KR20130097103A

KR20130097103A - 취성 재료 기판의 스크라이브 장치

Info

Publication number: KR20130097103A
Application number: KR1020130015834A
Authority: KR
Inventors: 키요시 다카마츠; 요시타카 미우라; 케이스케 도미나가
Original assignee: 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2012-02-23
Filing date: 2013-02-14
Publication date: 2013-09-02
Also published as: JP5767595B2; CN103288341B; TWI551561B; JP2013170115A; KR101569746B1; CN103288341A; TW201343576A

Abstract

(과제) 스크라이브 공정의 가공 중에 있어서, 완전 분단이 발생함으로써 생기는 문제를 미연에 해소할 수 있는 스크라이브 장치를 제공한다.
(해결 수단) 가공 대상인 취성 재료 기판(M)의 상면에 스크라이브 라인을 가공하기 위한 상부 커터 휠(2)과, 기판(M)의 하면에 스크라이브 라인을 가공하기 위한 하부 커터 휠(3) 중, 적어도 어느 한쪽을 구비한 스크라이브 장치(1)로서, 취성 재료 기판(M)의 스크라이브 라인(S1, S2)이 형성되는 면을 기판 기준면(R1 또는 R2)으로 하여, 이 기판 기준면으로부터 기판(M)의 적어도 일부가 커터 휠(2)측으로 변위했을 때에 이를 검지하는 변위 검지 기구(7)를 설치하도록 한다.

Description

취성 재료 기판의 스크라이브 장치{SCRIBING APPARATUS OF BRITTLE MATERIAL SUBSTRATE}

본 발명은, 유리 기판 등의 취성 재료 기판의 스크라이브 장치에 관한 것이다. 본 발명은, 단판(單板)의 유리 기판 뿐만 아니라, 2매의 유리 기판을 접합한 접합 기판에도 이용된다.

액정 표시 패널의 제조 공정에서는, 2매의 대면적 유리를 접합한 접합 기판(이하 마더 기판(mother substrate)이라고도 함)을 사용한다. 이 마더 기판에는 복수의 단위 표시 패널이 패터닝되어 있고, 마더 기판에 대한 스크라이브 공정과 그 후의 분단(dividing) 공정에서 하나하나의 단위 표시 패널로 분단함으로써, 제품이 되는 복수의 액정 표시 패널이 잘라 내어진다.

일반적으로, 마더 기판으로부터 단위 표시 패널을 잘라내는 공정에서는, 우선, 마더 기판 표시면에 대하여, 스크라이브 예정 라인을 따라 커터 휠(스크라이빙 휠(scribing wheel)이라고도 함)을 압접시키면서 상대 이동시킴으로써, 서로 직교하는 X방향 그리고 Y방향의 스크라이브 라인(스크라이브 홈)을 형성하는 스크라이브 공정을 행한다. 그 후, 브레이크 장치측으로 이송하여, 당해 스크라이브 라인을 따라 브레이크 바나 롤러로 외력을 인가하거나, 증기를 분사하여 열적으로 변형시키거나 하여, 마더 기판을 단위 표시 패널마다 완전 분단하는 브레이크 공정을 행한다.

상기 스크라이브 공정을, 상하 2면에서 동시에 행하도록 하여, 대면적의 기판을 반전시키는 일 없이, 그리고, 효율 좋게 행하도록 한 스크라이브 기구가, 예를 들면 특허문헌 1 그리고 특허문헌 2에 개시되고 있다.

도 6∼도 8은, 스크라이브 공정을 상하 2면에서 동시에 행하도록 한 종래의 스크라이브 기구를 개략적으로 나타낸 것이다. 이 스크라이브 기구(11)에서는, 도 7에 나타내는 바와 같이, 상하 한 쌍의 커터 휠(12, 13)을 마더 기판(M)의 상하에 배치하고, 컨베이어 등의 반송 장치(14)로 마더 기판(M)을 커터 휠(12, 13)을 향하여 이동시킴으로써, 도 9(a)에 나타내는 바와 같이 Y방향의 스크라이브 라인(S1)을 가공한다.

