KR101683439B1 - 희토류를 함유하는 영구자석 분말 및 이의 제조 방법 - Google Patents

희토류를 함유하는 영구자석 분말 및 이의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 희토류 영구자석 분말 및 이의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면 Nd계 희토류 영구자석 분말을 제조하는데 있어 급속응고법의 일환인 가스분무공정(Gas atomization process)을 이용하여 조직이 미세하고 화학적으로 균질한 급속응고 자석 분말을 제조함으로써 조성이 균일한 Nd2Fe14B 상과 Nd-rich 상으로 이루어진 구형의 분말을 제조할 수 있었다. 본 발명의 방법에 따라 제조된 분말은 1 ~ 90 μm 입도 범위를 나타내는 구형의 분말 형태로 입도별 분급을 통해 분말의 크기에 따른 자석의 제조 및 기존 공정 보다 짧은 분쇄과정을 거쳐 강자성 소결 자석 및 본딩 자석의 제조가 가능할 것이다.

Description

희토류를 함유하는 영구자석 분말 및 이의 제조 방법{Permanent Magnet Powder containing Rare Earth Element　and a Method thereof}
본 발명은 희토류를 함유하는 영구자석 분말 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.
멜트 스피닝 (Melt Spinning) 공정을 이용해 구리 재질의 냉각 휠을 통해 용탕을 급속응고 시켜 리본 형태로 제작하는 방법이 출원번호 PCT/JP2003/008321, JP/2002/00230802, JP/2003/00044511에 기술되어 있다. 제작된 리본은 박판 형태로 제조되는데 이를 3 ~ 5 μm 크기의 미세 분말로 분쇄하는 공정을 거처 자성 성형 및 소결을 통해 자석을 제조 하게 된다. 분쇄공정이라는 공정추가에 대한 비용적 부담과 취급 중 불순물 오염문제로 인해 공정 축소를 통한 경제성확보 및 불순물저감을 통한 특성향상이 필요하다. 또한 멜트 스피닝 공정을 통해 제작된 리본은 냉각 휠에 인접한 부분의 미세조직과 로 내에 노출된 부분의 미세조직이 냉각속도 차이에 의해 결정립 크기 및 상의 차이가 발생하여 자성분말의 물리적, 화학적 이질화의 원인으로 작용한다. Nd계 희토류 영구자석은 강자성 특성을 나타내는 Nd2Fe14B상과 Nd-rich 상으로 이루어져 있다. Nd-rich 상은 Nd2Fe14B상 간의 자성 커플링을 억제하여 보자력을 향상시키고 분말 소결 시 소결특성 향상에 기여한다. 이러한 Nd2Fe14B상과 Nd-rich 상을 구현하기 위해서 일반적으로 Fe, Nd, B, 주 재료들과 자성 특성을 향상시키는 Dy, Nb, Co, Al, Ga, V, Cr 첨가원소를 용해하여 희토류 자석 합금을 제조한다. 그러나 일반적인 자연응고로 진행 시 자성특성을 저하시키는 α-Fe 상이 생성되기 때문에 이를 억제하기 위해서 급속응고 공정이 필요하다.
이에 본 발명자는 급속응고법의 일환인 가스분무공정 (gas atomization process)을 이용하여 조성이 균일하고 조직이 미세하여 균질한 Fe-Nd-B계 희토류 자성체를 구형의 분말 형태로 제조함으로서 상용공정인 멜트 스피닝 (Melt Spinning) 공정을 통해 리본 (Ribbon) 제작 시 발생하는 불균질 조직 발생 억제 및 리본의 분쇄를 통한 분말화 공정을 생략할 수 있는 장점을 갖는 자성 분말 제조 방법을 완성하였다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로 본 발명의 목적은 가스분무공정을 이용하여 조성이 균일하고 조직이 미세한 Nd계 희토류 영구자석 구형 분말 제조 방법을 제공하여 강자성을 띄는 희토류 영구자석 제조하는데 그 목적이 있다.
