KR20160046282A - 스크라이브 방법 및 스크라이브 장치 - Google Patents

Abstract

[과제] 밀봉재의 바로 위 및 바로 아래의 위치에 스크라이브 라인을 형성할 경우에도, 스크라이브 라인의 전체 길이에 걸쳐서 충분한 깊이의 크랙을 원활하게 기판에 형성한다.
[해결 수단] 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)을, 스크라이브 방향으로 서로 변위시켜서, 밀봉재(SL)를 따라서 이동시켜, 마더 기판(G)의 상하의 면에 스크라이브 라인을 형성한다. 다른 스크라이브 라인(LV1, LV2) 위를 스크라이빙 휠(301, 401)이 대략 동시에 통과하도록, 스크라이빙 휠(301, 401)의 이동을 조정한다. 다른 스크라이브 라인(LV1, LV2)의 통과 후, 스크라이빙 휠(301, 401)을, 스크라이브 방향으로 서로 변위시켜서, 밀봉재를 따라서 이동시켜, 마더 기판(G)의 상하의 면에 스크라이브 라인을 형성한다.

Description

스크라이브 방법 및 스크라이브 장치{SCRIBING METHOD AND SCRIBING APPARATUS}

본 발명은, 기판에 스크라이브 라인을 형성하기 위한 스크라이브 방법 및 스크라이브 장치에 관한 것이다.

종래, 유리 기판 등의 취성 재료 기판의 분단은, 기판 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 공정과, 형성된 스크라이브 라인을 따라서 기판 표면에 소정의 힘을 부가하는 브레이크 공정에 의해서 행해진다. 스크라이브 공정에서는, 스크라이빙 휠의 칼끝(刃先)이, 기판 표면을 누르면서, 소정의 라인을 따라서 이동된다. 스크라이브 라인의 형성에는, 스크라이브 헤드를 구비한 스크라이브 장치가 이용된다.

이하의 특허문헌 1에는, 마더 기판으로부터 액정 패널을 잘라내는 방법이 기재되어 있다. 이 방법에서는, 박막 트랜지스터(TFT)가 형성된 기판과, 컬러 필터(CF)가 형성된 기판을 밀봉재를 개재해서 접합시킴으로써, 마더 기판이 형성된다. 이 마더 기판이 분단됨으로써 각각의 액정 패널이 취득된다. 밀봉재는, 2개의 기판이 접합된 상태에서 액정 주입 영역으로 되는 공간이 남도록 배치된다.

상기 구성의 마더 기판을 분단시킬 경우에는, 2개의 스크라이브 헤드를 이용해서, 마더 기판의 양면에, 동시에 스크라이브 라인을 형성하는 방법이 이용된다(예를 들면, 특허문헌 2 참조). 이 경우, 2개의 스크라이브 헤드 사이에 마더 기판이 삽입되도록 배치된다. 2개의 스크라이빙 휠은, 마더 기판을 평면에서 보았을 때 같은 위치에 위치 부여된다. 이 상태에서, 2개의 스크라이빙 휠이 같은 방향으로 동시에 이동되어서, 마더 기판의 각 면에 스크라이브 라인이 형성된다.

JP 2006-137641 A JP 2012-240902 A

상기 특허문헌 1에도 나타낸 바와 같이, 종전의 마더 기판에는, 이웃하는 액정 주입 영역 사이에, 밀봉재가 개재되지 않은 영역이 존재하고 있었다. 따라서, 상기한 바와 같이 2개의 스크라이브 헤드에 의해서 마더 기판의 양면에 동시에 스크라이브 라인을 형성할 경우에는, 밀봉재가 개재되지 않은 영역에, 스크라이브 라인을 형성할 수 있었다. 이와 같이 스크라이브 라인을 형성해서 마더 기판을 분단시키면, 액정 패널에는, 액정 주입 영역의 주위에 소정 폭의 틀 영역이 남는 것으로 된다.

그러나, 최근, 특히 모바일용의 액정 패널에 있어서, 상기 틀 영역을 극한까지 좁게 하는 것이 주류가 되고 있다. 이 요구에 응하기 위해서는, 마더 기판에 있어서 밀봉재가 개재되지 않은 영역이 생략되고, 이웃하는 액정 주입 영역은, 밀봉재에 의해서만 구획되도록 구성될 필요가 있다. 이 경우, 스크라이브 라인은, 밀봉재의 바로 위 및 바로 아래에 형성되게 된다.

그런데, 이와 같이 밀봉재의 바로 위 및 바로 아래의 위치에 스크라이브 라인을 형성하면, 2개의 유리 기판에 크랙이 충분히 들어가지 않는다고 하는 문제가 본 발명자들에 의해서 확인되었다. 이와 같이 크랙이 불충분한 상태에서 브레이크 공정이 실행되면, 브레이크 후의 기판의 가장자리에 미세한 균열이나 파손이 생겨서 유리 기판의 강도가 저하될 우려가 있다.

이러한 과제를 감안해서, 본 발명은, 밀봉재의 바로 위 및 바로 아래의 위치에 스크라이브 라인을 형성할 경우에도, 스크라이브 라인의 전체 길이에 걸쳐서 충분한 깊이의 크랙을 원활하게 기판에 형성하는 것이 가능한 스크라이브 방법 및 스크라이브 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 제1 양상은, 제1 기판과 제2 기판을 밀봉재에 의해 접합시켜서 이루어진 마더 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 방법에 관한 것이다. 본 양상에 따른 스크라이브 방법은, 제1 칼과 제2 칼을 스크라이브 방향으로 서로 변위시켜서, 상기 제1 칼과 상기 제2 칼을 상기 밀봉재를 따라서 이동시켜, 상기 제1 기판의 표면과 상기 제2 기판의 표면에 각각 제1 스크라이브 라인과 제2 스크라이브 라인을 형성하고, 상기 제1 및 제2 스크라이브 라인과 교차하는 다른 스크라이브 라인 위를 상기 제1 칼과 상기 제2 칼이 대략 동시에 통과하도록, 상기 제1 칼과 상기 제2 칼의 이동을 조정하고, 상기 다른 스크라이브 라인의 통과 후, 상기 제1 칼과 상기 제2 칼을 상기 스크라이브 방향으로 서로 변위시켜서 상기 제1 칼과 상기 제2 칼을 각각 상기 밀봉재를 따라서 이동시켜, 상기 제1 기판의 표면과 상기 제2 기판의 표면에 각각 상기 제1 및 제2 스크라이브 라인을 형성한다.

본 양상에 따른 스크라이브 방법에 따르면, 밀봉재의 바로 위 및 바로 아래의 위치에 제1 및 제2 스크라이브 라인을 형성할 경우에, 충분한 깊이의 크랙을 마더 기판에 형성할 수 있다. 또, 제1 및 제2 스크라이브 라인과 직교하는 다른 스크라이브 라인을 제1 칼과 제2 칼이 대략 동시에 통과하도록, 제1 칼과 제2 칼의 이동이 조정되므로, 다른 스크라이브 라인을 넘는 위치에, 상반하는 방향의 힘이, 제1 칼과 제2 칼로부터 가해지는 것이 회피된다. 이것에 의해, 제1 칼과 제2 칼이 다른 스크라이브 라인을 통과할 때에, 다른 스크라이브 라인으로부터 균열이 생기는 일이 없이, 다른 스크라이브 라인에 의한 분단을 적절하게 행할 수 있다.

본 양상에 따른 스크라이브 방법에서는, 예를 들면, 제1 칼의 이동 속도와 제2 칼의 이동 속도를 상위하게 함으로써, 제1 칼과 제2 칼을 서로 변위시킬 수 있다. 이와 같이 하면, 두 기판에 대한 크랙의 형성을 진행시키면서, 제1 칼과 제2 칼을 서로 변위시킬 수 있다.

또한, 스크라이브 동작 시에는, 제1 칼의 이동 속도와 제2 칼의 이동 속도를 동일하게 함으로써, 제1 칼과 제2 칼 사이의 변위를 소정 거리로 유지하고, 제1 기판의 표면과 제2 기판의 표면에 제1 및 제2 스크라이브 라인을 형성하는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 스크라이브 라인 상에 있어서의 크랙의 형성 불균일을 억제할 수 있다.

또, 본 양상에 따른 스크라이브 방법에서는, 제1 칼의 이동 속도와 제2 칼의 이동 속도를 상위하게 함으로써, 제1 칼과 제2 칼에 다른 스크라이브 라인을 대략 동시에 통과시키도록 할 수 있다. 이와 같이 하면, 두 기판에 대한 크랙의 형성을 진행시키면서, 제1 칼과 제2 칼에 다른 스크라이브 라인을 대략 동시에 통과시킬 수 있다.

또한, 본 양상에 따른 스크라이브 방법에서는, 제1 기판의 표면의 제2 칼에 대응하는 위치에 제1 누름 부재를 꽉 누르면서 제1 칼과 함께 제1 누름 부재를 밀봉재를 따라서 이동시키고, 제2 기판의 표면의 제1 칼에 대응하는 위치에 제2 누름 부재를 꽉 누르면서 제2 칼과 함께 제2 누름 부재를 밀봉재를 따라서 이동시키는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 제1 칼과 제2 칼의 압압력에 의해서 마더 기판이 변형되는 것이 억제되므로, 크랙의 깊이를 깊게 유지하면서, 보다 안정적으로 크랙을 형성할 수 있다.

본 발명의 제2 양상은, 제1 기판과 제2 기판을 밀봉재에 의해 접합시켜서 이루어진 마더 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 장치에 관한 것이다. 본 양상에 따른 스크라이브 장치는, 상기 제1 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 제1스크라이브 헤드와, 상기 제2 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 제2 스크라이브 헤드와, 상기 제1스크라이브 헤드와 상기 제2 스크라이브 헤드를 상기 마더 기판에 평행하게 이동시키는 구동부와, 상기 제1스크라이브 헤드, 상기 제2 스크라이브 헤드 및 상기 구동부를 제어하는 제어부를 구비한다. 상기 제어부는, 상기 제1 스크라이브 헤드의 제1 칼과 상기 제2 스크라이브 헤드의 제2 칼을 스크라이브 방향으로 서로 변위시켜서, 상기 제1 칼과 상기 제2 칼을 상기 밀봉재를 따라서 이동시켜, 상기 제1 기판의 표면과 상기 제2 기판의 표면에 각각 제1 스크라이브 라인과 제2 스크라이브 라인을 형성하고, 상기 제1 및 제2 스크라이브 라인과 교차하는 다른 스크라이브 라인 위를 상기 제1 칼과 상기 제2 칼이 대략 동시에 통과하도록, 상기 제1 칼과 상기 제2 칼의 이동을 조정하며, 상기 다른 스크라이브 라인의 통과 후, 상기 제1 칼과 상기 제2 칼을 상기 스크라이브 방향으로 서로 변위시켜서 상기 제1 칼과 상기 제2 칼을 각각 상기 밀봉재를 따라서 이동시켜, 상기 제1 기판의 표면과 상기 제2 기판의 표면에 각각 상기 제1 및 제2 스크라이브 라인을 형성한다.

