위치되는 것으로, 보다 상세하게 이동부(132)는 후술하는 리프팅프레임(134)에 의하여 상하 이동되면서, 지지판(122)과 적재부(112) 사이의 공간에 위치되거나 또는 적재부(112)의 적재관통홀(112a)을 관통하여 적재부(112)의 상부에 위치된다. 이때, 이동부(132)는 적재부(112)의 적재관통홀(112a)에 삽입되도록 적재관통홀(112a)보다 작은 면적을 갖도록 형성된다.
리프팅프레임(134)은 이동가이드부(120)의 지지프레임(128)에 가이드되면서 상하 이동되는 것으로, 일측은 이동부(132)에 고정되고 타측은 적재부(112)의 적재관통홀(112a)과 지지판(122)을 지나 지지프레임(128)의 길이방향을 따라 길게 형성된다. 이를 위하여 지지판(122)에는 적재관통홀(112a)과 대향 위치되도록 지지관통홀(122a)이 형성되고, 리프팅프레임(134)은 적재부(112)의 적재관통홀(112a)과 지지판(122)의 지지관통홀(122a)을 지나 지지프레임(128) 방향으로 길게 형성된다.
연결부(136)는 지지프레임(128)이 관통되도록 중앙에 삽입홀(137)이 형성되고, 리프팅프레임(134)과 대향되는 그 외주연 일측은 리프팅프레임(134)과 결합된다. 그리고 연결부(136)의 삽입홀(137) 내주연에는 암스크류(137a)가 형성되고, 지지프레임(128)의 외주연을 따라 암스크류(137a)와 맞물리도록 수스크류(128a)가 형성된다. 그리고 연결부(136)는 리프팅프레임(134)과 연결되어, 상기 구동모터가 지지프레임(128)을 정회전 또는 역회전시키면, 연결부(136)의 암스크류(137a)가 지지프레임(128)의 수스크류(128a)를 따라 상하 이동되면서, 연결부(136)와 연결된 리프팅프레임(134)을 상하 이동시킨다. 이때, 연결부(136)와 리프팅프레임(134) 사이에는 보조연결부(138)가 더 구비될 수도 있다. 한편, 리프팅프레임(134)과 대향되는 프레임커버(129)의 일측은 개방되도록 개방부(129a)가 구비되므로, 프레임커버(129)의 내부에 구비되는 지지프레임(128)과, 프레임커버(129)의 외부에 구비되는 연결부(136)는 개방부(129a)에 의하여 상호 연결되도록 구성된다.
그리고 리프팅프레임(134)이 지지프레임(128)에 가이드되면서 하부로 이동되어 이동부(132)가 트레이(110)의 적재부(112)의 적재관통홀(112a)을 관통하여 적재부(112)와 지지판(122) 사이에 위치되면, 트레이(110)의 적재부(112)가 이동가이드부(120)의 슬라이딩부(124)에 가이드되면서 선반(1)의 외부로 인출되고, 이 상태에서 트레이(110)의 적재부(112)에 피이송물이 적재된다. 이때, 피이송물은 트레이(110)의 적재부(112)의 적재관통홀(112a)보다 큰 면적을 갖도록 형성되어, 피이송물은 적재부(112)의 테두리에 지지된다.
그 후, 트레이(110)의 적재부(112)가 이동가이드부(120)의 슬라이딩부(124)에 가이드되면서 선반(1)의 내부로 슬라이딩 인입되고, 이동부(132)는 지지판(122)과 적재부(112) 사이의 공간에 위치된다. 이 상태에서 상기 구동모터가 작동되면 지지프레임(128)이 회전되어 리프팅프레임(134)이 지지프레임(128)을 따라 상부로 이동되고, 리프팅프레임(134)에 고정된 이동부(132) 또한 적재부(112)의 상부로 이동된다. 여기서, 지지판(122)과 적재부(112) 사이에 위치된 이동부(132)는 적재부(112)의 적재관통홀(112a)을 관통한 후 적재부(112)의 상부로 이동되는데, 이때, 적재부(112)에 적재된 피이송물이 이동부(132)에 지지된 상태로 이동부(132)를 따라 적재부(112)의 상부 즉, 선반(1) 내부의 상부로 이동된다. 그리고 이동부(132)가 선반(1) 내부의 상부로 이동되면, 선반(1) 내부의 상부에 위치된 이송장치(미도시)가 피이송물을 다음 공정으로 이송시킨다.
