KR20160039098A - 동력전달장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치 - Google Patents

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KR20160039098A
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김종욱
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Abstract

본 발명은 구동원으로부터 동력을 전달받아 회전구동하는 제 1 동력전달부,상기 제 1 동력전달부로부터 이격되어 배치되는 제 2 동력전달부, 상기 제 1 동력전달부와 상기 제 2 동력전달부를 서로 연결하는 벨트, 및 상기 제 1 동력전달부가 결합되고, 내부에 상기 벨트가 삽입되는 삽입홈이 형성되는 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 동력전달장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 제 1 동력전달부가 플레이트 외부로 돌출되는 것을 방지할 수 있음으로써, 동력전달장치를 소형화할 수 있고, 이에 따라, 필요한 작업 공간을 줄이는데 기여할 수 있다.

Description

동력전달장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치{POWER TRANSMISSION APPARATUS AND APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE}
본 발명은 기판을 이송하기 위한 기판 이송장치에 관한 것이다.
일반적으로 자동화로 이루어지는 생산라인, 디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등의 전자부품을 제조하는데 사용되는 기판(Substrate)을 이송시키기 위한 기판 이송장치 등에서 구동원의 구동력 전달을 위해 동력전달장치가 널리 사용되고 있다. 이하, 기판 이송장치를 예를 들어 설명하면 다음과 같다.
도 1은 종래 기술에 따른 기판 이송장치의 사시도이다.
도 1을 참고하면, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 기판(S)을 지지하는 이송암(10), 상기 이송암(10)을 승강시키기 위한 승강부(20), 및 상기 이송암(10)을 회전시키기 위한 선회부(30), 및 상기 선회부(30)를 이동시키기 위한 주행부(40)를 포함한다.
상기 이송암(10)은 상기 기판(S)을 지지한 상태에서 수평방향으로 이동함에 따라 상기 기판(S)을 이송시킨다. 상기 이송암(10)은 상기 기판(S)을 지지하는 지지핸드(11), 상기 지지핸드(11)를 수평 방향으로 이송하기 위한 암유닛(12), 및 일측에 상기 암유닛(12)이 결합되고, 타측에 상기 승강부(20)가 결합되는 암베이스(13)를 포함한다.
상기 승강부(20)는 승강가이드부(21a)를 따라 상기 이송암(10)을 상하방향으로 이동시킨다. 상기 승강부(20)는 상기 암베이스(13)를 승강시킴으로써, 상기 암베이스(30)에 결합되는 상기 지지핸드(11), 및 상기 암유닛(12)을 승강시킨다. 상기 승강부(20)는 상기 승강가이드부(21a)가 결합되는 제 1 승강유닛(21), 및 일측이 상기 제 1 승강유닛(21)과 결합되고 타측이 상기 이송암(10)과 결합되는 제 2 승강유닛(22)를 포함한다.
상기 선회부(30)는 상기 승강부(20)를 회전시킨다. 상기 선회부(30)는 상기 주행베이스(50)에 회전 가능하에 결합된다. 상기 선회부(30)는 회전축을 중심으로 상기 승강부(20)를 회전시킴으로써, 상기 이송암(10)에 지지된 상기 기판(S)을 회전시킨다.
상기 주행부(40)는 상기 선회부(30)를 상기 기판(S)을 이송시키기 위한 주행방향으로 이동시킨다. 상기 주행부(40)는 상기 선회부(30)를 상기 주행방향으로 이동시킴으로써, 상기 이송암(10), 및 상기 승강부(20)를 이동시킨다.
도 2는 종래 기술에 따른 동력전달부를 개략적으로 나타내는 개략도이다.
도 2를 참고하면, 상기 동력전달부(2)는 상기 기판 이송장치(1)에 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 동력전달부(2)는 상기 이송부(10), 상기 승강부(20), 상기 선회부(30), 및 상기 주행부(40) 등의 대상물(A, A')에 구동원(50)의 구동력을 전달한다.
