KR20160060941A - 비정질 합금 분말 제조 장치 및 그 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 가스-물 분사 하이브리드법에 의해 구형의 비정질 합금 분말을 제조하는 비정질 합금 분말의 제조 장치 및 그 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의한 비정질 합금 분말 제조 장치는 비정질 합금 원료를 수용하여 용해하는 도가니와, 상기 도가니의 하부에 설치되어 용탕을 자연 낙하시키도록 유도하는 오리피스와, 상기 오리피스로부터 자연 낙하되는 용탕을 인가받아 분산 및 냉각시켜 구형의 비정질 분말을 생성하는 챔버와, 상기 챔버로부터 생성된 구형의 비정질 분말을 회전력에 의해 포집 용기로 유도하는 임펠러를 포함한다.

Description

비정질 합금 분말 제조 장치 및 그 방법{APPARATUS AND METHOD FOR PRODUCING AMORPHOUS ALLOY POWDER}
본 발명은 각종 기능성 부품(경·연자성 재료, 전자파 흡수체, 열전 재료, 2차 전지용 음극소재 등) 및 구조용 부품(방탄 재료, 의료용 재료, 항공우주용 재료 등) 등에 사용되는 비정질 합금 분말 제조 장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 특히 가스-물 분사 하이브리드법에 의해 구형의 비정질 합금 분말을 제조하는 비정질 합금 분말 제조 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
보통 순금속, 합금, 세락믹스 및 그 복합소재 등의 분말을 제조하는 방법 중의 하나로 잘 알려진 분무법(atomization process)은 냉각 매체의 종류에 따라 가스 분무법, 수 분사법 및 혼합 분무법으로 구분되며, 그 중 가스 분무법은 냉각 매체로 불활성 가스(N2, Ar, He)나 공기(air) 등을 사용하므로 분말 제조 시 산화 및 불순물 혼입문제가 적어 고품질의 분말제조가 가능하지만, 냉각효과가 낮기 때문에 합금 분말의 경우 미세 편석이 발생하여 균질한 합금 분말을 얻을 수 없을 뿐만 아니라, 사용 가스의 가격이 비교적 고가이기 때문에 생산 코스트 상승의 문제점이 있고, 또한 수 분사법(water atomization process)은 상기 가스나 공기 대신에 비교적 저가인 물(H2O)을 주요 냉매로 사용하기 때문에 제조하는 분말의 산화 문제가 클 수 있지만, 산화 문제가 적거나 후처리 공정으로 산화 문제를 해결할 수 있는 경우에는 경제적으로 매우 유리할 뿐만 아니라, 냉각 효과가 매우 크다는 장점 때문에 최근 철(Fe)계 연자성 비정질 합금 분말, 센더스트(SENDUST), 스테인레스강(Stainless steel) 등의 분말 제조에 효율적이며 경제적인 제조법으로 적용되고 있으며, 또한 혼합 분무법은 냉각 매체로 상기 가스(N2, Ar, He), 공기 및 물(H2O) 등을 적절한 비율로 혼합하여 사용하는 제조 방법으로 상기 가스 분무법이나 수 분사법의 장단점을 고려한 제조 방법으로 적용되고 있다.
그러나 상기 가스 분무법으로 비정질 합금 분말을 제조하기 위해 분사 매체(N2, Ar, He, 공기 및 그 혼합물)를 30kgf/㎠(약 29.42 bar) 이상의 고압으로 분사하면 분무되어 분말이 생성되면서 1차적으로 냉각되지만, 그 후 대형의 챔버내에서 비산되면서 비교적 낮은 속도로 냉각되므로 합금 성분의 미세 편석의 방지가 어렵고 미세조직을 얻을 수가 없을 뿐만 아니라, 비정질 합금 분말 제조는 더욱 어렵다.
한편, 가스 분무법보다 냉각 효과가 우수한 수 분사법은 비교적 저렴한 물(H2O)을 사용하므로 분말 제품의 코스트 절감이 가능하며 냉각 효과가 크기 때문에 미세 편석을 줄일 수 있지만, 특히 Fe원소의 함량이 85at%를 초과하면 비정질 형성능이 현격하게 저하하므로 20㎛이상의 비정질 합금 분말을 제조하는 것이 어려운 것으로 알려져 있으며(105K/sec이상의 냉각 속도가 요구됨), 그에 관련된 몇몇의 선행 기술을 소개하면 다음과 같다.
