KR20160040408A - 부품 장착기의 부품 지지 헤드 조립체 - Google Patents

Abstract

부품 장착기의 부품 지지 헤드 조립체에서는 접촉 감지 센서가 노즐의 외주의 반사면을 향하여 광을 발하는 발광부와, 반사면에서 반사된 반사광을 수광하는 수광부와, 반사광의 수광량을 연속적으로 계측 가능한 센서부를 구비하여, 수광량이 문턱값 이하로 감소하였을 때에 접촉 감지 신호를 발생하고, 접촉 감지 센서는 감지 대상인 노즐의 접촉 전에 노즐을 장착한 스핀들의 T방향 회전 동작이 종료한 후의 수광량에 기초하여 문턱값을 설정한다.

Description

부품 장착기의 부품 지지 헤드 조립체{Parts holding head assembly for chip mounting device}

실시예들은 부품 장착기의 부품 지지 헤드 조립체에 관한 것으로, 보다 상세하게는 IC칩 등의 부품(전자 부품)을 기판 상에 장착하는 부품 장착기의 부품을 지지하는 노즐을 구비하는 부품 지지 헤드 조립체에 관한 것이다.

일반적으로 부품 장착기는 부품 지지 헤드를 부품 공급부의 상방으로 이동시키고, 거기서 부품 지지 헤드에 구비된 노즐이 하강ㅇ상승 동작(승강 동작)을 행하게 하여 노즐의 하단부에 부품을 진공 흡착하여 픽업하고, 다음에 부품 지지 헤드를 기판의 상방으로 이동시키고, 거기서 다시 노즐이 하강ㅇ상승 동작을 행하게 하여 부품을 기판의 소정의 좌표 위치에 장착(실장)하도록 구성되어 있다.

상술한 바와 같이, 노즐에 하강ㅇ상승 동작을 행하게 하여 부품을 픽업하는 경우, 노즐의 하강 스트로크가 너무 크면 노즐의 하단부가 부품의 상면을 강하게 가압하여 부품을 파괴한다. 하강 스트로크가 너무 작으면, 노즐은 부품의 상면에 접촉하지 못하여 부품을 픽업하지 못한다. 부품을 기판에 실장하는 경우도 마찬가지로, 노즐의 하강 스트로크가 너무 크면 노즐의 하단부에 흡착된 부품이 기판에 강하게 가압되어 파괴된다. 하강 스트로크가 너무 작으면, 노즐에 지지된 부품이 기판의 상면에 접촉하지 못하여 부품을 실장하지 못한다. 따라서 노즐의 하강 스트로크를 정확하게 제어해야 한다.

노즐의 하강 스트로크를 정확하게 제어하기 위한 방법으로서, 노즐의 접촉을 감지하는 감지 수단(접촉 감지 센서)을 이용한 방법이 일본 등록특허 제3543044호에 제안되어 있다.

또한 본 출원인은 노즐의 하강 스트로크를 정확하게 제어하기 위한 방법으로서 일본특허출원 제2013-212220호에서 접촉 감지 센서로 반사형 광 센서(광섬유 센서)를 이용한 방법을 제안하였다. 이 광섬유 센서는, 노즐 외주의 반사면으로 향하여 빛을 발하는 발광부와, 반사면에서 반사된 반사광을 받는 수광부와, 반사광의 수광량을 연속적으로 계측 가능한 센서부를 가지며, 수광량이 문턱값 이하로 감소하였을 때에 노즐이 부품에 접촉하였다고 판단하여 접촉 감지 신호를 발한다. 즉, 광섬유 센서의 발광부로부터 발생되는 광은 노즐이 부품에 접촉하지 않은 접촉 전 상태일 때의 반사면에 초점이 맞춰져 있으므로, 노즐이 부품에 접촉하여 그 상하방향의 위치가 변화하면 반사면에서 반사되는 반사광의 양이 감소하고 광섬유 센서의 수광부에서 수광하는 수광량이 감소한다. 구체적으로 후술하는 도 6에 도시된 바와 같이 문턱값 A를 기준으로 설정하고, 수광량이 문턱값 A 이하로 감소하였을 때에 부품에 접촉하였다고 판단하고 그 시점에서 노즐의 하강을 정지한다.