그리고 상기 이송장치가 이동부(132)에 지지된 피이송물을 모두 이송시키면, 리프트(130)의 리프팅프레임(134)이 하강되어 이동부(132)가 적재부(112)를 지나 적재부(112)와 지지판(122) 사이로 원위치된다. 그러면 작업자는 트레이(110)의 적재부(112)에 새로운 피이송물을 적재시키기 위하여 트레이(110)의 도어부(118)를 오픈시켜서, 트레이(110)의 적재부(112)가 선반(1) 외부로 슬라이딩 인출되도록 한다.
한편, 적재부(112)의 상부로 이동된 이동부(132)가 적재부(112)와 지지판(122) 사이로 원위치되지 않은 상태에서 작업자가 부주의로 트레이(110)의 도어부(118)를 오픈시키게 되면, 트레이(110)의 적재부(112)에 형성되는 적재관통홀(112a)의 내주연이 리프팅프레임(134) 또는 이동부(132)에 충돌할 우려가 있다. 이에 따라 본 발명은 적재부(112)의 상부로 이동된 이동부(132)가 적재부(112)와 지지판(122) 사이로 원위치된 경우, 이를 감지하여 트레이(110)를 자동으로 선반(1) 외부로 약간 인출시켜서 작업자가 이동부(132)의 현재 위치를 확실하게 인지할 수 있도록 하는 인출수단(140) 및 제어수단(150)을 더 포함한다.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 트레이의 인출이 용이한 스태커의 인출수단을 설명하기 위하여 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 7을 참조하면, 인출수단(140)은 선반(1) 내부로 인입된 트레이(110)의 적재부(112)를 선반(1) 외부로 인출시키는 것으로, 실린더(144) 및 고정부(142)를 포함한다. 실린더(144)는 유압실린더(144) 등으로 구성되는 것으로, 선반(1) 내부로 인입된 트레이(110)의 적재부(112)의 일측이 선반(1)의 삽입구(1a)와 대향 위치될 때, 선반(1)의 삽입구(1a)의 반대 방향과 대향되는 트레이(110)의 적재부(112)의 타측에 구비되는 것으로, 외부로부터 유압을 공급받는 실린더몸체(144a), 상기 실린더몸체(144a)에서 트레이(110)의 적재부(112)의 타측 방향으로 돌출 형성되는 로더(144b) 및 실린더(144)의 적재부(112)의 타측과 마주보도록 로더(144b)의 길이방향 단부에 위치되는 가압부(144c)를 포함한다. 고정부(142)는 실린더몸체(144a)를 이동가이드부(120)에 고정시키는 것으로, 그 일측은 실린더몸체(144a)와 연결되고 그 타측은 이동가이드부(120)의 지지판(122)에 고정된다.
그리고 후술하는 제어수단(150)에 의한 제어신호가 실린더몸체(144a)로 수신되면, 실린더몸체(144a)로 공급되는 유압이 로더(144b)로 가해져서, 하기 도 9와 같이, 로더(144b)의 돌출 길이가 길어지게 되고, 이에 따라 가압부(144c)가 트레이(110)의 적재부(112)에 압력을 가하게 되어, 트레이(110)의 적재부(112)가 로더(144b)의 돌출 길이만큼 선반(1) 외부로 인출된다.
도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 트레이의 인출이 용이한 스태커의 제어수단을 설명하기 위하여 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 8을 참조하면, 제어수단(150)은 인출수단(140)으로 제어신호를 송신하는 것으로, 감지센서(154), 제어부(152) 및 구동부(156)를 포함할 수 있다.
감지센서(154)는 적재부(112)의 상부로 이동된 이동부(132)가 적재부(112)와 지지판(122) 사이로 원위치된 상태를 감지하는 것으로, 예를 들면, 위치감지센서(154a)와, 적재감지센서(154a)를 포함할 수 있다. 위치감지센서(154a)는 적재부(112)와 지지판(122) 사이에 구비된 이동부(132)를 감지할 수 있도록 지지판(122) 등에 장착되는 것으로, 예를 들면 초음파를 이용하여 이동부(132)를 감지하는 초음파센서 등으로 구성될 수 있다. 그리고 위치감지센서(154a)가 이동부(132)를 감지하면 제 1 감지신호를 생성하여 제어부(152)로 송신한다. 적재감지센서(154a)는 이동부(132)에 피이송물이 적재되었는지 여부를 감지할 수 있도록 적재부(112) 등에 장착되는 것으로, 예를 들면 이동부(132)에 적재되는 피이송물의 압력을 감지하는 압력센서로 구성될 수 있다. 그리고 적재감지센서(154a)가 피이송물의 압력을 감지하면 제 2 감지신호를 생성하여 제어부(152)로 송신한다.
