KR20160088426A - 정전척, 챔버 및 정전척의 제조 방법 - Google Patents

정전척, 챔버 및 정전척의 제조 방법 Download PDF

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베이징 엔엠씨 씨오., 엘티디.
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Abstract

본 발명은 정전척, 챔버 및 정전척의 제조 방법에 관한 것이다. 정전척은 상부에 히터(20) 및 히터(20)의 상부에 설치되고 내부에 정전 인력을 발생시키는 전극이 설치되어 있는 절연층(30)이 설치되어 있는 척 베이스(10)을 포함하고, 척 베이스(10)와 히터(20) 사이에 중첩되게 설치되어 단열층(40)을 구성하는 단열층 시트 자재를 더 포함하며, 이에 따라, 또한 대응되는 챔버를 제공한다. 정전척, 챔버 및 정전척의 제조 방법은, 단열 접착층의 평탄성을 확보하기 어렵고 진공 누설이 발생하기 쉬운 문제를 효과적으로 해결하고, 아울러 가공의 복잡 정도를 저하시킬 수 있다.

Description

정전척, 챔버 및 정전척의 제조 방법{ELECTROSTATIC CHUCK, CHAMBER AND FABRICATION METHOD OF ELECTROSTATIC CHUCK}
본 발명은 반도체 장비의 제조 분야에 관한 것이고, 더욱 구체적으로는 정전척, 챔버 및 정전척의 제조 방법에 관한 것이다.
척은 반도체의 제조 과정에서 칩의 이동이나 오정렬 현상을 방지하기 위하여 칩을 적재하고 고정하는데 많이 사용된다. 정전척은 칩에 대한 기계적 접촉을 감소시키고 칩이 효과적으로 가공되는 면적을 증가시키는 등 장점을 갖고 있으므로 프로세스 챔버에서 항상 정전척을 사용하여 칩을 적재하고 고정시킨다.
종래의 척 구조는 도1에 도시된 바와 같이, 척 베이스(5)에는 상하 순서로 단열 접착층(4), 히터(3), 금속층(2)과 절연층(1)이 설치되어 있고, 절연층(1)에는 2개의 전극(6)이 설치되어 있으며, 상기 2개의 전극(6)은 외부 직류전원의 양극과 음극에 연결될 수 있으므로 정전인력을 발생하여 절연층(1) 위에 배치된 칩을 고정할 수 있다. 히터(3)에는 전원이 연결된 후 열을 발생하여 칩을 가열할 수 있도록 저항선이 설치되어 있으며, 가열 효율을 향상시키기 위하여, 히터(3)와 척 베이스(5) 사이에는 단열 접착층(4)이 설치되어, 열이 척 베이스(5)로 전달되는 것을 막는다.
일반적으로, 단열 접착층(4)은 양호한 단열 성능을 갖고 있는 실리콘 접착제를 사용한다. 단열 접착층(4)을 형성하는 방식은 다음과 같다. 히터(3)와 척 베이스(5)를 접착시키고 양자사이가 단열되도록, 실리콘 접착제를 히터(3)와/또는 척 베이스(5)에 도포하여, 히터(3)와 척 베이스(5) 사이에 단열 접착층(4)을 형성시킨다. 양호한 단열 효과를 얻기 위하여, 실리콘 접착제는 두껍게 도포되어야 한다. 하지만, 실리콘 접착제를 수동으로 도포할 경우 도포의 평탄성을 확보하기 어렵기 때문에 이어지는 칩의 가공 과정에서 정전척에 의하여 고정되는 칩으로 하여금 일정한 각도의 경사를 가지게 하며, 가열시의 온도 균일성에 영향을 주는 동시에 칩 가공의 품질에 영향을 줄 수 있다. 또한, 수동에 의한 도포 방식을 사용하면 단열 접착층(4)의 밀봉성도 확보하기 어렵고, 진공 누설되기 쉬우며, 정전척의 전체적 제조에 실패를 가져올 수 있다.
이러한 점을 감안하여, 본 발명의 목적은 정전척 중의 단열층 시트 자재가 양호한 평탄성을 갖도록 하는 정전척 및 챔버를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 척 베이스와 단열층 시트 자재를 포함하는 정전척을 제공한다. 상기 척 베이스 상부에는 히터와 상기 히터의 상부에 설치되어 있고 내부에 정전인력을 발생시키는 전극이 설치되어 있는 절연층이 설치되어 있고, 상기 단열층 시트 자재는 상기 척 베이스와 상기 히터 사이에 중첩되게 설치되어 단열층을 구성한다.