국내 특허 공개 2004-0023534호에 개시된 것으로, 고압수 분사법에 의해 제조한 나노결정질 합금 분말을 사용하여 자성 분말 코어 제조 시, 합금 분말이 부정형이면 성형 밀도가 낮고, 특히 결합제와 혼합하여 압축 성형하면 분말 간 절연이 어려워 자성 코어의 특성이 저하하므로, 구형 및 구형에 가깝고 4∼45㎛범위의 사이즈가 코어 제조 특성 및 연자기적 특성이 우수함을 제안하고 있다.
국내 특허 등록 제0545849호에서는 상기 국내 특허 공개 2004-0023534호의 제안기술과는 달리, Fe78Si13B9(91.72wt%Fe-5.32wt%Si-2.96wt%B)(METGLAS,2605 S2)계 비정질 합금 리본을 급속 응고법(RSP)으로 제조하여 열처리 및 볼밀(ball mill) 등으로 미분쇄하여 -100∼+140mesh(35∼45%), -140∼+200mesh(55∼65%)로 분급하여 대전류 직류 중첩 특성이 요구되는 SMPS용 초코 코어 제품 제조 기술을 보고하였다.
국내 특허 공개 2007-0079575호 및 2009-0130054호는 우선 동일한 출원자이며, 동일한 수 분사법을 이용한 비정질 합금 분말의 제조 및 특성에 관한 것으로서, 전자의 Fe78P6B12Mo4(85.49wt%Fe-4.86wt%P-2.12wt%B-7.53wt%Mo계 합금은 200㎛까지 제조 가능하지만, 후자의 Fe79.91B10P2Si2Nb5Cr1Cu0.094(85.64wt%Fe-2.07wt%B-1.19wt%P-1.08wt%Si-8.91wt%Nb-1wt%Cr-0.11wt%Cu)계 합금은 평균 입도가 10㎛정도인 비정질 단상 분말의 제조가 가능한 것으로 게재하고 있어 입도에 큰 차이가 있는 것으로 개시하고 있으나, 그러한 이유는 2종류 비정질 합금 조성의 철(Fe) 함량은 각각 85.49wt%Fe 및 85.6wt%Fe로 거의 차이가 없지만, 주요 성분인 철 이외 첨가 원소의 종류 및 화학적 조성에 따른 비정질 형성능 차이 때문인 것으로 판단된다.
한편, 국내 특허 공개 2011-0044832호에 의하면, Fe83.3Si4B8P4Cu0.7(92.68wt%Fe-2.24wt%Si-1.72wt%B-2.47wt%P-0.89wt%Cu)계 비정질 합금 리본을 제조한 후, 열처리하여 어트리터(attritor)로 분쇄한 분말과 직접 수 분사법으로 제조한 합금 분말을 압분 코어로 제조하여 연자기적 특성을 비교하였으며, 특히 압분 코어용 합금 분말을 완전한 비정질 합금 리본을 제조하여 분쇄한 것은 평균 입경이 32㎛인 경우에도 열처리전의 비정질화(%)가 100%이지만, 수 분사법으로 제조할 경우에는 평균 입경이 3㎛일 경우에는 100%이지만, 10㎛일 경우에는 65%, 20㎛일 경우에는 40%정도만 비정질 분말이 얻어지는 것으로 보고되었다.
이상과 같이 각종 다양한 기능성 및 기계 부품용으로 사용되는 합금 분말의 특성은 분말의 입도, 형상 및 미세 조직 등은 제조 방법이나 공정 조건에 의해 결정되며, 이러한 최종 제품의 성능에도 큰 영향을 줄 뿐만 아니라, 각종 기능성 부품 소재의 경박 단소 및 경제적 측면에서도 매우 중요하다.