본원에 기재된 다양한 구체예가 도면을 참조로 기재된다. 하기 설명에서, 본 발명의 완전한 이해를 위해서, 다양한 특이적 상세사항, 예컨대, 특이적 형태, 조성물, 및 공정 등이 기재되어 있다. 그러나, 특정의 구체예는 이들 특이적 상세 사항 중 하나 이상 없이, 또는 다른 공지된 방법 및 형태와 함께 실행될 수 있다. 다른 예에서, 공지된 공정 및 제조 기술은 본 발명을 불필요하게 모호하게 하지 않게 하기 위해서, 특정의 상세사항으로 기재되지 않는다. "한 가지 구체예" 또는 "구체예"에 대한 본 명세서 전체를 통한 참조는 구체예와 결부되어 기재된 특별한 특징, 형태, 조성 또는 특성이 본 발명의 하나 이상의 구체예에 포함됨을 의미한다. 따라서, 본 명세서 전체에 걸친 다양한 위치에서 표현 "한 가지 구체예에서" 또는 "구체예"의 상황은 반드시 본 발명의 동일한 구체예를 나타내지는 않는다. 추가로, 특별한 특징, 형태, 조성, 또는 특성은 하나 이상의 구체예에서 어떠한 적합한 방법으로 조합될 수 있다.
일 구체예에서, 희토류 영구자석 분말 제조방법에 있어서, Nd, Fe 및 B 원소를 포함하는 합금물을 장입 장치부에 첨가하는 단계; 장입 장치부를 진공 및 불활성 분위기에서 1250 ℃ 내지 1650 ℃ 온도로 가온하는 단계; 및 상기 가온된 합금물을 가스 분사하는 단계를 포함하는 구의 형상을 갖는 희토류 영구자석 분말의 제조 방법을 제공한다. 상기 구체예에서, 합금 원소의 조성비는 Nd 20~35 중량%, Fe 60~ 80 중량% 및 B 0.5~3 중량%인 희토류 영구자석 분말의 제조 방법을 제공하고, 가온 단계는 1400 ℃ 내지 1500 ℃에서 1분 내지 30분간 가온하는 희토류 영구자석 분말의 제조 방법을 제공하며, 가스 분사 단계는 1 내지 3 MPa 압력으로 분사하는 희토류 영구자석 분말의 제조 방법을 제공하며, 분말은 0.5 ~200 μm 크기의 입도를 가지는 희토류 영구자석 분말의 제조 방법을 제공하며, 분말은 Nd2Fe14B상 및 Nd-rich 상으로 생성된 희토류 영구자석 분말의 제조 방법을 제공하며, 가온 단계는 고주파 유도 용해, 전기로 용해, 전자빔 용해, 아크 용해, 레이져 용해 및 플라즈마 용해로 구성된 군에서 선택된 어느 하나 이상으로 수행되는 희토류 영구자석 분말의 제조 방법을 제공하며, 분말 내부에 존재하는 결정립의 크기는 1~8 μm의 크기인 희토류 영구자석 분말의 제조 방법을 제공하며, 가스 분사 단계에서 가스 노즐이 18-홀 이상의 홀 유형 또는 환형의 링 유형인 희토류 영구자석 분말의 제조 방법을 제공하며,가스 분사 단계에서 내경이 2~6 mm 크기의 BNC (Boron Nitride and Carbon) 및 세라믹 재질을 가지는 오리피스로 분사되는 희토류 영구자석 분말의 제조 방법을 제공한다.
일 구체예에서, Nd, Fe 및 B 원소를 포함하는 합금물이 가온 후 가스 분사된 구의 형상을 갖는 희토류 영구자석 분말을 제공한다. 상기 구체예에서, 합금 원소의 조성비는 Nd 20~35 중량%, Fe 60~ 80 중량% 및 B 0.5~3 중량%인 희토류 영구자석 분말을 제공하고, 분말은 0.5 ~200 μm 크기의 입도를 가지는 희토류 영구자석 분말을 제공하며, 분말 내부에 존재하는 결정립의 크기는 1~8 μm의 크기인 희토류 영구자석 분말을 제공한다.
일 구체예에서, 가스 분무 장치에 있어서, 희토류 원소를 장입시키는 장입장치부;
가온부; 및 가스 분사부를 포함하는 가스 분무 장치를 제공한다.