상기 단열층 시트 자재에는 복수 층의 단열 필름이 포함된다.
상기 단열 필름의 자재는 폴리이미드이고 상기 복수 층의 단열 필름은 진공 열간 가압을 거친 후 상기 단열층 시트 자재를 형성한다.
상기 단열 필름의 두께는 0.04mm~0.06mm이고, 상기 단열층 시트 자재의 두께는 0.3mm~0. 6mm이다.
상기 단열층 시트 자재의 윗면은 상기 히터와 접착되고, 상기 단열층 시트 자재의 아래면은 상기 척 베이스와 접착된다.
상기 절연층의 재질은 알루미나 세라믹(alumina ceramics) 또는 질화알루미늄 세라믹(Aluminium Nitride Ceramic)이다.
상기 절연층 내에는 절연층의 온도가 균일하도록 온도 조절용 기체를 도입하기 위한 기체 도입 통로가 더 설치되어 있다.
상기 정전척은 상기 절연층과 상기 히터 사이에 중첩되게 설치된 금속층을 더 포함한다.
상기 척 베이스 내에는 냉각 액체를 도입하여 상기 정전척을 냉각시키기 위한 냉각 채널이 설치되어 있다.
본 발명의 다른 일 측면으로서, 본 발명은 베이스를 포함하고, 본 발명의 상기 임의의 해결 수단에 의하여 제공되는 정전척이 상기 베이스에 설치된 챔버를 더 제공한다.
본 발명의 또 다른 일 측면으로서, 본 발명은 본 발명에서 제공되는 정전척을 제조하는데 사용되는 정전척의 제조방법을 더 제공한다. 상기 방법은, 적어도 단열층 시트 자재를 제조하는 단열층 시트 자재 제조 단계 및 단열층 시트 자재가 상기 척 베이스와 상기 히터 사이에 중첩되게 설치되어 단열층이 형성되게 하는 단열층 시트 자재 장착 단계를 포함한다.
상기 단열층 시트 자재의 제조 단계에 있어서, 먼저 복수 층의 단열 필름을 획득하고, 그 다음에 복수 층의 단열 필름 전체를 가공하여 단열층 시트 자재를 형성한다.
상기 단열층 시트 자재의 제조 단계에 있어서, 먼저 복수 층의 재료가 폴리이미드인 단열 필름을 제조하고, 그 다음에 진공 열간 가압 공정을 이용하여 복수 층의 단열 필름 전체를 단열층 시트 자재로 제조한다.
상기 단열층 시트 자재의 제조 단계에 있어서, 먼저 복수 개의 두께가 0.04mm~0.06mm인 단열 필름을 제조하고, 그 다음에 진공 열간 가압 공정을 이용하여 복수 층의 단열 필름 전체를 두께가 0.3mm~0.6mm인 단열층 시트 자재로 제조한다.
상기 단열층 시트 자재의 장착 단계에 있어서, 상기 단열층 시트 자재의 윗면을 상기 히터에 접착시키고, 상기 단열층 시트 자재의 아래면을 상기 척 베이스에 접착시켜 단열층을 형성시킨다.
본 발명에 의하여 제공되는 정전척에 있어서, 척 베이스와 히터 사이에 미리 제작한 단열층 시트 자재를 설치하여 단열층을 형성함으로써, 종래 기술에 있어서 단열 접착층의 평탄성을 확보하기 어렵고 진공 누설이 쉽게 발생하는 문제를 효과적으로 해결하고, 정전척의 수율을 향상시킬 뿐만 아니라 상기 정전척을 사용하여 반도체를 가공할 때의 공정 품질을 향상시킨다. 또한, 본 발명에 의하여 제공되는 정전척은 종래 기술에 있어서 수동으로 접착제를 도포하여 단열층을 형성하는 공정 과정에서의 반복적인 도포, 반복적인 평탄화 등 문제를 해결할 수 있고, 정전척 가공의 복잡정도를 저하시킨다.
본 발명에 의하여 제공되는 챔버에는 본 발명에 의하여 제공되는 정전척이 포함되어 있으므로, 상기 챔버는, 종래의 챔버에 배치된 정전척이 단열 접착층의 평탄성이 낮고 진공 누설이 발생하기 쉬운 등 문제로 인하여 반도체를 가공할 때의 공정 품질이 낮은 등 문제를 효과적으로 해결한다.