이 문턱값 A에 대해 본 발명자들은 당초 광섬유 센서를 이용한 사전 실험 결과에 기초하여 고정값으로서 설정하였다. 그런데 본 발명자들이 노즐이 부품에 접촉하지 않은 접촉 전 상태의 수광량을 실측한 바, 동일한 타입의 노즐이어도 그 수광량은 개개의 노즐에 따라 크게 변동되는 경우가 있는 것을 알 수 있었다. 또한 사용에 따라 노즐의 반사면에 오물이 부착되거나 함으로써, 동일한 노즐이어도 접촉 전 상태의 수광량은 시간 경과에 따라 변동(감소)되는 경우가 있는 것도 알 수 있었다.

이와 같이 노즐에 따라 혹은 시간 경과에 따라 접촉 전 상태의 수광량이 변동되는 것에 대해, 문턱값 A를 고정값으로 하면 이하의 문제가 발생한다.

(a)접촉 전 상태의 수광량이 문턱값 A를 밑도는 것과 같은 노즐인 경우, 광섬유 센서는 그 노즐이 부품에 접촉하지 않음에도 불구하고 잘못하여 접촉하였다고 판단한다. 그러면 노즐이 실제로 부품에 접촉하기 전에 부품의 픽업(흡착) 동작 또는 실장 동작이 시작되고, 결과적으로 픽업 실수 또는 실장 실수가 발생한다. 또한 그 노즐에 대해서는 애초 접촉을 감지할 수 없는 상태가 될 수 있다.

(b)접촉 전 상태의 수광량이 문턱값 A를 크게 웃도는 것과 같은 노즐인 경우, 그 노즐이 부품에 접촉하여 수광량이 감소해도 문턱값 A 이하가 되기까지 시간이 걸린다. 결과적으로 노즐이 접촉하고 나서 정지하기까지의 시간이 길어져 노즐이 부품을 과잉으로 강하게 가압하여 부품이 파괴되는 등의 문제가 발생한다. 즉, 노즐의 가압량을 정확하게 제어할 수 없다.

이와 같이 종래의 접촉 감지 센서(광섬유 센서)에 의한 접촉 감지 기능은, 노즐의 성상의 차이 등에 의한 접촉 전 상태의 수광량 변동에 대한 적응성, 즉 로버스트 성능(강인 성능)이 충분하지 않았다.

일본 등록특허 제3543044호 (2004.04.09)

실시예들의 해결하고자 하는 과제는 노즐의 접촉을 감지하는 접촉 감지 센서를 구비한 부품 장착기의 부품 지지 헤드에 있어서 접촉 감지 센서에 의한 접촉 감지 기능의 로버스트 성능(강인 성능)을 향상시키는 데 있다.

일 실시예에 관한 부품 장착기의 부품 지지 헤드 조립체는, 지지 헤드와, 지지 헤드의 중심축에 대해 T방향으로 회전 가능하며 길이 방향을 따르는 Z방향으로 승강 가능한 스핀들과, 스핀들의 하단에 탄성체를 통해 장착된 노즐과, 스핀들을 Z방향으로 승강시키는 승강부와, 승강부와 동조하여 Z방향으로 승강하고, 노즐이 부품에 접촉하거나 노즐에 지지된 부품이 기판에 접촉하였음을 감지하여 접촉 감지 신호를 발생하는 접촉 감지 센서를 구비한 부품 장착기의 부품 지지 헤드 조립체로서, 접촉 감지 센서는, 노즐의 외주의 반사면을 향하여 광을 발하는 발광부와, 반사면에서 반사된 반사광을 수광하는 수광부와, 반사광의 수광량을 연속적으로 계측 가능한 센서부를 구비하여, 수광량이 문턱값 이하로 감소하였을 때에 접촉 감지 신호를 발생하고, 접촉 감지 센서는, 감지 대상인 노즐의 접촉 전에 노즐을 장착한 스핀들의 T방향 회전 동작이 종료한 후의 수광량에 기초하여 문턱값을 설정한다.