그 후, 도 8에 나타내는 바와 같이, 커터 휠(12, 13)의 날끝을 X방향으로 변경하여 커터 휠을 X방향으로의 구동 기구(도시하지 않음)에 의해 X방향으로 전동(rolling)시킴으로써, 도 9(b)에 나타내는 바와 같이 X방향의 스크라이브 라인(S2)을 가공하도록 하고 있다.

또한, 커터 휠의 날끝 방향의 변경은, 커터 휠의 날끝을 지지(holding)하는 홀더에 강제적으로 날끝 방향을 변경시키는 방향 전환 기구를 설치해도 좋고, 날끝 방향이 자유롭게 회전하는 홀더를 이용함으로써, 압접 전동할 때에 날끝이 자동적으로 전동 방향을 추종하는 「추종 작용」에 의해 날끝 방향이 전환되도록 해도 좋다.

이와 같이 하여 X방향 그리고 Y방향의 스크라이브 라인(S1, S2)이 형성된 마더 기판(M)은, 브레이크 장치로 이송되어 각 스크라이브 라인으로부터 분단되어 단위 제품(M1)이 취출되고, 단연부의 단재(端材) 영역(M2)은 폐기된다.

국제공개공보 WO2005/087458호 일본공개특허공보 2010-052995호

상기 스크라이브 공정에 있어서 형성되는 스크라이브 라인은, 후의 브레이크 공정이 되고 나서 완전 분단할 수 있도록, 스크라이브 공정 중에는 완전히 분단되는 것이 아니라, 관통하지 않는 연결 부분을 남긴 홈(수직 크랙)을 가공하도록 하고 있다. 그 한편으로, 형성된 스크라이브 라인의 홈의 깊이가 지나치게 얕으면, 브레이크 공정에서 큰 하중을 가하지 않으면 완전 분단할 수 없게 되기 때문에, 가능한 한 깊게, 그러면서도 완전 분단되지 않을 정도의 스크라이브 홈을 형성하지 않으면 안 된다. 그 때문에, 기판의 개체(個體)차나 압접 하중의 조정 부족 등에 의해, 스크라이브 라인을 가공한 직후에, 스크라이브 라인의 일부가 잘못하여 완전 분단되어 버리는 경우가 있었다.

이러한 완전 분단이, 예를 들면 Y방향의 스크라이브 라인(S1)을 가공했을 때에 발생하면, 도 10(a)에 나타내는 바와 같이, 좌우의 스크라이브 라인에 의해 분단된 중간의 기판 부분(M3)이 마더 기판(M)의 반송 방향 후단측 단부에서 클램프(15)에 의해 파지(把持)되어 있어도, Y방향의 스크라이브 최종 지점에서 반대측 단부(반송 방향 선단부)가 하방으로 낙하하여 위치가 어긋나거나, 혹은 도 10(b)에 나타내는 바와 같이, 상방으로 튀어올라 위치가 어긋나거나 하는 경우가 있다. 그러면, 하방으로의 위치 어긋남에서는 하방측의 커터 휠의 날끝이 낙하한 기판 부분(M3)에 충돌하여 손상을 입고, 상방으로의 위치 어긋남에서는 상방측의 커터 휠의 날끝이 튀어오른 기판 부분(M3)에 충돌하여 손상을 입는 경우가 있다.

커터 휠의 날끝이 손상되면 절단성이 나빠져, 가공되는 마더 기판의 스크라이브 라인의 분단면이 열화된다. 이러한 분단면의 열화를 간과하면, 제품의 품질이 저하됨과 함께, 불량품이 발생하여 제품의 수율이 저하된다는 문제점이 발생한다.

또한, 상기한 낙하나 튀어오름이 직접 커터 휠의 날끝에 손상을 주지 않는 경우라도, 그 상태인 채로 X방향의 스크라이브 공정으로 이행했을 때에, 도 11(a) 및 도 11(b)에 나타내는 바와 같이, 튀어오름 또는 낙하에 의해 발생한 단차 부분에 커터 휠(12 또는 13)의 날끝이 충돌하고, 기판의 단차 부분에도 깨짐 등이 발생하여, 역시 제품의 수율이 나빠진다는 폐해가 있었다.