본 발명에 의하여 제공되는 정전척의 제조 방법에 있어서, 먼저 단열층 시트 자재를 제조하고, 그 다음에 제조된 단열층 시트 자재를 척 베이스와 히터 사이에 중첩되게 설치하여 단열층을 형성한다. 이와 같이, 단열층 시트 자재는 미리 별도로 제조하였으므로 종래 기술에 있어서 단열 접착층의 평탄성이 낮고 진공 누설이 발생하기 쉬운 등 문제를 효과적으로 해결할 수 있으며, 이는 정전척의 수율을 향상시킬 뿐만 아니라 또한 상기 정전척을 사용하여 반도체를 가공할 때의 공정 품질을 향상시킨다. 또한, 본 발명에 의하여 제공되는 정전척의 제조 방법은 종래 기술에 있어서 수동으로 접착제를 도포하여 단열층을 형성하는 공정 과정에서의 반복적인 도포, 반복적인 평탄화 등 문제를 해결할 수 있고, 정전척 제조의 복잡정도를 저하시키며 제조 효율을 향상시킨다.
첨부된 도면은 본 발명을 더욱 상세하게 설명하기 위하여 사용되고, 명세서의 일부를 구성하며, 아래의 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용과 함께 본 발명을 해석하는데 사용되지만 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다.
도1은 종래의 정전척의 구조를 도시한 예시도이다.
도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 정전척의 구조를 도시하는 예시도이다.
도3은 본 발명의 일 실시예에 따른 단열층 시트 자재의 구조를 도시하는 예시도이다.
도4는 본 발명의 일 실시예에 따른 다른 정전척의 구조를 도시하는 예시도이다.
도5는 본 발명의 일 실시예에 따른 정전척의 제조 방법의 절차를 도시하는 간략도다.
아래에, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시 형태를 상세히 설명한다. 아래에 설명하는 구체적인 실시 형태는 본 발명을 설명하고 해석하기 위해 사용될 뿐, 본 발명을 한정하지 않는다는 점은 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 측면으로서, 도2~도4에 도시된 바와 같이, 아래로부터 위의 순서로 척 베이스(10), 단열층(40), 히터(20) 및 절연층(30)이 설치되어 있는 정전척을 제공한다.
절연층(30) 내에는 정전 인력을 발생시키는 전극(31)이 설치되어 있다. 2개의 전극(31)은 외부의 직류 전원의 양극과 음극에 연결될 수 있으므로, 절연층(30)에서 정전 인력을 발생하여 칩을 고정시킨다. 일반적으로, 전극(31)의 인출선은 절연층(30)의 내부에서 정전척을 관통하고 척 베이스(10)의 밑면을 뚫고 나와 외부 직류 전원에 연결된다.
단열층(40)은 미리 제조된 단열층 시트 자재를 가공하여 얻는다. 상기 단열층 시트 자재의 재료로는, 예를 들면 폴리이미드(polyimide)와 같은 고온 단열 재료가 사용될 수 있다. 정전척이 제조될 때, 단열층 시트 자재는 척 베이스(10) 및 히터(20)의 형상에 대응되는 형상으로 제작되고, 척 베이스(10)와 히터(20)사이에 설치되어 단열층을 형성함으로써, 상기 정전척이 반도체 처리 공정에 적용될 때, 상기 단열층(40)으로 하여금 히터(20)에서 발생되는 열이 척 베이스(10)로 전달되지 않도록 할 수 있다. 또한, 절연층(30)에서 인출된 전극(31)의 인출선이 단열층(40)을 관통하여 척 베이스(10)의 밑면에 이를 수 있도록, 단열층(40)에 대응되는 관통홀을 설치하여 전극(31)의 인출선을 통과되게 할 수 있다.
본 발명에 의하여 제공되는 정전척에서는 미리 제조한 단열층 시트 자재를 사용하여 척 베이스(10)와 히터(20)의 단열을 달성하고 있으며, 상기 단열층 시트 자재는 사전에 가공하여 제작될 수 있으므로, 즉, 상기 단열층 시트 자재는 사전에 별도로 제작될 수 있으므로, 그 평탄성을 양호하게 제어할 수 있다. 따라서, 종래 기술과 비교할 때, 본 발명에 의하여 제공되는 정전척은 종래의 히터(3)와/또는 척 베이스(5)에 수동 도포를 통하여 단열 접착층을 형성할 때 발생하는 평탄성을 확보하기 어렵고 진공 누설이 발생하기 쉬운 문제를 해결하는 동시에 정전척의 가공 난이도를 저하시킨다.