본 양상에 따른 스크라이브 장치에 따르면, 상기 제1 양상에 따른 스크라이브 방법과 마찬가지로, 밀봉재의 바로 위 및 바로 아래의 위치에 제1 및 제2 스크라이브 라인을 형성할 경우에, 충분한 깊이의 크랙을 마더 기판에 형성할 수 있다. 또, 제1 및 제2 스크라이브 라인과 직교하는 다른 스크라이브 라인을 제1 칼과 제2 칼이 대략 동시에 통과하도록, 제1 칼과 제2 칼의 이동이 조정되므로, 다른 스크라이브 라인을 넘는 위치에, 상반하는 방향의 힘이, 제1 칼과 제2 칼로부터 가해지는 것이 회피된다. 이것에 의해, 제1 칼과 제2 칼이 다른 스크라이브 라인을 통과할 때에, 다른 스크라이브 라인으로부터 균열이 생기는 일이 없고, 다른 스크라이브 라인에 의한 분단을 적절하게 행하는 것이 가능하다.

본 양상에 따른 스크라이브 장치에 있어서, 제어부는, 제1 칼의 이동 속도와 제2 칼의 이동 속도를 상위하게 함으로써, 제1 칼과 제2 칼을 서로 변위시키도록 구성될 수 있다. 이와 같이 하면, 두 기판에 대한 크랙의 형성을 진행시키면서, 제1 칼과 제2 칼을 서로 변위시킬 수 있다.

또, 제어부는 제1 칼의 이동 속도와 제2 칼의 이동 속도를 동일하게 함으로써, 제1 칼과 제2 칼 사이의 변위를 소정 거리로 유지시켜, 제1 기판의 표면과 제2 기판의 표면에 제1 및 제2 스크라이브 라인을 형성하도록 구성될 수 있다. 이와 같이 하면, 스크라이브 라인 상에 크랙의 형성 불균일을 억제할 수 있다.

또한, 제어부는, 제1 칼의 이동 속도와 제2 칼의 이동 속도를 상위하게 함으로써, 제1 칼과 제2 칼에 다른 스크라이브 라인을 대략 동시에 통과시키도록 구성될 수 있다. 이와 같이 하면, 두 기판에 대한 크랙의 형성을 진행시키면서, 제1 칼과 제2 칼에 다른 스크라이브 라인을 대략 동시에 통과시킬 수 있다.

또, 제1스크라이브 헤드는, 제1 칼이 제2 칼에 대해서 밀봉재를 따라서 변위된 상태에 있어서, 제2 칼의 압접 위치를 제1 기판의 표면으로부터 누르는 제1 누름 부재를 구비하는 것이 바람직하고, 또한, 제2 스크라이브 헤드는, 제2 칼이 제1 칼에 대해서 밀봉재를 따라서 변위된 상태에 있어서, 제1 칼의 압접 위치를 제2 기판의 표면으로부터 누르는 제2 누름 부재를 구비하는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 제1 칼과 제2 칼의 압압력에 의해서 마더 기판이 변형되는 것이 억제되므로, 크랙의 깊이를 깊게 유지하면서, 보다 안정적으로 크랙을 형성할 수 있다.

이상과 같이, 본 발명에 따르면, 밀봉재의 바로 위 및 바로 아래의 위치에 스크라이브 라인을 형성할 경우에도, 스크라이브 라인의 전체 길이에 걸쳐서 충분한 깊이의 크랙을 원활하게 기판에 형성하는 것이 가능한 스크라이브 방법 및 스크라이브 장치를 제공할 수 있다.

본 발명의 효과 내지 의의는, 이하에 나타낸 실시형태의 설명에 의해 더욱 명확해질 것이다. 단, 이하에 나타낸 실시형태는, 어디까지나, 본 발명을 실시화할 때의 하나의 예시이며, 본 발명은, 이하의 실시형태에 기재된 것에 하등 제한되는 것은 아니다.

도 1은 실시형태에 따른 스크라이브 장치의 구성을 모식적으로 나타낸 도면;
도 2는 실시형태에 따른 스크라이브 헤드의 구성을 나타낸 분해 사시도;
도 3은 실시형태에 따른 스크라이브 헤드의 구성을 나타낸 사시도;
도 4는 실시형태에 따른 스크라이브 방법을 설명하는 도면;
도 5는 실시형태에 따른 스크라이브 방법에 의한 실험 결과를 나타낸 도면;
도 6은 실시형태에 따른 다른 스크라이브 방법을 설명하는 도면;
도 7은 실시형태에 따른 다른 스크라이브 방법에 의한 실험 결과를 나타낸 도면;
도 8은 실시형태에 따른 스크라이빙 툴의 구성을 나타낸 사시도;
도 9는 실시형태에 따른 스크라이빙 툴의 장착 방법을 모식적으로 나타낸 도면;
도 10은 실시형태에 따른 스크라이브 장치의 구성을 나타낸 블록도 및 상하의 스크라이빙 휠이 스크라이브 방향으로 변위된 상태에서 다른 스크라이브 라인을 통과할 경우의 문제를 설명하는 도면;
도 11은 실시형태에 따른 스크라이브 제어를 나타낸 순서도;
도 12는 실시형태에 따른 스크라이브 동작을 나타낸 도면;
도 13은 실시형태에 따른 스크라이브 동작을 나타낸 도면;
도 14는 실시형태에 따른 스크라이브 동작을 나타낸 도면;
도 15는 실시형태에 따른 스크라이브 제어를 나타낸 타이밍 차트;
도 16은 변경예 1에 따른 스크라이브 제어를 나타낸 타이밍 차트;
도 17은 변경예 2에 따른 스크라이브 제어를 나타낸 순서도;
도 18은 변경예 3에 따른 스크라이브 제어를 나타낸 순서도;
도 19는 변경예 4에 따른 스크라이브 제어를 나타낸 순서도;
도 20은 변경예 5에 따른 스크라이브 제어를 나타낸 순서도.

이하, 본 발명의 실시형태에 대해서, 도면을 참조해서 설명한다. 또, 각 도면에는, 편의상, 서로 직교하는 X축, Y축 및 Z축이 부기되어 있다. X-Y 평면은 수평면에 평행하고, Z축 방향은 연직방향이다.

<스크라이브 장치의 구성>

도 1(a) 및 도 1(b)는 스크라이브 장치(1)의 구성을 모식적으로 나타낸 도면면다. 도 1(a)는 Y축의 양의 방향 쪽에서 스크라이브 장치(1)을 본 도면이고, 도 1(b)는 X축의 양의 방향 쪽에서 스크라이브 장치(1)의 일부를 본 도면이다.

도 1(a)를 참조하면, 스크라이브 장치(1)는, 컨베이어(11)와, 지주(12a, 12b)와, 가이드(13, 14)와, 슬라이딩 유닛(15, 16)과, 구동 모터(17, 18)와, 카메라(19a, 19b)와, 2개의 스크라이브 헤드(2)를 구비한다.

도 1(b)에 나타낸 바와 같이, 컨베이어(11)는, 스크라이브 헤드(2)가 배치되는 개소를 제외하고, Y축 방향으로 뻗도록 설치되어 있다. 컨베이어(11)에는, 마더 기판(G)을 파지하는 핸드(11a)가 설치되어 있다. 컨베이어(11) 상에는, 핸드(11a)에 가장자리가 파지된 상태로, 마더 기판(G)이 놓인다. 마더 기판(G)은, 1쌍의 유리 기판이 서로 접합된 기판 구조를 갖는다. 마더 기판(G)은, 핸드(11a)에 파지된 상태로, 컨베이어(11)에 의해 Y축 방향으로 이송된다.

지주(12a, 12b)는, 스크라이브 장치(1)의 베이스에 컨베이어(11)를 사이에 두고 수직으로 설치되어 있다. 가이드(13, 14)는, 각각, X축 방향으로 평행하게 되도록, 지주(12a, 12b) 사이에 가설되어 있다. 슬라이딩 유닛(15, 16)은, 각각, 가이드(13, 14)에 슬라이딩 가능하게 설치되어 있다. 가이드(13, 14)에는, 각각, 구동 모터(17, 18)가 설치되고, 이들 구동 모터(17, 18)에 의해, 슬라이딩 유닛(15, 16)이 X축 방향으로 구동된다.

슬라이딩 유닛(15, 16)에는, 각각, 스크라이브 헤드(2)가 장착되어 있다. Z축 양의 방향 쪽의 스크라이브 헤드(2)와 Z축 음의 방향 쪽의 스크라이브 헤드(2)에는, 각각, 마더 기판(G)에 대향하도록 스크라이빙 툴(30, 40)이 부착되어 있다. 스크라이빙 툴(30, 40)에 유지된 스크라이빙 휠이 마더 기판(G)의 표면을 누른 상태에서 스크라이브 헤드(2)가 X축 방향으로 이동한다. 이것에 의해, 마더 기판(G)의 표면에 스크라이브 라인이 형성된다.

카메라(19a, 19b)는, 가이드(13)의 위쪽에 배치되어, 마더 기판(G)에 기록된 정렬 마크를 검출한다. 카메라(19a, 19b)로부터의 촬상 화상에 의해서, 컨베이어(11)에 대한 마더 기판(G)의 배치 위치가 검출된다. 이 검출 결과에 의거해서, 스크라이브 헤드(2)의 스크라이브 개시 위치나 스크라이브 종료 위치 등, 스크라이브 동작에 있어서의 스크라이브 헤드(2)의 각 동작 위치가 결정된다.

<스크라이브 헤드>

도 2는 스크라이브 헤드(2)의 구성을 나타낸 일부분해 사시도이고, 도 3은 스크라이브 헤드(2)의 구성을 나타낸 사시도이다.

도 2를 참조하면, 스크라이브 헤드(2)는, 승강 기구(21)와, 스크라이브 라인 형성 기구(22)와, 베이스(base) 플레이트(23)와, 탑(top) 플레이트(24)와, 보텀(bottom) 플레이트(25)와, 고무 프레임(26)과, 커버(27)와, 서보 모터(28)를 구비한다.

승강 기구(21)는, 서보 모터(28)의 구동 축에 연결된 원통 캠(21a)과, 승강부(2lb)의 상부면에 형성된 캠 종동자(21c)를 구비한다. 승강부(2lb)는, 슬라이더(도시 생략)를 개재해서 베이스 플레이트(23)에 상하 방향으로 이동가능하게 지지되고, 용수철(21d)에 의해서 Z축 정방향으로 가압되어 있다. 용수철(21d)의 가압에 의해, 캠 종동자(21c)는 원통 캠(21a)의 하부면에 꽉 눌려 있다. 승강부(2lb)는 스크라이브 라인 형성 기구(22)에 연결되어 있다. 서보 모터(28)에 의해 원통 캠(21a)가 회동하면, 원통 캠(21a)의 캠 작용에 의해서 승강부(2lb)가 승강하고, 이것에 따라서, 스크라이브 라인 형성 기구(22)가 승강한다. 스크라이브 라인 형성 기구(22)의 하단에, 스크라이빙 툴(30, 40)이 장착된다.