노즐을 접촉시키는 동작을 할 때마다, 접촉 감지 센서는 노즐의 접촉 전에 노즐을 장착한 스핀들의 T방향 회전 동작이 종료한 후의 수광량에 기초하여 문턱값이 설정될 수 있다.

스핀들은 지지 헤드의 중심축을 중심으로 R방향으로 회전 가능하게 장착된 로터리 헤드의 둘레방향을 따라 복수 개 배치될 수 있고, 접촉 감지 센서는 감지 대상인 노즐의 접촉 전에 노즐을 장착한 스핀들의 T방향 및 R방향 회전 동작이 종료한 후의 수광량에 기초하여 문턱값을 설정할 수 있다.

노즐을 접촉시키는 동작을 할 때마다, 접촉 감지 센서는 노즐의 접촉 전에 그 노즐을 장착한 스핀들의 T방향 및 R방향 회전 동작이 종료한 후의 수광량에 기초하여 문턱값을 설정할 수 있다.

실시예들에 관한 설명에서 '노즐의 접촉'이란, 부품의 픽업 공정에서 노즐의 하단부가 부품의 상면에 접촉하는 동작 및 부품의 실장 공정에서 노즐의 하단부에 지지된 부품이 기판의 상면에 접촉하는 동작의 모두를 포함하는 개념이다. 따라서 '노즐 접촉'과 관련하여 노즐이 부품에 접촉하는 동작에 대해서만 설명이 되는 경우에도, 노즐에 지지된 부품이 기판에 접촉하는 동작에도 동일하게 적용되는 것이라고 이해되어야 할 것이다. 또한 노즐의 '접촉'은 '착지'라는 용어로 사용될 수도 있다.

상술한 바와 같은 실시예들에 관한 부품 장착기의 부품 지지 헤드 조립체에 의하면, 접촉 감지의 기준이 되는 수광량의 문턱값은 감지 대상의 노즐의 접촉 전 상태의 실측 수광량에 기초하여 설정된다. 또한 문턱값 설정용의 수광량 계측은 T방향 및 R방향 회전 동작 종료 후에 실시한다. 즉, 문턱값 설정은 노즐의 접촉 시의 최종 자세와 동일한 자세(회전 방향의 자세)의 접촉 전 상태로 행해지기 때문에, 감지 대상의 노즐마다 최적의 문턱값을 설정할 수 있다.

따라서 접촉 감지 센서에 의한 접촉 감지 기능의 로버스트 성능을 향상시킬 수 있다. 또한 이에 의해 부품을 지지하는 노즐의 하강 스트로크를 보다 정확하게 제어할 수 있다.

도 1은 일 실시예에 관한 부품 지지 헤드 조립체의 전체 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 부품 지지 헤드 조립체에 있어서 스핀들(노즐)을 Z방향으로 승강시키는 기구를 나타내는 설명도이다.
도 3은 도 2의 스핀들(노즐)을 Z방향으로 승강시키는 승강부 주위의 구성을 나타내는 설명도이다.
도 4a 및 도 4b는 도 2에 도시된 승강부에 의해 스핀들(노즐)을 하강시킬 때의 상태를 나타내고, 도 4 a는 스핀들(노즐)이 초기 위치에 있는 상태를 나타내고, 도 4b는 스핀들(노즐)을 하강시킨 상태를 나타낸다.
도 5는 스핀들의 하단에 장착된 노즐 부분의 단면을 확대하여 나타내는 사시도이다.
도 6은 노즐이 접촉하였을 때의 광섬유 센서의 수광량 변화를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 7은 도 1의 부품 지지 헤드 조립체에서 문턱값 설정 방법을 개념적으로 나타내는 도면이다.

이하, 첨부 도면의 실시예들을 통하여, 실시예들에 관한 부품 장착기의 부품 지지 헤드 조립체의 구성과 작용을 상세히 설명한다.