또한, 도3에 도시된 바와 같이, 단열층 시트 자재는 복수 층의 단열 필름(41)이 포함될 수 있다. 구체적으로, 복수 층의 단열 필름(41)은 한층씩 중첩되게 설치시켜 단열층 시트 자재를 형성할 수 있으며, 결국 상기 단열층 시트 자재로 형성된 단열층(40)으로 하여금 더욱 양호한 단열 효과를 나타내게 할 수 있다. 실제 활용에 있어서, 단열층 시트 자재에 상기 구조가 적용될 때, 실제 수요에 따라 단열 필름(41)의 층개수를 원활하게 조절하여 원하는 단열층 시트 자재의 두께 및 단열 성능을 얻을 수 있다.
또한, 폴리이미드는 양호한 단열 성능과 우월한 복합 성능을 갖고 있으므로, 단열 필름(41)의 재료로 폴리이미드가 사용될 수 있고, 복수 층의 폴리이미드 필름을 한 층씩 중첩되게 설치시키고 일체로 연결하여 단열층 시트 자재를 형성할 수 있다. 구체적으로, 복수 층의 폴리이미드 필름이 한 층씩 접착된 후 단열층 시트 자재를 형성하거나, 또는 복수 층의 폴리이미드 필름이 진공 열간 가압된 후 단열층 시트 자재를 형성할 수 있으며, 예를 들면, 진공 열간 가압장치를 이용하여 복수 층의 폴리이미드 필름을 진공 상태에서 압축한 후 일체로 연결하여 단열층 시트 자재를 형성할 수 있다. 진공 열간 가압을 이용하면 복수 층의 폴리이미드 필름을 견고하게 연결할 수 있고, 아주 간편하게 가공할 수 있으므로, 상기 형태는 본 발명의 바람직한 일 실시 형태이다.
또한, 폴리이미드가 사용되어 제조된 단열 필름(41)의 두께는 0.04mm~0.06mm일 수도 있고, 단열층 시트 자재의 두께는 0.3mm~0.6mm일 수 있다. 바람직하게는, 두께가 0.05mm인 폴리이미드 필름을 선택할 수 있고, 가공에 편리하고 바람직한 단열 효과를 얻기 위하여 복수 층의 폴리이미드 필름에 의하여 형성되는 단열층 시트 자재의 두께는 0.3mm~0.6mm사이일 수 있다. 상기한 형태는 본 발명에 의하여 제공되는 바람직한 실시 형태일뿐, 실제 활용에 있어서,단열층 시트 자재의 두께는 필요에 따라 조절될 수 있으며, 예를 들면, 히터(20)에 의해 가열된 온도가 높거나 파워가 크면, 단열 필름(41)의 개수를 적당하게 증가하여 단열층 시트 자재의 두께를 증가하여, 단열 효과를 향상시킬 수 있고, 히터(20)에 의해 가열된 온도가 약간 낮거나 파워가 작으면, 적은 개수의 단열 필름(41)을 선택 사용하여 가공의 복잡 정도를 낮출 수 있다.
또한, 단열층(40)의 윗면은 히터(20)에 접착될 수 있고, 단열층(40)의 아래면은 척 베이스(10)에 접착될 수 있다. 즉, 본 발명의 바람직한 실시 형태로서, 미리 제조된 단열층(40)이 접착방식으로 각각 히터(20)와 척 베이스(10)에 연결고정될 수 있다.
또한, 알루미나 세라믹과 질화알루미늄 세라믹은 모두 양호한 절연성, 내고온성 및 강한 기계적 강도와 열전도성을 갖고 있으므로, 절연층(30)의 재질은 알루미나 세라믹 또는 질화알루미늄 세라믹일 수 있다.