상기 동력전달부(2)는 상기 구동원(50)의 구동력을 전달받아 회전하는 제 1 풀리(60), 상기 제 1 풀리(60)와 이격되도록 배치되는 제 2 풀리(70), 및 상기 제 1 풀리(60)와 상기 제 2 풀리(70)를 서로 연결하는 벨트(80)를 포함한다.
상기 제 1 풀리(60)는 구동원(60)의 구동력을 전달받아 상기 이송부(10), 상기 승강부(20), 상기 선회부(30), 및 상기 주행부(40) 등의 대상물(A) 중에서 어느 하나를 이동시킨다.
상기 제 2 풀리(70)는 상기 제 1 풀리(60)의 회전에 따라 회전하며, 상기 이송부(10), 상기 승강부(20), 상기 선회부(30), 및 상기 주행부(40) 등의 대상물(A') 중에서 다른 하나를 회전시킨다.
상기 벨트(80)는 상기 제 1 풀리(60)와 상기 제 2 풀리(70)를 연결한다. 이에 따라, 상기 제 2 풀리(70)는 상기 제 1 풀리(60)의 회전에 따라 회전할 수 있다.
여기서, 종래 기술에 따른 동력전달부(2)는 상기 대상물(A)와 상기 벨트(80)의 접촉에 따른 마모를 방지하기 위해 상기 제 1 풀리(60)가 상기 대상물(A)의 외측으로 돌출된다. 따라서, 종래 기술에 따른 동력전달부(2)는 상기 제 1 풀리(60)가 상기 대상물(A)의 외측으로 돌출됨에 따라 전체적인 크기가 증가하게 된다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 동력전달부(2)는 전체적인 크기가 증가하게 됨으로써, 넓은 작업 공간이 요구되는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 동력전달부를 소형화시킬 수 있는 동력전달장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치를 제공하기 위한 것이다.
상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 동력전달장치는 구동원으로부터 동력을 전달받아 회전구동하는 제 1 동력전달부; 상기 제 1 동력전달부로부터 이격되어 배치되는 제 2 동력전달부; 상기 제 1 동력전달부와 상기 제 2 동력전달부를 서로 연결하는 벨트; 및 상기 제 1 동력전달부가 결합되고, 내부에 상기 벨트가 삽입되는 삽입홈이 형성되는 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 동력전달장치에 따르면 상기 삽입홈은 상기 제 1 동력전달부로부터 상기 제 2 동력전달부를 향하는 방향으로 크기가 증가되게 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 동력전달장치에 따르면 상기 플레이트는 상기 삽입홈의 일측에 형성되는 제 1 삽입면, 및 상기 제 1 삽입면과 이격되도록 상기 삽입홈의 타측에 형성되는 제 2 삽입면을 포함하고, 상기 벨트는 상기 제 1 동력전달부에서 상기 제 2 동력전달부를 향할수록 간격이 벌어지도록 상기 제 1 동력전달부 및 상기 제 2 동력전달부에 연결되고, 상기 제 1 삽입면 및 상기 제 2 삽입면은 상기 제 1 동력전달부에서 상기 제 2 동력전달부를 향할수록 상기 벨트의 간격보다 더 큰 각도를 갖는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판 이송장치는 기판을 이송시키기 위한 이송암; 상기 이송암이 위치하는 높이가 변경되도록 상기 이송암을 승강시키기 위한 승강부; 상기 이송암이 향하는 방향이 변경되도록 상기 승강부를 회전시키는 선회부; 상기 이송암을 주행방향으로 주행시키기 위한 주행부; 및 제1항 내지 제3항 중에서 어느 하나의 동력전달장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
본 발명은 제 1 동력전달부가 플레이트 외부로 돌출되는 것을 방지할 수 있음으로써, 동력전달장치를 소형화할 수 있고, 이에 따라, 필요한 작업 공간을 줄이는데 기여할 수 있다.