도 1은 일 실시예에 관한 부품 지지 헤드 조립체의 전체 구성을 나타내는 사시도이다.

도 1에 나타난 실시예에 관한 부품 장착기의 부품 지지 헤드 조립체(10)는 로터리 헤드식 부품 지지 헤드로서, 고정적으로 배치된 헤드 본체(20)에 로터리 헤드(30)가 헤드 본체(20)의 중심축을 중심으로 한 R방향으로 회전 가능하게 장착되어 있다. 이 로터리 헤드(30)에는 그 둘레방향을 따라 등간격으로 복수 개의 스핀들(31)이 배치되고, 각 스핀들(31)의 하단에 부품을 흡착 지지하는 노즐(32)이 장착되어 있다.

로터리 헤드(30)는, 헤드 본체(20)에 설치된 R서보 모터(21)의 구동에 의해 R방향으로 회전한다. 또한 각 스핀들(31)은 헤드 본체(20)에 설치된 T서보 모터(22)의 구동에 의해 그 축선 둘레의 T방향으로 회전한다. 또한 헤드 본체(20)에는 특정 위치에 있는 스핀들(31a)을 스핀들의 길이 방향을 따르는 Z방향으로 승강시키기 위한 Z서보 모터(23)가 배치되어 있다. R서보 모터(21)의 구동에 의해 로터리 헤드(30)를 R방향으로 회전시키는 기구 및 T서보 모터(22)의 구동에 의해 각 스핀들(31)을 T방향으로 회전시키는 기구에 대해서는 주지이므로 그 설명은 생략한다. Z서보 모터(23)의 구동에 의해 스핀들(31a)을 하강시키는 기구에 대해서는 이하에 설명한다.

도 2는 도 1의 부품 지지 헤드 조립체에 있어서 스핀들(노즐)을 Z방향으로 승강시키는 기구를 나타내는 설명도이다.

도 2는, 도 1의 부품 지지 헤드 조립체(10)에 있어서 스핀들(31a)을 Z방향으로 승강시키는 기구를 나타내는 설명도이다. 헤드 본체(20)에 배치된 Z서보 모터(23)의 모터축은 볼 나사 기구(24)의 나사축(24a)에 연결되고, 이 나사축(24a)에 너트(24b)가 장착되어 있다. 그리고 이 너트(24b)에 승강부(25)가 연결되어 있다. 따라서 Z서보 모터(23)의 구동에 의해 너트(24b)와 함께 승강부(25)가 Z방향으로 이동한다.

승강부(25)는 헤드 본체(20) 측에 하나만 마련되어 있다. 스핀들(31)을 하강시킬 때에는, 승강부(25)에 대해 스핀들(31)을 상대적으로 이동시킴으로써 하강시키는 스핀들(31)(상기 특정 위치에 있는 스핀들(31a))을 선택하고, 승강부(25)를 하강시킴으로써 그 스핀들(31a)을 하강시킨다.

도 3은 도 2의 스핀들(노즐)을 Z방향으로 승강시키는 승강부 주위의 구성을 나타내는 설명도이다.

본 실시예에서는, 도 3에 도시된 바와 같이, 로터리 헤드(30)를 R방향으로 회전시킴으로써 승강부(25)에 대해 스핀들(31)을 이동시키고, 승강부(25)의 바로 아래에 있는 스핀들(31a)을 하강시킨다. 단, 특정 위치에 있는 스핀들(31a)을 선택하여 하강시키는 구성은 이에 한정되지 않고, 승강부를 이동시켜 하강시키는 스핀들을 선택하도록 해도 된다. 또한 특정 위치는 2개소 이상 있어도 된다.

도 2로 되돌아가, 승강부(25)가 연결된 너트(24b)에는 연결 바(26) 및 헤드 본체(20)에 고정적으로 마련한 스플라인 샤프트(27)에 장착된 스플라인 너트(28)를 통해 광섬유 센서(40)가 연결되어 있다. 즉, 광섬유 센서(40)는 승강부(25)와 일체적으로 마련되어 있다. 따라서 광섬유 센서(40)는 Z서보 모터(23)의 구동에 의해 승강부(25)가 Z방향으로 이동하면, 이와 동조하여 Z방향으로 이동한다. '동조하여 이동한다'는 것은 기계적으로 일체가 된 상태에서 함께 이동하는 것과, 다른 구동 수단에 의해 이동하지만 동일한 속도로 함께 이동하는 것을 의미한다. 그 모습을 도 4a 및 도 4b에 나타낸다.