국내 특허 등록 제0372226호 공보 국내 특허 등록 제0542061호 공보 국내 특허 등록 제0545849호 공보 국내 특허 등록 제0561891호 공보 국내 특허 등록 제0650354호 공보 국내 특허 공개 2007-0079575호 공보 국내 특허 공개 2009-0130054호 공보 국내 특허 등록 제0974807호 공보 국내 특허 공개 2011-0044832호 공보 국내 특허 공개 2012-0085645호 공보 국내 특허 등록 제1217223호 공보 각종 기능성 부품(경·연자성 재료, 전자파 흡수체, 열전 재료, 2차전지용 음극 소재 등) 및 구조용 부품(방탄 재료, 의료용 재료, 항공우주용 재료 등) 등으로 사용되는 비정질 합금 분말은 기본적으로 최종 적용 제품의 특성 향상을 위해 균질한 화학적 조성이 중요하지만, 적용 제품에 따라 분말의 입도, 형상 및 미세 조직 등이 매우 중요하다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래의 사항을 감안하여 이루어진 것으로서, 본 발명의 목적은 구형 비정질 분말을 제조함으로써 성형 밀도를 증가시키고 자성 코어의 특성을 향상시키는 비정질 합금 분말 제조 장치 및 그 방법을 제공하는 데에 있다.
상기의 목적을 달성하기 위해 본 발명의 실시형태에 의한 비정질 합금 분말 제조 장치는 비정질 합금 원료를 수용하여 용해하는 도가니, 상기 도가니의 하부에 설치되어 용탕을 자연 낙하시키도록 유도하는 오리피스, 상기 오리피스로부터 자연 낙하되는 용탕을 인가받아 분산 및 냉각시켜 구형의 비정질 분말을 생성하는 챔버, 및 상기 챔버로부터 생성된 구형의 비정질 분말을 회전력에 의해 포집 용기로 유도하는 임펠러를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 실시형태에 의한 비정질 합금 분말 제조 장치에 있어서, 상기 챔버는, 외벽을 형성하는 챔버 본체, 상기 챔버 본체의 내측에 형성되어 회전하도록 구성된 회전 원통, 상기 오리피스로부터 자연 낙하되는 용탕을 1차로 냉각함과 아울러 상기 회전 원통 내벽 상부로 냉각수 및 냉매를 분사시키도록 구성된 제 1 노즐, 상기 오리피스로부터 자연 낙하되는 용탕을 상기 챔버 본체 내측에서 분무시키기 위해 용탕을 향해 분사 매체를 분사시키도록 구성된 가스 노즐, 상기 회전 원통의 내측에 원추형으로 형성되어 상기 회전 원통과 함께 회전되고 내측에는 냉각수 및 냉매가 유동되어 외측 표면에 접촉하는 용탕을 냉각시키도록 구성된 원추형 냉각 롤러, 및 상기 회전 원통의 외벽에 냉각수 및 냉매를 분사시키도록 구성된 제 2 노즐을 포함할 수 있다.
상기 실시형태에 의한 비정질 합금 분말 제조 장치는 상기 회전 원통, 원추형 냉각 롤러 및 임펠러를 회전시키도록 구성된 회전 수단을 더 포함할 수 있다.
상기 실시형태에 의한 비정질 합금 분말 제조 장치에 있어서, 상기 분사 매체는 아르곤, 질소 및 공기중 하나 이상을 함유할 수 있다.
본 발명의 다른 실시형태에 의한 비정질 합금 분말 제조 방법은 도가니에서 비정질 합금 원료를 수용하여 용해하는 공정, 상기 도가니로부터 인출되는 용탕을 오리피스를 통해 자연 낙하시키는 공정, 상기 오리피스로부터 자연 낙하되는 용탕을 인가받아 챔버에서 분산 및 냉각시켜 구형의 비정질 분말을 생성하는 공정, 및 상기 챔버로부터 생성된 구형의 비정질 분말을 임펠러에 의해 포집 용기로 유도하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 다른 실시형태에 의한 비정질 합금 분말 제조 방법에 있어서, 상기 구형의 비정질 분말을 생성하는 공정은, 상기 오리피스로부터 자연 낙하되는 용탕을 제 1 노즐에서 유동되는 냉각수 및 냉매에 의해 1차로 냉각함과 아울러 상기 제 1 노즐에서 회전 원통 내벽 상부로 냉각수 및 냉매를 분사시키는 공정, 가스노즐이 용탕을 향해 분사 매체를 분사시켜 상기 오리피스로부터 자연 낙하되는 용탕을 챔버 내측에서 분무시키는 공정, 회전하는 원추형 냉각 롤러에 의해 그 외측 표면에 접촉하는 용탕을 냉각시키는 공정, 제 2 노즐이 상기 회전 원통의 외벽에 냉각수 및 냉매를 분사시키는 공정, 및 회전하는 상기 회전 원통에 분무되어 접촉되는 용탕을 냉각시키는 공정을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시형태에 의한 비정질 합금 분말 제조 장치에 의하면, 비정질 합금 원료를 수용하여 용해하는 도가니, 상기 도가니의 하부에 설치되어 용탕을 자연 낙하시키도록 유도하는 오리피스, 상기 오리피스로부터 자연 낙하되는 용탕을 인가받아 분산 및 냉각시켜 구형의 비정질 분말을 생성하는 챔버, 및 상기 챔버로부터 생성된 구형의 비정질 분말을 회전력에 의해 포집 용기로 유도하는 임펠러를 포함하여 구성됨으로써, 구형 비정질 분말을 제조할 수 있으므로 성형 밀도를 증가시키고 자성 코어의 특성을 향상시킬 수 있다는 효과가 있다.