또한, 마더 기판(M)의 X방향의 스크라이브 공정에 있어서, 마더 기판(M)의 반송 방향 선단부에서 X방향의 단재 영역(M2)(도 9 참조)을 구분하는 스크라이브 라인(S2)을 가공할 때에 상기한 분단 현상이 발생하면, 도 12에 나타내는 바와 같이, 분단된 단재 영역(M2)은 하방으로 어긋나거나 낙하하거나 하여 상기와 동일하게 하방측의 커터 휠(13)의 날끝이 손상을 입는 경우가 있다. 게다가, 예기치 않은 단재의 낙하에 의해, 장치의 구동 기구 부분에 낙하 분산된 단재나 그의 파편이 혼입되어, 장치의 정상적인 운전에 지장을 초래한다는 문제점이 있었다.

또한, 단재의 낙하는 2매의 기판을 접합한 마더 기판 뿐만 아니라, 단판 기판이라도 문제가 된다.

그래서 본 발명은, 브레이크 공정이 아니라, 스크라이브 공정의 가공 중에 있어서, 완전 분단이 발생함으로써 생기는 문제를 미연에 해소할 수 있는 스크라이브 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해 이루어진 본 발명의 스크라이브 장치는, 가공 대상인 취성 재료 기판의 상면에 스크라이브 라인을 가공하기 위한 상부 커터 휠과, 취성 재료 기판의 하면에 스크라이브 라인을 가공하기 위한 하부 커터 휠 중, 적어도 어느 한쪽을 구비한 스크라이브 장치로서, 상기 취성 재료 기판의 스크라이브 라인이 형성되는 면과 동일 평면을 기판 기준면으로 하여, 이 기판 기준면으로부터 기판의 적어도 일부가 커터 휠측으로 변위했을 때에 이를 검지하는 변위 검지 기구를 설치하도록 했다.

본 발명에 의하면, 스크라이브 라인 공정에 있어서, 일부의 스크라이브 라인이 완전 분단되어 버림으로써 기판의 일부가 기판 기준면으로부터 하방으로 위치가 어긋나거나, 혹은 상방으로 위치가 어긋나거나 하면, 이 변위는 변위 검지 기구에 의해 검출된다. 이에 따라, 이상(異常)을 검지하면 즉시 대응할 수 있게 된다. 그 결과, 즉시 적정한 스크라이브 라인의 가공을 할 수 있도록 메인터넌스(maintenance) 작업을 행할 수 있고, 커터 휠의 날끝의 손상을 필요할 때에 확인할 수 있음과 함께, 제품의 품질을 유지할 수 있다는 효과가 있다.

상기 커터 휠은, 상부 커터 휠과 하부 커터 휠에 의해 구성되도록 해도 좋다.

이에 따라, 취성 재료 기판의 스크라이브 라인의 가공을 상하 2면에서 행할 수 있다.

또한, 상기 변위 검지 기구는, 스크라이브 라인의 바로 위 또는 스크라이브 라인의 바로 아래에서의 변위를 검지하도록 하고, 커터 휠이 기판 표면으로부터 이간(離間)되었을 때에 검출하도록 해도 좋다.

이에 따라, X방향의 스크라이브 예정 라인 상에서의 기판의 근소한 변위를 검지할 수 있기 때문에, 커터 휠의 위치가 어긋난 기판으로의 충돌을 확실하게 방지할 수 있다.

또한, 다른 관점에서 이루어진 본 발명의 스크라이브 장치는, 가공 대상인 취성 재료 기판의 하측에 하부 커터 휠을 구비하고, 반송 기구에 의해 상기 취성 재료 기판을 Y방향으로 반송함으로써, Y방향과 직교하는 X방향의 스크라이브 예정 라인의 바로 아래에 상기 커터 휠의 날끝을 위치시키고, 이어서, 당해 X방향의 스크라이브 예정 라인을 따라 커터 휠을 압접시킨 상태에서 이동시킴으로써, X방향의 스크라이브 라인을 가공하는 스크라이브 장치로서, 상기 취성 재료 기판의 하면과 동일 평면을 기판 기준면으로 하여, 상기 반송 기구에 의한 반송 방향 선단측에서 당해 반송 기구에 의해 지지되어 있지 않는 위치에 있어서, 상기 기판 기준면으로부터 기판의 적어도 일부가 하부 커터 휠측으로 변위했을 때에 이를 검지하는 변위 검지 기구를 설치하도록 해도 좋다.