제어부(152)는 위치감지센서(154a) 또는 적재감지센서(154a) 부근에 위치될 수 있으며, 적재감지센서(154a)로부터 제 2 감지신호를 수신받지 아니한 상태에서, 위치감지센서(154a)로부터 제 1 감지신호를 수신받으면, 적재부(112)의 상부로 이동된 이동부(132)가 적재부(112)와 지지판(122) 사이로 원위치된 것으로 판단한다. 즉, 적재부(112)에 피이송물이 적재된 상태에서 이동부(132)가 상부로 이동되면, 이동부(132)에 피이송물이 적재된 상태로 상부로 이송된다. 이때, 적재감지센서(154a)가 피이송물의 압력을 감지하여 제 2 감지신호를 생성하여 제어부(152)로 송신한다. 그 후, 선반(1) 내부의 상기 이송장치가 이동부(132)에 적재된 피이송물을 다음 공정으로 이송시키면 적재감지센서(154a)가 제 2 감지신호를 제어부(152)로 송신하지 않게 된다. 이 상태에서, 이동부(132)가 하부로 이동되어, 적재부(112)와 지지판(122) 사이로 원위치되면, 위치감지센서(154a)가 이동부(132)를 감지하여 제 1 감지신호를 생성하여 제어부(152)로 송신한다. 그러면 제어부(152)는 적재감지센서(154a)로부터 제 2 감지신호를 수신받지 아니한 상태에서, 위치감지센서(154a)로부터 제 1 감지신호를 수신받은 상태이므로, 이동부(132)가 적재부(112)와 지지판(122) 사이로 원위치된 것으로 판단하고, 후술하는 구동부(156)로 구동제어신호를 송신한다.
구동부(156)는 실린더몸체(144a)의 외측에 구비될 수 있으며, 제어부(152)로부터 구동제어신호를 수신받아, 실린더몸체(144a)를 작동시켜서, 실린더몸체(144a)로 공급되는 유압이 로더(144b)로 가해지도록 하여, 가압부(144c)가 트레이(110)의 적재부(112)에 압력을 가하게 된다. 그러면 트레이(110)의 적재부(112)가 가압부(144c)의 압력에 의하여 선반(1) 외부로 슬라이딩 인출된다.
도 9는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 트레이의 인출이 용이한 스태커의 트레이가 인출수단에 의하여 선반 외부로 슬라이딩 인출된 상태를 개략적으로 도시한 평면도이고, 도 10은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 트레이의 인출이 용이한 스태커가 적용된 선반의 외형을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 9 및 도 10을 참조하면, 제어수단(150)의 구동부(156)에 의하여 상기 구동제어신호가 실린더몸체(144a)로 수신되면, 실린더몸체(144a)로 공급되는 유압이 로더(144b)로 가해져서, 로더(144b)의 돌출 길이가 길어지게 된다. 그리고 로더(144b)의 단부에 위치된 가압부(144c)는 로더(144b)를 따라 돌출되면서 트레이(110)의 적재부(112)에 압력을 가하게 된다. 그러면 트레이(110)의 적재부(112)가 가압부(144c)의 돌출 길이(d)만큼 선반(1) 외부로 인출된다. 이처럼 가압부(144c)가 트레이(110)의 적재부(112)에 압력을 가하게 되어, 트레이(110)의 적재부(112)가 로더(144b)의 돌출 길이만큼 선반(1) 외부로 약간 인출되고, 이에 따라 트레이(110)의 도어부(118)는 선반(1)의 삽입구(1a)를 오픈시키게 된다.
그러면, 선반(1)의 외부에 위치된 작업자는 트레이(110)의 적재부(112)가 선반(1) 외부로 약간 인출되어 선반(1)의 삽입구(1a)가 오픈된 상태를 눈으로 직접 확인할 수 있게 되어, 적재부(112)의 상부로 이동된 이동부(132)가 적재부(112)와 지지판(122) 사이로 원위치되었음을 확실하게 인지할 수 있게 되는 효과가 있다.
그리고 선반(1)의 삽입구(1a)가 오픈된 상태를 눈으로 명확하게 확인한 작업자는 손잡이부(118a)를 잡고 트레이(110)의 적재부(112)를 안전하게 선반(1) 외부로 슬라이딩 인출시킨 후, 트레이(110)의 적재부(112)에 새로운 피이송물을 적재시키게 된다.
본 발명은 상기 실시예에서 상세히 설명되었지만, 본 발명을 이로 한정하지 않음은 당연하고, 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위의 범주에 속하는 것이라면 그 기술사상 역시 본 발명에 속하는 것으로 보아야 한다.