본 발명은 제 1 동력전달부가 플레이트의 내부에 삽입된 상태에서 벨트가 삽입홈에 삽입되므로, 전체적인 크기를 줄일 수 있는 동시에 벨트 또는 플레이트의 마모를 방지할 수 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 기판 이송장치의 사시도이고,
도 2는 종래 기술에 따른 동력전달부를 개략적으로 나타내는 개략도이고,
도 3은 본 발명에 따른 동력전달부를 개략적으로 나타내는 평면도이고,
도 4는 본 발명에 따른 동력전달부를 개략적으로 나타내는 측면도이고,
도 5는 본 발명에 따른 동력전달부가 결합되는 기판 이송장치를 나타내는 사시도이다.
본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다.
한편, 본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
도 3은 본 발명에 따른 동력전달장치를 개략적으로 나타내는 평면도이고, 도 4는 본 발명에 따른 동력전달장치를 개략적으로 나타내는 측면도이고, 도 5는 본 발명에 따른 동력전달장치가 결합되는 기판 이송장치를 나타내는 사시도이다.
도 3 내지 도 5를 참고하면, 본 발명에 따른 동력전달장치(200)는 구동원(210)으로부터 동력을 전달받아 회전구동하는 제 1 동력전달부(220), 상기 제 1 동력전달부(220)로부터 이격되어 배치되는 제 2 동력전달부(230), 상기 제 1 동력전달부(220)와 상기 제 2 동력전달부(230)를 서로 연결하는 벨트(240), 및 상기 제 1 동력전달부(220)가 결합되고, 내부에 상기 벨트(240)가 삽입되는 삽입홈(251)이 형성되는 플레이트(250)를 포함한다.
여기서, 종래 기술에 따른 동력전달부는 상기 벨트(240)와 상기 플레이트(250)간의 마찰에 의해 상기 벨트(240) 또는 상기 플레이트(250)가 마모되는 것을 방지하기 위해 상기 제 1 동력전달부(220)가 상기 플레이트(250)의 외측으로 돌출되도록 상기 플레이트(250)에 결합됨에 따라 전체적인 부피가 증가할 수 있다.
이를 방지하기 위해, 본 발명에 따른 동력전달장치(200)는 상기 제 1 동력전달부(220)가 상기 플레이트(250)의 내부에 삽입되도록 상기 플레이트(250)의 내부에 결합될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 동력전달장치(200)는 제 1 동력전달부(220)가 상기 플레이트(250)의 외부로 돌출되는 것을 방지함으로써, 전체적인 크기를 줄일 수 있다.
따라서, 본 발명에 따른 동력전달장치(200)는 상기 제 1 동력전달부(220)가 상기 플레이트(250)의 내부에 삽입됨으로써, 전체적인 크기를 줄일 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 동력전달장치(200)는 전체적인 크기가 작아지므로 작업 공간을 줄이는데 기여할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 동력전달장치(200)는 상기 벨트(240)가 상기 삽입홈(251)에 삽입됨으로써, 상기 플레이트(250)와 상기 벨트(240)가 접촉되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 동력전달장치(200)는 상기 제 1 동력전달부(220)가 상기 플레이트(250)의 내부에 삽입된 상태에서 상기 벨트(240)가 상기 삽입홈(251)에 삽입되므로, 전체적인 크기를 줄일 수 있는 동시에 상기 벨트(250) 또는 상기 플레이트(250)의 마모를 방지할 수 있다.
이하에서는 상기 제 1 동력전달부(220), 상기 제 2 동력전달부(230), 상기 벨트(240), 및 상기 플레이트(250)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.