또한, 도4에 도시된 바와 같이, 절연층(30)의 윗면에는 돌기(32)가 설치되어 있고, 2개씩 서로 인접하는 돌기(32) 사이에는 요홈이 형성되어 있다. 또한, 절연층(30) 내에는 기체 도입 통로(33)가 더 설치되어 있고, 상기 기체 도입 통로(33)는 절연층(30)의 윗면에 있는 요홈과 연통되어 상기 요홈에 기체를 도입시킨다. 구체적으로, 절연층(30)의 윗면에는 복수 개의 돌기(32)가 설치될 수 있고, 칩이 절연층(30)에 배치될 때, 칩의 아래면은 돌기(32)에 접촉되며, 절연층(30)의 내부에는 기체 도입 통로(33)가 설치될 수 있고, 상기 기체 도입 통로(33)는 외부에서 절연층(30)의 윗면에 있는 요홈으로 가열 기체와 같은 온도 조절용 기체를 유입시켜, 가열 기체로 하여금 돌기(32)사이의 요홈에 충만되게끔 할 수 있으며, 상기 구조를 이용할 경우, 절연층(30)으로부터의 열 및 가열 기체로부터의 열에 의해 칩이 더욱 균일하게 가열될 수 있다. 기체 도입 통로(33)의 개수는 실제 수요에 따라 설정될 수 있고, 바람직하게, 기체 도입 통로(33)는 절연층(30)의 외측에 가까운 부분에 설치될 수 있고, 절연층(30) 윗면의 가장자리 부분에 가까운 요홈과 연통된다. 기체 도입 통로(33) 내로 도입된 가열 기체는 일정한 열량을 갖고 있는 불활성 기체, 예를 들면 헬륨 가스, 아르곤 가스 등일 수 있다.
또한, 도4에 도시된 바와 같이, 상기 정전척은 절연층(30)과 히터(20) 사이에 중첩되게 설치된 금속층(50)을 더 포함할 수 있다. 구체적으로, 히터(20)상에 금속층(50)을 설치하고, 절연층(30)을 금속층(50)에 설치할 수 있으며, 상기 방식을 이용하여, 히터(20)로 하여금 먼저 금속층(50)을 가열하고, 그 다음에 금속층(50)에 의하여 열을 절연층(30)에 전달하게끔 할 수 있으며, 금속층(50)은 평판 모양의 금속일 수도 있고, 이러할 경우 열을 더욱 균일하게 절연층(30)으로 전달할 수 있다. 금속층(50)은 알루미늄으로 제조될 수 있고, 열전도성이 좋은 접착제를 사용하여 금속층(50)을 각각 절연층(30)과 히터(20)에 접착하여 고정시킬 수 있다.
또한, 척 베이스(10) 내에는 상기 정전척을 냉각시키는 냉각 액체를 통과시키는 냉각 채널(11)이 설치될 수 있다. 구체적으로, 정전척을 이용하여 칩의 온도를 제어하는 과정에서, 정전척이 열평형 상태를 유지하도록, 냉각 채널(11) 내에 냉각 액체를 통과시킬 수 있고, 그외, 상기 냉각 채널(11)을 설치하여, 정전척의 온도를 내려야 할 때, 빠른 속도로 온도를 내릴 수 있다.
상기는 본 발명에 의하여 제공되는 정전척에 대한 설명이고, 상기로부터 알 수 있는 바와 같이, 본 발명은 척 베이스와 히터 사이에 미리 제조된 단열층 시트 자재를 설치하여 단열층을 형성함으로써, 종래 기술에 있어서 단열 접합층의 평탄성을 확보하기 어렵고 진공 누설이 발생하기 쉬운 문제를 효과적으로 해결할 수 있으며, 정전척의 수율뿐만 아니라, 상기 정전척을 이용하여 반도체를 가공할 때의 공정 품질도 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 의하여 제공되는 정전척은 종래 기술에 있어서 수동으로 접착제를 도포하여 단열층을 형성하는 공정 과정에서의 반복적인 도포, 반복적인 평탄화 등 문제를 해결할 수 있고, 정전척 가공의 복잡성을 저하시킨다.
본 발명의 다른 일 측면으로서, 베이스를 포함하는 챔버를 제공하고, 상기 챔버에는 상기 본 발명에 의하여 제공되는 정전척이 더 포함되며 상기 정전척은 상기 베이스에 설치된다.
본 발명에서 제공되는 챔버는 본 발명에서 제공되는 정전척을 포함하고 있으므로, 종래의 챔버에 배치된 정전척이 단열 접착층의 평탄성이 낮고 진공 누설이 발생하기 쉬운 등 문제로 인하여 반도체를 가공할 때의 공정 품질이 낮은 등 문제를 효과적으로 해결한다.