도 1에 따르면, 본 발명의 일 구체예에서 Nd 계 희토류 영구자석의 조성인 Fe-Nd-B-X-Y 계(X=Dy, Gd, Pr 와 Y= Al, Co, Cu, Ni) 합금을 자석의 사용 목적 및 성능 과 사용 환경 등을 고려하여 자석 조성을 설계하는 단계(S1)부터 시작한다. Nd계 희토류 영구자석은 그 사용 목적에 따라 요구되는 자성 특성이 다르고 사용 환경에 따라 산화 및 온도 영향을 크게 받기 때문에 정밀한 합금 설계가 필요하다. 다음으로 가스분무법을 이용한 분말제조를 위해 칭량된 합금을 용해하는 단계를(S2) 거치게 된다. Nd2Fe14B의 용융점은 1250 ℃ 정도이나 공정상 용탕의 유동성 확보를 위하여 200 ℃ 정도 가온 하여 용해를 실시하며 (S1)단계의 합금 설계에 따라서 용해 온도 및 용탕 유지시간과 분위기 조건에 차이를 보일 수 있다. 액상 상태로 용융된 합금은 출탕 및 가스 분사를 통해 분말화 하는 단계(S3)를 거치게 된다. 이 단계에는 분말의 입도 및 형상 그리고 냉각속도에 따른 미세조직을 결정하는 중요한 공정으로 이는, 분사되는 가스 압력 및 가스 노즐 형태 (분사 각도, 노즐 타입, 가스 종류)와 오리피스 내경에 따른 출탕 속도 등의 다양한 공정 조건으로 결정된다. 마지막 단계인 분말 회수 단계는(S4) 제조된 분말을 산화 및 외부 오염으로부터 보호하고 향후 공정을 위한 보관 및 운반 등을 고려해 진행 된다.
도 2에 따르면, 본 발명의 일 구체예에서 구형의 Nd계 희토류 영구자석 분말을 제조하는데 사용하기에 적합한 급속응고 가스분무장치는 먼저, 재료의 용해를 담당하는 상부의 용해 챔버 내에 Nd계 희토류 영구자석용 합금 재료를 담기 위한 용해 도가니(4)와 분사도가니(5)로 구성되고, 도가니를 가열하여 합금을 용융하기 위해 도가니 주위를 에워싸고 있는 고주파 유도코일(6), 용탕의 온도를 측정하기 위해 설치되는 열전대(7), 도가니와 고주파 유도로의 발열부를 에워싸고 있는 진공챔버(8)로 구성된다. 본 발명에서는 추가적으로 재료를 장입 할 수 있는 재료 추가장입장치 (9), 회전시 용탕이 분사도가니로 자유낙하 할 수 있도록 챔부 외부에서 동력을 전달하는 회전모터(10)가 설치되어 있다.
본 발명의 일 구체예에서 용해 챔버 하부에는 분사도가니(5)에 설치된 오리피스(11), 그리고 오리피스(11) 및 분사도가니(5)의 가열을 담당하는 유도코일 (12)을 구비한다. 용해도가니(4)에서 용융된 합금의 용탕은 용해 챔버 외부에 설치된 회전모터(10)의 작용에 의해 용융장치에서 분사도가니(5)가 장착된 분사장치로 기울려 흐르게 하며 오리피스(11)를 통과 후 고압의 가스가 분무되는 부분을 지나면 미세한 구형의 입자들이 아래쪽에 배치된 하부챔버(16) 속으로 자유 낙하하게 되어 포집챔버(17)에 포집 된다. 급속응고 장치는 챔버 내로 고압의 가스를 공급하기 위한 가스 공급기(13), 가스공급기로(13)부터 공급되는 고압의 가스를 오리피스(11)를 통해 방출되는 용탕 줄기에 분사시키는 가스노즐(12), 오리피스(11)를 통과한 용탕 줄기가 분사되는 고압의 가스의 팽창에 의해 냉각되며 분말 형태로 변하여 낙하 하는 구간인 상부챔버(16) 및 급속응고된 합금 분말을 수집하기 위한 1차 분말수집용기(17)를 구비한다.
본 발명의 일 구체예에서 가스 공급기(13) 로부터 분사노즐(12)로 연통하는 가스 공급통로(19)에는 아르곤 가스 등의 불활성 가스를 공급 및 차단하기 위한 솔레노이드 밸브(14) 및 가스 공급기로부터 공급되는 가스의 압력을 조절하기 위한 압력조절기(15)가 설치된다.
본 발명의 일 구체예에서 냉각 챔버의 크기는 급속응고 중에 합금분말이 충분히 냉각되도록 응고되는 합금분말의 비행거리를 고려하여 결정된다. 챔버의 외부에 배치된 사일로(19)의 측면에는 사이클론 내에서 발생되는 가스를 배기하기 위한 가스 배출구(21)가 설치되고 사이클론 하부에는 사이클론에 의해 1차 분말 수집용기로부터 반송된 분말을 수집하는 2차 분말 수집용기(22)가 제공된다. 챔버의 상부의 측면에 투시창(18)이 설치되어 챔버 내에서 응고되는 합금분말이 가스에 의해 분무되는 상태를 챔버 외부에서 관찰할 수 있게 한다. 이와 같이 구성된 급속응고 가스분무장치를 이용하여 조직이 미세하고 균일한 Nd계 희토류 영구자석 분말을 제조할 수 있다.