상기 제 1 동력전달부(220)는 상기 구동원(210)으로부터 동력을 전달받아 동력축을 중심으로 회전 구동한다. 상기 제 1 동력전달부(220)는 상기 플레이트(250)의 내부에 결합된다. 상기 제 1 동력전달부(220)에는 상기 벨트(240)의 일측이 연결된다. 상기 제 1 동력전달부(220)는 상기 벨트(240)에 의해 상기 구동원(210)의 동력을 상기 제 2 동력전달부(230)에 전달한다. 이에 따라, 상기 제 1 동력전달부(220)는 상기 제 2 동력전달부(230)를 회전시킨다. 여기서, 상기 구동원(210)은 모터일 수 있다.
상기 제 2 동력전달부(230)는 상기 제 1 동력전달부(220)로부터 이격되도록 배치된다. 상기 제 2 동력전달부(220)는 상기 벨트(240)에 의해 상기 제 1 동력전달부(220)의 회전에 따라 회전축을 중심으로 회전한다. 상기 제 2 동력전달부(230)에는 상기 벨트(240)의 타단이 연결된다.
상기 벨트(240)는 상기 제 1 동력전달부(220)에서 상기 제 2 동력전달부(230)를 향할수록 간격이 벌어지도록 상기 제 1 동력전달부(220)와 상기 제 2 동력전달부(230)에 각각 연결된다. 상기 벨트(240)는 상기 제 1 동력전달부(220)의 회전방향에 따라 이동한다. 따라서, 상기 벨트(240)가 상기 제 1 동력전달부(220)의 회전방향에 따라 상기 제 2 동력전달부(230)를 회전시킴으로써, 상기 구동원(250)의 동력을 상기 제 2 동력전달부(230)에 전달한다.
상기 플레이트(250)에는 상기 제 1 동력전달부(220)가 결합된다. 상기 플레이트(250)의 내부에는 상기 벨트(240)가 삽입되는 삽입홈(251)이 형성된다. 상기 플레이트(250)의 내부에 상기 제 1 동력전달부(220)가 삽입될 경우, 상기 벨트(240)는 상기 삽입홈(251)에 삽입된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 동력전달장치(200)는 상기 제 1 동력전달부(220)가 상기 플레이트(250)의 내부에 삽입됨으로써, 전체적인 크기를 줄일 수 있으므로 작업 공간을 줄이는데 기여할 수 있다.
또한, 상기 삽입홈(251)은 상기 제 1 동력전달부(220)로부터 상기 제 2 동력전달부(230)를 향하는 방향으로 크기가 증가되게 형성된다.
이를 위해, 상기 플레이트(250)는 상기 삽입홈(251)의 일측에 형성되는 제 1 삽입면(251a), 및 상기 삽입홈(251)의 타측에 형성되는 제 2 삽입면(251b)을 포함한다.
상기 제 1 삽입면(251a)은 상기 삽입홈(251)의 일측에 형성된다. 상기 제 1 삽입면(251a)은 상기 제 1 동력전달부(220)에서 상기 제 2 동력전달부(230)를 향할수록 상기 벨트(240)의 간격보다 더 큰 각도를 갖는다.
상기 제 2 삽입면(251b)은 상기 삽입홈(251)의 타측에 형성된다. 상기 제 2 삽입면(251b)은 상기 제 1 동력전달부(220)에서 상기 제 2 동력전달부(230)를 향할수록 상기 벨트(240)의 간격보다 더 큰 각도를 갖는다. 이에 따라, 본 발명에 따른 동력전달장치(200)는 상기 제 1 삽입면(251a) 및 상기 제 2 삽입면(251b)이 상기 제 1 동력전달부(220)에서 상기 제 2 동력전달부(230)를 향할수록 상기 벨트(240)의 간격보다 더큰 각도를 갖도록 형성된다. 따라서, 본 발명에 따른 동력전달장치(200)는 상기 제 1 삽입면(251a) 및 상기 제 2 삽입면(251b)에 의해 상기 삽입홈(251)이 상기 제 1 동력전달부(220)에서 상기 제 2 동력전달부(230)를 향할수록 크기가 증가되게 형성됨에 따라, 상기 벨트(240)와 상기 플레이트(250)가 상호 접함으로써, 상기 벨트(240) 또는 상기 플레이트(250)가 마모되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 동력전달장치(200)는 상기 벨트(240) 또는 상기 플레이트(250)가 마모되는 것을 방지할 수 있음으로써, 상기 벨트(240) 또는 상기 플레이트(250)의 수명 및 교체주기를 늘릴 수 있다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 상술한 바와 같은 본 발명에 따른 동력전달장치(200)가 적용되는 장치들 중에서 기판 이송장치(100)를 예를 들어 설명한다.