도 4a 및 도 4b는 도 2에 도시된 승강부에 의해 스핀들(노즐)을 하강시킬 때의 상태을 나타내고, 도 4a는 스핀들(31a)이 초기 위치에 있는 상태를 나타내고, 도 4b는 도 2에 도시된 승강부(25)에 의해 스핀들(31a)을 하강시킨 상태를 나타낸다. 또한 스핀들(31)은 2개의 코일 스프링으로 이루어지는 탄성체(33)(도 2 참조)에 의해 항상 상방의 초기 위치로 향하여 바이어스되어 있다.

도 5는 스핀들의 하단에 장착된 노즐 부분의 단면을 확대하여 나타내는 사시도이고, 도 6은 노즐이 접촉하였을 때의 광섬유 센서의 수광량 변화를 개략적으로 나타내는 도면이다.

광섬유 센서(40)는 발광부 및 수광부가 광섬유나 렌즈와 함께 동일 축선 상에 조립된 것으로 그 구성 자체는 주지이다. 본 실시예에 있어서, 광섬유 센서(40)는 도 2에 도시된 바와 같이 스핀들(31)의 하단에 코일 스프링(34)(탄성 부재)을 통해 장착된 노즐(32)의 경사 상방에 배치되어 있다. 그리고 광섬유 센서(40)의 발광부는, 도 5에 확대하여 도시된 노즐(32)의 외주 상면의 반사면(32a)으로 향하여 경사 하향으로 광(P)을 발한다. 그 광(P)은 광섬유 센서(40)의 수광부에서 반사광으로서 수광된다.

여기서, 노즐(32)은 상술한 바와 같이 스핀들(31)의 하단에 코일 스프링(34)을 통해 장착되어 있다. 따라서 스핀들(31)의 하강에 의해 그 하단의 노즐(32)이 접촉하면, 코일 스프링(34)이 압축되어 스핀들(31)에 대한 노즐(32)의 상하방향 위치가 변화한다. 구체적으로 노즐(32)이 스핀들(31)의 하단측으로 향하여 상대적으로 이동한다.

한편, 광섬유 센서(40)의 발광부로부터 발생되는 광(P)은, 도 2에 도시된 렌즈(40a)에 의해 노즐(32)이 접촉하지 않은 접촉 전 상태일 때의 반사면(32a)에 초점이 맞춰져 있다. 따라서 노즐(32)이 접촉하여 그 상하방향 위치가 변화하면, 반사면(32a)에서 반사되는 반사광의 양이 감소하고, 광섬유 센서(40)의 수광부에서 수광하는 수광량이 감소한다(도 6 참조). 본 실시예에서는, 이 수광량의 감소를 광섬유 센서(40)의 센서부(40b)에서 감지한다. 그리고 센서부(40b)는 수광량이 소정량 감소하였을 때, 구체적으로 예를 들어 도 6에 도시된 문턱값 A 이하가 되었을 때에 노즐(32)이 접촉하였다고 판단하고 접촉 감지 신호를 발한다.

도 7은 도 1의 부품 지지 헤드 조립체에서 문턱값 설정 방법을 개념적으로 나타내는 도면이다.

이하에서는 일 실시에에 관한 부품 지지 헤드 조립체에서 문턱값 A의 설정 방법에 대해 도 7을 참조하면서 설명한다. 또한 도 7은 부품(60)을 기판(70)에 실장하는 실장 공정을 나타내고 있지만, 문턱값 A의 설정 방법은 부품의 픽업 공정에서도 이와 동일하다.