100: 트레이의 인출이 용이한 스태커
110: 트레이 112: 적재부
112a: 적재관통홀 114: 지지바
116: 가이드레일 118: 도어부
118a: 손잡이부 120: 이동가이드부
122: 지지판 122a: 지지관통홀
124: 슬라이딩부 126: 커버부
128: 지지프레임 128a: 수스크류
129: 프레임커버 129a: 개방부
130: 리프트 132: 이동부
134: 리프팅프레임 136: 연결부
137: 삽입홀 137a: 암스크류
138: 보조연결부 140: 인출수단
142: 고정부 144: 실린더
144a: 몸체 144b: 로더
144c: 가압부 150: 제어수단
152: 제어부 154: 감지센서
154a: 위치감지센서 154b: 적재감지센서
156: 구동부

Claims (8)

  1. 선반의 삽입구를 통하여 선반 내부로 슬라이딩 인입되거나 선반 외부로 슬라이딩 인출되며 피이송물이 적재되는 적재부와, 상기 적재부의 일측에 구비되어 선반의 삽입구를 개폐하는 도어부를 갖는 트레이;
    선반 내부에 위치되며 상기 트레이의 상기 적재부가 선반 내부로 슬라이딩 인입 또는 선반 외부로 슬라이딩 인출되도록 가이드하는 이동가이드부;
    상기 적재부에 적재된 피이송물을 상기 적재부의 상부로 이동시키는 리프트;
    상기 이동가이드부에 지지되며 제어신호를 수신받아 상기 트레이를 선반 외부로 인출시키는 인출수단; 및
    상기 인출수단으로 상기 제어신호를 송신하는 제어수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이의 인출이 용이한 스태커.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 인출수단은:
    선반의 삽입구의 반대 방향과 대향되는 상기 트레이의 상기 적재부의 타측에 구비되는 실린더; 및
    상기 실린더를 상기 이동가이드부에 고정시키는 고정부를 포함하고,
    상기 트레이의 상기 도어부가 선반의 삽입구를 폐쇄시킨 상태에서, 상기 제어신호가 상기 실린더로 전송되면, 상기 실린더가 상기 트레이의 상기 적재부의 타측에 압력을 가하여, 상기 트레이의 상기 적재부의 일측은 선반의 외측으로 슬라이딩 인출되고, 상기 트레이의 상기 도어부는 선반의 삽입구를 개방시키는 것을 특징으로 하는 트레이의 인출이 용이한 스태커.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 실린더는:
    외부로부터 유압을 공급받는 실린더몸체;
    상기 실린더몸체에서 상기 트레이의 상기 적재부의 타측 방향으로 돌출되는 로더; 및
    상기 적재부의 타측과 마주보도록 상기 로더의 단부에 위치되는 가압부를 포함하고,
    상기 실린더몸체의 유압이 상기 로더로 가해지면, 상기 로더의 돌출 길이가 길어지게 되어, 상기 가압부가 상기 적재부의 타측에 압력을 가하는 것을 특징으로 하는 트레이의 인출이 용이한 스태커.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 리프트는:
    상기 적재부와 대향 위치되되 상기 적재부의 중앙에 형성되는 적재관통홀에 관통될 수 있도록 상기 적재관통홀보다 작은 면적을 갖는 이동부; 및
    일측은 상기 이동부에 고정되고 타측은 상기 이동가이드부에 지지된 상태로 상하 이동되면서 상기 이동부가 상기 적재관통홀을 관통하여 상기 적재부의 하측 또는 상기 적재부의 상측으로 이동되도록 안내하는 리프팅프레임을 포함하는 것을 특징으로 하는 @.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제어수단은:
    상기 이동부가 상기 적재부의 하측에 위치하는지를 감지하는 감지센서; 및
    상기 감지센서의 감지 결과에 따라, 상기 이동부가 상기 적재부의 하측에 위치되면, 상기 인출수단으로 상기 제어신호를 송신하여 상기 트레이가 상기 선반 외부로 인출되도록 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이의 인출이 용이한 스태커.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 이동가이드부는:
    상기 트레이의 상기 적재부의 하부에 이격 위치되는 지지판; 및
    상기 트레이의 상기 적재부의 길이방향 양측과 대향되도록 상기 지지판에 고정되는 슬라이딩부를 포함하고,
    상기 트레이는:
    상기 적재부의 길이방향 양측을 따라 구비되되 상기 슬라이딩부에 가이드되면서 슬라이딩되는 가이드레일을 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이의 인출이 용이한 스태커.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 이동가이드부는:
    상기 트레이의 상기 적재부의 하부에 이격 위치되는 지지판; 및
    일측은 상기 지지판에 연결되고, 타측은 상기 지지판의 수직 하방으로 길게 형성되는 지지프레임을 포함하고,