본 발명의 다른 일 측면으로서, 본 발명은 또한 상기 각 실시예에 따른 정전척을 제조하는데 사용되는 정전척의 제조 방법을 제공한다. 도5에 도시된 바와 같이, 상기 방법은 적어도, 단열층 시트 자재를 제조하는 단열층 시트 자재 제조 단계(110) 및 단열층 시트 자재를 척 베이스와 히터 사이에 중첩되게 설치시키는 단열층 시트 자재 장착 단계(120)를 포함한다.
구체적으로, 단열층 시트 자재 제조 단계(110)에 있어서, 먼저 하나의 단열 필름을 제조하고, 그 다음에 상기 하나의 단열 필름을 복수 층으로 접어 복수 층의 단열 필름을 형성하거나, 또는, 먼저 복수 개의 단열 필름을 제조하고, 그 다음에 상기 복수 개의 단열 필름을 적층시켜 복수 층의 단열 필름을 형성하며, 마지막으로, 복수 층의 단열 필름으로 단열층 시트 자재를 형성한다. 예를 들면, 진공 열간 가압 공정을 통하여 복수 층의 단열 필름이 단열층 시트 자재로 제조될 수 있다. 실제 활용에 있어서, 폴리이미드는 양호한 단열 성능과 우월한 복합 성능을 갖고 있으므로, 단열 필름의 재료로 폴리이미드가 선택될 수 있다. 또한, 단층 단열 필름의 두께를 0.04mm~0.06mm로 설정한 후, 진공 열간 가압 공정을 이용하여 복수 층의 단열 필름을 두께가 0.3mm~0.6mm인 단열층 시트 자재로 제조할 수 있다.
단열층 시트 자재의 제조 단계(120)에 있어서, 단열층 시트 자재의 윗면을 히터에 접착시키고, 단열층 시트 자재의 아래면을 척 베이스에 접착시킴으로서 단열층 시트 자재를 척 베이스와 히터 사이에 중첩되게 설치하여 정전척을 형성한다.
또한, 본 발명에 의하여 제공되는 정전척의 제조 방법은 기체 도입 통로 설치 단계를 더 포함한다. 즉, 절연층 내에 가열 기체와 같은 온도 조절 기체를 도입하는 기체 도입 통로를 설치하여, 절연층의 온도를 균일하게 한다.
또한, 본 발명에 의하여 제공되는 정전척의 제조 방법은 금속층 설치 단계를 더 포함한다. 즉, 금속층을 상기 절연층과 상기 히터 사이에 중첩되게 설치하여, 열을 더욱 균일하게 절연층으로 전달시킨다.
또한, 본 발명에 의하여 제공되는 정전척의 제조 방법은, 냉각 채널 설치 단계를 더 포함한다. 즉, 척 베이스 내에 상기 정전척을 냉각시키는 냉각 액체를 통과시키는 냉각 채널을 설치한다.
기체 도입 통로, 금속층 및 냉각 채널에 대한 더욱 상세한 설명은 상기 도4를 참조한 설명을 참조할 수 있는 바, 여기서 중복 설명을 하지 않는다.
본 발명에 의하여 제공되는 정전척의 제조 방법은, 먼저 단열층 시트 자재를 제조하고, 그 다음에 제조된 단열층 시트 자재를 척 베이스와 히터 사이에 중첩되게 설치시켜 단열층을 형성한다. 이와 같이, 단열층 시트 자재는 미리 별도로 제조한 것이기 때문에, 종래 기술에 있어서 단열 접착층의 평탄성이 낮고 진공 누설이 쉽게 발생하는 등 문제를 효과적으로 해결할 수 있으며, 정전척의 수율뿐만 아니라, 상기 정전척을 사용하여 반도체를 가공할 때의 공정 품질도 향상시킨다. 또한, 본 발명에 의하여 제공되는 정전척의 제조 방법은 종래 기술에 있어서 수동으로 접착제를 도포하여 단열층을 형성하는 공정에서 발생하는 반복적인 도포, 반복적인 평탄화 등 문제를 방지할 수 있고, 정전척을 제조하는 복잡정도를 저하시키며, 제조 효율을 향상시킨다.
상기 실시 형태는 본 발명의 원리를 설명하기 위하여 사용한 예시적인 실시 형태에 불과하고, 본 발명은 이에 한정되지 않는다는 점은 이해할 수 있을 것이다. 당업자라면, 본 발명의 주제와 본질을 벗어나지 않는 전제하에서, 각종 변형이나 개선을 실시할 수 있으며, 이러한 변형이나 개선은 본 발명의 보호 범위 내에 속하는 것으로 간주할 수 있다.