이에 따라, 기판의 반송 방향 선단부에서 X방향의 영역을 구분하는 X방향의 스크라이브 라인을 가공할 때에, 스크라이브 라인에 분단 현상이 발생하여 분단된 영역이 기판 기준면으로부터 하방으로 낙하하거나 하면, 설령 가공 중이라도 즉시 검지할 수 있기 때문에, 장치의 메인터넌스 작업을 행할 수 있다. 이에 따라, 이후의 기판 낙하에 의한 하부 커터 휠의 날끝에 손상을 경감할 수 있음과 함께, 예기치 않은 낙하에 의해, 장치의 구동 기구 부분에 낙하 분산된 파편이 혼입되어 정상적인 운전에 지장을 초래한다는 문제를 미연에 방지할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 스크라이브 장치의 일 예를 나타내는 개략적 평면도이다.
도 2는 도 1에 나타내는 스크라이브 장치에 있어서의 Y방향의 스크라이브 라인 가공시의 상태를 나타내는 개략적 정면도이다.
도 3은 X방향의 스크라이브 라인 가공시의 상태를 나타내는 도 2와 동일한 정면도이다.
도 4는 스크라이브 장치의 다른 실시예를 나타내는 도 3과 동일한 정면도이다.
도 5는 스크라이브 장치의 또 다른 실시예를 나타내는 도 3과 동일한 정면도이다.
도 6은 종래의 스크라이브 장치의 일 예를 나타내는 개략적 평면도이다.
도 7은 종래의 스크라이브 장치에 있어서의 Y방향의 스크라이브 라인 가공시의 상태를 나타내는 개략적 정면도이다.
도 8은 X방향의 스크라이브 라인 가공시의 상태를 나타내는 도 7과 동일한 정면도이다.
도 9는 마더 기판의 표준적인 스크라이브 라인을 가공순으로 나타내는 평면도이다.
도 10은 Y방향의 스크라이브 라인 형성시에 발생하는 마더 기판의 위치 어긋남 현상을 나타내는 사시도이다.
도 11은 위치 어긋남 현상이 발생했을 때의 커터 휠의 스크라이브 동작을 나타내는 도면이다.
도 12는 X방향의 단재 영역을 구분하는 X방향의 스크라이브 라인을 가공할 때의 단재의 낙하를 나타내는 도면이다.

(발명을 실시하기 위한 형태)

이하에 있어서, 본 발명의 스크라이브 장치의 상세를, 도 1∼도 3에 기초하여 설명한다.

또한, 본 발명에 따른 스크라이브 장치는, 여러 가지의 취성 재료 기판을 가공 대상으로 하여 적용할 수 있는 것이지만, 특히 유리 기판을 접합한 대면적의 액정 표시 패널용의 마더 기판을 바람직한 가공 대상으로 하고 있기 때문에, 이하, 이 접합 액정 표시 패널용 마더 기판을 예로 들어 설명한다.

스크라이브 장치(1)는, 마더 기판(M)의 표리 양면에 서로 직교하는 X방향 그리고 Y방향의 스크라이브 라인(S1, S2)(도 9 참조)을 가공하기 위한 상부 커터 휠(2) 그리고 하부 커터 휠(3)을 구비하고 있다. 이들 상부 커터 휠(2) 그리고 하부 커터 휠(3)은 스크라이브 헤드(4)에 상하 이동 가능하게 부착되어 있다. 또한, 스크라이브 헤드(4)는, 가이드 부재(5)를 따라 이동 기구(도시하지 않음)에 의해 도 1의 X방향으로 왕복 이동할 수 있도록 형성되어 있다.