본 발명의 다른 실시형태에 의한 비정질 합금 분말 제조 방법에 의하면, 도가니에서 비정질 합금 원료를 수용하여 용해하는 공정, 상기 도가니로부터 인출되는 용탕을 오리피스를 통해 자연 낙하시키는 공정, 상기 오리피스로부터 자연 낙하되는 용탕을 인가받아 챔버에서 분산 및 냉각시켜 구형의 비정질 분말을 생성하는 공정, 및 상기 챔버로부터 생성된 구형의 비정질 분말을 임펠러에 의해 포집 용기로 유도하는 공정을 포함하여 이루어짐으로써, 구형 비정질 분말을 제조할 수 있으므로 성형 밀도를 증가시키고 자성 코어의 특성을 향상시킬 수 있다는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 의한 비정질 합금 분말 제조 장치의 전체 구성을 나타내는 개략도이다.
도 2는 본 발명의 비정질 합금 분말 제조 장치에 의해 제조한 Fe78Si9B13(METGLES,2605 S2)계 및 Fe73.5Si13.5B9Nb3Cu1(FINEMET)계 비정질 합금분말의 외형을 SEM으로 관찰한 SEM사진 비교도이다.
도 3은 본 발명의 비정질 합금 분말 제조 장치에 의해 제조한 Fe78Si9B13(METGLES,2605 S2)계 및 Fe73.5Si13.5B9Nb3Cu1(FINEMET)계 비정질 합금분말의 XRD차트 비교도이다.
이하, 본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 의한 비정질 합금 분말 제조 장치의 전체 구성을 나타내는 개략도로서, 본 발명의 실시예에 의한 비정질 합금 분말 제조 장치는 도가니(27), 오리피스(23), 챔버(5) 및 임펠러(7)를 포함한다.
도가니(27)는 비정질 합금 원료를 수용하여 용해하는 역할을 하며, 예컨대 고주파 유도 코일이 권회된 고주파 유도로를 사용할 수 있다.
오리피스(23)는 도가니(27)의 하부에 설치되어 도가니(27)로부터 배출되는 용탕을 자연 낙하시키도록 유도하는 역할을 한다.
챔버(5)는 오리피스(23)로부터 자연 낙하되는 용탕을 인가받아 분산 및 냉각시켜 구형의 비정질 분말을 생성하는 역할을 한다. 좀 더 상세하게 설명하면, 챔버(5)는 외벽을 형성하는 챔버 본체(5)와, 챔버 본체(5)의 내측에 설치된 회전 원통(3), 제 1 노즐(29), 가스 노즐(18), 원추형 냉각 롤러(17), 및 제 2 노즐(1)로 이루어져 있다. 회전 원통(3)은 회전 수단(13)에 의해 회전될 수 있도록 구성되어 있으며, 내, 외측 벽으로 냉각수 및 냉매가 흐르도록 구성된 수 냉각 구조를 가지고 있다. 제 1 노즐(29)은 오리피스(23)로부터 자연 낙하되는 용탕을 내측에서 유동되는 냉각수 및 냉매에 의해 1차로 냉각함과 아울러 회전 원통(3)의 내벽 상부로 냉각수 및 냉매를 분사시키도록 구성되어 있다. 가스 노즐(18)은 오리피스(23)로부터 자연 낙하되는 용탕을 챔버(5) 내측에서 분무시키기 위해 용탕을 향해 분사 매체(19)를 분사시키도록 구성되어 있다. 분사 매체는 아르곤, 질소 및 공기중 하나 이상을 함유할 수 있다. 원추형 냉각 롤러(17)는 회전 원통(3)의 내측에 원추형으로 형성되어 있으며, 회전 원통(3) 및 임펠러(7)와 함께 회전 수단(13)에 의해 회전되도록 구성되며, 내측에는 냉각수 및 냉매가 유동되어 외측 표면에 접촉하는 용탕을 냉각시키도록 구성되어 있다. 제 2 노즐(1)은 회전 원통(3)의 외벽에 냉각수 및 냉매를 분사시키도록 구성되어 있다.