1, 30: 절연층 2, 50: 금속층 3, 20: 히터
4: 단열 접착층 5, 10: 척 베이스 6, 31: 전극
11: 냉각 채널 32: 돌기 33: 기체 도입 통로
40: 단열층 41: 단열 필름

Claims (15)

  1. 상부에 히터 및 상기 히터의 상부에 설치되고 내부에는 정전 인력을 발생시키는 전극이 설치되어 있는 절연층이 설치되어 있는 척 베이스를 포함하는 정전척에 있어서,
    상기 척 베이스와 상기 히터 사이에 중첩되게 설치되어 단열층을 구성하는 단열층 시트 자재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전척.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 단열층 시트 자재는 복수 층의 단열 필름을 포함하는 것을 특징으로 하는 정전척.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 단열 필름의 재료는 폴리이미드이고, 상기 복수 층의 단열 필름은 진공 열간 가압을 거친 후 상기 단열층 시트 자재를 형성하는 것을 특징으로 하는 정전척.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 단열 필름의 두께는 0.04mm~0.06mm이고, 상기 단열층 시트 자재의 두께는 0.3mm~0.6mm인 것을 특징으로 하는 정전척.
  5. 제1항 내지 제4항 중의 어느 한 항에 있어서,
    상기 단열층 시트 자재의 윗면은 상기 히터에 접착되고, 상기 단열층 시트 자재의 아래면은 상기 척 베이스에 접착되는 것을 특징으로 하는 정전척.
  6. 제1항 내지 제4항 중의 어느 한 항에 있어서,
    상기 절연층의 재질은 알루미나 세라믹 또는 질화알루미늄 세라믹인 것을 특징으로 하는 정전척.
  7. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 절연층 내에는 상기 절연층의 온도가 균일하도록 온도 조절 기체를 도입하는 기체 도입 통로가 더 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 정전척.
  8. 제1항 내지 제4항 중의 어느 한 항에 있어서,
    상기 절연층과 상기 히터 사이에 중첩되게 설치되어 있는 금속층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전척.
  9. 제1항 내지 제4항 중의 어느 한 항에 있어서,
    상기 척 베이스 내에는 상기 정전척을 냉각시키기 위하여 냉각 액체를 통과시키는 냉각 채널이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 정전척.
  10. 베이스를 포함하는 챔버에 있어서,
    상기 챔버는 제1항 내지 제9항 중의 어느 한 항에 따른 정전척을 포함하고, 상기 정천척은 상기 베이스에 설치된 것을 특징으로 하는 챔버.
  11. 제1항에 따른 정전척을 제조하는 방법에 있어서,
    적어도,
    단열층 시트 자재를 제조하는 단열층 시트 자재의 제조 단계; 및
    단열층 시트 자재를 상기 척 베이스와 상기 히터 사이에 중첩되게 설치하여 단열층을 형성하게 하는 단열층 시트 자재 장착 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전척의 제조 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 단열층 시트 자재의 제조 단계에 있어서, 먼저 복수 층의 단열 필름을 획득하고, 그 다음에 복수 층의 단열 필름 전체를 가공하여 단열층 시트 자재를 형성하는 것을 특징으로 하는 정전척의 제조 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 단열층 시트 자재의 제조 단계에 있어서, 먼저 복수 층의 재료가 폴리이미드인 단열 필름을 제조하고, 그 다음에 진공 열간 가압 공정을 이용하여 복수 층의 단열 필름 전체를 단열층 시트 자재로 제조하는 것을 특징으로 하는 정전척의 제조 방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 단열층 시트 자재의 제조 단계에 있어서, 먼저 복수 개의 두께가 0.04mm~0.06mm인 단열 필름을 제조하고, 그 다음에 진공 열간 가압 공정을 이용하여 복수 층의 단열 필름 전체를 두께가 0.3mm~0.6mm인 단열층 시트 자재로 제조하는 것을 특징으로 하는 정전척의 제조 방법.
  15. 제11항 내지 제14항 중의 어느 한 항에 있어서,
    상기 단열층 시트 자재의 장착 단계에 있어서, 상기 단열층 시트 자재의 윗면을 상기 히터에 접착시키고, 상기 단열층 시트 자재의 아래면을 상기 척 베이스에 접착시켜 단열층을 형성하는 것을 특징으로 하는 정전척의 제조 방법.

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