스크라이브 장치(1)에는, 마더 기판(M)을 도 1의 Y방향으로 반송하기 위한 반송 장치(6)가 설치되어 있다. 이 반송 장치(6)는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 좌우로 분단된 제1 컨베이어(6a)와 제2 컨베이어(6b)로 구성되고, 양 컨베이어(6a, 6b)의 사이의 공간(P)의 상하에 상기 상부 커터 휠(2) 그리고 하부 커터 휠(3)이 배치되어 있다. 마더 기판(M)을 이 반송 장치(6) 상에 올려놓고 Y방향으로 이동시킴과 함께, 마더 기판(M)의 상하면에 상부 커터 휠(2) 그리고 하부 커터 휠(3)을 맞닿게 하여 밀어누름으로써, Y방향의 스크라이브 라인(S1)을 마더 기판(M)의 상하 양면에 동시에 가공할 수 있도록 형성되어 있다.

또한, X방향의 스크라이브 라인(S2)은, 도 3에 나타내는 바와 같이, 상하의 커터 휠(2, 3)의 날끝의 방향을 X방향으로 변경하여, 커터 휠(2, 3)을 가이드 부재(5)를 따라 마더 기판(M)의 표면으로 밀어누르면서 전동시킴으로써, 마더 기판(M)의 표리 양면에 동시에 가공할 수 있도록 형성되어 있다.

또한, 본 발명에서는, 상기 반송 장치(6)에 놓여져 가공되는 마더 기판(M)의 상면 그리고 하면과 동일 평면을 이루는 수평면을 기판 기준면(R1, R2)으로 하고, 이 기판 기준면(R1, R2)으로부터 마더 기판(M)의 상기 공간(P)의 위치에 있는 부위가, 커터 휠(2, 3)측으로 변위했을 때, 즉, 도 10(a)에 나타내는 바와 같이 하방으로 위치가 어긋나거나, 도 10(b)에 나타내는 바와 같이 상방으로 위치가 어긋나거나 했을 때에, 이를 검지하는 변위 검지 기구(7)가 설치되어 있다. 그리고, 이 변위 검지 기구(7)에 의해 상기 변위를 검지하여 장치의 가동을 정지하도록 형성되어 있다.

변위 검지 기구(7)는, 예를 들면 광전 센서를 이용할 수 있다. 광전 센서는 발광부(7a)와 수광부(7b)로 형성되고, 가시광선이나 적외선 등의 빛을 발광부(7a)로부터 신호광으로서 송광(送光)하여, 송광한 빛을 기판(M)의 건너편측에 형성한 수광부(7b)에서 수광(受光)하고, 혹은 기판(M)의 건너편측에 형성한 거울로 반사시킨 빛을 발광부(7a)와 동일측에 형성한 수광부(7b)에서 수광하여, 그 출력 신호에 의해 기판의 변위를 검출하는 것이다. 본 실시예에 있어서, 이 변위 검지 기구(7)는, 좌우 컨베이어(6a, 6b)의 사이의 공간(P)의 중간부에서, 상기 기판 기준면(R1, R2)을 계측할 수 있도록 배치되어 있다. 이 변위 검지 기구(7)는, 공간(P)의 중간부에서 상하 커터 휠(2, 3)을 연결하는 가상 수직 라인의 선 상에 배치되어 있어, 이에 따라 커터 휠의 가공 위치에서 정확하게 변위를 계측할 수 있다.

또한, 이 경우, 스크라이브 라인의 가공 중은 커터 휠이 계측을 방해하기 때문에, 스크라이브 라인 가공 후에 커터 휠(2, 3)이 기판(M) 표면으로부터 이간되었을 때에 변위 검지 기구(7)가 동작하도록 설정되어 있다. 그리고 미리 설정한 문턱값(판정값)보다도 큰 변위가 검출되면, 장치의 가동이 정지된다.