도 7에 있어서, A시점에서 노즐(32)의 Z방향 하강 동작(Z축 하강)이 시작된다. 이 Z축 하강의 초기 단계에서, 노즐(32)은 도 3에서 설명한 T방향 회전 동작(T축 회전) 및 R방향 회전 동작(R축 회전)을 동시에 수행하면서 하강한다. 그 후, 광섬유 센서(40)의 센서부(40b)는, 감지 대상의 노즐(32)의 접촉 전에 그 T축 회전 및 R축 회전이 종료된 후(도 7에서는 B시점)에서의 실측 수광량에 기초하여 즉시 문턱값 A를 자동 설정하고, 이 문턱값 A를 기준으로 노즐(32)이 접촉하였는지를 판단한다. 도 7의 예에서는 C시점에서 수광량이 문턱값 A 이하가 되었으므로, 이 시점에서 노즐(32)이 접촉하였다고 판단한다. 이러한 문턱값 설정을 노즐(32)에 의한 부품의 실장(픽업) 동작마다 반복하고, 그 때마다 문턱값 A를 갱신한다.

또한 이 문턱값 A 설정의 타이밍이 되는 T축 회전 및 R축 회전이 종료하는 시점은 부품 지지 헤드의 제어 프로그램에 의해 파악할 수 있고, 실제로는 예를 들어 도 7의 B시점은 노즐(32)을 승강시키는 Z서보 모터(23)의 인코더 값에 기초하여 결정할 수 있다.

이와 같이, T축 회전 및 R축 회전이 종료한 후에서의 실측 수광량에 기초하여 문턱값 A를 설정함으로써, 감지 대상의 노즐(32)마다 최적의 문턱값 A를 설정할 수 있다. 즉, T축 회전 및 R축 회전이 종료하면, 그 노즐(32)의 회전 방향의 자세는 접촉 시의 최종 자세와 같아진다. 따라서 이 최종 자세와 같아지는 접촉 전 상태에서의 수광량에 기초하여 설정된 문턱값 A는 수광량 감소에 의한 접촉 감지의 판단 기준값으로서 최적이다. 그리고 이와 같이 노즐(32)마다 설정한 문턱값 A를 이용하여 그 노즐(32)이 접촉하였는지를 판단함으로써, 노즐(32)의 성상의 차이 등에 따라 각 노즐(32)에서 접촉 전 상태의 수광량이 변동되었다고 해도, 이에 따른 문턱값 A가 설정되므로 광섬유 센서(32)에 의한 접촉 감지 기능의 로버스트 성능이 향상된다. 또한 노즐(32)의 오물 등에 의해 그 노즐(32)의 접촉 전 상태의 수광량이 시간 경과에 따라 감소하여도, 노즐(32)을 사용할 때마다 그 때의 수광량에 따른 정확한 문턱값 A가 설정되므로, 이 점에서도 로버스트 성능이 향상됨과 동시에 노즐(32)의 사용 가능 기간을 연장할 수 있다. 만약 문턱값 A가 고정값이면, 노즐(32)의 접촉 전 상태의 수광량이 감소하면 상술한 문제가 발생하므로 조기에 새로운 노즐로 교환할 필요가 있다.

이상의 구성에 있어서, 부품 지지 헤드 조립체(10)를 가지는 부품 장착기는, 스핀들(31)의 하단에 장착된 노즐(32)에 의해 부품 공급부로부터 부품을 흡착하고 픽업하여 프린트 기판 상으로 이송하고 프린트 기판 상의 소정 위치에 실장한다. 이 부품 흡착시 및 실장시에는 광섬유 센서(40)의 센서부(40b)가 상술한 요령으로 노즐(32)마다 설정한 문턱값 A를 기준으로 노즐(32)이 접촉하였는지를 판단하여, 접촉이 감지되면 접촉 감지 신호를 발한다. 이 접촉 감지 신호는 도 2에 도시된 제어부(제어 수단)(50)에 송신된다. 제어부(50)는 접촉 감지 신호를 수신하면 승강부(25)를 하강시키는 Z서보 모터(23)를 정지시킨다. 이에 의해, 노즐(32)의 하강 스트로크가 정확하게 제어되어 노즐(32)이 정확하게 접촉한다.