임펠러(7)는 챔버(5)로부터 생성된 구형의 비정질 분말을 회전력에 의해 포집 용기(15)로 유도하도록 회전 수단(13)에 의해 회전되도록 구성되어 있다.
회전 수단(13)은 회전 원통(3), 원추형 냉각 롤러(17) 및 임펠러(7)를 회전시키도록 회전 베어링, 하우징 및 중공형 구동축등을 구비한다. 또한, 회전 수단(13)은 중공형 구동축을 회전시키도록 모터(9), 및 풀리ㅇ벨트(11)를 구비한다.
이하, 상기와 같이 구성된 본 발명의 실시예에 의한 비정질 합금 분말 제조 장치를 이용하여 비정질 합금 분말을 제조하는 방법을 설명하기로 한다.
먼저, 도가니(27)에 비정질 합금 원료가 수용되어 용해되어서 용탕(25)이 생성되고, 생성된 용탕은 오리피스(23)로 인입되어 자연 낙하된다.
오리피스(23)로부터 자연 낙하되는 용탕은 챔버(5)에 인입되어 분산 및 냉각되어서 구형의 비정질 분말이 생성된다. 좀 더 상세히 설명하면, 오리피스(23)로부터 자연 낙하되는 용탕은 제 1 노즐(29)내에서 유동되는 냉각수 및 냉매에 의해 1차로 냉각되며, 제 1 노즐(29)에 의해 회전 원통(3) 내벽 상부로 냉각수 및 냉매가 분사된다.
이어서, 가스노즐(18)은 용탕을 향해 분사 매체(19)를 분사시켜 오리피스(23)로부터 자연 낙하되는 용탕을 챔버(5) 내측에서 분무시켜 사방으로 흩어지게 한다.
상기 분무되는 용탕 중 일부는 원추형 냉각 롤러(17)의 외측 표면에 접촉되어 냉각되고, 상기 분무된 용탕 중 다른 일부는 제 2 노즐(1) 및 제 1 노즐(29)에서 분사된 냉각수 및 냉매에 의해 냉각된 회전 원통(3)의 내벽에 접촉하여 냉각되며, 이때 회전 원통(3) 및 원추형 냉각 롤러(17)가 함께 회전하며, 최종적으로는 구형 비정질 분말이 생성된다.
상기 챔버(5)로부터 생성된 구형의 비정질 분말과 냉매는 회전하는 임펠러(7)에 의해 포집 용기(15)로 유도된다.
도 2는 본 발명의 비정질 합금 분말 제조 장치에 의해 제조한 Fe78Si9B13(METGLES,2605 S2)계 및 Fe73.5Si13.5B9Nb3Cu1(FINEMET)계 비정질 합금분말의 외형을 SEM으로 관찰한 SEM사진 비교도이며, 도 3은 본 발명의 비정질 합금 분말 제조 장치에 의해 제조한 Fe78Si9B13(METGLES,2605 S2)계 및 Fe73.5Si13.5B9Nb3Cu1(FINEMET)계 비정질 합금분말의 XRD차트 비교도로서, 본 발명의 실시예에 의해 제조된 비정질 분말은, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 구형의 거의 완전한 비정질 분말임을 알 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 실시형태에 의한 비정질 합금 분말 제조 장치 및 그 방법에 의하면, 도가니에서 비정질 합금 원료를 수용하여 용해하고, 도가니로부터 인출되는 용탕을 오리피스를 통해 자연 낙하시키며, 상기 오리피스로부터 자연 낙하되는 용탕을 인가받아 챔버에서 분산 및 냉각시켜 구형의 비정질 분말을 생성하며, 그리고 상기 챔버로부터 생성된 구형의 비정질 분말을 임펠러에 의해 포집 용기로 유도함으로써 구형 비정질 분말을 제조할 수 있으므로 성형 밀도를 증가시키고 자성 코어의 특성을 향상시킬 수 있다.