또한, 변위 검출 기구(7)는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 상기 상하의 커터 휠(2, 3)에 의해 광로가 방해되지 않는 위치에 설치해도 좋다. 이 경우는, 커터 휠의 가공 위치에서의 정확한 기판 표면의 위치는 파악할 수 없지만, 스크라이브 라인 가공 중에 기판의 변위가 발생하면 실시간으로 검출할 수 있다. 따라서, 변위 검지 후, 즉시 장치의 가동을 정지시킬 수 있다. 단, 메인터넌스의 편의상, 커터 휠(2, 3)이 기판 표면으로부터 이간되고 나서 장치의 가동을 정지하도록, 예를 들면 부대의 제어용 컴퓨터에 프로그램하는 등 하여 설정하는 것이 바람직하다.

상기의 구성에 있어서, 우선, 도 2에 나타내는 바와 같이, 마더 기판(M)을 반송 장치(6) 상에 올려놓고, 상부 커터 휠(2) 그리고 하부 커터 휠(3)을 마더 기판(M)의 표면으로 밀어누른 상태에서 마더 기판(M)을 Y방향으로 이동시킴으로써, Y방향의 스크라이브 라인(S1)을 순차 가공한다. 이어서, 도 3에 나타내는 바와 같이, 상하의 커터 휠(2, 3)의 날끝의 방향을 X방향으로 변경하여 커터 휠을 가이드 부재(5)를 따라 마더 기판(M)의 표면으로 밀어누르면서 전동시킴으로써, X방향의 스크라이브 라인(S2)을 순차 가공한다.

이 Y방향의 스크라이브 라인 공정에 있어서, 일부의 스크라이브 라인이 완전 분단되어, 도 10에 나타내는 바와 같이, 분단된 중간의 기판 부분(M3)이 기판 기준면(R1, R2)으로부터 하방으로 위치가 어긋나거나, 상방으로 위치가 어긋나거나 하면, 이 변위는 커터 휠이 마더 기판 표면으로부터 이간된 후 변위 검지 기구(7)에 의해 검출되어, 장치의 가동이 정지한다. 또한 필요에 따라서, 알람 소리 등이 경고 램프 등에서 이상을 알리는 동작을 행하도록 해도 좋다.

이에 따라, 커터 휠의 밀어누르는 힘이나 반송 장치의 이송 속도 등을 수정하여, 적정하게 스크라이브 라인이 가공될 수 있도록 하는 메인터넌스 작업을 행하고, 또한, 날끝의 이상을 확인하여, 필요에 따라서, 커터 휠을 신품(新品)으로 교환하는 작업을, 위치 어긋남 발생 후, 즉시 행할 수 있다.

또한, 마찬가지로, 계속해서 행해지는 마더 기판의 X방향의 스크라이브 공정에 있어서, 마더 기판의 반송 방향 선단부에서 X방향의 단재 영역(M2)(도 9 참조)을 구분하는 스크라이브 라인(S2)을 가공할 때에, 상기한 분단 현상이 발생하여 단재 영역(M2)이 기판 기준면(R2)으로부터 하방으로 위치가 어긋나거나, 낙하하거나 하면, 이 변위는 변위 검지 기구(7)에 의해 검출되어, 장치의 가동이 정지된다.

이에 따라, 장치의 메인터넌스 작업을 상기 동일하게 문제 발생 후, 간격을 두지 않고 행할 수 있다.

상기 실시예에서는, 가공 대상의 마더 기판(M)의 상면에 스크라이브 라인을 가공하기 위한 상부 커터 휠(2)과, 마더 기판(M)의 하면에 스크라이브 라인을 가공하기 위한 하부 커터 휠(3)을 형성하여 마더 기판(M)의 표리 양면에 동시에 스크라이브 라인을 가공하는 예를 나타냈지만, 상부 그리고 하부 커터 휠(2, 3) 중 어느 한쪽을 생략하여 형성해도 좋다.

또한, 상기 실시예를 대신하여, 단판 기판 등에서는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 상부 커터 휠(2)을 없애고, 하부 커터 휠(3)만으로 형성하는 것도 가능하다(또한, 반대로 상부 커터 휠(2)만으로 형성해도 좋음).