고무 프레임(26)은 공기를 통과시키지 않는 탄성부재이다. 고무 프레임(26)은, 베이스 플레이트(23)의 홈(23a), 탑 플레이트(24)의 홈(24a) 및 보텀 플레이트(25)의 홈(25a)에 끼워 넣어지는 형상을 갖고 있다. 고무 프레임(26)이 홈(23a, 24a, 25a)에 장착된 상태에서, 고무 프레임(26)의 표면은, 베이스 플레이트(23), 탑 플레이트(24) 및 보텀 플레이트(25)의 측면보다도 약간 바깥쪽으로 돌출한다.

커버(27)는, 전면부(前面部)(27a), 우측면부(27b) 및 좌측면부(27c)의 3개의 판부가 절곡된 형상을 갖는다. 전면부(27a)의 상하의 가장자리에는, 2개의 구멍(27f)이 형성되어 있다.

고무 프레임(26)이 홈(23a, 24a, 25a)에 끼워 넣어진 상태에서, 커버(27)의 우측면부(27b)과 좌측면부(27c)가 바깥쪽으로 휘도록 변형되어서, 커버(27)가 베이스 플레이트(23), 탑 플레이트(24) 및 보텀 플레이트(25)에 부착된다. 이 상태에서, 전면부(27a)의 상하의 가장자리에 형성된 2개의 구멍(27f)을 개재해서, 나사가 탑 플레이트(24) 및 보텀 플레이트(25)에 나사 고정된다. 또한, 베이스 플레이트(23), 탑 플레이트(24) 및 보텀 플레이트(25)의 홈(23a, 24a, 25a)의 다소 바깥쪽에 형성된 나사 구멍에, 나사가 나사 고정된다. 이것에 의해, 커버(27)가, 베이스 플레이트(23), 탑 플레이트(24) 및 보텀 플레이트(25)와 나사의 머리부에 의해서 끼워져, 우측면부(27b) 및 좌측면부(27c)의 주변부가 고무 프레임(26)에 눌린다. 이와 같이 해서, 도 3에 나타낸 바와 같이 스크라이브 헤드(2)가 조립된다.

도 1(a)에 나타낸 바와 같이, 2개의 스크라이브 헤드(2)가 마더 기판(G)의 상하에 각각 배치된다. 2개의 스크라이브 헤드(2)는 같은 구성으로 되어 있다. 2개의 스크라이브 헤드(2)에 장착되는 스크라이빙 툴(30, 40)은, 스크라이브 방법에 따라서 변경된다. 이하에 나타낸 2가지 스크라이브 방법 중, 스크라이브 방법 1에서는, 스크라이빙 휠(301, 401)만을 유지하는 스크라이빙 툴(30, 40)이 이용된다. 또한, 스크라이브 방법 2에서는, 스크라이빙 휠(301, 401)과 롤러(302, 402)을 유지하는 스크라이빙 툴(30, 40)이 이용된다.

이하, 이들 2가지 스크라이브 방법에 대해서 설명한다.

<스크라이브 방법 1>

도 4(a) 내지 도 4(c)는 본 실시형태에 따른 스크라이브 방법을 설명하는 도면이다. 도 4(a)는 Y축 음의 방향 쪽에서부터 스크라이브 위치 부근을 보았을 때의 모식도, 도 4(b)는 X축 양의 방향 쪽에서 스크라이브 위치 부근을 보았을 때의 모식도, 도 4(c)은 Z축 양의 방향 쪽에서 스크라이브 위치 부근을 보았을 때의 모식도이다.

도 4(a)에 나타낸 바와 같이, 본 스크라이브 방법에서는, 위쪽(Z축 양의 방향 쪽)의 스크라이브 헤드(2)의 스크라이빙 휠(301)이, 아래쪽(Z축 음의 방향 쪽)의 스크라이브 헤드(2)의 스크라이빙 휠(401)보다도, 스크라이브 방향(X축 양의 방향)으로 거리(W1)만큼 선행하도록 해서, 2개의 스크라이빙 휠(301, 401)이 이동된다. 이것과는 반대로, 스크라이빙 휠(401)이 스크라이빙 휠(301)에 대해서 선행해도 된다. 2개의 스크라이빙 휠(301, 401)은, 각각, 축(301a, 401a)을 회전축으로 해서 회전가능하게 스크라이빙 툴(30, 40)이 부착되어 있다.

도 4(b)를 참조하면, 마더 기판(G)은, 밀봉재(SL)를 개재해서 2개의 유리 기판(G1, G2)을 접합시켜서 구성되어 있다. 유리 기판(G1)에는 컬러 필터(CF)가 형성되고, 유리 기판(G2)에는 박막 트랜지스터(TFT)가 형성되어 있다. 밀봉재(SL)와 2개의 유리 기판(G1, G2)에 의해서, 액정 주입 영역(R)이 형성되고, 이 액정 주입 영역(R)에 액정이 주입된다. 2개의 스크라이빙 휠(301, 401)은, Y축 방향으로 서로 어긋나는 일 없이 위치 부여된다. 스크라이빙 휠(301)은, 밀봉재(SL)의 바로 위의 위치에 있어서 유리 기판(G1)의 표면을 누르고, 스크라이빙 휠(401)은, 밀봉재(SL)의 바로 아래의 위치에 있어서 유리 기판(G2)의 표면을 누른다.

도 4(c)에 나타낸 바와 같이, 밀봉재(SL)는 격자 형상으로 배치되어 있다. 2개의 스크라이빙 휠(301, 401)은, 밀봉재(SL)를 따라서 X축 양의 방향으로 이동된다. 이것에 의해, 도 4(b) 및 도 4(c)에 나타낸 바와 같이, 유리 기판(G1, G2)의 표면에, 각각, 스크라이브 라인(L1, L2)이 형성된다.

도 4(a) 내지 (c)에 나타낸 스크라이브 방법에서는, 스크라이빙 휠(301)과 반대쪽(Z축 음의 방향 쪽)의 마더 기판(G)의 표면을 누르는 롤러는 설치되지 않고, 또한, 스크라이빙 휠(401)과 반대쪽(Z축 양의 방향 쪽)의 마더 기판(G)의 표면을 누르는 롤러도 설치되어 있지 않다.

<실험 1>

본원 발명자들은, 도 4(a) 내지 도 4(c)에 나타낸 스크라이브 방법에 따라서 마더 기판(G)에 스크라이브 라인을 형성하는 실험을 행하였다. 이하, 이 실험과 실험 결과에 대해서 설명한다.

실험에서는, 두께가 각각 0.2㎜인 유리 기판(G1, G2)을 밀봉재(SL)를 개재해서 접합시킨 기판(마더 기판)을 이용하였다. 접합시킨 기판(마더 기판)의 사이즈는 118㎜×500㎜이다. 스크라이빙 휠(301, 401)은, 미쓰보시다이야몬도고교 주식회사 제품, 마이크로 페네트(Micro Penett)(미쓰보시다이야몬도고교 주식회사의 등록상표)을 이용하였다. 스크라이빙 휠(301, 401)은, 각각, 원판의 외주에 V자 형상의 칼끝이 형성되는 동시에 칼끝의 능선에 소정의 간격으로 홈을 가지는 구조로 되어 있다. 스크라이빙 휠(301, 401)은, 직경 3㎜, 칼끝각도 110°, 홈개수 550, 홈깊이 3㎛이다.

이 구성의 스크라이빙 휠(301, 401)을, 각각, 도 4(a) 내지 도 4(c)에 나타낸 바와 같이 유리 기판(G1, G2)을 누르면서 이동시켜서 스크라이브 동작을 행하였다. 스크라이브 동작 시 스크라이빙 휠(301, 401)에 부여되는 하중은 6.5N으로 제어하였다. 또, 스크라이빙 휠(301, 401)의 이동 속도는, 일정(200㎜/sec)하게 하였다.

이상의 조건에 기초하여, 2개의 스크라이빙 휠(301, 401) 사이의 거리(W1)를 변화시키면서, 유리 기판(G1, G2)에 있어서의 크랙의 침투량을 계측하였다. 비교예로서, 스크라이빙 휠(301, 401) 사이의 거리(W1)가 0인 경우의 크랙의 침투량도 계측하였다. 각 측정에서는, 크랙의 침투량 외에, 리브 마크량도 아울러서 계측하였다.

도 5(a) 내지 도 5(e)에 실험 결과를 나타낸다. 도 5(a)는 크랙의 침투량과 리브 마크량을 수치로 나타낸 도면이고, 도 5(b) 내지 도 5(e)는 스크라이브 라인 상에 있어서의 마더 기판(G)의 단면 사진이며, 각각, 거리(W1)가 0.4㎜, 0.6㎜, 0.8㎜, 1.0㎜인 경우의 것이다. 도 5(b) 내지 도 5(e)에 있어서, D1, D3은 리브 마크량, D2, D4는 크랙의 침투량을 나타내고 있다.

도 5(a)를 참조하면, 거리(W1)가 0.6㎜를 초과하면, 거리(W1)가 0㎜인 경우에 비해서, 유리 기판(G1)의 크랙의 침투량이 커지고 있다. 유리 기판(G1, G2) 중 어느 것인가 한쪽에 큰 침투량으로 크랙이 들어가면, 브레이크 공정에 있어서, 마더 기판(G)을 적절하게 분단시키는 것이 가능하다.

예를 들면, 비교예(W1=0㎜)과 같이, 유리 기판(G1, G2)에 있어서의 크랙량이 모두 유리 기판(G1, G2)의 두께(0.2㎜)의 반정도이면, 브레이크 공정에 있어서, 마더 기판(G)의 양측으로부터 유리 기판(G1, G2)을 각각 브레이크시킬 필요가 있다. 이와 같이 마더 기판(G)의 양측으로부터 유리 기판(G1, G2)을 각각 브레이크시키는 동작이 행해지면, 유리 기판(G1, G2)의 가장자리에 미세한 균열이나 파손이 생겨서, 유리 기판(G1, G2)의 강도가 저하될 우려가 있다.

이것에 대해서, 거리(W1)가 0.6㎜ 내지 1.4㎜일 경우에는, 유리 기판(G2)에 있어서의 크랙의 침투량은 작지만, 유리 기판(G1)에 있어서의 크랙의 침투량이 크다. 이와 같이 유리 기판(G1)에 있어서의 크랙의 침투량이 클 경우, 브레이크 공정에서는, 크랙의 침투량이 작은 유리 기판(G2)을 마더 기판(G)의 한쪽으로부터만 브레이크시키는 동작이 행해지면 되고, 이 브레이크 동작 시, 깊게 크랙이 들어간 유리 기판(G1)도 동시에 크랙을 따라서 분단된다. 이와 같이 마더 기판(G)의 한쪽으로부터만 유리 기판(G1, G2)을 브레이크시키면, 유리 기판(G1, G2)의 가장자리에 미세한 균열이나 파손이 생기는 일이 없어, 유리 기판(G1, G2)의 강도가 높게 유지된다.