이상의 실시예에서는, 광섬유 센서(40)의 센서부(40b)는 제어부(50)와 별개로 마련하였지만, 센서부(40b)의 기능을 제어부(50)에 조립할 수도 있다. 또한 접촉 감지 센서로서는 광섬유 센서(40) 이외의 반사형 광 센서를 사용할 수도 있다. 또한 본 실시예는 로터리 헤드식 이외의 부품 지지 헤드, 즉 R방향 회전 동작을 수반하지 않는 부품 지지 헤드에도 적용 가능하다. 이 경우, 문턱값 A의 설정은 T축 회전 종료 후에 행한다.

상술한 실시예들에 대한 구성과 효과에 대한 설명은 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.

10: 부품 지지 헤드 조립체 30: 로터리 헤드
20: 헤드 본체 31, 31a: 스핀들
21: R서보 모터 32: 노즐
22: T서보 모터 32a: 반사면
23: Z서보 모터 33: 탄성체
24: 볼 나사 기구 34: 코일 스프링
24a: 나사축 40: 광섬유 센서
24b: 너트 40a: 렌즈
25: 승강부 40b: 센서부
26: 연결 바 50: 제어부
27: 스플라인 샤프트 60: 부품
28: 스플라인 너트 70: 기판

Claims (4)

1. 지지 헤드와, 상기 지지 헤드의 중심축에 대해 T방향으로 회전 가능하며 길이 방향을 따르는 Z방향으로 승강 가능한 스핀들과, 상기 스핀들의 하단에 탄성체를 통해 장착된 노즐과, 상기 스핀들을 Z방향으로 승강시키는 승강부와, 상기 승강부와 동조하여 Z방향으로 승강하고 상기 노즐이 부품에 접촉하거나 상기 노즐에 지지된 상기 부품이 기판에 접촉하였음을 감지하여 접촉 감지 신호를 발생하는 접촉 감지 센서를 구비한 부품 장착기의 부품 지지 헤드 조립체로서,
   상기 접촉 감지 센서는, 상기 노즐의 외주의 반사면을 향하여 광을 발하는 발광부와, 상기 반사면에서 반사된 반사광을 수광하는 수광부와, 상기 반사광의 수광량을 연속적으로 계측 가능한 센서부를 구비하여, 상기 수광량이 문턱값 이하로 감소하였을 때에 상기 접촉 감지 신호를 발생하고,
   상기 접촉 감지 센서는, 감지 대상인 상기 노즐의 접촉 전에 상기 노즐을 장착한 스핀들의 T방향 회전 동작이 종료한 후의 수광량에 기초하여 상기 문턱값을 설정하는 부품 장착기의 부품 지지 헤드 조립체.
2. 제1항에 있어서,
   상기 노즐을 접촉시키는 동작을 할 때마다, 상기 접촉 감지 센서는 상기 노즐의 접촉 전에 상기 노즐을 장착한 상기 스핀들의 T방향 회전 동작이 종료한 후의 수광량에 기초하여 상기 문턱값을 설정하는 부품 장착기의 부품 지지 헤드 조립체.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 스핀들은, 상기 지지 헤드의 상기 중심축을 중심으로 R방향으로 회전 가능하게 장착된 로터리 헤드의 둘레방향을 따라 복수 개 배치되고,
   상기 접촉 감지 센서는, 감지 대상인 상기 노즐의 접촉 전에 상기 노즐을 장착한 상기 스핀들의 T방향 및 R방향 회전 동작이 종료한 후의 수광량에 기초하여 상기 문턱값을 설정하는 부품 장착기의 부품 지지 헤드 조립체.
4. 제3항에 있어서,
   상기 노즐을 접촉시키는 동작을 할 때마다, 상기 접촉 감지 센서는 상기 노즐의 접촉 전에 상기 노즐을 장착한 스핀들의 T방향 및 R방향 회전 동작이 종료한 후의 수광량에 기초하여 상기 문턱값을 설정하는 부품 장착기의 부품 지지 헤드 조립체.

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