본 발명의 일 구체예에서 도 1의 (S1) 단계를 통한 합금 설계 후 합금을 용해하기 위하여 순철(Fe)와 합금철(ferro-boron)을 내화물 도가니(4)에 장입 후 챔버를 밀폐한다. 이후 진공펌프를 통해 1.0X10-3torr의 진공분위기 후 초 고순도 아르곤 분위기가 유지되는 가열 챔버 내에의 고주파 유도 방식을 이용하여 용해한다. 융점이 낮거나 내화물 도가니와 반응성이 높은 Nd, Dy, Al 등의 원소에 대해서 상부 챔버(8) 내의 분위기를 유지한 상태에서 재료 추가 장입장치(9)를 통해 용탕 내에 장입하여 합금 용탕을 만든다. 이러한 방법으로 합금원소를 추가 장입 할 경우 합금원소의 증발 및 내화물 도가니와의 반응으로 인한 조성 손실이 적어 정밀한 합금 설계가 가능하다. 용해된 용탕은 고주파 유도 코일에서 발생한 전자기력에 의한 교반 반응과 안정화를 위해 용해 후 일정시간 유지한다. 상부챔버(8) 내의 용해도가니(4)에서 합금이 용융되어 용탕이 완료되면, 회전모터(10)의 작용에 의해 가열도가니(4)가 기울어져서 분사도가니(5)쪽으로 용탕이 흐르게 되고 분사도가니 하단부에 설치된 Φ2∼Φ6의 오리피스(11)를 통과 하게 된다. 이때 가스 분사노즐(12)을 통해 분사된 고압의 분사 가스와 충돌하여 가스 팽창에 의해 냉각 챔버(16) 내로 비산하게 된다. 이때 분사 가스 가스노즐(12)로부터 약 1~15 MPa의 고압으로 분사되며, 오리피스(11)의 직경에 따라 변화되는 용탕줄기가 고압의 가스와 충돌하여 미세한 액체분말이 되며, 하부의 냉각 챔버(16)내를 비행하면서 미세한 분말로 응고하게 된다. 응고가 완료된 분말들은 포집 챔버(17)에서 포집된다. 이와 같은 방법으로 조직이 미세하고 급속응고 특성을 갖는 구형의 분말이 얻어진다. (도 3 참조)
본 발명의 일 구체예에서 급속 응고법 중 하나인 가스 분무법는 용탕의 분산을 공기, 질소, 헬륨, 아르곤과 같은 불활성 가스를 이용하여 용융 금속이 노즐에서 급격한 가스 팽창에 의하여 분사 및 냉각으로 분말이 만들어지는 공정이다. 주요 원리는 급격히 팽창하는 가스의 에너지를 가스노즐을 통해 흘러나온 용탕 줄기에 전달시켜 작은 분말 형태로 응고 시키는 것이며 생산속도는 일반적으로 100 kg/min 이상의 고속으로 분말 제조가 가능하고, 이때 활용되는 일반적 기압은 5 MPa 이하이며 분말의 특성에 따라 18 MPa 정도의 고압이 요구되기도 한다. 가스분사법은 철, 공구강, 스테인레스강, 코발드 합금, 알루미늄 합금, 귀금속(금,은) 납과, 같은 저융점 합금을 포함하는 대부분의 금속재료에 활용된다(문헌[Randall M. German, Powder Metallurgy & Particulate Materials Processing을 참조). 가스 분무기술은 가스종류, 분위기, 용탕온도, 용융금속의 점도, 합금의 종류, 용탕 공급 속도, 가스압력, 가스주입속도, 노즐구조, 가스 온도 등의 많은 공정 변수를 제어할 수 있으며 이러한 변수를 이용하여 다양한 용도의 분말 제조가 가능하다. 가스 분무 기술의 가장 큰 장점은 균일하며, 충진 특성이 우수한 구형의 분말을 제조할 수 있다는 점이다.