이상의 이유로, 마더 기판(G)의 분단에 있어서는, 유리 기판(G1, G2)의 어느 한쪽에 큰 침투량으로 크랙이 들어가 있는 것이 바람직하다. 본 실험에서는, 도 5(a)에 나타낸 바와 같이, 2개의 스크라이빙 휠(301, 401) 사이의 거리(W1)가 0.6㎜를 초과하면, 비교예(W1=0㎜)에 비해서, 유리 기판(G1)의 크랙의 침투량이 커지고 있다. 이것으로부터, 2개의 스크라이빙 휠(301, 401) 사이의 거리(W1)는 0.6㎜ 이상인 것이 바람직하다고 말할 수 있다. 이와 같이 2개의 스크라이빙 휠(301, 401) 사이의 거리(W1)를 설정함으로써, 마더 기판(G)의 브레이크를 적절하게 행할 수 있다.

<스크라이브 방법 2>

도 4(a) 내지 도 4(c)에 나타낸 스크라이브 방법(스크라이브 방법 1)에서는, 스크라이빙 휠(301)과 반대쪽(Z축 음의 방향 쪽)의 마더 기판(G)의 표면이 롤러로 눌리지 않고, 또한, 스크라이빙 휠(401)과 반대쪽(Z축 양의 방향 쪽)의 마더 기판(G)의 표면도 롤러로 눌리지 않고 있다. 이것에 대해서, 본 스크라이브 방법에서는, 스크라이빙 휠(301)과 반대쪽(Z축 음의 방향 쪽)의 마더 기판(G)의 표면과, 스크라이빙 휠(401)과 반대쪽(Z축 양의 방향 쪽)의 마더 기판(G)의 표면이, 각각, 롤러에 의해서 눌리고 있다. 또, 스크라이빙 휠(301, 401)과 반대쪽의 면을 누르는 누름 부재로서, 롤러 이외의 다른 부재가 이용되어도 된다.

도 6(a) 및 도 6(b)는 스크라이브 방법 2를 설명하는 도면이다. 도 6(a)는 Y축 음의 방향 쪽에서 스크라이브 위치 부근을 보았을 때의 모식도이고, 도 6(b)는 X축 양의 방향 쪽에서 스크라이브 위치 부근을 보았을 때의 모식도이다.

도 6(a)에 나타낸 바와 같이, 본 스크라이브 방법에서는, 스크라이빙 휠(301)과 반대쪽(Z축 음의 방향 쪽)의 마더 기판(G)의 표면이 2개의 롤러(402)로 눌리고, 또한, 스크라이빙 휠(401)과 반대쪽(Z축 양의 방향 쪽)의 마더 기판(G)의 표면도 2개의 롤러(302)로 눌리고 있다. 2개의 롤러(302)는, 스크라이빙 휠(301)을 끼우는 것처럼 배치되어, 축(302a)을 회전축으로 해서 회전 가능하게 되어 있다. 또한, 2개의 롤러(402)는, 스크라이빙 휠(401)을 끼우는 것처럼 배치되어, 축(402a)을 회전축으로 해서 회전 가능하게 되어 있다.

스크라이브 방법 1과 마찬가지로 2개의 스크라이빙 휠(301, 401)은, 스크라이브 방향(X축 방향)으로 거리(W1)만큼 어긋나 있다. 스크라이브 방법 2의 경우에도, 아래쪽 스크라이빙 휠(401)이 위쪽 스크라이빙 휠(301)에 대해서 선행해도 된다. 2개의 스크라이빙 휠(301, 401)은, 각각, 유리 기판(G1, G2)을 누르면서, 밀봉재(SL)를 따라서 이동한다. 스크라이빙 휠(301)과 2개의 롤러(302) 사이에는 Y축 방향의 간극이 있고, 스크라이빙 휠(401)과 2개의 롤러(402) 사이에도 Y축 방향의 간극이 있다. 이 때문에, 롤러(302, 402)는, 스크라이빙 휠(301, 401)에 의해서 형성되는 스크라이브 라인(L1, L2)을 넘도록 해서 X축 양의 방향으로 이동한다.

<실험 2>

본원 발명자들은, 도 6(a) 및 도 6(b)에 나타낸 스크라이브 방법에 따라서 마더 기판(G)에 스크라이브 라인을 형성하는 실험을 행하였다. 이하, 이 실험과 실험 결과에 대해서 설명한다.

본 실험에서 이용한 마더 기판(G)과 스크라이빙 휠(301, 401)은, 상기 실험 1과 같은 것으로 하였다. 본 실험에서는, 스크라이빙 휠(301, 401) 사이의 거리(W1)가 2.2㎜로 설정되었다. 또한, 스크라이빙 휠(301, 401)의 이동 속도는, 일정(200㎜/sec)하게 하였다. 위쪽 스크라이브 헤드(2)의 하중 중심에 대한 스크라이빙 휠(301)의 편심량은 1.0㎜이고, 아래쪽 스크라이브 헤드(2)의 하중 중심으로 대한 스크라이빙 휠(401)의 편심량은 3.2㎜였다.

스크라이빙 휠(301, 401)의 축(301a, 401a)의 중심 위치는, 각각, 롤러(302, 402)의 축(302a, 402a)의 중심 위치와, Z축 방향에 있어서 일치하고, 롤러(302, 402)의 직경은, 각각, 스크라이빙 휠(301, 401)의 직경과 같이 3㎜로 설정하였다.

이상의 조건에 기초하여, 스크라이빙 툴(30, 40)에 부여되는 하중을 변화시키면서, 유리 기판(G1, G2)에 있어서의 크랙의 침투량을 계측하였다.

도 7(a) 내지 도 7(e)에 실험 결과를 나타낸다. 도 7(a)는, 크랙의 침투량과 리브 마크량을 수치로 나타낸 도면이고, 도 7(b) 내지 도 7(e)는, 스크라이브 라인 상에 있어서의 마더 기판(G)의 단면사진이며, 각각, 하중이 6N, 7N, 8N, 9N인 경우의 것이다. 도 5(b) 내지 도 5(e)에 있어서, D1, D3은 리브 마크량, D2, D4는 크랙의 침투량을 나타내고 있다.

도 7(a)를 참조하면, 하중이 5N으로부터 6N으로 변화되면, 유리 기판(G1)에 있어서의 크랙의 침투량이 급격히 증가하는 것을 알 수 있다. 또, 하중이 6N을 초과하면, 유리 기판(G1)의 크랙의 침투량이 유리 기판(G1)의 두께(0.2㎜)의 80%를 초과하여, 유리 기판(G1)에 큰 침투량으로 크랙이 들어간다. 상기한 바와 같이, 유리 기판(G1, G2) 중 어느 한 방향에 큰 침투량으로 크랙이 들어가면, 브레이크 공정에 있어서, 마더 기판(G)을 적절하게 분단시킬 수 있다. 따라서, 스크라이브 방법 2에 있어서는, 스크라이빙 툴(30, 40)에 부여되는 하중을 6N 이상으로 설정하는 것이 바람직하다고 말할 수 있다.

또, 본 실험에서는, 상기 실험 1에 비해서, 유리 기판(G1)에 대한 크랙의 침투량이 더 커지고 있다. 또한, 본 실험에서는, 스크라이빙 휠(301)의 아래쪽이 롤러(402)에 의해서 지지되고, 또한, 스크라이빙 휠(401)의 위쪽이 롤러(302)에 의해서 지지되므로, 스크라이빙 휠(301, 401)의 칼의 압압력에 의해서 마더 기판(G)이 변형되는 것이 억제된다. 따라서, 크랙의 침투량을 크게 하면서 안정적으로 크랙을 형성하기 위해서는, 스크라이브 방법 2와 같이, 마더 기판(G)의 스크라이빙 휠(301, 401)과 반대쪽의 면을 롤러(402, 302)로 누르도록 하는 것이 바람직하다고 말할 수 있다.

<스크라이빙 툴>

도 8(a) 및 도 8(b)는, 각각, 상기 스크라이브 방법 2에 있어서 이용하는 스크라이빙 툴(30, 40)의 구성 예를 나타내는 사시도이다.

스크라이빙 툴(30, 40)은, 스크라이빙 휠(301, 401)과 롤러(302, 402)의 배열 순서를 제외하고 마찬가지 구성을 구비하고 있다. 스크라이빙 툴(30, 40)은, 각각, 스크라이빙 휠(301, 401)과 롤러(302, 402)을 유지하는 홀더(303, 403)를 구비한다. 홀더(303, 403)은, 스크라이빙 휠(301, 401)이 장착되는 홈(303a, 403a)과, 롤러(302, 402)가 장착되는 홈(303b, 403b)과, 경사면(303c, 403c)을 구비한다. 스크라이빙 휠(301, 401)은, 축(301a, 401a)을 홀더(303, 403)의 구멍에 끼워 넣음으로써 장착된다. 롤러(302, 402)는 축(302a, 402a)을 홀더(303, 403)의 구멍에 끼워 넣음으로써 장착된다.

도 9(a) 및 도 9(b)는, 스크라이브 라인 형성 기구(22)에 대한 스크라이빙 툴(30)의 설치 방법을 모식적으로 나타낸 도면이다. 도 9(a) 및 도 9(b)에서는, 스크라이브 라인 형성 기구(22)의 내부가 투시된 상태가 제시되어 있다.

스크라이브 라인 형성 기구(22)의 하단에는, 스크라이빙 툴(30)을 유지하는 유지부(221)가 설치되고, 이 유지부(221)에, 스크라이빙 툴(30)을 삽입가능한 구멍(222)이 형성되어 있다. 구멍(222)의 밑바닥에는 자석(224)이 설치되고, 구멍(222)의 중간 위치에 핀(223)이 설치되어 있다. 스크라이빙 툴(30)의 홀더(303)는 강자성체로 이루어져 있다. 또한, 유지부(221)는, 도시하지 않은 베어링에 의해서, 수평방향으로 360도 회전가능하게 스크라이브 라인 형성 기구(22)에 지지되어 있다.

스크라이브 라인 형성 기구(22)에 스크라이빙 툴(30)을 부착할 경우, 스크라이빙 툴(30)의 홀더(303)가 유지부(221)의 구멍(222)에 삽입된다. 홀더(303)의 상단이 자석(224)에 접근하면 홀더(303)가 자석(224)에 흡착된다. 이때, 홀더(303)의 경사면(303c)이 핀(223)에 맞닿고, 홀더(303)가 정규의 위치에 위치 결정된다. 이와 같이 해서, 도 9(b)에 나타낸 바와 같이, 스크라이빙 툴(30)이 스크라이브 라인 형성 기구(22)의 하단에 장착된다.