    상기 리프트는:
    상기 적재부의 중앙에 형성되는 적재관통홀에 관통될 수 있도록 상기 적재관통홀보다 작은 면적을 가지며, 상기 지지판과 상기 적재부 사이에 위치되거나, 상기 적재부의 상기 적재관통홀을 관통하여 상기 적재부의 상부에 위치되는 이동부;
    일측은 상기 이동부에 연결되고, 타측은 상기 지지판을 지나 상기 지지프레임의 길이방향을 따라 길게 형성되는 리프팅프레임; 및
    상기 지지프레임을 따라 상하 이동되되 상기 리프팅프레임과 결합되어 상기 리프팅프레임을 상하이동시키는 연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이의 인출이 용이한 스태커.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 연결부에는 상기 지지프레임이 관통되도록 삽입홀이 형성되고,
    상기 지지프레임의 외주연을 따라 수스크루가 형성되고,
    상기 삽입홀의 내주연을 따라 상기 수스크루와 맞물리도록 암스크루가 형성되며,
    상기 지지프레임의 회전에 의하여 상기 암스크루가 상기 지지프레임의 상기 수스크루를 따라 상하 이동되는 것을 특징으로 하는 트레이의 인출이 용이한 스태커.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210142259A (ko) * 2020-05-18 2021-11-25 아메스산업(주) 커버부재를 갖는 기판 이송 장치
KR20220103076A (ko) * 2019-04-15 2022-07-21 주식회사 아테코 전자부품 테스트 핸들러의 스태커 및 이를 포함하는 전자부품 테스트 핸들러
KR20220103075A (ko) * 2019-04-15 2022-07-21 주식회사 아테코 전자부품 테스트 핸들러의 스태커 및 이를 포함하는 전자부품 테스트 핸들러

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030013936A (ko) * 2001-08-10 2003-02-15 삼성전자주식회사 반도체디바이스 검사장치용 유저트레이 적재장치
KR20040013510A (ko) 2002-08-07 2004-02-14 삼성전자주식회사 스태커 저장장치 및 이를 포함하는 테스트 핸들러
KR20050063223A (ko) 2003-12-22 2005-06-28 엘지.필립스 엘시디 주식회사 스태커
KR20080078376A (ko) * 2007-02-23 2008-08-27 삼성전자주식회사 서랍형 베이크 유닛들을 갖는 베이크 블록
KR20090069530A (ko) * 2007-12-26 2009-07-01 주식회사 프로텍 제조라인의 트레이 자동 공급과 회수 방법 및 그 장치
KR20090085743A (ko) * 2008-02-05 2009-08-10 에버테크노 주식회사 핸들러의 스택커

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030013936A (ko) * 2001-08-10 2003-02-15 삼성전자주식회사 반도체디바이스 검사장치용 유저트레이 적재장치
KR20040013510A (ko) 2002-08-07 2004-02-14 삼성전자주식회사 스태커 저장장치 및 이를 포함하는 테스트 핸들러
KR20050063223A (ko) 2003-12-22 2005-06-28 엘지.필립스 엘시디 주식회사 스태커
KR20080078376A (ko) * 2007-02-23 2008-08-27 삼성전자주식회사 서랍형 베이크 유닛들을 갖는 베이크 블록
KR20090069530A (ko) * 2007-12-26 2009-07-01 주식회사 프로텍 제조라인의 트레이 자동 공급과 회수 방법 및 그 장치
KR20090085743A (ko) * 2008-02-05 2009-08-10 에버테크노 주식회사 핸들러의 스택커

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220103076A (ko) * 2019-04-15 2022-07-21 주식회사 아테코 전자부품 테스트 핸들러의 스태커 및 이를 포함하는 전자부품 테스트 핸들러
KR20220103075A (ko) * 2019-04-15 2022-07-21 주식회사 아테코 전자부품 테스트 핸들러의 스태커 및 이를 포함하는 전자부품 테스트 핸들러
US11802907B2 (en) 2019-04-15 2023-10-31 Ateco Inc. Stacker of electronic component test handler, and electronic component test handler including same
KR20210142259A (ko) * 2020-05-18 2021-11-25 아메스산업(주) 커버부재를 갖는 기판 이송 장치

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