도면과 명세서에는 최적의 실시예가 개시되었으며, 특정한 용어들이 사용되었으나 이는 단지 본 발명의 실시형태를 설명하기 위한 목적으로 사용된 것이지 의미를 한정하거나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
1: 제 2 노즐 3: 회전 원통
5: 챔버 본체 7: 임펠러
13: 회전 수단 15: 포집 용기
17: 원추형 냉각 롤러 18: 가스 노즐
19: 분사 매체 21: 냉각수 및 냉매
23: 오리피스 25: 합금 용탕
27: 도기나 29: 제 1 노즐
r: 회전 원통 및 원추형 냉각 롤러의 회전방향

Claims (7)

  1. 비정질 합금 원료를 수용하여 용해하는 도가니;
    상기 도가니의 하부에 설치되어 용탕을 자연 낙하시키도록 유도하는 오리피스;
    상기 오리피스로부터 자연 낙하되는 용탕을 인가받아 분산 및 냉각시켜 구형의 비정질 분말을 생성하는 챔버; 및
    상기 챔버로부터 생성된 구형의 비정질 분말을 회전력에 의해 포집 용기로 유도하는 임펠러를 포함하는 것을 특징으로 하는 비정질 합금 분말 제조 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 챔버는,
    외벽을 형성하는 챔버 본체,
    상기 챔버 본체의 내측에 형성되어 회전하도록 구성된 회전 원통,
    상기 오리피스로부터 자연 낙하되는 용탕을 1차로 냉각함과 아울러 상기 회전 원통 내벽 상부로 냉각수 및 냉매를 분사시키도록 구성된 제 1 노즐,
    상기 오리피스로부터 자연 낙하되는 용탕을 상기 챔버 본체 내측에서 분무시키기 위해 용탕을 향해 분사 매체를 분사시키도록 구성된 가스 노즐,
    상기 회전 원통의 내측에 원추형으로 형성되어 상기 회전 원통과 함께 회전되고 내측에는 냉각수 및 냉매가 유동되어 외측 표면에 접촉하는 용탕을 냉각시키도록 구성된 원추형 냉각 롤러, 및
    상기 회전 원통의 외벽에 냉각수 및 냉매를 분사시키도록 구성된 제 2 노즐을 포함하는 것을 특징으로 하는 비정질 합금 분말 제조 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 회전 원통, 원추형 냉각 롤러 및 임펠러를 회전시키도록 구성된 회전 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비정질 합금 분말 제조 장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 분사 매체는 아르곤, 질소 및 공기중 하나 이상을 함유하는 것을 특징으로 하는 비정질 합금 분말 제조 장치.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중의 어느 한 항에 기재된 비정질 합금 분말 제조 장치를 이용하여 비정질 합금 분말을 제조하는 방법으로서:
    도가니에서 비정질 합금 원료를 수용하여 용해하는 공정;
    상기 도가니로부터 인출되는 용탕을 오리피스를 통해 자연 낙하시키는 공정;
    상기 오리피스로부터 자연 낙하되는 용탕을 인가받아 챔버에서 분산 및 냉각시켜 구형의 비정질 분말을 생성하는 공정; 및
    상기 챔버로부터 생성된 구형의 비정질 분말을 임펠러에 의해 포집 용기로 유도하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 비정질 합금 분말 제조 방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 구형의 비정질 분말을 생성하는 공정은,
    상기 오리피스로부터 자연 낙하되는 용탕을 제 1 노즐에서 유동되는 냉각수 및 냉매에 의해 1차로 냉각함과 아울러 상기 제 1 노즐에서 회전 원통 내벽 상부로 냉각수 및 냉매를 분사시키는 공정,
    가스노즐이 용탕을 향해 분사 매체를 분사시켜 상기 오리피스로부터 자연 낙하되는 용탕을 챔버 내측에서 분무시키는 공정,
    회전하는 원추형 냉각 롤러에 의해 그 외측 표면에 접촉하는 용탕을 냉각시키는 공정,
    제 2 노즐이 상기 회전 원통의 외벽에 냉각수 및 냉매를 분사시키는 공정, 및
    회전하는 상기 회전 원통에 분무되어 접촉되는 용탕을 냉각시키는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 비정질 합금 분말 제조 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 분사 매체는 아르곤, 질소 및 공기중 하나 이상을 함유하는 것을 특징으로 하는 비정질 합금 분말 제조 방법.
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