스크라이빙 툴(40)도 마찬가지로 해서 스크라이브 라인 형성 기구(22)의 하단에 장착된다. 이와 같이 해서, 스크라이빙 툴(30, 40)이, 각각, 대응하는 스크라이브 헤드(2)의 스크라이브 라인 형성 기구(22)에 장착되면, 도 6(a) 및 도 6(b)에 나타낸 바와 같이, 스크라이빙 휠(301)에 대응하는 위치에 롤러(402)가 위치 부여되고, 스크라이빙 휠(401)에 대응하는 위치에 롤러(302)가 위치 부여된다. 도 8(a) 및 도 8(b)에 나타낸 구성의 스크라이빙 툴(30, 40)을 이용하면, 스크라이빙 툴(30, 40)을 각각, 대응하는 스크라이브 헤드(2)의 스크라이브 라인 형성 기구(22)에 장착하는 것만으로, 스크라이빙 휠(301)과 스크라이빙 휠(401)의 거리(W1)를 소정의 거리로 유지하면서, 스크라이빙 휠(301, 401)과 롤러(402, 302)을 서로 마주 향하게 할 수 있다.

또, 상기 실험 2는, 도 8(a) 및 도 8(b)에 나타낸 구성의 스크라이빙 툴(30, 40)을 이용해서 행하였다. 또한, 상기 실험 1은, 홀더(303, 403)로부터 홈(303b, 403b)이 생략되어, 홈(303a, 403a)만을 가진 홀더(303, 403)에, 각각, 스크라이빙 휠(301, 401)만이 장착된 스크라이빙 툴(30, 40)을 이용해서 행하였다.

<스크라이브 제어>

다음에, 스크라이브 장치(1)에 있어서의 스크라이브 제어에 대해서 설명한다.

도 10(a)는 스크라이브 장치(1)의 구성을 나타낸 블록도이다.

스크라이브 장치(1)는, 제어부(101)와, 검출부(102)와, 구동부(103)와, 입력부(104)와, 표시부(105)를 구비한다.

제어부(101)는, CPU 등의 프로세서와, ROM이나 RAM 등의 메모리를 구비하고, 메모리에 기억된 제어 프로그램에 따라서 각 부를 제어한다. 또한, 메모리는, 각 부를 제어할 때의 작업 영역으로서도 이용된다. 검출부(102)는, 도 1(a)에 나타낸 카메라(19a, 19b) 외에, 각종 센서를 포함한다. 구동부(103)는, 도 1(a)에 나타낸 스크라이브 장치(1)의 기구부나 구동 모터(17, 18)를 포함한다. 입력부(104)는, 마우스 및 키보드를 구비한다. 입력부(104)는, 스크라이브 라인의 개시 위치 및 종료 위치나, 스크라이브 라인의 간격 등, 스크라이브 동작에 있어서의 각종 파라미터값의 입력에 이용된다. 표시부(105)는, 모니터를 포함하고, 입력부(104)에 의한 입력 시, 소정의 입력 화면이 표시된다.

도 10(b) 및 도 10(c)는, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)이 스크라이브 방향으로 변위된 상태에서 다른 스크라이브 라인(LV1, LV2)을 통과할 경우의 문제를 설명하는 도면이다. 도 10(b)는 마더 기판(G)의 일부를 옆쪽에서 본 도면이고, 도 10(c)는 다른 스크라이브 라인(LV1, LV2)의 부근을 확대한 도면이다.

도 10(b) 및 도 10(c)에 나타낸 다른 스크라이브 라인(LV1, LV2)은, 도 1(a) 및 도 1(b)의 구성에 있어서, 마더 기판(G)이, 핸드(11a)에 파지된 상태에서, 컨베이어(11)에 의해 Y축 방향으로 이동됨으로써 형성된다. 이때, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)은, 능선이 Y축 방향으로 병행하게 되도록, 도 4(a) 또는 도 6(a)에 나타낸 상태로부터 수평방향으로 90도 회전한다. 전술한 바와 같이, 도 9의 유지부(221)는, 도시하지 않는 베어링에 의해 수평방향으로 360도 회전가능하게 지지되어 있다. 따라서, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)이 마더 기판(G)의 상하의 면을 누른 상태에서, 마더 기판(G)이 컨베이어(11)에 의해 Y축 방향으로 이동되면, 유지부(221)가 회전하고, 능선이 Y축 방향으로 평행하게 되도록, 스크라이빙 휠(301, 401)이 위치 부여된다.

이때, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)은, Y축 방향으로 소정 거리만큼 서로 변위된 상태에 있다. 또, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)은, 각각, 도 4(c)에 나타낸 밀봉재(SL)의 바로 위 및 바로 아래의 위치에 위치 부여된다. 이와 같이 해서, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)이 마더 기판(G)의 상하의 면을 누른 상태에서, 마더 기판(G)이 컨베이어(11)에 의해 Y축 방향으로 이동됨으로써, 마더 기판(G)의 상하의 면에, Y축 방향으로 평행한 스크라이브 라인(LV1, LV2)이 형성된다. 스크라이브 라인(LV1, LV2)은, X축 방향으로 나열되는 밀봉재(SL)의 수만큼 형성된다.

이와 같이, 스크라이브 라인(LV1, LV2)이 형성된 후, 스크라이브 헤드(2)를 X축 방향으로 이동시켜서, X축 방향에 평행한 스크라이브 라인(L1, L2)이 형성된다. 따라서, 스크라이브 라인(L1, L2)의 형성 동작에서는, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)이, 스크라이브 라인(L1, L2)과 수직으로 교차하는 스크라이브 라인(LV1, LV2)을 통과하게 된다.

상기 실험 1 및 2에서 검증한 바와 같이, 마더 기판(G)의 양면에 동시에 스크라이브 라인을 형성할 경우, 위쪽 스크라이빙 휠(301)과 아래쪽 스크라이빙 휠(401)을 스크라이브 방향으로 소정 거리만큼 어긋나게 하는 것이 바람직하다. 그러나, 이 스크라이브 방법을, 도 10(b)에 나타낸 바와 같이, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)이 스크라이브 라인(LV1, LV2)을 통과할 때에도 적용하면, 도 10(c)에 나타낸 바와 같이, 스크라이브 라인(LV1, LV2)을 넘는 위치에, 상반하는 방향의 힘(F1, F2)이, 스크라이빙 휠(301, 401)로부터 가해지게 된다. 이것에 의해, 스크라이빙 휠(301, 401)이 스크라이브 라인(LV1, LV2)을 통과할 때에, 스크라이브 라인(LV1, LV2)으로부터 균열(C1, C2)이 들어가는 문제가 일어난다.

이 문제는, 전술한 스크라이브 방법 1과 같이 롤러(302, 402)가 배치되어 있지 않은 경우뿐만 아니라, 스크라이브 방법 2와 같이 롤러(302, 402)가 배치된 경우에도 마찬가지로 일어날 수 있다. 즉, 스크라이브 방법 2와 같이 롤러(302, 402)가 설치되는 경우에도, 하중 중심에 대한 스크라이빙 휠(301, 401)의 위치 조정이나, 상하 방향(Z축 방향)에 있어서의 스크라이빙 휠(301, 401)과 롤러(302, 402)의 상대 위치의 조정에 의해서, 스크라이빙 휠(301, 401)이 마더 기판(G)의 표면을 강하게 누른다. 이때, 롤러(302, 402)는, 마더 기판(G)의 휨을 스크라이빙 휠(301, 401)의 반대쪽으로부터 억제하는데 그쳐, 마더 기판(G)의 표면을 강하게 누르는 일은 없다. 따라서, 스크라이브 방법 2와 같이 롤러(302, 402)가 설치될 경우에도, 도 10(c)에 나타낸 바와 같이, 스크라이브 라인(LV1, LV2)을 넘는 위치에, 상반하는 방향의 힘(F1, F2)이, 스크라이빙 휠(301, 401)로부터 가해져, 스크라이빙 휠(301, 401)이 스크라이브 라인(LV1, LV2)을 통과할 때에, 스크라이브 라인(LV1, LV2)으로부터 균열(C1, C2)이 들어가는 문제가 일어난다.

그래서, 본 실시형태에서는, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)이 다른 스크라이브 라인(LV1, LV2)을 대략 동시에 통과하는 제어가 행해진다. 또, 여기에서는, 다른 스크라이브 라인(LV1, LV2)의 통과 위치 이외의 범위에 있어서, 아래쪽 스크라이빙 휠(401)이 위쪽 스크라이빙 휠(301)에 대해서 스크라이브 방향으로 선행하도록 제어된다.

도 11은, 스크라이브 제어를 나타낸 순서도이다. 또, 도 11에 나타낸 스크라이브 제어는, 도 1(a)의 컨베이어(11)를 이동시키는 일 없이, 스크라이빙 툴(30, 40)을 이동시켜서, 마더 기판(G)의 양면에 스크라이브 라인을 형성할 때의 제어이다. 도 11에 나타낸 스크라이브 제어가 실행되기 전에, 전술한 바와 같이, 스크라이빙 툴(30, 40)을 이동시키는 일 없이, 컨베이어(11)를 이동시켜서, 마더 기판(G)의 양면에 스크라이브 라인(LV1, LV2)을 형성하는 제어가 행해진다.

도 11에 나타낸 스크라이브 제어는, 도 10(a)의 제어부(101)에 의해서 행해진다. 도 12(a) 내지 도 14(b)는, 소정의 제어 타이밍에 있어서의 스크라이빙 툴(30, 40)의 위치를 모식적으로 나타낸 도면이다. 여기에서는, 도 8(a) 및 도 8(b)에 나타낸 스크라이빙 툴(30, 40)이 이용되고 있다. 이 대신에, 롤러(302, 402)가 생략된 스크라이빙 툴(30, 40)이 이용되어도 된다.

도 11을 참조하면, 제어부(101)는, 카메라(19a, 19b)의 촬상 화상을 처리하고, 마더 기판(G)의 위치를 검출한다(S11). 이 검출 결과에 의거해서, 제어부(101)는, 각 스크라이브 라인에 대한 상하의 스크라이브 헤드(2)(스크라이빙 툴(30, 40))의 초기 위치와, 각 스크라이브 헤드(2)에 대한 이송 제어의 전환 타이밍을 설정한다(S12). 또, 제어부(101)는, 앞서 행한 스크라이브 라인(LV1, LV2)의 형성 동작에 있어서, 미리, 스크라이브 라인(LV1, LV2)의 위치를 기억하고 있다. 제어부(101)는, 스크라이브 라인(LV1, LV2)의 위치에 의거해서, 각 스크라이브 헤드(2)에 대한 이송 제어의 전환 타이밍을 설정한다.

다음에, 제어부(101)는, 상하의 스크라이브 헤드(2)를 형성 대상의 스크라이브 라인(L1, L2)의 개시 위치로 이동시킨다(S13). 도 12(a)는, 이때의 스크라이빙 툴(30, 40)의 상태를 나타낸 도면이다. 이 상태에서는, X축 방향에 있어서, 스크라이빙 휠(301)과 롤러(402)의 위치가 일치하고, 또한, 스크라이빙 휠(401)과 롤러(302)의 위치가 일치하고 있다.

이 상태에서, 제어부(101)는, 상하의 스크라이브 헤드(2)의 서보 모터(28)를 구동해서, 스크라이빙 툴(30, 40)을, 각각, 마더 기판(G)의 상부면 및 하부면에 소정의 하중으로 압접시킨다(S14). 도 12(b)는, 이때의 스크라이빙 툴(30, 40)의 상태를 나타낸 도면이다. 이 상태에서는, 스크라이빙 휠(301, 401)의 위치가 X축 방향으로 서로 변위된 상태에서, 마더 기판(G)의 상부면의 밀봉재(SL)에 대향하는 위치와, 마더 기판(G)의 하부면의 밀봉재(SL)에 대향하는 위치에, 각각, 스크라이빙 휠(301, 401)이 압접된다.