이상에서 언급한 바와 같이 본 발명에 따르면 Nd계 희토류 영구자석 분말을 제조하는데 있어 급속응고법의 일환인 가스분무공정(Gas atomization process)을 이용하여 조직이 미세하고 화학적으로 균질한 급속응고 자석 분말을 제조함으로써 조성이 균일한 Nd2Fe14B 상과 Nd-rich 상으로 이루어진 구형의 분말을 제조할 수 있었다. 본 발명의 방법에 따라 제조된 분말은 1 ~ 90 μm 입도 범위를 나타내는 구형의 분말 형태로 입도별 분급을 통해 분말의 크기에 따른 자석의 제조 및 기존 공정 보다 짧은 분쇄과정을 거쳐 강자성 소결 자석 및 본딩 자석의 제조가 가능할 것이다.
도 1은 본 발명에서 제안한 급속응고 가스분무공정을 통한 자성분말 제조공정 흐름도 이다.
도 2는 본 발명에서 제안한 가스분무공정 장치의 모식도이다.
도 3은 본 발명의 일 구체예에 의해 제조된 희토류 자성체 분말의 미세조직 SEM 사진이다.
도 4는 본 발명의 일 구체예의 용해 챔버 사진이다.
도 5는 본 발명의 일 구체예에 의해 제조된 분말의 입도 분포이다.
도 6은 본 발명의 일 구체예에 의해 제조된 분말의 XRD 결과이다.
도 7은 본 발명의 일 구체예에 의해 제조된 분말의 미세조직 SEM 사진이다.
이하, 본 발명의 구성요소와 기술적 특징을 다음의 실시예들을 통하여 보다 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 하기 실시예들은 본 발명의 내용을 예시하는 것일 뿐 발명의 범위가 실시예에 의해 한정되는 것은 아니다.
분말의 제조
실험예 1
각각의 원재료 5 kg을 장입 장치부(도 4 참조)에 첨가하였다. 장입된 원소는 Fe 전해철, Nd 및 붕소(B)로 구성된 합금철로, (ferro-boron) 합금 원소의 조성비는 Nd 27 중량%, Fe 72 중량% 및 B 1 중량%이다. 산소와의 친화력이 높은 Nd의 특성 상 1.0X10-3torr고진공 분위기를 형성한 후고순도 아르곤 가스 (순도 99.999%)로 불활성 분위기를 기압은 0.7 bar으로 조성하였다. 이때, 용탕의 유동성을 높이기 위해서 용융점보다 200 ℃ 높은 1450 ℃ 온도에서 10 분간 유지하였다. 용융된 합금을 외부의 전동 모터의 회전 작용을 통해 용해 도가니를 틸팅하면서 분사 도가니로 투입하였고 1.5 MPa 압력으로 아르곤 가스를 분사하여 분말을 제조하였다.
실험예 2
상기 실험예 1과 동일한 조건으로 하되, 32 중량% Nd, 66중량% Fe, 1중량% Dy 및 1 중량% B의 조성으로 자성 분말을 제조하였다.
제조된 분말의 특성 확인
실시예 1의 실험예 1에 따른 분말의 입도 분포는 1~150 ㎛의 입도 분포를 보이며 분말의 평균입도는 60.28 ㎛ 크기로 나타났다(도 5 참조).
실시예 1의 실험예 1에 따른 분말의 XRD (X-ray diffraction) 분석 결과에 따르면(도 6 참조), XRD 커브에 나타나는 피크는 고온 준안정상인 Nd2Fe14B 단상만 확인되었으며, 널리 알려진 자성체조성이었다. 가스 분무법으로 상용공정과 달리 중간재 제조 없이 용융상태에서 In-situ로 분말화가 되었음을 확인하였다.
실시예 1의 실험예 1에 따른 분말 단면의 미세조직을 살펴보면, 급속응고 공정을 통해 만들어지는 Nd2Fe14B 상이 나타남을 확일할 수 있다(도 6 및 7 참조). 냉각능 부족으로 인하여 나타나는 α-Fe 상은 거의 나타나지 않았음을 확인하였다.