상기 기판 이송장치(100)는 기판(S)을 지지하기 위한 이송암(110), 상기 이송암(110)이 위치하는 높이가 변경되도록 상기 이송암(110)을 승강시키기 위한 승강부(120), 상기 이송암(120)이 향하는 방향이 변경되도록 상기 승강부(120)를 회전시키는 선회부(130), 및 상기 선회부(130)를 주행방향으로 이동시키기 위한 주행부(140)를 포함한다.
도 5를 참고하면, 상기 이송암(110)은 상기 기판(S)을 이송시킨다. 상기 이송암(110)은 상기 승강부(130)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 이송암(110)은 상기 승강부(120)에 결합되는 암베이스(111), 상기 암베이스(111)에 회전 가능하게 결합되는 제 1 암기구(112), 상기 제 1 암기구(112)에 회전 가능하게 결합되는 제 2 암기구(113) 및 상기 기판(S)을 지지하기 위한 지지핸드(114)를 포함한다.
상기 승강부(120)는 상기 이송암(110)이 위치하는 높이가 변경되도록 상기 이송암(110)을 승강시킨다. 상기 승강부(130)가 상기 이송암(110)을 승강시킴으로써, 상기 이송암(110)에 지지된 상기 기판(S)을 상기 승강부(130)의 승강경로를 따라 이동시킬 수 있다. 상기 승강부(120)는 상기 선회부에 결합되는 제 1 승강유닛(121) 및 상기 암베이스(111)가 결합되는 제 2 승강유닛(122)을 포함할 수 있다.
상기 선회부(130)는 상기 이송암(110)이 향하는 방향이 변경되도록 상기 승강부(130)를 회전시킨다. 상기 선회부(130)가 선회축을 중심으로 회전함에 따라 상기 승강부(130), 및 상기 이송암(110)이 상기 선회축을 중심으로 함께 회전할 수 있다. 예컨대, 상기 선회부(130)는 상기 지지핸드(114)가 상기 기판(S)의 반입공정 및 반출공정을 수행할 공정챔버 또는 카세트를 향하도록 상기 암베이스(111)를 회전시킬 수 있다.
상기 주행부(140)는 상기 기판(S)을 이송하기 위해 상기 이송암(110)을 주행방향으로 이동시킨다. 상기 주행부(140)는 상기 주행방향을 따라 설치된다. 상기 주행부(140)는 상기 선회부(130)를 주행방향으로 이동시킨다. 상기 주행부(140)가 상기 선회부(130)를 이동시킴으로써, 상기 승강부(120) 및 상기 이송암(110)을 상기 주행방향으로 이동시킬 수 있다. 상기 주행부(140)의 일측에는 상기 카세트(A)가 위치된다.
여기서, 본 발명에 따른 동력전달장치(200)에 있어서, 상기 제 2 동력전달부(230)는 상기 선회부(130)에 결합되고, 상기 제 1 동력전달부(220)는 상기 주행부(140)에 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 플레이트(250)는 상기 주행부(140)일 수 있고, 상기 대상물(A)은 상기 선회부(130)일 수 있다.
종래에는 상기 벨트(240) 및 상기 플레이트(250)가 상호 접촉됨에 따라, 마찰되는 것을 방지하기 위해 상기 제 1 동력전달부(220)가 상기 주행부(140)의 외측으로 돌출되도록 결합되었다. 이에 따라, 종래에는 상기 기판 이송장치(100)의 전체적인 높이가 증가됨에 따라, 상기 이송암(110)이 승강될 수 있는 패스라인(Pass-Line)이 감소되는 문제가 있다.