이와 같이 해서 스크라이빙 툴(30, 40)을 마더 기판(G)의 양면에 압접시킨 상태에서, 제어부(101)는, 구동 모터(17, 18)를 구동하고, 상하의 스크라이브 헤드(2)를 각각 같은 속도(Vn)로 이동시킨다(S15). 따라서, 스크라이빙 휠(301, 401)의 간격이 유지된 채, 마더 기판(G)의 양면에 대한 스크라이브 동작이 행해진다.

그 후, 제어부(101)는, 통과전 타이밍(Tb)이 도래하는 것을 기다린다(S16). 통과전 타이밍(Tb)이란, 선행하는 아래쪽 스크라이빙 휠(401)이, 다음에 도래하는 다른 스크라이브 라인(LV1, LV2)의 위치(Pp)로부터 소정 거리만큼 앞의 위치(Pb)에 도달하는 타이밍이다. 통과전 타이밍(Tb)이 도래하면(S16: 예), 제어부(101)는 아래쪽 스크라이브 헤드(2)의 이동 속도를 속도(Vn)로부터 속도(Vs)로 저하시킨다(S17). 이것에 의해, 위쪽 스크라이빙 휠(301)이 서서히 아래쪽 스크라이빙 휠(401)에 접근한다. 도 13(a)는 이때의 스크라이빙 툴(30, 40)의 상태를 나타낸 도면이다.

그 후, 제어부(101)는, 통과 타이밍(Tp)이 도래하는 것을 기다린다(S18). 통과 타이밍(Tp)이란, 선행하는 아래쪽 스크라이빙 휠(401)이, 다음에 도래하는 다른 스크라이브 라인(LV1, LV2)의 위치(Pp)에 도달하는 타이밍이다. 통과 타이밍(Tp)이 도래하면(S18: 예), 제어부(101)는 아래쪽 스크라이브 헤드(2)의 이동 속도를 속도(Vs)로부터 속도(Vf)로 높인다(S19).

도 13(b)는, 이때의 스크라이빙 툴(30, 40)의 상태를 나타낸 도면이다. 도 13(b)에 나타낸 바와 같이, 통과 타이밍(Tp)에 있어서, 위쪽 스크라이빙 휠(301)은, 아래쪽 스크라이빙 휠(401)을 따라 붙고, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)은, 대략 동시에, 다른 스크라이브 라인(LV1, LV2)을 통과한다. 도 11의 S17에 있어서의 속도(Vs)는, 이와 같이, 통과 타이밍(Tp)에 있어서, 위쪽 스크라이빙 휠(301)이 아래쪽 스크라이빙 휠(401)을 따라 붙도록 조정되어 있다.

이와 같이 해서, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)이 다른 스크라이브 라인(LV1, LV2)을 통과하면, S19에 있어서, 아래쪽 스크라이브 헤드(2)의 이동 속도가 속도(Vs)로부터 속도(Vf)로 높아진다. 여기에서, 속도(Vf)는, 속도(Vn)보다도 높게 설정되어 있다. 따라서, 다른 스크라이브 라인(LV1, LV2)을 통과한 후, 아래쪽 스크라이빙 휠(401)은, 서서히, 위쪽 스크라이빙 휠(301)에 대해서 선행한다. 도 14(a)는 이때의 스크라이빙 툴(30, 40)의 상태를 나타낸 도면이다.

그 후, 제어부(101)는, 통과후 타이밍(Ta)가 도래하는 것을 기다린다(S20). 통과후 타이밍(Ta)이란, 선행하는 아래쪽 스크라이빙 휠(401)이, 직전에 통과한 다른 스크라이브 라인(LV1, LV2)의 위치(Pp)로부터 소정의 거리만큼 진행한 위치(Pa)에 도달하는 타이밍이다. 통과후 타이밍(Ta)가 도래하면(S20: 예), 제어부(101)는 아래쪽 스크라이브 헤드(2)의 이동 속도를 속도(Vf)로부터 속도(Vn)로 저하시킨다(S21). 이것에 의해, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)의 이동 속도가 같아진다.

도 14(b)는, 이때의 스크라이빙 툴(30, 40)의 상태를 나타낸 도면이다. 도 14(b)에 나타낸 바와 같이, 통과후 타이밍(Ta)에 있어서, 위쪽 스크라이빙 휠(301)은 아래쪽 롤러(402)에 대향하고, 아래쪽 스크라이빙 휠(401)은 위쪽 롤러(302)에 대향한다. 이와 같이 해서, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)의 간격이 소기의 간격으로 유지된다. 도 11의 S19에 있어서의 속도(Vf)는, 이와 같이, 통과후 타이밍(Ta)에 있어서, 위쪽 스크라이빙 휠(301)과 아래쪽 스크라이빙 휠(401)의 간격이 소기의 간격이 되도록 조정되어 있다.

그 후, 제어부(101)는, 해당 스크라이브 라인에 대한 스크라이브 동작이 종료했는지의 여부를 판정한다(S22). 즉, 제어부(101)는, 스크라이브 위치가 스크라이브 라인의 종료 위치에 접근하고, 다른 스크라이브 라인(LV1, LV2)이 더욱 도래할 일이 있는지의 여부를 판정한다. 스크라이브 동작이 종료하지 않고 있을 경우(S22: 아니오), 제어부(101)는, 처리를 S16로 되돌려, 스크라이브 동작을 계속한다. 스크라이브 동작이 종료한 경우(S22: 아니오), 제어부(101)는, 해당 스크라이브 라인의 종료 위치까지 스크라이브 동작을 계속하고, 상하의 스크라이브 헤드(2)의 서보 모터(28)을 구동하여, 스크라이빙 툴(30, 40)을, 각각, 마더 기판(G)의 상부면 및 하부면으로부터 이간시킨다(S23).

그리고, 제어부(101)는, 상하의 스크라이브 헤드(2)를 이동시키는 것에 의한 처리가, 미리 설정된 모든 스크라이브 라인에 대해서 완료했는지의 여부를 판정한다(S24). 모든 스크라이브 라인에 대한 처리가 완료하고 있지 않을 경우(S24: 아니오), 제어부(101)는, 처리를 S13로 되돌려, 다음 스크라이브 라인에 대한 처리를 실행한다. 이와 같이 해서, 모든 스크라이브 라인에 대한 처리가 완료하면(S24: 예), 제어부(101)는 처리를 종료한다.

도 15는 스크라이브 제어를 나타낸 타이밍 차트이다. 도 15의 하단에는, 위쪽 스크라이브 헤드(2)에 대한 구동 신호와, 아래쪽 스크라이브 헤드(2)에 대한 구동 신호가 표시되어 있다. 이들 구동 신호는, 각각, 도 1(a)에 나타낸 구동 모터(17, 18)에 인가된다. 또한, 도 15의 상단에는, 스크라이브 방향에 있어서의 마더 기판(G) 상의 위치와, 스크라이빙 휠(301, 401)의 상대위치가 표시되어 있다.

위치(Pp)는, 전술한 바와 같이, 스크라이브 라인(LV1, LV2)이 형성된 위치이며, 위치(Pa, Pb)는, 각각, 위치(Pp)로부터 소정 거리만큼 진행된 위치 및 소정 거리만큼 앞의 위치이다. 또, 전술한 바와 같이, 통과 타이밍(Tp), 통과후 타이밍(Ta) 및 통과전 타이밍(Tb)은, 각각, 위치(Pp, Pa, Pb)에 대응하는 타이밍이다.

위쪽 스크라이브 헤드(2)의 구동 신호는, 스크라이브 동작의 전체 기간에 걸쳐서 수준(Dn)으로 유지된다. 아래쪽 스크라이브 헤드(2)의 구동 신호는, 통과전 타이밍(Pb)으로부터 통과 타이밍(Pp)까지는 수준(Ds)으로 설정되고, 통과 타이밍(Pp)으로부터 통과후 타이밍(Pa)까지는 수준(Df)으로 설정되며, 그 밖의 기간은, 수준(Dn)으로 설정된다. 따라서, 범위(Rc)에 있어서는, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)의 이동 속도는 함께 Vn이 되고, 스크라이빙 휠(301, 401)의 간격이 소정의 간격으로 유지된다. 또한, 범위(Rb)에 있어서는, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)의 이동 속도가 각각 Vn, Vs(Vn > Vs)로 되어, 스크라이빙 휠(301, 401)의 간격이 서서히 축소된다. 또한, 범위(Ra)에 있어서는, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)의 이동 속도가 각각 Vn, Vf(Vn < Vf)로 되어, 스크라이빙 휠(301, 401)의 간격이 서서히 벌어진다.

이러한 제어에 의해, 통과 타이밍(Pp)에 있어서, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)의 위치가 맞추어지고, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)은, 대략 동시에, 다른 스크라이브 라인(LV1, LV2)을 통과한다. 이 제어는, 다른 스크라이브 라인(LV1, LV2)이 도래할 때마다, 마찬가지로, 되풀이된다. 따라서, 모든 다른 스크라이브 라인(LV1, LV2)의 통과 타이밍(Pp)에 있어서, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)의 위치가 맞추어진다. 또한, 범위(Rc)에 있어서는, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)의 간격을 소정 거리로 유지해서, 스크라이브 동작이 실행된다. 따라서, 스크라이브 라인상의 대부분을 차지하는 범위(Rc)에 있어서, 상기 실험 1 및 2에서 나타낸 바와, 양호한 깊이의 크랙이 형성된다.

<실시형태의 효과>

본 실시형태에 따르면, 이하의 효과가 발휘된다.

실험 1 및 2에 나타낸 바와 같이, 밀봉재(SL)의 바로 위의 위치에, 깊은 크랙으로 스크라이브 라인을 형성할 수 있다. 특히, 스크라이브 방법 2와 같이, 스크라이빙 휠(301, 401)의 반대쪽을 롤러(302, 402)로 누름으로써, 크랙의 침투량을 더욱 크게 하면서 안정적으로 크랙을 형성할 수 있다.

또한, 스크라이브 라인(L1, L2)에 직교하는 다른 스크라이브 라인(LV1, LV2)을 스크라이빙 휠(301, 401)이 대략 동시에 통과하도록, 스크라이빙 휠(301, 401)의 이동이 조정되므로, 다른 스크라이브 라인(LV1, LV2)을 넘는 위치에, 상반하는 방향의 힘(F1, F2)이, 스크라이빙 휠(301, 401)로부터 가해지는 것이 회피된다. 이것에 의해, 스크라이빙 휠(301, 401)이 다른 스크라이브 라인(LV1, LV2)을 통과할 때에, 다른 스크라이브 라인(LV1, LV2)으로부터 균열이 생기는 일이 없어, 다른 스크라이브 라인(LV1, LV2)에 의한 분단을 적절하게 행할 수 있다.