또한, 실시예 1의 실험예2에서, 도 3의 (a) 및 (b)과 동일하게 모두 회색의 Nd2Fe14B상과 입계를 따라 흰색으로 나타나는 Nd-rich 상이 생성된 것을 확인할 수 있으며 자성 특성을 저하시키는 α-Fe 상이 생성되지 않음을 확인할 수 있다. 또한 종래의 스트립 캐스팅 대비 조밀한 미세조직을 확인 할 수 있고, 도 3의 (b)에 나타난것 처럼 일부 분말에서는 1 μm 이하의 조밀한 조직을 보이기도 하였다. 이러한 조직은 기존 상용 영구자석분말과 동일한 상 형태(Phase Morphology)와 조성(Composition)을 가지는 것으로 가스분무공정은 기존공정 대비 공정간소화 및 불순물입도제어가 가능한 대체기술로 활용이 가능할 것이다.
이상으로 본 발명의 특정한 부분을 상세히 기술하였는바, 당업계의 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 이러한 구체적인 기술은 단지 바람직한 구현 예일 뿐이며, 이에 본 발명의 범위가 제한되는 것이 아닌 점은 명백하다. 따라서 본 발명의 실질적인 범위는 첨부된 청구항과 그의 등가물에 의하여 정의된다고 할 것이다.
4: 용해 도가니
5: 분사도가니
6: 고주파 유도코일
7: 열전대
8: 진공챔버
9: 재료 추가장입장치
10: 회전모터
11: 오리피스
12: 유도코일
16: 상부/하부챔버
17: 포집챔버
13: 가스 공급기
19: 가스 공급통로
14: 솔레노이드 밸브
15: 압력조절기
18: 투시창
19: 사일로
21: 가스 배출구
22: 2차 분말 수집용기

Claims (15)

1) Fe 및 B를 장입 장치부에 첨가하는 단계;
2) 상기 1) 단계의 장입 장치부를 1400℃ 내지 1500℃ 온도로 가온하여 Fe 및 B를 용해하는 단계;
3) 상기 2) 단계의 장입 장치부에 재료 추가 장입장치를 통해 Nd를 장입하고 용해하여 합금물 용탕을 제조하는 단계; 및
4) 상기 3) 단계의 합금물 용탕에 가스 분사하는 단계를 포함하며,
상기 합금물 원소의 조성비는 Nd 20~35 중량%, Fe 66~72 중량% 및 B 0.5~3 중량%이며,
구의 형상을 갖는 희토류 영구자석 분말의 제조 방법.
삭제
삭제
제 1항에 있어서,
가스 분사 단계는 1 내지 3 MPa 압력으로 분사하는 희토류 영구자석 분말의 제조 방법.
제 1항에 있어서,
분말은 0.5~200 μm 크기의 입도를 가지는 희토류 영구자석 분말의 제조 방법.
제 1항에 있어서,
분말은 Nd2Fe14B상 및 Nd-rich 상으로 생성된 희토류 영구자석 분말의 제조 방법.
제 1항에 있어서,
가온 단계는 고주파 유도 용해, 전기로 용해, 전자빔 용해, 아크 용해, 레이져 용해 및 플라즈마 용해로 구성된 군에서 선택된 어느 하나 이상으로 수행되는 희토류 영구자석 분말의 제조 방법.
제 1항에 있어서,
분말 내부에 존재하는 결정립의 크기는 1~8 μm의 크기인 희토류 영구자석 분말의 제조 방법.
제 1항에 있어서,
가스 분사 단계에서 가스 노즐이 18-홀 이상의 홀 유형 또는 환형의 링 유형인 희토류 영구자석 분말의 제조 방법.
제 1항에 있어서,
가스 분사 단계에서 내경이 2~6 mm 크기의 BNC (Boron Nitride and Carbon) 및 세라믹 재질을 가지는 오리피스로 분사되는희토류 영구자석 분말의 제조 방법.
Fe 및 B 원소를 포함하는 합금물을 1400 내지 1500에서 가온하고, 이후 재료추가 장입 장치를 통해 Nd를 장입하여 용해한 합금물 용탕에 가스 분사하여 제조하며,
상기 합금물의 조성비는 Nd 20~35 중량%, Fe 66~72 중량% 및 B 0.5~3 중량%인,
구의 형상을 갖는 희토류 영구자석 분말.
삭제
제 11항에 있어서,
분말은 0.5~200 μm 크기의 입도를 가지는 희토류 영구자석 분말.
제 11항에 있어서,
분말 내부에 존재하는 결정립의 크기는 1~8 μm의 크기인 희토류 영구자석 분말.
가스 분무 장치에 있어서,
희토류 원소를 장입시키는 장입장치부;
재료 추가 장입장치부;
가온부; 및
가스 분사부를 포함하는 가스 분무 장치.

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