이에 따라, 본 발명에 따른 동력전달장치(200)를 상기 기판 이송장치(100)에 이용할 경우, 상기 제 1 동력전달부(220)는 상기 주행부(140)의 내부로 삽입될 수 있고, 상기 제 2 동력전달부(220)는 상기 선회부(130)의 내부에 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 벨트(240)는 상기 주행부(140)에 형성되는 상기 삽입홈(251)에 삽입된다. 따라서, 본 발명에 따른 동력전달장치(200)를 상기 기판 이송장치(100)에 이용할 경우, 상기 기판 이송장치(100)의 전체적인 높이를 줄일 수 있을 뿐만 아니라, 상기 벨트(240) 또는 상기 주행부(140)의 마모를 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 동력전달장치(200)를 상기 기판 이송장치(100)에 이용할 경우,상기 기판 이송장치(100)의 전체적인 높이를 줄일 수 있으므로, 상기 이송암(110)이 승강될 수 있는 패스라인을 증가시킬 수 있음으로써, 상기 기판(S)을 이송하는 작업의 효율성을 증가시킬 수 있다.
본 실시예에서는 본 발명에 따른 동력전달장치(200)가 상기 선회부(130)와 상기 주행부(140)에 결합되는 것으로 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니고, 동력전달장치(200)가 사용되는 장비이면 모두 사용될 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
100: 기판 이송장치 S: 기판
A: 대상물 110: 이송암
111: 암베이스 112: 제 1 암기구
113: 제 2 암기구 114: 지지핸드
120: 승강부 121: 제 1 승강유닛
122: 제 2 승강유닛 130: 선회부
140: 주행부 200: 동력전달장치
210: 구동원 220: 제 1 동력전달부
230: 제 2 동력전달부 240: 벨트
250: 플레이트 251: 삽입홈
251a: 제 1 삽입면 251b: 제 2 삽입면

Claims (4)

  1. 구동원으로부터 동력을 전달받아 회전구동하는 제 1 동력전달부;
    상기 제 1 동력전달부로부터 이격되어 배치되는 제 2 동력전달부;
    상기 제 1 동력전달부와 상기 제 2 동력전달부를 서로 연결하는 벨트; 및
    상기 제 1 동력전달부가 결합되고, 내부에 상기 벨트가 삽입되는 삽입홈이 형성되는 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 동력전달장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 삽입홈은 상기 제 1 동력전달부로부터 상기 제 2 동력전달부를 향하는 방향으로 크기가 증가되게 형성되는 것을 특징으로 하는 동력전달장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 플레이트는 상기 삽입홈의 일측에 형성되는 제 1 삽입면, 및 상기 제 1 삽입면과 이격되도록 상기 삽입홈의 타측에 형성되는 제 2 삽입면을 포함하고,
    상기 벨트는 상기 제 1 동력전달부에서 상기 제 2 동력전달부를 향할수록 간격이 벌어지도록 상기 제 1 동력전달부 및 상기 제 2 동력전달부에 연결되고,
    상기 제 1 삽입면 및 상기 제 2 삽입면은 상기 제 1 동력전달부에서 상기 제 2 동력전달부를 향할수록 상기 벨트의 간격보다 더 큰 각도를 갖는 것을 특징으로 하는 동력전달장치.
  4. 기판을 이송시키기 위한 이송암;
    상기 이송암이 위치하는 높이가 변경되도록 상기 이송암을 승강시키기 위한 승강부;
    상기 이송암이 향하는 방향이 변경되도록 상기 승강부를 회전시키는 선회부;
    상기 이송암을 주행방향으로 주행시키기 위한 주행부; 및
    제1항 내지 제3항 중에서 어느 하나의 동력전달장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
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