또, 도 15의 범위(Ra)에 있어서는, 스크라이빙 휠(401)의 이동 속도를 스크라이빙 휠(301)의 이동 속도보다도 빠르게 함으로써, 스크라이빙 휠(401)이 스크라이빙 휠(301)에 대하여 선행한다. 이 때문에, 마더 기판(G)의 양면에 크랙을 형성하면서, 스크라이빙 휠(401)과 스크라이빙 휠(301) 사이에 간격을 둘 수 있다.

또한, 도 15의 범위(Rc)에 있어서는, 스크라이빙 휠(301)의 이동 속도와 스크라이빙 휠(401)의 이동 속도를 동일하게 함으로써, 스크라이빙 휠(401)과 스크라이빙 휠(301)의 간격이 소정 거리로 유지된다. 이 때문에, 마더 기판(G)에 크랙을 불균일 없이 양호하게 형성할 수 있다.

또한, 도 15의 범위(Rc)에 있어서는, 스크라이빙 휠(401)의 이동 속도를 스크라이빙 휠(301)의 이동 속도보다도 느리게 함으로써, 다른 스크라이브 라인(LV1, LV2)이 형성된 위치(Pp)에 있어서, 스크라이빙 휠(301)이 스크라이빙 휠(401)에 따라 붙는다. 이 때문에, 마더 기판(G)의 양면에 크랙을 형성하면서, 스크라이빙 휠(301, 401)에 다른 스크라이브 라인(LV1, LV2)을 대략 동시에 통과시킬 수 있다.

이상, 본 발명의 실시형태에 대해서 설명했지만, 본 발명은 상기 실시형태로 하등 제한되는 것은 아니고, 또한, 본 발명의 실시형태도 상기 이외에 각종 변경이 가능하다.

<변경예 1>

예를 들면, 스크라이빙 휠(301)을 스크라이빙 휠(401)에 대해서 변위시키는 방법은, 상기 실시형태에 나타낸 방법으로 한정되는 것은 아니고, 다른 방법으로 하는 것도 가능하다.

도 16은 변경예 1에 따른 스크라이브 제어를 나타낸 타이밍 차트이다. 도 16의 타이밍 차트는 도 15의 타이밍 차트에 대응하는 것이다.

상기 실시형태에서는, 위치(Pp)에 있어서, 위쪽 스크라이빙 휠(301)이 아래쪽 스크라이빙 휠(401)에 따라 붙도록 제어되었지만, 변경예 1에서는, 위치(Pp)보다도 소정 거리만큼 앞의 위치(Pb1)에 있어서, 위쪽 스크라이빙 휠(301)이 아래쪽 스크라이빙 휠(401)에 따라 붙도록 제어된다.

즉, 변경예 1에서는, 위치(Pb2)에 대응하는 타이밍(Tb2)에 있어서, 아래쪽 스크라이브 헤드(2)의 구동 신호가 수준(Ds)으로 설정되어, 아래쪽 스크라이빙 휠(401)의 이동 속도가 속도(Vs)로 감속된다. 이것에 의해, 범위(Rb2)에 있어서, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)의 간격이 서서히 축소되고, 위치(Pb1)에 있어서, 위쪽 스크라이빙 휠(301)이 아래쪽 스크라이빙 휠(401)에 따라 붙는다.

또, 위치(Pb1)에 대응하는 타이밍(Tb1)에 있어서, 아래쪽 스크라이브 헤드(2)의 구동 신호가 수준(Dn)으로 되돌아가, 아래쪽 스크라이빙 휠(401)의 이동 속도가 속도(Vn)로 높아진다. 이것에 의해, 범위(Rb1)과 범위(Ra1)에 있어서는, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)이 선후하는 일 없이 스크라이브 방향으로 속도(Vn)로 이동한다. 따라서, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)은, 대략 동시에, 다른 스크라이브 라인(LV1, LV2)을 통과한다.

또한, 위치(Pa1)에 대응하는 타이밍(Ta1)에 있어서, 아래쪽 스크라이브 헤드(2)의 구동 신호가 수준(Df)으로 높아져, 아래쪽 스크라이빙 휠(401)의 이동 속도가 속도(Vf)로 높아진다. 이것에 의해, 범위(Ra2)에 있어서, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)의 간격이 서서히 넓어져, 위치(Pa2)에 있어서, 위쪽 스크라이빙 휠(301)에 대해서 아래쪽 스크라이빙 휠(401)이 소정 거리만큼 선행한다. 위치(Pa2)에 있어서, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)은, 도 14(b)와 같이 위치 부여된다.

그리고, 위치(Pa2)에 대응하는 타이밍(Ta2)에 있어서, 아래쪽 스크라이브 헤드(2)의 구동 신호가 수준(Dn)으로 되돌려져, 아래쪽 스크라이빙 휠(401)의 이동 속도가 속도(Vn)로 감속된다. 이것에 의해, 범위(Rc)에 있어서는, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)의 간격이 소정 거리로 유지되어서, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)이 이동된다. 다른 스크라이브 라인(LV1, LV2)이 도래할 때마다, 이상의 제어가 반복된다.

변경예 1에 따르면, 위치(Pp)를 사이에 둔 전후의 범위(Rb1, Ra1)에 있어서, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)의 위치가 정합하고 있다. 따라서, 상기 실시형태에 비해서, 보다 확실하게, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)이 다른 스크라이브 라인(LV1, LV2)을 대략 동시에 통과하기 쉬워진다. 또, 범위(Rb1, Ra1)에 있어서는, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)이 전후로 변위되는 일 없이 스크라이브 동작이 행해지므로, 상기 실험 1 및 2에 나타낸 바와 같이, 크랙의 깊이가 얕아진다. 이 점을 고려하면, 범위(Rb1, Ra1)는 될 수 있는 한 좁게 설정하는 것이 바람직하다고 말할 수 있다.

<변경예 2>

상기 실시형태 및 변경예 1에서는, 아래쪽 스크라이브 헤드(2)의 이동 속도만 변경되었지만, 위쪽 스크라이브 헤드(2)의 이동 속도만 변경되어도 되고, 또한, 상하의 스크라이브 헤드(2)의 이동 속도가 함께 변경되어도 된다.

도 17은, 변경예 2에 따른 스크라이브 제어를 나타낸 타이밍 차트이다. 변경예 2에서는, 상기 변경예 1의 범위(Rb2)에 있어서, 아래쪽 스크라이브 헤드(2)가 감속되는 대신에, 위쪽 스크라이브 헤드(2)의 이동 속도가 높아진다. 구체적으로는, 범위(Rb2)에 있어서, 위쪽 스크라이브 헤드(2)의 구동 신호가 수준(Df)으로 설정된다. 이것에 의해, 위쪽 스크라이브 헤드(2)의 이동 속도가 속도(Vf)로 높아지고, 위치(Pb1)에 있어서, 위쪽 스크라이빙 휠(301)이 아래쪽 스크라이빙 휠(401)에 따라 붙는다. 변경예 2에 의해서도, 변경예 1과 마찬가지의 효과가 발휘될 수 있다.

또, 위쪽 스크라이브 헤드(2)의 이동 속도만 변경될 경우에는, 도 17의 타이밍 차트에 있어서, 범위(Ra2)에 있어서의 위쪽 스크라이브 헤드(2)의 구동 신호가 수준(Df)으로 설정되고, 범위(Ra2)에 있어서의 아래쪽 스크라이브 헤드(2)의 구동 신호가 수준(Dn)으로 설정된다. 마찬가지로, 도 15의 타이밍 차트에 있어서도, 위쪽 스크라이브 헤드(2)의 이동 속도만 변경하는 제어가 가능하고, 또한, 상하의 스크라이브 헤드(2)의 이동 속도를 함께 변경하는 제어도 가능하다.

<변경예 3>

도 18은 변경예 3에 따른 스크라이브 제어를 나타낸 타이밍 차트이다. 변경예 3에서는, 위치(Pa1)에 대응하는 타이밍(Ta1)로부터 위치(Pc)에 대응하는 타이밍(Tc)까지의 기간은, 위쪽 스크라이브 헤드(2)의 구동 신호와 아래쪽 스크라이브 헤드(2)의 구동 신호가 각각 Dn, Df로 설정되고, 위치(Pc)에 대응하는 타이밍(Tc)으로부터 위치(Pb1)에 대응하는 타이밍(Tb1)까지의 기간은, 위쪽 스크라이브 헤드(2)의 구동 신호와 아래쪽 스크라이브 헤드(2)의 구동 신호가 각각 Dn, Df로 설정된다. 여기에서, 위치(Pc)는, 위치(Pa1)와 위치(Pb1) 사이의 중간위치이다.

이와 같이 하면, 범위(Rc1)에서는, 아래쪽 스크라이빙 휠(401)이 위쪽 스크라이빙 휠(301)에 대해서 서서히 선행하고, 범위(Rc2)에서는, 위쪽 스크라이빙 휠(301)이 아래쪽 스크라이빙 휠(401)에 대해서 서서히 따라 붙는다. 위치(Pb1)에서는, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)의 위치가 스크라이브 방향에 있어서 일치하고, 그 후, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)은, 같은 이동 속도(Vn)로, 스크라이브 방향으로 이동한다. 따라서, 변경예 3에 있어서도, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)이, 대략 동시에, 다른 스크라이브 라인(LV1, LV2)을 통과한다. 변경예 3에 의해서도, 상기 실시형태 및 변경예 1 내지 3과 마찬가지의 효과가 발휘될 수 있다.

또, 상기 실시형태 및 변경예 1 내지 3에서는, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401) 사이에 간격을 둘 경우에는, 항상, 아래쪽 스크라이빙 휠(401)을 선행시켰지만, 이것 대신에, 항상, 위쪽 스크라이빙 휠(301)을 선행시켜도 되고, 혹은, 소정의 타이밍에서, 선행시키는 스크라이빙 휠을 전환시켜도 된다. 예를 들면, 다른 스크라이브 라인(LV1, LV2)을 통과할 때마다, 선행시키는 스크라이빙 휠을 전환시켜도 된다.

<변경예 4>

상기 실시형태 및 변경예 1 및 3에서는, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)이 마더 기판(G)의 상부면 및 하부면에 압접되는 하중이, 스크라이브 라인의 전체 길이에 있어서 불변으로 되었다. 그러나, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)이 마더 기판(G)의 상부면 및 하부면에 압접되는 하중이, 스크라이브 라인의 위치에 따라서 변화되도록 제어되어도 된다.

도 19는 변경예 4에 따른 스크라이브 제어를 나타낸 타이밍 차트이다. 도 19의 타이밍 차트에서는, 도 15의 타이밍 차트의 하단에, 상하의 스크라이빙 툴(30, 40)에 부여되는 하중의 타이밍 차트가 추가되어 있다. 도 19에 나타낸 바와 같이, 변경예 4에서는, 위치(Pp) 부근, 즉, 상하의 스크라이빙 휠(301, 401)의 간격이 0 또는 상당히 좁은 범위에 있어서, 상하의 스크라이빙 툴(30, 40)에 부여되는 하중이 N0으로부터 NL로 약화된다.