이 경우는, 마더 기판의 X방향의 스크라이브 공정에 있어서, 마더 기판(M)의 반송 방향 선단부에서 X방향의 단재 영역(M2)을 구분하는 스크라이브 라인(S2)을 가공할 때의 단재의 탈락의 검출에 특히 유효하다. 즉, X방향의 스크라이브 라인(S2)에 분단 현상이 발생하면, 하방에는 컨베이어 등의 지지부가 없기 때문에, 분단된 단재 영역(M2)이 기판 기준면(R2)으로부터 하방으로 위치가 어긋나거나, 낙하하거나 한다. 이 현상은 상기한 변위 검지 기구(7)에 의해 검출되어, 장치의 가동이 정지된다. 특히, 도 5와 같이 커터 휠(3)로부터 조금 떨어진 위치에 변위 검지 기구(7)를 설치하면, 낙하와 동시에 이상을 검출할 수 있다.

이에 따라, 낙하의 발생 후, 간격을 두지 않고 장치의 메인터넌스나 수정을 행할 수 있고, 하부 커터 휠(3)을 이용하고 있는 경우에는 그 날끝에 손상을 입는 것을 경감할 수 있음과 함께, 예기치 않은 단재의 낙하에 의해, 장치의 구동 기구 부분에 낙하하여 분산된 단재의 파편이 혼입되어 정상적인 운전에 지장을 초래한다는 문제를 미연에 방지할 수 있다.

이상, 본 발명의 대표적인 실시예에 대해서 설명했지만, 본 발명은 반드시 상기의 실시예 구조에만 특정되는 것은 아니며, 그 목적을 달성하고, 청구의 범위를 일탈하지 않는 범위 내에서 적절히 수정, 변경하는 것이 가능하다.

본 발명은, 유리 기판 등의 취성 재료 기판에 스크라이브 라인을 가공하는 스크라이브 장치에 적용할 수 있다.

M : 마더 기판
M2 : 마더 기판의 단재 영역
S1 : Y방향의 스크라이브 라인
S2 : X방향의 스크라이브 라인
R1, R2 : 기판 기준면
1 : 스크라이브 장치
2 : 상부 커터 휠
3 : 하부 커터 휠
6 : 반송 장치
7 : 변위 검출 기구

Claims

가공 대상인 취성 재료 기판의 상면에 스크라이브 라인을 가공하기 위한 상부 커터 휠과, 취성 재료 기판의 하면에 스크라이브 라인을 가공하기 위한 하부 커터 휠 중, 적어도 어느 한쪽을 구비한 스크라이브 장치로서,
상기 취성 재료 기판의 스크라이브 라인이 형성되는 면과 동일 평면을 기판 기준면으로 하여, 이 기판 기준면으로부터 기판의 적어도 일부가 커터 휠측으로 변위했을 때에 이를 검지하는 변위 검지 기구를 설치한 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
제1항에 있어서,
상기 커터 휠이, 상부 커터 휠과 하부 커터 휠에 의해 구성되고, 취성 재료 기판의 스크라이브 라인의 가공을 상하 2면에서 행하도록 한 스크라이브 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 변위 검지 기구는 스크라이브 라인의 바로 위 또는 스크라이브 라인의 바로 아래에서의 변위를 검지하도록 하고, 커터 휠이 기판 표면으로부터 이간(離間)되었을 때에 검출하도록 한 스크라이브 장치.
가공 대상인 취성 재료 기판의 하측에 하부 커터 휠을 구비하고, 반송 기구에 의해 상기 취성 재료 기판을 Y방향으로 반송함으로써, Y방향과 직교하는 X방향의 스크라이브 예정 라인의 바로 아래에 상기 커터 휠의 날끝을 위치시키고, 이어서, 당해 X방향의 스크라이브 예정 라인을 따라 커터 휠을 압접시킨 상태에서 이동시킴으로써, X방향의 스크라이브 라인을 가공하는 스크라이브 장치로서,
상기 취성 재료 기판의 하면과 동일 평면을 기판 기준면으로 하여, 상기 반송 기구에 의한 반송 방향 선단측에서 당해 반송 기구에 의해 지지되어 있지 않는 위치에 있어서, 상기 기판 기준면으로부터 기판의 적어도 일부가 하부 커터 휠측으로 변위했을 때에 이를 검지하는 변위 검지 기구를 설치한 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.