이와 같이 스크라이빙 툴(30, 40)의 압접 하중을 조정함으로써, 위치(Pp) 부근에 있어서, 마더 기판(G)에 과도한 하중이 가해지는 것이 회피된다. 위치(Pp) 부근에서는, 스크라이빙 휠(301, 401)의 위치가 거의 일치하므로, 마더 기판(G)은, 스크라이빙 휠(301, 401)에 의해 직접 끼워져 있는 것으로 된다. 이 때문에, 마더 기판(G)은, 스크라이빙 휠(301, 401)이 스크라이브 방향으로 서로 변위하고 있을 경우에 비해서, 스크라이빙 휠(301, 401)로부터 큰 힘을 받는다. 도 19의 제어에 의해, 위치(Pp) 부근에 있어서, 하중이 약화됨으로써, 마더 기판(G)이 스크라이빙 휠(301, 401)로부터 과도한 힘을 받는 것이 회피된다. 따라서, 위치(Pp) 부근에 있어서, 마더 기판(G)에 대해서, 파손 없이, 적정한 깊이의 크랙을 형성할 수 있다.

또, 범위(Rc)에 있어서의 압접 하중(N0)은, 스크라이빙 휠(301, 401)의 간격이 소정의 거리에 있을 때에 소망의 깊이의 크랙이 형성되도록 조정된다.

<변경예 5>

도 20은 변경예 5에 따른 스크라이브 제어를 나타낸 타이밍 차트이다. 변경예 5은, 변경예 2의 제어에, 압접 하중의 조정 제어를 추가한 것이다. 도 20의 타이밍 차트에서는, 도 17의 타이밍 차트의 하단에, 상하의 스크라이빙 툴(30, 40)에 부여되는 하중의 타이밍 차트가 추가되어 있다.

도 20에 나타낸 바와 같이, 변경예 5에서는, 위치(Pp)를 사이에 둔 범위(Rb1) 및 범위(Ra1)에 있어서, 상하의 스크라이빙 툴(30, 40)에 부여되는 하중이 N0으로부터 NL로 약화된다. 변경예 5에 있어서도, 변경예 4와 마찬가지의 효과가 발휘될 수 있다. 또, 변경예 1 및 3에 있어서도, 마찬가지로, 상하의 스크라이빙 툴(30, 40)에 부여되는 하중을 조절하는 것이 바람직하다.

<기타 변경예>

상기 실시형태에서는, 칼끝의 능선에 일정 간격으로 홈이 형성된 스크라이빙 휠이 이용되었지만, 능선에 홈이 형성되어 있지 않은 스크라이빙 휠을 이용해도 마찬가지 효과가 발휘되는 것이 상정될 수 있다. 스크라이빙 휠(칼끝)의 크기나 형상은, 상기 실시형태에 기재된 것으로 한정되는 것은 아니고, 다른 크기나 형상, 종류의 칼끝을 적당히 이용할 수 있다.

또한, 상기 실시형태에서는, 도 12(a)에 나타낸 바와 같이, 스크라이브 라인의 개시 위치에 있어서, 이미, 스크라이빙 휠(301, 401)의 간격이 소기의 간격으로 설정되었지만, 스크라이빙 휠(301, 401)의 간격을 소기의 간격으로 설정하는 방법은 이것으로 한정되는 것은 아니고, 스크라이브 라인의 개시 위치부터 소정의 거리만큼 스크라이브 동작이 진행되었을 때에, 스크라이빙 휠(301, 401)의 간격이 소기의 간격이 되도록 제어가 이루어져도 된다.

또한, 도 6(a), (b) 및 도 8(a), (b)의 구성에서는, 스크라이빙 휠(301, 401)의 축(301a, 401a)의 중심 위치가, 각각, 롤러(302, 402)의 축(302a, 402a)의 중심 위치와 Z축 방향에 있어서 일치하고, 스크라이빙 휠(301, 401)의 직경이, 각각, 롤러(302, 402)의 직경과 동일한 것으로 하였다. 그렇지만, 스크라이빙 휠(301, 401)과 롤러(302, 402)의 관계는, 이것으로 한정되는 것은 아니고, 기타 각종 변경이 가능하다.

또한, 도 6(a), (b) 및 도 8(a), (b)의 구성에서는, 스크라이빙 휠(301, 401)의 양쪽에 1쌍의 롤러(302, 402)가 배치되었지만, 스크라이빙 휠(301, 401)의 한쪽에만 1개의 롤러(302, 402)가 배치되는 구성도 상정될 수 있다.

그 밖에, 마더 기판(G)의 구성, 두께, 재질 등은, 상기 실시형태에 나타낸 것으로 한정되는 것은 아니고, 다른 구성의 마더 기판(G)의 절단에도, 상기 스크라이브 방법 1, 2 및 스크라이브 장치를 이용할 수 있다.

본 발명의 실시형태는, 특허청구범위에 나타낸 기술적 사상의 범위 내에 있어서, 적절하게 각종 변경이 가능하다.

1: 스크라이브 장치 2: 스크라이브 헤드
30, 40: 스크라이빙 툴 101: 제어부
301, 401: 스크라이빙 휠 302, 402: 롤러
G: 마더 기판 G1, G2: 유리 기판
L1, L2: 스크라이브 라인 LV1, LV2: 다른 스크라이브 라인

Claims (10)

1. 제1 기판과 제2 기판을 밀봉재에 의해 접합시켜서 이루어진 마더 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 방법으로서,
   제1 칼과 제2 칼을 스크라이브 방향으로 서로 변위시켜서, 상기 제1 칼과 상기 제2 칼을 상기 밀봉재를 따라서 이동시켜, 상기 제1 기판의 표면과 상기 제2 기판의 표면에 각각 제1 스크라이브 라인과 제2 스크라이브 라인을 형성하는 단계;
   상기 제1 및 제2 스크라이브 라인과 교차하는 다른 스크라이브 라인 위를 상기 제1 칼과 상기 제2 칼이 대략 동시에 통과하도록, 상기 제1 칼과 상기 제2 칼의 이동을 조정하는 단계; 및
   상기 다른 스크라이브 라인의 통과 후, 상기 제1 칼과 상기 제2 칼을 상기 스크라이브 방향으로 서로 변위시켜서 상기 제1 칼과 상기 제2 칼을 각각 상기 밀봉재를 따라서 이동시켜, 상기 제1 기판의 표면과 상기 제2 기판의 표면에 각각 상기 제1 및 제2 스크라이브 라인을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 제1 칼의 이동 속도와 상기 제2 칼의 이동 속도를 상위하게 함으로써, 상기 제1 칼과 상기 제2 칼을 서로 변위시키는 것을 특징으로 하는 스크라이브 방법.
3. 제1항에 있어서, 상기 제1 칼의 이동 속도와 상기 제2 칼의 이동 속도를 동일하게 함으로써, 상기 제1 칼과 상기 제2 칼 사이의 변위를 소정 거리로 유지시켜, 상기 제1 기판의 표면과 상기 제2 기판의 표면에 상기 제1 및 제2 스크라이브 라인을 형성하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 방법.
4. 제1항에 있어서, 상기 제1 칼의 이동 속도와 상기 제2 칼의 이동 속도를 상위하게 함으로써, 상기 제1 칼과 상기 제2 칼에 상기 다른 스크라이브 라인을 대략 동시에 통과시키는 것을 특징으로 하는 스크라이브 방법.
5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 제1 기판의 표면의 상기 제2 칼에 대응하는 위치에 제1 누름 부재를 누르면서 상기 제1 칼과 함께 상기 제1 누름 부재를 상기 밀봉재를 따라서 이동시키고,
   상기 제2 기판의 표면의 상기 제1 칼에 대응하는 위치에 제2 누름 부재를 누르면서 상기 제2 칼과 함께 상기 제2 누름 부재를 상기 밀봉재를 따라서 이동시키는 것을 특징으로 하는 스크라이브 방법.
6. 제1 기판과 제2 기판을 밀봉재에 의해 접합시켜서 이루어진 마더 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 장치로서,
   상기 제1 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 제1스크라이브 헤드;
   상기 제2 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 제2 스크라이브 헤드;
   상기 제1스크라이브 헤드와 상기 제2 스크라이브 헤드를 상기 마더 기판에 평행하게 이동시키는 구동부; 및
   상기 제1스크라이브 헤드, 상기 제2 스크라이브 헤드 및 상기 구동부를 제어하는 제어부를 포함하되,
   상기 제어부는,
   상기 제1 스크라이브 헤드의 제1 칼과 상기 제2 스크라이브 헤드의 제2 칼을 스크라이브 방향으로 서로 변위시켜서, 상기 제1 칼과 상기 제2 칼을 상기 밀봉재를 따라서 이동시켜, 상기 제1 기판의 표면과 상기 제2 기판의 표면에 각각 제1 스크라이브 라인과 제2 스크라이브 라인을 형성하고,
   상기 제1 및 제2 스크라이브 라인과 교차하는 다른 스크라이브 라인 위를 상기 제1 칼과 상기 제2 칼이 대략 동시에 통과하도록, 상기 제1 칼과 상기 제2 칼의 이동을 조정하며,
   상기 다른 스크라이브 라인의 통과 후, 상기 제1 칼과 상기 제2 칼을 상기 스크라이브 방향으로 서로 변위시켜서 상기 제1 칼과 상기 제2 칼을 각각 상기 밀봉재를 따라서 이동시켜, 상기 제1 기판의 표면과 상기 제2 기판의 표면에 각각 상기 제1 및 제2 스크라이브 라인을 형성하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
7. 제6항에 있어서, 상기 제1 칼의 이동 속도와 상기 제2 칼의 이동 속도를 상위하게 함으로써, 상기 제1 칼과 상기 제2 칼을 서로 변위시키는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
8. 제6항에 있어서, 상기 제어부는, 상기 제1 칼의 이동 속도와 상기 제2 칼의 이동 속도를 동일하게 함으로써, 상기 제1 칼과 상기 제2 칼 사이의 변위를 소정 거리로 유지시켜, 상기 제1 기판의 표면과 상기 제2 기판의 표면에 상기 제1 및 제2 스크라이브 라인을 형성하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
9. 제6항에 있어서, 상기 제어부는, 상기 제1 칼의 이동 속도와 상기 제2 칼의 이동 속도를 상위하게 함으로써, 상기 제1 칼과 상기 제2 칼에 상기 다른 스크라이브 라인을 대략 동시에 통과시키는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
10. 제6항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1스크라이브 헤드는, 상기 제1 칼이 상기 제2 칼에 대해서 상기 밀봉재를 따라서 변위된 상태에 있어서, 상기 제2 칼의 압접 위치를 상기 제1 기판의 표면으로부터 누르는 제1 누름 부재를 구비하고,
    상기 제2 스크라이브 헤드는, 상기 제2 칼이 상기 제1 칼에 대해서 상기 밀봉재를 따라서 변위된 상태에 있어서, 상기 제1 칼의 압접 위치를 상기 제2 기판의 표면으로부터 누르는 제2 누름 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.

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